JPH1121111A - オゾン発生装置 - Google Patents
オゾン発生装置Info
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- JPH1121111A JPH1121111A JP18761597A JP18761597A JPH1121111A JP H1121111 A JPH1121111 A JP H1121111A JP 18761597 A JP18761597 A JP 18761597A JP 18761597 A JP18761597 A JP 18761597A JP H1121111 A JPH1121111 A JP H1121111A
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- discharge
- gas
- gaseous
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- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 オゾンガス中のオゾン濃度が低下することの
ない高純度酸素ガスを原料とする放電式のオゾン発生装
置を提供すること。 【解決手段】 高純度酸素ガスを原料ガスとし、放電セ
ル内の放電によりオゾンガスを発生させる放電方式のオ
ゾン発生装置において、オゾンガス排出管５を通るオゾ
ンガスのオゾン濃度を検出するオゾン濃度計６を設け、
該オゾン濃度計６の出力を制御部３にフィードバックし
てオゾンガスのオゾン濃度を所定の値に維持すると共
に、複数の放電セル１−１〜１−６の内、順次１台をオ
ゾン濃度が回復するまでの所定時間だけ停止させ、残り
の放電セルでオゾン発生させる。
ない高純度酸素ガスを原料とする放電式のオゾン発生装
置を提供すること。 【解決手段】 高純度酸素ガスを原料ガスとし、放電セ
ル内の放電によりオゾンガスを発生させる放電方式のオ
ゾン発生装置において、オゾンガス排出管５を通るオゾ
ンガスのオゾン濃度を検出するオゾン濃度計６を設け、
該オゾン濃度計６の出力を制御部３にフィードバックし
てオゾンガスのオゾン濃度を所定の値に維持すると共
に、複数の放電セル１−１〜１−６の内、順次１台をオ
ゾン濃度が回復するまでの所定時間だけ停止させ、残り
の放電セルでオゾン発生させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は高純度酸素（Ｏ2）
ガスを原料としてオゾン（Ｏ3）ガスを発生するオゾン
発生装置に関するものである。
ガスを原料としてオゾン（Ｏ3）ガスを発生するオゾン
発生装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造産業においては、各種の用途
にオゾンガスが使用されており、その用途も増々拡大し
つつある。図３は従来のこの種の放電式のオゾン発生装
置の構成例を示す図である。オゾン発生装置１０は、原
料ガス供給管４及びオゾンガス排出管５で並列に接続し
た複数の放電セル１−１〜１−４、高圧電源２−１〜２
−４、該高圧電源２−１〜２−４を制御する制御部３を
具備する構成である。
にオゾンガスが使用されており、その用途も増々拡大し
つつある。図３は従来のこの種の放電式のオゾン発生装
置の構成例を示す図である。オゾン発生装置１０は、原
料ガス供給管４及びオゾンガス排出管５で並列に接続し
た複数の放電セル１−１〜１−４、高圧電源２−１〜２
−４、該高圧電源２−１〜２−４を制御する制御部３を
具備する構成である。
【０００３】上記構成のオゾン発生装置１０において、
高圧電源２−１〜２−４からの高電圧を放電セル１−１
〜１−４の電極に印加すると共に、原料ガス供給管４を
通して高純度の酸素（Ｏ2）ガスを放電セル１−１〜１
−４に送り、該放電セル１−１〜１−４内の放電により
オゾンガスを発生させ、オゾンガス排出管５からオゾン
ガスを排出する。この種のオゾン発生装置では並列に接
続する放電セル数を多くすることにより、大容量化に対
応するのが通例である。
高圧電源２−１〜２−４からの高電圧を放電セル１−１
〜１−４の電極に印加すると共に、原料ガス供給管４を
通して高純度の酸素（Ｏ2）ガスを放電セル１−１〜１
−４に送り、該放電セル１−１〜１−４内の放電により
オゾンガスを発生させ、オゾンガス排出管５からオゾン
ガスを排出する。この種のオゾン発生装置では並列に接
続する放電セル数を多くすることにより、大容量化に対
応するのが通例である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体
製造産業において、オゾンガスの利用拡大に伴い下記の
ようなことが問題となっている。 （１）この種の放電式のオゾン発生装置において、高純
度の酸素ガスを原料として使用するが、原因は定かでは
ないが経時的にオゾンガス中のオゾン濃度が低下してい
くという現象が起こる。
製造産業において、オゾンガスの利用拡大に伴い下記の
ようなことが問題となっている。 （１）この種の放電式のオゾン発生装置において、高純
度の酸素ガスを原料として使用するが、原因は定かでは
ないが経時的にオゾンガス中のオゾン濃度が低下してい
くという現象が起こる。
【０００５】（２）上記オゾンガス中のオゾン濃度が低
下するという現象を防止するため微量の窒素（Ｎ2）ガ
スを原料ガスである高純度酸素（Ｏ2）ガスに添加する
ことがおこなわれている。しかしながら、この窒素ガス
の添加により、オゾンガス中にＮＯｘが発生し、該ＮＯ
ｘがオゾン発生装置のオゾンガス排出側に設置された機
器に腐食等の不具合を起こすという問題があった。ま
た、配管内面に付着している水分と該ＮＯｘが反応し、
硝酸（ＨＮＯ3）ができ、該硝酸が配管材等のステンレ
ススチール材の表面と反応し、オゾンガスがクロム汚染
されるという問題がある。
下するという現象を防止するため微量の窒素（Ｎ2）ガ
スを原料ガスである高純度酸素（Ｏ2）ガスに添加する
ことがおこなわれている。しかしながら、この窒素ガス
の添加により、オゾンガス中にＮＯｘが発生し、該ＮＯ
ｘがオゾン発生装置のオゾンガス排出側に設置された機
器に腐食等の不具合を起こすという問題があった。ま
た、配管内面に付着している水分と該ＮＯｘが反応し、
硝酸（ＨＮＯ3）ができ、該硝酸が配管材等のステンレ
ススチール材の表面と反応し、オゾンガスがクロム汚染
されるという問題がある。
【０００６】上記ＮＯｘや硝酸（ＨＮＯ3）の発生によ
り起こる問題を回避するために、窒素（Ｎ2）ガスの代
わりに炭酸ガス（ＣＯ2）を添加する方法も提案されて
いるが、通常の半導体製造工場では、炭酸ガスを供給す
る配管が敷設されていないことから、いまだ実用化に至
っていない。
り起こる問題を回避するために、窒素（Ｎ2）ガスの代
わりに炭酸ガス（ＣＯ2）を添加する方法も提案されて
いるが、通常の半導体製造工場では、炭酸ガスを供給す
る配管が敷設されていないことから、いまだ実用化に至
っていない。
【０００７】本発明は上述の点に鑑みてなされたもの
で、上記問題点を除去し、オゾンガス中のオゾン濃度の
低下することのない、高純度酸素（Ｏ2）ガスを原料ガ
スとする放電式のオゾン発生装置を提供することを目的
とする。
で、上記問題点を除去し、オゾンガス中のオゾン濃度の
低下することのない、高純度酸素（Ｏ2）ガスを原料ガ
スとする放電式のオゾン発生装置を提供することを目的
とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
本発明は原料ガス供給管及びオゾンガス排出管で並列に
接続した複数台の放電セル、高圧電源及び該高圧電源を
制御する制御手段を具備し、該高圧電源からの高電圧を
該放電セルの電極に印加すると共に、原料ガス供給管を
通して該放電セルに高純度酸素ガスを送り、該放電セル
内の放電によりオゾンガスを発生させオゾンガス排出管
からオゾンガスを排出するように構成した放電方式のオ
ゾン発生装置において、オゾンガス排出管を通るオゾン
ガスのオゾン濃度を検出するオゾン濃度計を設け、該オ
ゾン濃度計の出力を制御手段にフィードバックしてオゾ
ンガスのオゾン濃度を所定の値に維持する制御手段を設
けると共に、複数台の放電セルの放電を順次オゾン濃度
が回復する迄の所定時間だけ停止させオゾン発生を休止
させる手段を設けたことを特徴とする。
本発明は原料ガス供給管及びオゾンガス排出管で並列に
接続した複数台の放電セル、高圧電源及び該高圧電源を
制御する制御手段を具備し、該高圧電源からの高電圧を
該放電セルの電極に印加すると共に、原料ガス供給管を
通して該放電セルに高純度酸素ガスを送り、該放電セル
内の放電によりオゾンガスを発生させオゾンガス排出管
からオゾンガスを排出するように構成した放電方式のオ
ゾン発生装置において、オゾンガス排出管を通るオゾン
ガスのオゾン濃度を検出するオゾン濃度計を設け、該オ
ゾン濃度計の出力を制御手段にフィードバックしてオゾ
ンガスのオゾン濃度を所定の値に維持する制御手段を設
けると共に、複数台の放電セルの放電を順次オゾン濃度
が回復する迄の所定時間だけ停止させオゾン発生を休止
させる手段を設けたことを特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態例を図
面に基づいて説明する。図１は本発明のオゾン発生装置
の構成を示す図である。オゾン発生装置１０は、原料ガ
ス供給管４及びオゾンガス排出管５で並列に接続した複
数の放電セル１−１〜１−６、高圧電源２−１〜２−
６、該高圧電源２−１〜２−６を制御する制御部３を具
備する点は上記従来例と同一である。
面に基づいて説明する。図１は本発明のオゾン発生装置
の構成を示す図である。オゾン発生装置１０は、原料ガ
ス供給管４及びオゾンガス排出管５で並列に接続した複
数の放電セル１−１〜１−６、高圧電源２−１〜２−
６、該高圧電源２−１〜２−６を制御する制御部３を具
備する点は上記従来例と同一である。
【００１０】本オゾン発生装置１０においては、放電セ
ル１−１〜１−６のそれぞれの原料ガス供給側の原料ガ
ス供給管４に開閉バルブ７−１〜７−６を設けると共
に、放電セル１−１〜１−６のそれぞれのオゾンガス排
出管５に開閉バルブ８−１〜８−６を設け、更にオゾン
ガス排出管５の放電セル１−１〜１−６からのオゾンガ
スが集合する部分にオゾンガス中のオゾン濃度を検出す
るオゾン濃度計６を設け、該オゾン濃度計６の出力を制
御部３にフィードバックしている。
ル１−１〜１−６のそれぞれの原料ガス供給側の原料ガ
ス供給管４に開閉バルブ７−１〜７−６を設けると共
に、放電セル１−１〜１−６のそれぞれのオゾンガス排
出管５に開閉バルブ８−１〜８−６を設け、更にオゾン
ガス排出管５の放電セル１−１〜１−６からのオゾンガ
スが集合する部分にオゾンガス中のオゾン濃度を検出す
るオゾン濃度計６を設け、該オゾン濃度計６の出力を制
御部３にフィードバックしている。
【００１１】上記構成のオゾン発生装置において、放電
セル１−１〜１−６に９９．９９９％以上の高純度の酸
素（Ｏ2）ガスを送り、放電によりオゾンを発生させる
のであるが、上記のように原因は定かではないが、放電
時間が長くなるとオゾンガス中のオゾン濃度が低下する
という問題がある。また、このオゾン濃度の低下は放電
セルの放電を一定の時間停止させ、その後に再び放電を
開始しオゾンを発生させるとオゾンガス中のオゾン濃度
が回復することも確認されている。
セル１−１〜１−６に９９．９９９％以上の高純度の酸
素（Ｏ2）ガスを送り、放電によりオゾンを発生させる
のであるが、上記のように原因は定かではないが、放電
時間が長くなるとオゾンガス中のオゾン濃度が低下する
という問題がある。また、このオゾン濃度の低下は放電
セルの放電を一定の時間停止させ、その後に再び放電を
開始しオゾンを発生させるとオゾンガス中のオゾン濃度
が回復することも確認されている。
【００１２】今、上記構成のオゾン発生装置において、
各放電セルが放電を開始してオゾンを発生させてからオ
ゾンガス中のオゾン濃度が仕様を満す迄の時間を１０時
間とし（１０時間過ぎるとオゾン濃度が低下して仕様を
満足しない）、放電を停止しオゾン発生を休止すること
によりオゾン濃度が回復する時間を２時間とし、需要オ
ゾンガス容量を満たすのに５台の放電セルを作動させる
必要があるとする。この場合、６台の放電セル１−１〜
１−６を図２に示すようなシーケンスで動作させること
により、原料ガスである高純度の酸素ガスに窒素
（Ｎ2）ガスを添加することなく、仕様の濃度を満足さ
せるオゾンガスを連続して供給することができる。
各放電セルが放電を開始してオゾンを発生させてからオ
ゾンガス中のオゾン濃度が仕様を満す迄の時間を１０時
間とし（１０時間過ぎるとオゾン濃度が低下して仕様を
満足しない）、放電を停止しオゾン発生を休止すること
によりオゾン濃度が回復する時間を２時間とし、需要オ
ゾンガス容量を満たすのに５台の放電セルを作動させる
必要があるとする。この場合、６台の放電セル１−１〜
１−６を図２に示すようなシーケンスで動作させること
により、原料ガスである高純度の酸素ガスに窒素
（Ｎ2）ガスを添加することなく、仕様の濃度を満足さ
せるオゾンガスを連続して供給することができる。
【００１３】図２において、放電セルＮＯ．１の放電セ
ル１−１はオゾン発生装置１０の運転開始から１０時間
連続して作動させその後２時間停止して該停止後再び１
０時間作動させ、放電セルＮＯ．２の放電セル１−２は
オゾン発生装置１０の運転開始から８時間連続して作動
させその後２時間停止して、停止後再び１０時間作動さ
せ、放電セルＮＯ．３の放電セル１−３はオゾン発生装
置１０の運転開始から６時間連続して作動させその後２
時間停止して、停止後再び１０時間作動させ、・・・と
いうように、６台の放電セル１−１〜１−６の内、常に
５台の放電セルでオゾンを発生するようにし、１台の放
電セルを停止しオゾン発生を休止させる。即ち、６台の
放電セル１−１〜１−６の内、順次１台の放電セルを２
時間だけ停止するように運転する。
ル１−１はオゾン発生装置１０の運転開始から１０時間
連続して作動させその後２時間停止して該停止後再び１
０時間作動させ、放電セルＮＯ．２の放電セル１−２は
オゾン発生装置１０の運転開始から８時間連続して作動
させその後２時間停止して、停止後再び１０時間作動さ
せ、放電セルＮＯ．３の放電セル１−３はオゾン発生装
置１０の運転開始から６時間連続して作動させその後２
時間停止して、停止後再び１０時間作動させ、・・・と
いうように、６台の放電セル１−１〜１−６の内、常に
５台の放電セルでオゾンを発生するようにし、１台の放
電セルを停止しオゾン発生を休止させる。即ち、６台の
放電セル１−１〜１−６の内、順次１台の放電セルを２
時間だけ停止するように運転する。
【００１４】この時、オゾン濃度計６でオゾンガス中の
オゾン濃度を測定し、その出力を制御部３に出力するこ
とにより、制御部３は高圧電源２−１〜２−６の高電圧
を制御してオゾンガス中のオゾン濃度が所定の値になる
ようにする。このとき開閉バルブ７−１〜７−６及び開
閉バルブ８−１〜８−６の開閉を制御し、オゾン発生を
休止している放電セルの原料ガス供給側及びオゾンガス
排出側を閉じて、該放電セルにはガスが通過しないよう
にする。
オゾン濃度を測定し、その出力を制御部３に出力するこ
とにより、制御部３は高圧電源２−１〜２−６の高電圧
を制御してオゾンガス中のオゾン濃度が所定の値になる
ようにする。このとき開閉バルブ７−１〜７−６及び開
閉バルブ８−１〜８−６の開閉を制御し、オゾン発生を
休止している放電セルの原料ガス供給側及びオゾンガス
排出側を閉じて、該放電セルにはガスが通過しないよう
にする。
【００１５】図１のオゾン発生装置の構成及び図２のそ
の動作シーケンス例は、一例であり、必要な放電セルの
台数や適切な放電セルの作動時間及び休止時間はユーザ
の仕様やオゾン発生装置の特性により異なるので、適宜
適切な放電セル台数や動作時間及び休止時間を選定する
ようにすればよい。
の動作シーケンス例は、一例であり、必要な放電セルの
台数や適切な放電セルの作動時間及び休止時間はユーザ
の仕様やオゾン発生装置の特性により異なるので、適宜
適切な放電セル台数や動作時間及び休止時間を選定する
ようにすればよい。
【００１６】なお、本発明のオゾン発生装置では複数台
の放電セルの内、少なくとも１台を休止させているの
で、原料ガスである高純度の酸素（Ｏ2）ガスに窒素
（Ｎ2）ガスを添加して、全放電セルを作動させる場合
に比較し、放電セル数が増加し、オゾン発生装置の大型
化、コストアップの要因となるが、窒素（Ｎ2）ガスを
添加することにより発生する上記問題が起きないことか
ら、本発明はこれらの要因を吸収し、且つ十分な効果を
発揮する。
の放電セルの内、少なくとも１台を休止させているの
で、原料ガスである高純度の酸素（Ｏ2）ガスに窒素
（Ｎ2）ガスを添加して、全放電セルを作動させる場合
に比較し、放電セル数が増加し、オゾン発生装置の大型
化、コストアップの要因となるが、窒素（Ｎ2）ガスを
添加することにより発生する上記問題が起きないことか
ら、本発明はこれらの要因を吸収し、且つ十分な効果を
発揮する。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
オゾンガス排出管を通るオゾンガスのオゾン濃度を検出
するオゾン濃度計を設け、該オゾン濃度計の出力を制御
手段にフィードバックしてオゾンガスのオゾン濃度を所
定の値に維持する制御手段を設けると共に、複数の放電
セルの放電を順次オゾン濃度が回復する迄の所定時間だ
け停止させオゾン発生を休止させる手段を設けたので、
下記のような優れた効果が得られる。
オゾンガス排出管を通るオゾンガスのオゾン濃度を検出
するオゾン濃度計を設け、該オゾン濃度計の出力を制御
手段にフィードバックしてオゾンガスのオゾン濃度を所
定の値に維持する制御手段を設けると共に、複数の放電
セルの放電を順次オゾン濃度が回復する迄の所定時間だ
け停止させオゾン発生を休止させる手段を設けたので、
下記のような優れた効果が得られる。
【００１８】高純度の酸素（Ｏ2）ガスを原料ガスとし
ながら常に一定の濃度のオゾンガスを供給でき、且つ窒
素（Ｎ2）ガスを添加することによる問題を全て解消で
きる。
ながら常に一定の濃度のオゾンガスを供給でき、且つ窒
素（Ｎ2）ガスを添加することによる問題を全て解消で
きる。
【図１】本発明のオゾン発生装置の構成例を示す図であ
る。
る。
【図２】本発明のオゾン発生装置の放電セルの動作シー
ケンス例を示す図である。
ケンス例を示す図である。
【図３】従来のオゾン発生装置の構成例を示す図であ
る。
る。
１−１〜１−６ 放電セル ２−１〜２−６ 高圧電源 ３ 制御部 ４ 原料ガス供給管 ５ オゾンガス排出管 ６ オゾン濃度計 ７−１〜７−６ 開閉バルブ ８−１〜８−６ 開閉バルブ １０ オゾン発生装置
Claims (2)
- 【請求項１】 原料ガス供給管及びオゾンガス排出管で
並列に接続した複数の放電セル、高圧電源及び該高圧電
源を制御する制御手段を具備し、該高圧電源からの高電
圧を該放電セルの電極に印加すると共に、前記原料ガス
供給管を通して該放電セルに高純度酸素ガスを送り、該
放電セル内の放電によりオゾンガスを発生させ前記オゾ
ンガス排出管からオゾンガスを排出するように構成した
放電方式のオゾン発生装置において、 前記オゾンガス排出管を通るオゾンガスのオゾン濃度を
検出するオゾン濃度計を設け、該オゾン濃度計の出力を
前記制御手段にフィードバックしてオゾンガスのオゾン
濃度を所定の値に維持する制御手段を設けると共に、前
記複数台の放電セルの放電を順次オゾン濃度が回復する
迄の所定時間だけ停止させてオゾン発生を休止させる手
段を設けたことを特徴とするオゾン発生装置。 - 【請求項２】 前記高純度酸素ガスの純度は９９．９９
９％以上であることを特徴とする請求項１に記載のオゾ
ン発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18761597A JPH1121111A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | オゾン発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18761597A JPH1121111A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | オゾン発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1121111A true JPH1121111A (ja) | 1999-01-26 |
Family
ID=16209216
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18761597A Pending JPH1121111A (ja) | 1997-06-27 | 1997-06-27 | オゾン発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1121111A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013076375A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Ihi Corp | オゾン発生装置 |
| JP2014047669A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Denso Corp | オゾン生成手段を含むエンジン用ＮＯｘ後処理装置 |
| KR102048663B1 (ko) * | 2019-09-28 | 2019-11-25 | 임상준 | 압력조절모듈이 결합된 오존발생시스템 |
| KR102048658B1 (ko) * | 2019-06-13 | 2019-11-25 | 임상준 | 오존발생시스템 |
| KR102048662B1 (ko) * | 2019-09-28 | 2019-11-25 | 임상준 | 복수의 오존생성모듈이 결합된 오존발생시스템 |
| KR102107141B1 (ko) * | 2019-11-05 | 2020-05-26 | 주식회사 에코원테크놀로지 | 냉각성능 및 효율이 향상되고 생산성 및 유지 관리가 경제적인 모듈형 오존발생장치 |
| KR20200104630A (ko) * | 2019-02-27 | 2020-09-04 | 하이나노텍(주) | 의료용 오존수 발생/공급 장치 |
-
1997
- 1997-06-27 JP JP18761597A patent/JPH1121111A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013076375A (ja) * | 2011-09-30 | 2013-04-25 | Ihi Corp | オゾン発生装置 |
| JP2014047669A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Denso Corp | オゾン生成手段を含むエンジン用ＮＯｘ後処理装置 |
| KR20200104630A (ko) * | 2019-02-27 | 2020-09-04 | 하이나노텍(주) | 의료용 오존수 발생/공급 장치 |
| KR102048658B1 (ko) * | 2019-06-13 | 2019-11-25 | 임상준 | 오존발생시스템 |
| KR102048663B1 (ko) * | 2019-09-28 | 2019-11-25 | 임상준 | 압력조절모듈이 결합된 오존발생시스템 |
| KR102048662B1 (ko) * | 2019-09-28 | 2019-11-25 | 임상준 | 복수의 오존생성모듈이 결합된 오존발생시스템 |
| KR102107141B1 (ko) * | 2019-11-05 | 2020-05-26 | 주식회사 에코원테크놀로지 | 냉각성능 및 효율이 향상되고 생산성 및 유지 관리가 경제적인 모듈형 오존발생장치 |
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