JPH11176021A - 光記録媒体およびその製造方法 - Google Patents
光記録媒体およびその製造方法Info
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- JPH11176021A JPH11176021A JP9338770A JP33877097A JPH11176021A JP H11176021 A JPH11176021 A JP H11176021A JP 9338770 A JP9338770 A JP 9338770A JP 33877097 A JP33877097 A JP 33877097A JP H11176021 A JPH11176021 A JP H11176021A
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- groove
- land
- thin film
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- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 グルーブおよびランドのどちらにおいても同
一条件で記録・消去・読み出しが可能であり、しかもク
ロス・イレーズを防止でき、良好なランド／グルーブ記
録が可能な光記録媒体を提供する。 【解決手段】 ディスク基板（１）に形成されたトラッ
キンググルーブの側壁に硫黄または炭化水素ポリマーか
らなる側壁保護膜（２）を形成し、ディスク基板（１）
の全面に光記録層を含む薄膜（３〜６）を形成し、トラ
ッキンググルーブの側壁に形成された側壁保護膜（２）
およびその上に形成された光記録層を含む薄膜（３〜
６）を除去してトラッキンググルーブの側壁面上でグル
ーブ上の薄膜（３〜６）とランド上の薄膜（３〜６）と
を分離した光記録媒体。
一条件で記録・消去・読み出しが可能であり、しかもク
ロス・イレーズを防止でき、良好なランド／グルーブ記
録が可能な光記録媒体を提供する。 【解決手段】 ディスク基板（１）に形成されたトラッ
キンググルーブの側壁に硫黄または炭化水素ポリマーか
らなる側壁保護膜（２）を形成し、ディスク基板（１）
の全面に光記録層を含む薄膜（３〜６）を形成し、トラ
ッキンググルーブの側壁に形成された側壁保護膜（２）
およびその上に形成された光記録層を含む薄膜（３〜
６）を除去してトラッキンググルーブの側壁面上でグル
ーブ上の薄膜（３〜６）とランド上の薄膜（３〜６）と
を分離した光記録媒体。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光記録媒体およびそ
の製造方法に関する。
の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】光記録媒体は高密度でデジタルまたはア
ナログ情報を記録できるため、将来的にも発展が確信さ
れており、たとえば大容量の記録手段としてオフィスの
レスペーパー化に寄与することが期待されている。
ナログ情報を記録できるため、将来的にも発展が確信さ
れており、たとえば大容量の記録手段としてオフィスの
レスペーパー化に寄与することが期待されている。
【０００３】光記録媒体では、記録・消去・読み出しの
際にレーザービームが所望のトラックを確実にトレース
できるようにするために、ディスク基板にトラッキング
グルーブ（案内溝）を設け、その全面に記録層を形成し
ている。従来、設計上の都合に応じて、記録ビットをグ
ルーブ上に形成するかグルーブ外部のランド上に形成す
るかを適宜選択していた。しかし、グルーブおよびラン
ドの両方に記録（ランド／グルーブ記録）できれば記録
密度がほぼ２倍になることは明らかであり、そのような
光記録媒体の開発が進められている。
際にレーザービームが所望のトラックを確実にトレース
できるようにするために、ディスク基板にトラッキング
グルーブ（案内溝）を設け、その全面に記録層を形成し
ている。従来、設計上の都合に応じて、記録ビットをグ
ルーブ上に形成するかグルーブ外部のランド上に形成す
るかを適宜選択していた。しかし、グルーブおよびラン
ドの両方に記録（ランド／グルーブ記録）できれば記録
密度がほぼ２倍になることは明らかであり、そのような
光記録媒体の開発が進められている。
【０００４】光記録技術は光磁気記録と相変化光記録に
大別されるが、どちらの記録方式でも光源である半導体
レーザーにより記録層の一部を加熱し、その物性を変化
させることにより記録および消去を行う。したがって、
レーザー照射時の記録層の上昇温度または昇温・降温速
度により、形成される記録ビットの形状が大きな影響を
受ける。このため、最適なビット形状となるように、設
計・試作を繰り返して膜構成を最適化することが必要と
なる。
大別されるが、どちらの記録方式でも光源である半導体
レーザーにより記録層の一部を加熱し、その物性を変化
させることにより記録および消去を行う。したがって、
レーザー照射時の記録層の上昇温度または昇温・降温速
度により、形成される記録ビットの形状が大きな影響を
受ける。このため、最適なビット形状となるように、設
計・試作を繰り返して膜構成を最適化することが必要と
なる。
【０００５】光記録媒体の動作を最適化するためには通
常、各種の膜を積層した膜構成を採用する。たとえば、
相変化光記録媒体の典型的な膜構成は、ディスク基板上
に、第１干渉層、記録層、第２干渉層および金属反射層
を形成したものである。第１および第２の干渉層は光の
干渉効果により読み出し信号を強めるために設けられ
る。金属反射層はレーザービームを反射させて読み出し
に利用するとともに、光によって発生した熱を拡散させ
て冷却効果を高めるために設けられる。相変化光記録で
は、記録層の一部をアモルファス化することにより記録
を行い、記録層を結晶化することにより消去を行う。記
録層のアモルファス化には加熱後の急速な冷却が必要な
ので、ビーム通過時の温度変化のふるまいは設計上重要
な項目になる。たとえば、高い熱伝導率を持つ金属反射
層の材料および厚さを最適に選択することが重要にな
る。なお、全体的な反射率を大きくして再生信号強度を
できるだけ大きくする観点から、金属反射層は約１００
ｎｍ以上と他の薄膜と比較して厚くするのが一般的であ
る。
常、各種の膜を積層した膜構成を採用する。たとえば、
相変化光記録媒体の典型的な膜構成は、ディスク基板上
に、第１干渉層、記録層、第２干渉層および金属反射層
を形成したものである。第１および第２の干渉層は光の
干渉効果により読み出し信号を強めるために設けられ
る。金属反射層はレーザービームを反射させて読み出し
に利用するとともに、光によって発生した熱を拡散させ
て冷却効果を高めるために設けられる。相変化光記録で
は、記録層の一部をアモルファス化することにより記録
を行い、記録層を結晶化することにより消去を行う。記
録層のアモルファス化には加熱後の急速な冷却が必要な
ので、ビーム通過時の温度変化のふるまいは設計上重要
な項目になる。たとえば、高い熱伝導率を持つ金属反射
層の材料および厚さを最適に選択することが重要にな
る。なお、全体的な反射率を大きくして再生信号強度を
できるだけ大きくする観点から、金属反射層は約１００
ｎｍ以上と他の薄膜と比較して厚くするのが一般的であ
る。
【０００６】ところで、ランド／グルーブ記録を行うた
めには、ランドおよびグルーブのどちらでも同一のパワ
ーで記録・消去・読み出しができることが望ましい。と
ころが、特に設計上配慮しない場合、ランド（レーザー
ビーム入射側から見て凹部）上の記録層とグルーブ（レ
ーザービーム入射側から見て凸部）上の反射層とが隣接
しているなどの理由によりランド上とグルーブ上とで記
録層の熱的環境が異なり種々の問題が生じる。たとえ
ば、ランド記録時には隣接するグルーブ上の反射層によ
りランド上の記録層の放熱が促進されるため、大きなパ
ワーが必要になる。また、隣接するランド上の信号の再
生時に、グルーブ上の反射層を通して熱が伝わるため、
グルーブ上の記録マークが徐々に消去されていくという
クロス・イレーズの問題が生じる。
めには、ランドおよびグルーブのどちらでも同一のパワ
ーで記録・消去・読み出しができることが望ましい。と
ころが、特に設計上配慮しない場合、ランド（レーザー
ビーム入射側から見て凹部）上の記録層とグルーブ（レ
ーザービーム入射側から見て凸部）上の反射層とが隣接
しているなどの理由によりランド上とグルーブ上とで記
録層の熱的環境が異なり種々の問題が生じる。たとえ
ば、ランド記録時には隣接するグルーブ上の反射層によ
りランド上の記録層の放熱が促進されるため、大きなパ
ワーが必要になる。また、隣接するランド上の信号の再
生時に、グルーブ上の反射層を通して熱が伝わるため、
グルーブ上の記録マークが徐々に消去されていくという
クロス・イレーズの問題が生じる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、グル
ーブおよびランドのどちらにおいても同一条件で記録・
消去・読み出しが可能であり、しかもクロス・イレーズ
を防止でき、良好なランド／グルーブ記録が可能な光記
録媒体を提供することにある。
ーブおよびランドのどちらにおいても同一条件で記録・
消去・読み出しが可能であり、しかもクロス・イレーズ
を防止でき、良好なランド／グルーブ記録が可能な光記
録媒体を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の光記録媒体は、
トラッキンググルーブを形成した基板上に光記録層を含
む薄膜を形成してなる光記録媒体であって、トラッキン
ググルーブの側壁面上でグルーブ上の薄膜とグルーブ外
部のランド上の薄膜とを分離したことを特徴とする。
トラッキンググルーブを形成した基板上に光記録層を含
む薄膜を形成してなる光記録媒体であって、トラッキン
ググルーブの側壁面上でグルーブ上の薄膜とグルーブ外
部のランド上の薄膜とを分離したことを特徴とする。
【０００９】本発明の光記録媒体の製造方法は、基板に
形成されたトラッキンググルーブの側壁に硫黄膜または
炭化水素膜を形成する工程と、基板の全面に光記録層を
含む薄膜を形成する工程と、トラッキンググルーブの側
壁に形成された硫黄膜または炭化水素膜およびその上に
形成された光記録層を含む薄膜を除去してグルーブ上の
薄膜とランド上の薄膜とを分離する工程とを具備したこ
とを特徴とする。
形成されたトラッキンググルーブの側壁に硫黄膜または
炭化水素膜を形成する工程と、基板の全面に光記録層を
含む薄膜を形成する工程と、トラッキンググルーブの側
壁に形成された硫黄膜または炭化水素膜およびその上に
形成された光記録層を含む薄膜を除去してグルーブ上の
薄膜とランド上の薄膜とを分離する工程とを具備したこ
とを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】上記の目的を達成するために、グ
ルーブ上の薄膜とランド上の薄膜とをきわめて熱伝導率
の低い物質からなる隔壁で隔てることができれば、膜面
内方向への熱伝導を抑制してグルーブ上およびランド上
の記録層の熱的環境を同一にすることができる。しか
し、μｍ以下のオーダーの微細なランドとグルーブとの
間に、熱を遮断できる隔壁を設けることは現実的ではな
い。
ルーブ上の薄膜とランド上の薄膜とをきわめて熱伝導率
の低い物質からなる隔壁で隔てることができれば、膜面
内方向への熱伝導を抑制してグルーブ上およびランド上
の記録層の熱的環境を同一にすることができる。しか
し、μｍ以下のオーダーの微細なランドとグルーブとの
間に、熱を遮断できる隔壁を設けることは現実的ではな
い。
【００１１】本発明の光記録媒体は、トラッキンググル
ーブの側壁面上でグルーブ上の薄膜とランド上の薄膜と
を分離することにより、両者の薄膜を熱的に遮断する。
このような光記録媒体を製造するには、基板に形成され
たトラッキンググルーブの側壁に側壁保護膜として硫黄
膜または炭化水素ポリマー膜を形成し、基板の全面に光
記録層を含む薄膜を形成した後、トラッキンググルーブ
の側壁に形成された硫黄膜または炭化水素ポリマー膜お
よびその上に形成された光記録層を含む薄膜を除去して
グルーブ上の薄膜とランド上の薄膜とを分離する方法を
用いればよい。
ーブの側壁面上でグルーブ上の薄膜とランド上の薄膜と
を分離することにより、両者の薄膜を熱的に遮断する。
このような光記録媒体を製造するには、基板に形成され
たトラッキンググルーブの側壁に側壁保護膜として硫黄
膜または炭化水素ポリマー膜を形成し、基板の全面に光
記録層を含む薄膜を形成した後、トラッキンググルーブ
の側壁に形成された硫黄膜または炭化水素ポリマー膜お
よびその上に形成された光記録層を含む薄膜を除去して
グルーブ上の薄膜とランド上の薄膜とを分離する方法を
用いればよい。
【００１２】この場合、基板に形成されたトラッキング
グルーブの側壁に硫黄または炭化水素ポリマーからなる
側壁保護膜を形成するには、以下のような方法を用いる
ことができる。たとえば、反応性イオンエッチング（Ｒ
ＩＥ）装置にディスク基板を設置し、ＳＦ6 のようなガ
スを導入して放電を行うと、放電により生じた硫黄
（Ｓ）原子が基板表面に付着する。これと同時に、正イ
オンが基板に引き込まれ、側壁以外の部分（ランド上お
よびグルーブ上）に付着した硫黄原子は正イオンスパッ
タ効果により除去されるが、側壁に付着した硫黄原子は
正イオンの衝撃を受けずにそのまま堆積するため、側壁
保護膜が形成される。同様に、ＣＨＦ3 のような炭化水
素ガスを導入して放電を行うと、炭化水素ポリマーから
なる側壁保護膜が形成される。
グルーブの側壁に硫黄または炭化水素ポリマーからなる
側壁保護膜を形成するには、以下のような方法を用いる
ことができる。たとえば、反応性イオンエッチング（Ｒ
ＩＥ）装置にディスク基板を設置し、ＳＦ6 のようなガ
スを導入して放電を行うと、放電により生じた硫黄
（Ｓ）原子が基板表面に付着する。これと同時に、正イ
オンが基板に引き込まれ、側壁以外の部分（ランド上お
よびグルーブ上）に付着した硫黄原子は正イオンスパッ
タ効果により除去されるが、側壁に付着した硫黄原子は
正イオンの衝撃を受けずにそのまま堆積するため、側壁
保護膜が形成される。同様に、ＣＨＦ3 のような炭化水
素ガスを導入して放電を行うと、炭化水素ポリマーから
なる側壁保護膜が形成される。
【００１３】次に、側壁保護膜が形成されたディスク基
板の全面に光記録層を含む各種の薄膜を形成すると、ラ
ンド上およびグルーブ上に形成される薄膜の膜質は良好
であるが、側壁保護膜上に形成される薄膜の膜質は悪く
なる。このため、側壁保護膜を除去することにより、そ
の上に付着した薄膜を除去できる。このとき、硫黄から
なる側壁保護膜は、単に昇温することにより昇華させる
ことができる。また、炭化水素ポリマーからなる側壁保
護膜は、有機溶剤を用いて除去することもできるし、酸
素プラズマ中で生成した酸素ラジカルによって酸化し揮
発性物質として除去することもできる。このようにし
て、トラッキンググルーブの側壁面上で、ランド上の薄
膜とグルーブ上の薄膜とを分離することができる。
板の全面に光記録層を含む各種の薄膜を形成すると、ラ
ンド上およびグルーブ上に形成される薄膜の膜質は良好
であるが、側壁保護膜上に形成される薄膜の膜質は悪く
なる。このため、側壁保護膜を除去することにより、そ
の上に付着した薄膜を除去できる。このとき、硫黄から
なる側壁保護膜は、単に昇温することにより昇華させる
ことができる。また、炭化水素ポリマーからなる側壁保
護膜は、有機溶剤を用いて除去することもできるし、酸
素プラズマ中で生成した酸素ラジカルによって酸化し揮
発性物質として除去することもできる。このようにし
て、トラッキンググルーブの側壁面上で、ランド上の薄
膜とグルーブ上の薄膜とを分離することができる。
【００１４】本発明の光記録媒体は、トラッキンググル
ーブの側壁面上でグルーブ上の薄膜とランド上の薄膜と
が分離され、両者の薄膜を熱的に遮断されているので、
両者の薄膜の熱的環境は同一である。したがって、グル
ーブおよびランドのどちらにおいても同一条件で記録・
消去・読み出しが可能であり、しかもクロス・イレーズ
を防止でき、良好なランド／グルーブ記録が可能とな
る。
ーブの側壁面上でグルーブ上の薄膜とランド上の薄膜と
が分離され、両者の薄膜を熱的に遮断されているので、
両者の薄膜の熱的環境は同一である。したがって、グル
ーブおよびランドのどちらにおいても同一条件で記録・
消去・読み出しが可能であり、しかもクロス・イレーズ
を防止でき、良好なランド／グルーブ記録が可能とな
る。
【００１５】本発明は相変化光記録媒体および光磁気記
録媒体のいずれにも適用できる。これらの光記録媒体の
膜構成は特に限定されない。たとえば、相変化光記録媒
体に関しては、基板上に第１干渉層、相変化光記録層、
第２干渉層および反射層を形成した構造など種々の膜構
成を採用できる。
録媒体のいずれにも適用できる。これらの光記録媒体の
膜構成は特に限定されない。たとえば、相変化光記録媒
体に関しては、基板上に第１干渉層、相変化光記録層、
第２干渉層および反射層を形成した構造など種々の膜構
成を採用できる。
【００１６】その他に、たとえば吸収率調整用の半透明
膜、コントラストエンハンス層、超解像膜など、必要に
応じてどのような膜を付加してもよい。また、側壁保護
膜は基板上に直接形成する方法に限らず、たとえば第１
干渉層形成後または第２干渉層形成後に形成してもよ
い。すなわち、結果的に反射膜が分断された構造になれ
ばよく、側壁保護膜を形成する工程の順序は特に限定さ
れない。
膜、コントラストエンハンス層、超解像膜など、必要に
応じてどのような膜を付加してもよい。また、側壁保護
膜は基板上に直接形成する方法に限らず、たとえば第１
干渉層形成後または第２干渉層形成後に形成してもよ
い。すなわち、結果的に反射膜が分断された構造になれ
ばよく、側壁保護膜を形成する工程の順序は特に限定さ
れない。
【００１７】ここで、基板の材料としては、ポリカーボ
ネート、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）などを
用いることができる。第１干渉層および第２干渉層の材
料としては、酸化物、窒化物、炭化物、ホウ化物、硫化
物もしくはフッ化物またはこれらの混合物を用いること
ができる。代表的な材料としては、ＺｎＳ−ＳｉＯ2、
Ｔａ2 Ｏ5 などが挙げられる。相変化光記録層の材料と
しては、光照射によって結晶状態と非晶質状態間を可逆
的に遷移し、両状態間で光学的特性が異なる材料が用い
られる。具体的には、ＧｅＳｂＴｅ、ＩｎＳｂＴｅ、Ｓ
ｎＳｅＴｅ、ＧｅＴｅＳｎ、ＩｎＳｅＴｌＣｏなどが挙
げられる。反射層の材料は、原理的に限定されないが、
たとえばＡｌ、ＡｕもしくはＣｕまたはこれらを含有す
る合金を用いることができる。
ネート、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）などを
用いることができる。第１干渉層および第２干渉層の材
料としては、酸化物、窒化物、炭化物、ホウ化物、硫化
物もしくはフッ化物またはこれらの混合物を用いること
ができる。代表的な材料としては、ＺｎＳ−ＳｉＯ2、
Ｔａ2 Ｏ5 などが挙げられる。相変化光記録層の材料と
しては、光照射によって結晶状態と非晶質状態間を可逆
的に遷移し、両状態間で光学的特性が異なる材料が用い
られる。具体的には、ＧｅＳｂＴｅ、ＩｎＳｂＴｅ、Ｓ
ｎＳｅＴｅ、ＧｅＴｅＳｎ、ＩｎＳｅＴｌＣｏなどが挙
げられる。反射層の材料は、原理的に限定されないが、
たとえばＡｌ、ＡｕもしくはＣｕまたはこれらを含有す
る合金を用いることができる。
【００１８】
【実施例】以下、本発明の実施例を図１（Ａ）〜（Ｃ）
に示す製造方法を参照して説明する。ポリカーボネート
の射出成形により、１．６μｍピッチでグルーブおよび
ランドを設けたディスク基板１を用意した。このディス
ク基板１を反応性イオンエッチング装置の基板ホルダに
装着した。この装置を真空排気した後、ＳＦ6 ガスを導
入して装置内の圧力を３０ｍＴｏｒｒに設定した後、放
電を開始した。１０分後に放電を停止し、ガスの導入を
停止して大気を導入した。こうしてグルーブの側壁に硫
黄からなる側壁保護膜２を形成した（図１（Ａ））。
に示す製造方法を参照して説明する。ポリカーボネート
の射出成形により、１．６μｍピッチでグルーブおよび
ランドを設けたディスク基板１を用意した。このディス
ク基板１を反応性イオンエッチング装置の基板ホルダに
装着した。この装置を真空排気した後、ＳＦ6 ガスを導
入して装置内の圧力を３０ｍＴｏｒｒに設定した後、放
電を開始した。１０分後に放電を停止し、ガスの導入を
停止して大気を導入した。こうしてグルーブの側壁に硫
黄からなる側壁保護膜２を形成した（図１（Ａ））。
【００１９】このディスク基板１をスパッタ装置に装着
し、通常のプロセスにより、ＺｎＳ−ＳｉＯ2 からなる
第１干渉層３、ＧｅＳｂＴｅからなる相変化光記録層
４、ＺｎＳ−ＳｉＯ2 からなる第２干渉層５、Ａｌから
なる金属反射層６を形成した（図１（Ｂ））。
し、通常のプロセスにより、ＺｎＳ−ＳｉＯ2 からなる
第１干渉層３、ＧｅＳｂＴｅからなる相変化光記録層
４、ＺｎＳ−ＳｉＯ2 からなる第２干渉層５、Ａｌから
なる金属反射層６を形成した（図１（Ｂ））。
【００２０】次いで、ディスク基板１全体を真空中で８
０℃に加熱し、硫黄からなる側壁保護膜２およびその上
に堆積した膜質の悪い薄膜を除去した。全体を水洗し、
乾燥して光記録媒体を製造した（図１（Ｃ））。このよ
うにして製造された光記録媒体では、グルーブの側壁面
上で、ランド上の薄膜とグルーブ上の薄膜とが互いに分
離されている。
０℃に加熱し、硫黄からなる側壁保護膜２およびその上
に堆積した膜質の悪い薄膜を除去した。全体を水洗し、
乾燥して光記録媒体を製造した（図１（Ｃ））。このよ
うにして製造された光記録媒体では、グルーブの側壁面
上で、ランド上の薄膜とグルーブ上の薄膜とが互いに分
離されている。
【００２１】この光記録媒体に、記録・再生装置により
ランド・グルーブの両方に記録した。読み出しパワーを
０．５ｍＷに設定し、再生時のＣＮＲがもっとも大きく
なる記録パワーを調べた。その結果、ランド記録で１
２．５ｍＷ、グルーブ記録で１２．２ｍＷであり、ほと
んど差がなかった。また、ランド記録およびグルーブ記
録のどちらでも十分な記録感度が得られ、オーバーライ
ト動作および消去動作にも問題はなかった。次に、以下
のようにしてクロスイレーズ特性を調べた。すなわち、
あるグルーブ上のトラックに記録し信号を再生してＣＮ
Ｒを測定し、そのグルーブ上のトラックに隣接するラン
ド上のトラックに記録した後、再度元のグルーブ上のト
ラックで信号を再生してＣＮＲを測定した。その結果、
ランド記録の前後でＣＮＲに影響を見られなかった。
ランド・グルーブの両方に記録した。読み出しパワーを
０．５ｍＷに設定し、再生時のＣＮＲがもっとも大きく
なる記録パワーを調べた。その結果、ランド記録で１
２．５ｍＷ、グルーブ記録で１２．２ｍＷであり、ほと
んど差がなかった。また、ランド記録およびグルーブ記
録のどちらでも十分な記録感度が得られ、オーバーライ
ト動作および消去動作にも問題はなかった。次に、以下
のようにしてクロスイレーズ特性を調べた。すなわち、
あるグルーブ上のトラックに記録し信号を再生してＣＮ
Ｒを測定し、そのグルーブ上のトラックに隣接するラン
ド上のトラックに記録した後、再度元のグルーブ上のト
ラックで信号を再生してＣＮＲを測定した。その結果、
ランド記録の前後でＣＮＲに影響を見られなかった。
【００２２】比較のために、図１（Ａ）の工程を実施し
ない通常の方法で、ランド上の薄膜とグルーブ上の薄膜
とがつながった光記録媒体を製造した。この記録媒体に
ついて、読み出しパワーを０．５ｍＷに設定し、再生時
のＣＮＲがもっとも大きくなる記録パワーを調べた。そ
の結果、グルーブ記録で１２．２ｍＷ、ランド記録で１
４．２ｍＷであり、かなりの差があった。このことか
ら、グルーブ記録の最適パワーでランド記録を行うと、
再生信号のＣＮＲが大幅に低下することがわかる。次
に、上記と同様にしてクロスイレーズ特性を調べた。こ
の場合、最初にあるグルーブ上のトラックに記録して信
号を再生したところ、ＣＮＲは５４ｄＢであった。しか
し、そのグルーブ上のトラックに隣接するランド上のト
ラックに記録した後、再度元のグルーブ上のトラックで
信号を再生したところ、ＣＮＲは４５ｄＢまで下がって
いた。これはクロスイレーズが起こっていることを示し
ている。
ない通常の方法で、ランド上の薄膜とグルーブ上の薄膜
とがつながった光記録媒体を製造した。この記録媒体に
ついて、読み出しパワーを０．５ｍＷに設定し、再生時
のＣＮＲがもっとも大きくなる記録パワーを調べた。そ
の結果、グルーブ記録で１２．２ｍＷ、ランド記録で１
４．２ｍＷであり、かなりの差があった。このことか
ら、グルーブ記録の最適パワーでランド記録を行うと、
再生信号のＣＮＲが大幅に低下することがわかる。次
に、上記と同様にしてクロスイレーズ特性を調べた。こ
の場合、最初にあるグルーブ上のトラックに記録して信
号を再生したところ、ＣＮＲは５４ｄＢであった。しか
し、そのグルーブ上のトラックに隣接するランド上のト
ラックに記録した後、再度元のグルーブ上のトラックで
信号を再生したところ、ＣＮＲは４５ｄＢまで下がって
いた。これはクロスイレーズが起こっていることを示し
ている。
【００２３】
【発明の効果】以上詳述したように本発明の光記録媒体
は、グルーブおよびランドのどちらにおいても同一条件
で記録・消去・読み出しが可能であり、しかもクロス・
イレーズを防止でき、良好なランド／グルーブ記録が可
能になる。
は、グルーブおよびランドのどちらにおいても同一条件
で記録・消去・読み出しが可能であり、しかもクロス・
イレーズを防止でき、良好なランド／グルーブ記録が可
能になる。
【図１】本発明の光記録媒体の製造工程を示す断面図。
１…ディスク基板 ２…側壁保護膜 ３…第１干渉層 ４…相変化光記録層 ５…第２干渉層 ６…金属反射層
Claims (2)
- 【請求項１】 トラッキンググルーブを形成した基板上
に光記録層を含む薄膜を形成してなる光記録媒体であっ
て、トラッキンググルーブの側壁面上でグルーブ上の薄
膜とランド上の薄膜とを分離したことを特徴とする光記
録媒体。 - 【請求項２】 基板に形成されたトラッキンググルーブ
の側壁に硫黄膜または炭化水素ポリマー膜を形成する工
程と、基板の全面に光記録層を含む薄膜を形成する工程
と、トラッキンググルーブの側壁に形成された硫黄膜ま
たは炭化水素ポリマー膜およびその上に形成された光記
録層を含む薄膜を除去してグルーブ上の薄膜とランド上
の薄膜とを分離する工程とを具備したことを特徴とする
光記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9338770A JPH11176021A (ja) | 1997-12-09 | 1997-12-09 | 光記録媒体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9338770A JPH11176021A (ja) | 1997-12-09 | 1997-12-09 | 光記録媒体およびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11176021A true JPH11176021A (ja) | 1999-07-02 |
Family
ID=18321311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9338770A Pending JPH11176021A (ja) | 1997-12-09 | 1997-12-09 | 光記録媒体およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11176021A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7636289B2 (en) | 2004-08-27 | 2009-12-22 | Ricoh Company, Ltd. | Optical-recording medium, method for producing the same, and method for recording and reproducing optical-recording |
-
1997
- 1997-12-09 JP JP9338770A patent/JPH11176021A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7636289B2 (en) | 2004-08-27 | 2009-12-22 | Ricoh Company, Ltd. | Optical-recording medium, method for producing the same, and method for recording and reproducing optical-recording |
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