JP3954713B2 - 圧力計、移動装置、密着確認装置、及び液体噴射装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体の圧力を測定する圧力計、並びにこの圧力計を具備した移動装置,密着確認装置,及び液体噴射装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
流体の圧力を測定する電子式の圧力計は、流体の圧力変化をその内部に設けられた感圧素子にて電気信号に変換し、変換した電気信号の大きさに基づいて圧力値を表示させるものであり、従来から多く用いられてきたブルドン管式(又は機械式)の圧力計に比べて精度,寿命,応答性等において優れているため、最近ではその利用が高まっている。
【0003】
特に、空気を測定媒体とする圧力計は、比較的軽量な物品を吸着して移動する移動装置における吸着確認,製造ラインの各ステーションにおける比較的軽量な物品の着座確認,溶融樹脂等を噴射・塗布するディスペンサにおけるノズル口の吐出不良(つまり)確認,空気の圧力伝達系における微小な漏れを検出するリークテスト,及び対象装置に入力される空気の圧力、所謂「元圧」が所定圧であるか否かを確認する等の比較的微妙な圧力変動を測定するために用いられる。
【0004】
このような圧力計は、圧力を検出してアナログの電気信号に変換する検出変換部と、変換されたアナログの電気信号に基づいて実際の圧力値を演算する演算制御部と、演算された圧力値を表示する圧力値表示器とから構成されている。
【0005】
検出変換部は、有底筒状のケース内に設けられたダイヤフラム状に形成された感圧素子からなり、感圧素子は、シリコン製,ステンレス製等の板体たるダイヤフラム,このダイヤフラムに形成された歪み抵抗等から構成され、ダイヤフラムの変形(たわみ)を歪み抵抗の抵抗値の変化に応じたアナログの電気信号に変換する。
【0006】
一方、演算制御部は、1チップのマイクロコンピュータ等から構成され、圧力検出部で変換されたアナログの電気信号を、A/D変換し、実際の圧力値を演算し、演算した圧力値を圧力値表示器に出力する。圧力値表示器は、複数桁の数値を表示可能な7セグメントLED等から構成され、演算制御部で演算された圧力値を表示する。
【0007】
特に最近では、圧力計を構成する検出変換部及び演算制御部が一辺30mm程度の箱形のケース内に収納され、このケースの一側面に圧力値表示器,閾値及び基準値の設定キー等を具備したパネルを設けたような小型の一体型の圧力計が実用化されているが、一方で、例えばフィードバック制御に用いるために、検出された圧力が予め設定された基準値を越えているか否かを出力させることが要求されている。
【0008】
この要求に伴い、演算制御部において圧力がその基準値を越えているか否かを判定し、判定結果に基づいて所定の信号を出力するような圧力計が開発されている。
【0009】
ところが、このような圧力計においては、圧力が基準値近傍で高速に且つ連続的に上下するような状態にある場合に、演算制御部から高速に且つ断続的に前記所定の信号が出力される状態、即ちチャタリングが発生する。このようなチャタリングは、密度変化大きい空気のような圧縮性流体を測定媒体とする場合に発生し、前記所定の信号によって制御される装置が例えばオン・オフを高速で繰り返す等の誤動作を生じさせ、装置の故障の原因となる。
【0010】
チャタリングの発生要因としては、コンプレッサ等の圧縮機からの脈動的な圧縮空気の送出、圧縮機から圧力測定位置までの距離が比較的大きい場合の空気の密度変化による応答遅れ等が挙げられる。
【0011】
この問題を解決するために前述の如き圧力計は、圧力が基準値を越えているか否かの判定結果が同一の場合に、この結果が連続する時間を計時し、計時結果が所定の設定時間(第1閾値)に達した場合に、前記所定の信号を出力する機構、所謂ディレー機構を設けた構成としてある。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、このような構成の圧力計において、圧縮機による脈動的な圧縮空気の送出に伴うチャタリングについては、圧力変動の振幅及び周期が略一定であるために解決可能であるが、圧縮機から圧力測定位置までの距離が比較的大きい場合の応答遅れに伴うチャタリングについては、圧力変動の振幅及び周期が一定でないために全ての場合で解決することが可能なわけではない。
【0013】
図6は、前述の如き移動装置における圧力変化を示すグラフであり、正常な吸着の状態を実線で示し、吸着不良の状態を二点鎖線で示してある。正常な吸着の状態では、圧縮機の始動(a点)に伴って急激に負圧となった(b点)後で、この圧縮機の能力に応じた負圧値で安定する。次いで、物品が吸着されるのに伴って更に負圧となり、このときオーバーシュートした後で(c点)、減衰し安定する(d点)。そして、物品を開放すべく短時間だけ正圧に戻し(e点)た後で、直ぐにa点における圧力値に戻される(f点)。例えばゴミを噛み込んだ吸着不良の状態では、物品が吸着された後も十分な負圧値に達しない。
【0014】
このような移動装置に物品の吸着確認の目的で設けられる圧力計の圧力の基準値Xは、図6に下側の破線で示す如く、吸着不良の検出を回避するために吸着不良の最低圧よりも若干低い圧力に設定される。このため、c点に至る途中で測定圧が基準値Xより負圧側に達するのに伴って正常な吸着状態を判定するための時間の計時を開始する。ところが、c点でのオーバシュート後の揺り返しによって測定圧は基準値Xの正圧側に一旦戻るため、カウンタがリセットされてしまう。
【0015】
移動装置における物品の吸着・開放のタイミングは圧力計からの前記所定の信号によって指示されるために、生産性の観点から吸着確認は可及的に高速に行なうことが要求される。そこで、揺り返しによるカウント時間のリセッを回避するために、図6に示す如く基準値Yとして、c点後の揺り返しよりも若干高い圧力に設定した場合には、吸着不良を検出し、本来の目的を達成することができないということが起こり得る。
【0016】
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、圧力が基準値を越えることが所定のサンプリング間継続する場合にのみ、所定の信号を出力する通常のディレー機構を備えた圧力計において、前記所定のサンプリングの途中で前述の如きオーバーシュート後の揺り返し等の要因により圧力値が短時間だけ基準値を下回る場合にもこれを無視して出力を継続させるように、上述のディレー機構とは反対方向の圧力値の変動に対してディレーを行なうことにより、前記要因に応じて前述の如きカウンタがリセットされることがないためにチャタリングを更に抑制することができ、特に、例えば前記吸着確認における基準値を可及的にオーバーシュートの最低値近傍に設定した場合においても、上述の無視する時間を最適化することによりカウンタがリセットされることを抑止することができ、例えば吸着確認を高速に完了することが可能な圧力計、並びにこの圧力計を具備した移動装置,密着確認装置,及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【0017】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明は流体の圧力変化に応じて変形する板体の変形量に基づいて流体の圧力を時系列的に検出する検出手段と、基準圧力を設定する基準圧力設定手段と、前記検出手段による検出結果が前記基準圧力に達するのに伴ってカウントを開始する第一のカウンタと、第一閾値を設定する第一閾値設定手段と、前記第一のカウンタによるカウントが前記第一閾値に達しない場合には所定の信号を出力しないチャタリング防止のディレー機構を有する圧力計において、前記検出手段による検出結果が前記基準圧力を超えない時間をカウントする第二のカウンタと、第二閾値を設定する第二閾値設定手段と、前記第二のカウンタによるカウントが前記第二閾値に達しない場合、及び前記第一のカウンタによるカウントが前記第一閾値に達した場合に前記所定の信号を出力することを特徴とする。
【0025】
請求項1に係る発明によれば、時系列的に検出された圧力の値が予め設定された圧力の基準値を越えた場合に所定の信号を出力するような通常のディレー機能を備えた圧力計において、このディレー機構とは反対方向の圧力値の変動に対してディレーを行なう構成、具体的には、通常のディレー用に設けられ、圧力が基準値を越えた場合にカウントする第1カウンタに加えて、圧力が基準値を下回った場合にカウントする第2カウンタを設け、第2カウンタのカウントが第2閾値(時間)に達しない場合、及び第一カウンタのカウントが第1閾値(時間)に達した場合に所定の信号を出力する圧力計としたので、時系列的な検出の途中でオーバーシュート後の揺り返し等の要因により圧力値が短時間だけ基準値を下回る場合にもこれを無視して前記所定の信号の出力を継続させることができ、オーバーシュートによって通常のディレー機能のためのカウンタがリセットされることがなく、チャタリングを抑制することができ、特に、例えば吸着確認における圧力の基準値を可及的にオーバーシュートの最低値近傍に設定した場合においても、上述の無視する時間を最適化することによりカウンタがリセットされることを抑止することができ、例えば吸着確認を高速に完了することが可能である。
【0026】
なお、前記第1及び第2閾値には時間を用いているが、前記第1及び第2計時手段にカウンタの如き手段を用いることによって、時間に相当した数値を計数する構成とすることもできる。
【0027】
【発明の実施の形態】
以下本発明をその実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。図1は、本発明に係る圧力計の構成を示すブロック図であり、図2は、圧力検出部1の構成例を示す断面図である。
【0028】
図1において、1は圧力を検出する圧力検出部である。変換手段としての圧力検出部1は、図2に示す如く、その各端部を測定圧及び大気圧の間に配された筒状のダイヤフラム・シリンダ10と、測定圧及び大気圧を遮蔽すべくダイヤフラム・シリンダ10内に一体的に形成された板体としてのシリコン製又はステンレス製のダイヤフラム11と、ダイヤフラム11の大気圧側の面に絶縁膜12を介して貼り付けられた歪み抵抗13とから少なくとも構成され、ダイヤフラム11の変形(たわみ)を歪み抵抗の抵抗値の変化に応じて、ブリッジ回路等を用いてアナログの電気信号に変換することによって、圧力を約1msのサイクルタイムで検出し、検出結果を圧力検出部1に接続された増幅部2に与える。
【0029】
なお、圧力検出部1は、ダイヤフラム11が大気圧を基準とした正圧方向及び負圧方向の両方向への歪みに対して、歪み量が直線的に変動することを保証されており、これによって従来から連成圧を検出するために正圧用・負圧用の2つの圧力計を用いていたのに対して、1つの圧力計で連成圧の検出が可能となっている。なお、本発明の圧力計は、上述の如き連成圧の測定可能な連成圧計に限定するものではない。
【0030】
増幅部2は、増幅回路等から構成され、与えられたアナログ信号を増幅し、増幅結果を増幅部2に接続された演算制御部としてのマイクロコンピュータ3に与えるようになっている。
【0031】
マイクロコンピュータ3は、1チップのマイクロコンピュータからなり、A/D変換部31,演算部32,データ抽出部33,表示制御部34,圧力比較部35,切替部36,第1カウンタ37a,第2カウンタ37b,第1比較部38a,第2比較部38b,出力制御部39等を備えている。
【0032】
A/D変換部31は、増幅部2から与えられたアナログ信号をディジタル信号に変換(2進化)し、変換結果を演算部32に与えるようになっている。
演算部32は、A/D変換部31から与えられたディジタル信号に基づいて、実際の圧力値を演算し、演算結果をデータ抽出部33と圧力比較部35とに与えるようになっている。
データ抽出部33は、演算部32から与えられた圧力値をフィルタリングし、後述する圧力値表示器4での表示サイクルタイムを肉眼で認識可能な約200msとするように、検出結果としての圧力値のサンプル数を減じた後で、この圧力値を表示制御部34に与えるようになっている。
表示制御部34は、データ抽出部33から与えられた圧力値を7セグメントLEDで表示可能なように変換し、変換結果を圧力値表示器4に与えるようになっている。
圧力値表示器4は、3桁の数字を表示可能な7セグメントLEDから構成され、表示制御部34から与えられた変換結果に基づいて圧力値を表示するようになっている。
【0033】
一方、圧力比較部35は、演算部32から与えられた圧力を予め図示しない記憶部に記憶された圧力の基準値と比較し、圧力が基準値を越えている場合に、所定の信号を第1カウンタ37aに与え、また圧力が基準値を下回っている場合に、所定の信号を第2カウンタ37bに与えるようになっている。
第1及び第2計時手段としての第1及び第2カウンタ37a,37bは、圧力比較部35から与えられた所定の信号に基づいて、各々その記憶領域に記憶されたカウンタ値に+1を加えるなどして計数し、計数結果である累積されたカウント値を第1及び第2比較部38a,38bに夫々与えるようになっている。
第1及び第2比較部38a,38bは、第1及び第2カウンタ37a,37bから夫々与えられたカウント値を予め図示しない記憶部に記憶されたカウンタ値の各閾値(第1閾値,第2閾値)と比較し、第1比較部38aでは、カウンタ値が第1閾値を越えている場合にのみ所定の信号を出力し、また第2比較部38bでは、カウンタ値が第2閾値を越えていない場合にのみ所定の信号を出力するようにしてある。
出力制御部39は、第1比較部38a,第2比較部38bから夫々与えられた所定の信号に基づいて、NPN型のトランジスタ5へ電流を印加することによって、所定の信号を出力するようになっている。
【0034】
本発明に係る圧力計は以上の如き構成としてあり、通常の圧力計としての圧力測定機能に加え、検出された圧力が予め設定された圧力の基準値を一旦越えた(又は下回った)後の第2閾値に相当する時間内で、再び基準値を下回り(又は越え)、基準値を境界とした元の圧力領域に復帰した後で再び基準値を越える(又は下回る)ような状態においては、出力制御部39から所定の信号の出力を禁止することにより、チャタリングを防止することができるようになっている。このため、第1閾値は第2閾値よりも大きい値とすることが望ましい。
【0035】
なお、第2閾値は、前述したようにカウンタ値とする以外にも、直接的に時間とする構成も可能である。また、第1及び第2の2つの閾値を与える構成としたが、同一の一つの閾値としてもよい。
【0036】
図3は、本発明に係る圧力計100の具体的な適用例を模式的に示す斜視図であり、圧力計100を電子部品Cの吸着移動装置300に適用した例を示している。また、図4は、図3における圧力計100の構成を示す構成図であり、正面図を図4(a)に、側面図を図4(b)に、後面図を図4(c)に夫々示してある。
【0037】
図3において、200は所定のタクトで基板Sを搬送・停止するコンベアであり、基板Sを白抜矢符方向へ搬送している。
【0038】
また、300は図示しないストッカに蓄積された半導体,LSIチップ等の電子部品Cを吸着して、コンベア200で搬送される基板S上へ移動する吸着移動装置であり、水平方向へ突出して、旋回可能に設けられたアーム310と、アーム310の自由端に上下動可能に設けられたシリンダ320とから構成されている。シリンダ320の下端には、ノズル状の吸着ヘッド321が設けられている。
【0039】
吸着ヘッド321は、圧力計100,エゼクタ410,電磁バルブの如き2つのバルブ421,422等を介して、図示しない電源によって駆動される圧縮機としてのコンプレッサ400まで2系統に配管されている。
【0040】
一方の系統の管Pは、正圧の空気を排出するコンプレッサ400からエゼクタ410,バルブ421等を介して吸着ヘッド321に接続され、コンプレッサ400から排出される空気によってエゼクタ410で負圧を生成し、外部からの制御によりバルブ421が開放されるのに伴って、吸着ヘッド321から空気を吸引できるようになっている。
【0041】
他方の系統の管Pは、コンプレッサ400からエゼクタ410を介さずに分岐しており、この分岐先に接続されたバルブ(破壊バルブ)422に対して正圧の空気を送り出せるようになっている。バルブ422の排出側は、前述のエゼクタ410の負圧吸引側に合流して吸着ヘッド321へ接続され、外部からの制御によりバルブ422が開放されるのに伴って、吸着ヘッド321に正圧の空気を送り出せるようになっている。
【0042】
シリンダ320の上部側面には、圧力計100が一体的に設けられており、吸着ヘッド321と、正圧側のバルブ422の排出側及びエゼクタ410の負圧吸引側との間の空気圧を測定するようになっている。圧力計100は、具体的には図4に示す如く、筐体たる樹脂製の一辺約30mmの箱形のケース110内に、前述の如き圧力検出部1,増幅部2,マイクロコンピュータ3,圧力値表示器4,トランジスタ5等を備えている。
【0043】
図4(a)に示す如く、このケース110の前面には、圧力値表示器4が一体的に形成されているほか、各閾値を設定するための設定キー等の各種のファンクションキー101が設けられている。また、図4(c)に示す如く、ケース110の後面には、図2に示したようなダイヤフラム・シリンダ10の測定圧側の端部が開口している。
【0044】
本発明に係る圧力計100の具体的な適用例は以上の如き構成となっており、そのダイヤフラム・シリンダ10の測定圧側の開口部を吸着ヘッド321と正圧側のバルブ422の排出側及びエゼクタ410の負圧吸引側との間の管Pに接続されており、吸着移動装置300のアーム310を電子部品Cが蓄積された図示しないストッカまで回転させた後で、シリンダ320を降下させ、負圧側のバルブ421を開放することによって吸着ヘッド321を負圧にし、これによって、図示しないストッカに蓄積された電子部品Cを吸着ヘッド321に吸着する。そして、シリンダ320を上昇させた後で、再びアーム310を回転させ、コンベア200上を搬送される基板Sの所定箇所に、吸着されている電子部品Cを位置決めし、再びシリンダ320を降下させ、負圧側のバルブ421を閉鎖することによって電子部品Cの吸着を停止させる。
【0045】
この際に、負圧側のバルブ421を閉鎖することのみでは、電子部品Cの吸着ヘッド321からの分離には至らない場合があるので、正圧側のバルブ422を短時間だけ開放して、若干の正圧(破壊圧)を吸着ヘッド321に与える。これによって電子部品Cの移動が完了する。
【0046】
図5は、図3の如き圧力計100の測定結果を示すグラフであり、横軸には時間を、縦軸には時間に伴う圧力値の変化を夫々示してある。
図5に示す如く、負圧側のバルブ421の開放(a点)に伴って急激に負圧となり、若干のオーバーシュート(b点)後に徐々に減衰していき、コンプレッサ400の能力に応じた負圧の圧力値で安定する。次いで、電子部品Cが吸着ヘッド321に吸着されるのに伴って更に負圧となり、このとき若干オーバーシュート(c点)した後で、徐々に減衰していき、やがて安定する。そして、負圧側のバルブ421の閉鎖(d点)に続く正圧側のバルブ422の短時間の開放に伴って、圧力値は正圧側に移行し(e点)、直ぐにa点における圧力値に戻る(f点)。
【0047】
ここで、例えば圧力の基準値(図5における破線)を、電子部品Cが吸着されたc点におけるオーバーシュートの後の最初の揺り返しよりも若干負圧側に設定した場合であって、第1閾値が第2閾値よりも大きく設定された場合において、圧力値が前記揺り返しで基準値よりも正圧側にある時間tが第2閾値よりも小さい場合であれば、第2比較部から前記所定の信号が出力制御部39に対して出力されるので、圧力値がその基準値よりも負圧側に至ったc点から第1閾値に応じた時間後に吸着確認が常に完了できる。
【0048】
以上の実施の形態において、圧力比較部35からの所定の信号の出力をスイッチ36で切り換えて第1カウンタ37a,第2カウンタ37bへ振り分ける構成としたが、この構成に限るものではなく、例えばスイッチ36を省略し、圧力比較部35から第1カウンタ37aへ直接的に前記所定の信号を出力し、第1カウンタ37aからカウンタ値を第1比較部38aへ与えるとともに、第1カウンタ37aから前記所定の信号を第2カウンタ37bに与える構成としてもよい。
【0049】
【発明の効果】
以上詳述した如く本発明に係る圧力計は、時系列的に検出された圧力の値が予め設定された圧力の基準値を越えた場合に所定の信号を出力するような通常のディレー機能を備えた圧力計において、このディレー機構とは反対方向の圧力値の変動に対してディレーを行なう構成、具体的には、通常のディレー用に設けられ、圧力が基準値を越えた場合にカウントする第1カウンタに加えて、圧力が基準値を下回った場合にカウントする第2カウンタを設け、第2カウンタのカウントが第2閾値(時間)に達しない場合、及び第1カウンタのカウントが第1閾値(時間)に達した場合に所定の信号を出力する圧力計としたので、時系列的な検出の途中でオーバーシュート後の揺り返し等の要因により圧力値が短時間だけ基準値を下回る場合にもこれを無視して前記所定の信号の出力を継続させることができ、オーバーシュートによって通常のディレー機能のためのカウンタがリセットされることがなく、チャタリングを抑制することができ、特に、例えば前記吸着確認における圧力の基準値を可及的にオーバーシュートの最低値近傍に設定した場合においても、上述の無視する時間を最適化することによりカウンタがリセットされることを抑止することができ、例えば吸着確認を高速に完了することが可能である等、本発明は優れた効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る圧力計の構成を示すブロック図である。
【図2】圧力検出部の構成例を示す断面図である。
【図3】本発明に係る圧力計の具体的な適用例を模式的に示す斜視図である。
【図4】図3における圧力計の構成を示す構成図である。
【図5】図3の如き圧力計の測定結果を示すグラフである。
【図6】移動装置における圧力変化を示すグラフである。
【符号の説明】
1 圧力検出部
2 増幅部
3 マイクロコンピュータ
4 圧力値表示器
11 ダイヤフラム
31 A/D変換部
32 演算部
35 圧力比較部
37a,37b 第1,第2カウンタ
38a,38b 第1,第2比較部
39 出力制御部
100 圧力計
300 吸着移動装置
321 吸着ヘッド
400 コンプレッサ
C 電子部品
P 管
Claims (1)
- 流体の圧力変化に応じて変形する板体の変形量に基づいて流体の圧力を時系列的に検出する検出手段と、
基準圧力を設定する基準圧力設定手段と、
前記検出手段による検出結果が前記基準圧力に達するのに伴ってカウントを開始する第一のカウンタと、
第一閾値を設定する第一閾値設定手段と、
前記第一のカウンタによるカウントが前記第一閾値に達しない場合には所定の信号を出力しないチャタリング防止のディレー機構を有する圧力計において、
前記検出手段による検出結果が前記基準圧力を超えない時間をカウントする第二のカウンタと、
第二閾値を設定する第二閾値設定手段と、
前記第二のカウンタによるカウントが前記第二閾値に達しない場合、及び前記第一のカウンタによるカウントが前記第一閾値に達した場合に前記所定の信号を出力することを特徴とする圧力計。
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