JPH11195504A5 - - Google Patents
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- JPH11195504A5 JPH11195504A5 JP1997370342A JP37034297A JPH11195504A5 JP H11195504 A5 JPH11195504 A5 JP H11195504A5 JP 1997370342 A JP1997370342 A JP 1997370342A JP 37034297 A JP37034297 A JP 37034297A JP H11195504 A5 JPH11195504 A5 JP H11195504A5
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9370342A JPH11195504A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 電気抵抗薄膜及びその製造法並びにセンサデ バイス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9370342A JPH11195504A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 電気抵抗薄膜及びその製造法並びにセンサデ バイス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11195504A JPH11195504A (ja) | 1999-07-21 |
| JPH11195504A5 true JPH11195504A5 (cs) | 2005-07-28 |
Family
ID=18496664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9370342A Pending JPH11195504A (ja) | 1997-12-26 | 1997-12-26 | 電気抵抗薄膜及びその製造法並びにセンサデ バイス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11195504A (cs) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001221696A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-17 | Res Inst Electric Magnetic Alloys | 感温感歪複合センサ |
| JP3756737B2 (ja) * | 2000-08-02 | 2006-03-15 | 財団法人電気磁気材料研究所 | 薄膜触覚センサ |
| JP2007294929A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-11-08 | Mitsui Mining & Smelting Co Ltd | 薄膜センサの製造方法、薄膜センサおよび薄膜センサモジュール |
| JP4988938B2 (ja) * | 2011-02-07 | 2012-08-01 | 公益財団法人電磁材料研究所 | 感温感歪複合センサ |
-
1997
- 1997-12-26 JP JP9370342A patent/JPH11195504A/ja active Pending
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