JPH11214669A - 感光装置 - Google Patents

感光装置

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JPH11214669A
JPH11214669A JP10295386A JP29538698A JPH11214669A JP H11214669 A JPH11214669 A JP H11214669A JP 10295386 A JP10295386 A JP 10295386A JP 29538698 A JP29538698 A JP 29538698A JP H11214669 A JPH11214669 A JP H11214669A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 各フォトゲートの積分時間を、各々の画素に
対し容易に制御可能なフルカラー感光装置を提供するこ
と。 【解決手段】 本発明では、第1及び第2のフォトゲー
トを有する感光装置が提供され、各フォトゲートは、受
光した光に応答して電荷を生成する。この電荷は、フォ
トゲートとこの各々に結合された光転送ゲートに印加さ
れる電位差に応答して光転送ゲートに流入する。第1の
光転送ゲート及び第2の光転送ゲートに結合された共通
ノード10が、出力ラインに結合される。リセットゲー
トが出力ライン上のリセットノード12に配置され、こ
のリセットゲートは必要に応じて所定のリセット電位を
リセットノード12に印加する。共通ノード10とリセ
ットノード12間の出力ライン上に、クリアリングゲー
トが配置され、これは、共通ノード10上に所定の電位
を印加することが可能で、これにより、フォトゲートの
うちの少なくとも1つの上の電荷を全て除去する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、空乏ゲート光セン
サー(depleted-gate photosensor) 又は単にフォトゲー
ト(photogate) としても知られるCMOS能動画素画像
センサー(CMOS active pixel image sensor)に関する。
更に詳細には、本発明は、並列に配置されたこのような
複数のフォトゲートがそこからの信号を読み取ることが
可能な、フルカラーセンサーアレイなどにおける転送回
路のシステムに関する。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】現在、
テレビカメラ又は原稿スキャナなどにおける固体素子装
置による画像感知のために一般に行われている基本的な
技術としては、電荷結合素子即ちCCD、及びCMOS
の2つが挙げられる。これらの2つの技術は、それぞれ
に実用的な利点及び欠点を有する。しかしながら、近
頃、CCD又はCMOSのいずれの利点も維持した新型
のセンサー技術が利用可能となった。この技術は、“C
MOS能動画素画像センサー”又は“空乏ゲート光セン
サー”、又は最も単純に“フォトゲート”として知られ
ている。手短に言えば、小型の単段CCDが各光センサ
ー用に製造され、単一のCCDステージのアウトプット
は転送回路などのCMOS回路に集積される。このよう
なフォトゲートの構成についての基本技術は、メンディ
ス(Mendis)、ケメニー(Kemeny)、及びフォサム(Fossum)
による"CMOS Active Pixel Image Sensor", IEEE Trans
actions on Electron Devices, Volume41, No.3, March
1994に開示されている。
【0003】フォトゲートベース光センサーの基本的な
構造は以下の通りである。フォトゲートとして知られ、
光を受容する、露光表面を有したドープされた一領域が
シリコン構造体内に配置される。フォトゲートが露光さ
れると、その空乏層内に電荷が生成される。転送ゲート
が、フォトゲートの隣に配置される。転送ゲートにフォ
トゲートからの電荷を転送させたい場合、転送ゲートに
電位が印加され、それによって転送ゲートのポテンシャ
ル井戸(potential well)が深くなる。基本的なCCD法
によると、転送ゲートにおいてこのようにポテンシャル
井戸を深くすることは、フォトゲート内の電荷を転送ゲ
ートに流入させる。このCCD型の電荷転送は、工程中
で1回だけ行われ、転送ゲートに流入した電荷は結合し
たCMOS回路によって電圧に変換される。
【0004】フォトゲートは、小型であること、CMO
Sへの適性及びその比較的容易に製造されるなど無数の
利点を有するが、例えばフルカラー原稿スキャナーなど
にこの技術を組み込むためには依然としていくつかの問
題が処理されなければならない。フルカラー原稿スキャ
ナーの1つのタイプでは、3つの別々の直線アレイが備
えられ、各アレイが比較的多数の光センサーを組み込ん
でいる。光センサーの個々の直線アレイはそれぞれ赤、
青、及び緑などの原色フィルターの1つによってフィル
ターにかけられる。この3原色フィルター直線アレイ
は、次に通過する原稿文書に対して露光され、露光され
た原稿に基づいてビデオ信号を記録する。各直線アレイ
がそれぞれが1つの原色を用いてフィルターにかけられ
るため、最終的な出力は原稿画像に基づいた3つの色分
解である。この状況でフォトゲート技術を光センサーと
して用いることによる1つの基本的な問題点は、現在知
られている設計のフォトゲートではカメラのシャッター
露光時間に対応する各フォトゲートの積分時間を、各々
の画素に対して容易に制御できないことである。
【0005】この直接制御の欠落は、フォトゲートのア
レイによる各色分解の正確な記録に問題をもたらしう
る。
【0006】従来技術では、上記の論文、"CMOS Active
Pixel Image Sensor"が、フォトゲートの基本的な動作
原理を示している。
【0007】米国特許第5,471,515号は、各セ
ルがそれぞれに、フォトゲートと、少なくとも出力用の
電界効果トランジスタを備えた読み出し回路と、及びフ
ォトゲートに隣接する電荷結合素子とを含む画素セルか
ら成る焦点面アレイを備えたモノリシックCMOS集積
回路を開示する。各フォトゲートは、基板の下地部分か
らセンシングノードに電荷を転送するための電荷結合素
子段を少なくとも1つは伴っている。
【0008】米国特許第5,587,596号は、単一
のMOSトランジスタがウェルに形成され、従来はフォ
トゲート/フォトダイオード、センストランジスタ及び
アクセストランジスタによって行われる機能を実行する
能動画素センサーセルを開示する。ウェルに当る光エネ
ルギーは、ウェルの電位を変化させ、それがまたトラン
ジスタの閾値電圧を様々に変化させる。その結果、トラ
ンジスタによって供給される電流は、受け取った光エネ
ルギーに比例する。
【0009】欧州特許第EP−A2−757390号
は、アレイのそれぞれの画素セルが、赤及び緑の光を別
々に受光するために2つのフォトゲートと、青の光を受
光するためにCMOS型のフォトダイオードを備えたフ
ルカラー画像用の能動画素画像センサーを開示する。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴によれば、
第1のフォトゲート及び第2のフォトゲートを有する感
光装置が提供される。それぞれのフォトゲートは、そこ
に当たる光に応答して電荷を生成し、また、結合された
転送ゲートを備える。フォトゲート内の電荷は、フォト
ゲートと光転送ゲートに印加される電位の差に応答して
結合された光転送ゲートに流入する。共通ノード(commo
n node) が第1の光転送ゲート及び第2の光転送ゲート
に結合され、この共通ノードは出力ラインに結合され
る。リセットゲート(reset gate)が出力ライン上のリセ
ットノードに配置され、このリセットゲートは必要に応
じて所定のリセット電位をリセットノードに印加するた
めに用いられる。共通ノードとリセットノードとの間の
出力ライン上には、クリアリングゲート(clearing gat
e) が配置される。クリアリングゲートは、共通ノード
上に所定の電位を印加するために作動することが可能
で、それにより、フォトゲートのうちの少なくとも1つ
の上のあらゆる電荷を除去する。
【0011】
【発明の実施の形態】以下の詳細な説明において、異な
った図においても同様の参照番号が同様の要素を示すと
いった一定の慣例が様々な図に用いられる。また、重要
なことには概略図において回路要素を示す文字がタイミ
ング図では回路要素上の電位を示す。まず、フォトゲー
トに直接結合される転送ゲートを他の転送ゲートと区別
するために、PGという文字は“フォトゲート”を表
し、PTという文字はフォトゲートに結合される転送ゲ
ートを表す。フォトゲートに直接結合される転送ゲート
は、以下並びに請求項において“光転送ゲート”として
示される。PG又はPTの後に続く文字は、特定の要素
が結合されると考えられる原色を示し、そのため、PG
Rは赤のフォトゲート、またPTGは緑のフォトゲート
と結合される光転送ゲートを表すというようになってい
る。PRは、図示されるようにリセットノード上に印加
されるリセット信号を表し、PR2は、以下に説明され
るように他のリセット又は“クリアリング(clearing)”
信号を配置する位置を表す。TTは、リセットゲートを
示す。Vr はリセット電圧を表し、VOUT は出力ライン
及び出力ライン上の出力電圧の両方を表す。
【0012】図1は、本発明による、転送回路に対して
並列に配置された3原色光センサーを有する画素セルの
概略図である。原色半透明フィルター(図示せず)によ
ってそれぞれにフィルターにかけられ、それぞれが光転
送ゲートPTR、PTG、及びPTBに結合される、3
つのフォトゲート、PGR、PGG、及びPGBは、共
通ノードに対して並列に結合される。共通ノードの下流
には、転送ゲートPTはもちろんリセットゲートPR及
び図示されるように所定の“放電電圧”VDDを共通出
力ラインに必要に応じて印加する第2リセットゲートP
R2がある。図2は、フォトゲートからの電荷の読み出
しにおける様々な回路要素の動作を図示するタイミング
図である。
【0013】図2の上部のライン、PGRからPTBを
参照すると、PGRなどのフォトゲート上の電位が一時
的に降下する一方で、フォトゲートと直接結合される光
転送ゲート(PTRなど)上の電位が、同時に底線から
上昇する明白なパターンが順次見られる。つまり、フォ
トゲート上の電位の降下中、フォトゲートと光転送ゲー
ト上の電位は一時的に極性を切り換え、そのため、それ
らの間に電位差を作り出すのである。図2の上部のライ
ンを順に参照して、まず、赤のフォトゲートであるPG
R及びその赤の光転送ゲートであるPTRが極性を切り
換え、次に緑のフォトゲートであるPGG及び緑の光転
送ゲートであるPTGが極性を切り換え、その後、青の
フォトゲートであるPGB及び青の光転送ゲートである
PTBが最終的に極性を切り換えることが見てとれる。
各極性が切り換えられると共に、フォトゲート上にその
時に発生しているあらゆる電荷が光転送ゲートを通って
共通ノード10に“流入”する。このようにして、一連
の“流入”は、フォトゲートPGR、PGG、及びPG
B上の電荷が順序通りに共通ノード10に読み出される
ことを可能にする。
【0014】PGR及びPTRなどへのそれぞれの電荷
の流入には、2つの判明な極性の切り換えが存在し、第
2の極性切り換えは、第1の極性切り換えの後に選択可
能ないくらかの所定時間(図2において点線で示され
る)に起こる。更に、極性の第2の切り換えと同時に回
路要素PR2上の信号が高くセットされる。図1を再度
参照すると、PR2上のこのパルスは(電源(図示せ
ず)からの)所定の外部電圧VDDに、共通ノード10
に対する電圧の勾配を与える。フォトゲートから光転送
ゲートへの電荷の流入と同時にVDDが共通ノードに印
加される際、PGRなどのフォトゲート上の全ての電荷
は光転送ゲートPTR及び共通ノード10を通って流入
し、VDDに引き寄せられる。VDDは比較的高い正電
位であることが好ましく、フォトゲートから負の電荷を
引き寄せるからである。
【0015】電荷の流入中に、比較的高い電位のVDD
を印加することにより、その時点までにPGRなどのフ
ォトゲート上に蓄積されたあらゆる電荷がフォトゲート
から除去される。特定の時間におけるこの特定のフォト
ゲートの“クリアリング”により、当てられる光によっ
て電荷がフォトゲートに蓄積されるための積分時間を正
確に制御された時間に開始させることを可能にし、それ
により、例えば、装置がカラー原稿を走査する場合など
に、フォトゲートの効果的な露光時間を正確に制御する
ことができる。上記の請求項を参照すると、ゲートPR
2は“クリアリングゲート”の役割をし、共通ノード1
0上に所定の電位を選択的に印加し、それによって少な
くとも1つのフォトゲート上のあらゆる電荷をクリアす
る。
【0016】図2に図示されるように、特定のフォトゲ
ートの積分時間(赤のフォトゲートであるPGRのため
のITRなど)とは、事実上、PR2による電圧VDD
の印加によってもたらされるフォトゲートのクリアリン
グからそれに続く光転送ゲート、及び共通ノード、及び
最終的に出力ライン上を通るフォトゲート上の電荷の読
み出しまでの時間である。フォトゲート上のこの電荷の
読み出しは、図2に示されるように光転送ゲートに関す
る極性の変化によって開始されるが、電荷の流入中、P
R2にパルスは印加されない。代わりに、図示されるよ
うに、一連のパルスがリセットゲートPR及びここで単
に転送ゲートPT2と呼ばれるものに印加される。図2
に見られるように、リセットゲートPR上の初期のパル
スはPGRなどのフォトゲートとPTRなどの光転送ゲ
ートとの間の電荷の流入の直前で発生する。このPR上
の初期パルスは、出力ライン上のリセットノード12に
比較的低い電圧Vrを印加することを目的とする。リセ
ットノード12上へのこの比較的低い電位の設定は、出
力ラインと直列された転送ゲートPT上へのパルスの印
加に先駆けて行われたもので、そのため、PGRなどの
フォトゲート上の電荷は転送ゲートPTを通過しリセッ
トノード12に向うことができる。
【0017】リセットノード12上に電位Vrを用いる
基本的な目的は、共通ノード10を一定の電位にリセッ
トして、共通ノード10を通じての光転送ゲート間のク
ロストークを回避し、また、リセットノード12を一定
の電位にリセットすることであり、これは全システムの
所定の闇黒レベルに関係している。
【0018】PGRなどのフォトゲートとそれに結合さ
れたPTRなどの光転送ゲートとの間のそれぞれ特定の
電荷流入では、光転送ゲート上への電位の印加は、フォ
トゲート上の電位が降下する少し前に開始されることが
認められるであろう。この目的は、単にフォトゲートか
ら光転送ゲートへの電荷の効率的な転送を確立すること
である。
【0019】要約すると、特定の原色の各フォトゲート
に対して、積分時間は極性の切り換え、即ち、PR2に
よる共通ノード10上の比較的高い電位VDDの印加と
同時に起こるフォトゲートとフォトゲートに結合される
光転送ゲート間の電荷の流入によって開始され、積分時
間は、PT上のパルスと同時に起こるフォトゲートと光
転送ゲート間のもう1つの電荷の流入によって終了し、
それにより、フォトゲート上に流入された電荷はリセッ
トノード12上の電位Vrに移送され、Voutとして出
力ライン上に現れる。第1の電荷の流入中のVDDの初
期の印加により、フォトゲート上に既存していたあらゆ
る電荷が効果的に除去され、それにより、フォトゲート
は、光による電荷がゼロの状態で“ゼロから開始する”
ことができる。この方法により、特定のフォトゲートの
ための効果的な露光時間が特定の時間に開始されること
ができる。
【0020】図2に図示される様々な信号の中に点線で
示されるように、特定のフォトゲートのクリアリング
は、フォトゲートの出力ラインVout 上への出力に従っ
てあらゆる選択可能な時間に行われることができる。従
って、積分時間は“クリアリング”がいつ起こるかを制
御することによって制御されることができる。図1に図
示されるような3つのフォトゲートが光センサーの大き
なアレイ(原稿スキャナなど)で単一の“セル”として
用いられる場合、フォトゲートからVout への電荷の流
入とそれに続くクリアリングとの間の期間(図にSRと
して示される)は、例えばシフトレジスターのステージ
(図示せず)によって、セルが読み出されるまで特定の
フォトゲートからの電荷をVout 上の電位として一時的
に保持するために用いられることができる。(本発明の
実際の実施形態での時間比率は図中では率に比例した割
合では示されていない。1つの実際のシステムにおいて
は、各SR間の所要時間は通常約32クロックパルスで
あるが、図中で点線で表されるSR間の所要時間は約1
28クロックパルスとなっている。)多数の光センサー
セルがシフトレジスタと結合されるシステムの全体構造
は上記の参照文献に組み込まれた特許に記述されてい
る。
【0021】図3は、図1に図示される画素セルの回路
の代替動作を図示するもう1つのタイミング図である。
図2のタイミング図は多様化された方法でフォトゲート
から電荷を読み出す方法での回路の動作を図示したが、
図3は、様々な回路要素上へのパルスのタイミングを変
更するだけで同じ画素セルが“単色モード”でいかにし
て容易に操作され得るかを図示する。原稿走査のために
は非常に有用な単色モードでは、緑のフォトゲートであ
るPGGなどの原色フォトセンサーが1つだけ用いられ
ると共に、他の原色光センサーである、PGR及びPG
Bは、事実上動作を停止される。単色モードの利点は、
全ての入力原稿が黒及び白であることが事前に知られて
いる場合、又は原稿上のカラーが無関係であると考えら
れる場合に、色分解のデータが1セットだけ必要とさ
れ、走査速度(無関連のカラー信号がシフトレジスタを
介して読み出される必要がないため)及び必要とされる
メモリの両方を顕著に倹約できることである。
【0022】図3に見られるように、緑のフォトゲート
であるPGG及びそれに結合される光転送ゲートである
PTGは、ITGとして示される積分時間で図2と同様
の方法で動作するが、赤及び青のフォトゲートであるP
GR及びPGBはそれらの電荷をVout ライン上に決し
て流入せず、PR2上のパルスによりVDDを印加する
ことによって単に周期的にクリアされるだけである。こ
のようにして、使用されていないフォトゲートであるP
GR及びPGBは、単に読み出しから除外され、そこに
蓄積された電荷によってもたらされるあらゆる悪影響
は、使用されていないフォトゲート上のあらゆる電荷を
周期的にクリア(除去)することによって未然に防がれ
る。本発明は、図1と同様の基本的な回路が、様々な回
路要素上のパルスを単に変更することによりカラー又は
単色モードで動作することを可能にする。
【0023】請求項を参照して、あらゆる回路要素にあ
らゆる信号又は電位を印加するためのあらゆる“手段”
は、列挙された方法によって回路要素を操作するデジタ
ル制御の形状をとることが好ましく、またこのような一
般的趣旨を有するデジタル制御システムは当業界におい
て広く知られている。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従って、結合される転送回路に沿った
3色の原色感光フォトゲートを有する画素セルの概略図
である。
【図2】本発明の1つの方法に従って、図1の略図の様
々な回路要素に印加される電位のタイミング図である。
【図3】特許を申請する本発明のもう1つの方法に従っ
て、図1の略図の様々な回路要素への様々な電位の印加
を図示するタイミング図である。
【符号の説明】
10 共通ノード 12 リセットノード
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジャグディッシュ シー.タンドン アメリカ合衆国 14450 ニューヨーク州 フェアポート カークバイ トレイル 43 (72)発明者 スコット エル.テウィンクル アメリカ合衆国 14519 ニューヨーク州 オンタリオ バーグ ロード 193

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 感光装置であって、 第1のフォトゲートであって、該第1のフォトゲート
    が、そこに当たる光に応答して電荷を生成し、また、前
    記第1のフォトゲートに結合された第1の光転送ゲート
    を有し、前記第1のフォトゲート内の電荷が、該第1の
    フォトゲートと前記第1の光転送ゲートとの間の印加さ
    れた電位差に応答して、前記第1の光転送ゲートへ流入
    される第1のフォトゲートと、 第2のフォトゲートであって、該第2のフォトゲート
    が、そこに当たる光に応答して電荷を生成し、また、前
    記第2のフォトゲートに結合された第2の光転送ゲート
    を有し、前記第2のフォトゲート内の電荷が、該第2の
    フォトゲートと前記第2の光転送ゲートとの間の印加さ
    れた電位差に応答して、前記第2の光転送ゲートへ流入
    される第2のフォトゲートと、 第1の光転送ゲートと第2の光転送ゲートに結合された
    共通ノードであって、前記共通ノードが出力ラインに結
    合されている共通ノードと、 前記出力ライン上のリセットノードに配置されがリセッ
    トゲートであって、該リセットゲートは前記リセットノ
    ードに所定のリセット電位を選択的に印加するように適
    合されるリセットゲートと、 前記共通ノードとリセットノードの間の出力ライン上に
    配置されたクリアリングゲートであって、該クリアリン
    グゲートは前記共通ノード上に所定の転送電位を印加す
    るために作動可能であり、それにより第1のフォトゲー
    トか第2のフォトゲートのうちの少なくとも1つの上の
    あらゆる電荷を除去するクリアリングゲートと、 を有する感光装置。
  2. 【請求項2】 更に、クリアリングゲートを作動させる
    と同時に所定の転送電位を前記第1の光転送ゲート及び
    前記第2の光転送ゲートのうちの選択された1つに印加
    するための手段を有し、それにより、前記第1のフォト
    ゲート又は第2のフォトゲートのうちの選択された1つ
    の上の電荷を除去し、前記第1のフォトゲート又は前記
    第2のフォトゲートのうちの選択された1つに対する積
    分時間を開始する、 請求項1に記載の感光装置。
  3. 【請求項3】 更に、前記クリアリングゲートとリセッ
    トノードの間の出力ラインに直列に配置され、前記第1
    のフォトゲート及び前記第2のフォトゲートのうちの1
    つから前記リセットノードに電荷を選択的に転送するよ
    うに適合された転送ゲートを有する、 請求項1に記載の感光装置。
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