JPH1122646A - 流体圧駆動ポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 流体圧駆動ポンプの２位置方向切換弁の切換
手段を簡素化する。 【解決手段】 シリンダーケース１，２内の伸縮部材
３，４と、その両端部を連結したシャフトと、シリンダ
ーケース１，２内に駆動流体を送る２位置方向切換弁６
と、伸縮部材３，４同士を、シャフトの往復動を伴って
伸縮させる流体圧駆動ポンプにおいて、シャフトを両端
間に配置しているハウジング３１と、シャフト３５の軸
部分に設けられた溝部３６と、ハウジング３１内に設け
られて軸部分との間に隙間を形成している空洞部３２
と、それに外から切換流体を圧送する入口３３ａ及び出
口３３ｂ，３３ｃとからなり、シャフト３５の往復動で
溝部３６の位置が変化することで、空洞部３２と出口３
３ｂ，３３ｃとの間に切換流体用の通路を形成し、その
通路を介し出口３３ｂ，３３ｃから２位置方向切換弁６
の対応側に印加するシリンダー機構３０にて構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体圧駆動ポンプ
に関し、特に２位置方向切換弁を通じて駆動流体を流体
圧駆動ポンプに給・排気する場合に２位置方向切換弁の
駆動流体圧送方向を切り換える機構の改良に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】流体圧駆動ポンプの一つであるベローズ
ポンプは、例えば、米国特許第４，９２０，２０６号で
知られる如く、往復ポンプの中でも軽量、かつ簡明な機
構で比較的安定な性能が確保できること、接液部である
ベローズが耐熱性や薬液に対する耐腐蝕性のプラスチッ
クを用いることができること、等の利点を有しており、
半導体からバイオテクノロジーと言うように幅広い用途
に用いられている。

【０００３】ベローズポンプのポンプ機構は、図５に示
すように、１対のシリンダーケース１，２と、シリンダ
ーケース１，２内に設けられて駆動流体圧により伸縮さ
れるベローズ３，４と、ベローズ３，４同士の対向端面
にその両端部を連結したシャフト５と、シリンダーケー
ス１，２内に駆動流体を交互に送る２位置方向切換弁６
とを備えている。そして、シャフト５には連動して往復
動するパイロット弁作動部材である切換レバー１２が取
り付けられており、この切換レバー１２がパイロット弁
１１Ａ及び１１Ｂを交互に作動させて２位置方向切換弁
６の対応側へ順に切換流体を印加し、２位置方向切換弁
６の作動方向を切り換える。これにより、２位置方向切
換弁６は、三方弁７Ａを介して圧送されてくる駆動流体
をシリンダーケース１，２内に交互に供給し、他方のシ
リンダーケース内から排気する。これにより、ベローズ
３，４は交互に伸縮して、ベローズ３，４に設けられた
液体出入口８，９から液体の吸引と吐出しを繰り返し行
う。

【０００４】２位置方向切換弁６は、本発明で用いた図
４に示す如く複数のポートを形成している弁箱１９と、
弁箱１９に配置されたスプール２０と、スプール２０の
両側に設けられた駆動室２１ａ及び２２ａを有し、駆動
室２１ａ及び２２ａに三方弁７Ｂからパイロット弁１１
Ａ，１１Ｂを介して給・排気される切換流体の流体圧
を、駆動ピストン２３ａ及び２３ｂに作用させてスプー
ル２０を往復動させ、ポート間の連通を切り換える。な
お、図５中、実線で示す配管１６ａ，１６ｂ，１６ｃは
駆動流体側の経路を、破線で示す配管１７ａ，１７ｂ，
１７ｃは切換流体側の経路である。

【０００５】すなわち、図４（ａ）は駆動室２１ａに切
換流体が供給された状態を示している。このときは、入
力ポートＰ1と出力ポートＰ3が連通し、出力ポートＰ2
と排出ポートＰ4が連通する。ベローズポンプとの関係
ではシリンダーケース１，２の一方側に駆動流体を圧送
し、他方側から駆動流体を排気する。逆に、図４（ｂ）
は駆動室２２ａに切換流体が供給された状態を示してい
る。このときは、入力ポートＰ1と出力ポートＰ2が連通
し、出力ポートＰ3と排出ポートＰ5が連通する。ポンプ
側との関係ではシリンダーケース１，２の他方側に駆動
流体を圧送し、一方側から駆動流体を排気する。このよ
うに、２位置方向切換弁６は、駆動室２１ａと２２ａと
に交互に送られる切換流体でスプール２０を二つの切換
位置間を移動し前記ポート間の連通を切り換える。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】以上の流体圧駆動ポン
プは、２位置方向切換弁６がシャフト５の往復動に連動
する切換レバー１２を両パイロット弁１１Ａ，１１Ｂの
接点部に交互に押圧することによりその押された側のパ
イロット弁１１Ａ，１１Ｂを押された間だけ作動させて
順次に切り換える方式である。このような２位置方向切
換弁６の切換手段では、パイロット弁１１Ａ，１１Ｂの
接点部を切換レバー１２にて機械的に押すことから、機
械的な摩耗が激しく、動作寿命が十分でなく、パイロッ
ト弁１１Ａ，１１Ｂを比較的頻繁に交換しなければなら
ず、稼働率の低下と保守工数的に問題があった。また、
装置全体としては、切換レバー１２及びパイロット弁１
１Ａ，１１Ｂを用いるので経費増になると共に、切換レ
バー１２及びパイロット弁１１Ａ，１１Ｂの設置や切換
流体側の配管１７ａ，１７ｂ，１７ｃを必要とするため
複雑になり、適用範囲が制約されることもあった。

【０００７】なお、このような改善策としては、２位置
方向切換弁６の切換手段として、パイロット弁１１Ａ，
１１Ｂ及び切換レバー１２に代えて近接スイッチやタイ
マー方式等を用いることも考えられるが、揮発性や粘性
に富む薬液等の場合に安定したポンプ性能が維持できな
くなるばかりでなく、安全性の面でも問題を生じること
もあり、ベローズポンプのように安定した性能が特に期
待されている場合には採用できないことが多い。

【０００８】本発明は以上のような背景から開発された
ものであり、その目的は、２位置方向切換弁の切換手段
を簡易にすることにより、コスト低減と共に稼働率の向
上及び配管経路を含めて簡素化できるようにし、信頼性
をより向上することにある。他の目的は以下の内容説明
と共に明らかにする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めに、本発明の流体圧駆動ポンプは、図１から図４に例
示する如く、所定距離を保って設置されたシリンダーケ
ース１，２と、各シリンダーケース１，２内に収納され
て液体の吸い込みと吐き出しを行う伸縮部材３，４と、
各伸縮部材３，４の対向した端面（移動先端部）にその
両端部を連結したシャフト３５と、両シリンダーケース
１，２内に駆動流体を交互に送る２位置方向切換弁６
と、２位置方向切換弁６の駆動流体圧送方向を切り換え
る切換手段とを備え、両伸縮部材３，４同士を、シャフ
ト３５の往復動を伴って伸縮させる流体圧駆動ポンプに
おいて、前記切換手段は、シャフト３５を両端間に貫通
した状態で摺動可能に配置しているハウジング３１と、
ハウジング３１内に常に位置しているシャフト３５の軸
部分３５ａに設けられた溝部３６と、ハウジング３１内
に設けられてシャフト３５の軸部分３５ａとの間に隙間
を形成している空洞部３２と、ハウジング３１に設けら
れて空洞部３２に外から切換流体を圧送する入口３３ａ
及び空洞部３２の両側で空洞部３２と非連通状態となっ
ている一対の出口３３ｂ，３３ｃとを有し、シャフト３
５の往復動で溝部３６の位置が変化することにより、空
洞部３２と一対の出口３３ｂ，３３ｃとの間に切換流体
用の通路を交互に形成し、前記切換流体をその通路を介
し前記出口から２位置方向切換弁６の対応側に印加し駆
動流体圧送方向を切り換えるシリンダー機構３０からな
る構造にした。

【００１０】以上の本発明構成において、シャフト３５
に設けられる溝部３６は、シャフト３５の略中間部に径
小軸部３６ａとして形成されたり、図示を省略している
がスリット状溝等を軸に沿って設けるようにしてもよ
い。すなわち、溝部３６の形状としては、シャフト３５
が往復動にて移動された際に空洞部３２と出口３３ｂと
の間、空洞部３２と出口３３ｃとの間を交互に連通して
切換流体用の通路を形成可能な形状であればよい。本発
明の切換手段であるシリンダー機構３０は、流体圧駆動
ポンプのシリンダーケース１，２に駆動流体を給・排気
する２位置方向切換弁６と接続されて、２位置方向切換
弁６からの駆動流体がシリンダーケース１，２に吸・排
気されると、これと連動して往復動するシャフト３５を
構成要素に含む。そして、シャフト３５に設けられた溝
部３６の位置が往復動にて変化することにより、空洞部
３２と出口３３ｂ又は空洞部３２と出口３３ｃの間に切
換流体用の通路を交互に形成すると共に、各出口３３
ｂ，出口３３ｃから２位置方向切換弁６の対応側に前記
切換流体をその通路を介し印加して、２位置方向切換弁
６の作動方向を切り換えるようにしたものである。

【００１１】したがって、本発明構造では、簡易なシリ
ンダー機構３０によって従来のようなパイロット弁１１
Ａ，１１Ｂ及び切換レバー１２が不要となり、しかも２
位置方向切換弁６に対するシリンダー機構３０の切換作
動がシャフト３５の往復動を利用してこれと連動するよ
うにしたので性能的に優れている。なお、本発明の流体
圧駆動ポンプとしては、図１に例示するベローズポンプ
の他、このベローズポンプのベローズ部がダイアフラム
であるダイアフラムポンプ等が挙げられる。２位置方向
切換弁６は公知のもの以外に、必要に応じ本出願人が開
発した特願平８−３１１２１７号記載のように中立防止
機構を備えた構造のものが用いられる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図１から図４を参照して説明する。この形態説明で
は、本発明の好適な例であるから技術的に好ましい種々
の限定が付されている。しかし、本発明の範囲は、以下
の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限
り、これらの形態に限られるものではない。

【００１３】図１は本発明をベローズポンプに適用した
ポンプ全体の駆動システム構造を模式的に示し、図２は
２位置方向切換弁の切換手段であるシリンダー機構部の
要部断面を示し、図３は前記シリンダー機構の作動を示
し、図４は前記２位置方向切換弁の例を示している。な
お、図１において、図５に図示したものと作用的に同じ
部位ないしは部材には同じ符号を使用している。このベ
ローズポンプは、上記した通り、１対のシリンダーケー
ス１，２と、シリンダーケース１，２内に設けられて駆
動流体圧により伸縮されるプラスチック製のベローズ
３，４と、ベローズ３，４同士の移動先端部である対向
端面にその両端部を連結したシャフト３５と、シリンダ
ーケース１，２内に駆動流体を交互に送る２位置方向切
換弁６とを備えている。そして、２位置方向切換弁６
は、圧送されてくる駆動流体をシリンダーケース１，２
内に交互に供給し、他方のシリンダーケース内から交互
に排気することにより、ベローズ３，４を交互に伸縮し
て、ベローズ３，４に設けられた液体出入口８，９から
液体の吸引と吐出しを繰り返し行うことを可能にする。

【００１４】ここで、先ず、ポンプ作動機構に関連する
構成を概説する。前記シリンダーケース１，２は、装置
本体１３に対し、所定の間隔を保って水平方向に設置さ
れている。ベローズ３，４は、シリンダーケース１，２
に対し、片側端面を固定することにより伸縮自在に収納
されている。ベローズ３，４の固定側端面には液体出入
口８，９が設けられている。そして、ベローズ３，４
は、液体出入口８，９を介し、ポンプケース１５側の逆
止弁１０付きの液送管１４に連通している。前記シャフ
ト３５は円形の棒状をなし、ベローズ３，４同士を連結
し、各ベローズ３，４の伸縮に追随して左右に移動され
ると共に、本発明の要部であるシリンダー機構３０を構
成している。このシャフト３５には、略中間の軸部分３
５ａを径小に形成した径小溝部３６ａが設けられてい
る。

【００１５】シリンダー機構３０は、シリンダーケース
１，２の間に設置されて、シャフト３５を貫通配置して
いるハウジング３１と、ハウジング３１内に設けられて
軸部分３５ａとの間に隙間を形成している空洞部３２
と、ハウジング３１に設けられて空洞部３２と連通して
いる入口３３ａ及び空洞部３２の両側で非連通状態に設
けられている出口３３ｂ，３３ｃとを有している。

【００１６】ハウジング３１は、シャフト３５をシリン
ダー軸に対応させると、そのシリンダーケースに相当す
るものであり、この例では空洞部３２及び入口３３ａを
形成している中間部分３１Ａと、出口３３ｂ又は出口３
３ｃを形成している両側の取付フランジ付き端部分３１
Ｂとからなり、これらを一体化した構造であるが、中間
部分３１Ａ及び両端部分３１Ｂを一体に形成してもよい
ことは勿論である。また、ハウジング３１には、シャフ
ト３５を摺動可能に配置する貫通孔が左右方向に設けら
れている。この貫通孔は、両側の端部分３１Ｂの最小孔
径がシャフト３５の外径とほぼ同じくしているのに対
し、中間部分３１Ａの孔径がシャフト３５の外径より大
きく設けられている。前記した空洞部３２はその大きく
した分に対応した大きさになっている。各端部分３１Ｂ
の先端側には中間部分３１Ａの孔径に嵌入される係合部
が設けられ、その係合部の手前側を最小孔径とし、そこ
に出口３３ｂ又は出口３３ｃの孔が位置している。各端
部分３１Ｂの孔径には、軸受け３９が内装され、軸受け
３９の手前側にパッキング４０が内設されている。な
お、この形態では、各端部分３１Ｂにおける出口３３ｂ
又は出口３３ｃよりも外側の部分に排気孔４２ａ又は４
２ｂが設けられている。そして、排気孔４２ｂは空洞部
３２と出口３３ｂとが径小溝部３６ａを介して連通した
状態で、出口３３ｃに対しシャフト３５に設けられた径
小部４３ｂ及びスリット４４ｂを介して連通可能とな
り、排気孔４２ａは空洞部３２と出口３３ｃとが径小溝
部３６ａを介して連通した状態で、出口３３ｂに対しシ
ャフト３５に設けられた径小部４３ａ及びスリット４４
ａを介して連通可能となるよう構成されている。

【００１７】以上の両部材は、左右の端部分３１Ｂが中
間部分３１Ａの両側に対し前記した係合部をそれぞれ嵌
入すると共に、複数のナミガタピン３７を介して結合さ
れることにより一体ものとして組み付けられる。この場
合、中間部分３１Ａ側と各端部分３１Ｂとの接合端面に
はパッキン４１ａが介装され、各端部分３１Ｂの内径側
にあって出口３３ｂの孔の両側と、出口３３ｃの孔の両
側にはパッキン４１ｂが介装されている。また、ハウジ
ング３１は、装置本体１３に立設された壁部１３ａに対
し各端部分３１Ｂの取付フランジをボルト３８で固定さ
れて設置される。そして、以上のシリンダー機構３０
は、後述するベローズ３，４が交互に伸縮作動される
と、その動きに伴ってシャフト３５が左右に往復動さ
れ、溝部３６の位置が往復動にて変化することにより、
空洞部３２と出口３３ｂ、又は、空洞部３２と出口３３
ｃの間に切換流体用の通路を交互に形成するようになっ
ている。

【００１８】次に、２位置方向切換弁に関連する構成を
概説する。２位置方向切換弁６は、複数のポートＰ1，
Ｐ2，Ｐ3，Ｐ4，Ｐ5を形成している弁箱１９と、弁箱１
９に配置されたスプール２０と、弁箱１９の両側にネジ
等で取り付けらているカバー部材２１，２２と、各カバ
ー部材２１，２２の内部に設けられて、駆動ピストン２
３ａを配置している駆動室２１ａ及び駆動ピストン２３
ｂを配置している駆動室２２ａを有し、駆動室２１ａ及
び２２ａにシリンダー機構３０を介して交互に供給され
る切換流体の流体圧により、駆動ピストン２３ａと２３
ｂが作動してスプール２０を二つの切換位置間を移動さ
せ、前記ポート間の連通を切り換える。なお、符号２４
ａはスプール２０の両側に装着されたパッキングで、符
号２４ｂは駆動ピストン２３ａ，２３ｂに装着されてい
るパッキングである。

【００１９】そして、この２位置方向切換弁６には、ベ
ローズ３，４を伸縮する駆動流体を流す配管と、２位置
方向切換弁６の作動方向を切り換える切換流体を流す配
管とが連結されている。図１中、実線は駆動流体を流す
配管を、破線は切換流体を流す配管を示している。この
うち、駆動流体用の配管は、駆動流体源から三方弁７Ａ
を介して２位置方向切換弁６の入力ポートＰ1に通じる
配管１６ａと、２位置方向切換弁６の出力ポートＰ2，
Ｐ3とシリンダーケース１，２とを接続する配管１６
ｂ，１６ｃとからなっている。符号１６ｄ，１６ｅはベ
ローズ３，４の縮小過程でシリンダーケース１，２内の
駆動流体を２位置方向切換弁６の排気ポートＰ4，Ｐ5か
ら排気するための配管である。これに対し、切換流体用
の配管は、切換流体源から三方弁７Ｂを介してシリンダ
ー機構３０の入口３３ａに通じる配管１８ａと、出口３
３ｂ，３３ｃと２位置方向切換弁６の駆動室２１ａ，２
２ａとを接続する配管１８ｂ，１８ｃとからなってい
る。なお、カバー部材２１，２２には駆動室２１ａ及び
２２ａに通じる通路２５ａ，２５ｂが設けられており、
各通路２５ａ，２５ｂには前記した配管１８ｂ，１８ｃ
が接続される。また、カバー部材２１，２２は、従来と
同様に駆動室２１ａ及び２２ａに印加された切換流体が
所定圧以上になったときに外へ逃がすことができるよう
になっている。

【００２０】以下、シリンダー機構３０を組み込んだポ
ンプ駆動を説明する。ベローズポンプが稼働されて、駆
動流体及び切換流体がそれぞれ圧送を開始する。切換流
体は、配管１８ａを通じて入口３３ａからシリンダー機
構３０の空洞部３２に常に印加されている。そして、２
位置方向切換弁６に印加された駆動流体がシリンダーケ
ース１，２の一方に供給され、他方から排気されると、
ベローズ３，４の一方がその供給された駆動流体圧にて
縮小し、他方がシャフト３５の移動に連動して伸びる。
つまりシャフト３５はベローズ３，４の伸縮に伴って往
復動する。すると、シャフト３５に設けられた溝部３６
の位置が往復動にて変化することにより、空洞部３２と
出口３３ｂ又は空洞部３２と出口３３ｃの間に切換流体
用の通路を交互に形成し、各出口３３ｂ，出口３３ｃか
ら２位置方向切換弁６の対応側に前記切換流体をその通
路を介し印加して、２位置方向切換弁６の作動方向を切
り換えるのである。なお、この過程において、出口３３
ｂ，３３ｃのうち、切換流体が供給されていない側は大
気開放となる。そのため、この形態では、空洞部３２と
出口３３ｂとが連通したとき、出口３３ｃが図２の如く
径小部４３ｂ及びスリット４４ｂを介して排気孔４２ｂ
に連通し配管１８ｃ側を大気開放し、空洞部３２と出口
３３ｃとが連通したとき、出出口３３ｂが図３（ｂ）の
如く径小部４３ａ及びスリット４４ａを介して排気孔４
２ａに連通し、配管１８ｂ側を大気開放する。但し、こ
れに代えて、例えば、配管１８ｂ，１８ｃの途中にクィ
ックエキゾースト弁を設置する等の他の構造であっても
よい。

【００２１】すなわち、この切換作動は次のサイクルで
行われる。図４（ｂ）のときは、入力ポートＰ1と出力
ポートＰ2が連通し、出力ポートＰ3と排出ポートＰ5が
連通しており、例えば、シリンダーケース１内に駆動流
体が圧送（液体がベローズ３から吐出）され、シリンダ
ーケース２内の駆動流体が排気（液体がベローズ４に吸
入）されている初期過程とする。この段階では、空洞部
３２と出口３３ｂ，３３ｃが非連通状態であり、駆動流
体の圧送と排気が最終状態になるまで続くと共に、シャ
フト３５はそれに伴って図３（ａ）の矢示Ａ2の方向に
移動する。最終段階に至ると、図２の如くシャフト３５
が右側最終位置に移動して、空洞部３２と出口３３ｂの
間が溝部３６を介して連通し開状態になる。すると、空
洞部３２内に印加されている切換流体は、出口３３ｂか
ら配管１８ｂ及び通路２５ａを通じて駆動室２１ａに圧
送され、スプール２０を逆方向へ切り換え移動する。つ
まり、スプール２０は図４（ｂ）の位置から図４（ａ）
の状態へ切り換えられる。図４（ａ）のときは、入力ポ
ートＰ1と出力ポートＰ3が連通し、出力ポートＰ2と排
出ポートＰ4が連通し、駆動流体がシリンダーケース２
側に圧送（液体がベローズ４から吐出）され、シリンダ
ーケース１内の駆動流体が排気（液体がベローズ３に吸
入）される。この駆動流体の圧送と排気はベローズ３，
４を伸縮させると共に、シャフト３５がそれに伴って図
３（ａ）の矢示Ａ1の方向に移動し、空洞部３２と出口
３３ｂ，３３ｃとが再び非連通状態となる。ベローズ
３，４の伸縮が最終段階まで進むと、それに伴ってシャ
フト３５が図３（ｂ）の左側最終位置に移動しており、
空洞部３２と出口３３ｃの間が溝部３６を介して連通し
開状態になる。すると、空洞部３２内の切換流体は、出
口３３ｃから配管１８ｃ及び通路２５ｂを通じて駆動室
２２ａに圧送され、スプール２０を図４（ａ）の位置か
ら図４（ｂ）の状態に（前記とは逆方向へ）切り換え移
動する。このように、シリンダー機構３０は、シャフト
３５の往復動に連動して空洞部３２に印圧されている換
流体を駆動室２１ａと２２ａとに交互に圧送及び駆動室
２２ａと２１ａとを大気圧にまで排気し、２置方向切換
弁６の前記ポート間の連通を規則的に切り換えるのであ
る。

【００２２】このように、切換手段であるシリンダー機
構３０は、往復動するシャフト３５を構成要素に組みこ
むことを基本とし、シャフト３５に設けられた溝部３６
の位置が往復動にて変化することを利用して、空洞部３
２と出口３３ｂ又は空洞部３２と出口３３ｃの間に切換
流体用の通路を交互に形成し、その通路を介して２位置
方向切換弁６の作動方向を切り換えるものである。した
がって、本発明構造では、簡易なシリンダー機構３０に
よって、装置全体をより合理的かつ簡素化することが可
能となる。なお、本発明は請求項１に記載した要件を具
備しておればよく、上記したハウジング３１や２位置切
換弁６等の形態については他の構造のものであってもよ
い。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明の流体圧駆
動ポンプは、２位置方向切換弁の切換手段であるシリン
ダー機構が従来のパイロット弁及び切換レバーを用いる
構造に対し簡易であり、経費低減と、設置場所の小スペ
ース化及び配管経路の簡素化が達成される。また、２位
置方向切換弁に対するシリンダー機構の切換作動はシャ
フトの往復動を利用してこれと連動するようにしたの
で、性能的に優れ、従来のような機械的な摩耗が起き難
く動作寿命を長く維持でき、信頼性を向上することがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用したベローズポンプの駆動システ
ム構造を示す模式図である。

【図２】図１のシリンダー機構部を示す要部拡大断面図
である。

【図３】上記したシリンダー機構部の作動を示す要部断
面図である。

【図４】図１の２位置方向切換弁例の作動を示す拡大断
面図である。

【図５】従来のベローズポンプの駆動システム構造を示
す図である。

【符号の説明】

１，２ シリンダーケース ３，４ ベローズ（伸縮部材） ６ ２位置方向切換弁 ３０ シリンダー機構 ３１ ハウジング ３２ 空洞部 ３３ａ 入口 ３３ｂ，３３ｃ 出口 ３５ シャフト（３５ａは常にハウジング内に位置する
軸部分） ３６ 溝部（３６ａは径小溝部）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中澤 孝夫 東京都新宿区南山伏町２番１号 株式会社 ハルナ内 (72)発明者 西片 安勝 東京都千代田区神田神保町１丁目６番１号 日曹エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 高橋 尚道 東京都千代田区神田神保町１丁目６番１号 日曹エンジニアリング株式会社内 (72)発明者 川島 勉 東京都千代田区神田神保町１丁目６番１号 日曹エンジニアリング株式会社内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定距離を保って設置されたシリンダー
   ケースと、前記各シリンダーケース内に収納されて液体
   の吸い込みと吐き出しを行う伸縮部材と、前記各伸縮部
   材の移動先端部にその両端部を連結したシャフトと、前
   記両シリンダーケース内に駆動流体を交互に送る２位置
   方向切換弁と、前記２位置方向切換弁の駆動流体圧送方
   向を切り換える切換手段とを備え、前記両伸縮部材同士
   を、前記シャフトの往復動を伴って伸縮させる流体圧駆
   動ポンプにおいて、 前記切換手段は、前記シャフトを両端間に貫通した状態
   で摺動可能に配置しているハウジングと、前記ハウジン
   グ内に常に位置している前記シャフトの軸部分に設けら
   れた溝部と、前記ハウジング内に設けられて前記シャフ
   トの軸部分との間に隙間を形成している空洞部と、前記
   ハウジングに設けられて前記空洞部に外から切換流体を
   圧送する入口及び前記空洞部の両側で空洞部と非連通状
   態となっている一対の出口とを有し、 前記シャフトの往復動で前記溝部の位置が変化すること
   により、前記空洞部と前記一対の出口との間に切換流体
   用の通路を交互に形成し、前記切換流体をその通路を介
   し前記出口から前記２位置方向切換弁の対応側に印加し
   駆動流体圧送方向を切り換えるシリンダー機構からな
   る、ことを特徴とする流体圧駆動ポンプ。
2. 【請求項２】 前記溝部が、前記シャフトの略中間部に
   径小軸部として形成されている請求項１に記載の流体圧
   駆動ポンプ。
3. 【請求項３】 前記溝部が、前記シャフトの略中間部に
   軸方向に設けられたスリット溝状として形成されている
   請求項１に記載の流体圧駆動ポンプ。
4. 【請求項４】 前記伸縮部材が液体移送用ベローズであ
   る請求項１から３の何れかに記載の流体圧駆動ポンプ。