JPH1114569A - 蛍光ｘ線スペクトルの処理方法および装置 - Google Patents
蛍光ｘ線スペクトルの処理方法および装置Info
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- JPH1114569A JPH1114569A JP16232697A JP16232697A JPH1114569A JP H1114569 A JPH1114569 A JP H1114569A JP 16232697 A JP16232697 A JP 16232697A JP 16232697 A JP16232697 A JP 16232697A JP H1114569 A JPH1114569 A JP H1114569A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 蛍光Ｘ線分析で得られる蛍光Ｘ線スペクトル
に対し、ピークのエネルギー等に応じて最適なスムージ
ング等ができる蛍光Ｘ線スペクトルの処理方法および装
置を提供する。 【解決手段】 測定強度がピーク値をとるときのエネル
ギー等の値と、ピーク幅に対応する例えば半値幅との相
関を、あらかじめ求めて記憶しておき、各測定点で、そ
のエネルギー値での半値幅を前記相関から求め、その半
値幅に比例した数の測定点を用いてスムージングを行
う。
に対し、ピークのエネルギー等に応じて最適なスムージ
ング等ができる蛍光Ｘ線スペクトルの処理方法および装
置を提供する。 【解決手段】 測定強度がピーク値をとるときのエネル
ギー等の値と、ピーク幅に対応する例えば半値幅との相
関を、あらかじめ求めて記憶しておき、各測定点で、そ
のエネルギー値での半値幅を前記相関から求め、その半
値幅に比例した数の測定点を用いてスムージングを行
う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、蛍光Ｘ線分析で得
られる蛍光Ｘ線スペクトルに対し、ピークのエネルギー
等に応じて最適なスムージング等ができる蛍光Ｘ線スペ
クトルの処理方法および装置に関するものである。
られる蛍光Ｘ線スペクトルに対し、ピークのエネルギー
等に応じて最適なスムージング等ができる蛍光Ｘ線スペ
クトルの処理方法および装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来より、例えば、図５に示すような、
エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置で得られた蛍光Ｘ線
スペクトルに対し、各測定点Ｐi において次式（１）に
よりスムージングを行っている。図５においては、左右
方向にいくつか表れたピーク（山形の盛り上がり）のう
ちのひとつを図示している。
エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置で得られた蛍光Ｘ線
スペクトルに対し、各測定点Ｐi において次式（１）に
よりスムージングを行っている。図５においては、左右
方向にいくつか表れたピーク（山形の盛り上がり）のう
ちのひとつを図示している。
【０００３】
【数１】
【０００４】ここで、スムージング処理関数 Sｆj は、
ｉ番目の測定点を中心とし、−ｍ番目からｍ番目の測定
点を用いてスムージングするとき、ｊ番目（ｊ＝−ｍ〜
ｍ）の測定強度に乗ずる係数であり、Savitzky & Golay
の式がよく用いられる。また、測定点Ｐi で、前の測定
点Ｐi-m から後の測定点Ｐi+m までの一定の数２ｍ＋１
の測定点Ｐi-m 〜Ｐi+m を用いてスムージングを行って
いる。すなわち、スムージングを行うべき測定点Ｐi の
エネルギー値Ｅi とは無関係に、一定のエネルギー幅
（隣接する測定点間の一定のエネルギー間隔をΔＥとす
ると、２ｍΔＥとなる）を処理幅として、スムージング
を行っている。
ｉ番目の測定点を中心とし、−ｍ番目からｍ番目の測定
点を用いてスムージングするとき、ｊ番目（ｊ＝−ｍ〜
ｍ）の測定強度に乗ずる係数であり、Savitzky & Golay
の式がよく用いられる。また、測定点Ｐi で、前の測定
点Ｐi-m から後の測定点Ｐi+m までの一定の数２ｍ＋１
の測定点Ｐi-m 〜Ｐi+m を用いてスムージングを行って
いる。すなわち、スムージングを行うべき測定点Ｐi の
エネルギー値Ｅi とは無関係に、一定のエネルギー幅
（隣接する測定点間の一定のエネルギー間隔をΔＥとす
ると、２ｍΔＥとなる）を処理幅として、スムージング
を行っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、エネルギー
分散型蛍光Ｘ線分析装置で得られる蛍光Ｘ線スペクトル
では、装置の特性から、エネルギーに対しピーク幅Ｗは
一定ではなく、エネルギーが大きくなるほどすなわちス
ペクトルにおいて右の方に位置するピークほど、ピーク
幅Ｗは広くなる。にもかかわらず、従来の技術では、ピ
ークのエネルギーに無関係に一定の処理幅２ｍΔＥでス
ムージングを行うので、エネルギーの小さいピークでは
処理幅２ｍΔＥが大きすぎてスペクトルに歪みを生じ、
エネルギーの大きいピークでは処理幅２ｍΔＥが小さす
ぎてスペクトルにノイズが残るという問題があった。
分散型蛍光Ｘ線分析装置で得られる蛍光Ｘ線スペクトル
では、装置の特性から、エネルギーに対しピーク幅Ｗは
一定ではなく、エネルギーが大きくなるほどすなわちス
ペクトルにおいて右の方に位置するピークほど、ピーク
幅Ｗは広くなる。にもかかわらず、従来の技術では、ピ
ークのエネルギーに無関係に一定の処理幅２ｍΔＥでス
ムージングを行うので、エネルギーの小さいピークでは
処理幅２ｍΔＥが大きすぎてスペクトルに歪みを生じ、
エネルギーの大きいピークでは処理幅２ｍΔＥが小さす
ぎてスペクトルにノイズが残るという問題があった。
【０００６】同様に、ピークサーチにおいても、エネル
ギーの小さいピークでは処理幅２ｍΔＥが大きすぎて近
接するピークの一方が検索されず、エネルギーの大きい
ピークでは処理幅２ｍΔＥが小さすぎてノイズをピーク
として検索するという問題があった。また、バックグラ
ウンドの除去においても、従来の技術では、ピークのエ
ネルギーに無関係に、ピーク値をとるエネルギー値から
一定の範囲にバックグラウンドがあるとしてピークのネ
ット強度を求めるので、エネルギーの大きいピークで
は、バックグラウンドがあるとするエネルギー範囲が狭
すぎて正確なピークのネット強度が求められないという
問題があった。
ギーの小さいピークでは処理幅２ｍΔＥが大きすぎて近
接するピークの一方が検索されず、エネルギーの大きい
ピークでは処理幅２ｍΔＥが小さすぎてノイズをピーク
として検索するという問題があった。また、バックグラ
ウンドの除去においても、従来の技術では、ピークのエ
ネルギーに無関係に、ピーク値をとるエネルギー値から
一定の範囲にバックグラウンドがあるとしてピークのネ
ット強度を求めるので、エネルギーの大きいピークで
は、バックグラウンドがあるとするエネルギー範囲が狭
すぎて正確なピークのネット強度が求められないという
問題があった。
【０００７】さらに、以上と同様の問題が、エネルギー
分散型蛍光Ｘ線分析装置で得られる蛍光Ｘ線スペクトル
に限らず、人工多層膜分光素子を用いた波長分散型蛍光
Ｘ線分析装置で得られる蛍光Ｘ線スペクトルについても
起こる。この場合には、装置の特性から、スペクトルの
横軸であるいわゆる２θ（ゴニオメータの目盛りで、分
光素子へ入射する蛍光Ｘ線の延長と、分光素子で回折し
て検出器へ入射する蛍光Ｘ線とのなす角）に対しピーク
幅Ｗが一定ではなく、２θが大きくなるほどピーク幅Ｗ
が広くなるにもかかわらず、従来の技術では、ピークの
２θに無関係に一定の処理幅でスムージング等を行うこ
とが、問題の起こる原因となる。
分散型蛍光Ｘ線分析装置で得られる蛍光Ｘ線スペクトル
に限らず、人工多層膜分光素子を用いた波長分散型蛍光
Ｘ線分析装置で得られる蛍光Ｘ線スペクトルについても
起こる。この場合には、装置の特性から、スペクトルの
横軸であるいわゆる２θ（ゴニオメータの目盛りで、分
光素子へ入射する蛍光Ｘ線の延長と、分光素子で回折し
て検出器へ入射する蛍光Ｘ線とのなす角）に対しピーク
幅Ｗが一定ではなく、２θが大きくなるほどピーク幅Ｗ
が広くなるにもかかわらず、従来の技術では、ピークの
２θに無関係に一定の処理幅でスムージング等を行うこ
とが、問題の起こる原因となる。
【０００８】本発明は前記従来の問題に鑑みてなされた
もので、蛍光Ｘ線分析で得られる蛍光Ｘ線スペクトルに
対し、ピークのエネルギー等に応じて最適なスムージン
グ等ができる蛍光Ｘ線スペクトルの処理方法および装置
を提供することを目的とする。
もので、蛍光Ｘ線分析で得られる蛍光Ｘ線スペクトルに
対し、ピークのエネルギー等に応じて最適なスムージン
グ等ができる蛍光Ｘ線スペクトルの処理方法および装置
を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１の蛍光Ｘ線スペクトルの処理方法では、蛍
光Ｘ線の測定強度を第１軸とし、蛍光Ｘ線のエネルギー
に対応する値を第２軸として表した蛍光Ｘ線スペクトル
に対し、まず、測定強度がピーク値をとるときの第２軸
の値と、ピーク幅に対応するピーク幅対応値との相関
を、あらかじめ求めて記憶しておく。そして、各測定点
で、その第２軸の値でのピーク幅対応値を前記相関から
求め、そのピーク幅対応値に比例した数の測定点を用い
てスムージングを行う。
に、請求項１の蛍光Ｘ線スペクトルの処理方法では、蛍
光Ｘ線の測定強度を第１軸とし、蛍光Ｘ線のエネルギー
に対応する値を第２軸として表した蛍光Ｘ線スペクトル
に対し、まず、測定強度がピーク値をとるときの第２軸
の値と、ピーク幅に対応するピーク幅対応値との相関
を、あらかじめ求めて記憶しておく。そして、各測定点
で、その第２軸の値でのピーク幅対応値を前記相関から
求め、そのピーク幅対応値に比例した数の測定点を用い
てスムージングを行う。
【００１０】請求項１の方法によれば、エネルギー等が
大きくなるほどピーク幅が広くなることを考慮して、各
測定点で、そのエネルギー値等に応じたピーク幅対応値
（半値幅等）をあらかじめ記憶した相関から求め、その
ピーク幅対応値に比例した数の測定点を用いてスムージ
ングを行うので、ピークのエネルギー等に応じて最適な
スムージングができる。
大きくなるほどピーク幅が広くなることを考慮して、各
測定点で、そのエネルギー値等に応じたピーク幅対応値
（半値幅等）をあらかじめ記憶した相関から求め、その
ピーク幅対応値に比例した数の測定点を用いてスムージ
ングを行うので、ピークのエネルギー等に応じて最適な
スムージングができる。
【００１１】請求項２の蛍光Ｘ線スペクトルの処理方法
では、請求項１の方法と同様に前記相関をあらかじめ求
めて記憶しておき、各測定点で、その第２軸の値でのピ
ーク幅対応値を前記相関から求め、そのピーク幅対応値
に比例した数の測定点を用いて微係数を求めることによ
りピークサーチを行う。
では、請求項１の方法と同様に前記相関をあらかじめ求
めて記憶しておき、各測定点で、その第２軸の値でのピ
ーク幅対応値を前記相関から求め、そのピーク幅対応値
に比例した数の測定点を用いて微係数を求めることによ
りピークサーチを行う。
【００１２】請求項２の方法によれば、エネルギー等が
大きくなるほどピーク幅が広くなることを考慮して、各
測定点で、そのエネルギー値等に応じたピーク幅対応値
（半値幅等）をあらかじめ記憶した相関から求め、その
ピーク幅対応値に比例した数の測定点を用いて微係数を
求めることによりピークサーチを行うので、ピークのエ
ネルギー等に応じて最適なピークサーチができる。
大きくなるほどピーク幅が広くなることを考慮して、各
測定点で、そのエネルギー値等に応じたピーク幅対応値
（半値幅等）をあらかじめ記憶した相関から求め、その
ピーク幅対応値に比例した数の測定点を用いて微係数を
求めることによりピークサーチを行うので、ピークのエ
ネルギー等に応じて最適なピークサーチができる。
【００１３】請求項３の蛍光Ｘ線スペクトルの処理方法
では、請求項１の方法と同様に前記相関をあらかじめ求
めて記憶しておき、スペクトル上の各ピークで、ピーク
値をとるときの第２軸の値でのピーク幅対応値を前記相
関から求め、そのピーク幅対応値に比例した第２軸上の
間隔を用いてバックグラウンドの除去を行う。
では、請求項１の方法と同様に前記相関をあらかじめ求
めて記憶しておき、スペクトル上の各ピークで、ピーク
値をとるときの第２軸の値でのピーク幅対応値を前記相
関から求め、そのピーク幅対応値に比例した第２軸上の
間隔を用いてバックグラウンドの除去を行う。
【００１４】請求項３の方法によれば、エネルギー等が
大きくなるほどピーク幅が広くなることを考慮して、ス
ペクトル上の各ピークで、ピーク値をとるときのエネル
ギー値等に応じたピーク幅対応値（半値幅等）をあらか
じめ記憶した相関から求め、そのピーク幅対応値に比例
したエネルギー等の間隔を用いてバックグラウンドの除
去を行うので、ピークのエネルギー等に応じて正確なピ
ークのネット強度が求められる。
大きくなるほどピーク幅が広くなることを考慮して、ス
ペクトル上の各ピークで、ピーク値をとるときのエネル
ギー値等に応じたピーク幅対応値（半値幅等）をあらか
じめ記憶した相関から求め、そのピーク幅対応値に比例
したエネルギー等の間隔を用いてバックグラウンドの除
去を行うので、ピークのエネルギー等に応じて正確なピ
ークのネット強度が求められる。
【００１５】請求項４の蛍光Ｘ線スペクトルの処理装置
は、蛍光Ｘ線の測定強度を第１軸とし、蛍光Ｘ線のエネ
ルギーに対応する値を第２軸として表した蛍光Ｘ線スペ
クトルの処理装置において、測定強度がピーク値をとる
ときの第２軸の値と、ピーク幅に対応するピーク幅対応
値との相関を、あらかじめ記憶しておく記憶手段と、各
測定点で、その第２軸の値でのピーク幅対応値を前記相
関から求め、そのピーク幅対応値に比例した数の測定点
を用いてスムージングを行うスムージング手段とを備え
ている。請求項４の装置によっても、請求項１の方法と
同様の作用効果がある。
は、蛍光Ｘ線の測定強度を第１軸とし、蛍光Ｘ線のエネ
ルギーに対応する値を第２軸として表した蛍光Ｘ線スペ
クトルの処理装置において、測定強度がピーク値をとる
ときの第２軸の値と、ピーク幅に対応するピーク幅対応
値との相関を、あらかじめ記憶しておく記憶手段と、各
測定点で、その第２軸の値でのピーク幅対応値を前記相
関から求め、そのピーク幅対応値に比例した数の測定点
を用いてスムージングを行うスムージング手段とを備え
ている。請求項４の装置によっても、請求項１の方法と
同様の作用効果がある。
【００１６】請求項５の蛍光Ｘ線スペクトルの処理装置
は、請求項４の装置と同様に記憶手段を備え、各測定点
で、その第２軸の値でのピーク幅対応値を前記相関から
求め、そのピーク幅対応値に比例した数の測定点を用い
て微係数を求めることによりピークサーチを行うピーク
サーチ手段を備えている。請求項５の装置によっても、
請求項２の方法と同様の作用効果がある。
は、請求項４の装置と同様に記憶手段を備え、各測定点
で、その第２軸の値でのピーク幅対応値を前記相関から
求め、そのピーク幅対応値に比例した数の測定点を用い
て微係数を求めることによりピークサーチを行うピーク
サーチ手段を備えている。請求項５の装置によっても、
請求項２の方法と同様の作用効果がある。
【００１７】請求項６の蛍光Ｘ線スペクトルの処理装置
は、請求項４の装置と同様に記憶手段を備え、スペクト
ル上の各ピークで、ピーク値をとるときの第２軸の値で
のピーク幅対応値を前記相関から求め、そのピーク幅対
応値に比例した第２軸上の間隔を用いてバックグラウン
ドの除去を行うバックグラウンド除去手段を備えてい
る。請求項６の装置によっても、請求項３の方法と同様
の作用効果がある。
は、請求項４の装置と同様に記憶手段を備え、スペクト
ル上の各ピークで、ピーク値をとるときの第２軸の値で
のピーク幅対応値を前記相関から求め、そのピーク幅対
応値に比例した第２軸上の間隔を用いてバックグラウン
ドの除去を行うバックグラウンド除去手段を備えてい
る。請求項６の装置によっても、請求項３の方法と同様
の作用効果がある。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態の方法を
図面にしたがって説明する。まず、この方法に用いる装
置について説明する。この装置は、図３に示すような、
蛍光Ｘ線の測定強度を第１軸（縦軸）とし、蛍光Ｘ線の
エネルギーを第２軸（横軸）として表した蛍光Ｘ線スペ
クトルの処理装置５において、図１に示すように、以下
の記憶手段１、スムージング手段２、ピークサーチ手段
３およびバックグラウンド除去手段４とを備えている。
この装置５は、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置６と
接続され、その分析装置６で得られた蛍光Ｘ線スペクト
ルに関するデータを、例えば電気的な入力信号７として
受け取る。この装置５は、分析装置６の一部として組み
込まれてもよい。前記記憶手段１は、測定強度がピーク
値をとるときの横軸の値すなわちエネルギーと、ピーク
幅に対応するピーク幅対応値例えば半値幅との相関を、
あらかじめ記憶しておく。
図面にしたがって説明する。まず、この方法に用いる装
置について説明する。この装置は、図３に示すような、
蛍光Ｘ線の測定強度を第１軸（縦軸）とし、蛍光Ｘ線の
エネルギーを第２軸（横軸）として表した蛍光Ｘ線スペ
クトルの処理装置５において、図１に示すように、以下
の記憶手段１、スムージング手段２、ピークサーチ手段
３およびバックグラウンド除去手段４とを備えている。
この装置５は、エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置６と
接続され、その分析装置６で得られた蛍光Ｘ線スペクト
ルに関するデータを、例えば電気的な入力信号７として
受け取る。この装置５は、分析装置６の一部として組み
込まれてもよい。前記記憶手段１は、測定強度がピーク
値をとるときの横軸の値すなわちエネルギーと、ピーク
幅に対応するピーク幅対応値例えば半値幅との相関を、
あらかじめ記憶しておく。
【００１９】前記スムージング手段２は、各測定点で、
そのエネルギーでの半値幅を前記相関から求め、その半
値幅に比例した数の測定点を用いてスムージングを行
う。前記ピークサーチ手段３は、各測定点で、そのエネ
ルギーでの半値幅を前記相関から求め、その半値幅に比
例した数の測定点を用いて微係数を求めることによりピ
ークサーチを行う。バックグラウンド除去手段４は、ス
ペクトル上の各ピークで、ピーク値をとるときのエネル
ギーでの半値幅を前記相関から求め、その半値幅に比例
した横軸上の間隔を用いてバックグラウンドの除去を行
う。そして、この装置５で処理した蛍光Ｘ線スペクトル
に関するデータは、例えば、電気的な出力信号８として
分析装置６に送られ、分析装置６におけるＣＲＴ等の表
示手段９に表示される。なお、この装置５が、分析装置
６と別体である場合には、この装置が表示手段を備えて
もよい。
そのエネルギーでの半値幅を前記相関から求め、その半
値幅に比例した数の測定点を用いてスムージングを行
う。前記ピークサーチ手段３は、各測定点で、そのエネ
ルギーでの半値幅を前記相関から求め、その半値幅に比
例した数の測定点を用いて微係数を求めることによりピ
ークサーチを行う。バックグラウンド除去手段４は、ス
ペクトル上の各ピークで、ピーク値をとるときのエネル
ギーでの半値幅を前記相関から求め、その半値幅に比例
した横軸上の間隔を用いてバックグラウンドの除去を行
う。そして、この装置５で処理した蛍光Ｘ線スペクトル
に関するデータは、例えば、電気的な出力信号８として
分析装置６に送られ、分析装置６におけるＣＲＴ等の表
示手段９に表示される。なお、この装置５が、分析装置
６と別体である場合には、この装置が表示手段を備えて
もよい。
【００２０】この装置５を用いて、本実施形態の方法で
は、以下のように処理を行う。まず、接続されたエネル
ギー分散型蛍光Ｘ線分析装置６で組成が既知の標準試料
を測定し、得られる蛍光Ｘ線スペクトルにおいて、測定
強度がピーク値をとるときのエネルギーと半値幅（縦軸
の値がピーク値の半分になるところの横軸の幅）との相
関を、あらかじめ求めて、記憶手段１に記憶しておく。
は、以下のように処理を行う。まず、接続されたエネル
ギー分散型蛍光Ｘ線分析装置６で組成が既知の標準試料
を測定し、得られる蛍光Ｘ線スペクトルにおいて、測定
強度がピーク値をとるときのエネルギーと半値幅（縦軸
の値がピーク値の半分になるところの横軸の幅）との相
関を、あらかじめ求めて、記憶手段１に記憶しておく。
【００２１】例えば、得られた蛍光Ｘ線スペクトルが、
図２のようなものであれば、測定強度がピーク値ＩP1，
ＩP2，ＩP3，…をとるときのエネルギーＥP1，ＥP2，Ｅ
P3，…と、半値幅(FWHM)EP1 ，(FWHM)EP2 ，(FWH
M)EP3 ，…との相関を、あらかじめ求める。ここで、半
値幅(FWHM)EP1 ，(FWHM)EP2 ，(FWHM)EP3 ，…は、ピー
ク幅Ｗ1 ，Ｗ2 ，Ｗ3 ，…に対応するピーク幅対応値の
ひとつである。また、測定強度がピーク値をとるときの
エネルギーや半値幅は、測定点を細かくとって、測定点
の値そのものを用いて求めてもよいし、従来の周知の方
法等でスムージングした後に測定点間を補間して求めて
もよい。求めた相関は、測定データから次式（２）の係
数を求め、相関式として記憶する。なお、式（２）にお
いて係数ｂを省略してもよく、式（２）に代えて式
（３）を用いてもよい。さらに、式でなく表として記憶
してもよい。なお、図２においては、左右方向にいくつ
か表れたピーク（山形の盛り上がり）のうち、エネルギ
ーの低い側（左側）から３つを図示している。
図２のようなものであれば、測定強度がピーク値ＩP1，
ＩP2，ＩP3，…をとるときのエネルギーＥP1，ＥP2，Ｅ
P3，…と、半値幅(FWHM)EP1 ，(FWHM)EP2 ，(FWH
M)EP3 ，…との相関を、あらかじめ求める。ここで、半
値幅(FWHM)EP1 ，(FWHM)EP2 ，(FWHM)EP3 ，…は、ピー
ク幅Ｗ1 ，Ｗ2 ，Ｗ3 ，…に対応するピーク幅対応値の
ひとつである。また、測定強度がピーク値をとるときの
エネルギーや半値幅は、測定点を細かくとって、測定点
の値そのものを用いて求めてもよいし、従来の周知の方
法等でスムージングした後に測定点間を補間して求めて
もよい。求めた相関は、測定データから次式（２）の係
数を求め、相関式として記憶する。なお、式（２）にお
いて係数ｂを省略してもよく、式（２）に代えて式
（３）を用いてもよい。さらに、式でなく表として記憶
してもよい。なお、図２においては、左右方向にいくつ
か表れたピーク（山形の盛り上がり）のうち、エネルギ
ーの低い側（左側）から３つを図示している。
【００２２】
【数２】
【００２３】
【数３】
【００２４】次に、図１に示すその分析装置６で得られ
た処理すべき蛍光Ｘ線スペクトルに関するデータを、入
力信号７として受け取り、スムージング手段２により、
以下のようにスムージングを行う。まず、図３に示すよ
うに、各測定点Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ3 ，…のエネルギーをＥ
1 ，Ｅ2 ，Ｅ3 ，…とし、各測定点間のエネルギーの間
隔をΔＥとすると、ｉ番目の測定点Ｐi のエネルギーＥ
i は、次式（４）で得られる。なお、図３においては、
左右方向にいくつか表れたピーク（山形の盛り上がり）
のうち、最もエネルギーの低い側（左側）のものを図示
している。
た処理すべき蛍光Ｘ線スペクトルに関するデータを、入
力信号７として受け取り、スムージング手段２により、
以下のようにスムージングを行う。まず、図３に示すよ
うに、各測定点Ｐ1 ，Ｐ2 ，Ｐ3 ，…のエネルギーをＥ
1 ，Ｅ2 ，Ｅ3 ，…とし、各測定点間のエネルギーの間
隔をΔＥとすると、ｉ番目の測定点Ｐi のエネルギーＥ
i は、次式（４）で得られる。なお、図３においては、
左右方向にいくつか表れたピーク（山形の盛り上がり）
のうち、最もエネルギーの低い側（左側）のものを図示
している。
【００２５】
【数４】
【００２６】この測定点Ｐi のエネルギーＥi での半値
幅(FWHM)Eiを、前記記憶した相関式（２）から、次式
（５）に示すように求める。
幅(FWHM)Eiを、前記記憶した相関式（２）から、次式
（５）に示すように求める。
【００２７】
【数５】
【００２８】そして、測定点Ｐi について、スムージン
グを行うべきエネルギー範囲 SＷEiを、次式（６）から
求める。ここで、αS は、スムージングを行うエネルギ
ー範囲 SＷEiを、前記半値幅(FWHM)Eiの何倍にするかの
定数であり、通常０．６程度に決めておく。
グを行うべきエネルギー範囲 SＷEiを、次式（６）から
求める。ここで、αS は、スムージングを行うエネルギ
ー範囲 SＷEiを、前記半値幅(FWHM)Eiの何倍にするかの
定数であり、通常０．６程度に決めておく。
【００２９】
【数６】
【００３０】さらに、測定点Ｐi について、スムージン
グに用いるべき測定点の数２ｍ＋１（ｍは負でない整
数）を、次式（７）から求める。ここで、２ｍ＋１は奇
数の自然数であり、右辺の値に最も近いものをとる。
グに用いるべき測定点の数２ｍ＋１（ｍは負でない整
数）を、次式（７）から求める。ここで、２ｍ＋１は奇
数の自然数であり、右辺の値に最も近いものをとる。
【００３１】
【数７】
【００３２】このようにして求めた数２ｍ＋１の測定点
Ｐi-m 〜Ｐi+m を用いて、前記式（１）により、各測定
点Ｐi でのスムージング後の強度 SＩi を求める。な
お、測定点Ｐi がスペクトルの両端またはその近傍にあ
って、用いるべき測定点Ｐi-m〜Ｐi+m が不足する場合
には、スムージングを行わず測定強度のままとする等、
周知の方法をとればよい。後述するピークサーチ等にお
いても同様である。以上のように、本実施形態の方法に
よれば、エネルギーＥが大きくなるほどピーク幅Ｗが広
くなることを考慮して、各測定点Ｐi において、そのエ
ネルギーＥi に応じた半値幅(FWHM)Eiを、あらかじめ記
憶した相関式（２）から求め、その半値幅(FWHM)Eiに比
例した数２ｍ＋１の測定点Ｐi-m 〜Ｐi+m を用いてスム
ージングを行うので、ピークのエネルギーに応じて最適
なスムージングができる。なお、測定点Ｐi-m 〜Ｐi+m
の数２ｍ＋１が、半値幅(FWHM)Eiに比例するとは、厳密
には、前記式（６）、（７）からも明らかなとおり、半
値幅(FWHM)Eiの一定倍（αS／ΔＥ倍）に最も近い奇数
の自然数である、という意味である。
Ｐi-m 〜Ｐi+m を用いて、前記式（１）により、各測定
点Ｐi でのスムージング後の強度 SＩi を求める。な
お、測定点Ｐi がスペクトルの両端またはその近傍にあ
って、用いるべき測定点Ｐi-m〜Ｐi+m が不足する場合
には、スムージングを行わず測定強度のままとする等、
周知の方法をとればよい。後述するピークサーチ等にお
いても同様である。以上のように、本実施形態の方法に
よれば、エネルギーＥが大きくなるほどピーク幅Ｗが広
くなることを考慮して、各測定点Ｐi において、そのエ
ネルギーＥi に応じた半値幅(FWHM)Eiを、あらかじめ記
憶した相関式（２）から求め、その半値幅(FWHM)Eiに比
例した数２ｍ＋１の測定点Ｐi-m 〜Ｐi+m を用いてスム
ージングを行うので、ピークのエネルギーに応じて最適
なスムージングができる。なお、測定点Ｐi-m 〜Ｐi+m
の数２ｍ＋１が、半値幅(FWHM)Eiに比例するとは、厳密
には、前記式（６）、（７）からも明らかなとおり、半
値幅(FWHM)Eiの一定倍（αS／ΔＥ倍）に最も近い奇数
の自然数である、という意味である。
【００３３】次に、図１に示すピークサーチ手段３によ
り、以下のようにピークサーチを行う。まず、前記スム
ージング手段２によるスムージングの場合と同様に、式
（４）、（５）により、各測定点Ｐi のエネルギーＥi
での半値幅(FWHM)Eiを求める。さて、ピークサーチは、
各測定点Ｐi について、例えば１次微係数を求めて行う
が、図３に示すように、測定点Ｐi について、微係数を
求めるのに用いるべきエネルギー範囲 PＷEiを、次式
（８）から求める。ここで、αP は、微係数を求めるの
に用いるエネルギー範囲 PＷEiを、前記半値幅(FWHM)Ei
の何倍にするかの定数であり、通常０．６程度に決めて
おく。
り、以下のようにピークサーチを行う。まず、前記スム
ージング手段２によるスムージングの場合と同様に、式
（４）、（５）により、各測定点Ｐi のエネルギーＥi
での半値幅(FWHM)Eiを求める。さて、ピークサーチは、
各測定点Ｐi について、例えば１次微係数を求めて行う
が、図３に示すように、測定点Ｐi について、微係数を
求めるのに用いるべきエネルギー範囲 PＷEiを、次式
（８）から求める。ここで、αP は、微係数を求めるの
に用いるエネルギー範囲 PＷEiを、前記半値幅(FWHM)Ei
の何倍にするかの定数であり、通常０．６程度に決めて
おく。
【００３４】
【数８】
【００３５】さらに、測定点Ｐi について、微係数を求
めるのに用いるべき測定点の数２ｍ＋１（ｍは負でない
整数）を、次式（９）から求める。ここで、２ｍ＋１は
奇数の自然数であり、右辺の値に最も近いものをとる。
なお、本実施形態では、式（６）のαS と式（８）のα
P が等しいものとして、式（７）と式（９）において同
じｍを用いた。
めるのに用いるべき測定点の数２ｍ＋１（ｍは負でない
整数）を、次式（９）から求める。ここで、２ｍ＋１は
奇数の自然数であり、右辺の値に最も近いものをとる。
なお、本実施形態では、式（６）のαS と式（８）のα
P が等しいものとして、式（７）と式（９）において同
じｍを用いた。
【００３６】
【数９】
【００３７】このようにして求めた数２ｍ＋１の測定点
Ｐi-m 〜Ｐi+m を用いて、次式（１０）により、各測定
点Ｐi での１次微係数d1Ｉi を求める。
Ｐi-m 〜Ｐi+m を用いて、次式（１０）により、各測定
点Ｐi での１次微係数d1Ｉi を求める。
【００３８】
【数１０】
【００３９】ここで、１次微係数を求めるための係数d1
ｆj は、ｉ番目の測定点Ｐi を中心とし、−ｍ番目から
ｍ番目の測定点Ｐi-m 〜Ｐi+m を用いて、測定点Ｐi で
の１次微係数d1Ｉi を求めるとき、ｊ番目（ｊ＝−ｍ〜
ｍ）の測定強度に乗ずる係数である。このようにして求
めた各測定点Ｐi の１次微係数d1Ｉi を、図４に示す。
次に、測定点Ｐ1 から順に１次微係数d1Ｉi の符号をチ
ェックし、正から負または０に変化する測定点Ｐk （d1
Ｉk ≦０，d1Ｉk-1 ＞０）を求める。この測定点Ｐk に
ついて、ピーク位置を求めるのに用いるべきエネルギー
間隔ΔＷを、次式（１１）から求める。ここで、γは、
ピーク位置を求めるのに用いるべきエネルギー間隔ΔＷ
を、この測定点Ｐk のエネルギーＥk での半値幅(FWHM)
Ek（前式（２）から求められる）の何倍にするかの定数
であり、通常０．２程度に決めておく。
ｆj は、ｉ番目の測定点Ｐi を中心とし、−ｍ番目から
ｍ番目の測定点Ｐi-m 〜Ｐi+m を用いて、測定点Ｐi で
の１次微係数d1Ｉi を求めるとき、ｊ番目（ｊ＝−ｍ〜
ｍ）の測定強度に乗ずる係数である。このようにして求
めた各測定点Ｐi の１次微係数d1Ｉi を、図４に示す。
次に、測定点Ｐ1 から順に１次微係数d1Ｉi の符号をチ
ェックし、正から負または０に変化する測定点Ｐk （d1
Ｉk ≦０，d1Ｉk-1 ＞０）を求める。この測定点Ｐk に
ついて、ピーク位置を求めるのに用いるべきエネルギー
間隔ΔＷを、次式（１１）から求める。ここで、γは、
ピーク位置を求めるのに用いるべきエネルギー間隔ΔＷ
を、この測定点Ｐk のエネルギーＥk での半値幅(FWHM)
Ek（前式（２）から求められる）の何倍にするかの定数
であり、通常０．２程度に決めておく。
【００４０】
【数１１】
【００４１】さらに、測定点Ｐk について、ピーク位置
を求めるのに用いるべき測定点の数２ｎ＋１におけるｎ
を、次式（１２）から求める。ここで、ｎは自然数であ
り、右辺の値に最も近いものをとる。
を求めるのに用いるべき測定点の数２ｎ＋１におけるｎ
を、次式（１２）から求める。ここで、ｎは自然数であ
り、右辺の値に最も近いものをとる。
【００４２】
【数１２】
【００４３】このようにして求めた数２ｎ＋１の測定点
Ｐk-n 〜Ｐk+n を用いて、最小二乗法で直線Ｌを引き、
１次微係数が０となる横軸との交点Ｑを、直線Ｌの傾き
が負であることを条件に、ピーク位置とする。ただし、
図４に示すように、ピーク幅に対して測定点の数が少な
い場合には、前記直線Ｌと横軸との交点Ｑが、測定点Ｐ
k-1 と測定点Ｐk との間にきて、図３において対応する
ピーク強度がないことになるので、例えば以下のように
処理する。すなわち、図３において、１次微係数が正か
ら負または０に変化した測定点Ｐk とその前後の測定点
Ｐk-1 ，Ｐk+1の３点を通る放物線を求め、その放物線
が最大値をとるエネルギーをピーク位置ＥP とし、その
最大値をピーク強度ＩP+B とする。なお、このエネルギ
ーＥP をピーク位置としてよいか否かの判断にあたっ
て、その前後の測定点Ｐk-1 ，Ｐkにおける２次微係数
d2Ｉk-1 ，d2Ｉk がともに負であることを条件としても
よい。各測定点Ｐi における２次微係数d2Ｉi は、式
（８）から（１０）によって１次微係数d1Ｉi を求めた
のと同様に、求められる。
Ｐk-n 〜Ｐk+n を用いて、最小二乗法で直線Ｌを引き、
１次微係数が０となる横軸との交点Ｑを、直線Ｌの傾き
が負であることを条件に、ピーク位置とする。ただし、
図４に示すように、ピーク幅に対して測定点の数が少な
い場合には、前記直線Ｌと横軸との交点Ｑが、測定点Ｐ
k-1 と測定点Ｐk との間にきて、図３において対応する
ピーク強度がないことになるので、例えば以下のように
処理する。すなわち、図３において、１次微係数が正か
ら負または０に変化した測定点Ｐk とその前後の測定点
Ｐk-1 ，Ｐk+1の３点を通る放物線を求め、その放物線
が最大値をとるエネルギーをピーク位置ＥP とし、その
最大値をピーク強度ＩP+B とする。なお、このエネルギ
ーＥP をピーク位置としてよいか否かの判断にあたっ
て、その前後の測定点Ｐk-1 ，Ｐkにおける２次微係数
d2Ｉk-1 ，d2Ｉk がともに負であることを条件としても
よい。各測定点Ｐi における２次微係数d2Ｉi は、式
（８）から（１０）によって１次微係数d1Ｉi を求めた
のと同様に、求められる。
【００４４】このように、本実施形態の方法によれば、
エネルギーＥが大きくなるほどピーク幅Ｗが広くなるこ
とを考慮して、各測定点Ｐi において、そのエネルギー
Ｅiに応じた半値幅(FWHM)Eiを、あらかじめ記憶した相
関式（２）から求め、その半値幅(FWHM)Eiに比例した数
２ｍ＋１の測定点Ｐi-m 〜Ｐi+m を用いて微係数を求め
ることにより、ピークサーチを行うので、ピークのエネ
ルギーに応じて最適なピークサーチができる。
エネルギーＥが大きくなるほどピーク幅Ｗが広くなるこ
とを考慮して、各測定点Ｐi において、そのエネルギー
Ｅiに応じた半値幅(FWHM)Eiを、あらかじめ記憶した相
関式（２）から求め、その半値幅(FWHM)Eiに比例した数
２ｍ＋１の測定点Ｐi-m 〜Ｐi+m を用いて微係数を求め
ることにより、ピークサーチを行うので、ピークのエネ
ルギーに応じて最適なピークサーチができる。
【００４５】さらに、ピークを求めた後、図１に示すバ
ックグラウンド除去手段４により、以下のようにバック
グラウンド除去を行う。まず、図３に示すように、ピー
ク位置ＥP について、バックグラウンド除去に用いるべ
きエネルギー間隔 BＷを、次式（１３）から求める。こ
こで、αB は、バックグラウンド除去に用いるべきエネ
ルギー間隔 BＷを、ピーク位置ＥP での半値幅(FWHM)EP
（前式（２）から求められる）の何倍にするかの定数で
あり、通常１．０程度に決めておく。
ックグラウンド除去手段４により、以下のようにバック
グラウンド除去を行う。まず、図３に示すように、ピー
ク位置ＥP について、バックグラウンド除去に用いるべ
きエネルギー間隔 BＷを、次式（１３）から求める。こ
こで、αB は、バックグラウンド除去に用いるべきエネ
ルギー間隔 BＷを、ピーク位置ＥP での半値幅(FWHM)EP
（前式（２）から求められる）の何倍にするかの定数で
あり、通常１．０程度に決めておく。
【００４６】
【数１３】
【００４７】ピーク位置ＥP を中心に左右に BＷだけ隔
てたエネルギー位置ＥB1，ＥB2に、それぞれ対応するス
ペクトル上の点をバックグラウンド点Ｂ1 ，Ｂ2 とす
る。ただし、図３に示すように、ピーク幅に対して測定
点の数が少ない場合には、対応するスペクトル上の点が
ないことになるので、測定点間を直線で補間して（例え
ば、バックグラウンド点Ｂ1 については、その前後の測
定点Ｐ1 ，Ｐ2 を直線で連結して）、バックグラウンド
点Ｂ1 ，Ｂ2 を求める。このバックグラウンド点Ｂ1 ，
Ｂ2 を直線Ｍで結び、ピーク位置ＥP での直線Ｍ上の点
ＢP の強度ＩB を、ピーク位置ＥP でのバックグラウン
ド強度ＩB とし、これと前記求めたピーク強度ＩP+B と
から、次式（１４）に基づいて、バックグラウンドを除
去したネット強度ＩP を求める。なお、図３において
は、直線Ｍは水平（横軸と平行）になっているが、一般
的には必ずしもそうなるとは限らない。
てたエネルギー位置ＥB1，ＥB2に、それぞれ対応するス
ペクトル上の点をバックグラウンド点Ｂ1 ，Ｂ2 とす
る。ただし、図３に示すように、ピーク幅に対して測定
点の数が少ない場合には、対応するスペクトル上の点が
ないことになるので、測定点間を直線で補間して（例え
ば、バックグラウンド点Ｂ1 については、その前後の測
定点Ｐ1 ，Ｐ2 を直線で連結して）、バックグラウンド
点Ｂ1 ，Ｂ2 を求める。このバックグラウンド点Ｂ1 ，
Ｂ2 を直線Ｍで結び、ピーク位置ＥP での直線Ｍ上の点
ＢP の強度ＩB を、ピーク位置ＥP でのバックグラウン
ド強度ＩB とし、これと前記求めたピーク強度ＩP+B と
から、次式（１４）に基づいて、バックグラウンドを除
去したネット強度ＩP を求める。なお、図３において
は、直線Ｍは水平（横軸と平行）になっているが、一般
的には必ずしもそうなるとは限らない。
【００４８】
【数１４】
【００４９】また、バックグラウンド点Ｂ1 とＢ2 との
間で、各測定点と直線Ｍとの強度差を積分してネット強
度とすることもある。求めたネット強度ＩP が、ノイズ
の強度でないことの判断にあたって、次式（１５）、
（１６）を満たすことを条件とできる。
間で、各測定点と直線Ｍとの強度差を積分してネット強
度とすることもある。求めたネット強度ＩP が、ノイズ
の強度でないことの判断にあたって、次式（１５）、
（１６）を満たすことを条件とできる。
【００５０】
【数１５】
【００５１】
【数１６】
【００５２】このように、本実施形態の方法によれば、
エネルギーＥが大きくなるほどピーク幅Ｗが広くなるこ
とを考慮して、スペクトル上の各ピークで、ピーク値Ｉ
P+Bをとるときのエネルギー値ＥP に応じた半値幅(FWH
M)EPを、あらかじめ記憶した相関式（２）から求め、そ
の半値幅(FWHM)EPに比例したエネルギー間隔 BＷを用い
てバックグラウンドの除去を行うので、ピークのエネル
ギーに応じて正確なピークのネット強度ＩP が求められ
る。
エネルギーＥが大きくなるほどピーク幅Ｗが広くなるこ
とを考慮して、スペクトル上の各ピークで、ピーク値Ｉ
P+Bをとるときのエネルギー値ＥP に応じた半値幅(FWH
M)EPを、あらかじめ記憶した相関式（２）から求め、そ
の半値幅(FWHM)EPに比例したエネルギー間隔 BＷを用い
てバックグラウンドの除去を行うので、ピークのエネル
ギーに応じて正確なピークのネット強度ＩP が求められ
る。
【００５３】以上の実施形態においては、エネルギー分
散型蛍光Ｘ線分析装置で得られる蛍光Ｘ線スペクトル
（横軸がエネルギーである）に適用した場合について説
明したが、本発明はこれに限らず、人工多層膜分光素子
を用いた波長分散型蛍光Ｘ線分析装置で得られる蛍光Ｘ
線スペクトル（横軸がいわゆる２θである）にも、同様
に適用できる。この場合には、測定強度がピーク値をと
るときの２θと、ピーク幅に対応するピーク幅対応値例
えば半値幅との相関を、あらかじめ記憶しておくこと等
により、対処する。
散型蛍光Ｘ線分析装置で得られる蛍光Ｘ線スペクトル
（横軸がエネルギーである）に適用した場合について説
明したが、本発明はこれに限らず、人工多層膜分光素子
を用いた波長分散型蛍光Ｘ線分析装置で得られる蛍光Ｘ
線スペクトル（横軸がいわゆる２θである）にも、同様
に適用できる。この場合には、測定強度がピーク値をと
るときの２θと、ピーク幅に対応するピーク幅対応値例
えば半値幅との相関を、あらかじめ記憶しておくこと等
により、対処する。
【００５４】さらに、エネルギー分散型または波長分散
型蛍光Ｘ線分析装置で得られたデータを、横軸を等間隔
の波長とするデータに変換した蛍光Ｘ線スペクトルに対
しても、同様に本発明を適用できる。この場合には、測
定強度がピーク値をとるときの波長と、ピーク幅に対応
するピーク幅対応値例えば半値幅との相関を、あらかじ
め記憶しておくこと等により、対処する。このように、
蛍光Ｘ線のエネルギー、２θまたは波長を横軸（縦軸で
もよい）として表した蛍光Ｘ線スペクトルを、本願で
は、蛍光Ｘ線のエネルギーに対応する値を第２軸として
表した蛍光Ｘ線スペクトルともいう。
型蛍光Ｘ線分析装置で得られたデータを、横軸を等間隔
の波長とするデータに変換した蛍光Ｘ線スペクトルに対
しても、同様に本発明を適用できる。この場合には、測
定強度がピーク値をとるときの波長と、ピーク幅に対応
するピーク幅対応値例えば半値幅との相関を、あらかじ
め記憶しておくこと等により、対処する。このように、
蛍光Ｘ線のエネルギー、２θまたは波長を横軸（縦軸で
もよい）として表した蛍光Ｘ線スペクトルを、本願で
は、蛍光Ｘ線のエネルギーに対応する値を第２軸として
表した蛍光Ｘ線スペクトルともいう。
【００５５】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明によ
れば、蛍光Ｘ線スペクトルではエネルギー等が大きくな
るほどピーク幅が広くなることを考慮して、測定強度が
ピーク値をとるときのエネルギー等の値と、ピーク幅に
対応する例えば半値幅との相関を、あらかじめ求めて記
憶しておくので、蛍光Ｘ線スペクトルに対し、ピークの
エネルギー等に応じて最適なスムージング等ができる。
れば、蛍光Ｘ線スペクトルではエネルギー等が大きくな
るほどピーク幅が広くなることを考慮して、測定強度が
ピーク値をとるときのエネルギー等の値と、ピーク幅に
対応する例えば半値幅との相関を、あらかじめ求めて記
憶しておくので、蛍光Ｘ線スペクトルに対し、ピークの
エネルギー等に応じて最適なスムージング等ができる。
【図１】本発明の一実施形態である蛍光Ｘ線スペクトル
の処理方法に用いる装置を示す概略図である。
の処理方法に用いる装置を示す概略図である。
【図２】同装置が接続されたエネルギー分散型蛍光Ｘ線
分析装置で、組成が既知の標準試料を測定して得られた
蛍光Ｘ線スペクトルを示す図である。
分析装置で、組成が既知の標準試料を測定して得られた
蛍光Ｘ線スペクトルを示す図である。
【図３】同装置で処理すべき蛍光Ｘ線スペクトルを示す
図である。
図である。
【図４】同装置で求めた各測定点の１次微係数を示す図
である。
である。
【図５】従来のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置で得
られた蛍光Ｘ線スペクトルの一例を示す図である。
られた蛍光Ｘ線スペクトルの一例を示す図である。
１…記憶手段、２…スムージング手段、３…ピークサー
チ手段、４…バックグラウンド除去手段、５…蛍光Ｘ線
スペクトルの処理装置。
チ手段、４…バックグラウンド除去手段、５…蛍光Ｘ線
スペクトルの処理装置。
Claims (6)
- 【請求項１】 蛍光Ｘ線の測定強度を第１軸とし、蛍光
Ｘ線のエネルギーに対応する値を第２軸として表した蛍
光Ｘ線スペクトルの処理方法において、 測定強度がピーク値をとるときの第２軸の値と、ピーク
幅に対応するピーク幅対応値との相関を、あらかじめ求
めて記憶しておき、 各測定点で、その第２軸の値でのピーク幅対応値を前記
相関から求め、そのピーク幅対応値に比例した数の測定
点を用いてスムージングを行うことを特徴とする蛍光Ｘ
線スペクトルの処理方法。 - 【請求項２】 蛍光Ｘ線の測定強度を第１軸とし、蛍光
Ｘ線のエネルギーに対応する値を第２軸として表した蛍
光Ｘ線スペクトルの処理方法において、 測定強度がピーク値をとるときの第２軸の値と、ピーク
幅に対応するピーク幅対応値との相関を、あらかじめ求
めて記憶しておき、 各測定点で、その第２軸の値でのピーク幅対応値を前記
相関から求め、そのピーク幅対応値に比例した数の測定
点を用いて微係数を求めることによりピークサーチを行
うことを特徴とする蛍光Ｘ線スペクトルの処理方法。 - 【請求項３】 蛍光Ｘ線の測定強度を第１軸とし、蛍光
Ｘ線のエネルギーに対応する値を第２軸として表した蛍
光Ｘ線スペクトルの処理方法において、 測定強度がピーク値をとるときの第２軸の値と、ピーク
幅に対応するピーク幅対応値との相関を、あらかじめ求
めて記憶しておき、 スペクトル上の各ピークで、ピーク値をとるときの第２
軸の値でのピーク幅対応値を前記相関から求め、そのピ
ーク幅対応値に比例した第２軸上の間隔を用いてバック
グラウンドの除去を行うことを特徴とする蛍光Ｘ線スペ
クトルの処理方法。 - 【請求項４】 蛍光Ｘ線の測定強度を第１軸とし、蛍光
Ｘ線のエネルギーに対応する値を第２軸として表した蛍
光Ｘ線スペクトルの処理装置において、 測定強度がピーク値をとるときの第２軸の値と、ピーク
幅に対応するピーク幅対応値との相関を、あらかじめ記
憶しておく記憶手段と、 各測定点で、その第２軸の値でのピーク幅対応値を前記
相関から求め、そのピーク幅対応値に比例した数の測定
点を用いてスムージングを行うスムージング手段とを備
えたことを特徴とする蛍光Ｘ線スペクトルの処理装置。 - 【請求項５】 蛍光Ｘ線の測定強度を第１軸とし、蛍光
Ｘ線のエネルギーに対応する値を第２軸として表した蛍
光Ｘ線スペクトルの処理装置において、 測定強度がピーク値をとるときの第２軸の値と、ピーク
幅に対応するピーク幅対応値との相関を、あらかじめ記
憶しておく記憶手段と、 各測定点で、その第２軸の値でのピーク幅対応値を前記
相関から求め、そのピーク幅対応値に比例した数の測定
点を用いて微係数を求めることによりピークサーチを行
うピークサーチ手段とを備えたことを特徴とする蛍光Ｘ
線スペクトルの処理装置。 - 【請求項６】 蛍光Ｘ線の測定強度を第１軸とし、蛍光
Ｘ線のエネルギーに対応する値を第２軸として表した蛍
光Ｘ線スペクトルの処理装置において、 測定強度がピーク値をとるときの第２軸の値と、ピーク
幅に対応するピーク幅対応値との相関を、あらかじめ記
憶しておく記憶手段と、 スペクトル上の各ピークで、ピーク値をとるときの第２
軸の値でのピーク幅対応値を前記相関から求め、そのピ
ーク幅対応値に比例した第２軸上の間隔を用いてバック
グラウンドの除去を行うバックグラウンド除去手段とを
備えたことを特徴とする蛍光Ｘ線スペクトルの処理装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16232697A JP3351713B2 (ja) | 1997-06-19 | 1997-06-19 | 蛍光ｘ線スペクトルの処理方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16232697A JP3351713B2 (ja) | 1997-06-19 | 1997-06-19 | 蛍光ｘ線スペクトルの処理方法および装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1114569A true JPH1114569A (ja) | 1999-01-22 |
| JP3351713B2 JP3351713B2 (ja) | 2002-12-03 |
Family
ID=15752419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16232697A Expired - Fee Related JP3351713B2 (ja) | 1997-06-19 | 1997-06-19 | 蛍光ｘ線スペクトルの処理方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3351713B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013073071A1 (ja) * | 2011-11-15 | 2013-05-23 | 富士電機株式会社 | パルス処理装置および放射線分析装置 |
| FR2984490A1 (fr) * | 2011-12-14 | 2013-06-21 | IFP Energies Nouvelles | Methode d'analyse chimique comportant un lissage de diagramme par filtre localement auto adaptatif |
| KR101440236B1 (ko) * | 2013-06-13 | 2014-09-12 | 전북대학교산학협력단 | X선 형광 분석 방법 및 이를 위한 백그라운드 제거 방법 |
| JP2018517148A (ja) * | 2015-04-02 | 2018-06-28 | ソレック ニュークリア リサーチ センター | Ｘ線蛍光標識を読み取るためのシステムおよび方法 |
-
1997
- 1997-06-19 JP JP16232697A patent/JP3351713B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013073071A1 (ja) * | 2011-11-15 | 2013-05-23 | 富士電機株式会社 | パルス処理装置および放射線分析装置 |
| CN103748481A (zh) * | 2011-11-15 | 2014-04-23 | 富士电机株式会社 | 脉冲处理装置和放射线分析装置 |
| US8930155B2 (en) | 2011-11-15 | 2015-01-06 | Fuji Electrict Co., Ltd. | Pulse processing device and radiation measuring device |
| FR2984490A1 (fr) * | 2011-12-14 | 2013-06-21 | IFP Energies Nouvelles | Methode d'analyse chimique comportant un lissage de diagramme par filtre localement auto adaptatif |
| KR101440236B1 (ko) * | 2013-06-13 | 2014-09-12 | 전북대학교산학협력단 | X선 형광 분석 방법 및 이를 위한 백그라운드 제거 방법 |
| JP2018517148A (ja) * | 2015-04-02 | 2018-06-28 | ソレック ニュークリア リサーチ センター | Ｘ線蛍光標識を読み取るためのシステムおよび方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3351713B2 (ja) | 2002-12-03 |
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