JPH1123671A - 半導体検査装置の冷却方式 - Google Patents
半導体検査装置の冷却方式Info
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- JPH1123671A JPH1123671A JP9190407A JP19040797A JPH1123671A JP H1123671 A JPH1123671 A JP H1123671A JP 9190407 A JP9190407 A JP 9190407A JP 19040797 A JP19040797 A JP 19040797A JP H1123671 A JPH1123671 A JP H1123671A
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- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
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- F24F11/70—Control systems characterised by their outputs; Constructional details thereof
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- Y02B—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
- Y02B30/00—Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
- Y02B30/70—Efficient control or regulation technologies, e.g. for control of refrigerant flow, motor or heating
Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定ユニットの動作状態ごとの発熱量に応じ
た適正な風量が得られるように、ファンの回転数を制御
すると共に、ファンの無駄な電力消費を防止する半導体
検査装置の冷却方式を提供することにある。 【解決手段】 直流モータ２２Ａの回転により、測定ユ
ニット４０Ａを冷却するファン２０Ａと、ファン２０Ａ
によって冷却される測定ユニット４０Ａの温度を測定す
る温度センサ１０Ａと、温度センサ１０Ａから送られて
来る温度情報Ｔを監視する温度制御・電力供給部３０を
備えている。温度制御・電力供給部３０は、直流モータ
２２Ａの電圧Ｖを制御することにより、発熱量Ｑa に応
じて測定ユニット４０Ａを冷却するのに必要な風量を得
るように、ファン２０Ａの回転数Ｎｄｃの最適制御を行
う。
た適正な風量が得られるように、ファンの回転数を制御
すると共に、ファンの無駄な電力消費を防止する半導体
検査装置の冷却方式を提供することにある。 【解決手段】 直流モータ２２Ａの回転により、測定ユ
ニット４０Ａを冷却するファン２０Ａと、ファン２０Ａ
によって冷却される測定ユニット４０Ａの温度を測定す
る温度センサ１０Ａと、温度センサ１０Ａから送られて
来る温度情報Ｔを監視する温度制御・電力供給部３０を
備えている。温度制御・電力供給部３０は、直流モータ
２２Ａの電圧Ｖを制御することにより、発熱量Ｑa に応
じて測定ユニット４０Ａを冷却するのに必要な風量を得
るように、ファン２０Ａの回転数Ｎｄｃの最適制御を行
う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は半導体検査装置の
冷却方式、特に直流モータで駆動するファンを使用する
ことにより、測定ユニットの発熱量に応じた風量が得ら
れるようにファンの回転数を制御し、無駄な電力を消費
しないようにした半導体検査装置の冷却方式に関する。
冷却方式、特に直流モータで駆動するファンを使用する
ことにより、測定ユニットの発熱量に応じた風量が得ら
れるようにファンの回転数を制御し、無駄な電力を消費
しないようにした半導体検査装置の冷却方式に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体検査装置は、図３（Ａ）
に示すように、本体２００とテストヘッド３００を備
え、本体２００の制御により、テストヘッド３００に装
着された被測定デバイスの電気的特性を検査する。
に示すように、本体２００とテストヘッド３００を備
え、本体２００の制御により、テストヘッド３００に装
着された被測定デバイスの電気的特性を検査する。
【０００３】このような半導体検査装置において、本体
２００やテストヘッド３００の一部である測定ユニット
８０Ａを冷却する場合（図４）、従来は、図４に示す方
式を使用していた。
２００やテストヘッド３００の一部である測定ユニット
８０Ａを冷却する場合（図４）、従来は、図４に示す方
式を使用していた。
【０００４】即ち、図４において、測定ユニット８０Ａ
に隣接してファン６０Ａを設置し、このファン６０Ａの
三相交流モータ６２Ａを回転させることにより、測定ユ
ニット８０Ａの発熱により温められた空気を吸い出す。
に隣接してファン６０Ａを設置し、このファン６０Ａの
三相交流モータ６２Ａを回転させることにより、測定ユ
ニット８０Ａの発熱により温められた空気を吸い出す。
【０００５】このとき、空気が吸い出された部分に負圧
が生じるので、この部分に、ファン６０Ａと対向位置に
設けられた測定ユニット８０Ａの開放部分を介して、外
部の冷たい空気が取り込まれる。
が生じるので、この部分に、ファン６０Ａと対向位置に
設けられた測定ユニット８０Ａの開放部分を介して、外
部の冷たい空気が取り込まれる。
【０００６】その結果、測定ユニット８０Ａの放熱が行
われ、その測定ユニット８０Ａは冷却される。
われ、その測定ユニット８０Ａは冷却される。
【０００７】この場合、ファン６０Ａを駆動させる三相
交流モータ６２Ａの回転数は、モータの交流電源の周波
数と、モータの回転磁界の極数により、決定される。こ
の事から、三相交流モータ６２Ａの回転数は、一般に
は、特定の固定値となる。
交流モータ６２Ａの回転数は、モータの交流電源の周波
数と、モータの回転磁界の極数により、決定される。こ
の事から、三相交流モータ６２Ａの回転数は、一般に
は、特定の固定値となる。
【０００８】即ち、三相交流モータ６２Ａにおいて、回
転数をＮａｃ（単位：ｒ．ｐ．ｓ）、交流電源の周波数
をＦ（単位：Ｈｚ）、回転磁界の極数をｐとすれば、よ
く知られているように、下記の関係式が成立する。 Ｎａｃ＝２Ｆ／ｐ・・・・・・・ 式において、交流電源の周波数Ｆは、一般に５０Ｈ
ｚ、又は６０Ｈｚであり、また回転磁界の極数ｐは、モ
ータを製造するときに決まる固定値である。
転数をＮａｃ（単位：ｒ．ｐ．ｓ）、交流電源の周波数
をＦ（単位：Ｈｚ）、回転磁界の極数をｐとすれば、よ
く知られているように、下記の関係式が成立する。 Ｎａｃ＝２Ｆ／ｐ・・・・・・・ 式において、交流電源の周波数Ｆは、一般に５０Ｈ
ｚ、又は６０Ｈｚであり、また回転磁界の極数ｐは、モ
ータを製造するときに決まる固定値である。
【０００９】従って、式より、三相交流モータ６２Ａ
の回転数Ｎａｃは、固定値となる。
の回転数Ｎａｃは、固定値となる。
【００１０】また、測定ユニット８０Ａを冷却するのに
必要な風量は、既述した三相交流モータ６２Ａの回転数
Ｎａｃと、ファン６０Ａの断面積により、決定される。
必要な風量は、既述した三相交流モータ６２Ａの回転数
Ｎａｃと、ファン６０Ａの断面積により、決定される。
【００１１】更に、図４において、温度センサ５０Ａ
は、一般に、特定温度以上（異常温度領域）になると動
作するサーマルリレータイプであり、リレーの動作状況
（ＯＮ／ＯＦＦ）は、信号ケーブル５１Ａにより電源コ
ントローラ７０へ伝達される。
は、一般に、特定温度以上（異常温度領域）になると動
作するサーマルリレータイプであり、リレーの動作状況
（ＯＮ／ＯＦＦ）は、信号ケーブル５１Ａにより電源コ
ントローラ７０へ伝達される。
【００１２】これにより、電源コントローラ７０は、電
源ケーブル８１Ａを介して測定ユニット８０Ａへ供給し
ている電源を遮断する。
源ケーブル８１Ａを介して測定ユニット８０Ａへ供給し
ている電源を遮断する。
【００１３】即ち、従来は、三相交流モータ６２Ａを用
いたファン６０Ａにより測定ユニット８０Ａを冷却する
と共に、測定ユニット８０Ａの周囲の温度が異常温度領
域に到達した場合には、電源を遮断していた。
いたファン６０Ａにより測定ユニット８０Ａを冷却する
と共に、測定ユニット８０Ａの周囲の温度が異常温度領
域に到達した場合には、電源を遮断していた。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】既述したように、従来
技術においては（図４）、測定ユニット８０Ａを冷却す
るのに必要な風量は、三相交流モータ６２Ａの回転数Ｎ
ａｃと、ファン６０Ａの断面積により、決定される。
技術においては（図４）、測定ユニット８０Ａを冷却す
るのに必要な風量は、三相交流モータ６２Ａの回転数Ｎ
ａｃと、ファン６０Ａの断面積により、決定される。
【００１５】ところが、式から明らかなように、三相
交流モータ６２Ａの回転数Ｎａｃは、固定値であり、ま
たファン６０Ａの断面積も一定であることから、三相交
流モータ６２Ａを使用した場合には、測定ユニット８０
ＡがＳｔａｎｄ−ｂｙ状態（発熱量Ｑa が少）にある
か、Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ状態（発熱量Ｑa が多）にある
かに関係なく、冷却用の風量は不変である。
交流モータ６２Ａの回転数Ｎａｃは、固定値であり、ま
たファン６０Ａの断面積も一定であることから、三相交
流モータ６２Ａを使用した場合には、測定ユニット８０
ＡがＳｔａｎｄ−ｂｙ状態（発熱量Ｑa が少）にある
か、Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ状態（発熱量Ｑa が多）にある
かに関係なく、冷却用の風量は不変である。
【００１６】例えば、図３（Ａ）に示す半導体検査装置
の測定ユニットをＵ１、Ｕ２、Ｕ３とし、Ｓｔａｎｄ−
ｂｙ状態を×、Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ状態を○で表し、図
３（Ｂ）に示す動作状態があるとする。
の測定ユニットをＵ１、Ｕ２、Ｕ３とし、Ｓｔａｎｄ−
ｂｙ状態を×、Ｏｐｅｒａｔｉｏｎ状態を○で表し、図
３（Ｂ）に示す動作状態があるとする。
【００１７】このうち、ａの場合は、全ての測定ユニッ
トＵ１〜Ｕ３がＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態にあり、ｂの場
合は、２つの測定ユニットＵ２、Ｕ３がＯｐｅｒａｔｉ
ｏｎ状態で、他の測定ユニットＵ１がＳｔａｎｄ−ｂｙ
状態にあり、ｃの場合は、１つの測定ユニットＵ１がＯ
ｐｅｒａｔｉｏｎ状態で、他の測定ユニットＵ２、Ｕ３
がＳｔａｎｄ−ｂｙ状態にあり、ｄの場合は、全ての測
定ユニットＵ１〜Ｕ３がＳｔａｎｄ−ｂｙ状態にある。
トＵ１〜Ｕ３がＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態にあり、ｂの場
合は、２つの測定ユニットＵ２、Ｕ３がＯｐｅｒａｔｉ
ｏｎ状態で、他の測定ユニットＵ１がＳｔａｎｄ−ｂｙ
状態にあり、ｃの場合は、１つの測定ユニットＵ１がＯ
ｐｅｒａｔｉｏｎ状態で、他の測定ユニットＵ２、Ｕ３
がＳｔａｎｄ−ｂｙ状態にあり、ｄの場合は、全ての測
定ユニットＵ１〜Ｕ３がＳｔａｎｄ−ｂｙ状態にある。
【００１８】従って、図３（Ｂ）に示す場合、発熱量Ｑ
a については、最も多い場合がａであり、ｂ、ｃの順に
少なくなり、最も少ないのがｄである。即ち、半導体検
査装置内（図３（Ａ））の使用デバイスにより、測定ユ
ニットがＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態とＳｔａｎｄ−ｂｙ状
態によって消費する電力、即ち、発熱量が異なる場合が
ある。
a については、最も多い場合がａであり、ｂ、ｃの順に
少なくなり、最も少ないのがｄである。即ち、半導体検
査装置内（図３（Ａ））の使用デバイスにより、測定ユ
ニットがＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態とＳｔａｎｄ−ｂｙ状
態によって消費する電力、即ち、発熱量が異なる場合が
ある。
【００１９】しかし、従来は、三相交流モータ６２Ａで
駆動するファン６０Ａを使用していることが起因し、冷
却に必要な風量を、発熱量Ｑa に応じて変えることがで
きない。
駆動するファン６０Ａを使用していることが起因し、冷
却に必要な風量を、発熱量Ｑa に応じて変えることがで
きない。
【００２０】このため、測定ユニット８０ＡがＳｔａｎ
ｄ−ｂｙ状態であっても、最大発熱量状態の測定ユニッ
ト８０Ａを冷却するのと同じだけの風量が必要となる。
例えば、図３（Ｂ）のｄの状態であっても（すべての測
定ユニットがＳｔａｎｄ−ｂｙ状態）、ａの状態（すべ
ての測定ユニットがＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態）と同じ風
量が必要となる。
ｄ−ｂｙ状態であっても、最大発熱量状態の測定ユニッ
ト８０Ａを冷却するのと同じだけの風量が必要となる。
例えば、図３（Ｂ）のｄの状態であっても（すべての測
定ユニットがＳｔａｎｄ−ｂｙ状態）、ａの状態（すべ
ての測定ユニットがＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態）と同じ風
量が必要となる。
【００２１】従って、その分だけファン６０Ａの回転数
も多くなり、必要以上の電力を消費することになり、無
駄な電力を消費していた。
も多くなり、必要以上の電力を消費することになり、無
駄な電力を消費していた。
【００２２】この発明の目的は、測定ユニットの動作状
態ごとの発熱量に応じた適正な風量が得られるように、
ファンの回転数を制御すると共に、ファンの無駄な電力
消費を防止する半導体検査装置の冷却方式を提供するこ
とにある。
態ごとの発熱量に応じた適正な風量が得られるように、
ファンの回転数を制御すると共に、ファンの無駄な電力
消費を防止する半導体検査装置の冷却方式を提供するこ
とにある。
【００２３】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、この発明によれば、半導体検査装置の測定ユニット
４０Ａを冷却する方式において、直流モータ２２Ａの回
転により、測定ユニット４０Ａを冷却するファン２０Ａ
と、ファン２０Ａによって冷却される測定ユニット４０
Ａの温度を測定する温度センサ１０Ａと、温度センサ１
０Ａから送られて来る温度情報Ｔを監視し、測定ユニッ
ト４０Ａの動作状態ごとの発熱量Ｑa に応じてファン２
０Ａの回転数Ｎｄｃの最適制御を行う温度制御・電力供
給部（３０）を備えている。
に、この発明によれば、半導体検査装置の測定ユニット
４０Ａを冷却する方式において、直流モータ２２Ａの回
転により、測定ユニット４０Ａを冷却するファン２０Ａ
と、ファン２０Ａによって冷却される測定ユニット４０
Ａの温度を測定する温度センサ１０Ａと、温度センサ１
０Ａから送られて来る温度情報Ｔを監視し、測定ユニッ
ト４０Ａの動作状態ごとの発熱量Ｑa に応じてファン２
０Ａの回転数Ｎｄｃの最適制御を行う温度制御・電力供
給部（３０）を備えている。
【００２４】従って、この発明の構成によれば、ファン
２０Ａが直流モータ２２Ａにより駆動するので、例え
ば、直流モータ２２Ａの電圧Ｖを制御することにより
（式）、測定ユニット４０Ａ（図１）の動作状態ごと
の発熱量Ｑa に応じた適正な風量が得られるように、フ
ァン２０Ａの回転数Ｎｄｃを制御することができるの
で、ファン２０Ａの無駄な電力消費が防止される。
２０Ａが直流モータ２２Ａにより駆動するので、例え
ば、直流モータ２２Ａの電圧Ｖを制御することにより
（式）、測定ユニット４０Ａ（図１）の動作状態ごと
の発熱量Ｑa に応じた適正な風量が得られるように、フ
ァン２０Ａの回転数Ｎｄｃを制御することができるの
で、ファン２０Ａの無駄な電力消費が防止される。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、この発明を実施形態により
添付図面を参照して説明する。図１は、この発明の第１
実施形態を示す図であり、参照符号１０Ａは温度セン
サ、２０Ａはファン、３０は温度制御・電力供給部、４
０Ａは測定ユニットである。
添付図面を参照して説明する。図１は、この発明の第１
実施形態を示す図であり、参照符号１０Ａは温度セン
サ、２０Ａはファン、３０は温度制御・電力供給部、４
０Ａは測定ユニットである。
【００２６】測定ユニット４０Ａは、半導体検査装置
（図３（Ａ））の本体２００やテストヘッド３００の一
部であって、電力が供給されることにより発熱し、冷却
が必要な部分である。
（図３（Ａ））の本体２００やテストヘッド３００の一
部であって、電力が供給されることにより発熱し、冷却
が必要な部分である。
【００２７】温度センサ１０Ａは、測定ユニット４０Ａ
の周囲の空気の温度を測定し、その温度情報Ｔを、信号
ケーブル１１Ａを介して、後述する温度制御・電力供給
部３０へ伝送する。
の周囲の空気の温度を測定し、その温度情報Ｔを、信号
ケーブル１１Ａを介して、後述する温度制御・電力供給
部３０へ伝送する。
【００２８】ファン２０Ａは、測定ユニット４０Ａに隣
接して設置され、直流モータ２２Ａが回転することによ
り、測定ユニット４０Ａの発熱により温められた空気を
吸い出し、外部からの冷たい空気により測定ユニット４
０Ａを冷却する。
接して設置され、直流モータ２２Ａが回転することによ
り、測定ユニット４０Ａの発熱により温められた空気を
吸い出し、外部からの冷たい空気により測定ユニット４
０Ａを冷却する。
【００２９】このファン２０Ａを駆動する直流モータ２
２Ａの回転数は、次式で表される。
２Ａの回転数は、次式で表される。
【００３０】即ち、直流モータ２２Ａにおいて、回転数
をＮｄｃ（単位：ｒ．ｐ．ｓ）、モータの直流電源の電
圧をＶ（単位：Ｖ）、モータの電機子回路の抵抗をｒ
（単位：Ω）、モータの電機子電流をＩ（単位：Ａ）、
毎極の磁束数をΦ（単位：Ｗｂ）、モータの構造により
決まる定数をＫとすると、よく知られているように、下
記の関係式が成立する。 Ｎｄｃ＝Ｋ（Ｖ−ｒＩ）／Φ・・・・・ この式において、回転数Ｎｄｃを制御する方法として
は、直流電源の電圧Ｖ、電機子回路の抵抗ｒ、毎極の磁
束数Φのいずれかを変える方法がある。
をＮｄｃ（単位：ｒ．ｐ．ｓ）、モータの直流電源の電
圧をＶ（単位：Ｖ）、モータの電機子回路の抵抗をｒ
（単位：Ω）、モータの電機子電流をＩ（単位：Ａ）、
毎極の磁束数をΦ（単位：Ｗｂ）、モータの構造により
決まる定数をＫとすると、よく知られているように、下
記の関係式が成立する。 Ｎｄｃ＝Ｋ（Ｖ−ｒＩ）／Φ・・・・・ この式において、回転数Ｎｄｃを制御する方法として
は、直流電源の電圧Ｖ、電機子回路の抵抗ｒ、毎極の磁
束数Φのいずれかを変える方法がある。
【００３１】このうち、一般的には、直流電源の電圧Ｖ
を制御する方法が取られている。従って、本実施形態に
おいても、直流モータ２２Ａを使用したファン２０Ａ
を、電力ケーブル２１Ａを介して、温度制御・電力供給
部３０に接続し、電圧Ｖを制御することにより、ファン
２０Ａの回転数を制御することにした。
を制御する方法が取られている。従って、本実施形態に
おいても、直流モータ２２Ａを使用したファン２０Ａ
を、電力ケーブル２１Ａを介して、温度制御・電力供給
部３０に接続し、電圧Ｖを制御することにより、ファン
２０Ａの回転数を制御することにした。
【００３２】温度制御・電力供給部３０には、既述した
ように、信号ケーブル１１Ａを介して温度センサ１０Ａ
が、電力ケーブル２１Ａを介してファン２０Ａがそれぞ
れ接続されていると共に、測定ユニット４０Ａが電力ケ
ーブル４１Ａを介して接続されている。
ように、信号ケーブル１１Ａを介して温度センサ１０Ａ
が、電力ケーブル２１Ａを介してファン２０Ａがそれぞ
れ接続されていると共に、測定ユニット４０Ａが電力ケ
ーブル４１Ａを介して接続されている。
【００３３】この構成により、温度制御・電力供給部３
０は、温度センサ１０Ａからの温度情報Ｔに基づいて、
測定ユニット４０Ａを冷却するのに必要な風量を得るよ
うに、直流モータ２２Ａの電圧Ｖを制御することによ
り、ファン２０Ａの回転数を制御する。
０は、温度センサ１０Ａからの温度情報Ｔに基づいて、
測定ユニット４０Ａを冷却するのに必要な風量を得るよ
うに、直流モータ２２Ａの電圧Ｖを制御することによ
り、ファン２０Ａの回転数を制御する。
【００３４】更に、温度制御・電力供給部３０は、測定
ユニット４０Ａに電力Ｐを供給すると共に、測定ユニッ
ト４０Ａの温度が、ファン２０Ａでは冷却不可能な異常
温度領域に到達した場合には、測定ユニット４０Ａへ電
力Ｐの供給を停止すると共に、ファン２０Ａを最高回転
数で回して冷却する。
ユニット４０Ａに電力Ｐを供給すると共に、測定ユニッ
ト４０Ａの温度が、ファン２０Ａでは冷却不可能な異常
温度領域に到達した場合には、測定ユニット４０Ａへ電
力Ｐの供給を停止すると共に、ファン２０Ａを最高回転
数で回して冷却する。
【００３５】図２は、この発明の第２実施形態を示す図
であり、測定ユニットが２つの例を示している。
であり、測定ユニットが２つの例を示している。
【００３６】即ち、図１の測定ユニット４０Ａと同様の
構成を備えたもう１つの測定ユニット４０Ｂが設けら
れ、測定ユニット４０Ｂの温度を測定する温度センサ１
０Ｂ、及び直流モータ２２Ｂが回転することにより、測
定ユニット４０Ｂを冷却するファン２０Ｂがそれぞれ設
けられている。
構成を備えたもう１つの測定ユニット４０Ｂが設けら
れ、測定ユニット４０Ｂの温度を測定する温度センサ１
０Ｂ、及び直流モータ２２Ｂが回転することにより、測
定ユニット４０Ｂを冷却するファン２０Ｂがそれぞれ設
けられている。
【００３７】そして、測定ユニット４０Ｂは、電力ケー
ブル４１Ｂを介して、温度センサ１０Ｂは、信号ケーブ
ル１１Ｂを介して、またファン２０Ｂは、電力ケーブル
２１Ｂを介して、共通の温度制御・電力供給部３０にそ
れぞれ接続されている。
ブル４１Ｂを介して、温度センサ１０Ｂは、信号ケーブ
ル１１Ｂを介して、またファン２０Ｂは、電力ケーブル
２１Ｂを介して、共通の温度制御・電力供給部３０にそ
れぞれ接続されている。
【００３８】この図２の例では、共通の温度制御・電力
供給部３０が使用されているが、温度制御・電力供給部
を、測定ユニット４０Ａと測定ユニット４０Ｂに対応し
てそれぞれ別々に設けてもよい。また、図２では、測定
ユニットが２つの場合について説明したが、これに限定
されず、測定ユニットは３つ以上設けられていてもよ
い。
供給部３０が使用されているが、温度制御・電力供給部
を、測定ユニット４０Ａと測定ユニット４０Ｂに対応し
てそれぞれ別々に設けてもよい。また、図２では、測定
ユニットが２つの場合について説明したが、これに限定
されず、測定ユニットは３つ以上設けられていてもよ
い。
【００３９】以下、前記構成を備えたこの発明の作用を
説明する。
説明する。
【００４０】１．測定ユニットが１つの場合の作用この
場合は、図１において、測定ユニット４０Ａから発生す
る熱により温められた空気を、直流モータ２２Ａにより
回転するファン２０Ａで吸い出し、測定ユニット４０Ａ
を冷却する。
場合は、図１において、測定ユニット４０Ａから発生す
る熱により温められた空気を、直流モータ２２Ａにより
回転するファン２０Ａで吸い出し、測定ユニット４０Ａ
を冷却する。
【００４１】このとき、温度センサー１０Ａにより、測
定ユニット４０Ａの現在の温度を測定し、この温度情報
Ｔを、信号ケーブル１１Ａを介して、温度制御・電力供
給部３０に送信する。
定ユニット４０Ａの現在の温度を測定し、この温度情報
Ｔを、信号ケーブル１１Ａを介して、温度制御・電力供
給部３０に送信する。
【００４２】温度制御・電力供給部３０は、前記温度セ
ンサ１０Ａから送信された来る温度情報Ｔを常に監視し
ている。
ンサ１０Ａから送信された来る温度情報Ｔを常に監視し
ている。
【００４３】そして、測定ユニット４０Ａの温度が異常
温度領域に属さない場合には、発熱量Ｑa に応じて、測
定ユニット４０Ａを冷却するために必要な風量を得るよ
うに、ファン２０Ａの回転数Ｎｄｃに必要な電圧Ｖを
（式）、温度制御・電力供給部３０から、電力ケーブ
ル２１Ａを介して、ファン２０Ａに印加する。
温度領域に属さない場合には、発熱量Ｑa に応じて、測
定ユニット４０Ａを冷却するために必要な風量を得るよ
うに、ファン２０Ａの回転数Ｎｄｃに必要な電圧Ｖを
（式）、温度制御・電力供給部３０から、電力ケーブ
ル２１Ａを介して、ファン２０Ａに印加する。
【００４４】即ち、測定ユニット４０ＡがＳｔａｎｄ−
ｂｙ状態のときは、発熱量Ｑa が少なく、ファン２０Ａ
の回転数Ｎｄｃ（式）も小さくてよいので、温度制御
・電力供給部３０からファン２０Ａに印加される電圧Ｖ
も小さくする。
ｂｙ状態のときは、発熱量Ｑa が少なく、ファン２０Ａ
の回転数Ｎｄｃ（式）も小さくてよいので、温度制御
・電力供給部３０からファン２０Ａに印加される電圧Ｖ
も小さくする。
【００４５】しかし、測定ユニット４０ＡがＯｐｅｒａ
ｔｉｏｎ状態のときは、発熱量Ｑaが多く、ファン２０
Ａの回転数Ｎｄｃ（式）を大きくしなければならない
ので、温度制御・電力供給部３０からファン２０Ａに印
加される電圧Ｖも大きくする。
ｔｉｏｎ状態のときは、発熱量Ｑaが多く、ファン２０
Ａの回転数Ｎｄｃ（式）を大きくしなければならない
ので、温度制御・電力供給部３０からファン２０Ａに印
加される電圧Ｖも大きくする。
【００４６】また、測定ユニット４０Ａの温度が異常温
度領域に属さない場合には、温度制御・電力供給部３０
から、電力ケーブル４１Ａを介して、測定ユニット４０
Ａへ所定の電力Ｐを供給する。
度領域に属さない場合には、温度制御・電力供給部３０
から、電力ケーブル４１Ａを介して、測定ユニット４０
Ａへ所定の電力Ｐを供給する。
【００４７】反対に、温度制御・電力供給部３０が温度
情報Ｔを監視することにより、測定ユニット４０Ａの温
度が異常温度領域に属する場合には、温度制御・電力供
給部３０は、測定部４０Ａへの電力供給を停止すると共
に、ファン２０Ａを最高回転数で回転させるのに必要な
電圧Ｖを、電力ケーブル２１Ａを介して、ファン２０Ａ
に印加する。
情報Ｔを監視することにより、測定ユニット４０Ａの温
度が異常温度領域に属する場合には、温度制御・電力供
給部３０は、測定部４０Ａへの電力供給を停止すると共
に、ファン２０Ａを最高回転数で回転させるのに必要な
電圧Ｖを、電力ケーブル２１Ａを介して、ファン２０Ａ
に印加する。
【００４８】このように、測定ユニット４０Ａが、発熱
量Ｑa が少ないＳｔａｎｄ−ｂｙ状態から、発熱量Ｑa
が多いＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態の間において、発熱量Ｑ
a が変化した時は、上記に示した順で同様な動作を繰り
返し行うことにより、発熱量に応じて、測定ユニット４
０Ａを冷却をするために必要な風量を得るように、ファ
ン２０Ａの回転数Ｎｄｃの最適制御を行う。
量Ｑa が少ないＳｔａｎｄ−ｂｙ状態から、発熱量Ｑa
が多いＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態の間において、発熱量Ｑ
a が変化した時は、上記に示した順で同様な動作を繰り
返し行うことにより、発熱量に応じて、測定ユニット４
０Ａを冷却をするために必要な風量を得るように、ファ
ン２０Ａの回転数Ｎｄｃの最適制御を行う。
【００４９】２．測定ユニットが２つの場合の作用 この場合は、図２において、測定ユニット４０Ａに関し
ては、ファン２０Ａと温度センサ１０Ａと温度制御・電
力供給部３０が、前記と同じ動作を行う。
ては、ファン２０Ａと温度センサ１０Ａと温度制御・電
力供給部３０が、前記と同じ動作を行う。
【００５０】また、測定ユニット４０Ｂに関しては、そ
の測定ユニット４０Ｂから発生する熱により温められた
空気を、直流モータ２２Ｂにより回転するファン２０Ｂ
で吸い出し、測定ユニット４０Ｂを冷却する。
の測定ユニット４０Ｂから発生する熱により温められた
空気を、直流モータ２２Ｂにより回転するファン２０Ｂ
で吸い出し、測定ユニット４０Ｂを冷却する。
【００５１】このとき、温度センサ１０Ｂにより、測定
ユニット４０Ｂの現在の温度を測定し、この温度情報Ｔ
b を、信号ケーブル１１Ｂを介して、温度制御・電力供
給部３０に送信する。
ユニット４０Ｂの現在の温度を測定し、この温度情報Ｔ
b を、信号ケーブル１１Ｂを介して、温度制御・電力供
給部３０に送信する。
【００５２】温度制御・電力供給部３０は、前記温度セ
ンサ１０Ｂから送信されて来る温度情報Ｔb を常に監視
している。
ンサ１０Ｂから送信されて来る温度情報Ｔb を常に監視
している。
【００５３】そして、測定ユニット４０Ｂの温度が異常
温度領域に属さない場合には、発熱量Ｑb に応じて、測
定ユニット４０Ｂを冷却するために必要な風量を得るよ
うに、ファン２０Ｂの回転数Ｎｄｃに必要な電圧Ｖｂを
（式）、温度制御・電力供給部３０から、電力ケーブ
ル２１Ｂを介して、ファン２０Ｂに印加する。
温度領域に属さない場合には、発熱量Ｑb に応じて、測
定ユニット４０Ｂを冷却するために必要な風量を得るよ
うに、ファン２０Ｂの回転数Ｎｄｃに必要な電圧Ｖｂを
（式）、温度制御・電力供給部３０から、電力ケーブ
ル２１Ｂを介して、ファン２０Ｂに印加する。
【００５４】即ち、測定ユニット４０ＢがＳｔａｎｄ−
ｂｙ状態のときは、発熱量Ｑb が少なく、ファン２０Ｂ
の回転数Ｎｄｃ（式）も小さくてよいので、温度制御
・電力供給部３０からファン２０Ｂに印加される電圧Ｖ
ｂも小さくする。
ｂｙ状態のときは、発熱量Ｑb が少なく、ファン２０Ｂ
の回転数Ｎｄｃ（式）も小さくてよいので、温度制御
・電力供給部３０からファン２０Ｂに印加される電圧Ｖ
ｂも小さくする。
【００５５】しかし、測定ユニット４０ＢがＯｐｅｒａ
ｔｉｏｎ状態のときは、発熱量Ｑbが多く、ファン２０
Ｂの回転数Ｎｄｃ（式）を大きくしなければならない
ので、温度制御・電力供給部３０からファン２０Ｂに印
加される電圧Ｖb も大きくする。
ｔｉｏｎ状態のときは、発熱量Ｑbが多く、ファン２０
Ｂの回転数Ｎｄｃ（式）を大きくしなければならない
ので、温度制御・電力供給部３０からファン２０Ｂに印
加される電圧Ｖb も大きくする。
【００５６】また、測定ユニット４０Ｂの温度が異常温
度領域に属さない場合には、温度制御・電力供給部３０
から、電力ケーブル４１Ｂを介して、測定ユニット４０
Ｂへ所定の電力Ｐb を供給する。
度領域に属さない場合には、温度制御・電力供給部３０
から、電力ケーブル４１Ｂを介して、測定ユニット４０
Ｂへ所定の電力Ｐb を供給する。
【００５７】反対に、温度制御・電力供給部３０が温度
情報Ｔb を監視することにより、測定ユニット４０Ｂの
温度が異常温度領域に属する場合には、温度制御・電力
供給部３０は、測定部４０Ｂへの電力供給を停止すると
共に、ファン２０Ｂを最高回転数で回転させるのに必要
な電圧Ｖb を、電力ケーブル２１Ｂを介して、ファン２
０Ｂに印加する。
情報Ｔb を監視することにより、測定ユニット４０Ｂの
温度が異常温度領域に属する場合には、温度制御・電力
供給部３０は、測定部４０Ｂへの電力供給を停止すると
共に、ファン２０Ｂを最高回転数で回転させるのに必要
な電圧Ｖb を、電力ケーブル２１Ｂを介して、ファン２
０Ｂに印加する。
【００５８】このように、測定ユニット４０Ｂが、発熱
量Ｑb が少ないＳｔａｎｄ−ｂｙ状態から、発熱量Ｑb
が多いＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態の間において、発熱量Ｑ
b が変化した時は、上記に示した順で同様な動作を繰り
返し行うことにより、発熱量に応じて、測定ユニット４
０Ｂを冷却をするために必要な風量を得るように、ファ
ン２０Ｂの回転数Ｎｄｃ（式）の最適制御を行う。
尚、測定ユニットが３つ以上の場合にも、前記測定ユニ
ットが２つ以上の場合と同様の動作が行われる。
量Ｑb が少ないＳｔａｎｄ−ｂｙ状態から、発熱量Ｑb
が多いＯｐｅｒａｔｉｏｎ状態の間において、発熱量Ｑ
b が変化した時は、上記に示した順で同様な動作を繰り
返し行うことにより、発熱量に応じて、測定ユニット４
０Ｂを冷却をするために必要な風量を得るように、ファ
ン２０Ｂの回転数Ｎｄｃ（式）の最適制御を行う。
尚、測定ユニットが３つ以上の場合にも、前記測定ユニ
ットが２つ以上の場合と同様の動作が行われる。
【００５９】
【発明の効果】前記のとおり、この発明によれば、半導
体検査装置の冷却方式を、直流モータで回転して測定ユ
ニットを冷却するファンと、測定ユニットの温度を測定
する温度センサと、温度センサから送られて来る温度情
報を監視する温度制御・電力供給部で構成したことによ
り、測定ユニットの動作状態ごとの発熱量に応じた適正
な風量が得られるように、ファンの回転数を制御すると
共に、ファンの無駄な電力消費を防止するという効果が
ある。
体検査装置の冷却方式を、直流モータで回転して測定ユ
ニットを冷却するファンと、測定ユニットの温度を測定
する温度センサと、温度センサから送られて来る温度情
報を監視する温度制御・電力供給部で構成したことによ
り、測定ユニットの動作状態ごとの発熱量に応じた適正
な風量が得られるように、ファンの回転数を制御すると
共に、ファンの無駄な電力消費を防止するという効果が
ある。
【００６０】
【図１】この発明の第１実施形態を示す図である。
【図２】この発明の第２実施形態を示す図である。
【図３】半導体検査装置の一般的説明図である。
【図４】従来技術の説明図である。
１０Ａ、１０Ｂ 温度センサ １１Ａ、１１Ｂ 信号ケーブル ２０Ａ、２０Ｂ ファン ２１Ａ、２１Ｂ 電力ケーブル ２２Ａ、２２Ｂ 直流モータ ３０ 温度制御・電力供給部 ４０Ａ、４０Ｂ 測定ユニット ４１Ａ、４１Ｂ 電力ケーブル
Claims (5)
- 【請求項１】 半導体検査装置の測定ユニット（４０
Ａ）を冷却する方式において、 直流モータ（２２Ａ）の回転により、測定ユニット（４
０Ａ）を冷却するファン（２０Ａ）と、 ファン（２０Ａ）によって冷却される測定ユニット（４
０Ａ）の温度を測定する温度センサ（１０Ａ）と、 温度センサ（１０Ａ）から送られて来る温度情報（Ｔ）
を監視し、測定ユニット（４０Ａ）の動作状態ごとの発
熱量（Ｑa ）に応じてファン（２０Ａ）の回転数（Ｎｄ
ｃ）の最適制御を行う温度制御・電力供給部（３０）を
備えたことを特徴とする半導体検査装置の冷却方式。 - 【請求項２】 前記温度制御・電力供給部（３０）は、
測定ユニット（４０Ａ）の温度が異常温度領域に属さな
い場合には、発熱量（Ｑa ）に応じて測定ユニット（４
０Ａ）を冷却するのに必要な風量を得るように、ファン
（２０Ａ）の回転数（Ｎｄｃ）を制御すると共に、測定
ユニット（４０Ａ）に所定の電力（Ｐ）を供給し、測定
ユニット（４０Ａ）の温度が異常温度領域に属する場合
には、測定ユニット（４０Ａ）への電力（Ｐ）の供給を
停止すると共に、ファン（２０Ａ）を最高回転数で回転
させて冷却する請求項１記載の半導体検査装置の冷却方
式。 - 【請求項３】 前記温度制御・電力供給部（３０）は、
直流モータ（２２Ａ）の電圧（Ｖ）を制御することによ
り、ファン（２０Ａ）の回転数（Ｎｄｃ）を制御する請
求項１記載の半導体検査装置の冷却方式。 - 【請求項４】 前記測定ユニット（４０）と、ファン
（２０）と、温度センサ（１０）が２つ以上設けられ、
共通の温度制御・電力供給部（３０）が１つ設けられて
いる請求項１記載の半導体検査装置の冷却方式。 - 【請求項５】 前記測定ユニット（４０）と、ファン
（２０）と、温度センサ（１０）が２つ以上設けられ、
これらに対応して温度制御・電力供給部（３０）も２つ
以上設けられている請求項１記載の半導体検査装置の冷
却方式。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9190407A JPH1123671A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 半導体検査装置の冷却方式 |
| US09/094,910 US6089463A (en) | 1997-06-30 | 1998-06-12 | Cooling system of a semiconductor testing device |
| KR1019980023241A KR100330089B1 (ko) | 1997-06-30 | 1998-06-20 | 반도체검사장치의냉각방식 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9190407A JPH1123671A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 半導体検査装置の冷却方式 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1123671A true JPH1123671A (ja) | 1999-01-29 |
Family
ID=16257639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9190407A Pending JPH1123671A (ja) | 1997-06-30 | 1997-06-30 | 半導体検査装置の冷却方式 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6089463A (ja) |
| JP (1) | JPH1123671A (ja) |
| KR (1) | KR100330089B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7023502B2 (en) | 1996-09-04 | 2006-04-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device having light-shielded thin film transistor |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001056724A (ja) * | 1999-08-18 | 2001-02-27 | Nec Niigata Ltd | パーソナルコンピュータの冷却方式 |
| GB2357593A (en) * | 1999-12-21 | 2001-06-27 | Cummins Engine Co Ltd | Temperature control of engine electronic control unit |
| US6499960B2 (en) * | 2000-01-28 | 2002-12-31 | Yen Sun Technology Corp. | Control circuit for a heat-dissipation fan |
| JP2002343912A (ja) * | 2001-05-16 | 2002-11-29 | Ando Electric Co Ltd | デバイスの冷却方法 |
| CN100403202C (zh) * | 2003-07-28 | 2008-07-16 | 华为技术有限公司 | 风扇转速控制方法及装置 |
| KR100864432B1 (ko) | 2007-05-03 | 2008-10-20 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 온도 조절용 챔버 및 그를 이용한반도체 소자 제조방법 |
| CN106705374A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-24 | 美的集团股份有限公司 | 一种空调器的控制方法及装置 |
| CN106642592A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-10 | 美的集团股份有限公司 | 一种空调器的控制方法及装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3058663A (en) * | 1957-10-03 | 1962-10-16 | Honeywell Regulator Co | Selective control and display apparatus |
| US4425766A (en) * | 1982-05-17 | 1984-01-17 | General Motors Corporation | Motor vehicle cooling fan power management system |
| KR0121950B1 (ko) * | 1995-08-11 | 1997-11-13 | 김광호 | 자동차 냉각팬 제어 시스템 |
-
1997
- 1997-06-30 JP JP9190407A patent/JPH1123671A/ja active Pending
-
1998
- 1998-06-12 US US09/094,910 patent/US6089463A/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-06-20 KR KR1019980023241A patent/KR100330089B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7023502B2 (en) | 1996-09-04 | 2006-04-04 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device having light-shielded thin film transistor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR19990007173A (ko) | 1999-01-25 |
| KR100330089B1 (ko) | 2002-08-21 |
| US6089463A (en) | 2000-07-18 |
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