JPH11231275A - 液晶セルの貼り合わせ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来の減圧型の液晶セルの貼り合わせ装置に
おいては、気密シートの表面に凹凸や突起があると、液
晶セルに局所的な荷重がかかり、スペーサのつぶれによ
るセル厚ムラが発生し、良品率が著しく低下する。 【解決手段】 液晶セルの貼り合わせ装置１は、方形枠
状のステージ２の上に、重ね合わせたガラス基板６，７
を載置し、真上に位置する可撓性の気密シート９’が取
り付けられたクランプ枠８’を降下させて、ステージ２
上の方形シール枠２４’に押しつけて気密シールを形成
し、この後に、ガラス基板６，７の隙間にのみ連通して
いる密閉空間４０’を減圧状態としてガラス基板７は直
接、ガラス基板６は気密シート９’を介して大気圧をか
けて圧迫するものであるが、ここで、上記気密シート
９’を、ポリテトラフルオロエチレンやポリエチレンテ
レフタレート等からなる、表面凹凸高低差が１５μｍ以
内のものとする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶ディスプレイ
パネルを構成する液晶セルの製造技術に関するものであ
り、特に、液晶を封入する一定の隙間を形成するため
に、スペーサを挟み込んだ状態で２枚の基板を相互に重
ねて圧迫して貼り合わせる液晶セルの貼り合わせ装置に
関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイパネルのセル構造は、
２枚のガラス基板がプラスチックビーズ等からなるスペ
ーサを挟んだ状態で重ね合わされ、それらの間に液晶を
封入するための隙間が形成されている。

【０００３】また、これらのガラス基板を相互に貼り合
わせるために、これらの間には、予めシール剤が塗布さ
れ、このシール剤をガラス基板を重ね合わせた後に、圧
迫しながら硬化させている。上記シール剤としては、熱
硬化性や紫外線硬化性のものが一般に知られている。

【０００４】このような液晶セルを製造するために２枚
のガラス基板を貼り合わせるための装置は、アライメン
ト工程を経て、正確に重ね合わせた２枚のガラス基板を
ステージ上におき、この上から空気圧を加えて、ガラス
基板を圧迫するとともに、ガラス基板に対して外側から
加熱、あるいは、紫外線を照射することにより、ガラス
基板の間のシール剤を硬化させて、ガラス基板を貼り合
わせる構成となる。

【０００５】ところが、このような一般に使用されてい
る加圧型の貼り合わせ装置は、加圧力を発生させるため
の機構が大がかりとなり、また、製造コストも高くなる
傾向がある。

【０００６】そこで、このような不具合を解消するもの
として、特開平９−２１９８８号公報に、加圧方式を採
用せずに、構成が簡単で廉価であり、しかもガラス基板
を正確に貼り合わせることの可能な液晶セルの貼り合わ
せ方法及び装置が開示されている。

【０００７】図８乃至図１０を用いて、該公報に開示さ
れている液晶セルの貼り合わせ装置について説明する。

【０００８】図８に示すように、貼り合わせ装置１は、
移動式ステージ２を備えており、このステージ２はガイ
ドレール３に沿って、図において右側に位置する減圧ス
テーション４と図において左側に位置する加熱ステーシ
ョン５の間を往復移動可能となっている。

【０００９】この貼り合わせ装置にて貼り合わされる２
枚のガラス基板６，７は、例えば１辺が３００乃至５０
０ｍｍの方形であり、板厚は１．１ｍｍ程度のものであ
る。これらのガラス基板６，７の一方の表面に、熱硬化
性、例えばエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂からなるシー
ル剤（図示せず）がスクリーン印刷等の方法によって印
刷される。そして、直径が約５μｍのスペーサ（不図
示）がガラス基板６，７の対向表面に散布され、しかる
後に、アライメント工程を経て、２枚のガラス基板６，
７が正確に重ね合わされる。このように重ね合わされた
ガラス基板６，７が、ステージ２の上に、ガラス基板７
の側を下にした状態で載せられる。

【００１０】ステージ２は、全体として矩形の枠形状を
しており、その中央には、設置されるガラス基板６，７
よりも一回り小さい矩形開口２１が形成されている。ま
た、矩形開口２１の周囲を規定しているステージ２の表
面内周縁の全周に沿って、一定の幅及び厚さのシリコン
スポンジ製の方形シール枠２２が取り付けられている。

【００１１】さらにステージ２の枠状の上面２３の外周
の位置には、このシリコンスポンジ製の方形シール枠２
２よりも一回り大きな寸法のシリコンスポンジ製の方形
シール枠２４が取り付けられている。この方形シール枠
２４は、その下半分がステージ２に埋め込まれ、上半分
が、ステージ上面２３から上方に突出した状態となって
いる。そして、ステージ２上には、上下方向に連通孔２
５が貫通しており、その上端開口２５ａは、これらの方
形シール枠２２，２４の間に位置している。連通孔２５
の下端開口２５ｂは、可撓性の連通管２６を経て、真空
ポンプ等の真空引き機構２７に接続されている。

【００１２】この構成の枠状のステージ２の真上には、
これとほぼ同一の寸法及び形状をした方形のクランプ枠
８が位置している。このクランプ枠８は、空気シリンダ
等から構成される昇降機構８１に支持されており、この
昇降機構８１によって、図に示す位置とステージ上面２
３に密着した位置との間を昇降するようになっている。
昇降機構８１は、その全体が、不図示の支持機構によっ
て、ステージ２の側に支持されており、ステージ２と一
体にガイドレール３に沿って水平方向に移動する。クラ
ンプ枠８の下面８２の外周縁には、下方に突出した押さ
え枠８３が形成されている。この押さえ枠８３は、クラ
ンプ枠８が降下したときに、ステージ上面の外側の方形
シール枠２４の上に当たり、ここに密着して、気密シー
ルを形成するようになっている。

【００１３】また、クランプ枠８の下面８２には、方形
の可撓性の気密シート９が取り付けられている。この気
密シート９の外周は、気密状態でクランプ下面８２の側
に接着固定されている。

【００１４】ここで、加熱ステーション５の側において
は、ここに移動してきたステージ２の停止位置の上下
に、上加熱機構１１及び下加熱機構１２が配置されてい
る。

【００１５】上加熱機構１１は、昇降機構１３とこれに
より昇降する上加熱盤１４を備え、同様に下加熱機構１
２も、昇降機構１５とこれにより昇降する下加熱盤１６
を備えている。上加熱盤１４は、ガラス板押さえ面を形
成しているシリコンスポンジ板１４１と、熱盤１４２
と、ヒータ１４３と、断熱板１４４が下側から上側に向
けて積層された構造となっている。下加熱盤１６は逆
に、ガラス板押さえ面を形成しているシリコンスポンジ
板１６１と、熱盤１６２と、ヒータ１６３と、断熱板１
６４が上側から下側に向けて積層された構造となってい
る。

【００１６】このように構成した貼り合わせ装置の動作
を説明する。まず、図８に示すように、減圧ステーショ
ン４において、ステージ２の上に、アライメント工程を
経て重ね合わされた２枚のガラス基板６，７が設置され
る。この状態においては、下側のガラス基板７の外周縁
の部分は、ステージ上面の内側に方形シール枠２２の上
に載っている。

【００１７】この状態で、昇降機構８１が駆動されて方
形クランプ枠８を図８に示す退避位置から降下させて、
図９（ａ）に示すようにステージ上面２３に当たったク
ランプ位置まで降下させる。図９（ａ）に示すように、
このクランプ状態においては、クランプ枠８の下面の押
さえ枠８３がステージ上面の外側の方形シール枠２４の
上に所定の圧力で押し付けられた状態となり、これらの
間に気密シールが形成される。この結果、ステージ２
と、クランプ枠８と、底に取り付けられている気密シー
ト９と、ガラス基板６，７とによって実質的な密閉空間
が形成される。

【００１８】このクランプ状態が形成された後は、真空
引き機構２７を駆動して、連通孔２５を介して密閉空間
内を減圧状態に移行させる。真空引きを行うことによ
り、気密シート９が上側のガラス基板６の表面に密着し
てガラス板６，７の外周を囲む状態に枠状の密閉空間４
０が形成される。この状態を図９（ｂ）に拡大して示し
てある。この密閉空間４０は、ガラス基板６，７の隙間
にのみ連通している。したがって、この状態でさらに真
空引きを行うと、密閉空間４０が大気圧に比べて十分に
低くなり、この結果、２枚のガラス基板６，７の両側
は、形成された差圧に応じて加圧圧迫された状態にな
る。よって、減圧を適正に行うことにより、２枚のガラ
ス基板６，７で適切な圧迫状態にすることができる。

【００１９】目標とする圧迫状態が形成された後は、そ
の状態を保持したまま、ステージ移動機構により、ステ
ージ２を加熱ステーション５に向けて水平に移動させ
て、ステージ２を加熱ステーション５に停止させる。図
１０（ａ）には、この状態を示してある。

【００２０】次に、上下の加熱盤１４，１６をそれぞれ
降下及び上昇させて、ガラス基板６，７の表面に丁度当
たった状態にする。図１０（ｂ）にはこの状態を示して
ある。

【００２１】この後は、その加熱盤１４，１６をその位
置に保持して、所定の時間にわたって加熱を行う。この
加熱によって、ガラス基板６，７の間の熱硬化性シール
剤が硬化して、２枚のガラス基板６，７が貼り合わされ
る。以上の工程を経て、液晶セルのガラス基板６，７の
貼り合わせが行われる。

【００２２】このように、上記公報に開示された装置に
よれば、クランプ枠はステージ上面の方形シール枠に当
たって気密シールを形成するのみで、２枚のガラス基板
を押しつける訳ではない。したがって、ガラス基板には
真空引きによる大気圧が作用するのみであり、均一な隙
間が形成された状態で２枚のガラス基板の貼り合わせが
可能である。

【００２３】そして、このような減圧型の貼り合わせ装
置は、加圧型の貼り合わせ装置に比べ、機構が簡単なた
め、製造コストが安く済み、広く使われるようになって
きている。

【００２４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記した減
圧型貼り合わせ装置において、気密シートの表面に凹凸
や突起があると、液晶セルに局所的な荷重がかかり、ス
ペーサのつぶれによるセル厚ムラが発生するが、上記公
報においては、装置に用いられている気密シートの表面
の平滑性、及び気密シートの材質等については、何ら言
及されていない。

【００２５】その結果、上記した従来の減圧型貼り合わ
せ装置においては、液晶セルを製造する上で、良品率を
著しく低下させるといった問題を有している。

【００２６】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
液晶セルの貼り合わせ装置は、上記の課題を解決するた
めに、スペーサを挟持した状態で重ね合わせた２枚の基
板を載せる枠状のステージと、ステージに密着した位置
及び離れた位置の間を昇降可能に支持された枠状のクラ
ンプ部材と、クランプ部材におけるステージに面する側
の枠状表面に対して外周縁が気密状態に取り付けられて
いる可撓性の気密シートと、クランプ部材をステージに
密着した位置まで降下させた状態で、クランプ部材又は
気密シートとステージとの密着面の間に形成される枠状
の気密シールと、気密シールが形成された状態で、ステ
ージ、気密シート、クランプ部材及び重ね合わされた２
枚の基板によって、又はステージ、気密シート及び重ね
合わされた２枚の基板によって、区画される空間を真空
引きして、所定の減圧状態を形成する減圧手段とを有
し、かつ、前記気密シートが、前記２枚の基板の隙間に
厚みムラを生じさせないような表面平滑性を有すること
を特徴としている。

【００２７】これによれば、従来技術の項にて前述した
如く、重ね合わせた２枚の基板の周囲に、これらの隙間
にのみ連通する密閉空間を形成し、この密閉空間を真空
引きする。この結果、２枚の基板の隙間は減圧状態にな
り、両側から大気圧が作用するので、２枚の基板は両側
から圧迫され、この状態で基板の貼り合わせが行われ
る。

【００２８】そしてこの場合、気密シートに面する側の
基板は、気密シートを介して圧迫されるが、本発明によ
れば、該気密シートは、前記２枚の基板の隙間に厚みム
ラを生じさせないような表面平滑性を有しているので、
減圧状態において、該気密シート表面の突起や凹凸によ
る液晶セルの表示品位に悪影響を与える局所的な荷重が
かからず、スペーサのつぶれによるセル厚ムラが発生し
難くなる。

【００２９】本発明の請求項２記載の液晶セルの貼り合
わせ装置は、上記請求項１記載の構成において、気密シ
ートが弾性緩衝能を有することを特徴としている。

【００３０】これによれば、気密シートが弾性緩衝能が
有するため、気密シート自体で自らの突起や凹凸による
高低差を吸収でき、必要とされる表面平滑性が、弾性緩
衝能を持たないものに比べて大きく緩和される。しか
も、混入した異物による上記した局所的な荷重も緩和で
きる。

【００３１】本発明の請求項３記載の液晶セルの貼り合
わせ装置は、上記請求項２記載の構成において、気密シ
ートが、ポリエチレンテレフタレート、又はポリテトラ
フルオロエチレンからなり、該シート表面の凹凸高低差
が１５μｍ以内であることを特徴としている。

【００３２】これは、気密シートとしての具体例を提案
するものであり、ポリエチレンテレフタレートや、ポリ
テトラフルオロエチレンは、気密性を有すると共に、弾
性緩衝能に優れており、これらを材質としてその表面の
凹凸高低差を１５μｍ以内にすることで、請求項２に記
載した本発明の液晶セルの貼り合わせ装置を容易に実現
できる。

【００３３】なお、気密シート表面の凹凸高低差を１５
μｍ以内とすることは、シート表面に機械的研磨を施す
ことで、容易に実現できる。

【００３４】本発明の請求項４記載の液晶セルの貼り合
わせ装置は、上記の課題を解決するために、スペーサを
挟持した状態で重ね合わせた２枚の基板を載せる枠状の
ステージと、ステージに密着した位置及び離れた位置の
間を昇降可能に支持された枠状のクランプ部材と、クラ
ンプ部材におけるステージに面する側の枠状表面に対し
て外周縁が気密状態に取り付けられている可撓性の気密
シートと、クランプ部材をステージに密着した位置まで
降下させた状態で、クランプ部材又は気密シートとステ
ージとの密着面の間に形成される枠状の気密シールと、
気密シールが形成された状態で、ステージ、気密シー
ト、クランプ部材及び重ね合わされた２枚の基板によっ
て、又はステージ、気密シート及び重ね合わされた２枚
の基板によって、区画される空間を真空引きして、所定
の減圧状態を形成する減圧手段とを有し、かつ、気密シ
ートと前記２枚の基板との間に、弾性緩衝能を有する緩
衝用シートが配設されることを特徴としている。

【００３５】これによっても、請求項１記載の液晶セル
の貼り合わせ装置と同じように、基板の貼り合わせが行
われる。そしてこの場合も、気密シートに面する側の基
板は、気密シートを介して圧迫されるが、本発明によれ
ば、該気密シートと２枚の基板との間に緩衝用シートが
配設されているので、減圧状態において、気密シートの
表面に突起や凹凸が有っても、この緩衝用シートにて吸
収される。また、混入した異物による局所的な荷重も緩
和できる。

【００３６】その結果、請求項１、２に記載した液晶セ
ルの貼り合わせ装置と同様に、気密シート表面の突起や
凹凸による液晶セルの表示品位に悪影響を与える局所的
な荷重がかからず、スペーサのつぶれによるセル厚ムラ
を発生し難くできる。

【００３７】また、本発明の請求項５記載の液晶セルの
貼り合わせ装置は、上記請求項４記載の構成において、
緩衝用シートが、ポリエチレンテレフタレート、又はポ
リテトラフルオロエチレンからなり、厚み３０μｍ以上
であることを特徴としている。

【００３８】これは、緩衝用シートとしての具体例を提
案するものであり、ポリエチレンテレフタレートや、ポ
リテトラフルオロエチレンは、３０μｍ以上の厚さを有
するシートとすることで、たとえ気密シートに２５μｍ
程度の凹凸高低差があっても十分にその凹凸を吸収する
性能が確認されており、上記した請求項４に記載の本発
明の液晶セルの貼り合わせ装置を容易に実現できる。

【００３９】また、本発明の請求項６記載の液晶セルの
貼り合わせ装置は、上記請求項１ないし５のいずれかに
記載の構成において、さらに、２枚の基板の間に挟持さ
れているシール剤を硬化させる硬化手段が設けられてい
ることを特徴としている。

【００４０】これによれば、シール剤を硬化させる硬化
手段がさらに設けられているので、正確な貼り合わせ状
態を維持したまま、同じ装置にて固化させることがで
き、作業性の向上、及びさらなる良品率の向上が図れ
る。

【００４１】

【発明の実施の形態】〔実施の形態１〕本発明に係る実
施の一形態を、図１〜図５に基づいて説明すれば、以下
の通りである。

【００４２】本発明にかかる本実施形態の液晶セルの貼
り合わせ装置は、図１に示すように、従来技術の項で図
８を用いて説明した従来の液晶セルの貼り合わせ装置
と、クランプ枠８’とステージ２’の構成が異なる以外
は同じ構成を有する。したがって、説明の便宜上、前記
の従来技術の説明にて示した部材と同一の機能を有する
部材には、同一の符号を付記し、その説明を省略する。

【００４３】図１に示すように、本実施形態の貼り合わ
せ装置では、ステージ２’の方形シール枠２４’が、載
置される２枚のガラス基板６，７の合計の厚みにほぼ見
合うように、図８に示した装置よりも高く形成されてい
る。

【００４４】また、クランプ枠８’の下面８２には、上
記方形シール枠２４’よりも大きい方形の可撓性の気密
シート９’が気密状態に貼着されており、クランプ枠
８’がステージ２’に押し当てられた状態では、方形シ
ール枠２４’と気密シート９’との密着面の間に、枠状
の気密シールが形成されるようになっている。

【００４５】図２（ａ）に、昇降機構８１が駆動されて
方形のクランプ枠８’を図１に示す退避位置から、ステ
ージ上面２３に当たったクランプ位置まで降下した状態
を示し、図２（ｂ）に、この状態で、気密シート９’
と、方形シール枠２４’と、ステージ２’とで形成され
る密閉空間４０’を拡大して示す。

【００４６】また、図３には、本実施形態の貼り合わせ
装置における、減圧プレス部の分解斜視図を示す。

【００４７】なお、このような構成の貼り合わせ装置の
動作は、前記の従来技術の説明にて示した動作説明と同
じであるので、その説明は省略する。

【００４８】次に、本実施形態の貼り合わせ装置の特徴
について説明する。本実施形態の貼り合わせ装置の特徴
は、上記気密シート９’にあり、この気密シート９’が
液晶セルのセル厚にムラを生じさせないような表面平滑
性を有していることである。具体的には、弾性緩衝能を
有する材質からなり、かつ、表面の突起や凹凸による高
低差（以下、表面凹凸高低差と称する）が１５μｍ以内
に設計されている。

【００４９】本願発明者らは、このような減圧式の貼り
合わせ装置において、気密シートの表面平滑性とセル厚
ムラとの因果関係に着目し、気密シートの表面凹凸高低
差と、セル厚ムラの発生率の相関関係を求めた。図４
に、気密シート（弾性衝撃性有り）の表面凹凸高低差と
セル厚ムラの発生率の相関関係を示す。

【００５０】図４より、減圧型貼り合わせ時の減圧状態
において、気密シートの表面凹凸高低差が１５μｍ（発
生率２％）を境界として、凹凸差が大きくなるととも
に、セル厚ムラ発生率が急激に上昇することがわかる。

【００５１】そこで、上記したように、本実施形態の貼
り合わせ装置における気密シート９’は、表面凹凸高低
差が１５μｍ以内となっている。これにより、減圧状態
において、気密シート９’の表面の突起や凹凸による液
晶セルの表示品位に悪影響を与える局所的な荷重がかか
らず、スペーサのつぶれによるセル厚ムラの発生を抑制
できる。なお、さらに望ましくは、表面凹凸高低差１０
μｍ以内である。

【００５２】このような気密シート９’の平滑性は、例
えば機械的研磨により実現できる。もちろん、既に凹凸
高低差が１５μｍ以内のシートに対しては、機械的研磨
は不要である。

【００５３】図５に、上記の気密シート９’として、弾
性緩衝能を有する、ポリエチレンテレフタレート、ポリ
テトラフルオロエチレン、及びカーボン配合シート（ガ
ラス繊維を編んでシート状にしたものを、カーボンを配
合したポリテトラフルオロエチレン樹脂でコーティング
してなるシート）と、弾性緩衝能を持たない、ポリビニ
ルアルコール及びシリコン系樹脂とを用い、それぞれの
表面凹凸高低差を１５μｍ以内とし、材質の異なる気密
シート９’とセル厚ムラ発生率の相関関係を示してあ
る。

【００５４】図５より、気密シート９’として同じ表面
平滑性（凹凸高低差１５μｍ以内）であっても、材質物
性特有の弾性緩衝能により、スペーサへの局所的な荷重
を緩和できる材質が、局所荷重によるセル厚ムラ発生率
が低く、適していることがわかる。

【００５５】したがって、気密シート９’には、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリテトラフルオロエチレン、
或いは、カーボンを配合したカーボン配合シートを用い
ることが好ましい。

【００５６】なお、本実施形態の液晶セルの貼り合わせ
装置としては、気密シート９’をクランプ枠８’の下面
８２に貼り付け、この気密シート９’と、方形シール枠
２４’と、ステージ２’とで密閉空間４０’を形成する
ようにしていたが、本発明は何ら該構成に限定されるも
のではなく、例えば前述の図８に示したように、クラン
プ枠８の下面８２に押さえ枠８３を設け、クランプ枠８
と、気密シート９と、方形シール枠２４と、ステージ２
とで密閉空間４０を形成する構成の装置において、気密
シート９を、ポリテトラフルオロエチレンやポリエチレ
ンテレフタレートから構成し、その表面の凹凸高低差を
１５μｍ以内としても、同じ効果が得られることは言う
までもない。

【００５７】〔実施の形態２〕本発明に係る実施の他の
形態を、図６、図７に基づいて説明すれば、以下の通り
である。

【００５８】本発明にかかる本実施形態の液晶セルの貼
り合わせ装置は、前述の実施の形態１の図１に示した液
晶セルの貼り合わせ装置と、２枚の基板６，７と気密シ
ート９’との間に、緩衝用シート１０が配設されている
以外は、同じ構成を有する。したがって、説明の便宜
上、前記の従来技術、並びに実施の形態１の説明にて示
した部材と同一の機能を有する部材には、同一の符号を
付記し、その説明を省略する。

【００５９】図６に、本実施形態の貼り合わせ装置にお
ける、減圧プレス部の、分解斜視図を示す。該図から分
かるように、本実施形態の貼り合わせ装置においては、
気密シート９’と該気密シート９’に面する基板６との
間に、弾性衝撃能を有する方形の緩衝用シート１０が配
設されている。この緩衝用シート１０は、液晶セルを構
成するガラス基板６，７と同サイズ、もしくはこれより
も大きなサイズである。

【００６０】前述したように、本願発明者らは、減圧式
の貼り合わせ装置において、気密シートの表面平滑性と
セル厚ムラとの関係に着目し、鋭意検討を行った。その
結果、気密シートと液晶セルとの間に緩衝シートを配設
することを発案し、気密シートの表面凹凸高低差を２５
μｍとした場合の、緩衝用シートの厚みと、セル厚ムラ
の発生率の相関関係を求めた。図７に、ポリエチレンテ
レフタレートやポリテトラフルオロエチレン等の高分子
フィルムから成るシートを用いて、緩衝用シートの厚み
と、セル厚ムラの発生率の相関関係を示す。

【００６１】図７より、緩衝用シートの厚みが３０μｍ
より小さい場合、該シートの弾性緩衝能が著しく低下
し、セル厚ムラ発生率（２０％）が著しく上昇するが、
緩衝用シートの厚みが３０μｍ以上の場合、該シートの
弾性緩衝能が著しく向上し、セル厚ムラ発生率（２％）
が著しく低下することがわかる。

【００６２】そこで、本実施形態の装置では、緩衝用シ
ート１０は、有機高分子フィルム、ポリエチレンテレフ
タレート、又はポリテトラフルオロエチレンから成るシ
ートを用いて、厚み３０μｍ以上としている。この場
合、より好ましくは、厚み４０μｍ以上である。

【００６３】このように、本実施形態の貼り合わせ装置
においては、緩衝用シート１０を配設することにより、
気密シート９’の表面の突起や凹凸、さらには、外部混
入の異物によるスペーサへの局所荷重を緩和することが
可能となるので、前述の実施の形態１の貼り合わせ装置
においては、気密シート９’として、弾性緩衝能を有
し、その表面の凹凸高低差は１５μｍ以内とすることが
必要であったが、本実施形態の貼り合わせ装置では、気
密シート９’として、表面の凹凸高低差が２５μｍまで
適応可能となる。したがって、多くの場合、ポリエチレ
ンテレフタレートやポリテトラフルオロエチレンからな
るシートを機械的研磨工程を経ることなく、気密シート
９’として用いることが可能となる。また、２５μｍ以
内の異物が気密シート９’と液晶セルとの間に存在した
としても、問題なく貼り合わせることが可能となる。

【００６４】なお、本実施形態の液晶セルの貼り合わせ
装置としては、気密シート９’をクランプ枠８’の下面
８２に貼り付け、この気密シート９’と、方形シール枠
２４’と、ステージ２’とで密閉空間４０’を形成する
ようにしていたが、本発明は何ら該構成に限定されるも
のではなく、例えば前述の図８に示したように、クラン
プ枠８の下面８２に押さえ枠８３を設け、クランプ枠８
と、気密シート９と、方形シール枠２４と、ステージ２
とで密閉空間４０を形成する構成の装置において、気密
シート９と液晶セルとの間に、ポリエチレンテレフタレ
ートやポリテトラフルオロエチレン等の高分子フィルム
から成る３０μｍ以上の厚みを有する緩衝用シート１０
を配設することで、同じ効果が得られることは言うまで
もない。

【００６５】

【発明の効果】本発明の請求項１記載の液晶セルの貼り
合わせ装置は、以上のように、スペーサを挟持した状態
で重ね合わせた２枚の基板を載せる枠状のステージと、
ステージに密着した位置及び離れた位置の間を昇降可能
に支持された枠状のクランプ部材と、クランプ部材にお
けるステージに面する側の枠状表面に対して外周縁が気
密状態に取り付けられている可撓性の気密シートと、ク
ランプ部材をステージに密着した位置まで降下させた状
態で、クランプ部材又は気密シートとステージとの密着
面の間に形成される枠状の気密シールと、気密シールが
形成された状態で、ステージ、気密シート、クランプ部
材及び重ね合わされた２枚の基板によって、又は、ステ
ージ、気密シート及び重ね合わされた２枚の基板によっ
て、区画される空間を真空引きして、所定の減圧状態を
形成する減圧手段とを有し、かつ、前記気密シートが、
前記２枚の基板の隙間に厚みムラを生じさせないような
表面平滑性を有する構成である。

【００６６】これにより、減圧状態において、該気密シ
ート表面の突起や凹凸による液晶セルの表示品位に悪影
響を与える局所的な荷重がかからず、スペーサのつぶれ
によるセル厚ムラが発生することがなくなるので、機構
が簡単で、製造コストが安く済む減圧型の貼り合わせ装
置において、良品率を高くできるという効果を奏する。

【００６７】本発明の請求項２記載の液晶セルの貼り合
わせ装置は、上記請求項１記載の構成において、気密シ
ートが弾性緩衝能を有する構成である。

【００６８】これにより、気密シート自体で自らの突起
や凹凸による高低差を吸収でき、必要とされる表面平滑
性が、弾性緩衝能を持たないものに比べて大きく緩和さ
れ、また、混入した異物による上記した局所的な荷重も
緩和できるため、請求項１に記載した発明の液晶セルの
貼り合わせ装置を実現し易くし、かつ、良品率もさらに
高くできるという効果を奏する。

【００６９】本発明の請求項３記載の液晶セルの貼り合
わせ装置は、上記請求項２記載の構成において、気密シ
ートが、ポリエチレンテレフタレート、又はポリテトラ
フルオロエチレンからなり、該シート表面の凹凸高低差
が１５μｍ以内である構成である。

【００７０】これにより、上記した請求項２に記載の本
発明の液晶セルの貼り合わせ装置を容易に実現できると
いう効果を奏する。

【００７１】本発明の請求項４記載の液晶セルの貼り合
わせ装置は、以上のように、スペーサを挟持した状態で
重ね合わせた２枚の基板を載せる枠状のステージと、ス
テージに密着した位置及び離れた位置の間を昇降可能に
支持された枠状のクランプ部材と、クランプ部材におけ
るステージに面する側の枠状表面に対して外周縁が気密
状態に取り付けられている可撓性の気密シートと、クラ
ンプ部材をステージに密着した位置まで降下させた状態
で、クランプ部材又は気密シートとステージとの密着面
の間に形成される枠状の気密シールと、気密シールが形
成された状態で、ステージ、気密シート、クランプ部材
及び重ね合わされた２枚の基板によって、又は、ステー
ジ、気密シート及び重ね合わされた２枚の基板によっ
て、区画される空間を真空引きして、所定の減圧状態を
形成する減圧手段とを有し、かつ、気密シートと２枚の
基板との間に、弾性緩衝能を有する緩衝用シートが配設
される構成である。

【００７２】これにより、減圧状態において、該気密シ
ート表面の突起や凹凸による液晶セルの表示品位に悪影
響を与える局所的な荷重がかからず、スペーサのつぶれ
によるセル厚ムラが発生することがなくなるので、機構
が簡単で、製造コストが安く済む減圧型の貼り合わせ装
置において、良品率を高くできるという効果を奏する。
しかも、この構成によれば、従来からある貼り合わせ装
置をそのまま使用できるといった効果もある。

【００７３】また、本発明の請求項５記載の液晶セルの
貼り合わせ装置は、上記請求項４記載の構成において、
緩衝用シートが、ポリエチレンテレフタレート、又はポ
リテトラフルオロエチレンからなり、厚み３０μｍ以上
である構成である。

【００７４】これにより、上記した請求項４に記載の本
発明の液晶セルの貼り合わせ装置を容易に実現できると
いう効果を奏する。

【００７５】また、本発明の請求項６記載の液晶セルの
貼り合わせ装置は、上記請求項１ないし５のいずれかに
記載の構成において、さらに、２枚の基板の間に挟持さ
れているシール剤を硬化させる硬化手段が設けられてい
る構成である。

【００７６】これにより、正確な貼り合わせ状態を維持
したまま、同じ装置にてシール剤を固化させることがで
き、作業性の向上並びにさらなる良品率の向上が図れる
という効果を併せて奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態の液晶セルの貼り合わせ
装置の概略構成図である。

【図２】図１に示した液晶セルの貼り合わせ装置の動作
を示す図であり、（ａ）はステージ上にガラス基板を載
せた状態を示す説明図、（ｂ）はクランプ状態を示す説
明図である。

【図３】図１に示した貼り合わせ装置における減圧プレ
ス部の分解斜視図である。

【図４】気密シートの表面凹凸高低差と液晶セルのセル
厚ムラ発生率の相関関係を示すグラフである。

【図５】気密シートに用いる材質と液晶セルのセル厚ム
ラ発生率の相関関係を示すグラフである。

【図６】本発明の実施の他の形態の液晶セルの貼り合わ
せ装置における減圧プレス部の分解斜視図である。

【図７】緩衝用シートの厚みと液晶セルのセル厚ムラ発
生率の相関関係を示すグラフである。

【図８】従来の液晶セルの貼り合わせ装置の概略構成図
である。

【図９】図８に示した液晶セルの貼り合わせ装置の動作
を示す図であり、（ａ）はステージ上にガラス基板を載
せた状態を示す説明図、（ｂ）はクランプ状態を示す説
明図である。

【図１０】図８に示した液晶セルの貼り合わせ装置の動
作を示す図であり、（ａ）はステージを加熱ステーショ
ンに移動させた状態を示す説明図、（ｂ）は加熱状態を
示す説明図である。

【符号の説明】

１ 液晶セルの貼り合わせ装置 ２ ステージ ８ クランプ枠（クランプ部材） ６，７ 基板 ９’ 気密シート １０ 緩衝用シート １１，１２ 加熱機構（硬化手段）

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】スペーサを挟持した状態で重ね合わせた２
   枚の基板を載せる枠状のステージと、該ステージに密着
   した位置及び離れた位置の間を昇降可能に支持された枠
   状のクランプ部材と、このクランプ部材における前記ス
   テージに面する側の枠状表面に対して外周縁が気密状態
   に取り付けられている可撓性の気密シートと、前記クラ
   ンプ部材を前記ステージに密着した位置まで降下させた
   状態で、該クランプ部材又は前記気密シートとステージ
   との密着面の間に形成される枠状の気密シールと、該気
   密シールが形成された状態で、前記ステージ、気密シー
   ト、クランプ部材及び重ね合わされた前記２枚の基板に
   よって、又は前記ステージ、気密シート及び重ね合わさ
   れた前記２枚の基板によって、区画される空間を真空引
   きして、所定の減圧状態を形成する減圧手段とを有し、 かつ、前記気密シートが、前記２枚の基板の隙間に厚み
   ムラを生じさせないような表面平滑性を有することを特
   徴とする液晶セルの貼り合わせ装置。
2. 【請求項２】前記気密シートが弾性緩衝能を有すること
   を特徴とする請求項１記載の液晶セルの貼り合わせ装
   置。
3. 【請求項３】上記気密シートが、ポリエチレンテレフタ
   レート、又はポリテトラフルオロエチレンからなり、該
   シート表面の凹凸高低差が１５μｍ以内であることを特
   徴とする請求項２記載の液晶セルの貼り合わせ装置。
4. 【請求項４】スペーサを挟持した状態で重ね合わせた２
   枚の基板を載せる枠状のステージと、該ステージに密着
   した位置及び離れた位置の間を昇降可能に支持された枠
   状のクランプ部材と、このクランプ部材における前記ス
   テージに面する側の枠状表面に対して外周縁が気密状態
   に取り付けられている可撓性の気密シートと、前記クラ
   ンプ部材を前記ステージに密着した位置まで降下させた
   状態で、該クランプ部材又は前記気密シートとステージ
   との密着面の間に形成される枠状の気密シールと、該気
   密シールが形成された状態で、前記ステージ、気密シー
   ト、クランプ部材及び重ね合わされた前記２枚の基板に
   よって、又は前記ステージ、気密シート及び重ね合わさ
   れた前記２枚の基板によって、区画される空間を真空引
   きして、所定の減圧状態を形成する減圧手段とを有し、 かつ、前記気密シートと前記２枚の基板との間に、弾性
   緩衝能を有する緩衝用シートが配設されることを特徴と
   する液晶セルの貼り合わせ装置。
5. 【請求項５】上記緩衝用シートが、ポリエチレンテレフ
   タレート、又はポリテトラフルオロエチレンからなり、
   厚み３０μｍ以上であることを特徴とする請求項４記載
   の液晶セルの貼り合わせ装置。
6. 【請求項６】さらに、前記２枚の基板の間に挟持されて
   いるシール剤を硬化させる硬化手段が設けられているこ
   とを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液
   晶セルの貼り合わせ装置。