JPH11153423A - 基板自動測定装置 - Google Patents
基板自動測定装置Info
- Publication number
- JPH11153423A JPH11153423A JP32114197A JP32114197A JPH11153423A JP H11153423 A JPH11153423 A JP H11153423A JP 32114197 A JP32114197 A JP 32114197A JP 32114197 A JP32114197 A JP 32114197A JP H11153423 A JPH11153423 A JP H11153423A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- frame
- air spring
- vibration
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板自動測定装置における測定再現性向上の
ためには、床からの振動の影響を減衰する除振機能が必
要である。一方除振機構の性質上除振機構上に設置され
る機器は、床面に対し揺動状態となるため、外部から除
振機構上部に基板を取置きする場合、その信頼性を低下
させる問題がある。 【解決手段】 除振機能に水平状態及び浮上量状態を検
出する電気的センサを複数設置し、この電気的センサの
状態を監視しながら前記基板を取置きする機能を新設し
基板の取置きの信頼性を向上する。
ためには、床からの振動の影響を減衰する除振機能が必
要である。一方除振機構の性質上除振機構上に設置され
る機器は、床面に対し揺動状態となるため、外部から除
振機構上部に基板を取置きする場合、その信頼性を低下
させる問題がある。 【解決手段】 除振機能に水平状態及び浮上量状態を検
出する電気的センサを複数設置し、この電気的センサの
状態を監視しながら前記基板を取置きする機能を新設し
基板の取置きの信頼性を向上する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えばＬＣＤ等基
板のパターン幅等のような微細な寸法の測定を行なう基
板の自動測定装置の改良に関するものである。
板のパターン幅等のような微細な寸法の測定を行なう基
板の自動測定装置の改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】基板自動測定装置の一例としてＬＣＤ測
定装置について説明する。従来のＬＣＤ基板自動線幅測
定装置は、図３に示すようＬＣＤ基板の線幅を測定する
検出部１とＬＣＤ基板を測定する位置に位置決めするス
テージ機構２、これらの物を搭載する架台３から構成さ
れる。一方、ＬＣＤ基板は、大型化、製造プロセスのク
リーン化に伴い、ＬＣＤ基板を自動搬送するローダ装置
４を付加する場合が増加している。この場合、ローダ装
置４は、ＬＣＤ基板を収納しているカセット６からロボ
ット５によりＬＣＤ基板を取り出しＬＣＤ基板自動線幅
測定装置のステージ２上にセットする。同様に測定の終
了したＬＣＤ基板を取出し、カセット６内に収納する。
定装置について説明する。従来のＬＣＤ基板自動線幅測
定装置は、図３に示すようＬＣＤ基板の線幅を測定する
検出部１とＬＣＤ基板を測定する位置に位置決めするス
テージ機構２、これらの物を搭載する架台３から構成さ
れる。一方、ＬＣＤ基板は、大型化、製造プロセスのク
リーン化に伴い、ＬＣＤ基板を自動搬送するローダ装置
４を付加する場合が増加している。この場合、ローダ装
置４は、ＬＣＤ基板を収納しているカセット６からロボ
ット５によりＬＣＤ基板を取り出しＬＣＤ基板自動線幅
測定装置のステージ２上にセットする。同様に測定の終
了したＬＣＤ基板を取出し、カセット６内に収納する。
【０００３】ＬＣＤ基板自動線幅測定装置では、ローダ
装置４から受け取ったＬＣＤ基板をステージ２上でクラ
ンプし、ステージ２で各測定位置への位置決めを行い、
検出部１により測定を行う。
装置４から受け取ったＬＣＤ基板をステージ２上でクラ
ンプし、ステージ２で各測定位置への位置決めを行い、
検出部１により測定を行う。
【０００４】ところで、検出部１による測定は、測定再
現性が３σで０．０５μｍ以内と高精度な測定が要求さ
れている。
現性が３σで０．０５μｍ以内と高精度な測定が要求さ
れている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従って前述の構成によ
る従来技術では、設置床条件が悪いと、床から振動が、
ステージ２や検出部１に伝わり、前述の高精度測定に、
悪影響を及ぼすことがあった。一般的にＬＣＤ基板自動
線幅測定装置は、床補強を行いにくいクリーンルーム内
のグレーチング床上に設置され、さらに、周囲に大型の
他設備や自動搬送車が稼動しているため、これらの振動
が測定に悪影響を及ぼす場合が多い。この問題を解決す
るため、架台３とステージ２の間に除振台を付加するこ
とが考えられるが、この場合は、ステージ２が除振台に
より浮上するため、ステージの移動に伴い水平状態が変
化し、ロボットからの受渡し不良によりＬＣＤ基板を破
損する等の問題がある。
る従来技術では、設置床条件が悪いと、床から振動が、
ステージ２や検出部１に伝わり、前述の高精度測定に、
悪影響を及ぼすことがあった。一般的にＬＣＤ基板自動
線幅測定装置は、床補強を行いにくいクリーンルーム内
のグレーチング床上に設置され、さらに、周囲に大型の
他設備や自動搬送車が稼動しているため、これらの振動
が測定に悪影響を及ぼす場合が多い。この問題を解決す
るため、架台３とステージ２の間に除振台を付加するこ
とが考えられるが、この場合は、ステージ２が除振台に
より浮上するため、ステージの移動に伴い水平状態が変
化し、ロボットからの受渡し不良によりＬＣＤ基板を破
損する等の問題がある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、これらの問題
を除去し、床からの振動の影響を受けずなおかつロボッ
トとのＬＣＤ基板受渡しの信頼性を向上することを目的
とする。
を除去し、床からの振動の影響を受けずなおかつロボッ
トとのＬＣＤ基板受渡しの信頼性を向上することを目的
とする。
【０００７】本発明は、上記の目的を達成するため、架
台３とステージ２の間に空気バネ方式の除振台を設置し
たものである。
台３とステージ２の間に空気バネ方式の除振台を設置し
たものである。
【０００８】また、ステージ２の水平状態を検出するた
め、除振台に複数のセンサを水平状態を検出するのに適
した位置に設置したものである。
め、除振台に複数のセンサを水平状態を検出するのに適
した位置に設置したものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下この発明の一実施例を図１に
より説明する。
より説明する。
【００１０】１は測定のための画像を撮像する検出部、
２はＬＣＤ基板をクランプし、測定位置に位置決めする
ステージ機構、３はステージ機構及び検出部を搭載する
架台、４はローダ装置、５はローダ装置４に設置されて
いる搬送ロボット、６はＬＣＤ基板が収納されているカ
セット、７は除振台、８は空気バネ、９は水平レベル調
整を空気バネが自動調整するための機械式レベルセン
サ、１０は水平レベル状態を電気的に検出する電気式レ
ベルセンサ、１１はセンサ１０の信号を取込み処理する
処理装置である。
２はＬＣＤ基板をクランプし、測定位置に位置決めする
ステージ機構、３はステージ機構及び検出部を搭載する
架台、４はローダ装置、５はローダ装置４に設置されて
いる搬送ロボット、６はＬＣＤ基板が収納されているカ
セット、７は除振台、８は空気バネ、９は水平レベル調
整を空気バネが自動調整するための機械式レベルセン
サ、１０は水平レベル状態を電気的に検出する電気式レ
ベルセンサ、１１はセンサ１０の信号を取込み処理する
処理装置である。
【００１１】除振台７は、架台３とステージ２の間に設
置しており、架台３上に設置された空気バネ９の上にス
テージ２が搭載されている。
置しており、架台３上に設置された空気バネ９の上にス
テージ２が搭載されている。
【００１２】従ってステージ２は、架台３に対し、空気
バネ８を介して揺動可能な状態となっておりこれによ
り、架台３から伝わる振動を減衰させている。一方、機
械式レベルセンサ９は、架台３に３カ所設置され各々の
機械式レベルセンサ９の検出アームがステージ２の下部
に接触している。この機械式レベルセンサ９は、一次側
エア源と空気バネ８に接続されており、検出アームが下
がると内部の絞りが開き空気バネ８にエアが供給される
様に作用し、各々の空気バネ８と機械式レベルセンサ９
の作用により、ステージ２の移動、すなわち重心移動に
伴うステージ２の水平レベル変化を矯正し、自動的にス
テージ２が水平になる様に作用する。ところでこの水平
に自動レベル調整する時間は、ステージ２の移動速度、
移動量によって変化し、必ずしも一定時間とはならな
い。また一次側のエア圧が増減すると水平状態は保てて
も、浮上量が変化する。この様な条件下でローダ装置４
の搬送ロボット５がステージ２に対し、ＬＣＤ基板を取
置きすると、水平状態又は浮上量によっては、取置不良
を発生し、ＬＣＤ基板の破損につながるため架台３に、
電気的にレベル状態を検出するレベルセンサ１０を３カ
所設置し、各レベルセンサ１０から出力された信号を処
理装置１１に入力し、各々のセンサがすべてオンになっ
た状態すなわち水平レベル状態になった時にのみ、搬送
ロボット５がＬＣＤ基板の取置き動作を行う様に制御す
る。
バネ８を介して揺動可能な状態となっておりこれによ
り、架台３から伝わる振動を減衰させている。一方、機
械式レベルセンサ９は、架台３に３カ所設置され各々の
機械式レベルセンサ９の検出アームがステージ２の下部
に接触している。この機械式レベルセンサ９は、一次側
エア源と空気バネ８に接続されており、検出アームが下
がると内部の絞りが開き空気バネ８にエアが供給される
様に作用し、各々の空気バネ８と機械式レベルセンサ９
の作用により、ステージ２の移動、すなわち重心移動に
伴うステージ２の水平レベル変化を矯正し、自動的にス
テージ２が水平になる様に作用する。ところでこの水平
に自動レベル調整する時間は、ステージ２の移動速度、
移動量によって変化し、必ずしも一定時間とはならな
い。また一次側のエア圧が増減すると水平状態は保てて
も、浮上量が変化する。この様な条件下でローダ装置４
の搬送ロボット５がステージ２に対し、ＬＣＤ基板を取
置きすると、水平状態又は浮上量によっては、取置不良
を発生し、ＬＣＤ基板の破損につながるため架台３に、
電気的にレベル状態を検出するレベルセンサ１０を３カ
所設置し、各レベルセンサ１０から出力された信号を処
理装置１１に入力し、各々のセンサがすべてオンになっ
た状態すなわち水平レベル状態になった時にのみ、搬送
ロボット５がＬＣＤ基板の取置き動作を行う様に制御す
る。
【００１３】なお、一定時間以上たっても３ケのセンサ
９がオン状態にならない、除振台が水平状態にない時に
インターロック機能が作動する。すなわち、ステージ２
が水平状態にならない場合は、処理装置１１が、異常状
態と判断し、作業者に異常状態を知らせる様に作用す
る。
９がオン状態にならない、除振台が水平状態にない時に
インターロック機能が作動する。すなわち、ステージ２
が水平状態にならない場合は、処理装置１１が、異常状
態と判断し、作業者に異常状態を知らせる様に作用す
る。
【００１４】図２、図４にレベルセンサ１０の一実施例
を示す。
を示す。
【００１５】図２は、ステージ２下部に遮光板１２を設
置し、架台３上部に光電センサ１３を設置したものであ
る。ステージ２が水平状態なおかつ、所定の浮上量位置
に有る時は、遮光板１２の切欠き部分を光が通るため、
光電センサ１３は、オフ状態となる。ステージ２の水平
状態又は浮上量が変化すると光電センサ１３の光路は、
遮光板１２により遮光されオン状態となる。
置し、架台３上部に光電センサ１３を設置したものであ
る。ステージ２が水平状態なおかつ、所定の浮上量位置
に有る時は、遮光板１２の切欠き部分を光が通るため、
光電センサ１３は、オフ状態となる。ステージ２の水平
状態又は浮上量が変化すると光電センサ１３の光路は、
遮光板１２により遮光されオン状態となる。
【００１６】図４は、レベルセンサとして測距離式セン
サ１４を使用した実施例を示す。この場合は、レベルセ
ンサ１４が下方向からステージ２の下面を検出し、レベ
ルセンサ１４とステージ２が一定距離になった時のみ、
オン状態となる。尚本実施例においては、前記機械式レ
ベルセンサ９と電気式レベルセンサ１０が、別々に設置
されているが、機械式レベルセンサ９と電気式レベルセ
ンサ１０の機能を一体化したレベルセンサを使用するこ
とも可能である。
サ１４を使用した実施例を示す。この場合は、レベルセ
ンサ１４が下方向からステージ２の下面を検出し、レベ
ルセンサ１４とステージ２が一定距離になった時のみ、
オン状態となる。尚本実施例においては、前記機械式レ
ベルセンサ９と電気式レベルセンサ１０が、別々に設置
されているが、機械式レベルセンサ９と電気式レベルセ
ンサ１０の機能を一体化したレベルセンサを使用するこ
とも可能である。
【００１７】
【発明の効果】本発明により、床からステージ２及び検
出部１に伝わる振動を減衰させるとともに、ステージ２
の水平状態及び浮上状態を監視する機能を設けることに
より、搬送ロボット５とステージ２間の基板の取置動作
の信頼性を向上することができる。
出部１に伝わる振動を減衰させるとともに、ステージ２
の水平状態及び浮上状態を監視する機能を設けることに
より、搬送ロボット５とステージ２間の基板の取置動作
の信頼性を向上することができる。
【図１】本発明の実施例を示す構造図
【図２】本発明の実施例におけるセンサ部の詳細図
【図３】従来の構造図
【図４】本発明の実施例におけるセンサ部の詳細図
１：検出部、２：ステージ機構、３：架台、４：ローダ
装置、５：搬送ロボット、６：カセット、７：除振台、
８：空気バネ、９：機械式レベルセンサ、１０：電気式
レベルセンサ、１１：処理装置。
装置、５：搬送ロボット、６：カセット、７：除振台、
８：空気バネ、９：機械式レベルセンサ、１０：電気式
レベルセンサ、１１：処理装置。
Claims (2)
- 【請求項１】 基板のパターン幅等を自動で測定する基
板自動線幅測定装置において、 設置床からの振動を減衰させる除振台と該除振台の水平
状態を電気的に検出する複数のセンサを具備したことを
特徴とする基板自動測定装置。 - 【請求項２】 前記請求項１記載の基板自動測定装置に
おいて、 前記複数のセンサから得られる情報を処理し、除振台が
水平状態にない時にインターロック機能が作動すること
を特徴とする基板自動測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32114197A JPH11153423A (ja) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | 基板自動測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32114197A JPH11153423A (ja) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | 基板自動測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11153423A true JPH11153423A (ja) | 1999-06-08 |
Family
ID=18129267
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32114197A Pending JPH11153423A (ja) | 1997-11-21 | 1997-11-21 | 基板自動測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11153423A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100662252B1 (ko) | 2005-04-26 | 2007-01-02 | 주식회사 인텍아이엠에스 | 진동흡수판을 갖는 석정반 결합구조에 의한 3차원 측정기 |
| CN105783723A (zh) * | 2016-04-26 | 2016-07-20 | 广东技术师范学院 | 基于机器视觉的精密模具表面加工精度检测装置及方法 |
| JP2017221094A (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-14 | 勝方光電科技股▲分▼有限公司 | 移動機充電システム |
-
1997
- 1997-11-21 JP JP32114197A patent/JPH11153423A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100662252B1 (ko) | 2005-04-26 | 2007-01-02 | 주식회사 인텍아이엠에스 | 진동흡수판을 갖는 석정반 결합구조에 의한 3차원 측정기 |
| CN105783723A (zh) * | 2016-04-26 | 2016-07-20 | 广东技术师范学院 | 基于机器视觉的精密模具表面加工精度检测装置及方法 |
| JP2017221094A (ja) * | 2016-06-03 | 2017-12-14 | 勝方光電科技股▲分▼有限公司 | 移動機充電システム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20040712 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041115 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20050113 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050228 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20050711 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |