JPH11237295A - 連成圧計、移動装置、密着確認装置、及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 配置スペースの増加を抑止でき、特に多くの
連成圧計を同時に監視する場合においても、比較的遠い
距離からの視認性が高い連成圧計、並びにこの連成圧計
を具備した移動装置，密着確認装置，及び液体噴射装置
を提供する。 【解決手段】 測定した圧力の値を表示する圧力値表示
部４として、例えば赤色，緑色等の複数色に発光可能な
７セグメントＬＥＤを用いるとともに、圧力に対する閾
値（設定値）を設定しておき、設定された閾値を境とし
て異なる色に７セグメントＬＥＤを発光させるマイクロ
コンピュータ３を備える構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体の圧力を測定
する連成圧計、並びにこの連成圧計を具備した移動装
置，密着確認装置，及び液体噴射装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】流体の圧力を測定する電子式の圧力計
は、流体の圧力変化をその内部に設けられた感圧素子に
て電気信号に変換し、変換した電気信号の大きさに基づ
いて圧力値を表示させるものであり、従来から多く用い
られてきたブルドン管式（又は機械式）の圧力計に比べ
て精度，寿命，応答性等において優れているため、最近
ではその利用が高まっている。

【０００３】特に、空気を測定媒体とする圧力計は、比
較的軽量な物品を吸着して移動する移動装置における吸
着確認，製造ラインの各ステーションにおける比較的軽
量な物品の着座確認，溶融樹脂等を噴射・塗布するディ
スペンサにおけるノズル口の吐出不良（つまり）確認，
空気の圧力伝達系における微小な漏れを検出するリーク
テスト，及び対象装置に入力される空気の圧力、所謂
「元圧」が所定圧であるか否かを確認する等の比較的微
妙な圧力変動を測定するために用いられる。

【０００４】このような圧力計は、圧力を検出してアナ
ログの電気信号に変換する検出変換部と、変換されたア
ナログの電気信号に基づいて実際の圧力値を演算する演
算制御部と、演算された圧力値を表示する圧力値表示器
とから構成されている。

【０００５】検出変換部は、有底筒状のケース内に設け
られたダイヤフラム状に形成された感圧素子からなり、
感圧素子は、シリコン製又はステンレス製の板体たるダ
イヤフラム，このダイヤフラムに形成された歪み抵抗等
から構成され、ダイヤフラムの変形（たわみ）を歪み抵
抗の抵抗値の変化に応じたアナログの電気信号に変換す
る。

【０００６】通常の圧力計では、ダイヤフラムが一方向
への歪みに対してのみ歪み量の直線的な変動を保証さ
れ、大気圧を基準とした正圧又は負圧の何れかの検出が
可能なのに対し、両方向への歪みに対して歪み量の直線
的な変動を保証されたダイヤフラムの開発に伴って、大
気圧を基準とした正圧及び負圧の両方、所謂連成圧の検
出が可能な連成圧計が実用化されている。

【０００７】一方、演算制御部は、１チップのマイクロ
コンピュータ等から構成され、圧力検出部で変換された
アナログの電気信号を、Ａ／Ｄ変換し、実際の圧力値を
演算し、演算した圧力値を圧力値表示器に出力する。圧
力値表示器は、複数桁の数値を表示可能な７セグメント
ＬＥＤ等から構成され、演算制御部で演算された圧力値
を表示する。

【０００８】特に最近では、連成圧計を構成する検出変
換部及び演算制御部が一辺３０ｍｍ程度の箱形のケース
内に収納され、このケースの一側面に圧力値表示器，閾
値の設定キー等を具備したパネルを設けたような小型の
一体型の連成圧計が実用化されているが、一方で、検出
された圧力が予め設定された閾値を越えているか、又は
下回っているかを表示させることが要求されている。

【０００９】この要求に伴い、演算制御部のケース側面
に緑色，赤色等の豆電球状のＬＥＤを設け、圧力が閾値
を越えている間、又は閾値を下回っている間、このＬＥ
Ｄを点灯させるような連成圧計が開発されており、これ
によれば、圧力が閾値を越えているか、又は下回ってい
るかが圧力値表示器を見ることなしに視覚的に容易に判
別できるようになっている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述の如く
豆電球状のＬＥＤは、低コスト，低消費電力等の利点が
あるものの、比較的遠い距離からの視認性が低いという
問題があった。特に、例えば製造ラインにおいては、多
くの連成圧計が並設され、各々の連成圧計で測定される
圧力が閾値を越えたか否かを一人の作業者が視認しなく
てはならないことがある場合に、また前述の如く圧力が
短時間に且つ頻繁に閾値を跨ぐような状態（チャタリン
グ）に伴って、ＬＥＤの点灯・点滅が繰り返される場合
に、視認作業は非常に困難となる。

【００１１】この問題を解消するために、例えば豆電球
状のＬＥＤよりも大きい発光体を用いて視認性を向上さ
せることが考えられるが、前述の如き小型の連成圧計に
おいては、圧力値表示器，設定キー等の他にこのような
大きい発光体をパネルに配置するには限界がある。

【００１２】本発明は斯かる事情に鑑みてなされたもの
であり、測定した圧力の値を表示する圧力値表示器とし
て複数色に発光可能なものを用い、設定された閾値を境
界として異なる色に発光させることにより、配置スペー
スの増加を抑止でき、特に多くの連成圧計を同時に監視
する場合においても、またチャタリングの状態の場合に
おいても、比較的遠い距離からの視認性が高い連成圧
計、並びにこの連成圧計を具備した移動装置，密着確認
装置，及び液体噴射装置を提供することを目的とする。

【００１３】

【課題を解決するための手段】第１発明に係る連成圧計
は、流体の圧力変化に応じて変形する板体の変形量に基
づいて流体の圧力を測定する連成圧計において、測定し
た前記圧力の値を表示し、複数色に発光可能な圧力値表
示器と、前記圧力の閾値を設定する閾値設定手段と、該
閾値設定手段に設定された閾値を境として異なる色に前
記圧力値表示器を発光させる発光色切替手段とを備える
ことを特徴とする。

【００１４】第２発明に係る連成圧計は、筐体に内蔵さ
れた、又は前記筐体から分離不可能なように設けられた
板体が流体の圧力変化に応じて変形する量に基づいて流
体の圧力を測定する連成圧計において、前記筐体の外面
に設けられ、測定された前記圧力の値を表示する複数色
に発光可能な圧力値表示器と、前記圧力の閾値を設定す
る閾値設定手段と、前記筐体内に設けられ、前記閾値設
定手段に設定された前記閾値を境として異なる色に前記
圧力値表示器を発光させる発光色切替手段とを備えるこ
とを特徴とする。

【００１５】第３発明に係る移動装置は、ノズルに管を
介して繋げられた圧縮機がノズル内の空気を減圧するこ
とによって物品をノズルに吸着させ、ノズルを移動する
ことによって物品を移動する移動装置において、前記管
内における前記空気の圧力変化に応じて変形する板体の
変形量を電気信号に変換する変換手段と、該変換手段に
変換された電気信号に基づいて空気の圧力の値を表示
し、複数色に発光可能な圧力値表示器と、前記圧力の閾
値を設定する閾値設定手段と、該閾値設定手段に設定さ
れた閾値を境として異なる色に前記圧力値表示器を発光
させる発光色切替手段とを備えることを特徴とする。

【００１６】第４発明に係る移動装置は、第３発明の移
動装置における前記変換手段、前記圧力値表示器、前記
閾値設定手段、及び前記発光色切替手段に代えて、前記
請求項２記載の連成圧計を備えることを特徴とする。

【００１７】第５発明に係る密着確認装置は、物品を密
着すべきノズルに管を介して繋げられた圧縮機がノズル
から空気を噴射し、噴射された空気の圧力に基づいて物
品のノズルへの密着を確認する密着確認装置において、
前記管内における前記空気の圧力変化に応じて変形する
板体の変形量を電気信号に変換する変換手段と、該変換
手段に変換された電気信号に基づいて空気の圧力の値を
表示し、複数色に発光可能な圧力値表示器と、前記圧力
の閾値を設定する閾値設定手段と、該閾値設定手段に設
定された閾値を境として異なる色に前記圧力値表示器を
発光させる発光色切替手段とを備えることを特徴とす
る。

【００１８】第６発明に係る密着確認装置は、第５発明
の密着確認装置における前記変換手段、前記圧力値表示
器、前記閾値設定手段、及び前記発光色切替手段に代え
て、前記請求項２記載の連成圧計を備えることを特徴と
する。

【００１９】第７発明に係る液体噴射装置は、エゼクタ
に管を介して繋げられた圧縮機がエゼクタから空気を駆
動流として噴射することによって液体を２次流として誘
引噴射する液体噴射装置において、前記管内における前
記空気の圧力変化に応じて変形する板体の変形量を電気
信号に変換する変換手段と、該変換手段に変換された電
気信号に基づいて空気の圧力の値を表示し、複数色に発
光可能な圧力値表示器と、前記圧力の閾値を設定する閾
値設定手段と、該閾値設定手段に設定された閾値を境と
して異なる色に前記圧力値表示器を発光させる発光色切
替手段とを備えることを特徴とする。

【００２０】第８発明に係る液体噴射装置は、第７発明
の液体噴射装置における前記変換手段、前記圧力値表示
器、前記閾値設定手段、及び前記発光色切替手段に代え
て、前記請求項２記載の連成圧計を備えることを特徴と
する。

【００２１】第１及び第２発明に係る連成圧計によれ
ば、例えば、従来から圧力値を表示するために用いてい
た単色発光の７セグメントＬＥＤに代えて、複数色に発
光可能な７セグメントＬＥＤを圧力値表示器として用い
るとともに、測定された圧力の閾値を設定しておき、設
定された閾値を境界として異なる色に圧力値表示器を発
光させる構成としたので、圧力が閾値を越えた（又は下
回る）場合に発光させる発光体の配置スペースの増加を
抑止できるばかりでなく、圧力値表示器の圧力値を表示
する機能に加えて、前記ＬＥＤの機能を兼ね備えるた
め、このＬＥＤを不要とすることができる。また、前記
ＬＥＤに比べて大きい圧力値表示器の発光色を切り替え
るので、特に多くの連成圧計を同時に監視する場合にお
いても、またチャタリングの状態の場合においても、比
較的遠い距離からでも容易に視認することができる。

【００２２】第３及び第４発明に係る移動装置によれ
ば、ノズルに管を介して繋げられた圧縮機がノズル内の
空気を減圧することによって物品をノズルに吸着させ、
ノズルを移動することによって物品を移動する移動装置
において、第１発明の連成圧計を具備した構成、具体的
には、管内の空気の圧力変化に応じて変形するダイヤフ
ラム等の板体の変形量から変換された電気信号に基づい
て空気の圧力の値を発光して表示する圧力値表示器を、
設定された閾値を境界として異なる色に圧力値表示器を
発光させる構成、又は第２発明の連成圧計を具備した構
成としたので、移動装置における比較的軽量な物品の吸
着確認後に、物品をノズルから確実に開放すべくノズル
内の空気を短時間だけ加圧する際の、大気圧を基準とし
た負圧から正圧への転換を、特に多くの連成圧計を同時
に監視する場合においても、またチャタリングの状態の
場合においても、比較的遠い距離からでも容易に視認す
ることができる。

【００２３】第５及び第６発明に係る密着確認装置によ
れば、物品を密着すべきノズルに管を介して繋げられた
圧縮機がノズルから空気を噴射し、噴射された前記空気
の圧力に基づいて前記物品の前記ノズルへの密着を確認
する密着確認装置において、第１発明の連成圧計を具備
した構成、具体的には、管内の空気の圧力変化に応じて
変形するダイヤフラム等の板体の変形量から変換された
電気信号に基づいて空気の圧力の値を発光して表示する
圧力値表示器を、設定された閾値を境界として異なる色
に圧力値表示器を発光させる構成、又は第２発明の連成
圧計を具備した構成としたので、比較的軽量な物品の例
えば治具への着座時における短時間の圧力値の上昇を、
特に多くの連成圧計を同時に監視する場合においても、
またチャタリングの状態の場合においても、比較的遠い
距離からでも容易に視認することができる。

【００２４】第７及び第８発明に係る液体噴射装置によ
れば、エゼクタに管を介して繋げられた圧縮機がエゼク
タから空気を駆動流として噴射することによって液体を
２次流として誘引噴射する液体噴射装置において、第１
発明の連成圧計を具備した構成、具体的には、管内の空
気の圧力変化に応じて変形するダイヤフラム等の板体の
変形量から変換された電気信号に基づいて空気の圧力の
値を発光して表示する圧力値表示器を、設定された閾値
を境界として異なる色に圧力値表示器を発光させる構
成、又は第２発明の連成圧計を具備した構成としたの
で、液体噴射装置における液体の噴射後に、液体のエゼ
クタからの漏れ（液滴れ）を確実に防止すべくエゼクタ
の駆動流側を短時間だけ減圧する際の、大気圧を基準と
した正圧から負圧への転換を、特に多くの連成圧計を同
時に監視する場合においても、またチャタリングの状態
の場合においても、比較的遠い距離からでも容易に視認
することができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下本発明をその実施の形態を示
す図面に基づいて詳述する。図１は、本発明に係る連成
圧計の構成を示すブロック図である。

【００２６】図１において、１は圧力を検出する圧力検
出部である。変換手段としての圧力検出部１は、図示し
ない有底筒状のケース内に設けられた板体としてのシリ
コン製又はステンレス製のダイヤフラムと、ダイヤフラ
ムに形成された歪み抵抗とから少なくとも構成され、ダ
イヤフラムの変形（たわみ）を歪み抵抗の抵抗値の変化
に応じてアナログの電気信号に変換することによって圧
力を約１ｍｓのサイクルタイムで検出し、検出結果を圧
力検出部１に接続された増幅部２に与える。

【００２７】なお、圧力検出部１は、ダイヤフラムが大
気圧を基準とした正圧方向及び負圧方向の両方向への歪
みに対して、歪み量が直線的に変動することを保証され
ており、これによって従来から連成圧を検出するために
正圧用・負圧用の２つの圧力計を用いていたのに対し
て、１つの圧力計で連成圧の検出が可能となっている。

【００２８】増幅部２は、増幅回路等から構成され、与
えられたアナログ信号を増幅し、増幅結果を増幅部２に
接続された演算制御部としてのマイクロコンピュータ３
に与えるようになっている。

【００２９】マイクロコンピュータ３は、１チップのマ
イクロコンピュータからなり、Ａ／Ｄ変換部３１，演算
部３２，データ抽出部３３，表示制御部３４，比較部３
５，表示色切替部３６，出力制御部３７等を備えてい
る。

【００３０】Ａ／Ｄ変換部３１は、増幅部２から与えら
れたアナログ信号をディジタル信号に変換（２進化）
し、変換結果を演算部３２に与えるようになっている。
演算部３２は、Ａ／Ｄ変換部３１から与えられたディジ
タル信号に基づいて、実際の圧力値を演算し、演算結果
をデータ抽出部３３と比較部３５とに与えるようになっ
ている。データ抽出部３３は、演算部３２から与えられ
た圧力値をフィルタリングし、後述する圧力値表示器４
での表示サイクルタイムを肉眼で認識可能な約２００ｍ
ｓとするように、検出結果としての圧力値のサンプル数
を減じた後で、この圧力値を表示制御部３４に与えるよ
うになっている。表示制御部３４は、データ抽出部３３
から与えられた圧力値を７セグメントＬＥＤで表示可能
なように変換し、変換結果を圧力値表示器４に与えるよ
うになっている。

【００３１】一方、比較部３５は、演算部３２から与え
られた圧力値を予め図示しない記憶部に記憶された設定
値（閾値）と比較し、圧力値が設定値を越えている（又
は下回っている）場合には、所定の信号を表示色切替部
３６と出力制御部３７とに与えるようになっている。表
示色切替部３６は、比較部３５から与えられた所定の信
号に基づいて、スイッチ５を切り替えるようになってい
る。出力制御部３７は、比較部３５から与えられた所定
の信号に基づいて、ＮＰＮ型のトランジスタ６へ電流を
印加することによって、信号を出力するようになってい
る。

【００３２】圧力値表示器４は、３桁の数字を表示可能
な７セグメントＬＥＤから構成され、スイッチ５の状態
に応じて赤色又は緑色で圧力値を表示するようになって
いる。

【００３３】本発明に係る連成圧計は以上の如き構成と
してあり、通常の圧力検出時には、予め設定された赤色
又は緑色のうちの一方の色で圧力値を表示し、圧力値が
予め設定された設定値を越えている（又は下回ってい
る）場合には、他方の色で圧力値を表示すべく切り替え
ることにより、検出された圧力値が設定値を越えている
（又は下回っている）ことを容易に判別することができ
るようになっている。

【００３４】図２は、本発明に係る連成圧計１００の具
体的な適用例を模式的に示す斜視図であり、連成圧計１
００を電子部品Ｃの吸着移動装置３００に適用した例を
示している。また、図３は、図２における連成圧計１０
０の構成を示す構成図であり、正面図を図３（ａ）に、
側面図を図３（ｂ）に、後面図を図３（ｃ）に夫々示し
てある。

【００３５】図２において、２００は所定のタクトで基
板Ｓを搬送・停止するコンベアであり、基板Ｓを白抜矢
符方向へ搬送している。

【００３６】また、３００は図示しないストッカに蓄積
された半導体，ＬＳＩチップ等の電子部品Ｃを吸着し
て、コンベア２００で搬送される基板Ｓ上へ移動する吸
着移動装置であり、水平方向へ突出して、旋回可能に設
けられたアーム３１０と、アーム３１０の自由端に上下
動可能に設けられたシリンダ３２０とから構成されてい
る。シリンダ３２０の下端には、ノズル状の吸着ヘッド
３２１が設けられている。

【００３７】吸着ヘッド３２１は、連成圧計１００，エ
ゼクタ４１０，電磁バルブの如き２つのバルブ４２１，
４２２等を介して、図示しない電源によって駆動される
圧縮機としてのコンプレッサ４００まで２系統に配管さ
れている。

【００３８】一方の系統の管Ｐは、正圧の空気を排出す
るコンプレッサ４００からエゼクタ４１０，バルブ４２
１等を介して吸着ヘッド３２１に接続され、コンプレッ
サ４００から排出される空気によってエゼクタ４１０で
負圧を生成し、外部からの制御によりバルブ４２１が開
放されるのに伴って、吸着ヘッド３２１から空気を吸引
できるようになっている。

【００３９】他方の系統の管Ｐは、コンプレッサ４００
からエゼクタ４１０を介さずに分岐しており、この分岐
先に接続されたバルブ（破壊バルブ）４２２に対して正
圧の空気を送り出せるようになっている。バルブ４２２
の排出側は、前述のエゼクタ４１０の負圧吸引側に合流
して吸着ヘッド３２１へ接続され、外部からの制御によ
りバルブ４２２が開放されるのに伴って、吸着ヘッド３
２１に正圧の空気を送り出せるようになっている。

【００４０】シリンダ３２０の上部側面には、連成圧計
１００が一体的に設けられており、吸着ヘッド３２１
と、正圧側のバルブ４２２の排出側及びエゼクタ４１０
の負圧吸引側との間の空気圧を測定するようになってい
る。連成圧計１００は、具体的には図３に示す如く、筐
体たる樹脂製の一辺約３０ｍｍの箱形のケース１１０内
に、前述の如き圧力検出部１，増幅部２，マイクロコン
ピュータ３，圧力値表示器４，スイッチ５，トランジス
タ６等を備えている。

【００４１】図３（ａ）に示す如く、このケース１１０
の前面には、圧力値表示器４が一体的に形成されている
ほか、例えば設定値を設定するためのキー等の各種のフ
ァンクションキー１０１が設けられている。また、図３
（ｃ）に示す如く、ケース１１０の後面には、図示しな
いステンレス製の有底筒形のダイヤフラム・シリンダの
開口部１０２が設けられ、このダイヤフラム・シリンダ
内には図示しない板体としてのステンレス製のダイヤフ
ラムを有している。なお、ダイヤフラムはセラミック等
の他の材質を用いる構成とすることもできることは言う
までもない。

【００４２】本発明に係る連成圧計１００の具体的な適
用例は以上の如き構成となっており、その開口部１０２
を吸着ヘッド３２１と、正圧側のバルブ４２２の排出側
及びエゼクタ４１０の負圧吸引側との間の管Ｐに接続さ
れており、吸着移動装置３００のアーム３１０を電子部
品Ｃが蓄積された図示しないストッカまで回転させた後
で、シリンダ３２０を降下させ、負圧側のバルブ４２１
を開放することによって吸着ヘッド３２１を負圧にし、
これによって、図示しないストッカに蓄積された電子部
品Ｃを吸着ヘッド３２１に吸着する。そして、シリンダ
３２０を上昇させた後で、再びアーム３１０を回転さ
せ、コンベア２００上を搬送される基板Ｓの所定箇所
に、吸着されている電子部品Ｃを位置決めし、再びシリ
ンダ３２０を降下させ、負圧側のバルブ４２１を閉鎖す
ることによって電子部品Ｃの吸着を停止させる。

【００４３】この際に、負圧側のバルブ４２１を閉鎖す
ることのみでは、電子部品Ｃの吸着ヘッド３２１からの
分離には至らない場合があるので、正圧側のバルブ４２
２を短時間だけ開放して、若干の正圧を吸着ヘッド３２
１に与える。これによって電子部品Ｃの移動が完了す
る。

【００４４】図４は、図２の如き連成圧計１００の測定
結果を示すグラフであり、横軸には時間を、縦軸には時
間に伴う圧力値の変化を夫々示してある。図４に示す如
く、負圧側のバルブ４２１の開放（ａ点）に伴って急激
に負圧となった後で、コンプレッサ４００の能力に応じ
た負圧の圧力値で安定する（ｂ点）。次いで、電子部品
Ｃが吸着ヘッド３２１に吸着されるのに伴って更に負圧
となり、このとき若干オーバーシュートした後で（ｃ
点）、安定する。そして、負圧側のバルブ４２１の閉鎖
（ｄ点）に続く正圧側のバルブ４２２の短時間の開放に
伴って、圧力値は正圧側に移行し（ｅ点）、直ぐにａ点
における圧力値に戻る（ｆ点）。

【００４５】このように、例えば比較部３５で用いられ
る設定値を、正圧側に移行したｅ点近傍の最大値から若
干低い正圧に設定した場合であって、圧力値表示器４の
通常の表示色を赤色とした場合には、ａ点〜ｅ点の間に
おいては圧力値表示器４に表示される圧力値は赤色で表
示され、一方、ｅ点〜ｄ点の間においては緑色で表示さ
れる。これによって、正圧側のバルブ４２２が正常に動
作したことをユーザが容易に認識することができる。

【００４６】以上の実施の形態において、圧力値表示器
４はＬＥＤによる表示に限るものではないが、前述の如
く７セグメントＬＥＤを用いる場合には、赤色，緑色以
外の発光色を有するＬＥＤを用いる構成とすることもで
き、またこれらの色の組合せ又は同時発光の形態として
もよい。

【００４７】また、図４においては、通常の圧力値の状
態で圧力値表示器４の表示色を赤色に、また設定値を越
えた場合に緑色に変更する構成としたが、これとは逆
に、通常の圧力値の状態で緑色，設定値を越えた場合に
赤色とする構成とすることもできる。

【００４８】また、例えば比較部３５を複数個設けるこ
とによって、複数の設定値を設け、各設定値を越える場
合に、各設定値に応じた表示色で圧力値表示器４に圧力
値を表示する構成とすることもできる。

【００４９】さらに、吸着移動装置３００は移動装置の
一構成例として示したが、例えば、製造ラインの各ステ
ーションにおける比較的軽量な物品の着座確認，溶融樹
脂等を噴射・塗布するディスペンサにおけるノズル口の
吐出不良（つまり）確認等に連成圧計１００を用いる構
成とすることもできることは言うまでもなく、また、こ
れらと同様の構成として、例えば移動装置に供給される
負圧の空気の漏れを検出することも可能であるばかりで
なく、その圧力、所謂「元圧」が所定圧であるか否かを
確認することも可能である。

【００５０】

【発明の効果】以上詳述した如く本発明に係る連成圧
計、並びにこの連成圧計を具備した移動装置，密着確認
装置，及び液体噴射装置においては、例えば、従来から
圧力値を表示するために用いていた単色発光の７セグメ
ントＬＥＤに代えて、複数色に発光可能な７セグメント
ＬＥＤを圧力値表示器として用いるとともに、測定され
た圧力の閾値を設定しておき、設定された閾値を境界と
して異なる色に圧力値表示器を発光させる構成としたの
で、圧力が閾値を越えた（又は下回る）場合に発光させ
る発光体の配置スペースの増加を抑止できるばかりでな
く、圧力値表示器の圧力値を表示する機能に加えて、前
記ＬＥＤの機能を兼ね備えるため、このＬＥＤを不要と
することができる。また、前記ＬＥＤに比べて大きい圧
力値表示器の発光色を切り替えるので、特に多くの連成
圧計を同時に監視する場合においても、またチャタリン
グの状態の場合においても、比較的遠い距離からでも容
易に視認することができる。

【００５１】また、ノズルに管を介して繋げられた圧縮
機がノズル内の空気を減圧することによって物品をノズ
ルに吸着させ、ノズルを移動することによって物品を移
動する移動装置において、上述の連成圧計を具備した構
成、具体的には、管内の空気の圧力変化に応じて変形す
るダイヤフラム等の板体の変形量から変換された電気信
号に基づいて空気の圧力の値を発光して表示する圧力値
表示器を、設定された閾値を境界として異なる色に圧力
値表示器を発光させることにより、移動装置における比
較的軽量な物品の吸着確認後に、物品をノズルから確実
に開放すべくノズル内の空気を短時間だけ加圧する際
の、大気圧を基準とした負圧から正圧への転換を、特に
多くの連成圧計を同時に監視する場合においても、また
チャタリングの状態の場合においても、比較的遠い距離
からでも容易に視認することができる。

【００５２】また、物品を密着すべきノズルに管を介し
て繋げられた圧縮機がノズルから空気を噴射し、噴射さ
れた前記空気の圧力に基づいて前記物品の前記ノズルへ
の密着を確認する密着確認装置において、前述の連成圧
計を具備した構成、具体的には、管内の空気の圧力変化
に応じて変形するダイヤフラム等の板体の変形量から変
換された電気信号に基づいて空気の圧力の値を発光して
表示する圧力値表示器を、設定された閾値を境界として
異なる色に圧力値表示器を発光させることにより、比較
的軽量な物品の例えば治具への着座時における短時間の
圧力値の上昇を、特に多くの連成圧計を同時に監視する
場合においても、またチャタリングの状態の場合におい
ても、比較的遠い距離からでも容易に視認することがで
きる。

【００５３】さらに、エゼクタに管を介して繋げられた
圧縮機がエゼクタから空気を駆動流として噴射すること
によって液体を２次流として誘引噴射する液体噴射装置
において、前述の連成圧計を具備した構成、具体的に
は、管内の空気の圧力変化に応じて変形するダイヤフラ
ム等の板体の変形量から変換された電気信号に基づいて
空気の圧力の値を発光して表示する圧力値表示器を、設
定された閾値を境界として異なる色に圧力値表示器を発
光させることにより、液体噴射装置における液体の噴射
後に、液体のエゼクタからの漏れ（液滴れ）を確実に防
止すべくエゼクタの駆動流側を短時間だけ減圧する際
の、大気圧を基準とした正圧から負圧への転換を、特に
多くの連成圧計を同時に監視する場合においても、また
チャタリングの状態の場合においても、比較的遠い距離
からでも容易に視認することができる等、本発明は優れ
た効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る連成圧計の構成を示すブロック図
である。

【図２】本発明に係る連成圧計の具体的な適用例を模式
的に示す斜視図である。

【図３】図２における連成圧計の構成を示す構成図であ
る。

【図４】図２の如き連成圧計の測定結果を示すグラフで
ある。

【符号の説明】

１ 圧力検出部 ２ 増幅部 ３ マイクロコンピュータ ４ 圧力値表示器 ５ スイッチ ３１ Ａ／Ｄ変換部 ３２ 演算部 ３４ 表示制御部 ３５ 比較部 ３６ 表示色切替部 １００ 連成圧計 １１０ ケース ３００ 吸着移動装置 ３２１ 吸着ヘッド ４００ コンプレッサ Ｃ 電子部品 Ｐ 管

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体の圧力変化に応じて変形する板体の
   変形量に基づいて流体の圧力を測定する連成圧計におい
   て、 測定した前記圧力の値を表示し、複数色に発光可能な圧
   力値表示器と、前記圧力の閾値を設定する閾値設定手段
   と、該閾値設定手段に設定された閾値を境として異なる
   色に前記圧力値表示器を発光させる発光色切替手段とを
   備えることを特徴とする連成圧計。
2. 【請求項２】 筐体に内蔵された、又は前記筐体から分
   離不可能なように設けられた板体が流体の圧力変化に応
   じて変形する量に基づいて流体の圧力を測定する連成圧
   計において、 前記筐体の外面に設けられ、測定された前記圧力の値を
   表示する複数色に発光可能な圧力値表示器と、前記圧力
   の閾値を設定する閾値設定手段と、前記筐体内に設けら
   れ、前記閾値設定手段に設定された前記閾値を境として
   異なる色に前記圧力値表示器を発光させる発光色切替手
   段とを備えることを特徴とする連成圧計。
3. 【請求項３】 ノズルに管を介して繋げられた圧縮機が
   ノズル内の空気を減圧することによって物品をノズルに
   吸着させ、ノズルを移動することによって物品を移動す
   る移動装置において、 前記管内における前記空気の圧力変化に応じて変形する
   板体の変形量を電気信号に変換する変換手段と、該変換
   手段に変換された電気信号に基づいて空気の圧力の値を
   表示し、複数色に発光可能な圧力値表示器と、前記圧力
   の閾値を設定する閾値設定手段と、該閾値設定手段に設
   定された閾値を境として異なる色に前記圧力値表示器を
   発光させる発光色切替手段とを備えることを特徴とする
   移動装置。
4. 【請求項４】 前記変換手段、前記圧力値表示器、前記
   閾値設定手段、及び前記発光色切替手段に代えて、前記
   請求項２記載の連成圧計を備える請求項３記載の移動装
   置。
5. 【請求項５】 物品を密着すべきノズルに管を介して繋
   げられた圧縮機がノズルから空気を噴射し、噴射された
   空気の圧力に基づいて物品のノズルへの密着を確認する
   密着確認装置において、 前記管内における前記空気の圧力変化に応じて変形する
   板体の変形量を電気信号に変換する変換手段と、該変換
   手段に変換された電気信号に基づいて空気の圧力の値を
   表示し、複数色に発光可能な圧力値表示器と、前記圧力
   の閾値を設定する閾値設定手段と、該閾値設定手段に設
   定された閾値を境として異なる色に前記圧力値表示器を
   発光させる発光色切替手段とを備えることを特徴とする
   密着確認装置。
6. 【請求項６】 前記変換手段、前記圧力値表示器、前記
   閾値設定手段、及び前記発光色切替手段に代えて、前記
   請求項２記載の連成圧計を備える請求項５記載の密着確
   認装置。
7. 【請求項７】 エゼクタに管を介して繋げられた圧縮機
   がエゼクタから空気を駆動流として噴射することによっ
   て液体を２次流として誘引噴射する液体噴射装置におい
   て、 前記管内における前記空気の圧力変化に応じて変形する
   板体の変形量を電気信号に変換する変換手段と、該変換
   手段に変換された電気信号に基づいて空気の圧力の値を
   表示し、複数色に発光可能な圧力値表示器と、前記圧力
   の閾値を設定する閾値設定手段と、該閾値設定手段に設
   定された閾値を境として異なる色に前記圧力値表示器を
   発光させる発光色切替手段とを備えることを特徴とする
   液体噴射装置。
8. 【請求項８】 前記変換手段、前記圧力値表示器、前記
   閾値設定手段、及び前記発光色切替手段に代えて、前記
   請求項２記載の連成圧計を備える請求項７記載の液体噴
   射装置。