JPH11228689A - アルカリ可溶な硬化性樹脂、その製造方法、硬化性樹脂組成物及びそのフィルム成形物 - Google Patents

アルカリ可溶な硬化性樹脂、その製造方法、硬化性樹脂組成物及びそのフィルム成形物

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JPH11228689A
JPH11228689A JP2853098A JP2853098A JPH11228689A JP H11228689 A JPH11228689 A JP H11228689A JP 2853098 A JP2853098 A JP 2853098A JP 2853098 A JP2853098 A JP 2853098A JP H11228689 A JPH11228689 A JP H11228689A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 未露光部の水性アルカリによる現像が可能
で、かつ露光部がレジスト適性に優れ、種々の回路形成
方式に対応できる、特にドライフィルムとしても使用で
きる材料の提供。 【解決手段】 フェノキシ樹脂の側鎖水酸基に不飽和2
重結合とアルカリ可溶性カルボキシル基をペンダントさ
せたアルカリ可溶な硬化性樹脂。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、水性アルカリ可溶
な硬化性樹脂、とりわけ機械的強靱性、耐熱性、金属と
の密着性等に優れる感光性樹脂に関する。具体的には、
プリント配線板製造、金属精密加工、ガラスや石の蝕
刻、プラスチックレリーフ材料、印刷刷板用材料として
有用であり、特にネガフィルムを通し選択的に活性光線
により露光し、未露光部分を現像することによるソルダ
ーレジストパターンの形成において露光部の感光性に優
れると共に未露光部の水性アルカリ現像が可能で、且つ
露光部の機械的強靱性、耐溶剤性、電気絶縁性、はんだ
耐熱性等に優れたレジスト形成能を有する硬化性樹脂、
製造方法、硬化性樹脂組成物及びそのフィルム成形物に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】近年、マルチメデイアの急激な発展に伴
い、機器搭載部品の軽薄短小化は益々その度合いを強め
ている。特に、集積回路部品の分野では、素子の高集積
化と高機能化が進むにつれて、搭載するチップは大型化
し多ピン化する一方、パッケージは実装密度を高めるた
めに小型化し、薄型化してきている。このため封止樹脂
層の著しい薄肉化が行われ、また実装方式は従来のピン
挿入型から、プリント基板の両面に実装することができ
る表面実装型へと移行すると共に、はんだリフローによ
る一括接合方式となり、強烈な熱衝撃を受けやすい。実
装方式として、COB、MCM、ビルドアップ、スタッ
クビア、薄膜デバイス内蔵プリント回路板、層間埋め込
み実装回路板等が次々に開発されている現状である。こ
のような産業分野において、硬化可能な、特にラジカル
重合反応によって硬化する樹脂として不飽和ポリエステ
ル樹脂、ビニルエステル樹脂、各種オリゴマーアクリレ
ート、ジアリルフタレート、プレポリマー等が知られ、
使用されている。例えば、特開平03−3297号公
報、同06−90087号公報、同06−224529
号公報、同07−170070号公報等が挙げられる
が、いずれもエポキシアクリレートとして、クレゾール
ノボラック型エポキシ樹脂等の比較的分子量の低い多価
エポキシ樹脂を原料とし、これにアクリル酸のごとき
α,β−不飽和カルボン酸を反応させたものを使用した
時、印刷時のにじみ、ブリード、ダレと言った欠点が存
在することを否めず、またその硬化物も靱性に乏しく、
多層化を行う場合の耐熱衝撃性に劣る。このような新規
用途の多様化、高機能化に伴って既存の樹脂で十分対処
できない現状が一面にある。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】このため、樹脂成分の
高分子量化による従来の欠点を克服しようとする試みが
なされており、例えば、フェノキシ樹脂中の水酸基への
グリシジルメタクリレートの付加反応物(田中、電子材
料、1983年10月号61頁;田中ら、日本化学会第
47回春季年会講演予稿集I、3T、46頁、198
3)、カルボキシル基含有メタクリル系共重合体とグリ
シジルメタクリレートとの反応物と架橋性モノマーとか
らなる組成物(特開平06−26070号公報)、フェ
ノキシ樹脂中の水酸基とイソシアネートエチルメタクリ
レートとの付加反応生成物(特開昭61−296353
号公報、同63−75023号公報、同63−8142
2号公報、特公平05−69125号公報等)が挙げら
れる。しかしながら、これらの先行技術はいずれも溶剤
現像型である。更に、樹脂積層方法においても溶剤を含
む液状樹脂からの溶剤揮散による成膜化のほかに、予め
ドライフィルム化されたものも求められ、検討されてい
るが、例えば、特開昭57−55914号公報にウレタ
ンジ(メタ)アクリレートと、特定のガラス転移温度を
有する線状ポリマーとを含有してなる樹脂組成物の開示
があるが、ドライフィルムとしての強靱性やはんだ耐熱
性、密着性等が十分でない。このように、現状において
は未露光部の水性アルカリによる現像が可能で、かつ露
光部がレジスト適性に優れ、種々の回路形成方式に対応
できる、特にドライフィルムとしても使用できる材料は
未だ見い出されていない。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、かかる状
況を鑑み、新規用途に適す樹脂について鋭意検討した結
果、フェノキシ樹脂中の水酸基に特定割合のα,β−不
飽和モノイソシアネート及び多価カルボン酸無水物を反
応させて得られる樹脂が優れた感光性と水性アルカリ現
像性とを両立でき、更に硬化物の機械的強靱性、金属と
の密着性、耐熱性、耐溶剤性及び電気絶縁性に優れ、本
目的に合致する樹脂を見出して、本発明を完成するに至
った。
【0005】即ち本発明は、下記一般式(I)
【0006】
【化2】
【0007】(式中、Ar1、Ar2、Ar3は水素原
子、ハロゲン原子またはエーテル結合を含んでいてもよ
い炭素数1〜12の炭化水素基から選ばれる置換基を有
する2価芳香族フェノール残基を示し、相互に同じでも
異なっていてもよく、Ar4はAr1、Ar2またはAr3
である。Rは水素原子またはメチル基を示し、xは0ま
たは1であり、R' は炭素数2〜20の脂肪族、脂環
族、置換または無置換芳香族の多価カルボン酸残基を示
し、yは1または2で、zは0または1である。p、
q、r、sは各々構造単位のモル分率を示し、0≦p≦
0.3、0.2≦q≦0.6、0.1≦r≦0.8、0
≦s≦0.3、かつp+q+r+s=1である。)で示
される、フェノキシ樹脂の側鎖水酸基に不飽和2重結合
とアルカリ可溶性カルボキシル基をペンダントさせたア
ルカリ可溶な硬化性樹脂を提供するものである。また本
発明は、前記のフェノキシ樹脂中の側鎖水酸基に、所定
量の一部のα,β−不飽和モノイソシアネート、次いで
所定量の多価カルボン酸無水物、そして残りのα,β−
不飽和モノイソシアネートの順で反応させ、ペンダント
させることを特徴とするアルカリ可溶な硬化性樹脂の製
造方法を提供するものである。さらに本発明は、フェノ
キシ樹脂中の側鎖水酸基に、所定量の多価カルボン酸無
水物、次いでα,β−不飽和モノイソシアネートの順で
反応させ、ペンダントさせることを特徴とする前記のア
ルカリ可溶な硬化性樹脂の製造方法を提供するものであ
る。さらにまた本発明は、α,β−不飽和モノイソシア
ネートとして、イソシアネートエチルメタクリレートを
用いる前記のアルカリ可溶な硬化性樹脂の製造方法を提
供するものである。また本発明は、多価カルボン酸無水
物が、トリメリット酸無水物を含有する無水多塩基酸か
らなる群から選ばれる前記のアルカリ可溶な硬化性樹脂
の製造方法を提供するものである。さらに本発明は、反
応を、非プロトン性有機溶剤中で行う前記のアルカリ可
溶な硬化性樹脂の製造方法を提供するものである。さら
にまた本発明は、前記のアルカリ可溶な硬化性樹脂と、
ラジカル開始剤、架橋性モノマー及び/または硬化剤と
を配合してなるアルカリ可溶な硬化性樹脂組成物を提供
するものである。また本発明は、有機或いは無機フィラ
ー、着色剤及び有機溶剤からなる群から選ばれる少なく
とも1種以上を配合してなる前記のアルカリ可溶な硬化
性樹脂組成物を提供するものである。さらに本発明は、
アルカリ可溶な硬化性樹脂は、数平均分子量(Mn)が
2000以上で、かつ次式で表される分子量分布との相
関係数εが2000〜20000であるフェノキシ樹脂
を用いることを特徴とする前記のアルカリ可溶な硬化性
樹脂組成物を提供するものである。 Mn=ε(Mw/Mn) ここで、Mnはフェノキシ樹脂の数平均分子量であり、
Mwはフェノキシ樹脂の重量平均分子量である。さらに
また本発明は、アルカリ可溶な硬化性樹脂の酸価が10
0〜200(mgKOH/g固形分)であることを特徴
とする前記のアルカリ可溶な硬化性樹脂組成物を提供す
るものである。また本発明は、架橋性モノマーとして多
官能基ビニル重合性モノマーを、硬化剤として多価エポ
キシ化合物を配合してなる前記のアルカリ可溶な硬化性
樹脂組成物を提供するものである。さらに本発明は、前
記の硬化性樹脂、あるいは前記の組成物から溶剤を除去
して得られるフィルム成形物を提供するものである。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明のフェノキシ樹脂とは、公知のように(例えば、
岩倉ら訳「新しい耐熱性高分子」、化学同人刊、17
頁、1971)、ビスフェノール化合物とビスエポキシ
化合物と重付加反応によって得られるポリヒドロキシポ
リエーテル樹脂である。市販されているものとしては、
例えば、エポトートYP−50、YP−50S(東都化
成製)、UCAR、PKHC、PKHH(ユニオンカー
バイド製)等が挙げられる。本発明に使用されるフェノ
キシ樹脂は、市販品のみならず前記の各種ビスフェノー
ル化合物とビスエポキシ化合物との重付加反応により、
所望する構造のフェノキシ樹脂が得られる。フェノキシ
樹脂の原料となるビスフェノール化合物とビスエポキシ
化合物もそれ自体公知であって、市販品として入手する
ことができる。例えば、ビスフェノール化合物としては
ビスフェノールA、ビスフェノールS、ビスフェノール
SH、ビスフェノールF、ビスフェノールZ(三菱化学
製)、ハイドロキノン、レゾルシン、ビフェノール、ヘ
キサフルオロイソプロピリデンジフェノール、ジヒドロ
キシナフタレン、テトラメチルビフェノール、ジシクロ
ペンタジエン変性ビスフェノール等がある。また、ビス
エポキシ化合物としては前記ビスフェノール化合物とエ
ピクロルヒドリンとから誘導されるジグリシジルエーテ
ル化合物であり、例えば、ビスフェノールAを原料とし
たものとしては商品名エピコート828、エピコート1
001、エピコート1004(いずれも油化シェルエポ
キシ製)やエポミックR−140P、エポミックR−3
01(三井石油化学製)等がある。例えば、ビスフェノ
ール化合物がビスフェノールA、ビスエポキシ化合物が
ビスフェノールAジグリシジルエーテルである場合の重
付加反応物が次式(II)で表され、本発明樹脂の中間体
として有用である。
【0009】
【化3】
【0010】フェノキシ樹脂の製造条件等は公知公用の
方法に従って選定される。例えば、触媒として種々のア
ルカリ類の公知触媒が可能であるが、特に合成に使用す
る溶剤としては、後述の付加反応条件を考慮すれば、次
のものが好ましく用いられる。下記これらの溶剤は単独
でも併用してもよい。具体的には、エチルメチルケト
ン、MIBK、メシチルオキサイド、シクロヘキサノン
等のケトン類、トルエン、キシレン、テトラメチルベン
ゼン等の芳香族炭化水素類、メチルセロソルブアセテー
ト、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブア
セテート、メチルカルピトールアセテート、エチルカル
ピトールアセテート、ブチルカルピトールアセテート、
プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレ
ングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコ
ールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類、酢
酸エチル、酢酸ブチル、γ−ブチロラクトン及び上記グ
リコールエーテル類の酢酸エステル化物等のエステル
類、エタノール、プロパノール、エチレングリコール、
プロピレングリコール等のアルコール類、ベンゼン、ト
ルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、ジオキサン、
ジブチルエーテル等のエーテル類等、ジメチルフォルム
アミド、ジメチルアセトアミド、N−メチルピロリドン
等のアミド類、ジメチルスルフォキシド、ピリジン等が
挙げられ、樹脂との相溶性が良く、且つ沸点が100〜
260℃の範囲内にあるものが好ましい。沸点100℃
未満では、高分子量ポリマーを得るのに長時間を有し、
工業的に不利である。又、得られるアルカリ可溶な硬化
性樹脂の溶液から脱溶剤し、フィルム化した場合におい
てはしばしば均一な膜厚のものが得られ難い。一方、沸
点260℃以上の溶剤を使用した場合、温度制御が難し
い上、高温反応が激しく、ゲル化し易いのと、特に高分
子量化の際して分岐が起こり易く、分子量分布が広がる
欠点がある。
【0011】後述する本発明樹脂のフィルム成形物及び
その硬化物の性能を勘案した場合、フェノキシ樹脂とし
ては数平均分子量がMn=2000以上、好ましくはM
n=5000〜20000のもので、且つ次式で表され
る分子量分布係数εが2000〜20000のものが望
まれる。 Mn=ε(Mw/Mn) ここで、Mnはフェノキシ樹脂の数平均分子量であり、
Mwはフェノキシ樹脂の重量平均分子量である。このよ
うなフェノキシ樹脂を用いることにより、フィルム或い
はシートの成形性が良く、得られるフィルムやシートも
容易に破れることなく、取り扱いの優れる強靱性を有す
る。分子量Mn2000以下では、フィルム成形性や樹
脂硬化性、耐溶剤性、強靱性、はんだ耐熱性等、本目的
に適す諸物性をバランスよく満たすことが出来ない。分
子量が高ければ高い程、諸物性が向上する傾向を示す
が、Mn20000以上のものは作製が難しく、反応時
間がかかり過ぎる等の問題点がある。
【0012】一方、本発明フェノキシ樹脂のもう一つ重
要なポイントは分子量分布のことである。分子量分布に
関しては一般的に分子量が高くなるにつれて分子量分布
が広がる傾向がある。本発明のフェノキシ樹脂を合成す
る場合、数平均分子量Mnが8000までは低沸点の溶
剤を選択し反応温度をできるだけ低くして、少々反応時
間を長くかければ分子量分布の広がりを抑制することが
可能である。しかしながら、より優れた物性を出すため
には樹脂の分子量をできるだけ高くする必要があるが、
数平均分子量Mnが8000以上、特に10000を超
えると大概の場合は分子量分布が急速に大きな広がりを
見せるので、それを抑制する工夫が必要である。
【0013】本発明においてフェノキシ樹脂の性能と、
分子量及びその分布との関係は上式で示す相関係数εに
よって説明することができる。平均分子量Mnが100
00を超え、係数εが2000以下、つまり分子量分布
が相当広がった場合、硬化した後のフェノキシ樹脂の高
分子量化による効果が得られない。例えば、フィルムの
強度と靱性とはアンバランスになったり、硬化性やアル
カリ現像性は不十分であったりすることがある。分子量
分布を狭くする工夫としては、1)前述の溶剤選択があ
る。即ち、出来るだけ設計分子量に見合った低沸点の溶
剤を使用し、溶剤の沸点にて還流して反応を行うことで
ある。より好ましくは、2)ビスエポキシ化合物を数段
階に分けて反応させる方法である。具体的には、まず1
段目でビスエポキシ化合物の一部を全量のビスフェノー
ル化合物と反応させ、反応がかなり進んだ後に残りのビ
スエポキシ化合物を段階的に後添し、反応を完結させる
が、更に適時に溶剤希釈も合わせると一層の効果を得ら
れる。逆に、1段目で全量のビスエポキシ化合物をビス
フェノール化合物の一部と反応させ、後に残りのビスフ
ェノール化合物を後添した場合、かえって分子量分布が
広くなり、不適合である。
【0014】本発明において硬化性付与のために使用さ
れるα,β−不飽和モノイソシアネートとしては、メタ
クリロイルイソシアネート(日本ペイント製)、イソシ
アネートエチルメタクリレート(昭和電工製)が好まし
く使用される。α,β−不飽和モノイソシアネート片末
端にあるイソシアネート基を、下記のフェノキシ樹脂の
水酸基(III)と、或いは後述する先に付加された多価
カルボン酸無水物(IV)と付加反応し、硬化用不飽和基
としてメタクリロイル基をフェノキシ樹脂のペンダント
に導入される。下記にその構造式を示す。
【0015】
【化4】
【0016】(式中、Ar1、Ar4は水素原子、ハロゲ
ン原子またはエーテル結合を含んでいてもよい炭素数1
〜12の炭化水素基から選ばれる置換基を有する2価芳
香族フェノール残基を示し、相互に同じでも異なってい
てもよい。Rは水素原子またはメチル基を示し、xは0
または1である。p、sは各々構造単位のモル分率を示
す。) 或いは
【0017】
【化5】
【0018】(式中、Ar2、Ar3は水素原子、ハロゲ
ン原子またはエーテル結合を含んでいてもよい炭素数1
〜12の炭化水素基から選ばれる置換基を有する2価芳
香族フェノール残基を示し、相互に同じでも異なってい
てもよい。Rは水素原子またはメチル基を示し、R' は
炭素数2〜20の脂肪族、脂環族、置換または無置換芳
香族の多価カルボン酸残基を示し、yは1または2であ
り、zは0または1であり、xは0または1である。
q、rは各々構造単位のモル分率を示す。)
【0019】本発明の樹脂を得る製造方法としては、
1)前述フェノキシ樹脂中の側鎖水酸基に、所定量の一
部のα,β−不飽和モノイソシアネート、次いで所定量
の多価カルボン酸無水物、そして残りのα,β−不飽和
モノイソシアネートの順で反応し、ペンダントさせる
か、または2)フェノキシ樹脂中の水酸基に、所定量の
多価カルボン酸無水物、次いでα,β−不飽和モノイソ
シアネートの順で反応し、ペンダントさせることができ
る。
【0020】α,β−不飽和モノイソシアネートの使用
量は製造方法によって一概に規定することは難しいが、
両製造方法を総合的に判断して、好ましくはモル分率と
して0.4≦(p+r)≦0.8の範囲である。以下、
製造方法別に詳細に説明する。製造方法1)の場合、
α,β−不飽和モノイソシアネートは所定量に対して多
価カルボン酸無水物の付加反応を挟んで前後に分けて使
用する。多価カルボン酸無水物付加前のα,β−不飽和
モノイソシアネート前段使用量は、フェノキシ樹脂中の
水酸基当たりモル分率(p)の範囲が0.1〜0.3が
好ましい。α,β−不飽和モノイソシアネート付加モル
分率が0.1より少ないと最終的に得られる樹脂の光感
度が鈍く、且つ硬化物の耐溶剤性が十分でない。樹脂の
光感度や硬化物の耐溶剤性は前段のα,β−不飽和モノ
イソシアネート付加量によってかなり左右されることが
ある。一方、0.3を超える量の場合は、水性アルカリ
での現像化に必要な次工程の酸ペンダント化に必要な水
酸基が減るため、水性アルカリ現像性が低下し、望まし
くない。そして多価カルボン酸無水物を付加した後に、
更に残りのα,β−不飽和モノイソシアネートを補足す
る手順を取るので、後述する製造方法2)と合わせて最
終的にα,β−不飽和モノイソシアネートトータル使用
量のモル分率(p+r)として0.4〜0.8が望まれ
る。また、フェノキシ樹脂の分子量によって若干その前
後の比率を調整する必要がある。樹脂の分子量が高けれ
ば、できるだけ酸無水物の付加を多くし、アルカリ可溶
性を確保する意味で前段のα,β−不飽和モノイソシア
ネート使用量は少なくて済むが、樹脂の分子量が低い場
合は、イソシアネートエチルメタクリレートを可能な限
り先に優先的に付加する設計が必要となる。
【0021】一方、製造方法2)の場合α,β−不飽和
モノイソシアネートのペンダントは多価カルボン酸無水
物付加反応の後になる工程を取るので、直接フェノキシ
樹脂の水酸基へペンダントしないこともあるため、モル
分率pの下限は0である。これを製造方法1)の結果と
付き合わせると直接フェノキシ樹脂水酸基へのペンダン
トモル分率は0≦p≦0.3が好ましい。α,β−不飽
和モノイソシアネート付加は樹脂へ硬化性、耐溶剤性を
付与するためである。本発明の結果として、光硬化性に
対するα,β−不飽和モノイソシアネートの寄与は直接
フェノキシ樹脂の水酸基にペンダントされた場合と比べ
若干小さいが、α,β−不飽和モノイソシアネートの付
加可能な範囲が幅広い。そのため、十分にその寄与を果
たすためには可能な限りの上限を設定するのが望まし
い。そこで、α,β−不飽和モノイソシアネートの使用
量としてフェノキシ樹脂の水酸基及び酸無水物の酸基に
付加する、トータルのモル分率(p+r)が0.4〜
0.8の範囲が好ましい。いずれの場合でも、上述した
ように使用されるフェノキシ樹脂の分子量及び分子量分
布、多価カルボン酸無水物の種類及びその使用量、水性
アルカリでの現像性、硬化物の機械的強靱性等の必要と
される条件から総合的に判断し、α,β−不飽和モノイ
ソシアネートの使用量を決める必要がある。製造方法の
本質から、製造方法1)は特に樹脂の光感度や硬化性を
向上する効果が優れるのに対して、製造方法2)は多価
カルボン酸無水物の高モル分率付加反応が可能であるこ
とからアルカリ可溶性に有利であることを活用し、望ま
しい樹脂を巧みに設計することができる。
【0022】フェノキシ樹脂中の水酸基とα,β−不飽
和モノイソシアネートとを均一条件で反応させるには、
溶剤の存在下で行うことが好ましい。この場合、使用す
る溶剤としては非プロトン性有機溶剤であれば使用が可
能であるが、前述フェノキシ樹脂合成時に使用される溶
剤を用いた方が好ましい。又、反応の内容を鑑みて、使
用する溶剤は事前に十分に脱水しておくことが望まし
い。フェノキシ樹脂中の水酸基と、及び/または先に付
加された多価カルボン酸無水物とのα,β−不飽和モノ
イソシアネート付加反応では、触媒はあってもなくても
構わない。メタクリロイルイソシアネートのような高い
反応性を有するため、水酸基及び/または酸無水物とは
常温無触媒でも容易に付加反応が起こるが、時間の短縮
や効率よく反応させるため触媒を使用する場合は、ジブ
チル錫ジラウレート、ジブチル錫ー2ーエチルヘキソエ
ート、DABCO等通常のウレタン化触媒が好ましく使
われ、その使用量、反応温度も公知の範囲で可能であ
る。更に、好ましくない重合副反応を抑えるために重合
禁止剤、例えば、ハイドロキノン、ベンゾキノン、フェ
ノチアジン、レゾルシン、ヒドロキノンモノメチルエー
テル、t−ブチルカテコール、ピロガロール、Cu粉末
等の存在下で反応を行うのが好都合である。
【0023】本発明において水性アルカリでの現像性を
付与するため、フェノキシ樹脂の水酸基に多価カルボン
酸無水物をペンダントさせる。酸ペンダント反応の原料
として使用される多価カルボン酸無水物としては、炭素
数2〜20の脂肪族、脂環族、置換または無置換芳香族
の多価カルボン酸無水物であり、具体的には無水マレイ
ン酸、無水コハク酸、無水フタル酸、ヘキサヒドロフタ
ル酸無水物、ナジン酸無水物、メチルナジン酸無水物、
3−又は4−メチル−1,2,3,6−テトラヒドロフ
タル酸無水物、クロルエンド酸無水物、ドデセニルコハ
ク酸無水物、トリメリット酸無水物、ピロメリット酸無
水物等が挙げられる。特に、十分な水性アルカリ現像性
を付与するには付加反応物のペンダントに2個カルボキ
シル基の同時付与が可能であるトリメリット酸無水物の
ようなカルボキシル基含有多塩基酸無水物を含有するこ
とが好ましい。これらカルボキシル基含有多塩基酸無水
物は単独でも或いは上記他の多価カルボン酸無水物と2
種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【0024】同様に多価カルボン酸無水物の付加方法と
しては、1)フェノキシ樹脂の水酸基に所定量の一部の
α,β−不飽和モノイソシアネートを付加した後に酸無
水物を反応させる、及び2)フェノキシ樹脂の水酸基に
先に多価カルボン酸無水物を付加させる、とがある。い
ずれの場合でも後で付加されるα,β−不飽和モノイソ
シアネートによって一部の酸基が封鎖されるので、水性
アルカリ可溶性を付与するため、必要以上に多価カルボ
ン酸無水物の使用量を定めなければならない。製造方法
違いによって若干の差を生じ、一概に規定することは難
しいが、両製造方法を総合的に判断して、最終的に封鎖
されない酸基をもつ構造単位のモル分率として、好まし
くは0.2≦q≦0.6の範囲である。モル分率qが
0.2未満では、十分な水性アルカリ現像性が得られな
いのは両製造方法によっても違わない。使用量の上限は
感光性付与との兼ね合いから製造方法1)と2)では若
干異なる。製造方法1)の場合、感光性付与のため先に
行われたα,β−不飽和モノイソシアネートの付加分を
差し引いて上限のモル分率qが0.6である。一方、製
造方法2)では多価カルボン酸無水物の付加は(q+
r)≦1で上限なく、フェノキシ樹脂中の水酸基をすべ
て多価カルボン酸無水物で付加してもよいが、一旦フェ
ノキシ樹脂の水酸基に付加した酸無水物の酸基の多く
は、後ほど付加される所定量のα,β−不飽和モノイソ
シアネートによって封鎖されるので、上述封鎖の役割を
するα,β−不飽和モノイソシアネートの付加量を考え
れば、モル分率0.6までの範囲となる。また、多価カ
ルボン酸無水物の酸基へのα,β−不飽和モノイソシア
ネート付加量は、製造方法に基づくトータルの付加量と
アルカリ可溶に必要で、α,β−不飽和モノイソシアネ
ートに封鎖されない酸基の量との兼ね合いで、モル分率
として0.1≦r≦0.8が好ましい。フェノキシ樹脂
に同レベルのアルカリ可溶性及び光硬化性付与を両立す
るには、製造方法1)の方が製造方法2)より原料使用
量は少なくて済む点において有利である。一方、製造方
法2)は官能基増加が可能であり、又反応工程数が少な
いメリットを有するので、用途等に応じて使い分けられ
る。
【0025】酸無水物の種類や組み合わせによって、最
終的に得られた反応物は酸価で判断する必要がある。酸
価としては100(mgKOH/g固形分)以上が必要
で、好ましくは100〜200(mgKOH/g固形
分)である。酸価が100(mgKOH/g固形分)未
満では、水性アルカリ現像性が乏しいが、前述したよう
に感光硬化性を確保する前提では、酸価200(mgK
OH/g固形分)が上限となる。酸無水物と水酸基との
反応を円滑に進めるために、3級アミンやイミダゾール
類、第4級アンモニウム、リチウム、クロム、マンガン
等の金属化合物等公知触媒を必要量併用することは有用
であり、種類及びその使用量は適宜選定される。
【0026】同様に反応を均一に行うために溶剤の使用
が好ましい。使用する溶剤として、前記フェノキシ樹脂
の合成及び/またはα,β−不飽和モノイソシアネート
とフェノキシ樹脂との反応で用いられた溶剤と異なって
いてもよいが、一連の反応に共通して使用し得る溶剤を
選定することが経済的である。
【0027】フェノキシ樹脂とα,β−不飽和モノイソ
シアネート及び/または多価カルボン酸無水物との付加
反応において樹脂濃度が10〜70重量%、好ましくは
20〜50重量%である。樹脂濃度が10重量%未満で
は、溶剤量が過多のため溶剤除去に多大なエネルギーを
必要とし、好ましくない。一方、70重量%を超えた場
合樹脂溶液粘度が極端に高いため、局部的な発熱等の好
ましくない反応が起こり易くなる。必要に応じて、反応
の過程で溶剤希釈による粘度低減が有用な方法として用
いることが出来る。
【0028】上記一般式(I)の構造を有する本発明の
水性アルカリ可溶な硬化性樹脂を製造するには、フェノ
キシ樹脂との反応は前述した製造方法1)及びまたは製
造方法2)に従って行うことが大事である。反応順序が
正逆によって得られる構造が異なり、前述した製造条件
等も当てはまらなくなる可能性がある。
【0029】本発明によって得られるアルカリ可溶な硬
化性樹脂をベースに、ラジカル開始剤、架橋性モノマー
及び/または硬化剤とを配合し、更に必要に応じて有機
或いは無機フィラー、着色剤及び有機溶剤からなる群か
ら選ばれる少なくとも1種以上を配合してなるアルカリ
可溶な硬化性樹脂組成物が使用できる。
【0030】本発明の樹脂は側鎖に不飽和基を有するた
め、それ自身で熱硬化性、放射線硬化性を有するが、光
開始剤を添加することにより紫外線、可視光線、赤外線
への光感応性を付与することができる。活性エネルギー
線硬化、例えば、紫外線、可視光、赤外線、レーザー光
等による光硬化においては波長に見合う光開始剤が多く
上市され、適宜選定される。それらを列挙すれば、例え
ば、ベンゾイン、フロイン、ベンゾインメチルエ−テ
ル、ベンゾインイソプロエ−テル等のベンゾイン類及
び、ベンゾインアルキルエ−テル類、アセトフェノン、
2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、
2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、
1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキシシク
ロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−〔4−
(メチルチオ)フェニル〕−2−モンフォリノ−プロパ
ン−1、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4
−モルフォリノフェニル)−ブタン−1、2−ヒドロキ
シ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、
N,N−ジメチルアミノアセトフェノン等のアセトフェ
ノン類、2−メチルアントラキノン、2−エチルアント
ラキノン、2−tert−ブチルアントラキノン、1−
クロロアントラキノン、2−アミノアントラキノン等の
アントラキノン類、2,4−ジメチルチオキサントン、
2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサ
ントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチ
オキサントン類、ベンジル、ベンジルジメチルケタ−ル
等のベンジル類、ベンゾフェノン、4,4’−ジクロロ
ベンゾフェノン、4,4’−ビスジエチルアミノベンゾ
フェノン、ミヒラーズケトン等のベンゾフェノン類及び
キサントン類等が挙げられる。これらの光開始剤は2種
又は3種以上の混合物でも使用することができる。光開
始剤の使用量は、前記樹脂に対して0.1重量%以上、
好ましくは1重量%〜10重量%の範囲である。光開始
剤の配合量は0.1重量%以下では硬化時に硬化性が不
十分であり、一方、その配合量が10重量%を越える
と、増量による効果が認められないばかりでなく、樹脂
硬化物の物性低下を招くのみならず経済的でない。ま
た、活性エネルギー光線を発光する光源としては、低
圧、中圧、高圧水銀ランプ、ハロゲンランプ、メタルハ
ライドランプ等の公知公用のランプが使用される。
【0031】硬化物の性能改善を含め、用途に応じて各
種公知の単官能或いは多官能(メタ)アクリレート化合
物等を架橋性モノマーとして添加して用いることが出来
る。代表的なものとしては、2−ヒドロキシエチルアク
リレート、2−ヒドロキシブチルアクリレート等のヒド
ロキシアルキルアクリレート類、エチレングリコール、
ヘキサンジオール、メトキシテトラエチレングリコー
ル、ポリエチレングリコール、プロピレングリコール等
のグリコールのモノ又はジアクリレート類、N,N−ジ
メチルアクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド
等のアクリルアミド類、N,N−ジメチルアミノエチル
アクリレート等のアミノアルキルアクリレート類、トリ
メチロールプロパン、ペンタエリストール、ジペンタエ
リストール、トリスーヒドロキシエチルイソシアヌレー
ト等の多価アルコール又は、これ等のエチレンオキサイ
ド或いは、プロプレンオキサイドの付加物の多価アクリ
レート類、フェノキシアクリレート、ビスフェノールA
ジアクリレート及び、これ等のフェノール類のエチレン
オキサイド或いはプロピレンオキサイド付加物等のアク
リレート類、グリセリンジグリシジルエーテル、トリメ
チロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシ
ジルイソシアヌレート等のグリシジルエーテルのアクリ
レート類、及びメラミンアクリレート及び/又は、上記
アクリレート類に対するメタクリレート類等がある。ま
た、オリゴマーとしては、エポキシアクリレート、酸ペ
ンダントエポキシアクリレート、ウレタンアクリレー
ト、酸ペンダントウレタンアクリレート等光硬化性樹脂
組成物に汎用の各種モノマーが挙げられる。これら架橋
性モノマーの使用量は、用途、使用方法、架橋モノマー
の種類、本発明樹脂との相溶性によっても異なるため、
一概に規定できないが、樹脂100重量部に対して0〜
300重量部、好ましくは0〜200重量部である。添
加量が300重量部を超えるとドライフィルムとして利
用する場合にはしばしば添加した架橋モノマーの樹脂か
らの滲出しが起こり易く、表面のべたつき等が発生し、
好ましくない。
【0032】その他架橋性モノマーとしては、例えば、
樹脂硬化物中の残存カルボキシル基が使用目的によって
不要となる場合、例えばソルダーレジストインキ膜、ビ
ルドアップ積層膜へ使用する場合にはソルダーレジスト
の手法において採用される如く、多価エポキシ化合物や
多価オキサゾリン、アミノ樹脂等を併用し封止すること
ができるし、アルカリ可溶性の改質が必要である場合に
は、スチレンマレイン酸樹脂等の併用、又モノマーとし
てヒドロキシアルキル(メタ)クリレートと酸無水物と
のハーフエステル等と併用することも用途に応じて適用
できる。これらの使用量は樹脂の酸価から規定できる。
【0033】また、本発明のアルカリ可溶な硬化性樹脂
及び/またはその組成物に、必要に応じて体質顔料、染
料を配合して塗料化することが出来る。
【0034】本発明のアルカリ可溶な硬化性樹脂及び/
またはその組成物は、前述各種用途おいて溶液のまま液
状レジスト材として使用に供し得るばかりでなく、溶剤
を除去してドライフィルムとしても使用することが出来
る。フィルム化は、離型可能な平滑な面の上に塗布し、
出来るだけ遮光された環境で低温にて通常のキャスト法
によって溶剤を揮発し、所望の膜厚のフィルムを得るこ
とができる。
【0035】
【実施例】以下、実施例を挙げて本発明を更に詳しく説
明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
フェノキシ樹脂の合成例を下記に示す。
【0036】合成例1 攪拌機、還流コンデンサー、温度計、滴下ロートを付け
た500ミリリットルの四ツ口セパラブルフラスコを用
い、溶剤として201gのメシチルオキサイド(和光純
薬製)に、114gのビスフェノールA(三菱化学製、
分子量=228.3)と188gのエポミックR−14
0P(三井石油化学製、エポキシ当量=188)、及び
0.56gの固形KOHを仕込んだ後、徐々に50℃位
まで攪拌しながら昇温し、外観上透明になるまで溶解さ
せる。その後、メシチルオキサイドの沸点126℃にま
で加熱し、約2時間保持し、反応させた。その後、一旦
加熱を停止し、110℃にまで冷却した後、メシチルオ
キサイドを更に168g添加希釈し、再びメシチルオキ
サイドの沸点126℃にまで昇温し、約2時間還流させ
た。得られた樹脂液を冷水中に激しく攪拌しながら入
れ、後に静置により沈殿物を得た。同沈殿物を60℃以
下10時間真空乾燥し、薄黄色の固形フェノキシ樹脂を
作製した。このようにして得られたフェノキシ樹脂を用
いGPC測定(昭和電工製、Shodex GPC S
ystem−21、溶出液テトラヒドロフラン使用、溶
出速度1ml/min、測定温度40℃、標準ポリスチ
レン換算)を行ったところ、分子量(Mn)は1600
0で、分布係数εは3478であった。又、得られたフ
ェノキシ樹脂についてDSC(RIGAKU製、DSC
8230)或いはバイブロン(オリエンテック製、Rh
eovibron ModelDDV−25FP)の測
定では、いずれも100℃近辺においてガラス転移温度
が観測された。更に、このフェノキシ樹脂の化学構造に
ついて13C−NMR測定(JEOL製、JNM−LA3
00)を行った結果、各々炭素の帰属が特定でき、式
(II)で示される構造物であることが確認された(図
1)。以下の合成例についてはすべて同様な確認を行っ
ている。
【0037】合成例2 攪拌機、還流コンデンサー、温度計、滴下ロートを付け
た500ミリリットルの四ツ口セパラブルフラスコを用
い、溶剤として75.5gのメチルエチルケトン(ME
K)に114gのビスフェノールA(三菱化学製、分子
量=228.3)と188gのエポミックR−140P
(三井石油化学製、エポキシ当量=188)、及び0.
56gの固形KOHを仕込んだ後、徐々に50℃位まで
攪拌しながら昇温し、外観上透明になるまで溶解させ
る。そして、MEKの沸点80℃にまで加熱し、約8時
間保持し、反応を完結させる。得られた樹脂液を冷水中
に激しく攪拌しながら入れ、後に静置により沈殿物を得
た。同沈殿物を50℃以下6時間真空乾燥し、白色の固
形フェノキシ樹脂を作製した。得られたフェノキシ樹脂
の分子量(Mn)は5500で、分布係数εは2619
であった。
【0038】合成例3 攪拌機、還流コンデンサー、温度計、滴下ロートを付け
た500ミリリットルの四ツ口セパラブルフラスコを用
い、溶剤として104gのジエチレングリコールモノエ
チルエーテルアセテート(ECA/関東化学製)に、1
14gのビスフェノールA(三菱化学製、分子量=22
8.3)と476gのエポミックR−301(三井石油
化学製、エポキシ当量=476)、及び2.62gのト
リフェニルフォスフィンを仕込んだ後、徐々に50℃位
まで攪拌しながら昇温し、外観上透明になるまで溶解さ
せる。そして、ECAの沸点200℃にまで加熱し、約
2時間保持し、反応させた。その後、一旦加熱を停止
し、180℃にまで冷却した後、ECAを290gを更
に添加希釈し、攪拌しながら更に80℃以下冷却した。
得られた樹脂液を冷水中に激しく攪拌しながら入れ、後
に静置により沈殿物を得た。同沈殿物を50℃以下6時
間真空乾燥し、薄黄色の固形フェノキシ樹脂を作製し
た。得られたフェノキシ樹脂の分子量(Mn)は100
00で、分布係数εは3030であった。
【0039】合成例4 攪拌機、還流コンデンサー、温度計、滴下ロートを付け
た500ミリリットルの四ツ口セパラブルフラスコを用
い、溶剤として164gのメシチルオキサイド(和光純
薬製)に、114gのビスフェノールA(三菱化学製、
分子量=228.3)と131.6gのエポミックR−
140P(三井石油化学製、エポキシ当量=188)、
及び0.392gの固形KOHを仕込んだ後、徐々に5
0℃位まで攪拌しながら昇温し、外観上透明になるまで
溶解させる。その後、メシチルオキサイドの沸点126
℃にまで加熱し、約2時間保持し、反応させた。その
後、予め室温下で調合した56.4gのエポミックR−
140P(三井石油化学製、エポキシ当量=188)、
37.3gのメシチルオキサイド及び0.168gの固
形KOHを追添し、2時間還流させた後、168gのメ
シチルオキサイドを後添し、更に2時間還流させた。得
られた樹脂液を冷水中に激しく攪拌しながら入れ、後に
静置により沈殿物を得た。同沈殿物を60℃以下10時
間真空乾燥し、薄黄色の固形フェノキシ樹脂を作製し
た。得られたフェノキシ樹脂の分子量(Mn)は150
00で、分布係数εは4166であった。
【0040】合成例5 攪拌機、還流コンデンサー、温度計、滴下ロートを付け
た500ミリリットルの四ツ口セパラブルフラスコ用
い、溶剤として453gのシクロヘキサノン(関東化学
製)に、114gのビスフェノールA(三菱化学製、分
子量=228.3)と188gのエポミックR−140
P(三井石油化学製、エポキシ当量=188)、及び
0.56gの固形KOHを仕込んだ後、徐々に60℃位
まで攪拌しながら昇温し、外観上透明になるまで溶解さ
せる。その後、シクロヘキサノンの沸点150〜155
℃にまで加熱し、約1.5時間還流し、反応を完結させ
た。得られた樹脂液を冷水中に激しく攪拌しながら入
れ、後に静置により沈殿物を得た。同沈殿物を60℃以
下12時間真空乾燥し、薄黄色の固形フェノキシ樹脂を
作製した。得られたフェノキシ樹脂の分子量(Mn)は
16000で、分布係数εは1882であった。
【0041】実施例1 上記合成例1で合成されたフェノキシ樹脂を室温及び真
空乾燥後、固形樹脂として56.8gを取り、85.2
gのジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテー
ト(ECA/関東化学製)に溶解させ、更に0.05g
ハイドロキノンを添加し、70℃にて温度を保持しなが
ら、予め9.3g(0.3モル分率/樹脂中−OH基)
イソシアネートエチルメタクリレート(昭和電工製、商
品名カレンズMOI)と0.09gのジブチル錫ジラウ
レートを溶解させた溶液を仕込み、70℃にて90分間
反応させ完結させた。フェノキシ樹脂中の水酸基への
α,β−不飽和モノイソシアネート付加反応の完結は、
FTIR測定(日立製作所製、260−10型IRスペ
クトロフォトメーター)によって−NCO基に起因する
吸収ピーク(2250cm-1付近)の完全な消失により
確認した(図2=MOI添加後、図3=MOI付加反応
終了後)。更に、この生成物に対して13C−NMR測定
(同上)を行い、155.787ppm(No.1)付
近に新たなピークの出現が観察されることから、フェノ
キシ樹脂中の水酸基へα,β−不飽和モノイソシアネー
ト−NCO基の付加による−O−CO−NH−結合が生
成していることが確認できた(図4)。以下、すべての
実施例について同様な確認を行っている。次いで、予め
123gのECAに23.04g(0.6モル分率/樹
脂中−OH基)の無水トリメリット酸(TMA、関東化
学製)を溶解した溶液と、触媒としてトリエチルアミン
(TEA)を0.5g追添し、95〜97℃にて温度を
保持しながら、付加反応を完結させた。フェノキシ樹脂
の水酸基への多価カルボン酸無水物付加反応の確認は、
FTIR測定(日立製作所製、260−10型IRスペ
クトロフォトメーター)によって酸無水基に起因する吸
収ピーク(1780cm-1 付近)の減少を観察し、終
点を決めている(図5=TMA添加後、図6=TMA付
加反応終了後)。この反応生成物に対してサンプリング
13C−NMR測定を行い、165.805ppm(N
o.2)付近に−O−CO−Ar−結合中のカルボニル
基に帰属するピークが観察され、多価カルボン酸無水物
が開環してフェノキシ樹脂の水酸基に付加されているこ
とを裏付けられた(図4)。最後に温度を70℃に落と
してから保持し、更に前段と同量(TMA9.3g/H
Q0.05g/DBTDL0.09g)のイソシアネー
トエチルメタクリレート(0.3モル分率/樹脂中−O
H基)溶液を補足し、90分間反応させ完結させた。イ
ソシアネートエチルメタクリレート−NCO基に起因す
る吸収ピーク(2250cm-1付近)の確認は、前述同
様にFTIR測定(日立製作所製、260−10型IR
スペクトロフォトメーター)によって行い、完全な消失
を終点とし、反応を終結させた(図2および3)。この
生成物に対して13C−NMR測定(同上)を行なった結
果、166.389ppm(No.5)付近に更に新た
なピークの出現が観察された。また、この付加反応が進
むにつれて特にこのピークが増大することから、先に樹
脂の水酸基へ付加した酸無水物の酸基に−NCO基の付
加による−OCO−Ar−CO−NH−結合が生成され
たものと推察され(図4)、前述帰属の解析結果と付き
合わして式(I)で示される構造物と合致することが確
認された(下記表1)。以下、すべての実施例について
同様な確認を行っている。このようにして得られた樹脂
は前述の製造方法1)に従うもので、酸価を測定した結
果116(mgKOH/g)であった。更に、この樹脂
溶液に樹脂固形分に対して光開始剤として2−ヒドロキ
シー2−メチル−1−フェニル−プロパン−1−オン
(チバガイギー製、商品名ダロキュア1173)を2重
量%添加し、本発明の光硬化用サンプルとした。
【0042】
【表1】
【0043】実施例2 合成例2で合成したフェノキシ樹脂を用い、合成例2樹
脂/MOI/TMA/MOIの比率が1/0.4/0.
5/0.2となる構成で実施例1と同じ方法にて反応を
行った。生成物の酸価は107(mgKOH/g)であ
った。
【0044】実施例3 合成例3で合成したフェノキシ樹脂を用い、合成例3樹
脂/MOI/TMA/MOIの比率が1/0.3/0.
6/0.3となる構成で実施例1と同じ方法にて反応を
行った。生成物の酸価は116(mgKOH/g)であ
った。
【0045】実施例4 合成例4で合成したフェノキシ樹脂を用い、合成例4樹
脂/MOI/TMA/MOIの比率が1/0.3/0.
6/0.3となる構成で実施例1と同じ方法にて反応を
行った。生成物の酸価は116(mgKOH/g)であ
った。
【0046】実施例5 無水トリメリット酸単独使用の代わりに、予め無水トリ
メリット酸(TMA、関東化学製)と無水コハク酸(S
A、関東化学製)のモル比を8/2に調合した混合物を
酸無水物として使用し、合成例1樹脂/MOI/TMA
/MOIの比率が1/0.3/0.6/0.3となる構
成で、実施例1と同じ方法にて反応を行った。生成物の
酸価は104(mgKOH/g)であった。
【0047】実施例6 上記合成例1で合成されたフェノキシ樹脂を室温及び真
空乾燥後、固形樹脂として56.8gを取り、85.2
gのジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテー
ト(ECA、関東化学製)に溶解させた後、予め13
8.3gのECAに30.72g(0.8モル分率/樹
脂中−OH基)の無水トリメリット酸(TMA、関東化
学製)を溶解した溶液と、触媒としてトリエチルアミン
(TEA)を0.5g追添し、95〜97℃にて温度を
保持しながら、付加反応を完結させた。フェノキシ樹脂
の水酸基への多価カルボン酸無水物付加反応の確認は、
実施例1と同じ方法で行い、終点を決めている。次い
で、0.1gハイドロキノンを添加し、70℃にて温度
を保持しながら、予め18.6g(0.6モル分率/樹
脂中−OH基)のイソシアネートエチルメタクリレート
(昭和電工製、商品名カレンズMOI)と0.186g
のジブチル錫ジラウレートを溶解させた溶液を仕込み、
70℃にて90分間反応させ完結させた。フェノキシ樹
脂中の水酸基或いは無水トリメリット酸の酸基へのイソ
シアネートエチルメタクリレート付加反応の確認は、実
施例1と同じ方法でFTIRの特定ピーク消失を終点と
し、反応を終結させている。このようにして得られた生
成物の構成としては、合成例1樹脂/TMA/MOIの
比率が1/0.8/0.6で、実施例1と同じように13
C−NMR測定による構造特定を行なった結果、式
(I)で示される構造物と合致することを確認した。こ
の樹脂の酸価を測定した結果131(mgKOH/g)
であった。更に、この樹脂溶液に樹脂固形分に対して光
開始剤として2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニ
ル−プロパン−1−オン(チバガイギー製、商品名ダロ
キュア1173)を2重量%添加し、本発明の光硬化用
サンプルとした。
【0048】実施例7 合成例2で合成したフェノキシ樹脂を用い、合成例2樹
脂/TMA/MOIの比率が1/0.7/0.7となる
構成で実施例6と同じ方法にて反応を行った。生成物の
酸価は110(mgKOH/g)であった。
【0049】実施例8 市販のフェノキシ樹脂としてエポトートYP−50S
(東都化成製、Mn=15000、Mw/Mn=4.
1)を用い、フェノキシ樹脂(YP−50S)/TMA
/MOIの比率が1/0.8/0.6となる構成で実施
例6と同じ方法にて反応を行った。生成物の酸価は13
1(mgKOH/g)であった。
【0050】実施例9 実施例1で得た本発明の樹脂液に、更に架橋性モノマー
としてトリメチロールプロパントリアクリレート(TM
PTA、大阪有機化学工業製)を、樹脂固形分に対して
20重量%となるよう添加した。
【0051】実施例10 実施例1で得た本発明の樹脂液に更に硬化剤としてエポ
ミックR−140P(三井石油化学製、エポキシ当量=
188)を、樹脂の酸価に対して0.5当量となるよう
に添加した。
【0052】比較例1 合成例5で合成したフェノキシ樹脂を乾燥し用い、合成
例5樹脂/MOI/TMA/MOIの比率が1/0.3
/0.6/0.3となる構成で実施例1と同じ方法にて
反応を行った。生成物の酸価は116(mgKOH/
g)であった。
【0053】比較例2 無水トリメリット酸の代わりに無水コハク酸(SA、関
東化学製)を使用し、合成例1樹脂/MOI/SA/M
OIの比率が1/0.3/0.6/0.3となる構成で
実施例1と同じ方法にて反応を行った。生成物の酸価は
52(mgKOH/g)であった。
【0054】比較例3 合成例1樹脂/MOI/TMA/MOIの比率が1/
0.3/0.3/0.3となる構成で実施例1と同じ方
法にて反応を行った。生成物の場合の酸価は74(mg
KOH/g)であった。
【0055】比較例4 合成例1樹脂/MOI/TMA/MOIの比率が1/
0.2/0.6/0.1となる構成で、実施例1と同じ
方法にて反応を行った。生成物の酸価は150(mgK
OH/g)であった。
【0056】比較例5 合成例1で合成したフェノキシ樹脂を用い、酸無水物付
加反応後にイソシアネートエチルメタクリレートをペン
ダントさせる製造方法2)に従い、合成例1樹脂/TM
A/MOIの比率が1/0.8/0.3となる構成で実
施例6と同じ条件にて反応を行った。生成物の酸価は1
60(mgKOH/g)であった。
【0057】比較例6 フェノキシ樹脂の代わりにエポキシアクリレートである
リポキシSPB−37−5X(昭和高分子製、Mn=1
300、Mw/Mn=1.9)を比較として用い、この
場合の酸価は98(mgKOH/g)であった。
【0058】上記実施例1〜10及び比較例1〜6にお
いて得られた樹脂を、アプリケーターを用い銅箔基板上
所定の膜厚になるよう塗工し、160℃にて30分乾燥
した後評価サンプルとした。これらの塗膜の諸物性につ
いて試験した結果をそれぞれ表2と表3に示す。なお、
各種性能の試験方法及び評価判定は下記通りである。
【0059】1.感光性試験 1)を用い、1回通過で50mJ/cm2の照射光量で
10回(計500mJ/cm2)通過照射した後、溶剤
メチルエチルケトン(MEK)を垂らし、塗膜表面の膨
潤状態を目視判定した。 ○全く変化が認められないもの △表面が僅かに膨潤しているもの ×表面が顕著に膨潤しているもの
【0060】2.現像性試験 フォトマスクを通し、365nmの波長の紫外線を照射
し、上述照射光量で15回(計750mJ/cm2)通
過したものをテストピースとし、1重量%のNaOHを
水溶液を現像液とし30℃にて約0.8kg/cm2
スプレー圧で60秒間現像(日新製作所製、スプレー現
像装置)を行った後の未露光部の除去された状態を目視
判定した。 ○完全に現像ができたもの △表面に薄く現像されない部分があるもの ×全体的に現像残りがあるもの
【0061】3.密着性試験 銅箔基板上で形成される塗膜(約30μm)を365n
mの波長の紫外線を照射し、上述照射光量で15回(計
750mJ/cm2)通過したものをテストピースと
し、JIS D 0202の試験方法に従って碁盤目状
にクロスカットを入れ、次いでセロハンテープによるピ
ーリングテスト後の剥がれの状態を目視判定した。 ○100/100で全く剥がれのないもの △100/100でクロスカット部が少し剥がれたもの ×90/100以下のもの
【0062】4.耐溶剤性試験 密着性試験と同じテストピースをそれぞれアセトン及び
メチルエチルケトン(MEK)に室温で30分間浸漬し
た後取り出し、塗膜の状態と密着性とを総合的に判定評
価した。 ○全く変化が認められないもの △僅かに変化しているもの ×顕著に変化しているもの
【0063】5.引張強度測定 PETフィルム上に樹脂溶液をキャステイングし、70
℃にて2時間熱風乾燥後、室温1時間放置して、膜厚約
50μmの薄膜を得た。365nmの波長の紫外線を照
射し、上述照射光量で15回(計750mJ/cm2
通過させた。紫外線照射前後の薄膜に対して幅10.0
mm、長さ50mmにカットし、テストピースとした。
強度の測定はテンシロン(オリエンテック製、TENS
ILONUTM−10T)を用い、引張速度100mm
/minで行った。
【0064】
【表2】
【0065】
【表3】
【0066】
【発明の効果】本発明で得られるアルカリ可溶な硬化性
樹脂は、一般の熱硬化性樹脂、例えば不飽和ポリエステ
ル樹脂やビニルエステル樹脂等に匹敵する硬化性を有
し、水性アルカリ現像性が可能で、かつ耐熱性、強靱
性、耐溶剤性に優れる。前述のビルドアップ法による回
路形成用レジストとして有用であるばかりでなく、プラ
ズマデイスプレーの隔壁形成、金属やガラス等のエッチ
ングレジスト、フォトエレクトロフォーミングレジス
ト、印刷刷板用レジスト、配線加工用レジスト等の微細
加工用レジストのベース樹脂として電気用品、電子部
品、測定機器等の各種用途に極めて有用である。
【図面の簡単な説明】
【図1】合成例1で得られた樹脂の13C−NMR測定結
果を示す図である。
【図2】実施例1のフェノキシ樹脂へのMOI添加後の
FTIR測定結果を示す図である。
【図3】実施例1のフェノキシ樹脂へのMOI付加反応
終了後のFTIR測定結果を示す図である。
【図4】実施例1のフェノキシ樹脂へのMOI付加反応
終了後の13C−NMR測定結果を示す図である。
【図5】実施例1のフェノキシ樹脂へのTMA添加後の
FTIR測定結果を示す図である。
【図6】実施例1のフェノキシ樹脂へのTMA付加反応
終了後のFTIR測定結果を示す図である。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成10年2月27日
【手続補正1】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図4
【補正方法】変更
【補正内容】
【図4】
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI C08K 5/00 C08K 5/00 C08L 71/00 C08L 71/00 A G03F 7/027 513 G03F 7/027 513 (72)発明者 羽入田 利明 群馬県伊勢崎市富塚町1019−1 昭和高分 子株式会社総合研究所内

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 下記一般式(I) 【化1】 (式中、Ar1、Ar2、Ar3は水素原子、ハロゲン原
    子またはエーテル結合を含んでいてもよい炭素数1〜1
    2の炭化水素基から選ばれる置換基を有する2価芳香族
    フェノール残基を示し、相互に同じでも異なっていても
    よく、Ar4はAr1、Ar2またはAr3である。Rは水
    素原子またはメチル基を示し、xは0または1であり、
    R' は炭素数2〜20の脂肪族、脂環族、置換または無
    置換芳香族の多価カルボン酸残基を示し、yは1または
    2で、zは0または1である。p、q、r、sは各々構
    造単位のモル分率を示し、0≦p≦0.3、0.2≦q
    ≦0.6、0.1≦r≦0.8、0≦s≦0.3、かつ
    p+q+r+s=1である。)で示される、フェノキシ
    樹脂の側鎖水酸基に不飽和2重結合とアルカリ可溶性カ
    ルボキシル基をペンダントさせたアルカリ可溶な硬化性
    樹脂。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載のフェノキシ樹脂中の側
    鎖水酸基に、所定量の一部のα,β−不飽和モノイソシ
    アネート、次いで所定量の多価カルボン酸無水物、そし
    て残りのα,β−不飽和モノイソシアネートの順で反応
    させ、ペンダントさせることを特徴とするアルカリ可溶
    な硬化性樹脂の製造方法。
  3. 【請求項3】 フェノキシ樹脂中の側鎖水酸基に、所定
    量の多価カルボン酸無水物、次いでα,β−不飽和モノ
    イソシアネートの順で反応させ、ペンダントさせること
    を特徴とする請求項2に記載のアルカリ可溶な硬化性樹
    脂の製造方法。
  4. 【請求項4】 α,β−不飽和モノイソシアネートとし
    て、イソシアネートエチルメタクリレートを用いる請求
    項2または3に記載のアルカリ可溶な硬化性樹脂の製造
    方法。
  5. 【請求項5】 多価カルボン酸無水物が、トリメリット
    酸無水物を含有する無水多塩基酸からなる群から選ばれ
    る請求項2または3に記載のアルカリ可溶な硬化性樹脂
    の製造方法。
  6. 【請求項6】 反応を、非プロトン性有機溶剤中で行う
    請求項2ないし5のいずれか1項に記載のアルカリ可溶
    な硬化性樹脂の製造方法。
  7. 【請求項7】 請求項1に記載のアルカリ可溶な硬化性
    樹脂と、ラジカル開始剤、架橋性モノマー及び/または
    硬化剤とを配合してなるアルカリ可溶な硬化性樹脂組成
    物。
  8. 【請求項8】 有機或いは無機フィラー、着色剤及び有
    機溶剤からなる群から選ばれる少なくとも1種以上を配
    合してなる請求項7に記載のアルカリ可溶な硬化性樹脂
    組成物。
  9. 【請求項9】 アルカリ可溶な硬化性樹脂は、数平均分
    子量(Mn)が2000以上で、かつ次式で表される分
    子量分布との相関係数εが2000〜20000である
    フェノキシ樹脂を用いることを特徴とする請求項7また
    は8に記載のアルカリ可溶な硬化性樹脂組成物。 Mn=ε(Mw/Mn) ここで、Mnはフェノキシ樹脂の数平均分子量であり、
    Mwはフェノキシ樹脂の重量平均分子量である。
  10. 【請求項10】 アルカリ可溶な硬化性樹脂の酸価が1
    00〜200(mgKOH/g固形分)であることを特
    徴とする請求項7ないし9のいずれか1項に記載のアル
    カリ可溶な硬化性樹脂組成物。
  11. 【請求項11】 架橋性モノマーとして多官能基ビニル
    重合性モノマーを、硬化剤として多価エポキシ化合物を
    配合してなる請求項7ないし10のいずれか1項に記載
    のアルカリ可溶な硬化性樹脂組成物。
  12. 【請求項12】 請求項1に記載の硬化性樹脂、あるい
    は請求項7ないし11のいずれか1項に記載の組成物か
    ら溶剤を除去して得られるフィルム成形物。
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