JPH1123909A - 光モジュール用基体及びそれを用いた光モジュール - Google Patents

光モジュール用基体及びそれを用いた光モジュール

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JPH1123909A
JPH1123909A JP17485497A JP17485497A JPH1123909A JP H1123909 A JPH1123909 A JP H1123909A JP 17485497 A JP17485497 A JP 17485497A JP 17485497 A JP17485497 A JP 17485497A JP H1123909 A JPH1123909 A JP H1123909A
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JP
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ferrule
groove
optical fiber
optical
fiber
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JP17485497A
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English (en)
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Takahiro Matsubara
孝宏 松原
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Kyocera Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ファイバの長さを切断により厳密に調整す
ることなく光ファイバ及びフェルールを所定の位置に容
易に設置固定できるようにすること。 【解決手段】 基板4上に、光ファイバ1を載置させる
ファイバ載置用溝6と、ファイバ載置用溝6に連通し、
光ファイバ1の一端側に取り付けたフェルール2を載置
させるフェルール載置用溝7と、フェルール載置用溝7
に直交する位置合わせ用溝8とを形成し、位置合わせ用
溝8にフェルール2の外周に取着させた係止部材3を係
合させるようにした光モジュール用基体の上に、受光及
び/又は発光する光素子5を設けるとともに、ファイバ
載置用溝6に光素子5に光結合される光ファイバ1を、
フェルール載置用溝7にフェルール2をそれぞれ載置
し、位置合わせ用溝8にフェルール2の外周に取着させ
た係止部材3を係合させて成る光モジュールM。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ通信や
光インターコネクションといった光伝送システムの光送
受信部に使用される、光モジュール用基体及びそれを用
いた光モジュールに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の光モジュールM1の平面図を図3
に示す。ここで、図3(a)は光モジュールM1の平面
図、図3(b)は光素子15と光ファイバ11との光学
的結合部の部分拡大側面図である。
【0003】図3に示すように、シリコン等からなる基
板14には光ファイバ11設置用のV溝等の第1の溝1
6が設けられ、光ファイバ11の一端は基板14上に搭
載された光素子15に光学的に結合しており、前記光素
子15は、LED,LD(Laser Diode :半導体レーザ
素子)等の発光素子及びPD(Photo Diode :フォトダ
イオード),APD(Avalanche Photo Diode :アバラ
ンシュフォトダイオード)等の光電変換受光素子などの
半導体受発光素子からなる。光ファイバ11の他端には
円筒形状のフェルール12が取り付けられ、外部のコネ
クタやスリーブに結合できるようになっており、フェル
ール12外側面の中途には、基板14の端面に付き当て
てフェルール12を位置決めするための環状部13が、
フェルール12に一体的に設けられている。
【0004】また、基板14の一周縁部には、フェルー
ル12の環状部13よりも光ファイバ11側の部分を設
置するための第2の溝17が形成されている。更に、光
素子15と光ファイバ11との光学的結合部には、光フ
ァイバ11の軸線にほぼ垂直方向に形成された、断面が
方形状の第3の溝19が設けられている。
【0005】前記光学的結合部において、図3(b)に
示すように、光ファイバ11の端面が第3の溝19の壁
面に当接して位置決めされており、芯線11aに光素子
15からの光ビーム15aが高結合効率で入射するよう
に構成され、光ファイバ11の端面と光素子15との距
離は10〜20μm程度である。そして、必要に応じて
基板14に蓋体(図示せず)を被せたり、全体を樹脂モ
ールドして使用していた。
【0006】このような光モジュールにおいて、シリコ
ンからなる基板14に、V溝の第1の溝16、逆台形溝
の第2の溝17を形成したものが提案されている(19
96年電子情報通信学会総合大会 C−207参照)。
そして、フェルール12の基板14が無い側の外部との
結合部は、バネ等を内蔵した外部のコネクタやスリーブ
(図示せず)等に挿入結合され、弾性的な押出力を受け
た状態で機械的に結合される。また、前記コネクタやス
リーブの、フェルール12と反対側の端部には、他の光
ファイバのフェルールが同様に結合され、光伝送システ
ムに組み込めるようにしている。
【0007】上記従来の光モジュールM1においては、
フェルール12に光ファイバ11を挿入して取り付けた
後に、光ファイバ11を所定の長さに切断加工し、それ
を基板14上に固定するという手順で組み立てている。
【0008】上記組立工程を図4に示す。ここで、図4
(a)は光ファイバ11をフェルール12に挿入し両者
を接着剤などで固定する工程、図4(b)は光ファイバ
11の光素子と結合する側(外部に突出した部分)を所
定の長さLに切断する工程である。
【0009】図3(b)に示すように、光ファイバ11
の光素子側の端部は、光素子の極めて近傍で光素子から
一定の位置に、高い位置精度で固定させる必要があるた
め、図4(b)の工程において、基板14上の所定寸法
より長めに切断される。ここで、光ファイバ11の長さ
Lが基板14上の所定寸法より短ければ、光ファイバ1
1を光素子15から所定の距離に配置できなくなり、所
定の光学的結合が最初からできなくなるからである。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】上記のように作製され
た、余長を持つ光ファイバ11を基板14上に設置する
と、フェルール12の環状部13と基板14端面との間
に隙間ができてしまう。光ファイバ11及びフェルール
12は、基板14の第1の溝16及び第2の溝17に、
接着剤等で強固に固定されているとはいえ、その使用時
において、外部のコネクタ,スリーブ及び外部の他の光
ファイバ用フェルールに備えたバネによってフェルール
12に押出力が作用し続ければ、やがて光ファイバ11
及びフェルール12と基板14との接着力が低下し、前
記押出力がそのまま光ファイバ11に掛かってしまう。
そうすると、環状部13と基板14端面との間の隙間が
狭まったり隙間がなくなるため、光ファイバ11が座屈
し、クラックや割れが生じて断線し、光モジュールとし
ての機能を果たさなくなってしまう。
【0011】したがって、本発明は上記事情に鑑みて完
成されたものであり、その目的は光ファイバの長さを切
断により厳密に調整することなく光ファイバ及びフェル
ールを所定の位置に容易に設置固定でき、その結果、外
部のコネクタ,スリーブ及び他のフェルール等による押
出力で光ファイバが断線しないようにすることにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明の光モジュール用
基体は、基板上に、光ファイバを載置させるファイバ載
置用溝と、該ファイバ載置用溝に連通し、前記光ファイ
バの一端側に取り付けたフェルールを載置させるフェル
ール載置用溝と、前記フェルール載置用溝に直交する位
置合わせ用溝とを形成し、該位置合わせ用溝に前記フェ
ルールの外周に取着させた係止部材を係合させるように
したものである。
【0013】また、本発明の光モジュールは、上記光モ
ジュール用基体上に、受光及び/又は発光する光素子を
設けるとともに、前記ファイバ載置用溝に前記光素子に
光結合される光ファイバを、前記フェルール載置用溝に
前記光ファイバの一端側に取り付けたフェルールをそれ
ぞれ載置し、前記位置合わせ用溝に前記フェルールの外
周に取着させた係止部材を係合させて成る。
【0014】
【発明の実施の形態】本発明を図1,図2に基づいて説
明する。図1は本発明の光モジュールMを示し、(a)
は光モジュールMの平面図、(b)は(a)のA−A線
における断面図である。図3は光ファイバ1とフェルー
ル2の組立工程を説明するための光ファイバ1及びフェ
ルール2の断面図で、(a)は光ファイバ1をフェルー
ル2に挿入する工程、(b)は光ファイバ1の余分な部
分を切断しフェルール2に接着剤等で固定する工程、
(c)はフェルール2をドーナツ型の係止部材である環
状部材3に挿入し光モジュール用基体である基板4上で
位置調整を行う工程、(d)は位置調整後のフェルール
2を係止部材である環状部材3に接着剤20等で固定す
る工程である。
【0015】図1において、1は一端側にフェルール2
を取り付けた光ファイバ、2はフェルール、3は係止部
材である環状部材、4はシリコン等からなる基板、5は
LED,LD(Laser Diode :半導体レーザ素子)等の
発光素子及びPD(Photo Diode :フォトダイオー
ド),APD(Avalanche Photo Diode :アバランシュ
フォトダイオード)等の光電変換受光素子などの半導体
受発光素子からなる光素子、6は光ファイバ1設置用の
第1の溝(ファイバ載置用溝)、7はフェルール2設置
用の第2の溝(フェルール載置用溝)、8は第2の溝7
の中途に第2の溝に略直交するように形成された第3の
溝(位置合わせ用溝)、9は光ファイバ1の光素子5に
光学結合される側の一端を付き当てて位置決めするため
の第4の溝である。
【0016】本発明は、図2に示すように、環状部材3
を第3の溝8に設置した状態でフェルール2を環状部材
3に挿入し、その位置調整を行うことができ、その結
果、光ファイバ1の長さを厳密に切断−調整する必要が
なくなる。従って、光ファイバ1の光素子5との結合側
は、所定寸法よりやや長めに余長を持って切断され、必
要に応じて所定の端面形状(例えば光軸に垂直な面形状
等)に加工してもよい。また、前記環状部材3は、その
光軸方向の長さが第3の溝8の光軸方向の幅よりも小さ
く、その外径が第3の溝8の底面に達しないような長さ
であることが、第3の溝8への設置し易さの点及びフェ
ルール2が第2の溝7から浮き上がらない点で、高精度
の位置調整に有利である。少なくとも環状部材3の外径
長が第3の溝8の深さ以下となっていることが好まし
い。更に、環状部材3の形状は、少なくとも円筒形のフ
ェルール2が挿入できる略円形の開口を有していればよ
く、ドーナツ型,外形が正方形や長方形等の方形状のも
の,開口が一部若しくは半分程度切り欠かれたものであ
ってもよい。
【0017】前記第3の溝8は必ずしも設ける必要はな
く、図3のように、環状部材3から外側(光ファイバ1
と反対側)が外部に露出するような構成としてもよい
が、第3の溝8があった方がフェルール2の位置調整を
安定的に行える点で好適である。また、第3の溝8は、
図1に示すように基板4の一辺から一辺にわたって設け
る必要はなく、少なくとも環状部材3が設置できる長さ
を有していればよい。また、第1の溝6〜第4の溝9の
断面形状はV溝,U溝,凹溝,逆台形状の溝等とし得
る。
【0018】本発明の基板4はSi単結晶(シリコ
ン),水晶,セラミクス,GaAs単結晶,樹脂,金属
等から成り、第1の溝6〜第4の溝9を異方性ウエット
エッチング法により位置精度良く形成しやすい点で、シ
リコンが好ましい。基板4材料をシリコンとした場合、
シリコンのアルカリ性エッチャントによるエッチレート
が結晶方位に大きく依存することを利用した異方性ウェ
ットエッチングにより、幅、深さを精密に制御してV溝
や逆台形状の溝を基板表面に形成できる。前記アルカリ
性エッチャントとしては、KOH,NaOH,EPW
(エチレンジアミン+ピロカテコール+水),ヒドラジ
ン,TMAH(水酸化テトラメチルアンモニウム)等が
好ましい。これらのアルカリ性エッチャントは、シリコ
ンの(100)面又は(110)面のエッチレートが
(111)面のエッチレートに対して数10〜数100
倍であり、エッチレートの小さい(111)面が溝の側
面となるように基板4の結晶面を選択することにより、
マスク下部へのアンダーカットの少ない微細加工が可能
となる。特に、KOHはそのエッチレート比が数100
倍と大きく、微細加工に最適である。
【0019】基板4表面を(100)面とし、〈01
1〉方向に平行又は垂直な直線で構成されたマスク開口
部に上記異方性ウェットエッチングによってV溝等が形
成され、そのV溝等の側面は基板4表面に対して54.
74°傾いた(111)面となる。従って、マスクパタ
ーンが正確にV溝等の側面に反映されることから、この
側面で光ファイバ等の光デバイスを保持すればマスクと
同程度の位置精度が得られ、パッシブアライメント用基
板として好適である。また、基板4表面に形成されるV
溝等の深さ、V溝か逆台形状の溝かの違いは、エッチン
グ時間によって制御される。このような異方性ウェット
エッチングによって形成されたV溝等は、±0.5μm
以下の位置合わせ精度で容易に形成できる。
【0020】第1の溝6〜第4の溝9の形成は、上記異
方性ウェットエッチング法に限らず、一般的なウェット
エッチング法、ドライエッチング法、ダイシング法等の
切削加工法、レーザ加工法、射出成型法等によっても構
わない。
【0021】本発明において、一つの基板4上に複数の
光ファイバ及びフェルールを平行、非平行に設けても構
わない。
【0022】本発明の光モジュールはパッシブアライメ
ントにより光ファイバ及び光素子をアライメントするの
に適しており、前記パッシブアライメントとは、光素子
からの光を試験的に光ファイバに通したり、外部からの
光を試験的に光ファイバを通して光素子で受光させ、光
出力をモニターして光素子と光ファイバの結合状態を調
整するのではなく、予め光素子と光ファイバの実装部を
高精度に設計しておき、目視又は赤外線画像認識等のパ
ターン認識により実装するだけで所望の結合状態が得ら
れるようにするアライメント方法である。
【0023】かくして、本発明は、光ファイバを切断し
て厳密にその長さを調整することなく光ファイバ及びフ
ェルールを所定の位置に容易に設置固定でき、その結
果、光ファイバが所定長よりも短いことによる光学結合
不能という事態が防止され、また光ファイバが所定長よ
りも長いために、外部のコネクタ,スリーブ及び他のフ
ェルール等に内蔵されたバネによる押出力で光ファイバ
が座屈して断線するという事態を防止するという作用効
果を有する。
【0024】なお、本発明は上記の実施形態に限定され
るものではなく、例えばフェルールの外周に取着される
係止部材は位置合わせ用溝に係合できるような形状であ
ればよく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変
更は何等差し支えない。
【0025】
【実施例】本発明の実施例を以下に示す。図1の光モジ
ュールをMを作製し、光ファイバ1(使用光波長1.3
μm,シングルモード,芯線径/外径=10/125μ
m)と光素子5(半導体レーザ素子:日立製作所(株)
製 HL1326MF,出力1mW)との光学的な結合
効率を測定した。光ファイバ1の端面と光素子5との距
離(トレランス)が約20μmのとき、結合効率は−9
dBで−10dB{10%=(発光レーザ光強度)/
(光ファイバ1へ入射したレーザ光強度)×100}を
超えていた。また、前記距離を約20〜30μmとした
場合に、−0.124dB/μmの結合効率の変化率
で、1dBの変化に対するトレランスの変化は約8μm
であり、一般的に要求されるトレランス精度(1dBに
対し8μm)と同レベルであった。
【0026】また、フェルール2を外部のスリーブ及び
他のフェルールに結合し、その結合効率の変化を調べた
が、1000時間経った後もほとんど変化しなかった。
【0027】
【発明の効果】本発明によれば、光ファイバを切断して
厳密にその長さを調整することなく光ファイバ及びフェ
ルールを所定の位置に容易に設置固定できる。その結
果、光ファイバが所定長よりも短いことによる光学的結
合不能という事態が防止され、また光ファイバが所定長
よりも長いために、外部のコネクタ,スリーブ及び他の
フェルール等に内蔵されたバネによる押出力で光ファイ
バが座屈して断線するという事態の発生を防止し、耐久
性の非常に優れた光モジュールを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光モジュールMを説明する図であり、
(a)は光モジュールMの平面図、(b)は(a)のA
−A線における断面図である。
【図2】本発明の光ファイバとフェルールの作製及び位
置合わせ工程を説明するための断面図で、(a)は光フ
ァイバをフェルールに挿入する工程、(b)は光ファイ
バの余分な部分を切断しフェルールに固定する工程、
(c)はフェルールを環状部材に挿入し位置調整を行う
工程、(d)は位置調整後のフェルールを環状部材に固
定する工程である。
【図3】従来の光モジュールM1を説明する図であり、
(a)は光モジュールM1の平面図、(b)は光素子と
光ファイバとの結合部の部分拡大側面図である。
【図4】従来の光ファイバとフェルールの作製及び位置
合わせ工程を説明するための断面図であり、(a)は光
ファイバをフェルールに挿入し固定する工程、(b)は
光ファイバの余分な部分を切断し固定する工程である。
【符号の説明】
1:光ファイバ 2:フェルール 2a:芯線 3:環状部材(係止部材) 4:基板(光モジュール用基体) 5:光素子 6:第1の溝(ファイバ載置用溝) 7:第2の溝(フェルール載置用溝) 8:第3の溝(位置合わせ用溝) 9:第4の溝 M:光モジュール

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に、光ファイバを載置させるファ
    イバ載置用溝と、該ファイバ載置用溝に連通し、前記光
    ファイバの一端側に取り付けたフェルールを載置させる
    フェルール載置用溝と、前記フェルール載置用溝に直交
    する位置合わせ用溝とを形成し、該位置合わせ用溝に前
    記フェルールの外周に取着させた係止部材を係合させる
    ようにした光モジュール用基体。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の光モジュール用基体上
    に、受光及び/又は発光する光素子を設けるとともに、
    前記ファイバ載置用溝に前記光素子に光結合される光フ
    ァイバを、前記フェルール載置用溝に前記光ファイバの
    一端側に取り付けたフェルールをそれぞれ載置し、前記
    位置合わせ用溝に前記フェルールの外周に取着させた係
    止部材を係合させて成る光モジュール。
JP17485497A 1997-06-30 1997-06-30 光モジュール用基体及びそれを用いた光モジュール Pending JPH1123909A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102565945A (zh) * 2012-01-16 2012-07-11 深圳日海通讯技术股份有限公司 一种可调节的数显定长光纤裁切工装
CN102565944A (zh) * 2012-01-16 2012-07-11 深圳日海通讯技术股份有限公司 一种可调节的定长光纤裁切工装
US20210131922A1 (en) * 2019-10-31 2021-05-06 Arcadis U.S., Inc. Passive sampler

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