JPH11201902A - 誘導結合されたプラズマトーチのための取付け装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 誘導結合されたプラズマ発生器の構成部材の
容易な取外し及び交換を可能にするような新規の取付け
装置を提供する。 【解決手段】 ハウジングアセンブリ３４が、受け部材
４０と、電気的な接触リング６８と、中心アパーチュア
５０を備えたガスブロック４８とを有している。取付け
アセンブリ３２が、取付け部材６４と、第２のガスブロ
ック７０と、ガス管１８と、試料噴射管２４とを有して
いる。第２のガスブロックは、ガス管内へ延びた内部通
路７８を有している。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、誘導結合されたプ
ラズマ発生器、特にこのような発生器のための取付装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】誘導結合されたプラズマ（ＩＣＰ）発生
器は、通常、分光分析、微細粉体の処理、材料の溶融、
化学反応等に使用される。これらの適用例は、プラズマ
に固有に関連した高温から生じており、この高温は、電
子の励起と、プラズマガス及び噴射された材料のイオン
化とを生ぜしめるのに十分に高い。プラズマ発生は、質
量分光分析のための、及び、低圧においては、蒸着工程
のための機器において利用されるイオンを生ぜしめるた
めにも利用される。ＩＣＰ発生器は、負荷コイルを介し
て１０〜１００ＭＨｚの高周波範囲に広く連結すること
によって高周波電子発振器によって駆動される。高周波
に関する問題は、ラジオ、コンピュータ、ビデオ及び関
連した制御機器等の補助的な機器に干渉するおそれがあ
る放射である。

【０００３】ＩＣＰ発生器は、通常、ハウジング区画に
取り囲まれており、このハウジング区画は、大気からプ
ラズマを絶縁したり、光放射から人間を保護したり、高
周波放射を含んだりすることを含む複数の目的を達す
る。発生器は、コイルを通過してプラズマ発生ガスを搬
送するための、及びプラズマに試料を導入するための管
を有している。このような試料は、ネブライザ等の試料
源から供給され、この試料源は、通常、プラズマの熱か
らの保護のためにハウジング区画の外側に配置されてい
る。管及びネブライザ又は別の試料源を含むプラズマ発
生器の構成部材を修理及び交換する必要がある。既存の
装置の場合、部材の取外し及び交換等の内部の処理のた
めに開放されなければならず、このことは、ガス及び試
料の管がコイル内へ延びているので手間がかかる。

【０００４】試料噴射管の先端が正確に配置されていな
い場合、特に、溶融された試料を搬送するために有機溶
剤が使用されている場合には問題が生じる。先端をプラ
ズマの底部に近すぎる場合には、プラズマ放電からの熱
が、先端に形成する炭素堆積物を生じるおそれがある。
この堆積物は、インジェクタにプラズマへの試料流を遮
断させることによって分析性能に干渉する。他方では、
先端がプラズマから遠すぎると、試料の出費が著しく多
く、試料はプラズマ内ではなくプラズマの周囲へ提供さ
れてしまう。毎回分解を必要とする有意な試し及び誤り
なしに、適切な位置を見いだすことは困難であり、。し
たがって、先端の位置を最適化するために、動作中にプ
ラズマ形成負荷コイルに対してガス管の軸線方向位置を
調整する必要がある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
課題は、誘導結合されたプラズマ発生器の構成部材の容
易な取外し及び交換を可能にするような新規の取付け装
置を提供することである。別の課題は、ハウジングアセ
ンブリから容易に取り外され、また、ハウジングアセン
ブリ内で交換される構成部材の取付けアセンブリを提供
することである。さらに、別の課題は、工具を用いずに
このような取外し及び交換を提供することである。さら
に別の課題は、高周波放出の遮蔽を有するこのような取
付け装置を提供することである。さらに別の課題は、プ
ラズマ発生中に、プラズマ形成負荷コイルに対してガス
管の位置を調整することができるような取付け装置を提
供することである。さらに別の課題は、交換時に、火花
又は高周波始動リード線の自動的な接触を可能にするよ
うな取付け装置を提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明の構成では、ハウジングアセンブリが設けられ
ており、該ハウジングアセンブリが、壁開口を備えたハ
ウジング壁から形成されたハウジングと、ハウジングに
取り付けられていて、壁開口を貫通して延びた軸線を有
する負荷コイルと、ハウジングの殆ど外側でハウジング
壁に取り付けられていて壁開口と整合した中心開口を有
する受け部材と、該受け部材に取り付けられた環状の第
１の電気的な接触素子と、貫通した中心アパーチュアを
備えた第１のガスブロックと、中心アパーチュアを中心
開口に整合させながら第１のガスブロックをハウジング
壁に取り付けるための取付け手段とから成っており、前
記第１のガスブロックが、プラズマ形成ガスを受け取
る、中心アパーチュアにまで延びた外部通路を有してお
り、負荷コイルが、高周波エネルギを受け取るようにな
っており、ハウジング壁と、受け部材と、第１の接触素
子とが、導電性でかつ互いに電気的に接触しており、取
付けアセンブリが設けられており、該取付けアセンブリ
が、受け部材に嵌合するように形成された取付け部材
と、該取付け部材に取り付けられた環状の第２の電気的
な接触素子と、取付け部材に取り付けられていて中心ア
パーチュア内で第１のガスブロックに嵌合するように形
成された第２のガスブロックと、該第２のガスブロック
から延びるように該第２のガスブロックに取り付けられ
たガス管とから成っており、第２のガスブロックが、該
第２のガスブロックを貫通してガス管にまで延びた内部
通路を有しており、取付け部材と、第２の接触素子と
が、導電性でかつ相互に電気的に接触しており、ハウジ
ングアセンブリへの取付けアセンブリの取外し可能な係
合のための係合手段が設けられており、ハウジングアセ
ンブリと取付けアセンブリとが、協働するように構成さ
れているので、係合時に、取付け部材が受け部材に嵌合
させられ、第２のガスブロックが第１のガスブロックに
嵌合させられ、第１の接点素子と、第２の接点素子と
が、電気的に接触し、ガス管が負荷コイルと同軸的に延
び、プラズマ形成ガスを負荷コイルにまでガス管内に供
給するように内部通路が外部通路を整合し、負荷コイル
と、ガス管とが、高周波エネルギとのプラズマ形成ガス
の誘導結合によってプラズマを生ぜしめるように、協働
するように位置決めされるようにした。

【０００７】また、本発明による取付けアセンブリの構
成によれば、受け部材に嵌合するように形成された取付
け部材と、該取付け部材に取り付けられた環状の第２の
電気的な接触素子と、取付け部材に取り付けられてい
て、中心アパーチュアにおいて第１のガスブロックに嵌
合するように形成された第２のガスブロックと、第２の
ガスブロックから延びるように該第２のガスブロックに
取り付けられたガス管と、ハウジングアセンブリへの取
付けアセンブリの取外し可能な係合のための係合手段と
から成っており、第２のガスブロックが、該第２のガス
ブロックを貫通してガス管内へ延びた内部通路を有して
おり、取付け部材と、第２の接触素子とが、導電性であ
り、互いに電気的に接触しており、前記係合手段が、協
働するように形成されたハウジングアセンブリと取付け
アセンブリとから成っており、係合させられながら、取
付け部材が受け部材に嵌合させられ、第２のガスブロッ
クが、第１のガスブロックに嵌合させられ、第１の接触
素子と、第２の接触素子とが、電気的に接触し、ガス管
が、負荷コイルと同軸的に延びており、プラズマ形成ガ
スを負荷コイルにまでガス管内で搬送するために内部通
路が外部通路と整合しており、高周波エネルギとのプラ
ズマ形成ガスの誘導結合によってプラズマを生ぜしめる
ために、負荷コイルと、ガス管とが、協働するように位
置決めされているようにした。

【０００８】

【発明の効果】前記及び別の課題は、誘電結合されたプ
ラズマ発生器のための取付け装置であって、この装置
が、ハウジングアセンブリと、取付けアセンブリと、取
付けアセンブリをハウジングアセンブリに取外し可能に
係合させるための係合手段とから成っているものによっ
て少なくとも部分的に解決された。ハウジングアセンブ
リは、ハウジングと、ハウジングに取り付けられた負荷
コイルと、ハウジングの殆ど外側でハウジング壁に取り
付けられており、コイル軸線と整合した中心開口を有す
る受け部材と、壁の開口とを有している。環状の第１の
電気的な接触素子が、受け部材に取り付けられている。
第１のガスブロックは、このガスブロックを貫通した中
心アパーチュアを有している。第１のガスブロックを、
中心アパーチュアが中心開口と整合した状態でハウジン
グ壁に取り付けるために、取付け手段が設けられてい
る。第１のガスブロックは、プラズマ形成ガスを受け取
る、中心アパーチュアにまで延びた外部通路を有してい
る。負荷コイルは、高周波エネルギを受け取るようにな
っており、ハウジング壁と、受け部材と、第１の接触部
材とは、導電性であり、互いに電気的に接触している。

【０００９】取付けアセンブリは、受け部材に嵌合する
ように形成された取付け部材と、取付け部材に取り付け
られた環状の第２の電気的な接触素子と、取付け部材に
取り付けられており、中心アパーチュアにおいて第１の
ガスブロックに嵌合するように形成された第２のガスブ
ロックと、第２のガスブロックから延びるように第２の
ガスブロックに取り付けられたガス管とを有している。
第２のガスブロックは、貫通してガス管内へ延びた内部
通路を有しており、取付け部材と、第２の接触素子と
は、導電性であり、互いに電気的に接触している。

【００１０】ハウジングアセンブリと、取付けアセンブ
リとは、協働するように形成されており、これにより、
係合時に、取付け部材が受け部材に嵌合させられ、第２
のガスブロックが第１のガスブロックに嵌合させられ、
第１の接触素子と第２の接触素子とが電気的に接触させ
られ、ガス管が同軸的に負荷コイルにまで延び、プラズ
マ形成ガスを負荷コイルにまでガス管内で搬送するため
に内部通路が外部通路と整合し、プラズマ形成ガスを高
周波エネルギと誘導結合させることによってプラズマを
生ぜしめるために負荷コイルとガス管とが、協働するよ
うに位置決めされる。

【００１１】プラズマ内への試料噴射のために、取付け
アセンブリが、さらに、ガス管内へ同軸的に延びるよう
に取付け部材を貫通して取り付けられた試料噴射管を有
している。噴射管は、プラズマ内への噴射のために試料
材料を受け入れるようになっている。ネブライザアセン
ブリ等の試料源は、プラズマ内に試料材料を噴射するた
めに噴射管が試料源から延びながら、取付け部材におい
て保持されていてよい。取付け部材は、ガス管内で噴射
管に沿って突出した管状の突出部を有していると有利で
あり、この突出部は、高周波遮蔽のためのカットオフを
越えた導波管を提供するために、長さ対直径の十分に高
い比を有する軸線方向のボアを有している。

【００１２】別の実施例の場合には、取付けアセンブリ
は、負荷コイルに対するガス管の軸線方向の位置決めを
提供するために調整可能である。このために、係合手段
が、ハウジングアセンブリに対する取付けアセンブリの
選択的な軸線方向の位置決めのための位置決め手段と、
ハウジングアセンブリに対して定置の回転可能な位置に
取付けアセンブリを保持するための回転可能な保持手段
とから成っている。第１の接触手段と、第２の接触手段
とが、軸線方向の位置決めに拘わらず電気的な接触を保
持するように、協働するようになっている。取付け手段
が、ハウジングの壁に対する軸線方向の位置決めの自由
度を有しながら、回転方向で定置の位置において第１の
ガスブロックをハウジングの壁に保持するための保持手
段と、内部通路が外部通路と整合しているように、軸線
方向の位置決めに拘わらず、第１のガスブロックを、第
２のガスブロックに設けられた当て付け位置にまで軸線
方向に押し付ける押付け手段とから成っている。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
につき詳しく説明する。

【００１４】本発明の装置１０（図１）は、原子放出分
光光度計（例えばＰｅｒｋｉｎ−Ｅｌｍｅｒ社製のＯｐ
ｉｍａ^ＴＭ３０００、Ｏｐｔｉｍａ４０００又はＰ−５
００）、又は質量分析器（例えばＰｅｒｋｉｎ−Ｅｌｍ
ｅｒ社製のＥｌａｎ）と共に使用されるような慣用の誘
電結合されたプラズマ系に適応させられている。この系
は、トーチのハウジング１４に取り付けられた負荷コイ
ル１２を有しており、ハウジング１４は、高周波遮蔽の
ために閉鎖されており、プラズマが発生される部分に不
活性ガスを含んでいる。コイルは、通常、例えば２７Ｍ
Ｈｚの高周波を有する振動回路１６から高周波エネルギ
を受け取るようになっている。適切な回路は米国特許第
４７６６２８７号明細書（モリスロエ他）に記載されて
いるが、振動器の性質又は詳細は本発明にとって重要で
はない。コイルは、振動回路の一部を形成していてよ
い。

【００１５】石英ガラス又は非伝導性（高周波におい
て）の別の材料から形成されたガス管１８は、負荷コイ
ル１２にまで延びており、通常、この負荷コイル１２を
短い距離だけ貫通している。アルゴン等のプラズマ形成
ガス１９は、管のコイル端部２０において出るように管
を通過させられる。コイルによってガスを高周波エネル
ギと誘導結合することにより、端部でプラズマ放電２２
が形成される。分光分析のための放射を行うために、又
は材料を処理するためにプラズマが使用される場合に
は、試料噴射管２４（ガス管の材料と類似の材料から成
っている）が、端部２６がコイルの近傍に位置するよう
に、ガス管内に同軸的に位置決めされている。有利に
は、ガス流の制御のために、中間管２８（ガス管の材料
と類似の材料から成っている）が、ガス管と噴射管との
間に同軸的に配置されており、プラズマ形成ガス１９
が、ガス管内を中間管の外側で搬送される。主ガスと同
じタイプであってよい補助ガス３０は、噴射管の端部付
近の箇所にまで、中間管の内側で噴射管の外側を搬送さ
れてよい。

【００１６】本発明は、ハウジング壁３６から成るハウ
ジングアセンブリ３４と、装置の別の定置の構成部材と
に、取外し可能に係合することができる取付アセンブリ
３２に、前記構成部材の一部を組み込むことに関する。
ハウジングアセンブリにおいては、負荷コイル１２が通
常の接続手段によって振動回路１６に取り付けられてお
り、この振動回路１６自体は、ハウジングへ直接に取り
付けられる慣用の取付け部材（図示せず）を有してい
る。コイルは、ハウジングの壁３６に設けられた円形の
開口３９の中心を貫通した軸線３８を有している。リン
グ状の受け部材４０は、ハウジングの殆ど外側でハウジ
ングの壁に取り付けられている。

【００１７】環状の第１の接触素子は、受け部材４０に
設けられた、外方に面した環状のスロット４２に、スロ
ットに部分的に被さるように突出した環状の肩部４４に
よって保持されている（ここで及び請求項で使用されて
いるように、“外方”及び“外方へ”という言葉はハウ
ジングの外側かつハウジングから離れるように向いた方
向を示しており、“内方”及び“内方へ”という言葉は
ハウジング内を向いた方向を示している）。接触素子
は、高周波放射を遮蔽するために一般的に使用されるタ
イプの、ばね材料から形成された１対の向き合ったフィ
ンガリングから形成されていてよい。接触のために単純
なリング等の別の手段が使用されてよいが、接触系は高
周波遮蔽のために効果的であることが望ましい。ハウジ
ングの壁３６と、受け部材４０と、接触素子４６とは、
導電性（一般的に金属製）であり、これらの部材は、互
いに（直接に又は間接に）電気的に接触しており、ま
た、接地されている。

【００１８】さらに、ハウジングアセンブリ３４におい
て、第１のガスブロック４８は、有利には壁の内側にお
いて、受け部材４０に隣接して、ハウジングの壁３６へ
の取付け手段４９を有している。この実施例の場合の取
付け手段は、ねじ（１つを図示）を備えているか又は接
着剤等の他のあらゆる適切な手段であってよい。ガスブ
ロックは、壁の開口３０と整合して貫通した円筒状の中
心アパーチュア５０を有している。この円筒状のアパー
チュアは、ハウジング内へ行くに従って直径がより小さ
くなるようにテーパしていると有利である。ガスブロッ
クは、ハウジングの壁に直接に取り付けられているか、
又は受け部材への直接な取付けによって間接的に取り付
けられていてよい。間接的に取り付けられている場合に
は、受け部材又はブロック（又は両方）は、壁に取り付
けられている。取付け（図示せず）は、ねじ山付きの構
成部材内にねじ込まれる等、慣用的に行われる。

【００１９】本発明の図示と機能的に同等な、壁の取付
けの構造的な変更が存在してよい。例えば、実際の壁
は、受け部材の外周に取り付けられるフランジを備えな
がら、受け部材の縁部で終わっていてよい。このような
場合には、請求項を含む明細書中の目的のために、壁
は、内方に面した受け部材の面を有していると考えら
れ、この場合、第１のガスブロック４８はこの内面に直
接に取り付けられている。また、したがって、受け部材
は、実際、壁が凹んでいるかのように壁の境界内に配置
されていてよく、“ハウジングの殆ど外側”という言葉
は、このような構成を含んでいる。

【００２０】ガスブロック４８は、このガスブロック４
８を貫通して中央アパーチュア５０にまで横方向に延び
た第１の外部通路５２を有している。外部通路５２の外
端部は、慣用のガスレギュレータと弁（図示せず）とを
介してガス源５６へ延びたガスライン５４によって、プ
ラズマを形成するガス１９を受け取るようになってい
る。補助ガス３０が使用されている場合には、ガスライ
ン６０とガス源６２とから中央アパーチュア５０にまで
同様に延びた第２の補助的な外部通路５８が設けられて
いる。

【００２１】取付けアセンブリ３２は、受け部材４０に
嵌合するように形成された取付け部材６４を有してお
り、この取付け部材６４は、例えば受け部材に被さる外
側リム６６を備えた浅いカップの形状を有している。環
状の第２の接触素子が取付け部材に保持されており、こ
の接触素子は、第１の接触素子と接触するように適応し
ている。第１の接触素子が１対のフィンガリング４６と
して形成されている場合、第２の手段は、電気的に接触
されるようにフィンガリングの間に挿入される帯材６８
である（構造上は、帯材は取付け部材の一部として形成
されていてよい）。択一的に、より単純な第１の接触リ
ングが用いられている場合には、第２の接触素子は、前
記のような十分な遮蔽に対する当然の考慮を払いなが
ら、例えば単純な平らなリングであってもよい。

【００２２】第２のガスブロック７０は、ねじ等のあら
ゆる適切な手段（図示せず）によって取付け部材に同軸
的に取り付けられている。このガスブロック７０は、中
心ボア７２を有しており、この中心ボア７２には、ガス
管１８が一方の端部にＯリング７４を備えながら保持さ
れており、これによりガス管１８は中心ボアから同軸的
に延びている。補助的な中間管２８が用いられている場
合には、この中間管２８も、Ｏリング７６を備えながら
ボアの狭まった部分において、内側のガスブロックに取
り付けられている。第２のガスブロック７０と管とは、
ガス管１８の側壁に設けられた孔８０を含む第１の内部
通路７８を有しており、この内部通路７８は、このガス
管１８内へ横方向内向きに延びている。第２の補助的な
内部通路８２も、中心ボア７２内へ横方向に延びてお
り、これによりガスを補助的な中間管２８内へ、有利に
はこの中間管２８の内端部８４においてガスを方向付け
るようになっている。噴射管２４が使用されている場合
には、噴射管２４は、補助的な管を通ってコイル１２に
まで延びるように、取付け部材６４と内側のガスブロッ
ク７０とを同軸的に貫通しながら保持されている。横方
向の通路は全体的に半径方向に延びている必要はなく、
ガス源と都合よく接続するように個々のガスブロック内
で適宜に方向付けられていてよい。

【００２３】第２のガスブロック７０は、プラズマ形成
ガスをガス管１８へ供給するために第１の内部通路７８
が第１の外部通路５２と整合した状態で外側のガスブロ
ック４８に嵌合されるように形成されている。同様に、
補助的な内部通路８２は、補助ガスを補助的な中間管２
８へ供給するために補助的な外部通路５８と整合させら
れている。第２のガスブロック７０の外面に設けられた
溝に組み付けられた２対のＯリング８６，８８は、個々
の通路をシールしている。２つのガスブロックの係合面
のテーパは、容易な取外しを可能にする。ガスブロック
の材料は、適切な、耐高周波の、臨界的でない、硬質プ
ラスチックである。しかしながら、金属はコイルに近す
ぎないことが望ましい。

【００２４】噴射管２４は、慣用のネブライザアセンブ
リ９０に設けられた噴霧室９６等の試料源、又はキャリ
ヤガスを備えた粉体供給装置から延びている。通常、ネ
ブライザの噴霧室には、直角のガスジェットオリフィス
を備えた管９１の近くに位置した試料オリフィス９３が
設けられており、オリフィスはＩＣＰの軸線３８から横
方向にずれている。ネブライザアセンブリ又は他の試料
源は、あらゆる適切な手段、例えばねじ、クランピン
グ、又は、（図示したように）ネブライザの交換を可能
にするために部材に永久に取り付けられた定置の部分９
２と、クランプ及び／又はねじを用いて取り付けられる
取外し可能な部分９４とから形成されたブラケットを用
いて、取付け部材６４又は第２のガスブロック７０に保
持されていてよい。噴霧室９６は、ネブライザから延び
た短いスリーブ９８と連通している。噴射管は、霧化さ
れた試料をネブライザ室からプラズマ内へ搬送するため
に１対のＯリング１００を用いてスリーブ内にに保持さ
れている。

【００２５】高周波放射の逃げをさらに制限するため
に、取付け部材は、ガス管に設けられた噴射管に沿って
コイルに向かって途中まで突出した、導電性の管状の突
出部１０２を有している。突出部１０２は、高周波干渉
コードと一致するように高周波遮蔽のためのカットオフ
を越えた導波管を提供するために、長さ対直径の十分に
高い比を備えた軸線方向のボア１０４を有している。こ
のことを行うためには、比は少なくとも８：１であるこ
とが望ましい。

【００２６】取付けアセンブリ３２は、取外し可能なね
じ、クランプ、縁部と受け部材とにねじ山を設ける（回
して係合させるために）等のあらゆる実用的な手段を用
いてハウジングアセンブリ３４に取外し可能に係合させ
られている。適切な手段（図２）は、受け部材４０から
半径方向外方へ突出した２つまたは３つ以上のアーチ状
に間隔を置いて配置されたピン１０６を利用している。
取付け部材のリム６６に設けられた対応して開放した斜
めのスロット１０８によって、取外しが容易な回転係合
が可能である。取付けアセンブリが係合させられている
場合には、取付け手段６４は受け部材４０に嵌合させら
れており、第２のガスブロック７０は第１のガスブロッ
ク４８に嵌合させられており、第２の接触素子６８は第
１の接触素子４６と電気的に接触しており、ガス管１８
は負荷コイル１２と同軸的に延びており、内部通路７
８，８２は、ガス管内にガスを搬送して負荷コイルにお
いて排出されるように外部通路５２，５８と個々に整合
しており、負荷コイルとガス管とは、プラズマ形成ガス
を高周波エネルギと誘導結合することによってプラズマ
２２を生ぜしめるために、協働するように位置決めされ
ている。高周波の逃げは効果的に制限される。

【００２７】始動装置１０９からの慣用の火花又は高周
波パルスは、プラズマを生ぜしめるために使用される。
パルスは、始動電動機からのリード線１１３に取り付け
られたねじ１１２によって定置のガスブロック４８に保
持されたばねクリップ１１０によって、ガス管１８内へ
向けられてよい。取付けアセンブリが係合させられてい
る場合には、ばねクリップは、導管の壁に埋め込まれた
金属製の接触子１１４に接触している。このように、取
付けアセンブリがハウジングアセンブリに挿入される
と、始動電動機の接続が自動的に形成される。

【００２８】装置の構成部材及び表面、特に、取付け部
材、中心アパーチュア、第２のガスブロックは円筒状で
あると有利であり、これにより、係合手段は、取付け手
段を受け部材に回転可能に係合させることができる。し
かしながら、他の係合手段がスリップクランプ又は蝶ね
じとして使用されている場合には、このような構成部材
及び表面は、横断面で見て楕円形又は四角形等の他のあ
らゆる所望の輪郭であってよい。

【００２９】ガス管と試料噴射管との端部を負荷コイル
及びプラズマに対して軸線方向に調整することができる
実施例が、図３、図４及び図５に示されている。基本的
な構成は図１の実施例の場合と同じであり、適当な箇所
では符号が同じである。いくつかの特徴は、図１の場合
とほぼ同じ機能を有しているので再度詳しく説明してい
ない。したがって、負荷コイル１２は閉じられたハウジ
ング１４に取り付けられており、この負荷コイルは高周
波エネルギを受け取るようになっている。ガス管１８は
プラズマ２２が形成されるコイルにまで延びており、試
料噴射管２４が同軸的に位置決めされていてよい。選択
的に、中間管２４が同軸的に配置されていてもよい。管
は取付けアセンブリ３２へ組み込まれており、この取付
けアセンブリ３２は、ハウジングの壁３６を有するハウ
ジングアセンブリ３４と係合している。リング状の受け
部材４０は、ハウジングの壁の外側に取り付けられてい
る。フィンガリング４６又は同様のものが、受け部材に
設けられた環状のスロット４２内に保持されている。

【００３０】ハウジングアセンブリ３４のためには、第
１のガスブロック４８は壁３６への取付け手段４９を有
しており、ガスブロックは、図１の実施例の場合と同じ
形式で、源（図示せず）からガスを受け取る外部ガス通
路５２，５８を有している。取付けアセンブリ３２は、
受け部材に嵌合するように形成された取付け部材６４を
有している。接触する帯材６８′（以下に説明するよう
に細長い）は、電気的な接触のためにフィンガリングの
間に挿入されている。第２のガスブロック７０は、ガス
管１８がＯリング７４を用いて第２のガスブロック内に
保持されながら、取付け部材に同軸的に取り付けられて
いる。第２のブロックは、図１の場合に図示及び説明し
たように、内部ガス通路７８，８２を有している。試料
噴射管２４が使用されている場合には、この試料噴射管
２４は、取付け部材６４と内側のガスブロック７０とを
貫通して同軸的に保持されており、これにより、補助的
な管２８を貫通してコイル１２にまで延びている。第２
のガスブロック７０は、個々のガスと試料とを管内へ搬
送するために内部通路が外部通路と整合しながら、第１
のガスブロック４８に嵌合するように形成されている。
ネブライザアセンブリ９０、若しくは別の試料噴射系
も、火花プラズマイグナイタ（図示せず）等の同様の部
材を備えた前の実施例の場合と同じである。

【００３１】この実施例によれば、取付けアセンブリ３
２は、コイル１２及びプラズマ２２に対する管端部の選
択的な位置決めを可能にするために軸線方向で位置決め
可能である。第１のガスブロック４８の取付けは、保持
手段４９によって行われ、この保持手段４９はハウジン
グの壁に対する軸線方向位置決めの自由度を有しなが
ら、第１のガスブロック４８を回転方向で定置にハウジ
ングの壁に保持している。この実施例の場合には、これ
は、壁３６にねじ込まれた、アーチ状に間隔をおいて配
置された保持ねじ１２０（１つを図示）を用いて達成さ
れる。保持ねじ１２０は、第１のガスブロックに設けら
れた個々のボア１２２を貫通しており、ボア１２２は、
ルーズなすべりばめを許容する。コイル側のボアの端部
において又はコイル側のボアの端部の近くにおいて、肩
部１２４は、壁から離れるように延長させられた位置に
おいてガスブロックをねじ頭１２６に対して止めてい
る。ねじに配置されたばね１２８は、壁側のボアの狭く
なった部分において、ねじ頭１２６と第２の肩部１３０
との間で圧縮されており、これにより、取付けアセンブ
リの軸線方向の位置１３２とは無関係に、第２のガスブ
ロック７０を、壁に向かって、第２のガスブロックにお
ける当接位置にまで軸線方向に押し付け、これにより、
内部通路は外部通路と軸線方向で整合している（図１に
示したように）。

【００３２】説明したように、ハウジングアセンブリに
おける取付けアセンブリの係合は、選択的な軸線方向の
位置決め１３２を許容する。電気的な接触を維持するた
めに、受け部材に設けられたスロット４２と、取付け部
材から延びた帯材６８′とは、それぞれ、位置決め範囲
に亘って電気的な接触維持するために、軸線方向に（軸
線３８に対して平行に）協働的に延長している。

【００３３】軸線方向の位置決めは、選択的に、選択さ
れた位置に締め付けるためにねじを保持しながら、受け
部材への取付け部材の単純なすべりばめ等の、あらゆる
所望の形式で行われてよい。しかしながら、有利な側面
においては、位置決めは回転によってより正確さを有し
ながら行われる。このためには、取付け部材６４はフラ
ンジ１３６を有しており、係合手段が、フランジに被せ
はめられる連結リング１３４から成っている。

【００３４】受け部材４０は、軸線３８に対して平行に
整合させられた、ハウジングから外向きに開放した少な
くとも１つの孔１３７を有している。各孔のための頭な
しピン１３８は、それぞれの頭なしピンが対応する孔に
スライド可能に挿入されるように、フランジに取り付け
られており、これにより、取付け部材と受け部材との相
対的な回転を阻止しながら、軸線方向の位置決めを許容
している。

【００３５】連結リング１３４は半径方向内向きに延び
たフランジ１４０を有しており、このフランジ１４０
は、アーチ状に間隔を置いて配置された複数の部分的な
環状のスロット１４２を有している。各スロットには、
頭部１４５を備えたボルト１４４が取付けフランジ１４
４に取り付けられている。スロットに配置されたボルト
は、相対的な回転方向の位置決めの範囲内での自由度を
有しながら、連結リングを取付け部材に対して保持して
いる。

【００３６】連結リングはスカート１４８を有してお
り、このスカート１４８は、内側に面した縁部１５０
と、スカートにアーチ状に間隔を置いて配置された、縁
部１５０において開放した複数の斜めに設けられたスロ
ット１５２とを有している（図４）。このような各スロ
ット１５２のために、受け部材４０の円筒状の外面には
突起１５４が取り付けられており、各突起１５４が、斜
めに設けられたスロット内へ、有利には貫通して延びて
いる。したがって、連結リングは取付けアセンブリと共
に、取り外し可能な係合のために、受け部材と突起とか
ら取り外し可能であり、突起を備えた受け部材に沿った
連結リングの回転は、軸線方向の位置決めを生ぜしめ
る。

【００３７】前の実施例のように、取付け部材は、ガス
管内で噴射管に沿って被さるように突出した管状の突出
部１０２′を有しており、この突出部１０２′は、高周
波遮蔽のためのカットオフを越えた導波管を提供するた
めに、長さＬ対直径Ｄの十分に高い比を有する軸線方向
のボア１０４を有している。この実施例の場合には、取
付け部材と受け部材とは、管状の突出部が受け部材にル
ーズに嵌合するように、協働するように形成されている
と有利であり、これにより軸線方向調整のための場所を
提供する。低摩擦材料から形成された支持シリンダ１５
６は、受け部材４０内での突出部１０２′の回転を容易
にするために使用されていてよい。Ｏリング１５８は、
図１に示したＯリング７２，７６，８６，８８と同じ機
能を有する。ねじ１６０はガスブロック７０にねじ込ま
れる。ネブライザアセンブリ９０は、図１に示したよう
にブラケット９２，９４を用いて保持されている。

【００３８】また、前の実施例のように、火花又は高周
波式の始動装置１０９が、リード線１１３を介して、ね
じによってガスブロックに取り付けられたばねクリップ
１１０に接続されている。取付けアセンブリの係合に基
づき、クリップが、導管の壁に埋め込まれた金属製の接
触子１１４に接触する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の装置の実施例を示す縦断面図である。

【図２】図１の２−２の方向で見た側面図である。

【図３】本発明の別の実施例を示す縦断面図である。

【図４】図３の装置の一部の分解斜視図である。

【図５】図１の実施例の分解斜視図である。

【符号の説明】

１０ 装置、 １２ 負荷コイル、 １４ ハウジン
グ、 １６ 振動回路、１８ ガス管、 ２０ コイル
端部、 ２２ プラズマ放電、 ２４ 試料噴射管、
２６ 端部、 ２８ 中間管、 ３０ 補助ガス、 ３
２ 取付けアセンブリ、 ３４ ハウジングアセンブ
リ、 ３６ 壁、 ３８ 軸線、 ４０受け部材、 ４
２ スロット、 ４４ 肩部、 ４６ 接触素子、 ４
８ 第１のガスブロック、 ４９ 保持手段、 ５０
中心開口、 ５２ ガス通路、５４ ガスライン、 ５
６ ガス源、 ５８ 外部通路、 ６０ ガスライン、
６２ ガス源、 ６４ 取付け部材、 ６６ 外側リ
ム、 ６８ 帯材、 ７０ 第２のガスブロック、 ７
４，７６ Ｏリング、 ７８ 第１の内部通路、８０
孔、 ８２ 内部通路、 ８４ 内端部、 ８６，８８
Ｏリング、９０ 管、 ９２ 定置部分、 ９３ 試
料オリフィス、 ９４ 取外し可能部分、 ９６ 噴霧
室、 ９８ スリーブ、 １０２ 突出部、 １０４
ボア、１０６ ピン、 １０８ スロット、 １１０
ばねクリップ、 １１２ ねじ、 １１３ リード線、
１１４ 接触子、 １２２ ボア、 １２４ 肩部、
１２６ ねじ頭、 １２８ ばね、 １３０ 第２の
肩部、 １３２ 軸線方向位置決め、 １３４ 連結リ
ング、 １３６ フランジ、 １３７ 孔、１３８ 頭
無しピン、 １４０ フランジ、 １４２ スロット、
１４４ ボルト、 １４５ 頭部、 １４８ スカー
ト、 １５０ 縁部、 １５２ スロット、 １５３
開放部、 １５４ 突起、 １５６ 支持シリンダ、
１５８Ｏリング、 １６０ ねじ

Claims (46)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 誘導結合されたプラズマ発生器のための
   取付け装置であって、 ハウジングアセンブリが設けられており、該ハウジング
   アセンブリが、壁開口を備えたハウジング壁から形成さ
   れたハウジングと、ハウジングに取り付けられていて、
   壁開口を貫通して延びた軸線を有する負荷コイルと、ハ
   ウジングの殆ど外側でハウジング壁に取り付けられてい
   て壁開口と整合した中心開口を有する受け部材と、該受
   け部材に取り付けられた環状の第１の電気的な接触素子
   と、貫通した中心アパーチュアを備えた第１のガスブロ
   ックと、中心アパーチュアを中心開口に整合させながら
   第１のガスブロックをハウジング壁に取り付けるための
   取付け手段とから成っており、前記第１のガスブロック
   が、プラズマ形成ガスを受け取る、中心アパーチュアに
   まで延びた外部通路を有しており、負荷コイルが、高周
   波エネルギを受け取るようになっており、ハウジング壁
   と、受け部材と、第１の接触素子とが、導電性でかつ互
   いに電気的に接触しており、 取付けアセンブリが設けられており、該取付けアセンブ
   リが、受け部材に嵌合するように形成された取付け部材
   と、該取付け部材に取り付けられた環状の第２の電気的
   な接触素子と、取付け部材に取り付けられていて中心ア
   パーチュア内で第１のガスブロックに嵌合するように形
   成された第２のガスブロックと、該第２のガスブロック
   から延びるように該第２のガスブロックに取り付けられ
   たガス管とから成っており、第２のガスブロックが、該
   第２のガスブロックを貫通してガス管にまで延びた内部
   通路を有しており、取付け部材と、第２の接触素子と
   が、導電性でかつ相互に電気的に接触しており、 ハウジングアセンブリへの取付けアセンブリの取外し可
   能な係合のための係合手段が設けられており、ハウジン
   グアセンブリと取付けアセンブリとが、協働するように
   構成されているので、係合時に、取付け部材が受け部材
   に嵌合させられ、第２のガスブロックが第１のガスブロ
   ックに嵌合させられ、第１の接点素子と、第２の接点素
   子とが、電気的に接触し、ガス管が負荷コイルと同軸的
   に延び、プラズマ形成ガスを負荷コイルにまでガス管内
   に供給するように内部通路が外部通路を整合し、負荷コ
   イルと、ガス管とが、高周波エネルギとのプラズマ形成
   ガスの誘導結合によってプラズマを生ぜしめるように、
   協働するように位置決めされるようになっていることを
   特徴とする、誘導結合されたプラズマトーチのための取
   付け装置。
2. 【請求項２】 受け部材が、ハウジングから外方に面し
   た環状のスロットを有しており、第１の接点素子が、前
   記スロットに保持された１対の向き合ったフィンガリン
   グから成っており、第２の接点素子が、接点帯材から成
   っており、これにより、取付けアセンブリが係合させら
   れながら、高周波遮蔽のために電気的に接触させられる
   ように帯材が、フィンガリングの間に挿入されるように
   なっている、請求項１記載の装置。
3. 【請求項３】 受け部材と、取付け部材と、中心アパー
   チュアと、第２のガスブロックとが、円筒状であり、前
   記係合手段が、受け部材に取付け部材を回転させて係合
   させるための手段から成っている、請求項１記載の装
   置。
4. 【請求項４】 前記取付けアセンブリが、さらに、ガス
   管内へ同軸的に延びるように取付け部材を貫通して取り
   付けられた試料噴射管を有しており、該試料噴射管が、
   プラズマへの噴射のための試料材料を受け取るようにな
   っている、請求項１記載の装置。
5. 【請求項５】 取付けアセンブリが、さらに、ガス管と
   噴射管との間に同軸的に配置された中間管を有してお
   り、これにより、プラズマ形成ガスが、ガス管内を中間
   管の外側を搬送されるようになっており、第１のガスブ
   ロックが、補助ガスを受け取る、中心アパーチュアにま
   で延びた補助的な外部通路を有しており、第２のガスブ
   ロックが、中間管内に延びた補助的な内部通路を有して
   おり、これにより、取付けアセンブリが係合されなが
   ら、補助ガスを中間管内へ搬送するために補助的な内部
   通路が補助的な外部通路と整合するようになっている、
   請求項４記載の装置。
6. 【請求項６】 取付け部材が、ガス管内で噴射管に沿っ
   て突出した管状の突出部を有しており、該突出部が、高
   周波遮蔽のためのカットオフを越えた導波管を提供する
   ために、長さ対直径の十分に高い比を有する軸線方向の
   ボアを有している、請求項４記載の装置。
7. 【請求項７】 取付けアセンブリが、さらに、試料材料
   をプラズマ内へ噴射するために噴射管が試料源から延び
   たまま、試料材料の試料源を取付け部材に保持するため
   の手段を有している、請求項４記載の装置。
8. 【請求項８】 前記試料源が、ネブライザである、請求
   項７記載の装置。
9. 【請求項９】 受け部材が、ハウジングから外方に面し
   た環状のスロットを有しており、第１の接触素子が、前
   記スロットに保持された１対の向き合ったフィンガリン
   グから成っており、第２の接触素子が、環状の帯材から
   成っており、これにより、取付けアセンブリが係合させ
   られながら、高周波遮蔽のために電気的に接触させられ
   るように帯材がフィンガリングの間に挿入されるように
   なっており、 受け部材と、取付け部材と、中心アパーチュアと、第２
   のガスブロックとが円筒状であり、係合手段が、受け部
   材に取付け部材を回転可能に係合させるための手段から
   成っており、 取付けアセンブリが、さらに、ガス管内へ同軸的に延び
   るように取付け部材を貫通して取り付けられた試料噴射
   管を有しており、該試料噴射管が、プラズマ内へ噴射す
   るための試料材料を受け取るようになっており、 取付け部材が、ガス管内で噴射管に沿って突出した管状
   の突出部を有しており、該突出部が、高周波遮蔽のため
   のカットオフを越えた導波管を提供するために長さ対直
   径の十分に高い比を有する軸線方向ボアを有しており、 取付けアセンブリが、さらに、プラズマ内に試料材料を
   噴射するためにネブライザから噴射管が延びながら、取
   付け部材にネブライザを保持するための手段を有してい
   る、請求項１記載の装置。
10. 【請求項１０】 取付けアセンブリが、さらに、ガス管
    と噴射管との間に同軸的に配置された中間管を有してお
    り、これにより、プラズマ形成ガスが、ガス管内で中間
    管の外側を搬送されるようになっており、第１のガスブ
    ロックが、補助ガスを受け取る、中心アパーチュアにま
    で延びた補助的な外部通路を有しており、第２のガスブ
    ロックが、中間管内に延びた補助的な内部通路を有して
    おり、取付けアセンブリが係合させられながら、中間管
    内に補助ガスを搬送するために、補助的な内部通路が補
    助的な外部通路と整合するようになっている、請求項９
    記載の装置。
11. 【請求項１１】 前記係合手段が、ハウジングアセンブ
    リに対する取付けアセンブリの選択的な軸線方向の位置
    決めのための位置決め手段と、ハウジングアセンブリに
    対して定置の回転位置に取付けアセンブリを保持するた
    めの、回転する保持手段とから成っており、第１の接触
    手段と、第２の接触手段とが、軸線方向の位置に拘わら
    ず電気的に接触したままであるように、協働するように
    なっており、 前記取付け手段が、ハウジング壁に対する軸線方向の位
    置決めの自由度を有しながら回転方向では定置の位置に
    第１のガスブロックをハウジング壁に保持するための保
    持手段と、内部通路が外部通路と整合したままであるよ
    うに、軸線方向の位置に拘わらず第１のガスブロックを
    第２のガスブロック上の当て付け位置にまで軸線方向に
    押し付けるための押付け手段とから成っており、これに
    より、前記位置決め手段が、負荷コイルに対するガス管
    の軸線方向の位置決めを提供するようになっている、請
    求項１記載の装置。
12. 【請求項１２】 受け部材が、ハウジングから外方に面
    した環状のスロットを有しており、前記第１の接触素子
    が、前記スロットに保持された１対の向き合ったフィン
    ガリングから成っており、第２の接点素子が、接触する
    帯材から成っており、これにより、取付けアセンブリが
    係合させられながら、高周波遮蔽のために電気的に接触
    させられるように帯材がフィンガリングの間に挿入され
    るようになっており、スロットと帯材とがそれぞれ、電
    気的な接触状態に止まるために軸線方向に協働するよう
    に延長している、請求項１１記載の装置。
13. 【請求項１３】 受け部材と、取付け部材と、中心アパ
    ーチュアと、第２のガスブロックとが、円筒状であり、
    係合手段が、取付け手段に嵌合された連結リングと、相
    対的な回転位置決めの自由度を有しながら取付け部材に
    連結リングを保持するためのリテーナとから成ってお
    り、位置決め手段が、選択的な軸線方向の位置決めのた
    めに連結リングを受け部材と回転可能に係合させるため
    の手段から成っている、請求項１１記載の装置。
14. 【請求項１４】 取付けシリンダが、受け部材に沿って
    外方へ半径方向に延びるための取付けフランジを有して
    おり、連結リングが、取付けフランジに被せはめられて
    おり、かつ受け部材に被さるように延びるためのスカー
    トを有しており、 回転保持手段が、軸線に対して平行なハウジングから外
    方へ開放した少なくとも１つの孔を有する受け部材と、
    フランジに取り付けられた少なくとも１つのピンとから
    成っており、各ピンが、対応する孔にスライド可能に挿
    入されるようになっており、 位置決め手段が、ハウジングアセンブリに対する取付け
    アセンブリの軸線方向の位置決めを行うために、受け部
    材へのスカート斜めの回転する係合から成っている、請
    求項１３記載の装置。
15. 【請求項１５】 連結リングが、アーチ状に間隔を置い
    て配置された複数の部分的に環状のスロットを有する半
    径方向内向きのフランジを有しており、リテーナが、取
    付けフランジに取り付けられた対応する複数のボルトか
    ら成っており、各ボルトが、環状のスロットを貫通して
    おり、また、相対的な回転する位置決めの自由度を有し
    ながら、連結リングを取付け部材に同軸的に保持するた
    めの頭部を有しており、 回転係合が、内縁部と、アーチ状に間隔を置いて配置さ
    れかつ内縁部において開放した複数の斜めのスロットと
    を有するスカートから成っており、リテーナが、それぞ
    れが斜めのスロット内へ延びながら取付け部材に取り付
    けられた対応する複数の突起から成っており、これによ
    り、連結リングが、取外し可能な係合のために突起から
    取外し可能であり、突起を備えた取付け部材上での連結
    リングの回転が、軸線方向の位置決めを行うようになっ
    ている、請求項１４記載の装置。
16. 【請求項１６】 取付けアセンブリが、さらに、ガス管
    内に同軸的に延びるように取付け部材を貫通して取り付
    けられた試料噴射管を有しており、該噴射管が、内端部
    を有しており、該内側端部からプラズマ内への噴射のた
    めに試料材料を受け取るようになっており、この場合、
    位置決め手段が、さらに、プラズマに対する内端部の軸
    線方向の位置決めを提供するようになっている、請求項
    １１記載の装置。
17. 【請求項１７】 取付けアセンブリが、さらに、ガス管
    と噴射管との間に同軸的に配置された中間管を有してお
    り、これにより、プラズマ形成ガスが、ガス管内を中間
    管の外側で搬送されるようになっており、第１のガスブ
    ロックが、補助ガスを受け取る、中心アパーチュアにま
    で延びた補助的な外部通路を有しており、第２のガスブ
    ロックが、中間管内に延びた補助的な内部通路を有して
    おり、これにより、取付けアセンブリが係合させられな
    がら、補助ガスを中間管内に搬送するために補助的な内
    部通路が補助的な外部通路と整合するようになってい
    る、請求項１６記載の装置。
18. 【請求項１８】 取付け部材が、ガス管内で噴射管に沿
    って突出した管状の突出部を有しており、該突出部が、
    高周波遮蔽のためのカットオフを越えた導波管を提供す
    るために、長さ対直径の十分に高い比を有する軸線方向
    のボアを有している、請求項１７記載の装置。
19. 【請求項１９】 取付け部材と受け部材とが、管状の突
    出部が受け部材にルーズに嵌合するために、協働するよ
    うに形成されている、請求項１８記載の装置。
20. 【請求項２０】 取付けアセンブリが、さらに、試料材
    料をプラズマ内に噴射するために噴射管が試料源から延
    びながら、試料材料の試料源を取付け部材に保持するた
    めの手段を有している、請求項１６記載の装置。
21. 【請求項２１】 試料源が、ネブライザである、請求項
    ２０記載の装置。
22. 【請求項２２】 受け部材が、ハウジングから外方へ面
    した環状のスロットを有しており、第１の接触素子が、
    前記スロット内に保持された１対の向き合ったフィンガ
    リングから成っており、第２の接触素子が、接触帯材か
    ら成っており、これにより、取付け部材が係合させられ
    ながら、前記帯材が、高周波遮蔽のために電気的に接触
    させられるようにフィンガリングの間に挿入されるよう
    になっており、スロットと帯材とがそれぞれ、電気的な
    接触状態に止まるために軸線方向に、協働するように延
    長しており、 受け部材と、取付け部材と、中心アパーチュアと、第２
    のガスブロックとが、円筒状であり、係合手段が、取付
    け部材に嵌合させられた連結リングと、相対的な回転す
    る位置決めの自由度を有しながら、取付け部材に連結リ
    ングを保持するためのリテーナとから成っており、位置
    決め手段が、選択的な軸線方向の位置決めのために連結
    リングを受け部材と係合させるための手段から成ってお
    り、 取付けアセンブリが、さらに、ガス管内に同軸的に延び
    るように取付け部材を貫通して取り付けられた試料噴射
    管を有しており、該噴射管が、内端部を有しており、該
    内端部からプラズマへの噴射のために試料材料を受け取
    るようになっており、位置決め手段が、さらに、プラズ
    マに対する内端部の軸線方向の位置決めを提供するよう
    になっており、 取付けアセンブリが、さらに、ガス管と噴射管との間に
    同軸的に配置された中間管を有しており、これにより、
    プラズマ形成ガスが、ガス管内を中間管の外側で搬送さ
    れるようになっており、第１のガスブロックが、補助ガ
    スを受け取る、中心アパーチュアにまで延びた補助的な
    外部通路を有しており、第２のガスブロックが、中間管
    内に延びた補助的な内部通路を有しており、これによ
    り、取付けアセンブリが係合させられながら、補助ガス
    を中間管内に搬送するために補助的な内部通路が補助的
    な外部通路と整合するようになっており、 取付け部材が、ガス管内で噴射管に沿って突出した管状
    の突出部を有しており、該突出部が、高周波遮蔽のため
    のカットオフを越えた導波管を提供するために、長さ対
    直径の十分に高い比を有する軸線方向のボアを有してお
    り、取付け部材と、受け部材とが、管状の突出部が受け
    部材にルーズに嵌合するように、協働するように形成さ
    れており、 取付けアセンブリが、さらに、試料材料をプラズマ内へ
    噴射するように噴射管がネブライザから延びながら、ネ
    ブライザを取付け部材に保持するための手段を有してい
    る、請求項１１記載の装置。
23. 【請求項２３】 取付けシリンダが、受け部材に沿って
    半径方向外向きに延びるための取付けフランジを有して
    おり、連結リングが、前記フランジに沿って嵌合させら
    れ、また、受け部材に沿って延びるためのスカートを有
    しており、 回転保持手段が、軸線に対して平行に設けられていてハ
    ウジングから外方へ開放した少なくとも１つの孔を有す
    る受け部材と、フランジに取り付けられた少なくとも１
    つのピンとから成っており、各ピンが、対応する孔にス
    ライド可能に挿入されており、 位置決め手段が、ハウジングアセンブリに対する取付け
    アセンブリの軸線方向の位置決めを行うために、受け部
    材へのスカートの斜めの回転する係合から成っており、 連結リングが、アーチ状に間隔を置いて配置された複数
    の部分環状のスロットを有する半径方向内向きのフラン
    ジを有しており、リテーナが、取付けフランジに取り付
    けられた対応する複数のボルトから成っており、相対的
    な回転による位置決めの自由度を有しながら、取付け部
    材と同軸的に連結リングを保持するために、各突起が、
    部分環状のスロットを貫通していてかつ頭部を有してお
    り、 前記回転する係合が、内縁部と、アーチ状に間隔を置い
    て配置されていて前記内縁部において開放した複数の斜
    めのスロットとを有するスカートから成っており、リテ
    ーナが、それぞれが１つのスロット内へ延びながら取付
    け部材に取り付けられた対応する複数の突起から成って
    おり、連結リングが、取外し可能な係合のために突起か
    ら取外し可能であり、突起を用いた取付け部材上での取
    付けリングの回転が、軸線方向での位置決めを行うよう
    になっている、請求項２２記載の装置。
24. 【請求項２４】 誘導結合されたプラズマ発生器のハウ
    ジングアセンブリに取り付けるための取付けアセンブリ
    であって、 ハウジングアセンブリが、壁開口を備えたハウジング壁
    から形成されたハウジングと、ハウジングに取り付けら
    れていて、壁開口を貫通して延びた軸線を有する負荷コ
    イルと、ハウジングの殆ど外側でハウジング壁に取り付
    けられていて、壁開口と整合した中心開口を有する受け
    部材と、該受け部材に取り付けられた環状の第１の電気
    的な接触素子と、貫通した中心アパーチュアを備えた第
    １のガスブロックと、中心アパーチュアを中心開口に整
    合させながら第１のガスブロックをハウジング壁に取り
    付けるための取付け手段とを有しており、前記第１のガ
    スブロックが、プラズマ形成ガスを受け取る、中心アパ
    ーチュアにまで延びた外部通路を有しており、負荷コイ
    ルが、高周波エネルギを受け取るようになっており、ハ
    ウジング壁と、受け部材と、第１の接触素子とが、導電
    性であり、互いに電気的に接触している形式のものにお
    いて、 取付けアセンブリが、受け部材に嵌合するように形成さ
    れた取付け部材と、該取付け部材に取り付けられた環状
    の第２の電気的な接触素子と、取付け部材に取り付けら
    れていて、中心アパーチュアにおいて第１のガスブロッ
    クに嵌合するように形成された第２のガスブロックと、
    第２のガスブロックから延びるように該第２のガスブロ
    ックに取り付けられたガス管と、ハウジングアセンブリ
    への取付けアセンブリの取外し可能な係合のための係合
    手段とから成っており、第２のガスブロックが、該第２
    のガスブロックを貫通してガス管内へ延びた内部通路を
    有しており、取付け部材と、第２の接触素子とが、導電
    性であり、互いに電気的に接触しており、 前記係合手段が、協働するように形成されたハウジング
    アセンブリと取付けアセンブリとから成っており、係合
    させられながら、取付け部材が受け部材に嵌合させら
    れ、第２のガスブロックが、第１のガスブロックに嵌合
    させられ、第１の接触素子と、第２の接触素子とが、電
    気的に接触し、ガス管が、負荷コイルと同軸的に延びて
    おり、プラズマ形成ガスを負荷コイルにまでガス管内で
    搬送するために内部通路が外部通路と整合しており、高
    周波エネルギとのプラズマ形成ガスの誘導結合によって
    プラズマを生ぜしめるために、負荷コイルと、ガス管と
    が、協働するように位置決めされていることを特徴とす
    る、取付けアセンブリ。
25. 【請求項２５】 受け部材が、ハウジングから外方へ面
    した環状のスロットを有しており、第１の接触素子が、
    前記スロット内に保持された１対の向き合ったフィンガ
    リングから成っており、第２の接触素子が、接触帯材か
    ら成っており、取付けアセンブリが係合させられなが
    ら、高周波遮蔽のために電気的に接触させられるよう
    に、帯材がフィンガリングの間に挿入されるようになっ
    ている、請求項２４記載のアセンブリ。
26. 【請求項２６】 受け部材と、取付け部材と、中心アパ
    ーチュアと、第２のガスブロックとが円筒状であり、係
    合手段が、受け部材に取付け部材を回転係合させるため
    の手段から成っている、請求項２４記載のアセンブリ。
27. 【請求項２７】 取付けアセンブリが、さらに、ガス管
    内を同軸的に延びるように取付け部材を貫通して取り付
    けられた試料噴射管を有しており、該噴射管が、プラズ
    マ内に噴射するために試料材料を受け取るようになって
    いる、請求項２４記載のアセンブリ。
28. 【請求項２８】 取付けアセンブリが、さらに、ガス管
    と噴射管との間に同軸的に配置された中間管を有してお
    り、これにより、プラズマ形成ガスが、ガス管内で中間
    管の外側を搬送されるようになっており、第１のガスブ
    ロックが、補助ガスを受け取る、中心アパーチュアにま
    で延びた補助的な外部通路を有しており、第２のガスブ
    ロックが、中間管内に延びた補助的な内部通路を有して
    おり、これにより、取付け部材が係合させられながら、
    補助ガスを中間管内へ搬送するために補助的な内部通路
    が補助的な外部通路と整合するようになっている、請求
    項２７記載のアセンブリ。
29. 【請求項２９】 取付け部材が、ガス管内で噴射管に沿
    って突出した管状の突出部を有しており、該突出部が、
    高周波遮蔽のためのカットオフを越えた導波管を提供す
    るために、長さ対直径の十分に高い比を有する軸線方向
    のボアを有している、請求項２７記載のアセンブリ。
30. 【請求項３０】 取付けアセンブリが、さらに、試料材
    料をプラズマ内へ噴射するために噴射管が試料源から延
    びながら、試料材料の試料源を取付け部材に保持するた
    めの手段を有している、請求項２７記載のアセンブリ。
31. 【請求項３１】 試料源が、ネブライザである、請求項
    ３０記載のアセンブリ。
32. 【請求項３２】 受け部材が、ハウジングから外方に面
    した環状のスロットを有しており、第１の接触素子が、
    前記スロット内に保持された１対の向き合ったフィンガ
    リングから成っており、第２の接触素子が、環状の帯材
    から成っており、取付けアセンブリが係合させられなが
    ら、帯材が、高周波遮蔽のために電気的に接触させられ
    るようにフィンガリングの間に挿入されるようになって
    おり、 受け部材と、取付け部材と、中心アパーチュアと、第２
    のガスブロックとが、円筒状であり、係合手段が、取付
    け部材を受け部材に回転係合させるための手段から成っ
    ており、 取付けアセンブリが、さらに、ガス管内で同軸的に延び
    るように取付け部材を貫通して取り付けられた試料噴射
    管を有しており、該噴射管が、プラズマ内へ噴射するた
    めに試料材料を受け取るようになっており、 取付け部材が、ガス管内で噴射管に沿って突出した突出
    部を有しており、該突出部が、高周波遮蔽のためのカッ
    トオフを越えた導波管を提供するために、長さ対直径の
    十分に高い比を有する軸線方向のボアを有しており、 取付けアセンブリが、さらに、試料材料をプラズマ内へ
    噴射するために噴射管がネブライザから延びながら、取
    付け部材にネブライザを保持するための手段を有してい
    る、請求項２４記載のアセンブリ。
33. 【請求項３３】 取付けアセンブリが、さらに、ガス管
    と噴射管との間に同軸的に配置された中間管を有してお
    り、これにより、プラズマ形成ガスがガス管内を中間管
    の外側で搬送されるようになっており、第１のガスブロ
    ックが、補助ガスを受け取る、中心アパーチュアにまで
    延びた補助的な外部通路を有しており、第２のガスブロ
    ックが、中間管内に延びた補助的な内部通路を有してお
    り、これにより、取付けアセンブリが係合させられなが
    ら、補助ガスを中間管内へ搬送するために、補助的な内
    部通路が補助的な外部通路と整合するようになってい
    る、請求項３２記載のアセンブリ。
34. 【請求項３４】 係合手段が、ハウジングアセンブリに
    対する取付けアセンブリの選択的な軸線方向の位置決め
    のための位置決め手段と、ハウジングアセンブリに対し
    て回転方向で定置の位置に取付けアセンブリを保持する
    ための回転保持手段とから成っており、第１の接触手段
    と、第２の接触手段とが、軸線方向の位置に拘わらず電
    気的に接触した状態に止まるように、協働するようにな
    っており、 取付け手段が、ハウジング壁に対する軸線方向の位置決
    めの自由度を有しながら、回転方向で定置の位置に第１
    のガスブロックをハウジング壁に保持するための保持手
    段と、内部通路が外部通路と整合したままであるように
    軸線方向の位置に拘わらずに第１のガスブロックを第２
    のガスブロック上の当て付け位置にまで押し付けるため
    の押付け手段とから成っており、これにより、位置決め
    手段が、負荷コイルに対するガス管の軸線方向の位置決
    めを提供するようになっている、請求項２４記載のアセ
    ンブリ。
35. 【請求項３５】 受け部材が、ハウジングから外方へ面
    した環状のスロットを有しており、第１の接触素子が、
    前記スロットにおいて保持された１対の向き合ったフィ
    ンガリングから成っており、第２の接触素子が、接触帯
    材から成っており、これにより、取付けアセンブリが係
    合させられながら、高周波遮蔽のために電気的に接触さ
    せられるように帯材がフィンガリングの間に挿入される
    ようになっており、スロットと帯材とがそれぞれ、電気
    的な接触状態に止まるように軸線方向で、協働するよう
    に延長させられている、請求項３４記載のアセンブリ。
36. 【請求項３６】 受け部材と、取付け部材と、中心アパ
    ーチュアと、第２のガスブロックとが、円筒状であり、
    係合手段が、取付け部材に取付けらっれた連結リング
    と、相対的な回転位置決めの自由度を有しながら取付け
    部材に連結リングを保持するためのリテーナとから成っ
    ており、位置決め手段が、選択的な軸線方向の位置決め
    のために受け部材に連結リングを回転可能に係合させる
    ための手段から成っている、請求項３４記載のアセンブ
    リ。
37. 【請求項３７】 取付けシリンダが、受け部材に沿って
    半径方向外向きに延びるための取付けフランジを有して
    おり、この場合、連結リングが、前記フランジに沿って
    取り付けらていて、かつ受け部材に沿って延びるための
    スカートを有しており、 回転可能な保持手段が、軸線に対して平行に設けられて
    いてハウジングから外方へ開放した少なくとも１つの孔
    を有する受け部材と、それぞれが対応する孔にスライド
    可能に挿入されるようにフランジに取り付けられた１つ
    のピンとから成っており、 位置決め手段が、ハウジングアセンブリに対する取付け
    アセンブリの軸線方向の位置決めを行うために、受け部
    材へのスカートの斜めの回転可能な係合から成ってい
    る、請求項３６記載のアセンブリ。
38. 【請求項３８】 連結リングが、アーチ状に間隔を置い
    て配置された、複数の部分環状のスロットを有する半径
    方向内方に延びたフランジを有しており、リテーナが、
    取付けフランジに取り付けられた対応する複数のボルト
    から成っており、各ボルトが、環状のスロットを貫通し
    て延びており、かつ、相対的な回転位置決めの自由度を
    有しながら取付け部材と同軸的に連結リングを保持する
    ために頭部を有しており、リテーナが、さらに、周方向
    で取付け部材に取り付けられた、対応した複数のアーチ
    状に間隔を置いて配置された突起を有しており、 回転係合が、内方に面した縁部と、アーチ状に間隔を置
    いて配置されていて内方の縁部において開放した複数の
    斜めのスロットとを有するスカートから成っており、前
    記斜めのスロットが、係合のために突起を収容するよう
    になっており、これにより、連結リングが、取外し可能
    名係合のために突起から取外し可能であり、突起を用い
    た取付け部材上での連結リングの回転が、軸線方向の位
    置決めを生ぜしめるようになっている、請求項３７記載
    のアセンブリ。
39. 【請求項３９】 取付けアセンブリが、さらに、ガス管
    内へ同軸的に延びるように取付け部材を貫通して取り付
    けられた試料噴射管を有しており、該噴射管が、内端部
    を有しており、かつ、該内端部からプラズマ内への噴射
    のために試料材料を受け入れるようになっており、この
    場合、位置決め手段が、さらに、プラズマに対する内端
    部の軸線方向の位置決めを提供するようになっている、
    請求項３４記載のアセンブリ。
40. 【請求項４０】 取付けアセンブリが、さらに、ガス管
    と噴射管との間に同軸的に配置された中間管を有してお
    り、これにより、プラズマ形成ガスが、ガス管内を中間
    管の外側で搬送されるようになっており、第１のガスブ
    ロックが、補助ガスを受け入れる、中心アパーチュアに
    まで延びた補助的な外部通路を有しており、第２のガス
    ブロックが、中間管内に延びた補助的な内部通路を有し
    ており、これにより、取付けアセンブリが係合させられ
    ながら、補助ガスを中間管内に搬送するために補助的な
    内部通路が補助的な外部通路と整合するようになってい
    る、請求項３９記載のアセンブリ。
41. 【請求項４１】 取付け部材が、ガス管内で噴射管に沿
    って突出した管状の突出部を有しており、該突出部が、
    高周波遮蔽のためのカットオフを越えた導波管を提供す
    るために長さ対直径の十分に高い比を有する軸線方向の
    ボアを有している、請求項４０記載のアセンブリ。
42. 【請求項４２】 取付け部材と、受け部材とが、管状の
    突出部を受け部材にルーズに嵌合させるために、協働す
    るように形成されている、請求項４１記載のアセンブ
    リ。
43. 【請求項４３】 取付けアセンブリが、さらに、試料材
    料をプラズマ内に噴射させるために、噴射管が試料源か
    ら延びながら、試料材料の試料源を取付け部材に保持す
    るための手段を有している、請求項３９記載のアセンブ
    リ。
44. 【請求項４４】 試料源が、ネブライザである、請求項
    ４３記載のアセンブリ。
45. 【請求項４５】 受け部材が、ハウジングから外方に面
    した環状のスロットを有しており、第１の接触素子が、
    前記スロットにおいて保持された１対の向き合ったフィ
    ンガリングから成っており、第２の接触素子が、接触帯
    材から成っており、これにより、取付けアセンブリが係
    合させられながら、高周波遮蔽のために電気的に接触さ
    せられるように、前記帯材がフィンガリングの間に挿入
    されるようになっており、スロットと帯材とのそれぞれ
    が、電気的な接触状態に止まるように、軸線方向で、協
    働するように延長させられており、 受け部材と、取付け部材と、中心アパーチュアと、第２
    のガスブロックとが、円筒状であり、係合手段が、取付
    け部材に取り付けられた連結リングと、相対的な回転位
    置決めの自由度を有しながら取付け部材に連結リングを
    保持するためのリテーナとから成っており、位置決め手
    段が、選択的な軸線方向の位置決めのために、連結リン
    グを受け部材と係合させるための手段から成っており、 取付けアセンブリが、さらに、ガス管内で同軸的に延び
    るように、取付け部材を貫通して取り付けられた試料噴
    射管を有しており、該噴射管が、内端部を有しており、
    かつ、内端部からプラズマ内へ噴射するために、試料材
    料を受け取るようになっており、この場合、位置決め手
    段が、さらに、プラズマに対する内端部の軸線方向の位
    置決めを提供するようになっており、 取付けアセンブリが、さらに、ガス管と噴射管との間に
    配置された中間管を有しており、これにより、プラズマ
    形成ガスがガス管内を中間管の外側で搬送されるように
    なっており、第１のガスブロックが、補助ガスを受け取
    る、中心アパーチュアにまで延びた補助的な外部通路を
    有しており、第２のガスブロックが、中間管内に延びた
    補助的な内部通路を有しており、これにより、取付けア
    センブリが係合させられながら、補助ガスを中間管内に
    搬送するために補助的な内部通路が補助的な外部通路と
    整合するようになっており、 取付け部材が、ガス管内で噴射管に沿って突出した管状
    の突出部を有しており、該突出部が、高周波遮蔽のため
    のカットオフを越えた導波管を提供するために、長さ対
    直径の十分に高い比を有する軸線方向のボアを有してお
    り、取付け部材と、受け部材とが、管状の突出部が受け
    部材にルーズに嵌合するために、協働するように形成さ
    れており、 取付け部材が、さらに、試料材料をプラズマ内に噴射す
    るために、噴射管がネブライザから延びながらネブライ
    ザを取付け部材に保持するための手段を有している、請
    求項３４記載のアセンブリ。
46. 【請求項４６】 取付けシリンダが、受け部材に沿って
    半径方向外方へ延びるための取付けフランジを有してお
    り、この場合、連結リングが、前記フランジに沿って嵌
    合させられておりかつ受け部材に沿って延びるためのス
    カートを有しており、 回転保持手段が、軸線に対して平行に設けられた、ハウ
    ジングから外方へ開放している少なくとも１つの孔を有
    する受け部材と、それぞれが対応する孔にスライド可能
    に挿入されるようにフランジに取り付けられた少なくと
    も１つのピンとから成っており、 位置決め手段が、ハウジングアセンブリに対する取付け
    アセンブリの軸線方向の位置決めを行うために、受け部
    材へのスカートの斜めの回転係合から成っており、 連結リングが、アーチ状に間隔を置いて配置された複数
    の部分環状のスロットを有する半径方向内向きに延びた
    フランジを有しており、リテーナが、取付けフランジに
    取り付けられた、対応する複数のボルトから成ってお
    り、各ボルトが、部分環状のスロットを貫通して延びて
    おり、かつ、相対的な回転による位置決めの自由度を有
    しながら、連結リングを取付け部材と同軸的に保持する
    ための頭部を有しており、リテーナが、さらに、取付け
    部材に周方向に沿って取り付けられた、アーチ状に間隔
    を置いて配置された、対応した複数の突起を有してお
    り、 回転可能な係合は、内方に面した縁部と、アーチ状に間
    隔を置いて配置されていて前記内縁部において開放した
    複数の斜めのスロットとを有するスカートから成ってお
    り、該斜めのスロットが、突起の係合のために突起を収
    容するようになっており、これにより、連結リングが、
    取外し可能な係合のために突起から取外し可能であり、
    突起を用いた取付け部材上での連結リングの回転が、軸
    線方向の位置決めを生ぜしめるようになっている、請求
    項４５記載のアセンブリ。