JPH11160442A - X線画像検出器およびその製造方法 - Google Patents
X線画像検出器およびその製造方法Info
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Abstract
撮影画像の画質を向上させた、組立性がよく、信頼性の
高いX線画像検出器を提供する。 【解決手段】 蛍光体1をCCD素子2の受光面に接着
するのでなく、弾性体5の押圧力を利用して押しつけて
固定する構造とする。
Description
などで行われるデジタルX線撮影において使用されるX
線画像検出器に関する。
は、図5および図6に示したように、CCD素子2の受
光面上に板状の蛍光体1を接着剤11により直接固定し
たもの、あるいは可視光を導光するファイバー束12を
介して接着剤11で固定したものなどが知られている。
線画像検出器では、CCD素子2と蛍光体1あるいはフ
ァイバー束12などの熱膨張率の異なる異種材料を接着
剤11により固定する構造であるため、保管時あるいは
実使用時の温度変動により接着面に熱膨張率の違いによ
る繰り返し応力が発生することになる。この時、CCD
素子2の表面は、微細な歪みを繰り返し加えられること
になり、半導体で構成されているCCD素子2の劣化を
促進し、X線画像検出器としての寿命を縮めるという問
題があった。
蛍光体1あるいはファイバー束12の間に接着剤11の
層が存在する構造であるため、蛍光体1で得られる可視
光線が接着剤11の部分で散乱を起こし、結果としてC
CD素子2により得られる画像の画質の低下につながっ
ているという問題があった。
D素子への蛍光体の固定を接着でなく、押圧によって行
うことで温度変動によるCCD素子表面の歪みを防止
し、また、接着剤の層をなくすことによって画質の向上
を図ることを目的とするものである。
の本発明の第1のX線画像検出器は、センサセースの蛍
光体側内面と蛍光体との間にX線透過性を有する弾性体
を挿入し、この弾性体の弾力性により蛍光体をCCD素
子の受光面上に密着して固定する構造としたものであ
る。
弾性体の蛍光体側表面もしくはセンサケース側表面の少
なくとも一方に粘着性を持たせたものである。
センサケース内の弾性体固定位置に、位置決めのための
位置決め部を設けたものである。
CCD素子と基板とを接続固定し、前記基板がセンサケ
ースの開口部の少なくとも一部を覆うように構成したも
のである。
は、センサケースの開口周縁部にCCD素子の基板が嵌
合する段差を設け、前記CCD素子を接続固定した基板
がセンサケース内にはまりこむ構造としたものである。
は、センサケース内に弾性体、蛍光体、CCD素子を重
ねて押圧力をかけない状態で配置した時、前記CCD素
子を接続固定した基板と前記センサケースの開口周縁部
の段差との間に隙間が生じるように構成したものであ
る。
は、センサケース内に弾性体、蛍光体、CCD素子を収
納し、基板にて前記センサケースの開口部の少なくとも
一部を覆う第1のステップと、前記センサケースと前記
弾性体と前記蛍光体と前記CCD素子と前記基板とに押
圧力を加える第2のステップと、前記センサケースと前
記基板とを接続する第3のステップとからなるものであ
る。
線画像検出器は、蛍光体とCCD素子表面は接着固定さ
れることなく押圧力だけで固定されることになり、接着
面における熱膨張率の違いでCCD表面上に歪みが生じ
ることがなくなり、また接着剤なしに、蛍光体を直接C
CD素子表面に密着させたことで、可視光線の散乱もな
くなり、CCD素子で得られる画像の画質を向上させる
こともできる。
弾性体に具備させた粘着性により前記弾性体をセンサケ
ースや蛍光体に粘着固定させることができるようにな
り、センサケース内の所定の位置からずれることがなく
なる。
センサケース内に弾性体を配置する際に、誤りなく所定
の位置に取り付けることができる。
X線画像検出器を容易に構成することができる。
り、センサケースにCCD素子を取り付ける際に、位置
ずれなく確実にCCD素子を取り付けることができる。
は、CCD表面への蛍光体の押圧力を蛍光体、弾性体な
どの厚みのばらつきに関係なく一定に保つことができ
る。
は、上記のようなX線画像検出器を容易に製造すること
ができる。
検出器の第1の実施の形態について図面に基づいて説明
する。
線画像検出器の断面構造を示す図で、1はX線を可視光
線に変換する板状の蛍光体で、2はこの蛍光体1によっ
て得られる可視光線による画像を電気画像信号に変換す
るCCD素子、3はCCD素子を取付、固定する基板で
ある。
有し、前記蛍光体1およびCCD素子2を収納するもの
であり、その開口部は、CCD素子2を固定した基板3
により全部または少なくとも一部が覆われX線以外の外
光を遮断する構成となっている。
側内面と蛍光体1との間に挿入され、X線透過性のゴム
系樹脂などからなり弾力性を有している。そして、この
弾性体5の弾力性により蛍光体1をCCD素子2の受光
面上に密着して押しつけ、固定する構造となっている。
接続するためのボンディングワイヤ、7はX線の照射方
向を示したものである。
基づいて説明する。図中、7で示した方向から照射され
たX線は、センサケース4、弾性体5を透過して蛍光体
1に達し、ここで可視光線に変換される。そして、蛍光
体1で得られた可視光線はCCD素子2によって電気信
号に変換され、ボンディングワイヤ6を介して取り出さ
れる。
は接着されておらず、弾性体5の弾性力によって押しつ
けられているだけであるので、保管時あるいは動作時に
発生する温度変動による熱膨張率の違いによる歪みが生
じることはなく、また接着剤の層もなく蛍光体1とCC
D素子2の密着性を確保することができるので、接着層
での可視光線の散乱も最小限に抑えることができ、従来
のものに較べて大幅な画質向上が可能となる。
ば、弾性体5とCCD素子2の間に挟まれた蛍光体1、
あるいはセンサケース4と弾性体5の接触面が振動、衝
撃などのショックでずれる心配もなくなる。
施の形態に係わるX線画像検出器の断面構造を示す図
で、8はセンサケース4の弾性体5の固定位置に設けた
位置決め用の溝(位置決め部)である。このような構造
にすることによって、弾性体5をセンサケース4に取り
つけるときに、位置を誤ることなく固定することができ
るとともに、取りつけ後の弾性体のずれも防止すること
ができる。
状を弾性体5の平面形状と同様の形状としたが、スリッ
ト状の溝や穴形状の凹凸(本願においては、すべて溝と
呼ぶ)としてもよい。また、この際には弾性体5の表面
に、この溝に合致する形状を設けるとなお一層効果的で
ある。
施の形態に係わるX線画像検出器の断面構造を示すもの
で、図中、9はセンサケース4の開口周縁部に設けた段
差である。
子2を固定した基板3をセンサケース4にはめ込むよう
に取りつけることができるので、CCD素子2とセンサ
ケース4の相対位置がずれることなく正確に固定するこ
とが可能となる。
施の形態に係わるX線画像検出器の断面構造を示す図
で、10はCCD素子2の基板3と段差9との間に設け
た隙間である。
体5、蛍光体1、CCD素子2及び基板3を取りつける
際に、まず、センサケース4内に弾性体5、蛍光体1、
CCD素子2を収納してセンサケースの開口部の全部ま
たは一部を基板にて覆い、その後図中、基板3の上面に
おもりを乗せるなどの一定の押圧力をかけた状態で、基
板3とセンサケース4を接合することができるので、蛍
光体1とCCD素子2の受光面の間の押圧力を一定に保
ちつつ固定することができるようになる。
器は、蛍光体1とCCD素子2の固定に接着を用いるこ
となく、弾性体5による押圧力だけで固定する構造とな
っているので、接着時に熱膨張率の違いによって生じる
CCD素子2表面の歪みを防止することができ、また接
着層における可視光線の散乱に起因する画質の劣化を防
止することができる。
ことにより、センサケース4内の弾性体5、蛍光体1の
位置ずれを防止し、X線画像検出器完成品の信頼性を高
めることができる。
用の位置決め溝8を設けたことにより、弾性体5を誤り
なく所定の位置に取りつけることができるようになり、
また、同様にセンサケース4の開口周縁部に嵌合用の段
差9を設けたことで、CCD素子2を接続固定した基板
3の組立時の位置ずれを防止することができ、X線画像
検出器の組立性を飛躍的に高めることができる。
けた段差9とCCD素子2の基板3との間に隙間を設け
ることで、X線画像検出器の組立時に蛍光体1とCCD
素子2との間の押圧力を一定に管理することができるよ
うになり、製品の信頼性を高めることができるものであ
る。
の第1のX線画像検出器は、蛍光体とCCD素子表面は
接着固定されることなく、押圧力だけで固定されること
になり、接着面における熱膨張率の違いでCCD表面上
に歪みが生じることがなくなり、また接着剤なしに、蛍
光体を直接CCD素子表面に密着させたことで、可視光
線の散乱もなくなり、CCD素子で得られる画像の画質
を向上させることもできる。
弾性体に具備させた粘着性により前記弾性体をセンサケ
ースや蛍光体に粘着固定させることができるようにな
り、センサケース内の所定の位置からずれることがなく
なる。
センサケース内に弾性体を配置する際に、誤りなく所定
の位置に取り付けることができる。
X線画像検出器を容易に構成することができる。
ンサケースにCCD素子を取り付ける際に、位置ずれな
く確実にCCD素子を取り付けることができる。
は、CCD表面への蛍光体の押圧力を蛍光体、弾性体な
どの厚みのばらつきに関係なく一定に保つことができ
る。
は、上記のようなX線画像検出器を容易に製造すること
ができる。
器の側断面図
側断面図
側断面図
側断面図
Claims (7)
- 【請求項1】 X線を可視光線に変換する蛍光体と、こ
の蛍光体に受光面を対向させて配置したCCD素子と、
前記蛍光体と前記CCD素子とを収納するセンサケース
とを備え、前記センサケースの前記蛍光体側内面と前記
蛍光体との間にX線透過性を有する弾性体を挿入し、こ
の弾性体の弾力性により前記蛍光体を前記CCD素子の
受光面上に密着して固定するX線画像検出器。 - 【請求項2】 弾性体の蛍光体側表面もしくはセンサケ
ース側表面の少なくとも一方に粘着性を持たせた請求項
1記載のX線画像検出器。 - 【請求項3】 センサケース内の弾性体固定位置に、前
記弾性体を位置決めするための位置決め部を設けてなる
請求項1記載のX線画像検出器。 - 【請求項4】 CCD素子と基板とを接続固定し、前記
基板がセンサケースの開口部の少なくとも一部を覆うよ
うに構成した請求項1記載のX線画像検出器。 - 【請求項5】 センサケースの開口周縁部にCCD素子
を接続固定した基板が嵌合する段差を設け、前記CCD
素子を接続固定した基板がセンサケース内にはまりこむ
構造とした請求項4記載のX線画像検出器。 - 【請求項6】 センサケース内に弾性体、蛍光体、CC
D素子を重ねて押圧力をかけない状態で配置した時、前
記CCD素子を接続固定した基板と前記センサケースの
開口周縁部の段差との間に隙間が生じるように構成した
請求項5記載のX線画像検出器。 - 【請求項7】 センサケース内に弾性体、蛍光体、CC
D素子を収納し、基板にて前記センサケースの開口部の
少なくとも一部を覆う第1のステップを、前記センサケ
ースと前記弾性体と前記蛍光体と前記CCD素子と前記
基板とに押圧力を加える第2のステップと、前記センサ
ケースと前記基板とを接続する第3のステップとからな
るX線画像検出器の製造方法。
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-
1997
- 1997-11-27 JP JP32575597A patent/JP3334581B2/ja not_active Expired - Fee Related
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US7649178B2 (en) | 2004-08-13 | 2010-01-19 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Solid state detector packaging technique |
JP2012154940A (ja) * | 2007-09-06 | 2012-08-16 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | フラットパネルディテクタ |
JP2013019912A (ja) * | 2007-09-06 | 2013-01-31 | Konica Minolta Medical & Graphic Inc | フラットパネルディテクタ |
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JP2015210097A (ja) * | 2014-04-24 | 2015-11-24 | アンリツ産機システム株式会社 | X線検査装置 |
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