JPH11162176A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

Info

Publication number
JPH11162176A
JPH11162176A JP9326809A JP32680997A JPH11162176A JP H11162176 A JPH11162176 A JP H11162176A JP 9326809 A JP9326809 A JP 9326809A JP 32680997 A JP32680997 A JP 32680997A JP H11162176 A JPH11162176 A JP H11162176A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
potential
semiconductor memory
transistors
memory device
sense amplifier
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP9326809A
Other languages
English (en)
Inventor
Shoichiro Kawashima
将一郎 川嶋
Isao Fukushi
功 福士
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujitsu Ltd filed Critical Fujitsu Ltd
Priority to JP9326809A priority Critical patent/JPH11162176A/ja
Priority to US09/199,271 priority patent/US6292418B1/en
Publication of JPH11162176A publication Critical patent/JPH11162176A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C7/00Arrangements for writing information into, or reading information out from, a digital store
    • G11C7/06Sense amplifiers; Associated circuits, e.g. timing or triggering circuits
    • G11C7/065Differential amplifiers of latching type
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/34Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices
    • G11C11/40Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors
    • G11C11/41Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using semiconductor devices using transistors forming static cells with positive feedback, i.e. cells not needing refreshing or charge regeneration, e.g. bistable multivibrator or Schmitt trigger
    • G11C11/413Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing, timing or power reduction
    • G11C11/417Auxiliary circuits, e.g. for addressing, decoding, driving, writing, sensing, timing or power reduction for memory cells of the field-effect type
    • G11C11/419Read-write [R-W] circuits

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Static Random-Access Memory (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明はセルデータの読み出し時間の短縮化
と低消費電力化を実現する半導体記憶装置を提供するこ
とを目的とする。 【解決手段】 半導体記憶装置のSRAMが有するセン
スアンプ24Aにおいて、クロスカップルするnMOS
トランジスタQ1、Q2のドレインに出力端子OUT
X、OUTZを接続し、ソースにセンスイネーブル信号
ENxで制御されるpMOSトランジスタP3、P4を
介してビット線BLX、BLZを接続する。これによ
り、トランジスタQ1、Q2がダイナミックラッチ及び
チャージトランスファゲートとして機能し、出力端子O
UTX、OUTZ及びビット線BLX、BLZをプリチ
ャージすると同時にセルリードも行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体記憶装置に
関し、より特定すれば、相補信号入力を増幅するダイナ
ミックラッチ式センスアンプを具備する半導体記憶装置
に関する。ここで、ダイナミックラッチ式センスアンプ
とは、記憶素子であるセルのデータ読み出し前に該セル
に繋がるビット線対の浮遊容量の電位を等しくしてお
き、セルのデータが読み出された時にフリップフロップ
形回路の働きにより、微小なビット線対の電位差を増幅
して、セルのデータを出力するものである。
【0002】近年、半導体記憶装置が使用される電子機
器等の高性能化に伴って、半導体記憶装置であるSRA
M等に対し、セルデータ読み出し時間の短縮と低消費電
力化の要求が強い。
【0003】
【従来の技術】図6乃至図8を用いて従来例を説明す
る。先ず、半導体記憶装置のSRAM(Static Ramdom
Access Memory )の全体構成を説明する。図6はSRA
Mの全体構成図を示す。SRAMは、データをスタティ
ックに保持する記憶素子(セル)がマトリクス状に配列
されたメモリセルアレー10、行アドレスバッファ1
2、行デコーダ14、ワードドライバ16、列アドレス
バッファ18、列デコーダ20、列選択スイッチ22、
センスアンプ24C、入出力データ制御回路26、チッ
プイネーブルバッファ28、ライトイネーブルバッファ
30、プリチャージ電源32C、タイミング発生回路3
3等を具備する。
【0004】行アドレス信号及び列アドレス信号はそれ
ぞれ行アドレスバッファ12及び列アドレスバッファ1
8に一時格納された後、行デコーダ14及び列デコーダ
20に出力される。両デコーダでデコードされた後は、
それぞれワードドライバ16及び列選択スイッチ22に
てメモリセルアレー10内のセルが選択され、当該セル
に対してデータの書き込み/読み出しが行われる。セン
スアンプ24は、この時読み出されたデータの信号を増
幅する機能を持つ。増幅された信号は、入出力データ制
御回路26からデータ出力される。
【0005】チップイネーブル信号は、メモリシステム
を複数のSRAMで構成する場合のSRAM選択信号で
あり、通常、SRAMの非選択時にはこの信号で内部の
全ての回路を遮断し、メモリシステムの消費電力を下げ
ている。また、ライトイネーブル信号は、メモリアレー
10へのデータの書き込み/読み出しを制御する外部入
力信号である。
【0006】チップイネーブル信号及びライトイネーブ
ル信号は、それぞれチップイネーブルバッファ28及び
ライトイネーブルバッファ30を介して入出力データ制
御回路26に出力される。プリチャージ電源32Cは、
センスアンプ24Cと接続され、プリチャージ時にセン
スアンプ24Cを所定の電位VCCH(プリチャージ電
圧)にする。
【0007】タイミング発生回路33は、当該SRAM
内の回路の動作タイミングを合わせるための基準信号を
発生させる回路である。SRAM外部からの同期信号を
基にしてタイミング発生回路33で発生した基準信号
は、各バッファやセンスアンプ24Cに与えられる。続
いて、上記従来例のSRAMが有するセンスアンプ24
Cについて図7及び図8を用いて説明する。
【0008】図7は、従来例のセンスアンプ24Cとメ
モリセルアレー内のビット線対BLX、BLZに繋がる
セルの1つ(セルC)を代表させて示したものである。
ここで、当該センスアンプ24CはnMOSトランジス
タQ1、Q2、Q3、Q4を有し、セルCは、pMOS
トランジスタP7、P8とnMOSトランジスタQ7、
Q8、Q9、Q10を有する。
【0009】プリチャージ電源32Cは、電位VCC−
PC(例えば、1.5V)をセンスアンプ24Cに与え
る。プリチャージ電源32Cに接続されているトランジ
スタP1、P2は、プリチャージ用のpMOSトランジ
スタである。トランジスタP1、P2のゲートには、図
6のタイミング発生回路33からプリチャージ制御信号
PCZが入るようになっている。
【0010】トランジスタQ1、Q2のゲートは互いに
相手側のドレインに接続されており、フリップフロップ
回路を形成している。また、トランジスタQ1、Q2の
ソースはそれぞれノードNX、NZに接続されている。
トランジスタQ3、Q4は、それぞれのソースがグラン
ド(以下「GND」とする)電位になっているプルダウ
ン用のnMOSトランジスタである。更に、Q5、Q6
は、チャージトランスファ用のnMOSトランジスタで
あり、ドレインはそれぞれ出力端子OUTX、OUTZ
に接続され、ソースはそれぞれビット線BLX、BLZ
に接続されている。
【0011】ここで、上記出力端子OUTX、OUTZ
は図1の入出力データ制御回路26に接続されている。
また、トランジスタQ3、Q4のゲートには、図6のタ
イミング発生回路33からセンスイネーブル信号ENx
が入り、トランジスタQ5、Q6のゲートには図6の列
デコーダ20からコラム選択信号CLxが入るようにな
っている。
【0012】pMOSトランジスタP5、P6のゲート
には図6のタイミング発生回路33からビット線リセッ
ト信号BLRSTが入る。このビット線リセット信号B
LRSTの電位がGND時にトランジスタP5、P6が
オンになり、ビット線BLX、BLZが電位VCCにリ
セットされる。一方、セルCは、フリップフロップを構
成するトランジスタP7、Q7、P8、Q8と書き込み
/読み出し用のnMOSトランジスタQ9、Q10から
構成される。ワード線(Word−Line)からの信
号がトランジスタQ9、Q10のゲートに入ることで、
トランジスタQ9、Q10がオンとなり、ビット線BL
X又は、BLZの電位がフリップフロップ回路内の状態
に応じて引き下げられることで、データの読み出しが行
われる。そして、このビット線の電位差がセンスアンプ
24Cで増幅される。また、トランジスタQ9、Q10
を通じて大振幅のビット線電位差を与えることでセルC
のフリップフロップに書き込みが行われる。
【0013】センスアンプ24Cは、スタンバイ(ST
AND−BY)期間の後、プリチャージ(PRE−CH
ARGE)期間にビット線対BLX、BLZの浮遊容量
を充電する。その後セルリード(CELL−READ)
期間にワード線の信号がセルCに入り、セルのデータが
読み出される。そして、読み出されたデータがセンス
(SENSE)期間にセンスアンプ24Cにより増幅さ
れる。
【0014】図8は、上記サイクルの動作において、図
7で示す回路の要所及び回路に入る信号の電位の変化を
示すタイミング図である。以下、図8を参照して図7の
センスアンプ24Cの動作説明を行う。スタンバイ期間
において、プリチャージ制御信号PCZの電位がGND
レベルであり、プリチャージ用のpMOSトランジスタ
P1、P2はオンである。従って、出力端子OUTX、
OUTZは電位VCCHにプリチャージされる。
【0015】スタンバイ期間の後のプリチャージ期間で
は、ビット線BLX、BLZを電位VCCにリセットす
る電位VCC(ハイレベル)のビット線リセット信号B
LRSTがpMOSトランジスタP5、P6のゲートに
入り、トランジスタP5、P6をOFF状態とする。ま
た、この時、ハイレベルである電位VCCH(>VC
C)のコラム選択信号CLxがnMOSトランジスタQ
5、Q6のゲートに入るので、トランジスタQ5、Q6
がオンになり、トランジスタP1、P2からトランジス
タQ5、Q6を介してビット線BLX、BLZまで充電
される。従って、ビット線BLX、BLZはプリチャー
ジされる。この時のビット線BLX、BLZの電位は、
トランジスタQ5、Q6のしきい電圧Vth分、VCC
Hよりも低い値である。
【0016】次にセルリード期間では、プリチャージ制
御信号PCZの電位をVCCH(ハイレベル)としてト
ランジスタP1、P2をオフにする。この時、ワード線
WLに電位VCCH(ハイレベル)の信号が入ると、セ
ルCのアクセスゲートQ9又はQ10に電流が流れて、
ビット線対の片方の電位(例えば、ビット線BLZ)が
下げられる。
【0017】ビット線BLZの電位が低下するとソース
をビット線BLZに接続しているトランジスタQ6のゲ
ート・ソース間電圧VGSは、VGS>Vthとなるの
でトランジスタQ6はオンとなる。トランジスタQ6が
オンとなることで、電位的にフローティング状態になっ
ていたトランジスタQ6のドレイン(OUTZ)が低下
する。一方、この時のトランジスタQ5のゲート・ソー
ス間電圧VGSは、Vth程度なのでトランジスタQ5
はほぼオフである。従って、出力端子OUTXは、先に
プリチャージされた電位VCCHを保つ。
【0018】このセルリードにより出力端子OUTX、
OUTZの電位差は、トランジスタQ1、Q2のしきい
電圧Vthの差(0.1V程度)以上になる。次にセン
ス(SENSE)期間では、プルダウン用のnMOSト
ランジスタQ3、Q4のゲートに電位VCC(ハイレベ
ル)のセンスイネーブル信号ENxが入り、トランジス
タQ3、Q4をオンにする。この時、コラム選択信号C
Lxの電位はGNDとして、トランジスタQ5、Q6を
オフにすることによりビット線BLX、BLZを電気的
に切り離す。
【0019】一方、先にセルリード期間において、出力
端子OUTXとOUTZの電位差は、トランジスタQ
1、Q2のしきい電圧Vth以上になっているので、セ
ンス期間にトランジスタQ3、Q4がオンになると、ト
ランジスタQ1、Q2からなるダイナミックラッチが活
性化して、出力端子OUTZ、トランジスタQ2、トラ
ンジスタQ4の経路で電流が流れて、出力端子OUTZ
はGND電位に低下する。そして、ゲート電圧が低下す
るのでトランジスタQ1はオフのままであり、出力端子
OUTXの電位は保たれる。
【0020】上記のように、このセンスアンプ24C
は、ビット線BLX、BLZをプリチャージすることで
トランジスタQ5、Q6のゲート・ソース間電圧VGS
をそれぞれのしきい電圧Vth程度にしておき、且つ、
フリップフロップ回路を用いて出力端子OUTX、OU
TZの電位差をトランジスタQ1、Q2のしきい電圧V
th以上に開かせた後に電位をラッチするのでトランジ
スタQ1とQ2及びQ5とQ6のしきい電圧Vthの差
が補正される回路になっている。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来例ではプ
リチャージ期間において、コラム選択信号CLxの電位
をハイレベルにしてQ5、Q6のチャージトランスファ
ゲートをオンにしてビット線BLX、BLZをプリチャ
ージするまでに10ns程度の時間を要していた。従っ
て、全体の動作時間の短縮化の妨げになっていた。ま
た、プリチャージ電源32Cの電位は常にVCCH(>
VCC)であるのため、チャージトランスファゲートQ
5、Q6が閉じているスタンバイ及びセンス期間におい
ても、出力端子OUTX、OUTZとビット線BLX、
BLZとの電位差により、微小なリーク電流が発生して
本半導体記憶装置が余計な電力を消費するという問題も
あった。
【0022】従って、本発明の第一の課題は、セルデー
タの読み出し時間の短縮化を可能とするセンスアンプを
有する半導体記憶装置を提供することである。また、本
発明の第二の課題は、プリチャージ電源の電圧をセンス
アンプの動作局面に応じて制御して、リーク電流の発生
を防止することにより、電力消費量の少ないセンスアン
プを有する半導体記憶装置を提供することである。
【0023】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明では、次に述べる各手段を講じたことを特徴と
するものである。請求項1記載の発明では、ダイナミッ
クラッチ式のセンスアンプを有する半導体記憶装置にお
いて、前記センスアンプは、電位の保持又は開放を行う
ダイナミックラッチと、ビット線との電荷の授受を行う
チャージトランスファゲートとを同一のトランジスタ
(Q1、Q2)で構成し、前記ビット線の電位を高める
プリチャージ時に、前記ビット線に接続された記憶素子
であるセルのデータの読出しを同時に行うことを特徴と
するものである。
【0024】また、請求項2記載の発明では、請求項1
記載の半導体記憶装置において、前記プリチャージ時に
は前記ビット線にプリチャージ電位を与え、それ以外の
時には前記ビット線に前記プリチャージ電位よりも低い
所定のビット線電位を与える電源を有することを特徴と
するものである。
【0025】また、請求項3記載の発明では、請求項1
又は2記載の半導体記憶装置において、前記共通のトラ
ンジスタQ1、Q2は、ビット線対に対しクロスカップ
ル構成の2つのトランジスタからなることを特徴とする
ものである。また、請求項4記載の発明では、記憶素子
であるセルのデータを増幅するダイナミックラッチ式の
センスアンプを有する半導体記憶装置において、前記セ
ンスアンプは、第1及び第2のnチャネルトランジスタ
を有し、第1及び第2のnチャネルトランジスタのドレ
インはそれぞれセンスアンプの第1及び第2の出力端子
に接続され、ゲートはそれぞれ第2及び第1の出力端子
に接続され、ソースはそれぞれ第1及び第2のビット線
に結合することを特徴とするものである。
【0026】また、請求項5記載の発明では、請求項4
記載の半導体記憶装置において、前記センスアンプは、
更に第3及び第4のnチャネルトランジスタを有し、第
3及び第4のnチャネルトランジスタのゲートはそれぞ
れ共通の制御信号を受け取り、ドレインはそれぞれ第1
及び第2のnチャネルトランジスタのソースに接続さ
れ、ソースはそれぞれ所定電位点に接続されていること
を特徴とするものである。
【0027】また、請求項6記載の発明では、請求項4
又は5記載の半導体記憶装置において、前記センスアン
プは、更に第1及び第2のpチャネルトランジスタを有
し、前記第1及び第2のpチャネルトランジスタのゲー
トはそれぞれ前記共通の制御信号を受け取り、ソースは
それぞれ前記第1及び第2のnチャネルトランジスタの
ソースに接続され、ドレインはそれぞれ前記第1及び第
2のビット線に接続されることを特徴とするものであ
る。
【0028】また、請求項7記載の発明では、請求項4
又は5記載の半導体記憶装置において、前記センスアン
プは、更に第1及び第2のpチャネルトランジスタを有
し、前記第1及び第2のpチャネルトランジスタのゲー
トはそれぞれ共通のコラム選択信号を受け取り、ソース
はそれぞれ前記第1及び第2のnチャネルトランジスタ
のソースに接続され、ドレインはそれぞれ前記第1及び
第2のビット線に接続されることを特徴とするものであ
る。
【0029】また、請求項8記載の発明では、請求項4
乃至7のいずれか一項記載の半導体記憶装置において、
更に第3及び第4のpチャネルトランジスタを有し、前
記第3及び第4のpチャネルトランジスタのゲートはそ
れぞれ共通のプリチャージ制御信号を受け取り、ソース
は所定の電源に接続され、ドレインはそれぞれ前記第1
及び第2の出力端子に接続されることを特徴とするもの
である。
【0030】更に、請求項9記載の発明では、請求項1
乃至8のいずれか一項記載の半導体記憶装置において、
前記セルはSRAMセルであることを特徴とするもので
ある。上記の各手段は、次のように作用する。請求項1
記載の発明によれば、プリチャージとセルリードを同時
に行うので、全体のデータ読み出し時間を短縮すること
が可能になる。
【0031】また、請求項2記載の発明によれば、プリ
チャージ期間以外は、センスアンプにビット線と同電位
が与えられるので、リーク電流の発生を防止することが
可能になる。更に、請求項3乃至9記載の発明によれ
ば、プリチャージとセルリードを同時に行うことのでき
る構成のセンスアンプを有する半導体記憶装置を提供す
ることができる。
【0032】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面と共に説明する。本発明の第一実施例の原理は、
半導体記憶装置の一種であるSRAM(StaticRamdom A
ccess Memory )内のビット線に現れる電位変化を増幅
するためのダイナミックラッチ式センスアンプの2つの
トランジスタがプリチャージ用のトランジスタと電位ラ
ッチ用のクロスカップルトランジスタとを兼ねる構成と
し、ビット線へのチャージと同時にセルデータの読み込
みを行い、動作サイクルを高速化することである。
【0033】ここで、本発明に係る半導体記憶装置の全
体構成は、センスアンプとプリチャージ電源以外は従来
例の図6を用いて説明したものと同様なので説明を省略
する。先ず、本発明の第一実施例の半導体記憶装置が有
するセンスアンプ24Aを図1乃至図5を用いて説明す
る。
【0034】図1は、センスアンプ24Aとビット線対
BLX、BLZにつながるセルAの1つを代表させて示
したものである。ここで、本センスアンプ24Aは、n
MOSトランジスタQ1、Q2、Q3、Q4を有し、セ
ルAは、pMOSトランジスタP7、P8とnMOSト
ランジスタQ7、Q8、Q9、Q10とを有する。
【0035】プリチャージ電源32Aは、VCC−PC
(例えば、1.5V)の電位をセンスアンプ24Aに与
える。プリチャージ電源32Aに接続されているトラン
ジスタP1、P2は、プリチャージ用のpMOSトラン
ジスタである。トランジスタP1、P2のゲートには、
図6のタイミング発生回路33からプリチャージ制御信
号PCZが入るようになっている。
【0036】Q1、Q2は、nMOSトランジスタであ
り、それぞれのゲートは互いに相手側のドレインに接続
されており、ソースはそれぞれノードNX、NZに接続
されている。このトランジスタQ1、Q2はダイナミッ
クラッチとして機能する。また、P3、P4は、コラム
選択用のpMOSトランジスタである。このP3、P4
はビット線対BLX、BLZへのトランスファゲートと
して機能する。
【0037】更に、トランジスタQ3、Q4は、それぞ
れのソースがグランド(以下「GND」とする)電位に
なっているプルダウン用のnMOSトランジスタであ
る。トランジスタP3、P4、Q3、Q4のゲートに
は、図6のタイミング発生回路33からセンスイネーブ
ル信号ENxが入るようになっている。また、トランジ
スタP3、P4のドレインにはそれぞれビット線BL
X、BLZが接続されている。
【0038】OUTX、OUTZは出力端子であり、セ
ンスアンプ24Aで増幅されたデータがこの出力端子O
UTX、OUTZに出力されていく。上記のように、本
発明のセンスアンプ24AのトランジスタQ1、Q2は
電位ラッチ用と共にプリチャージ用としても機能するの
で、従来例よりも少ないトランジスタ数で回路を構成す
ることができる。また、本センスアンプ24Aはトラン
ジスタQ3、Q4、P3、P4のゲートに同一の信号が
入る構成なので、単一の信号で出力端子電圧のプルダウ
ンとビット線の切り離しを同時に行うことができる。
【0039】一方、セルAは、フリップフロップを構成
するトランジスタP7、Q7、P8、Q8と書き込み/
読み出し用のトランジスタQ9、Q10から構成され
る。ワード線(Word−Line)からの信号がトラ
ンジスタQ9、Q10のゲートに入ることで、トランジ
スタQ9、Q10がオンとなり、ビット線BLX又は、
BLZの電位がフリップフロップ回路内の状態に応じて
引き下げられることで、データの読み出しが行われる。
また、トランジスタQ9、Q10を通じて大振幅のビッ
ト線電位差を与えることでセルAのフリップフロップに
書き込みが行われる。
【0040】センスアンプ24Aは、スタンバイ(ST
AND−BY)期間の後、ビット線対BLX、BLZの
浮遊容量を充電するプリチャージ(PRE−CHARG
E)と、セルのデータを読み出すセルリード(CELL
−READ)を同時に行う。そして、読み出されたデー
タがセンス(SENSE)期間にセンスアンプ24Aに
より増幅される。
【0041】図2は、上記サイクルの動作において、図
1で示す回路の要所及び回路に入る信号の電位の変化を
示すタイミング図である。以下、図2を参照して図1の
センスアンプ24Aの動作説明を行う。スタンバイ期間
において、出力端子OUTX、OUTZ、ビット線BL
X、BLZ、ノードNX、NZの電位はVCC(例え
ば、1V)であるとする。
【0042】先ず、プリチャージ及びセルリード期間に
おいて、プリチャージ用のpMOSトランジスタP1、
P2のそれぞれのゲートに入るプリチャージ制御信号P
CZ信号の電位が0V(GND)になる。この時、トラ
ンジスタP1、P2がオンとなり、トランジスタP1、
P2のソースからドレインに電流が流れてトランジスタ
P1、P2のドレイン側に接続されている出力端子OU
TX、OUTZを電位VCCPC(>VCC)にプリチ
ャージする。
【0043】出力端子OUTX、OUTZが電位VCC
PCにプリチャージされた状態では、トランジスタQ
1、Q2がソースフォロアとして作用するので、それら
のソースにあるノードNX、NZの電位は、プリチャー
ジ電源電圧VCCPCよりもトランジスタQ1、Q2の
しきい電圧Vth分下がった値である。従って、この時
センスイネーブル信号ENxの電位がGNDでトランジ
スタP3、P4のコラム選択ゲートがオンで導通してい
れば、ビット線BLX、BLZがプリチャージされ、通
常のnMOSビット線ロードとして機能する。
【0044】従って、ワード線からの電位VCCPC
(ハイレベル)の信号がセルAに入り、当該セルAが選
択されると、セルAのデータに従って、ビット線対のい
ずれかのビット線(例えば、BLZ)がセル電流により
GNDに引かれ電位が低下する。ビット線BLZの電位
が低下することにより、ノードNZの電位もノードNX
より低い値になる。
【0045】ここで、トランジスタQ1とトランジスタ
Q2のしきい電圧Vthが異なっている場合、セル電流
が無い時は、プリチャージ終了時のノードNXとノード
NZのそれぞれのプリチャージ電圧は違う値である。し
かし、トランジスタQ1、Q2共にそのソースはそれぞ
れのしきい電圧Vthだけ低い電位まで充電されている
ので、例えば、セル電流が通った側のトランジスタQ2
はゲート・ソース間電圧VGS>Vthなのでオンとな
る。従って、プリチャージされたノードNX、NZの電
位が異なっても、トランジスタQ1、Q2のオン、オフ
はセル電流の引く方に対応して決まり、しきい電圧Vt
hがアンバランスでも補正動作が行わることになる。
【0046】次にセンス(SENSE)期間において、
トランジスタP1、P2のゲートに入るプリチャージ制
御信号PCZの電位をハイレベルにすると、トランジス
タP1、P2がOFFとなり、出力端子OUTX、OU
TZへのプリチャージが切られる。ここで例えば、ビッ
ト線BLZのデータがセルAに引き込まれて、ビット線
BLZ、ノードNZの方が、ビット線BLX、ノードN
Xより若干電位が低い時、トランジスタQ2のゲート・
ソース間の電位差VGSがトランジスタQ2のしきい電
圧Vthより大きいため、出力端子OUTZからトラン
ジスタQ2を経て、ノードNZへ電流が流れて、出力端
子OUTZの電位は急速に低下してトランジスタQ2の
ソースと同電位になる。
【0047】出力端子OUTZの電位が下がり、トラン
ジスタQ2のソースと同電位になった時、トランジスタ
Q1のゲートは出力端子OUTZに接続されているの
で、出力端子OUTZ同様に電位が降下する。従って、
トランジスタQ1のゲート・ソース間の電位差がしきい
電圧Vth以下になり、トランジスタQ1はオフとなる
ので出力端子OUTXからトランジスタQ1を経て、ノ
ードNXへ電流が流れない。この結果、トランジスタQ
1のドレイン側の出力端子OUTXは、プリチャージ電
位VCCPCをほぼ維持する(ただし、トランジスタQ
1とトランジスタQ2は、コンデンサ的にゲートカップ
リングになっているので、若干の電位低下は起こる)。
この時の出力端子OUTXと出力端子OUTZとの電位
差は、しきい電圧Vth程度である。
【0048】更にセンス期間において、電位VCC(ハ
イレベル)のセンスイネーブル信号ENxがプルダウン
用のnMOSトランジスタQ3、Q4のゲートに入るの
で、トランジスタQ3、Q4がONになり、ノードNZ
から電流がGNDに流れることにより出力端子OUTZ
の電位が急速にGNDまで低下する。一方、トランジス
タQ1は、そのゲート電位が出力端子OUTZの電位の
低下に伴って低下するので、オフのままである。従っ
て、トランジスタQ1のドレインからソースに電流は流
れず、出力端子OUTXの電位は低下しない。
【0049】プリチャージ制御信号PCZの電位がハイ
レベルに戻された時と同時か若干遅れたタイミングで、
ワード線の電位はGNDレベルに戻され、セル電流の電
力消費が止められる。上記のような動作を経て、出力端
子OUTXの電位はVCCより若干高い、例えば1.2
Vになり、出力端子OUTZの電位はトランジスタQ
2、Q4がオンになるためGND電位になる。従って、
セル電流によって生じたビット線BLXとビット線BL
Zとの微小な電位差は、トランジスタQ1、Q2のダイ
ナミックラッチ動作により、増幅されたことになる。
【0050】また、センス期間において、センスイネー
ブル信号ENxの電位がハイレベルであるVCCにな
り、トランジスタP3、P4をオフにして、ビット線B
LX、BLZを電気的に切断して電位を変化させないよ
うにしている。このような動作をすることで、大きなビ
ット線負荷容量が切り離され、ビット線電位変動を防止
し、且つラッチ動作の高速化と消費電力の低減を実現し
ている。
【0051】プリチャージとセルリードとを同時に行う
ので、その間は若干のリーク電流が発生するが、トラン
ジスタQ1、Q2が共にしきい電圧Vth付近で動作す
るので、リーク電流量はごくわずかであり、セル電流の
大半がノードNX、NZの電位低下に使用される回路構
成になっている。上記のように、本センスアンプ24A
は、プリチャージと同時にセルリードを行っているの
で、読み出し時間の短縮を実現している。
【0052】続いて、本発明の第二実施例を図3乃至図
5を用いて説明する。ここで、本発明に係る半導体記憶
装置の全体構成は、センスアンプとプリチャージ電源以
外は従来例の図6を用いて説明したものと同様なので説
明を省略する。また、セルBの構成もセルA及びセルC
と同様なので説明を省略する。本第二実施例のセンスア
ンプ24Bは、第一実施例のセンスアンプにおいて、ト
ランジスタP3、P4のコラム選択ゲートに入る信号を
コラム選択信号CLzとし、センスイネーブル信号EN
xで制御されるプルダウン用トランジスタQ3、Q4と
は制御信号を分けている。
【0053】更に、プリチャージ電源32Bは、プリチ
ャージ期間及びセルリード期間のみセンスアンプに電位
VCCよりも高い電位VCCH(例えば、1.5V)を
与え、それ以外の期間は、電位VCC(例えば1.0
V)を与える構成とする。センスアンプ24Bは、セン
スアンプ24Aと同様、スタンバイ(STAND−B
Y)期間の後、ビット線対BLX、BLZの浮遊容量を
充電するプリチャージ(PRE−CHARGE)と、セ
ルのデータを読み出すセルリード(CELL−REA
D)を同時に行う。そして、読み出されたデータがセン
ス(SENSE)期間にセンスアンプ24Bにより増幅
される。
【0054】図4は、上記サイクルの動作において、図
3で示す回路の要所及び回路に入る信号の電位の変化を
示すタイミング図である。以下、図4を参照して図3の
センスアンプ24Bの動作説明を行う。スタンバイ期間
において、プリチャージ電源32B、ビット線BLX、
BLZ、コラム選択信号CLzの電位はVCC(ハイレ
ベル)である。また、ビット線制御信号BLRST、セ
ンスイネーブル信号ENx、ワード線WLの電位はGN
Dであり、プリチャージ制御信号PCZの電位はVCC
H(ハイレベル)なのでトランジスタP1、P2は共に
オフである。
【0055】ここで、プリチャージ電源32Bとビット
線BLX、BLZは等電位なので、トランジスタP1、
Q1、P3及びトランジスタP2、Q2、P4の経路で
リーク電流が発生することが防止されている。。プリチ
ャージ及びセルリード期間において、プリチャージ制御
信号PCZの電位がGNDレベルに落とされるので、プ
リチャージ用pMOSP1、P2はオンとなる。この
時、電位がVCCHとなるプリチャージ電源32Bから
電流が流れ、出力端子OUTX、OUTZの電位をVC
CHにプリチャージする。
【0056】出力端子OUTX、OUTZが電位VCC
Hにプリチャージされた状態では、トランジスタQ1、
Q2がソースフォロアとして作用するので、それらのソ
ース側にあるノードNX、NZの電位は、プリチャージ
電位VCCHよりもトランジスタQ1、Q2のしきい電
位Vth分下がった値である。従って、この時コラム選
択信号CLzの電位がGNDで、トランジスタP3、P
4がオンであれば、通常のnMOSビット線ロードとし
て機能する。そして、ワード線の電位がVCCHとな
り、当該セルが選択されると、セルのデータに従って、
ビット線BLS、BLZのいずれかのビット線(例え
ば、ビット線BLZ)がセル電流によりGNDに引か
れ、その電位が低下する。
【0057】次にトランジスタP1、P2のゲートに入
るプリチャージ制御信号PCZ信号の電位をVCCHに
すると、トランジスタP1、P2がオフとなり、出力端
子OUTX、OUTZへのプリチャージを切る。この時
のプリチャージ電源32Bの電位もVCCに下げられ
る。ここで例えば、ビット線BLZ及びノードNZの電
位の方がビット線BLX及びノードNXの電位より若干
低いとすると、トランジスタQ2のゲートとソースの電
位差がしきい電圧Vthより大きいため、出力端子OU
TZからトランジスタQ2のドレイン、ソースを経て、
ノードNZへ電流が流れる。従って、出力端子OUTZ
の電位は急速に低下してトランジスタQ2のソースと同
電位になる。
【0058】出力端子OUTZの電位が下がり、トラン
ジスタQ2のソースと同電位になった時、トランジスタ
Q1のゲートは出力端子OUTZに接続されているの
で、出力端子OUTZ同様に電位が降下する。このた
め、トランジスタQ2のゲートとソースの電位差がしき
い電圧Vth以下になり、トランジスタQ2はOFFと
なる。
【0059】従って、トランジスタQ1のドレイン側の
出力端子OUTXは、プリチャージ電位VCCHをほぼ
維持する(ただし、トランジスタQ1とトランジスタQ
2は、コンデンサ的にゲートカップリングになっている
ので、若干の電位低下は起こる)。この時、出力端子O
UTXと出力端子OUTZとの電位差は、しきい電圧V
th程度である。
【0060】更にこの時、センスイネーブル信号ENx
信号の電位がVCCであるとすると、プルダウン用nM
OSQ3、Q4がON状態になり、ノードNZから電流
がGNDに流れることにより出力端子OUTZの電位が
急速に低下する。一方、トランジスタQ1は、そのゲー
ト電位が出力端子OUTZの電位の低下に伴って低下す
るので、OFFのままである。従って、トランジスタQ
1のドレインからソースに電流は流れず、出力端子OU
TXの電位は低下しない。
【0061】上記のように、トランジスタQ1、Q2の
ダイナミック動作によって出力端子OUTXの電位はV
CCに維持され、出力端子OUTZの電位はGND電位
に変化させられる。同時にコラム選択信号CLz信号の
電位がVCCでトランジスタP3、P4のコラム選択ゲ
ートをOFFにして、ビット線BLX、BLZの電位を
引き下げないようにしている。
【0062】ここで、プリチャージとセルリードを同時
に行い、且つトランジスタP3、P4のコラム選択ゲー
トがOFFなので、大きなビット線負荷容量が切り離さ
れ、ビット線電位変動も防止し、ラッチ動作の高速化と
消費電力の低減が実現している。ここで、第一実施例の
回路において、トランジスタQ1、Q2を低電圧用のV
thの低い(例えば、0.2V)ものにして、ビット線
BLX、BLZを電位VCC(1.0V)、プリチャー
ジ電源電圧を1.5Vとすると、この回路のスタンバイ
期間には、P1、Q1、P3及びP2、Q2、P4の経
路で0.1μA程度のリーク電流が流れる。(トランジ
スタQ3、Q4は読み出し時間に影響しないので、Vt
h=0.4V程度のリーク電流の発生しないものを使用
することができる。) しかし、本発明の第二実施例の構成では、スタンバイ期
間とセンス期間において、プリチャージ電源32Bとビ
ット線BLX、BLZの電位は共にVCCで等電位にな
るので、トランジスタP1、Q1、P3及びトランジス
タP2、Q2、P4を流れるリーク電流が発生しない。
従って、半導体記憶装置の電力消費を防止している。
【0063】尚、上記のプリチャージ電源32Bの回路
は、例えば、図5に示すような構成とする。このプリチ
ャージ電源回路は、電位VCCHとVCCの発生源、電
源32B1と32B2を有し、いずれかの電源が選択さ
れ、出力端子から先に説明したセンスアンプ24Bに与
えられる。また、pMOSトランジスタP21とnMO
SトランジスタQ21とからなるインバータの出力側の
ノードn21は、pMOSトランジスタP24のゲート
に接続され、pMOSトランジスタP22とnMOSト
ランジスタQ22とからなるインバータの出力側のノー
ドn22は、pMOSトランジスタP23のゲートに接
続されている。
【0064】プリチャージ期間にプリチャージ制御信号
PCZ信号の電位がGNDレベルとなると、トランジス
タP21がオンになり、トランジスタP21を介してノ
ードn21と電源32B1がつながり、ノードn21の
電位はVCCHになる。この時、トランジスタP24は
オフである。従って、プリチャージ期間にノードn21
の電位がVCCH(ハイレベル)となると、トランジス
タQ22がオンとなり、ノードn22の電位は、GND
レベルとなる。この時、ノードn22がゲートに接続さ
れているトランジスタP23はオンになるので、プリチ
ャージ電源として電位VCCHがセンスアンプ24Bに
与えられる。
【0065】プリチャージでない期間は、プリチャージ
制御信号PCZがVCCH(ハイレベル)であり、トラ
ンジスタQ21がオンとなってノードn21の電位がG
NDレベルまで低下する。この時、トランジスタP22
がオンとなり、ノードn21の電位がGNDレベルとな
る。従って、トランジスタP22がオン、トランジスタ
P23がオフとなり、プリチャージ電源出力と電源32
B1の接続が切断される。一方、ノードn21の電位が
GNDレベルになることで、トランジスタP24がオン
になるので、電源32B2から電位VCCがセンスアン
プ24Bに与えられる。
【0066】尚、上記実施例において、第1及び第2の
nチャネルトランジスタがトランジスタQ1及びQ2に
対応し、第1及び第2の出力端子が出力端子OUTX及
びOUTZに対応し、第1及び第2のビット線がビット
線BLX及びBLZに対応する。また、第3及び第4の
nチャネルトランジスタがトランジスタQ3及びQ4に
対応し、共通の制御信号がセンスイネーブル信号ENx
に対応し、所定の電位点がGNDレベルに対応する。更
に、第1及び第2のpチャネルトランジスタがトランジ
スタP3及びP4に対応し、第3及び第4のpチャネル
トランジスタがトランジスタP1及びP2に対応し、所
定の電源がプリチャージ電源32A、32Bに対応す
る。
【0067】
【発明の効果】以上、説明してきたように、請求項1記
載の発明によれば、プリチャージと同時にセルリードも
行うので、読み出し時間の短縮化を可能とすることがで
きる。また、プリチャージとラッチ動作を兼ねるような
トランジスタの配置により、回路全体のトランジスタ数
を減らし、レイアウト面積を減らすことが可能となる。
【0068】また、請求項2記載の発明によれば、読み
出し時間の短縮化を図りつつ、リーク電流の発生を防止
し、電力消費量の低減を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一実施例のセンスアンプ24Aの回
路図である。
【図2】第一実施例の回路動作のタイミング図である。
【図3】本発明の第二実施例のセンスアンプ24Bの回
路図である。
【図4】第二実施例の回路動作のタイミング図である。
【図5】プリチャージ電源32Bの電圧発生回路図であ
る。
【図6】従来例の半導体記憶装置の全体構成図である。
【図7】従来例のセンスアンプ24Cの回路図である。
【図8】従来例の回路動作のタイミング図である。
【符号の説明】
10 メモリセルアレー 24A、24B、24C センスアンプ 32A、32B、32C プリチャージ電源 P1、P2 プリチャージ用pMOSトランジスタ Q1、Q2 nMOSトランジスタ P3、P4 pMOSトランジスタ Q3、Q4 プルダウン用nMOSトランジスタ PCZ プリチャージ制御信号 OUTX、OUTZ 出力端子 ENx センスイネーブル信号 BLX、BLZ ビット線

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ダイナミックラッチ式のセンスアンプを
    有する半導体記憶装置において、 前記センスアンプは、電位の保持又は開放を行うダイナ
    ミックラッチと、ビット線との電荷の授受を行うチャー
    ジトランスファゲートとを同一のトランジスタで構成
    し、 前記ビット線の電位を高めるプリチャージ時に、前記ビ
    ット線に接続された記憶素子であるセルのデータの読出
    しを同時に行うことを特徴とする半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の半導体記憶装置におい
    て、 前記プリチャージ時には前記ビット線にプリチャージ電
    位を与え、それ以外の時には前記ビット線に前記プリチ
    ャージ電位よりも低い所定のビット線電位を与える電源
    を有することを特徴とする半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2記載の半導体記憶装置に
    おいて、 前記共通のトランジスタは、ビット線対に対しクロスカ
    ップル構成の2つのトランジスタからなることを特徴と
    する半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】 記憶素子であるセルのデータを増幅する
    ダイナミックラッチ式のセンスアンプを有する半導体記
    憶装置において、 前記センスアンプは、第1及び第2のnチャネルトラン
    ジスタを有し、 第1及び第2のnチャネルトランジスタのドレインはそ
    れぞれセンスアンプの第1及び第2の出力端子に接続さ
    れ、ゲートはそれぞれ第2及び第1の出力端子に接続さ
    れ、ソースはそれぞれ第1及び第2のビット線に結合す
    ることを特徴とする半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】 請求項4記載の半導体記憶装置におい
    て、 前記センスアンプは、更に第3及び第4のnチャネルト
    ランジスタを有し、 第3及び第4のnチャネルトランジスタのゲートはそれ
    ぞれ共通の制御信号を受け取り、ドレインはそれぞれ第
    1及び第2のnチャネルトランジスタのソースに接続さ
    れ、ソースはそれぞれ所定電位点に接続されていること
    を特徴とする半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】 請求項4又は5記載の半導体記憶装置に
    おいて、 前記センスアンプは、更に第1及び第2のpチャネルト
    ランジスタを有し、 前記第1及び第2のpチャネルトランジスタのゲートは
    それぞれ前記共通の制御信号を受け取り、ソースはそれ
    ぞれ前記第1及び第2のnチャネルトランジスタのソー
    スに接続され、ドレインはそれぞれ前記第一及び第2の
    ビット線に接続されることを特徴とする半導体記憶装
    置。
  7. 【請求項7】 請求項4又は5記載の半導体記憶装置に
    おいて、前記センスアンプは、更に第1及び第2のpチ
    ャネルトランジスタを有し、 前記第1及び第2のpチャネルトランジスタのゲートは
    それぞれ共通のコラム選択信号を受け取り、ソースはそ
    れぞれ前記第1及び第2のnチャネルトランジスタのソ
    ースに接続され、ドレインはそれぞれ前記第1及び第2
    のビット線に接続されることを特徴とする半導体記憶装
    置。
  8. 【請求項8】 請求項4乃至6のいずれか一項記載の半
    導体記憶装置において、 更に第3及び第4のpチャネルトランジスタを有し、 前記第3及び第4のpチャネルトランジスタのゲートは
    それぞれ共通のプリチャージ制御信号を受け取り、ソー
    スは所定の電源に接続され、ドレインはそれぞれ前記第
    1及び第2の出力端子に接続されることを特徴とする半
    導体記憶装置。
  9. 【請求項9】 請求項1乃至8のいずれか一項記載の半
    導体記憶装置において、 前記セルはSRAMセルであることを特徴とする半導体
    記憶装置。
JP9326809A 1997-11-27 1997-11-27 半導体記憶装置 Withdrawn JPH11162176A (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9326809A JPH11162176A (ja) 1997-11-27 1997-11-27 半導体記憶装置
US09/199,271 US6292418B1 (en) 1997-11-27 1998-11-25 Semiconductor memory device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9326809A JPH11162176A (ja) 1997-11-27 1997-11-27 半導体記憶装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11162176A true JPH11162176A (ja) 1999-06-18

Family

ID=18191957

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9326809A Withdrawn JPH11162176A (ja) 1997-11-27 1997-11-27 半導体記憶装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6292418B1 (ja)
JP (1) JPH11162176A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011123612A (ja) * 2009-12-09 2011-06-23 Sanyo Electric Co Ltd メモリ制御装置

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002184188A (ja) * 2000-12-18 2002-06-28 Mitsubishi Electric Corp 半導体記憶装置
US6556471B2 (en) * 2001-06-27 2003-04-29 Intel Corporation VDD modulated SRAM for highly scaled, high performance cache
US6473349B1 (en) * 2001-11-29 2002-10-29 Motorola, Inc. Cascode sense AMP and column select circuit and method of operation
JP2004055099A (ja) * 2002-07-24 2004-02-19 Renesas Technology Corp 差動増幅回路およびそれを用いた半導体記憶装置
US6839258B2 (en) * 2003-05-12 2005-01-04 Micron Technology, Inc. Folded DRAM CAM cell
US7272061B2 (en) * 2005-01-24 2007-09-18 Intel Corporation Dynamic pre-charge level control in semiconductor devices
JP6106043B2 (ja) 2013-07-25 2017-03-29 ルネサスエレクトロニクス株式会社 半導体集積回路装置
KR20170013488A (ko) * 2015-07-27 2017-02-07 에스케이하이닉스 주식회사 반도체장치 및 반도체시스템
US10636470B2 (en) * 2018-09-04 2020-04-28 Micron Technology, Inc. Source follower-based sensing scheme
US10923185B2 (en) 2019-06-04 2021-02-16 Qualcomm Incorporated SRAM with burst mode operation

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4069474A (en) * 1976-04-15 1978-01-17 National Semiconductor Corporation MOS Dynamic random access memory having an improved sensing circuit
JPS6027113B2 (ja) * 1980-02-13 1985-06-27 日本電気株式会社 プリチャ−ジ装置
US4397003A (en) * 1980-06-02 1983-08-02 Mostek Corporation Dynamic random access memory
US4421996A (en) * 1981-10-09 1983-12-20 Advanced Micro Devices, Inc. Sense amplification scheme for random access memory

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011123612A (ja) * 2009-12-09 2011-06-23 Sanyo Electric Co Ltd メモリ制御装置

Also Published As

Publication number Publication date
US6292418B1 (en) 2001-09-18

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111863053B (zh) 灵敏放大器、存储器和灵敏放大器的控制方法
US4973864A (en) Sense circuit for use in semiconductor memory
US7447058B2 (en) Write margin of SRAM cells improved by controlling power supply voltages to the inverters via corresponding bit lines
US6181621B1 (en) Threshold voltage mismatch compensated sense amplifier for SRAM memory arrays
CN111933195A (zh) 灵敏放大器、存储器和灵敏放大器的控制方法
JP5321855B2 (ja) 半導体記憶装置
EP3926628B1 (en) Sense amplifier, memory, and data read-out method
US20220028436A1 (en) Sense amplifier, memory and method for controlling sense amplifier
CN111933194B (zh) 灵敏放大器、存储器和灵敏放大器的控制方法
CN111863050A (zh) 灵敏放大器、存储器和灵敏放大器的控制方法
JPH0917183A (ja) 半導体記憶装置
US5036492A (en) CMOS precharge and equalization circuit
JPH11162176A (ja) 半導体記憶装置
US6990034B2 (en) Static semiconductor memory device and method of controlling the same
US5936432A (en) High speed low power amplifier circuit
US6466501B2 (en) Semiconductor memory device having sense amplifier and method for driving sense amplifier
CN211788182U (zh) 灵敏放大器和存储器
US5305272A (en) Sense amplifier circuit
US7466613B2 (en) Sense amplifier for flash memory device
US5446694A (en) Semiconductor memory device
US5384504A (en) Sense amplifier powered from bit lines and having regeneratively cross-coupling means
CN114093400B (zh) 一种低漏电单比特存内计算单元及装置
US7142465B2 (en) Semiconductor memory
US10559346B2 (en) Bias-controlled bit-line sensing scheme for eDRAM
US5491661A (en) Semiconductor static random access memory device having previously equalizable memory cells

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20050201