JPH11207597A - 細線ワイヤソー装置 - Google Patents
細線ワイヤソー装置Info
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- JPH11207597A JPH11207597A JP1549398A JP1549398A JPH11207597A JP H11207597 A JPH11207597 A JP H11207597A JP 1549398 A JP1549398 A JP 1549398A JP 1549398 A JP1549398 A JP 1549398A JP H11207597 A JPH11207597 A JP H11207597A
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 精密電子部品材料等に細幅の溝入れ及び切断
代の少ない切断加工を行うワイヤ径がΦ０．０６mm以下
程度の簡易な構造で安価な細線ワイヤソー装置を提供す
る。 【解決手段】 細線ワイヤを低速で一方向に一定張力で
走行させる手段と、ワーク固定台を回転自在に保持し回
転運動を行わせる手段と、このワーク固定台を任意の角
度位置で固定保持する手段と、揺動テーブルを直線的に
摺動自在に保持し往復揺動運動を行わせる手段とを有す
ることを特徴とする。前記手段によれば、細線ワイヤを
新線供給の役割として低速で一方向走行させた張力変動
の少ない状態で、ワーク固定台が回転運動や揺動運動を
行うことにより加工に必要な相対速度を確保することが
できる。この作用により細線ワイヤでもワイヤ破断のな
い状態で加工することができ、細幅の溝入れ加工や切断
代の少ない切断加工を行う簡易な構造で安価な細線ワイ
ヤソー装置を提供することができる。
代の少ない切断加工を行うワイヤ径がΦ０．０６mm以下
程度の簡易な構造で安価な細線ワイヤソー装置を提供す
る。 【解決手段】 細線ワイヤを低速で一方向に一定張力で
走行させる手段と、ワーク固定台を回転自在に保持し回
転運動を行わせる手段と、このワーク固定台を任意の角
度位置で固定保持する手段と、揺動テーブルを直線的に
摺動自在に保持し往復揺動運動を行わせる手段とを有す
ることを特徴とする。前記手段によれば、細線ワイヤを
新線供給の役割として低速で一方向走行させた張力変動
の少ない状態で、ワーク固定台が回転運動や揺動運動を
行うことにより加工に必要な相対速度を確保することが
できる。この作用により細線ワイヤでもワイヤ破断のな
い状態で加工することができ、細幅の溝入れ加工や切断
代の少ない切断加工を行う簡易な構造で安価な細線ワイ
ヤソー装置を提供することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、精密電子部品材料
等に細幅の溝入れ及び切断代の少ない切断加工を行う細
線ワイヤソー装置に関するものである。
等に細幅の溝入れ及び切断代の少ない切断加工を行う細
線ワイヤソー装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は、一般的な従来のワイヤソー装置
の概要を示している。一般的な従来のワイヤソー装置用
のワイヤ７０（Φ０．０８ｍｍ程度以上）は、一定のピ
ッチで溝を形成された多溝ローラ３に一定な張力をかけ
られた状態で巻き付けられており、シーソー機構７３を
介して高速反転往復走行する。ダミー板２を介して上下
切り込みテーブル２１に固定されたワーク１は、砥液を
供給されながらこのワイヤ７０に対して上下切り込みテ
ーブル２１の切り込み動作により押し付けられて切断及
び溝入れ加工される。
の概要を示している。一般的な従来のワイヤソー装置用
のワイヤ７０（Φ０．０８ｍｍ程度以上）は、一定のピ
ッチで溝を形成された多溝ローラ３に一定な張力をかけ
られた状態で巻き付けられており、シーソー機構７３を
介して高速反転往復走行する。ダミー板２を介して上下
切り込みテーブル２１に固定されたワーク１は、砥液を
供給されながらこのワイヤ７０に対して上下切り込みテ
ーブル２１の切り込み動作により押し付けられて切断及
び溝入れ加工される。
【０００３】また、ワイヤ７０の加工による摩耗を考慮
して、一定速度で新線のワイヤ７０が送り出しボビン７
１より送り出され、一定張力で巻き取りボビン７２に巻
き取とられる。
して、一定速度で新線のワイヤ７０が送り出しボビン７
１より送り出され、一定張力で巻き取りボビン７２に巻
き取とられる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら一般的な
従来のワイヤソー装置では、ワイヤの高速反転往復動時
に若干の張力変動が存在する。従って、細線ワイヤ（Φ
０．０６ｍｍ程度以下）を使用する時には、この高速反
転往復動時の張力変動は無視できず、ワイヤ破断の危険
がある。また、細線ワイヤの張力変動を少なくするため
に、細線ワイヤを反転走行させずに低速で一方向に一定
張力で走行させると、加工に必要な細線ワイヤとワーク
との相対速度が得られず溝曲がり等が発生し易くなり加
工精度と能率との観点から問題がある。従って、高速反
転往復動型の一般的な従来のワイヤソー装置を用いて実
用的な細線ワイヤソー装置を実現するためには、より精
度の高い張力安定機構にする必要があり複雑で高価なも
のになるという問題があった。
従来のワイヤソー装置では、ワイヤの高速反転往復動時
に若干の張力変動が存在する。従って、細線ワイヤ（Φ
０．０６ｍｍ程度以下）を使用する時には、この高速反
転往復動時の張力変動は無視できず、ワイヤ破断の危険
がある。また、細線ワイヤの張力変動を少なくするため
に、細線ワイヤを反転走行させずに低速で一方向に一定
張力で走行させると、加工に必要な細線ワイヤとワーク
との相対速度が得られず溝曲がり等が発生し易くなり加
工精度と能率との観点から問題がある。従って、高速反
転往復動型の一般的な従来のワイヤソー装置を用いて実
用的な細線ワイヤソー装置を実現するためには、より精
度の高い張力安定機構にする必要があり複雑で高価なも
のになるという問題があった。
【０００５】本発明は、このような問題に対して細線ワ
イヤを用いた細線ワイヤソー装置を簡易な構造で安価に
成立させることを目的としたものである。
イヤを用いた細線ワイヤソー装置を簡易な構造で安価に
成立させることを目的としたものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、請求項１に記載の発明による細線ワイヤソー装
置は、細線ワイヤを低速で一方向に一定張力で走行させ
る手段と、ワーク固定台を回転自在に保持し回転運動を
行わせる手段と、このワーク固定台を任意の角度位置で
固定保持する手段と、揺動テーブルを直線的に摺動自在
に保持し往復揺動運動を行わせる手段とを有することを
特徴とする。
ために、請求項１に記載の発明による細線ワイヤソー装
置は、細線ワイヤを低速で一方向に一定張力で走行させ
る手段と、ワーク固定台を回転自在に保持し回転運動を
行わせる手段と、このワーク固定台を任意の角度位置で
固定保持する手段と、揺動テーブルを直線的に摺動自在
に保持し往復揺動運動を行わせる手段とを有することを
特徴とする。
【０００７】上記した手段によれば、細線ワイヤを加工
に必要な細線ワイヤとワークとの大きな相対速度を確保
するためではなく、一定のワイヤ径を保つための新線供
給の役割として低速で一方向に走行させた状態で、細線
ワイヤの走行に伴う張力変動をほとんどかけずにワーク
固定台が回転運動または揺動運動、または回転運動と揺
動運動とを同時に行うことにより、加工に必要な細線ワ
イヤとワークとの相対速度を確保することができる。こ
の作用により細線ワイヤでもワイヤ破断のない状態で溝
曲がり等の加工精度と能率との問題を解決することがで
き、細幅の直線及び円弧切断面形状の溝入れ加工や切断
代の少ない切断加工を行う簡易な構造で安価な細線ワイ
ヤソー装置を提供することができる。
に必要な細線ワイヤとワークとの大きな相対速度を確保
するためではなく、一定のワイヤ径を保つための新線供
給の役割として低速で一方向に走行させた状態で、細線
ワイヤの走行に伴う張力変動をほとんどかけずにワーク
固定台が回転運動または揺動運動、または回転運動と揺
動運動とを同時に行うことにより、加工に必要な細線ワ
イヤとワークとの相対速度を確保することができる。こ
の作用により細線ワイヤでもワイヤ破断のない状態で溝
曲がり等の加工精度と能率との問題を解決することがで
き、細幅の直線及び円弧切断面形状の溝入れ加工や切断
代の少ない切断加工を行う簡易な構造で安価な細線ワイ
ヤソー装置を提供することができる。
【０００８】また、請求項２に記載の発明による細線ワ
イヤソー装置は、細線ワイヤを低速で一方向に一定張力
で走行させる手段と、ワーク固定台を回転自在に保持し
回転運動を行わせる手段とを有し、細幅の円弧切断面形
状の溝入れ加工や切断代の少ない切断加工を行うことを
特徴とする。
イヤソー装置は、細線ワイヤを低速で一方向に一定張力
で走行させる手段と、ワーク固定台を回転自在に保持し
回転運動を行わせる手段とを有し、細幅の円弧切断面形
状の溝入れ加工や切断代の少ない切断加工を行うことを
特徴とする。
【０００９】上記した手段によれば、ワーク固定台が回
転運動を行うことにより加工に必要な細線ワイヤとワー
クとの相対速度を確保することができ、切断代の少ない
切断加工や細幅の円弧切断面形状の溝入れ加工に限定さ
れるが、より簡易な構造で安価な細線ワイヤソー装置を
提供することができる。
転運動を行うことにより加工に必要な細線ワイヤとワー
クとの相対速度を確保することができ、切断代の少ない
切断加工や細幅の円弧切断面形状の溝入れ加工に限定さ
れるが、より簡易な構造で安価な細線ワイヤソー装置を
提供することができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】（第１の実施の形態）以下図面を
参照しながら発明の実施の形態を説明する。
参照しながら発明の実施の形態を説明する。
【００１１】図１の細線ワイヤソー装置は、左右の多溝
ローラ３に細線ワイヤ４が設定された一定の張力で巻き
つけられた状態で、低速で一方向に一定張力で送られて
いる。このワイヤ走行は、加工に必要なワーク１と細線
ワイヤ４との大きな相対速度を得るためではなく、細線
ワイヤ４の摩耗による加工溝幅変動を安定化させる新線
供給のためであり、低速で一方向に一定張力で走行させ
ることができる。従って、図４の一般的な従来のワイヤ
ソー装置用のワイヤ７０のように高速反転走行がないの
で張力変動が少ない構成になっている。
ローラ３に細線ワイヤ４が設定された一定の張力で巻き
つけられた状態で、低速で一方向に一定張力で送られて
いる。このワイヤ走行は、加工に必要なワーク１と細線
ワイヤ４との大きな相対速度を得るためではなく、細線
ワイヤ４の摩耗による加工溝幅変動を安定化させる新線
供給のためであり、低速で一方向に一定張力で走行させ
ることができる。従って、図４の一般的な従来のワイヤ
ソー装置用のワイヤ７０のように高速反転走行がないの
で張力変動が少ない構成になっている。
【００１２】ワーク１は、正多角形状のワーク固定台５
の取り付け面に固定されている。ワーク固定台５に固定
され一体となっている回転軸９は、軸受け支持部材８に
回転自在に保持されている。回転軸９に固定されたプー
リ１０をベルト１１を介してワーク固定台駆動モータ１
２により回転駆動するとワーク固定台５は回転運動を行
う。この回転により加工に必要なワーク１と細線ワイヤ
４との相対速度を得る。
の取り付け面に固定されている。ワーク固定台５に固定
され一体となっている回転軸９は、軸受け支持部材８に
回転自在に保持されている。回転軸９に固定されたプー
リ１０をベルト１１を介してワーク固定台駆動モータ１
２により回転駆動するとワーク固定台５は回転運動を行
う。この回転により加工に必要なワーク１と細線ワイヤ
４との相対速度を得る。
【００１３】軸受け支持部材８に固定された角度目盛り
正尺６と回転軸９に固定され回転軸９と共に回転する角
度目盛り副尺７とにより、ノギス目盛り部と同様の方式
で角度を読み取りワーク固定台５を任意の角度に設定す
る。回転軸９と共に回転するプーリ１０の側面をクラン
プ機構１３の固定ネジ１４をしめ込むことによりクラン
プ機構１３に固定されているブレーキシュー１５で挟み
込み任意の角度に固定保持する。
正尺６と回転軸９に固定され回転軸９と共に回転する角
度目盛り副尺７とにより、ノギス目盛り部と同様の方式
で角度を読み取りワーク固定台５を任意の角度に設定す
る。回転軸９と共に回転するプーリ１０の側面をクラン
プ機構１３の固定ネジ１４をしめ込むことによりクラン
プ機構１３に固定されているブレーキシュー１５で挟み
込み任意の角度に固定保持する。
【００１４】この任意の角度で固定保持された状態の揺
動テーブル１６は、クランク機構支持テーブル２０に固
定されているリニアガイド１８により直線的に摺動自在
に支持され、揺動テーブル駆動モータ１９によりクラン
ク機構１７を介して設定周期で揺動運動を行う。この揺
動運動により加工に必要なワーク１と細線ワイヤ４との
相対速度を得る。
動テーブル１６は、クランク機構支持テーブル２０に固
定されているリニアガイド１８により直線的に摺動自在
に支持され、揺動テーブル駆動モータ１９によりクラン
ク機構１７を介して設定周期で揺動運動を行う。この揺
動運動により加工に必要なワーク１と細線ワイヤ４との
相対速度を得る。
【００１５】また揺動テーブル１６の揺動運動により発
生する振動は、揺動質量と等価な質量を逆方向に同一の
揺動運動を行わせるようなカウンタウェイト手段（図示
していない）を設けることにより低減する。
生する振動は、揺動質量と等価な質量を逆方向に同一の
揺動運動を行わせるようなカウンタウェイト手段（図示
していない）を設けることにより低減する。
【００１６】更に前述の回転運動と揺動運動とを同時に
行わせることにより、ワーク１と細線ワイヤ４とのより
大きな相対速度を得ることができる。この結果、加工精
度と加工能率はより向上する。
行わせることにより、ワーク１と細線ワイヤ４とのより
大きな相対速度を得ることができる。この結果、加工精
度と加工能率はより向上する。
【００１７】前述のようにワーク１が回転または揺動運
動、または回転と揺動運動とを同時に行った状態で、低
速で一方向に走行している細線ワイヤ４に対してワーク
１を上下切り込みテーブル２１により圧接し、その圧接
加工部位に砥液供給手段（図示していない）により砥液
を供給しながら切り込み動作を行う。
動、または回転と揺動運動とを同時に行った状態で、低
速で一方向に走行している細線ワイヤ４に対してワーク
１を上下切り込みテーブル２１により圧接し、その圧接
加工部位に砥液供給手段（図示していない）により砥液
を供給しながら切り込み動作を行う。
【００１８】揺動テーブル１６の外縁には砥液流出飛散
防止カバー及び砥液排出回収部材（いずれも図示してい
ない）を設ける。
防止カバー及び砥液排出回収部材（いずれも図示してい
ない）を設ける。
【００１９】正多角形状のワーク固定台５の各ワーク固
定面に脱着可能にダミー板２を設置し、このダミー板２
を介してワーク１をワーク固定台５に固定する。
定面に脱着可能にダミー板２を設置し、このダミー板２
を介してワーク１をワーク固定台５に固定する。
【００２０】ワーク１の溝入れの時の切断面形状は、ワ
ーク固定台５が回転運動のみを行う場合には図３（ａ）
に示すような円弧切断面形状になり、また揺動運動のみ
の場合には図３（ｂ）及び（ｃ）に示すような設定され
た角度の直線的切断面形状になる。加工形状に応じてワ
ーク固定台５の回転運動と揺動運動とを使い分けること
ができる。従って、第一の実施の形態により簡易な構造
で安価な細線ワイヤソー装置を実現することができる。
ーク固定台５が回転運動のみを行う場合には図３（ａ）
に示すような円弧切断面形状になり、また揺動運動のみ
の場合には図３（ｂ）及び（ｃ）に示すような設定され
た角度の直線的切断面形状になる。加工形状に応じてワ
ーク固定台５の回転運動と揺動運動とを使い分けること
ができる。従って、第一の実施の形態により簡易な構造
で安価な細線ワイヤソー装置を実現することができる。
【００２１】（第２の実施の形態）図２に示す細線ワイ
ヤソー装置は、前述の図１に示す細線ワイヤソー装置か
らクランク機構支持テーブル２０、揺動テーブル駆動モ
ータ１９、クランク機構１７、リニアガイド１８、クラ
ンプ機構１３、固定ネジ１４、ブレーキシュー１５、角
度目盛り正尺６、角度目盛り副尺７、プーリ１０、ベル
ト１１、を取り外し、更に回転駆動側の軸受け支持部材
８を回転軸９を回転自在に保持しかつワーク固定台駆動
モータ１２を固定保持する第二軸受け支持部材５１に、
揺動テーブル１６を第二軸受け支持部材５１と軸受け支
持部材８とを固定しかつ上下切り込みテーブル２１に固
定されたワーク固定台支持テーブル５２に変更し、ワー
ク固定台駆動モータ１２により回転軸９を駆動すること
によってワーク固定台が回転運動を行う。
ヤソー装置は、前述の図１に示す細線ワイヤソー装置か
らクランク機構支持テーブル２０、揺動テーブル駆動モ
ータ１９、クランク機構１７、リニアガイド１８、クラ
ンプ機構１３、固定ネジ１４、ブレーキシュー１５、角
度目盛り正尺６、角度目盛り副尺７、プーリ１０、ベル
ト１１、を取り外し、更に回転駆動側の軸受け支持部材
８を回転軸９を回転自在に保持しかつワーク固定台駆動
モータ１２を固定保持する第二軸受け支持部材５１に、
揺動テーブル１６を第二軸受け支持部材５１と軸受け支
持部材８とを固定しかつ上下切り込みテーブル２１に固
定されたワーク固定台支持テーブル５２に変更し、ワー
ク固定台駆動モータ１２により回転軸９を駆動すること
によってワーク固定台が回転運動を行う。
【００２２】この回転運動により細線ワイヤ４とワーク
１との加工に必要な相対速度を得ることができる。従っ
て、第二の実施の形態により切断加工及び円弧切断面形
状の溝入れ加工に限定されるが、より簡易な構造で安価
な細線ワイヤソー装置を実現することができる。
１との加工に必要な相対速度を得ることができる。従っ
て、第二の実施の形態により切断加工及び円弧切断面形
状の溝入れ加工に限定されるが、より簡易な構造で安価
な細線ワイヤソー装置を実現することができる。
【００２３】
【発明の効果】以上述べてきたように、本発明によれ
ば、精密電子部品加工等で必要性が増している細幅の溝
入れ加工や切断代の少ない切断加工を簡易な構造の安価
な細線ワイヤソー装置で加工できるようになる。
ば、精密電子部品加工等で必要性が増している細幅の溝
入れ加工や切断代の少ない切断加工を簡易な構造の安価
な細線ワイヤソー装置で加工できるようになる。
【図１】本発明における第１の実施の形態を説明する構
成概略図である。
成概略図である。
【図２】本発明における第２の実施の形態を説明する構
成概略図である。
成概略図である。
【図３】本発明でワークに溝入れ加工を行った時の切断
面形状の例である。（ａ）はワーク固定台が回転運動を
行った場合の円弧切断面形状図、（ｂ）及び（ｃ）はワ
ーク固定台を任意の角度で固定して揺動運動を行った場
合の直線切断面形状図である。
面形状の例である。（ａ）はワーク固定台が回転運動を
行った場合の円弧切断面形状図、（ｂ）及び（ｃ）はワ
ーク固定台を任意の角度で固定して揺動運動を行った場
合の直線切断面形状図である。
【図４】一般的な従来のワイヤソー装置を説明する構成
概略図である。
概略図である。
１ ワーク ２ ダミー板 ３ 多溝ローラ ４ 細線ワイヤ ５ ワーク固定台 ６ 角度目盛り正尺 ７ 角度目盛り副尺 ８ 軸受け支持部材 ９ 回転軸 １０ プーリ １１ ベルト １２ ワーク固定台駆動モータ １３ クランプ機構 １４ 固定ネジ １５ ブレーキシュー １６ 揺動テーブル １７ クランク機構 １８ リニアガイド １９ 揺動テーブル駆動モータ ２０ クランク機構支持テーブル ２１ 上下切り込みテーブル ５１ 第二軸受け支持部材 ５２ ワーク固定台支持テーブル ７０ 一般的な従来のワイヤソー装置用のワイヤ ７１ 送り出しボビン ７２ 巻き取りボビン ７３ シーソー機構
Claims (2)
- 【請求項１】 細線ワイヤを低速で一方向に一定張力で
走行させる手段と、ワーク固定台を回転自在に保持し回
転運動を行わせる手段と、このワーク固定台を任意の角
度位置で固定保持する手段と、揺動テーブルを直線的に
摺動自在に保持し往復揺動運動を行わせる手段とを有
し、細幅の直線及び円弧切断面形状の溝入れ加工及び切
断代の少ない切断加工を行うことを特徴とする細線ワイ
ヤソー装置。 - 【請求項２】 細線ワイヤを低速で一方向に一定張力で
走行させる手段と、ワーク固定台を回転自在に保持し回
転運動を行わせる手段とを有し、細幅の円弧切断面形状
の溝入れ加工や切断代の少ない切断加工を行うことを特
徴とする細線ワイヤソー装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1549398A JP4005199B2 (ja) | 1998-01-28 | 1998-01-28 | 細線ワイヤソー装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1549398A JP4005199B2 (ja) | 1998-01-28 | 1998-01-28 | 細線ワイヤソー装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11207597A true JPH11207597A (ja) | 1999-08-03 |
| JP4005199B2 JP4005199B2 (ja) | 2007-11-07 |
Family
ID=11890344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1549398A Expired - Fee Related JP4005199B2 (ja) | 1998-01-28 | 1998-01-28 | 細線ワイヤソー装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4005199B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100445881B1 (ko) * | 2002-07-03 | 2004-08-25 | 주식회사 영광산업 | 에어컨 콤퓨레이셔용 사판의 면치가공장치 |
| CN115816664A (zh) * | 2022-12-28 | 2023-03-21 | 泉州市品河精密科技有限公司 | 石材切割方法 |
-
1998
- 1998-01-28 JP JP1549398A patent/JP4005199B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100445881B1 (ko) * | 2002-07-03 | 2004-08-25 | 주식회사 영광산업 | 에어컨 콤퓨레이셔용 사판의 면치가공장치 |
| CN115816664A (zh) * | 2022-12-28 | 2023-03-21 | 泉州市品河精密科技有限公司 | 石材切割方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4005199B2 (ja) | 2007-11-07 |
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Legal Events
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