JPH11145532A - 積層化レーザ共振器 - Google Patents

積層化レーザ共振器

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JPH11145532A
JPH11145532A JP30240497A JP30240497A JPH11145532A JP H11145532 A JPH11145532 A JP H11145532A JP 30240497 A JP30240497 A JP 30240497A JP 30240497 A JP30240497 A JP 30240497A JP H11145532 A JPH11145532 A JP H11145532A
Authority
JP
Japan
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laser
resonator
wavelength
oscillation
crystal
Prior art date
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JP30240497A
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English (en)
Inventor
Atsushi Izawa
淳 伊澤
Takeshi Yokozawa
剛 横沢
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IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 発振波長帯域が広くても単一波長発振のでき
るレーザ共振器を提供する。 【解決手段】 ともにレーザ出力波長の整数倍の厚みを
有するレーザ結晶1と透過材質2を交互に積層して積層
体4を構成し、この積層体4の励起光入射側に励起光を
透過しレーザ光を反射する入射側コーティングS1を行
い、レーザ光出射側にレーザ光を反射する出射側コーテ
ィングS2を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ結晶と透過
材質を積層して構成する積層化レーザ共振器に関する。
【0002】
【従来の技術】発振波長帯域が中心波長の1000分の
1程度の固体レーザ媒質を用いたレーザ共振器の場合、
厚さ1mm程度のレーザ媒質の表面にミラーコーティン
グを施したマイクロチップ共振器を構成することによ
り、発振波長間隔が発振波長帯域と同程度となり、容易
に単一波長発振が可能となる。また、結晶の温度を制御
することにより単一波長発振時の発振波長を制御するこ
とが可能となる。マイクロチップ共振器は通常の発振器
と比較して部品数が少く、小型化が容易である。
【0003】図8はレーザ共振器の発振波長帯域を説明
する図である。共振器では複数の波長のレーザが発振し
増幅される。共振する波長はしきい値利得より大きな利
得のある波長である。共振器における光の損失として出
力として取り出される分、吸収、散乱等があり、これら
の損失に打ち勝つだけの利得のある波長のみ増幅されて
出力として取り出すことができる。この損失と利得が釣
り合うときの利得をしきい値利得と言い、このしきい値
利得より利得の高い波長のみレーザ発振が起る。図8は
しきい値利得より高い利得の波長が発振していることを
示す。利得がしき値利得より高い範囲をΔλL で表しこ
れを発振波長帯域という。また隣接する波長間隔Δλを
発振波長間隔という。
【0004】図9は発振波長間隔が発振波長帯域とほぼ
等しくなった場合を示す図である。利得の幅を小さくす
ると発振波長帯域ΔλL の大きさをほぼ発振波長間隔Δ
λにすることができる。このようにすると図8に示すよ
うに発振波長帯域ΔλL 内には中心波長のみしか存在し
なくなり単一波長発振が可能となる。マイクロチップ共
振器はこれを用いて単一波長発振を行っている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】発振波長帯域ΔλL
共振器の中心波長の100分の1程度のレーザ媒質を用
いたマイクロチップ共振器の場合、発振波長帯域ΔλL
と発振波長間隔Δλとを同程度にするためにはレーザ媒
質の厚さを100μm程度にする必要があり、このよう
な厚さにすると後述の理由によりレーザ発振は困難とな
る。さらにこのようなレーザ媒質を用いたマイクロチッ
プ共振器で単一波長発振を行なう場合、しきい値近傍で
発振させる必要があり、出力安定性の面で問題がある。
【0006】マイクロチップ共振器は共振器の長さLが
レーザ結晶(レーザ媒質が結晶のもの)の長さkと同じ
であり、共振器の増幅率Gは次の(1)式で表される。 G=r1・r2exp(g k ) …(1) ここで、Gは増幅率,r1,r2は共振器の両端の反射
率、gは利得係数、kはレーザ結晶の長さである。
(1)式のGが1より大きくならないと発振は起こらな
い。kが小さい場合は、r1,r2,gを大きくする必
要がある。r1,r2を限り無く1に近づける,あるい
はgを大きくすることによって、理論的にはレーザ結晶
が薄くても発振させることは可能であるが、技術的には
限界があるので、結晶の厚さkはせいぜい数百μm〜1
mm程度が限度である。kの厚さの限界はr1,r2,
gの条件によって異なるので明確な限界を決定するのは
困難であるが、少なくても100μmでは発振は困難で
ある。
【0007】本発明は上述の問題点に鑑みてなされたも
ので、発振波長帯域が広くても単一波長発振のできるレ
ーザ共振器を提供することを目的とする。さらにマイク
ロチップ共振器と同じ程度の大きさも可能となるレーザ
共振器を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項1の発明では、ともにレーザ出力波長の整数
倍の厚みを有するレーザ結晶と透過材質を交互に積層し
て積層体を構成し、この積層体の励起光入射側に励起光
を透過しレーザ光を反射する入射側コーティングを行
い、レーザ光出射側にレーザ光を反射する出射側コーテ
ィングを行う。
【0009】レーザ結晶と透過材質との境界はフレネル
反射により部分透過鏡となる。これによりレーザ結晶と
透過材質とをn個交互に積層したものは、それぞれが単
独で共振器を構成するだけでなく、連続するp(p≦
n)個が共振器を構成する。つまり最大n(n+1)/
2の共振器よりなる複合共振器が構成される。共振器の
基本条件として共振器の長さは出力波長の整数倍とする
必要があるので、共振器を構成する各レーザ結晶と透過
材質のレーザ光が通過する方向の長さ(積層する方向の
長さ)は出力波長の複数倍とする。発振波長帯域が広い
(例えば、発振波長帯域が中心波長の100分の1程
度)レーザ結晶を1個用いたマイクロチップ共振器では
結晶の長さは100μm以上とする必要があるが、本発
明では積層する長さを100μm以上にすれば、構成要
素となるレーザ結晶と透過材質の長さは短くても発振可
能となる。また構成される複合共振器に共通な波長を1
つにすることにより単一波長の発振が可能になる。入射
側コーティングは励起光は入りやすく、内部で反射を繰
り返すレーザ光は反射し易くし、出射側コーティングは
大部分は反射して共振をさせるようにするが、一部は出
力として取り出せるものとしている。
【0010】請求項2の発明では、レーザ出力波長の整
数倍の厚みを有するレーザ結晶を交互に積層して積層体
を構成し、この積層体の励起光入射側に励起光を透過し
レーザ光を反射する入射側コーティングを行い、レーザ
光出射側にレーザ光を反射する出射側コーティングを行
い、各積層面に部分反射コーティングを行う。
【0011】レーザ結晶の各積層面に部分反射コーティ
ングを施すことにより、請求項1の発明と同様、複合共
振器を構成する。積層個数をn個とするとそれぞれが単
独で共振器を構成するだけでなく、連続するp(p≦
n)個が共振器を構成する。最大n(n+1)/2の共
振器よりなる複合共振器が構成される。作用も請求項1
の発明と同様である。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照して説明する。図1は第1実施形態の積層化
レーザ発振器の構成を示す図である。積層化レーザ発振
器は、レーザ結晶1と透過材質2を交互に積層して積層
体4を構成する。積層体4の励起光入射側には励起光を
高透過しレーザ光を高反射する入射側コーティングS1
を施し、レーザ光出射側にレーザ光を高反射する出射側
コーティングS2を行う。なお、図1では積層体4の両
端はレーザ結晶1となっているが、透過材質2でもよ
く、両者1,2が交互に配置され積層面(境界面)でフ
レネル反射により部分透過鏡を構成すればよい。フレネ
ル反射は屈折率の異なる物質の境界面で起こるのでレー
ザ結晶2の間に屈折率の異なる透過物質2を入れておけ
ばよい。各、レーザ結晶1と透過材質2の厚み(レーザ
光通過方向の長さ)は出力するレーザ光の波長の整数倍
にする必要があり、整数倍であればそれぞれの厚みが同
一でなくてもよい。レーザ光の出力波長として、例えば
2μm程度のものがよく使用されるが、この場合2μm
またはこの複数倍程度の厚みのレーザ結晶1と透過材質
2が用いられる。励起光は集光レンズ3を通して積層体
4の入射側に入射される。励起光は出力は小さくてよい
が、波長は積層体4からのレーザ出力波長に近接した波
長のものがよい。
【0013】レーザ結晶としては次のような物質を用い
るとよい。 Nd:YAG,Nd:YVO4 ,Nd:YLF …グループ1 Tm:YAG,Tm:YVO4 ,Tm:YLF …グループ2 Tm,Ho:YAG,Tm,Ho:YLF …グループ3
【0014】グループ1のNd:YAGは母材YAGの
結晶にネオジウムNd元素を数%ドープさせたものであ
り、母材YAG自身はレーザ結晶ではなく、Nd元素を
ドープして初めてレーザ結晶となる。つまり、Nd元素
(結晶中ではNd3+イオンになっている)が活性媒質と
なる。Nd:YVO4 は母材YVO4 の結晶にネオジウ
ムNd元素を数%ドープさせたものであり、Nd:YA
Gと比べ、レーザ発振のしきい値が低く、連続発振の効
率が高い。Nd:YLFは母材YLFの結晶にネオジウ
ムNd元素を数%ドープさせたものであり、Nd:YA
Gと比べ、エネルギ貯蓄型で、Qスイッチパルスレーザ
などで優れた特性を有する。グループ2は母材YAG,
YVO4 ,YLFの結晶にツリウムTm元素をドープさ
せたものであり、グループ3は母材YAG,YLFの結
晶にツリウムTm元素とホロミウムHo元素をドープさ
せたものである。
【0015】透過媒質としては次の材料が用いられる。 SiO2 (石英ガラス :透過波長0.15〜
4.5μm) MgF2 (フッ化マグネシウム:透過波長0.11〜
7.5μm) CaF2 (フッ化カルシウム :透過波長0.13〜1
2.0μm)
【0016】入射側コーティングS1は積層体4内で共
振するレーザ波長に対しては全反射が理想的で、入射す
る励起光の波長に対しては全透過することが理想的であ
る。また出射側コーティングS2は積層体4内で共振す
るレーザ波長に対しては全反射がよいが、出力としてレ
ーザ光を外部に出射するため、高い反射率であるがS1
よりはやや低い反射率のものが用いられる。下記に一例
を示す。 S1:レーザ波長に対し反射率99.9%(理想は10
0%)、励起波長に対し透過率90%(理想は100
%) S2:レーザ波長に対し反射率99.5%または99%
【0017】レーザ結晶1と透過材質2の厚み(レーザ
光通過方向の長さ)は出力するレーザ光の波長の整数倍
にする必要がある。これは、共振器中で共振が起こるた
めには、共振器中にその波長の定在波が立つ必要があり
(そうでないと波が打ち消し合うことになる)、この条
件から整数倍が導かれる。現存する固体レーザの発振波
長は、0.数μm〜数μmの範囲である。故に厚みの下
限は1μm〜9μm程度である。厚みの上限はないが、
共振器として小さい方が望ましいので、積層体4の単層
の厚みは数μm〜数mm程度が用いられる。各層(レー
ザ結晶1と透過材質2)の厚みがレーザ光の波長のオー
ダ(1μm〜9μm程度)である場合、共振を起こすた
めに必要な利得長を確保するため、層の数は数十〜数百
程度必要となり、積層体4の長さ(厚み)は数十μm〜
数百μmとなる。
【0018】本発明は積層体4の各層1,2では厚みが
小さいため共振を起こすことが出来ない場合でも積層す
ることにより、積層個数をn個とするとそれぞれが単独
で共振器を構成するだけでなく、連続するp(p≦n)
個が共振器を構成し、最大n(n+1)/2の共振器よ
りなる複合共振器を構成し、共振を可能にする。さらに
複合共振器を構成することにより、各共振器に共通する
波長を1つに絞り込み単一波長の発生を可能としてい
る。
【0019】図2は連続するレーザ結晶1と透過材質2
とで構成する複合共振器を示す。本発明の最も簡単な構
成の共振器であり、共振器長さL1,L2,L3の3つ
の共振器からなる複合共振器である。S1は入射側コー
ティングであり、S2は出射側コーティングである。
【0020】図3は連続する透過材質2とレーザ結晶1
と透過材質2とで構成する複合共振器を示す。共振器長
さL1,L2,L3,L4,L5,L6の6つの共振器
からなる複合共振器である。S1は入射側コーティング
であり、S2は出射側コーティングである。これよりn
個の層1,2からなる積層体4はn(n+1)/2個の
共振器を含む複合共振器であることがわかる。
【0021】次に複合共振器により単一波長を発生する
原理を説明する。なお説明は原理を簡単に説明するた
め、現実には存在しない2つの共振器よりなる複合共振
器について説明するが、3以上の共振器に拡大すること
は容易である。図4は共振器長Laのレーザ共振器Aの
発振波長特性を示し、図5は共振器長Lbのレーザ共振
器Bの発振波長特性を示す。両共振器A,Bにおいて中
央のレーザ波長はλ0 とし、この波長を共通波長として
いるが、必ずしも中央波長でなくてもよい。共通波長が
両共振器に存在すればよい。各図の表示記号は図8で説
明したものと同じであり、ΔλL1,ΔλL2は発振波長帯
域、Δλ1 , Δλ2 は発振波長間隔を示す。図6は複合
共振器の発振波長特性を示す。Δλは発振波長間隔を示
す。
【0022】上記複合共振器では、共振器Aと共振器B
の両方の発振条件(共振器長さが波長の整数倍となって
いる)を満たす波長でしか発振が起こらないため、発振
波長間隔Δλは、Δλ1 のm1倍かつΔλ2 のm2倍
(m1,m2は整数)になる。従って共通の波長λ0
持つ共振器を複合することにより、共通の波長λ0 を有
する複合共振器とすることができ、さらにこの共通の波
長λ0 を1つの波長、つまり単一波長発振を行う複合共
振器とすることができる。
【0023】図7は本発明の第2実施形態の構成を示す
図である。本実施形態ではレーザ結晶1を積層して積層
体4を構成し、積層面に部分反射コーティングS3を施
したもので、他は図1の第1実施形態と同一である。第
1実施形態では、レーザ結晶1と透過材質2の境界面が
フレネル反射により部分反射鏡となることを利用して共
振を起こしたが、第2実施形態ではレーザ結晶の積層面
に直接部分反射コーティングS3を施している。また全
てレーザ結晶1を用いるので増幅率も大きくなりレーザ
結晶1の厚みを同じくした場合、第1実施形態よりも積
層数が少なくなり積層体4の厚みは薄くなる。
【0024】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
は、出力レーザの波長のオーダ程度の厚みのレーザ結晶
と透過材質を交互に積層して複合共振器を構成すること
により、単一のレーザ結晶を用いるマイクロチップ共振
器と同じ程度の大きさで、発振波長域が広い範囲で、単
一波長発振を可能とする。またレーザ結晶を交互に積層
し、積層面に部分反射コーティングをすることにより、
より小さな複合共振器が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態の構成を示す図である。
【図2】2層よりなる複合共振器の構成を示す図であ
る。
【図3】3層よりなる複合共振器の構成を示す図であ
る。
【図4】共振器長Laのレーザ共振器Aの発振波長特性
を示す。
【図5】共振器長Lbのレーザ共振器Bの発振波長特性
を示す。
【図6】複合共振器の発振波長特性を示す。
【図7】本発明の第2実施形態の構成を示す図である。
【図8】レーザ共振器の発振波長帯域を説明する図であ
る。
【図9】発振波長間隔が発振波長帯域とほぼ等しくなっ
た場合を示す図である。
【符号の説明】
1 レーザ結晶 2 透過材質 3 集光レンズ 4 積層体 S1 入射側コーティング S2 出射側コーティング S3 部分反射コーティング

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ともにレーザ出力波長の整数倍の厚みを
    有するレーザ結晶と透過材質を交互に積層して積層体を
    構成し、この積層体の励起光入射側に励起光を透過しレ
    ーザ光を反射する入射側コーティングを行い、レーザ光
    出射側にレーザ光を反射する出射側コーティングを行っ
    たことを特徴とする積層化レーザ共振器。
  2. 【請求項2】 レーザ出力波長の整数倍の厚みを有する
    レーザ結晶を交互に積層して積層体を構成し、この積層
    体の励起光入射側に励起光を透過しレーザ光を反射する
    入射側コーティングを行い、レーザ光出射側にレーザ光
    を反射する出射側コーティングを行い、各積層面に部分
    反射コーティングを行ったことを特徴とする積層化レー
    ザ共振器。
JP30240497A 1997-11-05 1997-11-05 積層化レーザ共振器 Pending JPH11145532A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012049425A (ja) * 2010-08-30 2012-03-08 Nippon Signal Co Ltd:The 固体レーザー

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2012049425A (ja) * 2010-08-30 2012-03-08 Nippon Signal Co Ltd:The 固体レーザー

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