JPH11221511A - 処理液吐出ノズルおよび処理液供給装置 - Google Patents
処理液吐出ノズルおよび処理液供給装置Info
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- JPH11221511A JPH11221511A JP30423998A JP30423998A JPH11221511A JP H11221511 A JPH11221511 A JP H11221511A JP 30423998 A JP30423998 A JP 30423998A JP 30423998 A JP30423998 A JP 30423998A JP H11221511 A JPH11221511 A JP H11221511A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 スリット状吐出口から均一な流速分布で処理
液を吐出することができる処理液吐出ノズルおよびそれ
を用いた処理液供給装置を提供することである。 【解決手段】 現像液吐出ノズル１１は液溜り部２０お
よび液吐出部３０からなり、液吐出部３０は液溜り部２
０の一方の側面に接合されている。液溜り部２０の内部
には液溜り空間２２が設けられている。液吐出部３０に
は、液溜り部２０の現像液出口２３に連通して水平方向
に延びる複数の管状流路３６と、複数の管状流路３６か
ら漸次幅広となってスリット状吐出口１５に至る複数の
テーパ状流路３４とが形成されている。複数のテーパ状
流路３４は複数の管状流路３６からスリット状吐出口１
５に至るまでの位置またはスリット状吐出口１５の位置
で相互に結合して一体化している。
液を吐出することができる処理液吐出ノズルおよびそれ
を用いた処理液供給装置を提供することである。 【解決手段】 現像液吐出ノズル１１は液溜り部２０お
よび液吐出部３０からなり、液吐出部３０は液溜り部２
０の一方の側面に接合されている。液溜り部２０の内部
には液溜り空間２２が設けられている。液吐出部３０に
は、液溜り部２０の現像液出口２３に連通して水平方向
に延びる複数の管状流路３６と、複数の管状流路３６か
ら漸次幅広となってスリット状吐出口１５に至る複数の
テーパ状流路３４とが形成されている。複数のテーパ状
流路３４は複数の管状流路３６からスリット状吐出口１
５に至るまでの位置またはスリット状吐出口１５の位置
で相互に結合して一体化している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、処理液を吐出する
処理液吐出ノズルおよびそれを備えた処理液供給装置に
関する。
処理液吐出ノズルおよびそれを備えた処理液供給装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハ、液晶表示装置用ガラス基
板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の
基板上に処理液を供給するために処理液供給装置が用い
られる。処理液供給装置としては、現像装置、塗布装置
等がある。
板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の
基板上に処理液を供給するために処理液供給装置が用い
られる。処理液供給装置としては、現像装置、塗布装置
等がある。
【０００３】現像装置では、基板上に形成された感光性
膜に処理液として現像液を供給することにより現像処理
を行う。また、塗布装置では、基板の表面に処理液とし
てフォトレジスト液等の塗布液を供給することにより塗
布処理を行う。
膜に処理液として現像液を供給することにより現像処理
を行う。また、塗布装置では、基板の表面に処理液とし
てフォトレジスト液等の塗布液を供給することにより塗
布処理を行う。
【０００４】例えば、回転式現像装置は、基板を水平に
保持して鉛直軸の周りで回転させる回転保持部と、基板
の表面に現像液を供給する現像液吐出ノズルとを備え
る。現像液吐出ノズルは、水平面内で回動自在に設けら
れたノズルアームの先端に取り付けられており、基板の
上方位置と待機位置との間を移動することができる。
保持して鉛直軸の周りで回転させる回転保持部と、基板
の表面に現像液を供給する現像液吐出ノズルとを備え
る。現像液吐出ノズルは、水平面内で回動自在に設けら
れたノズルアームの先端に取り付けられており、基板の
上方位置と待機位置との間を移動することができる。
【０００５】現像処理時には、現像液吐出ノズルが待機
位置から基板の上方に移動した後、基板上の感光性膜に
現像液を供給する。供給された現像液は、基板の回転に
よって基板の全面に塗り広げられ、感光性膜と接触す
る。表面張力により基板上に現像液を保持した状態（液
盛り）で一定時間基板を静止させることにより感光性膜
の現像が行われる。現像液の供給が終了すると、現像液
吐出ノズルはノズルアームの回動により基板の上方から
退いた待機位置に移動する。
位置から基板の上方に移動した後、基板上の感光性膜に
現像液を供給する。供給された現像液は、基板の回転に
よって基板の全面に塗り広げられ、感光性膜と接触す
る。表面張力により基板上に現像液を保持した状態（液
盛り）で一定時間基板を静止させることにより感光性膜
の現像が行われる。現像液の供給が終了すると、現像液
吐出ノズルはノズルアームの回動により基板の上方から
退いた待機位置に移動する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の回転式現像装置では、回転する基板に吐出開始時
の現像液が当たることにより基板上の感光性膜が大きな
衝撃を受ける。その衝撃で現像液中に気泡が生じ、感光
性膜の表面に残留する微小な気泡が現像欠陥となる場合
がある。また、吐出開始時の現像液による衝撃で感光性
膜が損傷するおそれもある。
従来の回転式現像装置では、回転する基板に吐出開始時
の現像液が当たることにより基板上の感光性膜が大きな
衝撃を受ける。その衝撃で現像液中に気泡が生じ、感光
性膜の表面に残留する微小な気泡が現像欠陥となる場合
がある。また、吐出開始時の現像液による衝撃で感光性
膜が損傷するおそれもある。
【０００７】そこで、スリット状吐出口を有する現像液
吐出ノズルから現像液を吐出しながら基板上の一端から
他端へ現像液吐出ノズルを直線状に移動させることによ
り、基板上に現像液を供給する現像装置が提案されてい
る。この現像装置によれば、基板上の感光性膜に衝撃が
加わらず、基板上に現像液が均一に供給される。
吐出ノズルから現像液を吐出しながら基板上の一端から
他端へ現像液吐出ノズルを直線状に移動させることによ
り、基板上に現像液を供給する現像装置が提案されてい
る。この現像装置によれば、基板上の感光性膜に衝撃が
加わらず、基板上に現像液が均一に供給される。
【０００８】図１４はスリット状吐出口を有する従来の
現像液吐出ノズルのスリット状吐出口に沿った縦断面
図、図１５は図１４の現像液吐出ノズルのスリット状吐
出口に垂直な方向に沿った縦断面図である。
現像液吐出ノズルのスリット状吐出口に沿った縦断面
図、図１５は図１４の現像液吐出ノズルのスリット状吐
出口に垂直な方向に沿った縦断面図である。
【０００９】図１４および図１５に示すように、現像液
吐出ノズル５０の上面には現像液供給口５１が設けら
れ、底面にはスリット状吐出口５４が設けられている。
この現像液吐出ノズル５０の内部には、現像液供給口５
１に連通する液溜り空間５２が設けられるとともに、液
溜り空間５２からスリット状吐出口５４に至る現像液流
路５３が形成されている。現像液流路５３は、スリット
状吐出口５４と同一の断面形状を有する。
吐出ノズル５０の上面には現像液供給口５１が設けら
れ、底面にはスリット状吐出口５４が設けられている。
この現像液吐出ノズル５０の内部には、現像液供給口５
１に連通する液溜り空間５２が設けられるとともに、液
溜り空間５２からスリット状吐出口５４に至る現像液流
路５３が形成されている。現像液流路５３は、スリット
状吐出口５４と同一の断面形状を有する。
【００１０】現像液供給系（図示せず）から圧送されて
きた現像液は、現像液供給口５１から液溜り空間５２に
一旦貯留された後に、現像液流路５３を通ってスリット
状吐出口５４から吐出される。これにより、スリット状
吐出口５４の全域から基板の表面に現像液を供給するこ
とができる。
きた現像液は、現像液供給口５１から液溜り空間５２に
一旦貯留された後に、現像液流路５３を通ってスリット
状吐出口５４から吐出される。これにより、スリット状
吐出口５４の全域から基板の表面に現像液を供給するこ
とができる。
【００１１】しかし、圧送されてきた現像液をスリット
状吐出口５４から吐出する場合、スリット状吐出口５４
での現像液の流速分布は、液溜り空間５２からスリット
状吐出口５４に至る現像液流路５３の寸法誤差により大
きな影響を受ける。機械的な加工精度の限界からスリッ
ト長手方向ＳＬの全体にわたって現像液流路５３の幅の
ばらつきをなくすことは難しい。特に、スリット状吐出
口５４のスリット幅ｔが狭い場合には、スリット幅ｔに
対する現像液流路５３の幅のばらつきの割合が大きくな
る。それにより、スリット状吐出口５４の全域にわたっ
て現像液の流速分布を均一にすることが困難となる。
状吐出口５４から吐出する場合、スリット状吐出口５４
での現像液の流速分布は、液溜り空間５２からスリット
状吐出口５４に至る現像液流路５３の寸法誤差により大
きな影響を受ける。機械的な加工精度の限界からスリッ
ト長手方向ＳＬの全体にわたって現像液流路５３の幅の
ばらつきをなくすことは難しい。特に、スリット状吐出
口５４のスリット幅ｔが狭い場合には、スリット幅ｔに
対する現像液流路５３の幅のばらつきの割合が大きくな
る。それにより、スリット状吐出口５４の全域にわたっ
て現像液の流速分布を均一にすることが困難となる。
【００１２】現像液の流速分布が十分に均一でない状態
で基板上に現像液を吐出すると、基板の表面に均一に現
像液を供給することができない。それにより、基板面内
で現像均一性が悪くなり、現像後のパターン線幅の均一
性が低下したり、現像不良が生じることがある。
で基板上に現像液を吐出すると、基板の表面に均一に現
像液を供給することができない。それにより、基板面内
で現像均一性が悪くなり、現像後のパターン線幅の均一
性が低下したり、現像不良が生じることがある。
【００１３】スリット状吐出口を有する処理液吐出ノズ
ルを他の処理液供給装置に用いた場合にも、同様に、ス
リット状吐出口の全域にわたって処理液の流速分布を均
一にすることが困難となる。
ルを他の処理液供給装置に用いた場合にも、同様に、ス
リット状吐出口の全域にわたって処理液の流速分布を均
一にすることが困難となる。
【００１４】また、現像液吐出ノズル５０を用いて基板
上に現像液を供給する際には、基板の一部領域に液切れ
現象により現像液の存在しない部分が発生することを防
止する必要がある。
上に現像液を供給する際には、基板の一部領域に液切れ
現象により現像液の存在しない部分が発生することを防
止する必要がある。
【００１５】一方、スリット状吐出口５４から吐出され
る現像液が現像液吐出ノズル５０の外壁面に這い上がる
と、現像液の付着により現像液吐出ノズル５０の先端部
が汚染される。このような現像液吐出ノズル５０の先端
部の汚染を防止する必要もある。
る現像液が現像液吐出ノズル５０の外壁面に這い上がる
と、現像液の付着により現像液吐出ノズル５０の先端部
が汚染される。このような現像液吐出ノズル５０の先端
部の汚染を防止する必要もある。
【００１６】スリット状吐出口を有する処理液吐出ノズ
ルを他の処理液供給装置に用いた場合にも、基板の一部
領域に液切れ現象により処理液の存在しない部分が発生
することを防止する必要があり、処理液の付着による処
理液吐出ノズルの汚染を防止する必要もある。
ルを他の処理液供給装置に用いた場合にも、基板の一部
領域に液切れ現象により処理液の存在しない部分が発生
することを防止する必要があり、処理液の付着による処
理液吐出ノズルの汚染を防止する必要もある。
【００１７】本発明の目的は、スリット状吐出口から均
一な流速分布で処理液を吐出することができる処理液吐
出ノズルを提供することである。
一な流速分布で処理液を吐出することができる処理液吐
出ノズルを提供することである。
【００１８】本発明の他の目的は、スリット状吐出口か
ら均一な流速分布で処理液を吐出することができ、かつ
液切れ現象および外壁面への処理液の付着が防止された
処理液吐出ノズルを提供することである。
ら均一な流速分布で処理液を吐出することができ、かつ
液切れ現象および外壁面への処理液の付着が防止された
処理液吐出ノズルを提供することである。
【００１９】本発明のさらに他の目的は、スリット状吐
出口から均一な流速分布で基板上に処理液を供給するこ
とができる処理液供給装置を提供することである。
出口から均一な流速分布で基板上に処理液を供給するこ
とができる処理液供給装置を提供することである。
【００２０】
【課題を解決するための手段および発明の効果】第１の
発明に係る処理液吐出ノズルは、処理液が供給される液
溜り空間を有する液溜り部と処理液を吐出するスリット
状吐出口を有する液吐出部とを備え、液吐出部には、ス
リット状吐出口の長手方向に平行な一方向に沿って配列
されかつ一端が液溜り空間に連通する複数の管状流路
と、上記一方向に沿って配列されかつそれぞれ複数の管
状流路の他端から漸次幅広となってスリット状吐出口に
至る複数のテーパ状流路とが形成されたものである。
発明に係る処理液吐出ノズルは、処理液が供給される液
溜り空間を有する液溜り部と処理液を吐出するスリット
状吐出口を有する液吐出部とを備え、液吐出部には、ス
リット状吐出口の長手方向に平行な一方向に沿って配列
されかつ一端が液溜り空間に連通する複数の管状流路
と、上記一方向に沿って配列されかつそれぞれ複数の管
状流路の他端から漸次幅広となってスリット状吐出口に
至る複数のテーパ状流路とが形成されたものである。
【００２１】本発明に係る処理液吐出ノズルにおいて
は、液溜り部の液溜り空間に供給された処理液が、複数
の管状流路を通って複数のテーパ状流路に導入され、ス
リット状吐出口の長手方向に拡散されてスリット状吐出
口から吐出される。
は、液溜り部の液溜り空間に供給された処理液が、複数
の管状流路を通って複数のテーパ状流路に導入され、ス
リット状吐出口の長手方向に拡散されてスリット状吐出
口から吐出される。
【００２２】管状流路は高い加工精度で形成されるの
で、複数の管状流路の径を等しくすることが可能とな
る。そのため、液溜り空間の処理液の静圧が複数の管状
流路で均一な動圧に変換される。それにより、複数の管
状流路から複数のテーパ状流路に導入される処理液の流
速または流量は複数の管状流路の各開口で等しくなる。
複数の管状流路から複数のテーパ状流路に等しい流速ま
たは流量で導入された処理液がスリット状吐出口の長手
方向に拡散されて相互に合流するので、スリット状吐出
口から均一な流速分布で処理液を吐出することが可能と
なる。
で、複数の管状流路の径を等しくすることが可能とな
る。そのため、液溜り空間の処理液の静圧が複数の管状
流路で均一な動圧に変換される。それにより、複数の管
状流路から複数のテーパ状流路に導入される処理液の流
速または流量は複数の管状流路の各開口で等しくなる。
複数の管状流路から複数のテーパ状流路に等しい流速ま
たは流量で導入された処理液がスリット状吐出口の長手
方向に拡散されて相互に合流するので、スリット状吐出
口から均一な流速分布で処理液を吐出することが可能と
なる。
【００２３】第２の発明に係る処理液吐出ノズルは、第
１の発明に係る処理液吐出ノズルの構成において、複数
の管状流路は、それぞれ複数のテーパ状流路に対して角
度をなすように設けられたものである。
１の発明に係る処理液吐出ノズルの構成において、複数
の管状流路は、それぞれ複数のテーパ状流路に対して角
度をなすように設けられたものである。
【００２４】この場合、複数の管状流路から複数のテー
パ状流路に導入された処理液がテーパ状流路の内壁に衝
突することにより処理液の流れの方向が変えられた後、
テーパ状流路で拡散される。それにより、複数のテーパ
状流路による処理液の拡散の効果が高くなるとともに、
複数の管状流路を流れる処理液が重力によりテーパ状流
路を通してスリット状吐出口から液滴として落下するこ
とが防止され、また液滴の落下に起因してスリット状吐
出口からテーパ状流路および管状流路を通して液溜り空
間に空気が逆流して処理液中に気泡が生じることも防止
される。
パ状流路に導入された処理液がテーパ状流路の内壁に衝
突することにより処理液の流れの方向が変えられた後、
テーパ状流路で拡散される。それにより、複数のテーパ
状流路による処理液の拡散の効果が高くなるとともに、
複数の管状流路を流れる処理液が重力によりテーパ状流
路を通してスリット状吐出口から液滴として落下するこ
とが防止され、また液滴の落下に起因してスリット状吐
出口からテーパ状流路および管状流路を通して液溜り空
間に空気が逆流して処理液中に気泡が生じることも防止
される。
【００２５】第３の発明に係る処理液吐出ノズルは、第
１または第２の発明に係る処理液吐出ノズルの構成にお
いて、複数のテーパ状流路は、複数の管状流路からスリ
ット状吐出口に至るまでの位置またはスリット状吐出口
の位置で相互に結合して一体化するものである。
１または第２の発明に係る処理液吐出ノズルの構成にお
いて、複数のテーパ状流路は、複数の管状流路からスリ
ット状吐出口に至るまでの位置またはスリット状吐出口
の位置で相互に結合して一体化するものである。
【００２６】これにより、複数のテーパ状流路でそれぞ
れ拡散される処理液がスリット状吐出口に至るまでの位
置またはスリット状吐出口の位置で合流し、スリット状
吐出口の全域から均一に吐出される。
れ拡散される処理液がスリット状吐出口に至るまでの位
置またはスリット状吐出口の位置で合流し、スリット状
吐出口の全域から均一に吐出される。
【００２７】第４の発明に係る処理液吐出ノズルは、第
１、第２または第３の発明に係る処理液吐出ノズルの構
成において、液吐出部は、スリット状吐出口が設けられ
た底面を有し、液吐出部の底面が親水性を有し、移動方
向において液吐出部の底面の前方および後方の外壁面が
撥水性を有するものである。
１、第２または第３の発明に係る処理液吐出ノズルの構
成において、液吐出部は、スリット状吐出口が設けられ
た底面を有し、液吐出部の底面が親水性を有し、移動方
向において液吐出部の底面の前方および後方の外壁面が
撥水性を有するものである。
【００２８】この場合、液吐出部の底面が親水性を有す
るので、液吐出部の底面で保液性が良好となり、液吐出
部の底面と基板の表面との間に十分な液溜りが形成され
る。それにより、液吐出部の底面と基板の表面との間で
液切れ現象が起こりにくくなる。
るので、液吐出部の底面で保液性が良好となり、液吐出
部の底面と基板の表面との間に十分な液溜りが形成され
る。それにより、液吐出部の底面と基板の表面との間で
液切れ現象が起こりにくくなる。
【００２９】また、液吐出部の底面の前方および後方の
外壁面が撥水性を有するので、液吐出部の前方および後
方の外壁面に処理液が這い上がる現象が抑制される。そ
れにより、前方および後方の外壁面への処理液の付着に
よる液吐出部の汚染が防止される。
外壁面が撥水性を有するので、液吐出部の前方および後
方の外壁面に処理液が這い上がる現象が抑制される。そ
れにより、前方および後方の外壁面への処理液の付着に
よる液吐出部の汚染が防止される。
【００３０】第５の発明に係る処理液吐出ノズルは、第
１〜第４のいずれかの発明に係る処理液吐出ノズルの構
成において、液吐出部は、第１の接合面を有する第１の
部材と、第１の接合面に接合される第２の接合面を有す
る第２の部材とを備え、第１の部材の第１の接合面に複
数のテーパ状流路を構成する複数のテーパ状凹部が形成
され、第２の部材の第２の接合面に複数の管状流路の上
記他端が開口されたものである。
１〜第４のいずれかの発明に係る処理液吐出ノズルの構
成において、液吐出部は、第１の接合面を有する第１の
部材と、第１の接合面に接合される第２の接合面を有す
る第２の部材とを備え、第１の部材の第１の接合面に複
数のテーパ状流路を構成する複数のテーパ状凹部が形成
され、第２の部材の第２の接合面に複数の管状流路の上
記他端が開口されたものである。
【００３１】この場合、第１の部材の第１の接合面と第
２の部材の第２の接合面とを接合することにより液吐出
部が構成されるとともに、複数のテーパ状凹部により複
数のテーパ状流路が形成され、複数の管状流路が複数の
テーパ状流路内に開口する。
２の部材の第２の接合面とを接合することにより液吐出
部が構成されるとともに、複数のテーパ状凹部により複
数のテーパ状流路が形成され、複数の管状流路が複数の
テーパ状流路内に開口する。
【００３２】第６の発明に係る処理液吐出ノズルは、第
１〜第４のいずれかの発明に係る処理液吐出ノズルの構
成において、液吐出部は、第１の接合面を有する第１の
部材と、第１の接合面に接合される第２の接合面を有す
る第２の部材とを備え、第２の部材の第２の接合面に複
数のテーパ状流路を構成する複数のテーパ状凹部が形成
され、テーパ状凹部に複数の管状流路の上記他端が開口
されたものである。
１〜第４のいずれかの発明に係る処理液吐出ノズルの構
成において、液吐出部は、第１の接合面を有する第１の
部材と、第１の接合面に接合される第２の接合面を有す
る第２の部材とを備え、第２の部材の第２の接合面に複
数のテーパ状流路を構成する複数のテーパ状凹部が形成
され、テーパ状凹部に複数の管状流路の上記他端が開口
されたものである。
【００３３】この場合、第１の部材の第１の接合面と第
２の部材の第２の接合面とを接合することにより液吐出
部が構成されるとともに、複数のテーパ状凹部により複
数のテーパ状流路が形成され、複数の管状流路が複数の
テーパ状流路内に開口する。
２の部材の第２の接合面とを接合することにより液吐出
部が構成されるとともに、複数のテーパ状凹部により複
数のテーパ状流路が形成され、複数の管状流路が複数の
テーパ状流路内に開口する。
【００３４】第７の発明に係る処理液吐出ノズルは、第
５または第６の発明に係る処理液吐出ノズルの構成にお
いて、液吐出部は、第１の部材の第１の接合面と第２の
部材の第２の接合面との間の複数のテーパ状凹部を除く
領域に挟み込まれたシート状シール部材をさらに備えた
ものである。
５または第６の発明に係る処理液吐出ノズルの構成にお
いて、液吐出部は、第１の部材の第１の接合面と第２の
部材の第２の接合面との間の複数のテーパ状凹部を除く
領域に挟み込まれたシート状シール部材をさらに備えた
ものである。
【００３５】この場合、第１の部材の第１の接合面と第
２の部材の第２の接合面との間にシート状シール部材を
挟み込んで第１の部材と第２の部材とを接合することに
より、接着剤を用いることなく液吐出部を構成すること
が可能となる。したがって、処理液と接着剤の反応の問
題が回避される。
２の部材の第２の接合面との間にシート状シール部材を
挟み込んで第１の部材と第２の部材とを接合することに
より、接着剤を用いることなく液吐出部を構成すること
が可能となる。したがって、処理液と接着剤の反応の問
題が回避される。
【００３６】第８の発明に係る処理液吐出ノズルは、第
１〜第４のいずれかの発明に係る処理液吐出ノズルの構
成において、液吐出部は、第１の接合面を有する第１の
部材と、第２の接合面を有する第２の部材と、第１の接
合面に接合される一面および第２の接合面に接合される
他面を有する第３の部材とを備え、第２の部材の第２の
接合面に複数のテーパ状流路を構成する複数のテーパ状
凹部が形成され、テーパ状凹部に複数の管状流路の他端
が開口されたものである。
１〜第４のいずれかの発明に係る処理液吐出ノズルの構
成において、液吐出部は、第１の接合面を有する第１の
部材と、第２の接合面を有する第２の部材と、第１の接
合面に接合される一面および第２の接合面に接合される
他面を有する第３の部材とを備え、第２の部材の第２の
接合面に複数のテーパ状流路を構成する複数のテーパ状
凹部が形成され、テーパ状凹部に複数の管状流路の他端
が開口されたものである。
【００３７】この場合、第１の部材の第１の接合面と第
３の部材の一面とを接合しかつ第２の部材の第２の接合
面と第３の部材の他面とを接合することにより液吐出部
が構成されるとともに、複数のテーパ状凹部により複数
のテーパ状流路が形成され、複数の管状流路が複数のテ
ーパ状流路内に開口する。
３の部材の一面とを接合しかつ第２の部材の第２の接合
面と第３の部材の他面とを接合することにより液吐出部
が構成されるとともに、複数のテーパ状凹部により複数
のテーパ状流路が形成され、複数の管状流路が複数のテ
ーパ状流路内に開口する。
【００３８】第９の発明に係る処理液吐出ノズルは、第
１〜第４のいずれかの発明に係る処理液吐出ノズルの構
成において、液吐出部は、第１の接合面を有する第１の
部材と、第２の接合面を有する第２の部材と、第１の接
合面に接合される一面および第２の接合面に接合される
他面を有する第３の部材とを備え、第１の部材の第１の
接合面に複数のテーパ状流路を構成する複数のテーパ状
凹部が形成され、第３の部材の一面に複数の管状流路の
他端が開口されたものである。
１〜第４のいずれかの発明に係る処理液吐出ノズルの構
成において、液吐出部は、第１の接合面を有する第１の
部材と、第２の接合面を有する第２の部材と、第１の接
合面に接合される一面および第２の接合面に接合される
他面を有する第３の部材とを備え、第１の部材の第１の
接合面に複数のテーパ状流路を構成する複数のテーパ状
凹部が形成され、第３の部材の一面に複数の管状流路の
他端が開口されたものである。
【００３９】この場合、第１の部材の第１の接合面と第
３の部材の一面とを接合しかつ第２の部材の第２の接合
面と第３の部材の他面とを接合することにより液吐出部
が構成されるとともに、複数のテーパ状凹部により複数
のテーパ状流路が形成され、複数の管状流路が複数のテ
ーパ状流路内に開口する。
３の部材の一面とを接合しかつ第２の部材の第２の接合
面と第３の部材の他面とを接合することにより液吐出部
が構成されるとともに、複数のテーパ状凹部により複数
のテーパ状流路が形成され、複数の管状流路が複数のテ
ーパ状流路内に開口する。
【００４０】第１０の発明に係る処理液吐出ノズルは、
第８または第９の発明に係る処理液吐出ノズルの構成に
おいて、第１の部材および第２の部材は撥水性材料から
なり、第３の部材は親水性材料からなるものである。
第８または第９の発明に係る処理液吐出ノズルの構成に
おいて、第１の部材および第２の部材は撥水性材料から
なり、第３の部材は親水性材料からなるものである。
【００４１】この場合、第１の部材および第２の部材が
撥水性材料からなるので、液吐出部の前方の外壁面およ
び後方の外壁面が撥水性を有する。それにより、液吐出
部の前方の外壁面および後方の外壁面に処理液が這い上
がる現象が抑制される。したって、液吐出部の前方の外
壁面および後方の外壁面への処理液の付着による液吐出
部の汚染が防止される。
撥水性材料からなるので、液吐出部の前方の外壁面およ
び後方の外壁面が撥水性を有する。それにより、液吐出
部の前方の外壁面および後方の外壁面に処理液が這い上
がる現象が抑制される。したって、液吐出部の前方の外
壁面および後方の外壁面への処理液の付着による液吐出
部の汚染が防止される。
【００４２】また、第３の部材が親水性材料からなるの
で、液吐出部の底面が親水性を有する。それにより、液
吐出部の底面で保液性が良好となり、液吐出部の底面と
基板の表面との間に十分な液溜りが形成される。したが
って、液吐出部の底面と基板の表面との間で液切れ現象
が起こりにくくなる。
で、液吐出部の底面が親水性を有する。それにより、液
吐出部の底面で保液性が良好となり、液吐出部の底面と
基板の表面との間に十分な液溜りが形成される。したが
って、液吐出部の底面と基板の表面との間で液切れ現象
が起こりにくくなる。
【００４３】第１１の発明に係る処理液供給装置は、基
板を保持する基板保持手段と、処理液が供給される液溜
り空間および処理液を吐出するスリット状吐出口を有す
る処理液吐出ノズルと、基板保持手段に保持された基板
の表面に処理液吐出ノズルのスリット状吐出口から処理
液が供給されるように処理液吐出ノズルを基板に対して
相対的に移動させる移動手段とを備え、処理液吐出ノズ
ルには、スリット状吐出口の長手方向に平行な一方向に
沿って配列されかつ一端が液溜り空間に連通する複数の
管状流路と、上記一方向に沿って配列されかつそれぞれ
複数の管状流路の他端から漸次幅広となってスリット状
吐出口に至る複数のテーパ状流路とが形成されたもので
ある。
板を保持する基板保持手段と、処理液が供給される液溜
り空間および処理液を吐出するスリット状吐出口を有す
る処理液吐出ノズルと、基板保持手段に保持された基板
の表面に処理液吐出ノズルのスリット状吐出口から処理
液が供給されるように処理液吐出ノズルを基板に対して
相対的に移動させる移動手段とを備え、処理液吐出ノズ
ルには、スリット状吐出口の長手方向に平行な一方向に
沿って配列されかつ一端が液溜り空間に連通する複数の
管状流路と、上記一方向に沿って配列されかつそれぞれ
複数の管状流路の他端から漸次幅広となってスリット状
吐出口に至る複数のテーパ状流路とが形成されたもので
ある。
【００４４】本発明に係る処理液供給装置においては、
基板保持手段に保持された基板の表面に処理液吐出ノズ
ルのスリット状出口から処理液が供給されるように移動
手段により処理液吐出ノズルが基板に対して相対的に移
動させられる。
基板保持手段に保持された基板の表面に処理液吐出ノズ
ルのスリット状出口から処理液が供給されるように移動
手段により処理液吐出ノズルが基板に対して相対的に移
動させられる。
【００４５】この場合、処理液吐出ノズルの液溜り空間
に供給された処理液が、複数の管状流路を通って複数の
テーパ状流路に導入され、スリット状吐出口の長手方向
に拡散されてスリット状吐出口から吐出される。
に供給された処理液が、複数の管状流路を通って複数の
テーパ状流路に導入され、スリット状吐出口の長手方向
に拡散されてスリット状吐出口から吐出される。
【００４６】管状流路は高い加工精度で形成されるの
で、複数の管状流路の径を等しくすることが可能とな
る。そのため、液溜り空間の処理液の静圧が複数の管状
流路で均一な動圧に変換される。それにより、複数の管
状流路から複数のテーパ状流路に導入される処理液の流
速または流量は複数の管状流路の各開口で等しくなる。
複数の管状流路から複数のテーパ状流路に等しい流速ま
たは流量で導入された処理液がスリット状吐出口の長手
方向に拡散されて相互に結合されるので、スリット状吐
出口から均一な流速分布で処理液を吐出することが可能
となる。その結果、基板の表面に処理液を均一に供給す
ることができる。
で、複数の管状流路の径を等しくすることが可能とな
る。そのため、液溜り空間の処理液の静圧が複数の管状
流路で均一な動圧に変換される。それにより、複数の管
状流路から複数のテーパ状流路に導入される処理液の流
速または流量は複数の管状流路の各開口で等しくなる。
複数の管状流路から複数のテーパ状流路に等しい流速ま
たは流量で導入された処理液がスリット状吐出口の長手
方向に拡散されて相互に結合されるので、スリット状吐
出口から均一な流速分布で処理液を吐出することが可能
となる。その結果、基板の表面に処理液を均一に供給す
ることができる。
【００４７】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る処理液吐出ノ
ズルおよび処理液供給装置の一例として現像液吐出ノズ
ルおよびそれを用いた現像装置について説明する。
ズルおよび処理液供給装置の一例として現像液吐出ノズ
ルおよびそれを用いた現像装置について説明する。
【００４８】図１は本発明の一実施例における現像装置
の平面図、図２は図１の現像装置の主要部のＸ−Ｘ線断
面図、図３は図１の現像装置の主要部のＹ−Ｙ線断面図
である。
の平面図、図２は図１の現像装置の主要部のＸ−Ｘ線断
面図、図３は図１の現像装置の主要部のＹ−Ｙ線断面図
である。
【００４９】図２および図３に示すように、現像装置
は、基板１００を水平姿勢で吸引保持する基板保持部１
を備える。基板保持部１は、モータ２の回転軸３の先端
部に固定され、鉛直方向の軸の周りで回転可能に構成さ
れている。基板保持部１の周囲には、基板１００を取り
囲むように円形の内側カップ４が上下動自在に設けられ
ている。また、内側カップ４の周囲には、正方形の外側
カップ５が設けられている。
は、基板１００を水平姿勢で吸引保持する基板保持部１
を備える。基板保持部１は、モータ２の回転軸３の先端
部に固定され、鉛直方向の軸の周りで回転可能に構成さ
れている。基板保持部１の周囲には、基板１００を取り
囲むように円形の内側カップ４が上下動自在に設けられ
ている。また、内側カップ４の周囲には、正方形の外側
カップ５が設けられている。
【００５０】図１に示すように、外側カップ５の両側に
はそれぞれ待機ポット６，７が配置され、外側カップ５
の一方の側部側にはガイドレール８が配設されている。
また、ノズルアーム９がアーム駆動部１０によりガイド
レール８に沿って走査方向Ａおよびその逆方向に移動可
能に設けられている。外側カップ５の他方の側部側に
は、純水を吐出する純水吐出ノズル１２が矢印Ｒの方向
に回転可能に設けられている。
はそれぞれ待機ポット６，７が配置され、外側カップ５
の一方の側部側にはガイドレール８が配設されている。
また、ノズルアーム９がアーム駆動部１０によりガイド
レール８に沿って走査方向Ａおよびその逆方向に移動可
能に設けられている。外側カップ５の他方の側部側に
は、純水を吐出する純水吐出ノズル１２が矢印Ｒの方向
に回転可能に設けられている。
【００５１】ノズルアーム９には、現像液吐出ノズル１
１がガイドレール８と垂直に取り付けられている。これ
により、現像液吐出ノズル１１は、待機ポット６の位置
から基板１００上を通過して待機ポット７の位置まで走
査方向Ａに沿って直線状に平行移動可能となっている。
後述するように、現像液吐出ノズル１１は液溜り部２０
および液吐出部３０からなり、液吐出部３０の底面にス
リット状吐出口１５が形成されている。
１がガイドレール８と垂直に取り付けられている。これ
により、現像液吐出ノズル１１は、待機ポット６の位置
から基板１００上を通過して待機ポット７の位置まで走
査方向Ａに沿って直線状に平行移動可能となっている。
後述するように、現像液吐出ノズル１１は液溜り部２０
および液吐出部３０からなり、液吐出部３０の底面にス
リット状吐出口１５が形成されている。
【００５２】図２に示すように、現像液吐出ノズル１１
には、現像液供給系１４により現像液が供給される。制
御部１３は、モータ２の回転動作、アーム駆動部１０に
よる現像液吐出ノズル１１の走査および現像液吐出ノズ
ル１１からの現像液の吐出を制御する。
には、現像液供給系１４により現像液が供給される。制
御部１３は、モータ２の回転動作、アーム駆動部１０に
よる現像液吐出ノズル１１の走査および現像液吐出ノズ
ル１１からの現像液の吐出を制御する。
【００５３】本実施例では、基板保持部１が基板保持手
段に相当し、アーム駆動部１０が移動手段に相当し、現
像液吐出ノズル１１が処理液吐出ノズルに相当する。
段に相当し、アーム駆動部１０が移動手段に相当し、現
像液吐出ノズル１１が処理液吐出ノズルに相当する。
【００５４】図４は現像液吐出ノズル１１のスリット状
吐出口１５に沿った縦断面図、図５は図４の現像液吐出
ノズル１１のＺ−Ｚ線断面図である。
吐出口１５に沿った縦断面図、図５は図４の現像液吐出
ノズル１１のＺ−Ｚ線断面図である。
【００５５】図５に示すように、現像液吐出ノズル１１
は、液溜り部２０および液吐出部３０からなり、液吐出
部３０は液溜り部２０の一方の側面に接合されている。
は、液溜り部２０および液吐出部３０からなり、液吐出
部３０は液溜り部２０の一方の側面に接合されている。
【００５６】液溜り部２０の内部には液溜り空間２２
と、この液溜り空間２２内の現像液の温度を調節するた
めに温水を流す温水用配管２４とが設けられ、上端部に
液溜り空間２２に連通する現像液供給口２１が設けら
れ、一方の側面の下端近傍に現像液出口２３が設けられ
ている。また、現像液供給口２１に至る現像液用配管２
６の周囲には、現像液用配管２６に流れる現像液の温度
を調節するために温水を流す温水用配管２５が設けられ
ている。
と、この液溜り空間２２内の現像液の温度を調節するた
めに温水を流す温水用配管２４とが設けられ、上端部に
液溜り空間２２に連通する現像液供給口２１が設けら
れ、一方の側面の下端近傍に現像液出口２３が設けられ
ている。また、現像液供給口２１に至る現像液用配管２
６の周囲には、現像液用配管２６に流れる現像液の温度
を調節するために温水を流す温水用配管２５が設けられ
ている。
【００５７】液吐出部３０は板状の第１の部材３１およ
び板状の第２の部材３２を備え、第１の部材３１と第２
の部材３２とがシート状パッキン３３を挟んで接合され
ている。液吐出部３０の底面には、スリット状吐出口１
５が形成されている。
び板状の第２の部材３２を備え、第１の部材３１と第２
の部材３２とがシート状パッキン３３を挟んで接合され
ている。液吐出部３０の底面には、スリット状吐出口１
５が形成されている。
【００５８】液吐出部３０には、液溜り部２０の現像液
出口２３に連通して水平方向に延びる複数の管状流路３
６が形成されている。図４に示すように、複数の管状流
路３６は、スリット長手方向ＳＬに沿って等間隔に配列
されている。管状流路３６は高い加工精度で形成するこ
とができるので、複数の管状流路３６の寸法誤差はほと
んどない。そのため、複数の管状流路３６は等しい径を
有する。
出口２３に連通して水平方向に延びる複数の管状流路３
６が形成されている。図４に示すように、複数の管状流
路３６は、スリット長手方向ＳＬに沿って等間隔に配列
されている。管状流路３６は高い加工精度で形成するこ
とができるので、複数の管状流路３６の寸法誤差はほと
んどない。そのため、複数の管状流路３６は等しい径を
有する。
【００５９】また、この液吐出部３０には、スリット長
手方向ＳＬに漸次幅広となりつつ下方に延びてスリット
状吐出口１５に至る複数のテーパ状流路３４が形成され
ている。複数のテーパ状流路３４も、スリット長手方向
ＳＬに沿って等間隔に配列されている。複数の管状流路
３６は、それぞれ複数のテーパ状流路３４の頂部近傍に
連通している。
手方向ＳＬに漸次幅広となりつつ下方に延びてスリット
状吐出口１５に至る複数のテーパ状流路３４が形成され
ている。複数のテーパ状流路３４も、スリット長手方向
ＳＬに沿って等間隔に配列されている。複数の管状流路
３６は、それぞれ複数のテーパ状流路３４の頂部近傍に
連通している。
【００６０】複数のテーパ状流路３４は、液吐出部３０
の底面のスリット状吐出口１５から一定の高さＨの位置
で相互に結合して一体化している。それにより、複数の
テーパ状流路３４の下端に一定幅の結合領域３５が形成
されている。なお、複数のテーパ状流路３４が液吐出部
３０の底面のスリット状吐出口１５の位置で相互に結合
してもよい。この場合、Ｈ＝０となる。
の底面のスリット状吐出口１５から一定の高さＨの位置
で相互に結合して一体化している。それにより、複数の
テーパ状流路３４の下端に一定幅の結合領域３５が形成
されている。なお、複数のテーパ状流路３４が液吐出部
３０の底面のスリット状吐出口１５の位置で相互に結合
してもよい。この場合、Ｈ＝０となる。
【００６１】液溜り部２０、第１の部材３１および第２
の部材３２は、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＰＴＦＥ
（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＰＳ（ポリフェニ
レンサルファイド）、純石英、高純度アルミナ等により
形成される。また、シート状パッキン３３としては、フ
ッ素系樹脂からなるシート、ガラス繊維からなるシー
ト、石英からなるシート等が用いられる。
の部材３２は、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）、ＰＴＦＥ
（ポリテトラフルオロエチレン）、ＰＰＳ（ポリフェニ
レンサルファイド）、純石英、高純度アルミナ等により
形成される。また、シート状パッキン３３としては、フ
ッ素系樹脂からなるシート、ガラス繊維からなるシー
ト、石英からなるシート等が用いられる。
【００６２】図６（ａ）は現像液吐出ノズル１１の液吐
出部３０の分解正面図、図６（ｂ）は現像液吐出ノズル
１１の液吐出部３０の分解側面図である。
出部３０の分解正面図、図６（ｂ）は現像液吐出ノズル
１１の液吐出部３０の分解側面図である。
【００６３】図６に示すように、第１の部材３１の第１
の接合面ＰＡには、複数のテーパ状流路３４を構成する
複数のテーパ状凹部３４ａが形成されている。複数のテ
ーパ状凹部３４ａは、底面から一定の高さＨの位置で相
互に結合して一定幅の結合領域３５ａを形成している。
の接合面ＰＡには、複数のテーパ状流路３４を構成する
複数のテーパ状凹部３４ａが形成されている。複数のテ
ーパ状凹部３４ａは、底面から一定の高さＨの位置で相
互に結合して一定幅の結合領域３５ａを形成している。
【００６４】一方、第２の部材３２の第２の接合面ＰＢ
には、複数の管状流路３６が開口している。シート状パ
ッキン３３は、第１の部材３１の第１の接合面ＰＡの複
数のテーパ状凹部３４ａを除く領域と同じ形状をなし、
複数のテーパ状凹部３４ａに対応する複数のテーパ状切
欠き部３７を有する。
には、複数の管状流路３６が開口している。シート状パ
ッキン３３は、第１の部材３１の第１の接合面ＰＡの複
数のテーパ状凹部３４ａを除く領域と同じ形状をなし、
複数のテーパ状凹部３４ａに対応する複数のテーパ状切
欠き部３７を有する。
【００６５】第１の部材３１、第２の部材３２およびシ
ート状パッキン３３の上辺および両側辺に沿って複数の
ねじ孔３８，３９，４０がそれぞれ設けられている。
ート状パッキン３３の上辺および両側辺に沿って複数の
ねじ孔３８，３９，４０がそれぞれ設けられている。
【００６６】第１の部材３１の第１の接合面ＰＡと第２
の部材３２の第２の接合面ＰＢとの間にシート状パッキ
ン３３を挟み込んでねじ孔３８，３９，４０にねじ（図
示せず）を通して第１の部材３１と第２の部材３２とを
ねじで連結することにより、図４および図５に示した液
吐出部３０が構成されるとともに、第１の部材３１の複
数のテーパ状凹部３４ａ、シート状パッキン３３の複数
のテーパ状切欠き部３７および第２の部材３２の第２の
接合面ＰＢにより複数の管状流路３６に連通する複数の
テーパ状流路３４が形成される。
の部材３２の第２の接合面ＰＢとの間にシート状パッキ
ン３３を挟み込んでねじ孔３８，３９，４０にねじ（図
示せず）を通して第１の部材３１と第２の部材３２とを
ねじで連結することにより、図４および図５に示した液
吐出部３０が構成されるとともに、第１の部材３１の複
数のテーパ状凹部３４ａ、シート状パッキン３３の複数
のテーパ状切欠き部３７および第２の部材３２の第２の
接合面ＰＢにより複数の管状流路３６に連通する複数の
テーパ状流路３４が形成される。
【００６７】本実施例の現像液吐出ノズル１１において
は、現像液供給系１４（図２参照）から液溜り部２０の
現像液供給口２１を通して液溜り空間２２に現像液が供
給される。液溜り空間２２の現像液は、現像液出口２３
から液吐出部３０の複数の管状流路３６を通って複数の
テーパ状流路３４に導入される。このとき、複数の管状
流路３６の径が等しく形成されているので、液溜り空間
２２の現像液の静圧が複数の管状流路３６で均一な動圧
に変換される。それにより、複数の管状流路３６から複
数のテーパ状流路３４に導入される現像液の流速または
流量は複数の管状流路３６の各出口で等しくなる。ま
た、複数の管状流路３６から複数のテーパ状流路３４に
等しい流速または流量で導入された現像液は、下降する
に従ってスリット長手方向ＳＬに拡散されてスリット状
吐出口１５の近傍で相互に合流する。それにより、スリ
ット状吐出口１５から均一な流速分布で現像液が吐出さ
れる。
は、現像液供給系１４（図２参照）から液溜り部２０の
現像液供給口２１を通して液溜り空間２２に現像液が供
給される。液溜り空間２２の現像液は、現像液出口２３
から液吐出部３０の複数の管状流路３６を通って複数の
テーパ状流路３４に導入される。このとき、複数の管状
流路３６の径が等しく形成されているので、液溜り空間
２２の現像液の静圧が複数の管状流路３６で均一な動圧
に変換される。それにより、複数の管状流路３６から複
数のテーパ状流路３４に導入される現像液の流速または
流量は複数の管状流路３６の各出口で等しくなる。ま
た、複数の管状流路３６から複数のテーパ状流路３４に
等しい流速または流量で導入された現像液は、下降する
に従ってスリット長手方向ＳＬに拡散されてスリット状
吐出口１５の近傍で相互に合流する。それにより、スリ
ット状吐出口１５から均一な流速分布で現像液が吐出さ
れる。
【００６８】特に、複数の管状流路３６が複数のテーパ
状流路３４に対して垂直に設けられているので、複数の
管状流路３６から複数のテーパ状流路３４に導入された
現像液がテーパ状流路３４の内壁に衝突することにより
現像液の流れの方向が変えられた後、拡散される。それ
により、複数のテーパ状流路３４による現像液の拡散の
効果が高くなるとともに、複数の管状流路３６を流れる
現像液が重力によりテーパ状流路３４を通してぼた落ち
することが防止され、また現像液のぼた落ちに起因して
スリット状吐出口１５からテーパ状流路３４および管状
流路３６を通して液溜り空間２２に空気が逆流して現像
液中に気泡が生じることも防止される。
状流路３４に対して垂直に設けられているので、複数の
管状流路３６から複数のテーパ状流路３４に導入された
現像液がテーパ状流路３４の内壁に衝突することにより
現像液の流れの方向が変えられた後、拡散される。それ
により、複数のテーパ状流路３４による現像液の拡散の
効果が高くなるとともに、複数の管状流路３６を流れる
現像液が重力によりテーパ状流路３４を通してぼた落ち
することが防止され、また現像液のぼた落ちに起因して
スリット状吐出口１５からテーパ状流路３４および管状
流路３６を通して液溜り空間２２に空気が逆流して現像
液中に気泡が生じることも防止される。
【００６９】本実施例の現像液吐出ノズル１１において
は、シート状パッキン３３を挟み込んで第１の部材３１
と第２の部材３２とをねじで接合することにより接着剤
を用いることなく液吐出部３０が構成されるので、現像
液が接着剤と反応するという問題が生じない。
は、シート状パッキン３３を挟み込んで第１の部材３１
と第２の部材３２とをねじで接合することにより接着剤
を用いることなく液吐出部３０が構成されるので、現像
液が接着剤と反応するという問題が生じない。
【００７０】なお、現像液が接着剤と反応しない場合に
は、シート状パッキン３３を用いずに、第１の部材３１
の第１の接合面ＰＡと第２の部材３２の第２の接合面Ｐ
Ｂとを接着剤で接合してもよい。
は、シート状パッキン３３を用いずに、第１の部材３１
の第１の接合面ＰＡと第２の部材３２の第２の接合面Ｐ
Ｂとを接着剤で接合してもよい。
【００７１】また、本実施例では第１の部材３１の第１
の接合面ＰＡに、複数のテーパ状流路３４を構成する複
数のテーパ状凹部３４ａが形成されているが、複数の管
状流路３６が開口されている第２の部材３２の第２の接
合面ＰＢに、複数のテーパ状流路３４を構成する複数の
テーパ状凹部３４ａを形成してもよい。
の接合面ＰＡに、複数のテーパ状流路３４を構成する複
数のテーパ状凹部３４ａが形成されているが、複数の管
状流路３６が開口されている第２の部材３２の第２の接
合面ＰＢに、複数のテーパ状流路３４を構成する複数の
テーパ状凹部３４ａを形成してもよい。
【００７２】図７に示すように、スリット状吐出口１５
は現像液吐出ノズル１１の走査方向Ａと垂直に配置され
る。スリット状吐出口１５のスリット幅ｔは０．０５〜
１．０ｍｍであり、本実施例では０．１ｍｍである。ま
た、スリット状吐出口１５の吐出幅Ｌは、処理対象とな
る基板１００の直径と同じかまたはそれよりも大きく設
定され、直径８インチの基板１００を処理する場合に
は、本実施例では２１０ｍｍに設定される。
は現像液吐出ノズル１１の走査方向Ａと垂直に配置され
る。スリット状吐出口１５のスリット幅ｔは０．０５〜
１．０ｍｍであり、本実施例では０．１ｍｍである。ま
た、スリット状吐出口１５の吐出幅Ｌは、処理対象とな
る基板１００の直径と同じかまたはそれよりも大きく設
定され、直径８インチの基板１００を処理する場合に
は、本実施例では２１０ｍｍに設定される。
【００７３】現像液吐出ノズル１１は、底面が基板１０
０の表面に対して平行な状態を保つように走査方向Ａに
走査される。スリット状吐出口１５と基板１００の表面
との間隔は、０．２〜５ｍｍ、より好ましくは０．５〜
２ｍｍであり、本実施例では１ｍｍである。
０の表面に対して平行な状態を保つように走査方向Ａに
走査される。スリット状吐出口１５と基板１００の表面
との間隔は、０．２〜５ｍｍ、より好ましくは０．５〜
２ｍｍであり、本実施例では１ｍｍである。
【００７４】次に図８および図９を参照しながら図１の
現像装置の動作を説明する。現像処理時には、基板１０
０は基板保持部１により静止状態で保持されている。
現像装置の動作を説明する。現像処理時には、基板１０
０は基板保持部１により静止状態で保持されている。
【００７５】待機時には、現像液吐出ノズル１１は、待
機ポット６内の位置Ｐ０に待機している。現像処理時に
は、現像液吐出ノズル１１が上昇した後、走査方向Ａに
移動し、外側カップ５内の走査開始位置Ｐ１で下降す
る。
機ポット６内の位置Ｐ０に待機している。現像処理時に
は、現像液吐出ノズル１１が上昇した後、走査方向Ａに
移動し、外側カップ５内の走査開始位置Ｐ１で下降す
る。
【００７６】その後、現像液吐出ノズル１１は、走査開
始位置Ｐ１から所定の走査速度で走査を開始する。この
時点では、現像液吐出ノズル１１からまだ現像液の吐出
は行わない。本実施例では、走査速度は１０〜５００ｍ
ｍ／秒とする。
始位置Ｐ１から所定の走査速度で走査を開始する。この
時点では、現像液吐出ノズル１１からまだ現像液の吐出
は行わない。本実施例では、走査速度は１０〜５００ｍ
ｍ／秒とする。
【００７７】現像液吐出ノズル１１の走査開始後、現像
液吐出ノズル１１のスリット状吐出口１５が基板１００
上に到達する前に、吐出開始位置Ｐ２にて所定の流量で
現像液吐出ノズル１１による現像液の吐出を開始する。
本実施例では、現像液の流量は１．５Ｌ／分とする。
液吐出ノズル１１のスリット状吐出口１５が基板１００
上に到達する前に、吐出開始位置Ｐ２にて所定の流量で
現像液吐出ノズル１１による現像液の吐出を開始する。
本実施例では、現像液の流量は１．５Ｌ／分とする。
【００７８】現像液吐出ノズル１１は、現像液を吐出し
ながら吐出開始位置Ｐ２から基板１００上を走査方向Ａ
に直線状に移動する（図９参照）。これにより、基板１
００の全面に現像液が連続的に供給される。供給された
現像液は、表面張力により基板１００上に保持される。
ながら吐出開始位置Ｐ２から基板１００上を走査方向Ａ
に直線状に移動する（図９参照）。これにより、基板１
００の全面に現像液が連続的に供給される。供給された
現像液は、表面張力により基板１００上に保持される。
【００７９】現像液吐出ノズル１１が基板１００上を通
過した後、基板１００上から外れた吐出停止位置Ｐ３で
現像液吐出ノズル１１による現像液の吐出を停止させ
る。そして、現像液吐出ノズル１１が外側カップ５内の
走査停止位置Ｐ４に到達した時点で現像液吐出ノズル１
１の走査を停止させる。
過した後、基板１００上から外れた吐出停止位置Ｐ３で
現像液吐出ノズル１１による現像液の吐出を停止させ
る。そして、現像液吐出ノズル１１が外側カップ５内の
走査停止位置Ｐ４に到達した時点で現像液吐出ノズル１
１の走査を停止させる。
【００８０】その後、現像液吐出ノズル１１は、走査停
止位置Ｐ４で上昇した後、他方の待機ポット７の位置Ｐ
５まで移動し、待機ポット７内に下降する。
止位置Ｐ４で上昇した後、他方の待機ポット７の位置Ｐ
５まで移動し、待機ポット７内に下降する。
【００８１】基板１００上に現像液が供給された状態を
一定時間維持し、現像を進行させる。このとき、モータ
２により基板保持部１を回転駆動し、基板１００を回転
させてもよい。その後、純水吐出ノズル１２により純水
を基板１００上に供給しながら基板１００を高速回転さ
せることにより基板１００上の現像液を振り切り、基板
１００を乾燥させて現像処理を終了する。
一定時間維持し、現像を進行させる。このとき、モータ
２により基板保持部１を回転駆動し、基板１００を回転
させてもよい。その後、純水吐出ノズル１２により純水
を基板１００上に供給しながら基板１００を高速回転さ
せることにより基板１００上の現像液を振り切り、基板
１００を乾燥させて現像処理を終了する。
【００８２】本実施例の現像装置では、現像液吐出ノズ
ル１１のスリット状吐出口１５の全域から均一な流速分
布で現像液が吐出されるので、基板上に均一に現像液が
供給される。したがって、基板面内での現像均一性が良
好となり、現像後のパターン線幅の均一性が向上すると
ともに、現像不良の発生が回避される。
ル１１のスリット状吐出口１５の全域から均一な流速分
布で現像液が吐出されるので、基板上に均一に現像液が
供給される。したがって、基板面内での現像均一性が良
好となり、現像後のパターン線幅の均一性が向上すると
ともに、現像不良の発生が回避される。
【００８３】また、本実施例の現像装置では、現像液吐
出ノズル１１が静止した基板１００上に到達する前に現
像液の吐出が開始されるので、吐出開始時の現像液が基
板１００に衝撃を与えることが回避される。それによ
り、現像液中の気泡の発生が抑制され、現像欠陥の発生
が防止される。
出ノズル１１が静止した基板１００上に到達する前に現
像液の吐出が開始されるので、吐出開始時の現像液が基
板１００に衝撃を与えることが回避される。それによ
り、現像液中の気泡の発生が抑制され、現像欠陥の発生
が防止される。
【００８４】さらに、現像液吐出ノズル１１が静止した
基板１００上をスリット状吐出口１５と基板１００の上
面とが近接した状態で水平方向に直線状に平行移動し、
スリット状吐出口１５に形成された帯状の現像液が基板
１００の表面に連続的に接触するので、基板１００の表
面に衝撃が加わることなく基板１００の全面に現像液が
均一に供給される。
基板１００上をスリット状吐出口１５と基板１００の上
面とが近接した状態で水平方向に直線状に平行移動し、
スリット状吐出口１５に形成された帯状の現像液が基板
１００の表面に連続的に接触するので、基板１００の表
面に衝撃が加わることなく基板１００の全面に現像液が
均一に供給される。
【００８５】また、現像液吐出ノズル１１が基板１００
上を通過するまで現像液の供給が続けられるので、吐出
停止時の衝撃による液盛り中の現像液への悪影響が防止
される。その結果、現像欠陥の発生が抑制されるととも
に、現像後の感光性膜パターンの線幅均一性が向上す
る。
上を通過するまで現像液の供給が続けられるので、吐出
停止時の衝撃による液盛り中の現像液への悪影響が防止
される。その結果、現像欠陥の発生が抑制されるととも
に、現像後の感光性膜パターンの線幅均一性が向上す
る。
【００８６】また、現像液吐出ノズル１１が基板１００
上を通り過ぎた後に現像液の吐出が停止されるので、吐
出停止時の現像液の液だれにより基板１００上の感光性
膜に衝撃が加わることが防止される。したがって、現像
欠陥の発生や感光性膜パターンの線幅均一性の劣化が防
止される。
上を通り過ぎた後に現像液の吐出が停止されるので、吐
出停止時の現像液の液だれにより基板１００上の感光性
膜に衝撃が加わることが防止される。したがって、現像
欠陥の発生や感光性膜パターンの線幅均一性の劣化が防
止される。
【００８７】なお、上記実施例の現像液吐出ノズル１１
では、液吐出部３０の複数の管状流路３６が複数のテー
パ状流路３４に対して直角に設けられているが、複数の
管状流路３６が複数のテーパ状流路３４に対して０度よ
りも大きく１８０度よりも小さい角度で傾斜するように
設けられてもよい。
では、液吐出部３０の複数の管状流路３６が複数のテー
パ状流路３４に対して直角に設けられているが、複数の
管状流路３６が複数のテーパ状流路３４に対して０度よ
りも大きく１８０度よりも小さい角度で傾斜するように
設けられてもよい。
【００８８】図１０は図１〜図３の現像装置に用いられ
る現像液吐出ノズルの他の例を示すスリット状吐出口に
沿った縦断面図、図１１は図１０の現像液吐出ノズルの
Ｂ−Ｂ線断面図である。
る現像液吐出ノズルの他の例を示すスリット状吐出口に
沿った縦断面図、図１１は図１０の現像液吐出ノズルの
Ｂ−Ｂ線断面図である。
【００８９】図１１に示すように、現像液吐出ノズル１
１ａは、液溜り部２０および液吐出部６０からなり、液
吐出部３０は液溜り部２０の一方の側面に接合されてい
る。現像液吐出ノズル１１ａの液溜り部２０の構成は、
図５に示した現像液吐出ノズル１１の液溜り部２０の構
成と同様である。
１ａは、液溜り部２０および液吐出部６０からなり、液
吐出部３０は液溜り部２０の一方の側面に接合されてい
る。現像液吐出ノズル１１ａの液溜り部２０の構成は、
図５に示した現像液吐出ノズル１１の液溜り部２０の構
成と同様である。
【００９０】液吐出部６０は、板状の第１の部材６１、
板状の第２の部材６２および板状の第３の部材６３を備
え、第３の部材６３の一面および他面にそれぞれ第１の
部材６１および第２の部材６２が接合されている。液吐
出部６０の底面には、スリット状吐出口１５ａが形成さ
れている。
板状の第２の部材６２および板状の第３の部材６３を備
え、第３の部材６３の一面および他面にそれぞれ第１の
部材６１および第２の部材６２が接合されている。液吐
出部６０の底面には、スリット状吐出口１５ａが形成さ
れている。
【００９１】第１の部材６１および第２の部材６２は、
例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等の撥
水性材料により形成され、第３の部材６３は、例えば石
英等の親水性材料により形成される。それにより、液吐
出部６０の底面７１は親水性を有し、液吐出部６０の前
方の外壁面７２および後方の外壁面７３は撥水性を有す
る。
例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）等の撥
水性材料により形成され、第３の部材６３は、例えば石
英等の親水性材料により形成される。それにより、液吐
出部６０の底面７１は親水性を有し、液吐出部６０の前
方の外壁面７２および後方の外壁面７３は撥水性を有す
る。
【００９２】液吐出部６０には、液溜り部２０の現像液
出口２３に連通して水平方向に延びる複数の管状流路６
６が形成されている。図１０に示すように、複数の管状
流路６６はスリット長手方向をＳＬに沿って等間隔に配
列されている。管状流路６６は高い加工精度で形成する
ことができるので、複数の管状流路６６の寸法誤差はほ
とんどない。そのため、複数の管状流路６６は等しい径
を有する。
出口２３に連通して水平方向に延びる複数の管状流路６
６が形成されている。図１０に示すように、複数の管状
流路６６はスリット長手方向をＳＬに沿って等間隔に配
列されている。管状流路６６は高い加工精度で形成する
ことができるので、複数の管状流路６６の寸法誤差はほ
とんどない。そのため、複数の管状流路６６は等しい径
を有する。
【００９３】また、この液吐出部６０には、スリット長
手方向ＳＬに漸次幅広となりつつ下方に延びてスリット
状吐出口１５ａに至る複数のテーパ状流路６４が形成さ
れている。複数のテーパ状流路６４も、スリット長手方
向ＳＬに沿って等間隔に配列されている。複数の管状流
路６６は、それぞれ複数のテーパ状流路６４の頂部近傍
に連通している。
手方向ＳＬに漸次幅広となりつつ下方に延びてスリット
状吐出口１５ａに至る複数のテーパ状流路６４が形成さ
れている。複数のテーパ状流路６４も、スリット長手方
向ＳＬに沿って等間隔に配列されている。複数の管状流
路６６は、それぞれ複数のテーパ状流路６４の頂部近傍
に連通している。
【００９４】複数のテーパ状流路６４は、液吐出部６０
の底面のスリット状吐出口１５ａから一定の高さＨの位
置で相互に結合して一体化している。それにより、複数
のテーパ状流路６４の下端に一定幅の結合領域６５が形
成されている。なお、複数のテーパ状流路６４が液吐出
部６０の底面のスリット状吐出口１５ａの位置で相互に
結合してもよい。この場合、Ｈ＝０となる。
の底面のスリット状吐出口１５ａから一定の高さＨの位
置で相互に結合して一体化している。それにより、複数
のテーパ状流路６４の下端に一定幅の結合領域６５が形
成されている。なお、複数のテーパ状流路６４が液吐出
部６０の底面のスリット状吐出口１５ａの位置で相互に
結合してもよい。この場合、Ｈ＝０となる。
【００９５】図１２（ａ）は図１０および図１１の現像
液吐出ノズル１１ａの液吐出部６０の分解正面図、図１
２（ｂ）は図１０および図１１の現像液吐出ノズル１１
ａの液吐出部６０の分解側面図である。
液吐出ノズル１１ａの液吐出部６０の分解正面図、図１
２（ｂ）は図１０および図１１の現像液吐出ノズル１１
ａの液吐出部６０の分解側面図である。
【００９６】図１２に示すように、第１の部材６１の第
１の接合面Ｐａは平坦な平面となっている。第２の部材
６２の第２の接合面Ｐｂには、複数のテーパ状流路６４
を構成する複数のテーパ状凹部６４ａが形成されてい
る。複数のテーパ状凹部６４ａは、底面から一定の高さ
Ｈの位置で相互に結合して一定幅の結合領域６５ａを形
成している。また、この第２の部材６２の各テーパ状凹
部６４ａ内の頂部近傍にそれぞれ管状流路６６が開口し
ている。第３の部材６３の一面および他面は平坦な平面
となっている。
１の接合面Ｐａは平坦な平面となっている。第２の部材
６２の第２の接合面Ｐｂには、複数のテーパ状流路６４
を構成する複数のテーパ状凹部６４ａが形成されてい
る。複数のテーパ状凹部６４ａは、底面から一定の高さ
Ｈの位置で相互に結合して一定幅の結合領域６５ａを形
成している。また、この第２の部材６２の各テーパ状凹
部６４ａ内の頂部近傍にそれぞれ管状流路６６が開口し
ている。第３の部材６３の一面および他面は平坦な平面
となっている。
【００９７】第１の部材６１、第２の部材６２および第
３の部材６３の上辺および両側辺に沿って複数のねじ孔
６８，６９，７０がそれぞれ設けられている。
３の部材６３の上辺および両側辺に沿って複数のねじ孔
６８，６９，７０がそれぞれ設けられている。
【００９８】第１の部材６１の第１の接合面Ｐａと第２
の部材６２の第２の接合面Ｐｂとの間に第３の部材６３
を挟み込んでねじ孔６８，６９，７０にねじ（図示せ
ず）を通して第１の部材６１、第３の部材６３および第
２の部材６２をねじで連結することにより、図１０およ
び図１１に示した液吐出部６０が構成されるとともに、
第２の部材６２の複数のテーパ状凹部６４ａおよび第３
の部材６３の他面により複数の管状流路６６に連通する
複数のテーパ状流路６４が形成される。
の部材６２の第２の接合面Ｐｂとの間に第３の部材６３
を挟み込んでねじ孔６８，６９，７０にねじ（図示せ
ず）を通して第１の部材６１、第３の部材６３および第
２の部材６２をねじで連結することにより、図１０およ
び図１１に示した液吐出部６０が構成されるとともに、
第２の部材６２の複数のテーパ状凹部６４ａおよび第３
の部材６３の他面により複数の管状流路６６に連通する
複数のテーパ状流路６４が形成される。
【００９９】図１３は図１０および図１１の現像液吐出
ノズル１１ａの液吐出部６０の底面図である。
ノズル１１ａの液吐出部６０の底面図である。
【０１００】図１３に示すように、スリット状吐出口１
５ａは現像液吐出ノズル１１ａの走査方向Ａと垂直に配
置される。スリット状吐出口１５ａの寸法は、図７に示
したスリット状吐出口１５と同様である。
５ａは現像液吐出ノズル１１ａの走査方向Ａと垂直に配
置される。スリット状吐出口１５ａの寸法は、図７に示
したスリット状吐出口１５と同様である。
【０１０１】現像液吐出ノズル１１ａは、底面７１が基
板の表面に対して平行な状態を保つように走査方向Ａに
走査される。
板の表面に対して平行な状態を保つように走査方向Ａに
走査される。
【０１０２】この現像液吐出ノズル１１ａにおいては、
現像液供給系１４（図２参照）から液溜り部２０の現像
液供給口２１を通して液溜り空間２２に現像液が供給さ
れる。液溜り空間２２の現像液は、現像液出口２３から
液吐出部６０の複数の管状流路６６を通って複数のテー
パ状流路６４に導入される。このとき、複数の管状流路
６６の径が等しく形成されているので、液溜り空間２２
の現像液の静圧が複数の管状流路６６で均一な動圧に変
換される。それにより、複数の管状流路６６から複数の
テーパ状流路６４に導入される現像液の流速または流量
は複数の管状流路６６の各出口で等しくなる。また、複
数の管状流路６６から複数のテーパ状流路６４に等しい
流速または流量で導入された現像液は、下降するに従っ
てスリット長手方向ＳＬに拡散されてスリット状吐出口
１５ａの近傍で相互に合流する。それにより、スリット
状吐出口１５ａから均一な流速分布で現像液が吐出され
る。
現像液供給系１４（図２参照）から液溜り部２０の現像
液供給口２１を通して液溜り空間２２に現像液が供給さ
れる。液溜り空間２２の現像液は、現像液出口２３から
液吐出部６０の複数の管状流路６６を通って複数のテー
パ状流路６４に導入される。このとき、複数の管状流路
６６の径が等しく形成されているので、液溜り空間２２
の現像液の静圧が複数の管状流路６６で均一な動圧に変
換される。それにより、複数の管状流路６６から複数の
テーパ状流路６４に導入される現像液の流速または流量
は複数の管状流路６６の各出口で等しくなる。また、複
数の管状流路６６から複数のテーパ状流路６４に等しい
流速または流量で導入された現像液は、下降するに従っ
てスリット長手方向ＳＬに拡散されてスリット状吐出口
１５ａの近傍で相互に合流する。それにより、スリット
状吐出口１５ａから均一な流速分布で現像液が吐出され
る。
【０１０３】特に、複数の管状流路６６が複数のテーパ
状流路６４に対して垂直に設けられているので、複数の
管状流路６６から複数のテーパ状流路６４に導入された
現像液がテーパ状流路６４の内壁に衝突することにより
現像液の流れの方向が変えられた後、拡散される。それ
により、複数のテーパ状流路６４による現像液の拡散の
効果が高くなるとともに、複数の管状流路６６を流れる
現像液が重力によりテーパ状流路６４を通してぼた落ち
することが防止され、また現像液のぼた落ちに起因して
スリット状吐出口１５ａからテーパ状流路６４および管
状流路６６を通して液溜り空間２２に空気が逆流して現
像液中に気泡が生じることも防止される。
状流路６４に対して垂直に設けられているので、複数の
管状流路６６から複数のテーパ状流路６４に導入された
現像液がテーパ状流路６４の内壁に衝突することにより
現像液の流れの方向が変えられた後、拡散される。それ
により、複数のテーパ状流路６４による現像液の拡散の
効果が高くなるとともに、複数の管状流路６６を流れる
現像液が重力によりテーパ状流路６４を通してぼた落ち
することが防止され、また現像液のぼた落ちに起因して
スリット状吐出口１５ａからテーパ状流路６４および管
状流路６６を通して液溜り空間２２に空気が逆流して現
像液中に気泡が生じることも防止される。
【０１０４】また、液吐出部６０の底面７１が親水性を
有するので、液吐出部６０の底面７１における保液性が
良好となり、液吐出部６０の底面７１と基板の表面との
間に十分な液溜りが形成される。それにより、液吐出部
６０の底面７１と基板の表面との間で液切れ現象が発生
することがない。したがって、基板上の一部領域に液切
れ現象により現像液のない部分が発生することが防止さ
れる。
有するので、液吐出部６０の底面７１における保液性が
良好となり、液吐出部６０の底面７１と基板の表面との
間に十分な液溜りが形成される。それにより、液吐出部
６０の底面７１と基板の表面との間で液切れ現象が発生
することがない。したがって、基板上の一部領域に液切
れ現象により現像液のない部分が発生することが防止さ
れる。
【０１０５】また、液吐出部６０の前方および後方の外
壁面７２，７３が撥水性を有するので、液吐出部６０の
外壁面７２，７３に現像液が這い上がる現象が抑制され
る。したがって、液吐出部６０の外壁面７２，７２に現
像液が付着することによる液吐出部６０の汚染が防止さ
れる。
壁面７２，７３が撥水性を有するので、液吐出部６０の
外壁面７２，７３に現像液が這い上がる現象が抑制され
る。したがって、液吐出部６０の外壁面７２，７２に現
像液が付着することによる液吐出部６０の汚染が防止さ
れる。
【０１０６】なお、本例では、第２の部材６２の第２の
接合面Ｐｂに複数のテーパ状流路６４を構成する複数の
テーパ状凹部６４ａが形成され、各テーパ状凹部６４ａ
内に管状流路６６が開口しているが、第１の部材６１の
第１の接合面Ｐａに複数のテーパ状流路６４を構成する
複数のテーパ状凹部６４ａが形成され、複数の管状流路
６６が第２の部材６２および第３の部材６３に設けら
れ、管状流路６６の端部が第１の部材６１の第１の接合
面Ｐａに接合される第３の部材６３の一面に開口しても
よい。
接合面Ｐｂに複数のテーパ状流路６４を構成する複数の
テーパ状凹部６４ａが形成され、各テーパ状凹部６４ａ
内に管状流路６６が開口しているが、第１の部材６１の
第１の接合面Ｐａに複数のテーパ状流路６４を構成する
複数のテーパ状凹部６４ａが形成され、複数の管状流路
６６が第２の部材６２および第３の部材６３に設けら
れ、管状流路６６の端部が第１の部材６１の第１の接合
面Ｐａに接合される第３の部材６３の一面に開口しても
よい。
【０１０７】上記実施例では、本発明を現像液吐出ノズ
ルおよび現像装置に適用した場合を説明したが、本発明
は、例えばレジスト液等の塗布液を吐出する塗布液吐出
ノズルおよびそれを用いた塗布装置など、他の処理液吐
出ノズルおよびそれを用いた処理液供給装置にも適用す
ることができる。
ルおよび現像装置に適用した場合を説明したが、本発明
は、例えばレジスト液等の塗布液を吐出する塗布液吐出
ノズルおよびそれを用いた塗布装置など、他の処理液吐
出ノズルおよびそれを用いた処理液供給装置にも適用す
ることができる。
【図１】本発明の一実施例における現像装置の平面図で
ある。
ある。
【図２】図１の現像装置の主要部のＸ−Ｘ線断面図であ
る。
る。
【図３】図１の現像装置の主要部のＹ−Ｙ線断面図であ
る。
る。
【図４】図１の現像装置に用いられる現像液吐出ノズル
のスリット状吐出口に沿った縦断面図である。
のスリット状吐出口に沿った縦断面図である。
【図５】図４の現像液吐出ノズルのＺ−Ｚ線断面図であ
る。
る。
【図６】図４の現像液吐出ノズルの分解正面図および分
解側面図である。
解側面図である。
【図７】図４の現像液吐出ノズルの液溜り部の底面図で
ある。
ある。
【図８】図１の現像装置の動作を説明するための図であ
る。
る。
【図９】基板上での現像液吐出ノズルの走査を示す平面
図である。
図である。
【図１０】図１の現像装置に用いられる現像液吐出ノズ
ルの他の例を示すスリット状吐出口に沿った縦断面図で
ある。
ルの他の例を示すスリット状吐出口に沿った縦断面図で
ある。
【図１１】図１０の現像液吐出ノズルのＢ−Ｂ線断面図
である。
である。
【図１２】図１０および図１１の現像液吐出ノズル分解
正面図および分解側面図である。
正面図および分解側面図である。
【図１３】図１０および図１１の現像液吐出ノズルの液
溜り部の底面図である。
溜り部の底面図である。
【図１４】スリット状吐出口を有する従来の現像液吐出
ノズルのスリット状吐出口に沿った縦断面図である。
ノズルのスリット状吐出口に沿った縦断面図である。
【図１５】図１４の現像液吐出ノズルのスリット状吐出
口に垂直な方向に沿った縦断面図である。
口に垂直な方向に沿った縦断面図である。
１ 基板保持部 ８ ガイドレール ９ ノズルアーム １０ ノズル駆動部 １１，１１ａ 現像液吐出ノズル １３ 制御部 １４ 現像液供給系 １５，１５ａ スリット状吐出口 ２０ 液溜り部 ２２ 液溜り空間 ２３ 現像液出口 ３０，６０ 液吐出部 ３１，６１ 第１の部材 ３２，６２ 第２の部材 ３３ シート状パッキン ３４，６４ テーパ状流路 ３４ａ，６４ａ テーパ状凹部 ３５，６５ 結合領域 ３６，６６ 管状流路 ３７ テーパ状切欠き部 ６３ 第３の部材 ＰＡ，Ｐａ 第１の接合面 ＰＢ，Ｐｂ 第２の接合面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/30 ５６９Ｃ (72)発明者 松永 実信 京都市上京区堀川通寺之内上る４丁目天神 北町１番地の１ 大日本スクリーン製造株 式会社内
Claims (11)
- 【請求項１】 処理液が供給される液溜り空間を有する
液溜り部と処理液を吐出するスリット状吐出口を有する
液吐出部とを備え、 前記液吐出部には、 前記スリット状吐出口の長手方向に平行な一方向に沿っ
て配列されかつ一端が前記液溜り空間に連通する複数の
管状流路と、 前記一方向に沿って配列されかつそれぞれ前記複数の管
状流路の他端から漸次幅広となって前記スリット状吐出
口に至る複数のテーパ状流路とが形成されたことを特徴
とする処理液吐出ノズル。 - 【請求項２】 前記複数の管状流路は、それぞれ前記複
数のテーパ状流路に対して角度をなすように設けられた
ことを特徴とする請求項１記載の処理液吐出ノズル。 - 【請求項３】 前記複数のテーパ状流路は、前記複数の
管状流路から前記スリット状吐出口に至るまでの位置ま
たはスリット状吐出口の位置で相互に結合して一体化す
ることを特徴とする請求項１または２記載の処理液吐出
ノズル。 - 【請求項４】 前記液吐出部は、前記スリット状吐出口
が設けられた底面を有し、前記液吐出部の前記底面が親
水性を有し、移動方向において前記液吐出部の前記底面
の前方および後方の外壁面が撥水性を有することを特徴
とする請求項１、２または３記載の処理液吐出ノズル。 - 【請求項５】 前記液吐出部は、第１の接合面を有する
第１の部材と、前記第１の接合面に接合される第２の接
合面を有する第２の部材とを備え、 前記第１の部材の前記第１の接合面に前記複数のテーパ
状流路を構成する複数のテーパ状凹部が形成され、前記
第２の部材の前記第２の接合面に前記複数の管状流路の
前記他端が開口されたことを特徴とする請求項１〜４の
いずれかに記載の処理液吐出ノズル。 - 【請求項６】 前記液吐出部は、第１の接合面を有する
第１の部材と、前記第１の接合面に接合される第２の接
合面を有する第２の部材とを備え、 前記第２の部材の前記第２の接合面に前記複数のテーパ
状流路を構成する複数のテーパ状凹部が形成され、前記
テーパ状凹部に前記複数の管状流路の前記他端が開口さ
れたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の
処理液吐出ノズル。 - 【請求項７】 前記液吐出部は、前記第１の部材の前記
第１の接合面と前記第２の部材の前記第２の接合面との
間の前記複数のテーパ状凹部を除く領域に挟み込まれた
シート状シール部材をさらに備えたことを特徴とする請
求項５または６記載の処理液吐出ノズル。 - 【請求項８】 前記液吐出部は、第１の接合面を有する
第１の部材と、第２の接合面を有する第２の部材と、前
記第１の接合面に接合される一面および前記第２の接合
面に接合される他面を有する第３の部材とを備え、 前記第２の部材の前記第２の接合面に前記複数のテーパ
状流路を構成する複数のテーパ状凹部が形成され、前記
テーパ状凹部に前記複数の管状流路の前記他端が開口さ
れたことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の
処理液吐出ノズル。 - 【請求項９】 前記液吐出部は、第１の接合面を有する
第１の部材と、第２の接合面を有する第２の部材と、前
記第１の接合面に接合される一面および前記第２の接合
面に接合される他面を有する第３の部材とを備え、 前記第１の部材の前記第１の接合面に前記複数のテーパ
状流路を構成する複数のテーパ状凹部が形成され、前記
第３の部材の前記一面に前記複数の管状流路の前記他端
が開口されたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか
に記載の処理液吐出ノズル。 - 【請求項１０】 前記第１の部材および前記第２の部材
は撥水性材料からなり、前記第３の部材は親水性材料か
らなることを特徴とする請求項８または９記載の処理液
吐出ノズル。 - 【請求項１１】 基板を保持する基板保持手段と、 処理液が供給される液溜り空間および処理液を吐出する
スリット状吐出口を有する処理液吐出ノズルと、 前記基板保持手段に保持された基板の表面に前記処理液
吐出ノズルの前記スリット状吐出口から処理液が供給さ
れるように前記処理液吐出ノズルを前記基板に対して相
対的に移動させる移動手段とを備え、 前記処理液吐出ノズルには、 前記スリット状吐出口の長手方向に平行な一方向に沿っ
て配列されかつ一端が前記液溜り空間に連通する複数の
管状流路と、 前記一方向に沿って配列されかつそれぞれ前記複数の管
状流路の他端から漸次幅広となって前記スリット状吐出
口に至る複数のテーパ状流路とが形成されたことを特徴
とする処理液供給装置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30423998A JP3722629B2 (ja) | 1997-12-05 | 1998-10-26 | 現像液吐出ノズルおよび現像液供給装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33558697 | 1997-12-05 | ||
| JP9-335586 | 1997-12-05 | ||
| JP30423998A JP3722629B2 (ja) | 1997-12-05 | 1998-10-26 | 現像液吐出ノズルおよび現像液供給装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11221511A true JPH11221511A (ja) | 1999-08-17 |
| JP3722629B2 JP3722629B2 (ja) | 2005-11-30 |
Family
ID=26563835
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|---|---|---|---|
| JP30423998A Expired - Fee Related JP3722629B2 (ja) | 1997-12-05 | 1998-10-26 | 現像液吐出ノズルおよび現像液供給装置 |
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|---|---|
| JP (1) | JP3722629B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6692165B2 (en) | 2001-03-01 | 2004-02-17 | Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. | Substrate processing apparatus |
| US6749351B2 (en) | 2001-12-26 | 2004-06-15 | Dainippon Screen Mfg. Co. Ltd. | Apparatus for developing substrate |
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| WO2016035238A1 (ja) * | 2014-09-02 | 2016-03-10 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 現像液吐出ノズルおよび現像処理装置 |
-
1998
- 1998-10-26 JP JP30423998A patent/JP3722629B2/ja not_active Expired - Fee Related
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