JPH11209573A - Sealing resin composition and semiconductor sealing device - Google Patents
Sealing resin composition and semiconductor sealing deviceInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、Pd、Pd−Au
メッキを施したフレームを組み込んだ半導体パッケージ
において、耐リフロークラック性等の信頼性に優れた封
止用エポキシ樹脂組成物および半導体封止装置に関す
る。The present invention relates to Pd, Pd-Au
The present invention relates to an epoxy resin composition for encapsulation and a semiconductor encapsulation device having excellent reliability such as reflow crack resistance in a semiconductor package incorporating a plated frame.
【0002】[0002]
【従来の技術】最近の半導体装置では、半田メッキに換
えて、PdやPd−Au等のプレプレーティングを施し
たフレームを採用した半導体パッケージが増加してい
る。2. Description of the Related Art In recent semiconductor devices, the number of semiconductor packages employing a frame plated with Pd or Pd-Au instead of solder plating is increasing.
【0003】従来のエポキシ樹脂、ノボラック型フェノ
ール樹脂及び無機質充填剤からなる樹脂組成物によって
封止したPdやPd−Au等のプレプレーティングフレ
ームを採用した半導体装置は、該プレプレーティングフ
レームと封止樹脂との接着性が著しく悪いという欠点が
あった。特に吸湿した半導体装置を赤外線(IR)リフ
ロー方式で表面実装すると、封止樹脂とリードフレー
ム、あるいは封止樹脂と半導体チップとの間の剥がれが
生じて著しい耐湿劣化を起こし、電極の腐食による断線
や水分によるリーク電流を生じ、その結果、半導体装置
は、長期間の信頼性を保証することができないという欠
点があった。このため、耐湿性の影響が少なく、半導体
装置全体のIRリフローによる表面実装を行っても耐湿
劣化の少ない成形性のよい材料の開発が強く要望されて
いた。[0003] Conventional semiconductor devices employing a pre-plating frame of Pd or Pd-Au sealed with a resin composition comprising an epoxy resin, a novolak-type phenol resin and an inorganic filler, are not sealed with the pre-plating frame. There was a drawback that the adhesion to the resin was extremely poor. In particular, when a semiconductor device that has absorbed moisture is surface-mounted by an infrared (IR) reflow method, peeling occurs between the sealing resin and the lead frame or between the sealing resin and the semiconductor chip, causing remarkable moisture resistance deterioration and disconnection due to corrosion of the electrode. Leakage current due to moisture or moisture, and as a result, the semiconductor device has a drawback that long-term reliability cannot be guaranteed. For this reason, there has been a strong demand for the development of a material which has little influence on moisture resistance and has good moldability with little moisture resistance deterioration even if surface mounting of the entire semiconductor device is performed by IR reflow.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の欠点
を解消し、上記要望に応えるためになされたもので、P
d、Pd−Au等のプレプレーティングフレームとの接
着性が高く、特に耐リフロー性とリフロー後の信頼性に
優れた、成形性のよい、封止用樹脂組成物および半導体
封止装置を提供しようとするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned drawbacks and to meet the above-mentioned demands.
Provided are a sealing resin composition and a semiconductor sealing device having high adhesiveness to a pre-plating frame such as d, Pd-Au, etc., and particularly excellent in reflow resistance and reliability after reflow, and having good moldability. What you want to do.
【0005】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の目的
を達成しようと鋭意研究を重ねた結果、樹脂組成物にジ
ブチルチオ尿素を配合することによって、Pd、Pd−
Au等のプレプレーティングフレームとの接着性を大幅
に向上し、上記目的が達成されることを見いだして、本
発明を完成したものである。Means for Solving the Problems As a result of diligent studies aimed at achieving the above object, the present inventor has found that by adding dibutylthiourea to a resin composition, Pd, Pd-
The present invention has been completed by finding that the above-mentioned object is achieved by greatly improving the adhesion to a pre-plating frame of Au or the like.
【0006】即ち、本発明は、(A)エポキシ樹脂、
(B)ノボラック型フェノール樹脂、(C)ジブチルチ
オ尿素および(D)無機質充填剤を必須成分とし、樹脂
組成物に対して、前記(C)のジブチルチオ尿素を0.01
〜0.5 重量%、また前記(D)の無機質充填剤を25〜95
重量%の割合で含有してなることを特徴とする封止用樹
脂組成物である。またこの封止用樹脂組成物の硬化物に
よって、半導体チップを封止してなることを特徴とする
半導体封止装置である。That is, the present invention provides (A) an epoxy resin,
(B) Novolak type phenol resin, (C) dibutylthiourea and (D) an inorganic filler are essential components, and the dibutylthiourea of (C) is added to the resin composition in an amount of 0.01%.
To 0.5% by weight, and 25 to 95% by weight of the inorganic filler of (D).
It is a resin composition for encapsulation characterized in that it is contained in a proportion of% by weight. Further, there is provided a semiconductor encapsulating apparatus characterized in that a semiconductor chip is encapsulated with a cured product of the encapsulating resin composition.
【0007】以下、本発明を詳細に説明する。Hereinafter, the present invention will be described in detail.
【0008】本発明に用いる(A)エポキシ樹脂として
は、その分子中にエポキシ基を少なくとも2 個有する化
合物である限り、分子構造、分子量など特に制限はな
く、一般に封止用材料として使用されているものを広く
包含することができる。例えば、ビフェニル型、ビスフ
ェノール型の芳香族系、シクロヘキサン誘導体等脂肪族
系、また、次の一般式で示されるエポキシノボラック系
のエポキシ樹脂等が挙げられる。The epoxy resin (A) used in the present invention is not particularly limited in molecular structure and molecular weight, as long as it is a compound having at least two epoxy groups in the molecule, and is generally used as a sealing material. Can be widely encompassed. For example, biphenyl type, bisphenol type aromatic type, aliphatic type such as cyclohexane derivative, and epoxy novolak type epoxy resin represented by the following general formula can be used.
【0009】[0009]
【化1】 (但し、式中、R1 は水素原子、ハロゲン原子又はアル
キル基を、R2 は水素原子又はアルキル基を、nは1 以
上の整数をそれぞれ表す) これらのエポキシ樹脂は、単独もしくは2 種以上混合し
て用いることができる。本発明に用いる(B)ノボラッ
ク型フェノール樹脂としては、フェノール、アルキルフ
ェノール等のフェノール類とホルムアルデヒド、パラホ
ルムアルデヒド等のアルデヒド類とを反応させて得られ
るノボラック型フェノール樹脂およびこれらの変性樹
脂、例えばエポキシ化もしくはブチル化ノボラック型フ
ェノール樹脂等が挙げられ、これらの樹脂は、単独もし
くは2 種以上混合して用いる。ノボラック型フェノール
樹脂の配合割合は、前述したエポキシ樹脂のエポキシ基
(a)とノボラック型フェノール樹脂のフェノール性水
酸基(b)との当量比[(a)/(b)]が0.1 〜10の
範囲内であることが望ましい。当量比が0.1 未満もしく
は10を超えると、耐熱性、耐湿性、成形作業性および硬
化物の電気特性が悪くなり、いずれの場合も好ましくな
い。従って上記の範囲内に限定するのが良い。本発明に
用いる(C)ジブチルチオ尿素は、次の構造式に示され
るものである。Embedded image (Wherein, R 1 represents a hydrogen atom, a halogen atom or an alkyl group, R 2 represents a hydrogen atom or an alkyl group, and n represents an integer of 1 or more.) These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more. They can be used in combination. As the novolak type phenol resin (B) used in the present invention, novolak type phenol resins obtained by reacting phenols such as phenol and alkylphenol with aldehydes such as formaldehyde and paraformaldehyde, and modified resins thereof, for example, epoxidation Alternatively, a butylated novolak type phenol resin may be used, and these resins may be used alone or in combination of two or more. The mixing ratio of the novolak type phenol resin is such that the equivalent ratio [(a) / (b)] of the epoxy group (a) of the epoxy resin to the phenolic hydroxyl group (b) of the novolak type phenol resin is in the range of 0.1 to 10. It is desirable to be within. If the equivalent ratio is less than 0.1 or more than 10, heat resistance, moisture resistance, molding workability, and electrical properties of the cured product are deteriorated, and any case is not preferable. Therefore, it is better to limit to the above range. (C) Dibutylthiourea used in the present invention is represented by the following structural formula.
【0010】[0010]
【化2】 また、このジブチルチオ尿素には、更に他の加硫促進剤
と酸化亜鉛、酸化マグネシウムを併用することもでき
る。Embedded image In addition, other vulcanization accelerators and zinc oxide or magnesium oxide can be used in combination with this dibutylthiourea.
【0011】ジブチルチオ尿素の配合割合は、全体の樹
脂組成物に対して0.01〜0.5 重量%含有することが望ま
しい。この配合割合が0.01重量%未満では、Pd、Pd
−Au、等のプレプレーティングフレームとの接着力の
向上に効果なく、また、0.5重量%を超えると、封止樹
脂の硬化等に悪影響を与え、実用に適さず好ましくな
い。The mixing ratio of dibutylthiourea is desirably 0.01 to 0.5% by weight based on the whole resin composition. If this compounding ratio is less than 0.01% by weight, Pd, Pd
-Au has no effect on improving the adhesive strength to the pre-plating frame, and if it exceeds 0.5% by weight, it adversely affects the curing of the sealing resin and is not suitable for practical use and is not preferable.
【0012】本発明に用いる(D)無機質充填剤として
は、シリカ粉末、アルミナ粉末、三酸化アンチモン、タ
ルク、炭酸カルシウム、チタンホワイト、クレー、マイ
カ、ベンガラ、ガラス繊維等が挙げられ、これらは単独
又は2 種以上混合して使用することができる。これらの
中でも特にシリカ粉末やアルミナ粉末が好ましく、よく
使用される。無機質充填剤の配合割合は、全体の樹脂組
成物に対して25〜95重量%の割合で含有することが望ま
しい。その割合が25重量%未満では、耐熱性、耐湿性、
半田耐熱性、機械的特性および成形性が悪くなり、ま
た、95重量%を超えるとカサバリが大きくなり、成形性
に劣り実用に適さない。The inorganic filler (D) used in the present invention includes silica powder, alumina powder, antimony trioxide, talc, calcium carbonate, titanium white, clay, mica, red iron oxide, glass fiber and the like. Alternatively, two or more kinds can be used in combination. Among these, silica powder and alumina powder are particularly preferable and are often used. The inorganic filler is desirably contained in a proportion of 25 to 95% by weight based on the whole resin composition. If the proportion is less than 25% by weight, heat resistance, moisture resistance,
Solder heat resistance, mechanical properties, and moldability deteriorate, and if it exceeds 95% by weight, burrs increase, resulting in poor moldability and not suitable for practical use.
【0013】本発明の封止用樹脂組成物は、エポキシ樹
脂、ノボラック型フェノール樹脂、ジブチルチオ尿素お
よび無機質充填剤を必須成分とするが、本発明の目的に
反しない限度において、また必要に応じて、例えば天然
ワックス類、合成ワックス類、直鎖脂肪酸の金属塩、酸
アミド類、エステル類、パラフィン類等の離型剤、塩素
化パラフィン、ブロム化トルエン、ヘキサブロムベンゼ
ン、三酸化アンチモン等の難燃剤、エラストマー等の低
応力成分、カーボンブラック、ベンガラ等の着色剤、種
々の硬化促進剤等を適宜、添加配合することができる。The encapsulating resin composition of the present invention contains an epoxy resin, a novolak-type phenol resin, dibutylthiourea and an inorganic filler as essential components, but as far as it does not contradict the object of the present invention, and if necessary. For example, natural waxes, synthetic waxes, metal salts of linear fatty acids, release agents such as acid amides, esters, paraffins, etc., and difficulties such as chlorinated paraffins, brominated toluene, hexabromobenzene, and antimony trioxide Flame retardants, low-stress components such as elastomers, coloring agents such as carbon black and red iron, various curing accelerators, and the like can be appropriately added and blended.
【0014】本発明の封止用樹脂組成物を成形材料とし
て調製する場合の一般的な方法としては、エポキシ樹
脂、ノボラック型フェノール樹脂、ジブチルチオ尿素、
無機質充填剤およびその他の成分を配合し、ミキサー等
によって十分均一に混合した後、さらに熱ロールによる
溶融混合処理又はニーダ等による混合処理を行い、次い
で冷却固化させ、適当な大きさに粉砕して成形材料とす
ることができる。こうして得られた成形材料は、半導体
装置をはじめとする電子部品あるいは電気部品の封止、
被覆、絶縁等に適用すれば、優れた特性と信頼性を付与
させることができる。The general method for preparing the encapsulating resin composition of the present invention as a molding material includes epoxy resin, novolak phenol resin, dibutylthiourea,
After blending the inorganic filler and other components and mixing them sufficiently uniformly with a mixer or the like, further perform a melting and mixing treatment with a hot roll or a mixing treatment with a kneader or the like, and then cool and solidify and pulverize to an appropriate size. It can be a molding material. The molding material thus obtained is used for encapsulation of electronic components or electric components including semiconductor devices,
When applied to coating, insulation and the like, excellent characteristics and reliability can be imparted.
【0015】本発明の半導体封止装置は、上記のように
して得られた封止用樹脂を用いて、半導体チップを封止
することにより容易に製造することができる。封止の最
も一般的な方法としては、低圧トランスファー成形法が
あるが、射出成形、圧縮成形、注型等による封止も可能
である。封止用樹脂組成物を封止の際に加熱して硬化さ
せ、最終的にはこの組成物の硬化物によって封止された
半導体封止装置が得られる。加熱による硬化は、150 ℃
以上に加熱して硬化させることが望ましい。封止を行う
半導体装置としては、例えば集積回路、大規模集積回
路、トランジスタ、サイリスタ、ダイオード等で特に限
定されるものではない。The semiconductor sealing device of the present invention can be easily manufactured by sealing a semiconductor chip using the sealing resin obtained as described above. The most common sealing method is a low-pressure transfer molding method, but sealing by injection molding, compression molding, casting or the like is also possible. The sealing resin composition is heated and cured at the time of sealing, and finally a semiconductor sealing device sealed with a cured product of this composition is obtained. 150 ° C for curing by heating
It is desirable to cure by heating as described above. The semiconductor device for sealing is not particularly limited, for example, with an integrated circuit, a large-scale integrated circuit, a transistor, a thyristor, a diode, and the like.
【0016】[0016]
【作用】本発明の封止用樹脂組成物および半導体封止装
置は、樹脂組成物成分としてジブチルチオ尿素を用いた
ことによって、目的とする特性が得られるものである。
即ち、ジブチルチオ尿素は樹脂組成物とPd、Pd−A
u等のプレプレーティングフレームとの接着力を向上さ
せ、半導体パッケージにおいて耐リフロークラック性等
の信頼性を向上させることができる。According to the sealing resin composition and the semiconductor sealing device of the present invention, desired characteristics can be obtained by using dibutylthiourea as a resin composition component.
That is, dibutyl thiourea is mixed with Pd and Pd-A
It is possible to improve the adhesive strength with the pre-plating frame such as u, and to improve the reliability of the semiconductor package such as reflow crack resistance.
【0017】[0017]
【発明の実施の形態】次に本発明を実施例によって具体
的に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定
されるものではない。以下の実施例及び比較例において
「%」とは「重量%」を意味する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, the present invention will be described specifically with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. In the following Examples and Comparative Examples, “%” means “% by weight”.
【0018】実施例1 クレゾールノボラックエポキシ樹脂(エポキシ当量215
)19%に、ノボラック型フェノール樹脂(フェノール
当量107 )9 %、次の化3に示したジブチルチオ尿素0.
05%、Example 1 Cresol novolak epoxy resin (epoxy equivalent 215)
) 19%, novolak type phenol resin (phenol equivalent 107) 9%, dibutylthiourea 0.1% as shown in the following chemical formula 3.
05%,
【0019】[0019]
【化3】 溶融シリカ粉末71%およびエステル系ワックス類 0.3%
を配合し、常温で混合し、さらに90〜95℃で混練してこ
れを冷却粉砕して成形材料を製造した。この成形材料を
170 ℃に加熱した金型内にトランスファー注入し、硬化
させて成形品(封止品)をつくった。この成形品につい
てPdとPd−Auのプレプレーティングフレームに対
する接着力、耐湿性を試験したので、その結果を表1に
示した。特に接着力において本発明の顕著な効果が認め
られた。Embedded image Fused silica powder 71% and ester waxes 0.3%
Was mixed at room temperature, kneaded at 90-95 ° C., and cooled and pulverized to produce a molding material. This molding material
Transfer was injected into a mold heated to 170 ° C. and cured to form a molded product (sealed product). This molded article was tested for adhesion and moisture resistance of Pd and Pd-Au to a pre-plating frame, and the results are shown in Table 1. In particular, a remarkable effect of the present invention was observed in adhesive strength.
【0020】実施例2 ビフェニル型エポキシ樹脂(エポキシ当量215 )17%
に、ノボラック型フェノール樹脂(フェノール当量107
)8 %、前記した化3のジブチルチオ尿素0.06%、シ
リカ粉末74%およびエステル系ワックス類 0.3%を実施
例1と同様に混合、混練、粉砕して成形材料を製造し
た。また、実施例1と同様にして成形品をつくり、Pd
とPd−Auのプレプレーティングフレームに対する接
着力、耐湿性の特性試験を行ったのでその結果を表1に
示した。特に接着力において本発明の顕著な効果が認め
られた。Example 2 Biphenyl type epoxy resin (epoxy equivalent: 215) 17%
Novolak type phenol resin (phenol equivalent 107
8), 0.06% of the above-mentioned dibutylthiourea of formula 3, 74% of silica powder and 0.3% of ester waxes were mixed, kneaded and pulverized in the same manner as in Example 1 to produce a molding material. Further, a molded article was prepared in the same manner as in Example 1, and Pd was formed.
Table 1 shows the results of a characteristic test of adhesion strength and moisture resistance of Pd and Au to a pre-plating frame. In particular, a remarkable effect of the present invention was observed in adhesive strength.
【0021】実施例3 クレゾールノボラックエポキシ樹脂(エポキシ当量215
)19%に、ノボラック型フェノールアラルキル樹脂
(フェノール当量107 )9 %、前記した化3のジブチル
チオ尿素0.06%、γ−グリシドキシプロピルトリメトキ
シシラン0.2 %、シリカ粉末71%およびエステル系ワッ
クス0.3 %を実施例1と同様に混合、混練、粉砕して成
形材料を製造した。また、実施例1と同様にして成形品
をつくり、PdとPd−Auのプレプレーティングフレ
ームに対する接着力、耐湿性を試験したので、その結果
を表1に示した。特に接着力において本発明の顕著な効
果が認められた。Example 3 Cresol novolak epoxy resin (epoxy equivalent: 215
19%, 9% of novolak type phenol aralkyl resin (phenol equivalent 107), 0.06% of dibutylthiourea of the above formula 3, 0.2% of γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 71% of silica powder and 0.3% of ester wax Was mixed, kneaded and pulverized in the same manner as in Example 1 to produce a molding material. Further, a molded article was prepared in the same manner as in Example 1, and the adhesion and moisture resistance of Pd and Pd-Au to the pre-plating frame were tested. The results are shown in Table 1. In particular, a remarkable effect of the present invention was observed in adhesive strength.
【0022】比較例 クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(エポキシ当量21
5 )19%に、ノボラック型フェノール樹脂(フェノール
当量107 )9 %、シリカ粉末71%、硬化促進剤0.3 %、
エステル系ワックス類 0.3%およびシラン系カップリン
グ剤 0.4%を混合し、実施例1と同様にして成形材料を
製造した。この成形材料を用いて成形品とし、成形品の
諸特性について実施例1と同様にして試験を行い、その
結果を表1に示した。Comparative Example Cresol novolak type epoxy resin (epoxy equivalent 21
5) Novolak type phenol resin (phenol equivalent 107) 9%, silica powder 71%, curing accelerator 0.3%, 19%
A molding material was manufactured in the same manner as in Example 1 by mixing 0.3% of the ester wax and 0.4% of the silane coupling agent. A molded article was formed using this molding material, and a test was performed on various characteristics of the molded article in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
【0023】[0023]
【表1】 *1 :トランスファー成形によって接着面積4 mm2 の
成形品を、PdまたはPd−Auプレプレーティングさ
れた上に成形し、175 ℃,8 時間放置した後、剪断接着
力を求めた。 *2 :トランスファー成形によって成形品をつくり、こ
れを175 ℃,8 時間の後硬化を行い、熱機器分析装置を
用いて測定した。 *3 :成形材料を用いて、2 本以上のアルミニウム配線
を有するシリコン製チップ(テスト用素子)をPdプレ
プレーティングフレームに接着し、175 ℃で2 分間トラ
ンスファー成形して、QFP−208P,2.8 mmt の
成形品をつくり、これを175 ℃,8 時間の後硬化を行っ
た。こうして得た成形品を予め、40℃,90%RH,100
時間の吸湿処理した後、Max240 ℃のIRリフロー炉
を4 回通した。その後、127 ℃,2.5 気圧の飽和水蒸気
中でPCTを行い、アルミニウムの腐食による断線を不
良として評価した。[Table 1] * 1: A molded article having an adhesive area of 4 mm 2 was formed by Pd or Pd-Au pre-plating by transfer molding, left at 175 ° C. for 8 hours, and then the shear adhesive strength was determined. * 2: A molded article was prepared by transfer molding, post-cured at 175 ° C for 8 hours, and measured using a thermal equipment analyzer. * 3: Using a molding material, a silicon chip (test element) having two or more aluminum wirings is adhered to a Pd pre-plating frame, transfer molded at 175 ° C for 2 minutes, and QFP-208P, 2.8 make moldings mm t, which 175 ° C., was cured after 8 hours. The molded article thus obtained was previously prepared at 40 ° C., 90% RH, 100
After the moisture absorption treatment for a period of time, the mixture was passed four times through an IR reflow furnace at Max 240 ° C. Thereafter, PCT was performed in saturated steam at 127 ° C. and 2.5 atm, and a disconnection due to aluminum corrosion was evaluated as defective.
【0024】[0024]
【発明の効果】以上の説明および表1から明らかなよう
に、本発明の封止用樹脂組成物および半導体封止装置
は、Pd、Pd−Auメッキのインサートとの接着性に
優れ、IRリフロー後においても剥離することなく、耐
湿性に優れ、その結果、電極の腐食による断線や水分に
よるリーク電流の発生等を著しく低減することができ、
しかも長期間にわたって信頼性を保証することができ
る。As apparent from the above description and Table 1, the encapsulating resin composition and the semiconductor encapsulating apparatus of the present invention have excellent adhesiveness with Pd and Pd-Au plated inserts and have an IR reflow. Without exfoliation even after, excellent in moisture resistance, as a result, it is possible to significantly reduce the occurrence of leakage current due to disconnection or moisture due to electrode corrosion,
Moreover, reliability can be guaranteed for a long period of time.
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI //(C08K 13/02 5:405 3:00) Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI // (C08K 13/02 5: 405 3:00)
Claims (2)
型フェノール樹脂、(C)ジブチルチオ尿素および
(D)無機質充填剤を必須成分とし、樹脂組成物に対し
て、前記(C)のジブチルチオ尿素を0.01〜0.5 重量
%、また前記(D)の無機質充填剤を25〜95重量%の割
合で含有してなることを特徴とする封止用樹脂組成物。1. An epoxy resin, (B) a novolak-type phenol resin, (C) dibutylthiourea and (D) an inorganic filler are essential components, and the dibutylthiourea of (C) is added to the resin composition. , And the inorganic filler of (D) in an amount of 25 to 95% by weight.
型フェノール樹脂、(C)ジブチルチオ尿素および
(D)無機質充填剤を必須成分とし、樹脂組成物に対し
て、前記(C)のジブチルチオ尿素を0.01〜0.5 重量
%、また前記(D)の無機質充填剤を25〜95重量%の割
合で含有した封止用樹脂組成物の硬化物によって、半導
体チップを封止してなることを特徴とする半導体封止装
置。2. An epoxy resin, (B) a novolak-type phenol resin, (C) dibutylthiourea and (D) an inorganic filler are essential components, and the dibutylthiourea of (C) is added to the resin composition. Wherein the semiconductor chip is sealed with a cured product of a sealing resin composition containing 0.01 to 0.5% by weight and the inorganic filler (D) in a ratio of 25 to 95% by weight. Semiconductor sealing device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2912098A JPH11209573A (en) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | Sealing resin composition and semiconductor sealing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2912098A JPH11209573A (en) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | Sealing resin composition and semiconductor sealing device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11209573A true JPH11209573A (en) | 1999-08-03 |
Family
ID=12267459
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2912098A Pending JPH11209573A (en) | 1998-01-27 | 1998-01-27 | Sealing resin composition and semiconductor sealing device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11209573A (en) |
-
1998
- 1998-01-27 JP JP2912098A patent/JPH11209573A/en active Pending
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