JPH11215780A - 真空モータ - Google Patents
真空モータInfo
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- JPH11215780A JPH11215780A JP1881998A JP1881998A JPH11215780A JP H11215780 A JPH11215780 A JP H11215780A JP 1881998 A JP1881998 A JP 1881998A JP 1881998 A JP1881998 A JP 1881998A JP H11215780 A JPH11215780 A JP H11215780A
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- JP
- Japan
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- stator
- rotors
- stators
- vacuum
- rotor
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- Connection Of Motors, Electrical Generators, Mechanical Devices, And The Like (AREA)
- Permanent Magnet Type Synchronous Machine (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の真空モータは、モータ全体が真空中に
位置するように取付けられていたため、設計が制約さ
れ、装置の小型化及び高能率化等が困難となることがあ
った。 【解決手段】 本発明による真空モータは、ステータ
(7,8)とロータ(16a,17a)間に隔壁(15)が設けられ、この
隔壁(15)によりロータ(16a,17a)を真空中に置くと共
に、ステータ(7,8)を大気中に置くことができ、少なく
とも１対の回転出力を軸方向において独立して得ること
ができる構成である。
位置するように取付けられていたため、設計が制約さ
れ、装置の小型化及び高能率化等が困難となることがあ
った。 【解決手段】 本発明による真空モータは、ステータ
(7,8)とロータ(16a,17a)間に隔壁(15)が設けられ、この
隔壁(15)によりロータ(16a,17a)を真空中に置くと共
に、ステータ(7,8)を大気中に置くことができ、少なく
とも１対の回転出力を軸方向において独立して得ること
ができる構成である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空モータに関
し、特に、モータのロータを真空中に置き、ステータは
大気中に置くようにすると共に、ステータを有するケー
スを少なくとも１対直列に接続することにより、少なく
とも１対の独立した回転出力を取り出すための新規な改
良に関する。
し、特に、モータのロータを真空中に置き、ステータは
大気中に置くようにすると共に、ステータを有するケー
スを少なくとも１対直列に接続することにより、少なく
とも１対の独立した回転出力を取り出すための新規な改
良に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種の真空モー
タとしては、モータ全体を真空中に置いて駆動させてい
た。
タとしては、モータ全体を真空中に置いて駆動させてい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の真空モータは、
以上のように構成されていたため、次のような課題が存
在していた。すなわち、例えば、半導体製造装置等でア
クチュエータを真空中で作動させる場合、モータ自体を
真空中に置かなくてはならず、設計が制約され、例え
ば、装置の小型化、高能率化等が困難となることがあっ
た。また、宇宙ステーション等においても、モータ全体
を真空中に置くと、真空中では温度変化が激しく、ステ
ータ側の温度変化はモータの能力にも直接影響すること
になっていた。
以上のように構成されていたため、次のような課題が存
在していた。すなわち、例えば、半導体製造装置等でア
クチュエータを真空中で作動させる場合、モータ自体を
真空中に置かなくてはならず、設計が制約され、例え
ば、装置の小型化、高能率化等が困難となることがあっ
た。また、宇宙ステーション等においても、モータ全体
を真空中に置くと、真空中では温度変化が激しく、ステ
ータ側の温度変化はモータの能力にも直接影響すること
になっていた。
【０００４】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、モータのロータを真空中に
置き、ステータは大気中に置くと共に、ステータを有す
るケースを少なくとも１対直列に接続することにより、
少なくとも１対の独立した回転出力を取り出すようにし
た真空モータを提供することを目的とする。
めになされたもので、特に、モータのロータを真空中に
置き、ステータは大気中に置くと共に、ステータを有す
るケースを少なくとも１対直列に接続することにより、
少なくとも１対の独立した回転出力を取り出すようにし
た真空モータを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明による真空モータ
は、ステータ巻線を有するステータに対してロータを回
転自在に構成したモータにおいて、各々前記ロータを有
し互いに軸方向に連結された少なくとも１対の第１、第
２ケースと、前記各ロータを有し回転自在に直列配置さ
れた第１、第２筒軸と、前記各筒軸内に設けられ前記第
２筒軸と結合した連結軸と、前記連結軸の端部に結合さ
れ軸受を介して前記第１筒軸に回転自在に接続された第
１出力回転体と、前記第１筒軸の外周に結合された第２
出力回転体と、前記各ステータと各ロータ間に設けられ
た隔壁とを備え、前記各ロータの回転を個別に出力する
各出力回転体は同一軸上で軸方向に異なる位置に配設さ
れ、前記ステータとロータとは前記隔壁により大気側と
真空側に分けられてインナーロータ型を構成している構
成であり、また、ステータ巻線を有するステータに対し
てロータを回転自在に構成したモータにおいて、各々前
記ステータを有し互いに軸方向に連結されていると共に
中空状に形成された少なくとも１対の第１、第２ケース
と、前記各ケースの外周位置に軸受を介して回転自在に
設けられ各ロータに結合した第１、第２筒軸と、前記各
ステータと各ロータ間に設けられた隔壁とを備え、前記
各筒軸の回転によりアウターロータ型を構成し、前記ス
テータとロータとは前記隔壁により大気側と真空側に分
けられている構成であり、さらに、ステータ巻線を有す
るステータに対してロータを回転自在に構成したモータ
において、各々前記ステータを有し互いに軸方向に連結
されていると共に中空状に形成された少なくとも１対の
第１、第２ケースと、前記第２ケースの前壁に形成され
前記各ケースの各中空部を連通するための貫通状のパイ
プ部と、前記各ケースの外周位置に軸受を介して回転自
在に設けられ各ロータに結合した第１、第２筒軸と、前
記各ステータと各ロータ間に設けられた隔壁とを備え、
前記各筒軸の回転によりアウターロータ型を構成し、前
記ステータとロータとは前記隔壁により大気側と真空側
に分けられている構成であり、さらに、前記隔壁は、軸
方向に沿って径が異なる構成である。
は、ステータ巻線を有するステータに対してロータを回
転自在に構成したモータにおいて、各々前記ロータを有
し互いに軸方向に連結された少なくとも１対の第１、第
２ケースと、前記各ロータを有し回転自在に直列配置さ
れた第１、第２筒軸と、前記各筒軸内に設けられ前記第
２筒軸と結合した連結軸と、前記連結軸の端部に結合さ
れ軸受を介して前記第１筒軸に回転自在に接続された第
１出力回転体と、前記第１筒軸の外周に結合された第２
出力回転体と、前記各ステータと各ロータ間に設けられ
た隔壁とを備え、前記各ロータの回転を個別に出力する
各出力回転体は同一軸上で軸方向に異なる位置に配設さ
れ、前記ステータとロータとは前記隔壁により大気側と
真空側に分けられてインナーロータ型を構成している構
成であり、また、ステータ巻線を有するステータに対し
てロータを回転自在に構成したモータにおいて、各々前
記ステータを有し互いに軸方向に連結されていると共に
中空状に形成された少なくとも１対の第１、第２ケース
と、前記各ケースの外周位置に軸受を介して回転自在に
設けられ各ロータに結合した第１、第２筒軸と、前記各
ステータと各ロータ間に設けられた隔壁とを備え、前記
各筒軸の回転によりアウターロータ型を構成し、前記ス
テータとロータとは前記隔壁により大気側と真空側に分
けられている構成であり、さらに、ステータ巻線を有す
るステータに対してロータを回転自在に構成したモータ
において、各々前記ステータを有し互いに軸方向に連結
されていると共に中空状に形成された少なくとも１対の
第１、第２ケースと、前記第２ケースの前壁に形成され
前記各ケースの各中空部を連通するための貫通状のパイ
プ部と、前記各ケースの外周位置に軸受を介して回転自
在に設けられ各ロータに結合した第１、第２筒軸と、前
記各ステータと各ロータ間に設けられた隔壁とを備え、
前記各筒軸の回転によりアウターロータ型を構成し、前
記ステータとロータとは前記隔壁により大気側と真空側
に分けられている構成であり、さらに、前記隔壁は、軸
方向に沿って径が異なる構成である。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による真
空モータの好適な実施の形態について説明する。図１は
インナーロータ型の構成を示すもので、図１において符
号１及び２で示されるものは中空状に形成された第１、
第２ケースであり、各ケース１，２はボルト３及びシー
ル４によって互いに密合状態に直列に結合されている。
前記各ケース１，２の内側にはステータ巻線５，６を有
する第１、第２ステータ７，８が設けられていると共
に、非接触型ブレーキをなす第１、第２電磁型ブレーキ
９，１０の第１、第２固定側ブレーキ９ａと１０ａが設
けられている。前記各ケース１，２の端部位置には第
１、第２磁気エンコーダ１１，１２の第１、第２固定側
検出部１１ａ，１２ａが設けられている。
空モータの好適な実施の形態について説明する。図１は
インナーロータ型の構成を示すもので、図１において符
号１及び２で示されるものは中空状に形成された第１、
第２ケースであり、各ケース１，２はボルト３及びシー
ル４によって互いに密合状態に直列に結合されている。
前記各ケース１，２の内側にはステータ巻線５，６を有
する第１、第２ステータ７，８が設けられていると共
に、非接触型ブレーキをなす第１、第２電磁型ブレーキ
９，１０の第１、第２固定側ブレーキ９ａと１０ａが設
けられている。前記各ケース１，２の端部位置には第
１、第２磁気エンコーダ１１，１２の第１、第２固定側
検出部１１ａ，１２ａが設けられている。
【０００７】前記各ケース１，２の端部１ａ，２ａ側か
ら他端１ｂ，２ｂにわたり筒状に一体連続して形成して
設けられステンレス板等からなり真空側と大気側に分け
るための隔壁１５は、前述の第１、第２固定側検出部１
１ａ，１２ａ、ステータ７，８、第１、第２固定側ブレ
ーキ９ａ，１０ａを連続して大気側に保持するように各
ケース１，２毎に一体状に接続して設けられ、各ケース
１，２にこの軸心位置には第１、第２ロータ１６ａ，１
７ａを有する筒状の第１、第２筒軸１６，１７が軸受１
８を介して回転自在に設けられている。従って、前述の
ステータ７，８、磁気エンコーダ１１，１２の固定側検
出部１１ａ，１２ａ、非接触型ブレーキ９，１０の固定
側ブレーキ９ａ，１０ａは、隔壁１５に一体状に接続さ
れている。また、この隔壁１５は軸方向に沿って径が異
なるように構成され、隔壁１５の根元及び先端では肉厚
が厚くなっている。
ら他端１ｂ，２ｂにわたり筒状に一体連続して形成して
設けられステンレス板等からなり真空側と大気側に分け
るための隔壁１５は、前述の第１、第２固定側検出部１
１ａ，１２ａ、ステータ７，８、第１、第２固定側ブレ
ーキ９ａ，１０ａを連続して大気側に保持するように各
ケース１，２毎に一体状に接続して設けられ、各ケース
１，２にこの軸心位置には第１、第２ロータ１６ａ，１
７ａを有する筒状の第１、第２筒軸１６，１７が軸受１
８を介して回転自在に設けられている。従って、前述の
ステータ７，８、磁気エンコーダ１１，１２の固定側検
出部１１ａ，１２ａ、非接触型ブレーキ９，１０の固定
側ブレーキ９ａ，１０ａは、隔壁１５に一体状に接続さ
れている。また、この隔壁１５は軸方向に沿って径が異
なるように構成され、隔壁１５の根元及び先端では肉厚
が厚くなっている。
【０００８】前記第１筒軸１６の端部は第１ケース１か
ら外方に突出していると共に、軸受１９を介して第１出
力回転体２０が設けられていると共に、第２出力回転体
２１が直接設けられている。前記第１出力回転体２０に
接続された連結軸２２は前記第１筒軸１６を同軸状に貫
通して第２筒軸１７の端部１７ａに結合している。
ら外方に突出していると共に、軸受１９を介して第１出
力回転体２０が設けられていると共に、第２出力回転体
２１が直接設けられている。前記第１出力回転体２０に
接続された連結軸２２は前記第１筒軸１６を同軸状に貫
通して第２筒軸１７の端部１７ａに結合している。
【０００９】前記第１筒軸１６の外周には、前記第１固
定側検出部１１ａに対峙する磁性回転体２３及び前記第
２固定側ブレーキ９ａに対峙する磁性体９ｂが設けられ
ており、第２筒軸１７の外周には、磁性回転体２４及び
磁性体１０ｂが設けられている。従って、前述の大気側
の各固定側検出部１１ａ，１２ａ、各ステータ７，８、
各固定側ブレーキ９ａ，１０ａと、真空側の各磁性回転
体２３，２４、各ロータ１６ａ，１７ａ、各磁性体９
ｂ，１０ｂとは前記隔壁１５によって真空側と大気側を
区分されており、ロータ１６ａ，１７ａ及び連結軸２２
側のみは真空状態に維持されている。なお、前述の磁気
エンコーダ１１，１２及び電磁型ブレーキ９，１０は、
ステータ７，８又はロータ１６ａ，１７ａと同軸状に配
設されている。
定側検出部１１ａに対峙する磁性回転体２３及び前記第
２固定側ブレーキ９ａに対峙する磁性体９ｂが設けられ
ており、第２筒軸１７の外周には、磁性回転体２４及び
磁性体１０ｂが設けられている。従って、前述の大気側
の各固定側検出部１１ａ，１２ａ、各ステータ７，８、
各固定側ブレーキ９ａ，１０ａと、真空側の各磁性回転
体２３，２４、各ロータ１６ａ，１７ａ、各磁性体９
ｂ，１０ｂとは前記隔壁１５によって真空側と大気側を
区分されており、ロータ１６ａ，１７ａ及び連結軸２２
側のみは真空状態に維持されている。なお、前述の磁気
エンコーダ１１，１２及び電磁型ブレーキ９，１０は、
ステータ７，８又はロータ１６ａ，１７ａと同軸状に配
設されている。
【００１０】次に、動作について述べる。各ステータ巻
線５，６に駆動信号を図示しない駆動回路から供給する
と、各ロータ１６ａと１７ａは各筒軸１６，１７と共に
回転することにより、第１出力回転体２０が連結軸２２
と第２筒軸１７を介して回転し、第２出力回転体２１は
第１筒軸１６と共に回転する。従って、各磁気エンコー
ダ１１，１２により磁気的に回転検出を行うことがで
き、さらに、固定側ブレーキ９ａ，１０ａに通電して発
生する磁力によって磁性体９ｂ，１０ｂが隔壁１５を介
して磁気吸引され、電磁ブレーキを達成することができ
る。
線５，６に駆動信号を図示しない駆動回路から供給する
と、各ロータ１６ａと１７ａは各筒軸１６，１７と共に
回転することにより、第１出力回転体２０が連結軸２２
と第２筒軸１７を介して回転し、第２出力回転体２１は
第１筒軸１６と共に回転する。従って、各磁気エンコー
ダ１１，１２により磁気的に回転検出を行うことがで
き、さらに、固定側ブレーキ９ａ，１０ａに通電して発
生する磁力によって磁性体９ｂ，１０ｂが隔壁１５を介
して磁気吸引され、電磁ブレーキを達成することができ
る。
【００１１】図２は他の形態としてのアウターロータ型
の構成であり、図１と同等部分には同一符号を付し、そ
の説明は省略する。従って、図２のアウターロータ型に
おいても各ステータ７，８側が大気側に位置し、ロータ
１６ａ，１７ａと各筒軸１６，１７側が隔壁１５によっ
て真空側に位置するように気密分離されている。なお、
前述の磁気エンコーダ１１，１２及び磁気ブレーキ９，
１０も図１と同様に構成されている。
の構成であり、図１と同等部分には同一符号を付し、そ
の説明は省略する。従って、図２のアウターロータ型に
おいても各ステータ７，８側が大気側に位置し、ロータ
１６ａ，１７ａと各筒軸１６，１７側が隔壁１５によっ
て真空側に位置するように気密分離されている。なお、
前述の磁気エンコーダ１１，１２及び磁気ブレーキ９，
１０も図１と同様に構成されている。
【００１２】図３は図２の他の形態としてのアウターロ
ータ型の構成であり、図２と同等部分には同一符号を付
し、その説明は省略すると共に、図２と異なる部分につ
いてのみ説明する。すなわち、図３における各隔壁１５
の保持体である各前壁３０の保持軸３１及び貫通状のパ
イプ部３１ａが各ケース１，２側の固定板３２，３３に
固定されており、この保持軸３１とパイプ部３１ａの周
囲位置には、前記各固定板３２，３３を介して電磁石３
４，３５が設けられている。前記各保持板３２，３３及
び各前壁３０の周縁部分に設けられた軸受５０には後述
の端部１６ｂ及び１７ｂと連れ回りする輪状磁性体５１
が回転自在に設けられ、この輪状磁性体５１と対応する
各筒軸１６，１７の端部１６ｂ，１７ｂも磁性体で構成
されている。従って、前述の状態で、各電磁石３４，３
５を励磁すると、磁気作用によって各輪状磁性体５１と
各端部１６ｂ，１７ｂが各々電磁石３４，３５と磁気結
合されるため各筒軸１６，１７の回転を磁気的に制動す
ることができるように構成されているため各ケース１，
２の中空部１００，１０１がこのパイプ部３１ａによっ
て大気側になるように連通されている。また、前記パイ
プ部３１ａは中空状に形成されている。さらに、前述の
実施例においては２個のモータを直列接続した場合につ
いて述べたが、２個以上の構成とすることもできる。ま
た、前述の磁気エンコーダ１１，１２は図１と同様に構
成され、図３の電磁石３４，３５と端部１６ｂ，１７ｂ
及び輪状磁性体５１は図１、図２の電磁型ブレーキ９，
１０を構成している。
ータ型の構成であり、図２と同等部分には同一符号を付
し、その説明は省略すると共に、図２と異なる部分につ
いてのみ説明する。すなわち、図３における各隔壁１５
の保持体である各前壁３０の保持軸３１及び貫通状のパ
イプ部３１ａが各ケース１，２側の固定板３２，３３に
固定されており、この保持軸３１とパイプ部３１ａの周
囲位置には、前記各固定板３２，３３を介して電磁石３
４，３５が設けられている。前記各保持板３２，３３及
び各前壁３０の周縁部分に設けられた軸受５０には後述
の端部１６ｂ及び１７ｂと連れ回りする輪状磁性体５１
が回転自在に設けられ、この輪状磁性体５１と対応する
各筒軸１６，１７の端部１６ｂ，１７ｂも磁性体で構成
されている。従って、前述の状態で、各電磁石３４，３
５を励磁すると、磁気作用によって各輪状磁性体５１と
各端部１６ｂ，１７ｂが各々電磁石３４，３５と磁気結
合されるため各筒軸１６，１７の回転を磁気的に制動す
ることができるように構成されているため各ケース１，
２の中空部１００，１０１がこのパイプ部３１ａによっ
て大気側になるように連通されている。また、前記パイ
プ部３１ａは中空状に形成されている。さらに、前述の
実施例においては２個のモータを直列接続した場合につ
いて述べたが、２個以上の構成とすることもできる。ま
た、前述の磁気エンコーダ１１，１２は図１と同様に構
成され、図３の電磁石３４，３５と端部１６ｂ，１７ｂ
及び輪状磁性体５１は図１、図２の電磁型ブレーキ９，
１０を構成している。
【００１３】
【発明の効果】本発明による真空モータは、以上のよう
に構成されているため、次のような効果を得ることがで
きる。すなわち、インナーロータ型及びアウターロータ
型の何れにおいても隔壁によってロータ及び電磁型ブレ
ーキの磁性体等側を真空側とし、ステータ及び電磁型ブ
レーキの固定側ブレーキ、磁気エンコーダの固定側検出
部側を隔壁によって一体接続して大気側とすることがで
き、半導体装置及び宇宙ステーション等におけるアクチ
ュエータとしての機器への取付の自由度を増大させるこ
とができ、小型化及び省スペース化等を達成することが
できる。また、少なくとも１対の独立した回転出力を軸
方向にずらせて独立させて得ることが出来る。さらに、
ステータ巻線を大気側におくことができることにより、
モータとしての電気的特性を安定化させることができ
る。さらに、各ケースの中空部をケースに設けたパイプ
部によって連通させて大気側に保つことができる。ま
た、隔壁の径が軸方向に沿って異なるため、モータの構
造が種々異なる場合でも隔壁によって大気側と真空側を
保つことができる。
に構成されているため、次のような効果を得ることがで
きる。すなわち、インナーロータ型及びアウターロータ
型の何れにおいても隔壁によってロータ及び電磁型ブレ
ーキの磁性体等側を真空側とし、ステータ及び電磁型ブ
レーキの固定側ブレーキ、磁気エンコーダの固定側検出
部側を隔壁によって一体接続して大気側とすることがで
き、半導体装置及び宇宙ステーション等におけるアクチ
ュエータとしての機器への取付の自由度を増大させるこ
とができ、小型化及び省スペース化等を達成することが
できる。また、少なくとも１対の独立した回転出力を軸
方向にずらせて独立させて得ることが出来る。さらに、
ステータ巻線を大気側におくことができることにより、
モータとしての電気的特性を安定化させることができ
る。さらに、各ケースの中空部をケースに設けたパイプ
部によって連通させて大気側に保つことができる。ま
た、隔壁の径が軸方向に沿って異なるため、モータの構
造が種々異なる場合でも隔壁によって大気側と真空側を
保つことができる。
【図１】本発明によるインナーロータ型の真空モータを
示す断面図である。
示す断面図である。
【図２】本発明によるアウターロータ型の真空モータを
示す断面図である。
示す断面図である。
【図３】図２の他の形態を示す断面図である。
５，６ ステータ巻線 ７，８ ステータ ９，１０ 電磁型ブレーキ（非接触型ブレーキ） ９ａ，１０ａ 固定側ブレーキ ９ｂ，１０ｂ 磁性体 １１，１２ 磁気エンコーダ １５ 隔壁 １６ａ，１７ａ ロータ １８ 軸受 １９ 軸受 ２０，２１ 出力回転体 ２２ 連結軸 ３０ 前壁 ３１ａ パイプ部 １００，１０１ 中空部
Claims (4)
- 【請求項１】 ステータ巻線(5,6)を有するステータ(7,
8)に対してロータ(16a,17a)を回転自在に構成したモー
タにおいて、各々前記ロータ(16a,17a)を有し互いに軸
方向に連結された少なくとも１対の第１、第２ケース
(1,2)と、前記各ロータ(16a,17a)を有し回転自在に直列
配置された第１、第２筒軸(16,17)と、前記各筒軸(16,1
7)内に設けられ前記第２筒軸(17)と結合した連結軸(22)
と、前記連結軸(22)の端部に結合され軸受(19)を介して
前記第１筒軸(16)に回転自在に接続された第１出力回転
体(20)と、前記第１筒軸(16)の外周に結合された第２出
力回転体(21)と、前記各ステータ(7,8)と各ロータ(16a,
17a)間に設けられた隔壁(15)とを備え、前記各ロータ(1
6a,17a)の回転を個別に出力する各出力回転体(20,21)は
同一軸上で軸方向に異なる位置に配設され、前記ステー
タ(7,8)とロータ(16a,17a)とは前記隔壁(15)により大気
側と真空側に分けられてインナーロータ型を構成してい
ることを特徴とする真空モータ。 - 【請求項２】 ステータ巻線(5,6)を有するステータ(7,
8)に対してロータ(16a,17a)を回転自在に構成したモー
タにおいて、各々前記ステータ(7,8)を有し互いに軸方
向に連結されていると共に中空状に形成された少なくと
も１対の第１、第２ケース(1,2)と、前記各ケース(1,2)
の外周位置に軸受(18)を介して回転自在に設けられ各ロ
ータ(16a,17a)に結合した第１、第２筒軸(16,17)と、前
記各ステータ(7,8)と各ロータ(16a,17a)間に設けられた
隔壁(15)とを備え、前記各筒軸(16,17)の回転によりア
ウターロータ型を構成し、前記ステータ(7,8)とロータ
(16a,17a)とは前記隔壁(15)により大気側と真空側に分
けられていることを特徴とする真空モータ。 - 【請求項３】 ステータ巻線(5,6)を有するステータ(7,
8)に対してロータ(16a,17a)を回転自在に構成したモー
タにおいて、各々前記ステータ(7,8)を有し互いに軸方
向に連結されていると共に中空状に形成された少なくと
も１対の第１、第２ケース(1,2)と、前記第２ケース(2)
の前壁(30)に形成され前記各ケース(1,2)の各中空部(10
0,101)を連通するための貫通状のパイプ部(31a)と、前
記各ケース(1,2)の外周位置に軸受(18)を介して回転自
在に設けられ各ロータ(16a,17a)に結合した第１、第２
筒軸(16,17)と、前記各ステータ(7,8)と各ロータ(16a,1
7a)間に設けられた隔壁(15)とを備え、前記各筒軸(16,1
7)の回転によりアウターロータ型を構成し、前記ステー
タ(7,8)とロータ(16a,17a)とは前記隔壁(15)により大気
側と真空側に分けられていることを特徴とする真空モー
タ。 - 【請求項４】 前記隔壁(15)は、軸方向に沿って径が異
なることを特徴とする請求項１ないし３の何れかに記載
の真空モータ。
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Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001112223A (ja) * | 1999-10-06 | 2001-04-20 | Tokyo Electron Ltd | 真空モータ及び搬送装置 |
| JP2001339920A (ja) * | 2000-05-30 | 2001-12-07 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 真空モータ |
| US6363808B1 (en) | 1998-12-04 | 2002-04-02 | Shinmaywa Industries, Ltd. | Conveying device |
| US6543306B1 (en) | 1998-12-04 | 2003-04-08 | Daihen Corporation | Conveying device |
| WO2006088757A1 (en) * | 2005-02-12 | 2006-08-24 | Applied Materials, Inc. | Multi-axis vacuum motor assembly |
| JP2006296060A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Nsk Ltd | モータシステム |
| JP2007252106A (ja) * | 2006-03-16 | 2007-09-27 | Ihi Corp | 誘導子型同期機 |
| JP2009303331A (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-24 | Nsk Ltd | ダイレクトドライブモータ及びスカラーロボット |
| JP2010178451A (ja) * | 2009-01-28 | 2010-08-12 | Minebea Motor Manufacturing Corp | 同軸モータ |
| KR101297072B1 (ko) * | 2012-01-17 | 2013-08-14 | 주식회사 에스엠이씨 | 중공축 모터 |
| WO2014085483A1 (en) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | Applied Materials, Inc | Motor modules, multi-axis motor drive assemblies, multi-axis robot apparatus, and electronic device manufacturing systems and methods |
| CN105553202A (zh) * | 2016-03-04 | 2016-05-04 | 重庆大学 | 多级定转子组合式电机 |
| KR20180004321A (ko) * | 2014-04-21 | 2018-01-10 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 격리된 고정자와 인코더를 가진 로봇 |
-
1998
- 1998-01-30 JP JP01881998A patent/JP3495903B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6363808B1 (en) | 1998-12-04 | 2002-04-02 | Shinmaywa Industries, Ltd. | Conveying device |
| US6543306B1 (en) | 1998-12-04 | 2003-04-08 | Daihen Corporation | Conveying device |
| US6755092B2 (en) | 1998-12-04 | 2004-06-29 | Daihen Corp | Conveying device |
| JP2001112223A (ja) * | 1999-10-06 | 2001-04-20 | Tokyo Electron Ltd | 真空モータ及び搬送装置 |
| JP2001339920A (ja) * | 2000-05-30 | 2001-12-07 | Tamagawa Seiki Co Ltd | 真空モータ |
| US7688017B2 (en) * | 2005-02-12 | 2010-03-30 | Applied Materials, Inc. | Multi-axis vacuum motor assembly |
| US20060245905A1 (en) * | 2005-02-12 | 2006-11-02 | Hudgens Jeffrey C | Multi-axis vacuum motor assembly |
| WO2006088757A1 (en) * | 2005-02-12 | 2006-08-24 | Applied Materials, Inc. | Multi-axis vacuum motor assembly |
| JP2006296060A (ja) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Nsk Ltd | モータシステム |
| JP2007252106A (ja) * | 2006-03-16 | 2007-09-27 | Ihi Corp | 誘導子型同期機 |
| JP2009303331A (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-24 | Nsk Ltd | ダイレクトドライブモータ及びスカラーロボット |
| JP2010178451A (ja) * | 2009-01-28 | 2010-08-12 | Minebea Motor Manufacturing Corp | 同軸モータ |
| KR101297072B1 (ko) * | 2012-01-17 | 2013-08-14 | 주식회사 에스엠이씨 | 중공축 모터 |
| CN104812534A (zh) * | 2012-11-30 | 2015-07-29 | 应用材料公司 | 马达模块、多轴马达驱动组件、多轴机械手设备及电子装置制造系统与方法 |
| WO2014085483A1 (en) * | 2012-11-30 | 2014-06-05 | Applied Materials, Inc | Motor modules, multi-axis motor drive assemblies, multi-axis robot apparatus, and electronic device manufacturing systems and methods |
| US9325228B2 (en) | 2012-11-30 | 2016-04-26 | Applied Materials, Inc. | Multi-axis robot apparatus with unequal length forearms, electronic device manufacturing systems, and methods for transporting substrates in electronic device manufacturing |
| US9742250B2 (en) | 2012-11-30 | 2017-08-22 | Applied Materials, Inc. | Motor modules, multi-axis motor drive assemblies, multi-axis robot apparatus, and electronic device manufacturing systems and methods |
| KR20180004321A (ko) * | 2014-04-21 | 2018-01-10 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 격리된 고정자와 인코더를 가진 로봇 |
| JP2020025458A (ja) * | 2014-04-21 | 2020-02-13 | パーシモン テクノロジーズ コーポレイションＰｅｒｓｉｍｍｏｎ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ， Ｃｏｒｐ． | 隔離された固定子およびエンコーダを備えるロボット |
| KR20230003257A (ko) * | 2014-04-21 | 2023-01-05 | 퍼시몬 테크놀로지스 코포레이션 | 로봇 구동을 위한 장치 |
| CN105553202A (zh) * | 2016-03-04 | 2016-05-04 | 重庆大学 | 多级定转子组合式电机 |
| CN105553202B (zh) * | 2016-03-04 | 2018-11-23 | 重庆大学 | 多级定转子组合式电机 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
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