JPH11233580A

JPH11233580A - 固体撮像素子の欠陥画素検出方法

Info

Publication number: JPH11233580A
Application number: JP10029980A
Authority: JP
Inventors: Hiroichi Kono; 博一河野
Original assignee: Hitachi Denshi KK
Current assignee: Hitachi Denshi KK
Priority date: 1998-02-12
Filing date: 1998-02-12
Publication date: 1999-08-27

Abstract

(57)【要約】【課題】欠陥画素の検出が短時間で済む固体撮像素子
の欠陥画素検出方法を提供すること。【解決手段】検査対象となる固体撮像素子の全画素領
域を複数の検出領域に分割し、各検出領域毎に欠陥画素
を検出する方式の固体撮像素子の欠陥画素検出方法にお
いて、まず図３(1)に示す固体撮像素子１の全画素領域
を、図３(2)に示すように２分割して２個の検出領域の
夫々について欠陥画素の検出を行い、次いで、これら２
個の検出領域の一方の検出領域について、図３(3)に示
すように、さらに２分割した２個の検出領域の夫々につ
いて欠陥画素の検出を行い、この操作を、検出領域が１
個の画素になるまで順次繰り返して欠陥画素を特定する
ようにしたもの。この結果、全画素領域を、最初から複
数個、例えば７００個の小ブロックに分割し、各小ブロ
ックごとに欠陥画素を検出するようにした場合に比し
て、大幅に検出時間の短縮が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、固体撮像素子の検
査方法に係り、特に画素数の多い固体撮像素子の検査に
好適な欠陥画素の検出方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体技術の進歩に伴って、ＣＣ
Ｄ(Charge Coupled Devices)などの固体撮像素子の発展
は目覚ましく、民生用の小型テレビジョンカメラから、
業務用のかなり大型のテレビジョンカメラ、さらにはス
チルカメラにまで広く用いられるようになっている。

【０００３】ところで、この固体撮像素子には、結晶欠
陥など半導体特有の問題があり、しかも、図５に示すよ
うに、数多くの画素、例えば横にｘ個、縦にｙ個並んで
配列されている複数個(ｘ×ｙ個)の画素２６で構成され
ているので、製造技術上、欠陥画素の発生が確率的に免
れない。従って、固体撮像素子の製造に際しては、欠陥
画素の有無検査が、ほとんど不可避であり、このため、
従来から種々の欠陥画素検出方法が提案されているが、
その一種に小ブロックピーク検出法がある。

【０００４】そこで、以下、この小ブロックピーク検出
法の従来技術について説明すると、この従来技術の小ブ
ロックピーク検出法では、複数個の画素２６からなる固
体撮像素子１の全画素領域を、図５に示すように、複数
個の小ブロック２７に分割し(図では７×５個の画素か
らなる１個のブロックだけが示してある)、この分割さ
れた小ブロック２７単位で欠陥画素検出処理を行ない、
この処理を順次繰り返すことにより、固体撮像素子１の
全画素領域についての欠陥画素検出処理が得られるよう
にしたものである。

【０００５】図６は、この小ブロックピーク検出法によ
る検出装置の一例を示したブロック図で、図において、
１が検査すべき固体撮像素子である。そして、このとき
は、その撮像面は遮光状態にしてある。なお、これは、
いわゆる白傷と呼ばれる画素欠陥の検出を対象とした場
合のことで、黒傷と呼ばれる画素欠陥の検出に際して
は、所定の光源により、全ての画素が均一の明かるさで
照明されるようにすればよい。

【０００６】固体撮像素子１は、その各画素から信号が
順次出力されるように、図示してない走査装置により制
御され、これにより出力された信号は、ＣＤＳ(相関二
重サンプリング)回路２で雑音が低減された後、増幅器
３で増幅され、Ａ／Ｄ変換器４に供給されてディジタル
信号に変換された上で、映像信号４ａとしてピークレベ
ル検出部５及び１画素レベル検出部１０に供給される。

【０００７】７は制御用のＣＰＵ(セントラル・プロセ
ッシング・ユニット)で、このＣＰＵ７は、所定のソフ
トウエアをもち、固体撮像素子１からの信号の読出に同
期してプログラムを実行し、必要とする処理を逐次遂行
してゆく働きをする。そして、まず、ＣＰＵ７は、小ブ
ロックを設定するための検出範囲設定信号７ａを、所定
のタイミングで発生し、これをピークレベル検出部５に
供給する。

【０００８】ピークレベル検出部５は、図７に示すよう
に構成されており、そのデコーダ１２により、検出範囲
設定信号７ａを入力する。そして、このデコーダ１２
は、入力された検出範囲設定信号７ａを、夫々水平位置
信号１２ａ、垂直位置信号１２ｂ、水平幅信号１２ｃ、
それに垂直幅信号１２ｄにデコードし、これらをパルス
発生器１３に供給する。

【０００９】パルス発生器１３は、これら水平位置信号
１２ａ、垂直位置信号１２ｂ、水平幅信号１２ｃ、垂直
幅信号１２ｄと、走査クロックで歩進するアドレスカウ
ンタ１１のカウント値１１ａとにより、対応する小ブロ
ックの画素から信号が出力されている期間だけＨレベル
になる検出期間信号１３ａを生成し、これをスイッチ１
５に供給する。

【００１０】従って、このスイッチ１５は、検出期間信
号１３ａがＨレベルの期間、オンに制御され、この結
果、レジスタ１６には、Ａ／Ｄ変換器４から出力された
映像信号４ａのうち、対応する小ブロックの画素から出
力された映像信号だけが入力されることになる。

【００１１】一方、ピークレベル検出部５に入力された
映像信号４ａは、レジスタ１６の出力信号５ａと共に比
較器１４に入力され、その大きさが比較される。そし
て、映像信号４ａがレジスタ出力信号５ａよりも大きい
ときの比較結果１４ａにより、レジスタ１６の設定値
を、このときの映像信号４ａのレベルに更新する。従っ
て、小さいときは、そのときのレジスタ１６の設定値が
保持される。

【００１２】この処理は、検出期間信号１３ａがＨレベ
ルにある期間中、実行され、この結果、期間後にレジス
タ１６に設定された値は、小ブロック内の全ての画素の
映像信号の内で最大値を示した信号のレベルが残り、従
って、このレジスタ１６の出力がピークレベル５ａとし
て得られることになる。そこで、ＣＰＵ７は、このピー
クレベル５ａを取込み、予め設定してある所定の閾値と
比較し、閾値を越えていたとき、その小ブロックには欠
陥画素ありと判定するのである。

【００１３】そして、ＣＰＵ７は、この処理を、分割し
た全ての小ブロックについて順次行ない、欠陥画素あり
と判定された小ブロックを登録し、次いで、これらの小
ブロックについては、１画素レベル検出を行う。まず、
ＣＰＵ７は、小ブロック内の１画素を設定するためのア
ドレス信号７ｃを出力し、これを１画素レベル検出部１
０に入力する。

【００１４】１画素レベル検出部１０は、図８に示すよ
うに構成されており、入力されたアドレス信号７ｃから
デコーダ１８で水平位置信号１８ａ、垂直位置信号１８
ｂを生成し、パルス発生器１９に入力する。パルス発生
器１９では、これら水平位置信号１８ａ、垂直位置信号
１８ｂと、アドレスカウンタ１７のカウント値１７ａか
ら、アドレス信号７ｃで指定される１画素の期間だけＨ
レベルになるパルス１９ａを生成し、レジスタ２０に入
力する。

【００１５】このレジスタ２０は、パルス１９ａがＨレ
ベルのとき、映像信号４ａをラッチし、これにより、１
画素毎に、その映像レベルを保持し、これをレジスタ出
力１０ａとして出力する。そこで、ＣＰＵ７は、この１
画素の映像レベル１０ａを順次、各画素毎に取込み、順
次、予め設定してある判定用の所定の閾値と比較し、こ
の閾値を越えているか否かで、欠陥画素か否かの判定を
行う。

【００１６】そして、この処理は小ブロック内の全ての
画素について行なわれ、その結果、欠陥画素と判定され
た画素が現れたとき、その画素のアドレスと、検出した
映像レベルを欠陥画素データメモリ８に格納してゆく。
この結果、欠陥画素データメモリ８には、そのとき検査
対象とした固体撮像素子１に欠陥画素が存在したとき、
その位置が記憶されることになり、従って、このメモリ
８を参照することにより、固体撮像素子１の欠陥画素に
ついての検査結果を知ることができ、必要な処理、例え
ば、製造時の製品検査での不良品の発見や、テレビジョ
ンカメラなどの撮像装置に組み込んだ後、装置の電源を
投入して使用開始立ち上げ時での機能チェックなどに利
用することができる。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、固体
撮像素子の欠陥画素検出に必要な時間をより短縮するこ
とについて配慮がされておらず、検査対象となる固体撮
像素子の画素数が同じなら常に同じで、しかもかなり長
い時間を要するという問題があった。

【００１８】すなわち、まず、上記従来技術では、固体
撮像素子の画素配列を全て同じ大きさの小ブロックに分
割しているため、欠陥画素の検出処理を全ての小ブロッ
クについて実行した後でなければ、欠陥画素があるか否
か確定できないので、各小ブロックでの欠陥画素の有無
や個数に関係なく、常に一定の検出時間を要する。

【００１９】次に、上記従来技術では、１個の欠陥画素
を検出するのに要する時間をＴとすると、この時間Ｔ
は、以下のようになる。Ｔ＝Ｂ・２ｔ＋Ｐ_B・ＤＢ：小ブロックの数(撮像面の分割数) ｔ：小ブロック１個当りのピークレベル検出時間Ｐ_B：小ブロック内の画素数Ｄ：１画素のレベル検出時間なお、ピークレベル検出時間ｔが２倍されているのは、
小ブロックが奇数フィールドと偶数フィールドの２フィ
ールドで構成されているためである。

【００２０】従って、従来技術では、例えば、固体撮像
素子の画素数が約１００万個(ｎ＝１０２４、ｍ＝１０
２４)で、小ブロック数Ｂが７００(小ブロック内画素数
は約１４９８で、このとき検出時間が最短になる)、ピ
ークレベル検出時間ｔ及び１画素のレベル検出時間Ｄが
１６ｍｓ(１フィールド期間)の場合、時間Ｔは約４９秒
になる。

【００２１】この４９秒という時間は、固体撮像素子を
用いた装置の検査に要する時間や、その装置の機能チェ
ックに必要な時間としては、一般にかなり長い時間であ
り、従って、従来技術では、実用上、問題が生じてしま
うのである。本発明の目的は、欠陥画素の検出が短時間
で済む固体撮像素子の欠陥画素検出方法を提供すること
にある。

【００２２】

【課題を解決するための手段】上記目的は、検査対象と
なる固体撮像素子の全画素領域を複数の検出領域に分割
し、各検出領域毎に欠陥画素を検出する方式の固体撮像
素子の欠陥画素検出方法において、全画素領域を２分割
し、各検出領域について欠陥画素の検出を行い、欠陥画
素が検出された方の検出領域だけを再び２分割して、再
び各検出領域について欠陥画素の検出を行ない、この操
作を、検出領域が１個の画素になるまで順次繰り返し、
欠陥画素を特定するようにして達成される。

【００２３】また、上記全画素領域を２分割した２個の
検出領域について欠陥画素の検出を行う前に、全画素領
域について欠陥画素検出を行なうこととしてもよい。

【００２４】これを、本発明の実施形態に則して具体的
に説明すると、以下の通りである。まず、前処理とし
て、欠陥画素検出の最初のピーク検出領域(検出範囲)を
固体撮像素子の撮像範囲全体に設定してピーク検出を行
う。ここで検出したピークレベルと所定の閾値とをＣＰ
Ｕで比較して欠陥画素の判定を行う。この時点でピーク
レベルが欠陥画素と判定されなかったときは、欠陥画素
は存在しないことになり、ここで欠陥画素検出を終了す
る。

【００２５】ピークレベルが欠陥画素と判定されたとき
は、ピーク検出の検出領域を２分割して、分割されたそ
れぞれの検出領域に対して再度ピーク検出を行う。この
結果２つのピークレベルが得られるが、このうち値の大
きなピークレベルが得られた検出領域をさらに２分割し
て、分割されたそれぞれの検出領域に対して再度ピーク
検出を行う。この処理を検出領域が１画素になるまで繰
り返すと、終了した時点で欠陥画素の位置が特定され
る。

【００２６】また、本発明では固体撮像素子の撮像範囲
のうち、任意の範囲の画素が出力する映像レベルの平均
値を検出する手段を備えており、閾値はこの手段を用い
て決定する。この閾値は、ピーク検出の前に、ピーク検
出の検出範囲内の映像レベル平均値を平均値検出手段に
より検出し、この値に、許容すべき欠陥の程度に応じて
所定の定数を加算した値に設定する。この方法により、
欠陥画素の検出時間を短縮することができる。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明による固体撮像素子
の欠陥画素検出方法について、図示の実施形態により詳
細に説明する。図１は、本発明の一実施形態が適用され
た欠陥画素検出部のブロック図で、固体撮像素子１の出
力は、ＣＤＳ回路２と増幅器３を介してＡ／Ｄ変換器４
に供給され、ディジタル信号４ａとしてピークレベル検
出部５及び平均値検出部６に供給される。なお、以上の
構成は、平均値検出部６が１画素レベル検出部１０に置
換えられていることを除き、図６の従来技術と同じであ
る。

【００２８】図２は、ＣＰＵ７による欠陥画素検出処理
を示すフローチャートで、以下、この図２のフローチャ
ートにより、この実施形態の動作について説明する。こ
の図２のフローチャートによる欠陥画素検出処理は、ス
テップ１０１〜ステップ１０６までの処理と、その後の
ステップ１０７以降での処理の２種の処理に大別され、
ステップ２１１以降の処理は、画素の全数によって決ま
る回数だけ繰り返されることになる。

【００２９】そこで、ここでは、ステップ１０１〜ステ
ップ１０６の処理を第１段階の処理と定義し、この後、
最初に実行されるステップ１０７〜ステップ２３３まで
の処理を第２段階の処理と定義する。そして、さらに、
この第２段階の処理以降、ステップ２２４から繰り返さ
れる処理については、その実行順に、最初は第３段階の
処理として定義し、以下、順次、第４段階の処理、第５
段階の処理、……、最終段階の処理と定義する。

【００３０】そこで、まず第１段階の処理は、図２のス
テップ１０１〜ステップ１０７の処理で、この処理で
は、図３(1)に示すように、固体撮像素子１の撮像領域
全体で検出を行う、いわば前処理であり、このとき、Ｃ
ＰＵ７は、図３(1)に示す全画素領域での欠陥画素の判
定に必要な閾(しきい)値を設定するため、検出範囲設定
信号７ｂを発生し、平均値検出部６に出力する。

【００３１】平均値検出部６は、図４に示す構成をも
ち、デコーダ２２で検出範囲設定信号７ｂを入力し、こ
れを、水平位置信号２２ａ、垂直位置信号２２ｂ、水平
幅信号２２ｃ、それに垂直幅信号２２ｄの各信号にデコ
ードし、夫々パルス発生器２３に供給する。また、この
とき、平均値算出に必要な除数２２ｅも生成し、除算器
２５に供給する。

【００３２】パルス発生器２３は、これら水平位置信号
２２ａ、垂直位置信号２２ｂ、水平幅信号２２ｃ、垂直
幅信号２２ｄの各信号と、アドレスカウンタ２１から供
給されるカウント値２１ａとにより、検出範囲期間だけ
Ｈレベルになる検出期間信号２３ａを生成し、加算器２
４に供給する。

【００３３】この加算器２４には、映像信号４ａと、加
算器２４自体の出力データ２４ａとが入力されており、
これにより、加算器２４は、検出期間信号２３ａがＨレ
ベルにある期間だけ(ステップ１０１)映像信号４ａの加
算を行い、加算データ２４ａは除算器２５に出力され
る。

【００３４】そこで、除算器２５は、これら加算データ
２４ａと除数２２ｅから平均値６ａ(Ａ１)を計算し(ス
テップ１０２)、これをＣＰＵ７に出力する。ＣＰＵ７
は、許容すべき欠陥画素の大きさにより決定される所定
の定数ｃを平均値６ａに加算して、閾値Ｓ１を設定する
(ステップ１０３)。次に、ＣＰＵ７はピークレベル検出
に進み、今度は、検出範囲設定信号７ａをピークレベル
検出部５に出力する。

【００３５】このピークレベル検出部５は、図７で説明
した構成を備え、図６の従来技術と同様にして、図３
(1)に示す全画素領域を設定し(ステップ１０４)、レジ
スタ１６の出力５ａとしてピークレベルＰ１を検出する
(ステップ１０５)。そして、このピークレベルＰ１をＣ
ＰＵ７に入力し、所定の閾値と大きさを比較して欠陥画
素か否かの判定を行う(ステップ１０６)。

【００３６】そして、このステップ１０６での結果がＮ
(否定)、すなわち、検出したピークレベルＰ１が閾値Ｓ
１以下と判定されたときは、固体撮像素子１には欠陥画
素が存在しないことになるので、ここで欠陥画素の検出
処理を終了する。つまり、このときは、第１段階の処理
だけで欠陥画素の検出処理が終了されることになる。

【００３７】一方、ステップ１０６での結果がＹ(肯
定)、すなわち、検出したピークレベルＰ１が閾値Ｓ１
を越えていると判定されたときは、固体撮像素子１に欠
陥画素が存在することを意味するので、このときは、第
２段階の処理として、ステップ１０７以降の処理に進
む。

【００３８】まず、ＣＰＵ７は、固体撮像素子１の全画
素領域を、左右に２分割するのに必要な検出範囲設定信
号７ａを所定のタイミングで発生し、ピークレベル検出
部５に供給する。この結果、図３(2)に示すように、左
と右に分割された領域が設定されたことになる(ステッ
プ１１７)。ここで、これら２分割された領域の一方を
第１の検出領域、他方を第２の検出領域とし、各検出領
域に対して、第１段階と同様の方法で、平均値検出によ
る閾値の設定とピークレベルの検出を行う(ステップ２
１１以降)。

【００３９】この結果、まず第１の検出領域についての
平均値(Ａｎ１)の検出と、それによる閾値(Ｓｎ１)の設
定処理、及びピークレベル(Ｐｎ１)の検出処理が順次実
行され(ステップ２１１〜ステップ２１５)、次いで第２
の検出領域についての平均値(Ａｎ２)の検出と、それに
よる閾値(Ｓｎ２)の設定処理、及びピークレベル(Ｐｎ
２)の検出処理が順次実行される(ステップ２２１〜ステ
ップ２２５)。

【００４０】次に、こうして各検出領域の閾値Ｓｎ１、
Ｓｎ２と、ピークレベルＰｎ１、Ｐｎ２が求まったら、
続いてステップ２３１〜ステップ２３３により判定処理
を実行する。まず、ステップ２３１では、ピークレベル
Ｐｎ１と、ピークレベルＰｎ２を比較し、第１の検出領
域と第２の検出領域の内、ピークレベルが大きい方の検
出領域を選択する。

【００４１】そして、まず、判定結果がＹのとき、つま
りピークレベルＰｎ１の方が、ピークレベルＰｎ２より
も大きかったときは、第１の検出領域が選択され、この
ときはステップ２３２に進み、反対に、判定結果がＮの
とき、つまりピークレベルＰｎ２が、ピークレベルＰｎ
１以下のときは、第２の検出領域が選択され、このとき
はステップ２３３に進む。これにより、とりあえず、ピ
ークレベルが大きい方の領域に欠陥画素が存在する筈で
あるとする。

【００４２】そして、まずステップ２３２に進んだと
き、つまり第１の検出領域が選択されたときは、今度は
ピークレベルＰｎ１を、閾値Ｓｎ１と比較する。そし
て、このステップ２３２での判定結果がＮ、すなわち、
Ｐｎ１≦Ｓｎ１になったときは、固体撮像素子１には欠
陥画素は存在しなかったものとして、ここで検出処理を
終了する。

【００４３】また、ステップ２３３に進んだとき、つま
り第２の検出領域が選択されたときは、ピークレベルＰ
ｎ２を、閾値Ｓｎ２と比較し、判定結果がＮ、すなわ
ち、Ｐｎ２≦Ｓｎ２になったときも、同じく固体撮像素
子１には欠陥画素は存在しなかったものとして、ここで
検出処理を終了する。

【００４４】何故なら、ステップ２３１で、既にピーク
レベルが大きい方が選ばれているのであるから、その上
で、ステップ２３２、又はステップ２３３で結果がＮに
なった以上、この固体撮像素子１には、最初から映像信
号のレベルが閾値を越えている画素は存在していなかっ
たことになるからである。

【００４５】しかして、ステップ２３２、又はステップ
２３３の何れか一方での判定結果がＹ、すなわちＰｎ１
＞Ｓｎ１、又はＰｎ２＞Ｓｎ２になったときは、第１の
検出領域、又は第２の検出領域の一方に欠陥画素が存在
することを意味するから、このときは、まずステップ２
３４、又はステップ２３５で、このときの第１の検出領
域内、又は第２の検出領域内に含まれる画素の数が１個
になっているか否かを調べ、判定結果がＮのときは、次
いで夫々対応するステップ２３６、又はステップ２３７
の一方に進む。

【００４６】そして、ステップ２３６、又はステップ２
３７の一方で、図３(3)に示すように、対応する一方の
検出領域について、さらに第１と第２の２個の検出領域
に分割した後、ステップ２１１に戻って第３段階の処理
に進み、これを順次、ステップ２３４、又はステップ２
３５での判定結果がＹになるまで、続いて第４段階の処
理、第５段階の処理、……と繰り返えす。

【００４７】そうして、各段階の処理を繰り返し、ステ
ップ２３４、又はステップ２３５での判定結果がＹにな
ったとき、最終段階の処理となり、ここで処理を終了さ
せ、このとき最後に残った画素を欠陥画素であると特定
し、その画素のアドレス、すなわち、水平位置と垂直位
置と、検出した映像レベルを欠陥画素データメモリ８に
格納するのである。

【００４８】従って、この実施形態によれば、第２段階
の処理では固体撮像素子１の全画素についての検出処理
を要するが、以後、第３段階以降の処理では、順次、そ
の前の段階での検出領域の半分の領域での検出処理とな
り、この結果、固体撮像素子１の１個の欠陥画素を検出
するのに要する時間Ｔは、次の通りになる。

【００４９】Ｔ＝８ｔ・(ｌog₂ｘ＋ｌog₂(ｙ／２)＋１／２) ｔ：小ブロック１個当りのピークレベル検出時間ｌog₂：２の対数ｘ：水平方向の画素数ｙ：垂直方向の画素数

【００５０】この式の根拠は、以下の通りである。ま
ず、第１段階の処理では、検出領域が全画素領域になっ
ているので、１回当りの処理時間はフィールド期間にな
り、奇数フィールドと偶数フィールドで検出処理が必要
なので、このときは２回となる。次に、第２段階の処理
では、２分割した領域の夫々について、第１段階と同じ
処理をするので、検出処理回数は、第１段階の２倍の４
回になる。

【００５１】そして、第２段階以降の処理も、処理内容
は同じなので、各段階ごとに、第１段階の２倍の４回に
なる。一方、最終段階までの段階数は全画素数によって
決るので、結局、その回数は次の通りになる。４×(ｌog₂ｘ＋ｌog₂(ｙ／２)) ここで、垂直画素数ｙを１／２しているのは、奇数と偶
数の各フィールドでの垂直画素数が、固体撮像素子の全
画素数の半分になっているからである。

【００５２】従って、奇数フィールド全体の検出回数
は、次の通りになる。第１段階での検出回数＋第２段階以降の検出回数＝２＋４×(ｌog₂ｘ＋ｌog₂(ｙ／２)) ＝４×(ｌog₂ｘ＋ｌog₂(ｙ／２)＋１／２) そして、１回の検出には、１フィールド期間の時間を要
するので、結局、偶数フィールドでの検出時間は、次の
通りになる。４×ピーク検出時間×(ｌog₂ｘ＋ｌog₂(ｙ／２)＋１／
２)

【００５３】同じ処理は、偶数フィールドでも必要なの
で、結局、全検出時間Ｔは、各フィールドでの検出時間
の２倍になり、従って、次の通りになるのである。Ｔ＝２×４×ピーク検出時間×(ｌog₂ｘ＋ｌog₂(ｙ／２)＋１／２) ＝８ｔ・(ｌog₂ｘ＋ｌog₂(ｙ／２)＋１／２）

【００５４】そこで、いま、固体撮像素子１の画素数
を、上記した従来技術と同じく、１００万画素（ｘ＝１
０２４、ｙ＝１０２４)とし、同じくピーク値及び平均
値の検出に１フィールド期間(約１６ｍｓ＝ｔ)要するも
のとすると、１個の欠陥画素の検出時間は約２秒とな
り、上記従来技術では約４６秒必要としたことと比較す
れば明らかなように、この実施形態によれば、大幅に検
出時間の短縮が得られることが判る。

【００５５】また、従来技術では、欠陥画素の検出処理
を全ての小ブロックについて実行した後でなければ、欠
陥画素があるか否か確定できないが、上記本発明の実施
形態によれば、各検出段階で欠陥画素が検出されなくな
ったら、この時点で、このときの固体撮像素子には欠陥
画素が無いものと確定されるので、ここで検出処理を終
了させることができ、従って、さらに大幅な検出時間の
短縮を得ることができる。

【００５６】ところで、以上の本発明の実施形態では、
欠陥画素が１個の場合の検出処理について説明したが、
欠陥画素が複数個存在する場合は、第１段階からの操作
を繰り返すことにより対応できる。これは、上記実施形
態では、図２に示すように、ステップ２３１とステップ
２３２により、映像信号レベルの高い画素が存在してい
る方の検出領域が優先して処理されるからである。

【００５７】従って、上記実施形態では、或る画素が欠
陥であるとして検出され、特定された後、再度、図２の
ステップ１０６での処理で結果がＮになるまで、この図
２の検出処理を繰り返してやることにより、欠陥画素が
存在している間は、順次、それが１個づつ検出され、特
定されてゆくことになり、この結果、欠陥画素の個数に
関わらず、常に確実に欠陥画素を検出することができ
る。

【００５８】

【発明の効果】本発明によれば、欠陥画素の検出に必要
な時間を充分に短縮することができるので、固体撮像素
子の検査が容易になり、コスト低減に貢献することがで
きる。また、この結果、テレビジョンカメラなど、固体
撮像素子を用いた装置において、動作開始時など、任意
の時点で撮像素子のチェックが容易に行えるようにでき
るので、装置の信頼性を高めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による固体撮像素子の欠陥画素検出方法
の一実施形態が適用された撮像装置の一例を示すブロッ
ク図である。

【図２】本発明による固体撮像素子の欠陥画素検出方法
の一実施形態による検出処理を説明するためのフローチ
ャートである。

【図３】本発明の一実施形態による欠陥画素検出領域の
分割方法の一例を示す説明図である。

【図４】本発明の一実施形態における平均値検出部の一
例を示すブロック図である。

【図５】従来技術による固体撮像素子の欠陥画素検出方
法の一例における小ブロックの説明図である。

【図６】従来技術による固体撮像素子の欠陥画素検出方
法が適用された撮像装置の一例を示すブロック図であ
る。

【図７】欠陥画素検出用のピークレベル検出部の一例を
示すブロック図である。

【図８】従来技術による固体撮像素子の欠陥画素検出方
法における１画素レベル検出部の一例を示すブロック図
である。

【符号の説明】

１固体撮像素子２ＣＤＳ回路３増幅器４ＡＤ変換器５ピークレベル検出部６平均値検出部７ＣＰＵ８欠陥画素データメモリ１０１画素レベル検出部１１、２１アドレスカウンタ１２、１８、２２デコーダ１３、１９、２３パルス発生器１４比較器１５スイッチ１６、２０レジスタ２４加算器２５除算器２６画素２７小ブロック４ａ映像信号５ａ映像信号のピークレベル値６ａ映像信号の平均値７ａ、７ｂ検出範囲設定信号７ｃ検出画素アドレス信号７ｄ欠陥画素データ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】検査対象となる固体撮像素子の全画素領
域を複数の検出領域に分割し、各検出領域毎に欠陥画素
を検出する方式の固体撮像素子の欠陥画素検出方法にお
いて、全画素領域を２分割し、各検出領域について欠陥画素の
検出を行い、欠陥画素が検出された方の検出領域だけを
再び２分割して、再び各検出領域について欠陥画素の検
出を行ない、この操作を、検出領域が１個の画素になる
まで順次繰り返し、欠陥画素を特定するようにしたこと
を特徴とする固体撮像素子の欠陥画素検出方法。
【請求項２】検査対象となる固体撮像素子の全画素領
域を複数の検出領域に分割し、各検出領域毎に欠陥画素
を検出する方式の固体撮像素子の欠陥画素検出方法にお
いて、全画素領域を２分割し、各検出領域について欠陥画素の
検出を行い、より多くの欠陥画素が検出された方の検出
領域だけを再び２分割して、再び各検出領域について欠
陥画素の検出を行ない、この操作を、検出領域が１個の
画素になるまで順次繰り返し、欠陥画素を特定するよう
にしたことを特徴とする固体撮像素子の欠陥画素検出方
法。
【請求項３】請求項１又は請求項２の発明において、前記欠陥画素の判定が、前記検出領域内の各画素の映像信号レベルを、該検出領
域内の全画素の映像信号レベルの平均値と比較し、両レ
ベルの差が予め設定してある閾値を越えているか否かで
行うに構成されていることを特徴とする固体撮像素子の
欠陥画素検出方法。