JPH11142872A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

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Publication number
JPH11142872A
JPH11142872A JP30855197A JP30855197A JPH11142872A JP H11142872 A JPH11142872 A JP H11142872A JP 30855197 A JP30855197 A JP 30855197A JP 30855197 A JP30855197 A JP 30855197A JP H11142872 A JPH11142872 A JP H11142872A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
electrode
circuit board
crystal display
film
Prior art date
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Pending
Application number
JP30855197A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tomoyuki Takahashi
知之 高橋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
Japan Display Inc
Original Assignee
Hitachi Device Engineering Co Ltd
Hitachi Ltd
Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Device Engineering Co Ltd, Hitachi Ltd, Hitachi Consumer Electronics Co Ltd filed Critical Hitachi Device Engineering Co Ltd
Priority to JP30855197A priority Critical patent/JPH11142872A/en
Publication of JPH11142872A publication Critical patent/JPH11142872A/en
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/18Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
    • H05K1/181Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with surface mounted components
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/36Assembling printed circuits with other printed circuits
    • H05K3/361Assembling flexible printed circuits with other printed circuits

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid crystal display device capable of reducing the number of parts, simplifying processes and surely fixing a frame and a printed circuit board and having automatizable fixed structure. SOLUTION: In the case of fixing a liquid crystal panel PNL constituted of holding a liquid crystal layer between a pair of opposed transparent substrateds SUB1, SUB2 at least one of which has a pixel selecting electrode, a pair of polarizing plates POL1, POL2 arranged through the panel PNL, a printed circuit board PCP3 fitted to the peripheral edge of the panel PNL, connected to the electrode of the panel PNL through a tape carrier pad TCP3 and loading electronic parts for impressing various signal voltages for display, and a back light arranged on the back of the panel PNL by the use of a frame SHD, the electronic parts EP loaded on the board PCB3 is provided with a spacer function for filling a gap between the frame SHD and the board PCB3 and fixing them.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に係
り、特に液晶表示装置の筺体を構成するフレームと、当
該筺体に収納される回路基板との固定のためのスペーサ
を不要として部品点数を削減して製造工程を簡略化した
液晶表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to a liquid crystal display device, which does not require a frame for forming a housing of the liquid crystal display device and a spacer for fixing a circuit board accommodated in the housing, thereby reducing the number of parts. The present invention relates to a liquid crystal display device in which the manufacturing process is reduced and the manufacturing process is simplified.

【0002】[0002]

【従来の技術】ノート型コンピユータやコンピユータモ
ニター用の高精細かつカラー表示が可能な液晶表示装置
は、液晶パネルと、前記液晶パネルを挟んで配置された
上偏光板および下偏光板と、前記液晶パネルの周縁に取
り付けて当該液晶パネルの電極との間をテープキャリア
パッドを用いて接続して表示のための各種信号電圧を印
加するための電子部品を搭載したプリント基板と、前記
液晶パネルの背面に設置されたバックライトとを上下の
フレームで固定して一体化している。
2. Description of the Related Art A high-definition and color displayable liquid crystal display device for a notebook computer or a computer monitor includes a liquid crystal panel, an upper polarizing plate and a lower polarizing plate disposed with the liquid crystal panel interposed therebetween, and the liquid crystal display. A printed circuit board mounted on the periphery of the panel and mounted with electronic components for applying various signal voltages for display by connecting between the electrodes of the liquid crystal panel using a tape carrier pad, and a back surface of the liquid crystal panel The backlight installed in the camera is fixed by upper and lower frames and integrated.

【0003】この種の液晶表示装置は、基本的には少な
くとも一方が透明なガラス等からなる二枚の基板の間に
液晶層を挟持した所謂液晶パネルを構成し、上記液晶パ
ネルの基板に形成した画素形成用の各種電極に選択的に
電圧を印加して所定画素の点灯と消灯を行う形式(単純
マトリクス)、上記各種電極と画素選択用のアクティブ
素子を形成してこのアクティブ素子を選択することによ
り所定画素の点灯と消灯を行う形式(アクティブマトリ
クス)とに大きく分類される。
This type of liquid crystal display device basically forms a so-called liquid crystal panel in which a liquid crystal layer is sandwiched between two substrates at least one of which is made of transparent glass or the like, and is formed on the substrate of the liquid crystal panel. A type in which predetermined voltages are selectively applied to the various electrodes for pixel formation to turn on and off predetermined pixels (simple matrix), the various electrodes and active elements for pixel selection are formed, and the active elements are selected. Accordingly, it is broadly classified into a form (active matrix) for turning on and off a predetermined pixel.

【0004】後者のアクティブマトリクス形式の液晶表
示装置は、コントラスト性能、高速表示性能等から液晶
表示装置の主流となっている。従来のアクティブマトリ
クス型液晶表示装置は、一方の基板に形成した電極と他
方の基板に形成した電極との間に液晶層の配向方向を変
えるための電界を印加する、所謂縦電界方式を採用して
いた。
The latter active matrix type liquid crystal display device has become the mainstream of the liquid crystal display device because of its contrast performance, high-speed display performance and the like. A conventional active matrix type liquid crystal display device employs a so-called vertical electric field method in which an electric field for changing the orientation direction of a liquid crystal layer is applied between an electrode formed on one substrate and an electrode formed on the other substrate. I was

【0005】近年、液晶層に印加する電界の方向を基板
面とほぼ平行な方向とする、所謂横電界方式(IPS方
式とも言う)の液晶表示装置が実現された。この横電界
方式の液晶表示装置としては、二枚の基板の一方に櫛歯
電極を用いて非常に広い視野角を得るようにしたものが
知られている(特公昭63−21907号公報、米国特
許第4345249号明細書)。
In recent years, a so-called in-plane switching (IPS) liquid crystal display device has been realized in which the direction of an electric field applied to a liquid crystal layer is substantially parallel to the substrate surface. As this in-plane switching type liquid crystal display device, a device in which a very wide viewing angle is obtained by using a comb electrode on one of two substrates is known (Japanese Patent Publication No. 63-21907, US Patent No. 4345249).

【0006】図16は液晶表示装置の全体構成例を説明
する展開斜視図であって、液晶表示パネル,回路基板,
バックライト、その他の構成部材を一体化した液晶表示
装置(モジュール:MDLと称する)の具体的構造を説
明するものである。
FIG. 16 is an exploded perspective view for explaining an overall configuration example of the liquid crystal display device.
This is to explain a specific structure of a liquid crystal display device (module: MDL) in which a backlight and other components are integrated.

【0007】SHDは金属板からなる上フレーム(シー
ルドケース、メタルフレームとも言う)、WDは表示
窓、INS1〜3は絶縁シート、PCB1〜3は回路基
板(PCB1はドレイン側回路基板:映像信号線駆動用
回路基板、PCB2はゲート側回路基板、PCB3はイ
ンターフェース回路基板)、JN1〜3は回路基板PC
B1〜3同士を電気的に接続するジョイナ、TCP1,
TCP2はテープキャリアパッケージ、PNLは液晶表
示パネル、POLは上偏光板、GCはゴムクッション、
ILSは遮光スペーサ、PRSはプリズムシート、SP
Sは拡散シート、GLBは導光板、RFSは反射シー
ト、MCAは一体化成形により形成された下フレーム
(下側ケース:モールドフレーム)、MOはMCAの開
口、BATは両面粘着テープであり、図示の配置関係で
拡散板部材を積み重ねて液晶表示モジュールMDLが組
立てられる。なお、光源ランプ部分の図示は省略した。
SHD is an upper frame (also referred to as a shield case or metal frame) made of a metal plate, WD is a display window, INS1 to 3 are insulating sheets, PCB1 to 3 are circuit boards (PCB1 is a drain side circuit board: video signal line). Driving circuit board, PCB2 is gate side circuit board, PCB3 is interface circuit board), JN1-3 are circuit boards PC
Joiner for electrically connecting B1 to B1, TCP1,
TCP2 is a tape carrier package, PNL is a liquid crystal display panel, POL is an upper polarizing plate, GC is a rubber cushion,
ILS is a light shielding spacer, PRS is a prism sheet, SP
S is a diffusion sheet, GLB is a light guide plate, RFS is a reflection sheet, MCA is a lower frame (lower case: mold frame) formed by integral molding, MO is an opening of MCA, and BAT is a double-sided adhesive tape. The liquid crystal display module MDL is assembled by stacking the diffusion plate members in the above arrangement. The illustration of the light source lamp is omitted.

【0008】この液晶表示装置は(液晶表示モジュール
MDL)は、下フレームMCAと上フレームSHDの2
種の収納・保持部材からなる筺体を有し、絶縁シートI
NS1〜3、回路基板PCB1〜3、液晶表示パネルP
NLを収納固定し、導光板GLB等から構成されるバッ
クライトを収納した下フレームMCAを上フレームSH
Dに合体させてなる。
This liquid crystal display device (liquid crystal display module MDL) has two frames, a lower frame MCA and an upper frame SHD.
Having a housing made of various kinds of storage and holding members, and an insulating sheet I
NS1-3, circuit boards PCB1-3, liquid crystal display panel P
NL is stored and fixed, and the lower frame MCA storing the backlight composed of the light guide plate GLB and the like is attached to the upper frame SH.
D.

【0009】映像信号線駆動用回路基板PCB1には液
晶表示パネルPNLの各画素を駆動するための集積回路
チップ等の電子部品が搭載され、またインターフェース
回路基板PCB3には外部ホストからの映像信号の受入
れ、タイミング信号等の制御信号を受け入れる集積回路
チップ、およびタイミングを加工してクロック信号を生
成するタイミングコンバータ(TCON)、その他のコ
ンデンサや抵抗器等の電子部品が搭載される。
An electronic component such as an integrated circuit chip for driving each pixel of the liquid crystal display panel PNL is mounted on the video signal line driving circuit board PCB1, and an interface circuit board PCB3 is provided with an image signal from an external host. An integrated circuit chip for receiving and receiving a control signal such as a timing signal, a timing converter (TCON) for processing a timing to generate a clock signal, and other electronic components such as a capacitor and a resistor are mounted.

【0010】上記タイミングコンバータで生成されたク
ロック信号は映像信号線駆動用回路基板PCB1に搭載
された集積回路チップに供給される。
The clock signal generated by the timing converter is supplied to an integrated circuit chip mounted on the video signal line driving circuit board PCB1.

【0011】インターフェース回路基板PCB3および
映像信号線駆動用回路基板PCB1は多層配線基板であ
り、上記クロック信号ラインCLLはインターフェース
回路基板PCB3および映像信号線駆動用回路基板PC
B1の内層配線として形成される。
The interface circuit board PCB3 and the video signal line driving circuit board PCB1 are multilayer wiring boards, and the clock signal line CLL is connected to the interface circuit board PCB3 and the video signal line driving circuit board PC
It is formed as an inner wiring of B1.

【0012】なお、液晶表示パネルPNLにはTFTを
駆動するためのドレイン側回路基板PCB1、ゲート側
回路基板PCB2およびインターフェース回路基板PC
B3がテープキャリアパッケージTCP1,TCP2で
接続され、各回路基板間はジョイナJN1,2,3で接
続されている。
The liquid crystal display panel PNL has a drain-side circuit board PCB1, a gate-side circuit board PCB2, and an interface circuit board PC for driving TFTs.
B3 is connected by tape carrier packages TCP1 and TCP2, and the circuit boards are connected by joiners JN1, JN2, JN3.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】上記のドレイン側回路
基板PCB1、ゲート側回路基板PCB2およびインタ
ーフェース回路基板PCB3と上フレームSHDの間の
間には、液晶パネルPNLの表面に積層された帯電防止
膜を接地するための一部が導電性のスペーサSPCが両
面粘着テープが介在され、これら各回路基板と上フレー
ムSHDを固定している。
An antistatic film laminated on the surface of the liquid crystal panel PNL is provided between the upper frame SHD and the drain-side circuit board PCB1, the gate-side circuit board PCB2, and the interface circuit board PCB3. A partly conductive spacer SPC for grounding is interposed with a double-sided adhesive tape, and these circuit boards and the upper frame SHD are fixed.

【0014】図17は回路基板と上フレームとの固定部
分を説明する要部断面図であって、SUB1は下基板、
SUB2は上基板、POL1は下偏向板、POL2は上
偏向板、EPは電子部品、CTはインターフェースコネ
クタ、TP/SPCは粘着テープ付スペーサ、CHIは
半導体チップを示す。
FIG. 17 is a sectional view of a principal part for explaining a fixed portion between the circuit board and the upper frame.
SUB2 is an upper substrate, POL1 is a lower deflection plate, POL2 is an upper deflection plate, EP is an electronic component, CT is an interface connector, TP / SPC is a spacer with an adhesive tape, and CHI is a semiconductor chip.

【0015】このインターフェース回路基板PCB3は
液晶パネルPNLの一方の基板SUB1との間をICチ
ップCHIを搭載したテープキャリアパッド(TCP)
3により接続されており、上フレームSHDとの固定は
粘着テープ付スペーサTP/SPCにより行われてい
る。
The interface circuit board PCB3 is connected to one substrate SUB1 of the liquid crystal panel PNL by a tape carrier pad (TCP) on which an IC chip CHI is mounted.
3 and is fixed to the upper frame SHD by a spacer TP / SPC with an adhesive tape.

【0016】特に、このインターフェース回路基板PC
B3には、上位ホストコンピュータからの表示信号を入
力するためのインターフェースコネクタCTが取り付け
されている。
In particular, the interface circuit board PC
B3 is provided with an interface connector CT for inputting a display signal from a host computer.

【0017】図18はインターフェース回路基板の構成
例の説明図であって、(A)はハイブリッド集積回路の
みを実装した状態、(A)はコネクタCT、信号集積回
路TCON、電源回路、コンデンサや抵抗等の電子部品
EP等搭載した状態を示す。なお、JP31,32はジ
ョイナ接続部である。
FIGS. 18A and 18B are explanatory diagrams of a configuration example of an interface circuit board. FIG. 18A shows a state in which only a hybrid integrated circuit is mounted, and FIG. 18A shows a connector CT, a signal integrated circuit TCON, a power supply circuit, a capacitor and a resistor. 5 shows a state in which electronic components EP and the like are mounted. JP31 and JP32 are joiner connection parts.

【0018】信号集積回路TCONは、ホストから送ら
れてくる画像情報をデータ処理して液晶パネルの駆動用
信号に変換すると共にタイミングパルスを発生し、ドレ
イン側回路基板PCB1、ゲート側回路基板PCB2を
駆動制御して表示を行う。
The signal integrated circuit TCON performs data processing on image information sent from the host to convert the image information into a driving signal for the liquid crystal panel and generates a timing pulse, so that the drain-side circuit board PCB1 and the gate-side circuit board PCB2 are processed. Display is performed by driving control.

【0019】液晶表示装置を組立てた後、ホスト側から
延びる接続線をインターフェースコネクタCTに挿入す
ることで表示信号等を供給するが、検査工程や電子機器
への組み込み等の工程において、このインターフェース
コネクタCTへの上記ホスト側から延びる接続線の挿抜
時に回路基板PCB3やTCPに機械的ストレスが加わ
る。
After assembling the liquid crystal display device, display signals and the like are supplied by inserting a connection line extending from the host side into the interface connector CT. Mechanical stress is applied to the circuit board PCB3 and the TCP when the connection line extending from the host side to the CT is inserted and removed.

【0020】この機械的ストレスによってTCPに断線
が発生し、表示不良を招くことがある。
This mechanical stress may cause a disconnection in the TCP, resulting in display failure.

【0021】従来は、前記したように、インターフェー
ス回路基板を含めた各回路基板と上フレームとの間にP
ET(ポリエチレンテレフタレート樹脂)等のスペーサ
を粘着テープと共に介挿して固定している。
Conventionally, as described above, a P is provided between each circuit board including the interface circuit board and the upper frame.
A spacer such as ET (polyethylene terephthalate resin) is interposed and fixed together with an adhesive tape.

【0022】しかし、このような手段ではスペーサの張
り付け作業の工数が多くなり、また手貼り作業であるた
め位置精度が悪く、作業中のスペーサ脱落などが起こ
る。
However, with such means, the man-hours for attaching the spacer are increased, and the positioning accuracy is poor due to the manual sticking operation, and the spacer may fall off during the operation.

【0023】さらに、このようなスペーサと粘着テープ
の張り付けは自動化することが困難である。
Further, it is difficult to automate such attachment of the spacer and the adhesive tape.

【0024】本発明の目的は、上記従来の諸問題を解消
して回路基板、特にインターフェース回路基板を確実に
固定でき、かつ自動化可能とした固定構造を有する液晶
表示装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a liquid crystal display device having a fixing structure capable of reliably fixing a circuit board, especially an interface circuit board, and solving the problem by solving the above-mentioned conventional problems.

【0025】[0025]

【課題を解決するための手段】上記目的は、特にインタ
ーフェース回路基板と上フレームの固定を当該回路基板
に搭載した電子部品自体にスペーサ機能を持たせること
により達成される。
The above object is achieved, in particular, by fixing the interface circuit board and the upper frame by providing the electronic component itself mounted on the circuit board with a spacer function.

【0026】すなわち、本発明は、対向配置された少な
くとも一方に画素選択用の電極を有する一対の透明基板
の間に液晶層を挟持してなる液晶パネルと、前記液晶パ
ネルを挟んで配置された上偏光板および下偏光板と、前
記液晶パネルの周縁に取り付けて当該液晶パネルの電極
との間をテープキャリアパッドを用いて接続して表示の
ための各種信号電圧を印加するための電子部品を搭載し
た回路基板と、前記液晶パネルの背面に設置されたバッ
クライトとを上下のフレームで固定してなる液晶表示装
置において、前記回路基板に搭載された電子部品に当該
フレームと当該回路基板の間の隙間を満たして固定する
ためのスペーサ機能を持たせた。
That is, according to the present invention, there is provided a liquid crystal panel having a liquid crystal layer sandwiched between a pair of transparent substrates having an electrode for selecting a pixel on at least one of them facing each other, and is arranged with the liquid crystal panel interposed therebetween. An electronic component for applying various signal voltages for display by connecting the upper polarizing plate and the lower polarizing plate and the electrodes of the liquid crystal panel attached to the periphery of the liquid crystal panel using a tape carrier pad. In a liquid crystal display device in which a mounted circuit board and a backlight installed on the back surface of the liquid crystal panel are fixed by upper and lower frames, an electronic component mounted on the circuit board is provided between the frame and the circuit board. Spacer function for filling and fixing the gap.

【0027】上記電子部品と上フレームとの間に接着
材、あるいは粘着テープを介在させることにより両者を
確実に固定できる。
By interposing an adhesive or an adhesive tape between the electronic component and the upper frame, both can be securely fixed.

【0028】なお、本発明は、ドレイン側回路基板PC
B1、ゲート側回路基板PCB2をもつ、所謂アクティ
ブマトリクス型液晶表示装置に限るものではなく、単純
マトリクス型、その他のTCPを有する液晶表示装置に
同様に適用できる。
The present invention relates to a drain-side circuit board PC
The present invention is not limited to a so-called active matrix type liquid crystal display device having B1 and a gate side circuit board PCB2, but can be similarly applied to a simple matrix type and other liquid crystal display devices having TCP.

【0029】この構成により、インターフェースコネク
タの挿抜によるTCPの断線が防止されると共に、部品
点数を低減でき、組立て作業を簡素化でき、かつ電子部
品の実装が自動化できることから、作業工程を効率化し
て信頼性の高い液晶表示装置を得ることができる。
According to this configuration, the disconnection of the TCP due to the insertion / removal of the interface connector can be prevented, the number of parts can be reduced, the assembling work can be simplified, and the mounting of the electronic parts can be automated, so that the work process can be made more efficient. A highly reliable liquid crystal display device can be obtained.

【0030】[0030]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につ
き、実施例を参照して詳細に説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to examples.

【0031】図1は本発明による液晶表示装置の1実施
例の全体構成を説明する模式平面図であって、SHDは
上フレーム、PNLは液晶パネル、CTはインターフェ
ースコネクタ、LPCはランプコードを示す。
FIG. 1 is a schematic plan view for explaining the overall structure of one embodiment of a liquid crystal display device according to the present invention, wherein SHD indicates an upper frame, PNL indicates a liquid crystal panel, CT indicates an interface connector, and LPC indicates a lamp code. .

【0032】液晶パネル2はバックライト、その他の構
成部材と共に上下のフレームで挟持固定される。
The liquid crystal panel 2 is sandwiched and fixed between the upper and lower frames together with the backlight and other components.

【0033】同図の左側の内部にはインターフェース回
路基板が収納され、このインターフェース回路基板には
インターフェースコネクタCTが搭載されている。
An interface circuit board is housed inside the left side of the figure, and an interface connector CT is mounted on the interface circuit board.

【0034】図2は図1のA−A線に沿って切断した要
部断面図であり、図17と同一符号は同一機能部分に相
当する。
FIG. 2 is a sectional view taken along the line AA in FIG. 1, and the same reference numerals as those in FIG. 17 correspond to the same functional parts.

【0035】この実施例では、液晶パネルPMLにTC
Pを介して接続したインターフェース回路基板PCB3
に搭載した電子部品EPの頂面に粘着テープTPを貼っ
て上フレームSHDの裏面に固定した。
In this embodiment, the liquid crystal panel PML has a TC
Interface circuit board PCB3 connected via P
An adhesive tape TP was attached to the top surface of the electronic component EP mounted on the device and was fixed to the back surface of the upper frame SHD.

【0036】この構成によれば、インターフェース回路
基板PCB3の電子部品EPと上フレームSHDの間に
従来のようなスペーサを有しないため、組立て工程での
当該スペーサの位置合わせが不要で、かつ作業中にスペ
ーサが脱落することもないので、作業性が極めて良好で
ある。
According to this configuration, since the conventional spacer is not provided between the electronic component EP of the interface circuit board PCB3 and the upper frame SHD, the positioning of the spacer in the assembling process is unnecessary, and the operation is not performed. Since the spacers do not fall off, the workability is extremely good.

【0037】また、本発明の他の実施例として、上記粘
着テープTPに代えて、接着材を塗布し、当該電子部品
EPと上フレームSHDとを直接固定する構成とするこ
ともできる。
Further, as another embodiment of the present invention, an adhesive may be applied instead of the adhesive tape TP to directly fix the electronic component EP and the upper frame SHD.

【0038】上記の各実施例によれば、インターフェー
ス回路基板PCB3と上フレームとの間の間隙を埋めて
両者を固定する部材として自動部品搭載機で扱うことが
できる電子部品を用いるため、作業工程が簡素化され、
低コストで確実な固定ができ、高信頼性の液晶表示装置
を提供できる。
According to each of the above-described embodiments, since the electronic component which can be handled by the automatic component mounting machine is used as a member for filling the gap between the interface circuit board PCB3 and the upper frame and fixing them, the work process Is simplified,
It is possible to provide a liquid crystal display device which can be securely fixed at low cost and has high reliability.

【0039】なお、本発明は上記したインターフェース
回路基板PCB3と上フレームとの固定に限るものでは
なく、他の回路基板と上フレームの固定にも同様に適用
できるものである。また、回路基板を液晶パネルの裏面
に配置する形式の液晶表示装置においても、当該回路基
板に搭載した電子部品をスペーサとして下フレーム(下
側ケース、あるいは中間ケースを用いるものでは当該中
間ケースに固定するように構成できる。
The present invention is not limited to the above-described fixing of the interface circuit board PCB3 to the upper frame, but can be similarly applied to the fixing of another circuit board to the upper frame. Also, in a liquid crystal display device in which a circuit board is disposed on the back surface of a liquid crystal panel, electronic components mounted on the circuit board are fixed to a lower frame (a lower case or an intermediate case in a case using a lower case or an intermediate case) as spacers. Can be configured.

【0040】このように、本発明の実施例によれば、イ
ンターフェース回路基板、その他の回路基板に半田付け
される電子部品をフレームとの固定におけるスペーサと
して利用するものであるため、インターフェースコネク
タの挿抜、あるいは組立て作業時等にTCPに機械的ス
トレスを及ぼすような取扱いを行う再の当該TCPの断
線を回避でき、かつ組立て工程を簡素化して、高信頼性
の液晶表示装置を得ることができる。
As described above, according to the embodiment of the present invention, since the electronic parts to be soldered to the interface circuit board and other circuit boards are used as spacers for fixing to the frame, the insertion and removal of the interface connector are performed. Alternatively, it is possible to avoid a disconnection of the TCP when handling such that a mechanical stress is applied to the TCP during an assembling operation or the like, and to simplify the assembling process to obtain a highly reliable liquid crystal display device.

【0041】次に、本発明の液晶表示装置の詳細を図3
〜図15により説明する。
Next, the details of the liquid crystal display device of the present invention are shown in FIG.
This will be described with reference to FIG.

【0042】図3は本発明の液晶表示装置の一例である
アクティブ・マトリクス方式カラー液晶表示装置の一画
素とブラックマトリクスBMの遮光領域およびその周辺
を示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view showing one pixel of an active matrix type color liquid crystal display device which is an example of the liquid crystal display device of the present invention, a light-shielding region of the black matrix BM, and its periphery.

【0043】図3に示すように、各画素は走査信号配線
(ゲート信号線又は水平信号線)GLと、対向電圧信号
線(対向電極配線)CLと、隣接する2本の映像信号配
線(ドレイン信号線又は垂直信号線)DLとの交差領域
内(4本の信号線で囲まれた領域内)に配置されてい
る。
As shown in FIG. 3, each pixel has a scanning signal line (gate signal line or horizontal signal line) GL, a counter voltage signal line (counter electrode line) CL, and two adjacent video signal lines (drain). The signal line or the vertical signal line) is arranged in an intersecting region with the DL (in a region surrounded by four signal lines).

【0044】各画素は薄膜トランジスタTFT、蓄積容
量Cstg、画素電極PX及び対向電極CTを含む。走
査信号線GL、対向電圧信号線CLは、同図では左右方
向に延在し、上下方向に複数本配置されている。映像信
号線DLは上下方向に延在し、左右方向に複数本配置さ
れている。画素電極PXは薄膜トランジスタTFTと接
続され、対向電極CTは対向電圧信号線CLと一体にな
っている。
Each pixel includes a thin film transistor TFT, a storage capacitor Cstg, a pixel electrode PX, and a counter electrode CT. The scanning signal lines GL and the counter voltage signal lines CL extend in the left-right direction in FIG. The video signal lines DL extend in the up-down direction, and a plurality of video signal lines DL are arranged in the left-right direction. The pixel electrode PX is connected to the thin film transistor TFT, and the counter electrode CT is integrated with the counter voltage signal line CL.

【0045】画素電極PXと対向電極CTは互いに対向
し、各画素電極PXと対向電極CTとの間の電界により
液晶LCの配向状態を制御し、透過光を変調して表示を
制御する。画素電極PXと対向電極CTは櫛歯状に構成
され、それぞれ同図の上下方向に長細い電極となってい
る。
The pixel electrode PX and the counter electrode CT are opposed to each other, and the orientation of the liquid crystal LC is controlled by an electric field between each pixel electrode PX and the counter electrode CT, and the transmitted light is modulated to control the display. The pixel electrode PX and the counter electrode CT are formed in a comb-like shape, and each is an electrode that is elongated in the vertical direction in FIG.

【0046】1画素内の対向電極CTの本数O(櫛歯の
本数)は、画素電極PXの本数P(櫛歯の本数)とO=
P+1の関係を必ず持つように構成する(本実施例で
は、O=2、P=1)。これは、対向電極CTと画素電
極PXを交互に配置し、かつ、対向電極CTを映像信号
線DLに必ず隣接させるためである。
The number O (number of comb teeth) of the counter electrode CT in one pixel is equal to the number P (number of comb teeth) of the pixel electrode PX and O =
It is configured to always have the relationship of P + 1 (O = 2, P = 1 in this embodiment). This is because the counter electrode CT and the pixel electrode PX are alternately arranged, and the counter electrode CT is always adjacent to the video signal line DL.

【0047】これにより、対向電極CTと画素電極PX
の間の電界が、映像信号線DLから発生する電界から影
響を受けないように、対向電極CTで映像信号線DLか
らの電気力線をシールドすることができる。
Thus, the counter electrode CT and the pixel electrode PX are
The electric field lines from the video signal line DL can be shielded by the counter electrode CT so that the electric field between them is not affected by the electric field generated from the video signal line DL.

【0048】対向電極CTは、対向電圧信号線CLによ
り常に外部から電位を供給されているため、電位は安定
している。そのため、映像信号線DLに隣接しても、電
位の変動が殆どない。又、これにより、画素電極PXの
映像信号線DLからの幾何学的な位置が遠くなるので、
画素電極PXと映像信号線DLの間の寄生容量が大幅に
減少し、画素電極電位Vsの映像信号電圧による変動も
制御できる。
Since the potential of the counter electrode CT is always supplied from the outside by the counter voltage signal line CL, the potential is stable. Therefore, there is almost no change in potential even adjacent to the video signal line DL. In addition, since the geometric position of the pixel electrode PX from the video signal line DL becomes farther,
The parasitic capacitance between the pixel electrode PX and the video signal line DL is greatly reduced, and the fluctuation of the pixel electrode potential Vs due to the video signal voltage can be controlled.

【0049】これらにより、上下方向に発生するクロス
トーク(縦スミアと呼ばれる画質不良)を抑制すること
ができる。
As a result, crosstalk (defective image quality called vertical smear) occurring in the vertical direction can be suppressed.

【0050】画素電極PXと対向電極CTの電極幅W
p,Wcはそれぞれ6μmとし、後述の液晶層の最大設
定厚みを超える4.5μmよりも十分大きく設定する。
製造上の加工ばらつきを考慮すると20%以上のマージ
ンを持った方が好ましいので、望ましくは5.4μmよ
りも十分大きくしたほうが良い。
The electrode width W between the pixel electrode PX and the counter electrode CT
Each of p and Wc is set to 6 μm, which is set sufficiently larger than 4.5 μm which exceeds the maximum set thickness of the liquid crystal layer described later.
It is preferable to have a margin of 20% or more in consideration of processing variations in manufacturing. Therefore, it is preferable that the margin be sufficiently larger than 5.4 μm.

【0051】これにより、液晶層に印加される基板面に
平行な電界成分が基板面に垂直な方向の電界成分よりも
大きくなり、液晶を駆動する電圧の上昇を抑制すること
ができる。又、各電極の電極幅Wp,Wcの最大値は、
画素電極PXと対向電極CTの間の間隔Lよりも小さい
事が好ましい。
As a result, the electric field component applied to the liquid crystal layer parallel to the substrate surface becomes larger than the electric field component in the direction perpendicular to the substrate surface, so that an increase in the voltage for driving the liquid crystal can be suppressed. The maximum value of the electrode width Wp, Wc of each electrode is
It is preferable that the distance be smaller than the distance L between the pixel electrode PX and the counter electrode CT.

【0052】これは、電極の間隔が小さすぎると電気力
線の湾曲が激しくなり、基板面に平行な電界成分よりも
基板面に垂直な電界成分の方が大きい領域が増大するた
め、基板面に平行な電界成分を効率良く液晶層に印加で
きないからである。従って、画素電極PXと対向電極C
Tの間の間隔Lはマージンを20%とると7.2μmよ
り大きいことが必要である。本実施例では、対角約1
4.5cm(5.7インチ)で640×480ドットの
解像度で構成したので、画素ピッチは約60μmであ
り、画素を2分割することにより、間隔L>7.2μm
を実現した。
This is because if the distance between the electrodes is too small, the curvature of the lines of electric force becomes severe, and the region where the electric field component perpendicular to the substrate surface is larger than the electric field component parallel to the substrate surface increases. This is because an electric field component parallel to the above cannot be efficiently applied to the liquid crystal layer. Therefore, the pixel electrode PX and the counter electrode C
The interval L between T needs to be larger than 7.2 μm if the margin is 20%. In this embodiment, the diagonal is about 1
Since the pixel pitch is about 60 μm because the resolution is 4.5 cm (5.7 inches) and the resolution is 640 × 480 dots, the distance L> 7.2 μm by dividing the pixel into two.
Was realized.

【0053】又、映像信号線DLの電極幅は断線を防止
するために、画素電極PXと対向電極CTに比較して若
干広い8μmとし、映像信号線DLと対向電極CTとの
間隔は短絡を防止するために約1μmの間隔を開けると
共に、ゲート絶縁膜の上側に映像信号線DLを下側に対向
電極CTを形成して、異層になるように配置している。
The electrode width of the video signal line DL is set to 8 μm, which is slightly wider than the pixel electrode PX and the counter electrode CT in order to prevent disconnection, and the interval between the video signal line DL and the counter electrode CT is short-circuited. In order to prevent this, an interval of about 1 μm is provided, a video signal line DL is formed on the upper side of the gate insulating film, and a counter electrode CT is formed on the lower side.

【0054】一方、画素電極PXと対向電極CTの間の
電極間隔は、用いる液晶材料によって変える。これは、
液晶材料によって最大透過率を達成する電界強度が異な
るため、電極間隔を液晶材料に応じて設定し、用いる映
像信号駆動回路(信号側ドライバ)の耐圧で設定される
信号電圧の最大振幅の範囲で、最大透過率が得られるよ
うにするためである。後述の液晶材料を用いると電極間
隔は、約15μmとなる。
On the other hand, the electrode interval between the pixel electrode PX and the counter electrode CT changes depending on the liquid crystal material used. this is,
Since the electric field strength that achieves the maximum transmittance varies depending on the liquid crystal material, the electrode spacing is set according to the liquid crystal material, and within the range of the maximum amplitude of the signal voltage set by the withstand voltage of the video signal driving circuit (signal side driver) used. , So that the maximum transmittance can be obtained. When a liquid crystal material described later is used, the electrode interval is about 15 μm.

【0055】本構成例では、平面的に、ブラックマトリ
クスBMがゲート配線GL上、対向電圧信号線CL、薄
膜トランジスタTFT上、ドレイン配線DL上、ドレイ
ン配線DLと対向電極CT間に形成している。
In this configuration example, a black matrix BM is formed on the gate line GL, the counter voltage signal line CL, the thin film transistor TFT, the drain line DL, and between the drain line DL and the counter electrode CT in plan view.

【0056】《マトリクス部(画素部)の断面構造》図
4は図3の4ー4切断線における薄膜トランジスタTF
Tの断面図、図5は図3の5ー5切断線における蓄積容
量Cstgの断面図、図6は横電界方式の液晶表示基板
の画像表示領域における1画素の電極近傍の断面図と基
板周辺部の断面図である。
<< Cross-Sectional Structure of Matrix (Pixel) >> FIG. 4 shows a thin film transistor TF taken along the line 4-4 in FIG.
5, FIG. 5 is a cross-sectional view of the storage capacitor Cstg taken along the line 5-5 in FIG. 3, and FIG. It is sectional drawing of a part.

【0057】図6に示すように、液晶層LCを基準にし
て下部透明ガラス基板SUB1側には薄膜トランジスタ
TFT、蓄積容量Cstg(図示せず)及び電極群C
T、PXが形成され、上部透明ガラス基板SUB2側に
はカラーフィルタFIL、遮光用ブラックマトリクスB
Mのパターンが形成されている。尚、公知ではないが、
同一出願人による、特願平7ー198349号に提案さ
れたように、遮光用ブラックマトリクスBMのパターン
を下部透明ガラス基板SUB1側に形成することも可能
である。
As shown in FIG. 6, a thin film transistor TFT, a storage capacitor Cstg (not shown) and an electrode group C are provided on the lower transparent glass substrate SUB1 side with respect to the liquid crystal layer LC.
T, PX are formed, and a color filter FIL and a black matrix B for shading are formed on the upper transparent glass substrate SUB2 side.
An M pattern is formed. Although not publicly known,
As proposed in Japanese Patent Application No. 7-198349 by the same applicant, it is also possible to form the pattern of the light-shielding black matrix BM on the lower transparent glass substrate SUB1 side.

【0058】又、透明ガラス基板SUB1、SUB2の
それぞれの内側(液晶LC側)の表面には、液晶の初期
配向を制御する配向膜ORI11、ORI12が設けら
れており、透明ガラス基板SUB1、SUB2のそれぞ
れの外側の表面には、偏光軸が直交して配置(クロスニ
コル配置)された偏光板POL1、POL2が設けられ
ている。
On the inner surface (on the liquid crystal LC side) of each of the transparent glass substrates SUB1 and SUB2, alignment films ORI11 and ORI12 for controlling the initial alignment of the liquid crystal are provided. Polarizing plates POL1 and POL2 whose polarization axes are orthogonally arranged (crossed Nicol arrangement) are provided on the outer surfaces of each.

【0059】次に、下側透明ガラス基板SUB1側(T
FT基板)の構成を詳しく説明する。
Next, the lower transparent glass substrate SUB1 side (T
The configuration of the FT substrate will be described in detail.

【0060】TFT基板 《薄膜トランジスタ》薄膜トランジスタTFTは、ゲー
ト電極GTに正のバイアスを印加すると、ソース−ドレ
イン間のチャネル抵抗が小さくなり、バイアスを零にす
ると、チャネル抵抗は大きくなるように動作する。
TFT Substrate << Thin Film Transistor >> The thin film transistor TFT operates so that the channel resistance between the source and the drain decreases when a positive bias is applied to the gate electrode GT, and the channel resistance increases when the bias is zero.

【0061】薄膜トランジスタTFTは、図4に示すよ
うに、ゲート電極GT、ゲート絶縁膜GI、i型(真
性:intrinsic、導電型決定不純物がドープさ
れていない)非晶質シリコン(Si)からなるi型半導
体層AS、一対のソース電極SD1、ドレイン電極SD
2を有する。
As shown in FIG. 4, the thin-film transistor TFT has a gate electrode GT, a gate insulating film GI, and an i-type (intrinsic, which is not doped with a conductivity type determining impurity) amorphous silicon (Si). Type semiconductor layer AS, a pair of source electrode SD1, drain electrode SD
2

【0062】尚、ソース、ドレインは本来その間のバイ
アス極性によって決まるもので、この液晶表示装置の回
路ではその極性は動作中反転するので、ソース、ドレイ
ンは動作中入れ替わると理解されたい。しかし、以下の
説明では、便宜上一方をソース、他方をドレインと固定
して表現する。
It should be understood that the source and the drain are originally determined by the bias polarity between them, and in the circuit of this liquid crystal display device, the polarity is inverted during the operation, so that the source and the drain are interchanged during the operation. However, in the following description, one is fixed and the other is fixed as a drain for convenience.

【0063】《ゲート電極GT》ゲート電極GTは走査
信号線GLと連続して形成されており、走査信号線GLの
一部の領域がゲート電極GTとなるように構成されてい
る。このゲート電極GTは薄膜トランジスタTFTの能
動領域を超える部分であり、i型半導体層ASを完全に
覆うよう(下方から見て)それより大きめに形成されて
いる。
<< Gate Electrode GT >> The gate electrode GT is formed continuously with the scanning signal line GL, and a part of the scanning signal line GL is configured as the gate electrode GT. The gate electrode GT is a portion exceeding the active region of the thin film transistor TFT, and is formed larger than that so as to completely cover the i-type semiconductor layer AS (as viewed from below).

【0064】これにより、ゲート電極GTはそれ自身の
役割の他に、i型半導体層ASに外光やバックライト光
が当たらないように工夫されている。本例では、ゲート
電極GTは単層の導電膜g1で形成されている。この導
電膜g1としては、例えばスパッタで形成されたアルミ
ニウム(Al)膜が用いられ、その上にはAlの陽極酸
化膜AOFが設けられている。
Thus, in addition to the role of the gate electrode GT itself, the gate electrode GT is designed so that external light and backlight do not hit the i-type semiconductor layer AS. In this example, the gate electrode GT is formed of a single-layer conductive film g1. As the conductive film g1, for example, an aluminum (Al) film formed by sputtering is used, and an anodic oxide film AOF of Al is provided thereon.

【0065】《走査信号線GL》走査信号線GLは導電
膜g1で構成されている。この走査信号線GLの導電膜
g1はゲート電極GTの導電膜g1と同一製造工程で形
成され、かつ、一体に構成されている。この走査信号線
GLにより、外部回路からゲート電圧Vgをゲート電極
GTに供給する。
<< Scanning Signal Line GL >> The scanning signal line GL is formed of the conductive film g1. The conductive film g1 of the scanning signal line GL is formed in the same manufacturing process as the conductive film g1 of the gate electrode GT, and is integrally formed. Through this scanning signal line GL, a gate voltage Vg is supplied from an external circuit to the gate electrode GT.

【0066】又、走査信号線GL上にもAlの陽極酸化
膜AOFが設けられている。尚、映像信号線DLと交差
する部分は映像信号線DLとの短絡の確率を小さくする
ため細くし、又、短絡してもレーザトリミングで切り離
すことができるように二股にしている。
An anodic oxide film AOF of Al is also provided on the scanning signal line GL. The portion that intersects with the video signal line DL is made thin to reduce the probability of short-circuit with the video signal line DL, and is made bifurcated so that even if it is short-circuited, it can be separated by laser trimming.

【0067】《対向電極CT》対向電極CTはゲート電
極GT及び走査信号線GLと同層の導電膜g1で構成さ
れている。又、対向電極CT上にもAlの陽極酸化膜A
OFが設けられている。対向電極CTは、陽極酸化膜A
OFで完全に覆われていることから、映像信号線と限り
なく近づけても、それらが短絡してしまうことがなくな
る。
<< Counter Electrode CT >> The counter electrode CT is formed of the same conductive film g1 as the gate electrode GT and the scanning signal line GL. Also, an anodic oxide film A of Al is formed on the counter electrode CT.
An OF is provided. The counter electrode CT has an anodic oxide film A
Since they are completely covered with the OF, even if they are brought as close as possible to the video signal lines, they will not be short-circuited.

【0068】又、それらを交差させて構成させることも
できる。対向電極CTには対向電圧Vcomが印加され
るように構成されている。本実施例では、対向電圧Vc
omは映像信号線DLに印加される最小レベルの駆動電
圧Vdminと最大レベルの駆動電圧Vdmaxとの中
間直流電位から、薄膜トランジスタ素子TFTをオフ状
態にするときに発生するフィードスルー電圧ΔVs分だ
け低い電位に設定されるが、映像信号駆動回路で使用さ
れる集積回路の電源電圧を約半分に低減したい場合は、
交流電圧を印加すれば良い。
Further, they may be configured to cross each other. The counter electrode CT is configured to apply a counter voltage Vcom. In this embodiment, the counter voltage Vc
om is a potential lower than an intermediate DC potential between the minimum level drive voltage Vdmin and the maximum level drive voltage Vdmax applied to the video signal line DL by a feedthrough voltage ΔVs generated when the thin film transistor element TFT is turned off. However, if you want to reduce the power supply voltage of the integrated circuit used in the video signal drive circuit to about half,
An AC voltage may be applied.

【0069】《対向電圧信号線CL》対向電圧信号線C
Lは導電膜g1で構成されている。この対向電圧信号線
CLの導電膜g1はゲート電極GT、走査信号線GL及
び対向電極CTの導電膜g1と同一製造工程で形成さ
れ、かつ、対向電極CTと一体に構成されている。
<< Counter Voltage Signal Line CL >> Counter Voltage Signal Line C
L is composed of the conductive film g1. The conductive film g1 of the counter voltage signal line CL is formed in the same manufacturing process as the conductive film g1 of the gate electrode GT, the scanning signal line GL, and the counter electrode CT, and is formed integrally with the counter electrode CT.

【0070】この対向電圧信号線CLにより、外部回路
から対向電圧Vcomを対向電極CTに供給する。又、
対向電圧信号線CL上にもAlの陽極酸化膜AOFが設
けられている。尚、映像信号線DLと交差する部分は、
走査信号線GLと同様に映像信号線DLとの短絡の確率
を小さくするため細くし、又、短絡しても、レーザトリ
ミングで切り離すことができるように二股にすることも
できる。
The counter voltage Vcom is supplied from an external circuit to the counter electrode CT through the counter voltage signal line CL. or,
An anodic oxide film AOF of Al is also provided on the counter voltage signal line CL. Note that the portion that intersects with the video signal line DL is
Like the scanning signal line GL, it may be made thinner to reduce the probability of short-circuiting with the video signal line DL, or it may be split into two parts so that even if it is short-circuited, it can be separated by laser trimming.

【0071】《絶縁膜GI》絶縁膜GIは、薄膜トラン
ジスタTFTにおいて、ゲート電極GTと共に半導体層
ASに電界を与えるためのゲート絶縁膜として使用され
る。絶縁膜GIはゲート電極GT及び走査信号線GLの
上層に形成されている。
<< Insulating Film GI >> The insulating film GI is used as a gate insulating film for applying an electric field to the semiconductor layer AS together with the gate electrode GT in the thin film transistor TFT. The insulating film GI is formed above the gate electrode GT and the scanning signal line GL.

【0072】絶縁膜GIとしては例えばプラズマCVD
で形成された窒化シリコン膜が選ばれ、120〜270
nmの厚さに(本実施例では、240nm)形成され
る。
As the insulating film GI, for example, plasma CVD
The silicon nitride film formed by
It is formed to a thickness of nm (240 nm in this embodiment).

【0073】このゲート絶縁膜GIは、マトリクス部A
Rの全体を囲むように形成され、周辺部は外部接続端子
DTM、GTMを露出するよう除去されている。また、
絶縁膜GIは走査信号線GL及び対向電圧信号線CLと
映像信号線DLの電気的絶縁にも寄与している。
The gate insulating film GI is formed in the matrix portion A
R is formed so as to surround the entirety of R, and the peripheral portion is removed so as to expose the external connection terminals DTM and GTM. Also,
The insulating film GI also contributes to electrical insulation between the scanning signal lines GL and the counter voltage signal lines CL and the video signal lines DL.

【0074】《i型半導体層AS》i型半導体層AS
は、非晶質シリコンで、20〜220nmの厚さ(本実
施例では、200nm程度の膜厚)で形成される。層d
0はオーミックコンタクト用のリン(P)をドープした
N(+)型非晶質シリコン半導体層であり、下側にi型
半導体層ASが存在し、上側に導電膜d1(d2)が存
在するところのみに残されている。
<< i-type semiconductor layer AS >>
Is amorphous silicon and is formed with a thickness of 20 to 220 nm (about 200 nm in this embodiment). Layer d
Numeral 0 denotes an N (+)-type amorphous silicon semiconductor layer doped with phosphorus (P) for ohmic contact. An i-type semiconductor layer AS is present on the lower side, and a conductive film d1 (d2) is present on the upper side. It is left only in places.

【0075】i型半導体層ASは走査信号線GL及び対
向信号線CLと映像信号線DLとの交差部の両者間にも
設けられている。この交差部のi型半導体層ASは交差
部における走査信号線GL及び対向信号線CLと映像信
号線DLとの短絡を低減する。
The i-type semiconductor layer AS is also provided between the scanning signal line GL and the intersection of the opposing signal line CL and the video signal line DL. The i-type semiconductor layer AS at the intersection reduces a short circuit between the scanning signal line GL and the opposing signal line CL and the video signal line DL at the intersection.

【0076】《ソース電極SDI、ドレイン電極SD
2》ソース電極SDI、ドレイン電極SD2のそれぞれ
は、N(+)型半導体層d0に接触する導電膜d1とそ
の上に形成された導電膜d2とから構成されている。
<< Source electrode SDI, Drain electrode SD
2 >> Each of the source electrode SDI and the drain electrode SD2 is composed of a conductive film d1 in contact with the N (+) type semiconductor layer d0 and a conductive film d2 formed thereon.

【0077】導電膜d1はスパッタで形成したクロム
(Cr)膜を用い、50〜100nmの厚さに(本実施
例では、60nm程度)で形成される。Cr膜は膜厚を
厚く形成するとストレスが大きくなるので、200nm
程度の膜厚を越えない範囲で形成する。Cr膜はN
(+)型半導体層d0との接着性を良好にし、導電膜d
2のAlがN(+)型半導体層d0に拡散することを防
止する、所謂バリア層の目的で使用される。
The conductive film d1 is formed with a thickness of 50 to 100 nm (about 60 nm in this embodiment) using a chromium (Cr) film formed by sputtering. Since the stress increases when the Cr film is formed to have a large thickness, the Cr film has a thickness of 200 nm.
It is formed in a range that does not exceed a certain thickness. Cr film is N
To improve the adhesion to the (+) type semiconductor layer d0,
2 is used for the purpose of a so-called barrier layer that prevents Al from diffusing into the N (+) type semiconductor layer d0.

【0078】導電膜d1として、Cr膜の他に高融点金
属(Mo、Ti、Ta、W)膜、高融点金属シリサイド
(MoSi2 、TiSi2 、TaSi2 、WSi2 )膜
を用いても良い。
As the conductive film d1, a refractory metal (Mo, Ti, Ta, W) film or a refractory metal silicide (MoSi 2 , TiSi 2 , TaSi 2 , WSi 2 ) film may be used in addition to the Cr film. .

【0079】導電膜d2はAlのスパッタリングで30
0〜500nmの厚さに(本実施例では、400nm程
度)形成される。Al膜はCr膜に比べてストレスが小
さく、厚い膜厚に形成することが可能で、ソース電極S
D1、ドレイン電極SD2および映像信号線DLの抵抗
値を低減したり、ゲート電極GTやi型半導体層ASに
起因する段差乗り越えを確実にする(ステップカバレー
ジを良くする)働きがある。
The conductive film d2 has a thickness of 30
It is formed to a thickness of 0 to 500 nm (about 400 nm in this embodiment). The Al film has a smaller stress than the Cr film and can be formed to have a large thickness.
It has functions of reducing the resistance values of D1, the drain electrode SD2, and the video signal line DL, and ensuring the step over caused by the gate electrode GT and the i-type semiconductor layer AS (to improve the step coverage).

【0080】導電膜d1、導電膜d2を同じマスクパタ
ーンでパターニングした後、同じマスクを用いて、或い
は導電膜d1、導電膜d2をマスクとして、N(+)型
半導体層d0が除去される。つまり、i型半導体層AS
上に残っているN(+)型半導体層d0は導電膜d1、
導電膜d2以外の部分がセルフアラインで除去される。
このとき、N(+)型半導体層d0はその厚さ分は全て
除去されるようエッチングされるので、i型半導体層A
Sも若干その表面部分がエッチングされるが、その程度
はエッチング時間で制御すればよい。
After patterning the conductive films d1 and d2 with the same mask pattern, the N (+) type semiconductor layer d0 is removed using the same mask or using the conductive films d1 and d2 as a mask. That is, the i-type semiconductor layer AS
The remaining N (+) type semiconductor layer d0 is a conductive film d1,
Portions other than the conductive film d2 are removed by self-alignment.
At this time, since the N (+)-type semiconductor layer d0 is etched so as to completely remove its thickness, the i-type semiconductor layer A is removed.
Although the surface portion of S is also slightly etched, its degree may be controlled by the etching time.

【0081】《映像信号線DL》映像信号線DLはソー
ス電極SD1、ドレイン電極SD2と同層の第2導電膜
d2、第3導電膜d3で構成されている。又、映像信号
線DLはドレイン電極SD2と一体に形成されている。
<< Video Signal Line DL >> The video signal line DL is composed of the second conductive film d2 and the third conductive film d3 in the same layer as the source electrode SD1 and the drain electrode SD2. The video signal line DL is formed integrally with the drain electrode SD2.

【0082】《画素電極PX》画素電極PXはソース電
極SD1、ドレイン電極SD2と同層の第2導電膜d
2、第3導電膜d3で構成されている。又、画素電極P
Xはソース電極SD1と一体に形成されている。
<< Pixel Electrode PX >> The pixel electrode PX is the second conductive film d of the same layer as the source electrode SD1 and the drain electrode SD2.
2, the third conductive film d3. Also, the pixel electrode P
X is formed integrally with the source electrode SD1.

【0083】《蓄積容量Cstg》画素電極PXは、薄
膜トランジスタTFTと接続される端部と反対側の端部
において、対向電圧信号線CLと重なるように形成され
ている。この重ね合せは、図5からも明らかなように、
画素電極PXを一方の電極PL2とし、対向電圧信号線
CLを他方の電極PL1とする蓄積容量(静電容量素
子)Cstgを構成する。この蓄積容量Cstgの誘電
体膜は、薄膜トランジスタTFTのゲート絶縁膜として
使用される絶縁膜GI及び陽極酸化膜AOFで構成され
ている。
<< Storage Capacitor Cstg >> The pixel electrode PX is formed so as to overlap the counter voltage signal line CL at the end opposite to the end connected to the thin film transistor TFT. This superposition is, as is clear from FIG.
A storage capacitor (capacitance element) Cstg is formed in which the pixel electrode PX is one electrode PL2 and the counter voltage signal line CL is the other electrode PL1. The dielectric film of the storage capacitor Cstg includes an insulating film GI used as a gate insulating film of the thin film transistor TFT and an anodic oxide film AOF.

【0084】図3に示したように、平面的には蓄積容量
Cstgは対向電圧信号線CLの導電膜g1の部分に形
成されている。
As shown in FIG. 3, the storage capacitor Cstg is formed in the conductive film g1 of the counter voltage signal line CL in plan view.

【0085】この場合、この蓄積容量Cstgは、その
絶縁膜GIに対して下側に位置づけられる電極の材料が
Alで形成され、かつ、その表面が陽極化成されたもの
であることから、ALの所謂ヒロック等が原因する点欠
陥(上側に位置づけられる電極との短絡)による弊害を
発生し難くくする蓄積容量を得ることができる。
In this case, the storage capacitor Cstg is made of Al because the material of the electrode positioned below the insulating film GI is formed of Al and the surface thereof is anodized. It is possible to obtain a storage capacitor which is less likely to cause adverse effects due to a point defect (short-circuit with an electrode positioned on the upper side) caused by a so-called hillock or the like.

【0086】《保護膜PSV1》薄膜トランジスタTF
T上には保護膜PSV1が設けられている。保護膜PS
V1は主に薄膜トランジスタTFTを湿気等から保護す
るために形成されており、透明性が高くしかも耐湿性の
良いものを使用する。この保護膜PSV1は例えばプラ
ズマCVD装置で形成した酸化シリコン膜や窒化シリコ
ン膜で形成されており、500nm程度の膜厚で形成す
る。
<< Protective Film PSV1 >> Thin Film Transistor TF
On T, a protective film PSV1 is provided. Protective film PS
V1 is formed mainly to protect the thin film transistor TFT from moisture and the like, and uses a material having high transparency and good moisture resistance. The protective film PSV1 is formed of, for example, a silicon oxide film or a silicon nitride film formed by a plasma CVD apparatus, and has a thickness of about 500 nm.

【0087】保護膜PSV1は、マトリクス部ARの全
体を囲むように形成され、周辺部は外部接続端子DT
M、GTMを露出するよう除去されている。この保護膜
PSV1とゲート絶縁膜GIの厚さ関係に関しては、前
者は保護効果を考え厚くされ、後者はトランジスタの相
互コンダクタンスgmを考慮して薄くされる。
The protective film PSV1 is formed so as to surround the entire matrix portion AR, and the peripheral portion is connected to the external connection terminal DT.
M and GTM have been removed to expose. Regarding the thickness relationship between the protective film PSV1 and the gate insulating film GI, the former is made thicker in consideration of the protective effect, and the latter is made thinner in consideration of the transconductance gm of the transistor.

【0088】カラーフィルタ基板 次に、図6、図9により上側透明ガラス基板SUB2側
(カラーフィルタ基板)の構成を詳しく説明する。
Color Filter Substrate Next, the structure of the upper transparent glass substrate SUB2 (color filter substrate) will be described in detail with reference to FIGS.

【0089】《遮光膜BM》上部透明ガラス基板SUB
2側には、不要な間隙部(画素電極PXと対向電極CT
の間以外の隙間)からの透過光が表示面側に出射して、
コントラスト比等を低下させないように遮光膜BM(所
謂、ブラックマトリクス)を形成している。遮光膜BM
は、外部光又はバックライト光がi型半導体層ASに入
射しないようにする役割も果たしている。即ち、薄膜ト
ランジスタTFTのi型半導体層ASは上下にある遮光
膜BM及び大きめのゲート電極GTによってサンドイッ
チにされ、外部の自然光やバックライト光が当たらなく
なる。
<< Light-shielding film BM >> Upper transparent glass substrate SUB
On the second side, an unnecessary gap (pixel electrode PX and counter electrode CT)
Transmitted light from the gap other than the gap between
A light-shielding film BM (a so-called black matrix) is formed so as not to lower the contrast ratio and the like. Light shielding film BM
Also serves to prevent external light or backlight light from entering the i-type semiconductor layer AS. That is, the i-type semiconductor layer AS of the thin film transistor TFT is sandwiched between the upper and lower light-shielding films BM and the large gate electrode GT, so that external natural light or backlight does not shine.

【0090】図3に示す遮光膜BMの閉じた角形の輪郭
線は、その内側が遮光膜BMが形成されない開口を示し
ている。この輪郭線のパターンは1例である。
The closed rectangular outline of the light-shielding film BM shown in FIG. 3 indicates an opening on the inside of which no light-shielding film BM is formed. This contour pattern is an example.

【0091】横電界方式の液晶表示装置では、可能な限
り高抵抗なブラックマトリクスが適していることから、
一般に樹脂組成物を用いる。この抵抗規格については、
公知ではないが、同一出願人による特願平7−1919
94号に記載がある。即ち、液晶組成物LCの比抵抗値
が10のN乗を10N と記述すると10N Ω・cm以上、か
つ、ブラックマトリクスBMの比抵抗値が10のM乗を
10M と記述すると10MΩ・cm以上とし、かつ、N≧
9、M≧6を満足する関係とする。或いは、N≧13、
M≧7を満足する関係とすることが望ましい。
In a horizontal electric field type liquid crystal display device, a black matrix having the highest possible resistance is suitable.
Generally, a resin composition is used. For this resistance standard,
Although it is not publicly known, Japanese Patent Application No. 7-1919 filed by the same applicant
No. 94. That is, if the specific resistance of the liquid crystal composition LC is described as 10 N as 10 N , then the specific resistance of the black matrix BM is 10 N Ω · cm or more, and the specific resistance of the black matrix BM is 10 M
When written as 10 M and 10 M Ω · cm or more and, N ≧
9, a relationship that satisfies M ≧ 6. Alternatively, N ≧ 13,
It is desirable that the relationship satisfy M ≧ 7.

【0092】又、液晶表示装置の表面反射を低減する目
的からも、ブラックマトリクスの形成材料に樹脂組成物
を用いることが望ましい。
It is also desirable to use a resin composition as the material for forming the black matrix from the viewpoint of reducing the surface reflection of the liquid crystal display device.

【0093】さらに、Cr等の金属膜をブラックマトリ
クスに用いる場合と比較して、金属膜のエッチング工程
が不要なため、カラーフィルタ基板の製造工程を簡略化
できる。金属膜を使用する場合の製造工程は、1)金属
膜成膜、2)レジスト塗布、3)露光、4)現像、5)
金属膜エッチング、6)レジスト剥離、である。
Further, as compared with the case where a metal film of Cr or the like is used for the black matrix, the step of etching the metal film is not required, so that the manufacturing process of the color filter substrate can be simplified. When a metal film is used, the manufacturing steps are: 1) metal film formation, 2) resist coating, 3) exposure, 4) development, 5)
Metal film etching, 6) resist stripping.

【0094】一方、樹脂を使用する場合の製造工程は、
1)樹脂塗布、2)露光、3)現像、であり、著しく工
程を短縮できる。
On the other hand, when a resin is used, the manufacturing process is as follows.
1) resin application, 2) exposure, and 3) development, and the process can be significantly shortened.

【0095】しかし、樹脂組成物は金属膜と比較して遮
光性が低い。樹脂の膜厚を厚くすると遮光性は向上する
が、ブラックマトリクスの膜厚ばらつきは増加する。こ
れは、例えば±10%の膜厚ばらつきがある場合、ブラ
ックマトリクスの膜厚が1.0μm時は±0.1μm、
2μm時は±0.2μmになるためである。
However, the resin composition has a lower light-shielding property than the metal film. Increasing the thickness of the resin improves the light-shielding properties, but increases the variation in the thickness of the black matrix. This means that, for example, when there is a thickness variation of ± 10%, when the thickness of the black matrix is 1.0 μm, ± 0.1 μm,
This is because when it is 2 μm, it becomes ± 0.2 μm.

【0096】又、ブラックマトリクスの膜厚を厚くする
と、カラーフィルタ基板の膜厚ばらつきが増加し、液晶
表示基板のギャップ精度を向上することが困難になる。
以上の理由により、樹脂の膜厚は、2μm以下にするこ
とが望ましい。
When the thickness of the black matrix is increased, variation in the thickness of the color filter substrate increases, and it becomes difficult to improve the gap accuracy of the liquid crystal display substrate.
For the above reasons, it is desirable that the thickness of the resin is 2 μm or less.

【0097】膜厚1μmでOD値を約4.0以上にする
ためには、例えばカーボンの含有量を増加して黒色化す
る場合、ブラックマトリクスBMの比抵抗値は約106
Ω・cm以下となり、現状では使用できない。尚、OD
値は、吸光係数に膜厚を掛けた値と定義できる。
In order to increase the OD value to about 4.0 or more at a film thickness of 1 μm, for example, when blackening is performed by increasing the carbon content, the specific resistance value of the black matrix BM is about 10 6
Ω · cm or less and cannot be used at present. OD
The value can be defined as the value obtained by multiplying the extinction coefficient by the film thickness.

【0098】このため、本例では、この遮光膜BMの材
料として、黒色の無機顔料をレジスト材に混入した樹脂
組成物を用い、1.3±0.1μm程度の厚さで形成し
ている。無機顔料の例としては、パラジウムや無電解メ
ッキしたNiなどがある。更に、ブラックマトリクスB
Mの比抵抗値は約109 Ω・cmとし、OD値約2.0
とした。
For this reason, in this example, as a material of the light-shielding film BM, a resin composition in which a black inorganic pigment is mixed into a resist material is used, and is formed with a thickness of about 1.3 ± 0.1 μm. . Examples of the inorganic pigment include palladium and electroless plated Ni. Furthermore, black matrix B
The specific resistance of M is about 10 9 Ω · cm, and the OD value is about 2.0
And

【0099】この樹脂組成物ブラックマトリクスBMを
使用した場合の光透過量の計算結果を下記に示す。
The calculation results of the light transmission amount when this resin composition black matrix BM is used are shown below.

【0100】OD値=log(100/Y) Y=∫A(λ)・B(λ)・C(λ)dλ/∫A(λ)
・C(λ)dλ ここで、Aは視感度、Bは透過率、Cは光源スペクト
ル、λは入射光の波長を示す。
OD value = log (100 / Y) Y = ∫A (λ) · B (λ) · C (λ) dλ / ∫A (λ)
C (λ) dλ Here, A is the visibility, B is the transmittance, C is the light source spectrum, and λ is the wavelength of the incident light.

【0101】OD値2.0の膜で遮光した場合は、上記
数1から、Y=1%を得て、入射光強度4000cd/
2 を仮定すると、約40cd/m2 の光が透過してく
ることになる。この光強度は、十分に人間が視認できる
明るさである。
In the case where light is shielded by a film having an OD value of 2.0, Y = 1% is obtained from the above equation (1), and the incident light intensity is 4000 cd /
Assuming m 2 , about 40 cd / m 2 of light will be transmitted. This light intensity is sufficiently bright to be visually recognized by humans.

【0102】遮光膜BMは周辺部にも額縁状に形成さ
れ、そのパターンはドット状に複数の開口を設けた図6
に示すマトリクス部のパターンと連続して形成されてい
る。
The light-shielding film BM is also formed in a frame shape in the peripheral portion, and its pattern is a pattern shown in FIG.
Are formed continuously with the pattern of the matrix section shown in FIG.

【0103】《カラーフィルタFIL》カラーフィルタ
FILは画素に対向する位置に赤、緑、青の繰り返しで
ストライプ状に形成される。カラーフィルタFILは遮
光膜BMのエッジ部分と重なるように形成されている。
<< Color Filter FIL >> The color filter FIL is formed in a stripe shape by repeating red, green, and blue at a position facing the pixel. The color filter FIL is formed so as to overlap the edge portion of the light shielding film BM.

【0104】カラーフィルタFILは例えば次のように
形成することができる。まず、上部透明ガラス基板SU
B2の表面にアクリル系樹脂等の染色基材を形成し、フ
ォトリソグラフィ技術で赤色フィルタ形成領域以外の染
色基材を除去する。この後、染色基材を赤色染料で染
め、固着処理を施して赤色フィルタRを形成する。次
に、同様な工程を施すことによって、緑色フィルタG、
青色フィルタBを順次形成する。
The color filter FIL can be formed, for example, as follows. First, the upper transparent glass substrate SU
A dye base such as an acrylic resin is formed on the surface of B2, and the dye base other than the red filter formation region is removed by photolithography. Thereafter, the dyed base material is dyed with a red dye and subjected to a fixing treatment to form a red filter R. Next, the green filter G,
Blue filters B are sequentially formed.

【0105】《オーバーコート膜OC》オーバーコート
膜OCはカラーフィルタFILの染料の液晶LCへの漏
洩を防止、及びカラーフィルタFIL、遮光膜BMによ
る段差の平坦化のために設けられている。オーバーコー
ト膜OCは例えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂等の透明
樹脂材料で形成される。
<< Overcoat Film OC >> The overcoat film OC is provided to prevent the dye of the color filter FIL from leaking to the liquid crystal LC, and to flatten the steps formed by the color filter FIL and the light shielding film BM. The overcoat film OC is formed of, for example, a transparent resin material such as an acrylic resin or an epoxy resin.

【0106】液晶層及び偏光板 次に、液晶層、配向膜、偏光板等について説明する。 Liquid Crystal Layer and Polarizing Plate Next, the liquid crystal layer, the alignment film, the polarizing plate and the like will be described.

【0107】《液晶層》液晶材料LCとしては、誘電率
異方性△εが正でその値が13.2、屈折率異方性△n
が0.081(589nm、20°C)のネマチック液
晶と、誘電率異方性△εが負でその値が−7.3、屈折
率異方性△nが0.053(589nm、20°C)の
ネマチック液晶を用いた。
<< Liquid Crystal Layer >> As the liquid crystal material LC, the dielectric anisotropy Δ △ is positive and its value is 13.2, and the refractive index anisotropy Δn
Is 0.081 (589 nm, 20 ° C.), a dielectric anisotropy Δ △ is negative and the value is −7.3, and a refractive index anisotropy Δn is 0.053 (589 nm, 20 ° C.). The nematic liquid crystal of C) was used.

【0108】液晶層の厚み(ギャップ)は、誘電率異方
性△εが正の場合2.8μm超4.5μm未満とした。
これは、リターデションΔn・dは0.25μm超0.
32μm未満の時、可視光の範囲内で波長依存性が殆ど
ない誘電率特性が得られ、誘電率異方性△εが正を有す
る液晶の大部分が複屈折率異方性△nが0.07超0.
09未満であるためである。
The thickness (gap) of the liquid crystal layer was more than 2.8 μm and less than 4.5 μm when the dielectric anisotropy Δε was positive.
This is because the retardation Δn · d exceeds 0.25 μm.
When it is less than 32 μm, a dielectric constant characteristic having almost no wavelength dependence within the visible light range is obtained, and most of the liquid crystal having a positive dielectric anisotropy Δ △ has a birefringence anisotropy Δn of 0. 0.07 or more
This is because it is less than 09.

【0109】一方、誘電率異方性△εが負の場合は、液
晶層の厚み(ギャップ)は、4.2μm超8.0μm未
満とした。これは誘電率異方性△εが正の液晶と同様
に、リターデションΔn・dを0.25μm超0.32
μm未満に抑えるためで、誘電率異方性△εが負を有す
る液晶の大部分が複屈折異方性△nが0.04超0.0
6未満であるためである。
On the other hand, when the dielectric anisotropy Δ △ was negative, the thickness (gap) of the liquid crystal layer was set to more than 4.2 μm and less than 8.0 μm. This is because, like the liquid crystal having a positive dielectric anisotropy Δε, the retardation Δn · d exceeds 0.25 μm by 0.32 μm.
Most of the liquid crystal having a negative dielectric anisotropy Δ △ has a birefringence anisotropy Δn of more than 0.04 to suppress the dielectric anisotropy Δ △ is negative.
This is because it is less than 6.

【0110】又、後述の配向膜と偏光板の組み合わせに
より、液晶分子がラビング方向から電界方向に45°回
転したとき最大透過率を得ることができる。尚、液晶層
の厚み(ギャップ)はポリマビーズで制御している。
Further, the maximum transmittance can be obtained when the liquid crystal molecules are rotated by 45 ° from the rubbing direction to the electric field direction by a combination of an alignment film and a polarizing plate described later. The thickness (gap) of the liquid crystal layer is controlled by polymer beads.

【0111】又、液晶材料LCは、ネマチック液晶であ
れば、特に限定したものではない。誘電率異方性△ε
は、その値が大きいほうが、駆動電圧が低減でき、屈折
率異方性△nは小さいほうが液晶層の厚み(ギャップ)
を厚くでき、液晶の封入時間が短縮され、かつギャップ
ばらつきを少なくすることができる。
Further, the liquid crystal material LC is not particularly limited as long as it is a nematic liquid crystal. Dielectric anisotropy △ ε
The larger the value, the lower the driving voltage, and the smaller the refractive index anisotropy Δn, the smaller the thickness (gap) of the liquid crystal layer.
Can be made thicker, the liquid crystal filling time can be shortened, and the gap variation can be reduced.

【0112】《配向膜》配向膜ORIとしてはポリイミ
ドを用いる。ラビング方向RDRは上下基板で互いに平
行にし、かつ、印加電界方向EDRとのなす角度φLC
は75°とする。図7にその関係を示す。
<< Orientation Film >> Polyimide is used as the orientation film ORI. The rubbing direction RDR is parallel to each other between the upper and lower substrates, and the angle φLC between the applied electric field direction EDR and the angle φLC.
Is 75 °. FIG. 7 shows the relationship.

【0113】尚、ラビング方向RDRと印加電界方向E
DRとのなす角度は、液晶材料の誘電率異方性△εが正
であれば、45°以上90°未満、誘電率異方性△εが
負であれば、0°を超え45°以下であれば良い。
The rubbing direction RDR and the applied electric field direction E
The angle with DR is 45 ° or more and less than 90 ° when the dielectric anisotropy △ ε of the liquid crystal material is positive, and is more than 0 ° and 45 ° or less when the dielectric anisotropy △ ε is negative. Is fine.

【0114】《偏光板》偏光板POLとしては、日東電
工社製G1220DU(商品名)を用い、図6に示した
ように、下側の偏光板POL1の偏光透過軸MAX1を
ラビング方向RDRと一致させ、上側の偏光板POL2
の偏光透過軸MAX2をそれに直交させる。
<< Polarizing Plate >> As the polarizing plate POL, G1220DU (trade name) manufactured by Nitto Denko Corporation was used, and as shown in FIG. 6, the polarization transmission axis MAX1 of the lower polarizing plate POL1 coincided with the rubbing direction RDR. And the upper polarizer POL2
Of the polarized light transmission axis MAX2 is made orthogonal to it.

【0115】これにより、本発明の画素に印加される電
圧(画素電極PXと対向電極CTの間の電圧)を増加さ
せるに伴い、透過率が上昇するノーマリークローズ特性
を得ることができる。
As a result, it is possible to obtain a normally closed characteristic in which the transmittance increases as the voltage applied to the pixel of the present invention (the voltage between the pixel electrode PX and the counter electrode CT) increases.

【0116】更に、本発明で開示される横電界方式と称
される液晶表示装置では、上側の基板SUB2側の表面
の外部から静電気等の高い電位が加わった場合に、表示
の異常が発生する。このため、上側の偏光板POL2の
更に上側或いは表面にシート抵抗が1×108 Ω/□以
下の透明導電膜の層を形成すること、或いは偏光板と前
記透明基板の間にシート抵抗1×108 Ω/□以下のI
TO等の透明導電膜の層を形成すること、或いは偏光板
の粘着層にITO、SnO2 、In2 3 等の導電性粒
子を混ぜ、シート抵抗を1×108 Ω/□以下とするこ
とが必要になる。この対策については、公知ではないが
同一出願人による特願平7−264443号において、
シールド機能向上につき詳しい記載がある。
Furthermore, in the liquid crystal display device referred to as the in-plane switching method disclosed in the present invention, display abnormalities occur when a high potential such as static electricity is applied from outside the surface on the upper substrate SUB2 side. . Therefore, a layer of a transparent conductive film having a sheet resistance of 1 × 10 8 Ω / □ or less is formed further above or on the surface of the upper polarizing plate POL2, or a sheet resistance of 1 × is provided between the polarizing plate and the transparent substrate. I of 10 8 Ω / □ or less
Forming a layer of a transparent conductive film such as TO, or mixing conductive particles such as ITO, SnO 2 , and In 2 O 3 with the adhesive layer of the polarizing plate to reduce the sheet resistance to 1 × 10 8 Ω / □ or less. It becomes necessary. Regarding this measure, it is not publicly known, but in Japanese Patent Application No. 7-264443 filed by the same applicant,
There is a detailed description of the improvement of the shield function.

【0117】《マトリクス周辺の構成》図8は上下のガ
ラス基板SUB1、SUB2を含む表示パネルPNLの
マトリクス(AR)周辺の要部平面図である。又、図9
は左側に走査回路が接続された外部接続端子GTM付近
の断面図である。
<< Configuration around Matrix >> FIG. 8 is a plan view of a main portion around the matrix (AR) of the display panel PNL including the upper and lower glass substrates SUB1 and SUB2. FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view near the external connection terminal GTM to which the scanning circuit is connected on the left side.

【0118】このパネルの製造では、小さいサイズであ
ればスループット向上のため1枚のガラス基板では複数
個分のデバイスを同時に加工してから分割し、大きいサ
イズであれば製造設備の共用のため、どの品種でも標準
化された大きさのガラス基板を加工してから各品種に合
ったサイズに小さくし、いずれの場合も一通りの工程を
経てからガラスを切断する。
In the manufacture of this panel, if the size is small, a plurality of devices are processed at the same time on a single glass substrate to improve the throughput in order to improve the throughput. If the size is large, the manufacturing equipment is shared. For each type, a glass substrate of a standardized size is processed and then reduced to a size suitable for each type. In each case, the glass is cut after passing through a single process.

【0119】図8、図9は後者の例を示すもので、図
8、図9の両図とも上下基板SUB1、SUB2の切断
後を表わしており、LNは両基板の切断前の縁を示す。
いずれの場合も、完成状態では外部接続端子群Tg、T
d及び端子CTMが存在する(図で上辺と左辺の)部分
はそれらを露出するように上側基板SUB2の大きさが
下側基板SUB1よりも内側に制限されている。
FIGS. 8 and 9 show the latter example. Both FIGS. 8 and 9 show the upper and lower substrates SUB1 and SUB2 after cutting, and LN shows the edge of both substrates before cutting. .
In any case, in the completed state, the external connection terminal groups Tg, Tg
The size of the upper substrate SUB2 is limited to the inside of the lower substrate SUB1 so that d and the terminal CTM are present (the upper side and the left side in the figure) so as to expose them.

【0120】端子群Tg、Tdは、それぞれ後述する走
査回路接続用端子GTM、映像信号回路接続用端子DT
Mとそれらの引出し配線部を集積回路チップCHIが搭
載されたテープキャリアパッケージTCP(図9、図1
0参照)の単位に複数本まとめて名付けたものである。
The terminal groups Tg and Td are respectively a scanning circuit connection terminal GTM and a video signal circuit connection terminal DT described later.
M and their leading wiring portions are formed by a tape carrier package TCP (FIGS. 9 and 1) on which an integrated circuit chip CHI is mounted.
0) are collectively named.

【0121】各群のマトリクス部から外部接続端子部に
至るまでの引出し配線は、両端に近づくにつれ傾斜して
いる。これは、パッケージTCPの配列ピッチ及び各パ
ッケージTCPにおける接続端子ピッチに表示パネルP
NLの端子DTM、GTMに合わせるためである。
The lead wiring from the matrix section of each group to the external connection terminal section is inclined as approaching both ends. This is because the display panel P is set in the arrangement pitch of the package TCP and the connection terminal pitch in each package TCP.
This is for adjusting to the terminals DTM and GTM of the NL.

【0122】又、対向電極端子CTMは、対向電極CT
に対向電圧を外部から与えるための端子である。マトリ
クス部の対向電極信号線CLは、走査回路用端子GTM
の反対側(図では右側)に引出し、各対向電圧信号線を
共通バスラインCBで一纏めにして、対向電極端子CT
Mに接続している。
The counter electrode terminal CTM is connected to the counter electrode CT.
Is a terminal for applying a counter voltage from the outside. The counter electrode signal line CL in the matrix portion is connected to a scanning circuit terminal GTM.
, And the common voltage signal lines are grouped together by a common bus line CB to form a common electrode terminal CT
M.

【0123】透明ガラス基板SUB1、SUB2の間に
は、その縁に沿って、液晶封入口INJを除き、液晶L
Cを封止するようにシールパターンSLが形成される。
シール材は例えばエポキシ樹脂から成る。
Between the transparent glass substrates SUB1 and SUB2, along the edge thereof, except for the liquid crystal filling opening INJ, the liquid crystal L
A seal pattern SL is formed so as to seal C.
The sealing material is made of, for example, an epoxy resin.

【0124】配向膜ORI1、ORI2の層は、シール
パターンSLの内側に形成される。偏光板POL1、P
OL2はそれぞれ下部透明ガラス基板SUB1、上部透
明ガラス基板SUB2の外側の表面に構成されている。
The layers of the orientation films ORI1 and ORI2 are formed inside the seal pattern SL. Polarizing plates POL1, P
OL2 is formed on the outer surfaces of the lower transparent glass substrate SUB1 and the upper transparent glass substrate SUB2, respectively.

【0125】エッチングLCは液晶分子の向きを設定す
る下部配向膜ORI1と上部配向膜ORI2との間でシ
ールパターンSLで仕切られた領域に封入されている。
下部配向膜ORI1は下部透明ガラス基板SUB1側の
保護膜PSV1の上部に形成される。
The etching LC is sealed in a region partitioned by the seal pattern SL between the lower alignment film ORI1 and the upper alignment film ORI2 for setting the direction of the liquid crystal molecules.
The lower alignment film ORI1 is formed above the protective film PSV1 on the lower transparent glass substrate SUB1 side.

【0126】この液晶表示装置は、下部透明ガラス基板
SUB1側、上部透明ガラス基板SUB2側で別個に種
々の層を積み重ね、シールパターンSLを基板SUB2
側に形成し、下部透明ガラス基板SUB1と上部透明ガ
ラス基板SUB2とを重ね合わせ、シールパターンSL
の開口部INJから液晶LCを注入し、注入口INJを
エポキシ樹脂などで封止し、上下基板を切断することに
よって組み立てられる。
In this liquid crystal display device, various layers are separately stacked on the lower transparent glass substrate SUB1 side and the upper transparent glass substrate SUB2 side, and a seal pattern SL is formed on the substrate SUB2.
Side, the lower transparent glass substrate SUB1 and the upper transparent glass substrate SUB2 are overlapped with each other to form a seal pattern SL
The liquid crystal LC is injected from the opening INJ, the inlet INJ is sealed with an epoxy resin or the like, and the upper and lower substrates are cut to be assembled.

【0127】《表示装置全体等価回路》図11は本発明
による液晶表示装置の周辺回路の概要説明図であって、
同図に示すように、液晶表示基板は画像表示部がマトリ
クス状に配置された複数の画素の集合により構成され、
各画素は前記液晶表示基板の背部に配置されたバックラ
イトからの透過光を独自に変調制御できるように構成さ
れている。
<< Equivalent Circuit of Entire Display Device >> FIG. 11 is a schematic explanatory diagram of peripheral circuits of a liquid crystal display device according to the present invention.
As shown in the figure, the liquid crystal display substrate is constituted by a set of a plurality of pixels in which an image display unit is arranged in a matrix,
Each pixel is configured to independently control the modulation of transmitted light from a backlight disposed behind the liquid crystal display substrate.

【0128】液晶表示基板の構成要素の1つであるアク
ティブ・マトリクス基板SUB1上には、有効画素領域
ARにx方向(行方向)に延在し、y方向(列方向)に並
設されたゲート信号線GLと対向電圧信号線CLとそれ
ぞれ絶縁されてy方向に延在し、x方向に並設されたド
レイン信号線DLが形成されている。
An active pixel area is provided on an active matrix substrate SUB1, which is one of the components of the liquid crystal display substrate.
The gate signal line GL and the counter voltage signal line CL, which extend in the x direction (row direction) and are arranged in parallel in the y direction (column direction), extend in the y direction while being insulated from the AR, and extend in the x direction. The provided drain signal line DL is formed.

【0129】ここで、ゲート信号線GL、対向電圧信号
線CL、ドレイン信号線DLのそれぞれによって囲まれ
る矩形状の領域に単位画素が形成される。
Here, a unit pixel is formed in a rectangular area surrounded by each of the gate signal line GL, the counter voltage signal line CL, and the drain signal line DL.

【0130】液晶表示基板には、その外部回路として垂
直走査回路V及び映像信号駆動回路Hが備えられ、前記
垂直走査回路Vによって前記ゲート信号線GLのそれぞ
れに順次走査信号(電圧)が供給され、そのタイミング
に合わせて映像信号駆動回路Hからドレイン信号線DL
に映像信号(電圧)を供給するようになっている。
The liquid crystal display substrate is provided with a vertical scanning circuit V and a video signal driving circuit H as external circuits, and the vertical scanning circuit V sequentially supplies a scanning signal (voltage) to each of the gate signal lines GL. From the video signal drive circuit H to the drain signal line DL in accordance with the timing.
Is supplied with a video signal (voltage).

【0131】尚、垂直走査回路V及び映像信号駆動回路
Hは、液晶駆動電源回路3から電源が供給されるととも
に、CPU1からの画像情報がコントローラ2によって
それぞれ表示データ及び制御信号に分けられて入力され
るようになっている。
The vertical scanning circuit V and the video signal driving circuit H are supplied with power from the liquid crystal driving power supply circuit 3 and input image information from the CPU 1 after being divided into display data and control signals by the controller 2. It is supposed to be.

【0132】《駆動方法》図12は本発明の液晶表示装
置の駆動波形図である。対向電圧をVCHとVCLの2
値の交流矩形波にし、それに同期させて走査信号VG
(i−1)、VG(i)の非選択電圧を1走査期間毎
に、VCHとVCLの2値で変化させる。対向電圧の振
幅幅と非選択電圧の振幅値は同一にする。
<< Driving Method >> FIG. 12 is a driving waveform diagram of the liquid crystal display device of the present invention. The opposite voltage is VCH and VCL.
Value AC rectangular wave and the scanning signal VG
(I-1) The non-selection voltage of VG (i) is changed by two values of VCH and VCL every scanning period. The amplitude width of the counter voltage and the amplitude value of the non-selection voltage are the same.

【0133】映像信号電圧は、液晶層に印加したい電圧
から、対向電圧の振幅の1/2を差し引いた電圧であ
る。
The video signal voltage is a voltage obtained by subtracting 振幅 of the amplitude of the counter voltage from the voltage to be applied to the liquid crystal layer.

【0134】対向電圧は直流でも良いが、交流化するこ
とで映像信号電圧の最大振幅を低減でき、映像信号駆動
回路(信号側ドライバ)に耐圧の低いものを用いること
が可能になる。
The counter voltage may be DC, but by converting it to AC, the maximum amplitude of the video signal voltage can be reduced, and a video signal drive circuit (signal-side driver) having a low withstand voltage can be used.

【0135】《蓄積容量Cstgの働き》蓄積容量Cs
tgは、画素に書き込まれた(薄膜トランジスタTFT
がオフした後の)映像情報を長く蓄積するために設けら
れる。
<< Operation of Storage Capacitance Cstg >> Storage Capacitance Cs
tg is written to the pixel (thin film transistor TFT
Is provided for long storage of video information (after the power is turned off).

【0136】本発明で用いている電界を基板面と平行に
印加する方式では、電界を基板面に垂直に印加する方式
と異なり、画素電極と対向電極で構成される容量(所謂
液晶容量)が殆ど無いため、蓄積Cstgは必須の構成
要素である。
In the method of applying an electric field parallel to the substrate surface used in the present invention, unlike the method of applying the electric field perpendicular to the substrate surface, the capacitance (the so-called liquid crystal capacitance) formed by the pixel electrode and the counter electrode is different. Since there is almost no storage, the storage Cstg is an essential component.

【0137】又、蓄積容量Cstgは、薄膜トランジス
タTFTがスイッチングするとき、画素電極電位Vsに
対するゲート電位変化△Vgの影響を低減するようにも
働く。この様子を式で表わすと次のようになる。
The storage capacitor Cstg also functions to reduce the influence of the gate potential change ΔVg on the pixel electrode potential Vs when the thin film transistor TFT switches. This situation is represented by the following equation.

【0138】△Vs=[Cgs/(Cgs+Cstg+
Cpix)]×ΔVg ここで、Cgsは薄膜トランジスタTFTのゲート電極
GTとソース電極SDIとの間に形成される寄生容量、
Cpixは画素電極PXと対向電極CTとの間に形成さ
れる容量、△VsはΔVgによる画素電極電位の変化
分、所謂フィードスルー電圧を表わす。
ΔVs = [Cgs / (Cgs + Cstg +
Cpix)] × ΔVg where Cgs is a parasitic capacitance formed between the gate electrode GT and the source electrode SDI of the thin film transistor TFT,
Cpix represents a capacitance formed between the pixel electrode PX and the counter electrode CT, and ΔVs represents a change in pixel electrode potential due to ΔVg, a so-called feedthrough voltage.

【0139】この変化分△Vsは液晶LCに加わる直流
成分の原因となるが、保持容量Cstgを大きくする
程、その値を小さくすることができる。
Although the change ΔVs causes a DC component applied to the liquid crystal LC, the value can be reduced as the storage capacitance Cstg is increased.

【0140】液晶LCに印加される直流成分の低減は、
液晶LCの寿命を向上し、液晶表示画面の切り替え時に
前の画像が残る所謂焼き付きを低減することができる。
The reduction of the DC component applied to the liquid crystal LC is as follows.
It is possible to improve the life of the liquid crystal LC and reduce so-called burn-in in which a previous image remains when the liquid crystal display screen is switched.

【0141】前述したように、ゲート電極GTはi型半
導体層ASを完全に覆うよう大きくされている分、ソー
ス電極SDI、ドレイン電極SD2とのオーバーラップ
面積が増え、従って寄生容量Cgsが大きくなり、画素
電極電位Vsはゲート(走査)信号Vgの影響を受けや
すくなるという逆効果が生じる。しかし、蓄積容量Cs
tgを設けることによりこのデメリットも解消する。
As described above, since the gate electrode GT is made large so as to completely cover the i-type semiconductor layer AS, the area of overlap with the source electrode SDI and the drain electrode SD2 increases, and therefore the parasitic capacitance Cgs increases. The pixel electrode potential Vs has an adverse effect of being easily affected by the gate (scanning) signal Vg. However, the storage capacity Cs
By providing tg, this disadvantage is also eliminated.

【0142】《製造方法》次に、上述した液晶表示装置
の基板SUB1側の製造方法について説明する。
<< Manufacturing Method >> Next, a method of manufacturing the above-described liquid crystal display device on the substrate SUB1 side will be described.

【0143】図13、図14および図15は本発明によ
る液晶表示装置の製造工程の説明図であって、同図にお
いて、中央の文字は工程名の略称であり、図中左側は図
3に示した薄膜トランジスタTFT部分、右側は図ゲー
ト端子付近の断面形状でみた加工の流れを示す。
FIG. 13, FIG. 14, and FIG. 15 are explanatory views of the manufacturing process of the liquid crystal display device according to the present invention. In the same figure, the central characters are the abbreviations of the process names, and the left side in FIG. The right side of the thin film transistor TFT portion shown in the drawing shows the flow of processing viewed from the cross-sectional shape near the gate terminal.

【0144】なお、以下における写真処理は、フォトレ
ジストの塗布からマスクを使用した選択露光を経て、そ
れを現像するまでの一連作業を示すものとし、繰り返し
の説明は避ける。以下区分けした工程に従って説明す
る。
The following photographic processing shows a series of operations from application of a photoresist, through selective exposure using a mask, to development thereof, and a repeated explanation is omitted. Description will be given below according to the divided steps.

【0145】工程A(図13) AN635ガラス(商品名)からなる下部透明ガラス基
板SUB1上に膜厚が300nmのAl−Pd、Al−
W、Al−Ta、Al−Ti−Ta等からなる導電膜g
1をスパッタリングにより設ける。写真処理後、リン酸
と哨酸と氷酢酸との混酸液で導電膜g1を選択的にエッ
チングする。それによって、ゲート電極GT、走査信号
線GL、対向電極CT、対向電圧信号線CL、電極PL
1、ゲート端子GTM、共通バスラインCBの第1導電
層、対向電極端子CTMの第1導電層、ゲート端子GT
Mを接続する陽極酸化バスラインSHg(図示せず)及
び陽極酸化バスラインSHgに接続された陽極酸化パッ
ド(図示せず)を形成する。
Step A (FIG. 13) Al-Pd, Al-Pd having a thickness of 300 nm is formed on a lower transparent glass substrate SUB1 made of AN635 glass (trade name).
Conductive film g made of W, Al-Ta, Al-Ti-Ta, etc.
1 is provided by sputtering. After the photographic processing, the conductive film g1 is selectively etched with a mixed acid solution of phosphoric acid, acid and glacial acetic acid. Thereby, the gate electrode GT, the scanning signal line GL, the counter electrode CT, the counter voltage signal line CL, and the electrode PL
1, gate terminal GTM, first conductive layer of common bus line CB, first conductive layer of counter electrode terminal CTM, gate terminal GT
An anodizing bus line SHg (not shown) connecting M and an anodizing pad (not shown) connected to the anodizing bus line SHg are formed.

【0146】工程B(図13) 直接描画による陽極酸化マスクAOの形成後、3%酒石
酸をアンモニアによりPH6.25±0.05に調整し
た溶液をエチレングリコール液で1:9に希釈した液か
らなる陽極酸化液中に基板SUB1を浸漬し、化成電流
密度が0.5mA/cm2 になるように調整する(定電
流化成)。
Step B (FIG. 13) After the formation of the anodic oxidation mask AO by direct writing, a solution in which 3% tartaric acid was adjusted to PH 6.25 ± 0.05 with ammonia and diluted 1: 9 with ethylene glycol solution was used. The substrate SUB1 is immersed in an anodic oxidizing solution to adjust the formation current density to 0.5 mA / cm 2 (constant current formation).

【0147】次に、所定のアルミナ(Al2 3 )の膜
厚が得られるのに必要な化成電圧125Vに達するまで
陽極酸化を行う。その後、この状態で数10分保持する
ことが望ましい(定電圧化成)。これは均一なAl2
3 膜を得る上で大事なことである。それによって、導電
膜g1が陽極酸化され、ゲート電極GT、走査信号線G
L、対向電極CT、対向電圧信号線CL及び電極PL1
上に膜厚が180bnmの陽極酸化膜AOFが形成され
る。
Next, anodic oxidation is performed until the formation voltage 125 V necessary for obtaining a predetermined alumina (Al 2 O 3 ) film thickness is reached. Thereafter, it is desirable to maintain this state for several tens of minutes (constant voltage formation). This is a uniform Al 2 O
This is important for obtaining three films. Thereby, the conductive film g1 is anodized, and the gate electrode GT and the scanning signal line G
L, counter electrode CT, counter voltage signal line CL and electrode PL1
An anodic oxide film AOF having a thickness of 180 bnm is formed thereon.

【0148】工程C(図13) 膜厚が140nmのITO膜からなる透明導電膜g2を
スパッタリングにより設ける。写真処理後、エッチング
液として塩酸と硝酸との混酸液で透明導電膜g2を選択
的にエッチングすることにより、ゲート端子GTMの最
上層、ドレイン端子DTM及び対向電極端子CTMの第
2導電膜を形成する。
Step C (FIG. 13) A transparent conductive film g2 made of an ITO film having a thickness of 140 nm is provided by sputtering. After the photographic processing, the transparent conductive film g2 is selectively etched with a mixed acid solution of hydrochloric acid and nitric acid as an etchant, thereby forming the uppermost layer of the gate terminal GTM, the drain terminal DTM, and the second conductive film of the counter electrode terminal CTM. I do.

【0149】工程D(図14) プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が220nmの窒化Si膜を設
け、プラズマCVD装置にシランガス、水素ガスを導入
して、膜厚が200nmのi型非晶質Si膜を設けた
後、プラズマCVD装置にシランガス、水素ガス、ホス
フィンガスを導入して、膜厚が30nmのN(+)型非
晶質Si膜を設ける。
Step D (FIG. 14) An ammonia gas, a silane gas, and a nitrogen gas are introduced into a plasma CVD apparatus to provide a 220-nm-thick Si nitride film, and a silane gas and a hydrogen gas are introduced into the plasma CVD apparatus to form a film. After an i-type amorphous Si film having a thickness of 200 nm is provided, a silane gas, a hydrogen gas, and a phosphine gas are introduced into a plasma CVD apparatus to form an N (+)-type amorphous Si film having a thickness of 30 nm.

【0150】工程E(図14) 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6を使用
してN(+)型非晶質Si膜、i型非晶質Si膜を選択
的にエッチングすることにより、i型半導体層ASの島
を形成する。
Step E (FIG. 14) After the photographic processing, the N (+)-type amorphous Si film and the i-type amorphous Si film are selectively etched using SF6 as a dry etching gas, whereby i An island of the type semiconductor layer AS is formed.

【0151】工程F(図14) 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6を使用
して、窒化Si膜を選択的にエッチングする。
Step F (FIG. 14) After the photographic processing, the Si nitride film is selectively etched using SF6 as a dry etching gas.

【0152】工程G(図15) 膜厚が60nmのCrからなる導電膜d1をスパッタリ
ングにより設け、さらに膜厚が400nmのAl−P
d、Al−Si、Al−Ta、Al−Ti−Ta等から
なる導電膜d2をスパッタリングにより設ける。写真処
理後、導電膜d2を工程Aと同様の液でエッチングし、
導電膜d1を硝酸第2セリウムアンモニウム溶液でエッ
チングし、映像信号線DL、ソース電極SD1、ドレイ
ン電極SD2、画素電極PX、電極PL2、共通バスラ
インCBの第2導電層、第3導電層及びドレイン端子D
TMを短絡するバスラインSHd(図示せず)を形成す
る。次に、ドライエッチング装置にSF6を導入して、
N(+)型非晶質Si膜をエッチングすることにより、
ソースとドレイン間のN(+)型半導体層d0を選択的
に除去する。
Step G (FIG. 15) A conductive film d1 made of Cr having a thickness of 60 nm is provided by sputtering, and an Al-P film having a thickness of 400 nm is further formed.
A conductive film d2 made of d, Al-Si, Al-Ta, Al-Ti-Ta, or the like is provided by sputtering. After the photographic processing, the conductive film d2 is etched with the same liquid as in Step A,
The conductive film d1 is etched with a ceric ammonium nitrate solution, and the video signal line DL, the source electrode SD1, the drain electrode SD2, the pixel electrode PX, the electrode PL2, the second conductive layer, the third conductive layer and the drain of the common bus line CB are formed. Terminal D
A bus line SHd (not shown) for short-circuiting TM is formed. Next, SF6 is introduced into the dry etching apparatus,
By etching the N (+) type amorphous Si film,
The N (+) type semiconductor layer d0 between the source and the drain is selectively removed.

【0153】工程H(図15) プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が500nmの窒化Si膜を設
ける。写真処理後、ドレインエッチングガスとしてSF
6を使用した写真蝕刻技術で窒化Si膜を選択的にエッ
チングすることによって、保護膜PSV1を形成する。
Step H (FIG. 15) An ammonia gas, a silane gas, and a nitrogen gas are introduced into a plasma CVD apparatus to form a 500-nm-thick Si nitride film. After photographic processing, SF is used as the drain etching gas.
The protective film PSV1 is formed by selectively etching the Si nitride film by a photolithography technique using No. 6.

【0154】《TCPの接続構造》前記した図10は、
走査信号駆動回路Vや映像信号駆動回路Hを構成する集
積回路チップCHIがフレキシブル配線基板に搭載され
たテープキャリアパッケージの断面構造を示す図であ
り、図19はそれを液晶表示パネルの、本例では走査信
号回路用端子GTMに接続した状対を示す要部断面図で
ある。
<< Connecting Structure of TCP >> FIG.
FIG. 19 is a diagram showing a cross-sectional structure of a tape carrier package in which an integrated circuit chip CHI constituting a scanning signal driving circuit V and a video signal driving circuit H is mounted on a flexible wiring board, and FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part showing a pair connected to a scanning signal circuit terminal GTM.

【0155】同図において、TTBは集積回路CHIの
入力端子・配線部であり、TTMは集積回路CHIの出
力端子・配線部であって、例えばCuから成り、それぞ
れの内側の先端部(通称インナーリード)には集積回路
CHIのボンディングパッドPADが所謂フェースダウ
ンボンディング法により接続される。
In the figure, TTB is an input terminal / wiring portion of the integrated circuit CHI, and TTM is an output terminal / wiring portion of the integrated circuit CHI, which is made of, for example, Cu, and has an inner front end portion (commonly called an inner portion). The bonding pads PAD of the integrated circuit CHI are connected to the leads by a so-called face-down bonding method.

【0156】端子TTB、TTMの外側の先端部(通称
アウターリード)はそれぞれ半導体集積回路チップCH
Iの入力及び出力に対応し、半田付け等によりCRT/
TFT変換回路・電源回路SUPに、異方性導電膜AC
Fによって液晶表示パネルPNLに接続される。
The outer ends (commonly called outer leads) of the terminals TTB and TTM are respectively connected to the semiconductor integrated circuit chip CH.
Corresponds to input and output of I, CRT /
Anisotropic conductive film AC for TFT conversion circuit / power supply circuit SUP
F connects to the liquid crystal display panel PNL.

【0157】TCPは、その先端部がパネルPNL側の
接続端子GTMを露出した保護膜PSV1を覆うように
パネルにPNLに接続されている。従って、外側接続端
子GTM(DTM)は保護膜PSV1かパッケージTC
Pの少なくとも一方で覆われるので電触に対して強くな
る。
The TCP is connected to the panel PNL so that the tip thereof covers the protective film PSV1 exposing the connection terminal GTM on the panel PNL side. Therefore, the outer connection terminal GTM (DTM) is connected to the protection film PSV1 or the package TC.
Since at least one of P is covered, it is strong against electric contact.

【0158】BF1はポリイミド等からなるベースフィ
ルムであり、SRSは半田付けの際、半田が余計な所へ
付かないようにマスクするためのソルダレジスト膜であ
る。シールパターンSLの外側の上下ガラス基板の隙間
は、洗浄後にエポキシ樹脂EPX等により保護され、パ
ッケージTCPと上側基板SUB2の間には更にシリコ
ン樹脂SILが充填されて保護が多重化されている。
BF1 is a base film made of polyimide or the like, and SRS is a solder resist film for masking so that the solder does not stick to unnecessary portions during soldering. The gap between the upper and lower glass substrates outside the seal pattern SL is protected by an epoxy resin EPX or the like after cleaning, and the space between the package TCP and the upper substrate SUB2 is further filled with a silicon resin SIL to multiplex protection.

【0159】《駆動回路基板PCB3》駆動回路基板P
CB3には、IC(CHI)、コンデンサ、抵抗等の電
子部品が搭載されている。この駆動回路基板PCB2に
は、1つの電圧源から複数の分圧した安定化された電圧
源を得るための電源回路や、ホスト(上位演算処理装
置)からのCRT(陰極線管)用の情報をTFT液晶表
示装置用の情報に変換する回路を含む回路SUPが搭載
されている。
<< Drive Circuit Board PCB3 >> Drive Circuit Board P
Electronic components such as an IC (CHI), a capacitor, and a resistor are mounted on the CB3. The drive circuit board PCB2 includes a power supply circuit for obtaining a plurality of divided and stabilized voltage sources from one voltage source, and information for a CRT (cathode ray tube) from a host (upper processing unit). A circuit SUP including a circuit for converting information into information for a TFT liquid crystal display device is mounted.

【0160】なお、繰り返しになるが、本発明は上記し
た横電界方式のアクティブマトリクス型液晶表示装置に
限って適用されるものではなく、縦電界方式、あるいは
単純マトリクス方式の液晶表示装置にも適用可能であ
る。
It should be noted that the present invention is not limited to the above-described horizontal electric field type active matrix type liquid crystal display device, but is also applicable to a vertical electric field type or simple matrix type liquid crystal display device. It is possible.

【0161】[0161]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
回路基板とフレームの間の固定構造におけるスペーサと
して当該回路基板に搭載された電子部品を利用するもの
であるため、スペーサの張り付け作業が不要となり、イ
ンターフェースコネクタ等の挿抜による機械的ストレス
がTCPの断線を招くことのない強固な固定が得られ
る。また、スペーサの貼り付け作業が不要となるため、
部品点数が削減でき、製造工程が簡素化されて低コスト
で高信頼性を有する液晶表示装置を提供することができ
る。
As described above, according to the present invention,
Since the electronic components mounted on the circuit board are used as the spacers in the fixing structure between the circuit board and the frame, the work of attaching the spacers is unnecessary, and mechanical stress due to insertion and removal of the interface connector and the like can cause disconnection of the TCP. A strong fixation that does not invite is obtained. Also, since there is no need to attach spacers,
The number of components can be reduced, the manufacturing process can be simplified, and a low-cost and highly reliable liquid crystal display device can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による液晶表示装置の1実施例の全体構
成を説明する模式平面図である。
FIG. 1 is a schematic plan view illustrating an overall configuration of an embodiment of a liquid crystal display device according to the present invention.

【図2】図1のA−A線に沿って切断した要部断面図で
ある。
FIG. 2 is a sectional view of an essential part taken along line AA in FIG. 1;

【図3】本発明の液晶表示装置の一例であるアクティブ
・マトリクス方式カラー液晶表示装置の一画素とブラッ
クマトリクスBMの遮光領域およびその周辺を示す平面
図である。
FIG. 3 is a plan view showing one pixel of an active matrix type color liquid crystal display device which is an example of the liquid crystal display device of the present invention, a light shielding region of a black matrix BM, and its periphery.

【図4】図3の4ー4切断線における薄膜トランジスタ
TFTの断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of the thin film transistor TFT taken along section line 4-4 in FIG. 3;

【図5】図3の5ー5切断線における蓄積容量Cstg
の断面図である。
FIG. 5 shows a storage capacitance Cstg at a section line 5-5 in FIG. 3;
FIG.

【図6】横電界方式の液晶表示基板の画像表示領域にお
ける1画素の電極近傍の断面図と基板周辺部の断面図で
ある。
FIG. 6 is a cross-sectional view of the vicinity of an electrode of one pixel and a cross-sectional view of a peripheral portion of the substrate in an image display area of a liquid crystal display substrate of a horizontal electric field type.

【図7】配向膜のラビング方向と印加電界方向EDRと
のなす角度の説明図である。
FIG. 7 is an explanatory diagram of an angle between a rubbing direction of an alignment film and an applied electric field direction EDR.

【図8】上下の基板を含む表示パネルのマトリクス周辺
の要部平面図である。
FIG. 8 is a plan view of a main part around a matrix of a display panel including upper and lower substrates.

【図9】左側に走査回路が接続された外部端子付近の断
面図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view near an external terminal connected to a scanning circuit on the left side.

【図10】ゲートTCPの出力側および入力側の断面構
造の説明図である。
FIG. 10 is an explanatory diagram of a sectional structure of an output side and an input side of a gate TCP.

【図11】本発明による液晶表示装置の周辺回路の概要
説明図である。
FIG. 11 is a schematic explanatory diagram of a peripheral circuit of a liquid crystal display device according to the present invention.

【図12】本発明の液晶表示装置の駆動波形図である。FIG. 12 is a driving waveform diagram of the liquid crystal display device of the present invention.

【図13】本発明による液晶表示装置の製造工程の説明
図である。
FIG. 13 is an explanatory diagram of the manufacturing process of the liquid crystal display device according to the present invention.

【図14】本発明による液晶表示装置の製造工程の図1
3に続く説明図である。
FIG. 14 is a view showing a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the present invention;
It is explanatory drawing following 3.

【図15】本発明による液晶表示装置の製造工程の図1
4に続く説明図である。
FIG. 15 is a view showing a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the present invention.
It is explanatory drawing following 4.

【図16】液晶表示装置の全体構成例を説明する展開斜
視図である。
FIG. 16 is an exploded perspective view illustrating an example of the overall configuration of a liquid crystal display device.

【図17】回路基板と上フレームとの固定部分を説明す
る要部断面図である。
FIG. 17 is an essential part cross sectional view for explaining a fixed portion of the circuit board and the upper frame.

【図18】インターフェース回路基板の構成例の説明図
である。
FIG. 18 is an explanatory diagram of a configuration example of an interface circuit board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

SHD 金属板からなる上フレーム WD 表示窓 INS1〜3 絶縁シート PCB1 ドレイン側回路基板 PCB2 ゲート側回路基板 PCB3 インターフェース回路基板 JN1〜3 回路基板PCB1〜3同士を電気的に接続
するジョイナ TCP1,TCP2,TCP3 テープキャリアパッケ
ージ(TCP) PNL 液晶表示パネル POL1,POL2 偏光板 GC ゴムクッション ILS 遮光スペーサ PRS プリズムシート SPS 拡散シート GLB 導光板 RFS 反射シート MCA 一体化成形により形成された下フレーム(下側
ケース) MO MCAの開口 CT インターフェースコネクタ LPC ランプコード EP 電子部品。
SHD Upper frame made of a metal plate WD Display window INS1-3 Insulation sheet PCB1 Drain side circuit board PCB2 Gate side circuit board PCB3 Interface circuit board JN1-3 Joiner TCP1, TCP2, TCP3 for electrically connecting circuit boards PCB1-3 Tape carrier package (TCP) PNL Liquid crystal display panel POL1, POL2 Polarizer GC Rubber cushion ILS Light shielding spacer PRS Prism sheet SPS Diffusion sheet GLB Light guide plate RFS Reflection sheet MCA Lower frame (lower case) formed by integral molding MO MCA Opening CT interface connector LPC Lamp code EP Electronic parts.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】対向配置された少なくとも一方に画素選択
用の電極を有する一対の透明基板の間に液晶層を挟持し
てなる液晶パネルと、前記液晶パネルを挟んで配置され
た上偏光板および下偏光板と、前記液晶パネルの周縁に
取り付けて当該液晶パネルの電極との間をテープキャリ
アパッドを用いて接続して表示のための各種信号電圧を
印加するための電子部品を搭載した回路基板と、前記液
晶パネルの背面に設置されたバックライトとを上下のフ
レームで固定してなる液晶表示装置において、前記回路
基板に搭載された電子部品に当該フレームと当該回路基
板の間の隙間を満たして固定するためのスペーサ機能を
持たせたことを特徴とする液晶表示装置。
1. A liquid crystal panel having a liquid crystal layer sandwiched between a pair of transparent substrates having a pixel selection electrode on at least one of them opposed to each other, an upper polarizer disposed on both sides of the liquid crystal panel, and A circuit board mounted with electronic components for applying various signal voltages for display by connecting a lower polarizing plate and an electrode of the liquid crystal panel attached to the periphery of the liquid crystal panel using a tape carrier pad. And a backlight provided on the back of the liquid crystal panel fixed by upper and lower frames, wherein the electronic components mounted on the circuit board fill the gap between the frame and the circuit board. A liquid crystal display device having a spacer function for fixing the liquid crystal display.
JP30855197A 1997-11-11 1997-11-11 Liquid crystal display device Pending JPH11142872A (en)

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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003015100A (en) * 2001-06-28 2003-01-15 Optrex Corp Liquid crystal display device and method of inspecting liquid crystal display device
KR100399794B1 (en) * 1999-12-22 2003-09-29 엔이씨 엘씨디 테크놀로지스, 엘티디. Signal processing circuit board and liquid crystal display apparatus with variable resistor which are hardly declined in the mechanical strength while its variable resistor is not limited to one particular location for the installation
KR100762700B1 (en) * 2005-12-16 2007-10-01 삼성에스디아이 주식회사 Flat Panel Display equipped with Tape Carrier Package
CN102610173A (en) * 2012-04-01 2012-07-25 友达光电(苏州)有限公司 Display device

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