JPH11183395A - 欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光源の光度や検査対象物の表面の変動によら
ず、欠陥検出感度を維持でき、対象物の欠陥検査を高い
精度で容易に行うことができる欠陥検査装置を提供す
る。 【解決手段】 検査対象物の欠陥検査装置は、受光部か
らのビデオ信号を取り込み、取り込んだビデオ信号をデ
ィジタル信号に変換することを所定回数繰り返して、そ
の平均値を演算して平均受光レベルとする画像処理装置
と、演算間隔毎に、予め定めた基準受光レベルと平均受
光レベルとの差に基づいて外部調光機能付き照明装置の
出力レベルを所定の増減レベルだけ増減させる制御部と
を備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、無地単色の連続シ
ート等の表面の傷や汚れを検出する欠陥検査装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】フィルム、連続シート、磁気ディスクや
液晶ディスクのガラス基板、半導体ＩＣ用のウエハ、積
層板、鏡面鋼板等は、その表面が平滑で傷や汚れのない
ことが重要である。これらの対象物の外観検査を行う外
観検査装置の従来例として、特開平０７−２９４４５２
号に記載のものが知られている。この従来例において
は、検査対象物の表面状態が変動しても、さらには、光
源の光度が変動しても、外観検査装置が安定した欠陥検
出の感度を維持できるようにするために、第一の方法と
してあらかじめ設定された基本入光量と対象物からの反
射光の入光量とを比較するもの、又、第二の方法として
ＣＣＤセンサの視野範囲に配置された基準片からの反射
光の入光量と、対象物からの反射光の入光量とを比較す
るものがある。そしてその結果得られた変位量より光源
の光度を制御する補正信号を算出し、補正信号に基づき
光源が対象物に照射する光度を制御し、又は閾値の調整
を行っている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の欠陥検査方法には、次のような課題がある。第一
の方法については、ＣＣＤセンサのある一つの画素で得
られた対象物からの反射光の入光量と、予め設定された
基本入光量とを比較し、その結果得られた変位量より補
正信号を算出しているので、その画素に欠陥があった場
合には、補正信号が不正確になることがある。不正確な
補正信号を用い、光源の光度又は閾値を調整して対象物
の欠陥を検出しても、正しく欠陥を検出できる保証がな
いという課題がある。

【０００４】第二の方法については、ＣＣＤセンサの視
野範囲内に基準片を配置する必要があり、操作が煩雑で
あるという課題がある。上記課題に鑑み、本発明の目的
は、光源の光度や検査対象物の表面の変動によらず、欠
陥検出感度を維持でき、対象物の欠陥検査を高い精度で
容易に行うことができる欠陥検査装置を提供することに
ある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明により提供される検査対象物の欠陥検査装
置は、受光部からのビデオ信号を取り込み、取り込んだ
ビデオ信号をディジタル信号に変換することを所定回数
繰り返して、その平均値を演算して平均受光レベルとす
る画像処理装置Ｉと、平均値を演算する間隔である演算
間隔毎に、予め定めた基準受光レベルと平均受光レベル
との差に基づいて外部調光機能付き照明装置Ｉの出力レ
ベルを所定の増減レベルだけ増減させる制御部Ｉとを備
える。

【０００６】上記に替えて、欠陥検査装置は、外部調光
機能付き照明装置Ｉの代わりに外部調光機能のない照明
装置IIを有し、画像処理装置Ｉと制御部Ｉとの代わり
に、あらかじめ定めた基準受光レベルと平均受光レベル
との差に基づき閾値を設定する閾値設定手段と、設定さ
れた閾値に基づいてディジタル信号を二値化処理する二
値化処理手段とを有する画像処理装置IIを備えるように
してもよい。

【０００７】これに替えて、欠陥検査装置は、外部調光
機能付き照明装置Ｉの代わりに外部調光機能のない照明
装置IIを有し、制御部Ｉの代わりに、あらかじめ定めた
基準受光レベルと平均受光レベルとの差に基づきディジ
タル信号を補正する制御部IIを備えるようにしてもよ
い。画像処理装置Ｉ又はIIは、演算間隔毎にディジタル
信号のピークレベルを求める手段を備え、制御部Ｉ又は
IIは、ピークレベルがディジタル信号の変動可能範囲の
最大値に達していると判定すると、エラーとして処理す
る機能を備えるようにしてもよい。

【０００８】演算間隔毎に、予め定めた基準受光レベル
と平均受光レベルとの差に基づいて外部調光機能付き照
明装置Ｉの出力レベルを所定の増減レベルだけ増減させ
るようにしたので、光源の光度や検査対象物の表面の変
動によらずに欠陥検出感度を維持することができる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の欠陥検査装置の一
実施の形態を図面により説明する。図１は本発明の実施
の形態による欠陥検査装置のシステム構成を示すブロッ
ク図である。同図において、１は外部調光機能付き照明
装置である。以下本実施形態において、適宜単に「照明
装置」という。例えば、三菱レイヨン（株）製のライト
ガイド（商品名）と外部制御電圧による外部調光機能付
きの三菱レイヨン（株）製の光源（ＥＬ１−１００Ｊ）
（商品名）により構成される。また、蛍光灯と外部調光
機能付き蛍光灯光源装置、あるいは日本ピー・アイ株式
会社製のリニアブライト（伝送ライト）（商品名）等に
より構成してもよい。この照明装置１から出力される光
量は、本発明の制御部（Ｉ）として例示される外部のホ
ストコンピュータ４からの制御電圧、例えば０〜５Ｖ、
により変化する。

【００１０】２は本発明の受光部として例示されるライ
ンセンサである。受光部としてはエリアセンサ等も使用
可能である。ラインセンサは照明装置１によって照射さ
れた検査対象物からの反射光及び／又は透過光の光量を
検出する。なお、ラインセンサは走行する検査対象物の
幅方向（走行方向に対して直角方向）の検査すべき範囲
を順次検査する。検査対象物が不透明フィルムの場合
は、反射光を受光し、透明フィルムの場合は透過光を受
光する構成とすることが好ましい。以下便宜上反射光を
用いた場合について説明する。検査対象物としては、例
えば、１０２０ｍｍ幅のフィルムを用いる。ラインセン
サ２としてはラインＣＣＤカメラが例示される。例え
ば、三菱レイヨン（株）製の型名：ＳＣＤ−２０４８−
２０を２台検査対象物の幅方向に用いて構成することが
できる。これは幅方向分解能を０．２５ｍｍ／画素、走
行方向分解能を０．２５ｍｍ／画素とする光学系であ
る。

【００１１】３は画像処理装置であり、ラインセンサか
らのアナログビデオ信号（０〜１Ｖ）を、画像処理装置
３内の８ビットＡ／Ｄ変換回路（図示せず）によりディ
ジタル信号（０〜２５５）に変換し、ホストコンピュー
タ４から指定された指定範囲の画素群（通常は検査幅）
のディジタル信号の総和を指定範囲内の画素数で割って
平均受光レベルを求め、且つピークレベルを求めてホス
トコンピュータ４に送信する。ここで「指定範囲」とは
平均受光レベルを算出する際の対象となる画素の範囲で
ある。また「ピークレベル」とは指定範囲内の各画素か
らのディジタル信号の最大値である。指定範囲は検査対
象に応じて異なり、検査対象領域および蛇行量を考慮し
て決定される。例えば１０２０ｍｍ幅のフィルムの場合
は、幅方向の両端からそれぞれ１０ｍｍ分を除いた１０
００ｍｍ幅からの光を受光する画素群の範囲を指定範囲
とする。ホストコンピュータ４への通信は、例えば、汎
用インターフェース・バス（ＧＰＩＢ）を用いて行う。
この画像処理装置３としては、例えば、三菱レイヨン
（株）製の型名：ＬＳＣ−３００を用いる。

【００１２】ホストコンピュータ４は、後に図３により
詳細に説明するように、基準受光レベルを求め、検査時
においては画像処理装置３から受信した平均受光レベル
と基準受光レベルとを比較して、その結果に応じて照明
装置１から出力される光量の微調整を行う。なお「基準
受光レベル」はディジタル値であって、本実施形態にお
いては後述のステップＳ２において決定される。

【００１３】本実施形態においては検査に使用する各種
条件を検査前に入力して設定することができる。図２
は、ホストコンピュータ４により使用される制御プログ
ラムを走らせる時の、検査対象物の検査前にディスプレ
イ上に表示される調光設定画面を示している。図２にお
いて、「条件名」の項目は、検査対象物の品種や検査条
件等を表示する項目である。別の条件選択画面（図示せ
ず）においてＮｏ．１と入力することにより、これに対
応する検査条件が設定される。

【００１４】「光量微調整」の項目は、「１」を選択す
るとＯＮとなり、本発明により外部調光機能付き照明装
置１を制御して、検査対象物の受光レベルを一定に保つ
制御を行う。「０」を選択すれば、この制御は行わな
い。図においては、「１」が選択されている。「演算間
隔」の項目では、ラインセンサ２からのビデオ信号を画
像処理装置に取り込む回数（以下「取込回数」という）
１〜２５５の範囲から指定する。「演算間隔」とは、平
均受光レベルの演算を行う時間間隔である。この項目は
取込回数によって指定され、取込回数と取込間隔（即ち
ラインセンサからのビデオ信号を画像処理装置に取り込
んでから次に取り込むまでの時間間隔）とを乗算し、演
算処理時間を足したものが実際の演算間隔となる。なお
走行方向の速度が変動した場合も走行方向の分解能を一
定に保つ場合は、取込間隔を外部の測長形からのパルス
信号に同期させることが好ましい。図においては演算間
隔として「２」が設定されている。検査対象物の表面状
態の変化が少ない場合、演算間隔は大きく設定してもよ
い。例えば、対象物の表面に物質が塗布されるようなも
のは、その塗布剤が連続シート上で次第に薄くなったり
厚くなったりして変化の度合が大きいので、このような
場合には、演算間隔を小さい値に設定することが好まし
い。この演算間隔の項目で指定された取込回数分の受光
レベルの平均値即ち平均受光レベルが基準受光レベル±
変動許容レベル（後に詳述する）の範囲外となると、受
光レベルが基準受光レベルに近い値になるように、照明
装置１を制御する。

【００１５】「増減レベル」の項目は光量微調整を行う
場合に、現出力レベルに、指定した増減レベルを足した
値が新たな出力レベルとなるように照明装置１を制御す
る際に用いるレベルである。増減レベルは、その設定値
だけ照明装置１の出力レベルが変化してもラインセンサ
２の受光レベルが極端に増減しないような値に設定され
る。例えば、照明装置からの光の光量を同じレベルだけ
変化させたとしても、検査対象物の性質即ち色や厚さな
どにより、受光レベルの変化量は異なるので、増減レベ
ルは主として検査対象物の性質を考慮して設定すること
が望ましい。本例では、ホストコンピュータ４の増減レ
ベル設定出力を１２ビットとしたので、増減レベルの設
定可能範囲は１〜４０２５である。図において、増減レ
ベルは、「１０」に設定されている。

【００１６】「変動許容レベル」の項目は、平均受光レ
ベルが変動しても照明装置１の出力である光量の微調整
をしない範囲である。変動許容レベルは、検査精度に影
響しない程度の平均受光レベルの変化量に応じて設定す
る。検査対象物の性質を考慮して変動許容レベルを設定
することが好ましい。また、例えば検査時において、照
明装置からの光の出力レベルを「１」変化させると受光
レベルが「５」変化するような検査対象物を想定する。
このとき、例えば検査対象物の表面状態の変動により受
光レベルが「４」以下変動した場合、受光レベルを元に
戻すために変化させるべき出力レベルは「１」未満であ
る。従ってこのような場合、出力レベルを「１」変動さ
せると受光レベルは「５」変動し、照明装置の調整によ
る受光レベルの変動値が大きすぎるので、変動許容レベ
ルは「４」に設定する。なお、変動許容レベルを用い
ず、平均受光レベルの変化に逐次対応して光量調整を行
うことも可能であるが、処理が煩雑となるおそれがある
ため、変動許容レベルを用いることが好ましい。本例で
はホストコンピュータ４の変動許容レベル設定出力を７
ビットとしたので、変動許容レベルの設定可能範囲は１
〜１２８である。図において、変動許容レベルは「１
０」に設定されている。

【００１７】図３は画像処置装置３およびホストコンピ
ュータ４における制御手順を説明するフローチャートで
ある。最初に、図２に示したように、「光量微調整」を
「１」に設定し、「演算間隔」を例えば「２」に設定
し、増減レベルを「１０」に設定し、変動許容レベルを
「１０」に設定するとともに、指定範囲を例えば前述の
ように１０００ｍｍに設定しておく。

【００１８】そして、図３において、ステップＳ１で検
査待ち状態にあるときに、生産ラインから或いはオペレ
ータから検査ＯＮの指令を受けると、ステップＳ２で自
動光量調整により照明装置１の出力を設定し、この設定
された出力を照明装置１への基準出力レベルとし、この
光量で検査対象物に照射された光の反射光をラインセン
サにより受光したときの受光レベルに基づき、基準受光
レベルを設定する。ここで、「基準出力レベル」とは基
準受光レベルに対応する照明装置の出力を示す値であ
る。なお、本実施形態においては基準受光レベル及び基
準出力レベルをステップＳ２において設定するようにし
ているが、あらかじめ設定した値を用いることも可能で
ある。

【００１９】ステップＳ２における基準出力レベル及び
基準受光レベルの設定の手順は次の通りである。先ず、
ホストコンピュータ４は初期出力レベルの電圧を照明装
置１に出力し、ラインセンサ２はこの初期出力レベルに
応じて照明装置から照射される光の反射光を受光する。
ここで「初期出力レベル」とは、基準受光レベル及び基
準出力レベルを設定することを目的として、検査対象物
に光を試験的に照射する際の照明装置の出力レベルを指
している。また、初期出力レベルで検査対象物に照射さ
れた光の反射光を受光したときのラインセンサからのビ
デオ信号をＡ／Ｄ変換して得られたディジタル信号を
「初期受光レベル」という。

【００２０】次に、検査対象物を走行させながらライン
センサ２で照明装置から照射される光の反射光を例えば
２５５回受光し、得られた値を用いて後述のように基準
出力レベルを設定する。この回数は何回でもよく、１回
の受光で得た値を用いて基準受光レベルを設定すること
も可能であるが、複数回の受光で得た値の平均値をとる
と、欠陥などの影響を排除できる。例えば２５５回路受
光する場合、１回の受光時に検査対象物に欠陥がある場
合でも、２５５回の受光の平均を取ることにより、その
欠陥による受光レベルの変動は僅か１／２５５として平
均値に反映するだけである。

【００２１】そして、初期受光レベルの平均値が調整用
上限値と調整用下限値の範囲内であれば、調光をしない
で処理を終了する。ここで、「調整用上限値」と「調整
用下限値」とは、初期受光レベルが基準受光レベルとし
て採用するのに適切な値であるか否かを判定するための
値であって、あらかじめ設定された値である。ところで
受光レベルはディジタル化されており、その最大値及び
最小値（本実施形態においてはそれぞれ２５５及び０）
に決められているが、調整用上限値は受光レベルの最大
値に、調整用下限値は受光レベルの最小値にそれぞれ近
すぎない値に設定することが好ましい。欠陥検出方法と
して明欠陥検出方式を採用する場合、受光レベルの最大
値が基準受光レベルに近すぎると欠陥検出精度が低くな
るおそれがあって不都合である。逆に暗欠陥検出方式を
採用する場合、受光レベルの最小値が基準受光レベルに
近すぎると欠陥検出精度が低くなるおそれがあって不都
合である。もし調整用上限値（又は下限値）が受光レベ
ルの最大値（又は最小値）に近すぎると、その値が基準
受光レベルとして採用され、不都合が生じる可能性があ
る。

【００２２】その平均値が調整用の上限値と下限値の範
囲外であれば、調整用上限値と調整用下限値の中心位置
を「目標受光値」とする。次いで、照明装置１の出力レ
ベルとラインセンサ２との受光レベルの関係式より、目
標受光値を得るための照明装置１の出力レベルを求め
る。ここで、この関係式は、照明装置、検査対象物、ラ
インセンサを検査時と同じ位置に配置し、光量を変化さ
せながら検査対象物に光を照射し、反射光をラインセン
サで受光して照明装置の出力レベルと受光レベルとの関
係を測定し、近似式を求めたものである。受光レベルと
して目標受光値を得るための出力レベルを初期出力レベ
ルとして、ステップＳ２の最初に戻り、同じ処理を受光
レベルが調整用上限値と調整用下限値の範囲に入る迄繰
り返す。

【００２３】調整用上限値と調整用下限値の範囲に入る
と、調光を終了し、そのときの照明装置１の出力レベル
を基準出力レベルとし、それに対応するラインセンサ２
の受光レベルを基準受光レベルとする。次いで、ステッ
プＳ３で画像処理装置の検査開始処理を行う。この時、
ステップＳ２で求めた基準受光レベルに一定の割合を掛
けた値をステップＳ４で欠陥検査をする際に用いる閾値
とすることが好ましい。

【００２４】次いで、ステップＳ４で検査中処理が行わ
れる。この検査中処理では、画像処理装置はディジタル
信号からピークレベルと平均受光レベルを演算して光量
情報データを得るとともに、ディジタル信号を二値化処
理し更にランレングス符号化処理、連結処理等の処理を
行い、欠陥の走行方向位置、欠陥の幅方向位置、欠陥の
幅、欠陥の長さ、欠陥の面積、欠陥の種類（明欠陥か暗
欠陥か）等の欠陥検出データを得る。このようにして得
られた光量情報データ及び欠陥検出データはパケット形
式でホストコンピュータに送信される。ホストコンピュ
ータ４は画像処理装置３からのデータが送信されている
かチェックを行い、送られてくるデータが欠陥検出デー
タと光量情報データのどちらであるかをパケット内の認
識用ＩＤにより判別を行う。

【００２５】データが送信されるタイミングは、欠陥検
出データについては任意のタイミングであり、光量情報
データについては演算間隔毎である。本実施例は、演算
間隔を「２」に設定してあるので、この場合は、ライン
センサからのビデオ信号を画像処理装置に二回取り込
み、平均受光レベルとピークレベルの演算処理をする毎
に光量情報データがホストコンピュータに送られてく
る。

【００２６】ホストコンピュータが受信したデータが欠
陥検出情報データの場合は、ステップＳ１１の欠陥検出
受信処理にて、拡張ＩＯボードから外部にＮＧ信号を出
力したり、ディスプレイ上に欠陥情報（面積、長さ、幅
等）を表示したり、加工したり、データ保存したり、プ
リンタ出力したりしてステップＳ４に戻る。一方受信し
たデータが光量情報データの場合は、ステップＳ５にて
平均受光レベルと、ピークレベルを取得する。即ち平均
受光レベルとピークレベルをホストコンピュータ中のプ
ログラムのデータとする。

【００２７】次いでステップＳ６で、検査対象物及び検
査方式が何であるかを判定し、検査対象物が白色であり
かつ全反射照明方式の検査を行う場合、又は検査対象物
が無色透明でありかつ透明照明方式の検査を行う場合
は、ステップＳ７に進み、そうでない場合はステップＳ
８に進む。ステップＳ７ではステップＳ５で得たピーク
レベルがディジタル信号の変動可能範囲（例えばディジ
タル信号が８ビットの信号である場合は０〜２５５）の
最大値に達している場合に検査が正常な状態で行われて
いないことを示すエラーとして処理する。なおここで
は、受光部からのビデオ信号をＡ／Ｄ変換する際、正常
な検査対象物を正常な状態で検査している時の受光レベ
ルが例えば０〜２５５の中間値である１２８になるよう
にしてある。このとき例えば無色透明フィルムに穴が空
いている場合でも、ラインセンサ２の受光量は約８％だ
け正常時より多くなるだけであり、従って、この場合で
もラインセンサ２の受光レベルは１３８程度にしかなら
ない。従って、検査対象物が白色の場合で穴が空いてい
る場合およびラインセンサ２の光軸が照明装置１に対し
て正常に設置されていない等のシステムの異常がない限
り、ピークレベルが２５５に飽和することはない。飽和
する場合はシステムの異常であり、ステップＳ１２に進
んでシステムエラーとして処理を行う。ピークレベルが
飽和していない場合は、ステップＳ８に進む。

【００２８】ステップＳ８ではステップＳ５で演算した
平均受光レベルとステップＳ２で得られた基準受光レベ
ルとを比較する。平均受光レベルが基準受光レベル±変
動許容レベル（図２に例では「２」）の範囲内にあれ
ば、照明装置１の出力レベルを変えないでステップＳ４
からの処理を次の入力間隔について繰り返す。平均受光
レベルが基準受光レベル±変動許容レベルの範囲外であ
る場合は、検査対象物の平均受光レベルの変動が大きす
ぎると判断して、ステップＳ９にて照明装置２に指示す
る出力レベルを図２に示した増減レベルだけ増大又は減
少させる。即ち、平均受光レベルが基準受光レベルより
１０レベル以上大きい場合は、ステップＳ９で出力レベ
ルを１０だけ減少させ、平均受光レベルが基準受光レベ
ルより１０レベル以上少ない場合は、ステップＳ９で出
力レベルを１０だけ増大させて新たな出力レベルとして
照明装置２に与える。

【００２９】次いでステップＳ１０に進み、ステップＳ
９で変更した出力レベルを１２ビットＤ／Ａ変換ボード
から外部調光機能付きの照明装置１に与えて照明装置２
の出力を制御することにより、検査対象物の受光レベル
を一定の範囲内に保つ。以上述べてきたように、本実施
形態においてはステップＳ４〜Ｓ１１〜Ｓ４を繰り返し
て欠陥を検出する一方で、ステップＳ４〜Ｓ５〜Ｓ１０
〜Ｓ４を繰り返して平均受光レベルを基準受光レベルに
近い一定の値に保っているので、照明装置の光度や検査
対象物の表面状態の変動の影響が少ない高精度の検査を
行うことができる。

【００３０】以上基準受光レベルと平均受光レベルとの
差に基づいて外部調光機能付き照明装置の出力レベルを
変化させる装置について説明したが、照明装置として外
部調光機能を有さない通常の照明装置IIを用い、画像処
理装置Ｉ及び制御部Ｉの代わりに基準受光レベルと平均
受光レベルとの差に基づいて閾値を設定する閾値設定手
段と、設定された閾値に基づいてディジタル信号を二値
化処理する二値化処理手段とを有する画像処理装置IIを
用いて装置を構成することもできる。この場合の閾値は
絶対値（０〜２５５）で設定することが好ましい。ま
た、このとき画像処理装置IIは、平均受光レベルが上昇
した場合は閾値を大きい値に設定し、平均受光レベルが
下降した場合は閾値を小さな値に設定する。

【００３１】また、照明装置として外部調光機能を有さ
ない通常の照明装置IIを用い、制御部Ｉの代わりに、あ
らかじめ定めた基準受光レベルと平均受光レベルとの差
に基づきディジタル信号を補正する制御部IIを用いて装
置を構成することもできる。この場合制御部IIは平均受
光レベルが基準受光レベルに対してできるだけ近い値で
一定になるようにディジタル信号を補正する。なお、こ
れらの実施形態において、照明装置IIとしては公知のも
のが使用可能である。

【００３２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、検査対象物の生産過程、例えば、連続シート
の走行方向で、その検査対象物の光の透過率又は反射率
に変動がある場合や照明装置の出力に変動がある場合で
も、照明装置からの出力レベルを所定の演算間隔毎に微
調整することにより、検査対象物の受光レベルを一定の
許容範囲内に保つことができるので、基準片なしでも対
象物の欠陥検査を高い精度で実行できるという効果が得
られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態による欠陥検査装置の概
略ブロック図である。

【図２】図１におけるホストコンピュータにより使用さ
れる制御プログラムで表示される調光設定画面を示す図
である。

【図３】図１におけるホストコンピュータの制御手順を
示すフローチャートである。

【符号の説明】

１…照明装置 ２…ラインセンサ ３…画像処理装置 ４…ホストコンピュータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 池田 徳之 愛知県豊橋市牛川通四丁目１番地の２ 三 菱レイヨン株式会社豊橋事業所内

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 検査対象物からの透過光と反射光の少な
   くとも一方を受光し、得られた画像データを二値化処理
   して検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査装置におい
   て、 前記検査対象物を照明する外部調光機能付き照明装置Ｉ
   と、 照明された前記検査対象物からの光を受光する受光部
   と、 前記受光部からのビデオ信号を取り込み、取り込んだビ
   デオ信号をディジタル信号に変換することを所定回数繰
   り返して、その平均値を演算して平均受光レベルとする
   画像処理装置Ｉと、 前記平均値を演算する間隔である演算間隔毎に、予め定
   めた基準受光レベルと前記平均受光レベルとの差に基づ
   いて前記外部調光機能付き照明装置Ｉの出力レベルを所
   定の増減レベルだけ増減させる制御部Ｉとを備えたこと
   を特徴とする欠陥検査装置。
2. 【請求項２】 検査対象物からの透過光と反射光の少な
   くとも一方を受光し、得られた画像データを二値化処理
   して検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査装置におい
   て、 前記検査対象物を照明する外部調光機能なしの照明装置
   IIと、 照明された前記検査対象物からの光を受光する受光部
   と、 前記受光部からのビデオ信号を取り込み、取り込んだビ
   デオ信号をディジタル信号に変換することを所定回数繰
   り返して、その平均値を演算して平均受光レベルとし、
   前記平均値を演算する間隔である演算間隔毎に予め定め
   た基準受光レベルと前記平均受光レベルとの差に基づき
   閾値を設定する閾値設定手段と、設定された閾値に基づ
   いてディジタル信号を二値化処理する二値化処理手段と
   を有する画像処理装置IIとを備えたことを特徴とする欠
   陥検査装置。
3. 【請求項３】 検査対象物からの透過光と反射光の少な
   くとも一方を受光し、得られた画像データを二値化処理
   して検査対象物の欠陥を検査する欠陥検査装置におい
   て、 前記検査対象物を照明する外部調光機能なしの照明装置
   IIと、 照明された前記検査対象物からの光を受光する受光部
   と、 前記受光部からのビデオ信号を取り込み、取り込んだビ
   デオ信号をディジタル信号に変換することを所定回数繰
   り返して、その平均値を演算して平均受光レベルとする
   画像処理装置Ｉと、 前記平均値を演算する間隔である演算間隔毎に予め定め
   た基準受光レベルと前記平均受光レベルとの差に基づき
   前記ディジタル信号を補正する制御部IIを備えたことを
   特徴とする欠陥検査装置。
4. 【請求項４】 前記画像処理装置Ｉ又はIIは、前記演算
   間隔毎に前記ディジタル信号のピークレベルを求める手
   段を備え、前記制御部Ｉ又はIIは、前記ピークレベルが
   前記ディジタル信号の変動可能範囲の最大値に達してい
   ると判定すると、エラーとして処理する機能を備えた、
   請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の欠陥検査
   装置。