JPH11196528A - 静電気放電保護のための回路 - Google Patents

静電気放電保護のための回路

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JPH11196528A JP10286066A JP28606698A JPH11196528A JP H11196528 A JPH11196528 A JP H11196528A JP 10286066 A JP10286066 A JP 10286066A JP 28606698 A JP28606698 A JP 28606698A JP H11196528 A JPH11196528 A JP H11196528A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 多様な集積回路に適応でき、集積回路上の領
域を浪費せず、リーク電流の少ない静電気放電保護回路
を実現する。 【解決手段】 静電気放電(ESD)回路700は入力
/出力ドライバ回路10に対し強固な保護を提供する。
放電経路はバイポーラトランジスタ202によって提供
される。該バイポーラ装置はn型MOSFET702、
ダイオードのストリング200、およびバイアス回路7
04の組合せによってトリガされる。MOSFETのト
リガポイントはダイオードのストリングの個々のダイオ
ードの数を変えることによりプログラム可能である。n
型MOSFETの比較的高いトランスコンダクタンスは
与えられた保護の程度に対してより小さなESD回路を
使用できるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は一般的には、電子集
積回路に関し、かつより特定的には集積回路のための静
電気放電保護回路に関する。
【0002】
【従来の技術】半導体産業においては、静電気放電保護
(electrostatic discharge
protection:ESD)回路を使用することが
知られている。ESD回路は集積された半導体装置が製
造後の日常のプロセスの間に静電気によって破壊されな
いことを保証する。しかしながら、半導体産業における
現行のおよび予見できる傾向は知られたESD回路の有
効性に悪影響を与えつつある。
【0003】例えば、高濃度ドープエピタキシャル(e
pi)基板は金属酸化物半導体(MOS)電界効果トラ
ンジスタ(FET)および厚膜フィールド酸化物(TF
O)装置が電流シャント装置(current shu
nting devices)として作用するのを妨げ
る。通常の使用においては、高濃度ドープ基板が望まし
い。そのような基板は「ラッチアップ(latch−u
p)」の望ましくない発生を低減する。ラッチアップの
間に、2つの相補MOSFETによって形成される2つ
の寄生バイポーラトランジスタはフィードバックループ
を生成する。該フィードバックループにおいては、第1
の寄生バイポーラ装置のベースはまた第2の装置のコレ
クタである。逆に、第2の装置のベースは第1の装置の
コレクタである。これらのトランジスタの双方が導通し
ている場合、多量の電流が2つの電源の間に流れる可能
性がある。前記2つのトランジスタの端子の1つに加え
られる高電流事象は2つの寄生トランジスタが導通する
ようにさせる。高濃度ドープエピタキシャル基板は前記
基板および、従って、一方の装置のベースおよび他方の
装置のコレクタを接地することにより前記フィードバッ
クループを切断するよう作用する。
【0004】シート抵抗(rho)を低減するためにサ
リサイド(salicide)接合層を使用することも
また知られたESD回路の有効性を低下させる。ここ
で、いくつかのMOSFETまたは単一のMOSFET
を形成するいくつかのフィンガがESD保護を提供する
ために寄生バイポーラ装置として作用する。そのような
ESD装置は寄生バイポーラトランジスタの「スナップ
バック(snap−back)」電流−電圧特性に依存
する。この場合、電流はあるコレクタ−エミッタ電圧、
Vt1、においてバイポーラトランジスタを通って流れ
始める。その後、コレクタ−エミッタ電圧は電流が増大
するに応じて低減し、Vt1から「スナップバック」す
ることになる。その後、この傾向は逆転し、電流が上昇
するに応じてコレクタ−エミッタ電圧も上昇するように
させる。結局、前記バイポーラトランジスタは他の特定
のコレクタ−エミッタ電圧、Vt2、において動作しな
くなる。前記サリサイド層の低い抵抗は最終的なブレイ
クダウン電圧、Vt2、を初期電圧、Vt1、より低く
なるようにさせる。そのような関係は第1のMOSFE
TまたはMOSFETの第1のフィンガが第2のMOS
FETがターンオンする電圧より低い電圧でブレイクダ
ウンするようにさせる。その結果、前記MOSFET群
によって提供される保護は単一のMOSFETによって
提供される保護より大きくないことになる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】いくつかの知られたE
SD回路は一方の電圧線路(voltage rail
s)から他方へと与えられる過剰なエネルギをシャント
または分路(shunt)するために集積回路の電圧線
路の間の固有の容量に依存する。この戦略は保護を提供
するのに必要な装置またはデバイスの合計数を最小にす
る。しかしながら、この戦略はまた集積回路の容量が低
下するに応じて動作しなくなる。その結果、ある特定の
集積回路のために設計された1つのESD回路は他の回
路に対しては十分なものでなくなる可能性がある。
【0006】ダイ縮小は半導体産業における支配的な傾
向の1つである。集積回路が縮小するに応じて、ESD
回路に割り当てられる領域または面積も縮小する。典型
的には、ESD回路は該回路が保護する入力、出力、ま
たはI/Oピンの下に配置される。この領域は急速にそ
のような回路を受け入れるためには不適切なものとなり
つつある。
【0007】他の知られたESD回路は電力をシャント
または分路するためにダイオードストリング(diod
e strings)またはダイオードのつながりに依
存する。残念なことに、これらのダイオードストリング
は高い温度で電流をリークする。さらに、各々のダイオ
ードのリーケージがその温度と共に増大する。半導体産
業における他の傾向はできるだけ少ない電流を消費しか
つ広い範囲の用途に適した集積回路を設計しかつ製造す
ることである。これらの両方の目標は環境的な事項によ
って制限されるリークの多い設計によって悪影響を受け
る。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の一態様に係わる
静電気放電保護のための回路は、入力端子、第1の電流
電極、第2の電流電極、および制御電極を具備する第1
のトランジスタであって、該第1のトランジスタの前記
第1の電流電極は前記入力端子に結合されているもの、
前記第1のトランジスタの前記制御電極に結合されたバ
イアス回路であって、該バイアス回路は静電気放電事象
の間または間に前記第1のトランジスタを導通状態にす
るもの、そして第1の電流電極、第2の電流電極、およ
び制御電極を具備する寄生バイポーラ装置であって、前
記第1の電流電極は前記入力端子に結合され、前記第2
の電流電極は第2の電源を受け、そして前記制御電極は
前記第1のトランジスタの前記第2の電流電極に結合さ
れているもの、を具備することを特徴とする。
【0009】本発明の別の態様に係わる静電気放電保護
のための回路は、入力端子、第1の端子および第2の端
子を備えた少なくとも1つのダイオードを具備するダイ
オードストリングであって、前記第1の端子は前記入力
端子に結合されているもの、第1の電流電極、第2の電
流電極、および制御電極を具備する第1のトランジスタ
であって、前記第1のトランジスタの前記第1の電流電
極は前記ダイオードストリングの第2の端子に結合さ
れ、かつ前記第1のトランジスタの制御電極は第1の電
源を受けるもの、前記第1のトランジスタに結合された
バイアス回路であって、該バイアス回路は静電気放電事
象の間または間に前記第1のトランジスタを導通状態に
するもの、そして寄生バイポーラ装置であって、該寄生
バイポーラ装置は同じ導電型の第1の拡散領域および第
2の拡散領域を備え、これらの拡散領域は反対導電型の
本体部に配置され、前記第1の拡散領域は前記入力端子
に結合され、前記第2の拡散領域は第2の電源電圧を受
けるもの、を具備することを特徴とする。
【0010】本発明のさらに別の態様に係わる静電気放
電保護のための回路は、入力端子、第1の電流電極、第
2の電流電極、および制御電極を具備する第1のトラン
ジスタであって、前記第1のトランジスタはn型トラン
ジスタでありかつ前記第1のトランジスタの第1の電流
電極は前記入力端子に結合されているもの、前記第1の
トランジスタの制御電極に結合されたバイアス回路であ
って、該バイアス回路は静電気放電事象の間または間に
前記第1のトランジスタを導通状態にするもの、そして
第1の電流電極、第2の電流電極、および制御電極を具
備するバイポーラ装置であって、前記第1の電流電極は
前記入力端子に結合され、前記第2の電流電極は第2の
電源電圧を受け、そして前記制御電極は前記第1のトラ
ンジスタの第2の電流電極に結合されているもの、を具
備することを特徴とする。
【0011】本発明のさらに別の態様に係わる静電気放
電保護のための回路は、入力端子、第1の端子および第
2の端子を備えた少なくとも1つのダイオードからなる
ダイオードストリングであって、前記第1の端子は前記
入力端子に結合されているもの、第1の電流電極、第2
の電流電極、そして制御電極を具備する第1のトランジ
スタであって、該第1のトランジスタはn型トランジス
タであり、前記第1のトランジスタの第1の電流電極は
前記ダイオードストリングの第2の端子に結合され、か
つ前記第1のトランジスタの制御電極は第1の電源電圧
を受けるもの、前記第1のトランジスタに結合されたバ
イアス回路であって、該バイアス回路は静電気放電事象
の間または間に前記第1のトランジスタを導通状態にす
るもの、そして第1の電流電極、第2の電流電極、そし
て制御電極を具備するバイポーラ装置であって、前記第
1の電流電極は前記入力端子に結合され、前記第2の電
流電極は第2の電源電圧を受け、そして前記制御電極は
前記第1のトランジスタの第2の電流電極に結合されて
いるもの、を具備することを特徴とする。
【0012】本発明のさらに別の態様に係わる静電気放
電保護のための回路は、入力端子、第1の電流電極、第
2の電流電極、そして制御電極を具備する第1のトラン
ジスタであって、該第1のトランジスタの第1の電流電
極は前記入力端子に結合されているもの、前記第1のト
ランジスタの制御電極に結合されたフィードバック回路
であって、該フィードバック回路は静電気放電事象の間
または間に前記第1のトランジスタを導通状態に維持す
るもの、そして第1の電流電極、第2の電流電極、そし
て制御電極を具備する寄生バイポーラ装置であって、前
記第1の電流電極は前記入力端子に結合され、前記第2
の電流電極は第2の電源電圧を受け、そして前記制御電
極は前記第1のトランジスタの第2の電流電極に結合さ
れているもの、を具備することを特徴とする。
【0013】また、本発明の一態様に係わる静電気放電
(ESD)保護のためのセグメント化バスアーキテクチ
ャ(SBA)は、複数のグループであって、各々のグル
ープは、(a)前記SBAに結合された少なくとも1つ
のパッドセルであって、該少なくとも1つのパッドセル
は入力パッドセル、出力パッドセル、および入力/出力
パッドセルからなる組から選択されるもの、そして
(b)前記SBAに、第1の電源に、そして第2の電源
に結合されたESD保護回路、を具備するもの、を具備
することを特徴とする。
【0014】前記ESD保護回路は、入力端子、第1の
電流電極、第2の電流電極、制御電極、そして本体部端
子を備えた第1のトランジスタであって、該第1のトラ
ンジスタの第1の電流電極は前記入力端子に結合されて
いるもの、そして第1の電流電極、第2の電流電極、そ
して制御電極を具備する寄生バイポーラ装置であって、
前記第1の電流電極は前記入力端子に結合され、前記第
2の電流電極は前記第2の電源電圧を受け、そして前記
制御電極は前記第1のトランジスタの第2の電流電極に
結合されているもの、を具備すると好都合である。
【0015】
【発明の実施の形態】本発明の特徴および利点は図面と
共に以下の詳細な説明を参照することによりさらに明瞭
に理解され、添付の図面においては同じ参照数字は同じ
または対応する部分を示している。
【0016】図1は、本発明に従って構成された入力/
出力(I/O)ドライバ回路10の部分的ブロックおよ
び部分的回路図を示す。I/Oドライバ回路10は静電
気放電事象に対しておよび電気的オーバストレス(el
ectrical overstress:EOS)事
象に対して保護を提供するためESD回路12を含む。
ESD回路12はバイポーラトランジスタにトリガ電流
を供給するためn型MOSFETを使用する。その結
果、ESD回路12は高濃度ドープエピタキシャル基板
またはサリサイド化(salicided)接合層を使
用する、あるいは低い総合チップ容量を有する半導体プ
ロセスに導入することができる。さらに、n型MOSF
ETの大きなトランスコンダクタンス(transco
nductance)はp型MOSFETに対しある量
のESD保護を提供するためにより小さなトリガ装置を
使用できるようにする。ESD回路は図6を参照して後
により詳細に説明する。
【0017】本発明をより明瞭に理解するために、説明
は以下の内容表(Table ofContents)
に従って構成されている。しかしながら、いずれのヘッ
ディングまたは分類に対しても特定の制限を与えるべき
ではない。
【0018】I.序説 II.I/Oドライバ回路 A.接続 B.動作 1.通常動作 2.ESD事象 a.VDDに関して正電圧入力 b.VSSに関して正電圧入力 c.VDDに関して負入力電圧 d.VSSに関して負電圧入力 C.ESD回路の第1の実施形態 1.接続 2.別の実施形態 3.動作 D.高電圧ブロッカ E.ゲートポンプ F.ウエルポンプ G.ESD回路の第2の実施形態 1.接続 2.動作 a.通常動作 b.ESD事象 H.ESD回路の第3の実施形態 1.接続 2.動作 a.通常動作 b.ESD事象 III.セグメント化バスアーキテクチャ A.接続 B.I/Oパッドセル C.動作 1.通常動作 2.ESD事象 a.VDDに関して正電圧入力 b.VSSに関して正電圧入力 c.VDDに関して負入力電圧 d.VSSに関して負電圧入力
【0019】I.序説 この時点で、ESD回路12がMOSFETトランジス
タを使用して過剰なエネルギをシャントする寄生バイポ
ーラトランジスタをトリガすることに注目することが適
切であろう。トリガ電流を使用することは寄生バイポー
ラトランジスタがエネルギをシャントし始めるポイント
を低下させる。寄生バイポーラトランジスタを使用する
ことは真の(true)バイポーラ装置の必要性を除去
する。真のバイポーラトランジスタはその制御電極が半
導体基板から分離されておりかつ、従って、直接制御可
能なものである。典型的には、バイポーラ装置を含める
ことは集積回路の製造コストを大幅に増大する。トリガ
電流を寄生バイポーラトランジスタの制御電極に直接与
えることは高濃度ドープ基板により生じる電位を局所的
に(locally)克服する。通常、基板は2つの電
源の内のより低いものに結合される。トリガポイントは
ダイオードストリングにおけるダイオードの数を増大し
または低減することにより容易にプログラム可能であ
る。しかしながら、過剰なエネルギの大部分をシャント
するのは寄生バイポーラ装置であって、ダイオードスト
リングではない。その結果、個々のダイオードは電流リ
ーケージおよび温度によって引き起こされる性能変動を
最小にするため非常に小さく作ることができる。また、
ESD回路12は2つの電源線路の間の容量に依存しな
い。従って、ESD回路12は小さな集積回路内に、大
きな集積回路内に、および設計編成にわたって使用され
る標準的なセルライブラリへと導入することができる。
当業者は容易に現在のおよび将来の集積回路の処理フロ
ーに対するESD回路12の適切さを理解するであろ
う。
【0020】II.I/Oドライバ回路 A.接続 図1により説明を続けると、入力/出力(I/O)パッ
ド14はI/Oドライバ回路10を導入する集積回路の
外部の他の装置に伝送される電圧レベルを発生する。こ
の実施形態では、I/Oドライバ回路10は0または
3.3ボルトをI/Oパッド14上に出力する。他の実
施形態では、I/Oドライバ回路10はI/Oドライバ
回路10を導入する集積回路の外部の他の装置から電圧
レベルを受けるための回路を含むことができる。そのよ
うな実施形態では、前記電圧はまた0または3.3ボル
トとすることができる。さらに、他の実施形態では、前
記最大受信電圧レベルは前記最大出力電圧レベルを超え
ることができる。たとえば、I/Oドライバ回路10は
0または3.3ボルトの信号を出力できるが、0または
5ボルトの信号を受けることができる。
【0021】I/Oパッド14はp型MOSFETトラ
ンジスタ16の第1の電流電極におよびn型MOSFE
Tトランジスタ18の第1の電流電極に接続されてい
る。トランジスタ16の第2の電流電極および制御電極
は、それぞれ、第1の電源、VDD、および高電圧ブロ
ッカ(high voltage blocker)2
0の出力端子に接続されている。高電圧ブロッカ20は
4つの入力、「プリドライバ入力A(PREDRIVE
R IN A)」、VDD、I/Oパッド14、および
トランジスタ16のウエルを受ける。高電圧ブロッカ2
0は図3によって後に説明する。
【0022】トランジスタ18の第2の電流電極および
制御電極は、それぞれ、n型MOSFETトランジスタ
22の第1の電流電極および第1の電源、VDD、に接
続されている。トランジスタ22の第2の電流電極およ
び制御電極は、それぞれ、第2の電源、VSS、および
入力「プリドライバ入力B(PREDRIVER IN
B)」に接続されている。
【0023】I/Oドライバ回路10はまたVDDとV
SSとの間に並列に接続された線路クランプまたはレー
ルクランプ(rail clamp)24およびダイオ
ード26を含む。レールクランプ24は、もし十分であ
れば、I/Oドライバ回路10を導入している集積回路
の固有の容量とすることができ、あるいはESD事象の
間にVDDおよびVSSの間に放電経路を提供する能動
回路(activecircuit)とすることができ
る。レールクランプ24はいくつかのI/Oパッドによ
って共有することができる。ダイオード26はVSSが
VDDよりほぼ0.5ボルト高い場合にそれが電流を導
通するように結合される。通常、VDDはVSSより
3.3ボルト高い。ゲートポンプ28の4つの端子は、
それぞれ、VDD、トランジスタ16の制御電極、I/
Oパッド14、およびトランジスタ16のウエルに接続
される。ゲートポンプ28は図4を参照して後に説明す
る。ウエルポンプ30の3つの端子は、それぞれ、VD
D、トランジスタ16のウエル、およびI/Oパッド1
4に接続されている。ウエルポンプ30は後に図5を参
照して説明する。npn型バイポーラトランジスタ32
の第1の電流電極、第2の電流電極、および制御電極
は、それぞれ、VDD、I/Oパッド14、およびVS
Sに結合されている。ダイオード34の第1の端子およ
び第2の端子は、それぞれ、I/Oパッド14およびV
SSに結合されている。ダイオード34はVSSがI/
Oパッド14上に存在する電圧よりもほぼ0.5ボルト
高い場合にそれが電流を導通するように結合される。通
常、I/Oパッド14上に存在する電圧レベルはVSS
より大きいかあるいは等しい。
【0024】II.I/Oドライバ回路10 B.動作 I/Oドライバ回路10の動作は2つの動作モードを参
照して好適に説明することができる。すなわち、(1)
通常のI/O動作、および(2)静電気放電保護、であ
る。静電気放電保護機能はさらに人体モデル(huma
n bodymodel)を試験するために使用される
4つの方法に匹敵する4つの場合に分割できる。すなわ
ち、(1)VDDに関して正の入力電圧、(2)VSS
に関して正の入力電圧、(3)VDDに関して負の入力
電圧、および(4)VSSに関して負の入力電圧、であ
る。
【0025】1.通常動作 通常動作においては、I/Oドライバ回路10は出力の
みまたは入力のみのドライバとして使用される。この特
定の機能は制御信号「プリドライバ入力A」および「プ
リドライバ入力B」の論理状態によって選択される。も
しI/Oドライバ回路10が出力のみのバッファとして
使用されるべきであれば、出力されるべき信号(どこか
他で発生された)はトランジスタ16の制御電極および
トランジスタ22の制御電極の双方に印加される。出力
されるべき信号は高電圧ブロッカ20を介してトランジ
スタ16の制御電極に印加される。従って、「プリドラ
イバ入力A」および「プリドライバ入力B」は共に所望
の出力信号の電位にある。どのトランジスタがイネーブ
ルされるかに応じて、電源VDDまたは電源VSSのい
ずれかがI/Oパッド14に結合される。もしI/Oド
ライバ回路10が入力のみのバッファとして使用されれ
ば、「プリドライバ入力A」はVDDにセットされかつ
「プリドライバ入力B」はVSSにセットされる。これ
らの電圧レベルはI/Oパッド14を高インピーダンス
状態にする。この場合、I/Oドライバ回路10の外部
で発生された電圧がI/Oパッド14に印加されかつ回
路(図示せず)によってバッファリングされる。
【0026】上に述べたように、I/Oドライバ回路1
0は5ボルトに耐える。もし5ボルトの信号がI/Oパ
ッド14に印加されれば、何らの損傷も生じないであろ
う。トランジスタ16の制御電極およびウエルは共にそ
れぞれゲートポンプ28によっておよびウエルポンプ3
0によってより高い入力電圧レベルにバイアスされる。
このバイアスは電源VDDより大きな電圧がI/Oパッ
ド14に印加された場合にトランジスタ16が電流を導
通しないことを保証する。さらに、高電圧ブロッカ20
はトランジスタ16の制御電極に印加されたバイアス電
圧が内部回路(図示せず)に印加されないことを保証す
る。
【0027】2.ESD事象 a.VDDに関して正電圧入力 この場合、大きな正電圧レベルが電源VDDに関してI
/Oパッド14に印加される。この大きな正の入力電圧
はESD回路12がI/Oパッド14から、この筋書き
においてはフローティングである、VSSへとエネルギ
をシヤントする。電源VSSにおける電圧は上昇し始
め、ダイオード26を順方向バイアスする。ESD回路
12、電源VSS、およびダイオード26はそれによっ
てI/Oパッド14から電源VDDへと放電経路を形成
する。
【0028】b.VSSに関して正電圧入力 この場合、大きな正電圧レベルが電源VSSに関してI
/Oパッド14に印加される。前と同様に、大きな正の
入力電圧はESD回路12がエネルギをI/Oパッド1
4からVSSへとシャントするようにさせる。ESD回
路14はそれによってI/Oパッド14から電源VSS
へと放電経路を形成する。
【0029】c.VDDに関して負の入力電圧 この場合、電圧レベルVDDに関して大きな負の電圧レ
ベルがI/Oパッド14に印加される。この大きな負の
電圧はダイオード34を順方向バイアスしかつレールク
ランプ24が電源VSSを電源VDDに結合できるよう
にする。ダイオード34およびレールクランプ24は電
源VDDからI/Oパッド14への放電経路を形成す
る。前述のように、レールクランプ24はI/Oドライ
バ回路10を導入した集積回路の固有の容量とすること
ができ、あるいは能動クランプ回路とすることができ
る。また、トランジスタ32を介しての電源VDDから
I/Oパッド14への第2のまたは2次シャント経路が
ある。この2次シャント経路の場合は、前記固有の容量
(またはレールクランプ24)はVDDをVSSにかつ
最終的にトランジスタ32の制御電極に結合する。トラ
ンジスタ32は次に順方向バイアスされ電流が電源VD
Dから、トランジスタ32を通り、I/Oパッド14に
流れるようにする。
【0030】d.VSSに関して負電圧入力 この場合、電源VSSに関して大きな負の電圧がI/O
パッド14に印加される。ここで、ダイオード34は順
方向バイアスされるようになり、エネルギを電源VSS
からI/Oパッド14へとシャントする。トランジスタ
32を介しての電源VSSからI/Oパッド14への第
2のまたは2次シャント経路がある。この2次シャント
経路の場合において、トランジスタ32の制御電極−第
2電流電極接合は順方向バイアスされ、電源VSSから
I/Oパッド14へと直接の電流経路または直流電流経
路を生じさせる。図1に示されるように、電源VSSは
トランジスタ32の制御電極に結合されている。
【0031】II.I/Oドライバ回路 C.ESD回路の第1の実施形態 1.接続 図2は、図1に示されたESD回路の第1の実施形態の
回路図を示す。直列に接続されたダイオード200のつ
ながりまたはストリングの第1の端子および寄生npn
型バイポーラトランジスタ202の第1の電流電極の各
々はI/Oパッド14に接続されている。ダイオードの
ストリング200の第2の端子はp型MOSFETトラ
ンジスタ204の第1の電流電極に接続されている。示
された実施形態では、ダイオード200のストリング2
00は5個のダイオードを含む。トランジスタ202の
第2の電流電極および制御電極は電源VSSにおよびト
ランジスタ204の第2の電流電極にそれぞれ接続され
ている。トランジスタ204の制御電極はダイオード2
06の第1の端子におよび電源VDDに接続されてい
る。ダイオード206の第2の端子はトランジスタ20
4のウエルに結合されている。
【0032】ダイオードのストリング200における個
々のダイオードはI/Oパッド14に存在する電圧レベ
ルが、ほぼ、(5*0.5)ボルトとトランジスタ20
4のしきい値電圧レベルとトランジスタ204の制御電
極電圧(VDD)との合計を超えた場合にそれらが電流
を導通するように接続される。ダイオード206はそれ
がダイオードのストリング200からトランジスタ20
4のn型ウエルを通り電源VDDに流れる電流を防止す
るように接続されている。この経路は電源VDDに関し
て大きな正の電圧がI/Oパッド14に印加された場合
に関連がある。代わりに、ダイオード206はトランジ
スタ202を通って電流が流れるようにする。
【0033】2.別の実施形態 上で述べたように、トランジスタ202はCMOS製造
プロセスによって製造される。その結果、トランジスタ
202はMOSFETまたは単に厚膜酸化物(thic
k field oxide:TFO)装置とすること
ができる。本発明のこの観点は本発明が標準的なCMO
Sプロセスに導入できるようにする。
【0034】もしトランジスタ202がMOSFETで
あれば、トランジスタ202が効率的に寄生横型パイポ
ーラ装置として作用するようにさせるいくつかの可能な
構造がある。例えば、トランジスタ202のゲートはそ
の2つの電流電極の間にチャネルを発生するために使用
される必要はない。代わりに、トランジスタ204によ
って発生されるトリガ電流は直接トランジスタ202の
ボディまたは本体(body)に注入される。従って、
MOSFETの絶縁されたゲートは電源に接続すること
ができかつトランジスタ202の本体へのコンタクトは
その2つの電流電極に隣接して配置できる。示された実
施形態では、基板はp型基板でありかつコンタクトはp
+型注入または拡散領域である。ソースおよびドレイン
は2つのn型領域をp型基板に拡散または注入しかつn
型コンタクトをその上に形成することによって製造され
る。トランジスタ202の本体へのトリガ電流を提供す
るためのコンタクトは、(1)前記ソース(またはドレ
イン)が前記コンタクトとドレイン(またはソース)と
の間にあるように、あるいは、(2)前記コンタクトが
上から見たときリングまたは細い矩形(thin re
ctangle)のようにソースおよびドレインを囲む
ように配置することができる。
【0035】当業者はここで示されたトランジスタの本
体部への言及はそのウエルへの言及またはウエルがない
場合にその局部的な基板への言及と等価であることを容
易に理解するであろう。
【0036】もしトランジスタ202がTFO装置であ
れば、トランジスタ本体へのコンタトはそのソースおよ
びドレインの間に配置することができ、ソースまたはド
レインのそばに(beside)配置することができ、
あるいはソースおよびドレインを囲むことができる。T
FO装置は、お互いに近接した、同じ導電型の、かつ反
対導電型の半導体本体部に配置された2つの拡散領域か
ら構成される。典型的には、2つのn型領域がp型基板
に配置される。厚い酸化物層が基板の上に同じまたは反
対の拡散または注入領域の間の領域に形成される。
【0037】シリコン・オン・インシュレータ(SO
I)は半導体が2酸化シリコン、サファイア、ダイヤモ
ンド、その他のような絶縁基板上に製造される新生の技
術である。本発明は同じ利点を備えてそのような技術に
実施することができる。そのような技術においては、ト
リガ電流を供給するためのコンタクトはトランジスタ2
02の本体部の横に形成できる。
【0038】II.I/Oドライバ回路10 C.ESD回路の第1の実施形態 3.動作 ESD回路12の動作は2つの可能な事象を参照して好
適に説明することができ、すなわち、(1)静電気放電
(ESD)事象、および(2)電気的オーバストレス
(EOS)事象、である。一般に、ESD事象はEOS
事象より短くかつ典型的には集積回路が給電されていな
い時に発生する。
【0039】図1に関して上で説明したように、ESD
回路12は2つの場合にESD保護を提供する、すなわ
ち、(1)VDDに関して正の入力電圧、および(2)
VSSに関して正の入力電圧、である。第1の場合に
は、トランジスタ204はI/Oパッド14の電圧が、
ほぼ、(5*0.5)ボルトとトランジスタ204のし
きい値電圧レベルとを加えたものを越えた場合にトラン
ジスタ202に対しトリガ電流を供給し始める。短い時
間の後に、トランジスタ202はI/Oパッド14から
電源VSSへと電流をシャントまたは分路する。ダイオ
ード26(図1)は電源VDDへの回路経路を完成させ
る。第2の場合には、トランジスタ204はまたI/O
パッド14の電圧が、ほぼ、(5*0.5)ボルトとト
ランジスタ204のしきい値電圧レベルとを加えたもの
を越えた場合にトランジスタ202に対しトリガ電流を
供給し始める。その短い時間の後に、トランジスタ20
2はI/Oパッド14から電源VSSへと電流を直接シ
ャントする。
【0040】EOS事象の間のESD回路12の動作は
ESD事象におけるその動作と同様である。この場合、
トランジスタ204はI/Oパッド14の電圧が、ほ
ぼ、(5*0.5)ボルトとトランジスタ204のしき
い値電圧とトランジスタ204の制御電極の電圧(VD
D)とを加えたものを越えた場合にトランジスタ202
に対しトリガ電流を供給し始める。
【0041】ダイオードのストリング200における個
々のダイオードの数はVDDの最小の可能な電源レベル
とI/Oパッド14における最大の可能な規定された入
力電圧との差を各ダイオードにおける電圧降下で除算し
たものによって決定される。典型的には、これらの値
は、それぞれ、VDDのおよび入力電圧の公称値より1
0パーセント小さくかつ10パーセント大きい。説明さ
れた実施形態では、VDDは3.3ボルトであり、かつ
最大の許容される入力電圧は5.0ボルトである。した
がって、5個のダイオード(5.5−3.0)/(0.
5)が選択された。
【0042】ESD回路12の他の実施形態において
は、ダイオード206は省略される。この場合、トラン
ジスタ204は寄生縦型および寄生横型pnp型バイポ
ーラトランジスタの特性を有する。これらの特性はもし
トランジスタ204がトランジスタ202と物理的に接
近していればトランジスタ202の局部的な基板電位を
上昇させるベース電流を発生させる。この付加的なベー
ス電流はさらにトランジスタ202をトリガする。さら
に別の実施形態では、ダイオード206は抵抗または直
接の電気的接続に置き換えることができる。
【0043】好ましい実施形態では、トランジスタ20
2は2つのn型の拡散をp型基板に配置することによっ
て製造される。さらに、これらの拡散の両方、または一
方をn型ウェルで包むこともでき、あるいはこれらの拡
散をn型ウェルで包まないこともできる。これらの拡散
は第1および第2の電流電極を形成する。p型コンタク
トが2つのn型ウェルの間に配置される。p型基板への
p型コンタクトは制御電極を形成する。この基本的な設
計は集積回路上のスペースを不必要に消費することな
く、トランジスタ202の合計幅を増大するためタイル
張り配置することができる(tiled)。また、p型
基板を電源VSSに周期的に連結することは通常行なわ
れている。これらの連結(ties)はトランジスタ2
02に隣接して配置すべきではない。そうしなければ、
トリガ電流によって提供される基板リフト効果(sub
strate lifting effect)は弱め
られるであろう。
【0044】II.I/Oドライバ回路10 D.高電圧ブロッカ 図3は、図1に示された高電圧ブロッカ20の回路図を
示す。高電圧ブロッカ20はp型MOSFETトランジ
スタ302およびn型MOSFETトランジスタ304
から成る伝送または転送ゲート300それ自体を備えて
いる。トランジスタ302の制御電極はI/Oパッド1
4に結合されている。トランジスタ304の制御電極は
電源VDDに結合されている。トランジスタ302およ
び304の第1の電流電極は信号「プリドライバ入力
A」を受ける。トランジスタ302および304の第2
の電流電極はトランジスタ16の制御電極に結合されて
いる。トランジスタ302のボディまたは本体部(bo
dy)はまたトランジスタ16のウェルに接続されてい
る。
【0045】高電圧信号がI/Oパッド14に印加され
た時、伝送ゲート300におけるn型装置はI/Oパッ
ド14から内部回路(図示せず)へ渡される電圧を
(3.3−Vtn)ボルトに制限し、この場合Vtnは
トランジスタ304のしきい値電圧である(この状態で
はトランジスタ302はオフである)。トランジスタ3
02およびトランジスタ304は信号が「プリドライバ
A」から減衰することなくトランジスタ16の制御電極
に渡すことができるようにする。
【0046】II.I/Oドライバ回路10 E.ゲートポンプ 図4は、図1に示されたゲートポンプ28の回路図を示
す。ゲートポンプ28はp型MOSFETトランジスタ
400を具備する。トランジスタ400の第1の電流電
極、第2の電流電極、および制御電極は、それぞれ、ト
ランジスタ16の制御電極、I/Oパッド14、および
電源VDDに結合されている。トランジスタ400の本
体部もまたトランジスタ16のウェルに接続されてい
る。
【0047】II.I/Oドライバ回路10 F.ウェルポンプ 図5は、図1に示されたウェルポンプ30の回路図を示
す。ウェルポンプ30は2つのp型MOSFET500
および502を具備する。トランジスタ500の第1の
電流電極、第2の電流電極、および制御電極は、それぞ
れ、電源VDD、トランジスタ16のウェル、およびI
/Oパッド14に結合されている。トランジスタ502
の第1の電流電極、第2の電流電極、および制御電極
は、それぞれ、トランジスタ16のウェル、I/Oパッ
ド14、および電源VDDに結合されている。トランジ
スタ500および502の本体部もまたトランジスタ1
6のウェルに接続されている。
【0048】動作においては、トランジスタ500およ
び502はI/Oパッド14上に存在する電圧レベルが
電源VDDを越えた場合にトランジスタ16のウェルを
調整する。特に、I/Oパッド14上に存在する電圧レ
ベルが始めに電源VDDを越えた時、トランジスタ50
2はトランジスタ16のウェルが増大した電圧レベルを
追跡できるようにする。この戦略はトランジスタ16の
ドレインダイオードが順方向バイアスされるのを防止す
る。逆に、I/Oパッド14上に存在する電圧レベルが
VDDまたはVSSに戻った時、トランジスタ500は
電荷を電源VDDに解放することによりウェルをその初
期値、VDD、に戻す。
【0049】II.I/Oドライバ回路10 G.ESD回路の第2の実施形態 1.接続 図6は、図1に示されたESD回路の第2の実施形態6
00の回路図を示す。本発明の第2の実施形態において
は、フィードバックまたはスイッチング回路602がト
ランジスタ204に結合される。ESD事象の間に、フ
ィードバック回路602はトランジスタ204を導通状
態に維持する。したがって、トランジスタ204はトリ
ガ電流をトランジスタ202に供給しかつトランジスタ
202は電流をI/Oパッド14から電源、VSS、へ
とシャントする。通常動作の間は、フィードバック回路
602はトランジスタ204を非導通状態にして電流リ
ーケージを最小にする。
【0050】ESD事象の間におよびフィードバック回
路602が欠如している場合は、I/Oパッド14の電
位の一部が意図せずにまたは偶然に寄生導通経路を介し
て第1の電源、VDD、に結合される可能性がある。こ
の導通経路はトランジスタ204によって発生されるト
リガ電流に関して効果的にまたは実効的にネガティブフ
ィードバックループを形成する。その結果、I/Oパッ
ド14における注入電流のより少しのものがトランジス
タ202の制御電極に現われる。そのような経路の例は
I/Oパッド14に極端な電圧が印加された場合にトラ
ンジスタ16(図1)がブレークダウンする場合に生じ
る。これらの極端な電圧はフィードバック回路602が
欠如している場合にトランジスタ204のゲートに現わ
れ、トランジスタ204のソース−ゲート電圧を低減す
る。より小さなソース−ゲート電圧はトランジスタ20
2に提供されるトリガ電流を低減する。フィードバック
回路602はネガティブフィードバックループを防止
し、それをポジティブフィードバックループと置き換え
る。フィードバック回路602はこのネガティブフィー
ドバックループが形成されるのを防止する。
【0051】図6によって説明を続けると、ESD回路
600は図2に示される回路と同様のものである。抵抗
604の第1の端子およびトランジスタ606の第1の
電流電極はトランジスタ204の制御電極に結合されて
いる。抵抗604の第2の端子はトランジスタ608の
第1の電流電極に結合されている。トランジスタ608
の第2の電流電極および制御電極は第1の電源、VD
D、および第2の電源、VSS、にそれぞれ結合されて
いる。トランジスタ606の第2の電流電極および制御
電極は、それぞれ、第2の電源、VSS、および抵抗6
10の第1の端子に結合されている。抵抗610の第2
の端子は第2の電源、VSS、に結合されている。トラ
ンジスタ606の制御電極はまたトランジスタ612の
第1の電流電極に結合されている。トランジスタ612
の第2の電流電極および制御電極は、それぞれ、トラン
ジスタ204の第1の電流電極および第1の電源、VD
D、に結合されている。トランジスタ204,608お
よび612において、各々のトランジスタのウェルはそ
のそれぞれのソースに結合されている。
【0052】示された第2の実施形態においては、MO
SFET204およびトランジスタ202は、それぞ
れ、p型MOSFETおよび寄生横型バイポーラトラン
ジスタである。他の第2の実施形態においては、MOS
FET204およびトランジスタ202は、それぞれ、
p型MOSFETおよびバイポーラトランジスタとする
ことができる。バイポーラトランジスタは制御可能なま
たは自由な(free)制御電極を含むことを思い出す
べきである。
【0053】H.ESD回路の第2の実施形態 2.動作 動作においては、ESD回路600は通常モードで動作
しかつESD保護を提供する。
【0054】a.通常動作 通常動作においては、ESD回路600は非導通状態に
とどまりそれがI/Oパッド14上の電圧レベルと干渉
しないようにすべきである。この場合、トランジスタ6
08はトランジスタ204の制御電極を電源、VDD、
へと引き寄せる。トランジスタ204の制御電極の高電
圧レベルはそれによってトランジスタ204を非導通状
態にする。
【0055】b.ESD事象 ESD回路600は図1および図2に関して前に説明し
たようにESD保護を提供する。さらに、フィードバッ
ク回路602はトランジスタ204がESD事象の間に
導通状態にあることを保証する。
【0056】ESD事象の間に、大きな正の電圧が電
源、VDD、または電源、VSS、に関してI/Oパッ
ド14に印加される。VSSに関してI/Oパッド14
に大きな電圧入力が加えられた場合には、トランジスタ
612およびトランジスタ204は入力電圧が、ほぼ、
(5*0.5)ボルトとトランジスタ612(またはト
ランジスタ204)のしきい値電圧レベルとを加えたも
のを越えた場合に導通し始める。一旦導通すると、トラ
ンジスタ612はトランジスタ606の制御電極に電圧
が生じるようにさせる。この電圧がVSSより1つのし
きい値電圧を越えた場合に、トランジスタ606はトラ
ンジスタ204の制御電極を電源、VSS、に結合しト
ランジスタ204を導通状態に維持する。抵抗604は
トランジスタ606がトランジスタ204の制御電極に
おける電圧を容易にプルダウンできるようにする。上で
述べたように、トランジスタ204はトリガ電流をトラ
ンジスタ202に供給する。フィードバック回路602
はたとえ電源VDDがI/Oパッド14にならってまた
は共振して(sympathetically)移動し
始めてもトランジスタ204を導通状態に維持する。ト
ランジスタ612は抵抗610にわたるまたはかかる電
圧がトランジスタ606のしきい値電圧を越えるように
抵抗610に非常に小さな電流を供給するのみでよい。
トランジスタ606はそれによってトランジスタ204
を完全に導通状態に維持する。
【0057】VDDに関してI/Oパッド14に大きな
入力電圧が加えられた場合には、トランジスタ612お
よびトランジスタ204は入力電圧が、ほぼ、(5*
0.5)ボルトとトランジスタ612(または、トラン
ジスタ204)のしきい値電圧レベルとを加えたものを
越えた場合に導通し始める。一旦導通すると、トランジ
スタ612はトランジスタ606の制御電極に電圧が発
生するようにさせる。この電圧がVSSよりしきい値電
圧1つ分越えた時、トランジスタ606はトランジスタ
204の制御電極を電源、VSS、に結合し、トランジ
スタ204を導通状態に維持する。上で述べたように、
トランジスタ204はトランジスタ202に対しトリガ
電流を供給する。トランジスタ202は電源、VSS、
およびダイオード26を介して電源、VDD、に電流を
シャントまたは分路する。
【0058】EOS事象の間のESD回路600の動作
はESD事象におけるその動作と同様である。この場
合、トランジスタ204はI/Oパッド14の電圧が、
ほぼ、(5*0.5)ボルトとトランジスタ612(ま
たは、トランジスタ204)のしきい値電圧レベルとト
ランジスタ612の制御電極の電圧(VDD)とを加え
たものを越えた場合にトランジスタ202にトリガ電流
を供給し始める。
【0059】II.I/Oドライバ回路 H.ESD回路の第3の実施形態 図7は、図1に示されたESD回路の第3の実施形態7
00の回路図を示す。本発明の第3の実施形態において
は、p型MOSFET204がn型MOSFET702
と置き換えられかつバイアス回路704がn型MOSF
ETの制御電極に結合されている。n型MOSFETは
p型MOSFETよりも本質的により高いトランスコン
ダクタンスを有する。その結果、所望のトリガ電流を発
生するためにより小さなMOSFETを使用することが
できる。
【0060】1.接続 図7によって説明を続けると、MOSFET702の第
1の電流電極および第2の電流電極は、それぞれ、ダイ
オードの連なりまたはストリング200の第2の端子お
よびトランジスタ202の制御電極に結合されている。
ダイオードのストリング200の第2の端子およびMO
SFET702の制御電極はバイアス回路704に接続
されている。特に、ダイオードのストリング200の第
2の端子およびMOSFET702の制御電極は、それ
ぞれ、p型MOSFET706の第1の電流電極および
第2の電流電極に接続されている。MOSFET706
の制御電極は第1の電源VDDに接続されている。MO
SFET706の第2の電流電極はまた抵抗708の第
1の端子に接続されている。抵抗708の第2の端子は
第2の電源VSSに結合されている。トランジスタ70
6のウェルはその第1の電流電極に結合されている。
【0061】示された第3の実施形態においては、MO
SFET702およびトランジスタ202は、それぞ
れ、n型MOSFETおよび寄生横型バイポーラトラン
ジスタである。他の第3の実施形態においては、MOS
FET702およびトランジスタ202は、それぞれ、
n型MOSFETおよびバイポーラトランジスタとする
ことができる。バイポーラトランジスタは制御可能なま
たは自由な制御電極を含むことを思い出すべきである。
【0062】2.動作 a.通常動作 通常動作においては、ESD回路700は非導通状態に
とどまりそれがI/Oパッド14上の電圧レベルと干渉
しないようにすべきである。この場合、第1の電源VD
Dはトランジスタ706を非導通状態にする。抵抗70
8はトランジスタ702の制御電極およびトランジスタ
706のフローティングの第2の電流電極を第2の電源
VSSに向かって引く。トランジスタ702の制御電極
上の低い電圧レベルはそれによってトランジスタ702
を非導通状態にする。
【0063】b.ESD事象 ESD回路700は図1および図2に関して前に説明し
たようにESD保護を提供する。さらに、バイアス回路
704はトランジスタ702がESD事象の間に導通状
態にあることを保証する。
【0064】ESD事象の間に、第1の電源VDDある
いは第2の電源VSSに関して大きな正の電圧がI/O
パッド14に印加される。VSSに関して大きな電圧入
力がI/Oパッド14に加えられた場合には、トランジ
スタ706は入力電圧が、ほぼ、(5*0.5)ボルト
とトランジスタ706のしきい値電圧レベルとを加えた
ものを越えた場合に導通し始める。一旦導通すると、ト
ランジスタ706はトランジスタ702の制御電極に電
圧を発生させる。この電圧がVSSよりしきい値電圧1
つ分上の電圧を越えた場合、トランジスタ702は導通
状態になるであろう。上で述べたように、トランジスタ
702はトランジスタ202に対しトリガ電流を供給す
る。バイアス回路704はたとえ電源VDDがI/Oパ
ッド14にならってまたは共振して動き始めてもトラン
ジスタ702を導通状態にする。トランジスタ706は
抵抗708にわたる電圧がトランジスタ702のしきい
値電圧を越えるように抵抗708に非常に小さな電流を
供給するのみでよい。バイアス回路704はそれによっ
てトランジスタ702を完全に導通状態にする。
【0065】VDDに関してI/Oパッド14に大きな
入力電圧が加えられた場合には、トランジスタ706は
入力電圧が、ほぼ、(5*0.5)ボルトとトランジス
タ706のしきい値電圧レベルとを加えたものを越えた
時に導通し始める。一旦導通すると、トランジスタ70
6はトランジスタ702の制御電極に電圧が発生するよ
うにさせる。この電圧がVSSよりしきい値電圧1つ分
越えた時、トランジスタ702は導通状態になる。上で
述べたように、トランジスタ204はトリガ電流をトラ
ンジスタ202に供給する。トランジスタ202は電
源、VSS、およびダイオード26を介して電源、VD
D、へと電流をシャントまたは分路する。
【0066】EOS事象の間のESD回路700の動作
はESD事象におけるその動作と同様である。この場
合、トランジスタ702はI/Oパッド14の電圧が、
ほぼ、(5*0.5)ボルトとトランジスタ706のし
きい値電圧レベルとトランジスタ706の制御電極電圧
(VDD)を加えたものを越えた場合にトランジスタ2
02にトリガ電流を供給し始める。
【0067】III.セグメント化バスアーキテクチャ A.接続 図8は、ESD保護のためのセグメント化バスアーキテ
クチャ(segmented bus archite
cture:SBA)800のブロック図を示す。SB
A800は各々のI/O(入力、出力、またはI/O)
パッドセルからなるESD回路を除去しかつそれをパワ
ーパッドセル(power pad cell)にある
いはSBA800を導入した集積回路のいずれかの他の
未使用の領域に入れる。典型的には、パワーパッドセル
はESD回路を収容できるが、それはパワーパッドセル
は他の回路を含まないからである。当業者は除去された
ESD回路はまた、クロック入力ピンのような、利用可
能な回路領域を含む他の形式のパッドセルの下に配置で
きることを容易に理解するであろう。除去されたESD
回路はセグメント化されたESDバスを介していくつか
の隣接するI/Oパッドセルによって共有される。その
結果、各々の個々のI/Oパッドセルは寸法が低減でき
る。
【0068】図8によって説明を続けると、SBA80
0はI/Oパッドセルおよびパワーセルの第1の群また
はグループ(グルーピング:grouping)802
および第2のグループ804を含む。特に、第1のグル
ープ802はI/Oパッドセル806,806
他、およびパワーパッドセル808を備えている。I/
Oパッドセル806,806,他、およびパワーパ
ッドセル808はセグメント化されたバス(bu
)を介してお互いに第1の電源VDDに、および第
2の電源VSSに接続される。(パワーパッドセル80
8はその内部ESD回路を介して第2の電源VSSに接
続される。)セグメント化されたESDバスはまたダ
イオード810によって第1の電源VDDに接続され
る。ダイオード810は第1の電源VDDからセグメン
ト化されたESDバスへと電流が流れることができる
ように接続される。第2のグループ804はI/Oパッ
ドセル812,812,他、およびパワーパッドセ
ル814を具備する。I/Oパッドセル812,81
,他、およびパワーパッドセル814はお互いにセ
グメント化されたバスを介して、第1の電源VDD
に、および第2の電源VSSに接続されている。(パワ
ーパッドセル814はその内部ESD回路を介して第2
の電源VSSに接続されている。)セグメント化された
ESDバス(bus)はまたダイオード816によ
って第1の電源VDDに接続されている。ダイオード8
16は第1の電源VDDからセグメント化されたESD
バスへと電流が流れることができるように接続されて
いる。
【0069】SBA800はまた第1の電源VDDと第
2の電源VSSとの間に接続されたレールクランプ(r
ail clamp)24およびダイオード26を含
む。レールクランプ24およびダイオード26は図1を
参照して前に説明されている。
【0070】I/Oパッドセル806および808は図
9を参照して後により詳細に説明する。パワーパッドセ
ル808および814は電源を受けるためのパッドおよ
びESD回路を含む。パワーパッドセル808および8
14に含まれるESD回路は前に図2、図6および図7
において説明されたESD回路の内の任意のものとする
ことができる。さらに、パワーパッドセル808におい
て使用されるESD回路は通常動作の間にI/Oパッド
セル806および812から電気的に分離される技術的
に知られた他の回路を含むことができる。
【0071】B.I/Oパッドセル 図9は、図8に示されたセグメント化バスアーキテクチ
ャにおいて有用な入力/出力(I/O)パッドセル80
6の部分的ブロック図および部分的回路図を示す。I/
Oパッドセル806は実質的に図1に示されたI/Oド
ライバ回路10と同様のものである。この場合、ダイオ
ード900がI/Oパッド14とセグメント化ESDバ
スとの間に直列に接続されている。ダイオード900は
I/Oパッド14からセグメント化ESDバスへと電流
が流れることができるようにする。レールクランプ24
およびダイオード26はI/Oドライバ回路10から除
去されておりかつ今や全てのパワーパッドセルおよびI
/Oパッドセルによって共有されている。
【0072】C.動作 1.通常動作 ダイオード810および816は通常動作の間にセグメ
ント化ESDバスをプリチャージする。このプリチャー
ジはI/Oパッドセルに接続された外部装置がセグメン
ト化ESDバスの容量性負荷を見るのを(seein
g)排除する。逆に、ダイオード(図9に示されてい
る)がセグメント化ESDバスをI/Oパッドセルから
分離する。この第3のダイオードはI/Oパッドセルが
VDDより低いかあるいは等しい電圧レベルを出力しま
たは受けることができるようにする。
【0073】2.ESD事象 a.VDDに関して正の電圧入力 この場合、電源VDDに関して大きな正の電圧レベルが
I/Oパッドセルの特定の1つ内のI/Oパッドに印加
される。大きな正の入力電流がI/Oパッドセルからセ
グメント化バスを介して例えば前記パワーパッドセルに
おいて実施されるESD回路へと流れる。前記パワーパ
ッドセルにおけるESD回路は次に図1に関して前に説
明したように第2の電源VSSおよびダイオード26を
介して第1の電源VDDへとまたは第1の電源VDDへ
の電流をシャントする。
【0074】b.VSSに関して正の電圧入力 この場合、電源VSSに関して大きな正の電圧レベルが
I/Oパッドセルの特定の1つ内のI/Oパッドに印加
される。前述のように、大きな正の入力電流がI/Oパ
ッドセルからセグメント化バスを介して例えばパワーパ
ッドセル内に実施されたESD回路へと流れる。パワー
パッドセル内のESD回路は次に図1に関して前に説明
したように電流を第2の電源VSSへとあるいは第2の
電源VSSへの電流をシャントする。
【0075】c.VDDに関して負の入力電圧 この場合、電圧レベルVDDに関して大きな負の電圧レ
ベルがI/Oパッドセルの特定の1つ内のI/Oパッド
に印加される。この大きな負の電圧はダイオード34、
第2の電源VSSおよびレールクランプ24を通して第
1の電源VDDへとシャントされる。電源VDDからト
ランジスタ32を介してI/Oパッドに至る二次的なシ
ャント経路がある。この二次的な場合、固有のまたは生
来の容量(またはレールクランプ24)がVDDをVS
Sへとそして最終的にトランジスタ32の制御電極へと
結合する。トランジスタ32は次に順方向バイアスさ
れ、電流が電源VDDから、トランジスタ32を通り、
I/Oパッドへと流れるようにする。
【0076】d.VSSに関して負の電圧入力 この場合、前記第2の電源VSSに関して大きな負の電
圧がI/Oパッドセルの特定の1つ内のI/Oパッドに
印加される。ここで、ダイオード34は順方向バイアス
され、電源VSSからのエネルギをI/Oパッドへとシ
ャントする。また、第2の電源VSSからトランジスタ
32を介してのI/Oパッドへの二次的なシャント経路
が有る。この二次的なシャント経路においては、トラン
ジスタ32の制御電極−第2の電流電極接合は順方向バ
イアスされ、電源VSSからI/Oパッドへと直接的な
電流経路を生成しあるいは直流電流経路を生成する。図
9において説明したように、電源VSSはトランジスタ
32の制御電極に結合されている。
【0077】本発明が特定の実施形態に関して説明され
たが、当業者にはさらに他の修正および改善をなすこと
ができるであろう。例えば、開示された発明は特定の1
組のトランジスタ導電型に関して述べられている。当業
者は、上の説明によって、ある状況の下で導電型を変更
して本発明を特定のプロセスまたは実施形態に仕立てる
ことができるであろう。当業者は同じ目的を達成するた
め他の構造を使用することができるであろう。したがっ
て、本発明は添付の特許請求の範囲に規定された本発明
の精神および範囲から離れることのない全てのそのよう
な変更を含むことが理解されるべきである。
【0078】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、前述の
従来技術の欠点を克服し、多様な集積回路に使用でき、
集積回路上の貴重な領域を浪費することなく、かつリー
ク電流の増大などの不都合を生じることがなく、的確に
集積回路を静電気放電から保護することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従って構成された入力/出力ドライバ
回路の構成を示す部分的ブロック図および部分的回路図
形式のブロック回路図である。
【図2】図1に示されたESD回路の第1の実施形態を
示す回路図である。
【図3】図1に示された高電圧ブロッカ10を示す回路
図である。
【図4】図1に示されたゲートポンプの回路図である。
【図5】図1に示されたウェルポンプの回路図である。
【図6】図1に示されたESD回路の第2の実施形態を
示す回路図である。
【図7】図1に示されたESD回路の第3の実施形態を
示す回路図である。
【図8】ESD保護のためのセグメント化バスアーキテ
クチャを説明するためのブロック図である。
【図9】図8に示されたセグメント化バスアーキテクチ
ャにおいて有用な入力/出力パッドセルを部分的ブロッ
ク図および部分的回路図形式で示すブロック回路図であ
る。
【符号の説明】
10 入力/出力(I/O)ドライバ回路 12 ESD回路 14 I/Oパッド 16 p型MOSFETトランジスタ 18,22 n型MOSFETトランジスタ 20 高電圧ブロッカ 24 レールクランプ 26,34 ダイオード 28 ゲートポンプ 30 ウェルポンプ 32 npn型バイポーラトランジスタ

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 静電気放電保護のための回路であって、 入力端子、 第1の電流電極、第2の電流電極、および制御電極を具
    備する第1のトランジスタであって、該第1のトランジ
    スタの前記第1の電流電極は前記入力端子に結合されて
    いるもの、 前記第1のトランジスタの前記制御電極に結合されたバ
    イアス回路であって、該バイアス回路は静電気放電事象
    の間前記第1のトランジスタを導通状態にするもの、そ
    して第1の電流電極、第2の電流電極、および制御電極
    を具備する寄生バイポーラ装置であって、前記第1の電
    流電極は前記入力端子に結合され、前記第2の電流電極
    は第2の電源を受け、そして前記制御電極は前記第1の
    トランジスタの前記第2の電流電極に結合されているも
    の、 を具備することを特徴とする静電気放電保護のための回
    路。
  2. 【請求項2】 静電気放電保護のための回路であって、 入力端子、 第1の端子および第2の端子を備えた少なくとも1つの
    ダイオードを具備するダイオードストリングであって、
    前記第1の端子は前記入力端子に結合されているもの、 第1の電流電極、第2の電流電極、および制御電極を具
    備する第1のトランジスタであって、前記第1のトラン
    ジスタの前記第1の電流電極は前記ダイオードストリン
    グの第2の端子に結合され、かつ前記第1のトランジス
    タの制御電極は第1の電源を受けるもの、 前記第1のトランジスタに結合されたバイアス回路であ
    って、該バイアス回路は静電気放電事象の間前記第1の
    トランジスタを導通状態にするもの、そして寄生バイポ
    ーラ装置であって、該寄生バイポーラ装置は同じ導電型
    の第1の拡散領域および第2の拡散領域を備え、これら
    の拡散領域は反対導電型の本体部に配置され、前記第1
    の拡散領域は前記入力端子に結合され、前記第2の拡散
    領域は第2の電源電圧を受けるもの、 を具備することを特徴とする静電気放電保護のための回
    路。
  3. 【請求項3】 静電気放電保護のための回路であって、 入力端子、 第1の電流電極、第2の電流電極、および制御電極を具
    備する第1のトランジスタであって、前記第1のトラン
    ジスタはn型トランジスタでありかつ前記第1のトラン
    ジスタの第1の電流電極は前記入力端子に結合されてい
    るもの、 前記第1のトランジスタの制御電極に結合されたバイア
    ス回路であって、該バイアス回路は静電気放電事象の間
    前記第1のトランジスタを導通状態にするもの、そして
    第1の電流電極、第2の電流電極、および制御電極を具
    備するバイポーラ装置であって、前記第1の電流電極は
    前記入力端子に結合され、前記第2の電流電極は第2の
    電源電圧を受け、そして前記制御電極は前記第1のトラ
    ンジスタの第2の電流電極に結合されているもの、 を具備することを特徴とする静電気放電保護のための回
    路。
  4. 【請求項4】 静電気放電保護のための回路であって、 入力端子、 第1の端子および第2の端子を備えた少なくとも1つの
    ダイオードからなるダイオードストリングであって、前
    記第1の端子は前記入力端子に結合されているもの、 第1の電流電極、第2の電流電極、そして制御電極を具
    備する第1のトランジスタであって、該第1のトランジ
    スタはn型トランジスタであり、前記第1のトランジス
    タの第1の電流電極は前記ダイオードストリングの第2
    の端子に結合され、かつ前記第1のトランジスタの制御
    電極は第1の電源電圧を受けるもの、 前記第1のトランジスタに結合されたバイアス回路であ
    って、該バイアス回路は静電気放電事象の間前記第1の
    トランジスタを導通状態にするもの、そして第1の電流
    電極、第2の電流電極、そして制御電極を具備するバイ
    ポーラ装置であって、前記第1の電流電極は前記入力端
    子に結合され、前記第2の電流電極は第2の電源電圧を
    受け、そして前記制御電極は前記第1のトランジスタの
    第2の電流電極に結合されているもの、 を具備することを特徴とする静電気放電保護のための回
    路。
  5. 【請求項5】 静電気放電保護のための回路であって、 入力端子、 第1の電流電極、第2の電流電極、そして制御電極を具
    備する第1のトランジスタであって、該第1のトランジ
    スタの第1の電流電極は前記入力端子に結合されている
    もの、 前記第1のトランジスタの制御電極に結合されたフィー
    ドバック回路であって、該フィードバック回路は静電気
    放電事象の間前記第1のトランジスタを導通状態に維持
    するもの、そして第1の電流電極、第2の電流電極、そ
    して制御電極を具備する寄生バイポーラ装置であって、
    前記第1の電流電極は前記入力端子に結合され、前記第
    2の電流電極は第2の電源電圧を受け、そして前記制御
    電極は前記第1のトランジスタの第2の電流電極に結合
    されているもの、 を具備することを特徴とする静電気放電保護のための回
    路。
  6. 【請求項6】 静電気放電(ESD)保護のためのセグ
    メント化バスアーキテクチャ(SBA)であって、 複数のグループであって、各々のグループは、 前記SBAに結合された少なくとも1つのパッドセルで
    あって、該少なくとも1つのパッドセルは入力パッドセ
    ル、出力パッドセル、および入力/出力パッドセルから
    なる組から選択されるもの、そして前記SBAに、第1
    の電源に、そして第2の電源に結合されたESD保護回
    路、を具備するもの、 を具備することを特徴とする静電気放電(ESD)保護
    のためのセグメント化バスアーキテクチャ(SBA)。
  7. 【請求項7】 前記ESD保護回路は、 入力端子、 第1の電流電極、第2の電流電極、制御電極、そして本
    体部端子を備えた第1のトランジスタであって、該第1
    のトランジスタの第1の電流電極は前記入力端子に結合
    されているもの、そして第1の電流電極、第2の電流電
    極、そして制御電極を具備する寄生バイポーラ装置であ
    って、前記第1の電流電極は前記入力端子に結合され、
    前記第2の電流電極は前記第2の電源電圧を受け、そし
    て前記制御電極は前記第1のトランジスタの第2の電流
    電極に結合されているもの、 を具備することを特徴とする請求項6に記載のSBA。
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