JPH1115003A - 液晶パネル用スペーサの散布方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 スペーサの供給装置と散布ノズルとの間を搬
送管で接続することによって供給装置と散布ノズルとの
配置の自由度を確保することができ、しかも、スペーサ
の目詰まりや散布量の変動を来すことのない新規の液晶
パネル用スペーサの散布方法及び装置を提供する。 【解決手段】 搬送部２３には、排出口２２ｄから落下
したスペーサ３５を受ける受け口２９が設けられ、受け
口２９は搬送部２３の内部に形成された水平軸線を備え
た送出室４０に連通している。送出室４０の内部には導
気管４１が図示右方から導入されている。導気管４１は
図示右方において搬送部２３に接続された給気管４２に
連通し、給気管４２から供給されるエアをその先端部４
１ａから放出するようになっている。送出室４０の左端
には接続管４３が接続され、この接続管４３の外周に搬
送チューブ２４が装着されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は液晶パネル用スペー
サの散布方法及び装置に係り、さらに詳しくは、液晶パ
ネルを製造する場合に、液晶パネルを構成する２枚の基
板間の間隔を一定に保持するために基板間に介挿される
スペーサを、基板の貼り合わせ工程の前に一方の基板の
内面上に散布するための方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、液晶パネルの製造工程において
は、液晶パネルを構成する一方の基板上に硬質プラスチ
ック製の微少な粒子（以下、「スペーサ」という。）を
散布し、スペーサを基板上に分散配置させ、その後、こ
の基板を、シール材を介してもう一方の基板と貼り合わ
せるようにする場合がある。スペーサの粒径は予め液晶
パネルのセルギャップと合致した値に形成されており、
２枚の基板を圧着した場合に、スペーサの粒径によりセ
ルギャップの最小値が制限されることによって、液晶パ
ネル全体をほぼ均一なセルギャップを備えたものとする
ことができる。

【０００３】上記のスペーサの散布には種々の方法が提
案されている。例えば、特開昭６３−１５９８９４号等
に記載されているように、容器内の所定溶媒中にスペー
サを分散させ、この容器に空気等を吹き込み、搬送管を
介してスペーサを散布ノズルに搬送して、散布ノズルか
ら上記基板上にスペーサを吹き付ける方法がある。しか
しながら、この方法ではスペーサ同士が複数かたまって
基板上に散布される場合があり、このような場合には、
スペーサを基板上に均一に分散させることが困難である
とともに、液晶パネルの表示欠陥の原因となるという問
題点がある。

【０００４】一方、本出願人が先に提出した特開平３−
２５１８２１号に記載されているように、スペーサの供
給装置の下方に散布ノズルを配置し、この散布ノズルに
電極を設け、この電極によってスペーサに負電荷を付与
して帯電させた上で、帯電させたスペーサを接地された
基板上に吹き付ける方法がある。この方法ではスペーサ
が負電位に帯電していることによって相互に反発し、分
散した状態で電界に沿って移動するので、基板上に均一
に散布することができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記２つの散布方法の
うち、最初の方法においては、上記のように散布状態が
好ましくないという問題点の他に、容器内に空気をふき
込んだ際にスペーサを安定して搬送管に送ることができ
ず、スペーサの散布量が変動しやすく、また、容器内へ
の空気の導入量とスペーサの供給量とを経験やカンによ
って調節しなければならないという問題点がある。

【０００６】また、２番目の方法においては、スペーサ
のかたまりを防止することができる点は好ましいもの
の、供給装置と散布ノズルとを互いに接近させ、上下に
配置しなければならないため、装置構成の自由度が少な
く、供給装置と散布ノズルとを搬送管によって接続する
と、搬送管内にスペーサが滞留することによってスペー
サの目詰まりや散布量の変動を来すという問題点があ
る。

【０００７】そこで本発明は上記従来の各問題点を解決
するものであり、その課題は、スペーサの供給装置と散
布ノズルとの間を搬送管で接続することによって供給装
置と散布ノズルとの配置の自由度を確保することがで
き、しかも、スペーサの目詰まりや散布量の変動を来す
ことのない新規の液晶パネル用スペーサの散布方法及び
装置を提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明が講じた手段は、粒状のスペーサを基板上に散
布するための液晶パネル用スペーサの散布方法におい
て、前記スペーサを制御された供給量にて供給する工程
と、供給された前記スペーサを散布ノズルに向けて流体
圧により搬送する工程と、搬送されてきた前記スペーサ
を前記散布ノズルから前記基板上に散布する工程とを備
えることを特徴とする。

【０００９】この手段によれば、流体圧を利用して供給
されたスペーサを散布ノズルまで搬送するようにしたの
で、供給部と散布ノズルとの間に適宜のスペーサの搬送
経路（流路）を設けても滞留や搬送量の変動が生じにく
く、供給部と散布ノズルとの配置の自由度を確保しつ
つ、スペーサの目詰まりや散布量の変動を抑制すること
ができる。また、流体圧によってスペーサを搬送するこ
とによってスペーサが流路中にて攪拌されるため、スペ
ーサの塊や短周期の散布量の変動を防止することができ
る。

【００１０】ここで、前記スペーサの供給位置よりも下
流側で下流方向に流体を導入することによって前記スペ
ーサを前記供給位置から搬送する流路内に引き込むこと
が好ましい。

【００１１】この手段によれば、流体をスペーサの供給
位置より下流側で導入することによって、供給位置にお
いて流体圧によってスペーサを引き込むことができるた
め、より確実にスペーサを搬送することができ、スペー
サの滞留や逆流を防止することができる。

【００１２】また、前記スペーサを帯電性内壁を備えた
曲折した流路中にて搬送することによって、前記スペー
サに静電荷を付与することが望ましい。

【００１３】この手段によれば、帯電性内壁を備えた曲
折した流路中にて搬送することによってスペーサ自身が
帯電性内壁と擦れ合うことによって帯電するため、帯電
したスペーサ同士が反発してスペーサがかたまり合うこ
とを防止することができ、また、基板の設置部にもスペ
ーサとは異なる所定の電位を供給することによって、ス
ペーサに電界から静電力を印加して散布することができ
る。

【００１４】さらに、前記散布ノズルを可撓性チューブ
とし、流体圧によって前記散布ノズルの先端を振り子状
に揺らしながら前記スペーサを散布することが望まし
い。

【００１５】この手段によれば、流体圧によって可撓性
チューブの先端を振り子状に揺らしながらスペーサを散
布することができるので、スペーサの散布分布をより均
一化することが可能になる。

【００１６】次に、粒状のスペーサを基板上に散布する
ための液晶パネル用スペーサの散布装置においては、前
記スペーサを制御された供給量にて供給するための供給
手段と、供給された前記スペーサを流体圧により流路に
沿って搬送するように構成された搬送手段と、該搬送手
段によって搬送されてきた前記スペーサを前記基板上に
散布するための散布ノズルとを備えていることを特徴と
する。

【００１７】ここで、前記搬送手段は、前記供給手段か
ら前記スペーサが供給される供給位置よりも下流側の前
記流路内において下流方向に流体を導入する流体導入口
を備えていることが好ましい。

【００１８】また、前記流路は、少なくとも一部に帯電
性内壁を備えているとともに、該帯電性内壁の有する部
分にて曲折して形成されていることが望ましい。

【００１９】さらに、前記散布ノズルは、少なくとも先
端部が可撓性材料で形成されており、該先端部が搬送の
ための流体圧によって振り子状に揺れるように構成され
ていることが望ましい。

【００２０】

【発明の実施の形態】次に、添付図面を参照して本発明
に係る実施形態について説明する。図１は本発明に係る
液晶パネル用スペーサの散布装置の概略の全体構成を示
す概略構成断面図である。フレーム１０の上部には供給
室１１が設けられ、この供給室１１の内部には、後述す
るスペーサ容器２１、供給部２２、搬送部２３、搬送チ
ューブ２４及び散布ノズル２５が配置され、散布ノズル
２５は、供給室１１の底面の略中央に形成された開口部
から下方に突出している。

【００２１】供給室１１の下方には散布室１２が設けら
れ、散布室１２には、上部及び下部の開口した矩形の内
壁１２ａが取り巻くように形成されている。内壁１２ａ
の内側下部には、液晶パネルを構成する一方の基板３０
が収容されるようになっており、基板３０はその内面側
を上に向けた状態で導電性支持板３１の上に載置されて
いる。導電性支持板３１は昇降部材３２を介して駆動室
１４内に配置された昇降機構３３に接続され、その下方
に収容された駆動制御装置１５の指令に基づいて上下に
昇降するように構成されている。

【００２２】散布室１２の下方には搬送機構１３が配置
されている。この搬送機構１３にはローラ軸の図の紙面
と直交する方向の前後両端に取り付けられた多数の搬送
ローラ１３ａが設けられ、これらの搬送ローラ１３ａは
図示しない原動機によって回転して、搬送ローラ１３ａ
上に載置された基板３０を順次図示左方から右方に搬送
するように構成されている。なお、装置の最下段に配置
された供給制御装置１６は、上部に配置されたスペーサ
の供給室１１内の各機器を制御するためのものである。

【００２３】搬送機構１３は、図示左方から基板３０を
搬送して図示中央に配置させる。このとき、昇降機構３
３の昇降部材３２は下方に引き込まれており、導電性支
持板３１は図示前後に配置された搬送ローラ１３ａの間
に待避している状態となっている。次に、昇降部材３２
を上昇させると、搬送ローラ１３ａ上に載置されていた
基板３０は導電性支持板３１の上に載置された状態とな
り、導電性支持板３１とともに上昇し、図示のように散
布室１２の下部に配置された状態となる。

【００２４】後述するように散布室１２内にてスペーサ
３５の散布が終了すると、昇降機構３３が稼動して再び
導電性支持板３１は下降し、基板３０を搬送ローラ１３
ａの上に載置した状態とする。そして、搬送機構１３
は、基板３０を図示右方へと搬送していく。

【００２５】次に、図２及び図３を参照して供給室１１
内に配置された機器の構造を詳細に説明する。図２に示
すように、スペーサ容器２１には、直径５〜１４μｍ程
度のスペーサ３５が収容されている。スペーサ容器２１
の下部開口は、供給部２２に設けられた給材室２２ａの
上部開口と連通している。給材室２２ａの内部には、水
平軸を中心として回転する回転体２６が収容され、この
回転体２６には４つのフィン２６ａが設けられている。
これら４つのフィン２６ａは、回転体２６が回転すると
給材室２２ａの下部内面に実質的に摺接するように構成
されている。フィン２６ａの先端部には、図の紙面と垂
直な方向の中間部に切り欠き部２６ｂが形成されてお
り、給材室２２ａは連通口２２ｃを介して配材室２２ｂ
に連通している。

【００２６】配材室２２ｂは水平軸線を備えた円柱状の
空間として形成されており、その配材室２２ｂにほぼ完
全に充填される円柱形状の配材ローラ２７が収容されて
いる。この配材ローラ２７の図の紙面方向と垂直な方向
の中央部には、周回方向に環状に形成された配材溝２７
ａが設けられている。配材ローラ２７は、上記の回転体
２６とは逆方向に回転するように、図示しない駆動モー
タにギアを介して連結されている。配材ローラ２７の下
部には、配材溝２７ａに対して水平方向に摺接する離反
ブレード２８が導入されており、この離反ブレード２８
の先端部２８ａの直下に排出口２２ｄが形成されてい
る。

【００２７】上記回転体２６の隣接する２つのフィン２
６ａは、給材室２２ａの下部において所定量のスペーサ
３５を給材室２２ａ内の他のスペーサから分離し、連通
口２２ｃを介して配材室２２ｂに送り出すように作用す
る。このとき、上記切り欠き部２６ｂは、隣接する２つ
のフィン２６ａの間に収容されたスペーサ３５が配材室
２２ｂに送り込まれるに従って２つのフィン２６ａの間
の空間が負圧になることを抑制し、負圧によってスペー
サ３５の送り出しが停止してしまうことを防止してい
る。

【００２８】連通口２２ｃから送り込まれたスペーサ３
５は配材溝２７ａに収容され、配材ローラ２７の回転に
従って配材室２２ｂの内面に沿って下方に移動し、やが
て離反ブレード２８の先端部２８ａによって配材溝２７
ａから排出口２２ｄを介して落下するようになってい
る。上記供給部２２の回転体２６及び配材ローラ２７の
回転数は、上記供給制御装置１６によって制御されるよ
うに構成されている。

【００２９】供給部２２の下方には搬送部２３が配置さ
れている。この搬送部２３には、排出口２２ｄから落下
したスペーサ３５を受ける受け口２９が設けられ、この
受け口２９の開口縁には、上方に開く形状に形成された
テーパー面２９ａが設けられている。受け口２９は搬送
部２３の内部に形成された水平軸線を備えた円筒状の内
径９ｍｍの送出室４０に連通している。送出室４０の内
部には、その軸線に沿って外径５ｍｍ、内径３ｍｍの導
気管４１が図示右方から導入されている。導気管４１は
図示右方において搬送部２３に接続された給気管４２に
連通し、給気管４２から供給されるエアをその先端部４
１ａから放出するようになっている。給気管４２の供給
圧力は種々に調整されるがほぼ４ｋｇ／ｃｍ² 程度であ
る。送出室４０の左端には接続管４３が接続され、この
接続管４３の外周に上記の搬送チューブ２４（内径１０
ｍｍ）が装着されている。搬送チューブ２４はスペーサ
３５の付着し難い内面を備えた透明な樹脂チューブであ
ることがメンテナンス上好ましい。導気管４１の先端部
４１ａは、接続管４３の先端よりも図示左方に突出する
ように形成されている。なお、搬送部２３はステンレス
鋼により形成され、受け口２９及び送出室４０の内面並
びに導気管４１の外面は、スペーサ３５が付着し難いよ
うに鏡面に仕上げられている。

【００３０】搬送部２３においては、給気管４２から供
給されるエアを導気管４１の先端部４１ａから放出させ
ることによって、エジェクタ効果によって送出室４０内
を外側よりも負圧とし、上記排出口２２ｄから落下する
スペーサ３５を吸引するため、半強制的にスペーサ３５
を受け口２９から送出室４０内に引き込むようになって
いる。送出室４０に引き込まれたスペーサ３５は、導気
管４１のエジェクタ効果によって図示左方に吸引され、
搬送チューブ２４内に引き込まれ、そこから先は、導気
管４１から放出されたエアに乗って搬送チューブ２４内
を下流側に移動していく。ここで、導気管４１の先端部
４１ａは、少なくとも受け口２９と送出室４０との合流
点位置よりも図示左方（下流側）に配置されていればよ
い。これは、導気管４１から放出されるエアが受け口２
９から逆流しないようにし、また、エジェクタ効果が確
実に得られるようにするためである。ただし、本実施形
態においては、先端部４１ａを接続管４３の先端よりも
外側に突出させていることによって、清掃、部品交換等
のメンテナンスをさらに容易にしている。本実施形態で
は送出室４０が受け口２９の直下よりも図示右方にまで
延長形成されているが、送出室４０を受け口２９の直下
から図示左方に伸びるように形成してもよい。導気管４
１から放出されるエアの流量は、上記供給制御装置１６
によって制御されるように構成されている。なお、導気
管４１から放出させるのはエアに限らず、窒素ガス等の
他の流体でもよい。

【００３１】上記の供給部２２の排出口２２ｄの出口部
と、搬送部２３の受け口２９の入口部とは、互いに５ｍ
ｍ程度離れるように設定されている。これは、供給部２
２内のスペーサ３５の通路と搬送部２３内の送出室４０
とが気流に関して或いは圧力的に相互に影響し合わない
ようにするためであり、送出室４０内の負圧によって供
給部２２内のスペーサ３５が吸い出されたり、逆に、送
出室４０内において、下流側よりも受け口２９側が負圧
になることによってエアが逆流したりすることを防止す
るためである。本実施形態では、供給部２２と搬送部２
３とを別体に構成し、相互に所定の間隔で配置すること
によって、排出口２２ｄと受け口２９とを互いに離反さ
せているが、このような構成に限らず、例えば、排出口
２２ｄと受け口２９とを連通させて形成し、両者の間に
エア等を導入するための給気口を設けてもよい。

【００３２】図３に示すように搬送チューブ２４の下流
側の先端部は、散布ノズル２５に接続されている。散布
ノズル２５は、搬送チューブ２４と連通し、下端に散布
口を有する散布孔２５ａと、この散布孔２５ａの途中に
合流する導気孔２５ｂとを備えている。導気孔２５ｂに
は、図示しない給気管から高圧のエアが導入され、その
エジェクタ効果によって搬送チューブ２４内からスペー
サ３５を引き込むようになっている。散布孔２５ａ内の
散布口の近傍には、印加電極２５ｃが配置されている。
この印加電極２５ｃには、図示しない電源から供給され
た電力を元に電圧コントローラを介して高電圧発生回路
にて形成された負の高電圧（−１００ＶＤＣ）が導かれ
ている。

【００３３】図１に示す導電性支持板３１には接地電位
が供給されていおり、上部の散布ノズル２５の印加電極
２５ｃと導電性支持板３１との間には、大きな電位差に
基づく電界が発生している。散布ノズル２５から散布さ
れるスペーサ３５は、印加電極２５ｃによって負に帯電
しており、その帯電状態において、散布室１２内の上記
電界によって導電性支持板３１上の基板３０の表面上
に、重力と電磁力との双方の影響下に散布される。液晶
パネル用のスペーサ３５は、近年のセルギャップの低下
とともに小径（数μｍ程度）となっており、自由落下で
は落下時間がかかるとともに、その落下方向も散布室１
２内の気流（主に散布ノズル２５から放出されるエアに
よって発生する。）によって大きく影響される。これに
対して、本実施形態では静電界によってスペーサ３５を
基板３０上に導くようにしているので、基板３０上に従
来よりも均一にスペーサ３５を散布することができる。

【００３４】本実施形態においては、供給部２２によっ
て制御された供給量で確実にスペーサ３５が供給される
ように構成され、また、供給されたスペーサ３５は、搬
送部２３においてエア圧によって搬送チューブ２４を介
して散布ノズル２５に搬送されるように構成されている
ため、スペーサ３５の供給部においてスペーサ３５の供
給量が変動したり、供給部２２と散布ノズル２５との間
でスペーサ３５が滞留することによってスペーサ３５の
散布量が変動したり、所望の散布量にならなかったりす
ることを防止することができる。さらに、供給部２２
と、散布ノズル２５とを互いに接近して配置する必要が
ないため、供給室１１内の各部の配置を自由に行うこと
ができ、スペーサ３５の散布装置における設計上の自由
度を確保することができる。

【００３５】さらに、本実施形態では、搬送部２３内に
おいて供給部２２から供給されたスペーサ３５が気流に
よってエア等の流体中にて攪拌されるため、スペーサ３
５の凝集が低減されるとともに、スペーサ３５の散布量
の短周期の変動も抑制されるため、より分散性が良好
で、しかも安定したスペーサ散布を行うことができる。

【００３６】図４には、上記実施形態とは異なる構造の
散布ノズル５０を示す。この散布ノズル５０において
は、供給室１１の底板上に固定された支持部材５１と、
この支持部材５１にて支持された可撓性チューブ５２と
が設けられる。この可撓性チューブは種々の樹脂製のチ
ューブを用いることができ、また、上記実施形態におけ
る搬送チューブ２４自体を用いることも可能である。可
撓性チューブ５２の先端部５２ａは、支持部材５１から
下方に予め設定された長さＬだけ突出しており、何者に
も支持されていないフリーの状態となっている。

【００３７】この散布ノズル５０は、上記実施形態と同
様の供給部２２、搬送部２３に接続されており、搬送部
２３において放出されたエアにより搬送されてきたスペ
ーサ３５は、可撓性チューブ５２を通過して先端部５２
ａの突端にある散布口５２ｂから下方へ放出されるよう
になっている。このとき、搬送エアによって可撓性チュ
ーブ５２の先端部５２ａは図示一点鎖線に示すように揺
れ、散布口５２ｂは散布室１２の上部にて往復動し若し
くは回転する。このことによって、スペーサ３５は適度
に分散された状態で散布される。可撓性チューブ５２の
先端部５２ａの揺動の態様は、可撓性チューブ５２の材
質や先端部５２ａの長さＬ並びに搬送部２３のエア流量
等によって変動するため、基板３０上への散布状態が最
も良好になるように適宜に条件を調整して行う。

【００３８】図５には、別の散布ノズル６０の構造を示
す。この散布ノズル６０は、放出チューブ６１を、供給
室１１の底板に固定された円筒状突起６２の外周面上に
螺旋状に巻回し、その先端部６１ａを供給室１１の底板
に固定してさらに下方の散布室１２内に突出するように
したものである。この放出チューブ６１は、それ自体絶
縁性で、かつ、スペーサ３５との摩擦によって帯電する
性質（以下、単に「帯電性」という。）を持つ材質の内
面を備え、プラスチック材料等の各種樹脂、繊維等を用
いて製造した帯電性を備えたチューブを用いることがで
きる。放出チューブ６１自体が帯電性を備えていること
によって、放出チューブ６１の巻回形状に沿って内部を
通過するスペーサ３５は放出チューブ６１の内面と接触
して擦られ、その内面を帯電させると同時に自身も静電
気を帯びる。このようにして帯電したスペーサ３５は、
上記実施形態と同様に、接地された導電性支持板３１上
の基板３０に向かう静電力を受けながら散布される。

【００３９】なお、図５に示す散布ノズル６０のように
放出チューブ６１を螺旋状に巻回しなくても、放出チュ
ーブに他の形状の曲折部を設けることによっても同様に
スペーサ３５を帯電させることができる。ただし、スペ
ーサ３５の進行を極力妨げることなく、充分に帯電させ
るには、図５に示すように螺旋状に構成することが好ま
しい。また、この曲折部は、散布ノズルの一部としてで
はなく、搬送チューブ等の任意のスペーサの経路におい
て設けてもよい。

【００４０】さらに、図５に示す散布ノズル６０の先端
部は、図３に示す散布ノズル２５の印加電極２５ｃを取
り外したものに代えてもよく、或いはまた、図４に示す
散布ノズル５０のように、少なくとも先端部を可撓性材
料で形成し、その散布口を揺動させることによって散布
状態の分散性や均一性を高めるようにしてもよい。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば以下
の効果を奏する。

【００４２】請求項１又は請求項５によれば、流体圧を
利用して供給されたスペーサを散布ノズルまで搬送する
ようにしたので、供給部と散布ノズルとの間に適宜のス
ペーサの搬送経路（流路）を設けても滞留や搬送量の変
動が生じにくく、供給部と散布ノズルとの配置の自由度
を確保しつつ、スペーサの目詰まりや散布量の変動を抑
制することができる。また、流体圧によってスペーサを
搬送することによってスペーサが流路中にて攪拌される
ため、スペーサの塊や短周期の散布量の変動を防止する
ことができる。

【００４３】請求項２又は請求項６によれば、流体をス
ペーサの供給位置より下流側で導入することによって、
供給位置において流体圧によってスペーサを引き込むこ
とができるため、より確実にスペーサを搬送することが
でき、スペーサの滞留や逆流を防止することができる。

【００４４】請求項３又は請求項７によれば、帯電性内
壁を備えた曲折した流路中にて搬送することによってス
ペーサ自身が帯電性内壁と擦れ合うことによって帯電す
るため、帯電したスペーサ同士が反発してスペーサがか
たまり合うことを防止することができ、また、基板の設
置部にもスペーサとは異なる所定の電位を供給すること
によって、スペーサに電界から静電力を印加して散布す
ることができる。

【００４５】請求項４又は請求項８によれば、流体圧に
よって可撓性チューブの先端を振り子状に揺らしながら
スペーサを散布することができるので、スペーサの散布
分布をより均一化することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る液晶パネル用スペーサの散布装置
の実施形態の全体構成を示す概略構成断面図である。

【図２】同実施形態におけるスペーサの供給部、搬送部
の構造を示す断面図である。

【図３】同実施形態におけるスペーサの散布ノズルの構
造を示す断面図である。

【図４】実施形態とは異なるスペーサの散布ノズルの構
造を示す断面図である。

【図５】さらに異なるスペーサの散布ノズルの構造を示
す正面図である。

【符号の説明】

１０ フレーム １１ 供給室 １２ 散布室 １３ 搬送機構 １５ 駆動制御装置 １６ 供給制御装置 ２１ スペーサ容器 ２２ 供給部 ２３ 搬送部 ２４ 搬送チューブ ２５，５０，６０ 散布ノズル ２９ 受け口 ３０ 基板 ３１ 導電性支持板 ４０ 送出室 ４１ 導気管 ４１ａ 先端部 ４３ 接続管 ５１ 支持部材 ５２ 可撓性チューブ ５２ａ 先端部 ６１ 放出チューブ

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 粒状のスペーサを基板上に散布するため
   の液晶パネル用スペーサの散布方法において、前記スペ
   ーサを制御された供給量にて供給する工程と、供給され
   た前記スペーサを散布ノズルに向けて流体圧により搬送
   する工程と、搬送されてきた前記スペーサを前記散布ノ
   ズルから前記基板上に散布する工程とを備えることを特
   徴とする液晶パネル用スペーサの散布方法。
2. 【請求項２】 請求項１において、前記スペーサの供給
   位置よりも下流側で下流方向に流体を導入することによ
   って前記スペーサを前記供給位置から搬送する流路内に
   引き込むことを特徴とする液晶パネル用スペーサの散布
   方法。
3. 【請求項３】 請求項１又は請求項２において、前記ス
   ペーサを帯電性内壁を備えた曲折した流路中にて搬送す
   ることによって、前記スペーサに静電荷を付与すること
   を特徴とする液晶パネル用スペーサの散布方法。
4. 【請求項４】 請求項１又は請求項２において、前記散
   布ノズルを可撓性チューブとし、流体圧によって前記散
   布ノズルの先端を振り子状に揺らしながら前記スペーサ
   を散布することを特徴とする液晶パネル用スペーサの散
   布方法。
5. 【請求項５】 粒状のスペーサを基板上に散布するため
   の液晶パネル用スペーサの散布装置において、前記スペ
   ーサを制御された供給量にて供給するための供給手段
   と、供給された前記スペーサを流体圧により流路に沿っ
   て搬送するように構成された搬送手段と、該搬送手段に
   よって搬送されてきた前記スペーサを前記基板上に散布
   するための散布ノズルとを備えていることを特徴とする
   液晶パネル用スペーサの散布装置。
6. 【請求項６】 請求項５において、前記搬送手段は、前
   記供給手段から前記スペーサが供給される供給位置より
   も下流側の前記流路内において下流方向に流体を導入す
   る流体導入口を備えていることを特徴とする液晶パネル
   用スペーサの散布装置。
7. 【請求項７】 請求項５又は請求項６において、前記流
   路は、少なくとも一部に帯電性内壁を備えているととも
   に、該帯電性内壁の有する部分にて曲折して形成されて
   いることを特徴とする液晶パネル用スペーサの散布装
   置。
8. 【請求項８】 請求項５又は請求項６において、前記散
   布ノズルは、少なくとも先端部が可撓性材料で形成され
   ており、該先端部が搬送のための流体圧によって振り子
   状に揺れるように構成されていることを特徴とする液晶
   パネル用スペーサの散布装置。