JPH11185955A - 有機elカラーディスプレイ - Google Patents
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- JPH11185955A JPH11185955A JP9365705A JP36570597A JPH11185955A JP H11185955 A JPH11185955 A JP H11185955A JP 9365705 A JP9365705 A JP 9365705A JP 36570597 A JP36570597 A JP 36570597A JP H11185955 A JPH11185955 A JP H11185955A
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- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 169
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 23
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims abstract description 8
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 47
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 47
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 13
- 238000007789 sealing Methods 0.000 abstract description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 19
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 9
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 abstract description 2
- REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N aluminium(3+) Chemical compound [Al+3] REDXJYDRNCIFBQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 36
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 35
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 27
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 24
- 239000010408 film Substances 0.000 description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 11
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 10
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 10
- TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K tri(quinolin-8-yloxy)alumane Chemical compound [Al+3].C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1.C1=CN=C2C([O-])=CC=CC2=C1 TVIVIEFSHFOWTE-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 10
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 9
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- DCZNSJVFOQPSRV-UHFFFAOYSA-N n,n-diphenyl-4-[4-(n-phenylanilino)phenyl]aniline Chemical compound C1=CC=CC=C1N(C=1C=CC(=CC=1)C=1C=CC(=CC=1)N(C=1C=CC=CC=1)C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 DCZNSJVFOQPSRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- -1 aluminum quinolinol Chemical compound 0.000 description 6
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 6
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 6
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 5
- 229960003540 oxyquinoline Drugs 0.000 description 5
- MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N quinolin-8-ol Chemical compound C1=CN=C2C(O)=CC=CC2=C1 MCJGNVYPOGVAJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 4
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 4
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- BRSRUYVJULRMRQ-UHFFFAOYSA-N 1-phenylanthracene Chemical class C1=CC=CC=C1C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C12 BRSRUYVJULRMRQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910021193 La 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 description 3
- 239000000872 buffer Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 3
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 3
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 125000002080 perylenyl group Chemical group C1(=CC=C2C=CC=C3C4=CC=CC5=CC=CC(C1=C23)=C45)* 0.000 description 3
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 3
- 150000003248 quinolines Chemical class 0.000 description 3
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 3
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 3
- UWRZIZXBOLBCON-VOTSOKGWSA-N (e)-2-phenylethenamine Chemical class N\C=C\C1=CC=CC=C1 UWRZIZXBOLBCON-VOTSOKGWSA-N 0.000 description 2
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018068 Li 2 O Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 230000009102 absorption Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N coronene Chemical compound C1=C(C2=C34)C=CC3=CC=C(C=C3)C4=C4C3=CC=C(C=C3)C4=C2C3=C1 VPUGDVKSAQVFFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 2
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 2
- 238000002189 fluorescence spectrum Methods 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 150000004866 oxadiazoles Chemical class 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N peryrene Natural products C1=CC(C2=CC=CC=3C2=C2C=CC=3)=C3C2=CC=CC3=C1 CSHWQDPOILHKBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 238000005546 reactive sputtering Methods 0.000 description 2
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 2
- 125000005504 styryl group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- 238000007738 vacuum evaporation Methods 0.000 description 2
- QGKMIGUHVLGJBR-UHFFFAOYSA-M (4z)-1-(3-methylbutyl)-4-[[1-(3-methylbutyl)quinolin-1-ium-4-yl]methylidene]quinoline;iodide Chemical compound [I-].C12=CC=CC=C2N(CCC(C)C)C=CC1=CC1=CC=[N+](CCC(C)C)C2=CC=CC=C12 QGKMIGUHVLGJBR-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 1,4,4-triphenylbuta-1,3-dienylbenzene Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(C=1C=CC=CC=1)=CC=C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 KLCLIOISYBHYDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XFYQEBBUVNLYBR-UHFFFAOYSA-N 12-phthaloperinone Chemical class C1=CC(N2C(=O)C=3C(=CC=CC=3)C2=N2)=C3C2=CC=CC3=C1 XFYQEBBUVNLYBR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MVWPVABZQQJTPL-UHFFFAOYSA-N 2,3-diphenylcyclohexa-2,5-diene-1,4-dione Chemical class O=C1C=CC(=O)C(C=2C=CC=CC=2)=C1C1=CC=CC=C1 MVWPVABZQQJTPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N Calcium Chemical compound [Ca] OYPRJOBELJOOCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N Quinacridone Chemical compound N1C2=CC=CC=C2C(=O)C2=C1C=C1C(=O)C3=CC=CC=C3NC1=C2 NRCMAYZCPIVABH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PTFCDOFLOPIGGS-UHFFFAOYSA-N Zinc dication Chemical compound [Zn+2] PTFCDOFLOPIGGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 239000004840 adhesive resin Substances 0.000 description 1
- 229920006223 adhesive resin Polymers 0.000 description 1
- 229910000828 alnico Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PSYWRPCLOJXWEN-UHFFFAOYSA-K aluminum;2-phenylphenolate Chemical compound [Al+3].[O-]C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1.[O-]C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1.[O-]C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 PSYWRPCLOJXWEN-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 239000010405 anode material Substances 0.000 description 1
- 229940027991 antiseptic and disinfectant quinoline derivative Drugs 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 125000005605 benzo group Chemical group 0.000 description 1
- XJHABGPPCLHLLV-UHFFFAOYSA-N benzo[de]isoquinoline-1,3-dione Chemical compound C1=CC(C(=O)NC2=O)=C3C2=CC=CC3=C1 XJHABGPPCLHLLV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 125000000609 carbazolyl group Chemical class C1(=CC=CC=2C3=CC=CC=C3NC12)* 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010549 co-Evaporation Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 150000004696 coordination complex Chemical class 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000005038 ethylene vinyl acetate Substances 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000007857 hydrazones Chemical class 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000434 metal complex dye Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 230000037230 mobility Effects 0.000 description 1
- 239000002052 molecular layer Substances 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- QZXNDEONRUSYFB-UHFFFAOYSA-N n-[4-(4-aminophenyl)phenyl]-3-methylaniline Chemical group CC1=CC=CC(NC=2C=CC(=CC=2)C=2C=CC(N)=CC=2)=C1 QZXNDEONRUSYFB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920001200 poly(ethylene-vinyl acetate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 150000003222 pyridines Chemical class 0.000 description 1
- 229940083082 pyrimidine derivative acting on arteriolar smooth muscle Drugs 0.000 description 1
- 150000003230 pyrimidines Chemical class 0.000 description 1
- 238000006862 quantum yield reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 150000003252 quinoxalines Chemical class 0.000 description 1
- 238000001552 radio frequency sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000009103 reabsorption Effects 0.000 description 1
- PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N rhodamine B Chemical compound [Cl-].C=12C=CC(=[N+](CC)CC)C=C2OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C2C=1C1=CC=CC=C1C(O)=O PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N rubrene Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C1=C(C=2C=CC=CC=2)C2=CC=CC=C2C(C=2C=CC=CC=2)=C11)=C(C=CC=C2)C2=C1C1=CC=CC=C1 YYMBJDOZVAITBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- PMJMHCXAGMRGBZ-UHFFFAOYSA-N subphthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(=N3)N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C3=N1 PMJMHCXAGMRGBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010301 surface-oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
- 150000003852 triazoles Chemical class 0.000 description 1
- LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N tris Chemical compound OCC(N)(CO)CO LENZDBCJOHFCAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/38—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising colour filters or colour changing media [CCM]
Abstract
(57)【要約】
【課題】 複雑な構造を必要とせず、製造が容易で、有
機EL構造体へのダメージのない低コストの有機ELカ
ラーディスプレイを提供する。 【解決手段】 基板上にホール注入電極と、1種以上の
有機層と、ホール注入電極とが順次積層された有機EL
構造体と、この有機EL構造体上に所定の距離を置いて
配置された封止板とを有し、前記封止板の有機EL構造
体と対向する面にカラーフィルター層を有する有機EL
カラーディスプレイとした。
機EL構造体へのダメージのない低コストの有機ELカ
ラーディスプレイを提供する。 【解決手段】 基板上にホール注入電極と、1種以上の
有機層と、ホール注入電極とが順次積層された有機EL
構造体と、この有機EL構造体上に所定の距離を置いて
配置された封止板とを有し、前記封止板の有機EL構造
体と対向する面にカラーフィルター層を有する有機EL
カラーディスプレイとした。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機化合物を用い
た有機EL素子のディスプレイに関し、さらに詳細に
は、カラーディスプレイの構造に関する。
た有機EL素子のディスプレイに関し、さらに詳細に
は、カラーディスプレイの構造に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、有機EL素子が盛んに研究されて
いる。これは、錫ドープ酸化インジウム(ITO)など
の透明電極(ホール注入電極)上にトリフェニルジアミ
ン(TPD)などのホール輸送材料を蒸着により薄膜と
し、さらにアルミキノリノール錯体(Alq3)などの
蛍光物質を発光層として積層し、さらにMgなどの仕事
関数の小さな金属電極(電子注入電極)を形成した基本
構成を有する素子で、10V前後の電圧で数100から
数10000cd/m2ときわめて高い輝度が得られること
で注目されている。
いる。これは、錫ドープ酸化インジウム(ITO)など
の透明電極(ホール注入電極)上にトリフェニルジアミ
ン(TPD)などのホール輸送材料を蒸着により薄膜と
し、さらにアルミキノリノール錯体(Alq3)などの
蛍光物質を発光層として積層し、さらにMgなどの仕事
関数の小さな金属電極(電子注入電極)を形成した基本
構成を有する素子で、10V前後の電圧で数100から
数10000cd/m2ときわめて高い輝度が得られること
で注目されている。
【0003】ところで、このような有機EL素子を用い
たディスプレイとして、種々の応用例が考えられるが、
中でもカラーディスプレイへの応用は重要な課題であ
る。発光体をカラーディスプレイとして応用する場合、
例えば、発光体自体の発光色を変化させるか、あるいは
カラーフィルターを用いて青、緑、赤の3元色を得ると
いった手法が一般的である。発光体自体の発光色を変化
させる試みとしては、例えば SID 96 DIGEST・185 14.
2:Novel Transparent Organic Electroluminescent Dev
ices G.Gu,V.BBulovic,P.E.Burrows,S.RForrest,M.E.To
mpsonに記載されたカラー発光素子として、Ag・Mg
薄膜を陰電極に、ITOを陽電極に用いたものが知られ
ている。しかし、ここに記載されているカラー発光素子
(heterostructure organic light emitting devices)
は、R,G,B各々に対応した発光層(Red ETL,Green
ETL,Blue ETL)を有する多層構造であり、各発光層毎に
陰電極と陽電極を用意しなければならず、構造が複雑と
なり、製造コストも高くなるという問題がある。また各
色の寿命が異なるため、使用にしたがい色バランスが崩
れるという不都合もある。
たディスプレイとして、種々の応用例が考えられるが、
中でもカラーディスプレイへの応用は重要な課題であ
る。発光体をカラーディスプレイとして応用する場合、
例えば、発光体自体の発光色を変化させるか、あるいは
カラーフィルターを用いて青、緑、赤の3元色を得ると
いった手法が一般的である。発光体自体の発光色を変化
させる試みとしては、例えば SID 96 DIGEST・185 14.
2:Novel Transparent Organic Electroluminescent Dev
ices G.Gu,V.BBulovic,P.E.Burrows,S.RForrest,M.E.To
mpsonに記載されたカラー発光素子として、Ag・Mg
薄膜を陰電極に、ITOを陽電極に用いたものが知られ
ている。しかし、ここに記載されているカラー発光素子
(heterostructure organic light emitting devices)
は、R,G,B各々に対応した発光層(Red ETL,Green
ETL,Blue ETL)を有する多層構造であり、各発光層毎に
陰電極と陽電極を用意しなければならず、構造が複雑と
なり、製造コストも高くなるという問題がある。また各
色の寿命が異なるため、使用にしたがい色バランスが崩
れるという不都合もある。
【0004】一方、単一の発光層とカラーフィルターと
を組み合わせてカラーディスプレイとする場合、通常、
有機EL構造体上にカラーフィルターを設けることとな
る。しかし、有機EL構造体上に所定のパターンでカラ
ーフィルター層を設けることは、パターニング技術や有
機EL構造体へのダメージ等の点から極めて困難であ
る。
を組み合わせてカラーディスプレイとする場合、通常、
有機EL構造体上にカラーフィルターを設けることとな
る。しかし、有機EL構造体上に所定のパターンでカラ
ーフィルター層を設けることは、パターニング技術や有
機EL構造体へのダメージ等の点から極めて困難であ
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、複雑
な構造を必要とせず、製造が容易で、有機EL構造体へ
のダメージのない低コストの有機ELカラーディスプレ
イを提供することである。
な構造を必要とせず、製造が容易で、有機EL構造体へ
のダメージのない低コストの有機ELカラーディスプレ
イを提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的は、下記の本発
明により達成される。 (1) 基板上に電子注入電極と、1種以上の有機層
と、ホール注入電極とが順次積層された有機EL構造体
と、この有機EL構造体上に配置され、基板に固着され
た封止板とを有し、前記封止板は、有機EL構造体と対
向する面にカラーフィルター層を有する有機ELカラー
ディスプレイ。 (2) 前記電子注入電極は、発光層と反対側に導電体
層を有し、発光層側には酸化物であって厚さ5nm未満、
仕事関数4eV以下の非導電体層とを有する上記(1)の
有機ELカラーディスプレイ。
明により達成される。 (1) 基板上に電子注入電極と、1種以上の有機層
と、ホール注入電極とが順次積層された有機EL構造体
と、この有機EL構造体上に配置され、基板に固着され
た封止板とを有し、前記封止板は、有機EL構造体と対
向する面にカラーフィルター層を有する有機ELカラー
ディスプレイ。 (2) 前記電子注入電極は、発光層と反対側に導電体
層を有し、発光層側には酸化物であって厚さ5nm未満、
仕事関数4eV以下の非導電体層とを有する上記(1)の
有機ELカラーディスプレイ。
【0007】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的構成につい
て詳細に説明する。本発明の有機ELカラーディスプレ
イは、基板上に電子注入電極と、1種以上の有機層と、
ホール注入電極とが順次積層された有機EL構造体と、
この有機EL構造体上に配置された封止板とを有し、前
記封止板は有機EL構造体と対向する面にカラーフィル
ター層を有する。
て詳細に説明する。本発明の有機ELカラーディスプレ
イは、基板上に電子注入電極と、1種以上の有機層と、
ホール注入電極とが順次積層された有機EL構造体と、
この有機EL構造体上に配置された封止板とを有し、前
記封止板は有機EL構造体と対向する面にカラーフィル
ター層を有する。
【0008】このように、封止板の有機EL構造体と対
向する面にカラーフィルター層を設けることにより、有
機EL構造体へのダメージを防止でき、取り扱いも容易
となり、極めて簡単な構成でカラーフィルターを作製す
ることができる。
向する面にカラーフィルター層を設けることにより、有
機EL構造体へのダメージを防止でき、取り扱いも容易
となり、極めて簡単な構成でカラーフィルターを作製す
ることができる。
【0009】カラーフィルター層は、青色フィルター層
と、緑色フィルター層と、赤色フィルター層の1種以上
を用いることが好ましい。カラーフィルター層には、液
晶ディスプレイ等で用いられているカラーフィルターを
用いてもよいが、有機ELの発光する光に合わせてカラ
ーフィルターの特性を調製し、取り出し効率・色純度を
最適化すればよい。また、EL素子材料や必要により設
けられる蛍光変換層が光吸収するような短波長の光をカ
ットできるカラーフィルターを用いることが好ましく、
これにより素子の耐光性・表示のコントラストも向上す
る。このときカットする光は緑の場合560nm以上の波
長の光および480nm以下の波長の光であり、青の場合
490nm以上の波長の光であり、赤の場合580nm以下
の波長の光である。このようなカラーフィルターを用い
て、NTSC標準、あるいは現行のCRTの色度座標に
調整することが好ましい。このような色度座標は、一般
的な色度座標測定器、例えばトプコン社製のBM−7、
SR−1等を用いて測定できる。カラーフィルター層の
厚さは0.5〜20μm 程度とすればよい。
と、緑色フィルター層と、赤色フィルター層の1種以上
を用いることが好ましい。カラーフィルター層には、液
晶ディスプレイ等で用いられているカラーフィルターを
用いてもよいが、有機ELの発光する光に合わせてカラ
ーフィルターの特性を調製し、取り出し効率・色純度を
最適化すればよい。また、EL素子材料や必要により設
けられる蛍光変換層が光吸収するような短波長の光をカ
ットできるカラーフィルターを用いることが好ましく、
これにより素子の耐光性・表示のコントラストも向上す
る。このときカットする光は緑の場合560nm以上の波
長の光および480nm以下の波長の光であり、青の場合
490nm以上の波長の光であり、赤の場合580nm以下
の波長の光である。このようなカラーフィルターを用い
て、NTSC標準、あるいは現行のCRTの色度座標に
調整することが好ましい。このような色度座標は、一般
的な色度座標測定器、例えばトプコン社製のBM−7、
SR−1等を用いて測定できる。カラーフィルター層の
厚さは0.5〜20μm 程度とすればよい。
【0010】また、誘導体多層膜のような光学薄膜を用
いてカラーフィルターの代わりにしてもよい。
いてカラーフィルターの代わりにしてもよい。
【0011】フィルター層は三原色表示によるフルカラ
ーディスプレイでは、上記のような青、緑、赤色のもの
を用い、その他のキャラクター表示等に用いる場合に
は、必要な色彩のものを調整して用いればよい。
ーディスプレイでは、上記のような青、緑、赤色のもの
を用い、その他のキャラクター表示等に用いる場合に
は、必要な色彩のものを調整して用いればよい。
【0012】必要により設けられる蛍光変換層は、EL
発光を吸収し、蛍光変換層中の蛍光体から光を放出させ
ることで発光色の色変換を行うものであるが、バインダ
ー、蛍光材料、光吸収材料を用いて形成することができ
る。
発光を吸収し、蛍光変換層中の蛍光体から光を放出させ
ることで発光色の色変換を行うものであるが、バインダ
ー、蛍光材料、光吸収材料を用いて形成することができ
る。
【0013】蛍光材料は、基本的には蛍光量子収率が高
いものを用いればよく、EL発光波長域に吸収が強いこ
とが望ましい。具体的には蛍光スペクトルの発光極大波
長λmax が580〜630nmであり、発光ピークの半値
幅がいずれの場合にも10〜100nmである蛍光物質が
好ましい。実際には、レーザー用色素などが適してお
り、ローダミン系化合物、ペリレン系化合物、シアニン
系化合物、フタロシアニン系化合物(サブフタロシアニ
ン等も含む)、ナフタロイミド系化合物、縮合環炭化水
素系化合物、縮合複素環系化合物、スチリル系化合物等
を用いればよい。
いものを用いればよく、EL発光波長域に吸収が強いこ
とが望ましい。具体的には蛍光スペクトルの発光極大波
長λmax が580〜630nmであり、発光ピークの半値
幅がいずれの場合にも10〜100nmである蛍光物質が
好ましい。実際には、レーザー用色素などが適してお
り、ローダミン系化合物、ペリレン系化合物、シアニン
系化合物、フタロシアニン系化合物(サブフタロシアニ
ン等も含む)、ナフタロイミド系化合物、縮合環炭化水
素系化合物、縮合複素環系化合物、スチリル系化合物等
を用いればよい。
【0014】バインダーは基本的に蛍光を消光しないよ
うな材料を選べばよく、フォトリソグラフィー、印刷等
で微細なパターニングができるようなものが好ましい。
うな材料を選べばよく、フォトリソグラフィー、印刷等
で微細なパターニングができるようなものが好ましい。
【0015】光吸収材料は、蛍光材料の光吸収が足りな
い場合に用いるが、必要のない場合は用いなくてもよ
い。また、光吸収材料は、蛍光材料の蛍光を消光しない
ような材料を選べばよい。
い場合に用いるが、必要のない場合は用いなくてもよ
い。また、光吸収材料は、蛍光材料の蛍光を消光しない
ような材料を選べばよい。
【0016】このような蛍光変換フィルター用いること
によって、CIE色度座標において好ましいx、y値が
得られる。また、蛍光変換層の厚さは1〜10nm程度と
すればよい。
によって、CIE色度座標において好ましいx、y値が
得られる。また、蛍光変換層の厚さは1〜10nm程度と
すればよい。
【0017】封止板としては、発光光の透過率が80%
以上であれば良く、ガラスに限らず樹脂等の透明な材料
を用い、湿気の侵入を防ぐために市販の低吸湿性の光硬
化性接着剤、エポキシ系接着剤、シリコーン系接着剤、
架橋エチレン−酢酸ビニル共重合体接着剤シート等の接
着性樹脂層を用いて、ガラス板等の封止板を接着し密封
する。封止板の厚さは特に限定するものではなく、例え
ば所望の厚さのガラス板等を接着すればよい。その際フ
ィルター層と一体としたものを用いれば製造が容易であ
る。この場合フィルター層が有機EL構造体側になるよ
うにする。
以上であれば良く、ガラスに限らず樹脂等の透明な材料
を用い、湿気の侵入を防ぐために市販の低吸湿性の光硬
化性接着剤、エポキシ系接着剤、シリコーン系接着剤、
架橋エチレン−酢酸ビニル共重合体接着剤シート等の接
着性樹脂層を用いて、ガラス板等の封止板を接着し密封
する。封止板の厚さは特に限定するものではなく、例え
ば所望の厚さのガラス板等を接着すればよい。その際フ
ィルター層と一体としたものを用いれば製造が容易であ
る。この場合フィルター層が有機EL構造体側になるよ
うにする。
【0018】フィルター層が設けられた封止板は、好ま
しくは有機EL構造体の上端面(基板側と反対面)から
離間して配置される。この場合、フィルター層は封止板
の有機EL構造体と対向する面に設けられる。従って、
フィルター層の有機EL構造体側の面と、有機EL構造
体の上端面との間は、所定の空隙が生じるようにする。
このように、空隙を設けることで、フィルター層が有機
EL構造体を押圧したり、破壊したりすることを防止で
きる。空隙の間隔としては、好ましくは10〜1000
μm 、より好ましくは100〜200μm 程度である。
しくは有機EL構造体の上端面(基板側と反対面)から
離間して配置される。この場合、フィルター層は封止板
の有機EL構造体と対向する面に設けられる。従って、
フィルター層の有機EL構造体側の面と、有機EL構造
体の上端面との間は、所定の空隙が生じるようにする。
このように、空隙を設けることで、フィルター層が有機
EL構造体を押圧したり、破壊したりすることを防止で
きる。空隙の間隔としては、好ましくは10〜1000
μm 、より好ましくは100〜200μm 程度である。
【0019】通常、封止板およびフィルター層と、有機
EL構造体とは別個に製造され、最終的に位置決めし
て、貼り合わされ、基板に固着される。このように、両
者を別個に取り扱うことができるため、製造が容易で、
有機EL構造体へダメージを与える恐れもなくなる。
EL構造体とは別個に製造され、最終的に位置決めし
て、貼り合わされ、基板に固着される。このように、両
者を別個に取り扱うことができるため、製造が容易で、
有機EL構造体へダメージを与える恐れもなくなる。
【0020】本発明の有機EL構造体は、基板上に電子
注入電極と透光性のあるホール注入電極とを有し、これ
らの電極に挟まれて、それぞれ少なくとも1層のホール
輸送層や発光層等の有機層を有し、必要により保護層を
有し、さらにフィルター層、最上層としてガラス封止板
を有する。なお、ホール輸送層は省略可能である。そし
て、電子注入電極は、前述のとおり、発光層と反対側に
導電体層と、発光層側に酸化物であって厚さ5nm未満、
仕事関数4eV以下の非導電体層とを有し、さらにホール
注入電極として(In2 O3 +ZnO)等の透明電極を
有するものである。
注入電極と透光性のあるホール注入電極とを有し、これ
らの電極に挟まれて、それぞれ少なくとも1層のホール
輸送層や発光層等の有機層を有し、必要により保護層を
有し、さらにフィルター層、最上層としてガラス封止板
を有する。なお、ホール輸送層は省略可能である。そし
て、電子注入電極は、前述のとおり、発光層と反対側に
導電体層と、発光層側に酸化物であって厚さ5nm未満、
仕事関数4eV以下の非導電体層とを有し、さらにホール
注入電極として(In2 O3 +ZnO)等の透明電極を
有するものである。
【0021】電子注入電極は、好ましくは発光層と反対
側に導電体層を有し、発光層側には酸化物であって厚さ
5nm未満、仕事関数4eV以下の非導電体層とを有する。
酸化物からなる非導電体層を設けることにより、有機E
L素子のパターンニング時に、有機物層等を積層する電
子注入電極がすでに酸化物で覆われていることとなり、
電子注入電極の酸化に関しては無視して取り扱うことが
でき、逆積層構造の有機EL素子が容易に製造できる。
側に導電体層を有し、発光層側には酸化物であって厚さ
5nm未満、仕事関数4eV以下の非導電体層とを有する。
酸化物からなる非導電体層を設けることにより、有機E
L素子のパターンニング時に、有機物層等を積層する電
子注入電極がすでに酸化物で覆われていることとなり、
電子注入電極の酸化に関しては無視して取り扱うことが
でき、逆積層構造の有機EL素子が容易に製造できる。
【0022】導電体層の金属としては、特に限定するも
のではないが好ましくはTi、Al、Cu、Ni、A
g、Au、Pt、Pd、Ir、Cr、Mo、W、Ta等
の遷移金属元素、錫ドープインジウム(ITO)、亜鉛
ドープインジウム(IZO)等の導電性酸化物が挙げら
れる。さらにTiまたはCr、あるいはこれらの窒化物
が好ましい。TiまたはCr、あるいはこれらの窒化物
を用いると、境界面でのオーミック性が改善される。
のではないが好ましくはTi、Al、Cu、Ni、A
g、Au、Pt、Pd、Ir、Cr、Mo、W、Ta等
の遷移金属元素、錫ドープインジウム(ITO)、亜鉛
ドープインジウム(IZO)等の導電性酸化物が挙げら
れる。さらにTiまたはCr、あるいはこれらの窒化物
が好ましい。TiまたはCr、あるいはこれらの窒化物
を用いると、境界面でのオーミック性が改善される。
【0023】このような導電体層の厚さは、電子注入を
十分行える一定以上の厚さを有すれば良く、好ましくは
50〜500nm、特に50〜300nmの範囲が好まし
い。導電体層に用いる金属の抵抗率は1×10-3〜1×
10-6Ω・cmの範囲が好ましい。
十分行える一定以上の厚さを有すれば良く、好ましくは
50〜500nm、特に50〜300nmの範囲が好まし
い。導電体層に用いる金属の抵抗率は1×10-3〜1×
10-6Ω・cmの範囲が好ましい。
【0024】この導電体層は蒸着法等によっても形成で
きるが、好ましくはスパッタ法、さらにはDCスパッタ
法により形成することが好ましい。DCスパッタ装置の
電力としては、好ましくは0.1〜10W/cm2 、特に
0.5〜7W/cm2 の範囲が好ましい。成膜レートとし
ては、0.1〜100nm/min 、特に1〜30nm/min
が好ましい。
きるが、好ましくはスパッタ法、さらにはDCスパッタ
法により形成することが好ましい。DCスパッタ装置の
電力としては、好ましくは0.1〜10W/cm2 、特に
0.5〜7W/cm2 の範囲が好ましい。成膜レートとし
ては、0.1〜100nm/min 、特に1〜30nm/min
が好ましい。
【0025】スパッタガスとしては特に限定するもので
はなく、Ar、He、Ne、Kr、Xe等の不活性ガ
ス、あるいはこれらの混合ガスを用いればよい。このよ
うなスパッタガスのスパッタ時における圧力としては、
通常0.1〜20Pa程度でよい。
はなく、Ar、He、Ne、Kr、Xe等の不活性ガ
ス、あるいはこれらの混合ガスを用いればよい。このよ
うなスパッタガスのスパッタ時における圧力としては、
通常0.1〜20Pa程度でよい。
【0026】非導電体層の仕事関数を4eV以下にできる
酸化物としては、例えば、MgO、CaO、SrO、B
aO、Li2 O、Na2 O、K2 O、La2 O3 、Y2
O3、CeO2 等が挙げられ、好ましくは、MgO、C
aO、SrO、BaO、Li2 O、Na2 O、K2 O、
La2 O3 の1種、または2種以上が挙げられる。この
ような酸化物を2種以上用いる場合その混合比は任意で
あり、またこれらの酸化物は通常化学量論組成で存在す
るが、O量はこの組成からある程度偏倚していても良
く、前記各組成に対して±20%程度の範囲内であれば
よい。このような非導電体層中の酸化物の存在は、XR
D(X線回折)から確認することができる。仕事関数を
4eV以下とすることにより、電子の注入効率が向上し、
ひいては発光効率も向上する。
酸化物としては、例えば、MgO、CaO、SrO、B
aO、Li2 O、Na2 O、K2 O、La2 O3 、Y2
O3、CeO2 等が挙げられ、好ましくは、MgO、C
aO、SrO、BaO、Li2 O、Na2 O、K2 O、
La2 O3 の1種、または2種以上が挙げられる。この
ような酸化物を2種以上用いる場合その混合比は任意で
あり、またこれらの酸化物は通常化学量論組成で存在す
るが、O量はこの組成からある程度偏倚していても良
く、前記各組成に対して±20%程度の範囲内であれば
よい。このような非導電体層中の酸化物の存在は、XR
D(X線回折)から確認することができる。仕事関数を
4eV以下とすることにより、電子の注入効率が向上し、
ひいては発光効率も向上する。
【0027】このような酸化物が発光層あるいは電子注
入・輸送層と直接接するため、金属が接する場合と比べ
発光層、電子注入・輸送層の安定性が向上し、しかも酸
化物であるため、特別な保護層を設けることなく、ガラ
ス封止板のみでも安定な動作が可能となる。
入・輸送層と直接接するため、金属が接する場合と比べ
発光層、電子注入・輸送層の安定性が向上し、しかも酸
化物であるため、特別な保護層を設けることなく、ガラ
ス封止板のみでも安定な動作が可能となる。
【0028】仕事関数が4eV以下の非導電体層の厚さは
5nm未満であり、好ましくは2nm以下、より好ましくは
1〜2nmの範囲である。厚さが5nm以上の場合、トンネ
ル効果による導電体層からの電子の注入が困難となる。
厚さが2nm以下となると、トンネル効果による電子の注
入効率が向上する。厚さが1nm未満の場合には、製造時
の膜強度や電子輸送能力の点で問題がある。
5nm未満であり、好ましくは2nm以下、より好ましくは
1〜2nmの範囲である。厚さが5nm以上の場合、トンネ
ル効果による導電体層からの電子の注入が困難となる。
厚さが2nm以下となると、トンネル効果による電子の注
入効率が向上する。厚さが1nm未満の場合には、製造時
の膜強度や電子輸送能力の点で問題がある。
【0029】この非導電体層は蒸着法等によっても形成
できるが、スパッタ法、特にDCスパッタ法により形成
することが好ましい。スパッタガス、その他の条件は上
記の導電体層の場合に準ずればよい。なお、ターゲット
としては通常非導電体層と同一材料を用いる。
できるが、スパッタ法、特にDCスパッタ法により形成
することが好ましい。スパッタガス、その他の条件は上
記の導電体層の場合に準ずればよい。なお、ターゲット
としては通常非導電体層と同一材料を用いる。
【0030】上記導電体層(例えばAl)と非導電体層
(例えばLa2 O3 )との界面での反応による導電体層
の酸化を防止するため、両者の中間にバッファ層を設け
ることが好ましい。このバッファ層には、好ましくはT
i、Cr、Ta等の金属、あるいはこれらの窒化物を用
いることが好ましい。バッファ層の厚さは1〜10nm、
好ましくは1〜5nmの範囲がよい。
(例えばLa2 O3 )との界面での反応による導電体層
の酸化を防止するため、両者の中間にバッファ層を設け
ることが好ましい。このバッファ層には、好ましくはT
i、Cr、Ta等の金属、あるいはこれらの窒化物を用
いることが好ましい。バッファ層の厚さは1〜10nm、
好ましくは1〜5nmの範囲がよい。
【0031】導電体層と非導電体層とを有する電子注入
電極全体の厚さは、50nm以上、好ましくは100nm以
上とすればよい。また、その上限値には特に制限はない
が、通常膜厚は100〜500nmの範囲でよい。
電極全体の厚さは、50nm以上、好ましくは100nm以
上とすればよい。また、その上限値には特に制限はない
が、通常膜厚は100〜500nmの範囲でよい。
【0032】ホール注入電極としては、好ましくは発光
した光の透過率が80%以上となるような材料および厚
さを決定することが好ましい。具体的には、酸化物透明
導電薄膜が好ましく、例えば、錫ドープ酸化インジウム
(ITO)、亜鉛ドープ酸化インジウム(IZO)、酸
化インジウム(In2O3 )、酸化スズ(SnO2 )お
よび酸化亜鉛(ZnO)のいずれかを主組成としたもの
が好ましい。これらの酸化物はその化学量論組成から多
少偏倚していてもよい。例えば、ITOでは、通常In
2 O3 とSnO2 とを化学量論組成で含有するが、酸素
量は多少これから偏倚していてもよい。In2 O3 に対
しSnO2 の混合比は、1〜20wt%が好ましく、さら
には5〜12wt%が好ましい。In2 O3 に対しZnO
2 の混合比は、12〜32wt%が好ましい。なお、特に
亜鉛ドープ酸化インジウム(IZO)が好ましい。素子
の信頼性を向上させるために駆動電圧を低くし、高効率
化を図るために低抵抗率の陽極材料が必要であるが、こ
のIZOは成膜直後の抵抗が十分低いため、加熱処理の
必要がなく、有機EL素子が加熱により損傷を受けるこ
ともない。
した光の透過率が80%以上となるような材料および厚
さを決定することが好ましい。具体的には、酸化物透明
導電薄膜が好ましく、例えば、錫ドープ酸化インジウム
(ITO)、亜鉛ドープ酸化インジウム(IZO)、酸
化インジウム(In2O3 )、酸化スズ(SnO2 )お
よび酸化亜鉛(ZnO)のいずれかを主組成としたもの
が好ましい。これらの酸化物はその化学量論組成から多
少偏倚していてもよい。例えば、ITOでは、通常In
2 O3 とSnO2 とを化学量論組成で含有するが、酸素
量は多少これから偏倚していてもよい。In2 O3 に対
しSnO2 の混合比は、1〜20wt%が好ましく、さら
には5〜12wt%が好ましい。In2 O3 に対しZnO
2 の混合比は、12〜32wt%が好ましい。なお、特に
亜鉛ドープ酸化インジウム(IZO)が好ましい。素子
の信頼性を向上させるために駆動電圧を低くし、高効率
化を図るために低抵抗率の陽極材料が必要であるが、こ
のIZOは成膜直後の抵抗が十分低いため、加熱処理の
必要がなく、有機EL素子が加熱により損傷を受けるこ
ともない。
【0033】ホール注入電極を成膜するにはスパッタ法
が好ましい。スパッタ法としてはRF電源を用いた高周
波スパッタ法等も可能であるが、成膜するホール注入電
極の膜物性の制御のし易さや、成膜面の平滑度等を考慮
するとDCスパッタ法を用いることが好ましい。
が好ましい。スパッタ法としてはRF電源を用いた高周
波スパッタ法等も可能であるが、成膜するホール注入電
極の膜物性の制御のし易さや、成膜面の平滑度等を考慮
するとDCスパッタ法を用いることが好ましい。
【0034】DCスパッタ装置としては、好ましくはマ
グネトロンDCスパッタ装置であることが好ましく、磁
場強度としては、ターゲット上の磁束密度Bが、好まし
くはB=500〜2000Gauss 、特に800〜150
0Gauss 程度が好ましい。ターゲット上の磁束密度は大
きいほど好ましく、磁束密度を大きくして磁場強度を強
くすると、ターゲット付近に電子を閉じこめるような電
極構造をとることによって、プラズマ中のスパッタガス
の陰極ターゲットに衝突するイオン数が増加し、プラズ
マ密度が大きくなる。プラズマ密度が大きくなると、プ
ラズマ中で粒子同士の衝突頻度が増し、運動エネルギー
の一部が失われ、スパッタされた粒子が基板上に穏やか
に堆積することになる。ターゲット上に磁場を得る方法
としては、特に限定されるものではないが、ターゲット
の裏面側、特に冷却部内に磁石を配置することが好まし
い。このような磁場を与える磁石として、例えば、Fe
−Nd−B、Sm−Co、フェライト、アルニコ等が挙
げられ、中でもFe−Nd−B、Sm−Coが大きな磁
束密度が得られ好ましい。
グネトロンDCスパッタ装置であることが好ましく、磁
場強度としては、ターゲット上の磁束密度Bが、好まし
くはB=500〜2000Gauss 、特に800〜150
0Gauss 程度が好ましい。ターゲット上の磁束密度は大
きいほど好ましく、磁束密度を大きくして磁場強度を強
くすると、ターゲット付近に電子を閉じこめるような電
極構造をとることによって、プラズマ中のスパッタガス
の陰極ターゲットに衝突するイオン数が増加し、プラズ
マ密度が大きくなる。プラズマ密度が大きくなると、プ
ラズマ中で粒子同士の衝突頻度が増し、運動エネルギー
の一部が失われ、スパッタされた粒子が基板上に穏やか
に堆積することになる。ターゲット上に磁場を得る方法
としては、特に限定されるものではないが、ターゲット
の裏面側、特に冷却部内に磁石を配置することが好まし
い。このような磁場を与える磁石として、例えば、Fe
−Nd−B、Sm−Co、フェライト、アルニコ等が挙
げられ、中でもFe−Nd−B、Sm−Coが大きな磁
束密度が得られ好ましい。
【0035】バイアス電圧としては、ターゲット−基板
(バイアス電極)間の電圧が、好ましくは100〜30
0V 、特に150〜250V の範囲が好ましい。バイア
ス電圧が高すぎると粒子の加速度が大きくなり、電極層
にダメージを与えやすくなる。また、バイアス電圧が低
すぎるとプラズマ放電を維持できなくなったり、プラズ
マ密度が低くなり、上記効果が得難くなる。
(バイアス電極)間の電圧が、好ましくは100〜30
0V 、特に150〜250V の範囲が好ましい。バイア
ス電圧が高すぎると粒子の加速度が大きくなり、電極層
にダメージを与えやすくなる。また、バイアス電圧が低
すぎるとプラズマ放電を維持できなくなったり、プラズ
マ密度が低くなり、上記効果が得難くなる。
【0036】なお、磁場強度、バイアス電圧とも上記範
囲の中で、使用環境、装置の規模等に合わせて最適な値
に調整することが好ましい。
囲の中で、使用環境、装置の規模等に合わせて最適な値
に調整することが好ましい。
【0037】DCスパッタ装置の電力としては、好まし
くは0.1〜10W/cm2、特に0.5〜7W/cm2の範
囲である。また、成膜レートはマグネットなどの装置の
条件にもよるが、好ましくは5〜100nm/min 、特に
10〜50nm/min の範囲が好ましい。スパッタ時の成
膜条件としては、電極形成で通常使用されているガス
圧、例えば、0.1〜0.5Pa、基板−ターゲット間距
離4〜10cmの範囲とすればよい。
くは0.1〜10W/cm2、特に0.5〜7W/cm2の範
囲である。また、成膜レートはマグネットなどの装置の
条件にもよるが、好ましくは5〜100nm/min 、特に
10〜50nm/min の範囲が好ましい。スパッタ時の成
膜条件としては、電極形成で通常使用されているガス
圧、例えば、0.1〜0.5Pa、基板−ターゲット間距
離4〜10cmの範囲とすればよい。
【0038】スパッタガスは、通常のスパッタ装置に使
用される不活性ガスや、反応性スパッタではこれに加え
てN2,H2,O2,C2H4,NH3等の反応性ガスが使用
可能であるが、好ましくはAr、Kr、Xeのいずれ
か、あるいはこれらの少なくとも1種以上のガスを含む
混合ガスを用いることが好ましい。これらのガスは不活
性ガスであり、かつ、比較的原子量が大きいため好まし
く、特にAr、Kr、Xe単体が好ましい。Ar、K
r、Xeガスを用いることにより、スパッタされた原子
が基板まで到達する途中、上記ガスと衝突を繰り返し、
運動エネルギーを減少させて、基板に到着する。この事
からスパッタされた原子の持つ運動エネルギーが有機E
L構造体に与える物理的ダメージが少なくなる。また、
Ar、Kr、Xeの少なくとも1種以上のガスを含む混
合ガスを用いても良く、この様な混合ガスを用いる場
合、Ar、Kr、Xeの分圧の合計は50%以上として
主スパッタガスとして用いる。このようにAr、Kr、
Xeの少なくとも1種と任意のガスを組み合わせた混合
ガスを用いることにより、本発明の効果を維持したま
ま、反応性スパッタを行うこともできる。
用される不活性ガスや、反応性スパッタではこれに加え
てN2,H2,O2,C2H4,NH3等の反応性ガスが使用
可能であるが、好ましくはAr、Kr、Xeのいずれ
か、あるいはこれらの少なくとも1種以上のガスを含む
混合ガスを用いることが好ましい。これらのガスは不活
性ガスであり、かつ、比較的原子量が大きいため好まし
く、特にAr、Kr、Xe単体が好ましい。Ar、K
r、Xeガスを用いることにより、スパッタされた原子
が基板まで到達する途中、上記ガスと衝突を繰り返し、
運動エネルギーを減少させて、基板に到着する。この事
からスパッタされた原子の持つ運動エネルギーが有機E
L構造体に与える物理的ダメージが少なくなる。また、
Ar、Kr、Xeの少なくとも1種以上のガスを含む混
合ガスを用いても良く、この様な混合ガスを用いる場
合、Ar、Kr、Xeの分圧の合計は50%以上として
主スパッタガスとして用いる。このようにAr、Kr、
Xeの少なくとも1種と任意のガスを組み合わせた混合
ガスを用いることにより、本発明の効果を維持したま
ま、反応性スパッタを行うこともできる。
【0039】ホール注入電極の厚さは、ホール注入を十
分行える一定以上の厚さを有すれば良く、好ましくは5
0〜500nm、さらには50〜300nmの範囲が好まし
い。また、その上限は特に制限はないが、あまり厚いと
剥離などの心配が生じる。厚さが薄すぎると、製造時の
膜強度やホール輸送能力の点で問題がある。
分行える一定以上の厚さを有すれば良く、好ましくは5
0〜500nm、さらには50〜300nmの範囲が好まし
い。また、その上限は特に制限はないが、あまり厚いと
剥離などの心配が生じる。厚さが薄すぎると、製造時の
膜強度やホール輸送能力の点で問題がある。
【0040】本発明の有機ELカラーディスプレイの構
成例を図1に示す。同図に示される有機ELカラーディ
スプレイは、基板21上に、導電体層22と非導電体層
23とを有する電子注入電極と、発光層、電子注入輸送
層、ホール注入・輸送層等の有機層24、ホール注入電
極25を順次有する有機EL構造体と、この有機EL構
造体と所定の距離を置いて配置された封止板26と、こ
の封止板の有機EL構造体と対向する面に設けられたカ
ラーフィルター層27とを順次有する。なお、封止板2
6は、この例ではスペーサー28により所定の高さに調
整されて、接着剤29により基板21上に固定されてい
る。
成例を図1に示す。同図に示される有機ELカラーディ
スプレイは、基板21上に、導電体層22と非導電体層
23とを有する電子注入電極と、発光層、電子注入輸送
層、ホール注入・輸送層等の有機層24、ホール注入電
極25を順次有する有機EL構造体と、この有機EL構
造体と所定の距離を置いて配置された封止板26と、こ
の封止板の有機EL構造体と対向する面に設けられたカ
ラーフィルター層27とを順次有する。なお、封止板2
6は、この例ではスペーサー28により所定の高さに調
整されて、接着剤29により基板21上に固定されてい
る。
【0041】これらの薄膜のそれぞれは、必要に応じて
マスク蒸着または膜形成後にエッチングなどの方法によ
ってパターニングでき、これによって、所望の発光パタ
ーンを得ることができる。さらには、基板が薄膜トラン
ジスタ(TFT)であって、そのパターンに応じて各膜
を形成することでそのまま表示および駆動パターンとす
ることもできる。また、SiOX 等の無機材料、テフロ
ン等の有機材料からなる保護層を設けてもよい。
マスク蒸着または膜形成後にエッチングなどの方法によ
ってパターニングでき、これによって、所望の発光パタ
ーンを得ることができる。さらには、基板が薄膜トラン
ジスタ(TFT)であって、そのパターンに応じて各膜
を形成することでそのまま表示および駆動パターンとす
ることもできる。また、SiOX 等の無機材料、テフロ
ン等の有機材料からなる保護層を設けてもよい。
【0042】次に、本発明の有機EL構造体に設けられ
る有機物層について述べる。発光層は、ホール(正孔)
および電子の注入機能、それらの輸送機能、ホールと電
子の再結合により励起子を生成させる機能を有する。発
光層には比較的電子的にニュートラルな化合物を用いる
ことが好ましい。
る有機物層について述べる。発光層は、ホール(正孔)
および電子の注入機能、それらの輸送機能、ホールと電
子の再結合により励起子を生成させる機能を有する。発
光層には比較的電子的にニュートラルな化合物を用いる
ことが好ましい。
【0043】ホール注入輸送層は、ホール注入電極から
のホールの注入を容易にする機能、ホールを安定に輸送
する機能および電子を妨げる機能を有し、電子注入輸送
層は、陰電極からの電子の注入を容易にする機能、電子
を安定に輸送する機能およびホールを妨げる機能を有す
るものであり、これらの層は、発光層に注入されるホー
ルや電子を増大・閉じこめさせ、再結合領域を最適化さ
せ、発光効率を改善する。
のホールの注入を容易にする機能、ホールを安定に輸送
する機能および電子を妨げる機能を有し、電子注入輸送
層は、陰電極からの電子の注入を容易にする機能、電子
を安定に輸送する機能およびホールを妨げる機能を有す
るものであり、これらの層は、発光層に注入されるホー
ルや電子を増大・閉じこめさせ、再結合領域を最適化さ
せ、発光効率を改善する。
【0044】発光層の厚さ、ホール注入輸送層の厚さお
よび電子注入輸送層の厚さは特に限定されず、形成方法
によっても異なるが、通常、5〜500nm程度、特に1
0〜300nmとすることが好ましい。
よび電子注入輸送層の厚さは特に限定されず、形成方法
によっても異なるが、通常、5〜500nm程度、特に1
0〜300nmとすることが好ましい。
【0045】ホール注入輸送層の厚さおよび電子注入輸
送層の厚さは、再結合・発光領域の設計によるが、発光
層の厚さと同程度もしくは1/10〜10倍程度とすれ
ばよい。ホールもしくは電子の、各々の注入層と輸送層
を分ける場合は、注入層は1nm以上、輸送層は1nm以上
とするのが好ましい。このときの注入層、輸送層の厚さ
の上限は、通常、注入層で500nm程度、輸送層で50
0nm程度である。このような膜厚については注入輸送層
を2層設けるときも同じである。
送層の厚さは、再結合・発光領域の設計によるが、発光
層の厚さと同程度もしくは1/10〜10倍程度とすれ
ばよい。ホールもしくは電子の、各々の注入層と輸送層
を分ける場合は、注入層は1nm以上、輸送層は1nm以上
とするのが好ましい。このときの注入層、輸送層の厚さ
の上限は、通常、注入層で500nm程度、輸送層で50
0nm程度である。このような膜厚については注入輸送層
を2層設けるときも同じである。
【0046】本発明の発光層には発光機能を有する化合
物である蛍光性物質を含有させる。このような蛍光性物
質としては、例えば、特開昭63−264692号公報
に開示されているような化合物、例えばキナクリドン、
ルブレン、スチリル系色素等の化合物から選択される少
なくとも1種が挙げられる。また、トリス(8−キノリ
ノラト)アルミニウム等の8−キノリノールないしその
誘導体を配位子とする金属錯体色素などのキノリン誘導
体、テトラフェニルブタジエン、アントラセン、ペリレ
ン、コロネン、12−フタロペリノン誘導体等が挙げら
れる。さらには、特願平6−110569号のフェニル
アントラセン誘導体、特願平6−114456号のテト
ラアリールエテン誘導体等を用いることができる。
物である蛍光性物質を含有させる。このような蛍光性物
質としては、例えば、特開昭63−264692号公報
に開示されているような化合物、例えばキナクリドン、
ルブレン、スチリル系色素等の化合物から選択される少
なくとも1種が挙げられる。また、トリス(8−キノリ
ノラト)アルミニウム等の8−キノリノールないしその
誘導体を配位子とする金属錯体色素などのキノリン誘導
体、テトラフェニルブタジエン、アントラセン、ペリレ
ン、コロネン、12−フタロペリノン誘導体等が挙げら
れる。さらには、特願平6−110569号のフェニル
アントラセン誘導体、特願平6−114456号のテト
ラアリールエテン誘導体等を用いることができる。
【0047】また、それ自体で発光が可能なホスト物質
と組み合わせて使用することが好ましく、ドーパントと
しての使用が好ましい。このような場合の発光層におけ
る化合物の含有量は0.01〜10wt% 、さらには0.
1〜5wt% であることが好ましい。ホスト物質と組み合
わせて使用することによって、ホスト物質の発光波長特
性を変化させることができ、長波長に移行した発光が可
能になるとともに、素子の発光効率や安定性が向上す
る。
と組み合わせて使用することが好ましく、ドーパントと
しての使用が好ましい。このような場合の発光層におけ
る化合物の含有量は0.01〜10wt% 、さらには0.
1〜5wt% であることが好ましい。ホスト物質と組み合
わせて使用することによって、ホスト物質の発光波長特
性を変化させることができ、長波長に移行した発光が可
能になるとともに、素子の発光効率や安定性が向上す
る。
【0048】ホスト物質としては、キノリノラト錯体が
好ましく、さらには8−キノリノールないしその誘導体
を配位子とするアルミニウム錯体が好ましい。このよう
なアルミニウム錯体としては、特開昭63−26469
2号、特開平3−255190号、特開平5−7073
3号、特開平5−258859号、特開平6−2158
74号等に開示されているものを挙げることができる。
好ましく、さらには8−キノリノールないしその誘導体
を配位子とするアルミニウム錯体が好ましい。このよう
なアルミニウム錯体としては、特開昭63−26469
2号、特開平3−255190号、特開平5−7073
3号、特開平5−258859号、特開平6−2158
74号等に開示されているものを挙げることができる。
【0049】具体的には、まず、トリス(8−キノリノ
ラト)アルミニウム、ビス(8−キノリノラト)マグネ
シウム、ビス(ベンゾ{f}−8−キノリノラト)亜
鉛、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)アルミニウ
ムオキシド、トリス(8−キノリノラト)インジウム、
トリス(5−メチル−8−キノリノラト)アルミニウ
ム、8−キノリノラトリチウム、トリス(5−クロロ−
8−キノリノラト)ガリウム、ビス(5−クロロ−8−
キノリノラト)カルシウム、5,7−ジクロル−8−キ
ノリノラトアルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−
8−ヒドロキシキノリノラト)アルミニウム、ポリ[亜
鉛(II)−ビス(8−ヒドロキシ−5−キノリニル)メ
タン]、等がある。
ラト)アルミニウム、ビス(8−キノリノラト)マグネ
シウム、ビス(ベンゾ{f}−8−キノリノラト)亜
鉛、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)アルミニウ
ムオキシド、トリス(8−キノリノラト)インジウム、
トリス(5−メチル−8−キノリノラト)アルミニウ
ム、8−キノリノラトリチウム、トリス(5−クロロ−
8−キノリノラト)ガリウム、ビス(5−クロロ−8−
キノリノラト)カルシウム、5,7−ジクロル−8−キ
ノリノラトアルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−
8−ヒドロキシキノリノラト)アルミニウム、ポリ[亜
鉛(II)−ビス(8−ヒドロキシ−5−キノリニル)メ
タン]、等がある。
【0050】また、8−キノリノールないしその誘導体
のほかに他の配位子を有するアルミニウム錯体であって
もよく、このようなものとしては、ビス(2−メチル−
8−キノリノラト)(フェノラト)アルミニウム(III)
、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(オルト−
クレゾラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−
8−キノリノラト)(メタークレゾラト)アルミニウム
(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(パラ
−クレゾラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル
−8−キノリノラト)(オルト−フェニルフェノラト)
アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノ
ラト)(メタ−フェニルフェノラト)アルミニウム(II
I) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(パラ−
フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−
メチル−8−キノリノラト)(2,3−ジメチルフェノ
ラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キ
ノリノラト)(2,6−ジメチルフェノラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)
(3,4−ジメチルフェノラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(3,5−ジメ
チルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチ
ル−8−キノリノラト)(3,5−ジ−tert−ブチルフ
ェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8
−キノリノラト)(2,6−ジフェニルフェノラト)ア
ルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラ
ト)(2,4,6−トリフェニルフェノラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)
(2,3,6−トリメチルフェノラト)アルミニウム(I
II) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(2,
3,5,6−テトラメチルフェノラト)アルミニウム(I
II) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(1−ナ
フトラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8
−キノリノラト)(2−ナフトラト)アルミニウム(II
I) 、ビス(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)
(オルト−フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)(パラ−
フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2,
4−ジメチル−8−キノリノラト)(メタ−フェニルフ
ェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2,4−ジメチ
ル−8−キノリノラト)(3,5−ジメチルフェノラ
ト)アルミニウム(III) 、ビス(2,4−ジメチル−8
−キノリノラト)(3,5−ジ−tert−ブチルフェノラ
ト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−4−エチ
ル−8−キノリノラト)(パラ−クレゾラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−4−メトキシ−8−キ
ノリノラト)(パラ−フェニルフェノラト)アルミニウ
ム(III) 、ビス(2−メチル−5−シアノ−8−キノリ
ノラト)(オルト−クレゾラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2−メチル−6−トリフルオロメチル−8−キノ
リノラト)(2−ナフトラト)アルミニウム(III) 等が
ある。
のほかに他の配位子を有するアルミニウム錯体であって
もよく、このようなものとしては、ビス(2−メチル−
8−キノリノラト)(フェノラト)アルミニウム(III)
、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(オルト−
クレゾラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−
8−キノリノラト)(メタークレゾラト)アルミニウム
(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(パラ
−クレゾラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル
−8−キノリノラト)(オルト−フェニルフェノラト)
アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノ
ラト)(メタ−フェニルフェノラト)アルミニウム(II
I) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(パラ−
フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−
メチル−8−キノリノラト)(2,3−ジメチルフェノ
ラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キ
ノリノラト)(2,6−ジメチルフェノラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)
(3,4−ジメチルフェノラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(3,5−ジメ
チルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチ
ル−8−キノリノラト)(3,5−ジ−tert−ブチルフ
ェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8
−キノリノラト)(2,6−ジフェニルフェノラト)ア
ルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラ
ト)(2,4,6−トリフェニルフェノラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)
(2,3,6−トリメチルフェノラト)アルミニウム(I
II) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(2,
3,5,6−テトラメチルフェノラト)アルミニウム(I
II) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(1−ナ
フトラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8
−キノリノラト)(2−ナフトラト)アルミニウム(II
I) 、ビス(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)
(オルト−フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)(パラ−
フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2,
4−ジメチル−8−キノリノラト)(メタ−フェニルフ
ェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2,4−ジメチ
ル−8−キノリノラト)(3,5−ジメチルフェノラ
ト)アルミニウム(III) 、ビス(2,4−ジメチル−8
−キノリノラト)(3,5−ジ−tert−ブチルフェノラ
ト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−4−エチ
ル−8−キノリノラト)(パラ−クレゾラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−4−メトキシ−8−キ
ノリノラト)(パラ−フェニルフェノラト)アルミニウ
ム(III) 、ビス(2−メチル−5−シアノ−8−キノリ
ノラト)(オルト−クレゾラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2−メチル−6−トリフルオロメチル−8−キノ
リノラト)(2−ナフトラト)アルミニウム(III) 等が
ある。
【0051】このほか、ビス(2−メチル−8−キノリ
ノラト)アルミニウム(III) −μ−オキソ−ビス(2−
メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) 、ビス
(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)アルミニウム
(III) −μ−オキソ−ビス(2,4−ジメチル−8−キ
ノリノラト)アルミニウム(III) 、ビス(4−エチル−
2−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) −
μ−オキソ−ビス(4−エチル−2−メチル−8−キノ
リノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−4
−メトキシキノリノラト)アルミニウム(III) −μ−オ
キソ−ビス(2−メチル−4−メトキシキノリノラト)
アルミニウム(III) 、ビス(5−シアノ−2−メチル−
8−キノリノラト)アルミニウム(III) −μ−オキソ−
ビス(5−シアノ−2−メチル−8−キノリノラト)ア
ルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−5−トリフルオ
ロメチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) −μ
−オキソ−ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル
−8−キノリノラト)アルミニウム(III) 等であっても
よい。
ノラト)アルミニウム(III) −μ−オキソ−ビス(2−
メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) 、ビス
(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)アルミニウム
(III) −μ−オキソ−ビス(2,4−ジメチル−8−キ
ノリノラト)アルミニウム(III) 、ビス(4−エチル−
2−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) −
μ−オキソ−ビス(4−エチル−2−メチル−8−キノ
リノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−4
−メトキシキノリノラト)アルミニウム(III) −μ−オ
キソ−ビス(2−メチル−4−メトキシキノリノラト)
アルミニウム(III) 、ビス(5−シアノ−2−メチル−
8−キノリノラト)アルミニウム(III) −μ−オキソ−
ビス(5−シアノ−2−メチル−8−キノリノラト)ア
ルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−5−トリフルオ
ロメチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) −μ
−オキソ−ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル
−8−キノリノラト)アルミニウム(III) 等であっても
よい。
【0052】このほかのホスト物質としては、特願平6
−110569号に記載のフェニルアントラセン誘導体
や特願平6−114456号に記載のテトラアリールエ
テン誘導体なども好ましい。
−110569号に記載のフェニルアントラセン誘導体
や特願平6−114456号に記載のテトラアリールエ
テン誘導体なども好ましい。
【0053】発光層は電子注入輸送層を兼ねたものであ
ってもよく、このような場合はトリス(8−キノリノラ
ト)アルミニウム等を使用することが好ましい。これら
の蛍光性物質を蒸着すればよい。
ってもよく、このような場合はトリス(8−キノリノラ
ト)アルミニウム等を使用することが好ましい。これら
の蛍光性物質を蒸着すればよい。
【0054】また、必要に応じて発光層は、少なくとも
一種以上のホール注入輸送性化合物と少なくとも1種以
上の電子注入輸送性化合物との混合層とすることも好ま
しく、この混合層中にドーパントを含有させることが好
ましい。このような混合層における化合物の含有量は、
0.01〜20wt% 、さらには0.1〜15wt% とする
ことが好ましい。
一種以上のホール注入輸送性化合物と少なくとも1種以
上の電子注入輸送性化合物との混合層とすることも好ま
しく、この混合層中にドーパントを含有させることが好
ましい。このような混合層における化合物の含有量は、
0.01〜20wt% 、さらには0.1〜15wt% とする
ことが好ましい。
【0055】混合層では、キャリアのホッピング伝導パ
スができるため、各キャリアは極性的に優勢な物質中を
移動し、逆の極性のキャリア注入は起こり難くなり、有
機化合物がダメージを受け難くなり、素子寿命がのびる
という利点があるが、前述のドーパントをこのような混
合層に含有させることにより、混合層自体のもつ発光波
長特性を変化させることができ、発光波長を長波長に移
行させることができるとともに、発光強度を高め、かつ
素子の安定性を向上させることができる。
スができるため、各キャリアは極性的に優勢な物質中を
移動し、逆の極性のキャリア注入は起こり難くなり、有
機化合物がダメージを受け難くなり、素子寿命がのびる
という利点があるが、前述のドーパントをこのような混
合層に含有させることにより、混合層自体のもつ発光波
長特性を変化させることができ、発光波長を長波長に移
行させることができるとともに、発光強度を高め、かつ
素子の安定性を向上させることができる。
【0056】混合層に用いられるホール注入輸送性化合
物および電子注入輸送性化合物は、各々、後述のホール
注入輸送層用の化合物および電子注入輸送層用の化合物
の中から選択すればよい。なかでも、ホール注入輸送層
用の化合物としては、強い蛍光を持ったアミン誘導体、
例えばホール輸送材料であるトリフェニルジアミン誘導
体、さらにはスチリルアミン誘導体、芳香族縮合環を持
つアミン誘導体を用いるのが好ましい。
物および電子注入輸送性化合物は、各々、後述のホール
注入輸送層用の化合物および電子注入輸送層用の化合物
の中から選択すればよい。なかでも、ホール注入輸送層
用の化合物としては、強い蛍光を持ったアミン誘導体、
例えばホール輸送材料であるトリフェニルジアミン誘導
体、さらにはスチリルアミン誘導体、芳香族縮合環を持
つアミン誘導体を用いるのが好ましい。
【0057】電子注入輸送性の化合物としては、キノリ
ン誘導体、さらには8−キノリノールないしその誘導体
を配位子とする金属錯体、特にトリス(8−キノリノラ
ト)アルミニウム(Alq3)を用いることが好まし
い。また、上記のフェニルアントラセン誘導体、テトラ
アリールエテン誘導体を用いるのも好ましい。
ン誘導体、さらには8−キノリノールないしその誘導体
を配位子とする金属錯体、特にトリス(8−キノリノラ
ト)アルミニウム(Alq3)を用いることが好まし
い。また、上記のフェニルアントラセン誘導体、テトラ
アリールエテン誘導体を用いるのも好ましい。
【0058】ホール注入輸送層用の化合物としては、強
い蛍光を持ったアミン誘導体、例えば上記のホール輸送
材料であるトリフェニルジアミン誘導体、さらにはスチ
リルアミン誘導体、芳香族縮合環を持つアミン誘導体を
用いるのが好ましい。
い蛍光を持ったアミン誘導体、例えば上記のホール輸送
材料であるトリフェニルジアミン誘導体、さらにはスチ
リルアミン誘導体、芳香族縮合環を持つアミン誘導体を
用いるのが好ましい。
【0059】この場合の混合比は、それぞれのキャリア
移動度とキャリア濃度を考慮する事で決定するが、一般
的には、ホール注入輸送性化合物の化合物/電子注入輸
送機能を有する化合物の重量比が、1/99〜99/
1、さらには10/90〜90/10、特には20/8
0〜80/20程度)となるようにすることが好まし
い。
移動度とキャリア濃度を考慮する事で決定するが、一般
的には、ホール注入輸送性化合物の化合物/電子注入輸
送機能を有する化合物の重量比が、1/99〜99/
1、さらには10/90〜90/10、特には20/8
0〜80/20程度)となるようにすることが好まし
い。
【0060】また、混合層の厚さは、分子層一層に相当
する厚みから、有機化合物層の膜厚未満とすることが好
ましく、具体的には1〜85nmとすることが好ましく、
さらには5〜60nm、特には5〜50nmとすることが好
ましい。
する厚みから、有機化合物層の膜厚未満とすることが好
ましく、具体的には1〜85nmとすることが好ましく、
さらには5〜60nm、特には5〜50nmとすることが好
ましい。
【0061】また、混合層の形成方法としては、異なる
蒸着源より蒸発させる共蒸着が好ましいが、蒸気圧(蒸
発温度)が同程度あるいは非常に近い場合には、予め同
じ蒸着ボード内で混合させておき、蒸着することもでき
る。混合層は化合物同士が均一に混合している方が好ま
しいが、場合によっては、化合物が島状に存在するもの
であってもよい。発光層は、一般的には、有機蛍光物質
を蒸着するか、あるいは樹脂バインダー中に分散させて
コーティングすることにより、発光層を所定の厚さに形
成する。
蒸着源より蒸発させる共蒸着が好ましいが、蒸気圧(蒸
発温度)が同程度あるいは非常に近い場合には、予め同
じ蒸着ボード内で混合させておき、蒸着することもでき
る。混合層は化合物同士が均一に混合している方が好ま
しいが、場合によっては、化合物が島状に存在するもの
であってもよい。発光層は、一般的には、有機蛍光物質
を蒸着するか、あるいは樹脂バインダー中に分散させて
コーティングすることにより、発光層を所定の厚さに形
成する。
【0062】また、ホール注入輸送層には、例えば、特
開昭63−295695号公報、特開平2−19169
4号公報、特開平3−792号公報、特開平5−234
681号公報、特開平5−239455号公報、特開平
5−299174号公報、特開平7−126225号公
報、特開平7−126226号公報、特開平8−100
172号公報、EP0650955A1等に記載されて
いる各種有機化合物を用いることができる。例えば、テ
トラアリールベンジシン化合物(トリアリールジアミン
ないしトリフェニルジアミン:TPD)、芳香族三級ア
ミン、ヒドラゾン誘導体、カルバゾール誘導体、トリア
ゾール誘導体、イミダゾール誘導体、アミノ基を有する
オキサジアゾール誘導体、ポリチオフェン等である。こ
れらの化合物は2種以上を併用してもよく、併用すると
きは別層にして積層したり、混合したりすればよい。
開昭63−295695号公報、特開平2−19169
4号公報、特開平3−792号公報、特開平5−234
681号公報、特開平5−239455号公報、特開平
5−299174号公報、特開平7−126225号公
報、特開平7−126226号公報、特開平8−100
172号公報、EP0650955A1等に記載されて
いる各種有機化合物を用いることができる。例えば、テ
トラアリールベンジシン化合物(トリアリールジアミン
ないしトリフェニルジアミン:TPD)、芳香族三級ア
ミン、ヒドラゾン誘導体、カルバゾール誘導体、トリア
ゾール誘導体、イミダゾール誘導体、アミノ基を有する
オキサジアゾール誘導体、ポリチオフェン等である。こ
れらの化合物は2種以上を併用してもよく、併用すると
きは別層にして積層したり、混合したりすればよい。
【0063】ホール注入輸送層をホール注入層とホール
輸送層とに分けて設層する場合は、ホール注入輸送層用
の化合物のなかから好ましい組合せを選択して用いるこ
とができる。このとき、ホール注入電極(ITO等)側
からイオン化ポテンシャルの小さい化合物の層の順に積
層することが好ましい。またホール注入電極表面には薄
膜性の良好な化合物を用いることが好ましい。このよう
な積層順については、ホール注入輸送層を2層以上設け
るときも同様である。このような積層順とすることによ
って、駆動電圧が低下し、電流リークの発生やダークス
ポットの発生・成長を防ぐことができる。また、素子化
する場合、蒸着を用いているので1〜10nm程度の薄い
膜も、均一かつピンホールフリーとすることができるた
め、ホール注入層にイオン化ポテンシャルが小さく、可
視部に吸収をもつような化合物を用いても、発光色の色
調変化や再吸収による効率の低下を防ぐことができる。
ホール注入輸送層は、発光層等と同様に上記の化合物を
蒸着することにより形成することができる。
輸送層とに分けて設層する場合は、ホール注入輸送層用
の化合物のなかから好ましい組合せを選択して用いるこ
とができる。このとき、ホール注入電極(ITO等)側
からイオン化ポテンシャルの小さい化合物の層の順に積
層することが好ましい。またホール注入電極表面には薄
膜性の良好な化合物を用いることが好ましい。このよう
な積層順については、ホール注入輸送層を2層以上設け
るときも同様である。このような積層順とすることによ
って、駆動電圧が低下し、電流リークの発生やダークス
ポットの発生・成長を防ぐことができる。また、素子化
する場合、蒸着を用いているので1〜10nm程度の薄い
膜も、均一かつピンホールフリーとすることができるた
め、ホール注入層にイオン化ポテンシャルが小さく、可
視部に吸収をもつような化合物を用いても、発光色の色
調変化や再吸収による効率の低下を防ぐことができる。
ホール注入輸送層は、発光層等と同様に上記の化合物を
蒸着することにより形成することができる。
【0064】また、必要に応じて設けられる電子注入輸
送層には、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム
(Alq3)等の8−キノリノールなしいその誘導体を
配位子とする有機金属錯体などのキノリン誘導体、オキ
サジアゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピリジン誘導
体、ピリミジン誘導体、キノキサリン誘導体、ジフェニ
ルキノン誘導体、ニトロ置換フルオレン誘導体等を用い
ることができる。電子注入輸送層は発光層を兼ねたもの
であってもよく、このような場合はトリス(8−キノリ
ノラト)アルミニウム等を使用することが好ましい。電
子注入輸送層の形成は発光層と同様に蒸着等によればよ
い。
送層には、トリス(8−キノリノラト)アルミニウム
(Alq3)等の8−キノリノールなしいその誘導体を
配位子とする有機金属錯体などのキノリン誘導体、オキ
サジアゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピリジン誘導
体、ピリミジン誘導体、キノキサリン誘導体、ジフェニ
ルキノン誘導体、ニトロ置換フルオレン誘導体等を用い
ることができる。電子注入輸送層は発光層を兼ねたもの
であってもよく、このような場合はトリス(8−キノリ
ノラト)アルミニウム等を使用することが好ましい。電
子注入輸送層の形成は発光層と同様に蒸着等によればよ
い。
【0065】電子注入輸送層を電子注入層と電子輸送層
とに分けて積層する場合には、電子注入輸送層用の化合
物の中から好ましい組み合わせを選択して用いることが
できる。このとき、陰電極側から電子親和力の値の大き
い化合物の順に積層することが好ましい。このような積
層順については電子注入輸送層を2層以上設けるときも
同様である。
とに分けて積層する場合には、電子注入輸送層用の化合
物の中から好ましい組み合わせを選択して用いることが
できる。このとき、陰電極側から電子親和力の値の大き
い化合物の順に積層することが好ましい。このような積
層順については電子注入輸送層を2層以上設けるときも
同様である。
【0066】基板材料としては特に限定するものではな
く、積層する導電体層の材質等により適宜決めることが
でき、例えば、Al等の金属材料や、ガラス、石英や樹
脂等の透明ないし半透明材料、あるいは不透明であって
もよく、この場合はガラス等のほか、アルミナ等のセラ
ミックス、ステンレス等の金属シートに表面酸化などの
絶縁処理を施したもの、フェノール樹脂等の熱硬化性樹
脂、ポリカーボネート等の熱可塑性樹脂などを用いるこ
とができる。
く、積層する導電体層の材質等により適宜決めることが
でき、例えば、Al等の金属材料や、ガラス、石英や樹
脂等の透明ないし半透明材料、あるいは不透明であって
もよく、この場合はガラス等のほか、アルミナ等のセラ
ミックス、ステンレス等の金属シートに表面酸化などの
絶縁処理を施したもの、フェノール樹脂等の熱硬化性樹
脂、ポリカーボネート等の熱可塑性樹脂などを用いるこ
とができる。
【0067】本発明の有機EL発光素子体は、通常、直
流駆動型のEL素子として用いられるが、交流駆動また
はパルス駆動とすることもできる。印加電圧は、通常、
5〜20V 程度とされる。
流駆動型のEL素子として用いられるが、交流駆動また
はパルス駆動とすることもできる。印加電圧は、通常、
5〜20V 程度とされる。
【0068】
【実施例】以下、本発明の具体的実施例を比較例ととも
に示し、本発明をさらに詳細に説明する。 <実施例1> 〔有機EL構造体の作製〕アルミ基板上にTiをターゲ
ットとして、DCスパッタ法にて導電体層を、1nmの厚
さに成膜、パターニングした。続けてスパッタ法にてC
aOをターゲットとして非導電体層を、レート10nm/
min で、1nmの厚さに成膜し、電子注入電極とした。こ
のときのスパッタガスにはArを用い、スパッタ時のス
パッタガス圧は1Paとした。また、投入電力は、100
W、基板・ターゲット間は8cmであった。成膜された非
導電体層をX線回折にて調べたところ、CaOのみのピ
ークであった。非導電体層であるCaO薄膜の仕事関数
は1.86eVであった。
に示し、本発明をさらに詳細に説明する。 <実施例1> 〔有機EL構造体の作製〕アルミ基板上にTiをターゲ
ットとして、DCスパッタ法にて導電体層を、1nmの厚
さに成膜、パターニングした。続けてスパッタ法にてC
aOをターゲットとして非導電体層を、レート10nm/
min で、1nmの厚さに成膜し、電子注入電極とした。こ
のときのスパッタガスにはArを用い、スパッタ時のス
パッタガス圧は1Paとした。また、投入電力は、100
W、基板・ターゲット間は8cmであった。成膜された非
導電体層をX線回折にて調べたところ、CaOのみのピ
ークであった。非導電体層であるCaO薄膜の仕事関数
は1.86eVであった。
【0069】この電子注入電極が成膜された基板を、中
性洗剤、アセトン、エタノールを用いて超音波洗浄し、
次いで煮沸エタノール中から引き上げて乾燥した。さら
に、電子注入電極表面をUV/O3 洗浄した後、真空蒸
着装置の基板ホルダーに固定して、槽内を1×10-4Pa
以下まで減圧した。
性洗剤、アセトン、エタノールを用いて超音波洗浄し、
次いで煮沸エタノール中から引き上げて乾燥した。さら
に、電子注入電極表面をUV/O3 洗浄した後、真空蒸
着装置の基板ホルダーに固定して、槽内を1×10-4Pa
以下まで減圧した。
【0070】次いで、減圧を保ったまま、Alq3 :ト
リス(8−キノリノラト)アルミニウムを蒸着速度0.
2nm/secで50nmの厚さに蒸着して、電子注入輸送・発
光層とした。
リス(8−キノリノラト)アルミニウムを蒸着速度0.
2nm/secで50nmの厚さに蒸着して、電子注入輸送・発
光層とした。
【0071】減圧状態を保ったまま、N,N’−ジフェ
ニル−N,N’−m−トリル−4,4’−ジアミノ−
1,1’−ビフェニル(TPD)を蒸着速度0.2nm/s
ecで55nmの厚さに蒸着し、正孔注入輸送層とした。
ニル−N,N’−m−トリル−4,4’−ジアミノ−
1,1’−ビフェニル(TPD)を蒸着速度0.2nm/s
ecで55nmの厚さに蒸着し、正孔注入輸送層とした。
【0072】次いで、真空蒸着装置からスパッタ装置に
移し、RFスパッタ法にて、ターゲットにIn2 O3 に
ZnOを5%ドープしたものを用い、IZO透明電極薄
膜を、レート50オングストローム/min で、170nm
の厚さに成膜し、ホール注入電極とした。このときのス
パッタガスにはArを用い、ガス圧は室温で1Paとし
た。また、投入電力は周波数13.56MHZで1W/cm
2 、基板・ターゲット間は8cmであった。このときの透
明電極のシート抵抗は17Ω/□であり、その膜組成は
ターゲットと同一であった。
移し、RFスパッタ法にて、ターゲットにIn2 O3 に
ZnOを5%ドープしたものを用い、IZO透明電極薄
膜を、レート50オングストローム/min で、170nm
の厚さに成膜し、ホール注入電極とした。このときのス
パッタガスにはArを用い、ガス圧は室温で1Paとし
た。また、投入電力は周波数13.56MHZで1W/cm
2 、基板・ターゲット間は8cmであった。このときの透
明電極のシート抵抗は17Ω/□であり、その膜組成は
ターゲットと同一であった。
【0073】〔有機ELディスプレイの作製〕封止板と
して、コーニング社製7059ガラスを用いた。フィル
ター層として、青色フィルター層と、緑色フィルター層
と、赤色フィルター層とを、富士ハント社製のカラーフ
ィルター、カット光が緑は560nm以上の波長の光およ
び480nm以下の波長の光、青は500nm以上の波長の
光、赤は580nm以下の波長の光であるものを用いた。
蛍光変換層として、蛍光スペクトルの発光極大波長λma
x が630nm、半値幅が200nmであるものを用いた。
上記ガラスを図1に示すような形状とするため、フォト
リソグラフィーにより有機EL構造体と対向する面とそ
の周囲を削り、凹部を設けた。さらにこの凹部に上記フ
ィルター層を所定のパターンに配置(パターニング)
し、図1に示す構造のカラーディスプレイを作製した。
して、コーニング社製7059ガラスを用いた。フィル
ター層として、青色フィルター層と、緑色フィルター層
と、赤色フィルター層とを、富士ハント社製のカラーフ
ィルター、カット光が緑は560nm以上の波長の光およ
び480nm以下の波長の光、青は500nm以上の波長の
光、赤は580nm以下の波長の光であるものを用いた。
蛍光変換層として、蛍光スペクトルの発光極大波長λma
x が630nm、半値幅が200nmであるものを用いた。
上記ガラスを図1に示すような形状とするため、フォト
リソグラフィーにより有機EL構造体と対向する面とそ
の周囲を削り、凹部を設けた。さらにこの凹部に上記フ
ィルター層を所定のパターンに配置(パターニング)
し、図1に示す構造のカラーディスプレイを作製した。
【0074】この有機ELディスプレイに直流電圧を印
加し、10mA/cm2の一定電流密度で連続駆動させた。封
止板上から観察したところ、青色発光部が、輝度171
cd/m2 で、色座標がx=0.129,y=0.10
5、緑色発光部が、輝度310cd/m2 で、色座標がx
=0.340,y=0.625、赤色発光部が、輝度7
5cd/m2 で、色座標がx=0.649,y=0.33
8の発光色が得られた。
加し、10mA/cm2の一定電流密度で連続駆動させた。封
止板上から観察したところ、青色発光部が、輝度171
cd/m2 で、色座標がx=0.129,y=0.10
5、緑色発光部が、輝度310cd/m2 で、色座標がx
=0.340,y=0.625、赤色発光部が、輝度7
5cd/m2 で、色座標がx=0.649,y=0.33
8の発光色が得られた。
【0075】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、複雑な構
造を必要とせず、製造が容易で、有機EL構造体へのダ
メージのない低コストの有機ELカラーディスプレイを
提供することができる。
造を必要とせず、製造が容易で、有機EL構造体へのダ
メージのない低コストの有機ELカラーディスプレイを
提供することができる。
【図1】本発明の有機ELディスプレイの構成例を示す
概念図である。
概念図である。
21 基板 22 導電体層 23 非導電体層 24 有機層 25 ホール注入電極 26 封止板 27 フィルター層 28 スペーサ 29 接着剤
Claims (2)
- 【請求項1】 基板上に電子注入電極と、1種以上の有
機層と、ホール注入電極とが順次積層された有機EL構
造体と、この有機EL構造体上に配置され、基板に固着
された封止板とを有し、 前記封止板は、有機EL構造体と対向する面にカラーフ
ィルター層を有する有機ELカラーディスプレイ。 - 【請求項2】 前記電子注入電極は、発光層と反対側に
導電体層を有し、発光層側には酸化物であって厚さ5nm
未満、仕事関数4eV以下の非導電体層とを有する請求項
1の有機ELカラーディスプレイ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9365705A JPH11185955A (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 有機elカラーディスプレイ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP9365705A JPH11185955A (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 有機elカラーディスプレイ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11185955A true JPH11185955A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18484910
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP9365705A Withdrawn JPH11185955A (ja) | 1997-12-22 | 1997-12-22 | 有機elカラーディスプレイ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11185955A (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040601 |
|
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