JPH11178823A - 超音波探触子 - Google Patents
超音波探触子Info
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- JPH11178823A JPH11178823A JP36434597A JP36434597A JPH11178823A JP H11178823 A JPH11178823 A JP H11178823A JP 36434597 A JP36434597 A JP 36434597A JP 36434597 A JP36434597 A JP 36434597A JP H11178823 A JPH11178823 A JP H11178823A
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Abstract
圧電振動素子の機械的強度を増すととに、滅菌溶剤によ
る素子接着層へのダメージを防止する。 【解決手段】 電子走査型超音波探触子は、圧電振動子
1、第1音響整合層2、第2音響整合層3を有する各圧
電振動素子1a、1b、1c…1nで構成されている。
分割された各圧電振動素子1a、1b、1c…1nの間
の分割溝の内部、第2音響整合層3の表面、および背面
負荷5を含む超音波変換素子全周に、硬度が高く溶剤透
過性が小さいポリパラキシリレンなどの補強層6を設け
る。補強層6により、各圧電振動素子1a、1b、1c
…1nが、外部応力や衝撃により機械的に破損すること
を防止するとともに、滅菌用溶剤の侵入を防止する。圧
電振動素子1と第1音響整合層2の間の接着層(図示せ
ず)などへ溶剤が侵入して接着剤にダメージを与えるこ
とを防止できる。
Description
用いる超音波探触子に関し、特に、圧電振動子の機械的
強度の改善と薬品の侵入防止を図った超音波探触子に関
する。
子走査型超音波探触子の一般的な素子構造ついて、図6
を参照して説明する。図6において、圧電振動子11は、
超音波の送波及び受波をするための圧電セラミックなど
からなる振動子である。第1音響整合層12は、超音波を
効率よく伝搬させるための整合層である。第2音響整合
層13は、同じく超音波を効率よく伝搬させるための整合
層である。音響レンズ14は、超音波を収束させるための
レンズである。背面負荷15は、圧電振動子11の背面から
出される超音波を吸収減衰させるための負荷材である。
圧電振動子11と第1音響整合層12と第2音響整合層13
で、圧電振動素子11a、11b、11c…11nを構成してい
る。
電子セクタ走査型超音波探触子の場合は、超音波ビーム
を電子的な制御によりセクタ状に走査するものであるか
ら、第1音響整合層12、第2音響整合層13、圧電振動子
11が完全分割され、分割溝が背面負荷15まで深く切り込
まれている。この分割された圧電振動素子11a、11b、
11c…11nの間の分割溝には、各圧電振動素子間の音響
的クロストークを抑えるための充填材17(例えば、硬度
の小さいシリコーン樹脂等)が充填され、個々の圧電振
動素子11a、11b、11c…11nの超音波指向性を広指向
性にしている。
超音波探触子の構造においては、第1音響整合層12、第
2音響整合層13、圧電振動子11が完全分割されているの
で、構造上、外部応力や衝撃などに対する、各圧電振動
素子の機械的強度が弱いという問題があった。
子においては、音響レンズ、複数の音響整合層、圧電振
動子、背面負荷等のそれぞれの構成部品が、図示してい
ないが、エポキシ系樹脂やシリコーン樹脂等の接着剤に
より接着されて一体化されている。例えば、音響レンズ
14と第2音響整合層13の接着には、シリコーン樹脂が用
いられ、第1音響整合層12と第2音響整合層13、圧電振
動子11と第1音響整合層12、背面負荷15と圧電振動子11
のそれぞれの接着には、エポキシ系樹脂の接着剤が用い
られている。このような接着剤で各構成部品が一体化さ
れた超音波探触子では、使用時に薬品の滅菌溶剤が音響
レンズ14を透過し、この滅菌溶剤が更に音響レンズ14内
部の構成部品間の接着層へ回り込み、接着力の低下や剥
がれ等のダメージを与えるという問題があった。一般
に、シリコーンからなる音響レンズ14は、消毒液で使わ
れる薬品(例えば、アルコール、サイデックス、ヒビテ
ンなど)に対して透過性が高いので、この薬品が透過し
て、音響レンズ14内の各接着層に浸透して悪影響を与
え、接着力を低下させる。
触子の圧電振動素子の性能を劣化させることなく、外部
応力や衝撃などに対する各圧電振動素子の機械的強度を
改善するとともに、薬品や溶剤による構成要素部品や接
着層への悪影響を防止することが可能な優れた超音波探
触子を提供することを目的とする。
めに、本発明では、超音波探触子を、音響レンズと接す
る音響整合層の表面と、分割溝の内部と、背面負荷を含
む超音波変換素子全体に、硬度が高く、薬品や溶剤に対
しての透過性が小さく、超音波探触子の性能に悪影響を
与えない素材(例えば、ポリパラキシリレンなど)の薄
い補強層を形成する構成とした。
より、外部応力や衝撃などに対する圧電振動子の機械的
強度を改善するとともに、かつ、薬品や溶剤による各構
成部品の接着層への悪影響を防止することが可能であ
る。
ポリパラキシリレンの分子構造化学式から、ポリパラキ
シリレンは、一般的なガスや水蒸気に対して透過性は小
さいことが容易に推測できる。
超音波を送受波する圧電振動子と、超音波を効率よく伝
搬させるために前記圧電振動子に接着された一層以上の
音響整合層と、残響を抑えるために前記圧電振動子の背
面に接着された背面負荷と、超音波を収束するために前
記音響整合層に接着された音響レンズとから構成され、
前記圧電振動子及び全ての前記音響整合層が前記背面負
荷まで切り込まれた分割溝で走査方向に分割された超音
波変換素子からなる電子走査型超音波探触子において、
前記音響レンズと接する前記音響整合層の表面と、前記
分割溝の内部と、前記背面負荷を含む前記超音波変換素
子全体に補強層を設けた超音波探触子であり、補強層に
より機械的強度を増すとともに、薬品の侵入を防ぐとい
う作用を有する。
記載の超音波探触子において、前記音響整合層の表面に
接する前記音響レンズの内面に前記補強層を設けたもの
であり、補強層の摩耗を防ぐという作用を有する。
1、2記載の超音波探触子において、前記補強層の厚み
が0.5μmから20μmの範囲であるものであり、超音波
探触子の性能の劣化なしに補強層で機械的強度を増すと
ともに、薬品の侵入を防ぐという作用を有する。
〜図5を参照しながら詳細に説明する。
の形態は、圧電振動素子が背面負荷まで切り込まれた構
造の超音波探触子において、各圧電振動素子の、音響レ
ンズと接する音響整合層の表面と、分割溝の内部と、背
面負荷を含む超音波変換素子全体に、ポリパラキシリレ
ンの補強層を設けた超音波探触子である。
波探触子の断面図である。複数個の圧電振動素子が配列
された構成の電子走査型超音波探触子で、特に、圧電振
動子及び全ての音響整合層が走査方向に分割され、か
つ、分割溝が背面負荷まで切り込まれた構造を有するも
のである。図1において、圧電振動子1は、超音波の送
波及び受波をするための圧電セラミックなどからなる振
動子である。第1音響整合層2は、超音波を効率よく伝
搬させるための整合層である。第2音響整合層3は、第
1音響整合層2より音響インピーダンスが小さい材料を
用いて、超音波を効率よく伝搬させるための整合層であ
る。音響レンズ4は、超音波を収束させるためのレンズ
である。背面負荷5は、圧電振動子1からの送波信号及
び受波信号に音響的な制動をかけるとともに、圧電振動
子1の背面から伝搬する超音波を吸収減衰させるための
ものである。ここでは、圧電振動素子1a、1b、1c
…1nの集合を超音波変換素子と呼び、超音波変換素子
と音響レンズ4などを一体にまとめたデバイスを超音波
探触子と呼ぶことにする。
波探触子の構成を説明する。電子セクタ走査型超音波探
触子は、超音波ビームを大きく偏向させる必要があるた
め、第1音響整合層2、第2音響整合層3、圧電振動子
1が完全に切断され、背面負荷5まで切り込まれた構造
になっている。このような構造をとることで、分割され
た各圧電振動素子1a、1b、1c…1nの隣り合う圧
電振動素子間の音響的クロストークが小さくなり、放射
される超音波ビームの指向性が広くなって、圧電振動素
子1a、1b、1c…1nに加える電気信号のタイミン
グ制御で、超音波ビームの偏向を行なうことができる。
各圧電振動素子1a、1b、1c…1nの、音響レンズ
4と接する第2音響整合層3の表面と、分割溝の内部
と、背面負荷5を含む超音波変換素子全体に、ポリパラ
キシリレンの補強層6を設ける。各圧電振動素子間の溝
の部分には、補強層6の上に充填材7(例えばシリコー
ン樹脂等)を充填する。ポリパラキシリレンの補強層6
の形成は、例えば、ポリパラキシリレンの重合による生
成品であるポリクロロパラキシリレン(パリレンC:米
国ユニオンカーバイト社商品名)、あるいは、ポリデク
ロロパラキシリレン(パリレンD:米国ユニオンカーバ
イト社商品名)のなどの組成品を、化学蒸着(CVD)に
よってコーティングすることにより可能である。このよ
うにして、外部応力や衝撃などに対する、圧電振動素子
1a、1b、1c…1nの機械的強度を、ポリパラキシ
リレン補強層6により改善することが可能である。
り、音響レンズ4からの滅菌溶剤の透過侵入を防いで、
各圧電振動素子1a、1b、1c…1nにおける、第1
音響整合層2と第2音響整合層3の間、圧電振動子1と
第1音響整合層2の間、および背面負荷5と圧電振動子
1の間の、接着層のエポキシ系樹脂に対する滅菌溶剤に
よるダメージを防止することができる。
さに対して、音響レンズ4の材料であるシリコーン材料
をエタノールに浸漬した場合の重量変化率を測定したグ
ラフである。図4の測定結果から明らかなように、重量
変化率がポリクロロパラキシリレン層厚4μmの薄膜コ
ーティングで、エタノールに対して4分の1減少するこ
とが確認され、音響レンズを透過する溶剤を防ぐ効果が
確認された。
される超音波の周波数範囲(1MHz〜20MHz)の波
長より充分短い0.5μm〜20μmの範囲の薄い層で、補
強層6を構成すれば、超音波探触子の性能に悪影響を与
えずに、上記の効果を引き出すことができる。また、圧
電振動素子を分割する溝幅は、一般的に20μmから60μ
mぐらいであり、補強層の厚さは0.5μm〜20μmの範
囲であるから、分割された圧電振動素子1a、1b、1
c…1nの間の溝に、図1に示すような補強層6を設け
ることは可能である。
では、超音波探触子を、各圧電振動素子の、音響レンズ
と接する音響整合層の表面と、分割溝の内部と、背面負
荷を含む超音波変換素子全体に、ポリパラキシリレンの
補強層を設けた構成としたので、圧電振動素子の機械的
強度を増すとともに、滅菌溶剤の侵入を防止することが
できる。
の形態は、圧電振動素子が背面負荷まで切り込まれた構
造の超音波探触子において、各圧電振動素子の、音響レ
ンズと接する音響整合層の表面と、音響レンズと接する
充填材の表面と、背面負荷を含む超音波変換素子全体
に、ポリパラキシリレンの補強層を設けた超音波探触子
である。
波探触子の断面図である。図2において、図1に示すも
のと同一の機能を有するものには、同一の符号を付し、
その詳細な説明は省略する。第2の実施の形態の超音波
探触子の基本的な構造は、圧電振動素子及び全ての音響
整合層が走査方向に分割され、かつ、分割溝が背面負荷
まで切り込まれた構造であり、第1の実施の形態と同じ
ものである。
波探触子の構成を説明する。各圧電振動素子1a、1
b、1c…1nの、音響レンズ4と接する第2音響整合
層3の表面と、分割溝に充填された充填材7の表面と、
背面負荷5を含む超音波変換素子全体に、ポリパラキシ
リレンの補強層6を設ける。
力や衝撃などに対する、各圧電振動素子1a、1b、1
c…1nの機械的強度を向上させ、かつ、滅菌溶剤が各
接着層(図示せず)へ侵入することを防いで、接着剤に
ダメージを与えないようにしたものである。なお、実施
の形態として示してはいないが、第1の実施の形態と第
2の実施の形態を組み合わせても同様の効果が得られる
ことは、今まで述べた第1および第2の実施の形態の説
明から明らかである。
では、超音波探触子を、各圧電振動素子の音響整合層が
音響レンズと接する表面と、音響レンズと接する充填材
の表面と、背面負荷を含む超音波変換素子全体に、ポリ
パラキシリレンの補強層を設けた構成としたので、圧電
振動素子の機械的強度を増すとともに、滅菌溶剤の侵入
を防止することができる。
の形態は、圧電振動素子が背面負荷まで切り込まれた構
造の超音波探触子において、音響レンズの内面にポリパ
ラキシリレンの補強層を設けた超音波探触子である。
波探触子の断面図である。図3において、図1及び図2
に示すものと同一の機能を有するものには、同一の符号
を付し、その詳細な説明は省略する。第3の実施の形態
の超音波探触子の基本的な構造は、第1および第2の実
施の形態で説明したものと同じである。
波探触子の構成を説明する。音響レンズ4の内面、すな
わち、第2音響整合層3と接する面と、充填剤7と接す
る面に、補強層6を設けたものである。第2の実施の形
態と同様に、音響レンズ4の内面に設けられた補強層6
により、圧電振動素子1a、1b、1c…1nに対する
機械的衝撃を和らげることが可能であり、かつ、滅菌溶
剤が各接着層(図示せず)へ侵入することを防ぎ、接着
剤にダメージを与えないようにすることが可能である。
なお、補強層6を音響レンズ4の表面に設けることは、
使用しているうちに補強層が摩耗し効果を損なう可能性
があるため、適当ではない。
では、超音波探触子を、音響レンズの内面にポリパラキ
シリレンの補強層を設けた構成としたので、圧電振動素
子の機械的強度を増すとともに、滅菌溶剤の侵入を防止
することができる。
及び全ての音響整合層が走査方向に分割され、かつ、分
割溝が背面負荷まで切り込まれた構造を持つ電子走査型
超音波探触子に、ポリパラキシリレンなどの補強層を設
けたので、分割された超音波振動素子に加わる外力及び
衝撃等の機械的衝撃を和らげるとともに、音響整合層と
圧電振動子の間などの接着層に滅菌溶剤等が音響レンズ
から透過浸透することを防止して、性能・品質・信頼性
の高い優れた超音波探触子を実現できるという効果が得
られる。
子の断面図、
子の断面図、
子の断面図、
果を示した測定データ、
した一覧表、
Claims (3)
- 【請求項1】 超音波を送受波する圧電振動子と、超音
波を効率よく伝搬させるために前記圧電振動子に接着さ
れた一層以上の音響整合層と、残響を抑えるために前記
圧電振動子の背面に接着された背面負荷と、超音波を収
束するために前記音響整合層に接着された音響レンズと
から構成され、前記圧電振動子及び全ての前記音響整合
層が前記背面負荷まで切り込まれた分割溝で走査方向に
分割された超音波変換素子からなる電子走査型超音波探
触子において、前記音響レンズと接する前記音響整合層
の表面と、前記分割溝の内部と、前記背面負荷を含む前
記超音波変換素子全体に補強層を設けたことを特徴とす
る超音波探触子。 - 【請求項2】 前記音響整合層の表面に接する前記音響
レンズの内面に前記補強層を設けたことを特徴とする請
求項1記載の超音波探触子。 - 【請求項3】 前記補強層の厚みが0.5μmから20μm
の範囲であることを特徴とする請求項1、2記載の超音
波探触子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP36434597A JP3313637B2 (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP36434597A JP3313637B2 (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 超音波探触子 |
Publications (2)
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JPH11178823A true JPH11178823A (ja) | 1999-07-06 |
JP3313637B2 JP3313637B2 (ja) | 2002-08-12 |
Family
ID=18481592
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP36434597A Expired - Lifetime JP3313637B2 (ja) | 1997-12-19 | 1997-12-19 | 超音波探触子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3313637B2 (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003038486A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-12 | Ueda Japan Radio Co Ltd | 超音波探触子 |
JP2005312583A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音響レンズ及びこれを用いた超音波探触子 |
DE102008027974A1 (de) | 2007-06-12 | 2008-12-18 | Denso Corp., Kariya-shi | Ultraschallsensor |
US7821872B2 (en) | 2007-08-31 | 2010-10-26 | Denso Corporation | Method for ultrasonic wave transmission and apparatus for ultrasonic wave transmission |
US8020447B2 (en) | 2007-06-12 | 2011-09-20 | Denso Corporation | Ultrasonic sensor and self diagnostic method of the same |
JP2015177537A (ja) * | 2014-03-18 | 2015-10-05 | 株式会社東芝 | 超音波プローブ |
-
1997
- 1997-12-19 JP JP36434597A patent/JP3313637B2/ja not_active Expired - Lifetime
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JP4523328B2 (ja) * | 2004-04-28 | 2010-08-11 | 日本電波工業株式会社 | 超音波探触子 |
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