JPH11183933A - 表示装置用アレイ基板 - Google Patents
表示装置用アレイ基板Info
- Publication number
- JPH11183933A JPH11183933A JP35117197A JP35117197A JPH11183933A JP H11183933 A JPH11183933 A JP H11183933A JP 35117197 A JP35117197 A JP 35117197A JP 35117197 A JP35117197 A JP 35117197A JP H11183933 A JPH11183933 A JP H11183933A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- array substrate
- inspection
- signal line
- line
- pad
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 アレイ基板の検査工程において、断線等が生
じないようにした検査パッドを有した表示装置用アレイ
基板を提供する。 【解決手段】 検査パッド３０の中心部分を、信号線１
４の位置からずらして設け、プローブピン３２に位置ず
れやオーバードライブが発生して検査パッド３０が剥れ
ても、信号線１４に断線が発生しない。
じないようにした検査パッドを有した表示装置用アレイ
基板を提供する。 【解決手段】 検査パッド３０の中心部分を、信号線１
４の位置からずらして設け、プローブピン３２に位置ず
れやオーバードライブが発生して検査パッド３０が剥れ
ても、信号線１４に断線が発生しない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜トランジスタ
（以下、ＴＦＴという）を用いたアクティブマトリクス
型の液晶表示装置に関するものである。
（以下、ＴＦＴという）を用いたアクティブマトリクス
型の液晶表示装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示装置の製造工程においては、液
晶を注入する前に、ＴＦＴを配したアレイ基板を検査す
る工程がある。このＴＦＴアレイ検査工程ては、ＴＦＴ
アレイテスター、ＴＦＴアレイグローバー、ＴＦＴ特性
検査テスター等を用いてアレイ基板上に設けられている
走査線と信号線の断線や短絡及び交差する部分の短絡等
の試験（オープンショート検査）や、抵抗、画素欠陥等
を検査する。
晶を注入する前に、ＴＦＴを配したアレイ基板を検査す
る工程がある。このＴＦＴアレイ検査工程ては、ＴＦＴ
アレイテスター、ＴＦＴアレイグローバー、ＴＦＴ特性
検査テスター等を用いてアレイ基板上に設けられている
走査線と信号線の断線や短絡及び交差する部分の短絡等
の試験（オープンショート検査）や、抵抗、画素欠陥等
を検査する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような検査を行う
ために、アレイ基板に配されている走査線または信号線
の周辺部分に、検査パッドを設けて、これに、前記した
検査装置から延びているプローブピンを立てて検査をす
る。
ために、アレイ基板に配されている走査線または信号線
の周辺部分に、検査パッドを設けて、これに、前記した
検査装置から延びているプローブピンを立てて検査をす
る。
【０００４】具体的には、図４に示すように、信号線ま
たは走査線を形成する金属線１５０の途中に、その金属
線１５０から両側に広がるように矩形の検査パッドを設
け、この検査パッド１５２に、プローブピン１５４を立
てるようにして接触させ、検査を行う。
たは走査線を形成する金属線１５０の途中に、その金属
線１５０から両側に広がるように矩形の検査パッドを設
け、この検査パッド１５２に、プローブピン１５４を立
てるようにして接触させ、検査を行う。
【０００５】しかしながら、このように金属線１５０の
中央部分に検査パッド１５２を設けておくと、プローブ
ピン１５４を接触させる場合に、位置ずれやオーバード
ライブにより、金属線１５０を構成する膜が剥れて、図
４の中段に示すような検査パッド１５２のように、断線
を発生させる場合がある。このような断線が発生する
と、この部分のＴＦＴの作動不良を起こすこととなり、
アレイ基板の検査を行うという目的に反する。
中央部分に検査パッド１５２を設けておくと、プローブ
ピン１５４を接触させる場合に、位置ずれやオーバード
ライブにより、金属線１５０を構成する膜が剥れて、図
４の中段に示すような検査パッド１５２のように、断線
を発生させる場合がある。このような断線が発生する
と、この部分のＴＦＴの作動不良を起こすこととなり、
アレイ基板の検査を行うという目的に反する。
【０００６】そこで、本発明は上記問題点に鑑み、アレ
イ基板の検査工程において、断線等が生じないようにし
た検査パッドを有した表示装置用アレイ基板を提供する
ものである。
イ基板の検査工程において、断線等が生じないようにし
た検査パッドを有した表示装置用アレイ基板を提供する
ものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１の表示
装置用アレイ基板は、基板上に配置される走査線と、こ
の上に配置される絶縁膜、この上に配置される半導体
膜、前記半導体膜に電気的に接続されるソース電極及び
ドレイン電極とを含む薄膜トランジスタと、前記ドレイ
ン電極から導出されて前記走査線と略直交する信号線
と、前記ソース電極と電気的に接続される画素電極とを
備えた表示装置用アレイ基板において、前記走査線、ま
たは、前記信号線を形成する金属線の周辺部における途
中に検査パッドを、各金属線毎にそれぞれ設けると共
に、前記検査パッドの中心部分を、前記金属線の位置か
らずらして設けたものである。
装置用アレイ基板は、基板上に配置される走査線と、こ
の上に配置される絶縁膜、この上に配置される半導体
膜、前記半導体膜に電気的に接続されるソース電極及び
ドレイン電極とを含む薄膜トランジスタと、前記ドレイ
ン電極から導出されて前記走査線と略直交する信号線
と、前記ソース電極と電気的に接続される画素電極とを
備えた表示装置用アレイ基板において、前記走査線、ま
たは、前記信号線を形成する金属線の周辺部における途
中に検査パッドを、各金属線毎にそれぞれ設けると共
に、前記検査パッドの中心部分を、前記金属線の位置か
らずらして設けたものである。
【０００８】この表示装置用アレイ基板における検査パ
ッドは、その中心部分が金属線の位置からずらして設け
られているため、アレイ検査工程において、プローブピ
ンを検査パッドに接触させて検査を行う場合に、位置ず
れやオーバードライブが発生して膜剥がれが起こっても
検査パッドの中心部分が繋がっているため断線が発生す
る恐れがない。
ッドは、その中心部分が金属線の位置からずらして設け
られているため、アレイ検査工程において、プローブピ
ンを検査パッドに接触させて検査を行う場合に、位置ず
れやオーバードライブが発生して膜剥がれが起こっても
検査パッドの中心部分が繋がっているため断線が発生す
る恐れがない。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の第１の実施例を図
１及び図２に基づいて説明する。
１及び図２に基づいて説明する。
【００１０】図１は、アクティブマトリクス型の液晶表
示装置におけるアレイ基板の回路構成図を示したもので
ある。
示装置におけるアレイ基板の回路構成図を示したもので
ある。
【００１１】なお、液晶表示装置は、カラー表示が可能
な光透過型であって、アレイ基板１０と、不図示の対向
基板との間にポリイミド樹脂からなり、互いに直交する
方向に配向処理がなされた配向膜を介して、ツイスト・
ネマチック（ＴＮ）液晶が保持される。また、アレイ基
板１０と対向基板との外表面には、それぞれ偏光板が貼
り付けて構成される。
な光透過型であって、アレイ基板１０と、不図示の対向
基板との間にポリイミド樹脂からなり、互いに直交する
方向に配向処理がなされた配向膜を介して、ツイスト・
ネマチック（ＴＮ）液晶が保持される。また、アレイ基
板１０と対向基板との外表面には、それぞれ偏光板が貼
り付けて構成される。
【００１２】図１に基づいてアレイ基板１０について説
明する。
明する。
【００１３】アレイ基板１０には、４８０本のＡｌ−Ｙ
合金からなる走査線１２と１，９２０本のＭｏ−Ｗ合金
からなる信号線１４が交差するように形成され、その交
差部分にそれぞれアモルファスシリコンより構成される
ＴＦＴ１６が備えられている。
合金からなる走査線１２と１，９２０本のＭｏ−Ｗ合金
からなる信号線１４が交差するように形成され、その交
差部分にそれぞれアモルファスシリコンより構成される
ＴＦＴ１６が備えられている。
【００１４】ＴＦＴ１６のドレイン電極は走査線１４に
接続され、ゲート電極は信号線１２に接続され、ソース
電極は表示画素を構成する透明な画素電極１８に接続さ
れている。そして、走査線１２及び信号線１４の一端部
には、それぞれアドレス信号の入力端子２０及び画像信
号の入力端子２２が形成されている。これら入力端子２
０，２２が設けられている位置は、アレイ基板１０の基
板となるガラス基板２４の周縁部に設けられている。
接続され、ゲート電極は信号線１２に接続され、ソース
電極は表示画素を構成する透明な画素電極１８に接続さ
れている。そして、走査線１２及び信号線１４の一端部
には、それぞれアドレス信号の入力端子２０及び画像信
号の入力端子２２が形成されている。これら入力端子２
０，２２が設けられている位置は、アレイ基板１０の基
板となるガラス基板２４の周縁部に設けられている。
【００１５】アドレス信号の入力端子２０には、不図示
の走査線駆動回路が接続され、画像信号の入力端子２２
には、不図示の信号線駆動回路が接続されることとな
る。
の走査線駆動回路が接続され、画像信号の入力端子２２
には、不図示の信号線駆動回路が接続されることとな
る。
【００１６】なお、画素表示を行う場合には、走査線１
２が走査線駆動回路からのアドレス信号に対応して順次
走査駆動され、ＴＦＴ１６が順次導通可能となる。一
方、この走査線１２の走査と同期して、信号線１４に
は、画像データの画像信号が信号線駆動回路から供給さ
れ、この結果画像表示がなされる。
２が走査線駆動回路からのアドレス信号に対応して順次
走査駆動され、ＴＦＴ１６が順次導通可能となる。一
方、この走査線１２の走査と同期して、信号線１４に
は、画像データの画像信号が信号線駆動回路から供給さ
れ、この結果画像表示がなされる。
【００１７】なお、図１におけるガラス基板２４の内側
に記載されている一点鎖線が、表示領域２６を示し、二
点鎖線は、不図示の対向基板をアレイ基板１０に取付け
る場合のシール部材が設けられるシール部材領域２８を
表している。
に記載されている一点鎖線が、表示領域２６を示し、二
点鎖線は、不図示の対向基板をアレイ基板１０に取付け
る場合のシール部材が設けられるシール部材領域２８を
表している。
【００１８】そして、各走査線１２と信号線１４の表示
領域２６及びシール部材領域２８との間には、検査パッ
ド３０がそれぞれ設けられている。この検査パッド３０
の設けられた位置を拡大して示したものが図２である。
領域２６及びシール部材領域２８との間には、検査パッ
ド３０がそれぞれ設けられている。この検査パッド３０
の設けられた位置を拡大して示したものが図２である。
【００１９】以下、この図２に基づいて、検査パッド３
０について説明する。
０について説明する。
【００２０】信号線１４が所定間隔毎に略平行に配さ
れ、その途中に矩形の検査パッド３０が設けられてい
る。この検査パッド３０の設け方は、信号線１２の一方
のみから膨出するようになし、検査パッド３０の中心部
分が、信号線１４の中心部分からずれた構造となってい
る。
れ、その途中に矩形の検査パッド３０が設けられてい
る。この検査パッド３０の設け方は、信号線１２の一方
のみから膨出するようになし、検査パッド３０の中心部
分が、信号線１４の中心部分からずれた構造となってい
る。
【００２１】また、走査線１２における検査パッド３０
も同様の構成となっている。
も同様の構成となっている。
【００２２】上記のような検査パッド３０に、アレイ検
査工程において、ＴＦＴアレイ検査装置のプローブピン
３２を接触させた場合において、プローブピン３２が位
置ずれもしくはオーバードライブを起こしても、検査パ
ッド３０の中心からずれた位置に信号線１４が設けられ
ているため、信号線１４を構成する膜が図２の中段のよ
うに剥れても、信号線１４が断線を起こす心配がない。
そのため、アレイ検査工程において信号線１４や走査線
１２が断線を起こす心配がない。
査工程において、ＴＦＴアレイ検査装置のプローブピン
３２を接触させた場合において、プローブピン３２が位
置ずれもしくはオーバードライブを起こしても、検査パ
ッド３０の中心からずれた位置に信号線１４が設けられ
ているため、信号線１４を構成する膜が図２の中段のよ
うに剥れても、信号線１４が断線を起こす心配がない。
そのため、アレイ検査工程において信号線１４や走査線
１２が断線を起こす心配がない。
【００２３】図３は、上記実施例の検査パッド３０の変
形例である。
形例である。
【００２４】本実施例の場合には、信号線１４から枝線
３４が突出し、その先端に矩形の検査パッド３０が設け
られている。
３４が突出し、その先端に矩形の検査パッド３０が設け
られている。
【００２５】この構成であっても、検査パッド３０の中
心が信号線１４の中心からずれているため、プローブピ
ン３２によって検査パッド３０の一部が剥れても、信号
線１４に断線が発生する恐れがない。
心が信号線１４の中心からずれているため、プローブピ
ン３２によって検査パッド３０の一部が剥れても、信号
線１４に断線が発生する恐れがない。
【００２６】
【発明の効果】上記したように本発明の表示装置用アレ
イ基板であると、アレイ検査工程において検査パッドに
プローブピンが接触し、このプローブビンの位置ずれや
オーバードライブが発生して検査パッドが剥れても、こ
の検査パッドが金属線の中心からずれた位置に設けられ
ているため、金属線に断線が発生しない。そのため、ア
レイ基板の歩留を上昇させることができる。
イ基板であると、アレイ検査工程において検査パッドに
プローブピンが接触し、このプローブビンの位置ずれや
オーバードライブが発生して検査パッドが剥れても、こ
の検査パッドが金属線の中心からずれた位置に設けられ
ているため、金属線に断線が発生しない。そのため、ア
レイ基板の歩留を上昇させることができる。
【図１】本発明の第１の実施例を示すアレイ基板の回路
構成図である。
構成図である。
【図２】同じく検査パッドの拡大平面図である。
【図３】第２の実施例の検査パッドの拡大平面図であ
る。
る。
【図４】従来の検査パッドの拡大平面図である。
１０ アレイ基板 １２ 走査線 １４ 信号線 １６ ＴＦＴ ３０ 検査パッド ３２ プローブピン ３４ 枝線
Claims (3)
- 【請求項１】基板上に配置される走査線と、 この上に配置される絶縁膜、この上に配置される半導体
膜、前記半導体膜に電気的に接続されるソース電極及び
ドレイン電極とを含む薄膜トランジスタと、 前記ドレイン電極から導出されて前記走査線と略直交す
る信号線と、 前記ソース電極と電気的に接続される画素電極とを備え
た表示装置用アレイ基板において、 前記走査線、または、前記信号線を形成する金属線の周
辺部における途中に検査パッドを、各金属線毎にそれぞ
れ設けると共に、 前記検査パッドの中心部分を、前記金属線の位置からず
らして設けたことを特徴とする表示装置用アレイ基板。 - 【請求項２】前記検査パッドを、前記金属線から一方に
のみ膨出するように設けたことを特徴とする請求項１記
載の表示装置用アレイ基板。 - 【請求項３】前記金属線から枝線を突出させ、前記検査
パッドを前記枝線の先端に設けたことを特徴とする請求
項１記載の表示装置用アレイ基板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35117197A JPH11183933A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 表示装置用アレイ基板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35117197A JPH11183933A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 表示装置用アレイ基板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11183933A true JPH11183933A (ja) | 1999-07-09 |
Family
ID=18415541
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35117197A Pending JPH11183933A (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 表示装置用アレイ基板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11183933A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7119776B2 (en) | 2002-05-16 | 2006-10-10 | Hitachi Displays, Ltd. | Image display device |
| WO2022124157A1 (ja) * | 2020-12-08 | 2022-06-16 | 京セラ株式会社 | 表示装置 |
-
1997
- 1997-12-19 JP JP35117197A patent/JPH11183933A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7119776B2 (en) | 2002-05-16 | 2006-10-10 | Hitachi Displays, Ltd. | Image display device |
| WO2022124157A1 (ja) * | 2020-12-08 | 2022-06-16 | 京セラ株式会社 | 表示装置 |
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