JPH1118449A - 振動アクチュエータの駆動装置及び駆動方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 超低速駆動から高速駆動まで、効率よく広い
ダイナミックレンジを実現することを可能とする。 【解決手段】 第１の圧電素子と第２の圧電素子を弾性
体に接合して成る振動子１１及び振動子１１の方向に加
圧されて接触する相対運動部材１２とを備えた振動アク
チュエータ１０と、第１の駆動信号により第１の圧電素
子を励振し、振動子の、相対運動部材との接触面と平行
な面内での縦振動を発生させ、第２の駆動信号により前
記第２の圧電素子を励振し、前記接触面に交差する方向
への捩じり振動を発生させ、振動子１１に対して、相対
運動部材１２を相対運動させる駆動回路２０とを含み、
駆動回路２０は、駆動信号の周波数のみを変更し、その
後に、第１の駆動信号の電圧値のみを変更し、再び、周
波数のみを変更して、速度を変更する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動アクチュエー
タの速度を、周波数及び電圧によって制御する振動アク
チュエータの駆動装置及び駆動方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】図７は、従来の振動アクチュエータの駆
動方法を示す線図である。従来の振動アクチュエータ
は、図７（Ａ）に示すように、駆動周波数ｆのみ変更す
ることにより、回転数の制御をしていた。また、図７
（Ｂ）に示すように、電圧値Ｖのみ変更することによ
り、回転数の制御をしていた。この場合には、２相の電
圧値を同時に同じ割合で変更していた。さらに、これら
を組み合わせて、制御することもあった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、従来の駆動方
法は、速度を増加させようとしたときに、駆動信号の周
波数を下げていくことになるが、共振に達した時点で速
度は増加しなくなる。また、速度を増加させるために
は、印加電圧の値を上げる必要があるが、この場合に、
２相の電圧値を同時に同じ割合で上げていたので、入力
が大きく増加してしまうという問題があった。

【０００４】一方、速度を減少させようとしたときに、
駆動信号の周波数を上げていくことになるが、異モード
縮退型振動アクチュエータの場合に、クラッチ成分の振
動も減少していくために、クラッチ機構の動作が不安定
となり、回転ムラが大きくなるという問題があった。ま
た、２相の電圧値を同時に同じ割合で下げても、同様に
クラッチ成分の振動が減少していくために、同様な問題
が生じていた。

【０００５】従って、前記各場合とも、超低速駆動が困
難であった。すなわち、効率よく広いダイナミックレン
ジを実現することが困難であった。

【０００６】本発明の課題は、超低速駆動から高速駆動
まで、効率よく広いダイナミックレンジを実現すること
を可能とする振動アクチュエータの駆動装置を提供する
ことである。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、請求項１の発明は、電気機械変換素子を有する振動
子及び該振動子との間で相対運動を行なう相対運動部材
とを備える振動アクチュエータと、前記電気機械変換素
子に周波電圧を供給する駆動回路とを備え、前記駆動回
路は、前記周波電圧の周波数のみを変更する第１の制御
と、前記周波電圧の電圧値のみを変更する第２の制御と
を少なくとも２回切り換えることにより、前記振動子と
前記相対運動部材間の相対速度を制御することを特徴と
する振動アクチュエータの駆動装置である。

【０００８】請求項２の発明は、電気機械変換素子を有
し、該電気機械変換素子に周波電圧を供給することによ
り駆動力を発生する振動子及び前記駆動力により前記振
動子との間で相対運動を行なう相対運動部材とを備える
振動アクチュエータと、前記電気機械変換素子に周波電
圧を供給する駆動回路とを備え、前記電気機械変換素子
は、前記駆動力の方向とほぼ平行な方向に振動する第１
の振動を発生させる第１の電気機械変換素子と、前記第
１の振動の振動方向と交差する方向に振動する第２の振
動を発生させる第２の電気機械変換素子とを有し、前記
駆動回路は、前記周波電圧の周波数のみを変更する第１
の制御と、前記第１の電気機械変換素子に供給される第
１の周波電圧の電圧値のみを変更する第２の制御とを切
り換え可能であり、前記第１の制御、前記第２の制御、
前記第１の制御の順に各制御を行なうことにより、前記
振動子と前記相対運動部材間の相対速度を制御すること
を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置である。

【０００９】請求項３の発明は、請求項２に記載された
振動アクチュエータの駆動装置において、前記駆動回路
は、前記第１の制御から前記第２の制御への切り換え
は、前記周波電圧の周波数が所定の値に達した時点で行
い、前記第２の状態から前記第１の状態への切り換え
は、前記第１の電気機械変換素子に供給される周波電圧
の電圧値が所定の値に達した時点で行うことを特徴とす
る振動アクチュエータの駆動装置である。

【００１０】請求項４の発明は、請求項２に記載された
振動アクチュエータの駆動装置において、前記相対運動
部材の速度を検出する速度検出器を備え、前記駆動回路
は、前記第１の制御から前記第２の制御への切り換え
は、前記速度検出器によって検出された前記相対運動部
材の速度が第１の値に達した時点で行い、前記第２の状
態から前記第１の状態への切り換えは、前記速度検出器
によって検出された前記相対運動部材の速度が第２の値
に達した時点で行うことを特徴とする振動アクチュエー
タの駆動装置である。

【００１１】請求項５の発明は、請求項２から請求項４
のいずれか１項に記載された振動アクチュエータの駆動
装置において、前記振動子は、前記第１の電気機械変換
素子により、前記振動子と前記相対運動部材との接触面
とほぼ平行な面内で振動するねじり振動を発生させ、前
記第２の電気機械変換素子により、前記接触面と交差す
る方向に振動する縦振動を発生させることにより前記駆
動力を得ることを特徴とする振動アクチュエータの駆動
装置である。

【００１２】請求項６の発明は、周波電圧の供給により
励振される電気機械変換素子を有する振動子と、該振動
子との間で相対運動を行なう相対運動部材とを備えた振
動アクチュエータの駆動方法において、前記周波電圧の
周波数のみを変更する第１の制御と、前記周波電圧の電
圧値のみを変更する第２の制御とを少なくとも２回切り
換えることにより、前記振動子と前記相対運動部材間の
相対速度を制御することを特徴とする振動アクチュエー
タの駆動方法。

【００１３】請求項７の発明は、電気機械変換素子を有
し、該電気機械変換素子に周波電圧を供給することによ
り駆動力を発生する振動子と、前記駆動力により前記振
動子との間で相対運動を行なう相対運動部材とを備える
振動アクチュエータの駆動方法において、前記電気機械
変換素子を、前記駆動力の方向とほぼ平行な方向に振動
する第１の振動を発生させる第１の電気機械変換素子
と、前記第１の振動の振動方向と交差する方向に振動す
る第２の振動を発生させる第２の電気機械変換素子とで
構成し、前記周波電圧の周波数のみを変更する第１の制
御と、前記第１の電気機械変換素子に供給される第１の
周波電圧の電圧値のみを変更す第２の制御とを、前記第
１の制御、前記第２の制御、前記第１の制御の順に行な
うことによって前記振動子と前記相対運動部材間の相対
速度を制御することを特徴とする振動アクチュエータの
駆動方法である。

【００１４】請求項８の発明は、請求項７に記載された
振動アクチュエータの駆動方法において、前記第１の制
御から前記第２の制御への切り換えは、前記周波電圧の
周波数が所定の値に達した時点で行い、前記第２の状態
から前記第１の状態への切り換えは、前記第１の電気機
械変換素子に供給される周波電圧の電圧値が所定の値に
達した時点で行うことを特徴とする振動アクチュエータ
の駆動方法である。

【００１５】請求項９の発明は、請求項７に記載された
振動アクチュエータの駆動方法において、前記相対運動
部材の速度を検出し、前記第１の制御から前記第２の制
御への切り換えは、前記速度検出器によって検出された
前記相対運動部材の速度が第１の値に達した時点で行
い、前記第２の状態から前記第１の状態への切り換え
は、前記速度検出器によって検出された前記相対運動部
材の速度が第２の値に達した時点で行うことを特徴とす
る振動アクチュエータの駆動方法である。

【００１６】請求項１０の発明は、請求項７から請求項
９のいずれか１項に記載された振動アクチュエータの駆
動方法において、前記第１の電気機械変換素子により、
前記振動子と前記相対運動部材との接触面とほぼ平行な
面内で振動するねじり振動を発生させ、前記第２の電気
機械変換素子により、前記接触面と交差する方向に振動
する縦振動を発生させることによって前記駆動力を得る
ことを特徴とする振動アクチュエータの駆動方法であ
る。

【００１７】請求項１１の発明は、電気機械変換素子を
有する振動子及び該振動子との間で相対運動を行なう相
対運動部材とを備える振動アクチュエータと、前記電気
機械変換素子に周波電圧を供給する駆動回路とを備え、
前記駆動回路は、前記相対運動の速度を所望の速度に設
定できるように設けられた速度可変領域を、速度の高い
側から第１の領域、第２の領域、第３の領域に分け、前
記第１及び第３の領域では前記周波電圧の周波数のみを
変更する第１の制御によって前記相対運動の速度を制御
し、前記第２の領域では前記周波電圧の電圧値のみを変
更する第２の制御によって前記相対運動の速度を制御す
ることを特徴とする振動アクチュエータの駆動装置であ
る。

【００１８】請求項１２の発明は、周波電圧の供給によ
り励振される電気機械変換素子を有する振動子と、該振
動子との間で相対運動を行なう相対運動部材とを備えた
振動アクチュエータの駆動方法において、前記相対運動
の速度を所望の速度に設定できる速度可変領域を設ける
とともに、該速度可変領域を速度の高い側から第１の領
域、第２の領域、第３の領域に分け、前記第１及び第３
の領域では前記周波電圧の周波数のみを変更する第１の
制御によって前記相対運動の速度を制御し、前記第２の
領域では前記周波電圧の電圧値のみを変更する第２の制
御によって前記相対運動の速度を制御することを特徴と
する振動アクチュエータの駆動方法である。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、図面などを参照しながら、
本発明の実施の形態をあげて、さらに詳しく説明する。 （第１実施形態）図１は、第１実施形態に係る振動アク
チュエータの駆動装置を示すブロック図、図２は、図１
の駆動装置の動作を示すフローチャート、図３は、第１
実施形態に係る駆動方法のうち、回転速度を増加させる
場合を説明する図である。第１実施形態の振動アクチュ
エータ１０は、第１圧電素子と第２圧電素子を弾性体に
接合して成る振動子１１と、その振動子１１の方向に加
圧されて接触し、その振動子１１に対して相対運動を行
なう相対運動部材１２とを備え、超音波振動域を用いた
超音波アクチュエータを用いることができる。このタイ
プの振動アクチュエータ１０は、本出願人により、特開
平８−１０３０８９号によって開示してあるので、詳し
い説明は省略する。

【００２０】また、駆動回路２０は、制御信号を生成す
る制御部２１と、制御部２１の制御信号に基づいて、所
定電圧，所定周波数の交流電圧を発生する発振部２２
と、発振部２２の出力の位相を９０度変化させる移相部
２３と、移相部２３の信号を増幅して、第１駆動信号と
する増幅部２４と、発振部２２の出力をそのまま増幅し
て、第２駆動信号とする増幅部２５と、第１駆動信号の
電圧を検出して、制御部２１にフィードバックする検出
部２６などとを備えている。第１駆動信号は、前記第１
圧電素子に印加される。これにより、振動子１１にはね
じり振動が発生する。また、第２駆動信号は、前記第２
圧電素子に印加され、これにより、振動子１１に縦振動
が発生する。

【００２１】次に、図２、図３を参照しながら、各制御
ステップ毎に、本実施形態の動作を説明する。なお、図
２は、図３は、振動アクチュエータを起動して、その回
転数を増加させていく制御の工程を説明する図である。
ステップ１０１（Ｓ１０１）において、制御部２１は、
図３のに示すように、発振部２２から出力される第１
駆動信号及び第２駆動信号の周波数（以下、駆動周波数
ｆという）をｆ１、第１駆動信号の電圧値（捩じり振動
電圧）をＶＴ１、第２駆動信号の電圧値（縦振動電圧）
をＶＬ１に設定し、振動アクチュエータを起動させる。
起動時に設定される駆動周波数（第１の設定値）ｆ１
は、振動アクチュエータの共振周波数よりも高い周波領
域となるように決められる。

【００２２】Ｓ１０２では、制御部２１は、図３のに
示すように、駆動周波数ｆを、起動時の設定値ｆ１から
予め設定された第２の設定値ｆ２に向けて減少させてい
く。このとき、第１駆動信号の電圧値は、起動時に設定
された値（第１の設定値）ＶＴ１で一定に維持される。
また、第２駆動信号の電圧値は、起動時に設定された値
ＶＬ１で一定に維持される。Ｓ１０２では、駆動周波数
ｆが減少していくにつれ、振動子１１に生じる振幅が増
大する。そのため、相対運動部材１２の速度は上昇して
いく。

【００２３】Ｓ１０３では、制御部２１は、駆動周波数
ｆが第２の設定値ｆ２に達したか否かを判断する。そし
て、駆動周波数ｆがｆ２となったときは、駆動周波数ｆ
の変更を止める。

【００２４】Ｓ１０４では、制御部２１は、図３のに
示すように、第１駆動信号の電圧値を、第１の設定値Ｖ
Ｔ１から第２の設定値ＶＴ２に向けて増加させていく。
このとき、第１駆動信号及び第２駆動信号の駆動周波数
ｆは、第２の設定値ｆ２に維持される。また、第２駆動
信号の電圧値も、起動時の設定値ＶＬ１に維持される。
Ｓ１０４では、第１駆動信号の電圧値が上昇していくに
つれ、ねじり振動の振幅が増大する。そのため、相対運
動部材１２の速度は上昇していく。

【００２５】Ｓ１０５では制御部２１は、第１駆動信号
の電圧値が第２の設定値ＶＴ２に達したか否かを判断す
る。そして、電圧値がＶＴ２になったときは、第１駆動
信号の電圧値の変更を止める。

【００２６】Ｓ１０６では、制御部２１は、図３のに
示すように、駆動周波数ｆを、第２の設定値ｆ２から予
め設定された第３の設定値ｆ３に向けて減少させてい
く。このとき、第１駆動信号の電圧値は、Ｓ１０５で設
定された第２の設定値ＶＴ２で一定に維持される。ま
た、第２駆動信号の電圧値は、起動時に設定された値Ｖ
Ｌ１で一定に維持される。Ｓ１０６では、駆動周波数ｆ
が減少して前記共振周波数に近づいていくにつれ、振動
子１１に生じる振幅が増大する。そのため、相対運動部
材１２の速度は上昇していく。

【００２７】Ｓ１０７では、制御部２１は、駆動周波数
ｆが第３の設定値ｆ３に達したか否かを判断する。そし
て、駆動周波数ｆ３となったときは、駆動周波数ｆの変
更を止める。

【００２８】なお、相対運動部材１２の回転速度を減少
させる場合には、前述したＳ１０１〜Ｓ１０７と逆の行
程をたどるようにすればよい。また、回転速度を増加又
は減少させる場合に、目標速度に達したことを検出し
て、停止させるようにすればよい。

【００２９】表１は、第１実施形態にかかる振動アクチ
ュエータの駆動方法（表１Ａ）と、図７に示した従来の
駆動方法（表１Ｂ、１Ｃ）との駆動結果を比較したもの
である。なお、ここでは、振動アクチュエータの回転速
度を、最高速の状態から最低回転速度まで徐々に低下さ
せていくように制御した駆動結果を比較した。

【００３０】

【表１】

【００３１】表１から分かるように、（２）に示す周波
数のみによる制御の場合には、最低回転速度９ｒｐｍで
ある。また、（３）の捩じり振動電圧のみによる制御の
場合には、最低回転速度３０ｒｐｍである。これらに対
して、（１）の第１実施形態によれば、最低回転速度が
０．８ｒｐｍとなり、ダイナミックレンジが広くなって
いる。

【００３２】（第２実施形態）図４は、第２実施形態に
係る振動アクチュエータの駆動装置を示すブロック図、
図５は、図４の駆動装置の動作を示すフローチャート、
図６は、第２実施形態に係る駆動方法のうち、回転速度
を増加させる場合を説明する図である。なお、前述した
第１実施形態と同様な機能を果たす部分には、同一の符
号を付して、重複する説明は適宜省略する。第２実施形
態は、図４に示すように、相対運動部材１２の速度を検
出する速度検出器２７を設けた点が第１実施形態と相違
している。

【００３３】ステップ２０１（Ｓ２０１）において、制
御部２１は、図６のに示すように、発振部２２から出
力される第１駆動信号及び第２駆動信号の周波数（以
下、駆動周波数ｆという）をｆ１、第１駆動信号の電圧
値（捩じり振動電圧）をＶＴ１、第２駆動信号の電圧値
（縦振動電圧）をＶＬ１に設定し、振動アクチュエータ
を起動させる。起動時に設定される駆動周波数（第１の
設定値）ｆ１は、振動アクチュエータの共振周波数より
も高い周波数領域となるように決められる。

【００３４】Ｓ２０２では、制御部２１は、図６のに
示すように、駆動周波数ｆを、起動時の設定値ｆ１から
減少させていく。このとき、第１駆動信号の電圧値は、
起動時に設定された値（第１の設定値）ＶＴ１で一定に
維持される。また、第２駆動信号の電圧値は、起動時に
設定された値ＶＬ１で一定に維持される。Ｓ２０２で
は、駆動周波数ｆが減少していくにつれ、振動子１１に
生じる振幅が増大する。そのため、相対運動部材１２の
速度は上昇していく。

【００３５】Ｓ２０３では、制御部２１は、速度検出器
２７によって相対運動部材１２の回転速度Ｎを計測す
る。Ｓ２０４では、制御部２１は、前記回転速度Ｎが設
定値Ｎ１であるか否かを判断する。そして、回転速度Ｎ
が設定値Ｎ１となったときは、駆動周波数ｆの変更を止
める。すなわち、Ｓ２０２からＳ２０４までは、第１駆
動信号の電圧値及び第２駆動信号の電圧値は一定に維持
されたまま、回転速度Ｎが予め設定された第１の設定値
Ｎ１になるまで、駆動周波数ｆのみを変更する。

【００３６】Ｓ２０５では、図６のに示すように、第
１駆動信号の電圧値を、第１の設定値ＶＴ１から増加さ
せていく。このとき、第１駆動信号及び第２駆動信号の
駆動周波数ｆは、回転速度Ｎが設定値Ｎ１となったとき
の駆動周波数（ｆ’とする）に維持される。また、第２
駆動信号の電圧値も、起動時の設定値ＶＬ１に維持され
る。Ｓ２０５では、第１駆動信号の電圧値が上昇してい
くにつれ、ねじり振動の振幅が増大する。そのため、相
対運動部材１２の速度は上昇していく。

【００３７】Ｓ２０６では、制御部２１は、速度検出器
２７によって相対運動部材１２の回転速度Ｎを計測す
る。Ｓ２０７では、制御部２１は、前記回転速度Ｎが第
２の設定値Ｎ２であるか否かを判断する。そして、回転
速度Ｎが第２の設定値Ｎ２となったときは、第１駆動信
号の電圧値の変更を止める。

【００３８】Ｓ２０８では、制御部２１は、図６のに
示すように、駆動周波数ｆを、前記ｆ’から減少させて
いく。このとき、第１駆動信号の電圧値は、回転速度Ｎ
が第２の設定値Ｎ２となったときの電圧値（ＶＴ”とす
る）に維持される。また、第２駆動信号の電圧値は、起
動時に設定された値ＶＬ１で一定に維持される。Ｓ２０
８では、駆動周波数ｆが減少して前記共振周波数に近づ
いていくにつれ、振動子１１に生じる振幅が増大する。
そのため、相対運動部材１２の速度は上昇していく。Ｓ
２０９では、制御部２１は、速度検出器２７によって相
対運動部材１２の回転速度Ｎを計測する。Ｓ２１０で
は、制御部２１は、前記回転速度Ｎが第３の設定値Ｎ３
であるか否かを判断する。そして、回転速度Ｎが第３の
設定値Ｎ３となったときは、駆動周波数ｆの変更を止め
る。図６では、このときの駆動周波数をｆ”で示す。

【００３９】なお、相対運動部材１２の回転速度を減少
させる場合には、前述したＳ２０１〜Ｓ２１０と逆の行
程をたどるようにすればよい。

【００４０】（変形形態）以上説明した実施形態に限定
されることなく、種々の変形や変更が可能であって、そ
れらも本発明の均等の範囲内である。例えば、駆動周波
数ｆ１、縦振動電圧ＶＬ１、捩じり振動電圧ＶＴ１で起
動し、まず、回転速度が設定値Ｎ１ になるまで周波数
ｆ１を減少（ｆ’）させ、その後に、第２実施形態と異
なって、捩じり振動電圧ＶＴ１を設定値ＶＴ２まで増加
させ、再び、回転速度が設定値Ｎ３になるまで周波数
ｆ’を減少（ｆ”）させるようにしてもよい。なお、回
転速度を減少させる場合には、逆行程を行なうようにす
ればよい。

【００４１】また、前記各実施形態に加えて、回転数が
低い場合には、縦振動電圧ＶＬを増加させ、回転数が高
い場合には、縦振動電圧ＶＬを減少させるように制御を
併用することも可能である。

【００４２】

【発明の効果】以上詳しく説明したように、本発明によ
れば、相対運動部材の速度を変更するときに、まず、駆
動信号の周波数のみを変更し、その後に、駆動信号の電
圧値のみを変更し、再び、駆動信号の周波数のみを変更
するようにしたので、２相のうち１相のみの電圧の変更
ですみ、超低速駆動が可能となると共に、効率よく広い
ダイナミックレンジを実現することができる、という効
果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態にかかる振動アクチュエータの駆
動装置を示したブロック図である。

【図２】図１の駆動装置の動作を示すフローチャートで
ある。

【図３】第１実施形態に係る駆動方法のうち、回転速度
を増加させる場合を説明する図である。

【図４】第２実施形態にかかる振動アクチュエータの駆
動装置を示したブロック図である。

【図５】図４の駆動装置の動作を示すフローチャートで
ある。

【図６】第２実施形態にかかる駆動方法のうち、回転速
度を増加させる場合を説明する図である。

【図７】従来の振動アクチュエータの駆動方法を示す線
図である。

【符号の説明】

１０ 振動アクチュエータ １１ 振動子 １２ 相対運動部材 ２０ 駆動回路 ２１ 制御部 ２２ 発振部 ２３ 移相部 ２４，２５ 増幅部 ２６ 検出部 ２７ 速度検出器

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電気機械変換素子を有する振動子及び該
   振動子との間で相対運動を行なう相対運動部材とを備え
   る振動アクチュエータと、 前記電気機械変換素子に周波電圧を供給する駆動回路と
   を備え、 前記駆動回路は、前記周波電圧の周波数のみを変更する
   第１の制御と、前記周波電圧の電圧値のみを変更する第
   ２の制御とを少なくとも２回切り換えることにより、前
   記振動子と前記相対運動部材間の相対速度を制御するこ
   とを特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
2. 【請求項２】 電気機械変換素子を有し、該電気機械変
   換素子に周波電圧を供給することにより駆動力を発生す
   る振動子及び前記駆動力により前記振動子との間で相対
   運動を行なう相対運動部材とを備える振動アクチュエー
   タと、 前記電気機械変換素子に周波電圧を供給する駆動回路と
   を備え、 前記電気機械変換素子は、前記駆動力の方向とほぼ平行
   な方向に振動する第１の振動を発生させる第１の電気機
   械変換素子と、前記第１の振動の振動方向と交差する方
   向に振動する第２の振動を発生させる第２の電気機械変
   換素子とを有し、 前記駆動回路は、前記周波電圧の周波数のみを変更する
   第１の制御と、前記第１の電気機械変換素子に供給され
   る第１の周波電圧の電圧値のみを変更する第２の制御と
   を切り換え可能であり、前記第１の制御、前記第２の制
   御、前記第１の制御の順に各制御を行なうことにより、
   前記振動子と前記相対運動部材間の相対速度を制御する
   ことを特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
3. 【請求項３】 請求項２に記載された振動アクチュエー
   タの駆動装置において、 前記駆動回路は、前記第１の制御から前記第２の制御へ
   の切り換えは、前記周波電圧の周波数が所定の値に達し
   た時点で行い、前記第２の状態から前記第１の状態への
   切り換えは、前記第１の電気機械変換素子に供給される
   周波電圧の電圧値が所定の値に達した時点で行うことを
   特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
4. 【請求項４】 請求項２に記載された振動アクチュエー
   タの駆動装置において、 前記相対運動部材の速度を検出する速度検出器を備え、 前記駆動回路は、前記第１の制御から前記第２の制御へ
   の切り換えは、前記速度検出器によって検出された前記
   相対運動部材の速度が第１の値に達した時点で行い、前
   記第２の状態から前記第１の状態への切り換えは、前記
   速度検出器によって検出された前記相対運動部材の速度
   が第２の値に達した時点で行うことを特徴とする振動ア
   クチュエータの駆動装置。
5. 【請求項５】 請求項２から請求項４のいずれか１項に
   記載された振動アクチュエータの駆動装置において、 前記振動子は、前記第１の電気機械変換素子により、前
   記振動子と前記相対運動部材との接触面とほぼ平行な面
   内で振動するねじり振動を発生させ、前記第２の電気機
   械変換素子により、前記接触面と交差する方向に振動す
   る縦振動を発生させることにより前記駆動力を得ること
   を特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
6. 【請求項６】 周波電圧の供給により励振される電気機
   械変換素子を有する振動子と、該振動子との間で相対運
   動を行なう相対運動部材とを備えた振動アクチュエータ
   の駆動方法において、 前記周波電圧の周波数のみを変更する第１の制御と、前
   記周波電圧の電圧値のみを変更する第２の制御とを少な
   くとも２回切り換えることにより、前記振動子と前記相
   対運動部材間の相対速度を制御することを特徴とする振
   動アクチュエータの駆動方法。
7. 【請求項７】 電気機械変換素子を有し、該電気機械変
   換素子に周波電圧を供給することにより駆動力を発生す
   る振動子と、前記駆動力により前記振動子との間で相対
   運動を行なう相対運動部材とを備える振動アクチュエー
   タの駆動方法において、 前記電気機械変換素子を、前記駆動力の方向とほぼ平行
   な方向に振動する第１の振動を発生させる第１の電気機
   械変換素子と、前記第１の振動の振動方向と交差する方
   向に振動する第２の振動を発生させる第２の電気機械変
   換素子とで構成し、 前記周波電圧の周波数のみを変更する第１の制御と、前
   記第１の電気機械変換素子に供給される第１の周波電圧
   の電圧値のみを変更す第２の制御とを、前記第１の制
   御、前記第２の制御、前記第１の制御の順に行なうこと
   によって前記振動子と前記相対運動部材間の相対速度を
   制御することを特徴とする振動アクチュエータの駆動方
   法。
8. 【請求項８】 請求項７に記載された振動アクチュエー
   タの駆動方法において、 前記第１の制御から前記第２の制御への切り換えは、前
   記周波電圧の周波数が所定の値に達した時点で行い、 前記第２の状態から前記第１の状態への切り換えは、前
   記第１の電気機械変換素子に供給される周波電圧の電圧
   値が所定の値に達した時点で行うことを特徴とする振動
   アクチュエータの駆動方法。
9. 【請求項９】 請求項７に記載された振動アクチュエー
   タの駆動方法において、 前記相対運動部材の速度を検出し、 前記第１の制御から前記第２の制御への切り換えは、前
   記速度検出器によって検出された前記相対運動部材の速
   度が第１の値に達した時点で行い、 前記第２の状態から前記第１の状態への切り換えは、前
   記速度検出器によって検出された前記相対運動部材の速
   度が第２の値に達した時点で行うことを特徴とする振動
   アクチュエータの駆動方法。
10. 【請求項１０】 請求項７から請求項９のいずれか１項
    に記載された振動アクチュエータの駆動方法において、 前記第１の電気機械変換素子により、前記振動子と前記
    相対運動部材との接触面とほぼ平行な面内で振動するね
    じり振動を発生させ、 前記第２の電気機械変換素子により、前記接触面と交差
    する方向に振動する縦振動を発生させることによって前
    記駆動力を得ることを特徴とする振動アクチュエータの
    駆動方法。
11. 【請求項１１】 電気機械変換素子を有する振動子及び
    該振動子との間で相対運動を行なう相対運動部材とを備
    える振動アクチュエータと、 前記電気機械変換素子に周波電圧を供給する駆動回路と
    を備え、 前記駆動回路は、前記相対運動の速度を所望の速度に設
    定できるように設けられた速度可変領域を、速度の高い
    側から第１の領域、第２の領域、第３の領域に分け、 前記第１及び第３の領域では前記周波電圧の周波数のみ
    を変更する第１の制御によって前記相対運動の速度を制
    御し、 前記第２の領域では前記周波電圧の電圧値のみを変更す
    る第２の制御によって前記相対運動の速度を制御するこ
    とを特徴とする振動アクチュエータの駆動装置。
12. 【請求項１２】 周波電圧の供給により励振される電気
    機械変換素子を有する振動子と、該振動子との間で相対
    運動を行なう相対運動部材とを備えた振動アクチュエー
    タの駆動方法において、 前記相対運動の速度を所望の速度に設定できる速度可変
    領域を設けるとともに、該速度可変領域を速度の高い側
    から第１の領域、第２の領域、第３の領域に分け、 前記第１及び第３の領域では前記周波電圧の周波数のみ
    を変更する第１の制御によって前記相対運動の速度を制
    御し、 前記第２の領域では前記周波電圧の電圧値のみを変更す
    る第２の制御によって前記相対運動の速度を制御するこ
    とを特徴とする振動アクチュエータの駆動方法。