JPH10206897A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

Info

Publication number
JPH10206897A
JPH10206897A JP1704498A JP1704498A JPH10206897A JP H10206897 A JPH10206897 A JP H10206897A JP 1704498 A JP1704498 A JP 1704498A JP 1704498 A JP1704498 A JP 1704498A JP H10206897 A JPH10206897 A JP H10206897A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
electrode
signal line
video signal
crystal composition
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP1704498A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masuyuki Ota
益幸 太田
Kazuhiko Yanagawa
和彦 柳川
Keiichiro Ashizawa
啓一郎 芦沢
Yasuyuki Mishima
康之 三島
Kazuhiro Ogawa
和宏 小川
Masato Oe
昌人 大江
Katsumi Kondo
克己 近藤
Masahiro Yanai
雅弘 箭内
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP1704498A priority Critical patent/JPH10206897A/en
Publication of JPH10206897A publication Critical patent/JPH10206897A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve a display quality by sufficiently reducing an electric field between a pixel electrode and a counter electrode in parallel to a transparent substrate. SOLUTION: This liquid crystal display device is provided with a 1st substrate and a 2nd substrate which are arranged opposite each other across a liquid crystal composition, a video signal line formed on the 1st substrate surface, at least one pixel electrode which is applied with a video signal through the video signal line, and at least one counter electrode which is arranged opposite the pixel electrode and applied with a counter voltage, and controls the light transmissivity of the liquid crystal composition with an electric field component produced between the pixel electrode and counter electrode. In this case, the interval between the pixel electrode and counter electrode which are arranged opposite each other is larger than the short electrode width of at least one electrode and smaller than the interval between the pixel electrode and video signal line.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に係
り、特に、いわゆる横電界方式と称されるアクティブ・
マトリクス型の液晶表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to an active electric field system called an in-plane switching method.
The present invention relates to a matrix type liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】アクティブ・マトリクス型の液晶表示装
置は、液晶層を介して互いに対向して配置される透明基
板のうちその一方の透明基板の液晶層側の面に、x
(行)方向に延在されy(列)方向に並設される走査信
号線とy(列)方向に延在されx(行)方向に並設され
る映像信号線とが形成されている。
2. Description of the Related Art In an active matrix type liquid crystal display device, one of transparent substrates disposed opposite to each other with a liquid crystal layer interposed therebetween has a transparent substrate on which a liquid crystal layer is formed.
A scanning signal line extending in the (row) direction and juxtaposed in the y (column) direction and a video signal line extending in the y (column) direction and juxtaposed in the x (row) direction are formed. .

【0003】そして、これら走査信号線と映像信号線と
で囲まれた各画素領域にはそれぞれスイッチング素子が
備えられ、このスイッチング素子は、該画素領域を囲む
各走査信号線のうちの一方の走査信号線に供給される走
査信号によってオンされ、このオンされたスイッチング
素子を介して該画素領域を囲む各映像信号線のうちの一
方の映像信号線に供給される映像信号が画素領域内に取
り込まれるようになっている。
Each pixel region surrounded by the scanning signal lines and the video signal lines is provided with a switching element, and the switching element is used to scan one of the scanning signal lines surrounding the pixel region. It is turned on by the scanning signal supplied to the signal line, and the video signal supplied to one of the video signal lines surrounding the pixel area via the turned on switching element is taken into the pixel area. It is supposed to be.

【0004】このうち、特に横電界方式と称される液晶
表示装置は、その各画素領域に、前記スイッチング素子
を介して映像信号が印加される画素電極と、該映像信号
に対して基準となる信号が印加されている対向電極とが
形成され、この画素電極と対向電極との間に透明基板と
平行に発生させる電界によって前記液晶層を透過する光
を変調させるようにしているものである。
[0004] Among them, a liquid crystal display device particularly called a lateral electric field type has a pixel electrode to which a video signal is applied via the switching element in each pixel region, and a reference for the video signal. A counter electrode to which a signal is applied is formed, and light transmitted through the liquid crystal layer is modulated by an electric field generated between the pixel electrode and the counter electrode in parallel with the transparent substrate.

【0005】このような液晶表示装置は、その表示面に
対して大きな角度視野から観察しても鮮明な映像を認識
でき、いわゆる角度視野に優れたものとして知られるに
至っている。
[0005] Such a liquid crystal display device can recognize a clear image even when viewed from a large angle field of view with respect to its display surface, and has been known as one having an excellent angle field.

【0006】なお、このような構成からなる液晶表示装
置は、たとえば特許出願公表平5−505247号公
報、特公昭63−21907号公報、および特開平6−
160878号公報に詳述されている。
Incidentally, a liquid crystal display device having such a configuration is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 5-505247, 63-21907, and 6-205.
This is described in detail in JP-A-160878.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】このような液晶表示装
置は、その画素領域内に画素電極と対向電極とをそれが
互いに対向して配置される限り任意に配置することが可
能である。
In such a liquid crystal display device, a pixel electrode and a counter electrode can be arbitrarily arranged in the pixel region as long as they are arranged to face each other.

【0008】たとえば、映像信号線に対してその幅方向
に画素電極と対向電極を順次配置させる場合、あるいは
映像信号線に対してその幅方向に対向電極と画素電極を
順次配置させる場合等である。
For example, there is a case where a pixel electrode and a counter electrode are sequentially arranged in a width direction of a video signal line, or a case where a counter electrode and a pixel electrode are sequentially arranged in a width direction of a video signal line. .

【0009】しかし、このようにした場合に、画素電極
と対向電極との間に透明基板と平行に発生させる電界を
充分に発生させることができず、表示の品質を良好にで
きない場合があることを見出した。
However, in such a case, an electric field generated in parallel with the transparent substrate between the pixel electrode and the counter electrode cannot be sufficiently generated, and the display quality may not be improved. Was found.

【0010】本発明者等は、この原因を追及した結果、
次のことが判明するに至った。
[0010] The present inventors have investigated the cause, and as a result,
The following has been found.

【0011】すなわち、映像信号線に対して画素電極を
ある程度近接させて配置させた場合に、画素電極から対
向電極側へ発生されるべく電界の大部分が映像信号線側
へ吸収されてしまって、画素電極と対向電極との間の電
界が充分でなくなってしまうことを見出した。
That is, when the pixel electrode is arranged to be close to the video signal line to some extent, most of the electric field generated from the pixel electrode to the counter electrode side is absorbed by the video signal line side. It has been found that the electric field between the pixel electrode and the counter electrode becomes insufficient.

【0012】そして、画素電極に対して対向電極との間
に充分な電界を生じさせるために、該対向電極を画素電
極にある程度近接させて配置させた場合に、それらの間
に発生する電界は、透明基板に垂直方向の電界が大きく
なるばかりで水平方向の電界が減少してしまうことを見
出した。
In order to generate a sufficient electric field between the pixel electrode and the counter electrode, when the counter electrode is arranged to be close to the pixel electrode to some extent, the electric field generated between them is Have found that the electric field in the vertical direction only increases in the transparent substrate and the electric field in the horizontal direction decreases.

【0013】本発明は、このような事情に基づいてなさ
れたものであり、その目的は、画素電極と対向電極との
間に透明基板と平行に発生させる電界を充分に発生さ
せ、これにより表示の品質の向上を図った液晶表示装置
を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to generate a sufficient electric field between a pixel electrode and a counter electrode in parallel with a transparent substrate, thereby achieving display. It is an object of the present invention to provide a liquid crystal display device with improved quality.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下のとおりである。
SUMMARY OF THE INVENTION Among the inventions disclosed in the present application, the outline of a representative one will be briefly described.
It is as follows.

【0015】すなわち、液晶組成物を介して対向配置さ
れる第1の基板と第2の基板と、前記第1の基板面に形
成された映像信号線と、映像信号が前記映像信号線を介
して印加される少なくとも一つの画素電極と、この画素
電極と対向して配置され対向電圧が印加される少なくと
も一つの対向電極とを備え、前記画素電極と対向電極と
の間に発生される電界成分によって前記液晶組成物の光
透過率を制御する液晶表示装置において、前記互いに対
向して配置された画素電極と対向電極の間隔が、前記少
なくとも一つの電極の短手方向の電極幅を超え、前記画
素電極と前記映像信号線との間隔よりも小さいことを特
徴とするものである。
That is, a first substrate and a second substrate which are opposed to each other via a liquid crystal composition, a video signal line formed on the first substrate surface, and a video signal are transmitted through the video signal line. An electric field component generated between the pixel electrode and the counter electrode, comprising at least one pixel electrode applied to the pixel electrode and at least one counter electrode disposed opposite to the pixel electrode and applied with a counter voltage. In a liquid crystal display device that controls the light transmittance of the liquid crystal composition by the distance between the pixel electrode and the counter electrode disposed opposite to each other, exceeds the width of the at least one electrode in the lateral direction, The distance between the pixel electrode and the video signal line is smaller than the distance between the pixel electrode and the video signal line.

【0016】このように構成した液晶表示装置は、その
映像信号線に対して画素電極を上述した位置に配置させ
た場合、画素電極から対向電極側へ発生されるべく電界
が映像信号線側へ吸収されることがなくなり、画素電極
と対向電極との間に充分な電界を発生できることが確認
された。
In the liquid crystal display device configured as described above, when the pixel electrode is arranged at the above-mentioned position with respect to the video signal line, an electric field is generated from the pixel electrode to the counter electrode side so as to be generated to the video signal line side. It was confirmed that absorption was no longer performed and a sufficient electric field could be generated between the pixel electrode and the counter electrode.

【0017】そして、前記画素電極に対して対向電極を
上述した位置に配置させた場合、それらの間に発生する
電界は、透明基板に垂直方向の電界の減少が生じて水平
方向の電界が増大することが確認された。
When the opposing electrode is arranged at the above-mentioned position with respect to the pixel electrode, the electric field generated therebetween decreases the electric field in the vertical direction on the transparent substrate and increases the electric field in the horizontal direction. It was confirmed that.

【0018】このようなことから、画素電極と対向電極
との間に透明基板と平行に発生させる電界を充分に発生
させ、これにより表示の品質の向上を図ることができる
ようになる。
As described above, an electric field generated in parallel with the transparent substrate is sufficiently generated between the pixel electrode and the counter electrode, whereby the display quality can be improved.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】本発明の更に他の目的及び本発明
の更に他の特徴は図面を参照した以下の説明から明らか
となるであろう。
Other objects and features of the present invention will become apparent from the following description with reference to the drawings.

【0020】《アクティブ・マトリクス液晶表示装置》
以下、アクティブ・マトリクス方式のカラー液晶表示装
置に本発明を適用した実施例を説明する。なお、以下説
明する図面で、同一機能を有するものは同一符号を付
け、その繰り返しの説明は省略する。
<< Active matrix liquid crystal display device >>
An embodiment in which the present invention is applied to an active matrix type color liquid crystal display device will be described below. In the drawings described below, components having the same function are denoted by the same reference numerals, and repeated description thereof will be omitted.

【0021】《マトリクス部(画素部)の平面構成》図
1は本発明のアクティブ・マトリクス方式カラー液晶表
示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。
<< Planar Configuration of Matrix Part (Pixel Part) >> FIG. 1 is a plan view showing one pixel of the active matrix type color liquid crystal display device of the present invention and its periphery.

【0022】図1に示すように、各画素は走査信号線
(ゲート信号線または水平信号線)GLと、対向電圧信
号線(対向電極配線)CLと、隣接する2本の映像信号
線(ドレイン信号線または垂直信号線)DLとの交差領
域内(4本の信号線で囲まれた領域内)に配置されてい
る。各画素は薄膜トランジスタTFT、蓄積容量Cst
g、画素電極PXおよび対向電極CTを含む。走査信号
線GL、対向電圧信号線CLは図では左右方向に延在
し、上下方向に複数本配置されている。映像信号線DL
は上下方向に延在し、左右方向に複数本配置されてい
る。画素電極PXは薄膜トランジスタTFTと接続さ
れ、対向電極CTは対向電圧信号線CLと一体になって
いる。
As shown in FIG. 1, each pixel has a scanning signal line (gate signal line or horizontal signal line) GL, a counter voltage signal line (counter electrode wiring) CL, and two adjacent video signal lines (drain). The signal line or the vertical signal line) is arranged in an intersecting region with the DL (in a region surrounded by four signal lines). Each pixel is a thin film transistor TFT, a storage capacitor Cst
g, the pixel electrode PX and the counter electrode CT. The scanning signal lines GL and the counter voltage signal lines CL extend in the left-right direction in FIG. Video signal line DL
Extend in the up-down direction and are arranged in a plurality in the left-right direction. The pixel electrode PX is connected to the thin film transistor TFT, and the counter electrode CT is integrated with the counter voltage signal line CL.

【0023】映像信号線DLに沿って上下に隣接する2
画素では、図1A線で折曲げたとき、平面構成が重なり
合う構成となっている。これは、対向電圧信号線CLを
映像信号線DLに沿って上下に隣接する2画素で共通化
し、対向電圧信号線CLの電極幅を拡大することによ
り、対向電圧信号線CLの抵抗を低減するためである。
これにより、外部回路から左右方向の各画素の対向電極
CTへ対向電圧を十分に供給することが容易になる。
2 vertically adjacent to each other along the video signal line DL.
The pixel has a configuration in which the planar configuration overlaps when bent along the line in FIG. 1A. This is because the opposing voltage signal line CL is shared by two vertically adjacent pixels along the video signal line DL, and the electrode width of the opposing voltage signal line CL is increased, thereby reducing the resistance of the opposing voltage signal line CL. That's why.
This makes it easy to sufficiently supply a counter voltage from the external circuit to the counter electrode CT of each pixel in the left-right direction.

【0024】画素電極PXと対向電極CTは互いに対向
し、各画素電極PXと対向電極CTとの間の電界により
液晶LCの光学的な状態を制御し、表示を制御する。画
素電極PXと対向電極CTは櫛歯状に構成され、それぞ
れ、図の上下方向に長細い電極となっている。
The pixel electrode PX and the counter electrode CT face each other, and the electric state between each pixel electrode PX and the counter electrode CT controls the optical state of the liquid crystal LC to control the display. The pixel electrode PX and the counter electrode CT are formed in a comb shape, and each is an electrode that is elongated in the vertical direction in the figure.

【0025】1画素内の対向電極CTの本数O(櫛歯の
本数)は、画素電極PXの本数(櫛歯の本数)PとO=
P+1の関係を必ず持つように構成する(本実施例で
は、O=3、P=2)。これは、対向電極CTと画素電
極PXを交互に配置し、かつ、対向電極CTを映像信号
線DLに必ず隣接させるためである。これにより、対向
電極CTと画素電極PXの間の電界が、映像信号線DL
から発生する電界から影響を受けないように、対向電極
CTで映像信号線DLからの電気力線をシールドするこ
とができる。対向電極CTは、後述の対向電圧信号線C
Lにより常に外部から電位を供給されているため、電位
は安定している。そのため、映像信号線DLに隣接して
も、電位の変動がほとんどない。また、これにより、画
素電極PXの映像信号線DLからの幾何学的な位置が遠
くなるので、画素電極PXと映像信号線DLの間の寄生
容量が大幅に減少し、画素電極電位Vsの映像信号電圧
による変動も抑制できる。これらにより、上下方向に発
生するクロストーク(縦スミアと呼ばれる画質不良)を
抑制することができる。
The number O (number of comb teeth) of the counter electrode CT in one pixel is equal to the number P (number of comb teeth) of the pixel electrode PX and O =
It is configured to always have the relationship of P + 1 (O = 3, P = 2 in this embodiment). This is because the counter electrode CT and the pixel electrode PX are alternately arranged, and the counter electrode CT is always adjacent to the video signal line DL. As a result, the electric field between the counter electrode CT and the pixel electrode PX is changed to the video signal line DL.
The lines of electric force from the video signal line DL can be shielded by the counter electrode CT so as not to be affected by the electric field generated from. The counter electrode CT is connected to a counter voltage signal line C described later.
Since the potential is always supplied from the outside by L, the potential is stable. Therefore, there is almost no change in potential even adjacent to the video signal line DL. In addition, since the geometrical position of the pixel electrode PX from the video signal line DL is farther away, the parasitic capacitance between the pixel electrode PX and the video signal line DL is greatly reduced, and the image of the pixel electrode potential Vs Fluctuation due to the signal voltage can also be suppressed. Thus, crosstalk (defective image quality called vertical smear) occurring in the vertical direction can be suppressed.

【0026】画素電極PXと対向電極CTの電極幅Wp、
Wcはそれぞれ6μmとし、後述の液晶層の最大設定厚み
を超える4.5μmよりも十分大きく設定する。製造上の
加工ばらつきを考慮すると20%以上のマージンを持っ
たほうが好ましいので、望ましくは5.4μmよりも十分
大きくしたほうが良い。これにより、液晶層に印加され
る基板面に平行な電界成分が基板面に垂直な方向の電界
成分よりも大きくなり、液晶を駆動する電圧の上昇を抑
制することができる。また、各電極の電極幅Wp、Wcの最
大値は、画素電極PXと対向電極CTの間の間隔Lより
も小さい事が好ましい。これは、電極の間隔の値が大き
すぎると電気力線の湾曲が激しくなり、基板面に平行な
電界成分よりも基板面に垂直な電界成分の方が大きい領
域が増大するため、基板面に平行な電界成分を効率よく
液晶層に印加できないからである。したがって、画素電
極PXと対向電極CTの間の間隔Lはマージンを20%
とると7.2μmより大きい事が必要である。本実施例で
は、対角10.4インチ640×480ドットの解像度
で構成したので、画素ピッチは110μmであり、画素
を4分割とすることにより、間隔L>7.2μmを実現し
た。(画素を8分割以下にすることにより、間隔L>7.
2μmを満足できる。一方、10分割以上の時、間隔Lは
7μm以下となり、条件を満足しない。)また、映像信
号線DLの電極幅は断線を防止するために、画素電極P
Xと対向電極CTに比較して若干広く8μmとし、映像
信号線DLと対向電極CTとの間隔は短絡を防止するた
めに1μmの間隔を開けた。ここで、映像信号線DLの
電極幅が、隣接する対向電極CTの電極幅の2倍以下に
なるように設定する。または、映像信号線DLの電極幅
が歩留りの生産性から決まっている場合には、映像信号
線DLに隣接する対向電極CTの電極幅を映像信号線D
Lの電極幅の1/2以上にする。これは、映像信号線D
Lから発生する電気力線をそれぞれ両脇の対向電極CT
で吸収するためであり、ある電極幅から発生する電気力
線を吸収するには、それと同一幅以上の電極幅を持つ電
極が必要である。したがって、映像信号線DLの電極の
半分(4μmずつ)から発生する電気力線をそれぞれ両
脇の対向電極CTが吸収すればよいため、映像信号線D
Lに隣接する対向電極CTの電極幅が1/2以上とす
る。これにより、映像信号の影響によるクロストーク、
(特に上下方向(縦方向)のクロストーク)を防止す
る。
The electrode width Wp of the pixel electrode PX and the counter electrode CT,
Each Wc is set to 6 μm, which is set to be sufficiently larger than 4.5 μm which exceeds the maximum set thickness of the liquid crystal layer described later. It is preferable to have a margin of 20% or more in consideration of processing variations in manufacturing. Therefore, it is preferable that the width be sufficiently larger than 5.4 μm. Thus, the electric field component applied to the liquid crystal layer parallel to the substrate surface becomes larger than the electric field component in the direction perpendicular to the substrate surface, so that an increase in the voltage for driving the liquid crystal can be suppressed. It is preferable that the maximum value of the electrode widths Wp and Wc of each electrode is smaller than the distance L between the pixel electrode PX and the counter electrode CT. This is because if the distance between the electrodes is too large, the curvature of the lines of electric force becomes too strong, and the area where the electric field component perpendicular to the substrate surface is larger than the electric field component parallel to the substrate surface increases. This is because a parallel electric field component cannot be efficiently applied to the liquid crystal layer. Therefore, the interval L between the pixel electrode PX and the counter electrode CT has a margin of 20%.
It is necessary that it be larger than 7.2 μm. In the present embodiment, the resolution is 10.4 inches diagonally 640 × 480 dots. Therefore, the pixel pitch is 110 μm, and by dividing the pixels into four, the interval L> 7.2 μm is realized. (By dividing the pixel into eight or less, the interval L> 7.
2 μm can be satisfied. On the other hand, when the distance is 10 or more, the interval L is 7 μm or less, which does not satisfy the condition. In addition, the electrode width of the video signal line DL is set to the pixel electrode P in order to prevent disconnection.
X is set to 8 μm, which is slightly wider than that of the counter electrode CT, and the interval between the video signal line DL and the counter electrode CT is set to 1 μm to prevent a short circuit. Here, the electrode width of the video signal line DL is set to be equal to or less than twice the electrode width of the adjacent counter electrode CT. Alternatively, when the electrode width of the video signal line DL is determined from the productivity of the yield, the electrode width of the counter electrode CT adjacent to the video signal line DL is changed to the video signal line D.
Make the width of the electrode L equal to or more than 電極. This is the video signal line D
The lines of electric force generated from L
In order to absorb a line of electric force generated from a certain electrode width, an electrode having an electrode width equal to or larger than that is necessary. Accordingly, the counter electrodes CT on both sides only need to absorb electric lines of force generated from half (4 μm each) of the electrodes of the video signal line DL.
The electrode width of the counter electrode CT adjacent to L is 以上 or more. As a result, crosstalk due to the influence of the video signal,
(Particularly crosstalk in the vertical direction (vertical direction)) is prevented.

【0027】走査信号線GLは末端側の画素(後述の走
査電極端子GTMの反対側)のゲート電極GTに十分に
走査電圧が印加するだけの抵抗値を満足するように電極
幅を設定する。また、対向電圧信号線CLも末端側の画
素(後述の共通バスラインCBの反対側)の対向電極C
Tに十分に対向電圧が印加できるだけの抵抗値を満足す
るように電極幅を設定する。
The width of the scanning signal line GL is set so as to satisfy a resistance value sufficient to apply a scanning voltage to the gate electrode GT of the pixel on the terminal side (opposite to a scanning electrode terminal GTM described later). Further, the counter voltage signal line CL is also connected to the counter electrode C of the terminal pixel (the opposite side of the common bus line CB described later).
The electrode width is set so as to satisfy a resistance value enough to apply a common voltage to T.

【0028】一方、画素電極PXと対向電極CTの間の
電極間隔は、用いる液晶材料によって変える。これは、
液晶材料によって最大透過率を達成する電界強度が異な
るため、電極間隔を液晶材料に応じて設定し、用いる映
像信号駆動回路(信号側ドライバ)の耐圧で設定される
信号電圧の最大振幅の範囲で、最大透過率が得られるよ
うにするためである。後述の液晶材料を用いると電極間
隔は、16μmとなる。
On the other hand, the electrode interval between the pixel electrode PX and the counter electrode CT changes depending on the liquid crystal material used. this is,
Since the electric field strength that achieves the maximum transmittance varies depending on the liquid crystal material, the electrode spacing is set according to the liquid crystal material, and within the range of the maximum amplitude of the signal voltage set by the withstand voltage of the video signal driving circuit (signal side driver) used. , So that the maximum transmittance can be obtained. When a liquid crystal material described later is used, the electrode interval is 16 μm.

【0029】《マトリクス部(画素部)の断面構成》図
2は図1の3−3切断線における断面を示す図、図3は
図1の4−4切断線における薄膜トランジスタTFTの
断面図、図4は図1の5−5切断線における蓄積容量C
stgの断面を示す図である。図2〜図4に示すように、
液晶層LCを基準にして下部透明ガラス基板SUB1側
には薄膜トランジスタTFT、蓄積容量Cstgおよび電
極群が形成され、上部透明ガラス基板SUB2側にはカ
ラーフィルタFIL、遮光用ブラックマトリクスパター
ンBMが形成されている。
<< Cross-Sectional Structure of Matrix (Pixel) >> FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line 3-3 in FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the thin film transistor TFT taken along the line 4-4 in FIG. 4 is the storage capacitance C at the section line 5-5 in FIG.
It is a figure showing the section of stg. As shown in FIGS.
On the lower transparent glass substrate SUB1 side, a thin film transistor TFT, a storage capacitor Cstg and an electrode group are formed on the side of the liquid crystal layer LC, and on the upper transparent glass substrate SUB2 side, a color filter FIL and a light shielding black matrix pattern BM are formed. I have.

【0030】また、透明ガラス基板SUB1、SUB2
のそれぞれの内側(液晶LC側)の表面には、液晶の初
期配向を制御する配向膜ORI1、ORI2が設けられ
ており、透明ガラス基板SUB1、SUB2のそれぞれ
の外側の表面には、偏光軸が直交して配置された(クロ
スニコル配置)偏光板が設けられている。
Further, the transparent glass substrates SUB1, SUB2
Are provided with alignment films ORI1 and ORI2 for controlling the initial alignment of the liquid crystal on the inner surface of each (liquid crystal LC side), and the polarizing axes are provided on the outer surfaces of the transparent glass substrates SUB1 and SUB2. A polarizing plate arranged orthogonally (crossed Nicols arrangement) is provided.

【0031】《TFT基板》まず、下側透明ガラス基板
SUB1側(TFT基板)の構成を詳しく説明する。
<< TFT Substrate >> First, the configuration of the lower transparent glass substrate SUB1 side (TFT substrate) will be described in detail.

【0032】《薄膜トランジスタTFT》薄膜トランジ
スタTFTは、ゲート電極GTに正のバイアスを印加す
ると、ソース−ドレイン間のチャネル抵抗が小さくな
り、バイアスを零にすると、チャネル抵抗は大きくなる
ように動作する。
<< Thin Film Transistor TFT >> The thin film transistor TFT operates so that the channel resistance between the source and the drain decreases when a positive bias is applied to the gate electrode GT, and the channel resistance increases when the bias is set to zero.

【0033】薄膜トランジスタTFTは、図3に示すよ
うに、ゲート電極GT、ゲート絶縁膜GI、i型(真
性、intrinsic、導電型決定不純物がドープされていな
い)非晶質シリコン(Si)からなるi型半導体層A
S、一対のソース電極SD1、ドレイン電極SD2を有
す。なお、ソース、ドレインは本来その間のバイアス極
性によって決まるもので、この液晶表示装置の回路では
その極性は動作中反転するので、ソース、ドレインは動
作中入れ替わると理解されたい。しかし、以下の説明で
は、便宜上一方をソース、他方をドレインと固定して表
現する。
As shown in FIG. 3, the thin film transistor TFT has a gate electrode GT, a gate insulating film GI, and an i-type (intrinsic, intrinsic, not doped with conductivity type determining impurities) amorphous silicon (Si). Type semiconductor layer A
S, a pair of source electrode SD1 and drain electrode SD2. It should be understood that the source and the drain are originally determined by the bias polarity between them, and in the circuit of this liquid crystal display device, the polarity is inverted during the operation, so that the source and the drain are interchanged during the operation. However, in the following description, one is fixed and the other is fixed as a drain for convenience.

【0034】《ゲート電極GT》ゲート電極GTは走査
信号線GLと連続して形成されており、走査信号線GL
の一部の領域がゲート電極GTとなるように構成されて
いる。ゲート電極GTは薄膜トランジスタTFTの能動
領域を超える部分であり、i型半導体層ASを完全に覆
うよう(下方からみて)それより大きめに形成されてい
る。これにより、ゲート電極GTの役割のほかに、i型
半導体層ASに外光やバックライト光が当たらないよう
に工夫されている。本例では、ゲート電極GTは、単層
の導電膜g1で形成されている。導電膜g1としては例
えばスパッタで形成されたアルミニュウム(Al)膜が
用いられ、その上にはAlの陽極酸化膜AOFが設けら
れている。
<< Gate Electrode GT >> The gate electrode GT is formed continuously with the scanning signal line GL.
Is configured to be a gate electrode GT. The gate electrode GT is a portion exceeding the active region of the thin film transistor TFT, and is formed larger than that so as to completely cover the i-type semiconductor layer AS (as viewed from below). Thereby, in addition to the role of the gate electrode GT, a device is devised so that external light and backlight do not hit the i-type semiconductor layer AS. In this example, the gate electrode GT is formed of a single-layer conductive film g1. As the conductive film g1, for example, an aluminum (Al) film formed by sputtering is used, and an anodic oxide film AOF of Al is provided thereon.

【0035】《走査信号線GL》走査信号線GLは導電
膜g1で構成されている。この走査信号線GLの導電膜
g1はゲート電極GTの導電膜g1と同一製造工程で形
成され、かつ一体に構成されている。この走査信号線G
Lにより、外部回路からゲート電圧Vgをゲート電極G
Tに供給する。また、走査信号線GL上にもAlの陽極
酸化膜AOFが設けられている。なお、映像信号線DL
と交差する部分は映像信号線DLとの短絡の確率を小さ
くするため細くし、また、短絡しても、レーザートリミ
ングで切り離すことができるように二股にしている。
<< Scanning Signal Line GL >> The scanning signal line GL is formed of the conductive film g1. The conductive film g1 of the scanning signal line GL is formed in the same manufacturing process as the conductive film g1 of the gate electrode GT, and is integrally formed. This scanning signal line G
L, the gate voltage Vg is applied from an external circuit to the gate electrode G.
Supply to T. An anodic oxide film AOF of Al is also provided on the scanning signal line GL. Note that the video signal line DL
The portion that intersects with the video signal line DL is made thin in order to reduce the probability of short-circuiting with the video signal line DL, and is made bifurcated so that even if it is short-circuited, it can be separated by laser trimming.

【0036】《対向電極CT》対向電極CTはゲート電
極GTおよび走査信号線GLと同層の導電膜g1で構成
されている。また、対向電極CT上にもAlの陽極酸化
膜AOFが設けられている。対向電極CTは、陽極酸化
膜AOFで完全に覆われていることから、映像信号線と
限りなく近づけても、それらが短絡してしまうことがな
くなる。また、それらを交差させて構成させることもで
きる。対向電極CTには対向電圧Vcomが印加されるよ
うに構成されている。本実施例では、対向電圧Vcomは
映像信号線DLに印加される最小レベルの駆動電圧Vd
minと最大レベルの駆動電圧Vdmaxとの中間直流電位か
ら、薄膜トランジスタ素子TFTをオフ状態にするとき
に発生するフィードスルー電圧△Vs分だけ低い電位に
設定されるが、映像信号駆動回路で使用される集積回路
の電源電圧を約半分に低減したい場合は、交流電圧を印
加すれば良い。
<< Counter Electrode CT >> The counter electrode CT is formed of the same conductive film g1 as the gate electrode GT and the scanning signal line GL. An Al anodic oxide film AOF is also provided on the counter electrode CT. Since the counter electrode CT is completely covered with the anodic oxide film AOF, even if the counter electrode CT is brought as close as possible to the video signal line, they are not short-circuited. Further, they may be configured to cross each other. The counter electrode CT is configured to apply a counter voltage Vcom. In this embodiment, the counter voltage Vcom is the minimum level drive voltage Vd applied to the video signal line DL.
From the intermediate DC potential between min and the maximum drive voltage Vdmax, the potential is set to a potential lower by a feedthrough voltage ΔVs generated when the thin film transistor element TFT is turned off, but is used in a video signal drive circuit. When it is desired to reduce the power supply voltage of the integrated circuit to about half, an AC voltage may be applied.

【0037】《対向電圧信号線CL》対向電圧信号線C
Lは導電膜g1で構成されている。この対向電圧信号線
CLの導電膜g1はゲート電極GT、走査信号線GLお
よび対向電極CTの導電膜g1と同一製造工程で形成さ
れ、かつ対向電極CTと一体に構成されている。この対
向電圧信号線CLにより、外部回路から対向電圧Vcom
を対向電極CTに供給する。また、対向電圧信号線CL
上にもAlの陽極酸化膜AOFが設けられている。な
お、映像信号線DLと交差する部分は、走査信号線GL
と同様に映像信号線DLとの短絡の確率を小さくするた
め細くし、また、短絡しても、レーザートリミングで切
り離すことができるように二股にしている。
<< Counter Voltage Signal Line CL >> Counter Voltage Signal Line C
L is composed of the conductive film g1. The conductive film g1 of the counter voltage signal line CL is formed in the same manufacturing process as the conductive film g1 of the gate electrode GT, the scanning signal line GL, and the counter electrode CT, and is formed integrally with the counter electrode CT. The opposing voltage signal line CL allows the opposing voltage Vcom
Is supplied to the counter electrode CT. Also, the counter voltage signal line CL
An anodic oxide film AOF of Al is also provided thereon. The portion that intersects with the video signal line DL is the scanning signal line GL.
In the same manner as described above, the width is made thinner in order to reduce the probability of short-circuiting with the video signal line DL, and it is made bifurcated so that even if it is short-circuited, it can be separated by laser trimming.

【0038】《絶縁膜GI》絶縁膜GIは、薄膜トラン
ジスタTFTにおいて、ゲート電極GTと共に半導体層
ASに電界を与えるためのゲート絶縁膜として使用され
る。絶縁膜GIはゲート電極GTおよび走査信号線GL
の上層に形成されている。絶縁膜GIとしては例えばプ
ラズマCVDで形成された窒化シリコン膜が選ばれ、1
200〜2700Åの厚さに(本実施例では、2400
Å程度)形成される。ゲート絶縁膜GIは、マトリクス
部ARの全体を囲むように形成され、周辺部は外部接続
端子DTM,GTMを露出するよう除去されている。絶
縁膜GIは走査信号線GLおよび対向電圧信号線CLと
映像信号線DLの電気的絶縁にも寄与している。
<< Insulating Film GI >> The insulating film GI is used as a gate insulating film for applying an electric field to the semiconductor layer AS together with the gate electrode GT in the thin film transistor TFT. The insulating film GI includes the gate electrode GT and the scanning signal line GL.
Is formed in the upper layer. As the insulating film GI, for example, a silicon nitride film formed by plasma CVD is selected.
In a thickness of 200 to 2700 ° (in this embodiment, 2400
Å) formed. The gate insulating film GI is formed so as to surround the entire matrix part AR, and the peripheral part is removed so as to expose the external connection terminals DTM and GTM. The insulating film GI also contributes to electrical insulation between the scanning signal line GL and the counter voltage signal line CL and the video signal line DL.

【0039】《i型半導体層AS》i型半導体層AS
は、非晶質シリコンで、200〜2200Åの厚さに
(本実施例では、2000Å程度の膜厚)で形成され
る。層d0はオーミックコンタクト用のリン(P)をド
ープしたN(+)型非晶質シリコン半導体層であり、下側
にi型半導体層ASが存在し、上側に導電層d1(d
2)が存在するところのみに残されている。
<< i-type semiconductor layer AS >> i-type semiconductor layer AS
Is amorphous silicon and is formed to a thickness of 200 to 2200 ° (in this embodiment, a film thickness of about 2000 °). The layer d0 is an N (+)-type amorphous silicon semiconductor layer doped with phosphorus (P) for ohmic contact. The i-type semiconductor layer AS is present on the lower side, and the conductive layer d1 (d
2) is left only where it exists.

【0040】i型半導体層ASは走査信号線GLおよび
対向電圧信号線CLと映像信号線DLとの交差部(クロ
スオーバ部)の両者間にも設けられている。この交差部
のi型半導体層ASは交差部における走査信号線GLお
よび対向電圧信号線CLと映像信号線DLとの短絡を低
減する。
The i-type semiconductor layer AS is also provided between the scanning signal line GL and the intersection (crossover portion) between the counter voltage signal line CL and the video signal line DL. The i-type semiconductor layer AS at the intersection reduces a short circuit between the scanning signal line GL and the counter voltage signal line CL and the video signal line DL at the intersection.

【0041】《ソース電極SD1、ドレイン電極SD
2》ソース電極SD1、ドレイン電極SD2のそれぞれ
は、N(+)型半導体層d0に接触する導電膜d1とその
上に形成された導電膜d2とから構成されている。
<< Source electrode SD1, Drain electrode SD
2 >> Each of the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 is composed of a conductive film d1 in contact with the N (+) type semiconductor layer d0 and a conductive film d2 formed thereon.

【0042】導電膜d1はスパッタで形成したクロム
(Cr)膜を用い、500〜1000Åの厚さに(本実
施例では、600Å程度)で形成される。Cr膜は膜厚
を厚く形成するとストレスが大きくなるので、2000
Å程度の膜厚を越えない範囲で形成する。Cr膜はN
(+)型半導体層d0との接着性を良好にし、導電膜d2
のAlがN(+)型半導体層d0に拡散することを防止す
る(いわゆるバリア層の)目的で使用される。導電膜d
1として、Cr膜の他に高融点金属(Mo、Ti、T
a、W)膜、高融点金属シリサイド(MoSi2、Ti
Si2、TaSi2、WSi2)膜を用いてもよい。
The conductive film d1 is formed of a chromium (Cr) film formed by sputtering and having a thickness of 500 to 1000 ° (about 600 ° in this embodiment). When the Cr film is formed with a large thickness, the stress becomes large.
The film is formed in a range not exceeding about 膜厚. Cr film is N
The adhesion to the (+) type semiconductor layer d0 is improved, and the conductive film d2 is formed.
Is used for the purpose of preventing Al from diffusing into the N (+) type semiconductor layer d0 (so-called barrier layer). Conductive film d
In addition to the Cr film, refractory metals (Mo, Ti, T
a, W) film, refractory metal silicide (MoSi 2 , Ti)
Si 2 , TaSi 2 , WSi 2 ) film may be used.

【0043】導電膜d2はAlのスパッタリングで30
00〜5000Åの厚さに(本実施例では、4000Å
程度)形成される。Al膜はCr膜に比べてストレスが
小さく、厚い膜厚に形成することが可能で、ソース電極
SD1、ドレイン電極SD2および映像信号線DLの抵
抗値を低減したり、ゲート電極GTやi型半導体層AS
に起因する段差乗り越えを確実にする(ステップカバー
レッジを良くする)働きがある。
The conductive film d2 is formed by sputtering Al
To a thickness of 00 to 5000 mm (in this embodiment, 4000 mm).
Degree) is formed. The Al film has a smaller stress than the Cr film and can be formed to have a large thickness, and can reduce the resistance values of the source electrode SD1, the drain electrode SD2 and the video signal line DL, and can reduce the gate electrode GT and the i-type semiconductor. Layer AS
Has the function of ensuring that the vehicle gets over a step (improves step coverage).

【0044】導電膜d1、導電膜d2を同じマスクパタ
ーンでパターニングした後、同じマスクを用いて、ある
いは導電膜d1、導電膜d2をマスクとして、N(+)型
半導体層d0が除去される。つまり、i型半導体層AS
上に残っていたN(+)型半導体層d0は導電膜d1、導
電膜d2以外の部分がセルファラインで除去される。こ
のとき、N(+)型半導体層d0はその厚さ分は全て除去
されるようエッチングされるので、i型半導体層ASも
若干その表面部分がエッチングされるが、その程度はエ
ッチング時間で制御すればよい。
After patterning the conductive films d1 and d2 with the same mask pattern, the N (+) type semiconductor layer d0 is removed using the same mask or using the conductive films d1 and d2 as a mask. That is, the i-type semiconductor layer AS
In the N (+) type semiconductor layer d0 remaining above, portions other than the conductive films d1 and d2 are removed by self-alignment. At this time, since the N (+)-type semiconductor layer d0 is etched so as to entirely remove the thickness thereof, the surface of the i-type semiconductor layer AS is also slightly etched, but the degree is controlled by the etching time. do it.

【0045】《映像信号線DL》映像信号線DLはソー
ス電極SD1、ドレイン電極SD2と同層の第2導電膜
d2、第3導電膜d3で構成されている。また、映像信
号線DLはドレイン電極SD2と一体に形成されてい
る。
<< Video Signal Line DL >> The video signal line DL is composed of the second conductive film d2 and the third conductive film d3 in the same layer as the source electrode SD1 and the drain electrode SD2. The video signal line DL is formed integrally with the drain electrode SD2.

【0046】《画素電極PX》画素電極PXはソース電
極SD1、ドレイン電極SD2と同層の第2導電膜d
2、第3導電膜d3で構成されている。また、画素電極
PXはソース電極SD1と一体に形成されている。
<< Pixel Electrode PX >> The pixel electrode PX is a second conductive film d of the same layer as the source electrode SD1 and the drain electrode SD2.
2, the third conductive film d3. Further, the pixel electrode PX is formed integrally with the source electrode SD1.

【0047】《蓄積容量Cstg》画素電極PXは、薄膜
トランジスタTFTと接続される端部と反対側の端部に
おいて、対向電圧信号線CLと重なるように形成されて
いる。この重ね合わせは、図4からも明らかなように、
画素電極PXを一方の電極PL2とし、対向電圧信号C
Lを他方の電極PL1とする蓄積容量(静電容量素子)
Cstgを構成する。この蓄積容量Cstgの誘電体膜は、薄
膜トランジスタTFTのゲート絶縁膜として使用される
絶縁膜GIおよび陽極酸化膜AOFで構成されている。
<< Storage Capacitor Cstg >> The pixel electrode PX is formed so as to overlap the counter voltage signal line CL at the end opposite to the end connected to the thin film transistor TFT. This superposition is clear from FIG.
The pixel electrode PX is used as one electrode PL2, and the counter voltage signal C
Storage capacitance (capacitance element) where L is the other electrode PL1
Construct Cstg. The dielectric film of the storage capacitor Cstg includes an insulating film GI used as a gate insulating film of the thin film transistor TFT and an anodic oxide film AOF.

【0048】図1に示すように平面的には蓄積容量Cst
gは対向電圧信号線CLの導電膜g1の幅を広げた部分
に形成されている。
As shown in FIG. 1, the storage capacitance Cst
g is formed at a portion where the width of the conductive film g1 of the counter voltage signal line CL is increased.

【0049】この場合、この蓄積容量Cstgは、その絶
縁膜GIに対して下側に位置づけられる電極の材料がA
lで形成され、かつ、その表面が陽極化成されたもので
あることから、Alのいわゆるホイスカ等が原因する点
欠陥(上側に位置づけられる電極との短絡)による弊害
を発生しにくくする蓄積容量を得ることができる。
In this case, the storage capacitor Cstg is formed by the material of the electrode positioned below the insulating film GI.
1 and the surface thereof is anodized, so that the storage capacitance which makes it difficult to cause adverse effects due to point defects (short-circuit with the electrode positioned on the upper side) caused by so-called whiskers of Al or the like. Obtainable.

【0050】《保護膜PSV1》薄膜トランジスタTF
T上には保護膜PSV1が設けられている。保護膜PS
V1は主に薄膜トランジスタTFTを湿気等から保護す
るために形成されており、透明性が高くしかも耐湿性の
良いものを使用する。保護膜PSV1はたとえばプラズ
マCVD装置で形成した酸化シリコン膜や窒化シリコン
膜で形成されており、1μm程度の膜厚で形成する。
<< Protective Film PSV1 >> Thin Film Transistor TF
On T, a protective film PSV1 is provided. Protective film PS
V1 is formed mainly to protect the thin film transistor TFT from moisture and the like, and uses a material having high transparency and good moisture resistance. The protective film PSV1 is formed of, for example, a silicon oxide film or a silicon nitride film formed by a plasma CVD apparatus, and has a thickness of about 1 μm.

【0051】保護膜PSV1は、マトリクス部ARの全
体を囲むように形成され、周辺部は外部接続端子DT
M,GTMを露出するよう除去されている。保護膜PS
V1とゲート絶縁膜GIの厚さ関係に関しては、前者は
保護効果を考え厚くされ、後者はトランジスタの相互コ
ンダクタンスgmを薄くされる。従って、保護効果の高
い保護膜PSV1は周辺部もできるだけ広い範囲に亘っ
て保護するようゲート絶縁膜GIよりも大きく形成され
ている。
The protective film PSV1 is formed so as to surround the entire matrix portion AR, and the peripheral portion has an external connection terminal DT.
M and GTM have been removed to expose. Protective film PS
Regarding the relationship between V1 and the thickness of the gate insulating film GI, the former is made thicker in consideration of the protection effect, and the latter is made smaller in the transconductance gm of the transistor. Therefore, the protective film PSV1 having a high protective effect is formed larger than the gate insulating film GI so as to protect the peripheral portion as much as possible.

【0052】《カラーフィルタ基板》次に、図1、図2
に戻り、上側透明ガラス基板SUB2側(カラーフィル
タ基板)の構成を詳しく説明する。
<< Color Filter Substrate >> Next, FIGS. 1 and 2
Returning to, the configuration of the upper transparent glass substrate SUB2 side (color filter substrate) will be described in detail.

【0053】《遮光膜BM》上部透明ガラス基板SUB
2側には、不要な間隙部(画素電極PXと対向電極CT
の間以外の隙間)からの透過光が表示面側に出射して、
コントラスト比等を低下させないように遮光膜BM(い
わゆるブラックマトリクス)を形成している。遮光膜B
Mは、外部光またはバックライト光がi型半導体層AS
に入射しないようにする役割も果たしている。すなわ
ち、薄膜トランジスタTFTのi型半導体層ASは上下
にある遮光膜BMおよび大きめのゲート電極GTによっ
てサンドイッチにされ、外部の自然光やバックライト光
が当たらなくなる。
<< Light shielding film BM >> Upper transparent glass substrate SUB
On the second side, an unnecessary gap (pixel electrode PX and counter electrode CT)
Transmitted light from the gap other than the gap between
A light-shielding film BM (a so-called black matrix) is formed so as not to lower the contrast ratio and the like. Light shielding film B
M indicates that the external light or the backlight light is the i-type semiconductor layer AS
It also plays a role in preventing light from entering. That is, the i-type semiconductor layer AS of the thin film transistor TFT is sandwiched between the upper and lower light-shielding films BM and the large gate electrode GT, so that external natural light or backlight does not shine.

【0054】図1に示す遮光膜BMの閉じた多角形の輪
郭線は、その内側が遮光膜BMが形成されない開口を示
している。この輪郭線のパターンは、1例であり、より
開口部分を大きくする場合には、図19の様にすること
もできる。図19中のAの領域は電界方向が乱れるが、
その部分の表示は、画素内の映像情報に1対1で対応
し、かつ、黒の場合には黒、白の場合には白になるた
め、表示の一部として利用することが可能である。ま
た、図の上下方向の境界線は上下基板の合わせ精度によ
って決まり、合わせ精度が映像信号線DLに隣接する対
向電極CTの電極幅よりも良い場合には、対向電極の幅
の間に設定すれば、より開口部を拡大することができ
る。
The closed polygonal outline of the light-shielding film BM shown in FIG. 1 indicates an opening in which the light-shielding film BM is not formed. This contour pattern is an example, and when the opening portion is further enlarged, it is also possible to use a pattern as shown in FIG. In the region A in FIG. 19, the direction of the electric field is disturbed.
The display of that portion corresponds to the video information in the pixel on a one-to-one basis, and is black as black and white as white, so that it can be used as a part of the display. . Also, the vertical boundary in the figure is determined by the alignment accuracy of the upper and lower substrates, and if the alignment accuracy is better than the electrode width of the counter electrode CT adjacent to the video signal line DL, it is set between the widths of the counter electrodes. If this is the case, the opening can be further enlarged.

【0055】遮光膜BMは光に対する遮蔽性を有し、か
つ、画素電極PXと対向電極CTの間の電界に影響を与
えないように絶縁性の高い膜で形成されている。このよ
うにすることにより、基板面に平行な電界が有効に液晶
層に印加され、液晶を駆動する電圧の上昇を抑制でき
る。この遮光膜BMの材料として、たとえば、黒色の顔
料をレジスト材に混入したものを用い、1.2μm程度の
厚さで形成している。また、他の実施例として、パラジ
ウムおよび無電解メッキしたNiをレジスト材に混入さ
せたものも使用することができる。
The light-shielding film BM is formed of a film having a light-shielding property and a high insulating property so as not to affect the electric field between the pixel electrode PX and the counter electrode CT. By doing so, an electric field parallel to the substrate surface is effectively applied to the liquid crystal layer, and a rise in the voltage for driving the liquid crystal can be suppressed. As a material of the light-shielding film BM, for example, a material obtained by mixing a black pigment into a resist material is used, and is formed with a thickness of about 1.2 μm. Further, as another embodiment, a material in which palladium and electroless plated Ni are mixed in a resist material can be used.

【0056】そして、このようにした場合、画素電極P
Xと対向電極CTとの間隔をある程度大きくすることが
できるので、開口率の向上が図れるという効果も奏す
る。
In this case, the pixel electrode P
Since the distance between X and the counter electrode CT can be increased to some extent, there is also an effect that the aperture ratio can be improved.

【0057】遮光膜BMは各画素の周囲に格子状に形成
され、この格子で1画素の有効表示領域が仕切られてい
る。従って、各画素の輪郭が遮光膜BMによって明確に
なる。つまり、遮光膜BMはブラックマトリクスとi型
半導体層ASに対する遮光との2つの機能をもつ。
The light-shielding film BM is formed in a grid around each pixel, and an effective display area of one pixel is partitioned by the grid. Therefore, the outline of each pixel becomes clear by the light shielding film BM. That is, the light shielding film BM has two functions of a black matrix and light shielding for the i-type semiconductor layer AS.

【0058】遮光膜BMは周辺部にも額縁状に形成さ
れ、そのパターンはドット状に複数の開口を設けた図1
に示すマトリクス部のパターンと連続して形成されてい
る。周辺部の遮光膜BMは、シール部SLの外側に延長
され、パソコン等の実装機に起因する反射光等の漏れ光
がマトリクス部に入り込むのを防いでいる。他方、この
遮光膜BMは基板SUB2の縁よりも約0.3〜1.0
mm程内側に留められ、基板SUB2の切断領域を避け
て形成されている。
The light-shielding film BM is also formed in a frame shape in the peripheral portion, and its pattern is a pattern in which a plurality of openings are provided in a dot shape.
Are formed continuously with the pattern of the matrix section shown in FIG. The light-shielding film BM in the peripheral portion is extended outside the seal portion SL to prevent leakage light such as reflected light due to a mounting machine such as a personal computer from entering the matrix portion. On the other hand, the light-shielding film BM is about 0.3 to 1.0 more than the edge of the substrate SUB2.
mm, and is formed so as to avoid the cutting area of the substrate SUB2.

【0059】《カラーフィルタFIL》カラーフィルタ
FILは画素に対向する位置に赤、緑、青の繰り返しで
ストライプ状に形成される。カラーフィルタFILは遮
光膜BMのエッジ部分と重なるように形成されている。
<< Color Filter FIL >> The color filter FIL is formed in a stripe shape by repeating red, green and blue at a position facing the pixel. The color filter FIL is formed so as to overlap the edge portion of the light shielding film BM.

【0060】カラーフィルタFILは次のように形成す
ることができる。まず、上部透明ガラス基板SUB2の
表面にアクリル系樹脂等の染色基材を形成し、フォトリ
ソグラフィ技術で赤色フィルタ形成領域以外の染色基材
を除去する。この後、染色基材を赤色染料で染め、固着
処理を施し、赤色フィルタRを形成する。つぎに、同様
な工程を施すことによって、緑色フィルタG、青色フィ
ルタBを順次形成する。
The color filter FIL can be formed as follows. First, a dye base such as an acrylic resin is formed on the surface of the upper transparent glass substrate SUB2, and the dye base other than the red filter formation region is removed by photolithography. Thereafter, the dyed substrate is dyed with a red dye and subjected to a fixing treatment to form a red filter R. Next, a green filter G and a blue filter B are sequentially formed by performing a similar process.

【0061】《オーバーコート膜OC》オーバーコート
膜OCはカラーフィルタFILの染料の液晶LCへの漏
洩の防止、および、カラーフィルタFIL、遮光膜BM
による段差の平坦化のために設けられている。オーバー
コート膜OCはたとえばアクリル樹脂、エポキシ樹脂等
の透明樹脂材料で形成されている。
<< Overcoat Film OC >> The overcoat film OC prevents the dye of the color filter FIL from leaking to the liquid crystal LC, and prevents the color filter FIL and the light-shielding film BM.
It is provided for flattening the step due to the above. The overcoat film OC is formed of a transparent resin material such as an acrylic resin and an epoxy resin.

【0062】《液晶層および偏向板》次に、液晶層、配
向膜、偏光板等について説明する。
<< Liquid Crystal Layer and Polarizing Plate >> Next, the liquid crystal layer, the alignment film, the polarizing plate and the like will be described.

【0063】《液晶層》液晶材料LCとしては、誘電率
異方性△εが正でその値が13.2、屈折率異方性△n
が0.081(589nm、20℃)のネマティック液晶
と、誘電率異方性△εが負でその値が−7.3、屈折率
異方性△nが0.053(589nm、20℃)のネマテ
ィック液晶を用いた。液晶層の厚み(ギャップ)は、誘
電率異方性△εが正の場合2.8μm超4.5μm未満とし
た。これは、リタデーション△n・dは0.25μm超0.
32μm未満の時、可視光の範囲内で波長依存性がほと
んどない透過率特性を得られ、誘電率異方性△εが正を
有する液晶の大部分が複屈折異方性△nが0.07超0.
09未満であるためである。一方、誘電率異方性△εが
負の場合は、液晶層の厚み(ギャップ)は、4.2μm超
8.0μm未満とした。これは誘電率異方性△εが正の液
晶と同様に、リタデーション△n・dを0.25μm超0.
32μm未満に抑えるためで、誘電率異方性△εが負を
有する液晶の大部分が複屈折異方性△nが0.04超0.
06未満であるためである。
<< Liquid Crystal Layer >> As the liquid crystal material LC, the dielectric anisotropy Δ △ is positive and its value is 13.2, and the refractive index anisotropy Δn
Is 0.081 (589 nm, 20 ° C.), a nematic liquid crystal having a negative dielectric anisotropy Δε of -7.3 and a refractive index anisotropy Δn of 0.053 (589 nm, 20 ° C.). Was used. The thickness (gap) of the liquid crystal layer was more than 2.8 μm and less than 4.5 μm when the dielectric anisotropy Δ △ was positive. This is because the retardation Δn · d exceeds 0.25 μm.
When the thickness is less than 32 μm, transmittance characteristics having almost no wavelength dependence within the visible light range can be obtained, and most of the liquid crystals having a positive dielectric anisotropy Δ △ have a birefringence anisotropy Δn of 0.1. Over 07.
This is because it is less than 09. On the other hand, when the dielectric anisotropy Δ △ was negative, the thickness (gap) of the liquid crystal layer was set to more than 4.2 μm and less than 8.0 μm. This is because, like the liquid crystal having a positive dielectric anisotropy Δ △, the retardation Δn · d exceeds 0.25 μm.
Most of the liquid crystal having a negative dielectric anisotropy Δ △ has a birefringence anisotropy Δn of more than 0.04 to suppress the dielectric constant anisotropy Δ △ to be less than 32 μm.
It is because it is less than 06.

【0064】また、後述の配向膜と偏光板との組み合わ
せにより、液晶分子がラビング方向から電界方向に45
°回転したとき最大透過率を得ることができる。
Further, by the combination of an alignment film and a polarizing plate described later, the liquid crystal molecules are moved from the rubbing direction to the electric field direction by 45 degrees.
Maximum rotation can be obtained when rotated by °.

【0065】なお、液晶層の厚み(ギャップ)は、ポリ
マビーズで制御している。
The thickness (gap) of the liquid crystal layer is controlled by polymer beads.

【0066】なお、液晶材料LCは、ネマチック液晶で
あれば、特に限定したものではない。また、誘電率異方
性△εは、その値が大きいほうが、駆動電圧が低減でき
る。また、屈折率異方性△nは小さいほうが、液晶層の
厚み(ギャップ)を厚くでき、液晶の封入時間が短縮さ
れ、かつギャップばらつきを少なくすることができる。
The liquid crystal material LC is not particularly limited as long as it is a nematic liquid crystal. The larger the value of the dielectric anisotropy Δ △, the lower the driving voltage. Also, the smaller the refractive index anisotropy Δn, the thicker the liquid crystal layer (gap), the shorter the time for filling the liquid crystal, and the smaller the gap variation.

【0067】《配向膜》配向膜ORIとしては、ポリイ
ミドを用いる。ラビング方向RDRは上下基板で互いに
平行にし、かつ印加電界方向EDRとのなす角度は75
°とする。図20にその関係を示す。
<< Orientation Film >> Polyimide is used as the orientation film ORI. The rubbing direction RDR is parallel to the upper and lower substrates, and the angle between the rubbing direction RDR and the applied electric field direction EDR is 75.
°. FIG. 20 shows the relationship.

【0068】なお、ラビング方向RDRと印加電界方向
EDRとのなす角度は、液晶材料の誘電率異方性△εが
正であれば、45℃以上90℃未満、誘電率異方性△ε
が負であれば、0°を超え45°以下であれば良い。
The angle between the rubbing direction RDR and the applied electric field direction EDR is 45 ° C. or more and less than 90 ° C. if the dielectric anisotropy Δε of the liquid crystal material is positive.
If the value is negative, it may be more than 0 ° and 45 ° or less.

【0069】《偏光板》偏光板POLとしては、日東電
工社製G1220DUを用い、下側の偏光板POL1の
偏光透過軸MAX1をラビング方向RDRと一致させ、
上側の偏向板POL2の偏光透過軸MAX2を、それに
直交させる。図20にその関係を示す。これにより、本
発明の画素に印加される電圧(画素電極PXと対向電極
CTの間の電圧)を増加させるに伴い、透過率が上昇す
るノーマリクローズ特性を得ることができる。
<< Polarizing Plate >> As the polarizing plate POL, G1220DU manufactured by Nitto Denko Corporation was used, and the polarization transmission axis MAX1 of the lower polarizing plate POL1 was matched with the rubbing direction RDR.
The polarization transmission axis MAX2 of the upper deflection plate POL2 is made orthogonal to it. FIG. 20 shows the relationship. Accordingly, it is possible to obtain a normally closed characteristic in which the transmittance increases as the voltage (the voltage between the pixel electrode PX and the counter electrode CT) applied to the pixel of the present invention increases.

【0070】《マトリクス周辺の構成》図5は上下のガ
ラス基板SUB1,SUB2を含む表示パネルPNLの
マトリクス(AR)周辺の要部平面を示す図である。ま
た、図6は、左側に走査回路が接続されるべき外部接続
端子GTM付近の断面を、右側に外部接続端子が無いと
ころのシール部付近の断面を示す図である。
<< Structure of Matrix Peripheral >> FIG. 5 is a diagram showing a main part plane around a matrix (AR) of the display panel PNL including the upper and lower glass substrates SUB1 and SUB2. FIG. 6 is a diagram showing a cross section near the external connection terminal GTM to which the scanning circuit is to be connected on the left side, and a cross section near the seal portion where there is no external connection terminal on the right side.

【0071】このパネルの製造では、小さいサイズであ
ればスループット向上のため1枚のガラス基板で複数個
分のデバイスを同時に加工してから分割し、大きいサイ
ズであれば製造設備の共用のためどの品種でも標準化さ
れた大きさのガラス基板を加工してから各品種に合った
サイズに小さくし、いずれの場合も一通りの工程を経て
からガラスを切断する。図5、図6は後者の例を示すも
ので、図5、図6の両図とも上下基板SUB1,SUB
2の切断後を表しており、LNは両基板の切断前の縁を
示す。いずれの場合も、完成状態では外部接続端子群T
g,Tdおよび端子CTMが存在する(図で上辺と左辺
の)部分はそれらを露出するように上側基板SUB2の
大きさが下側基板SUB1よりも内側に制限されてい
る。端子群Tg,Tdはそれぞれ後述する走査回路接続
用端子GTM、映像信号回路接続用端子DTMとそれら
の引出配線部を集積回路チップCHIが搭載されたテー
プキャリアパッケージTCP(図16、図17)の単位
に複数本まとめて名付けたものである。各群のマトリク
ス部から外部接続端子部に至るまでの引出配線は、両端
に近づくにつれ傾斜している。これは、パッケージTC
Pの配列ピッチ及び各パッケージTCPにおける接続端
子ピッチに表示パネルPNLの端子DTM,GTMを合
わせるためである。また、対向電極端子CTMは、対向
電極CTに対向電圧を外部回路から与えるための端子で
ある。マトリクス部の対向電極信号線CLは、走査回路
用端子GTMの反対側(図では右側)に引き出し、各対
向電圧信号線を共通バスラインCBで一纏めにして、対
向電極端子CTMに接続している。
[0071] Any For this panel In the manufacture of, if small size divided from simultaneously processing a plurality fraction of the device in one glass substrate for increased throughput, manufacturing facilities if large size shared A glass substrate of a standardized size is processed even in a variety, and the size is reduced to a size suitable for each type. In each case, the glass is cut after passing through one process. FIGS. 5 and 6 show the latter example. Both FIGS. 5 and 6 show the upper and lower substrates SUB1 and SUB.
2 shows the state after cutting, and LN indicates the edge of both substrates before cutting. In any case, in the completed state, the external connection terminal group T
The size of the upper substrate SUB2 is limited to the inside of the lower substrate SUB1 so that g, Td, and the terminal CTM are present (the upper side and the left side in the figure) so as to expose them. The terminal groups Tg and Td are respectively provided with a scanning circuit connection terminal GTM and a video signal circuit connection terminal DTM and their lead-out wiring portions of a tape carrier package TCP (FIGS. 16 and 17) on which an integrated circuit chip CHI is mounted. The unit is named plurally. The lead wiring from the matrix section of each group to the external connection terminal section is inclined as approaching both ends. This is the package TC
This is for adjusting the terminals DTM and GTM of the display panel PNL to the arrangement pitch of P and the connection terminal pitch in each package TCP. The counter electrode terminal CTM is a terminal for applying a counter voltage to the counter electrode CT from an external circuit. The counter electrode signal line CL of the matrix section is drawn out on the opposite side (right side in the figure) of the scanning circuit terminal GTM, and the respective counter voltage signal lines are grouped together by a common bus line CB and connected to the counter electrode terminal CTM. .

【0072】透明ガラス基板SUB1、SUB2の間に
はその縁に沿って、液晶封入口INJを除き、液晶LC
を封止するようにシールパターンSLが形成される。シ
ール材は例えばエポキシ樹脂から成る。
Between the transparent glass substrates SUB1 and SUB2, along the edge thereof, except for the liquid crystal filling port INJ, the liquid crystal LC
Is formed to seal the sealing pattern SL. The sealing material is made of, for example, an epoxy resin.

【0073】配向膜ORI1、ORI2の層は、シール
パターンSLの内側に形成される。偏光板POL1、P
OL2はそれぞれ下部透明ガラス基板SUB1、上部透
明ガラス基板SUB2の外側の表面に構成されている。
液晶LCは液晶分子の向きを設定する下部配向膜ORI
1と上部配向膜ORI2との間でシールパターンSLで
仕切られた領域に封入されている。下部配向膜ORI1
は下部透明ガラス基板SUB1側の保護膜PSV1の上
部に形成される。
The layers of the orientation films ORI1 and ORI2 are formed inside the seal pattern SL. Polarizing plates POL1, P
OL2 is formed on the outer surfaces of the lower transparent glass substrate SUB1 and the upper transparent glass substrate SUB2, respectively.
The liquid crystal LC is a lower alignment film ORI for setting the direction of liquid crystal molecules.
1 and the upper alignment film ORI2 are sealed in a region partitioned by a seal pattern SL. Lower alignment film ORI1
Is formed on the protective film PSV1 on the lower transparent glass substrate SUB1 side.

【0074】この液晶表示装置は、下部透明ガラス基板
SUB1側、上部透明ガラス基板SUB2側で別個に種
々の層を積み重ね、シールパターンSLを基板SUB2
側に形成し、下部透明ガラス基板SUB1と上部透明ガ
ラス基板SUB2とを重ね合わせ、シール材SLの開口
部INJから液晶LCを注入し、注入口INJをエポキ
シ樹脂などで封止し、上下基板を切断することによって
組み立てられる。
In this liquid crystal display device, various layers are separately stacked on the lower transparent glass substrate SUB1 side and the upper transparent glass substrate SUB2 side, and the seal pattern SL is formed on the substrate SUB2.
Side, the lower transparent glass substrate SUB1 and the upper transparent glass substrate SUB2 are overlapped, liquid crystal LC is injected from the opening INJ of the sealing material SL, the injection port INJ is sealed with epoxy resin or the like, and the upper and lower substrates are sealed. Assembled by cutting.

【0075】《ゲート端子部》図7は表示マトリクスの
走査信号線GLからその外部接続端子GTMまでの接続
構造を示す図であり、(A)は平面であり(B)は
(A)のB−B切断線における断面を示している。な
お、同図は図7下方付近に対応し、斜め配線の部分は便
宜状一直線状で表した。
<< Gate Terminal Portion >> FIGS. 7A and 7B are diagrams showing a connection structure from the scanning signal line GL of the display matrix to the external connection terminal GTM, where FIG. 7A is a plane view and FIG. 7B is a view B of FIG. 4 shows a cross section taken along section line -B. This figure corresponds to the vicinity of the lower part of FIG. 7, and the diagonal wiring portion is represented by a straight line for convenience.

【0076】AOはホトレジスト直接描画の境界線、言
い換えれば選択的陽極酸化のホトレジストパターンであ
る。従って、このホトレジストは陽極酸化後除去され、
図に示すパターンAOは完成品としては残らないが、ゲ
ート配線GLには断面図に示すように酸化膜AOFが選
択的に形成されるのでその軌跡が残る。平面図におい
て、ホトレジストの境界線AOを基準にして左側はレジ
ストで覆い陽極酸化をしない領域、右側はレジストから
露出され陽極酸化される領域である。陽極酸化されたA
L層g1は表面にその酸化物Al23膜AOFが形成さ
れ下方の導電部は体積が減少する。勿論、陽極酸化はそ
の導電部が残るように適切な時間、電圧などを設定して
行われる。
AO is a border line for direct drawing of photoresist, in other words, a photoresist pattern of selective anodic oxidation. Therefore, this photoresist is removed after anodization,
The pattern AO shown in the figure does not remain as a finished product, but the locus remains because the oxide film AOF is selectively formed on the gate wiring GL as shown in the cross-sectional view. In the plan view, the left side is a region which is covered with the resist and is not anodized, and the right side is a region which is exposed from the resist and is anodized with reference to the boundary line AO of the photoresist. Anodized A
L layer g1 conductive portion of the lower formed its oxide the Al 2 O 3 film AOF on the surface volume decreases. Of course, anodic oxidation is performed by setting an appropriate time, voltage and the like so that the conductive portion remains.

【0077】図中AL層g1は、判り易くするためハッ
チを施してあるが、陽極化成されない領域は櫛状にパタ
ーニングされている。これは、Al層の幅が広いと表面
にホイスカが発生するので、1本1本の幅は狭くし、そ
れらを複数本並列に束ねた構成とすることにより、ホイ
スカの発生を防ぎつつ、断線の確率や導電率の犠牲を最
低限に押さえる狙いである。
In the figure, the AL layer g1 is hatched for easy understanding, but the region not anodized is patterned in a comb shape. This is because, when the width of the Al layer is large, whiskers are generated on the surface. Therefore, the width of each one is narrowed, and a plurality of these are bundled in parallel to prevent the generation of whiskers and disconnect the wires. The aim is to minimize the probability and conductivity sacrifice.

【0078】ゲート端子GTMはAl層g1と、更にそ
の表面を保護し、かつ、TCP(Tape Carri
er Packege)との接続の信頼性を向上させる
ための透明導電層g2とで構成されている。この透明導
電膜g2はスパッタリングで形成された透明導電膜(I
ndium−Tin−Oxide ITO:ネサ膜)か
らなり、1000〜2000Åの厚さに(本実施例で
は、1400Å程度の膜厚)形成される。またAl層g
1上及びその側面部に形成された導電層d1及びd2
は、Al層と透明導電層g2との接続不良を補うため
に、Al層と透明導電層g2の両方に接続性の良いCr
層d1を接続し、接続抵抗の低減を図るためのものであ
り、導電層d2は導電層d1と同一マスク形成している
ために残っているものである。
The gate terminal GTM protects the surface of the Al layer g1 and the surface thereof, and also has a TCP (Tape Carriage).
er Package) and a transparent conductive layer g2 for improving the reliability of connection. This transparent conductive film g2 is a transparent conductive film (I
ndium-Tin-Oxide ITO (Nesa film), and is formed to a thickness of 1000 to 2000 (in this embodiment, about 1400). Al layer g
1 and conductive layers d1 and d2 formed on side surfaces thereof
In order to compensate for poor connection between the Al layer and the transparent conductive layer g2, Cr having good connectivity to both the Al layer and the transparent conductive layer g2 is used.
This is for connecting the layer d1 to reduce the connection resistance, and the conductive layer d2 remains because the same mask as the conductive layer d1 is formed.

【0079】平面図において、ゲート絶縁膜GIはその
境界線よりも右側に、保護膜PSV1もその境界線より
も右側に形成されており、左端に位置する端子部GTM
はそれらから露出し外部回路との電気的接触ができるよ
うになっている。図では、ゲート線GLとゲート端子の
一つの対のみが示されているが、実際はこのような対が
図7に示すように上下に複数本並べられ端子群Tg(図
5)が構成され、ゲート端子の左端は、製造過程では、
基板の切断領域を越えて延長され配線SHg(図示せ
ず)によって短絡される。製造過程におけるこのような
短絡線SHgは陽極化成時の給電と、配向膜ORI1の
ラビング時等の静電破壊防止に役立つ。
In the plan view, the gate insulating film GI is formed on the right side of the boundary line, the protective film PSV1 is formed on the right side of the boundary line, and the terminal portion GTM located at the left end is formed.
Are exposed from them so that they can make electrical contact with external circuits. In the figure, only one pair of the gate line GL and the gate terminal is shown. However, in practice, a plurality of such pairs are arranged vertically as shown in FIG. 7 to form a terminal group Tg (FIG. 5). The left end of the gate terminal is
It is extended beyond the cutting area of the substrate and short-circuited by a wiring SHg (not shown). Such a short-circuit line SHg in the manufacturing process is useful for power supply during anodization and prevention of electrostatic breakdown during rubbing of the alignment film ORI1 and the like.

【0080】《ドレイン端子DTM》図8は映像信号線
DLからその外部接続端子DTMまでの接続を示す図で
あり、(A)はその平面を示し、(B)は(A)のB−
B切断線における断面を示す。なお、同図は図5右上付
近に対応し、図面の向きは便宜上変えてあるが右端方向
が基板SUB1の上端部に該当する。
<< Drain Terminal DTM >> FIGS. 8A and 8B are diagrams showing the connection from the video signal line DL to the external connection terminal DTM. FIG. 8A shows the plane, and FIG.
4 shows a cross section taken along section line B. 5 corresponds to the vicinity of the upper right of FIG. 5, and the direction of the drawing is changed for convenience, but the right end direction corresponds to the upper end of the substrate SUB1.

【0081】TSTdは検査端子でありここには外部回
路は接続されないが、プローブ針等を接触できるよう配
線部より幅が広げられている。同様に、ドレイン端子D
TMも外部回路との接続ができるよう配線部より幅が広
げられている。外部接続ドレイン端子DTMは上下方向
に配列され、ドレイン端子DTMは、図5に示すように
端子群Td(添字省略)を構成し基板SUB1の切断線
を越えて更に延長され、製造過程中は静電破壊防止のた
めその全てが互いに配線SHd(図示せず)によって短
絡される。検査端子TSTdは図8に示すように一本置
きの映像信号線DLに形成される。
TSTd is an inspection terminal to which an external circuit is not connected, but is wider than a wiring portion so that a probe needle or the like can be contacted. Similarly, the drain terminal D
The TM is also wider than the wiring part so that it can be connected to an external circuit. The external connection drain terminals DTM are vertically arranged, and the drain terminals DTM constitute a terminal group Td (subscript omitted) as shown in FIG. 5 and are further extended beyond the cutting line of the substrate SUB1. All of them are short-circuited to each other by a wiring SHd (not shown) to prevent electric breakdown. The inspection terminal TSTd is formed on every other video signal line DL as shown in FIG.

【0082】ドレイン接続端子DTMは透明導電層g2
単層で形成されており、ゲート絶縁膜GIを除去した部
分で映像信号線DLと接続されている。ゲート絶縁膜G
Iの端部上に形成された半導体層ASはゲート絶縁膜G
Iの縁をテーパ状にエッチングするためのものである。
端子DTM上では外部回路との接続を行うため保護膜P
SV1は勿論のこと取り除かれている。
The drain connection terminal DTM is a transparent conductive layer g2
It is formed of a single layer, and is connected to the video signal line DL at a portion where the gate insulating film GI is removed. Gate insulating film G
The semiconductor layer AS formed on the end of the gate insulating film G
This is for etching the edge of I into a tapered shape.
On the terminal DTM, a protective film P for connection with an external circuit is provided.
SV1 has of course been removed.

【0083】マトリクス部からドレイン端子部DTMま
での引出配線は、映像信号線DLと同じレベルの層d
1,d2が保護膜PSV1の途中まで構成されており、
保護膜PSV1の中で透明導電膜g2と接続されてい
る。これは、電触し易いAl層d2を保護膜PSV1や
シールパターンSLでできるだけ保護する狙いである。
The lead wiring from the matrix portion to the drain terminal portion DTM is a layer d of the same level as the video signal line DL.
1 and d2 are partially formed in the protective film PSV1,
The protective film PSV1 is connected to the transparent conductive film g2. This aims to protect the easily contacted Al layer d2 with the protective film PSV1 and the seal pattern SL as much as possible.

【0084】《対向電極端子CTM》図9は対向電極信
号線CLからその外部接続端子CTMまでの接続を示す
図であり、(A)はその平面を示し、(B)は(A)の
B−B切断線における断面を示す。なお、同図は図5左
上付近に対応する。
<< Counter Electrode Terminal CTM >> FIGS. 9A and 9B are diagrams showing the connection from the counter electrode signal line CL to the external connection terminal CTM. FIG. 9A is a plan view thereof, and FIG. 4 shows a cross section taken along section line -B. This figure corresponds to the vicinity of the upper left of FIG.

【0085】各対向電圧信号線CLは共通バスラインC
Bで一纏めして対向電極端子CTMに引き出されてい
る。共通バスラインCBは導電層g1の上に導電層d
1、導電層d2を積層した構造となっている。これは、
共通バスラインCBの抵抗を低減し、対向電圧が外部回
路から各対向電圧信号線CLに十分に供給されるように
するためである。これにより、対向電極CTが末端の画
素まで充分に伝達され、これら各対向電極CTの映像信
号線DLに供給される映像信号に応じた歪みによるクロ
ストーク(特に画面の左右方向のクロストーク)の発生
を低減できる。本構造では、特に新たに導電層を負荷す
ることなく、共通バスラインの抵抗を下げられるのが特
徴である。共通バスラインCBの導電層g1は導電層d
1、導電層d2と電気的に接続されるように、陽極化成
はされていない。また、ゲート絶縁膜GIからも露出し
ている。
Each common voltage signal line CL is connected to a common bus line C
B collectively leads to the counter electrode terminal CTM. The common bus line CB has a conductive layer d on the conductive layer g1.
1. A structure in which conductive layers d2 are stacked. this is,
This is to reduce the resistance of the common bus line CB so that the opposing voltage is sufficiently supplied from the external circuit to each opposing voltage signal line CL. As a result, the counter electrode CT is sufficiently transmitted to the terminal pixel, and crosstalk (particularly, crosstalk in the horizontal direction of the screen) due to distortion according to the video signal supplied to the video signal line DL of each counter electrode CT is generated. Generation can be reduced. This structure is characterized in that the resistance of the common bus line can be reduced without particularly adding a new conductive layer. The conductive layer g1 of the common bus line CB is a conductive layer d.
1. No anodization is performed so as to be electrically connected to the conductive layer d2. Also, it is exposed from the gate insulating film GI.

【0086】対向電極端子CTMは、導電層g1の上に
透明導電層g2が積層された構造になっている。透明導
電層g2により、その表面を保護し、電触等を防ぐため
に耐久性のよい透明導電層g2で、導電層g1を覆って
いる。
The counter electrode terminal CTM has a structure in which a transparent conductive layer g2 is laminated on a conductive layer g1. The transparent conductive layer g2 covers the conductive layer g1 with the durable transparent conductive layer g2 to protect the surface and prevent electric contact and the like.

【0087】なお、上述した実施例では、共通バスライ
ンCB上に導電層d1および導電層d2が積層されてい
る構成としたものであるが、必ずしもこれらの導電層に
限定されることはない。この場合においても共通バスラ
インCBの抵抗の低減化が図れるからである。
In the embodiment described above, the conductive layer d1 and the conductive layer d2 are stacked on the common bus line CB, but the present invention is not necessarily limited to these conductive layers. This is because the resistance of the common bus line CB can be reduced in this case as well.

【0088】《表示装置全体等価回路》表示マトリクス
部の等価回路とその周辺回路の結線図を図10に示す。
同図は回路図ではあるが、実際の幾何学的配置に対応し
て描かれている。ARは複数の画素を二次元状に配列し
たマトリクス・アレイである。
<< Equivalent Circuit of Entire Display Device >> FIG. 10 shows a connection diagram of an equivalent circuit of the display matrix portion and its peripheral circuits.
Although the figure is a circuit diagram, it is drawn corresponding to an actual geometric arrangement. AR is a matrix array in which a plurality of pixels are two-dimensionally arranged.

【0089】図中、Xは映像信号線DLを意味し、添字
G、BおよびRがそれぞれ緑、青および赤画素に対応し
て付加されている。Yは走査信号線GLを意味し、添字
1,2,3,…,endは走査タイミングの順序に従って
付加されている。
In the figure, X indicates a video signal line DL, and suffixes G, B and R are added corresponding to green, blue and red pixels, respectively. Y indicates the scanning signal line GL, and the suffixes 1, 2, 3,..., End are added according to the order of the scanning timing.

【0090】走査信号線Y(添字省略)は垂直走査回路
Vに接続されており、映像信号線X(添字省略)は映像
信号駆動回路Hに接続されている。
The scanning signal line Y (subscript omitted) is connected to the vertical scanning circuit V, and the video signal line X (subscript omitted) is connected to the video signal driving circuit H.

【0091】SUPは1つの電圧源から複数の分圧した
安定化された電圧源を得るための電源回路やホスト(上
位演算処理装置)からのCRT(陰極線管)用の情報を
TFT液晶表示装置用の情報に交換する回路を含む回路
である。
The SUP uses a TFT liquid crystal display device to transmit information for a CRT (cathode ray tube) from a power supply circuit for obtaining a plurality of divided and stabilized voltage sources from one voltage source or a host (upper processing unit). This is a circuit that includes a circuit that exchanges information for use.

【0092】《駆動方法》図11に本発明の液晶表示装
置の駆動波形を示す。対向電圧をVchとVclの2値の交
流矩型波にし、それに同期させて走査信号Vg(i-1)、
Vg(i)の非選択電圧を1走査期間ごとに、VglhとVg
llの2値で変化させる。対向電圧の振幅値と非選択電圧
の振幅値は同一にする。映像信号電圧は、液晶層に印加
したい電圧から、対向電圧の振幅の1/2を差し引いた
電圧である。
<< Driving Method >> FIG. 11 shows a driving waveform of the liquid crystal display device of the present invention. The opposite voltage is converted into a binary AC rectangular wave of Vch and Vcl, and the scanning signal Vg (i-1),
Vgh and Vg are applied to the non-selection voltage Vg (i) every scanning period.
It changes with two values of ll. The amplitude value of the counter voltage and the amplitude value of the non-selection voltage are the same. The video signal voltage is a voltage obtained by subtracting half of the amplitude of the counter voltage from the voltage to be applied to the liquid crystal layer.

【0093】対向電圧は直流でもよいが、交流化するこ
とで映像信号電圧の最大振幅を低減でき、映像信号駆動
回路(信号側ドライバ)に耐圧の低いものを用いること
が可能になる。
The counter voltage may be DC, but by converting it to AC, the maximum amplitude of the video signal voltage can be reduced, and a video signal drive circuit (signal side driver) having a low withstand voltage can be used.

【0094】《蓄積容量Cstgの働き》蓄積容量Cstg
は、画素に書き込まれた(薄膜トランジスタTFTがオ
フした後の)映像情報を、長く蓄積するために設ける。
本発明で用いている電界を基板面と平行に印加する方式
では、電界を基板面に垂直に印加する方式と異なり、画
素電極と対向電極で構成される容量(いわゆる液晶容
量)がほとんど無いため、蓄積容量Cstgが映像情報を
画素に蓄積することができない。したがって、電界を基
板面と平行に印加する方式では、蓄積容量Cstgは必須
の構成要素である。
<< Function of Storage Capacitance Cstg >> Storage Capacitance Cstg
Is provided in order to accumulate video information (after the thin film transistor TFT is turned off) written in the pixel for a long time.
In the method of applying an electric field parallel to the substrate surface used in the present invention, unlike the method of applying the electric field perpendicular to the substrate surface, there is almost no capacitance (so-called liquid crystal capacitance) formed by the pixel electrode and the counter electrode. However, the storage capacity Cstg cannot store video information in the pixel. Therefore, in a system in which an electric field is applied in parallel with the substrate surface, the storage capacitor Cstg is an essential component.

【0095】また、蓄積容量Cstgは、薄膜トランジス
タTFTがスイッチングするとき、画素電極電位Vsに
対するゲート電位変化△Vgの影響を低減するようにも
働く。この様子を式で表すと、次のようになる。
The storage capacitor Cstg also works to reduce the effect of the gate potential change ΔVg on the pixel electrode potential Vs when the thin film transistor TFT switches. This situation is represented by the following equation.

【0096】[0096]

【数1】 △Vs={Cgs/(Cgs+Cstg+Cpix)}×△V
g ここで、Cgsは薄膜トランジスタTFTのゲート電極G
Tとソース電極SD1との間に形成される寄生容量、C
pixは画素電極PXと対向電極CTとの間に形成される
容量、△Vsは△Vgによる画素電極電位の変化分いわゆ
るフィードスルー電圧を表わす。この変化分△Vsは液
晶LCに加わる直流成分の原因となるが、保持容量Cst
gを大きくすればする程、その値を小さくすることがで
きる。液晶LCに印加される直流成分の低減は、液晶L
Cの寿命を向上し、液晶表示画面の切り替え時に前の画
像が残るいわゆる焼き付きを低減することができる。
[Expression 1] ΔVs = {Cgs / (Cgs + Cstg + Cpix)} × ΔV
g where Cgs is the gate electrode G of the thin film transistor TFT.
Parasitic capacitance formed between T and the source electrode SD1, C
pix represents a capacitance formed between the pixel electrode PX and the counter electrode CT, and ΔVs represents a so-called feedthrough voltage corresponding to a change in the pixel electrode potential due to ΔVg. This change ΔVs causes a DC component applied to the liquid crystal LC, but the storage capacitance Cst
The larger the value of g, the smaller the value. The reduction of the DC component applied to the liquid crystal LC
The life of C can be improved, and so-called burn-in in which the previous image remains when the liquid crystal display screen is switched can be reduced.

【0097】前述したように、ゲート電極GTはi型半
導体層ASを完全に覆うよう大きくされている分、ソー
ス電極SD1、ドレイン電極SD2とのオーバラップ面
積が増え、従って寄生容量Cgsが大きくなり、画素電極
電位Vsはゲート(走査)信号Vgの影響を受け易くなる
という逆効果が生じる。しかし、蓄積容量Cstgを設け
ることによりこのデメリットも解消することができる。
As described above, since the gate electrode GT is made large so as to completely cover the i-type semiconductor layer AS, the overlap area with the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 increases, and therefore the parasitic capacitance Cgs increases. The pixel electrode potential Vs is susceptible to the gate (scanning) signal Vg. However, this disadvantage can be eliminated by providing the storage capacitor Cstg.

【0098】《製造方法》つぎに、上述した液晶表示装
置の基板SUB1側の製造方法について図12〜図14
を参照して説明する。なお同図において、中央の文字は
工程名の略称であり、左側は図3に示す薄膜トランジス
タTFT部分、右側は図7に示すゲート端子付近の断面
形状でみた加工の流れを示す。工程B、工程Dを除き工
程A〜工程Iは各写真処理に対応して区分けしたもの
で、各工程のいずれの断面図も写真処理後の加工が終わ
りフォトレジストを除去した段階を示している。なお、
写真処理とは本説明ではフォトレジストの塗布からマス
クを使用した選択露光を経てそれを現像するまでの一連
の作業を示すものとし、繰返しの説明は避ける。以下区
分けした工程に従って、説明する。
<< Manufacturing Method >> Next, a method of manufacturing the liquid crystal display device on the substrate SUB1 side will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. In the same figure, the letters at the center are abbreviations of the process names, and the left side shows the processing flow as viewed from the cross-sectional shape near the gate terminal shown in FIG. Except for Step B and Step D, Step A to Step I are classified according to each photographic process, and any cross-sectional view of each process shows a stage where the processing after the photographic process is completed and the photoresist is removed. . In addition,
In the present description, photographic processing refers to a series of operations from application of a photoresist to selective exposure using a mask to development thereof, and a repeated description will be omitted. A description will be given below according to the divided steps.

【0099】工程A、図12 AN635ガラス(商品名)からなる下部透明ガラス基
板SUB1上に膜厚が3000ÅのAl−Pd、Al−
Si、Al−Ta、Al−Ti−Ta等からなる導電膜
g1をスパッタリングにより設ける。写真処理後、リン
酸と硝酸と氷酢酸との混酸液で導電膜g1を選択的にエ
ッチングする。それによって、ゲート電極GT、走査信
号線GL、対向電極CT、対向電圧信号線CL、電極P
L1、ゲート端子GTM、共通バスラインCBの第1導
電層、対向電極端子CTMの第1導電層、ゲート端子G
TMを接続する陽極酸化バスラインSHg(図示せず)
および陽極酸化バスラインSHgに接続された陽極酸化
パッド(図示せず)を形成する。
Step A, FIG. 12 A 3000 mm thick Al-Pd or Al-Pd film is formed on a lower transparent glass substrate SUB1 made of AN635 glass (trade name).
A conductive film g1 made of Si, Al—Ta, Al—Ti—Ta, or the like is provided by sputtering. After the photographic processing, the conductive film g1 is selectively etched with a mixed acid solution of phosphoric acid, nitric acid, and glacial acetic acid. Thereby, the gate electrode GT, the scanning signal line GL, the counter electrode CT, the counter voltage signal line CL, and the electrode P
L1, gate terminal GTM, first conductive layer of common bus line CB, first conductive layer of counter electrode terminal CTM, gate terminal G
Anodizing bus line SHg for connecting TM (not shown)
Then, an anodic oxidation pad (not shown) connected to the anodic oxidation bus line SHg is formed.

【0100】工程B、図12 直接描画による陽極酸化マスクAOの形成後、3%酒石
酸をアンモニアによりPH6.25±0.05に調整した
溶液をエチレングリコール液で1:9に稀釈した液から
なる陽極酸化液中に基板SUB1を浸漬し、化成電流密
度が0.5mA/cm2になるように調整する(定電流化
成)。次に所定のAl23膜厚が得られるのに必要な化
成電圧125Vに達するまで陽極酸化を行う。その後こ
の状態で数10分保持することが望ましい(定電圧化
成)。これは均一なAl23膜を得る上で大事なことで
ある。それによって、導電膜g1を陽極酸化され、ゲー
ト電極GT、走査信号線GL、対向電極CT、対向電圧
信号線CLおよび電極PL1上に膜厚が1800Åの陽
極酸化膜AOFが形成される。
Step B, FIG. 12 After the formation of the anodic oxidation mask AO by direct writing, a solution in which 3% tartaric acid was adjusted to PH 6.25 ± 0.05 with ammonia and diluted 1: 9 with ethylene glycol solution was used. The substrate SUB1 is immersed in an anodizing solution and adjusted so that the formation current density becomes 0.5 mA / cm 2 (constant current formation). Next, anodic oxidation is performed until the formation voltage 125 V necessary for obtaining a predetermined Al 2 O 3 film thickness is reached. Thereafter, it is desirable to hold this state for several tens of minutes (constant voltage formation). This is important for obtaining a uniform Al 2 O 3 film. Thereby, the conductive film g1 is anodized to form an anodic oxide film AOF having a thickness of 1800 ° on the gate electrode GT, the scanning signal line GL, the counter electrode CT, the counter voltage signal line CL, and the electrode PL1.

【0101】工程C、図12 膜厚が1400ÅのITO膜からなる透明導電膜g2を
スパッタリングにより設ける。写真処理後、エッチング
液として塩酸と硝酸との混酸液で透明導電膜g2を選択
的にエッチングすることにより、ゲート端子GTMの最
上層、ドレイン端子DTMおよび対向電極端子CTMの
第2導電層を形成する。
Step C, FIG. 12 A transparent conductive film g2 made of an ITO film having a thickness of 1400 ° is provided by sputtering. After the photoprocessing, the transparent conductive film g2 is selectively etched with a mixed acid solution of hydrochloric acid and nitric acid as an etchant to form the uppermost layer of the gate terminal GTM, the drain terminal DTM, and the second conductive layer of the counter electrode terminal CTM. I do.

【0102】工程D、図13 プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が2200Åの窒化Si膜を設
け、プラズマCVD装置にシランガス、水素ガスを導入
して、膜厚が2000Åのi型非晶質Si膜を設けたの
ち、プラズマCVD装置に水素ガス、ホスフィンガスを
導入して、膜厚が300ÅのN(+)型非晶質Si膜を設
ける。
Step D, FIG. 13 An ammonia gas, a silane gas, and a nitrogen gas are introduced into a plasma CVD apparatus to form a Si nitride film having a thickness of 2200 °, and a silane gas and a hydrogen gas are introduced into the plasma CVD apparatus to form a film. Is provided with a 2000 ° i-type amorphous Si film, and then a hydrogen gas and a phosphine gas are introduced into a plasma CVD apparatus to form an N (+)-type amorphous Si film having a thickness of 300 °.

【0103】工程E、図13 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6、CC
4を使用してN(+)型非晶質Si膜、i型非晶質Si
膜を選択的にエッチングすることにより、i型半導体層
ASの島を形成する。
Step E, FIG. 13 After photographic processing, SF 6 and CC are used as dry etching gases.
Using l 4 , N (+) type amorphous Si film, i type amorphous Si
By selectively etching the film, islands of the i-type semiconductor layer AS are formed.

【0104】工程F、図13 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6を使用
して、窒化Si膜を選択的にエッチングする。
Step F, FIG. 13 After the photo processing, the Si nitride film is selectively etched using SF 6 as a dry etching gas.

【0105】工程G、図14 膜厚が600ÅのCrからなる導電膜d1をスパッタリ
ングにより設け、さらに膜厚が4000ÅのAl−P
d、Al−Si、Al−Ta、Al−Ti−Ta等から
なる導電膜d2をスパッタリングにより設ける。写真処
理後、導電膜d2を工程Bと同様な液でエッチングし、
導電膜d1を工程Aと同様な液でエッチングし、映像信
号線DL、ソース電極SD1、ドレイン電極SD2、画
素電極PX、電極PL2、共通バスラインCBの第2導
電層、第3導電層およびドレイン端子DTMを短絡する
バスラインSHd(図示せず)を形成する。つぎに、ド
ライエッチング装置にCCl4、SF6を導入して、N
(+)型非晶質Si膜をエッチングすることにより、ソー
スとドレイン間のN(+)型半導体層d0を選択的に除去
する。
Step G, FIG. 14 A conductive film d1 made of Cr having a thickness of 600 .ANG. Is provided by sputtering, and an Al-P film having a thickness of 4000 .ANG.
A conductive film d2 made of d, Al-Si, Al-Ta, Al-Ti-Ta, or the like is provided by sputtering. After the photographic processing, the conductive film d2 is etched with the same liquid as in Step B,
The conductive film d1 is etched with the same liquid as in step A, and the video signal line DL, the source electrode SD1, the drain electrode SD2, the pixel electrode PX, the electrode PL2, the second conductive layer, the third conductive layer and the drain of the common bus line CB are formed. A bus line SHd (not shown) for short-circuiting the terminal DTM is formed. Next, CCl 4 and SF 6 were introduced into the dry etching apparatus,
By etching the (+) type amorphous Si film, the N (+) type semiconductor layer d0 between the source and the drain is selectively removed.

【0106】工程H、図14 プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が1μmの窒化Si膜を設け
る。写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6
使用した写真蝕刻技術で窒化Si膜を選択的にエッチン
グすることによって、保護膜PSV1を形成する。
Step H, FIG. 14 An ammonia gas, a silane gas and a nitrogen gas are introduced into a plasma CVD apparatus to form a 1 μm-thick Si nitride film. After the photo processing, the protective film PSV1 is formed by selectively etching the Si nitride film by a photo etching technique using SF 6 as a dry etching gas.

【0107】《表示パネルPNLと駆動回路基板PCB
1》図15は、図5等に示した表示パネルPNLに映像
信号駆動回路Hと垂直走査回路Vを接続した状態を示す
上面図である。
<< Display Panel PNL and Drive Circuit Board PCB
1 >> FIG. 15 is a top view showing a state where the video signal driving circuit H and the vertical scanning circuit V are connected to the display panel PNL shown in FIG.

【0108】CHIは表示パネルPNLを駆動させる駆
動ICチップ(下側の5個は垂直走査回路側の駆動IC
チップ、左の10個ずつは映像信号駆動回路側の駆動I
Cチップ)である。TCPは図16、図17で後述する
ように駆動用ICチップCHIがテープ・オートメイテ
ィド・ボンディング法(TAB)により実装されたテー
プキャリアパッケージ、PCB1は上記TCPやコンデ
ンサ等が実装された駆動回路基板で、映像信号駆動回路
用と走査信号駆動回路用の2つに分割されている。FG
Pはフレームグランドパッドであり、シールドケースS
HDに切り込んで設けられたバネ状の破片が半田付けさ
れる。FCは下側の駆動回路基板PCB1と左側の駆動
回路基板PCB1を電気的に接続するフラットケーブル
である。フラットケーブルFCとしては図に示すよう
に、複数のリード線(りん青銅の素材にSn鍍金を施し
たもの)をストライプ状のポリエチレン層とポリビニル
アルコール層とでサンドイッチして支持したものを使用
する。
CHI is a driving IC chip for driving the display panel PNL (the lower five are driving ICs on the vertical scanning circuit side)
The left and right chips are the driving I on the video signal driving circuit side.
C chip). TCP is a tape carrier package in which a driving IC chip CHI is mounted by a tape automated bonding method (TAB), as will be described later with reference to FIGS. 16 and 17, and PCB1 is a driving circuit in which the above-described TCP, capacitors and the like are mounted. The substrate is divided into two, one for a video signal drive circuit and one for a scan signal drive circuit. FG
P is a frame ground pad, and a shield case S
A spring-shaped fragment provided by cutting into the HD is soldered. FC is a flat cable that electrically connects the lower drive circuit board PCB1 and the left drive circuit board PCB1. As shown in the drawing, a flat cable FC is used in which a plurality of lead wires (phosphor bronze material plated with Sn) are sandwiched and supported by a striped polyethylene layer and a polyvinyl alcohol layer.

【0109】《TCPの接続構造》図16は走査信号駆
動回路Vや映像信号駆動回路Hを構成する、集積回路チ
ップCHIがフレキシブル配線基板に搭載されたテープ
キャリアパッケージTCPの断面構造を示す図であり、
図17はそれを液晶表示パネルの、本例では走査信号回
路用端子GTMに接続した状態を示す要部断面図であ
る。
<< TCP Connection Structure >> FIG. 16 is a diagram showing a cross-sectional structure of a tape carrier package TCP constituting the scanning signal driving circuit V and the video signal driving circuit H, on which the integrated circuit chip CHI is mounted on a flexible wiring board. Yes,
FIG. 17 is a cross-sectional view of a main part of the liquid crystal display panel, showing a state where it is connected to a scanning signal circuit terminal GTM in this example.

【0110】同図において、TTBは集積回路CHIの
入力端子・配線部であり、TTMは集積回路CHIの出
力端子・配線部であり、例えばCuから成り、それぞれ
の内側の先端部(通称インナーリード)には集積回路C
HIのボンディングパッドPADがいわゆるフェースダ
ウンボンディング法により接続される。端子TTB,T
TMの外側の先端部(通称アウターリード)はそれぞれ
半導体集積回路チップCHIの入力及び出力に対応し、
半田付け等によりCRT/TFT変換回路・電源回路S
UPに、異方性導電膜ACFによって液晶表示パネルP
NLに接続される。パッケージTCPは、その先端部が
パネルPNL側の接続端子GTMを露出した保護膜PS
V1を覆うようにパネルに接続されており、従って、外
部接続端子GTM(DTM)は保護膜PSV1かパッケ
ージTCPの少なくとも一方で覆われるので電触に対し
て強くなる。
In the figure, TTB is an input terminal / wiring portion of the integrated circuit CHI, and TTM is an output terminal / wiring portion of the integrated circuit CHI, and is made of, for example, Cu. ) Is the integrated circuit C
The HI bonding pads PAD are connected by a so-called face-down bonding method. Terminal TTB, T
The outer ends (commonly called outer leads) of the TM correspond to the input and output of the semiconductor integrated circuit chip CHI, respectively.
CRT / TFT conversion circuit / power supply circuit S by soldering
A liquid crystal display panel P is formed on the UP by using an anisotropic conductive film ACF.
NL. The package TCP has a protective film PS whose leading end exposes the connection terminal GTM on the panel PNL side.
The external connection terminal GTM (DTM) is covered with at least one of the protective film PSV1 and the package TCP, so that the external connection terminal GTM (DTM) is covered with V1.

【0111】BF1はポリイミド等からなるベースフィ
ルムであり、SRSは半田付けの際半田が余計なところ
へつかないようにマスクするためのソルダレジスト膜で
ある。シールパターンSLの外側の上下ガラス基板の隙
間は洗浄後エポキシ樹脂EPX等により保護され、パッ
ケージTCPと上側基板SUB2の間には更にシリコー
ン樹脂SILが充填され保護が多重化されている。
BF1 is a base film made of polyimide or the like, and SRS is a solder resist film for masking so that solder does not stick to unnecessary portions during soldering. The gap between the upper and lower glass substrates outside the seal pattern SL is washed and protected by an epoxy resin EPX or the like, and the space between the package TCP and the upper substrate SUB2 is further filled with a silicone resin SIL to multiplex protection.

【0112】《駆動回路基板PCB2》駆動回路基板P
CB2は、IC、コンデンサ、抵抗等の電子部品が搭載
されている。この駆動回路基板PCB2には、1つの電
圧源から複数の分圧した安定化された電圧源を得るため
の電源回路や、ホスト(上位演算処理装置)からのCR
T(陰極線管)用の情報をTFT液晶表示装置用の情報
に変換する回路を含む回路SUPが搭載されている。C
Jは外部と接続される図示しないコネクタが接続される
コネクタ接続部である。
<< Drive Circuit Board PCB2 >> Drive Circuit Board P
The CB2 has electronic components such as an IC, a capacitor, and a resistor mounted thereon. The drive circuit board PCB2 includes a power supply circuit for obtaining a plurality of divided and stabilized voltage sources from one voltage source, and a CR (Crystal Control Unit) from a host (upper processing unit).
A circuit SUP including a circuit for converting information for T (cathode ray tube) into information for a TFT liquid crystal display device is mounted. C
J is a connector connection portion to which a connector (not shown) connected to the outside is connected.

【0113】駆動回路基板PCB1と駆動回路基板PC
B2とはフラットケーブルFCにより電気的に接続され
ている。
Driving circuit board PCB1 and driving circuit board PC
B2 is electrically connected by a flat cable FC.

【0114】《液晶表示モジュールの全体構成》図18
は、液晶表示モジュールMDLの各構成部品を示す分解
斜視図である。
<< Overall Configuration of Liquid Crystal Display Module >> FIG.
FIG. 3 is an exploded perspective view showing each component of the liquid crystal display module MDL.

【0115】SHDは金属板から成る枠状のシールドケ
ース(メタルフレーム)、LCWその表示窓、PNLは
液晶表示パネル、SPBは光拡散板、LCBは導光体、
RMは反射板、BLはバックライト蛍光管、LCAはバ
ックライトケースであり、図に示すような上下の配置関
係で各部材が積み重ねられてモジュールMDLが組み立
てられる。
SHD is a frame-shaped shield case (metal frame) made of a metal plate, LCW and its display window, PNL is a liquid crystal display panel, SPB is a light diffusion plate, LCB is a light guide,
RM is a reflection plate, BL is a backlight fluorescent tube, LCA is a backlight case, and the respective members are stacked in a vertical arrangement as shown in the figure to assemble a module MDL.

【0116】モジュールMDLは、シールドケースSH
Dに設けられた爪とフックによって全体が固定されるよ
うになっている。
The module MDL is a shield case SH
The entirety is fixed by claws and hooks provided on D.

【0117】バックライトケースLCAはバックライト
蛍光管BL、光拡散板SPB光拡散板、導光体LCB、
反射板RMを収納する形状になっており、導光体LCB
の側面に配置されたバックライト蛍光管BLの光を、導
光体LCB、反射板RM、光拡散板SPBにより表示面
で一様なバックライトにし、液晶表示パネルPNL側に
出射する。
The backlight case LCA includes a backlight fluorescent tube BL, a light diffusion plate SPB, a light diffusion plate, a light guide LCB,
The light guide LCB has a shape to accommodate the reflection plate RM.
The light of the backlight fluorescent tube BL arranged on the side surface is made uniform on the display surface by the light guide LCB, the reflection plate RM, and the light diffusion plate SPB, and emitted to the liquid crystal display panel PNL side.

【0118】バックライト蛍光管BLにはインバータ回
路基板PCB3が接続されており、バックライト蛍光管
BLの電源となっている。
An inverter circuit board PCB3 is connected to the backlight fluorescent tube BL, and serves as a power supply for the backlight fluorescent tube BL.

【0119】以上、本発明を前記実施例に基づき具体的
に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更
可能であることは勿論である。例えば、前記実施例で
は、アクティブ素子としてアモルファスシリコン薄膜ト
ランジスタTFTを使用しているが、他にポリシリコン
薄膜トランジスタ、シリコンウエハ上のMOS型トラン
ジスタ、または、MIM(Metal−Intrins
ic−metal)ダイオード等の2端子素子を用いて
も可能である。また、少なくとも一方は透明な一対の基
板、反射手段、偏光手段とから構成される反射型の液晶
表示装置にも、本発明は適用できる。
Although the present invention has been described in detail with reference to the above embodiment, the present invention is not limited to the above embodiment and can be variously modified without departing from the scope of the invention. It is. For example, in the above embodiment, an amorphous silicon thin film transistor TFT is used as an active element. However, a polysilicon thin film transistor, a MOS type transistor on a silicon wafer, or an MIM (Metal-Intrins) may be used.
It is also possible to use a two-terminal element such as an ic-metal) diode. The present invention is also applicable to a reflection type liquid crystal display device including at least one of a pair of transparent substrates, a reflection unit, and a polarization unit.

【0120】[0120]

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明による液晶表示装置によれば、画素電極と対向電
極との間に透明基板と平行に発生させる電界を充分に発
生させ、これにより表示の品質の向上を図ることができ
るようになる。
As is apparent from the above description,
According to the liquid crystal display device of the present invention, an electric field generated between the pixel electrode and the counter electrode in parallel with the transparent substrate is sufficiently generated, whereby the display quality can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のアクティブ・マトリクス型カラー液晶
表示装置の液晶表示部の一画素とその周辺を示す要部平
面図である。
FIG. 1 is a plan view of a principal part showing one pixel of a liquid crystal display unit and its periphery in an active matrix type color liquid crystal display device of the present invention.

【図2】図1の3−3切断線における画素の断面図であ
る。
FIG. 2 is a sectional view of a pixel taken along section line 3-3 in FIG. 1;

【図3】図1の4−4切断線における薄膜トランジスタ
素子TFTの断面図である。
FIG. 3 is a sectional view of the thin film transistor element TFT taken along section line 4-4 in FIG. 1;

【図4】図1の5−5切断線における蓄積容量Cstgの
断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of the storage capacitor Cstg taken along section line 5-5 in FIG. 1;

【図5】表示パネルのマトリクス周辺部の構成を説明す
るための平面図である。
FIG. 5 is a plan view illustrating a configuration of a matrix peripheral portion of a display panel.

【図6】左側に走査信号端子、右側に外部接続端子の無
いパネル縁部分を示す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a scanning signal terminal on the left and a panel edge portion without an external connection terminal on the right.

【図7】ゲート端子GTMとゲート配線GLの接続部近
辺を示す平面と断面の図である。
FIG. 7 is a plan view and a cross-sectional view showing the vicinity of a connection portion between a gate terminal GTM and a gate wiring GL.

【図8】ドレイン端子DTMと映像信号線DLとの接続
部付近を示す平面と断面の図である。
FIG. 8 is a plan and cross-sectional view showing the vicinity of a connection between a drain terminal DTM and a video signal line DL.

【図9】共通電極端子CTM、共通バスラインCBおよ
び共通電圧信号線CLの接続部付近を示す平面と断面の
図である。
FIG. 9 is a plan view and a sectional view showing the vicinity of a connection portion of a common electrode terminal CTM, a common bus line CB, and a common voltage signal line CL.

【図10】本発明のアクティブ・マトリクス型カラー液
晶表示装置のマトリクス部とその周辺を含む回路図であ
る。
FIG. 10 is a circuit diagram including a matrix portion and its periphery of the active matrix type color liquid crystal display device of the present invention.

【図11】本発明のアクティブ・マトリクス型カラー液
晶表示装置の駆動波形を示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing driving waveforms of the active matrix type color liquid crystal display device of the present invention.

【図12】基板SUB1側の工程A〜Cの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
FIG. 12 is a flowchart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing a manufacturing process of processes A to C on the substrate SUB1 side.

【図13】基板SUB1側の工程D〜Fの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
FIG. 13 is a flowchart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing manufacturing processes of processes D to F on the substrate SUB1 side.

【図14】基板SUB1側の工程G〜Hの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
FIG. 14 is a flowchart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing a manufacturing process of processes G to H on the substrate SUB1 side.

【図15】液晶表示パネルに周辺の駆動回路を実装した
状態を示す上面図である。
FIG. 15 is a top view showing a state where peripheral driving circuits are mounted on the liquid crystal display panel.

【図16】駆動回路を構成する集積回路チップCHIが
フレキシブル配線基板に搭載されたテープキャリアパッ
ケージTCPの断面構造を示す図である。
FIG. 16 is a diagram showing a cross-sectional structure of a tape carrier package TCP in which an integrated circuit chip CHI constituting a drive circuit is mounted on a flexible wiring board.

【図17】テープキャリアパッケージTCPを液晶表示
パネルPNLの走査信号回路用端子GTMに接続した状
態を示す要部断面図である。
FIG. 17 is a cross-sectional view of a main part showing a state where the tape carrier package TCP is connected to a scanning signal circuit terminal GTM of the liquid crystal display panel PNL.

【図18】液晶表示モジュールの分解斜視図である。FIG. 18 is an exploded perspective view of the liquid crystal display module.

【図19】本発明のブラックマトリクスのパターンの1
例を示す図である。
FIG. 19 shows a pattern 1 of a black matrix of the present invention.
It is a figure showing an example.

【図20】印加電界方向、ラビング方向、偏光板透過軸
の関係を示す図である。
FIG. 20 is a diagram showing a relationship among a direction of an applied electric field, a rubbing direction, and a transmission axis of a polarizing plate.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

SUB…透明ガラス基板、GL…走査信号線、DL…映
像信号線、CL…対向電圧信号線、PX…画素電極、C
T…対向電極、GI…絶縁膜、GT…ゲート電極、AS
…i型半導体層、SD…ソース電極またはドレイン電
極、PSV…保護膜、BM…遮光膜、LC…液晶、TF
T…薄膜トランジスタ、g,d…導電膜、Cstg…蓄積
容量、AOF…陽極酸化膜、AO…陽極酸化マスク、G
TM…ゲート端子、DTM…ドレイン端子、CB…共通
バスライン、DTM…共通電極端子、SHD…シールド
ケース、PNL…液晶表示パネル、SPB…光拡散板、
LCB…導光体、BL…バックライト蛍光管、LCA…
バックライトケース、RM…反射板、(以上添字省
略)。
SUB: transparent glass substrate, GL: scanning signal line, DL: video signal line, CL: counter voltage signal line, PX: pixel electrode, C
T: counter electrode, GI: insulating film, GT: gate electrode, AS
... i-type semiconductor layer, SD: source or drain electrode, PSV: protective film, BM: light shielding film, LC: liquid crystal, TF
T: thin film transistor, g, d: conductive film, Cstg: storage capacitor, AOF: anodized film, AO: anodized mask, G
TM: gate terminal, DTM: drain terminal, CB: common bus line, DTM: common electrode terminal, SHD: shield case, PNL: liquid crystal display panel, SPB: light diffusion plate,
LCB: Light guide, BL: Backlight fluorescent tube, LCA:
Backlight case, RM ... Reflective plate (subscripts are omitted above).

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 三島 康之 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 小川 和宏 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 大江 昌人 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 近藤 克己 茨城県日立市大みか町七丁目1番1号 株 式会社日立製作所日立研究所内 (72)発明者 箭内 雅弘 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (72) Inventor Yasuyuki Mishima 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Pref.Electronic Device Division, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Kazuhiro Ogawa 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Hitachi, Ltd.Electronic Device Business (72) Inventor Masato Oe 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Pref.Electronic Devices Division, Hitachi, Ltd. (72) Katsumi Kondo 7-1-1, Omika-cho, Hitachi City, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Hitachi Research, Ltd. (72) Inventor Masahiro Yanai 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Pref., Electronic Device Division, Hitachi, Ltd.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液晶組成物を介して対向配置される第1
の基板と第2の基板と、 前記第1の基板面に形成された映像信号線と、 映像信号が前記映像信号線を介して印加される少なくと
も一つの画素電極と、 この画素電極と対向して配置され対向電圧が印加される
少なくとも一つの対向電極とを備え、 前記画素電極と対向電極との間に発生される電界成分に
よって前記液晶組成物の光透過率を制御する液晶表示装
置において、 前記互いに対向して配置された画素電極と対向電極の間
隔が、前記少なくとも一つの電極の短手方向の電極幅を
越え、前記画素電極と前記映像信号線との間隔よりも小
さいことを特徴とする液晶表示装置。
A first liquid crystal composition opposed to the first liquid crystal composition;
And a second substrate, a video signal line formed on the first substrate surface, at least one pixel electrode to which a video signal is applied via the video signal line, A liquid crystal display device comprising at least one counter electrode arranged and applied with a counter voltage, wherein the light transmittance of the liquid crystal composition is controlled by an electric field component generated between the pixel electrode and the counter electrode. An interval between the pixel electrode and the opposing electrode arranged opposite to each other exceeds an electrode width in a short direction of the at least one electrode, and is smaller than an interval between the pixel electrode and the video signal line. Liquid crystal display device.
【請求項2】 前記第1の基板と第2の基板のそれぞれ
の表面には、偏光軸が直交して配置された偏光板が設け
られていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示
装置。
2. The liquid crystal according to claim 1, wherein a polarizing plate whose polarization axis is orthogonally disposed is provided on each surface of the first substrate and the second substrate. Display device.
【請求項3】 前記液晶組成物の誘電率異方性の絶対値
が7.3以上であることを特徴とする請求項1に記載の
液晶表示装置。
3. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the absolute value of the dielectric anisotropy of the liquid crystal composition is 7.3 or more.
【請求項4】 前記液晶組成物は、正の誘電異方性を有
し、前記液晶組成物層のリタデーションが0.21を越
え0.405未満であることを特徴とする請求項1に記
載の液晶表示装置。
4. The liquid crystal composition according to claim 1, wherein the liquid crystal composition has a positive dielectric anisotropy, and a retardation of the liquid crystal composition layer is more than 0.21 and less than 0.405. Liquid crystal display device.
【請求項5】 前記液晶組成物は、負の誘電異方性を有
し、前記液晶組成物層のリタデーションが0.168を
越え0.48未満であることを特徴とする請求項1に記
載の液晶表示装置。
5. The liquid crystal composition according to claim 1, wherein the liquid crystal composition has a negative dielectric anisotropy, and a retardation of the liquid crystal composition layer is more than 0.168 and less than 0.48. Liquid crystal display device.
【請求項6】 前記液晶組成物は、正の誘電異方性を有
し、前記液晶組成物層の屈折率異方性が0.07を越え
0.09未満であることを特徴とする請求項1に記載の
液晶表示装置。
6. The liquid crystal composition has a positive dielectric anisotropy, and the liquid crystal composition layer has a refractive index anisotropy of more than 0.07 and less than 0.09. Item 2. The liquid crystal display device according to item 1.
【請求項7】 前記液晶組成物は、負の誘電異方性を有
し、前記液晶組成物層の屈折率異方性が0.04を越え
0.06未満であることを特徴とする請求項1に記載の
液晶表示装置。
7. The liquid crystal composition has a negative dielectric anisotropy, and the liquid crystal composition layer has a refractive index anisotropy of more than 0.04 and less than 0.06. Item 2. The liquid crystal display device according to item 1.
JP1704498A 1998-01-29 1998-01-29 Liquid crystal display device Pending JPH10206897A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1704498A JPH10206897A (en) 1998-01-29 1998-01-29 Liquid crystal display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1704498A JPH10206897A (en) 1998-01-29 1998-01-29 Liquid crystal display device

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP15674797A Division JP2801591B2 (en) 1997-06-13 1997-06-13 Liquid crystal display

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH10206897A true JPH10206897A (en) 1998-08-07

Family

ID=11933005

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1704498A Pending JPH10206897A (en) 1998-01-29 1998-01-29 Liquid crystal display device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH10206897A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6421036B1 (en) 1998-06-02 2002-07-16 Nec Corporation Active matrix type liquid crystal display

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6421036B1 (en) 1998-06-02 2002-07-16 Nec Corporation Active matrix type liquid crystal display

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3474975B2 (en) Liquid crystal display device and method of manufacturing the same
JP3674953B2 (en) Liquid crystal display
KR100371850B1 (en) Liquid crystal display device having wide viewing angle characteristics
JPH11183904A (en) Liquid crystal display device
JPH09258203A (en) Liquid crystal display device
JP2708098B2 (en) Liquid crystal display
JPH112841A (en) Liquid crystal display device
JP3691854B2 (en) Horizontal electric field type liquid crystal display device suitable for improving aperture ratio
JP2001264809A (en) Liquid crystal display device
JP3340894B2 (en) Active matrix type liquid crystal display
JPH1152420A (en) Liquid crystal display device
JPH10186410A (en) Liquid crystal display device
JP3423909B2 (en) Active matrix type liquid crystal display
JP2804261B2 (en) Liquid crystal display
JP2801591B2 (en) Liquid crystal display
JP2818159B2 (en) Liquid crystal display
JP3478709B2 (en) Liquid crystal display
JP3643588B2 (en) Liquid crystal display
JP3595327B2 (en) Liquid crystal display
JP4055778B2 (en) Liquid crystal display
JP2005157404A (en) Lateral electrolytic type liquid crystal display device suitable for improvement in numerical aperture
JPH10206897A (en) Liquid crystal display device
JP4925474B2 (en) Horizontal electric field type liquid crystal display device suitable for improving aperture ratio
JP2003280037A (en) Active matrix type liquid crystal display device
JPH11344715A (en) Liquid crystal display device