JPH11170190A - コアスライダマウント装置およびコアスライダマウント方法 - Google Patents

コアスライダマウント装置およびコアスライダマウント方法

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JPH11170190A
JPH11170190A JP34171697A JP34171697A JPH11170190A JP H11170190 A JPH11170190 A JP H11170190A JP 34171697 A JP34171697 A JP 34171697A JP 34171697 A JP34171697 A JP 34171697A JP H11170190 A JPH11170190 A JP H11170190A
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好文 浅野
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信篤 高見
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワークや治具盤のばらつきによらず、コアス
ライダを高精度にマウントすることができるコアスライ
ダマウント装置およびコアスライダマウント方法を提供
する。 【解決手段】 コアスライダ収容部8より抽出されたコ
アスライダSを吸着し、X軸方向(またはY軸方向)よ
り挟み込み位置合わせを行なう第1の位置合わせ爪10
を有するコアスライダポジショナー11と、コアスライ
ダSをコアスライダポジショナー11上においてY軸方
向(またはX軸方向)より挟み込み位置合わせを行なう
第2の位置合わせ爪12およびディスペンサ6より塗布
された接着剤にUV光線を照射するスポット照射部13
が装着され、コアスライダSを第2の位置合わせ爪12
により挟持すると共に、吸着してZ軸方向に移送するコ
アマウントチャック14と、ワークテーブル4にセット
されたワークのワーク姿勢を光学的に認識して得られる
ワーク姿認識情報に基づいて、ワークの被接着部とコア
スライダSとの位置合わせ誤差を補正する光学カメラ7
とを具備してなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ハードディスクド
ライブのヘッドを構成するサスペンションなどのワーク
にコアスライダをマウントするためのコアスライダマウ
ント装置およびコアスライダマウント方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、ハードディスクドライブのコアス
ライダをサスペンションに搭載する装置として、ロボッ
トマウンタがある。このロボットマウンタでは、被接着
部を有するサスペンションが治具盤に固定され、ディス
ペンサによりサスペンションの被接着部に接着剤が塗布
された後、コアスライダ収納部よりコアスライダがロボ
ットヘッドのチャックにより吸着および移送される。
【0003】コアスライダは位置決めユニットに一旦載
置され、位置調整が行なわれ、再びロボットヘッドのチ
ャックにより吸着後、サスペンションの被接着部に移送
され、吸着状態のまま被接着部に当接された後、スポッ
ト照射部よりUV光線が照射され、接着剤が仮硬化され
る。そして、このようなロボットマウンタは、セル型に
て省スペースで構成されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記提案の
如きロボットマウンタは、セル型設備と作業者とが一体
となった半自動機であり、ワークを治具盤に固定する作
業は、安全を期する意味から回転テーブルを介して行わ
れ、この対面作業は完全なマニュアル作業である。この
ため、クリーンルーム内での作業にも関わらず人との共
存であった。
【0005】また、マニュアル作業である分、精度を上
げるためには治具盤へのワークの固定は所定の熟練を要
していた。
【0006】さらに、ワーク自体に存在する製品のばら
つきに起因した誤差も存在していた。
【0007】また、対象とする精度がミクロン単位であ
るため、治具盤の保守などに関しても所定の工数を必要
としていた。
【0008】また、構成が簡単という反面、量産システ
ムとしての色合いは多少薄かった。さらに、各処理工程
は連続に行われ、本硬化工程は別設備であるなどのた
め、サイクルタイムの短縮に限界があった。
【0009】本発明は、上記のような課題に鑑みてなさ
れたものであって、その目的とするところは、ワークや
治具盤のばらつきによらず、コアスライダを高精度にマ
ウントすることができるコアスライダマウント装置およ
びコアスライダマウント方法を提供することにある。
【0010】本発明の上記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく、
本発明に係るコアスライダマウント装置は、少なくとも
1箇所以上の被接着部を有するサスペンションなどのワ
ークが治具盤を介してセットされ、上記ワークをXY軸
方向および回転方向に変位させ、所定位置に移送するテ
ーブルと、上記ワークの被接着部の所定箇所に光硬化性
の接着剤を塗布するディスペンサと、少なくとも1つ以
上のコアスライダを収容するコアスライダ収容部と、上
記コアスライダ収容部より抽出された上記コアスライダ
を吸着し、X軸方向(またはY軸方向)より挟み込み位
置合わせを行なう第1の位置合わせ爪を有するコアスラ
イダポジショナーと、上記コアスライダ収容部より抽出
された上記コアスライダを上記コアスライダポジショナ
ー上においてY軸方向(またはX軸方向)より挟み込み
位置合わせを行なう第2の位置合わせ爪および上記ディ
スペンサより塗布された上記接着剤にUV光線を照射す
るスポット照射部が装着され、上記コアスライダを上記
第2の位置合わせ爪により挟持すると共に、吸着してZ
軸方向に移送するコアマウントチャックと、上記テーブ
ルにセットされた上記ワークのワーク姿勢を光学的に認
識して得られるワーク姿認識情報に基づいて、上記ワー
クの被接着部と上記コアスライダとの位置合わせ誤差を
補正するワーク姿認識手段と、を具備したことを特徴と
している。
【0012】さらに、上記ディスペンサは、上記ワーク
姿認識手段からのワーク姿認識情報に基づいて、上記ワ
ークの被接着部の所定箇所に接着剤を塗布することを特
徴としている。
【0013】また、本発明に係るコアスライダマウント
装置は、少なくとも1箇所以上の被接着部を有するサス
ペンションなどのワークが治具盤を介してセットされ、
上記ワークをXY軸方向および回転方向に変位させ、所
定位置に移送するテーブルと、上記ワークの被接着部の
所定箇所に光硬化性の接着剤を塗布するディスペンサ
と、少なくとも1つ以上のコアスライダを収容するコア
スライダ収容部と、上記コアスライダ収容部より抽出さ
れた上記コアスライダを吸着し、X軸方向(またはY軸
方向)より挟み込み位置合わせを行なう第1の位置合わ
せ爪を有するコアスライダポジショナーと、上記コアス
ライダ収容部より抽出された上記コアスライダを上記コ
アスライダポジショナー上においてY軸方向(またはX
軸方向)より挟み込み位置合わせを行なうと共に、Z軸
方向に移送する第2の位置合わせ爪と、上記ディスペン
サより塗布された上記接着剤にUV光線を照射するスポ
ット照射部と、上記ワークおよび上記コアスライダの姿
勢を光学的に同一視野で認識して得られるワーク/コア
スライダ姿認識情報に基づいて、上記ワークの被接着部
と上記コアスライダとの位置合わせ誤差を補正するワー
ク/コアスライダ姿認識手段と、を具備したことを特徴
としている。
【0014】さらに、本発明に係るコアスライダマウン
ト方法は、テーブル上に治具盤を介してワークをセット
する工程と、上記テーブルにセットされた上記ワークの
ワーク姿勢を光学的に認識し、ワーク姿認識情報を得る
工程と、上記ワークの被接着部の所定箇所に接着剤を塗
布する工程と、コアスライダをコアスライダポジショナ
ーに吸着し、上記コアスライダを第1および第2の位置
合わせ爪によりX軸方向およびY軸方向より挟み込み位
置合わせを行なう工程と、上記コアスライダを上記第2
の位置合わせ爪で挟持したままコアマウントチャックに
より吸着移送すると共に、上記テーブル上の上記ワーク
を上記コアスライダの下方に移送する工程と、上記ワー
ク姿認識情報に基づいて、上記ワークの被接着部と上記
コアスライダとの位置合わせ誤差を補正する工程と、上
記コアスライダを上記接着剤を介して上記ワークの被接
着部に押し付けながらUV照射し上記接着剤を仮硬化さ
せる工程と、を含むことを特徴としている。
【0015】また、本発明に係るコアスライダマウント
方法は、テーブル上に治具盤を介してワークをセットす
る工程と、上記ワークの被接着部の所定箇所に接着剤を
塗布する工程と、コアスライダをコアスライダポジショ
ナーに吸着し、上記コアスライダを第1および第2の位
置合わせ爪によりX軸方向およびY軸方向より挟み込み
位置合わせを行なう工程と、上記コアスライダを上記第
2の位置合わせ爪で挟持したまま移送すると共に、上記
テーブル上の上記ワークを上記コアスライダの下方に移
送する工程と、上記ワークおよび上記コアスライダの姿
勢を光学的に同一視野で認識し、ワーク/コアスライダ
姿認識情報を得る工程と、上記ワーク/コアスライダ姿
認識情報に基づいて、上記ワークの被接着部と上記コア
スライダとの位置合わせ誤差を補正する工程と、上記コ
アスライダを上記接着剤を介して上記ワークの被接着部
に押し付けながらUV照射し上記接着剤を仮硬化させる
工程と、を含むことを特徴としている。
【0016】従って、本発明は、コアスライダを第1お
よび第2の位置合わせ爪によりXY軸方向より挟み込み
位置合わせを行なうと共に、ワークテーブルにセットさ
れたワークのワーク姿認識情報に基づいて、ワークの被
接着部とコアスライダとの位置合わせ誤差を補正した
後、コアスライダをマウントするので、コアスライダの
機械的な位置調整に加えて、ワークの被接着部の画像認
識による総合的な位置合わせが行なえ、コアスライダの
マウントの精度が向上する。
【0017】さらに、コアスライダを第2の位置合わせ
爪で挟持したままコアマウントチャックにより吸着する
ので、コアスライダポジショナーでのコアスライダの受
渡し時に生じる位置ずれが回避され、コアスライダのマ
ウント精度の向上に寄与される。
【0018】また、ワークおよびコアスライダの姿勢を
光学的に同一視野で認識できるワーク姿認識手段を設け
ることにより、ワーク/コアスライダ姿認識情報に基づ
いて、ワークの被接着部とコアスライダとの位置合わせ
誤差が補正されるので、コアスライダのマウント精度が
飛躍的に向上する。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。実施の形態を説明するに当
たって、同一機能を奏するものは同じ符号を付して説明
する。
【0020】図1は、本発明の実施の形態に係るコアス
ライダマウント装置の正面図、図2は、本発明の実施の
形態に係るコアスライダマウント装置の側面図、図3
は、本発明の実施の形態に係るコアスライダマウント装
置におけるコアマウントチャックの正面図、図4は、本
発明の実施の形態に係るコアスライダマウント装置にお
けるコアスライダポジショナーの平面図である。
【0021】図1に示すコアスライダマウント装置は、
脚ベース1上の作業者側に少なくとも1箇所以上の被接
着部を有するサスペンションなどのワークを搬入、搬出
するためのワーク入替部2が設けられている。
【0022】ワーク入替部2より下流側には、ワークが
治具盤3を介してセットされ、ワークをXY軸方向およ
び回転方向に移送するワークテーブル4が配設され、こ
のワークテーブル4上には、ワークを固定するワークク
ランパ5が設けられている。
【0023】また、ワークテーブル4の上方には、ワー
クの被接着部の所定箇所に光硬化性の接着剤を塗布する
ディスペンサ6とワークテーブル4にセットされたワー
クのワーク姿勢を光学的に認識して得られるワーク姿認
識情報に基づいて、ワークの被接着部とコアスライダS
(図3参照)との位置合わせ誤差を補正するワーク姿認
識手段に相当する光学カメラ7が配設されている。な
お、ディスペンサ6は、ワーク姿認識手段からのワーク
姿認識情報に基づいて、ワークの被接着部の端部に接着
剤を塗布するようになっている。
【0024】また、脚ベース1上のワーク入替部2とは
反対側には、コアスライダSが所定数整然と収容された
コアスライダ収容部8が設けられ、このコアスライダ収
容部8は、コアテーブル9によりXY軸方向に移動可能
になっている。
【0025】コアスライダ収容部8の近傍には、コアス
ライダ収容部8より抽出されたコアスライダSを吸着
し、X軸方向(またはY軸方向)より挟み込み位置合わ
せを行なう第1の位置合わせ爪10を有するコアスライ
ダポジショナー11が設けられている。
【0026】コアスライダポジショナー11の上方に
は、コアマウントチャック14が設けられ、このコアマ
ウントチャック14には、コアスライダ収容部8より抽
出されたコアスライダSをコアスライダポジショナー1
1上においてY軸方向(またはX軸方向)より挟み込み
位置合わせを行なう第2の位置合わせ爪12およびディ
スペンサ6より塗布された接着剤にUV光線を照射する
スポット照射部13が装着され、コアスライダSを第2
の位置合わせ爪12により挟持すると共に、吸着してZ
軸方向に移送するようになっている。なお、スポット照
射部13は接着面から所定角度隔てて2台設置されてい
る。また、図中、15はモニターを示す。
【0027】次に、かかるコアスライダマウント装置を
用いたコアスライダマウント方法を述べる。
【0028】まず、作業者はワークを治具盤3にセット
する。治具盤3をリフター(図示略す)で上昇させ、ワ
ークテーブル4上に載せる。
【0029】ワーククランパ5を下降させてワークを固
定する。ワークテーブル4にセットされたワークの有無
およびワーク姿勢を光学カメラ7で認識し、ワーク姿認
識情報を得る。
【0030】光学カメラ7からのワーク姿認識情報に基
づいて、ワークの被接着部の端部にディスペンサ6より
接着剤を塗布する。このとき、予め、ディスペンサ6に
より接着剤を捨て打ちする。
【0031】コアスライダSをコアスライダ収容部8よ
り抽出し、コアスライダポジショナー11に吸着する。
その後、コアスライダSを空気圧操作された第1および
第2の位置合わせ爪10,12によりXY軸方向より挟
み込み位置合わせを行なう。
【0032】その後、コアスライダSを第2の位置合わ
せ爪12で挟持したままコアマウントチャック14によ
り吸着し上方に移送すると共に、ワークテーブル4上の
ワークをコアスライダSの下方に移送する。
【0033】光学カメラ7からのワーク姿認識情報に基
づいて、ワークの被接着部とコアスライダSとの位置合
わせ誤差を補正する。
【0034】コアマウントチャック14によりコアスラ
イダSを接着剤を介してワークの被接着部に押し付けな
がらスポット照射部13よりUV照射し、接着剤を仮硬
化させる。この場合、対象となるコアスライダSの形状
や特性によりスポット照射部13の設置台数や照射角度
などが異なる。
【0035】しかる後、マウントが終了したワークはワ
ークテーブル4上に戻され、ワーク入替部2より搬出さ
れる。
【0036】このように、本実施の形態のコアスライダ
マウント装置によれば、コアスライダSを第1および第
2の位置合わせ爪10,12によりXY軸方向より挟み
込み位置合わせを行なうと共に、ワークテーブル4にセ
ットされたワークのワーク姿認識情報に基づいて、ワー
クの被接着部とコアスライダSとの位置合わせ誤差を補
正した後、コアスライダSをマウントするようにしたの
で、コアスライダSの機械的な位置調整に加えて、ワー
クの被接着部の画像認識による総合的な位置合わせが行
なえ、コアスライダSのマウントの精度が向上する。
【0037】さらに、コアスライダSを第2の位置合わ
せ爪12で挟持したままコアマウントチャック14によ
り吸着するので、コアスライダポジショナー11でのコ
アスライダSの受渡し時に生じる位置ずれが回避される
ので、コアスライダSのマウント精度がより向上する。
【0038】また、他の実施の形態のコアスライダマウ
ント装置として、第2の位置合わせ爪12に位置合わせ
機能に加え、コアスライダSをZ軸方向に移送する機能
を持たせることにより、スポット照射部13を除くコア
マウントチャック14を不要として、ワークおよびコア
スライダSの姿勢を同一視野で認識する光学カメラ7を
設けてもよい。
【0039】これによれば、ワークおよびコアスライダ
Sの姿勢が同一視野で認識され、これにより得られるワ
ーク/コアスライダ姿認識情報に基づいて、ワークの被
接着部とコアスライダSとの位置合わせ誤差を補正でき
るので、コアスライダSのマウント精度を飛躍的に向上
することができる。また、光学カメラ7をマウント後の
ワークの検査に用いることもできる。
【0040】
【発明の効果】以上の説明から理解されるように、本発
明は、コアスライダを第1および第2の位置合わせ爪に
よりXY軸方向より挟み込み位置合わせを行なうと共
に、ワークテーブルにセットされたワークのワーク姿認
識情報に基づいて、ワークの被接着部とコアスライダと
の位置合わせ誤差を補正した後、コアスライダをマウン
トするので、コアスライダの機械的な位置調整に加え
て、ワークの被接着部の画像認識による総合的な位置合
わせが行なえ、コアスライダのマウントの精度を向上す
ることができる。
【0041】さらに、コアスライダを第2の位置合わせ
爪で挟持したままコアマウントチャックにより吸着する
ので、コアスライダポジショナーでのコアスライダの受
渡し時に生じる位置ずれが回避され、コアスライダのマ
ウント精度の向上に寄与できる。
【0042】また、ワークおよびコアスライダの姿勢を
同一視野で認識できるワーク姿認識手段を設けることに
より、ワーク/コアスライダ姿認識情報に基づいて、ワ
ークの被接着部とコアスライダとの位置合わせ誤差を補
正できるようになるので、コアスライダのマウント精度
を飛躍的に向上することができる。
【0043】また、ワークを自動供給することにしたの
で、作業者は最初にワークを供給手段にセットするだけ
でよく、その後の作業の無人化および安全を確保するこ
とができる。また、作業者の熟練が必要なくなり、作業
者による精度のばらつきをなくすことができる。
【0044】また、装置の構成部品を上下方向に配設
し、複数の処理工程を平行して行なえるようにしたの
で、設備サイズが縮小化し、かつコンパクト化が可能と
なると共に、サイクルタイムを向上することができ、よ
り一層の生産性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態を示すコアスライダマウン
ト装置の正面図。
【図2】本発明の実施の形態を示すコアスライダマウン
ト装置の側面図。
【図3】本発明の実施の形態を示すコアスライダマウン
ト装置におけるコアマウントチャックの正面図。
【図4】本発明の実施の形態を示すコアスライダマウン
ト装置におけるコアスライダポジショナーの平面図。
【符号の説明】
1 脚ベース 2 ワーク入替部 3 治具盤 4 ワークテーブル 5 ワーククランパ 6 ディスペンサ 7 光学カメラ(ワーク姿認識手段) 8 コアスライダ収納部 9 コアテーブル 10 第1の位置合わせ爪 11 コアスライダポジショナー 12 第2の位置合わせ爪 13 スポット照射部 14 コアマウントチャック S コアスライダ

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも1箇所以上の被接着部を有す
    るサスペンションなどのワークが治具盤を介してセット
    され、上記ワークをXY軸方向および回転方向に変位さ
    せ、所定位置に移送するテーブルと、 上記ワークの被接着部の所定箇所に光硬化性の接着剤を
    塗布するディスペンサと、 少なくとも1つ以上のコアスライダを収容するコアスラ
    イダ収容部と、 上記コアスライダ収容部より抽出された上記コアスライ
    ダを吸着し、X軸方向(またはY軸方向)より挟み込み
    位置合わせを行なう第1の位置合わせ爪を有するコアス
    ライダポジショナーと、 上記コアスライダ収容部より抽出された上記コアスライ
    ダを上記コアスライダポジショナー上においてY軸方向
    (またはX軸方向)より挟み込み位置合わせを行なう第
    2の位置合わせ爪および上記ディスペンサより塗布され
    た上記接着剤にUV光線を照射するスポット照射部が装
    着され、上記コアスライダを上記第2の位置合わせ爪に
    より挟持すると共に、吸着してZ軸方向に移送するコア
    マウントチャックと、 上記テーブルにセットされた上記ワークのワーク姿勢を
    光学的に認識して得られるワーク姿認識情報に基づい
    て、上記ワークの被接着部と上記コアスライダとの位置
    合わせ誤差を補正するワーク姿認識手段と、 を具備したことを特徴とするコアスライダマウント装
    置。
  2. 【請求項2】 上記ディスペンサは、上記ワーク姿認識
    手段からのワーク姿認識情報に基づいて、上記ワークの
    被接着部の所定箇所に接着剤を塗布することを特徴とす
    る請求項1記載のコアスライダマウント装置。
  3. 【請求項3】 テーブル上に治具盤を介してワークをセ
    ットする工程と、 上記テーブルにセットされた上記ワークのワーク姿勢を
    光学的に認識し、ワーク姿認識情報を得る工程と、 上記ワークの被接着部の所定箇所に接着剤を塗布する工
    程と、 コアスライダをコアスライダポジショナーに吸着し、上
    記コアスライダを第1および第2の位置合わせ爪により
    X軸方向およびY軸方向より挟み込み位置合わせを行な
    う工程と、 上記コアスライダを上記第2の位置合わせ爪で挟持した
    ままコアマウントチャックにより吸着移送すると共に、
    上記テーブル上の上記ワークを上記コアスライダの下方
    に移送する工程と、 上記ワーク姿認識情報に基づいて、上記ワークの被接着
    部と上記コアスライダとの位置合わせ誤差を補正する工
    程と、 上記コアスライダを上記接着剤を介して上記ワークの被
    接着部に押し付けながらUV照射し上記接着剤を仮硬化
    させる工程と、 を含むことを特徴とするコアスライダマウント方法。
  4. 【請求項4】 少なくとも1箇所以上の被接着部を有す
    るサスペンションなどのワークが治具盤を介してセット
    され、上記ワークをXY軸方向および回転方向に変位さ
    せ、所定位置に移送するテーブルと、 上記ワークの被接着部の所定箇所に光硬化性の接着剤を
    塗布するディスペンサと、 少なくとも1つ以上のコアスライダを収容するコアスラ
    イダ収容部と、 上記コアスライダ収容部より抽出された上記コアスライ
    ダを吸着し、X軸方向(またはY軸方向)より挟み込み
    位置合わせを行なう第1の位置合わせ爪を有するコアス
    ライダポジショナーと、 上記コアスライダ収容部より抽出された上記コアスライ
    ダを上記コアスライダポジショナー上においてY軸方向
    (またはX軸方向)より挟み込み位置合わせを行なうと
    共に、Z軸方向に移送する第2の位置合わせ爪と、 上記ディスペンサより塗布された上記接着剤にUV光線
    を照射するスポット照射部と、 上記ワークおよび上記コアスライダの姿勢を光学的に同
    一視野で認識して得られるワーク/コアスライダ姿認識
    情報に基づいて、上記ワークの被接着部と上記コアスラ
    イダとの位置合わせ誤差を補正するワーク/コアスライ
    ダ姿認識手段と、 を具備したことを特徴とするコアスライダマウント装
    置。
  5. 【請求項5】 テーブル上に治具盤を介してワークをセ
    ットする工程と、 上記ワークの被接着部の所定箇所に接着剤を塗布する工
    程と、 コアスライダをコアスライダポジショナーに吸着し、上
    記コアスライダを第1および第2の位置合わせ爪により
    X軸方向およびY軸方向より挟み込み位置合わせを行な
    う工程と、 上記コアスライダを上記第2の位置合わせ爪で挟持した
    まま移送すると共に、上記テーブル上の上記ワークを上
    記コアスライダの下方に移送する工程と、 上記ワークおよび上記コアスライダの姿勢を光学的に同
    一視野で認識し、ワーク/コアスライダ姿認識情報を得
    る工程と、 上記ワーク/コアスライダ姿認識情報に基づいて、上記
    ワークの被接着部と上記コアスライダとの位置合わせ誤
    差を補正する工程と、 上記コアスライダを上記接着剤を介して上記ワークの被
    接着部に押し付けながらUV照射し上記接着剤を仮硬化
    させる工程と、 を含むことを特徴とするコアスライダマウント方法。
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CN116764912A (zh) * 2023-06-30 2023-09-19 常州铭赛机器人科技股份有限公司 Uv固化装置及其使用方法

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SG90188A1 (en) * 1999-11-01 2002-07-23 Ibm Method and tool for measurement of roll static attitude of sliders in a magnetic recording head stack assembly
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