JPH08334650A - 光素子と光ファイバの結合構造及び光モジュール - Google Patents

光素子と光ファイバの結合構造及び光モジュール

Info

Publication number
JPH08334650A
JPH08334650A JP14159395A JP14159395A JPH08334650A JP H08334650 A JPH08334650 A JP H08334650A JP 14159395 A JP14159395 A JP 14159395A JP 14159395 A JP14159395 A JP 14159395A JP H08334650 A JPH08334650 A JP H08334650A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical
optical element
optical fiber
fiber
groove
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP14159395A
Other languages
English (en)
Inventor
Fumio Yuki
文夫 結城
Takeshi Kato
猛 加藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP14159395A priority Critical patent/JPH08334650A/ja
Publication of JPH08334650A publication Critical patent/JPH08334650A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Mechanical Coupling Of Light Guides (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【目的】 光素子と光ファイバを効率良く光結合でき、
且つ光素子の放熱効率を向上させ、生産性良く光結合可
能な光素子と光ファイバの結合構造及び気密封止が容易
で、且つ挿抜作業性の向上が可能なレセプタクル型モジ
ュールを提供する。 【構成】 基板105に光素子102の溝に対応した台
形状の突起120を有する四角錐台の光素子搭載用の穴
110と光ファイバ搭載用の溝111とファイバフェル
ール搭載用の溝112を順番にSiの異方性エッチング
で形成し、2列の台形状の溝119を設けた光素子10
2を光素子搭載用穴110に嵌合させ半田(1)107
で固定する。光ファイバ103とファイバフェルール1
04は、基板105のそれぞれの溝111、112に配
置され、フタ106のファイバ固定用溝116でファイ
バ103を押さえ、上記底辺の両サイドの平面部を半田
108で固定している。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光素子と光ファイバを
基板上に搭載させるのに好適な光結合構造とこれを用い
て光素子と光ファイバとの光結合を行う光モジュールに
関する。
【0002】
【従来の技術】近年、光通信の適用領域は基幹系から加
入者網やLANに拡大してきており、光送受信モジュー
ルの小型化、低価格化が重要な課題となっている。ま
た、光素子と光ファイバを効率良く光結合させる必要が
ある。中でも、モジュール実装コストの低減のためにパ
ッシブアライメントや無調整実装を考慮した高精度の光
素子と光ファイバの結合構造が重要である。
【0003】従来の光素子と光ファイバの結合構造とし
て、特開平3−39706号公報に記載されているもの
が知られている。光素子と光ファイバは、V溝基板に配
列されて光結合されている。V溝基板は、ガラス基板を
ダイシング加工するか、Si基板を異方性エッチング加
工することにより形成する。V溝は、幅が一定で、突起
ピッチ250μm(突起2列)、溝深さ177μmであ
る。光素子には、V溝基板の突起と嵌合するためのV溝
が発光領域を中心に2列形成されている。深さは、74
μmである。光素子は、基板へ接着剤で固定する。光素
子の2つの電極は、リード線により電気的接続が行われ
る。光ファイバは、コア径50μm、外径125μmで
ある。光ファイバは、端面と光素子との間隔調整後、樹
脂または、低融点ガラスにより固定される。
【0004】従来の光素子と光ファイバとの光結合を行
う光モジュールは、信学技報OPE94-39(1994-08)に記載
されているものが知られている。
【0005】モジュールは、11×7.6×3mmのセ
ラミックパッケージから成る。光ファイバは、ガラスフ
ェルールに搭載され、ファイバ先端がフェルールから突
き出している。光素子は、Si基板のV溝に配置された
光ファイバと光結合されている。気密工程では、パッケ
ージにファイバフェルールを搭載固定後、フタをかぶ
せ、その隙間を樹脂封止している。フェルールの固定
は、パッケージ側壁のブロックのみで行っている。
【0006】上記光モジュールとファイバコネクタとの
光結合は、コネクタに内蔵したスリーブにモジュールに
搭載したフェルールを挿入して完了する。
【0007】ファイバコネクタは、モジュールへコネク
タ側のクリップによりプッシュオン接続される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の光素子と光
ファイバの結合構造には以下の問題があった。
【0009】(1)アライメント方法における生産性につ
いての配慮が足りなかった。一般に、アクティブアライ
メントは、光素子をワイヤ配線後チャックで保持し光素
子を駆動させながら光ファイバと位置を合わせ、光量ピ
ーク位置で固定する。光素子からの配線は手作業とな
る。この工程を1つの素子毎に行う必要があり、アライ
メントにおける生産性が悪い。
【0010】(2)光軸方向の位置合わせにおける生産性
についての配慮が足りなかった。一般に、光素子の光軸
方向の位置合わせには、TVカメラによる画像位置合わ
せを用いる。光素子端面と光ファイバ端面との距離を測
定しながら距離の調整をマニュアルで行う。また、光フ
ァイバは透明体のため光を透過する。その結果、反射光
を画像として取り込むTVカメラは、認識が困難となり
位置合わせに時間を要し、光軸方向の位置合わせにおけ
る生産性が悪い。
【0011】(3)光ファイバの固定における精度につい
ての配慮が足りなかった。光ファイバの固定に低融点ガ
ラスや樹脂を用いている。低融点ガラスを用いた固定
は、V溝とファイバを仮押さえし隙間に低融点ガラスを
注入後ファイバを押さえ板で押さえなおし加熱して行
う。しかし、押さえなおす際、ファイバに浮きが発生し
V溝とファイバの接していた部分に低融点ガラスの粒子
が入り込む。低融点ガラスの粒子は大きいためファイバ
は当初の位置から粒子の大きさ分ずれる。また、樹脂固
定では、一般に、位置合わせ時と固定後の位置にずれが
生じる。すなわち、光ファイバの固定における精度が悪
い。このずれは、樹脂キュア時に発生する収縮によるも
ので収縮が均等に行われないことにより生じる。
【0012】(4)光素子の接続構造における放熱につい
ての配慮が足りなかった。光素子の基板への固定に接着
剤を用いている。また、基板と光素子の接触面積が非常
に小さい。光素子の発熱源である発光領域が基板から浮
いた状態であり熱の逃げ道が光素子V溝面だけと小さ
く、光素子の接続構造における放熱効率が悪い。そのた
め、光素子の発光領域では温度が上昇し光出力が劣化す
る。
【0013】さらに、上記従来の光モジュールには以下
の問題があった。
【0014】(1)パッケージへのフェルール接続強度の
信頼性について配慮が足りなかった。ガイドによりモジ
ュールに固定されているフェルールは、フェルール長に
よる外部からのモーメント力が固定部に集中するため、
フェルール接続強度の安定性が求められるが、上記光モ
ジュールはフェルール固定部の接続面積が非常に小さい
ため、強度が弱く、また、外力によるフェルールの微動
により、フェルールから突出しているファイバ芯線の破
壊が発生するなど、パッケージへのフェルール接続強度
の信頼性が低い。
【0015】(2)光モジュールの挿抜作業性について配
慮が足りなかった。光モジュールにファイバコネクタ挿
入用のガイドがないため、挿入する場合、スリーブとフ
ェルールが噛み合うまでに時間がかかる。また、抜き取
りの場合、クリップを押さえてロックを解除しなければ
ならず挿技作業性が悪い。
【0016】本発明の目的は、光素子と光ファイバを効
率良く光結合でき、且つ光素子の放熱効率を向上させ、
生産性良く光結合可能な光素子と光ファイバの結合構造
を提供することにある。
【0017】本発明の他の目的は、フェルール接続強度
の信頼性の向上と挿抜作業性の向上が可能なレセプタク
ル型モジュールを提供することにある。
【0018】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、少なくとも2列の台形状の溝を有する少
なくとも1個の光素子と、この光素子に対応した光ファ
イバと、上記光素子と光ファイバを搭載するための基板
と、上記光ファイバを基板に押さえるためのフタを備
え、上記光素子と光ファイバを上記基板に搭載し光結合
させる構造において、上記基板に光素子の溝に対応した
台形状の突起を有する四角錐台の光素子搭載用の穴と光
ファイバ固定用の溝とファイバフェルール搭載用の溝を
設け、上記光素子と光ファイバをそれぞれ上記基板の穴
と溝に嵌合、固定することにより光結合されて成るもの
である。
【0019】また、上記光素子と光ファイバの光軸方向
の間隔は、上記基板の台形状の穴の光軸方向のテーパー
部に光素子の底辺を突き当てることと、上記基板のファ
イバフェルール搭載溝の光軸方向のテーパー部にファイ
バフェルール先端を突き当てることで調整されて成るも
のである。
【0020】さらに、光ファイバ押さえ用溝とファイバ
フェルール保持用溝と光素子接触防止用の穴を有する前
記フタを、前記光ファイバが配置された前記基板に搭載
し、光ファイバ押さえ用溝で光ファイバを押さえ、基板
及びフタの光ファイバ用溝の両サイドに位置する平面部
で固定することにより光結合されて成るものである。
【0021】望ましくは、前記基板および前記フタの光
素子用穴や光ファイバ用溝、ファイバフェルール用溝
は、幅の狭い穴や溝から順番にSiの異方性エッチング
により形成されて成るものである。
【0022】上記他の目的を達成するため、本発明は、
光素子と光ファイバの結合構造を樹脂で覆って成形した
サブモジュールと、サブモジュールと光ファイバを結合
させるためのレセプタクルと、光ファイバコネクタとか
ら構成され、サブモジュールとレセプタクル、レセプタ
クルと光ファイバコネクタが、それぞれ挿抜可能に形成
されて成るものである。
【0023】
【作用】上記手段によれば、基板に光素子の溝に対応し
た台形状の突起を有する四角錐台の光素子搭載用の穴と
光ファイバ固定用の溝とファイバフェルール搭載用の溝
を設け、前記光素子と光ファイバをそれぞれ前記基板の
穴と溝に嵌合、固定することにより、精度良く光結合で
きるので、光素子1個毎に行っていたアクティブアライ
メントが必要なくなり、光素子と光ファイバのアライメ
ントにおける生産性が向上する。また、基板の四角錐台
の穴に光素子を固定することにより、基板への接面が光
素子の溝だけでなく底面でも接することができるので、
基板と光素子の接触面積が増加し、放熱効率が向上する
また、光素子と光ファイバの光軸方向の間隔は前記基板
の台形状の穴の光軸方向のテーパー部に光素子の底辺を
突き当てることと、前記基板のファイバフェルール搭載
溝の光軸方向のテーパー部にファイバフェルール先端を
突き当てることにより、光軸方向の調整が不要となり、
TVカメラで認識が困難な透明な光ファイバ先端を画像
位置合わせの必要がなく、位置合わせに時間がかからな
いためアライメントの生産性が向上する。
【0024】さらに、光ファイバ押さえ用溝とファイバ
フェルール保持用溝と光素子接触防止用の穴を有する前
記フタを、前記光ファイバが配置された前記基板に搭載
し、光ファイバ押さえ用溝で光ファイバを押さえ、基板
及びフタの光ファイバ用溝の両サイドに位置する平面部
で固定することにより、ファイバがV溝から浮かないよ
うにしたのでV溝とファイバの接していた部分に低融点
ガラスの粒子が入り込まなくなり、光素子と光ファイバ
が精度良く光結合される。
【0025】望ましくは、前記基板および前記フタの光
素子用穴や光ファイバ用溝、ファイバフェルール用溝
は、幅の狭い穴や溝から順番にSiの異方性エッチング
により、エッチング量の違う溝同士を同時にエッチング
することがなくなり、各溝穴を所定のエッチング量に制
御できる。かつSi結晶(111)面のエッチングレー
トが遅いことからオーバーエッチングを制御でき溝を高
精度で加工できる。
【0026】サブモジュールとレセプタクル、レセプタ
クルと光ファイバコネクタが、それぞれ挿抜可能にする
ことにより、サブモジュールとレセプタクル、光ファイ
バコネクタを別々の工程で加工できるので、それぞれの
課題を別々に取り入れた構造にできるため加工効率が向
上する。また、フェルールをサブモジュールへ埋め込む
構造にしていることとスリーブをレセプタクルで押さえ
る構造にしているため、フェルール固定部への応力集中
を緩和でき接続強度を低下させることはない。
【0027】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面により説明す
る。
【0028】図1は本発明による第1実施例の光素子と
光ファイバの結合構造の分解斜視図である。図2(a)
は本発明による第1実施例の光素子と光ファイバの結合
構造の断面図である。図2(b)は本発明による第1実
施例の光素子と基板との嵌合部の断面図である。図1及
び図2において、光素子と光ファイバの結合構造101
は、光素子102と、光ファイバ103を搭載したファ
イバフェルール104と、基板105と、フタ106と
を備えている。光素子102は、基板105上に形成さ
れている台形状の突起120を有する四角錐台の光素子
搭載用の穴110に嵌合され、半田(1)107により
固定されている。光ファイバ103は、基板105とフ
タ106上に形成されている光ファイバ固定用の溝11
1に嵌合され、半田(2)108により固定されてい
る。ファイバフェルール104は、基板105とフタ1
06上に形成されているファイバフェルール搭載用の溝
112に嵌合され、樹脂109により、封止固定されて
いる。光素子102と光ファイバ103は、基板105
上の溝110、111に嵌合され光結合されている。光
素子102の底辺は、基板105の光素子搭載用溝11
0のテーパ部(1)113に接している。ファイバフェ
ルール104は、基板105のテーパ部(2)114に
接している。光素子受発光部118は、光ファイバ10
3の中心と一致している。
【0029】光素子102は、大きさが0.6×0.4
×0.1mmである。発振波長1.3μmのInP系レ
ーザダイオード、またはInGaAs系pin型ホトダ
イオードから成る。レーザダイオードの出射角度は、水
平垂直約40゜である。基板嵌合用の溝119は、光素
子の0.4mm方向に2列の溝の間隔350μmで深さ
20μm、溝の開口幅は78μm低面の幅は50μmで
形成されている。
【0030】光ファイバ103は、コア径10μm、外
径125μmの単一モードファイバである。
【0031】ファイバフェルール104は、外径1.2
5mmのジルコニア製である。光ファイバ搭載用の穴径
は、126μmである。フェルールの端面は、PC研磨
加工が施されている。
【0032】基板105は、Si製で大きさは、11×
7.5×1.5mmである。光素子搭載用の穴110
は、開口が1×0.6mmの大きさで深さ25μmであ
る。穴内の2列の突起120は間隔362μmで突起の
頂点の幅は45μmである。光ファイバ搭載用の溝11
1は、幅155μm、深さ108μmである。ファイバ
フェルール搭載用の溝112は、幅1.55mm、深さ
0.8mmである。光素子搭載用の穴110周辺には、
光素子駆動用の電極がAu/Ni/Tiの蒸着により形
成されている。さらにその上にSiO2膜が形成されて
いる。光ファイバ搭載用の溝111の両サイドには、A
u/Ni/Tiを蒸着により形成した後、フタ固定用の
半田(2)108が形成されている。また、光素子搭載
用穴110内には、光素子固定用の半田(1)107が
形成されている。
【0033】フタ106は、Si製で大きさは、8×
4.5×1.5mmである。光素子接触防止用穴115
は、開口が2×1.2mmの大きさで深さ400μmで
ある。光ファイバ固定用の溝116は、幅145μm、
深さ102μmである。ファイバフェルール固定用の溝
117は、幅1.55mm、深さ0.8mmである。光
ファイバ固定用の溝116の両サイドには、半田固定用
のAu/Ni/Tiの蒸着により形成されている。
【0034】半田(1)107は、厚さ10μmのPb
4−6Snから成る。
【0035】半田(2)108は、厚さ10μmのAu
80−20Snから成る。
【0036】樹脂109は、吸水率0.1%で引っ張り
せん断強度が200〜300kg/cm2のエポキシ系から成
る。
【0037】本第1実施例の光素子と光ファイバの結合
構造における基板105のV溝作成方法を説明する。V
溝は、光ファイバ搭載用の溝111、光素子搭載用の穴
110、ファイバフェルール搭載用の溝112の順で加
工する。まず、Si基板(100面)を熱酸化しSiO
2膜を形成させる。次に、ホトリソグラフィとSiO2膜
のエッチングにより光ファイバ搭載用のSiエッチング
マスクパターンを形成後、それをマスクとしてSiをK
OH水溶液によりエッチングする。そして、上記同様に
SiO2熱酸化膜の形成とSiのKOH水溶液によるエ
ッチングを繰り返し、光素子搭載用の穴110とファイ
バフェルール搭載用の溝112を加工する。また、フタ
106も上記同様に光ファイバ固定用の溝116、光素
子接触防止用の穴115、ファイバフェルール固定用の
溝117の順で加工する。
【0038】本第1実施例の光素子と光ファイバの結合
構造の作成方法を図3(a)を用いて説明する。まず、
ステップ31で、基板105とフタ106を前記作成方
法によりエッチング加工する。ステップ32で、光素子
の嵌合用溝119が基板の光素子搭載用の穴110の光
素子嵌合用突起120と嵌合され半田固定される。
【0039】ステップ33で、光ファイバフェルール1
04と光ファイバ103をそれぞれ基板の嵌合用溝11
2、111に配置する。ステップ34で、光素子駆動用
のワイヤ配線後、ファイバ固定用のフタ106を基板上
にかぶせ、ファイバを押さえながら半田固定する。最後
に、ステップ35で、N2ガスチャンバ内で基板105
とフタ106の隙間を樹脂109により気密封止し完成
する。
【0040】本第1実施例によれば、基板に光素子の溝
に対応した台形状の突起を有する四角錐台の光素子搭載
用の穴と光ファイバ固定用の溝とファイバフェルール搭
載用の溝を設け、前記嵌合溝を有する光素子と光ファイ
バをそれぞれ前記基板の穴と溝に嵌合させ光素子と光フ
ァイバを光結合することにより、光素子を発光させずに
光ファイバの位置調整ができ、アクティブアライメント
に比較し、光素子を発光させて位置調整を行う時間を削
除できるため、生産コストを低減できる。
【0041】また、基板の四角錐台の光素子搭載用の穴
内に配置された台形状の突起と光素子の台形状の嵌合溝
を嵌合、固定することにより、基板への接面が光素子の
溝だけでなく台形状の溝と突起の底面と頂点同士でも接
するようにできるので、基板と光素子の接触面積を3.
5〜4倍に増加して熱の逃げ道を確保でき、その結果、
光素子の光出力劣化を防止できる。
【0042】また、光素子と光ファイバの光軸方向の間
隔は前記基板の台形状の穴の光軸方向のテーパー部の高
さ15μmの位置に光素子の底辺を突き当てることと、
前記基板のファイバフェルール搭載溝(溝長さ2.08
mm)の光軸方向のテーパー部にファイバフェルール先
端を突き当てることにより、光ファイバ(ファイバ長さ
2.5mm)の先端と光素子の端面との距離を目標間隔
の30μmに配置できるので光軸方向の調整が不要とな
り、TVカメラで認識が困難な透明な光ファイバ先端を
画像位置合わせなしに短時間で位置合わせできる。
【0043】さらに、前記フタに光ファイバ押さえ用溝
とファイバフェルール保持用溝と光素子接触防止用の穴
を形成し、前記基板に搭載された前記光ファイバ上に前
記フタを覆いかぶせ、光ファイバ押さえ用溝で押さえな
がら基板及びフタの平面部で厚さ10μmの半田で固定
することにより、V溝とファイバの接している部分に接
続媒体が入り込まないようにできる。また、固定する
際、フタがファイバを基板に押さえつける方向に半田が
熱収縮するため光素子とファイバの光軸のずれが発生す
ることなく光ファイバを精度良く固定できる。
【0044】望ましくは、前記基板の光素子搭載用穴
(開口が1×0.6mm、深さ25μm)、光ファイバ搭
載用溝(幅155μm、深さ108μm)やファイバフェ
ルール搭載用溝(幅1.55mm、深さ0.8mm)は、
幅の狭い穴や溝から順番にSiの異方性エッチング加工
により、エッチング量の違う溝同士を同時にエッチング
することがないため、各溝穴の所定のエッチング量に制
御できる。かつSi結晶(111)面のエッチングレー
トが遅いことからオーバーエッチングを制御でき溝を±
2μmの精度で加工できる。
【0045】上記第1実施例によれば、光素子と光ファ
イバを効率良く光結合でき、且つ光素子の放熱効率を向
上させ、生産性良く光結合させる効果がある。
【0046】図4は本発明による第2実施例の光素子と
光ファイバの結合構造の分解斜視図である。図4におい
て、光素子と光ファイバの結合構造201は、光素子ア
レイ202と、光ファイバアレイ203を搭載したファ
イバフェルール204と、基板205と、フタ206と
を備えている。光素子アレイ202は、基板205上に
形成されている台形状の突起220を有する四角錐台の
光素子搭載用の穴210に嵌合され、半田(1)207
により固定されている。光ファイバアレイ203は、基
板205とフタ206上に形成されている光ファイバ固
定用の溝211に嵌合され、半田(2)208により固
定されている。ファイバフェルール204は、基板20
5とフタ206上に形成されているファイバフェルール
搭載用の溝212に嵌合され、樹脂封止固定されてい
る。光素子アレイ202と光ファイバアレイ203は、
基板205上の溝に嵌合され光結合されている。光素子
アレイ202の底辺は、基板205の光素子搭載用溝2
10のテーパ部(1)213に接している。ファイバフ
ェルール204は、基板205のファイバフェルール搭
載用溝212のテーパ部(2)214に接している。
【0047】光素子と光ファイバの結合構造201の各
部品は、基本的に第1実施例と同じである。
【0048】光素子アレイ202は、アレイ間隔250
μmで大きさが1.0×0.3×0.1mmである。基
板嵌合用の溝219は、光素子の0.3mm方向に2列
の溝の間隔500μmで深さ20μm、溝の開口幅は7
8μm底面の幅は50μmで形成されている。
【0049】ファイバフェルール204は、1.5×1
2.5×0.5mmのジルコニア製である。光ファイバ
搭載用の溝211は、アレイ間隔250μmで、幅15
0μmである。フェルールの端面は、ファイバ搭載後研
磨加工が施されている。
【0050】基板205は、Si製で大きさは、11×
7.5×1.0mmである。光素子搭載用の穴210
は、開口が1.4×0.4mmの大きさで深さ25μm
である。穴内の2列の突起220は間隔512μmで突
起の頂点の幅は45μmである。光ファイバ搭載用の溝
211は、アレイ間隔250μmで、幅155μm、深
さ108μmである。ファイバフェルール搭載用の溝2
12は、幅1.6mm、深さ0.5mmである。光ファ
イバ搭載用の溝211の両サイドには、Au/Ni/T
iを蒸着により形成した後、フタ固定用の半田(2)2
08が形成されている。また、光素子搭載用穴210内
には、光素子固定用の半田(1)207が形成されてい
る。
【0051】フタ206は、Si製で大きさは、8×
4.5×1.5mmである。
【0052】上記第2実施例によれば、光ファイバをV
溝を有するジルコニア製のフェルールと基板形成したフ
ァイバ固定用の溝に配置し、ファイバ押さえ用の溝を有
するフタで押さえることで±1μmの精度で配列でき
る。
【0053】上記第2実施例によれば、第1実施例の効
果に加え、並列光素子と光ファイバにおいても同様の効
果が得られる。
【0054】図5(a)と(b)は本発明による第3実
施例の光素子と光ファイバの結合構造を用いた光モジュ
ールの平面断面図と側面断面図である。図5において、
光素子と光ファイバの結合構造301は、光素子302
と、光ファイバフェルール303と、基板304と、フ
タ305とを備えている。光素子と光ファイバの結合構
造301は、樹脂306によりモールドされサブモジュ
ール307を構成している。サブモジュール307は、
レセプタクル308をツメ312により接続固定できる
構造である。サブモジュール307の光ファイバフェル
ール303と光ファイバコネクタ310とはレセプタク
ル308内のスリーブ309により調芯され光結合され
ている。
【0055】光素子と光ファイバの結合構造301は、
第1実施例の光素子と光ファイバの結合構造とほぼ同じ
である。
【0056】サブモジュール307は、光素子と光ファ
イバの結合構造301に光素子駆動用の外部信号取り出
し端子311を予め搭載固定後、モールド樹脂成形して
成る。
【0057】レセプタクル308は、スリーブ309を
ファイバフェルール303へ挿入押さえるためのストッ
パ(1)313と光ファイバコネクタ310を挿入固定
するためのラッチ314を備えている。
【0058】ファイバコネクタ310は、レセプタクル
308へ挿入固定するためのストッパ(2)315と着
脱機構316を設けている。
【0059】本第3実施例の光素子モジュールの実装プ
ロセスを、図6を用いて説明する。
【0060】まず、ステップ61で、図3に示す工程に
より、光素子302と光ファイバフェルール303を光
結合させる。
【0061】ステップ62で、光素子と光ファイバの結
合構造301に光素子駆動用の外部信号取り出し端子3
11を予め搭載固定後、モールド樹脂成形しサブモジュ
ール307を形成する。
【0062】ステップ63で、サブモジュール307か
ら突き出ているファイバフェルール303にスリーブ3
09を挿入する。
【0063】ステップ64で、サブモジュール307に
レセプタクル308を接続しスリーブ309を固定す
る。
【0064】最後に、ステップ65で、レセプタクル3
08に光ファイバコネクタ310を挿入接続することで
光素子302ー光ファイバフェルール303ー光ファイ
バコネクタ310の光結合が完了する。
【0065】本第3実施例によれば以下の効果がある。
【0066】(a) 前記第1実施例に加え、サブモジュー
ルとレセプタクル、レセプタクルと光ファイバコネクタ
が、それぞれ挿抜可能にすることで、レセプタクルの金
型をサブモジュール結合方向に抜けるように製作できる
ので、レセプタクルのファイバロック機構の成形が容易
になる。また、ファイバフェルールをサブモジュールに
埋め込む構造にしていることとスリーブをレセプタクル
で押さえる構造にしているため、光ファイバコネクタの
挿入によるモーメント力が働いてもフェルール取付部へ
の応力を分散できるため、接続強度を確保できる。さら
に、サブモジュールへのレセプタクルの挿入はツメの嵌
合により容易に接続できる。そして、レセプタクル内の
スリーブへの光ファイバコネクタの挿入も案内溝が設け
られているため、容易に行うことができる。
【0067】(b) 前記第1実施例に加え、フェルール接
続強度を向上させ、且つモジュールの取扱いが容易でコ
ネクタ挿抜作業時間を短縮できる。
【0068】
【発明の効果】本発明によれば以下の効果がある。
【0069】(1)基板に光素子の溝に対応した台形状の
突起を有する四角錐台の光素子搭載用の穴と光ファイバ
固定用の溝とファイバフェルール搭載用の溝を設け、光
素子と光ファイバをそれぞれ基板の穴と溝に嵌合、固定
することにより、アライメント時間の短縮が図れる。ま
た、基板の四角錐台の穴に光素子を固定することによ
り、光出力の低下防止が図れる。
【0070】(2)光素子と光ファイバの光軸方向の間隔
は基板の台形状の穴の光軸方向のテーパー部に光素子の
底辺を突き当てることと、基板のファイバフェルール搭
載溝の光軸方向のテーパー部にファイバフェルール先端
を突き当てることにより、アライメント時間の短縮が図
れる。
【0071】(3)光ファイバが配置された基板とフタの
光ファイバ押さえ用溝で光ファイバを押さえ、基板及び
フタの光ファイバ用溝の両サイドに位置する平面部で固
定することにより、光結合効率の低下防止が図れる。
【0072】(4)基板およびフタの光素子用穴や光ファ
イバ用溝、ファイバフェルール用溝は、幅の狭い穴や溝
から順番にSiを異方性エッチングすることにより、光
結合効率の低下防止が図れる。
【0073】(5)サブモジュールとレセプタクル、レセ
プタクルと光ファイバコネクタが、それぞれ挿抜可能に
することにより、部品コストの低減が図れる。また、フ
ァイバフェルールをサブモジュールに埋め込む構造にす
ることにより、フェルール接続強度の低下防止が図れ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示す光素子と光ファイバ
の結合構造の分解斜視図。
【図2】本発明の第1実施例を示す光素子と光ファイバ
の結合構造の断面図。
【図3】本発明の第1実施例による光素子と光ファイバ
の結合構造作成手順の説明図。
【図4】本発明の第2実施例を示す光素子と光ファイバ
の結合構造の分解斜視図。
【図5】本発明の第3実施例を示す光素子と光ファイバ
の結合構造の断面図。
【図6】本発明の第3実施例による光素子モジュールの
実装プロセスの説明図。
【符号の説明】
101、201、301…光素子と光ファイバの結合構
造、102、302…光素子、103…光ファイバ、1
04、204、303…ファイバフェルール、105、
205、304…基板、106、206、305…フ
タ、107、207…半田(1)、108、208…半
田(2)、109…樹脂、110、210…光素子搭載
用穴、111、211…光ファイバ搭載用溝、112、
212…光ファイバフェルール搭載用溝、113、21
3…テーパ部(1)、114、214…テーパ部
(2)、115…光素子接触防止用穴、115…光ファ
イバ固定用溝、117…光ファイバフェルール搭載用
溝、118…光素子受発光部、119、219…光素子
の嵌合用溝、120、220…光素子嵌合用突起、20
2…光素子アレイ、203…光ファイバアレイ、306
…モールド樹脂、307…サブモジュール、308…レ
セプタクル、309…スリーブ、310…光ファイバコ
ネクタ、311…端子、312…ツメ、313…ストッ
パ(1)、314…ラッチ、315…ストッパ(2)、
316…着脱機能。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】少なくとも2列の台形状の溝を有する少な
    くとも1個の光素子と、該光素子に対応した光ファイバ
    と、前記光素子と光ファイバを搭載するための基板と、
    前記光ファイバを基板に押さえるためのフタを備え、前
    記光素子と光ファイバを前記基板上に搭載し光結合させ
    る構造であって、前記基板に光素子の溝に対応した台形
    状の突起を有する四角錐台の光素子搭載用の穴と光ファ
    イバ固定用の溝とファイバフェルール搭載用の溝を設
    け、前記光素子と光ファイバをそれぞれ前記基板の穴と
    溝に嵌合、固定することにより光結合されて成ることを
    特徴とする光素子と光ファイバの結合構造。
  2. 【請求項2】前記光素子と光ファイバの光軸方向の間隔
    は、前記基板の台形状の穴の光軸方向のテーパー部に光
    素子の底辺を突き当てることと、前記基板のファイバフ
    ェルール搭載溝の光軸方向のテーパー部にファイバフェ
    ルール先端を突き当てることで調整される請求項1記載
    の光素子と光ファイバの結合構造。
  3. 【請求項3】前記フタは光ファイバ押さえ用溝とファイ
    バフェルール保持用溝と光素子接触防止用の穴を有し、
    前記光ファイバが配置された前記基板に搭載され、光フ
    ァイバ押さえ用溝で光ファイバを押さえ、基板及びフタ
    の光ファイバ用溝の両サイドに位置する平面部で該基板
    に固定される請求項1記載の光素子と光ファイバの結合
    構造。
  4. 【請求項4】前記基板と前記フタの光素子用穴、光ファ
    イバ用溝、およびファイバフェルール用溝は、幅の狭い
    穴および溝から順番にSiの異方性エッチングにより形
    成される請求項1記載の光素子と光ファイバの結合構
    造。
  5. 【請求項5】請求項1記載の光素子と光ファイバの結合
    構造を用いた光モジュールであって、光素子と光ファイ
    バの結合構造を樹脂で覆って成形したサブモジュール
    と、サブモジュールと光ファイバを結合させるためのレ
    セプタクルと、光ファイバコネクタから構成され、サブ
    モジュールとレセプタクル、レセプタクルと光ファイバ
    コネクタが、それぞれ挿抜可能であることを特徴とする
    光モジュール。
JP14159395A 1995-06-08 1995-06-08 光素子と光ファイバの結合構造及び光モジュール Pending JPH08334650A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14159395A JPH08334650A (ja) 1995-06-08 1995-06-08 光素子と光ファイバの結合構造及び光モジュール

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14159395A JPH08334650A (ja) 1995-06-08 1995-06-08 光素子と光ファイバの結合構造及び光モジュール

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08334650A true JPH08334650A (ja) 1996-12-17

Family

ID=15295621

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14159395A Pending JPH08334650A (ja) 1995-06-08 1995-06-08 光素子と光ファイバの結合構造及び光モジュール

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH08334650A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1195069A (ja) * 1997-09-16 1999-04-09 Kyocera Corp 光半導体素子収納用パッケージ
JP2016500840A (ja) * 2013-03-27 2016-01-14 オプティシス カンパニー リミテッド 光コネクタ
WO2021098266A1 (zh) * 2019-11-19 2021-05-27 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 一种边耦合光电器件封装结构及其制备方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1195069A (ja) * 1997-09-16 1999-04-09 Kyocera Corp 光半導体素子収納用パッケージ
JP2016500840A (ja) * 2013-03-27 2016-01-14 オプティシス カンパニー リミテッド 光コネクタ
EP2980621A4 (en) * 2013-03-27 2016-11-16 Opticis Co Ltd OPTICAL CONNECTOR
WO2021098266A1 (zh) * 2019-11-19 2021-05-27 华进半导体封装先导技术研发中心有限公司 一种边耦合光电器件封装结构及其制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5737467A (en) Resin molded optical assembly
US5909523A (en) Optical module and method of fabricating optical module
US6994479B2 (en) Substrate, optical fiber connection end member, optical element housing member, and method of fabrication of an optical module and the substrate
US4779946A (en) Microminiature optical assembly
US6912332B2 (en) Parallel optical interconnection module and method for manufacturing the same
US6071017A (en) Optical package with alignment means and method of assembling an optical package
JP3628039B2 (ja) 光結合素子およびその製造方法
JP3403306B2 (ja) 光モジュール
US20040101020A1 (en) Packaging and passive alignment of light source to single mode fiber using microlens and precision ferrule
JP4004957B2 (ja) ウエハスケール光ファイバターミネーション
JPH07249798A (ja) 光部品固定装置及びその製造方法
US20070041685A1 (en) Fiber optic transceiver module, manufacturing method thereof, and electronic equipment
JP4532688B2 (ja) 面型光素子を備えた装置
CN110573920B (zh) 光子组件及其制造方法
JP3168297B2 (ja) 光学素子取り付け方法
JPH1039162A (ja) 光半導体装置並びに半導体受光素子および光ファイバーの形成方法
KR19980045943A (ko) 하이브리드 광집적회로용 마이크로 거울, 그의 제조방법, 마이크로 거울-광검출기 어셈블리 및 광수신용 하이브리드 광집적회로 어셈블리
JPH08334650A (ja) 光素子と光ファイバの結合構造及び光モジュール
JP4886112B2 (ja) 面型光素子と光ファイバを有する装置
JPH08110446A (ja) 光伝送モジュール
US20230130045A1 (en) Detachable connector for co-packaged optics
JPH09152527A (ja) 光モジュール
JP4125180B2 (ja) 光モジュール、光モジュールの製造方法、光送受信システム
JPH10268166A (ja) 光モジュール
JPH0595123A (ja) 光受信モジユール