JPH11160652A - 光学素子 - Google Patents
光学素子Info
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- JPH11160652A JPH11160652A JP33050097A JP33050097A JPH11160652A JP H11160652 A JPH11160652 A JP H11160652A JP 33050097 A JP33050097 A JP 33050097A JP 33050097 A JP33050097 A JP 33050097A JP H11160652 A JPH11160652 A JP H11160652A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 簡単な構成で異なる方向から入射される異な
る波長を有する二つの光を同一光軸上に合わせることが
できる光学素子を提供する。 【解決手段】 可視光が透過する材質を用いて集光用レ
ンズ１を作成するとともに、可視光が透過するとともに
赤外線を反射するＩＴＯ膜を用いて集光レンズ１の第二
の曲面Ｃ２上に反射用薄膜２を形成する。この結果、可
視レーザ光ＶＲ１は、集光用レンズ１の第一及び第二の
曲面Ｃ１、Ｃ２を透過し、試料３上の所定の集光位置に
集光され、赤外レーザ光ＩＲ１は、反射用薄膜２により
反射され、上記と同一の集光位置に集光される。
る波長を有する二つの光を同一光軸上に合わせることが
できる光学素子を提供する。 【解決手段】 可視光が透過する材質を用いて集光用レ
ンズ１を作成するとともに、可視光が透過するとともに
赤外線を反射するＩＴＯ膜を用いて集光レンズ１の第二
の曲面Ｃ２上に反射用薄膜２を形成する。この結果、可
視レーザ光ＶＲ１は、集光用レンズ１の第一及び第二の
曲面Ｃ１、Ｃ２を透過し、試料３上の所定の集光位置に
集光され、赤外レーザ光ＩＲ１は、反射用薄膜２により
反射され、上記と同一の集光位置に集光される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光学素子に関し、
特に、異なる波長を有する二つの光を同時に取り扱うこ
とができる光学素子に関するものである。
特に、異なる波長を有する二つの光を同時に取り扱うこ
とができる光学素子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、異なる波長の二つの光、例えば、
可視光と赤外線とを一つの試料に同時に照射する場合、
赤外線と可視光では波長が異なるため、使用する光学素
子が異なり、赤外線の照射用の光学素子及び可視光の照
射用の光学素子を別々に用意し、それぞれを異なる方向
から試料上に照射していた。
可視光と赤外線とを一つの試料に同時に照射する場合、
赤外線と可視光では波長が異なるため、使用する光学素
子が異なり、赤外線の照射用の光学素子及び可視光の照
射用の光学素子を別々に用意し、それぞれを異なる方向
から試料上に照射していた。
【０００３】また、従来、赤外線を試料に照射し、試料
から出力される可視光を観察する場合も、赤外線の照射
用の光学素子と可視光の観察用の光学素子とを別々に用
いて観察を行っていた。
から出力される可視光を観察する場合も、赤外線の照射
用の光学素子と可視光の観察用の光学素子とを別々に用
いて観察を行っていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の照射及び観察方法では、異なる光毎に別々に光学
素子を必要とするため、使用する光学素子の数が多くな
り、光学素子の構成が複雑になるとともに、装置が大型
化するという問題があった。
従来の照射及び観察方法では、異なる光毎に別々に光学
素子を必要とするため、使用する光学素子の数が多くな
り、光学素子の構成が複雑になるとともに、装置が大型
化するという問題があった。
【０００５】本発明の目的は、簡単な構成で異なる方向
から入射される異なる波長を有する二つの光を同一光軸
上に合わせることができる光学素子を提供することであ
る。
から入射される異なる波長を有する二つの光を同一光軸
上に合わせることができる光学素子を提供することであ
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者は、上記のよう
な従来技術の現状に鑑みて研究を進めた結果、光の波長
によって透過率や反射率の異なる薄膜を応用して、一つ
の光学素子で二つの波長に適用できる光学素子が開発で
きることを見いだした。
な従来技術の現状に鑑みて研究を進めた結果、光の波長
によって透過率や反射率の異なる薄膜を応用して、一つ
の光学素子で二つの波長に適用できる光学素子が開発で
きることを見いだした。
【０００７】本発明の光学素子は、第一の面及び第二の
面を有し、前記第一の面又は前記第二の面から入射され
る第一の波長を有する第一の光を他方の面に透過させる
透過部材と、前記第二の面に形成された薄膜とを備え、
前記薄膜は、前記第一の光を前記第一の面又は前記第二
の面から入射させたときに前記第一の光を透過させて他
方の面から出射させ、前記第一の光と波長の異なる第二
の光を前記第二の面に入射させたときに前記第二の光を
反射する。
面を有し、前記第一の面又は前記第二の面から入射され
る第一の波長を有する第一の光を他方の面に透過させる
透過部材と、前記第二の面に形成された薄膜とを備え、
前記薄膜は、前記第一の光を前記第一の面又は前記第二
の面から入射させたときに前記第一の光を透過させて他
方の面から出射させ、前記第一の光と波長の異なる第二
の光を前記第二の面に入射させたときに前記第二の光を
反射する。
【０００８】上記の構成により、透過部材に入射される
第一の光は、透過部材及び薄膜を透過し、薄膜に入射さ
れる第二の光は、薄膜により反射されるため、一つの光
学素子を用いて、透過後の第一の光の光軸と反射後の第
二の光の光軸とを合わせたり、透過前の第一の光の光軸
と反射後の第二の光の光軸とを合わせることができる。
従って、異なる光毎に別々の光学素子を用いる必要がな
くなり、簡単な構成で異なる方向から入射される異なる
波長を有する二つの光を同一光軸上に合わせることがで
きる。
第一の光は、透過部材及び薄膜を透過し、薄膜に入射さ
れる第二の光は、薄膜により反射されるため、一つの光
学素子を用いて、透過後の第一の光の光軸と反射後の第
二の光の光軸とを合わせたり、透過前の第一の光の光軸
と反射後の第二の光の光軸とを合わせることができる。
従って、異なる光毎に別々の光学素子を用いる必要がな
くなり、簡単な構成で異なる方向から入射される異なる
波長を有する二つの光を同一光軸上に合わせることがで
きる。
【０００９】また、前記第一の光は、可視光（波長３８
０〜７５０ｎｍ）であり、前記第二の光は、赤外線（波
長７６０ｎｍ〜１ｍｍ）であることが好ましい。また、
前記薄膜は、ＩＴＯ膜からなることが好ましい。
０〜７５０ｎｍ）であり、前記第二の光は、赤外線（波
長７６０ｎｍ〜１ｍｍ）であることが好ましい。また、
前記薄膜は、ＩＴＯ膜からなることが好ましい。
【００１０】
【発明の実施の形態】次に、本発明の一実施の形態の光
学素子について図面を参照しながら説明する。まず、本
発明の光学素子を用いて、赤外域のレーザ光、例えば、
波長９．２μｍの赤外レーザ光と、可視域のレーザ光、
例えば、アルゴンレーザの波長４８８ｎｍの可視レーザ
光とを一つの試料に同時に照射する場合について説明す
る。図１は、本発明の一実施の形態の光学素子を用いて
赤外レーザ光と可視レーザ光とを一つの試料に同時に照
射する場合の構成を示す概略図である。
学素子について図面を参照しながら説明する。まず、本
発明の光学素子を用いて、赤外域のレーザ光、例えば、
波長９．２μｍの赤外レーザ光と、可視域のレーザ光、
例えば、アルゴンレーザの波長４８８ｎｍの可視レーザ
光とを一つの試料に同時に照射する場合について説明す
る。図１は、本発明の一実施の形態の光学素子を用いて
赤外レーザ光と可視レーザ光とを一つの試料に同時に照
射する場合の構成を示す概略図である。
【００１１】図１に示すように、光学素子は、集光用レ
ンズ１、反射用薄膜２を備える。集光用レンズ１は、二
つの第一及び第二の曲面Ｃ１、Ｃ２を有し、第二の曲面
Ｃ２上に反射用薄膜２が形成される。集光用レンズ１
は、通常のレンズ製造法により作成され、集光用レンズ
１の材質は、例えば、光学ガラス（例えば、ＢＫ−７
等）、合成石英等を用いることができ、耐久性の観点か
らは、低アルカリガラス、例えば、コーニング社製のコ
ーニング♯７０５９が好ましい。
ンズ１、反射用薄膜２を備える。集光用レンズ１は、二
つの第一及び第二の曲面Ｃ１、Ｃ２を有し、第二の曲面
Ｃ２上に反射用薄膜２が形成される。集光用レンズ１
は、通常のレンズ製造法により作成され、集光用レンズ
１の材質は、例えば、光学ガラス（例えば、ＢＫ−７
等）、合成石英等を用いることができ、耐久性の観点か
らは、低アルカリガラス、例えば、コーニング社製のコ
ーニング♯７０５９が好ましい。
【００１２】反射用薄膜２としては、例えば、ＩＴＯ
（Indium Tin Oxide）膜を用いることができる。図２
は、反射用薄膜２として用いられるＩＴＯ膜の分光特性
の一例を示すグラフである。図２に示すＩＴＯ膜では、
可視光の透過率が約８０％、赤外線の反射率が約９０％
であり、この程度の透過率及び反射率を有するＩＴＯ膜
であれば、本発明に適用可能である。ＩＴＯ膜の製造方
法としては、通常のＩＴＯ膜の製造方法、例えば、「透
明導電膜の現状と展望」（１９９７年８月１日、（株）
東レリサーチセンター発行）に記載されるように、印刷
法、コーティング法、化学蒸着法、真空蒸着法、イオン
プレーティング法、スパッタリング法等の方法により製
造することができ、製造コストの点では、コーティング
法、膜の性能の点では、スパッタリング法が優れる。ま
た、ＩＴＯ膜の膜厚としては、平均膜厚０．０５μｍ以
上０．３５μｍ以下のものを用いることができ、平均膜
厚０．０７μｍ以上０．１２μｍ以下のものがより好ま
しい。
（Indium Tin Oxide）膜を用いることができる。図２
は、反射用薄膜２として用いられるＩＴＯ膜の分光特性
の一例を示すグラフである。図２に示すＩＴＯ膜では、
可視光の透過率が約８０％、赤外線の反射率が約９０％
であり、この程度の透過率及び反射率を有するＩＴＯ膜
であれば、本発明に適用可能である。ＩＴＯ膜の製造方
法としては、通常のＩＴＯ膜の製造方法、例えば、「透
明導電膜の現状と展望」（１９９７年８月１日、（株）
東レリサーチセンター発行）に記載されるように、印刷
法、コーティング法、化学蒸着法、真空蒸着法、イオン
プレーティング法、スパッタリング法等の方法により製
造することができ、製造コストの点では、コーティング
法、膜の性能の点では、スパッタリング法が優れる。ま
た、ＩＴＯ膜の膜厚としては、平均膜厚０．０５μｍ以
上０．３５μｍ以下のものを用いることができ、平均膜
厚０．０７μｍ以上０．１２μｍ以下のものがより好ま
しい。
【００１３】なお、反射用薄膜２は、上記のＩＴＯ膜に
特に限定されず、可視光を透過し、赤外線を反射するこ
とができるものであれば、他の膜を用いてもよく、例え
ば、ＳｎＯ2にＳｂをドープしたＡＴＯ膜、ＳｎＯ2にＦ
をドープしたＦＴＯ膜、ＺｎＯにＡｌをドープしたＡＺ
Ｏ膜、酸化インジウム（Ｉｎ2Ｏ3）膜等の透明導電膜を
用いることができ、この場合も上記の集光用レンズ１を
用いることができる。
特に限定されず、可視光を透過し、赤外線を反射するこ
とができるものであれば、他の膜を用いてもよく、例え
ば、ＳｎＯ2にＳｂをドープしたＡＴＯ膜、ＳｎＯ2にＦ
をドープしたＦＴＯ膜、ＺｎＯにＡｌをドープしたＡＺ
Ｏ膜、酸化インジウム（Ｉｎ2Ｏ3）膜等の透明導電膜を
用いることができ、この場合も上記の集光用レンズ１を
用いることができる。
【００１４】また、第一及び第二の曲面Ｃ１、Ｃ２の形
状は、透過する可視レーザ光ＶＲ１が試料３上の所定の
集光位置に集光し、かつ、赤外レーザ光ＩＲ１が、第二
の曲面Ｃ２の形状に沿って形成される反射用薄膜２によ
り同一の集光位置に集光するものであればよく、特に限
定されるものではない。従って、第一及び第二の曲面Ｃ
１、Ｃ２の形状は、透過又は反射される光の波長並びに
集光用レンズ及び反射用薄膜の材質等に応じて種々の変
更が可能である。
状は、透過する可視レーザ光ＶＲ１が試料３上の所定の
集光位置に集光し、かつ、赤外レーザ光ＩＲ１が、第二
の曲面Ｃ２の形状に沿って形成される反射用薄膜２によ
り同一の集光位置に集光するものであればよく、特に限
定されるものではない。従って、第一及び第二の曲面Ｃ
１、Ｃ２の形状は、透過又は反射される光の波長並びに
集光用レンズ及び反射用薄膜の材質等に応じて種々の変
更が可能である。
【００１５】上記の構成により、可視レーザ光ＶＲ１
は、第一及び第二の曲面Ｃ１、Ｃ２を透過し、試料３上
の所定の集光位置に集光され、赤外レーザ光ＩＲ１は、
反射用薄膜２により反射され、上記と同一の集光位置に
集光される。従って、一つの光学素子を用いて、可視レ
ーザ光と赤外レーザ光とを同一の光軸上に合わせること
ができ、一つの試料の同一箇所に同時に照射することが
可能となる。
は、第一及び第二の曲面Ｃ１、Ｃ２を透過し、試料３上
の所定の集光位置に集光され、赤外レーザ光ＩＲ１は、
反射用薄膜２により反射され、上記と同一の集光位置に
集光される。従って、一つの光学素子を用いて、可視レ
ーザ光と赤外レーザ光とを同一の光軸上に合わせること
ができ、一つの試料の同一箇所に同時に照射することが
可能となる。
【００１６】また、反射する光を集光する必要がない場
合は、第二の曲面Ｃ２を平面にしてもよく、さらに、透
過する光も集光する必要がない場合は、第一及び第二の
曲面Ｃ１、Ｃ２をともに平面にしてもよい。図３及び図
４は、第一及び第二の曲面を平面にした本発明の他の実
施の形態である平板状の光学素子及びプリズム状の光学
素子を示す図である。
合は、第二の曲面Ｃ２を平面にしてもよく、さらに、透
過する光も集光する必要がない場合は、第一及び第二の
曲面Ｃ１、Ｃ２をともに平面にしてもよい。図３及び図
４は、第一及び第二の曲面を平面にした本発明の他の実
施の形態である平板状の光学素子及びプリズム状の光学
素子を示す図である。
【００１７】図３及び図４に示すように、平板状の光学
素子は、第一及び第二の平面Ｃ１ａ、Ｃ２ａを有する平
板ガラス１ａ、反射用薄膜２ａを備え、プリズム状の光
学素子は、第一及び第二の平面Ｃ１ｂ、Ｃ２ｂを有する
プリズム１ｂ、反射用薄膜２ｂを備える。平板ガラス１
ａ及びプリズム１ｂの材質等は、集光用レンズ１と同様
であり、反射用薄膜２ａ、２ｂの材質等も反射用薄膜２
と同様である。可視レーザ光ＶＲ１及び赤外レーザ光Ｉ
Ｒ１が平行光の場合、図３及び図４に示すような光軸に
沿い各レーザ光が透過又は反射され、図１の場合と同様
に一つの光学素子を用いて、可視レーザ光と赤外レーザ
光とを同一の光軸上に合わせることができ、一つの試料
の同一箇所に同時に照射することが可能となる。なお、
図３及び図４に示す光学素子は、以下に説明する図５及
び図６の場合にも、同様に適用することができる。
素子は、第一及び第二の平面Ｃ１ａ、Ｃ２ａを有する平
板ガラス１ａ、反射用薄膜２ａを備え、プリズム状の光
学素子は、第一及び第二の平面Ｃ１ｂ、Ｃ２ｂを有する
プリズム１ｂ、反射用薄膜２ｂを備える。平板ガラス１
ａ及びプリズム１ｂの材質等は、集光用レンズ１と同様
であり、反射用薄膜２ａ、２ｂの材質等も反射用薄膜２
と同様である。可視レーザ光ＶＲ１及び赤外レーザ光Ｉ
Ｒ１が平行光の場合、図３及び図４に示すような光軸に
沿い各レーザ光が透過又は反射され、図１の場合と同様
に一つの光学素子を用いて、可視レーザ光と赤外レーザ
光とを同一の光軸上に合わせることができ、一つの試料
の同一箇所に同時に照射することが可能となる。なお、
図３及び図４に示す光学素子は、以下に説明する図５及
び図６の場合にも、同様に適用することができる。
【００１８】次に、図１に示す光学素子を用いて、赤外
域の所定波長、例えば、波長９．２μｍのレーザ光を所
定の試料、例えば、ＺｎＳｅからなる試料に照射し、そ
の試料から発光される可視光、例えば、波長４８１ｎｍ
の可視光を観察する場合について説明する。図５は、図
１に示す光学素子を用いて赤外域のレーザ光を試料に照
射して発光される可視光を観察する場合の構成を示す概
略図である。
域の所定波長、例えば、波長９．２μｍのレーザ光を所
定の試料、例えば、ＺｎＳｅからなる試料に照射し、そ
の試料から発光される可視光、例えば、波長４８１ｎｍ
の可視光を観察する場合について説明する。図５は、図
１に示す光学素子を用いて赤外域のレーザ光を試料に照
射して発光される可視光を観察する場合の構成を示す概
略図である。
【００１９】図５に示すように、赤外域のレーザ光ＩＲ
２は、反射用薄膜２により反射され、試料３上の所定の
集光位置に集光され、赤外域のレーザ光ＩＲ２を照射さ
れた試料３は、可視光ＶＲ２を発光する。可視光ＶＲ２
は、赤外域のレーザ光ＩＲ２が試料３に入射するときの
光軸と同一の光軸に沿って反射用薄膜２に入射され、反
射用薄膜２を透過し、集光用レンズ１により集光されて
出力される。
２は、反射用薄膜２により反射され、試料３上の所定の
集光位置に集光され、赤外域のレーザ光ＩＲ２を照射さ
れた試料３は、可視光ＶＲ２を発光する。可視光ＶＲ２
は、赤外域のレーザ光ＩＲ２が試料３に入射するときの
光軸と同一の光軸に沿って反射用薄膜２に入射され、反
射用薄膜２を透過し、集光用レンズ１により集光されて
出力される。
【００２０】従って、一つの光学素子を用いて、赤外域
のレーザ光により発光した可視光を、赤外域のレーザ光
が入射する光軸と同一の光軸に沿って取り出して観察す
ることができる。
のレーザ光により発光した可視光を、赤外域のレーザ光
が入射する光軸と同一の光軸に沿って取り出して観察す
ることができる。
【００２１】次に、図１に示す光学素子を用いて赤外域
の所定波長を有するレーザ光を所定の試料に照射し、そ
の試料から発光される可視光を透過型光学顕微鏡を用い
て観察する場合について説明する。図６は、図１に示す
光学素子を用いて赤外域のレーザ光を試料に照射して発
光される可視光を透過型光学顕微鏡により観察する場合
の構成を示す概略図である。
の所定波長を有するレーザ光を所定の試料に照射し、そ
の試料から発光される可視光を透過型光学顕微鏡を用い
て観察する場合について説明する。図６は、図１に示す
光学素子を用いて赤外域のレーザ光を試料に照射して発
光される可視光を透過型光学顕微鏡により観察する場合
の構成を示す概略図である。
【００２２】図６に示すように、赤外域のレーザ光ＩＲ
３は、反射用薄膜２により反射され、顕微鏡ステージ３
上に固定された試料３上の所定の集光位置に集光され
る。このとき、赤外域のレーザ光ＩＲ３を照射された試
料３は、可視光を発光する。また、同時に、観察用ラン
プ５から照射される可視光ＶＲ３が、可変開口部６を介
して集光用レンズ１及び反射用薄膜２からなる光学素子
を透過し、上記と同一の集光位置に集光する。
３は、反射用薄膜２により反射され、顕微鏡ステージ３
上に固定された試料３上の所定の集光位置に集光され
る。このとき、赤外域のレーザ光ＩＲ３を照射された試
料３は、可視光を発光する。また、同時に、観察用ラン
プ５から照射される可視光ＶＲ３が、可変開口部６を介
して集光用レンズ１及び反射用薄膜２からなる光学素子
を透過し、上記と同一の集光位置に集光する。
【００２３】従って、赤外域のレーザ光ＩＲ３が集光さ
れる試料３上の集光位置が可視光ＶＲ３により照射さ
れ、可視光ＶＲ３を用いて対物レンズ８により顕微鏡ス
テージ７の透過孔を介して試料３を透過する光を観察す
ることができる。この結果、赤外域のレーザ光を照射し
ながら、同時に透過型光学顕微鏡下でレーザ光により発
光する試料を観察することができる。
れる試料３上の集光位置が可視光ＶＲ３により照射さ
れ、可視光ＶＲ３を用いて対物レンズ８により顕微鏡ス
テージ７の透過孔を介して試料３を透過する光を観察す
ることができる。この結果、赤外域のレーザ光を照射し
ながら、同時に透過型光学顕微鏡下でレーザ光により発
光する試料を観察することができる。
【００２４】上記の各説明では、可視レーザ光及び赤外
レーザ光、可視光及び赤外線等について説明したが、本
発明は、これらの光に特に限定されず、波長が異なる光
（波長範囲が異なる場合も含む）に対して、使用される
二つの光の波長又は波長範囲に応じて一方の光を反射す
るとともに他方の光を透過するものであれば、種々の膜
を用いて、同様の効果を得ることができ、種々の光学実
験等に適用可能である。
レーザ光、可視光及び赤外線等について説明したが、本
発明は、これらの光に特に限定されず、波長が異なる光
（波長範囲が異なる場合も含む）に対して、使用される
二つの光の波長又は波長範囲に応じて一方の光を反射す
るとともに他方の光を透過するものであれば、種々の膜
を用いて、同様の効果を得ることができ、種々の光学実
験等に適用可能である。
【００２５】
【発明の効果】本発明によれば、一つの光学素子を用い
て、透過後の第一の光の光軸と反射後の第二の光の光軸
とを合わせたり、透過前の第一の光の光軸と反射後の第
二の光の光軸とを合わせることができるので、異なる光
毎に別々の光学素子を用いる必要がなくなり、簡単な構
成で異なる方向から入射される異なる波長を有する二つ
の光を同一光軸上に合わせることができる。
て、透過後の第一の光の光軸と反射後の第二の光の光軸
とを合わせたり、透過前の第一の光の光軸と反射後の第
二の光の光軸とを合わせることができるので、異なる光
毎に別々の光学素子を用いる必要がなくなり、簡単な構
成で異なる方向から入射される異なる波長を有する二つ
の光を同一光軸上に合わせることができる。
【図１】本発明の一実施の形態の光学素子を用いて赤外
レーザ光と可視レーザ光とを一つの試料に同時に照射す
る場合の構成を光学素子の断面と共に示す概略図であ
る。
レーザ光と可視レーザ光とを一つの試料に同時に照射す
る場合の構成を光学素子の断面と共に示す概略図であ
る。
【図２】図１に示す反射用薄膜として用いられるＩＴＯ
膜の分光特性の一例を示すグラフである。
膜の分光特性の一例を示すグラフである。
【図３】本発明の他の実施の形態の光学素子を用いて赤
外レーザ光と可視レーザ光とを一つの試料に同時に照射
する場合の構成を光学素子の断面と共に示す概略図であ
る。
外レーザ光と可視レーザ光とを一つの試料に同時に照射
する場合の構成を光学素子の断面と共に示す概略図であ
る。
【図４】本発明のさらに他の実施の形態の光学素子を用
いて赤外レーザ光と可視レーザ光とを一つの試料に同時
に照射する場合の構成を光学素子の断面と共に示す概略
図である。
いて赤外レーザ光と可視レーザ光とを一つの試料に同時
に照射する場合の構成を光学素子の断面と共に示す概略
図である。
【図５】図１に示す光学素子を用いて赤外域のレーザ光
を試料に照射して発光される可視光を観察する場合の構
成を光学素子の断面と共に示す概略図である。
を試料に照射して発光される可視光を観察する場合の構
成を光学素子の断面と共に示す概略図である。
【図６】図１に示す光学素子を用いて赤外域のレーザ光
を試料に照射して発光される可視光を透過型光学顕微鏡
により観察する場合の構成を光学素子の断面と共に示す
概略図である。
を試料に照射して発光される可視光を透過型光学顕微鏡
により観察する場合の構成を光学素子の断面と共に示す
概略図である。
１ 集光用レンズ ２ 反射用薄膜 ３ 試料
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 梅咲 則正 大阪府池田市緑丘１丁目８番31号 工業技 術院大阪工業技術研究所内 (72)発明者 中村 治 大阪府池田市緑丘１丁目８番31号 工業技 術院大阪工業技術研究所内 (72)発明者 冨増 多喜夫 大阪府枚方市津田山手２丁目９番５号 株 式会社自由電子レーザ研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 第一の面及び第二の面を有し、前記第一
の面又は前記第二の面から入射される第一の波長を有す
る第一の光を他方の面に透過させる透過部材と、前記第
二の面に形成された薄膜とを備え、 前記薄膜は、前記第一の光を前記第一の面又は前記第二
の面から入射させたときに前記第一の光を透過させて他
方の面から出射させ、前記第一の光と波長の異なる第二
の光を前記第二の面に入射させたときに前記第二の光を
反射することを特徴とする光学素子。 - 【請求項２】 前記第一の光は、可視光であり、前記第
二の光は、赤外線である請求項１記載の光学素子。 - 【請求項３】 前記薄膜は、ＩＴＯ膜からなる請求項１
又は請求項２記載の光学素子。
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|---|---|---|---|
| JP33050097A JP3184889B2 (ja) | 1997-12-01 | 1997-12-01 | 光学素子 |
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ID=18233327
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP33050097A Expired - Lifetime JP3184889B2 (ja) | 1997-12-01 | 1997-12-01 | 光学素子 |
Country Status (1)
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Cited By (2)
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