JPH11149056A - 光走査装置 - Google Patents

光走査装置

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JPH11149056A
JPH11149056A JP31496297A JP31496297A JPH11149056A JP H11149056 A JPH11149056 A JP H11149056A JP 31496297 A JP31496297 A JP 31496297A JP 31496297 A JP31496297 A JP 31496297A JP H11149056 A JPH11149056 A JP H11149056A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高解像度の光走査を有すると共に、それほど
高解像を必要としない場合には非常に高速な光走査を実
現する複数のモードを有する光走査装置を実現するこ
と。 【解決手段】 ヒーター6により形状記憶合金のトーシ
ョンバネ5の温度を逆変態温度Af点より低い温度及び
高い温度に変化して小磁石3との固有振動数を2倍に変
化する。従って、光源12の光変調の基本クロックを同
一としたままで、高解像度のモードを備えると共に、1
/2の解像度であるが主走査時間が2倍と高速なモード
をもつ光走査装置が実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザポインタ、
レーザプリンタ、バーコードリーダ、レーザスキャンマ
イクロメータ等の事務機器、計測器に使用される光走査
装置に関するものである。
【従来の技術】従来、本出願人は、特開平9−1973
33号公報(特願平8−10102号)において、磁石
付きミラーと交流磁場を発生させるためのコイルとを備
えたガルバノ振動を用いた光走査装置について提案して
いる。この光走査装置は、図4に示すように、ステンレ
ス等からなる弾性線状部材5aが適当な張力で引っ張ら
れた状態で、固定治具2aによってハウジング1aに固
定されている。弾性線状部材5aのほぼ中央には、少な
くとも片面が鏡面加工された磁石付きミラー3aが、図
示しない接着剤により接着固定されている。一方、コア
6aにはコイル7aが巻き付けられている。コイル7a
は、コア6aに設けられたネジ孔8a及びハウジング1
aに設けられた孔4aにおいて図示しないネジによって
ハウジング1aに固定されている。そして、交番パルス
電流発生器9aにより所定の電流をコイルに流すことに
より交流磁界が発生し、磁石付きのミラー3aが振動す
る。また、この交番パルスの駆動周波数は、ミラー3a
と線状弾性部材5aとの機械的固有振動数に設定されて
いる。そして、光源11aより発射されたレーザー光1
0aは、ミラー3aによって反射され、そのミラー3a
が共振することにより被走査面12aに走査されるもの
である。
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
共振型の光走査装置では、弾性線状部材の弾性係数がほ
ぼ一定であるため、ミラー3aの固有振動数はほぼ一定
となる。従って、共振現象によってミラー3aの振動の
振幅を大きくするために、レーザー光10aが被走査面
12aを走査する周波数はほぼ一定となるよう駆動さ
れ、それ故、走査周波数を大きく変化することはできな
かった。例えば、レーザープリンタにおいてA4サイズ
の用紙に対する光走査に共振型の光走査装置を適用した
場合を考えると、レーザー光10aによってA4サイズ
の用紙の短辺210mmを高解像である600dpiの
解像度で走査(主走査)する場合、解像点数は210/
(25.4/600)≒5000点となる。一方、長辺
297mmを走査(副走査)で実現する場合、走査回数
は297/(25.4/600)≒7000回となる。
従って、ミラー3aの振動によるレーザー光10aの主
走査において一方向のみの走査を使用するとすれば、例
えばA4用紙を1分間に6枚即ち6ppmで印刷するた
めには、ミラーの走査周波数は6/60*7000=7
00Hz程度となる。実際には紙送り等の時間が必要な
ため、走査周波数、即ちミラーの振動数は800Hz程
度に設定される。ところで、光走査の解像度は300d
pi程度でよく、そのかわりにA4用紙全体の走査時間
を短縮したいといった要求がある。例えば光走査の解像
度として、300dpi程度でよい場合、A4の長辺の
副走査回数は600dpiの半分の3500回でよいこ
とから用紙全体の走査時間は1/2に短縮され、1分間
の印刷枚数は12ppmとなる。しかし、従来の光走査
装置では、走査周波数は共振現象の確保のために大きく
変更することができず、主走査方向の時間を短縮するこ
とはできなかった。このため、さらなる時間短縮が望ま
れていた。本発明は、上述した問題点を解決するために
なされたものであり、高解像度の光走査を行うモード
と、それほど高解像を必要としない場合には非常に高速
な光走査を行うモードとを有する光走査装置を提供する
ことを目的とする。
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明の請求項1に記載の光走査装置は、温度によ
り弾性係数が変化する材料で構成されたトーションバネ
と、前記トーションバネの温度を変化させる温度変化手
段と、前記トーションバネの中間部に固定的に支持され
た磁石と鏡面とを有する振動体と、磁界の作用により前
記トーションバネを軸線として前記振動体を振動させる
磁界発生手段とを有し、光源より発せられる光ビームを
前記鏡面に入射させることにより、前記鏡面の振動に基
づいて前記光ビームを走査させるようにしたものを対象
として、特に、前記温度変化手段は、前記トーションバ
ネの温度を逆変態温度より低い第1の温度及び逆変態温
度より高い第2の温度となるよう変化させ、前記磁界発
生手段は、前記第1の温度及び前記第2の温度におい
て、前記振動体と前記トーションバネとから形成される
振動系が有する固有振動数若しくはその近傍の振動数で
前記振動体を振動させるように構成したものである。従
って、第1の温度と第2の温度におけるトーションバネ
の弾性係数の変化によって、振動体は異なる固有振動数
で共振振動するため、低い固有振動数を用いた高解像度
の光走査のモードを有すると共に、高い固有振動数を用
いた低解像度であるが非常に高速な光走査のモードを共
に実現でき、解像度と走査時間を必要に応じて選択可能
な光走査装置を提供できる。また、請求項2に記載の光
走査装置は、前記トーションバネをNi−Ti、Ag−
Cd、Au−Cd、Cu−Sn、Cu−Al−Ni、N
i−Al、Fe−Pt等のいづれかの形状記憶合金で構
成したものである。これらの合金は形状記憶合金として
広く知られた材料であり、図2に示すような特殊な弾性
係数の温度特性をもっておりながら、比較的入手が容易
である。
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。図1は、本発明を具体化し
た光走査装置の構造を示すものである。振動体を構成す
る小磁石3は、縦が4mm、横が8mmで厚さ0.3m
mのNi−Co(ニッケルコバルト)またはSm−Co
(サマリュウムコバルト)からなる小磁石であり、その
表面には後述するレーザビームを反射させるために鏡面
加工されたミラー3mが形成されている。尚、この小磁
石3の表面を鏡面加工する代わりに、小磁石3の表面に
鏡を接着等により貼り付けてもよい。この小磁石3は約
10000ガウス程度の残留磁束密度を有している。小
磁石3におけるミラー3mの裏面には、形状記憶合金で
あるNi−Tiからなるトーションバネ5が取り付けら
れている。また、このトーションバネ5の線径は約30
0μm、長さは約8.5mmとして構成されており、こ
の長さはトーションバネ5の温度が40℃の場合に小磁
石3との固有振動数がほぼ800Hzとなるよう設定さ
れている。このトーションバネ5は、その上下端を、中
央を矩形にくり貫かれた矩形状のハウジング1に対し
て、治具2により固定されている。ハウジング1に対し
て、トーションバネ5及び小磁石3を支持する際の方法
について説明する。まず、トーションバネ5は所定の張
力で両端を引っ張られた状態で、治具2により、ネジ止
めでハウジング1に固定される。そして、このように固
定されたトーションバネ5に上述した小磁石3がトーシ
ョンバネ5のほぼ中央付近に接着剤にて固定される。と
ころで、前記トーションバネ5は、所定の応力にて引っ
張られた状態でハウジング1に固定されている。ハウジ
ング1には、トーションバネ5の後方に近接して、図示
しない薄膜抵抗体が表面に形成された温度変化手段を構
成するヒーター6が設置され、ハウジング1にはトーシ
ョンバネ5を挟んで治具2と対向した面の一部に、トー
ションバネ5と接触するようにサーミスタ7が設置され
ている。また、ハウジング1の後面には磁界発生手段を
構成するコイル8が設けられている。尚、コイル8が本
発明の磁界発生手段を構成するものである。このコイル
8は、円筒状のコア9の周囲に300ターン/cmの密
度の巻き線を設けたものであり、コア9に形成されたネ
ジ孔10及びハウジング1に形成された孔4を介してハ
ウジング1にネジ止めされている。このコイル8の巻き
線の両端には後述のコントローラ20内に設置された交
番電圧発生器11が接続されている。そして、交番電圧
発生器11により方形波電圧をコイル8に印加すること
により後述するメカニズムにて小磁石3が共振し、光源
12から発せられて小磁石3のミラー3mに入射したレ
ーザビーム13は、f・arcsinθレンズ14を通
して走査面15を図1に示す主走査方向に走査するよう
構成されている。更に、ミラー3mと走査面15の間に
は、走査面15上のA4用紙サイズの短辺210mmの
左端及び右端をレーザービーム13が通過した時にそれ
ぞれ信号を発生する光センサ16a、16bが設置され
ている。前記f・arcsinθレンズ14は、ミラー
3で反射された、時間に対して正弦波の角度で振動する
光を、走査面15上で主走査方向に時間に対して一定の
速度で走査すると共に、走査面15が主走査方向と直交
する図1に示す副走査方向に一定の速度で移動されるよ
う構成されている。前記走査面15は図示しない機構に
より高電圧に帯電されており、レーザービーム13の光
が照射された場所のみ電位が低下し、電位分布、即ち静
電潜像の画像が形成されるよう構成されている。更に、
図示しない周知のレーザープリンタの機構によりこの静
電潜像にトナーが吸着され、そのトナーの画像が紙に転
写、定着されるよう構成されている。さて、前記トーシ
ョンバネ5を形成する形状記憶合金の横弾性係数の温度
特性を、図2に示す。本実施の形態で使用する形状記憶
合金の逆変態終了温度Af点は、通常使用温度より高い
約60℃として構成されており、Af点以下の温度では
形状記憶合金はマルテンサイト相の状態となり、40℃
におけるトーションバネ5の横弾性定数は、約550k
gf/mm2となる。また、Af点以上の温度では形状
記憶合金はオーステナイト相の状態であり、80℃にお
けるトーションバネ5の横弾性定数は、約2200kg
f/mm2と、40℃の場合の4倍の値となる。ここ
で、小磁石3とトーションバネ5により形成される固有
振動数は、トーションバネ5の横弾性係数の平方根に比
例するので、前述のように、固有振動数は、トーション
バネ5の温度が40℃の場合の800Hzに対して、8
0℃では2倍の1600Hzとなる。ところで、前記小
磁石3の振動は、図3に示すコントローラ20により制
御されるよう構成されている。コントローラ20は、図
3に示すように、600dpiまたは300dpiの解
像度をスイッチまたは図示しない通信回線を通して入力
する解像度選択装置21と、ヒーター6に対する基準温
度を決定、出力する基準温度設定装置22と、基準温度
とサーミスタ7で検出される温度を比較し、ヒーター6
の抵抗体に流す電流を制御する温度比較器23と、レー
ザービーム13がA4用紙の短辺に相当するセンサ16
aと16bの間を通過する通過時間を検出する通過時間
検出器24と、解像度に応じて基準時間を決定する基準
時間設定器25と、通過時間と基準時間とを比較する通
過時間比較器26と、解像度に応じた周波数の方形波電
圧を発生する発振器27と、通過時間比較器26の出力
に応じて発振器27の出力電圧を増幅し、コイル8に方
形波電圧を与える前記交番電圧発生器11と、光源12
をオンオフする基準クロックを発生するドットクロック
発生回路28と、光源12の発生するレーザービーム1
3をオンオフする光変調信号発生回路29とにより構成
されている。前記基準温度設定装置22は、600dp
i解像度の場合40℃、300dpi解像度の場合80
℃に相当する信号を出力するよう構成されている。前記
発振器27は、600dpi解像度の場合800Hz、
300dpi解像度の場合1600Hzの周波数で発振
するよう構成されている。前記基準時間設定器25は、
600dpi解像度の場合は375μsec、300d
pi解像度の場合は187.5μsecに相当する信号
を出力するよう構成されている。これらの値は以下のよ
うな意味をもつ。つまり、ミラー3mの振動の1周期時
間に対する、レーザービーム13がA4用紙の短辺の走
査に相当する光センサ16aから16bを通過する時間
の比、即ちデューティー比は30%となるよう選ばれて
いる。このため、600dpi解像度の場合、ミラー3
mは800Hzで駆動されるので、その1周期の30%
の時間が1/800*0.3=375μsecと決めら
れ、一方300dpi解像度の場合、ミラー3mは16
00Hzで駆動されるので、その1周期の30%の時間
が1/1600*0.3=187.5μsecと決めら
れている。また、前記ドットクロック発生回路28は、
13.3MHzの基準クロックを発生するよう構成され
ている。この値は以下のような意味をもつ。即ち、60
0dpi解像度の場合ではA4用紙の短辺の走査時間3
75μsec内に5000点の解像点数が必要なので1
/(375μsec/5000)=13.3MHzの基
準クロックが必要となる。一方、300dpi解像度の
場合は600dpi解像度の場合に対して解像点数は半
分の2500点、かつ、A4の短辺の走査時間も半分の
187.5μsecとなるので、基準クロックは1/
(187.5μsec2500)=13.3MHzと同
一であり、変更する必要はない。次に、本発明の実施の
形態における光走査装置の動作を説明する。まず、解像
度選択入力装置21により、600dpiまたは300
dpiの解像度がスイッチまたは図示しない通信回線を
通して入力され選択される。ここでは、始めに600d
piの解像度が入力された場合について説明する。60
0dpiの解像度の場合、基準温度設定器22により4
0℃に相当する信号が出力される。温度比較器23では
サーミスタ7で検出される検出温度θ1と設定温度θr
1=40℃とを比較し、θ1≦θr1の場合にヒーター
6をオン、θ1>θr1の場合ヒーター6をオフして、
サーミスタ7の検出温度、即ち、サーミスタ7と接触し
て設置されているトーションバネ5の温度が40℃に保
たれる。一方、600dpiの解像度の場合、発振器2
7からは800Hzの方形波電圧が出力され、交番電圧
発生器11で増幅されて、コイル8に与えられる。そし
て、コイル8によって生成される交番磁界により小磁石
3のN、S極に電磁力が加えられ、小磁石3が捩り運動
する。ここで、前述のように、トーションバネ5を形成
する形状記憶合金は40℃において小磁石3との固有振
動数がほぼ800Hzとなるよう設定されているので、
共振現象によって交番電圧発生器11の小さな出力電圧
で小磁石3の大きな捩じれ振幅が得られる。そして、通
過時間検出器24により検出されたレーザービーム13
がセンサ16aから16bを通過する通過時間Ts1
と、基準時間設定器25が出力する基準時間Tr1=3
75μsecとが、通過時間比較器26により比較さ
れ、交番電圧発生器11の出力電圧振幅が制御される。
即ち、それぞれTs1>Tr1、Ts1<Tr1、Ts
=Tr1の場合、出力電圧振幅をそれぞれ増加、減少、
維持するよう制御される。従って、通過時間Ts1は、
375μsecに保たれる。 次に、ドットクロック発
生回路28により、レーザービーム13がセンサ16a
を通過するタイミングを起点として13.3MHzの基
準クロックが発生され、光変調信号発生回路29は、走
査面15に形成すべき静電潜像パターンに基いて、基準
クロックに同期して光源12の発生するレーザービーム
13をオンオフする。そして、走査面15に形成された
静電潜像パターン上には図示しない周知のレーザープリ
ンタの機構によりトナーが吸着され、そのトナーの画像
が紙に転写、定着される。従って、前述のように、1
3.3MHzの基準クロックによってA4用紙の短辺の
主走査時間375μsecの間に5000点の解像度で
画像を形成でき、600dpiの画像が形成される。さ
て、以下では解像度選択入力装置21により300dp
iの解像度が入力された場合について説明する。300
dpiの解像度の場合、基準温度設定器22により80
℃に相当する信号が出力される。温度比較器23ではサ
ーミスタ7で検出される検出温度θ1と設定温度θr1
=80℃とを比較し、θ1≦θr1の場合にヒーターを
オン、θ1>θr1の場合ヒーターをオフして、サーミ
スタ7の検出温度、即ちサーミスタ7と接触して設置さ
れているトーションバネ5の温度が80℃に保たれる。
一方、300dpiの解像度の場合、発振器27からは
1600Hzの方形波電圧が出力され、交番電圧発生器
11で増幅されて、コイル8に与えられる。そして、コ
イル8によって生成される交番磁界により小磁石3の
N、S極に電磁力が加えられ、小磁石3が捩り運動す
る。さて、前述のようにトーションバネ5の温度が80
℃の場合の固有振動数は1600Hzとなるので、共振
現象によって交番電圧発生器11の小さな出力電圧で小
磁石3の大きな捩じれ振幅が得られる。そして、通過時
間検出器24により検出されたレーザービーム13がセ
ンサ16aから16bを通過する通過時間Ts1と、基
準時間設定器25が出力する基準時間Tr1=187.
5μsecとが、通過時間比較器26により比較され、
交番電圧発生器11の出力電圧振幅が制御される。即
ち、それぞれTs1>Tr1、Ts1<Tr1、Ts=
Tr1の場合、出力電圧振幅をそれぞれ増加、減少、維
持するよう制御される。従って、通過時間Ts1は、1
87.5μsecに保たれる。次に、600dpiの解
像度の場合と同様に、ドットクロック発生回路28によ
り、レーザービーム13がセンサ16aを通過するタイ
ミングを起点として13.3MHzの基準クロックが発
生され、光変調信号発生回路29は、走査面15に形成
すべき静電潜像パターンに基いて、基準クロックに同期
して光源12の発生するレーザービーム13をオンオフ
する。そして、走査面15に形成された静電潜像パター
ン上には図示しない周知のレーザープリンタの機構によ
りトナーが吸着され、そのトナーの画像が紙に転写、定
着される。従って、前述のように、13.3MHzの基
準クロックによってA4用紙の短辺の主走査時間18
7.5μsecの間に2500点の解像度で画像を形成
でき、300dpiの画像が形成される。ここで、30
0dpiの解像度が選択された場合、レーザービーム1
3が走査面15を単位時間当たりに主走査する回数、即
ち光走査周波数は、600dpiの場合に対して2倍で
あるので、主走査方向の走査時間は1/2と高速な走査
が可能となる。従って、副走査方向の走査時間が600
dpiの場合と比較して1/2の時間となるので、30
0dpi解像度の場合におけるA4用紙全体の走査時間
は、600dpiの場合と比較して1/4となり、非常
に高速となる。尚、本発明は以上詳述した実施の形態に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲に
おいて、種々の変更を加えることができる。例えば、前
記実施の形態においては、形状記憶合金の逆変態終了温
度Af点は、使用温度より高い60℃として構成されて
いるが、その必要はなく、例えば使用温度より低い−1
0℃となるように構成してもよい。このような構成で
は、温度変化手段としてペルチェ素子等の冷却素子を用
いてトーションバネ5を冷却しマルテンサイト相の状態
にすることも可能である。一方、室温でのトーションバ
ネ5の温度を安定化させるために、発熱体であるヒータ
ー6と、冷却素子であるペルチェ素子を併用して構成し
てもよい。更に、前記実施の形態におけるヒーター6
は、薄膜抵抗体を表面に形成して構成しているが、その
代わりに内部に発熱体を有する体積抵抗体で構成しても
よいし、更に、トーションバネ5に電流を流すことによ
り自己発熱させる構成としてもよい。また、前記実施の
形態では、トーションバネ5と小磁石3の固有振動数は
マルテンサイト相の40℃で約800Hz、オーステナ
イト相の80℃で約1600Hzとなるよう構成されて
いるが、トーションバネ5の線径、長さ、小磁石3の慣
性モーメントにより種々の値に構成することも可能であ
る。更に、マルテンサイト相に対してオーステナイト相
の固有振動数が2倍となるよう、トーションバネ5の温
度を40℃と80℃として構成されているが、使用温度
は40℃と80℃である必要はなく、Af点以下の温度
T1における固有振動数に対してAf点以上の温度T2
における固有振動数が2倍となるのであれば、如何なる
T1、T2の組み合わせを用いて構成することも可能で
ある。また、前記実施の形態では、マルテンサイト相に
対してオーステナイト相の固有振動数が2倍となるよ
う、トーションバネ5の温度T1、T2が設定されて構
成されているが、その理由は、600dpi解像度と3
00dpi解像度の使用時において、ドットクロック発
生回路28で発生する基準クロックを同一として回路構
成を簡単にするためである。例えば、オーステナイト相
での固有振動数が1800Hzとなる温度で駆動された
場合には、レーザービーム13がA4用紙の短辺を主走
査する時間は1/1800*0.3=166.7μse
cとなるので、基準クロックは1/(166.7μse
c/2500)=15MHzとなるため、600dpi
解像度の場合の基準クロック13.3MHzを300d
pi解像度の場合は15MHzに変更する必要があり、
コスト高となる可能性がある。もしくは基準クロックを
600dpi解像度の場合と同一の13.3MHzとす
る場合は、A4の短辺210mmの解像点数は13.3
MHz*166.7μsec=2222となるので、解
像度を210/2222=0.0945mm即ち269
dpiとすればよい。しかしながら、一般的には解像度
は変換の容易さから整数比となるよう選ばれることが多
く、この場合は600dpiに対して269dpiと整
数比とはならないため、基準クロックの変更と同様に解
像度の変換に計算コストを要する可能性がある。しか
し、この影響が問題ないのであれば、T1とT2の固有
振動数の比は必ずしも2倍とする必要はない。また、前
記実施の形態ではコイル7に流す電流を小さく抑えるた
めに共振現象を利用する構成としたが、電力に余裕があ
るならば若干共振点をはずして光走査装置を駆動しても
機能上問題はない。更に、ホール素子等の磁気センサに
より小磁石3の振動角度を検出し、その角度変化を用い
てコイル8を駆動する電圧または電流を与え、トーショ
ンバネ5と小磁石3で決まる固有振動数で自励共振させ
るよう構成してもよい。また、前記実施の形態では形状
記憶合金であるNi−Ti合金を用いて実現したが、A
g−Cd、Au−Cd、Cu−Sn、Cu−Al−N
i、Ni−Al、Fe−Ptなどの形状記憶合金であれ
ば、いずれを使用しても実施できる。また、前記実施の
形態では、便宜上、コイル7の前面にトーションバネ5
及び小磁石3を配置したが、コイル7の周辺であって交
番磁界が小磁石3の磁気モーメントMと略直交する方向
に発生する箇所ならば、どこに配置してもよい。また、
前記実施の形態では走査幅を最大にするためコイル8に
流す電圧波形を方形波としたが、走査幅に余裕があれ
ば、正弦波、三角波などの周期波形でもよいし、コイル
8に印加する電流波形を矩形波、正弦波、三角波などの
周期波形として構成してもよい。
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明の請求項1に記載の光走査装置は、温度変化手段
が、トーションバネの温度を逆変態温度より低い第1の
温度及び逆変態温度より高い第2の温度となるよう変化
させ、磁界発生手段は、第1の温度及び第2の温度にお
ける振動体とトーションバネとから形成される振動系が
有する固有振動数若しくはその近傍の振動数で振動体を
振動させるように構成したものである。従って、第1の
温度と第2の温度におけるトーションバネの弾性係数の
変化によって、振動体は異なる固有振動数で共振振動す
るため、低い固有振動数を用いた高解像度の光走査のモ
ードを有すると共に、高い固有振動数を用いた低解像度
であるが非常に高速な光走査のモードを共に実現でき、
解像度と走査時間を必要に応じて選択可能な光走査装置
を提供できる優れた効果がある。また、請求項2に記載
の光走査装置は、前記トーションバネをNi−Ti、A
g−Cd、Au−Cd、Cu−Sn、Cu−Al−N
i、Ni−Al、Fe−Pt等のいづれかの形状記憶合
金で構成したものである。従って、これらの合金は形状
記憶合金として広く知られた材料であるため、比較的入
手が容易である利点がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態の光走査装置の構成を示す斜視図
である。
【図2】形状記憶合金の弾性係数の温度特性を表す図で
ある。
【図3】本実施の形態のコントローラの構成を示すブロ
ック図である。
【図4】従来の光走査装置の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
3 小磁石 3m 鏡面 5 トーションバネ 6 ヒーター 8 コイル 11 交番電圧発生器 12 光源 13 レーザービーム 20 コントローラ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成9年11月18日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 光走査装置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザポインタ、
レーザプリンタ、バーコードリーダ、レーザスキャンマ
イクロメータ等の事務機器、計測器に使用される光走査
装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来、本出願人は、特開平9−1973
33号公報(特願平8−10102号)において、磁石
付きミラーと交流磁場を発生させるためのコイルとを備
えたガルバノ振動を用いた光走査装置について提案して
いる。
【0003】この光走査装置は、図4に示すように、ス
テンレス等からなる弾性線状部材5aが適当な張力で引
っ張られた状態で、固定治具2aによってハウジング1
aに固定されている。弾性線状部材5aのほぼ中央に
は、少なくとも片面が鏡面加工された磁石付きミラー3
aが、図示しない接着剤により接着固定されている。
【0004】一方、コア6aにはコイル7aが巻き付け
られている。コイル7aは、コア6aに設けられたネジ
孔8a及びハウジング1aに設けられた孔4aにおいて
図示しないネジによってハウジング1aに固定されてい
る。そして、交番パルス電流発生器9aにより所定の電
流をコイルに流すことにより交流磁界が発生し、磁石付
きのミラー3aが振動する。また、この交番パルスの駆
動周波数は、ミラー3aと線状弾性部材5aとの機械的
固有振動数に設定されている。そして、光源11aより
発射されたレーザー光10aは、ミラー3aによって反
射され、そのミラー3aが共振することにより被走査面
12aに走査されるものである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
共振型の光走査装置では、弾性線状部材の弾性係数がほ
ぼ一定であるため、ミラー3aの固有振動数はほぼ一定
となる。従って、共振現象によってミラー3aの振動の
振幅を大きくするために、レーザー光10aが被走査面
12aを走査する周波数はほぼ一定となるよう駆動さ
れ、それ故、走査周波数を大きく変化することはできな
かった。
【0006】例えば、レーザープリンタにおいてA4サ
イズの用紙に対する光走査に共振型の光走査装置を適用
した場合を考えると、レーザー光10aによってA4サ
イズの用紙の短辺210mmを高解像である600dp
iの解像度で走査(主走査)する場合、解像点数は21
0/(25.4/600)≒5000点となる。一方、
長辺297mmを走査(副走査)で実現する場合、走査
回数は297/(25.4/600)≒7000回とな
る。従って、ミラー3aの振動によるレーザー光10a
の主走査において一方向のみの走査を使用するとすれ
ば、例えばA4用紙を1分間に6枚即ち6ppmで印刷
するためには、ミラーの走査周波数は6/60*700
0=700Hz程度となる。実際には紙送り等の時間が
必要なため、走査周波数、即ちミラーの振動数は800
Hz程度に設定される。
【0007】ところで、光走査の解像度は300dpi
程度でよく、そのかわりにA4用紙全体の走査時間を短
縮したいといった要求がある。例えば光走査の解像度と
して、300dpi程度でよい場合、A4の長辺の副走
査回数は600dpiの半分の3500回でよいことか
ら用紙全体の走査時間は1/2に短縮され、1分間の印
刷枚数は12ppmとなる。しかし、従来の光走査装置
では、走査周波数は共振現象の確保のために大きく変更
することができず、主走査方向の時間を短縮することは
できなかった。このため、さらなる時間短縮が望まれて
いた。
【0008】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、高解像度の光走査を行うモード
と、それほど高解像を必要としない場合には非常に高速
な光走査を行うモードとを有する光走査装置を提供する
ことを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明の請求項1に記載の光走査装置は、温度によ
り弾性係数が変化する材料で構成されたトーションバネ
と、前記トーションバネの温度を変化させる温度変化手
段と、前記トーションバネの中間部に固定的に支持され
た磁石と鏡面とを有する振動体と、磁界の作用により前
記トーションバネを軸線として前記振動体を振動させる
磁界発生手段とを有し、光源より発せられる光ビームを
前記鏡面に入射させることにより、前記鏡面の振動に基
づいて前記光ビームを走査させるようにしたものを対象
として、特に、前記温度変化手段は、前記トーションバ
ネの温度を逆変態温度より低い第1の温度及び逆変態温
度より高い第2の温度となるよう変化させ、前記磁界発
生手段は、前記第1の温度及び前記第2の温度におい
て、前記振動体と前記トーションバネとから形成される
振動系が有する固有振動数若しくはその近傍の振動数で
前記振動体を振動させるように構成したものである。
【0010】従って、第1の温度と第2の温度における
トーションバネの弾性係数の変化によって、振動体は異
なる固有振動数で共振振動するため、低い固有振動数を
用いた高解像度の光走査のモードを有すると共に、高い
固有振動数を用いた低解像度であるが非常に高速な光走
査のモードを共に実現でき、解像度と走査時間を必要に
応じて選択可能な光走査装置を提供できる。
【0011】また、請求項2に記載の光走査装置は、前
記トーションバネをNi−Ti、Ag−Cd、Au−C
d、Cu−Sn、Cu−Al−Ni、Ni−Al、Fe
−Pt等のいづれかの形状記憶合金で構成したものであ
る。
【0012】これらの合金は形状記憶合金として広く知
られた材料であり、図2に示すような特殊な弾性係数の
温度特性をもっておりながら、比較的入手が容易であ
る。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
【0014】図1は、本発明を具体化した光走査装置の
構造を示すものである。振動体を構成する小磁石3は、
縦が4mm、横が8mmで厚さ0.3mmのNi−Co
(ニッケルコバルト)またはSm−Co(サマリュウム
コバルト)からなる小磁石であり、その表面には後述す
るレーザビームを反射させるために鏡面加工されたミラ
ー3mが形成されている。尚、この小磁石3の表面を鏡
面加工する代わりに、小磁石3の表面に鏡を接着等によ
り貼り付けてもよい。この小磁石3は約10000ガウ
ス程度の残留磁束密度を有している。小磁石3における
ミラー3mの裏面には、形状記憶合金であるNi−Ti
からなるトーションバネ5が取り付けられている。ま
た、このトーションバネ5の線径は約300μm、長さ
は約8.5mmとして構成されており、この長さはトー
ションバネ5の温度が40℃の場合に小磁石3との固有
振動数がほぼ800Hzとなるよう設定されている。こ
のトーションバネ5は、その上下端を、中央を矩形にく
り貫かれた矩形状のハウジング1に対して、治具2によ
り固定されている。
【0015】ハウジング1に対して、トーションバネ5
及び小磁石3を支持する際の方法について説明する。
【0016】まず、トーションバネ5は所定の張力で両
端を引っ張られた状態で、治具2により、ネジ止めでハ
ウジング1に固定される。そして、このように固定され
たトーションバネ5に上述した小磁石3がトーションバ
ネ5のほぼ中央付近に接着剤にて固定される。ところ
で、前記トーションバネ5は、所定の応力にて引っ張ら
れた状態でハウジング1に固定されている。
【0017】ハウジング1には、トーションバネ5の後
方に近接して、図示しない薄膜抵抗体が表面に形成され
た温度変化手段を構成するヒーター6が設置され、ハウ
ジング1にはトーションバネ5を挟んで治具2と対向し
た面の一部に、トーションバネ5と接触するようにサー
ミスタ7が設置されている。
【0018】また、ハウジング1の後面には磁界発生手
段を構成するコイル8が設けられている。尚、コイル8
が本発明の磁界発生手段を構成するものである。このコ
イル8は、円筒状のコア9の周囲に300ターン/cm
の密度の巻き線を設けたものであり、コア9に形成され
たネジ孔10及びハウジング1に形成された孔4を介し
てハウジング1にネジ止めされている。このコイル8の
巻き線の両端には後述のコントローラ20内に設置され
た交番電圧発生器11が接続されている。そして、交番
電圧発生器11により方形波電圧をコイル8に印加する
ことにより後述するメカニズムにて小磁石3が共振し、
光源12から発せられて小磁石3のミラー3mに入射し
たレーザビーム13は、f・arcsinθレンズ14
を通して走査面15を図1に示す主走査方向に走査する
よう構成されている。更に、ミラー3mと走査面15の
間には、走査面15上のA4用紙サイズの短辺210m
mの左端及び右端をレーザービーム13が通過した時に
それぞれ信号を発生する光センサ16a、16bが設置
されている。
【0019】前記f・arcsinθレンズ14は、ミ
ラー3で反射された、時間に対して正弦波の角度で振動
する光を、走査面15上で主走査方向に時間に対して一
定の速度で走査すると共に、走査面15が主走査方向と
直交する図1に示す副走査方向に一定の速度で移動され
るよう構成されている。
【0020】前記走査面15は図示しない機構により高
電圧に帯電されており、レーザービーム13の光が照射
された場所のみ電位が低下し、電位分布、即ち静電潜像
の画像が形成されるよう構成されている。更に、図示し
ない周知のレーザープリンタの機構によりこの静電潜像
にトナーが吸着され、そのトナーの画像が紙に転写、定
着されるよう構成されている。
【0021】さて、前記トーションバネ5を形成する形
状記憶合金の横弾性係数の温度特性を、図2に示す。
【0022】本実施の形態で使用する形状記憶合金の逆
変態終了温度Af点は、通常使用温度より高い約60℃
として構成されており、Af点以下の温度では形状記憶
合金はマルテンサイト相の状態となり、40℃における
トーションバネ5の横弾性定数は、約550kgf/m
2となる。また、Af点以上の温度では形状記憶合金
はオーステナイト相の状態であり、80℃におけるトー
ションバネ5の横弾性定数は、約2200kgf/mm
2と、40℃の場合の4倍の値となる。
【0023】ここで、小磁石3とトーションバネ5によ
り形成される固有振動数は、トーションバネ5の横弾性
係数の平方根に比例するので、前述のように、固有振動
数は、トーションバネ5の温度が40℃の場合の800
Hzに対して、80℃では2倍の1600Hzとなる。
【0024】ところで、前記小磁石3の振動は、図3に
示すコントローラ20により制御されるよう構成されて
いる。
【0025】コントローラ20は、図3に示すように、
600dpiまたは300dpiの解像度をスイッチま
たは図示しない通信回線を通して入力する解像度選択装
置21と、ヒーター6に対する基準温度を決定、出力す
る基準温度設定装置22と、基準温度とサーミスタ7で
検出される温度を比較し、ヒーター6の抵抗体に流す電
流を制御する温度比較器23と、レーザービーム13が
A4用紙の短辺に相当するセンサ16aと16bの間を
通過する通過時間を検出する通過時間検出器24と、解
像度に応じて基準時間を決定する基準時間設定器25
と、通過時間と基準時間とを比較する通過時間比較器2
6と、解像度に応じた周波数の方形波電圧を発生する発
振器27と、通過時間比較器26の出力に応じて発振器
27の出力電圧を増幅し、コイル8に方形波電圧を与え
る前記交番電圧発生器11と、光源12をオンオフする
基準クロックを発生するドットクロック発生回路28
と、光源12の発生するレーザービーム13をオンオフ
する光変調信号発生回路29とにより構成されている。
【0026】前記基準温度設定装置22は、600dp
i解像度の場合40℃、300dpi解像度の場合80
℃に相当する信号を出力するよう構成されている。
【0027】前記発振器27は、600dpi解像度の
場合800Hz、300dpi解像度の場合1600H
zの周波数で発振するよう構成されている。
【0028】前記基準時間設定器25は、600dpi
解像度の場合は375μsec、300dpi解像度の
場合は187.5μsecに相当する信号を出力するよ
う構成されている。これらの値は以下のような意味をも
つ。つまり、ミラー3mの振動の1周期時間に対する、
レーザービーム13がA4用紙の短辺の走査に相当する
光センサ16aから16bを通過する時間の比、即ちデ
ューティー比は30%となるよう選ばれている。このた
め、600dpi解像度の場合、ミラー3mは800H
zで駆動されるので、その1周期の30%の時間が1/
800*0.3=375μsecと決められ、一方30
0dpi解像度の場合、ミラー3mは1600Hzで駆
動されるので、その1周期の30%の時間が1/160
0*0.3=187.5μsecと決められている。
【0029】また、前記ドットクロック発生回路28
は、13.3MHzの基準クロックを発生するよう構成
されている。この値は以下のような意味をもつ。即ち、
600dpi解像度の場合ではA4用紙の短辺の走査時
間375μsec内に5000点の解像点数が必要なの
で1/(375μsec/5000)=13.3MHz
の基準クロックが必要となる。一方、300dpi解像
度の場合は600dpi解像度の場合に対して解像点数
は半分の2500点、かつ、A4の短辺の走査時間も半
分の187.5μsecとなるので、基準クロックは1
/(187.5μsec2500)=13.3MHzと
同一であり、変更する必要はない。
【0030】次に、本発明の実施の形態における光走査
装置の動作を説明する。
【0031】まず、解像度選択入力装置21により、6
00dpiまたは300dpiの解像度がスイッチまた
は図示しない通信回線を通して入力され選択される。
【0032】ここでは、始めに600dpiの解像度が
入力された場合について説明する。600dpiの解像
度の場合、基準温度設定器22により40℃に相当する
信号が出力される。温度比較器23ではサーミスタ7で
検出される検出温度θ1と設定温度θr1=40℃とを
比較し、θ1≦θr1の場合にヒーター6をオン、θ1
>θr1の場合ヒーター6をオフして、サーミスタ7の
検出温度、即ち、サーミスタ7と接触して設置されてい
るトーションバネ5の温度が40℃に保たれる。
【0033】一方、600dpiの解像度の場合、発振
器27からは800Hzの方形波電圧が出力され、交番
電圧発生器11で増幅されて、コイル8に与えられる。
そして、コイル8によって生成される交番磁界により小
磁石3のN、S極に電磁力が加えられ、小磁石3が捩り
運動する。ここで、前述のように、トーションバネ5を
形成する形状記憶合金は40℃において小磁石3との固
有振動数がほぼ800Hzとなるよう設定されているの
で、共振現象によって交番電圧発生器11の小さな出力
電圧で小磁石3の大きな捩じれ振幅が得られる。
【0034】そして、通過時間検出器24により検出さ
れたレーザービーム13がセンサ16aから16bを通
過する通過時間Ts1と、基準時間設定器25が出力す
る基準時間Tr1=375μsecとが、通過時間比較
器26により比較され、交番電圧発生器11の出力電圧
振幅が制御される。即ち、それぞれTs1>Tr1、T
s1<Tr1、Ts=Tr1の場合、出力電圧振幅をそ
れぞれ増加、減少、維持するよう制御される。従って、
通過時間Ts1は、375μsecに保たれる。 次
に、ドットクロック発生回路28により、レーザービー
ム13がセンサ16aを通過するタイミングを起点とし
て13.3MHzの基準クロックが発生され、光変調信
号発生回路29は、走査面15に形成すべき静電潜像パ
ターンに基いて、基準クロックに同期して光源12の発
生するレーザービーム13をオンオフする。そして、走
査面15に形成された静電潜像パターン上には図示しな
い周知のレーザープリンタの機構によりトナーが吸着さ
れ、そのトナーの画像が紙に転写、定着される。
【0035】従って、前述のように、13.3MHzの
基準クロックによってA4用紙の短辺の主走査時間37
5μsecの間に5000点の解像度で画像を形成で
き、600dpiの画像が形成される。
【0036】さて、以下では解像度選択入力装置21に
より300dpiの解像度が入力された場合について説
明する。300dpiの解像度の場合、基準温度設定器
22により80℃に相当する信号が出力される。温度比
較器23ではサーミスタ7で検出される検出温度θ1と
設定温度θr1=80℃とを比較し、θ1≦θr1の場
合にヒーターをオン、θ1>θr1の場合ヒーターをオ
フして、サーミスタ7の検出温度、即ちサーミスタ7と
接触して設置されているトーションバネ5の温度が80
℃に保たれる。
【0037】一方、300dpiの解像度の場合、発振
器27からは1600Hzの方形波電圧が出力され、交
番電圧発生器11で増幅されて、コイル8に与えられ
る。そして、コイル8によって生成される交番磁界によ
り小磁石3のN、S極に電磁力が加えられ、小磁石3が
捩り運動する。さて、前述のようにトーションバネ5の
温度が80℃の場合の固有振動数は1600Hzとなる
ので、共振現象によって交番電圧発生器11の小さな出
力電圧で小磁石3の大きな捩じれ振幅が得られる。
【0038】そして、通過時間検出器24により検出さ
れたレーザービーム13がセンサ16aから16bを通
過する通過時間Ts1と、基準時間設定器25が出力す
る基準時間Tr1=187.5μsecとが、通過時間
比較器26により比較され、交番電圧発生器11の出力
電圧振幅が制御される。即ち、それぞれTs1>Tr
1、Ts1<Tr1、Ts=Tr1の場合、出力電圧振
幅をそれぞれ増加、減少、維持するよう制御される。従
って、通過時間Ts1は、187.5μsecに保たれ
る。
【0039】次に、600dpiの解像度の場合と同様
に、ドットクロック発生回路28により、レーザービー
ム13がセンサ16aを通過するタイミングを起点とし
て13.3MHzの基準クロックが発生され、光変調信
号発生回路29は、走査面15に形成すべき静電潜像パ
ターンに基いて、基準クロックに同期して光源12の発
生するレーザービーム13をオンオフする。そして、走
査面15に形成された静電潜像パターン上には図示しな
い周知のレーザープリンタの機構によりトナーが吸着さ
れ、そのトナーの画像が紙に転写、定着される。
【0040】従って、前述のように、13.3MHzの
基準クロックによってA4用紙の短辺の主走査時間18
7.5μsecの間に2500点の解像度で画像を形成
でき、300dpiの画像が形成される。ここで、30
0dpiの解像度が選択された場合、レーザービーム1
3が走査面15を単位時間当たりに主走査する回数、即
ち光走査周波数は、600dpiの場合に対して2倍で
あるので、主走査方向の走査時間は1/2と高速な走査
が可能となる。従って、副走査方向の走査時間が600
dpiの場合と比較して1/2の時間となるので、30
0dpi解像度の場合におけるA4用紙全体の走査時間
は、600dpiの場合と比較して1/4となり、非常
に高速となる。
【0041】尚、本発明は以上詳述した実施の形態に限
定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲にお
いて、種々の変更を加えることができる。
【0042】例えば、前記実施の形態においては、形状
記憶合金の逆変態終了温度Af点は、使用温度より高い
60℃として構成されているが、その必要はなく、例え
ば使用温度より低い−10℃となるように構成してもよ
い。このような構成では、温度変化手段としてペルチェ
素子等の冷却素子を用いてトーションバネ5を冷却しマ
ルテンサイト相の状態にすることも可能である。一方、
室温でのトーションバネ5の温度を安定化させるため
に、発熱体であるヒーター6と、冷却素子であるペルチ
ェ素子を併用して構成してもよい。
【0043】更に、前記実施の形態におけるヒーター6
は、薄膜抵抗体を表面に形成して構成しているが、その
代わりに内部に発熱体を有する体積抵抗体で構成しても
よいし、更に、トーションバネ5に電流を流すことによ
り自己発熱させる構成としてもよい。
【0044】また、前記実施の形態では、トーションバ
ネ5と小磁石3の固有振動数はマルテンサイト相の40
℃で約800Hz、オーステナイト相の80℃で約16
00Hzとなるよう構成されているが、トーションバネ
5の線径、長さ、小磁石3の慣性モーメントにより種々
の値に構成することも可能である。更に、マルテンサイ
ト相に対してオーステナイト相の固有振動数が2倍とな
るよう、トーションバネ5の温度を40℃と80℃とし
て構成されているが、使用温度は40℃と80℃である
必要はなく、Af点以下の温度T1における固有振動数
に対してAf点以上の温度T2における固有振動数が2
倍となるのであれば、如何なるT1、T2の組み合わせ
を用いて構成することも可能である。
【0045】また、前記実施の形態では、マルテンサイ
ト相に対してオーステナイト相の固有振動数が2倍とな
るよう、トーションバネ5の温度T1、T2が設定され
て構成されているが、その理由は、600dpi解像度
と300dpi解像度の使用時において、ドットクロッ
ク発生回路28で発生する基準クロックを同一として回
路構成を簡単にするためである。例えば、オーステナイ
ト相での固有振動数が1800Hzとなる温度で駆動さ
れた場合には、レーザービーム13がA4用紙の短辺を
主走査する時間は1/1800*0.3=166.7μ
secとなるので、基準クロックは1/(166.7μ
sec/2500)=15MHzとなるため、600d
pi解像度の場合の基準クロック13.3MHzを30
0dpi解像度の場合は15MHzに変更する必要があ
り、コスト高となる可能性がある。
【0046】もしくは基準クロックを600dpi解像
度の場合と同一の13.3MHzとする場合は、A4の
短辺210mmの解像点数は13.3MHz*166.
7μsec=2222となるので、解像度を210/2
222=0.0945mm即ち269dpiとすればよ
い。
【0047】しかしながら、一般的には解像度は変換の
容易さから整数比となるよう選ばれることが多く、この
場合は600dpiに対して269dpiと整数比とは
ならないため、基準クロックの変更と同様に解像度の変
換に計算コストを要する可能性がある。しかし、この影
響が問題ないのであれば、T1とT2の固有振動数の比
は必ずしも2倍とする必要はない。
【0048】また、前記実施の形態ではコイル7に流す
電流を小さく抑えるために共振現象を利用する構成とし
たが、電力に余裕があるならば若干共振点をはずして光
走査装置を駆動しても機能上問題はない。
【0049】更に、ホール素子等の磁気センサにより小
磁石3の振動角度を検出し、その角度変化を用いてコイ
ル8を駆動する電圧または電流を与え、トーションバネ
5と小磁石3で決まる固有振動数で自励共振させるよう
構成してもよい。
【0050】また、前記実施の形態では形状記憶合金で
あるNi−Ti合金を用いて実現したが、Ag−Cd、
Au−Cd、Cu−Sn、Cu−Al−Ni、Ni−A
l、Fe−Ptなどの形状記憶合金であれば、いずれを
使用しても実施できる。
【0051】また、前記実施の形態では、便宜上、コイ
ル7の前面にトーションバネ5及び小磁石3を配置した
が、コイル7の周辺であって交番磁界が小磁石3の磁気
モーメントMと略直交する方向に発生する箇所ならば、
どこに配置してもよい。
【0052】また、前記実施の形態では走査幅を最大に
するためコイル8に流す電圧波形を方形波としたが、走
査幅に余裕があれば、正弦波、三角波などの周期波形で
もよいし、コイル8に印加する電流波形を矩形波、正弦
波、三角波などの周期波形として構成してもよい。
【0053】
【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明の請求項1に記載の光走査装置は、温度変化手段
が、トーションバネの温度を逆変態温度より低い第1の
温度及び逆変態温度より高い第2の温度となるよう変化
させ、磁界発生手段は、第1の温度及び第2の温度にお
ける振動体とトーションバネとから形成される振動系が
有する固有振動数若しくはその近傍の振動数で振動体を
振動させるように構成したものである。従って、第1の
温度と第2の温度におけるトーションバネの弾性係数の
変化によって、振動体は異なる固有振動数で共振振動す
るため、低い固有振動数を用いた高解像度の光走査のモ
ードを有すると共に、高い固有振動数を用いた低解像度
であるが非常に高速な光走査のモードを共に実現でき、
解像度と走査時間を必要に応じて選択可能な光走査装置
を提供できる優れた効果がある。
【0054】また、請求項2に記載の光走査装置は、前
記トーションバネをNi−Ti、Ag−Cd、Au−C
d、Cu−Sn、Cu−Al−Ni、Ni−Al、Fe
−Pt等のいづれかの形状記憶合金で構成したものであ
る。従って、これらの合金は形状記憶合金として広く知
られた材料であるため、比較的入手が容易である利点が
ある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態の光走査装置の構成を示す斜視図
である。
【図2】形状記憶合金の弾性係数の温度特性を表す図で
ある。
【図3】本実施の形態のコントローラの構成を示すブロ
ック図である。
【図4】従来の光走査装置の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】 3 小磁石 3m 鏡面 5 トーションバネ 6 ヒーター 8 コイル 11 交番電圧発生器 12 光源 13 レーザービーム 20 コントローラ

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 温度により弾性係数が変化する材料で構
    成されたトーションバネと、 前記トーションバネの温度を変化させる温度変化手段
    と、前記トーションバネの中間部に固定的に支持された
    磁石と鏡面とを有する振動体と、 磁界の作用により前記トーションバネを軸線として前記
    振動体を振動させる磁界発生手段と、を有し、 光源より発せられる光ビームを前記鏡面に入射させるこ
    とにより、前記鏡面の振動に基づいて前記光ビームを走
    査させるようにした光走査装置において、 前記温度変化手段は、前記トーションバネの温度を逆変
    態温度より低い第1の温度及び逆変態温度より高い第2
    の温度となるよう変化させ、 前記磁界発生手段は、前記第1の温度及び前記第2の温
    度において、前記振動体と前記トーションバネとから形
    成される振動系が有する固有振動数若しくはその近傍の
    振動数で前記振動体を振動させるように構成したことを
    特徴とする光走査装置。
  2. 【請求項2】 前記トーションバネは、Ni−Ti、A
    g−Cd、Au−Cd、Cu−Sn、Cu−Al−N
    i、Ni−Al、Fe−Pt等のいづれかの形状記憶合
    金で構成されたことを特徴とする請求項1に記載の光走
    査装置。
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