JPH1114450A

JPH1114450A - レーザ出力測定器

Info

Publication number: JPH1114450A
Application number: JP16444597A
Authority: JP
Inventors: Tomoko Izeki; 関朋子井; Etsuo Noda; 田悦夫野
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1997-06-20
Filing date: 1997-06-20
Publication date: 1999-01-22

Abstract

(57)【要約】【課題】大出力レーザの出力測定を高精度で行うこと
ができるレーザ出力測定器を提供する。【解決手段】レーザ出力測定器１は、中空状の球体で
ある内殻２および外殻３を備えている。内殻２および外
殻３は中心が略一致するように配置され、内殻２の外面
と外殻３の内面との間には水等の流体を循環させるため
の空間４が形成されている。外殻３には空間４に対して
水を供給および排出するための水冷管１４，１５が連結
されている。ここで、水冷管１４の所定箇所には流量計
１８が接続され、水冷管１４から空間４内へ供給される
水の流量が測定できるようになっている。また、水冷管
１４，１５内には温度センサ１６，１７が挿入され、供
給側および排出側での水の温度Ｔ_i，Ｔ_oが測定できる
ようになっている。さらに、内殻２および外殻３にはレ
ーザ光を内部に引き込むための開口部７が設けられてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はレーザ出力を測定す
るためのレーザ出力測定器に係り、とりわけ大出力レー
ザの出力測定を高精度で行うことができるレーザ出力測
定器に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来から、レーザ出力の測定方法として
は、レーザ光の照射による測定部の加熱現象を利用した
熱的方法と、レーザ光の照射による測定部からの電子の
放出現象（光電効果）を利用した光電的方法とが知られ
ている。これらの方法のうち、大出力レーザの出力測定
には熱的方法が適しており、現在市販されている大出力
レーザ用のパワーメータの多くもこの方法を採用してい
る。

【０００３】ここで、熱的方法を採用した従来のパワー
メータによるレーザ出力測定方法について図７により説
明する。図７に示すように、熱的方法を採用した従来の
パワーメータは、レーザ光が照射される受光板４１と、
所定の基準温度に保たれた基準板４２とを有する測定部
４０を備えている。

【０００４】図７において、測定対象となるレーザ（図
示せず）から受光板４１に対してレーザ光が照射される
と、受光板４１は加熱されて高温状態（温度Ｔ₂）とな
る。一方、基準板４２は水等により冷却されて低温状態
（温度Ｔ₁）に保たれる。このため、測定対象となるレ
ーザのレーザ出力Ｐは、受光板４１と基準板４２との間
の熱抵抗γと、受光板４１と基準板４２との間に生じた
温度差ｄＴ（＝Ｔ₂−Ｔ₁）とから次式（１）により求
められる。Ｐ＝γ・ｄＴ … （１）

【０００５】なお上式（１）において、熱抵抗γは計算
によって理論的に求めることができないパラメータであ
る。このため熱抵抗γは、出力値が既知の基準レーザと
の比較により求められる。すなわち、レーザ出力Ｐ_oの
基準レーザから受光板４１に対してレーザ光を照射した
ときの受光板４１と基準板４２との間の温度差ｄＴを測
定するとともに、この測定された温度差ｄＴと既知のレ
ーザ出力Ｐ_oとから上式（１）に基づいて熱抵抗γを決
定する。なお、実際のレーザ出力Ｐは、このようにして
決定された熱抵抗γを用いて上式（１）に基づいて相対
的に求められる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、図７
に示す従来のレーザ出力測定方法においては、測定部４
０の受光板４１にレーザ光を照射して受光板４１を加熱
させ、この加熱により生じた受光板４１と基準板４２と
の間の温度差ｄＴ（＝Ｔ₂−Ｔ₁）と、出力値が既知の
レーザを基準として求められた熱抵抗γとに基づいてレ
ーザ出力を測定している。

【０００７】しかしながら、図７に示す従来のレーザ出
力測定方法では、レーザ光が照射されて高温となる受光
板４１の受光面が外部に解放されているので、この受光
面から熱伝導や輻射等によりかなりの熱損失が生じ、ま
たこのような熱損失の度合いはレーザ出力が大きくなっ
て受光面の温度上昇が大きくなるにつれて増大する。

【０００８】また、受光板４１の受光面は照射されるレ
ーザ光の波長に依存して異なった反射率を有するので、
受光面に照射されたレーザ光の反射によって光の損失が
生じるとともに、このような光の損失はレーザ光の波長
に応じて変動する。また、受光面に大出力のレーザ光が
照射された場合には、レーザ光により受光面が損傷を受
けて劣化し、これにより受光面の波長依存性が変化する
ことも考えられる。

【０００９】さらに、熱抵抗γを求めるための基準レー
ザとしてどのような波長のものを用いるか、またはその
出力値や精度がどの程度であるかということが熱抵抗γ
の精度すなわちレーザ出力の測定精度に影響を与える。

【００１０】このように、図７に示す従来のレーザ出力
測定方法では、測定部４０の構造上熱損失および光の損
失が大きく、またこれらの損失の度合いが測定状況に応
じて変動すること、さらにレーザ出力を求めるために必
要とされる熱抵抗γが基準レーザとの関係で相対的に求
められることから、実際のレーザ出力測定において大き
な測定誤差が生じる可能性があるという問題がある。な
お実際に、図７に示すレーザ出力測定方法によりレーザ
出力の測定を行うと、同一レーザからのレーザビームで
あっても、測定状況に応じて、またパワーメータの個体
差に応じて異なる出力値が表示されるという現象が見ら
れる。

【００１１】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、大出力レーザの出力測定を高精度で行うこ
とができるレーザ出力測定器を提供することを目的とす
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、内部に空間を
有するとともにこの内部の空間にレーザ光を引き込むた
めの引込部を有する中空状の受光体と、前記受光体の外
側に配置され前記受光体との間で熱の授受を行う流体を
循環させる流路と、前記流路の供給側および排出側での
前記流体の温度を測定する温度測定手段とを備えたこと
を特徴とするレーザ出力測定器を提供する。

【００１３】本発明によれば、引込部を介してレーザ光
を受光体の内部に引き込むとともに、この引き込まれた
レーザ光による受光体の加熱の度合いを受光体の外側を
循環する流体の温度変化として測定するので、レーザ出
力を絶対方式により求めることができる。

【００１４】また、レーザ光を受光体の内部に閉じ込め
るようにするので、受光面からの熱損失およびレーザ光
の損失を低減させることができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。

【００１６】第１の実施の形態図１乃至図３は本発明によるレーザ出力測定器の第１の
実施の形態を示す図である。図１に示すように、レーザ
出力測定器１は、互いに大きさの異なる中空状の球体で
ある内殻（受光体）２および外殻（包囲体）３を備え、
これら内殻２および外殻３は樹脂製の支柱５を介して真
空引きが可能な容器６内に固定されている。なお、内殻
２および外殻３はいずれも金属からなり、内殻２および
外殻３の内面はいずれも球面となっている。また、内殻
２および外殻３は中心が略一致するように配置され、内
殻２の外面と外殻３の内面との間には水等の流体を循環
させるための空間４が形成されている。さらに、外殻３
のまわりは例えば後述する開口部７の近傍を除いて発泡
性の断熱材１３により覆われている。

【００１７】ここで、外殻３には空間４内へ水を供給す
るための樹脂製の水冷管１４と、空間４から外部へ水を
排出するための樹脂製の水冷管１５とが連結されてい
る。水冷管１４にはタンク（図示せず）およびポンプ
（図示せず）が接続され、これらタンクおよびポンプを
調整することにより水冷管１４から空間４内へ供給され
る水の流量が一定に保たれるようになっている。なお、
水冷管１４の所定箇所には流量計１８が接続され、この
流量計１８により水冷管１４から空間４内へ供給される
水の流量が測定できるようになっている。

【００１８】また、水冷管１４内には温度センサ（温度
測定手段）１６が挿入され、水冷管１４から空間４内へ
供給される供給側での水の温度Ｔ_iが測定できるように
なっている。同様に、水冷管１５内にも温度センサ（温
度測定手段）１７が挿入され、空間４から水冷管１５へ
排出される排出側での水の温度Ｔ_oが測定できるように
なっている。

【００１９】さらに、内殻２および外殻３にはレーザ光
を内部に引き込むための開口部７が設けられている。こ
こで、開口部７は内殻２から延びる筒状連通路（引込
部）７ａを外殻３の開口孔（第２引込部）７ｂの内周面
に嵌め合わせることにより構成されており、測定対象と
なるレーザ（図示せず）から出射されたレーザ光９は開
口部７を介して内殻２の内部に引き込まれるようになっ
ている。なおレーザ光９は、開口部７を通る内殻２の中
心軸１０から所定角度αだけずれて引き込まれるととも
に、内殻２の中心１０ａを通らないように光路が調整さ
れている。またレーザ光９は、レンズ８により開口部７
近傍で焦点を結ぶようになっている。

【００２０】なお、内殻２の内面のうち開口部７から引
き込まれたレーザ光が直接照射される部分１１を除いた
部分１２には黒化処理が施されている。

【００２１】次に、図２および図３により、図１に示す
内殻２、外殻３およびこれらの間に形成される流路の一
例について説明する。ここで、図２（ａ）は内殻および
外殻が組み合わされた構造体の一例を示す斜視図、図２
（ｂ）は図２（ａ）に示す構造体の半球部分の構造を示
す分解斜視図である。また、図３（ａ）（ｂ）は図２
（ａ）（ｂ）に示す外殻の半球部分の内面構造を示す斜
視図である。

【００２２】図２（ａ）（ｂ）に示すように、内殻２お
よび外殻３からなる構造体は、フランジ部２８，２９を
有する一対の内殻用半球体２ａ，２ｂと、内面に複数の
仕切り板２５，２６，２７（図３（ａ）（ｂ）参照）を
有する一対の外殻用半球体３ａ，３ｂとが組み合わされ
て構成され、内殻用半球体２ａ，２ｂの外面側と外殻用
半球体３ａ，３ｂの内面側とが互いに嵌め合わされ、内
殻用半球体２ａ，２ｂと外殻用半球体３ａ，３ｂとの間
に空間４（図１参照）が形成される。なお、図２（ｂ）
には内殻用半球体２ａおよび外殻用半球体３ａからなる
図２（ａ）の右半分の構造が示されているが、内殻用半
球体２ｂおよび外殻用半球体３ｂからなる左半分の構造
も基本的には図２（ｂ）に示すものと同一である。

【００２３】ここで外殻用半球体３ａ，３ｂの内面に
は、図３（ａ）（ｂ）に示すように、複数の仕切り板２
５，２６，２７が所定間隔で配置されている。このうち
仕切り板２５は、外殻用半球体３ａ，３ｂの接合端側か
ら頂点側に向かって延びるとともに頂点側端部が頂点と
の間で所定距離だけ離間して終わっている。また仕切り
板２６は、外殻用半球体３ａ，３ｂの頂点側から接合端
側に向かって延びるとともに接合端側端部が接合端との
間で所定距離だけ離間して終わっている。なお、これら
仕切り板２５，２６は外殻用半球体３ａ，３ｂの内面に
所定間隔で交互に配置されている。また仕切り板２７
は、水冷管１４または接続管２２から供給口２０または
接続口２３を介して供給された水が隣接した接続口２１
または排出口２４に直接導かれないようにするためのも
のであり、この仕切り板２７はその両端部が外殻用半球
体３ａ，３ｂの頂点側および接合端側まで完全に延びて
いる。

【００２４】そして、このような内面構造を有する外殻
用半球体３ａ，３ｂの内面側と内殻用半球体２ａ，２ｂ
の外面側とが互いに嵌め合わされた場合には、仕切り板
２５，２６，２７の上部はいずれも内殻用半球体２ａ，
２ｂの外面に密着され（図２（ｂ）参照）、また仕切り
板２５，２７の接合端側端部は内殻用半球体２ａ，２ｂ
のフランジ部２８，２９に密着される（図２（ｂ）参
照）。なお図３（ｂ）において、仕切り板２６，２７の
頂点側端部は内殻用半球体２ｂから突出した筒状連通路
７ａの外面に密着される（図１参照）。このようにし
て、内殻用半球体２ａ，２ｂと外殻用半球体３ａ，３ｂ
との間の空間４は仕切り板２５，２６，２７により完全
に仕切られ、この空間４での水の流れは図３（ａ）
（ｂ）に矢印で示すような方向に制限される。

【００２５】次に、このような構成からなる本発明の第
１の実施の形態の作用について説明する。

【００２６】図１および図２（ａ）において、タンク
（図示せず）およびポンプ（図示せず）を介して供給さ
れる所定流量の水は、水冷管１４から内殻２と外殻３と
の間の空間４に供給される。ここで、一方の外殻用半球
体３ａに設けられた供給口２０を介して供給された水
は、一方の内殻用半球体２ａおよび一方の外殻用半球体
３ａとの間の空間において複数の仕切り板２５，２６，
２７により仕切られて形成された流路を循環し、接続口
２１を介して接続管２２へ排出される（図３（ａ）参
照）。

【００２７】その後、接続管２２へ排出された水は、他
方の外殻用半球体３ａに設けられた接続口２３を介して
他方の内殻用半球体２ｂおよび他方の外殻用半球体３ｂ
との間の空間に供給され、これら他方の内殻用半球体２
ｂおよび他方の外殻用半球体３ｂとの間の空間において
複数の仕切り板２５，２６，２７により仕切られて形成
された流路を循環し、排出口２４を介して水冷管１５に
排出される（図３（ｂ）参照）。

【００２８】なお、このようにして内殻２と外殻３との
間の空間４に供給される水の流量は一定に保たれてお
り、このような水の流量ｑは流量計１８により測定され
る。

【００２９】一方、測定対象となるレーザから出射され
たレーザ光９は、内殻２および外殻３に設けられた開口
部７を介して内殻２の内部に引き込まれ、内殻２の内面
において反射が繰り返されて内殻２を加熱する。

【００３０】なお、このようにして内殻２が加熱される
と、この加熱された内殻２と、空間４内を循環する水と
の間で熱の授受が行われ、これにより水が供給側から排
出側まで循環する間に水の温度変化が生じる。具体的に
は、水冷管１４，１５内に挿入された温度センサ１６，
１７により測定された水の供給側および排出側での温度
Ｔ_i，Ｔ_oに温度差ｄｔ（＝Ｔ_o−Ｔ_i＞０）が生じ
る。

【００３１】このため、測定対象となるレーザのレーザ
出力Ｐは、流量計１８により測定された水の流量ｑと、
内殻２と外殻３との間の空間４に形成される流路の供給
側および排出側での水の温度差ｄＴとに基づいてコンピ
ュータ等の情報処理装置により次式（２）により求めら
れる。なお、次式（２）においてρは水の密度、Ｃは水
の比熱である。Ｐ＝ρ・Ｃ・ｑ・ｄＴ … （２）

【００３２】このように本発明の第１の実施の形態によ
れば、開口部７を介して内殻２の内部にレーザ光を引き
込むとともに、この引き込まれたレーザ光９による内殻
２の加熱の度合いを内殻２と外殻３との間の空間４内を
循環する水の温度変化として測定するので、上式（２）
に基づいてレーザ出力Ｐを絶対方式により求めることが
できる。

【００３３】なお、上述した第１の実施の形態において
は、内面が球面である内殻２の内部にレーザ光９を引き
込むので、レーザ光９の照射により最も高温となる受光
面からの熱損失を効果的に抑制することができる。

【００３４】ここで、内殻２の内面のうちレーザ光９が
直接照射される部分１１を除いた部分１２には黒化処理
が施されているので、レーザ光９の反射が繰り返される
内殻２の内面での熱の吸収率を高めることができる。ま
た、内殻２の内面のうちレーザ光９が直接照射される部
分１１を金属面のまま残してその部分１１での反射率が
黒化処理が施された部分１２での反射率よりも高くなる
ようにしているので、最大強度のレーザ光が照射される
部分１１での熱の吸収率を下げることができ、このため
局所的な加熱を抑制して大出力レーザによる受光面の損
傷を防ぐことができる。

【００３５】また、支柱５や水冷管１４，１５を熱伝導
率の小さな樹脂製とし、外殻３を断熱材１３で覆い、ま
た容器６を真空引きとしているので、外殻３や支柱５、
水冷管１４，１５等から生じる熱伝導や輻射等による熱
損失を低減させることができる。

【００３６】さらに、レーザ光９が内殻２の中心１０ａ
からずれているので、内殻２の内面からの反射光がレー
ザ光９の開口部７に直接戻ることを防止することができ
る。なお、開口部７を通る内殻２の中心軸１０からのレ
ーザ光９のずれ（角度α）を適切な角度とすることによ
り、反射光がレーザ光９の開口部７に直接戻らないよう
にするとともに、レーザ光９が内殻２の内部で所望の複
数回の反射を繰り返すようにすることができるので、レ
ーザ光の損失を低減させることができる。

【００３７】さらにまた、内殻２と外殻３との間の空間
４を仕切り板２５，２６，２７により仕切るとともに、
この空間４内での水の流れを図３（ａ）（ｂ）に矢印で
示すような方向に制限しているので、供給された水は内
殻２と外殻３との間に形成された空間４内をよどみなく
循環することができ、このためレーザ光９の照射により
加熱される内殻２を一様に冷却することができる。

【００３８】第２の実施の形態次に、図４により、本発明の第２の実施の形態について
説明する。本発明の第２の実施の形態は、図１乃至図３
に示す内殻２および外殻３からなる構造体に変更を加え
て中空状の球体である内殻２の外側に水冷管３０を直接
巻き付けるようにしたものである。なお、本発明の第２
の実施の形態において、図１乃至図３に示す第１の実施
の形態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省
略する。

【００３９】図４において、内殻２の外側には水が循環
する流路である水冷管（管状部材）３０が巻き付けら
れ、図１乃至図３に示すような外殻３は取り除かれてい
る。水冷管３０には供給側Ａから水が供給され、内殻２
のまわりを水冷管３０に沿って循環した後、排出側Ｂか
ら排出されるようになっている。なお、図４に示されて
いない部分、例えば内殻２の内面や温度センサ１６，１
７、流量計１８等の構成は上述した第１の実施の形態と
略同一のものとすることができ、また上述した第１の実
施の形態と略同一の方法により測定対象となるレーザの
レーザ出力を求めることができる。

【００４０】なお、図４に示すように内殻２のまわりに
水冷管３０が所定間隔で巻き付けられる場合には、内殻
２および水冷管３０の全体を断熱材等で覆うことによ
り、水冷管３０が巻き付けられていない部分からの熱損
失を低減させるようにするとよい。また、内殻２のまわ
りに水冷管３０を緊密に（隣り合った水冷管３０同士を
隣接させて）巻き付けることにより、内殻２からの熱損
失を低減させるようにしてもよい。

【００４１】このように本発明の第２の実施の形態によ
れば、上述した第１の実施の形態のように内殻２と外殻
３との間の空間４内で水を循環させるのではなく、内殻
２のまわりに巻き付けられた水冷管３０を用いて水を循
環させるようにしているので、上述した第１の実施の形
態の作用および効果を奏しつつレーザ出力測定器の構成
を簡素化することができる。

【００４２】なお、上述した第１および第２の実施の形
態において、受光体である内殻２は球体であり、その内
面も球面となっているが、内殻２の外形および内面の形
状はこれに限定されるものではなく、例えば図５に示す
ような回転楕円体としたり、これ以外の任意の形状とす
ることもできる。

【００４３】また、水冷管１４，１５内の温度センサ１
６，１７の先端近傍にオリフィス３１を設けたり（図６
（ａ）参照）、細管１４を嵌挿させることにより（図６
（ｂ）参照）、水冷管１４，１５の内径を小さくするよ
うにしてもよい。このようにすることにより、水の温度
の水冷管１４，１５内の径方向分布を打ち消して水の供
給側および排出側での正確な温度測定を実現することが
できる。

【００４４】さらに、外殻３の外面および容器６の内面
は輻射率の小さな材料で製作するか、または外殻３の外
面および容器６の内面を研磨して輻射率を抑えることに
より、輻射による熱損失を低減させることができる。な
お、輻射率を低下させるために外殻３と容器６との間に
低輻射率の反射板を何層か挿入するようにしてもよい。

【００４５】さらにまた、開口部７は内殻２から延びる
筒状連通路（引込部）７ａを外殻３の開口孔（第２引込
部）７ｂの内周面に嵌め合わせることにより構成されて
いるが、開口部７の構造はこれに限定されるものではな
く、例えば内殻２および外殻３にレンズ等の透明部材を
嵌め込むことにより引込部および第２引込部を構成する
ようにしてもよい。

【００４６】なお、上述した第１および第２の実施の形
態において、内殻２の内面のうちレーザ光９が直接照射
される部分１１を除いた部分１２には黒化処理が施され
ているが、熱の吸収が十分に行われるであれば内殻２の
内面は全体を金属面のままとすることもできる。また逆
に、レーザ出力がそれ程大きくなくレーザ光９が直接照
射される部分１１での損傷のおそれがない場合には、内
殻２の内面の全体に黒化処理を施すようにしてもよい。

【００４７】また、上述した第１および第２の実施の形
態においては、流量計１８により水冷管１４から空間４
内へ供給される水の流量が測定されているが、水冷管１
４から空間４内へ供給される水の流量があらかじめ所定
の流量に定められている場合には流量計１８を省略する
ことも可能である。

【００４８】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、レ
ーザ出力を絶対方式により求めることができるととも
に、受光面からの熱損失およびレーザ光の損失を低減さ
せることができるので、大出力レーザの出力測定を高精
度で行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明によるレーザ出力測定器の第１の実施の
形態を示す概略断面図。

【図２】図１に示すレーザ出力測定器の内殻および外殻
からなる構造体の一例を示す斜視図。

【図３】図２に示す外殻の半球部分の内面構造を示す斜
視図。

【図４】本発明によるレーザ出力測定器の第２の実施の
形態を示す斜視図。

【図５】レーザ出力測定器の内殻を回転楕円体とした場
合を示す図。

【図６】図１に示すレーザ出力測定器の水冷管の構造を
示す断面図。

【図７】従来のレーザ出力測定方法を説明するための
図。

【符号の説明】

１レーザ出力測定器２内殻（受光体）３外殻（包囲体）６容器７開口部（引込部、第２引込部）９レーザ光１１黒化処理が施されていない部分１２黒化処理が施された部分１４，１５水冷管１６，１７温度センサ（温度測定手段）１８流量計２５，２６，２７仕切り板３０管（管状部材）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】内部に空間を有するとともにこの内部の空
間にレーザ光を引き込むための引込部を有する受光体
と、前記受光体の外側に配置され前記受光体との間で熱の授
受を行う流体を循環させる流路と、前記流路の供給側および排出側での前記流体の温度を測
定する温度測定手段とを備えたことを特徴とするレーザ
出力測定器。
【請求項２】前記受光体を内部に収容する包囲体をさら
に備え、前記包囲体は前記受光体の前記引込部にレーザ光を引き
込むための第２引込部を有し、前記流路は前記受光体と
前記包囲体との間の空間に形成されることを特徴とする
請求項１記載のレーザ出力測定器。
【請求項３】前記受光体および前記包囲体はそれぞれ、
互いに大きさが異なる中空状の球体からなることを特徴
とする請求項２記載のレーザ出力測定器。
【請求項４】前記流路は前記受光体と前記包囲体との間
の空間に形成されることを特徴とする請求項２または３
記載のレーザ出力測定器。
【請求項５】前記流路は前記受光体の外側に巻き付けら
れた管状部材であることを特徴とする請求項１記載のレ
ーザ出力測定器。
【請求項６】前記受光体の内面は球面であることを特徴
とする請求項１乃至５のいずれか記載のレーザ出力測定
器。
【請求項７】前記受光体の内面は回転楕円面であること
を特徴とする請求項１乃至５のいずれか記載のレーザ出
力測定器。
【請求項８】前記受光体の内部に引き込まれるレーザ光
の光軸は前記受光体の中心からずれていることを特徴と
する請求項１乃至７のいずれか記載のレーザ出力測定
器。
【請求項９】前記受光体の内面のうち前記引込部からレ
ーザ光が直接照射される部分の反射率を、前記レーザ光
が直接照射される部分以外の部分の反射率よりも高くし
たことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか記載のレ
ーザ出力測定器。
【請求項１０】前記受光体は真空引きが可能な容器内に
収容されていることを特徴とする請求項１乃至９のいず
れか記載のレーザ出力測定器。
【請求項１１】前記受光体は前記引込部近傍を除いて断
熱処理されていることを特徴とする請求項１記載のレー
ザ出力測定器。