JPH11168063A5 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH11168063A5 JPH11168063A5 JP1998267092A JP26709298A JPH11168063A5 JP H11168063 A5 JPH11168063 A5 JP H11168063A5 JP 1998267092 A JP1998267092 A JP 1998267092A JP 26709298 A JP26709298 A JP 26709298A JP H11168063 A5 JPH11168063 A5 JP H11168063A5
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- JP
- Japan
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- substrate
- movable body
- mask
- stage
- exposure apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10267092A JPH11168063A (ja) | 1997-09-19 | 1998-09-21 | ステージ装置、走査型露光装置及び露光方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27342097 | 1997-09-19 | ||
| JP9-273420 | 1997-09-19 | ||
| JP10267092A JPH11168063A (ja) | 1997-09-19 | 1998-09-21 | ステージ装置、走査型露光装置及び露光方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11168063A JPH11168063A (ja) | 1999-06-22 |
| JPH11168063A5 true JPH11168063A5 (enExample) | 2005-11-10 |
Family
ID=26547712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10267092A Withdrawn JPH11168063A (ja) | 1997-09-19 | 1998-09-21 | ステージ装置、走査型露光装置及び露光方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11168063A (enExample) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006203113A (ja) * | 2005-01-24 | 2006-08-03 | Nikon Corp | ステージ装置、ステージ制御方法、露光装置及び方法、並びにデバイス製造方法 |
| US8120304B2 (en) | 2008-12-12 | 2012-02-21 | Formfactor, Inc. | Method for improving motion times of a stage |
| JP2013042114A (ja) * | 2011-07-19 | 2013-02-28 | Canon Inc | 描画装置、及び、物品の製造方法 |
| CN112820682B (zh) * | 2021-01-08 | 2024-06-21 | 杭州长川科技股份有限公司 | 晶圆输送机构及晶圆测试设备 |
| JP7683294B2 (ja) * | 2021-04-19 | 2025-05-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板を搬送する装置、及び基板を搬送する方法 |
| JP7767587B2 (ja) * | 2022-04-14 | 2025-11-11 | Jswアクティナシステム株式会社 | 搬送装置、移載方法、搬送方法、及び半導体装置の製造方法 |
| CN120085519A (zh) * | 2025-05-08 | 2025-06-03 | 上海图双精密装备有限公司 | 扫描单元、扫描方法以及包括扫描单元的光刻设备 |
-
1998
- 1998-09-21 JP JP10267092A patent/JPH11168063A/ja not_active Withdrawn
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