JPH11156689A - 球体研磨盤 - Google Patents
球体研磨盤Info
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- JPH11156689A JPH11156689A JP34571997A JP34571997A JPH11156689A JP H11156689 A JPH11156689 A JP H11156689A JP 34571997 A JP34571997 A JP 34571997A JP 34571997 A JP34571997 A JP 34571997A JP H11156689 A JPH11156689 A JP H11156689A
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- Japan
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- sphere
- polishing
- rotating
- circuits
- rotational
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- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【課題】球体の真球度を向上させると共に径相誤差を低
減させることにより球体の研磨時間を短縮して加工能率
を向上させる研磨装置を提供する。 【解決手段】固定盤10の端面には、固定盤10の軸中
心に同心的に配列された5つの断面V字状の第1〜第5
環状溝161〜165が形成されている。球体は、固定
盤10の半径方向軸の回りに自転しつつ相隣る2つの回
転盤の平均回転速度(N1+N2)/2(平均公転回転
速度)の半分で公転するように環状溝上を転がる。加え
て、球体は、相隣る2つの回転盤の回転速度の差の1/
2、即ち(N1−N2)/2で回転盤の回転軸と平行な
軸の回りに自転する。第1〜第5研磨回路181〜18
5で研磨加工された各球体は、排出シュートを介して回
転コンベアに排出され、次いで回転コンベアの作動によ
って回転コンベア内の球体は供給シュートを通って第1
〜第5研磨回路181〜185に供給される。
減させることにより球体の研磨時間を短縮して加工能率
を向上させる研磨装置を提供する。 【解決手段】固定盤10の端面には、固定盤10の軸中
心に同心的に配列された5つの断面V字状の第1〜第5
環状溝161〜165が形成されている。球体は、固定
盤10の半径方向軸の回りに自転しつつ相隣る2つの回
転盤の平均回転速度(N1+N2)/2(平均公転回転
速度)の半分で公転するように環状溝上を転がる。加え
て、球体は、相隣る2つの回転盤の回転速度の差の1/
2、即ち(N1−N2)/2で回転盤の回転軸と平行な
軸の回りに自転する。第1〜第5研磨回路181〜18
5で研磨加工された各球体は、排出シュートを介して回
転コンベアに排出され、次いで回転コンベアの作動によ
って回転コンベア内の球体は供給シュートを通って第1
〜第5研磨回路181〜185に供給される。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、球体研磨盤に関
し、特に玉軸受け等に使用される球体を研磨する球体研
磨盤に関する。
し、特に玉軸受け等に使用される球体を研磨する球体研
磨盤に関する。
【0002】
【従来の技術】従来この種の球体研磨盤としては、図7
に斜視図として示されるような球体研磨盤が知られてい
る。
に斜視図として示されるような球体研磨盤が知られてい
る。
【0003】図7の球体研磨盤において、ベッド1上の
一端側には支持部2がボルトで固定されており、ベッド
1上の他端側には支持部3がボルトで固定されている。
一端側には支持部2がボルトで固定されており、ベッド
1上の他端側には支持部3がボルトで固定されている。
【0004】支持部2には、支持部3に面する一端に砥
石体、又は例えば鋳鉄からなる固定盤10が取り付けら
れている。
石体、又は例えば鋳鉄からなる固定盤10が取り付けら
れている。
【0005】支持部3にはベッド1の長手方向に移動自
在な図示しないスライダが備えられており、該スライダ
には図示しない駆動軸が回転自在に軸支されている。支
持部2に面する該駆動軸の一端には球体を研磨する砥石
体、又は例えば鋳鉄からなる回転盤20が取り付けられ
ており、該駆動軸の他端には駆動軸プーリ4が取り付け
られている。ベッド1には図示しない駆動モータが配さ
れており、回転盤20は該駆動モータにより駆動軸プー
リ4を介して駆動される。
在な図示しないスライダが備えられており、該スライダ
には図示しない駆動軸が回転自在に軸支されている。支
持部2に面する該駆動軸の一端には球体を研磨する砥石
体、又は例えば鋳鉄からなる回転盤20が取り付けられ
ており、該駆動軸の他端には駆動軸プーリ4が取り付け
られている。ベッド1には図示しない駆動モータが配さ
れており、回転盤20は該駆動モータにより駆動軸プー
リ4を介して駆動される。
【0006】支持部3に備えられたスライダは支持部3
内に配された例えば油圧シリンダにより固定盤10に向
かって押圧され、これにより、回転盤20が固定盤10
に対して印加する球体の研磨加工圧力が調整される。
内に配された例えば油圧シリンダにより固定盤10に向
かって押圧され、これにより、回転盤20が固定盤10
に対して印加する球体の研磨加工圧力が調整される。
【0007】また、加工中において固定盤10と回転盤
20との間には、不図示の機構によりラップ液が供給さ
れる。
20との間には、不図示の機構によりラップ液が供給さ
れる。
【0008】一方、ベッド1の一端側に隣接して台5が
配されており、台5の上には台座6を介して回転コンベ
ア30が載置されている。
配されており、台5の上には台座6を介して回転コンベ
ア30が載置されている。
【0009】以下、図8を参照しながら、図7の球体研
磨盤の要部である固定盤10、回転盤20および回転コ
ンベア30について説明する。
磨盤の要部である固定盤10、回転盤20および回転コ
ンベア30について説明する。
【0010】図8において、回転盤20と、回転盤20
に対向する静止した固定盤10との各端面には、断面形
状の寸法が研磨加工される球体22の曲率半径に近似し
た円弧状、又はV字状の環状溝(ボール溝)23が複数
同心状に設けられている。回転盤20の環状溝23と固
定盤10の環状溝23は互いに対向しており、対向する
各一対の環状溝23が研磨回路の1つを構成して球体2
2を研磨加工するように構成されている。回転コンベア
30には1回に加工する球体22が収容され、1ロット
として管理される。固定盤10及び回転コンベア30の
間には、回転コンベア30内の球体22を固定盤10に
設けられた切欠き部を介して研磨回路に供給する供給シ
ュート24、及び研磨回路内で研磨された球体22を前
記切欠き部を介して回転コンベア30に排出する排出シ
ュート25が設けられている。供給シュート24,25
と回転コンベア30とで球体搬送手段を構成する。
に対向する静止した固定盤10との各端面には、断面形
状の寸法が研磨加工される球体22の曲率半径に近似し
た円弧状、又はV字状の環状溝(ボール溝)23が複数
同心状に設けられている。回転盤20の環状溝23と固
定盤10の環状溝23は互いに対向しており、対向する
各一対の環状溝23が研磨回路の1つを構成して球体2
2を研磨加工するように構成されている。回転コンベア
30には1回に加工する球体22が収容され、1ロット
として管理される。固定盤10及び回転コンベア30の
間には、回転コンベア30内の球体22を固定盤10に
設けられた切欠き部を介して研磨回路に供給する供給シ
ュート24、及び研磨回路内で研磨された球体22を前
記切欠き部を介して回転コンベア30に排出する排出シ
ュート25が設けられている。供給シュート24,25
と回転コンベア30とで球体搬送手段を構成する。
【0011】回転コンベア30は盆状をなしており、中
央部に回転センター部26を有する回転自在な円状底部
と、円状底部の外周に円状底部と別体に配されていると
共に静止した外周枠27とを有している。供給シュート
24と排出シュート25との間において板状のストッパ
29が外周枠27に固定されており、回転センター部2
6と外周枠27との間に環状の球体案内路28が形成さ
れる。また、回転コンベア30において、円状底部は、
台座6内に配された適宜な回転機構により回転コンベア
30の上方からみて反時計回りに回転され、回転コンベ
ア30の中に収容された球体22を球体案内路28の排
出シュート25の対応位置から供給シュート24の対応
位置に搬送する。なお、回転コンベア30内に収容され
た球体22は回転コンベア30内で複数段状に積層され
た状態にある。
央部に回転センター部26を有する回転自在な円状底部
と、円状底部の外周に円状底部と別体に配されていると
共に静止した外周枠27とを有している。供給シュート
24と排出シュート25との間において板状のストッパ
29が外周枠27に固定されており、回転センター部2
6と外周枠27との間に環状の球体案内路28が形成さ
れる。また、回転コンベア30において、円状底部は、
台座6内に配された適宜な回転機構により回転コンベア
30の上方からみて反時計回りに回転され、回転コンベ
ア30の中に収容された球体22を球体案内路28の排
出シュート25の対応位置から供給シュート24の対応
位置に搬送する。なお、回転コンベア30内に収容され
た球体22は回転コンベア30内で複数段状に積層され
た状態にある。
【0012】このような従来の球体研磨盤において、回
転コンベア30の作動によって回転コンベア30内の球
体22は供給シュート24を通って固定盤10及び回転
盤20の各対をなす環状溝23からなる研磨回路に送ら
れる。この研磨回路に送られた球体22は、前述のよう
に回転盤20を固定盤10に向かって押圧しつつ回転盤
20を回転させることにより研磨回路内で研磨され、こ
れらの研磨された球体22は、共通の排出シュート25
を介して回転コンベア30に返送される。これらの動作
が複数回行われた後球体22の研磨加工が完了する。
転コンベア30の作動によって回転コンベア30内の球
体22は供給シュート24を通って固定盤10及び回転
盤20の各対をなす環状溝23からなる研磨回路に送ら
れる。この研磨回路に送られた球体22は、前述のよう
に回転盤20を固定盤10に向かって押圧しつつ回転盤
20を回転させることにより研磨回路内で研磨され、こ
れらの研磨された球体22は、共通の排出シュート25
を介して回転コンベア30に返送される。これらの動作
が複数回行われた後球体22の研磨加工が完了する。
【0013】上記球体研磨盤により鋼球を研磨する場
合、通常仕上げ工程で1ロット当たり約20時間を要
し、この研磨工程の加工能率をさらに向上させることが
軸受用鋼球の製造コスト低減に大きな影響を及ぼす。こ
の加工能率の向上に対する要求は球体がセラミックス球
の場合さらに顕著である。その理由としては、セラミッ
クス球は、鋼球より硬度が高く軸受用の球体としての性
能がよく且つ軽量であるという利点があり広く利用され
てきているが、材料自体の価格が高いことに加えて硬度
の高さの故に、また特にHDD用などの小径のものの場
合加工の困難性により加工コストが高く製品の価格が鋼
球に比べ高くなるという問題があり、この加工コストを
低減するためにセラミックス球の加工能率を向上させる
必要があるからである。特に、HDD用等の小径のもの
の場合、材料自体の価格は比較的少なくてすむので加工
コスト低減が重要な課題となる。さらに、例えばHDD
用球体としては真球度等のさらなる高精度化が要求され
ている。
合、通常仕上げ工程で1ロット当たり約20時間を要
し、この研磨工程の加工能率をさらに向上させることが
軸受用鋼球の製造コスト低減に大きな影響を及ぼす。こ
の加工能率の向上に対する要求は球体がセラミックス球
の場合さらに顕著である。その理由としては、セラミッ
クス球は、鋼球より硬度が高く軸受用の球体としての性
能がよく且つ軽量であるという利点があり広く利用され
てきているが、材料自体の価格が高いことに加えて硬度
の高さの故に、また特にHDD用などの小径のものの場
合加工の困難性により加工コストが高く製品の価格が鋼
球に比べ高くなるという問題があり、この加工コストを
低減するためにセラミックス球の加工能率を向上させる
必要があるからである。特に、HDD用等の小径のもの
の場合、材料自体の価格は比較的少なくてすむので加工
コスト低減が重要な課題となる。さらに、例えばHDD
用球体としては真球度等のさらなる高精度化が要求され
ている。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の球体研磨装置では、加工される球体には環状砥石体
の半径方向軸の回りに回転する自転(スキュー)が原理
的に生じずることなく主として転がり接触によるころが
りのみが生じ、加工される球体に所望の真球度及び径相
誤差を確保するために研磨時間を多く必要とし、加工能
率の向上を阻害していた。
来の球体研磨装置では、加工される球体には環状砥石体
の半径方向軸の回りに回転する自転(スキュー)が原理
的に生じずることなく主として転がり接触によるころが
りのみが生じ、加工される球体に所望の真球度及び径相
誤差を確保するために研磨時間を多く必要とし、加工能
率の向上を阻害していた。
【0015】本発明の目的は、球体の研磨時間を短縮し
て加工能率を向上させることができ、かつ加工精度を向
上させることができる球体研磨装置を提供することにあ
る。
て加工能率を向上させることができ、かつ加工精度を向
上させることができる球体研磨装置を提供することにあ
る。
【0016】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
めに、請求項1の球体研磨盤は、端面上に同心的に配さ
れた複数の第1環状溝を有する非回転の固定盤と、前記
複数の第1環状溝と夫々対向して複数の研磨回路を形成
すべく端面上に互いに同心的に配された複数の第2環状
溝を有する回転盤と、前記複数の研磨回路より球体を受
け取ると共に前記複数の研磨回路に前記球体を供給する
球体搬送手段と、前記回転盤を回転させる回転手段と、
前記複数の研磨回路内の球体に研磨加工圧力を付与すべ
く前記固定盤及び前記回転盤を互いに接近するように付
勢する付勢手段とを備える球体研磨盤において、前記回
転盤は、互いに独立して回転可能であると共に互いに同
心的に配列された複数の回転盤からなり、前記複数の回
転盤の相隣る2つのうち外側の1つはその内側に環状の
内側凹部を有すると共に、内側の1つはその外側に前記
内側凹部と協働して前記研磨回路の1つを形成する環状
の外側凹部を有し、前記回転手段は、前記複数の回転盤
の相隣る2つが互いに異なる単位時間当たり回転数で回
転するように前記複数の回転盤を回転駆動するように構
成されていることを特徴とする。
めに、請求項1の球体研磨盤は、端面上に同心的に配さ
れた複数の第1環状溝を有する非回転の固定盤と、前記
複数の第1環状溝と夫々対向して複数の研磨回路を形成
すべく端面上に互いに同心的に配された複数の第2環状
溝を有する回転盤と、前記複数の研磨回路より球体を受
け取ると共に前記複数の研磨回路に前記球体を供給する
球体搬送手段と、前記回転盤を回転させる回転手段と、
前記複数の研磨回路内の球体に研磨加工圧力を付与すべ
く前記固定盤及び前記回転盤を互いに接近するように付
勢する付勢手段とを備える球体研磨盤において、前記回
転盤は、互いに独立して回転可能であると共に互いに同
心的に配列された複数の回転盤からなり、前記複数の回
転盤の相隣る2つのうち外側の1つはその内側に環状の
内側凹部を有すると共に、内側の1つはその外側に前記
内側凹部と協働して前記研磨回路の1つを形成する環状
の外側凹部を有し、前記回転手段は、前記複数の回転盤
の相隣る2つが互いに異なる単位時間当たり回転数で回
転するように前記複数の回転盤を回転駆動するように構
成されていることを特徴とする。
【0017】この構成によれば、回転手段が、複数の回
転盤の相隣る2つを互いに異なる単位時間当たり回転数
(回転速度)で回転するように該複数の回転盤を回転さ
せるので、研磨回路の1つを構成する内側凹部と外側凹
部とを互いに異なる単位時間当たり回転数(回転速度)
で回転させ、研磨回路の1つにおいて、球体は、固定盤
の半径方向軸の回りに自転しつつ球体と接する2つの回
転盤の平均回転速度(平均公転回転速度:単位時間当た
り公転回転数)の1/2で研磨回路の1つ内を公転する
ように研磨回路の1つ上を転がるだけでなく、前記自転
に加えて前記回転盤の相隣る2つの回転速度の差の1/
2で回転盤の回転軸と平行な軸の回りの自転(スキュ
ー)を重畳させることができるので、球体表面全体をま
んべんなく研磨でき、かつ球体と、固定盤及び回転盤と
のすべり摩擦が増大し、その結果、球体の研磨時間を短
縮して加工能率を向上させかつ真球度を向上させること
ができる。
転盤の相隣る2つを互いに異なる単位時間当たり回転数
(回転速度)で回転するように該複数の回転盤を回転さ
せるので、研磨回路の1つを構成する内側凹部と外側凹
部とを互いに異なる単位時間当たり回転数(回転速度)
で回転させ、研磨回路の1つにおいて、球体は、固定盤
の半径方向軸の回りに自転しつつ球体と接する2つの回
転盤の平均回転速度(平均公転回転速度:単位時間当た
り公転回転数)の1/2で研磨回路の1つ内を公転する
ように研磨回路の1つ上を転がるだけでなく、前記自転
に加えて前記回転盤の相隣る2つの回転速度の差の1/
2で回転盤の回転軸と平行な軸の回りの自転(スキュ
ー)を重畳させることができるので、球体表面全体をま
んべんなく研磨でき、かつ球体と、固定盤及び回転盤と
のすべり摩擦が増大し、その結果、球体の研磨時間を短
縮して加工能率を向上させかつ真球度を向上させること
ができる。
【0018】上記回転手段は、2つの回転駆動源を備
え、該回転駆動源の夫々が、各研磨回路を構成する内側
凹部と外側凹部とが互いに異なる単位時間当たり回転数
(回転速度)で回転するように前記複数の回転盤部材を
回転駆動させてもよい。
え、該回転駆動源の夫々が、各研磨回路を構成する内側
凹部と外側凹部とが互いに異なる単位時間当たり回転数
(回転速度)で回転するように前記複数の回転盤部材を
回転駆動させてもよい。
【0019】前記回転手段は、各研磨回路を構成する内
側凹部と外側凹部とが互いに異なる単位時間当たりの回
転数(回転速度)で回転するように前記複数の回転盤を
回転駆動させたことに加え、半径方向内側の回転盤ほど
単位時間当たり回転数(回転速度)を大きくするように
前記複数の回転盤を回転駆動させてもよく、さらに好ま
しくは、各研磨回路内の各球体の接線方向公転速度(単
位時間当たりの球体の公転距離)が等しくなるような回
転速度で前記複数の回転盤を回転駆動させるのがよい。
これにより、加工能率の向上、真球度の向上に加え、半
径方向外側と半径方向内側の各研磨回路の各球体の研磨
条件の差を小さくすることができるので、同一のロット
内の径相誤差もさらに低減させることができる。
側凹部と外側凹部とが互いに異なる単位時間当たりの回
転数(回転速度)で回転するように前記複数の回転盤を
回転駆動させたことに加え、半径方向内側の回転盤ほど
単位時間当たり回転数(回転速度)を大きくするように
前記複数の回転盤を回転駆動させてもよく、さらに好ま
しくは、各研磨回路内の各球体の接線方向公転速度(単
位時間当たりの球体の公転距離)が等しくなるような回
転速度で前記複数の回転盤を回転駆動させるのがよい。
これにより、加工能率の向上、真球度の向上に加え、半
径方向外側と半径方向内側の各研磨回路の各球体の研磨
条件の差を小さくすることができるので、同一のロット
内の径相誤差もさらに低減させることができる。
【0020】ここで、回転盤ごとに単位時間当たりの回
転数を変える手段としては、回転盤ごとに独立した回転
駆動源を用いるようにしてもよく、該回転盤ごとに独立
して回転駆動源を用いない場合は駆動プーリ径を変える
など回転盤ごとに減速比を変えるようにしてもよい。
転数を変える手段としては、回転盤ごとに独立した回転
駆動源を用いるようにしてもよく、該回転盤ごとに独立
して回転駆動源を用いない場合は駆動プーリ径を変える
など回転盤ごとに減速比を変えるようにしてもよい。
【0021】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態に係る球体研
磨盤の全体構成は、図7を参照して説明した従来の球体
研磨盤と以下の点で同様である。
磨盤の全体構成は、図7を参照して説明した従来の球体
研磨盤と以下の点で同様である。
【0022】即ち、図7の球体研磨盤において、ベッド
1上の一端側には支持部2がボルトで固定されており、
ベッド1上の他端側には支持部3がボルトで固定されて
いる。
1上の一端側には支持部2がボルトで固定されており、
ベッド1上の他端側には支持部3がボルトで固定されて
いる。
【0023】支持部2には、支持部3に面する一端に砥
石体、または、例えば鋳鉄からなる固定盤10が取付け
られている。
石体、または、例えば鋳鉄からなる固定盤10が取付け
られている。
【0024】支持部3にはベッド1の長手方向に移動自
在な図示しないスライダが備えられており、該スライダ
には図示しない駆動軸が回転自在に軸支されている。支
持部2に面する該駆動軸の一端には球体を研磨する後述
の回転盤が取り付けられている。該駆動軸の他端には後
述する駆動プーリが取り付けられている。一方、ベッド
1の一端に隣接して台5が配されており、台5の上には
台座6を介して回転コンベア30が載置されている。回
転コンベア30は図8により説明した通りである。
在な図示しないスライダが備えられており、該スライダ
には図示しない駆動軸が回転自在に軸支されている。支
持部2に面する該駆動軸の一端には球体を研磨する後述
の回転盤が取り付けられている。該駆動軸の他端には後
述する駆動プーリが取り付けられている。一方、ベッド
1の一端に隣接して台5が配されており、台5の上には
台座6を介して回転コンベア30が載置されている。回
転コンベア30は図8により説明した通りである。
【0025】ただし、回転盤、駆動軸、駆動プーリ、及
びこの駆動プーリを介して回転盤を駆動するモータは、
以下の説明のように、従来の球体研磨盤と異なる。
びこの駆動プーリを介して回転盤を駆動するモータは、
以下の説明のように、従来の球体研磨盤と異なる。
【0026】以下、本発明の実施の形態に係る球体研磨
盤の要部を図を参照しながら説明する。
盤の要部を図を参照しながら説明する。
【0027】図1は、本発明の実施の形態に係る球体研
磨盤の要部の部分断面図であり、図2は、図1の球体研
磨盤の要部の部分拡大図であり、図3は、図1の球体研
磨盤要部の他の部分の拡大図である。
磨盤の要部の部分断面図であり、図2は、図1の球体研
磨盤の要部の部分拡大図であり、図3は、図1の球体研
磨盤要部の他の部分の拡大図である。
【0028】前記支持部3は、ベッド1(図7)の上に
設けられたスライダ40と、スライダ40の上部構造に
固定盤10と同軸的に且つその軸方向に摺動自在に収容
された円筒状のハウジング41とを備える。ハウジング
41は、固定盤10側の端部にフランジ42を有する。
また、スライダ40は、図示しない油圧シリンダにより
所定の加圧力で固定盤10に向かって付勢される。
設けられたスライダ40と、スライダ40の上部構造に
固定盤10と同軸的に且つその軸方向に摺動自在に収容
された円筒状のハウジング41とを備える。ハウジング
41は、固定盤10側の端部にフランジ42を有する。
また、スライダ40は、図示しない油圧シリンダにより
所定の加圧力で固定盤10に向かって付勢される。
【0029】ハウジング41の中には、固定盤10側の
第1一側玉軸受51a及び駆動プーリ側の第1他側玉軸
受51bを介して円筒状の第1回転軸61が固定盤10
の環状溝と同軸的に軸支されている。第1回転軸61は
固定盤10側の一端にカップ状の第1フランジ71を有
し、第1フランジ71の先端には、環状の砥石体からな
る第1回転盤81が固定盤10の環状溝と同軸的にボル
トにより取付けられている。第1回転盤81の詳細は以
下の第2〜第6の回転盤82〜86も含めて後述する。
また、第1回転軸61の他端には第1プーリ91が取付
けられている。
第1一側玉軸受51a及び駆動プーリ側の第1他側玉軸
受51bを介して円筒状の第1回転軸61が固定盤10
の環状溝と同軸的に軸支されている。第1回転軸61は
固定盤10側の一端にカップ状の第1フランジ71を有
し、第1フランジ71の先端には、環状の砥石体からな
る第1回転盤81が固定盤10の環状溝と同軸的にボル
トにより取付けられている。第1回転盤81の詳細は以
下の第2〜第6の回転盤82〜86も含めて後述する。
また、第1回転軸61の他端には第1プーリ91が取付
けられている。
【0030】第1回転軸61の中には、固定盤10側の
第2一側玉軸受52a及び駆動プーリ側の第2他側玉軸
受52bを介して円筒状の第2回転軸62が固定盤10
の環状溝と同軸的に軸支されている。第2回転軸62は
固定盤10側の一端にカップ状の第2フランジ72を有
している。第2フランジ72は、その外面が第1フラン
ジ71の内面と相補的な形状をもって、第1フランジ7
1の中に収容されており、フランジ72の先端には、環
状の砥石体からなる第2回転盤82が固定盤10の環状
溝と同軸的にボルトにより取付けられている。第2回転
軸62の他端は第1回転軸61より突出しており、その
突出端には第2プーリ92が取付けられている。第2プ
ーリ92の直径は第1プーリ91の直径と同じである。
第2一側玉軸受52a及び駆動プーリ側の第2他側玉軸
受52bを介して円筒状の第2回転軸62が固定盤10
の環状溝と同軸的に軸支されている。第2回転軸62は
固定盤10側の一端にカップ状の第2フランジ72を有
している。第2フランジ72は、その外面が第1フラン
ジ71の内面と相補的な形状をもって、第1フランジ7
1の中に収容されており、フランジ72の先端には、環
状の砥石体からなる第2回転盤82が固定盤10の環状
溝と同軸的にボルトにより取付けられている。第2回転
軸62の他端は第1回転軸61より突出しており、その
突出端には第2プーリ92が取付けられている。第2プ
ーリ92の直径は第1プーリ91の直径と同じである。
【0031】第2回転軸62の中には、固定盤10側の
第3一側玉軸受53a及び駆動プーリ側の第3他側玉軸
受53bを介して円筒状の第3回転軸63が固定盤10
の環状溝と同軸的に軸支されている。第3回転軸63は
固定盤10側の一端にカップ状の第3フランジ73を有
している。第3フランジ73は、その外面が第2フラン
ジ72の内面と相補的な形状をもって、第2フランジ9
2の中に収容されており、第3フランジ73の先端に
は、環状の砥石体からなる第3回転盤83が固定盤10
の環状溝と同軸的にボルトにより取付けられている。第
3回転軸63の他端は、第2回転軸62より突出してお
り、その突出端には第3プーリ93が取付けられてい
る。第3プーリ93の直径はプ第1ーリ91の直径と同
じである。
第3一側玉軸受53a及び駆動プーリ側の第3他側玉軸
受53bを介して円筒状の第3回転軸63が固定盤10
の環状溝と同軸的に軸支されている。第3回転軸63は
固定盤10側の一端にカップ状の第3フランジ73を有
している。第3フランジ73は、その外面が第2フラン
ジ72の内面と相補的な形状をもって、第2フランジ9
2の中に収容されており、第3フランジ73の先端に
は、環状の砥石体からなる第3回転盤83が固定盤10
の環状溝と同軸的にボルトにより取付けられている。第
3回転軸63の他端は、第2回転軸62より突出してお
り、その突出端には第3プーリ93が取付けられてい
る。第3プーリ93の直径はプ第1ーリ91の直径と同
じである。
【0032】第3回転軸63の中には、固定盤10側の
第4一側玉軸受54a及び駆動プーリ側の第4他側玉軸
受54bを介して円筒状の第4回転軸64が固定盤10
の環状溝と同軸的に軸支されている。第4回転軸64は
固定盤10側の一端にカップ状のフランジ74を有して
いる。フランジ74は、その外面がフランジ73の内面
と相補的な形状をもって、フランジ73の中に収容され
ており、フランジ74の先端には、環状の砥石体からな
る第4回転盤84が固定盤10の環状溝と同軸的にボル
トにより取付けられている。第4回転軸64の他端は、
第3回転軸63より突出しており、その突出端にはプー
リ94が取付けられている。プーリ94の直径はプーリ
91の直径と同じである。
第4一側玉軸受54a及び駆動プーリ側の第4他側玉軸
受54bを介して円筒状の第4回転軸64が固定盤10
の環状溝と同軸的に軸支されている。第4回転軸64は
固定盤10側の一端にカップ状のフランジ74を有して
いる。フランジ74は、その外面がフランジ73の内面
と相補的な形状をもって、フランジ73の中に収容され
ており、フランジ74の先端には、環状の砥石体からな
る第4回転盤84が固定盤10の環状溝と同軸的にボル
トにより取付けられている。第4回転軸64の他端は、
第3回転軸63より突出しており、その突出端にはプー
リ94が取付けられている。プーリ94の直径はプーリ
91の直径と同じである。
【0033】第4回転軸64の中には、固定盤10側の
第5一側玉軸受55a及び駆動プーリ側の第5他側玉軸
受55bを介して円筒状の第5回転軸65が固定盤10
の環状溝と同軸的に軸支されている。第5回転軸65は
固定盤10側の一端にカップ状の第5フランジ75を有
している。第5フランジ75は、その外面が第4フラン
ジ74の内面と相補的な形状をもって、第4フランジ7
4の中に収容されており、第5フランジ75の先端に
は、環状の砥石体からなる第5回転盤85が固定盤10
の環状溝と同軸的にボルトにより取付けられている。第
5回転軸65の他端は、第4回転軸64より突出してお
り、その突出端には第5プーリ95が取付けられてい
る。第5プーリ95の直径は第4プーリ91の直径と同
じである。
第5一側玉軸受55a及び駆動プーリ側の第5他側玉軸
受55bを介して円筒状の第5回転軸65が固定盤10
の環状溝と同軸的に軸支されている。第5回転軸65は
固定盤10側の一端にカップ状の第5フランジ75を有
している。第5フランジ75は、その外面が第4フラン
ジ74の内面と相補的な形状をもって、第4フランジ7
4の中に収容されており、第5フランジ75の先端に
は、環状の砥石体からなる第5回転盤85が固定盤10
の環状溝と同軸的にボルトにより取付けられている。第
5回転軸65の他端は、第4回転軸64より突出してお
り、その突出端には第5プーリ95が取付けられてい
る。第5プーリ95の直径は第4プーリ91の直径と同
じである。
【0034】第5回転軸65の中には、固定盤10側の
第6一側玉軸受56a及び駆動プーリ側の第6他側玉軸
受56bを介して円筒状の第6回転軸66が固定盤10
の環状溝と同軸的に軸支されている。第6回転軸66は
固定盤10側の一端に第6フランジ76を有している。
第6フランジ76は、その一の面が第5フランジ75の
内面と相補的な形状をもって、第5フランジ75の中に
収容されており、第6フランジ76の外周縁には、環状
の砥石体からなる第6回転盤86が固定盤10の環状溝
と同軸的にボルトにより取付けられている。第6回転軸
66の他端は、第5回転軸65より突出しており、その
突出端には第6プーリ96が取付けられている。第6プ
ーリ96の直径は第1プーリ91の直径と同じである。
第6一側玉軸受56a及び駆動プーリ側の第6他側玉軸
受56bを介して円筒状の第6回転軸66が固定盤10
の環状溝と同軸的に軸支されている。第6回転軸66は
固定盤10側の一端に第6フランジ76を有している。
第6フランジ76は、その一の面が第5フランジ75の
内面と相補的な形状をもって、第5フランジ75の中に
収容されており、第6フランジ76の外周縁には、環状
の砥石体からなる第6回転盤86が固定盤10の環状溝
と同軸的にボルトにより取付けられている。第6回転軸
66の他端は、第5回転軸65より突出しており、その
突出端には第6プーリ96が取付けられている。第6プ
ーリ96の直径は第1プーリ91の直径と同じである。
【0035】一方、スライダ40の上部構造には、その
両側部に第1モータ45及び第2モータ46が出力軸端
を図1の右側に向けて設けられている。第1モータ45
の出力軸には、その先端に向かって第1駆動プーリ10
1、第3駆動プーリ103、第5駆動プーリ105が順
に取り付けられており、第2モータ46の出力軸には、
その先端に向かって第2駆動プーリ102、第4駆動プ
ーリ104、第6駆動プーリ106が順に取り付けられ
ている。第1〜第6駆動プーリ101〜106の直径は
同一である。
両側部に第1モータ45及び第2モータ46が出力軸端
を図1の右側に向けて設けられている。第1モータ45
の出力軸には、その先端に向かって第1駆動プーリ10
1、第3駆動プーリ103、第5駆動プーリ105が順
に取り付けられており、第2モータ46の出力軸には、
その先端に向かって第2駆動プーリ102、第4駆動プ
ーリ104、第6駆動プーリ106が順に取り付けられ
ている。第1〜第6駆動プーリ101〜106の直径は
同一である。
【0036】上記の第1〜第6プーリ91〜96と、第
1〜第6駆動プーリ101〜106とには夫々ベルトが
掛け渡されており、これにより、第1モータ45の作動
によって第1、第3及び第5回転盤81,83,85が
夫々同一の第1回転速度(N1:rpm)で回転し、モ
ータ46の作動によって第2、第4及び第6回転盤8
2,84,86が夫々同一の第2回転速度(N2:rp
m)で回転する。
1〜第6駆動プーリ101〜106とには夫々ベルトが
掛け渡されており、これにより、第1モータ45の作動
によって第1、第3及び第5回転盤81,83,85が
夫々同一の第1回転速度(N1:rpm)で回転し、モ
ータ46の作動によって第2、第4及び第6回転盤8
2,84,86が夫々同一の第2回転速度(N2:rp
m)で回転する。
【0037】以下、図2を参照しながら第1〜第6フラ
ンジ71〜76に設けられた第1〜第6一側軸受51a
〜56aをシールする構成、及び固定盤10及び第1〜
第6回転盤81〜86で使用されたラップ液を排出する
構成を説明する。
ンジ71〜76に設けられた第1〜第6一側軸受51a
〜56aをシールする構成、及び固定盤10及び第1〜
第6回転盤81〜86で使用されたラップ液を排出する
構成を説明する。
【0038】フランジ42、及び第1〜第5フランジ7
1〜75の各底部に夫々環状溝120〜125が設けら
れており、各環状溝120〜125の対応位置において
各フランジ42及び第1〜第5フランジ71〜75には
固定盤10の軸方向に貫通孔130〜135が設けられ
ている。第6フランジ76もまた貫通孔136を有す
る。また、第1〜第5フランジ71〜75の各側部には
各フランジの径方向に貫通孔141〜145が夫々設け
られており、各貫通孔141〜145は、第1〜第5フ
ランジ71〜75の各側部内側に設けられた環状の各溝
151〜155によって接続されている。
1〜75の各底部に夫々環状溝120〜125が設けら
れており、各環状溝120〜125の対応位置において
各フランジ42及び第1〜第5フランジ71〜75には
固定盤10の軸方向に貫通孔130〜135が設けられ
ている。第6フランジ76もまた貫通孔136を有す
る。また、第1〜第5フランジ71〜75の各側部には
各フランジの径方向に貫通孔141〜145が夫々設け
られており、各貫通孔141〜145は、第1〜第5フ
ランジ71〜75の各側部内側に設けられた環状の各溝
151〜155によって接続されている。
【0039】貫通孔130は、図示しないエア供給装置
に接続されており、このエア供給装置によって供給され
るエアは、貫通孔131〜135を介して第1〜第6フ
ランジ71〜76の各底部間の隙間に供給される。これ
により、第1〜第6一側軸受51a〜56a内の潤滑剤
が漏洩したり、ラップ液が第1〜第6一側軸受51a〜
56aに侵入したりするのを防止することができる。
に接続されており、このエア供給装置によって供給され
るエアは、貫通孔131〜135を介して第1〜第6フ
ランジ71〜76の各底部間の隙間に供給される。これ
により、第1〜第6一側軸受51a〜56a内の潤滑剤
が漏洩したり、ラップ液が第1〜第6一側軸受51a〜
56aに侵入したりするのを防止することができる。
【0040】固定盤10及び第1〜第6回転盤81〜8
6で使用されたラップ剤のうち、第1〜第6フランジ7
1〜76の各側部の隙間に侵入するものは、溝151〜
155乃至は貫通孔145〜141を通って最終的には
貫通孔141を介して外部に排出される。また、前述の
シール用エアも潤滑剤と同じ経路により貫通孔141を
介して外部に排出される。
6で使用されたラップ剤のうち、第1〜第6フランジ7
1〜76の各側部の隙間に侵入するものは、溝151〜
155乃至は貫通孔145〜141を通って最終的には
貫通孔141を介して外部に排出される。また、前述の
シール用エアも潤滑剤と同じ経路により貫通孔141を
介して外部に排出される。
【0041】各貫通孔131〜135,141〜145
等は、各フランジ71〜76の周方向に等角度間隔で複
数個づつ設けられてもよい。
等は、各フランジ71〜76の周方向に等角度間隔で複
数個づつ設けられてもよい。
【0042】以下、図4を参照しながら固定盤10及び
第1〜第6回転盤81〜86の構成を説明する。図4
は、図1の球体研磨盤の主要部を断面図で示す。
第1〜第6回転盤81〜86の構成を説明する。図4
は、図1の球体研磨盤の主要部を断面図で示す。
【0043】まず、固定盤10の端面には、固定盤10
の軸中心に同心的に配列された5つの断面V字状の第1
〜第5環状溝161〜165が形成されている。これら
の環状溝161〜165は外側から順に番号が付されて
いる。第1環状溝161は第1及び第2回転盤81及び
82の間に対向し、同様に第2〜第5環状溝162〜1
65は夫々対応する第2〜第6回転盤82〜86の各相
隣る2つの間に対向している。なお、環状溝161〜1
65の断面形状の寸法は研磨加工される球体の曲率半径
に近似した円弧状であってもよい。
の軸中心に同心的に配列された5つの断面V字状の第1
〜第5環状溝161〜165が形成されている。これら
の環状溝161〜165は外側から順に番号が付されて
いる。第1環状溝161は第1及び第2回転盤81及び
82の間に対向し、同様に第2〜第5環状溝162〜1
65は夫々対応する第2〜第6回転盤82〜86の各相
隣る2つの間に対向している。なお、環状溝161〜1
65の断面形状の寸法は研磨加工される球体の曲率半径
に近似した円弧状であってもよい。
【0044】第1回転盤81にはその内周部に径方向内
側に配向した断面略4分円の環状内側凹部171aが形
成されており、第2回転盤82にはその外周部に径方向
外側に配向した断面略4分円の環状外側凹部172bが
形成されている。環状内側凹部171a及び環状外側凹
部172bの各形状寸法は研磨加工される球体の曲率半
径に近似した円弧状であり、以下の環状内側凹部172
a〜175a及び環状外側凹部173b〜176bにお
いても同様である。
側に配向した断面略4分円の環状内側凹部171aが形
成されており、第2回転盤82にはその外周部に径方向
外側に配向した断面略4分円の環状外側凹部172bが
形成されている。環状内側凹部171a及び環状外側凹
部172bの各形状寸法は研磨加工される球体の曲率半
径に近似した円弧状であり、以下の環状内側凹部172
a〜175a及び環状外側凹部173b〜176bにお
いても同様である。
【0045】第1環状溝161と、環状内側凹部171
aと、環状外側凹部172bとは球体を研磨する第1研
磨回路181を規定する。
aと、環状外側凹部172bとは球体を研磨する第1研
磨回路181を規定する。
【0046】第2回転盤82にはその内周部に径方向内
側に配向した断面略4分円の環状内側凹部172aが形
成されており、第3回転盤83にはその外周部に径方向
外側に配向した断面略4分円の環状外側凹部173bが
形成されている。第2環状溝162と、環状内側凹部1
72aと、環状外側凹部173bとは球体を研磨する第
2研磨回路182を規定する。
側に配向した断面略4分円の環状内側凹部172aが形
成されており、第3回転盤83にはその外周部に径方向
外側に配向した断面略4分円の環状外側凹部173bが
形成されている。第2環状溝162と、環状内側凹部1
72aと、環状外側凹部173bとは球体を研磨する第
2研磨回路182を規定する。
【0047】第3回転盤83にはその内周部に径方向内
側に配向した断面略4分円の環状内側凹部173aが形
成されており、第4回転盤84にはその外周部に径方向
外側に配向した断面略4分円の環状外側凹部174bが
形成されている。第3環状溝163と、環状内側凹部1
73aと、環状外側凹部174bとは球体を研磨する第
3研磨回路183を規定する。
側に配向した断面略4分円の環状内側凹部173aが形
成されており、第4回転盤84にはその外周部に径方向
外側に配向した断面略4分円の環状外側凹部174bが
形成されている。第3環状溝163と、環状内側凹部1
73aと、環状外側凹部174bとは球体を研磨する第
3研磨回路183を規定する。
【0048】第4回転盤84にはその内周部に径方向内
側に配向した断面略4分円の環状内側凹部174aが形
成されており、第5回転盤81にはその外周部に径方向
外側に配向した断面略4分円の環状外側凹部175bが
形成されている。第4環状溝164と、環状内側凹部1
74aと、環状外側凹部175bとは球体を研磨する第
4研磨回路184を規定する。
側に配向した断面略4分円の環状内側凹部174aが形
成されており、第5回転盤81にはその外周部に径方向
外側に配向した断面略4分円の環状外側凹部175bが
形成されている。第4環状溝164と、環状内側凹部1
74aと、環状外側凹部175bとは球体を研磨する第
4研磨回路184を規定する。
【0049】第5回転盤85にはその内周部に径方向内
側に配向した断面略4分円の環状内側凹部175aが形
成されており、第6回転盤86にはその外周部に径方向
外側に配向した断面略4分円の環状外側凹部176bが
形成されている。第5環状溝165と、環状内側凹部1
75aと、環状外側凹部176bとは球体を研磨する第
5研磨回路185を規定する。
側に配向した断面略4分円の環状内側凹部175aが形
成されており、第6回転盤86にはその外周部に径方向
外側に配向した断面略4分円の環状外側凹部176bが
形成されている。第5環状溝165と、環状内側凹部1
75aと、環状外側凹部176bとは球体を研磨する第
5研磨回路185を規定する。
【0050】固定盤10及び第1〜第6回転盤81〜8
6の変形例として、例えば仕上げ加工用の場合など、固
定盤10、及び第1〜第6回転盤81〜86のいずれも
鋳鉄で構成して、固定盤10と各回転盤81との間に供
給されるラップ液の中に遊離砥粒を混入させてもよい。
6の変形例として、例えば仕上げ加工用の場合など、固
定盤10、及び第1〜第6回転盤81〜86のいずれも
鋳鉄で構成して、固定盤10と各回転盤81との間に供
給されるラップ液の中に遊離砥粒を混入させてもよい。
【0051】第1〜第6回転盤81〜86は、夫々第1
〜第6プーリ91〜96の回転に従って回転するので、
前述のように、第1、第3及び第5回転盤81,83,
85はモータ45の回転に従って第1回転速度(N1:
rpm)で回転すると共に、第2、第4及び第6回転盤
82,84,86はモータ46の回転に従って第2回転
速度(N2:rpm)で回転する。
〜第6プーリ91〜96の回転に従って回転するので、
前述のように、第1、第3及び第5回転盤81,83,
85はモータ45の回転に従って第1回転速度(N1:
rpm)で回転すると共に、第2、第4及び第6回転盤
82,84,86はモータ46の回転に従って第2回転
速度(N2:rpm)で回転する。
【0052】以下、第1研磨回路181に着目して球体
の動作を説明する。ここで、説明の便宜上、上記第1回
転数N1は第2回転数N2より大きく、各回転方向は図
4の右側から見て反時計回りとする。
の動作を説明する。ここで、説明の便宜上、上記第1回
転数N1は第2回転数N2より大きく、各回転方向は図
4の右側から見て反時計回りとする。
【0053】球体は、固定盤10の半径方向軸の回りに
自転しつつ第1回転盤81と第2回転盤82の平均回転
速度(N1+N2)/2(公転回転速度:rpm)の1
/2で第1研磨回路181内を図4の右側から見て反時
計回りに公転するように環状溝161上を転がる。加え
て、球体は、第1回転盤81と第2回転盤82の回転速
度の差の1/2、即ち(N1−N2)/2で回転盤81
及び82の回転軸と平行な軸の回りに図4中右手から見
て反時計回りに自転する(この自転を「スキュー」とい
う)。第3及び第5研磨回路183,185における球
体の動作も上記と同様である。
自転しつつ第1回転盤81と第2回転盤82の平均回転
速度(N1+N2)/2(公転回転速度:rpm)の1
/2で第1研磨回路181内を図4の右側から見て反時
計回りに公転するように環状溝161上を転がる。加え
て、球体は、第1回転盤81と第2回転盤82の回転速
度の差の1/2、即ち(N1−N2)/2で回転盤81
及び82の回転軸と平行な軸の回りに図4中右手から見
て反時計回りに自転する(この自転を「スキュー」とい
う)。第3及び第5研磨回路183,185における球
体の動作も上記と同様である。
【0054】一方、第2及び第4研磨回路182,18
4においては、上記と基本的に同様であるが、球体のス
キューの回転方向が図5中右手から見て時計回りである
点で第1,第3及び第5研磨回路における球体の動作と
異なる。
4においては、上記と基本的に同様であるが、球体のス
キューの回転方向が図5中右手から見て時計回りである
点で第1,第3及び第5研磨回路における球体の動作と
異なる。
【0055】上記実施の形態において、第1〜第6回転
盤81〜85は、互いに異なる回転速度で回転するよう
に構成してもよい。
盤81〜85は、互いに異なる回転速度で回転するよう
に構成してもよい。
【0056】例えば、図5に示すように、第1〜第6プ
ーリ91〜96の径を変えることにより各プーリ91〜
96の回転数を変更するようにしてもよい。図5の例に
おいては、第1プーリ91〜第6プーリ96の順に径が
小さくなるので、第1回転盤81〜第6回転盤86の順
に回転速度が速くなる。但し、この場合はモータ45及
びモータ46の各回転速度を相隣る回転盤の回転速度
(rpm)が一致しないように選ぶ。これにより、第1
研磨回路181〜第5研磨回路185の順に球体の接線
方向公転回転速度を速くすることができ、かつ各球体に
スキューを生じさせることができる。また、この場合、
モータ45,46の回転速度は等しくてもよいので、モ
ータ45,46のうち、いずれか一方のみとして、1つ
のモータで各プーリ91〜96を駆動するようにしても
よい。
ーリ91〜96の径を変えることにより各プーリ91〜
96の回転数を変更するようにしてもよい。図5の例に
おいては、第1プーリ91〜第6プーリ96の順に径が
小さくなるので、第1回転盤81〜第6回転盤86の順
に回転速度が速くなる。但し、この場合はモータ45及
びモータ46の各回転速度を相隣る回転盤の回転速度
(rpm)が一致しないように選ぶ。これにより、第1
研磨回路181〜第5研磨回路185の順に球体の接線
方向公転回転速度を速くすることができ、かつ各球体に
スキューを生じさせることができる。また、この場合、
モータ45,46の回転速度は等しくてもよいので、モ
ータ45,46のうち、いずれか一方のみとして、1つ
のモータで各プーリ91〜96を駆動するようにしても
よい。
【0057】上記構成、すなわち、プーリ径を変える場
合において、各研磨回路181〜185の各球体が固定
盤10の各環状溝161〜165上を公転する接線方向
公転速度(単位時間当たりの球体の公転距離:m/s)
が等しくなるように第1プーリ91〜第6プーリ96の
各径を設定するのが好ましく、そうすることにより、各
研磨回路181〜185の各球体の研磨条件の差を小さ
くすることができる。
合において、各研磨回路181〜185の各球体が固定
盤10の各環状溝161〜165上を公転する接線方向
公転速度(単位時間当たりの球体の公転距離:m/s)
が等しくなるように第1プーリ91〜第6プーリ96の
各径を設定するのが好ましく、そうすることにより、各
研磨回路181〜185の各球体の研磨条件の差を小さ
くすることができる。
【0058】上記の図1の構成において、モータ45を
第1、第3、第5回転盤81,83,85が第1回転速
度(N1:rpm)で回転するように回転させ、モータ
46を第2、第4、第6回転盤82,84,86が第2
回転速度(−N2:rpm,N1>N2)で回転するよ
うにモータ45の回転方向に対して逆回転させてもよ
い。この場合は、球体の接線方向公転回転速度は(N1
−N2)/2の1/2となり、球体のスキュー速度は
(N1+N2)/2となり、スキューによるすべりをよ
り強めることができる。同様に、図3の構成の場合で
も、モータ45,46の回転方向を互いに逆になるよう
にしてもよい。
第1、第3、第5回転盤81,83,85が第1回転速
度(N1:rpm)で回転するように回転させ、モータ
46を第2、第4、第6回転盤82,84,86が第2
回転速度(−N2:rpm,N1>N2)で回転するよ
うにモータ45の回転方向に対して逆回転させてもよ
い。この場合は、球体の接線方向公転回転速度は(N1
−N2)/2の1/2となり、球体のスキュー速度は
(N1+N2)/2となり、スキューによるすべりをよ
り強めることができる。同様に、図3の構成の場合で
も、モータ45,46の回転方向を互いに逆になるよう
にしてもよい。
【0059】また、図6に示すように、スライダ40の
上部構造に第1〜第6モータ191〜196を設け、そ
れらのモータ191〜196の出力軸の長さを調節して
該出力軸に固定された各駆動プーリ201〜206を図
3の第1〜第6プーリ91〜96に個別にベルトを介し
て連結することにより、各モータ191〜196の回転
数の調節によって第1〜第6プーリ91〜96の回転
数、ひいては第1〜第6回転盤81〜86を個別の回転
数で回転することができる。
上部構造に第1〜第6モータ191〜196を設け、そ
れらのモータ191〜196の出力軸の長さを調節して
該出力軸に固定された各駆動プーリ201〜206を図
3の第1〜第6プーリ91〜96に個別にベルトを介し
て連結することにより、各モータ191〜196の回転
数の調節によって第1〜第6プーリ91〜96の回転
数、ひいては第1〜第6回転盤81〜86を個別の回転
数で回転することができる。
【0060】本実施の形態において、モータ45,4
6、第1〜第6モータ191〜196、及び第1〜第6
駆動プーリ101〜106等は特許請求の範囲における
回転手段に対応する。
6、第1〜第6モータ191〜196、及び第1〜第6
駆動プーリ101〜106等は特許請求の範囲における
回転手段に対応する。
【0061】上記のように第1〜第5研磨回路181〜
185で研磨加工された各球体は、排出シュート25を
介して回転コンベア30(図8)に排出され、次いで回
転コンベア30の作動によって回転コンベア30内の球
体は供給シュート24を通って上記第1〜第5研磨回路
181〜185に供給される。
185で研磨加工された各球体は、排出シュート25を
介して回転コンベア30(図8)に排出され、次いで回
転コンベア30の作動によって回転コンベア30内の球
体は供給シュート24を通って上記第1〜第5研磨回路
181〜185に供給される。
【0062】上記図1の構成において、回転コンベア3
0は、第1〜第5研磨回路181〜185から個別に球
体を受容する5つの排出シュートと、該5つの排出シュ
ートが受容した球体を個別に搬送する5つの搬送路と、
該5つの搬送路で搬送された各球体を個別に第2〜第
5,第1の研磨回路182〜185,181に夫々供給
する5つの供給シュートとからなってもよい。これによ
り、球体は、第1〜第5研磨回路181〜185を順に
経由しながら研磨加工され、同一ロット内の径相誤差を
低減させることができる。
0は、第1〜第5研磨回路181〜185から個別に球
体を受容する5つの排出シュートと、該5つの排出シュ
ートが受容した球体を個別に搬送する5つの搬送路と、
該5つの搬送路で搬送された各球体を個別に第2〜第
5,第1の研磨回路182〜185,181に夫々供給
する5つの供給シュートとからなってもよい。これによ
り、球体は、第1〜第5研磨回路181〜185を順に
経由しながら研磨加工され、同一ロット内の径相誤差を
低減させることができる。
【0063】また、研磨回路が5つある場合を例に説明
したが、研磨回路をさらに増やしててもよく、それによ
り、さらに加工効率を向上させることができる。
したが、研磨回路をさらに増やしててもよく、それによ
り、さらに加工効率を向上させることができる。
【0064】さらに、上記各実施例では各回転盤を転が
り軸受により支持しているが、例えば油静圧軸受など転
がり軸受以外により支持するようにしてもよい。また、
加圧手段は固定盤の側に設けてもよい。
り軸受により支持しているが、例えば油静圧軸受など転
がり軸受以外により支持するようにしてもよい。また、
加圧手段は固定盤の側に設けてもよい。
【0065】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明の
請求項1の球体研磨盤によれば、回転手段が、複数の回
転盤の相隣る2つを互いに異なる単位時間当たり回転数
(回転速度)で回転するように該複数の回転盤を回転さ
せるので、研磨回路の1つを構成する内側凹部と外側凹
部とを互いに異なる単位時間当たり回転数(回転速度)
で回転させ、研磨回路の1つにおいて、球体は、固定盤
の半径方向軸の回りに自転しつつ球体と接する2つの回
転盤部材の平均回転速度(平均公転回転速度:単位時間
当たり公転回転数)の1/2で研磨回路の1つ内を公転
するように研磨回路の1つ上を転がるだけでなく、前記
自転に加えて前記回転部分の相隣る2つの回転速度の差
の1/2で回転盤の回転軸と平行な軸の回りの自転(ス
キュー)を重畳させることができるので、球体表面全体
をまんべんなく研磨でき、かつ球体と、固定盤及び回転
盤とのすべり摩擦が増大し、その結果、球体の研磨時間
を短縮して加工能率を向上させかつ真球度を向上させる
ことができる。
請求項1の球体研磨盤によれば、回転手段が、複数の回
転盤の相隣る2つを互いに異なる単位時間当たり回転数
(回転速度)で回転するように該複数の回転盤を回転さ
せるので、研磨回路の1つを構成する内側凹部と外側凹
部とを互いに異なる単位時間当たり回転数(回転速度)
で回転させ、研磨回路の1つにおいて、球体は、固定盤
の半径方向軸の回りに自転しつつ球体と接する2つの回
転盤部材の平均回転速度(平均公転回転速度:単位時間
当たり公転回転数)の1/2で研磨回路の1つ内を公転
するように研磨回路の1つ上を転がるだけでなく、前記
自転に加えて前記回転部分の相隣る2つの回転速度の差
の1/2で回転盤の回転軸と平行な軸の回りの自転(ス
キュー)を重畳させることができるので、球体表面全体
をまんべんなく研磨でき、かつ球体と、固定盤及び回転
盤とのすべり摩擦が増大し、その結果、球体の研磨時間
を短縮して加工能率を向上させかつ真球度を向上させる
ことができる。
【図1】本発明の実施の形態に係る球体研磨盤の要部の
部分断面平面図である。
部分断面平面図である。
【図2】図1の球体研磨盤の要部の部分断面図である。
【図3】図1の球体研磨盤の要部の他の部分断面図であ
る。
る。
【図4】図1の球体研磨盤の主要部の部分拡大断面図で
ある。
ある。
【図5】図1の球体研磨盤で使用されるプーリの変形例
を説明するための部分断面図である。
を説明するための部分断面図である。
【図6】図1の球体研磨盤で使用されるモータの変形例
を説明するための説明図である。
を説明するための説明図である。
【図7】従来の球体研磨盤の斜視図である。
【図8】図7の球体研磨盤の要部の斜視図である。
1 ベッド 10 固定盤 20 回転盤 22 球体 23 環状溝 24 供給シュート 25 排出シュート 26 回転センター部 27 外周枠 27a 内側案内面 28 球体案内路 29 ストッパ 30 回転コンベア 45,46 モータ 51a〜56a 第1〜第6一側玉軸受 51b〜56b 第1〜第6他側玉軸受 61〜66 第1〜第6回転軸 71〜76 第1〜第6フランジ 81〜86 第1〜第6回転盤 91〜96 第1〜第6プーリ 101〜106 第1〜第6駆動プーリ 121〜126 第1〜第6環状溝 131〜136 第1〜第6貫通孔 151〜155 第1〜第5溝 161〜166 第1〜第6環状溝 171a〜175a 第1〜第6環状内側凹部 172b〜176b 第1〜第6環状外側凹部 181〜185 第1〜第5研磨回路
Claims (1)
- 【請求項1】 端面上に同心的に配された複数の第1環
状溝を有する非回転の固定盤と、前記複数の第1環状溝
と夫々対向して複数の研磨回路を形成すべく端面上に互
いに同心的に配された複数の第2環状溝を有する回転盤
と、前記複数の研磨回路より球体を受け取ると共に前記
複数の研磨回路に前記球体を供給する球体搬送手段と、
前記回転盤を回転させる回転手段と、前記複数の研磨回
路内の球体に研磨加工圧力を付与すべく前記固定盤及び
前記回転盤を互いに接近するように付勢する付勢手段と
を備える球体研磨盤において、 前記回転盤は、互いに独立して回転可能であると共に互
いに同心的に配列された複数の回転盤からなり、前記複
数の回転盤の相隣る2つのうち外側の1つはその内側に
環状の内側凹部を有すると共に、内側の1つはその外側
に前記内側凹部と協働して前記研磨回路の1つを形成す
る環状の外側凹部を有し、前記回転手段は、前記複数の
回転盤の相隣る2つが互いに異なる単位時間当たり回転
数で回転するように前記複数の回転盤を回転駆動するよ
うに構成されていることを特徴とする球体研磨盤。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34571997A JPH11156689A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | 球体研磨盤 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP34571997A JPH11156689A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | 球体研磨盤 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11156689A true JPH11156689A (ja) | 1999-06-15 |
Family
ID=18378507
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP34571997A Pending JPH11156689A (ja) | 1997-12-02 | 1997-12-02 | 球体研磨盤 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH11156689A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016026891A (ja) * | 2013-10-17 | 2016-02-18 | 株式会社ジェイテクト | 球体研磨装置及び球体研磨方法 |
-
1997
- 1997-12-02 JP JP34571997A patent/JPH11156689A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016026891A (ja) * | 2013-10-17 | 2016-02-18 | 株式会社ジェイテクト | 球体研磨装置及び球体研磨方法 |
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