JPH11211798A - Superconductive high frequency clock operation evaluation circuit - Google Patents
Superconductive high frequency clock operation evaluation circuitInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は超伝導高周波クロッ
ク動作評価回路に関し、特に超伝導集積回路をGHz帯
域以上の高周波クロックで動作評価する超伝導高周波ク
ロック動作評価回路に関するものである。The present invention relates to a superconducting high-frequency clock operation evaluation circuit, and more particularly to a superconducting high-frequency clock operation evaluation circuit for evaluating the operation of a superconducting integrated circuit with a high-frequency clock of a GHz band or more.
【0002】[0002]
【従来の技術】超伝導集積回路の測定評価においては、
交流のバイアス電流といくつかの入力信号パルスとが必
要である。従来、かかるパルス信号を生成するために、
室温環境下におかれたパルスジェネレータを使用してい
る。図6にこの様な従来の技術による超伝導集積回路の
測定評価のための回路の概略図を示している。2. Description of the Related Art In measurement and evaluation of superconducting integrated circuits,
An AC bias current and some input signal pulses are required. Conventionally, in order to generate such a pulse signal,
Uses a pulse generator placed at room temperature. FIG. 6 is a schematic diagram of a circuit for measuring and evaluating a superconducting integrated circuit according to such a conventional technique.
【0003】図6においては、一本の低周波交流バイア
ス信号(AC)と4本の入力パルス信号IN1 〜IN4
が必要な場合を示している。これ等の各信号は、例え
ば、5台のパルスジェネレータ(図示せず)から夫々同
軸ケーブル2を介して、低環境下のジョセフソン集積回
路10の対応入力端子へ夫々抵抗R1 〜R4 を介し供給
されている。In FIG. 6, one low-frequency AC bias signal (AC) and four input pulse signals IN1 to IN4 are provided.
Is required. These signals are supplied from, for example, five pulse generators (not shown) to the corresponding input terminals of the Josephson integrated circuit 10 under a low environment via the coaxial cable 2 and the resistors R1 to R4, respectively. Have been.
【0004】そして、ジョセフソン集積回路10の出力
OUT1 〜OUT3 が抵抗R11〜R13を夫々介して外部
へ導出されている。尚、このジョセフソン集積回路10
は、抵抗R1 〜R4 やR11〜R13と共に同一チップ上に
配置されている。[0004] Outputs OUT1 to OUT3 of the Josephson integrated circuit 10 are led out through resistors R11 to R13, respectively. Note that this Josephson integrated circuit 10
Are arranged on the same chip together with the resistors R1 to R4 and R11 to R13.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】上述した図6の従来技
術では、クロック信号周波数が低周波数である場合は問
題はないが、クロック信号周波数の高周波化に伴って、
パルスジェネレータから発生される信号間のジッタや僅
かな同軸ケーブル2の長さの相違等により生ずる信号間
での遅延時間差が大きな問題となってくる。特に、GH
zやそれ以上の帯域の周波数の場合には、回路動作の評
価測定が不可能となるという欠点がある。In the prior art shown in FIG. 6 described above, there is no problem when the clock signal frequency is low, but as the clock signal frequency increases,
The delay time difference between the signals caused by the jitter between the signals generated from the pulse generator and the slight difference in the length of the coaxial cable 2 becomes a serious problem. In particular, GH
In the case of a frequency in a band of z or higher, there is a disadvantage that the evaluation and measurement of the circuit operation become impossible.
【0006】そこで、本発明はかかる従来技術の欠点を
解消すべくなされたものであって、その目的とするとこ
ろは、数GHz以上の高周波クロックにおいて超伝導集
積回路の測定評価を可能とした超伝導高周波クロック動
作評価回路を提供することである。Accordingly, the present invention has been made to solve the above-mentioned drawbacks of the prior art, and an object of the present invention is to make it possible to measure and evaluate a superconducting integrated circuit at a high frequency clock of several GHz or more. It is to provide a conduction high frequency clock operation evaluation circuit.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明によれば、超伝導
集積回路をGHz帯域以上の高周波クロックで動作評価
する超伝導高周波クロック動作評価回路であって、前記
超伝導集積回路と同一チップ上に配置され制御信号入力
端子とバイアス入力端子とを有する複数の超伝導量子干
渉素子(SQUID)を含み、前記制御信号入力端子の
各々に外部の直流電源または低周波信号源が接続され、
前記バイアス入力端子の各々にGHz帯域の高周波信号
源が接続され、前記超伝導量子干渉素子の各出力端子を
前記超伝導集積回路の入力端子へ接続したことを特徴と
する超伝導高周波クロック動作評価回路が得られる。According to the present invention, there is provided a superconducting high-frequency clock operation evaluation circuit for evaluating the operation of a superconducting integrated circuit with a high-frequency clock of a GHz band or more, wherein the superconducting integrated circuit is on the same chip as the superconducting integrated circuit. A plurality of superconducting quantum interference devices (SQUIDs) having a control signal input terminal and a bias input terminal, wherein an external DC power supply or a low frequency signal source is connected to each of the control signal input terminals;
A high-frequency signal source in the GHz band is connected to each of the bias input terminals, and each output terminal of the superconducting quantum interference device is connected to an input terminal of the superconducting integrated circuit. A circuit is obtained.
【0008】そして、前記高周波信号源からの信号は前
記超伝導集積回路のバイアス信号と共通であることを特
徴とし、また前記高周波信号源、前記直流電源または低
周波信号源は、前記チップの低温環境とは異なる室温環
境に配置されていることを特徴とする。The signal from the high-frequency signal source is common to the bias signal of the superconducting integrated circuit, and the high-frequency signal source, the DC power supply or the low-frequency signal source is connected to the low-temperature signal of the chip. It is characterized by being arranged in a room temperature environment different from the environment.
【0009】更に、前記直流電源または低周波信号源は
前記制御入力端子の各々に対してスイッチを夫々介して
接続されていることを特徴とし、前記スイッチは室温環
境に配置されていることを特徴とする。Further, the DC power source or the low-frequency signal source is connected to each of the control input terminals via a switch, and the switch is arranged in a room temperature environment. And
【0010】本発明の作用を述べる。本発明では、周知
の超伝導量子干渉素子(SQUID:Superconducting
Quantum Interference Device )を、複数個超伝導集積
回路と同一チップ上に配置し、これら各SQUIDの制
御信号入力端子に直流電源または低周波信号源を接続
し、またバイアス入力端子にGHz帯域以上の高周波信
号を供給し、低周波信号源からの周期の大なる信号パル
ス、または直流電源のオンオフによる周期の大なる信号
パルスを制御信号入力端子に供給し、両信号のAND論
理による出力、すなわち低周波パルスをベースバンド信
号としてGHz帯域の高周波信号を変調した出力を得
て、これを超伝導集積回路の必要な入力端子へ供給する
ものである。The operation of the present invention will be described. In the present invention, a well-known superconducting quantum interference device (SQUID: Superconducting
Quantum Interference Device) are arranged on the same chip as the superconducting integrated circuits, a DC power supply or a low-frequency signal source is connected to the control signal input terminal of each of these SQUIDs, and a high-frequency band over the GHz band is connected to the bias input terminal. A signal is supplied, and a signal pulse having a large cycle from a low-frequency signal source or a signal pulse having a large cycle due to ON / OFF of a DC power supply is supplied to a control signal input terminal. An output obtained by modulating a high-frequency signal in the GHz band using the pulse as a baseband signal is obtained and supplied to a necessary input terminal of the superconducting integrated circuit.
【0011】かかる構成とすることで、超伝導集積回路
の複数の入力パターンをGHz帯の高周波クロックでバ
イアス電流に同期して供給することができ、超伝導集積
回路のGHz帯でのクロック動作試験が可能となる。ま
た、各SQUIDのバイアス入力端子へ供給すべきGH
z帯域の高周波信号としては、超伝導集積回路へ供給す
べきバイアス信号であるGHz帯域の高周波信号を共用
して使用可能となり、よって当該バイアス信号をチップ
内で各SQUIDのバイアス入力端子へ分配することが
でき、結果として同軸ケーブルによる遅延時間のばらつ
きはなくなる。With this configuration, a plurality of input patterns of the superconducting integrated circuit can be supplied in synchronism with the bias current using a high-frequency clock in the GHz band, and the clock operation test of the superconducting integrated circuit in the GHz band can be performed. Becomes possible. GH to be supplied to the bias input terminal of each SQUID
As the z-band high-frequency signal, a high-frequency signal in the GHz band, which is a bias signal to be supplied to the superconducting integrated circuit, can be used in common, and the bias signal is distributed to the bias input terminal of each SQUID in the chip. As a result, there is no variation in the delay time due to the coaxial cable.
【0012】[0012]
【発明の実施の形態】以下に、図面を参照しつつ本発明
の実施例につき説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0013】図1は本発明の実施例に使用されるSQU
IDの具体例の等価回路を示す図であり、このSQUI
Dの回路自体は新しいものではなく、周知の構成のもの
である。本発明では、この回路のバイアス入力端子にG
Hz帯域の高周波の交流電源を接続し、その制御信号入
力端子に直流電源または低周波のパルス信号源を接続す
る。そして、出力端子より出力信号を導出するものであ
る。FIG. 1 is a block diagram of an SKU used in an embodiment of the present invention.
FIG. 3 is a diagram showing an equivalent circuit of a specific example of ID,
The D circuit itself is not new and has a known configuration. In the present invention, G is connected to the bias input terminal of this circuit.
A high frequency AC power supply in a Hz band is connected, and a DC power supply or a low frequency pulse signal source is connected to a control signal input terminal. Then, an output signal is derived from the output terminal.
【0014】尚、J1 ,J2 はジョセフソン接合、Rb
,Rd ,Ri ,RL は抵抗、L1 〜L4 はインダクタ
を夫々示している。Incidentally, J1 and J2 are Josephson junctions, Rb
, Rd, Ri, and RL indicate resistors, and L1 to L4 indicate inductors.
【0015】図2にこの回路の入出力波形例を示してお
り、出力端子には、正弦波の高周波信号(GHz)と低
周波パルス(または直流のオンオフ)信号とのAND論
理をとった信号が出力される。換言すれば、低周波パル
ス信号をベースバンド信号としてGHz帯の高周波信号
を変調した信号が出力端子に得られる。FIG. 2 shows an example of input / output waveforms of this circuit. A signal obtained by taking an AND logic of a sine wave high frequency signal (GHz) and a low frequency pulse (or direct current on / off) signal is provided at an output terminal. Is output. In other words, a signal obtained by modulating a high-frequency signal in the GHz band using the low-frequency pulse signal as the baseband signal is obtained at the output terminal.
【0016】図2に示した低周波の信号パターンは、通
常低周波のパルス信号発生器によって発生されるが、周
期が非常に長い場合には、直流電源を手動等の操作によ
りオンオフ制御して発生しても良い。The low-frequency signal pattern shown in FIG. 2 is usually generated by a low-frequency pulse signal generator. If the period is very long, the DC power supply is turned on and off by manual operation or the like. May occur.
【0017】この様に、外部から低周波の信号パルスを
供給することにより、または直流電源を外部でオンオフ
することで、チップ内で低周波の信号パルスに変調され
た高周波パルス信号が発生され、GHz帯でのクロック
動作試験が可能となるのである。この場合、当該SQU
ID回路を被測定回路である超伝導集積回路と同一チッ
プ上に必要な個数だけ配置して、各SQUID回路のバ
イアス入力端子に同一の高周波の交流信号を供給するこ
とにより、チップ内部でほぼ位相が揃った高周波信号パ
ルスを超伝導集積回路へ供給することができる。As described above, by supplying a low-frequency signal pulse from the outside or by turning on and off a DC power supply externally, a high-frequency pulse signal modulated into a low-frequency signal pulse is generated in the chip. This enables a clock operation test in the GHz band. In this case, the SQUI
By disposing the required number of ID circuits on the same chip as the superconducting integrated circuit to be measured, and supplying the same high-frequency AC signal to the bias input terminal of each SQUID circuit, the phase inside the chip is substantially reduced. Can be supplied to the superconducting integrated circuit.
【0018】この様に、外部から低周波のパルス信号を
加えるか、または直流電源をオンオフすることにより、
チップ内部では、これ等の外部信号に応じた同一位相の
高周波パルス信号を複数発生させることが可能となる。
従って、複数個の任意の入力パターンをGHz帯の高周
波クロックでハイアス電流に同期して入力することがで
き、超伝導集積回路のGHz帯でのクロック動作試験が
可能となる。As described above, by applying a low-frequency pulse signal from the outside or turning on / off the DC power supply,
Inside the chip, it is possible to generate a plurality of high-frequency pulse signals having the same phase according to these external signals.
Therefore, a plurality of arbitrary input patterns can be input in synchronization with the high-bias current by using a high-frequency clock in the GHz band, and a clock operation test of the superconducting integrated circuit in the GHz band becomes possible.
【0019】尚、図1では、2接合のSQUIDを使用
しているが、その他の電磁結合型ゲート、例えば、3接
合SQUIDを使用しても同様の機能が実現される。In FIG. 1, a two-junction SQUID is used. However, a similar function can be realized by using another electromagnetic coupling type gate, for example, a three-junction SQUID.
【0020】図3は本発明の一実施例の構成を示す図で
あり、図6と同等部分は同一符号にて示している。本例
では、被測定回路10としてのジョセフソン集積回路
と、この被測定回路10の必要な入力端子IN1 〜IN
4 へ高周波信号を夫々同期して供給する複数のSQUI
D回路21〜24とが、同一チップ1上に配置されてい
る。このチップ1は低温環境下(例えば、液体ヘリウム
温度4.2K)に置かれている。FIG. 3 is a diagram showing the configuration of one embodiment of the present invention, and the same parts as those in FIG. 6 are denoted by the same reference numerals. In this example, a Josephson integrated circuit as the circuit under test 10 and necessary input terminals IN1 to IN1 of the circuit under test 10 are provided.
Plural SQUIS that supply high frequency signals to
D circuits 21 to 24 are arranged on the same chip 1. This chip 1 is placed in a low-temperature environment (for example, liquid helium temperature 4.2 K).
【0021】室温環境下には、高周波電源ACと、直流
電源DC1 〜DC4 と、直流電源のオンオフ制御をなす
スイッチSW1 〜SW4 とが設けられている。そして、
低温環境下のチップ1と室温環境下のこれ等電源との間
は、複数の同軸ケーブル2により接続されている。出力
端子OUT1 〜OUT3 は、ここでは特に図示しない
が、例えば高帯域のサンプリングオシロスコープ等の観
測機器に接続される。In a room temperature environment, a high frequency power supply AC, DC power supplies DC1 to DC4, and switches SW1 to SW4 for controlling ON / OFF of the DC power supply are provided. And
A plurality of coaxial cables 2 connect the chip 1 in a low-temperature environment and these power supplies in a room-temperature environment. Although not shown here, the output terminals OUT1 to OUT3 are connected to an observation device such as a high-bandwidth sampling oscilloscope.
【0022】チップ1内の各SQUID回路21〜24
のバイアス入力端子には、GHz帯の高周波電源ACが
接続されており、この高周波電源ACはジョセフソン集
積回路10のバイアス電源としても使用されており、よ
ってチップ内で分配されている。この分配は、チップ内
でほぼ等長の配線でレイアウトされているので、各SQ
UID回路及びジョセフソン集積回路に至る高周波電流
はほぼ同位相で分配される。Each SQUID circuit 21 to 24 in the chip 1
Is connected to a high frequency power supply AC in the GHz band. This high frequency power supply AC is also used as a bias power supply for the Josephson integrated circuit 10, and is thus distributed within the chip. Since this distribution is laid out with wiring of approximately equal length in the chip, each SQ
High-frequency currents reaching the UID circuit and the Josephson integrated circuit are distributed in substantially the same phase.
【0023】各SQUID回路の制御信号配線には、直
流電源DC1 〜DC4 が接続され、制御信号配線に流れ
る電流は室温部に配置されたスイッチSW1 〜SW4 に
よりオンオフ可能である。ここで、例えば、スイッチS
W1 とSW3 を予めオンとしておき、SQUID21と
23とを動作可能状態にしておき、チップにGHz帯の
高周波電流を供給することにより、ジョセフソン集積回
路10のバイアス電流に同期したGHz領域のパルス信
号(IN1 とIN3 )を発生させることができる。DC power supplies DC1 to DC4 are connected to the control signal wiring of each SQUID circuit, and the current flowing through the control signal wiring can be turned on and off by switches SW1 to SW4 arranged at room temperature. Here, for example, the switch S
W1 and SW3 are turned on in advance, SQUIDs 21 and 23 are operable, and a high-frequency current in the GHz band is supplied to the chip, so that a pulse signal in the GHz range synchronized with the bias current of the Josephson integrated circuit 10 is supplied. (IN1 and IN3) can be generated.
【0024】本実施例により、DCのオンオフの組み合
わせにより、全ての場合の入力信号パターンに対してジ
ョセフソン集積回路10の動作をGHz領域の高周波ク
ロックで測定評価することができるものである。According to this embodiment, the operation of the Josephson integrated circuit 10 can be measured and evaluated with a high frequency clock in the GHz range for all input signal patterns by a combination of DC on / off.
【0025】図4は本発明の他の実施例の構成を示す図
であり、図3と同等部分は同一符号により示す。本例で
は、被測定回路10としてジョセフソンRAMを使用し
て、このRAMの高周波クロック動作の評価を行う場合
の例である。図3と相違する部分のみについて述べる。FIG. 4 is a diagram showing the configuration of another embodiment of the present invention, and the same parts as in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals. In this example, a Josephson RAM is used as the circuit under test 10, and the high-frequency clock operation of the RAM is evaluated. Only parts different from FIG. 3 will be described.
【0026】RAMの動作評価を行う場合には、アドレ
ス信号、データ信号、リードライト信号等の多くの入力
信号が必要である。ここで、簡単化のために64ビット
のRAMを想定して6ビットのアドレス信号(Ax,B
x,Cx,Ay,By,Cy)と、1ビットのデータ信
号(Data)と、1ビットのリードライト信号(R/W)
との合計8個の入力信号が必要な場合を示している。When evaluating the operation of the RAM, many input signals such as an address signal, a data signal, and a read / write signal are required. Here, for simplicity, assuming a 64-bit RAM, a 6-bit address signal (Ax, B
x, Cx, Ay, By, Cy), a 1-bit data signal (Data), and a 1-bit read / write signal (R / W)
8 shows a case where a total of eight input signals are required.
【0027】従って、8個のSQUID回路21〜28
を夫々これ等8個の入力信号に対応して同一チップ1上
に設けている。これ等8個のSQUID回路21〜28
のバイアス入力端子は、ジョセフソンRAMの電源ライ
ンを兼ねる1本の高周波信号電源(バイアス)ライン
(AC)に接続されている。SQUID回路21〜28
の制御信号配線は、ここでは2個の直流電源DC1 とD
C2 に接続されている。Therefore, the eight SQUID circuits 21 to 28
Are provided on the same chip 1 in correspondence with these eight input signals. These eight SQUID circuits 21 to 28
Is connected to one high-frequency signal power supply (bias) line (AC) which also serves as a power supply line of the Josephson RAM. SQUID circuits 21 to 28
Here, the control signal wirings are two DC power supplies DC1 and D
Connected to C2.
【0028】そして、各SQUID回路21〜28の制
御信号配線に夫々対応するスイッチSW1 〜SW8 は個
々にオンオフができるようになっている。例えば、スイ
ッチSW1 とSW5 のみをオンにして、GHz帯の高周
波信号を入力することで、DataとR/Wの2つの高周波
信号をRAMのバイアスに信号に同期して入力すること
ができる。The switches SW1 to SW8 respectively corresponding to the control signal wirings of the SQUID circuits 21 to 28 can be turned on and off individually. For example, by turning on only the switches SW1 and SW5 and inputting a high frequency signal in the GHz band, two high frequency signals of Data and R / W can be input to the bias of the RAM in synchronization with the signal.
【0029】これにより、ジョセフソンRAMのアドレ
ス全てが“0”の記憶セルに対して、データ“1”の書
込みをGHz領域の高周波クロックで繰返し行うことが
できる。あるいは、例えば、スイッチSW1 とSW3 と
SW8 のみをオンとしてGHz領域の高周波を入力する
ことで、ジョセフソンRAMのアドレスが(<110>
x,<001>y)の記憶セルに対してデータの読出し
をGHz領域の高周波クロックで繰返し行うことができ
る。As a result, writing of data "1" into the memory cell of the Josephson RAM having all addresses "0" can be repeatedly performed by the high frequency clock in the GHz range. Alternatively, for example, by turning on only the switches SW1, SW3 and SW8 and inputting a high frequency in the GHz range, the address of the Josephson RAM becomes (<110>).
x, <001> y), the data can be repeatedly read out by the high frequency clock in the GHz range.
【0030】本実施例により、8個のスイッチをオンオ
フすることで、任意のアドレスの記憶セルに対して高周
波クロックでのデータの書込み及び読出し等の動作をG
Hz領域の高周波クロックで測定評価することができ
る。By turning on and off the eight switches according to the present embodiment, operations such as writing and reading of data with a high-frequency clock to and from a memory cell at an arbitrary address are performed by G.
Measurement and evaluation can be performed using a high-frequency clock in the Hz range.
【0031】図5は本発明の別の実施例の構成を示す図
であり、図3,4と同等部分は同一符号にて示してい
る。本例でも、被測定回路10はジョセフソンRAMで
あり、よって、6ビットのアドレス信号(Ax,Bx,
Cx,Ay,By,Cy)と、1ビットのデータ信号
(Data)と、1ビットのリードライト信号(R/W)と
の合計8個の入力信号が必要な場合を示している。FIG. 5 is a diagram showing the configuration of another embodiment of the present invention, and the same parts as those in FIGS. Also in this example, the circuit under test 10 is a Josephson RAM, and therefore, a 6-bit address signal (Ax, Bx,
Cx, Ay, By, Cy), a 1-bit data signal (Data), and a 1-bit read / write signal (R / W) are required for a total of eight input signals.
【0032】そして8個のSQUID回路21〜28の
制御信号配線に夫々対応して、低周波信号源(パルスジ
ェネレータ)P1 〜P8 が設けられており、図4の回路
においてスイッチSW1 〜SW8 をオンオフする代わり
に、本例では低周波のパルスパターンで自動的に行うこ
とができるようにしている。よって、これ等パルスパタ
ーンの組み合わせで任意の入力信号パターンを発生する
ことが可能である。Low frequency signal sources (pulse generators) P1 to P8 are provided corresponding to the control signal wirings of the eight SQUID circuits 21 to 28, respectively, and switches SW1 to SW8 are turned on and off in the circuit of FIG. Instead of this, in this example, it can be performed automatically with a low-frequency pulse pattern. Therefore, it is possible to generate an arbitrary input signal pattern by combining these pulse patterns.
【0033】本実施例により、低周波の入力信号パター
ンを加えるのみで、チップ内部では高周波のバイアス電
流に同期した高周波の入力パルスが低周波の入力信号パ
ターンに応じて発生され、これにより任意のアドレスの
記憶セルに対して高周波クロックでのデータの書込み読
出し等の動作を、GHz領域の高周波クロックで測定評
価することができる。According to this embodiment, only by adding a low-frequency input signal pattern, a high-frequency input pulse synchronized with a high-frequency bias current is generated in the chip in accordance with the low-frequency input signal pattern. Operations such as writing and reading of data with respect to a memory cell of an address with a high-frequency clock can be measured and evaluated with a high-frequency clock in the GHz range.
【0034】[0034]
【発明の効果】以上述べた様に、本発明によれば、超伝
導集積回路の高周波クロック動作評価の際の入力信号間
のジッタや僅かな同軸ケーブルの長さの違いによる生じ
る信号間の遅延時間差といった大きな問題を除去するこ
とができるという効果がある。これにより、GHz以上
の領域の高周波クロックで超伝導集積回路の測定評価を
なすことができる。As described above, according to the present invention, the jitter between input signals and the delay between signals caused by a slight difference in the length of a coaxial cable when evaluating the high-frequency clock operation of a superconducting integrated circuit. There is an effect that a large problem such as a time difference can be eliminated. Thus, the measurement and evaluation of the superconducting integrated circuit can be performed using the high-frequency clock in the region of GHz or more.
【図1】本発明に使用するSQUID回路の例を示す等
価回路図である。FIG. 1 is an equivalent circuit diagram showing an example of a SQUID circuit used in the present invention.
【図2】図1の回路の動作を示す波形図である。FIG. 2 is a waveform chart showing the operation of the circuit of FIG.
【図3】本発明の一実施例を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing one embodiment of the present invention.
【図4】本発明の他の実施例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing another embodiment of the present invention.
【図5】本発明の別の実施例を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing another embodiment of the present invention.
【図6】従来技術を説明する図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a conventional technique.
1 チップ 2 同軸ケーブル 10 被測定回路 21〜28 SQUID回路 AC 高周波電源 DC1 〜DC4 直流電源 SW1 〜SW4 スイッチ P1 〜P8 低周波電源 1 chip 2 coaxial cable 10 circuit under test 21-28 SQUID circuit AC high frequency power supply DC1-DC4 DC power supply SW1-SW4 switch P1-P8 low frequency power supply
Claims (6)
波クロックで動作評価する超伝導高周波クロック動作評
価回路であって、前記超伝導集積回路と同一チップ上に
配置され制御信号入力端子とバイアス入力端子とを有す
る複数の超伝導量子干渉素子(SQUID)を含み、前
記制御信号入力端子の各々に外部の直流電源または低周
波信号源が接続され、前記バイアス入力端子の各々にG
Hz帯域の高周波信号源が接続され、前記超伝導量子干
渉素子の各出力端子を前記超伝導集積回路の入力端子へ
接続したことを特徴とする超伝導高周波クロック動作評
価回路。1. A superconducting high-frequency clock operation evaluation circuit for evaluating the operation of a superconducting integrated circuit with a high-frequency clock of a GHz band or more, comprising a control signal input terminal and a bias input disposed on the same chip as the superconducting integrated circuit. And a plurality of superconducting quantum interference devices (SQUIDs) having an input terminal, an external DC power supply or a low-frequency signal source connected to each of the control signal input terminals, and a G input to each of the bias input terminals.
A superconducting high-frequency clock operation evaluation circuit, wherein a high-frequency signal source in a Hz band is connected, and each output terminal of the superconducting quantum interference device is connected to an input terminal of the superconducting integrated circuit.
導集積回路のバイアス信号と共通であることを特徴とす
る請求項1記載の超伝導高周波クロック動作評価回路。2. The superconducting high-frequency clock operation evaluation circuit according to claim 1, wherein a signal from said high-frequency signal source is common to a bias signal of said superconducting integrated circuit.
低周波信号源は、前記チップの低温環境とは異なる室温
環境に配置されていることを特徴とする請求項1,2い
ずれか記載の超伝導高周波クロック動作評価回路。3. The super-high-frequency signal source according to claim 1, wherein the high-frequency signal source, the DC power source, or the low-frequency signal source is arranged in a room temperature environment different from a low-temperature environment of the chip. Conducted high frequency clock operation evaluation circuit.
制御入力端子の各々に対してスイッチを夫々介して接続
されていることを特徴とする請求項1〜3いずれか記載
の超伝導高周波クロック動作評価回路。4. The superconducting high-frequency clock according to claim 1, wherein the DC power supply or the low-frequency signal source is connected to each of the control input terminals via a switch. Operation evaluation circuit.
ることを特徴とする請求項4記載の超伝導高周波クロッ
ク動作評価回路。5. The superconducting high-frequency clock operation evaluation circuit according to claim 4, wherein said switch is arranged in a room temperature environment.
回路であることを特徴とする請求項1〜5いずれか記載
の超伝導高周波クロック動作評価回路。6. The superconducting high-frequency clock operation evaluation circuit according to claim 1, wherein said superconducting integrated circuit is a Josephson integrated circuit.
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