JPH112841A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

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JPH112841A
JPH112841A JP15383697A JP15383697A JPH112841A JP H112841 A JPH112841 A JP H112841A JP 15383697 A JP15383697 A JP 15383697A JP 15383697 A JP15383697 A JP 15383697A JP H112841 A JPH112841 A JP H112841A
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liquid crystal
video signal
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pixel electrode
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和宏 小川
Kazuhiko Yanagawa
和彦 柳川
Hiroaki Asuma
宏明 阿須間
Shigeru Matsuyama
茂 松山
Masayuki Hikiba
正行 引場
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain the display device of high picture quality reduced in longitudinal smears by arranging a video signal wire and a color filter layer so that they overlap with each other when viewed perpendicularly to the planes of substrates. SOLUTION: On a 1st substrate (TFT substrate) SUB1 as an active matrix substrate, a counter electrode CT and a pixel electrode PX are arranged. On a 2nd substrate SUB2 as a color filter substrate, on the other hand, a black matraix BM and a color filter layer FIL are formed and on them, an overcoat film OC is formed. Then the video signal line DL and color filter layer-FIL overlap with each other when viewed from a direction perpendicular to the planes of the substrates SUB1 and SUB2. Here, the overlap quantity OLQ between the video signal line DL and color filter layer FIL is 2 μm. Thus, light leaking between the video signal line DL and counter electrode CT is reducible.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に係
り、特に、縦スメアの発生を抑制して高画質の画像表示
を可能とした横電界方式の液晶表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly to a horizontal electric field type liquid crystal display device capable of suppressing the occurrence of vertical smear and enabling high-quality image display.

【0002】[0002]

【従来の技術】各種の情報端末やその他の機器のモニタ
ーのための画像表示手段としてアクティブ・マトリクス
方式の液晶表示装置が広く採用されている。
2. Description of the Related Art Active matrix type liquid crystal display devices are widely used as image display means for monitoring various information terminals and other devices.

【0003】この種の液晶表示装置を液晶の駆動モード
から分類すると、大きく分けて「縦電界方式」と「横電
界方式」に分けられる。
When this type of liquid crystal display device is classified according to the driving mode of the liquid crystal, it is roughly classified into a "vertical electric field system" and a "lateral electric field system".

【0004】縦電界方式の液晶表示装置は、液晶組成物
(以下、単に液晶または液晶層と称する)を介して互い
に対向して配置される透明基板の液晶層側の単位画素に
相当するそれぞれの領域面に、透明電極からなる画素電
極と共通電極とが対向して備えられ、この画素電極と共
通電極との間に透明基板に対して垂直に発生させる電界
によって前記液晶層を透過する光を変調させるようにし
たものである。
A vertical electric field type liquid crystal display device has a liquid crystal composition (hereinafter, simply referred to as a liquid crystal or a liquid crystal layer), each of which corresponds to a unit pixel on a liquid crystal layer side of a transparent substrate which is disposed to face each other. On the surface of the region, a pixel electrode made of a transparent electrode and a common electrode are provided so as to face each other, and light transmitted through the liquid crystal layer by an electric field generated perpendicularly to the transparent substrate between the pixel electrode and the common electrode. The modulation is performed.

【0005】一方、横電界方式の液晶表示装置は、液晶
層を介して互いに対向して配置される透明基板のうち、
その一方または両方の液晶層側の単位画素に相当する領
域面に、画素電極と対向電極とを備え、この画素電極と
対向電極との間に透明基板と略平行に発生させる電界成
分によって前記液晶層を透過する光を変調させるように
したものである。
On the other hand, a liquid crystal display device of the in-plane switching mode employs a transparent substrate disposed opposite to each other with a liquid crystal layer interposed therebetween.
A pixel electrode and a counter electrode are provided on a region surface corresponding to a unit pixel on one or both of the liquid crystal layers, and the liquid crystal is generated between the pixel electrode and the counter electrode by an electric field component generated substantially in parallel with the transparent substrate. The light transmitted through the layer is modulated.

【0006】横電界方式の液晶表示装置は縦電界方式の
液晶表示装置と異なり、その表示面に対して大きな角度
視野から観察しても鮮明な映像を認識でき、所謂角度視
野に優れたものとして知られるに至ったものである。
The liquid crystal display device of the horizontal electric field type is different from the liquid crystal display device of the vertical electric field type in that a clear image can be recognized even when the display surface is observed from a large angle field of view. It has become known.

【0007】なお、このような構成からなる液晶表示装
置は、例えば特開平6−160878号公報に詳述され
ている。
[0007] A liquid crystal display device having such a configuration is described in detail in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-160878.

【0008】上記横電界方式の液晶表示装置は、対向す
る透明基板である、例えば、アクティブ・マトリクス基
板を構成する第1の基板およびカラーフィルタ基板を構
成する第2の基板と、画像を表示するための光源となる
バックライトユニットとが、上側シールドケースと下側
ケースとからなる筐体に収納して一体化した構造を有す
る。また、第1と第2の基板の両面側には一定の偏光の
み透過させるように偏光板を貼り付けている。
The above-mentioned in-plane switching mode liquid crystal display device displays an image, for example, a first substrate forming an active matrix substrate and a second substrate forming a color filter substrate, which are opposing transparent substrates. A backlight unit serving as a light source is housed and integrated in a housing formed of an upper shield case and a lower case. A polarizing plate is attached to both sides of the first and second substrates so that only a certain amount of polarized light is transmitted.

【0009】さらに、例えば、カラーフィルタ基板に
は、アクティブ・マトリクス基板の少なくとも薄膜トラ
ンジスタの形成領域と、配線周辺などの透過光を制御で
きない領域に対応する箇所にブラックマトリクスが形成
されている。
Further, for example, on the color filter substrate, a black matrix is formed at least in a region corresponding to at least a region where a thin film transistor is formed on the active matrix substrate and a region where transmitted light cannot be controlled, such as around a wiring.

【0010】横電界方式の場合、画素電極と対向電極の
間で発生させる基板の平面と略平行な電界で液晶を駆動
する。この場合、カラーフィルタ基板上に低抵抗材料が
存在すると、前記画素電極或いは対向電極から発生する
電気力線が前記低抵抗材料で終端されて電界強度が低下
し、駆動電圧が増加する。
In the case of the horizontal electric field method, the liquid crystal is driven by an electric field generated between the pixel electrode and the counter electrode and substantially parallel to the plane of the substrate. In this case, if a low-resistance material is present on the color filter substrate, the lines of electric force generated from the pixel electrode or the counter electrode are terminated by the low-resistance material, the electric field intensity decreases, and the driving voltage increases.

【0011】そのため、一般的には、ブラックマトリク
ス形成材料として、高抵抗の樹脂組成物を採用する。こ
の場合、金属材料を用いたブラックマトリクスと比較し
てOD(Optical Densityの略)値が十
分大きくないため、ブラックマトリクス自体の遮光特性
は低下する。
Therefore, generally, a high-resistance resin composition is used as a black matrix forming material. In this case, the OD value (abbreviation of Optical Density) is not sufficiently large as compared with a black matrix using a metal material, so that the light shielding characteristics of the black matrix itself deteriorate.

【0012】従来の技術では、このような遮光特性の低
下に関する対策については考慮されておらず、従って、
正常に動作しない領域の透過光を遮蔽することに関する
問題提起はなされていない。
In the prior art, no countermeasures against such a decrease in light-shielding characteristics are taken into account, and accordingly,
No problem has been raised with respect to blocking transmitted light in areas that do not work properly.

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術の横電界
方式の液晶表示装置において、外部回路から入力される
走査信号、映像信号により制御できずに正常に液晶が動
作しない領域が存在する。特に、映像信号配線と、前記
映像信号配線と隣接する画素電極或いは対向電極との間
では、各々印加される電圧が異なるため黒表示している
にもかかわらず、この部分で光の透過が生じることがあ
る。
In the above-mentioned prior art in-plane switching type liquid crystal display device, there is a region where the liquid crystal cannot operate normally because it cannot be controlled by a scanning signal or a video signal input from an external circuit. In particular, light is transmitted in this portion even though black is displayed due to different applied voltages between the video signal wiring and the pixel electrode or the counter electrode adjacent to the video signal wiring. Sometimes.

【0014】この部分を遮光するため、カラーフィルタ
基板上にブラックマトリクスを形成して遮光している
が、OD値が低いため完全に遮光できないことがある。
これが原因となり、クロストークが発生するという問題
があった。
In order to shield this portion from light, a black matrix is formed on the color filter substrate to block the light. However, the OD value is so low that the light cannot be completely blocked in some cases.
This causes a problem that crosstalk occurs.

【0015】上記クロストークとは、例えば、画面の中
央にウインドウ画面を表示させた際に、そのウインドウ
幅と同じ幅で縦方向或いは横方向に背景色の輝度が変化
する現象を指す。
The above-mentioned crosstalk refers to, for example, a phenomenon in which, when a window screen is displayed at the center of the screen, the luminance of the background color changes in the vertical or horizontal direction at the same width as the window width.

【0016】縦電界方式の液晶表示装置で発生するクロ
ストークは、画素電極、配線電極、対向電極などの容量
結合により保持期間に他の画素の電位が影響を受けるこ
とに原因している。設計上では、上記の容量比を適正化
することにより影響を少なくしている。しかし、本発明
の解決課題とするクロストークは、この様な容量結合に
起因したものではなく、単に完全に遮光できない洩れ光
の影響により、ウインドウ幅と同じ幅で背景色の輝度が
変化してしまうことを原因としたものである。
Crosstalk generated in a vertical electric field type liquid crystal display device is caused by the influence of the potential of another pixel during the holding period due to capacitive coupling of a pixel electrode, a wiring electrode, a counter electrode and the like. In the design, the influence is reduced by optimizing the above capacity ratio. However, the crosstalk that is a problem to be solved by the present invention is not due to such capacitive coupling, and the luminance of the background color changes in the same width as the window width due to the effect of leaked light that cannot be completely blocked. It is caused by that.

【0017】したがって、本発明の目的は、上記洩れ光
の影響により発生するクロストークを防止した液晶表示
装置を提供することにある。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a liquid crystal display device in which crosstalk caused by the influence of the above-mentioned leaked light is prevented.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の第1の手段は、複数の走査信号配線および
映像信号配線と、前記走査信号配線および映像信号配線
の交点近傍に形成したスイッチング素子と、前記スイッ
チング素子を介して駆動電圧が印加される画素電極と、
前記画素電極と共に基板の平面に略平行な電界を印加す
るように配置された対向電極とを備えてアクティブ・マ
トリクス基板を構成する第1の基板と、樹脂組成物で形
成したブラックマトリクスと、各画素に対応して配置し
たカラーフィルタ層を形成したカラーフィルタ基板を構
成する第2の基板との間に液晶組成物を挟持し、前記画
素電極と対向電極との間に前記各基板の平面と略平行に
発生される電界成分によって前記液晶組成物の光透過率
を変化させて画像表示を行う液晶表示装置において、前
記各基板の平面に垂直な方向から見た場合に、前記映像
信号配線とカラーフィルタ層の少なくとも一部を重畳し
て配置してなることを特徴とする。
In order to achieve the above object, a first means of the present invention is to form a plurality of scanning signal wirings and video signal wirings near an intersection of the scanning signal wirings and the video signal wirings. A switching element, a pixel electrode to which a driving voltage is applied via the switching element,
A first substrate constituting an active matrix substrate including a counter electrode arranged so as to apply an electric field substantially parallel to the plane of the substrate together with the pixel electrode, a black matrix formed of a resin composition, A liquid crystal composition is sandwiched between a second substrate constituting a color filter substrate on which a color filter layer arranged corresponding to a pixel is formed, and a plane of each substrate is interposed between the pixel electrode and a counter electrode. In a liquid crystal display device that performs image display by changing the light transmittance of the liquid crystal composition by an electric field component generated substantially in parallel, when viewed from a direction perpendicular to the plane of each substrate, the video signal wiring and It is characterized in that at least a part of the color filter layer is arranged so as to overlap.

【0019】また、本発明の第2の手段は、複数の走査
信号配線および映像信号配線と、前記走査信号配線およ
び映像信号配線の交点近傍に形成したスイッチング素子
と、前記スイッチング素子を介して駆動電圧が印加され
る画素電極と、前記画素電極と共に基板の平面に略平行
な電界を印加するように配置された対向電極とを備えて
アクティブ・マトリクス基板を構成する第1の基板と、
樹脂組成物で構成したブラックマトリクスと、各画素に
対応して配置したカラーフィルタ層を形成したカラーフ
ィルタ基板を構成する第2の基板との間に液晶組成物を
挟持し、前記画素電極と対向電極との間に前記各基板の
平面と略平行に発生される電界成分によって前記液晶組
成物の光透過率を変化させて画像表示を行う液晶表示装
置において、前記各基板の平面に垂直な方向から見た場
合に、前記映像信号配線と平行方向のカラーフィルタ層
の端部を前記映像信号配線の線幅の内側に配置してなる
ことを特徴とする。
The second means of the present invention comprises: a plurality of scanning signal wirings and video signal wirings; a switching element formed near an intersection of the scanning signal wiring and the video signal wiring; A first substrate forming an active matrix substrate including a pixel electrode to which a voltage is applied, and a counter electrode disposed so as to apply an electric field substantially parallel to the plane of the substrate together with the pixel electrode;
A liquid crystal composition is sandwiched between a black matrix formed of a resin composition and a second substrate forming a color filter substrate formed with a color filter layer disposed corresponding to each pixel, and is opposed to the pixel electrode. In a liquid crystal display device that performs image display by changing the light transmittance of the liquid crystal composition by an electric field component generated substantially in parallel with the plane of each substrate between electrodes and a direction perpendicular to the plane of each substrate. When viewed from above, an end of the color filter layer in a direction parallel to the video signal wiring is arranged inside the line width of the video signal wiring.

【0020】さらに、本発明の第3の手段は、複数の走
査信号配線および映像信号配線と、前記走査信号配線お
よび映像信号配線の交点近傍に形成したスイッチング素
子と、前記スイッチング素子を介して駆動電圧が印加さ
れる画素電極と、前記画素電極と共に基板の平面に略平
行な電界を印加するように配置された対向電極とを備え
てアクティブ・マトリクス基板を構成する第1の基板
と、樹脂組成物で構成したブラックマトリクスと、各画
素に対応して配置したカラーフィルタ層を形成した第2
の基板との間に液晶組成物を挟持し、前記画素電極と対
向電極との間に前記各基板の平面と略平行に発生される
電界成分によって前記液晶組成物の光透過率を変化させ
て画像表示を行う液晶表示装置において、前記走査信号
配線と平行方向に隣接するカラーフィルタ層が互いに前
記ブラックマトリクス上で重畳するように配置してなる
ことを特徴とする。
Further, a third means of the present invention comprises a plurality of scanning signal wirings and video signal wirings, a switching element formed near an intersection of the scanning signal wiring and the video signal wiring, and a driving device via the switching element. A first substrate constituting an active matrix substrate, comprising: a pixel electrode to which a voltage is applied; and a counter electrode disposed so as to apply an electric field substantially parallel to the plane of the substrate together with the pixel electrode. Black matrix composed of an object and a color filter layer arranged corresponding to each pixel.
The liquid crystal composition is sandwiched between the substrates, and the light transmittance of the liquid crystal composition is changed by an electric field component generated substantially in parallel with the plane of each substrate between the pixel electrode and the counter electrode. In a liquid crystal display device for displaying an image, the color filter layers adjacent in the direction parallel to the scanning signal lines are arranged so as to overlap each other on the black matrix.

【0021】さらにまた、本発明の第4の手段は、複数
の走査信号配線および映像信号配線と、前記走査信号配
線および映像信号配線の交点近傍に形成したスイッチン
グ素子と、前記スイッチング素子を介して駆動電圧が印
加される画素電極と、前記画素電極と共に基板の平面に
略平行な電界を印加するように配置された対向電極とを
備え、かつ、前記画素電極あるいは前記対向電極の何れ
か一方を前記映像信号配線と平行に配置してアクティブ
・マトリクス基板を構成する第1の基板と、樹脂組成物
で構成したブラックマトリクスと各画素に対応して配置
したカラーフィルタ層を形成した第2の基板との間に液
晶組成物を挟持し、前記画素電極と対向電極との間に前
記各基板の平面と略平行に発生される電界成分によって
前記液晶組成物の光透過率を変化させて画像表示を行う
液晶表示装置において、前記各基板の平面に垂直な方向
から見た場合に、前記映像信号配線と平行方向のカラー
フィルタ層の端部を、隣接する画素における映像信号配
線と隣接して平行配置された画素電極あるいは対向電極
の幅の内側に配置してなることを特徴とする。
Still further, according to a fourth aspect of the present invention, a plurality of scanning signal wirings and video signal wirings, a switching element formed near an intersection of the scanning signal wirings and the video signal wirings, A pixel electrode to which a drive voltage is applied, and a counter electrode disposed so as to apply an electric field substantially parallel to a plane of a substrate together with the pixel electrode, and one of the pixel electrode and the counter electrode is provided. A first substrate which is arranged in parallel with the video signal wiring to form an active matrix substrate, and a second substrate which is formed with a black matrix made of a resin composition and a color filter layer arranged corresponding to each pixel Between the pixel electrode and the counter electrode, and an electric field component generated substantially in parallel with the plane of each substrate between the pixel electrode and the counter electrode. In a liquid crystal display device that performs image display by changing the transmittance, when viewed from a direction perpendicular to the plane of each of the substrates, an end of the color filter layer in a direction parallel to the video signal wiring is formed in an adjacent pixel. It is characterized in that it is arranged inside the width of a pixel electrode or a counter electrode arranged in parallel adjacent to a video signal wiring.

【0022】そして、本発明の第5の手段は、複数の走
査信号配線および映像信号配線と、前記走査信号配線お
よび映像信号配線の交点近傍に形成したスイッチング素
子と、前記スイッチング素子を介して駆動電圧が印加さ
れる画素電極と、前記画素電極と共に基板の平面に略平
行な電界を印加するように配置された対向電極とを備
え、かつ、前記画素電極あるいは前記対向電極の何れか
一方を前記映像信号配線と平行に配置してアクティブ・
マトリクス基板を構成する第1の基板と、樹脂組成物で
構成したブラックマトリクスと各画素に対応して配置し
たカラーフィルタ層を形成した第2の基板との間に液晶
組成物を挟持し、前記画素電極と対向電極との間に前記
各基板の平面と略平行に発生される電界成分によって前
記液晶組成物の光透過率を変化させて画像表示を行う液
晶表示装置において、隣接するカラーフィルタ層と異な
る色度を有するカラーフィルタ材料を、前記映像信号配
線と対向配置されるブラックマトリクス上の少なくとも
一部に形成してなり、かつ、前記映像信号配線と平行な
方向の前記カラーフィルタ材料の端部が前記映像信号配
線と隣接して平行配置された前記画素電極あるいは前記
対向電極の幅の内側に配置してなることを特徴とする。
The fifth means of the present invention comprises a plurality of scanning signal wirings and video signal wirings, a switching element formed near an intersection between the scanning signal wirings and the video signal wirings, and a driving device via the switching element. A pixel electrode to which a voltage is applied, and a counter electrode arranged to apply an electric field substantially parallel to the plane of the substrate together with the pixel electrode, and one of the pixel electrode and the counter electrode is Active
A liquid crystal composition is sandwiched between a first substrate constituting a matrix substrate and a second substrate having a black matrix composed of a resin composition and a color filter layer arranged corresponding to each pixel, In a liquid crystal display device which performs image display by changing the light transmittance of the liquid crystal composition by an electric field component generated substantially in parallel with the plane of each substrate between a pixel electrode and a counter electrode, an adjacent color filter layer A color filter material having a chromaticity different from that of the color filter material is formed on at least a part of a black matrix disposed to face the video signal wiring, and an end of the color filter material in a direction parallel to the video signal wiring. A portion is disposed inside the width of the pixel electrode or the counter electrode which is disposed adjacent to and parallel to the video signal wiring.

【0023】上記本発明の各手段により、映像信号配線
と対向電極の間から発生する漏れ光が遮光され、所謂縦
スメアが低減し、高画質の表示装置が得られる。
According to the above-mentioned means of the present invention, leakage light generated between the video signal wiring and the counter electrode is shielded, so-called vertical smear is reduced, and a high-quality display device is obtained.

【0024】本発明の更に他の目的及び本発明の更に他
の特徴は図面を参照した以下の説明から明らかになるで
あろう。
Still other objects and features of the present invention will become apparent from the following description with reference to the drawings.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、アクティブ・マトリクス方式のカラー液晶表示装置
に本発明を適用した実施例を説明する。なお、以下に説
明する図面で、同一機能を有するものは同一符号を付
け、その繰り返しの説明は省略する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in which the present invention is applied to an active matrix type color liquid crystal display device. In the drawings described below, components having the same function are denoted by the same reference numerals, and a repeated description thereof will be omitted.

【0026】《マトリクス部(画素部)の平面構成》図
7は本発明のアクティブ・マトリクス方式カラー液晶表
示装置の一画素とブラックマトリクスBMの遮光領域お
よびその周辺を示す平面図である。
<< Planar Configuration of Matrix Unit (Pixel Unit) >> FIG. 7 is a plan view showing one pixel of the active matrix type color liquid crystal display device of the present invention, a light-shielding region of the black matrix BM and its periphery.

【0027】図7に示すように、各画素は走査信号配線
(ゲート信号線又は水平信号線)GLと、対向電圧信号
線(対向電極配線)CLと、隣接する2本の映像信号配
線(ドレイン信号線又は垂直信号線)DLとの交差領域
内(4本の信号線で囲まれた領域内)に配置されてい
る。
As shown in FIG. 7, each pixel has a scanning signal line (gate signal line or horizontal signal line) GL, a counter voltage signal line (counter electrode line) CL, and two adjacent video signal lines (drain). The signal line or the vertical signal line) is arranged in an intersecting region with the DL (in a region surrounded by four signal lines).

【0028】各画素は薄膜トランジスタTFT、蓄積容
量Cstg、画素電極PX及び対向電極CTを含む。走
査信号線GL、対向電圧信号線CLは、同図では左右方
向に延在し、上下方向に複数本配置されている。映像信
号線DLは上下方向に延在し、左右方向に複数本配置さ
れている。画素電極PXは薄膜トランジスタTFTと接
続され、対向電極CTは対向電圧信号線CLと一体にな
っている。
Each pixel includes a thin film transistor TFT, a storage capacitor Cstg, a pixel electrode PX, and a counter electrode CT. The scanning signal lines GL and the counter voltage signal lines CL extend in the left-right direction in FIG. The video signal lines DL extend in the up-down direction, and a plurality of video signal lines DL are arranged in the left-right direction. The pixel electrode PX is connected to the thin film transistor TFT, and the counter electrode CT is integrated with the counter voltage signal line CL.

【0029】画素電極PXと対向電極CTは互いに対向
し、各画素電極PXと対向電極CTとの間の電界により
液晶LCの配向状態を制御し、透過光を変調して表示を
制御する。画素電極PXと対向電極CTは櫛歯状に構成
され、それぞれ同図の上下方向に長細い電極となってい
る。
The pixel electrode PX and the counter electrode CT are opposed to each other, and the alignment state of the liquid crystal LC is controlled by an electric field between each pixel electrode PX and the counter electrode CT, and the transmitted light is modulated to control the display. The pixel electrode PX and the counter electrode CT are formed in a comb-like shape, and each is an electrode that is elongated in the vertical direction in FIG.

【0030】1画素内の対向電極CTの本数O(櫛歯の
本数)は、画素電極PXの本数P(櫛歯の本数)とO=
P+1の関係を必ず持つように構成する(本実施例で
は、O=2、P=1)。これは、対向電極CTと画素電
極PXを交互に配置し、かつ、対向電極CTを映像信号
線DLに必ず隣接させるためである。
The number O (number of comb teeth) of the counter electrode CT in one pixel is equal to the number P (number of comb teeth) of the pixel electrode PX and O =
It is configured to always have the relationship of P + 1 (O = 2, P = 1 in this embodiment). This is because the counter electrode CT and the pixel electrode PX are alternately arranged, and the counter electrode CT is always adjacent to the video signal line DL.

【0031】これにより、対向電極CTと画素電極PX
の間の電界が、映像信号線DLから発生する電界から影
響を受けないように、対向電極CTで映像信号線DLか
らの電気力線をシールドすることができる。
Thus, the counter electrode CT and the pixel electrode PX are
The electric field lines from the video signal line DL can be shielded by the counter electrode CT so that the electric field between them is not affected by the electric field generated from the video signal line DL.

【0032】対向電極CTは、対向電圧信号線CLによ
り常に外部から電位を供給されているため、電位は安定
している。そのため、映像信号線DLに隣接しても、電
位の変動が殆どない。又、これにより、画素電極PXの
映像信号線DLからの幾何学的な位置が遠くなるので、
画素電極PXと映像信号線DLの間の寄生容量が大幅に
減少し、画素電極電位Vsの映像信号電圧による変動も
制御できる。
Since the potential of the counter electrode CT is always supplied from the outside by the counter voltage signal line CL, the potential is stable. Therefore, there is almost no change in potential even adjacent to the video signal line DL. In addition, since the geometric position of the pixel electrode PX from the video signal line DL becomes farther,
The parasitic capacitance between the pixel electrode PX and the video signal line DL is greatly reduced, and the fluctuation of the pixel electrode potential Vs due to the video signal voltage can be controlled.

【0033】これらにより、上下方向に発生するクロス
トーク(縦スミアと呼ばれる画質不良)を抑制すること
ができる。
As a result, crosstalk (defective image quality called vertical smear) occurring in the vertical direction can be suppressed.

【0034】画素電極PXと対向電極CTの電極幅W
p,Wcはそれぞれ6μmとし、後述の液晶層の最大設
定厚みを超える4.5μmよりも十分大きく設定する。
製造上の加工ばらつきを考慮すると20%以上のマージ
ンを持った方が好ましいので、望ましくは5.4μmよ
りも十分大きくしたほうが良い。
The electrode width W between the pixel electrode PX and the counter electrode CT
Each of p and Wc is set to 6 μm, which is set sufficiently larger than 4.5 μm which exceeds the maximum set thickness of the liquid crystal layer described later.
It is preferable to have a margin of 20% or more in consideration of processing variations in manufacturing. Therefore, it is preferable that the margin be sufficiently larger than 5.4 μm.

【0035】これにより、液晶層に印加される基板面に
平行な電界成分が基板面に垂直な方向の電界成分よりも
大きくなり、液晶を駆動する電圧の上昇を抑制すること
ができる。又、各電極の電極幅Wp,Wcの最大値は、
画素電極PXと対向電極CTの間の間隔Lよりも小さい
事が好ましい。
Thus, the electric field component applied to the liquid crystal layer parallel to the substrate surface becomes larger than the electric field component in the direction perpendicular to the substrate surface, and it is possible to suppress an increase in the voltage for driving the liquid crystal. The maximum value of the electrode width Wp, Wc of each electrode is
It is preferable that the distance be smaller than the distance L between the pixel electrode PX and the counter electrode CT.

【0036】これは、電極の間隔が小さすぎると電気力
線の湾曲が激しくなり、基板面に平行な電界成分よりも
基板面に垂直な電界成分の方が大きい領域が増大するた
め、基板面に平行な電界成分を効率良く液晶層に印加で
きないからである。従って、画素電極PXと対向電極C
Tの間の間隔Lはマージンを20%とると7.2μmよ
り大きいことが必要である。本実施例では、対角約1
4.5cm(5.7インチ)で640×480ドットの
解像度で構成したので、画素ピッチは約60μmであ
り、画素を2分割することにより、間隔L>7.2μm
を実現した。
This is because, if the distance between the electrodes is too small, the curvature of the lines of electric force becomes severe, and the region where the electric field component perpendicular to the substrate surface is larger than the electric field component parallel to the substrate surface increases. This is because an electric field component parallel to the above cannot be efficiently applied to the liquid crystal layer. Therefore, the pixel electrode PX and the counter electrode C
The interval L between T needs to be larger than 7.2 μm if the margin is 20%. In this embodiment, the diagonal is about 1
Since the pixel pitch is about 60 μm because the resolution is 4.5 cm (5.7 inches) and the resolution is 640 × 480 dots, the distance L> 7.2 μm by dividing the pixel into two.
Was realized.

【0037】又、映像信号線DLの電極幅は断線を防止
するために、画素電極PXと対向電極CTに比較して若
干広い8μmとし、映像信号線DLと対向電極CTとの
間隔は短絡を防止するために約1μmの間隔を開けると
共に、ゲート絶縁膜の上側に映像信号線DLを下側に対向
電極CTを形成して、異層になるように配置している。
The electrode width of the video signal line DL is set to 8 μm, which is slightly wider than the pixel electrode PX and the counter electrode CT in order to prevent disconnection, and the interval between the video signal line DL and the counter electrode CT is short-circuited. In order to prevent this, an interval of about 1 μm is provided, a video signal line DL is formed on the upper side of the gate insulating film, and a counter electrode CT is formed on the lower side.

【0038】一方、画素電極PXと対向電極CTの間の
電極間隔は、用いる液晶材料によって変える。これは、
液晶材料によって最大透過率を達成する電界強度が異な
るため、電極間隔を液晶材料に応じて設定し、用いる映
像信号駆動回路(信号側ドライバ)の耐圧で設定される
信号電圧の最大振幅の範囲で、最大透過率が得られるよ
うにするためである。後述の液晶材料を用いると電極間
隔は、約15μmとなる。
On the other hand, the electrode interval between the pixel electrode PX and the counter electrode CT changes depending on the liquid crystal material used. this is,
Since the electric field strength that achieves the maximum transmittance varies depending on the liquid crystal material, the electrode spacing is set according to the liquid crystal material, and within the range of the maximum amplitude of the signal voltage set by the withstand voltage of the video signal driving circuit (signal side driver) used. , So that the maximum transmittance can be obtained. When a liquid crystal material described later is used, the electrode interval is about 15 μm.

【0039】本実施例では、平面的に、ブラックマトリ
クスBMがゲート配線GL上、対向電圧信号線CL、薄
膜トランジスタTFT上、ドレイン配線DL上、ドレイ
ン配線DLと対向電極CT間に形成している。
In this embodiment, a black matrix BM is formed on the gate line GL, the counter voltage signal line CL, the thin film transistor TFT, the drain line DL, and between the drain line DL and the counter electrode CT in plan view.

【0040】《マトリクス部(画素部)の断面構造》図
8は図7の4ー4切断線における薄膜トランジスタTF
Tの断面図、図9は図7の5ー5切断線における蓄積容
量Cstgの断面図、図10は横電界方式の液晶表示基
板の画像表示領域における1画素の電極近傍の断面図と
基板周辺部の断面図である。
<< Cross-Sectional Structure of Matrix (Pixel) >> FIG. 8 shows a thin film transistor TF taken along the line 4-4 in FIG.
FIG. 9 is a cross-sectional view of the storage capacitor Cstg taken along the line 5-5 in FIG. 7, and FIG. 10 is a cross-sectional view of the vicinity of one pixel electrode in the image display area of the horizontal electric field type liquid crystal display substrate. It is sectional drawing of a part.

【0041】図10に示すように、液晶層LCを基準に
して下部透明ガラス基板SUB1側には薄膜トランジス
タTFT、蓄積容量Cstg(図示せず)及び電極群C
T、PXが形成され、上部透明ガラス基板SUB2側に
はカラーフィルタFIL、遮光用ブラックマトリクスB
Mのパターンが形成されている。尚、公知ではないが、
同一出願人による、特願平7ー198349号に提案さ
れたように、遮光用ブラックマトリクスBMのパターン
を下部透明ガラス基板SUB1側に形成することも可能
である。
As shown in FIG. 10, a thin film transistor TFT, a storage capacitor Cstg (not shown), and an electrode group C are provided on the lower transparent glass substrate SUB1 side with respect to the liquid crystal layer LC.
T, PX are formed, and a color filter FIL and a black matrix B for shading are formed on the upper transparent glass substrate SUB2 side.
An M pattern is formed. Although not publicly known,
As proposed in Japanese Patent Application No. 7-198349 by the same applicant, it is also possible to form the pattern of the light-shielding black matrix BM on the lower transparent glass substrate SUB1 side.

【0042】又、透明ガラス基板SUB1、SUB2の
それぞれの内側(液晶LC側)の表面には、液晶の初期
配向を制御する配向膜ORI11、ORI12が設けら
れており、透明ガラス基板SUB1、SUB2のそれぞ
れの外側の表面には、偏光軸が直交して配置(クロスニ
コル配置)された偏光板POL1、POL2が設けられ
ている。
On the inner surface (on the liquid crystal LC side) of each of the transparent glass substrates SUB1 and SUB2, alignment films ORI11 and ORI12 for controlling the initial alignment of the liquid crystal are provided. Polarizing plates POL1 and POL2 whose polarization axes are orthogonally arranged (crossed Nicol arrangement) are provided on the outer surfaces of each.

【0043】次に、下側透明ガラス基板SUB1側(T
FT基板)の構成を詳しく説明する。
Next, the lower transparent glass substrate SUB1 side (T
The configuration of the FT substrate will be described in detail.

【0044】TFT基板 《薄膜トランジスタ》薄膜トランジスタTFTは、ゲー
ト電極GTに正のバイアスを印加すると、ソース−ドレ
イン間のチャネル抵抗が小さくなり、バイアスを零にす
ると、チャネル抵抗は大きくなるように動作する。
TFT Substrate << Thin Film Transistor >> The thin film transistor TFT operates so that the channel resistance between the source and the drain decreases when a positive bias is applied to the gate electrode GT, and the channel resistance increases when the bias is set to zero.

【0045】薄膜トランジスタTFTは、図8に示すよ
うに、ゲート電極GT、ゲート絶縁膜GI、i型(真
性:intrinsic、導電型決定不純物がドープさ
れていない)非晶質シリコン(Si)からなるi型半導
体層AS、一対のソース電極SD1、ドレイン電極SD
2を有する。
As shown in FIG. 8, the thin film transistor TFT has a gate electrode GT, a gate insulating film GI, and an i-type (intrinsic, not doped with a conductivity type determining impurity) amorphous silicon (Si) made of i. Type semiconductor layer AS, a pair of source electrode SD1, drain electrode SD
2

【0046】尚、ソース、ドレインは本来その間のバイ
アス極性によって決まるもので、この液晶表示装置の回
路ではその極性は動作中反転するので、ソース、ドレイ
ンは動作中入れ替わると理解されたい。しかし、以下の
説明では、便宜上一方をソース、他方をドレインと固定
して表現する。
It should be understood that the source and the drain are originally determined by the bias polarity between them, and in the circuit of this liquid crystal display device, the polarity is inverted during the operation, so that it is understood that the source and the drain are switched during the operation. However, in the following description, one is fixed and the other is fixed as a drain for convenience.

【0047】《ゲート電極GT》ゲート電極GTは走査
信号線GLと連続して形成されており、走査信号線GLの
一部の領域がゲート電極GTとなるように構成されてい
る。このゲート電極GTは薄膜トランジスタTFTの能
動領域を超える部分であり、i型半導体層ASを完全に
覆うよう(下方から見て)それより大きめに形成されて
いる。
<< Gate Electrode GT >> The gate electrode GT is formed continuously with the scanning signal line GL, and a part of the scanning signal line GL is configured as the gate electrode GT. The gate electrode GT is a portion exceeding the active region of the thin film transistor TFT, and is formed larger than that so as to completely cover the i-type semiconductor layer AS (as viewed from below).

【0048】これにより、ゲート電極GTはそれ自身の
役割の他に、i型半導体層ASに外光やバックライト光
が当たらないように工夫されている。本例では、ゲート
電極GTは単層の導電膜g1で形成されている。この導
電膜g1としては、例えばスパッタで形成されたアルミ
ニウム(Al)膜が用いられ、その上にはAlの陽極酸
化膜AOFが設けられている。
Thus, in addition to the role of the gate electrode GT, the gate electrode GT is designed so that external light and backlight do not hit the i-type semiconductor layer AS. In this example, the gate electrode GT is formed of a single-layer conductive film g1. As the conductive film g1, for example, an aluminum (Al) film formed by sputtering is used, and an anodic oxide film AOF of Al is provided thereon.

【0049】《走査信号線GL》走査信号線GLは導電
膜g1で構成されている。この走査信号線GLの導電膜
g1はゲート電極GTの導電膜g1と同一製造工程で形
成され、かつ、一体に構成されている。この走査信号線
GLにより、外部回路からゲート電圧Vgをゲート電極
GTに供給する。
<< Scanning Signal Line GL >> The scanning signal line GL is formed of the conductive film g1. The conductive film g1 of the scanning signal line GL is formed in the same manufacturing process as the conductive film g1 of the gate electrode GT, and is integrally formed. Through this scanning signal line GL, a gate voltage Vg is supplied from an external circuit to the gate electrode GT.

【0050】又、走査信号線GL上にもAlの陽極酸化
膜AOFが設けられている。尚、映像信号線DLと交差
する部分は映像信号線DLとの短絡の確率を小さくする
ため細くし、又、短絡してもレーザトリミングで切り離
すことができるように二股にしている。
An anodic oxide film AOF of Al is also provided on the scanning signal line GL. The portion that intersects with the video signal line DL is made thin to reduce the probability of short-circuit with the video signal line DL, and is made bifurcated so that even if it is short-circuited, it can be separated by laser trimming.

【0051】《対向電極CT》対向電極CTはゲート電
極GT及び走査信号線GLと同層の導電膜g1で構成さ
れている。又、対向電極CT上にもAlの陽極酸化膜A
OFが設けられている。対向電極CTは、陽極酸化膜A
OFで完全に覆われていることから、映像信号線と限り
なく近づけても、それらが短絡してしまうことがなくな
る。
<< Counter Electrode CT >> The counter electrode CT is formed of the same conductive film g1 as the gate electrode GT and the scanning signal line GL. Also, an anodic oxide film A of Al is formed on the counter electrode CT.
An OF is provided. The counter electrode CT has an anodic oxide film A
Since they are completely covered with the OF, even if they are brought as close as possible to the video signal lines, they will not be short-circuited.

【0052】又、それらを交差させて構成させることも
できる。対向電極CTには対向電圧Vcomが印加され
るように構成されている。本実施例では、対向電圧Vc
omは映像信号線DLに印加される最小レベルの駆動電
圧Vdminと最大レベルの駆動電圧Vdmaxとの中
間直流電位から、薄膜トランジスタ素子TFTをオフ状
態にするときに発生するフィードスルー電圧ΔVs分だ
け低い電位に設定されるが、映像信号駆動回路で使用さ
れる集積回路の電源電圧を約半分に低減したい場合は、
交流電圧を印加すれば良い。
Further, they may be configured to cross each other. The counter electrode CT is configured to apply a counter voltage Vcom. In this embodiment, the counter voltage Vc
om is a potential lower than an intermediate DC potential between the minimum level drive voltage Vdmin and the maximum level drive voltage Vdmax applied to the video signal line DL by a feedthrough voltage ΔVs generated when the thin film transistor element TFT is turned off. However, if you want to reduce the power supply voltage of the integrated circuit used in the video signal drive circuit to about half,
An AC voltage may be applied.

【0053】《対向電圧信号線CL》対向電圧信号線C
Lは導電膜g1で構成されている。この対向電圧信号線
CLの導電膜g1はゲート電極GT、走査信号線GL及
び対向電極CTの導電膜g1と同一製造工程で形成さ
れ、かつ、対向電極CTと一体に構成されている。
<< Counter Voltage Signal Line CL >> Counter Voltage Signal Line C
L is composed of the conductive film g1. The conductive film g1 of the counter voltage signal line CL is formed in the same manufacturing process as the conductive film g1 of the gate electrode GT, the scanning signal line GL, and the counter electrode CT, and is formed integrally with the counter electrode CT.

【0054】この対向電圧信号線CLにより、外部回路
から対向電圧Vcomを対向電極CTに供給する。又、
対向電圧信号線CL上にもAlの陽極酸化膜AOFが設
けられている。尚、映像信号線DLと交差する部分は、
走査信号線GLと同様に映像信号線DLとの短絡の確率
を小さくするため細くし、又、短絡しても、レーザトリ
ミングで切り離すことができるように二股にすることも
できる。
The counter voltage Vcom is supplied to the counter electrode CT from an external circuit through the counter voltage signal line CL. or,
An anodic oxide film AOF of Al is also provided on the counter voltage signal line CL. Note that the portion that intersects with the video signal line DL is
Like the scanning signal line GL, it may be made thinner to reduce the probability of short-circuiting with the video signal line DL, or it may be split into two parts so that even if it is short-circuited, it can be separated by laser trimming.

【0055】《絶縁膜GI》絶縁膜GIは、薄膜トラン
ジスタTFTにおいて、ゲート電極GTと共に半導体層
ASに電界を与えるためのゲート絶縁膜として使用され
る。絶縁膜GIはゲート電極GT及び走査信号線GLの
上層に形成されている。
<< Insulating Film GI >> The insulating film GI is used as a gate insulating film for applying an electric field to the semiconductor layer AS together with the gate electrode GT in the thin film transistor TFT. The insulating film GI is formed above the gate electrode GT and the scanning signal line GL.

【0056】絶縁膜GIとしては例えばプラズマCVD
で形成された窒化シリコン膜が選ばれ、120〜270
nmの厚さに(本実施例では、240nm)形成され
る。
As the insulating film GI, for example, plasma CVD
The silicon nitride film formed by
It is formed to a thickness of nm (240 nm in this embodiment).

【0057】このゲート絶縁膜GIは、マトリクス部A
Rの全体を囲むように形成され、周辺部は外部接続端子
DTM、GTMを露出するよう除去されている。また、
絶縁膜GIは走査信号線GL及び対向電圧信号線CLと
映像信号線DLの電気的絶縁にも寄与している。
The gate insulating film GI is formed in the matrix portion A
R is formed so as to surround the entirety of R, and the peripheral portion is removed so as to expose the external connection terminals DTM and GTM. Also,
The insulating film GI also contributes to electrical insulation between the scanning signal lines GL and the counter voltage signal lines CL and the video signal lines DL.

【0058】《i型半導体層AS》i型半導体層AS
は、非晶質シリコンで、20〜220nmの厚さ(本実
施例では、200nm程度の膜厚)で形成される。層d
0はオーミックコンタクト用のリン(P)をドープした
N(+)型非晶質シリコン半導体層であり、下側にi型
半導体層ASが存在し、上側に導電膜d1(d2)が存
在するところのみに残されている。
<< i-type semiconductor layer AS >> i-type semiconductor layer AS
Is amorphous silicon and is formed with a thickness of 20 to 220 nm (about 200 nm in this embodiment). Layer d
Numeral 0 denotes an N (+)-type amorphous silicon semiconductor layer doped with phosphorus (P) for ohmic contact. An i-type semiconductor layer AS is present on the lower side, and a conductive film d1 (d2) is present on the upper side. It is left only in places.

【0059】i型半導体層ASは走査信号線GL及び対
向信号線CLと映像信号線DLとの交差部の両者間にも
設けられている。この交差部のi型半導体層ASは交差
部における走査信号線GL及び対向信号線CLと映像信
号線DLとの短絡を低減する。
The i-type semiconductor layer AS is also provided between the scanning signal line GL and the intersection of the counter signal line CL and the video signal line DL. The i-type semiconductor layer AS at the intersection reduces a short circuit between the scanning signal line GL and the opposing signal line CL and the video signal line DL at the intersection.

【0060】《ソース電極SDI、ドレイン電極SD
2》ソース電極SDI、ドレイン電極SD2のそれぞれ
は、N(+)型半導体層d0に接触する導電膜d1とそ
の上に形成された導電膜d2とから構成されている。
<< Source electrode SDI, drain electrode SD
2 >> Each of the source electrode SDI and the drain electrode SD2 is composed of a conductive film d1 in contact with the N (+) type semiconductor layer d0 and a conductive film d2 formed thereon.

【0061】導電膜d1はスパッタで形成したクロム
(Cr)膜を用い、50〜100nmの厚さに(本実施
例では、60nm程度)で形成される。Cr膜は膜厚を
厚く形成するとストレスが大きくなるので、200nm
程度の膜厚を越えない範囲で形成する。Cr膜はN
(+)型半導体層d0との接着性を良好にし、導電膜d
2のAlがN(+)型半導体層d0に拡散することを防
止する、所謂バリア層の目的で使用される。
The conductive film d1 is formed of a chromium (Cr) film formed by sputtering to a thickness of 50 to 100 nm (about 60 nm in this embodiment). Since the stress increases when the Cr film is formed to have a large thickness, the Cr film has a thickness of 200 nm.
It is formed in a range that does not exceed a certain thickness. Cr film is N
To improve the adhesion to the (+) type semiconductor layer d0,
2 is used for the purpose of a so-called barrier layer that prevents Al from diffusing into the N (+) type semiconductor layer d0.

【0062】導電膜d1として、Cr膜の他に高融点金
属(Mo、Ti、Ta、W)膜、高融点金属シリサイド
(MoSi2 、TiSi2 、TaSi2 、WSi2 )膜
を用いても良い。
As the conductive film d1, a refractory metal (Mo, Ti, Ta, W) film or a refractory metal silicide (MoSi 2 , TiSi 2 , TaSi 2 , WSi 2 ) film may be used in addition to the Cr film. .

【0063】導電膜d2はAlのスパッタリングで30
0〜500nmの厚さに(本実施例では、400nm程
度)形成される。Al膜はCr膜に比べてストレスが小
さく、厚い膜厚に形成することが可能で、ソース電極S
D1、ドレイン電極SD2および映像信号線DLの抵抗
値を低減したり、ゲート電極GTやi型半導体層ASに
起因する段差乗り越えを確実にする(ステップカバレー
ジを良くする)働きがある。
The conductive film d2 is formed by sputtering Al
It is formed to a thickness of 0 to 500 nm (about 400 nm in this embodiment). The Al film has a smaller stress than the Cr film and can be formed to have a large thickness.
It has functions of reducing the resistance values of D1, the drain electrode SD2, and the video signal line DL, and ensuring the step over caused by the gate electrode GT and the i-type semiconductor layer AS (to improve the step coverage).

【0064】導電膜d1、導電膜d2を同じマスクパタ
ーンでパターニングした後、同じマスクを用いて、或い
は導電膜d1、導電膜d2をマスクとして、N(+)型
半導体層d0が除去される。つまり、i型半導体層AS
上に残っているN(+)型半導体層d0は導電膜d1、
導電膜d2以外の部分がセルフアラインで除去される。
このとき、N(+)型半導体層d0はその厚さ分は全て
除去されるようエッチングされるので、i型半導体層A
Sも若干その表面部分がエッチングされるが、その程度
はエッチング時間で制御すればよい。
After patterning the conductive films d1 and d2 with the same mask pattern, the N (+) type semiconductor layer d0 is removed using the same mask or using the conductive films d1 and d2 as a mask. That is, the i-type semiconductor layer AS
The remaining N (+) type semiconductor layer d0 is a conductive film d1,
Portions other than the conductive film d2 are removed by self-alignment.
At this time, since the N (+)-type semiconductor layer d0 is etched so as to completely remove its thickness, the i-type semiconductor layer A is removed.
Although the surface portion of S is also slightly etched, its degree may be controlled by the etching time.

【0065】《映像信号線DL》映像信号線DLはソー
ス電極SD1、ドレイン電極SD2と同層の第2導電膜
d2、第3導電膜d3で構成されている。又、映像信号
線DLはドレイン電極SD2と一体に形成されている。
<< Video Signal Line DL >> The video signal line DL is composed of the second conductive film d2 and the third conductive film d3 in the same layer as the source electrode SD1 and the drain electrode SD2. The video signal line DL is formed integrally with the drain electrode SD2.

【0066】《画素電極PX》画素電極PXはソース電
極SD1、ドレイン電極SD2と同層の第2導電膜d
2、第3導電膜d3で構成されている。又、画素電極P
Xはソース電極SD1と一体に形成されている。
<< Pixel Electrode PX >> The pixel electrode PX is the second conductive film d of the same layer as the source electrode SD1 and the drain electrode SD2.
2, the third conductive film d3. Also, the pixel electrode P
X is formed integrally with the source electrode SD1.

【0067】《蓄積容量Cstg》画素電極PXは、薄
膜トランジスタTFTと接続される端部と反対側の端部
において、対向電圧信号線CLと重なるように形成され
ている。この重ね合せは、図9からも明らかなように、
画素電極PXを一方の電極PL2とし、対向電圧信号線
CLを他方の電極PL1とする蓄積容量(静電容量素
子)Cstgを構成する。この蓄積容量Cstgの誘電
体膜は、薄膜トランジスタTFTのゲート絶縁膜として
使用される絶縁膜GI及び陽極酸化膜AOFで構成され
ている。
<< Storage Capacitor Cstg >> The pixel electrode PX is formed so as to overlap the counter voltage signal line CL at the end opposite to the end connected to the thin film transistor TFT. This superposition is, as is clear from FIG.
A storage capacitor (capacitance element) Cstg is formed in which the pixel electrode PX is one electrode PL2 and the counter voltage signal line CL is the other electrode PL1. The dielectric film of the storage capacitor Cstg includes an insulating film GI used as a gate insulating film of the thin film transistor TFT and an anodic oxide film AOF.

【0068】図7に示したように、平面的には蓄積容量
Cstgは対向電圧信号線CLの導電膜g1の部分に形
成されている。
As shown in FIG. 7, the storage capacitor Cstg is formed in the conductive film g1 of the counter voltage signal line CL in plan view.

【0069】この場合、この蓄積容量Cstgは、その
絶縁膜GIに対して下側に位置づけられる電極の材料が
Alで形成され、かつ、その表面が陽極化成されたもの
であることから、ALの所謂ヒロック等が原因する点欠
陥(上側に位置づけられる電極との短絡)による弊害を
発生し難くくする蓄積容量を得ることができる。
In this case, the storage capacitor Cstg is made of aluminum because the material of the electrode positioned below the insulating film GI is formed of Al and the surface thereof is anodized. It is possible to obtain a storage capacitor which is less likely to cause adverse effects due to a point defect (short-circuit with an electrode positioned on the upper side) caused by a so-called hillock or the like.

【0070】《保護膜PSV1》薄膜トランジスタTF
T上には保護膜PSV1が設けられている。保護膜PS
V1は主に薄膜トランジスタTFTを湿気等から保護す
るために形成されており、透明性が高くしかも耐湿性の
良いものを使用する。この保護膜PSV1は例えばプラ
ズマCVD装置で形成した酸化シリコン膜や窒化シリコ
ン膜で形成されており、500nm程度の膜厚で形成す
る。
<< Protective Film PSV1 >> Thin Film Transistor TF
On T, a protective film PSV1 is provided. Protective film PS
V1 is formed mainly to protect the thin film transistor TFT from moisture and the like, and uses a material having high transparency and good moisture resistance. The protective film PSV1 is formed of, for example, a silicon oxide film or a silicon nitride film formed by a plasma CVD apparatus, and has a thickness of about 500 nm.

【0071】保護膜PSV1は、マトリクス部ARの全
体を囲むように形成され、周辺部は外部接続端子DT
M、GTMを露出するよう除去されている。この保護膜
PSV1とゲート絶縁膜GIの厚さ関係に関しては、前
者は保護効果を考え厚くされ、後者はトランジスタの相
互コンダクタンスgmを考慮して薄くされる。
The protective film PSV1 is formed so as to surround the entire matrix portion AR, and the peripheral portion has an external connection terminal DT.
M and GTM have been removed to expose. Regarding the thickness relationship between the protective film PSV1 and the gate insulating film GI, the former is made thicker in consideration of the protective effect, and the latter is made thinner in consideration of the transconductance gm of the transistor.

【0072】カラーフィルタ基板 次に、図7、図10に戻り、上側透明ガラス基板SUB
2側(カラーフィルタ基板)の構成を詳しく説明する。
[0072] The color filter substrate Next, FIG. 7, back to FIG. 10, the upper transparent glass substrate SUB
The configuration of the two sides (color filter substrate) will be described in detail.

【0073】《遮光膜BM》上部透明ガラス基板SUB
2側には、不要な間隙部(画素電極PXと対向電極CT
の間以外の隙間)からの透過光が表示面側に出射して、
コントラスト比等を低下させないように遮光膜BM(所
謂、ブラックマトリクス)を形成している。遮光膜BM
は、外部光又はバックライト光がi型半導体層ASに入
射しないようにする役割も果たしている。即ち、薄膜ト
ランジスタTFTのi型半導体層ASは上下にある遮光
膜BM及び大きめのゲート電極GTによってサンドイッ
チにされ、外部の自然光やバックライト光が当たらなく
なる。
<< Light shielding film BM >> Upper transparent glass substrate SUB
On the second side, an unnecessary gap (pixel electrode PX and counter electrode CT)
Transmitted light from the gap other than the gap between
A light-shielding film BM (a so-called black matrix) is formed so as not to lower the contrast ratio and the like. Light shielding film BM
Also serves to prevent external light or backlight light from entering the i-type semiconductor layer AS. That is, the i-type semiconductor layer AS of the thin film transistor TFT is sandwiched between the upper and lower light-shielding films BM and the large gate electrode GT, so that external natural light or backlight does not shine.

【0074】図7に示す遮光膜BMの閉じた多角形の輪
郭線は、その内側が遮光膜BMが形成されない開口を示
している。この輪郭線のパターンは1例である。
The closed polygonal outline of the light-shielding film BM shown in FIG. 7 indicates an opening in which the light-shielding film BM is not formed. This contour pattern is an example.

【0075】横電界方式の液晶表示装置では、可能な限
り高抵抗なブラックマトリクスが適していることから、
一般に樹脂組成物を用いる。この抵抗規格については、
公知ではないが、同一出願人による特願平7−1919
94号に記載がある。即ち、液晶組成物LCの比抵抗値
が10のN乗を10N と記述すると10N Ω・cm以上、か
つ、ブラックマトリクスBMの比抵抗値が10のM乗を
10M と記述すると10MΩ・cm以上とし、かつ、N>
9、M>6を満足する関係とする。或いは、N>13、
M>7を満足する関係とすることが望ましい。
In a horizontal electric field type liquid crystal display device, a black matrix having the highest possible resistance is suitable.
Generally, a resin composition is used. For this resistance standard,
Although it is not publicly known, Japanese Patent Application No. 7-1919 filed by the same applicant
No. 94. That is, if the specific resistance of the liquid crystal composition LC is described as 10 N as 10 N , then the specific resistance of the black matrix BM is 10 N Ω · cm or more, and the specific resistance of the black matrix BM is 10 M
When written as 10 M and 10 M Ω · cm or more and, N>
9, and M> 6. Or N> 13,
It is desirable that the relationship satisfy M> 7.

【0076】又、液晶表示装置の表面反射を低減する目
的からも、ブラックマトリクスの形成材料に樹脂組成物
を用いることが望ましい。
It is also desirable to use a resin composition as a material for forming the black matrix from the viewpoint of reducing the surface reflection of the liquid crystal display device.

【0077】さらに、Cr等の金属膜をブラックマトリ
クスに用いる場合と比較して、金属膜のエッチング工程
が不要なため、カラーフィルタ基板の製造工程を簡略化
できる。金属膜を使用する場合の製造工程は、1)金属
膜成膜、2)レジスト塗布、3)露光、4)現像、5)
金属膜エッチング、6)レジスト剥離、である。
Further, as compared with the case where a metal film such as Cr is used for the black matrix, an etching process of the metal film is not required, so that the manufacturing process of the color filter substrate can be simplified. When a metal film is used, the manufacturing steps are: 1) metal film formation, 2) resist coating, 3) exposure, 4) development, 5)
Metal film etching, 6) resist stripping.

【0078】一方、樹脂を使用する場合の製造工程は、
1)樹脂塗布、2)露光、3)現像、であり、著しく工
程を短縮できる。
On the other hand, when a resin is used,
1) resin application, 2) exposure, and 3) development, and the process can be significantly shortened.

【0079】しかし、樹脂組成物は金属膜と比較して遮
光性が低い。樹脂の膜厚を厚くすると遮光性は向上する
が、ブラックマトリクスの膜厚ばらつきは増加する。こ
れは、例えば±10%の膜厚ばらつきがある場合、ブラ
ックマトリクスの膜厚が1.0μm時は±0.1μm、
2μm時は±0.2μmになるためである。
However, the resin composition has a lower light-shielding property than a metal film. Increasing the thickness of the resin improves the light-shielding properties, but increases the variation in the thickness of the black matrix. This means that, for example, when there is a thickness variation of ± 10%, when the thickness of the black matrix is 1.0 μm, ± 0.1 μm,
This is because when it is 2 μm, it becomes ± 0.2 μm.

【0080】又、ブラックマトリクスの膜厚を厚くする
と、カラーフィルタ基板の膜厚ばらつきが増加し、液晶
表示基板のギャップ精度を向上することが困難になる。
以上の理由により、樹脂の膜厚は、2μm以下にするこ
とが望ましい。
When the thickness of the black matrix is increased, the variation in the thickness of the color filter substrate increases, and it becomes difficult to improve the gap accuracy of the liquid crystal display substrate.
For the above reasons, it is desirable that the thickness of the resin is 2 μm or less.

【0081】膜厚1μmでOD値を約4.0以上にする
ためには、例えばカーボンの含有量を増加して黒色化す
る場合、ブラックマトリクスBMの比抵抗値は約106
Ω・cm以下となり、現状では使用できない。尚、OD
値は、吸光係数に膜厚を掛けた値と定義できる。
In order to increase the OD value to about 4.0 or more at a film thickness of 1 μm, for example, when blackening by increasing the carbon content, the specific resistance of the black matrix BM is about 10 6
Ω · cm or less and cannot be used at present. OD
The value can be defined as the value obtained by multiplying the extinction coefficient by the film thickness.

【0082】このため、本実施例では、この遮光膜BM
の材料として、黒色の無機顔料をレジスト材に混入した
樹脂組成物を用い、1.3±0.1μm程度の厚さで形
成している。無機顔料の例としては、パラジウムや無電
解メッキしたNiなどがある。更に、ブラックマトリク
スBMの比抵抗値は約109 Ω・cmとし、OD値約
2.0とした。
For this reason, in this embodiment, the light shielding film BM
Is formed of a resin composition obtained by mixing a black inorganic pigment into a resist material, and is formed to a thickness of about 1.3 ± 0.1 μm. Examples of the inorganic pigment include palladium and electroless plated Ni. Further, the specific resistance of the black matrix BM was set to about 10 9 Ω · cm, and the OD value was set to about 2.0.

【0083】この樹脂組成物ブラックマトリクスBMを
使用した場合の光透過量の計算結果を下記に示す。
The calculation results of the light transmission amount when this resin composition black matrix BM is used are shown below.

【0084】OD値=log(100/Y) Y=∫A(λ)・B(λ)・C(λ)dλ/∫A(λ)
・C(λ)dλ ここで、Aは視感度、Bは透過率、Cは光源スペクト
ル、λは入射光の波長を示す。
OD value = log (100 / Y) Y = ∫A (λ) · B (λ) · C (λ) dλ / ∫A (λ)
C (λ) dλ Here, A is the visibility, B is the transmittance, C is the light source spectrum, and λ is the wavelength of the incident light.

【0085】OD値2.0の膜で遮光した場合は、上記
数1から、Y=1%を得て、入射光強度4000cd/
2 を仮定すると、約40cd/m2 の光が透過してく
ることになる。この光強度は、十分に人間が視認できる
明るさである。
When light is shielded by a film having an OD value of 2.0, Y = 1% is obtained from the above equation (1), and the incident light intensity is 4000 cd /
Assuming m 2 , about 40 cd / m 2 of light will be transmitted. This light intensity is sufficiently bright to be visually recognized by humans.

【0086】遮光膜BMは周辺部にも額縁状に形成さ
れ、そのパターンはドット状に複数の開口を設けた図7
に示すマトリクス部のパターンと連続して形成されてい
る。
The light-shielding film BM is also formed in a frame shape in the peripheral portion, and its pattern is a pattern in which a plurality of openings are provided in a dot shape as shown in FIG.
Are formed continuously with the pattern of the matrix section shown in FIG.

【0087】《カラーフィルタFIL》カラーフィルタ
FILは画素に対向する位置に赤、緑、青の繰り返しで
ストライプ状に形成される。カラーフィルタFILは遮
光膜BMのエッジ部分と重なるように形成されている。
<< Color Filter FIL >> The color filter FIL is formed in a stripe shape by repeating red, green and blue at a position facing the pixel. The color filter FIL is formed so as to overlap the edge portion of the light shielding film BM.

【0088】本発明では、この重なる部分の平面レイア
ウトを規定するものである。詳細は後述する。
In the present invention, the plane layout of the overlapping portion is defined. Details will be described later.

【0089】カラーフィルタFILは例えば次のように
形成することができる。まず、上部透明ガラス基板SU
B2の表面にアクリル系樹脂等の染色基材を形成し、フ
ォトリソグラフィ技術で赤色フィルタ形成領域以外の染
色基材を除去する。この後、染色基材を赤色染料で染
め、固着処理を施して赤色フィルタRを形成する。次
に、同様な工程を施すことによって、緑色フィルタG、
青色フィルタBを順次形成する。
The color filter FIL can be formed, for example, as follows. First, the upper transparent glass substrate SU
A dye base such as an acrylic resin is formed on the surface of B2, and the dye base other than the red filter formation region is removed by photolithography. Thereafter, the dyed base material is dyed with a red dye and subjected to a fixing treatment to form a red filter R. Next, the green filter G,
Blue filters B are sequentially formed.

【0090】《オーバーコート膜OC》オーバーコート
膜OCはカラーフィルタFILの染料の液晶LCへの漏
洩を防止、及びカラーフィルタFIL、遮光膜BMによ
る段差の平坦化のために設けられている。オーバーコー
ト膜OCは例えばアクリル樹脂、エポキシ樹脂等の透明
樹脂材料で形成される。
<< Overcoat Film OC >> The overcoat film OC is provided to prevent the dye of the color filter FIL from leaking to the liquid crystal LC and to flatten the steps formed by the color filter FIL and the light shielding film BM. The overcoat film OC is formed of, for example, a transparent resin material such as an acrylic resin or an epoxy resin.

【0091】液晶層及び偏光板 次に、液晶層、配向膜、偏光板等について説明する。[0091] The liquid crystal layer and the polarizing plate Subsequently, the liquid crystal layer, orientation film, described polarizing plate or the like.

【0092】《液晶層》液晶材料LCとしては、誘電率
異方性△εが正でその値が13.2、屈折率異方性△n
が0.081(589nm、20°C)のネマチック液
晶と、誘電率異方性△εが負でその値が−7.3、屈折
率異方性△nが0.053(589nm、20°C)の
ネマチック液晶を用いた。
<< Liquid Crystal Layer >> As the liquid crystal material LC, the dielectric anisotropy Δ △ is positive and its value is 13.2, and the refractive index anisotropy Δn
Is 0.081 (589 nm, 20 ° C.), a dielectric anisotropy Δ △ is negative and the value is −7.3, and a refractive index anisotropy Δn is 0.053 (589 nm, 20 ° C.). The nematic liquid crystal of C) was used.

【0093】液晶層の厚み(ギャップ)は、誘電率異方
性△εが正の場合2.8μm超4.5μm未満とした。
これは、リターデションΔn・dは0.25μm超0.
32μm未満の時、可視光の範囲内で波長依存性が殆ど
ない誘電率特性が得られ、誘電率異方性△εが正を有す
る液晶の大部分が複屈折率異方性△nが0.07超0.
09未満であるためである。
The thickness (gap) of the liquid crystal layer was more than 2.8 μm and less than 4.5 μm when the dielectric anisotropy Δ △ was positive.
This is because the retardation Δn · d exceeds 0.25 μm.
When it is less than 32 μm, a dielectric constant characteristic having almost no wavelength dependence within the visible light range is obtained, and most of the liquid crystal having a positive dielectric anisotropy Δ △ has a birefringence anisotropy Δn of 0. 0.07 or more
This is because it is less than 09.

【0094】一方、誘電率異方性△εが負の場合は、液
晶層の厚み(ギャップ)は、4.2μm超8.0μm未
満とした。これは誘電率異方性△εが正の液晶と同様
に、リターデションΔn・dを0.25μm超0.32
μm未満に抑えるためで、誘電率異方性△εが負を有す
る液晶の大部分が複屈折異方性△nが0.04超0.0
6未満であるためである。
On the other hand, when the dielectric anisotropy Δ △ was negative, the thickness (gap) of the liquid crystal layer was more than 4.2 μm and less than 8.0 μm. This is because, like the liquid crystal having a positive dielectric anisotropy Δε, the retardation Δn · d exceeds 0.25 μm by 0.32 μm.
Most of the liquid crystal having a negative dielectric anisotropy Δ △ has a birefringence anisotropy Δn of more than 0.04 to suppress the dielectric anisotropy Δ △ is negative.
This is because it is less than 6.

【0095】又、後述の配向膜と偏光板の組み合わせに
より、液晶分子がラビング方向から電界方向に45°回
転したとき最大透過率を得ることができる。尚、液晶層
の厚み(ギャップ)はポリマビーズで制御している。
Further, the maximum transmittance can be obtained when the liquid crystal molecules are rotated by 45 ° from the rubbing direction to the electric field direction by a combination of an alignment film and a polarizing plate described later. The thickness (gap) of the liquid crystal layer is controlled by polymer beads.

【0096】又、液晶材料LCは、ネマチック液晶であ
れば、特に限定したものではない。誘電率異方性△ε
は、その値が大きいほうが、駆動電圧が低減でき、屈折
率異方性△nは小さいほうが液晶層の厚み(ギャップ)
を厚くでき、液晶の封入時間が短縮され、かつギャップ
ばらつきを少なくすることができる。
The liquid crystal material LC is not particularly limited as long as it is a nematic liquid crystal. Dielectric anisotropy △ ε
The larger the value, the lower the driving voltage, and the smaller the refractive index anisotropy Δn, the smaller the thickness (gap) of the liquid crystal layer.
Can be made thicker, the liquid crystal filling time can be shortened, and the gap variation can be reduced.

【0097】《配向膜》配向膜ORIとしてはポリイミ
ドを用いる。ラビング方向RDRは上下基板で互いに平
行にし、かつ、印加電界方向EDRとのなす角度φLC
は75°とする。図11にその関係を示す。
<< Orientation Film >> Polyimide is used as the orientation film ORI. The rubbing direction RDR is parallel to each other between the upper and lower substrates, and the angle φLC between the applied electric field direction EDR and the angle φLC.
Is 75 °. FIG. 11 shows the relationship.

【0098】尚、ラビング方向RDRと印加電界方向E
DRとのなす角度は、液晶材料の誘電率異方性△εが正
であれば、45°以上90°未満、誘電率異方性△εが
負であれば、0°を超え45°以下であれば良い。
The rubbing direction RDR and the applied electric field direction E
The angle with DR is 45 ° or more and less than 90 ° when the dielectric anisotropy △ ε of the liquid crystal material is positive, and is more than 0 ° and 45 ° or less when the dielectric anisotropy △ ε is negative. Is fine.

【0099】《偏光板》偏光板POLとしては、日東電
工社製G1220DU(商品名)を用い、図11に示し
たように、下側の偏光板POL1の偏光透過軸MAX1
をラビング方向RDRと一致させ、上側の偏光板POL
2の偏光透過軸MAX2をそれに直交させる。
<< Polarizing Plate >> G1220DU (trade name) manufactured by Nitto Denko Corporation was used as the polarizing plate POL. As shown in FIG. 11, the polarization transmission axis MAX1 of the lower polarizing plate POL1 was used.
With the rubbing direction RDR, and the upper polarizer POL
The polarization transmission axis MAX2 is orthogonal to it.

【0100】これにより、本発明の画素に印加される電
圧(画素電極PXと対向電極CTの間の電圧)を増加さ
せるに伴い、透過率が上昇するノーマリークローズ特性
を得ることができる。
As a result, it is possible to obtain a normally closed characteristic in which the transmittance increases as the voltage applied to the pixel of the present invention (the voltage between the pixel electrode PX and the counter electrode CT) increases.

【0101】更に、本発明で開示される横電界方式と称
される液晶表示装置では、上側の基板SUB2側の表面
の外部から静電気等の高い電位が加わった場合に、表示
の異常が発生する。このため、上側の偏光板POL2の
更に上側或いは表面にシート抵抗が1×108 Ω/□以
下の透明導電膜の層を形成すること、或いは偏光板と前
記透明基板の間にシート抵抗1×108 Ω/□以下のI
TO等の透明導電膜の層を形成すること、或いは偏光板
の粘着層にITO、SnO2 、In2 3 等の導電性粒
子を混ぜ、シート抵抗を1×108 Ω/□以下とするこ
とが必要になる。この対策については、公知ではないが
同一出願人による特願平7−264443号において、
シールド機能向上につき詳しい記載がある。
Further, in the liquid crystal display device referred to as the in-plane switching method disclosed in the present invention, when a high potential such as static electricity is applied from outside the surface on the upper substrate SUB2 side, display abnormalities occur. . Therefore, a layer of a transparent conductive film having a sheet resistance of 1 × 10 8 Ω / □ or less is formed further above or on the surface of the upper polarizing plate POL2, or a sheet resistance of 1 × is provided between the polarizing plate and the transparent substrate. I of 10 8 Ω / □ or less
Forming a layer of a transparent conductive film such as TO, or mixing conductive particles such as ITO, SnO 2 , and In 2 O 3 with the adhesive layer of the polarizing plate to reduce the sheet resistance to 1 × 10 8 Ω / □ or less. It becomes necessary. Regarding this measure, it is not publicly known, but in Japanese Patent Application No. 7-264443 filed by the same applicant,
There is a detailed description of the improvement of the shield function.

【0102】《マトリクス周辺の構成》図12は上下の
ガラス基板SUB1、SUB2を含む表示パネルPNL
のマトリクス(AR)周辺の要部平面図である。又、図
13は左側に走査回路が接続された外部接続端子GTM
付近の断面図である。
<< Configuration around Matrix >> FIG. 12 shows a display panel PNL including upper and lower glass substrates SUB1 and SUB2.
2 is a plan view of a main part around a matrix (AR) of FIG. FIG. 13 shows an external connection terminal GTM to which a scanning circuit is connected on the left side.
It is sectional drawing of a vicinity.

【0103】このパネルの製造では、小さいサイズであ
ればスループット向上のため1枚のガラス基板では複数
個分のデバイスを同時に加工してから分割し、大きいサ
イズであれば製造設備の共用のため、どの品種でも標準
化された大きさのガラス基板を加工してから各品種に合
ったサイズに小さくし、いずれの場合も一通りの工程を
経てからガラスを切断する。
In the manufacture of this panel, if the size is small, a plurality of devices are simultaneously processed on a single glass substrate and then divided in order to improve the throughput. If the size is large, the manufacturing equipment is shared. For each type, a glass substrate of a standardized size is processed and then reduced to a size suitable for each type. In each case, the glass is cut after passing through a single process.

【0104】図12、図13は後者の例を示すもので、
図12、図13の両図とも上下基板SUB1、SUB2
の切断後を表わしており、LNは両基板の切断前の縁を
示す。いずれの場合も、完成状態では外部接続端子群T
g、Td及び端子CTMが存在する(図で上辺と左辺
の)部分はそれらを露出するように上側基板SUB2の
大きさが下側基板SUB1よりも内側に制限されてい
る。
FIGS. 12 and 13 show examples of the latter.
12 and 13, the upper and lower substrates SUB1 and SUB2 are used.
LN indicates the edge of both substrates before cutting. In any case, in the completed state, the external connection terminal group T
The size of the upper substrate SUB2 is limited to the inside of the lower substrate SUB1 so that g, Td, and the terminal CTM are present (the upper side and the left side in the figure) so as to expose them.

【0105】端子群Tg、Tdは、それぞれ後述する走
査回路接続用端子GTM、映像信号回路接続用端子DT
Mとそれらの引出し配線部を集積回路チップCHIが搭
載されたテープキャリアパッケージTCP(図14、図
13参照)の単位に複数本まとめて名付けたものであ
る。
The terminal groups Tg and Td are respectively a scanning circuit connection terminal GTM and a video signal circuit connection terminal DT described later.
M and a plurality of lead wiring portions are collectively named for a unit of a tape carrier package TCP (see FIGS. 14 and 13) on which the integrated circuit chip CHI is mounted.

【0106】各群のマトリクス部から外部接続端子部に
至るまでの引出し配線は、両端に近づくにつれ傾斜して
いる。これは、パッケージTCPの配列ピッチ及び各パ
ッケージTCPにおける接続端子ピッチに表示パネルP
NLの端子DTM、GTMに合わせるためである。
The lead wiring from the matrix section of each group to the external connection terminal section is inclined as approaching both ends. This is because the display panel P is set in the arrangement pitch of the package TCP and the connection terminal pitch in each package TCP.
This is for adjusting to the terminals DTM and GTM of the NL.

【0107】又、対向電極端子CTMは、対向電極CT
に対向電圧を外部から与えるための端子である。マトリ
クス部の対向電極信号線CLは、走査回路用端子GTM
の反対側(図では右側)に引出し、各対向電圧信号線を
共通バスラインCBで一纏めにして、対向電極端子CT
Mに接続している。
The counter electrode terminal CTM is connected to the counter electrode CT.
Is a terminal for applying a counter voltage from the outside. The counter electrode signal line CL in the matrix portion is connected to a scanning circuit terminal GTM.
, And the common voltage signal lines are grouped together by a common bus line CB to form a common electrode terminal CT
M.

【0108】透明ガラス基板SUB1、SUB2の間に
は、その縁に沿って、液晶封入口INJを除き、液晶L
Cを封止するようにシールパターンSLが形成される。
シール材は例えばエポキシ樹脂から成る。
Between the transparent glass substrates SUB1 and SUB2, along the edges thereof, except for the liquid crystal filling opening INJ, the liquid crystal L
A seal pattern SL is formed so as to seal C.
The sealing material is made of, for example, an epoxy resin.

【0109】配向膜ORI1、ORI2の層は、シール
パターンSLの内側に形成される。偏光板POL1、P
OL2はそれぞれ下部透明ガラス基板SUB1、上部透
明ガラス基板SUB2の外側の表面に構成されている。
The layers of the alignment films ORI1 and ORI2 are formed inside the seal pattern SL. Polarizing plates POL1, P
OL2 is formed on the outer surfaces of the lower transparent glass substrate SUB1 and the upper transparent glass substrate SUB2, respectively.

【0110】エッチングLCは液晶分子の向きを設定す
る下部配向膜ORI1と上部配向膜ORI2との間でシ
ールパターンSLで仕切られた領域に封入されている。
下部配向膜ORI1は下部透明ガラス基板SUB1側の
保護膜PSV1の上部に形成される。
The etching LC is sealed in a region partitioned by the seal pattern SL between the lower alignment film ORI1 and the upper alignment film ORI2 for setting the direction of the liquid crystal molecules.
The lower alignment film ORI1 is formed above the protective film PSV1 on the lower transparent glass substrate SUB1 side.

【0111】この液晶表示装置は、下部透明ガラス基板
SUB1側、上部透明ガラス基板SUB2側で別個に種
々の層を積み重ね、シールパターンSLを基板SUB2
側に形成し、下部透明ガラス基板SUB1と上部透明ガ
ラス基板SUB2とを重ね合わせ、シールパターンSL
の開口部INJから液晶LCを注入し、注入口INJを
エポキシ樹脂などで封止し、上下基板を切断することに
よって組み立てられる。
In this liquid crystal display device, various layers are separately stacked on the lower transparent glass substrate SUB1 side and the upper transparent glass substrate SUB2 side, and the seal pattern SL is formed on the substrate SUB2.
Side, the lower transparent glass substrate SUB1 and the upper transparent glass substrate SUB2 are overlapped with each other to form a seal pattern SL
The liquid crystal LC is injected from the opening INJ, the inlet INJ is sealed with an epoxy resin or the like, and the upper and lower substrates are cut to be assembled.

【0112】《表示装置全体等価回路》図15は本発明
による液晶表示装置の周辺回路の概要説明図であって、
同図に示すように、液晶表示基板は画像表示部がマトリ
クス状に配置された複数の画素の集合により構成され、
各画素は前記液晶表示基板の背部に配置されたバックラ
イトからの透過光を独自に変調制御できるように構成さ
れている。
<< Equivalent Circuit of Entire Display Device >> FIG. 15 is a schematic explanatory diagram of peripheral circuits of a liquid crystal display device according to the present invention.
As shown in the figure, the liquid crystal display substrate is constituted by a set of a plurality of pixels in which an image display unit is arranged in a matrix,
Each pixel is configured to independently control the modulation of transmitted light from a backlight disposed behind the liquid crystal display substrate.

【0113】液晶表示基板の構成要素の1つであるアク
ティブ・マトリクス基板SUB1上には、有効画素領域
ARにx方向(行方向)に延在し、y方向(列方向)に並
設されたゲート信号線GLと対向電圧信号線CLとそれ
ぞれ絶縁されてy方向に延在し、x方向に並設されたド
レイン信号線DLが形成されている。
An active pixel area is provided on an active matrix substrate SUB1, which is one of the components of the liquid crystal display substrate.
The gate signal line GL and the counter voltage signal line CL, which extend in the x direction (row direction) and are arranged in parallel in the y direction (column direction), extend in the y direction while being insulated from the AR, and extend in the x direction. The provided drain signal line DL is formed.

【0114】ここで、ゲート信号線GL、対向電圧信号
線CL、ドレイン信号線DLのそれぞれによって囲まれ
る矩形状の領域に単位画素が形成される。
Here, a unit pixel is formed in a rectangular area surrounded by each of the gate signal line GL, the counter voltage signal line CL, and the drain signal line DL.

【0115】液晶表示基板には、その外部回路として垂
直走査回路V及び映像信号駆動回路Hが備えられ、前記
垂直走査回路Vによって前記ゲート信号線GLのそれぞ
れに順次走査信号(電圧)が供給され、そのタイミング
に合わせて映像信号駆動回路Hからドレイン信号線DL
に映像信号(電圧)を供給するようになっている。
The liquid crystal display substrate is provided with a vertical scanning circuit V and a video signal driving circuit H as external circuits, and the vertical scanning circuit V sequentially supplies a scanning signal (voltage) to each of the gate signal lines GL. From the video signal drive circuit H to the drain signal line DL in accordance with the timing.
Is supplied with a video signal (voltage).

【0116】尚、垂直走査回路V及び映像信号駆動回路
Hは、液晶駆動電源回路3から電源が供給されるととも
に、CPU1からの画像情報がコントローラ2によって
それぞれ表示データ及び制御信号に分けられて入力され
るようになっている。
The vertical scanning circuit V and the video signal driving circuit H are supplied with power from the liquid crystal driving power supply circuit 3 and input image information from the CPU 1 after being divided into display data and control signals by the controller 2 respectively. It is supposed to be.

【0117】《駆動方法》図16は本発明の液晶表示装
置の駆動波形図である。対向電圧をVCHとVCLの2
値の交流矩形波にし、それに同期させて走査信号VG
(i−1)、VG(i)の非選択電圧を1走査期間毎
に、VCHとVCLの2値で変化させる。対向電圧の振
幅幅と非選択電圧の振幅値は同一にする。
<< Driving Method >> FIG. 16 is a driving waveform diagram of the liquid crystal display device of the present invention. The opposite voltage is VCH and VCL.
Value AC rectangular wave and the scanning signal VG
(I-1) The non-selection voltage of VG (i) is changed by two values of VCH and VCL every scanning period. The amplitude width of the counter voltage and the amplitude value of the non-selection voltage are the same.

【0118】映像信号電圧は、液晶層に印加したい電圧
から、対向電圧の振幅の1/2を差し引いた電圧であ
る。
The video signal voltage is a voltage obtained by subtracting half of the amplitude of the counter voltage from the voltage to be applied to the liquid crystal layer.

【0119】対向電圧は直流でも良いが、交流化するこ
とで映像信号電圧の最大振幅を低減でき、映像信号駆動
回路(信号側ドライバ)に耐圧の低いものを用いること
が可能になる。
The counter voltage may be DC, but by converting it to AC, the maximum amplitude of the video signal voltage can be reduced, and a video signal drive circuit (signal-side driver) having a low withstand voltage can be used.

【0120】《蓄積容量Cstgの働き》蓄積容量Cs
tgは、画素に書き込まれた(薄膜トランジスタTFT
がオフした後の)映像情報を長く蓄積するために設けら
れる。
<< Function of Storage Capacitance Cstg >> Storage Capacitance Cs
tg is written to the pixel (thin film transistor TFT
Is provided for long storage of video information (after the power is turned off).

【0121】本発明で用いている電界を基板面と平行に
印加する方式では、電界を基板面に垂直に印加する方式
と異なり、画素電極と対向電極で構成される容量(所謂
液晶容量)が殆ど無いため、蓄積Cstgは必須の構成
要素である。
In the method of applying an electric field parallel to the substrate surface used in the present invention, unlike the method of applying the electric field perpendicular to the substrate surface, the capacitance (the so-called liquid crystal capacitance) formed by the pixel electrode and the counter electrode is different. Since there is almost no storage, the storage Cstg is an essential component.

【0122】又、蓄積容量Cstgは、薄膜トランジス
タTFTがスイッチングするとき、画素電極電位Vsに
対するゲート電位変化△Vgの影響を低減するようにも
働く。この様子を式で表わすと次のようになる。
The storage capacitor Cstg also functions to reduce the effect of the gate potential change ΔVg on the pixel electrode potential Vs when the thin film transistor TFT switches. This situation is represented by the following equation.

【0123】△Vs=[Cgs/(Cgs+Cstg+
Cpix)]×ΔVg ここで、Cgsは薄膜トランジスタTFTのゲート電極
GTとソース電極SDIとの間に形成される寄生容量、
Cpixは画素電極PXと対向電極CTとの間に形成さ
れる容量、△VsはΔVgによる画素電極電位の変化
分、所謂フィードスルー電圧を表わす。
ΔVs = [Cgs / (Cgs + Cstg +
Cpix)] × ΔVg where Cgs is a parasitic capacitance formed between the gate electrode GT and the source electrode SDI of the thin film transistor TFT,
Cpix represents a capacitance formed between the pixel electrode PX and the counter electrode CT, and ΔVs represents a change in pixel electrode potential due to ΔVg, a so-called feedthrough voltage.

【0124】この変化分△Vsは液晶LCに加わる直流
成分の原因となるが、保持容量Cstgを大きくする
程、その値を小さくすることができる。
This change ΔVs causes a DC component applied to the liquid crystal LC, but the value can be reduced as the storage capacitance Cstg is increased.

【0125】液晶LCに印加される直流成分の低減は、
液晶LCの寿命を向上し、液晶表示画面の切り替え時に
前の画像が残る所謂焼き付きを低減することができる。
The reduction of the DC component applied to the liquid crystal LC is as follows.
It is possible to improve the life of the liquid crystal LC and reduce so-called burn-in in which a previous image remains when the liquid crystal display screen is switched.

【0126】前述したように、ゲート電極GTはi型半
導体層ASを完全に覆うよう大きくされている分、ソー
ス電極SDI、ドレイン電極SD2とのオーバーラップ
面積が増え、従って寄生容量Cgsが大きくなり、画素
電極電位Vsはゲート(走査)信号Vgの影響を受けや
すくなるという逆効果が生じる。しかし、蓄積容量Cs
tgを設けることによりこのデメリットも解消する。
As described above, since the gate electrode GT is made large so as to completely cover the i-type semiconductor layer AS, the area of overlap with the source electrode SDI and the drain electrode SD2 increases, and therefore the parasitic capacitance Cgs increases. The pixel electrode potential Vs has an adverse effect of being easily affected by the gate (scanning) signal Vg. However, the storage capacity Cs
By providing tg, this disadvantage is also eliminated.

【0127】《製造方法》次に、上述した液晶表示装置
の基板SUB1側の製造方法について説明する。
<< Manufacturing Method >> Next, a method of manufacturing the above-described liquid crystal display device on the substrate SUB1 side will be described.

【0128】図17、図18および図19は本発明によ
る液晶表示装置の製造工程の説明図であって、同図にお
いて、中央の文字は工程名の略称であり、図中左側は図
8に示した薄膜トランジスタTFT部分、右側は図ゲー
ト端子付近の断面形状でみた加工の流れを示す。また、
工程B、工程Dを除き工程A〜工程Iは各写真処理(フ
ォトリソグラフィ)に対応して区分けしたもので、各工
程のいずれの断面図も写真処理後の加工が終わりフォト
レジストを除去した段階を示している。
FIG. 17, FIG. 18 and FIG. 19 are explanatory views of the manufacturing process of the liquid crystal display device according to the present invention. In FIG. 17, the central characters are the abbreviations of the process names. The right side of the thin film transistor TFT portion shown in the drawing shows the flow of processing viewed from the cross-sectional shape near the gate terminal. Also,
Except for Step B and Step D, Step A to Step I are divided corresponding to each photographic process (photolithography), and any cross-sectional view of each process is a stage where the processing after the photographic process is completed and the photoresist is removed. Is shown.

【0129】尚、写真処理とは本発明ではフォトレジス
トの塗布からマスクを使用した選択露光を経て、それを
現像するまでの一連作業を示すものとし、繰り返しの説
明は避ける。以下区分けした工程に従って説明する。
In the present invention, photographic processing refers to a series of operations from application of a photoresist, through selective exposure using a mask to development of the photoresist, and a repetitive description will be omitted. Description will be given below according to the divided steps.

【0130】工程A(図17) AN635ガラス(商品名)からなる下部透明ガラス基
板SUB1上に膜厚が300nmのAl−Pd、Al−
W、Al−Ta、Al−Ti−Ta等からなる導電膜g
1をスパッタリングにより設ける。写真処理後、リン酸
と哨酸と氷酢酸との混酸液で導電膜g1を選択的にエッ
チングする。それによって、ゲート電極GT、走査信号
線GL、対向電極CT、対向電圧信号線CL、電極PL
1、ゲート端子GTM、共通バスラインCBの第1導電
層、対向電極端子CTMの第1導電層、ゲート端子GT
Mを接続する陽極酸化バスラインSHg(図示せず)及
び陽極酸化バスラインSHgに接続された陽極酸化パッ
ド(図示せず)を形成する。
Step A (FIG. 17) A 300 nm thick Al-Pd or Al-Pd is formed on a lower transparent glass substrate SUB1 made of AN635 glass (trade name).
Conductive film g made of W, Al-Ta, Al-Ti-Ta, etc.
1 is provided by sputtering. After the photographic processing, the conductive film g1 is selectively etched with a mixed acid solution of phosphoric acid, acid and glacial acetic acid. Thereby, the gate electrode GT, the scanning signal line GL, the counter electrode CT, the counter voltage signal line CL, and the electrode PL
1, gate terminal GTM, first conductive layer of common bus line CB, first conductive layer of counter electrode terminal CTM, gate terminal GT
An anodizing bus line SHg (not shown) connecting M and an anodizing pad (not shown) connected to the anodizing bus line SHg are formed.

【0131】工程B(図17) 直接描画による陽極酸化マスクAOの形成後、3%酒石
酸をアンモニアによりPH6.25±0.05に調整し
た溶液をエチレングリコール液で1:9に希釈した液か
らなる陽極酸化液中に基板SUB1を浸漬し、化成電流
密度が0.5mA/cm2 になるように調整する(定電
流化成)。
Step B (FIG. 17) After forming the anodic oxidation mask AO by direct writing, a solution in which 3% tartaric acid was adjusted to PH 6.25 ± 0.05 with ammonia and diluted 1: 9 with ethylene glycol solution was used. The substrate SUB1 is immersed in an anodic oxidizing solution to adjust the formation current density to 0.5 mA / cm 2 (constant current formation).

【0132】次に、所定のアルミナ(Al2 3 )の膜
厚が得られるのに必要な化成電圧125Vに達するまで
陽極酸化を行う。その後、この状態で数10分保持する
ことが望ましい(定電圧化成)。これは均一なAl2
3 膜を得る上で大事なことである。それによって、導電
膜g1が陽極酸化され、ゲート電極GT、走査信号線G
L、対向電極CT、対向電圧信号線CL及び電極PL1
上に膜厚が180bnmの陽極酸化膜AOFが形成され
る。
Next, anodic oxidation is performed until the formation voltage 125 V required for obtaining a predetermined alumina (Al 2 O 3 ) film thickness is reached. Thereafter, it is desirable to maintain this state for several tens of minutes (constant voltage formation). This is a uniform Al 2 O
This is important for obtaining three films. Thereby, the conductive film g1 is anodized, and the gate electrode GT and the scanning signal line G
L, counter electrode CT, counter voltage signal line CL and electrode PL1
An anodic oxide film AOF having a thickness of 180 bnm is formed thereon.

【0133】工程C(図17) 膜厚が140nmのITO膜からなる透明導電膜g2を
スパッタリングにより設ける。写真処理後、エッチング
液として塩酸と硝酸との混酸液で透明導電膜g2を選択
的にエッチングすることにより、ゲート端子GTMの最
上層、ドレイン端子DTM及び対向電極端子CTMの第
2導電膜を形成する。
Step C (FIG. 17) A transparent conductive film g2 made of an ITO film having a thickness of 140 nm is provided by sputtering. After the photographic processing, the transparent conductive film g2 is selectively etched with a mixed acid solution of hydrochloric acid and nitric acid as an etchant, thereby forming the uppermost layer of the gate terminal GTM, the drain terminal DTM, and the second conductive film of the counter electrode terminal CTM. I do.

【0134】工程D(図18) プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が220nmの窒化Si膜を設
け、プラズマCVD装置にシランガス、水素ガスを導入
して、膜厚が200nmのi型非晶質Si膜を設けた
後、プラズマCVD装置にシランガス、水素ガス、ホス
フィンガスを導入して、膜厚が30nmのN(+)型非
晶質Si膜を設ける。
Step D (FIG. 18) Ammonia gas, silane gas, and nitrogen gas are introduced into the plasma CVD apparatus to form a 220-nm-thick Si nitride film, and silane gas and hydrogen gas are introduced into the plasma CVD apparatus to form a film. After an i-type amorphous Si film having a thickness of 200 nm is provided, a silane gas, a hydrogen gas, and a phosphine gas are introduced into a plasma CVD apparatus to form an N (+)-type amorphous Si film having a thickness of 30 nm.

【0135】工程E(図18) 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6を使用
してN(+)型非晶質Si膜、i型非晶質Si膜を選択
的にエッチングすることにより、i型半導体層ASの島
を形成する。
Step E (FIG. 18) After the photographic processing, the N (+)-type amorphous Si film and the i-type amorphous Si film are selectively etched using SF6 as a dry etching gas, whereby i An island of the type semiconductor layer AS is formed.

【0136】工程F(図18) 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6を使用
して、窒化Si膜を選択的にエッチングする。
Step F (FIG. 18) After the photo processing, the Si nitride film is selectively etched using SF6 as a dry etching gas.

【0137】工程G(図19) 膜厚が60nmのCrからなる導電膜d1をスパッタリ
ングにより設け、さらに膜厚が400nmのAl−P
d、Al−Si、Al−Ta、Al−Ti−Ta等から
なる導電膜d2をスパッタリングにより設ける。写真処
理後、導電膜d2を工程Aと同様の液でエッチングし、
導電膜d1を硝酸第2セリウムアンモニウム溶液でエッ
チングし、映像信号線DL、ソース電極SD1、ドレイ
ン電極SD2、画素電極PX、電極PL2、共通バスラ
インCBの第2導電層、第3導電層及びドレイン端子D
TMを短絡するバスラインSHd(図示せず)を形成す
る。次に、ドライエッチング装置にSF6を導入して、
N(+)型非晶質Si膜をエッチングすることにより、
ソースとドレイン間のN(+)型半導体層d0を選択的
に除去する。
Step G (FIG. 19) A conductive film d1 made of Cr having a thickness of 60 nm is provided by sputtering, and an Al-P film having a thickness of 400 nm is further formed.
A conductive film d2 made of d, Al-Si, Al-Ta, Al-Ti-Ta, or the like is provided by sputtering. After the photographic processing, the conductive film d2 is etched with the same liquid as in Step A,
The conductive film d1 is etched with a ceric ammonium nitrate solution, and the video signal line DL, the source electrode SD1, the drain electrode SD2, the pixel electrode PX, the electrode PL2, the second conductive layer, the third conductive layer and the drain of the common bus line CB are formed. Terminal D
A bus line SHd (not shown) for short-circuiting TM is formed. Next, SF6 is introduced into the dry etching apparatus,
By etching the N (+) type amorphous Si film,
The N (+) type semiconductor layer d0 between the source and the drain is selectively removed.

【0138】工程H(図19) プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が500nmの窒化Si膜を設
ける。写真処理後、ドレインエッチングガスとしてSF
6を使用した写真蝕刻技術で窒化Si膜を選択的にエッ
チングすることによって、保護膜PSV1を形成する。
Step H (FIG. 19) An ammonia gas, a silane gas, and a nitrogen gas are introduced into a plasma CVD apparatus to form a 500-nm-thick Si nitride film. After photographic processing, SF is used as the drain etching gas.
The protective film PSV1 is formed by selectively etching the Si nitride film by a photolithography technique using No. 6.

【0139】《表示パネルPNLと駆動回路基板PCB
1》図20は図12に示した表示パネルPNLと映像信
号駆動回路Hと垂直走査回路Vを接続した状態を示す上
面図である。
<< Display Panel PNL and Drive Circuit Board PCB
1 >> FIG. 20 is a top view showing a state where the display panel PNL, the video signal driving circuit H, and the vertical scanning circuit V shown in FIG. 12 are connected.

【0140】CH1は表示パネルPNLを駆動させる駆
動ICチップ(下側の5個は垂直走査回路側の駆動IC
チップ、左側の10個の映像信号駆動回路側の駆動IC
チップ)である。TCPは図14、図13に示したよう
に駆動用ICチップCH1がテープ・オートメイティッ
ド・ボンディング(TAB)法により実装されたテープ
キャリアパッケージ、PCB1は上記TCPやコンデン
サ等が実装された駆動回路基板で、映像信号駆動回路用
と走査信号駆動回路用の2つに分割されている。
CH1 is a drive IC chip for driving the display panel PNL (the lower five are drive ICs on the vertical scanning circuit side).
Chip, drive ICs on the left side of the 10 video signal drive circuits
Chip). TCP is a tape carrier package in which the driving IC chip CH1 is mounted by a tape automated bonding (TAB) method as shown in FIGS. 14 and 13, and PCB1 is a driving circuit in which the above-described TCP, capacitors and the like are mounted. The substrate is divided into two, one for a video signal drive circuit and one for a scan signal drive circuit.

【0141】FGPはフレームグランドパッドであり、
シールドケースSHDに切り込んで設けられたバネ状の
破片が半田付けされる。FCは下側の駆動回路基板PC
B1と左側の駆動回路基板PCB1を電気的に接続する
フラットケーブルである。
FGP is a frame ground pad.
A spring-shaped fragment provided by cutting into the shield case SHD is soldered. FC is the lower drive circuit board PC
This is a flat cable for electrically connecting B1 to the left drive circuit board PCB1.

【0142】フラットケーブルFCとしては図に示すよ
うに、複数のリード線(りん青銅の素材にSn鍍金を施
したもの)をストライプ状のポリエチレン層とポリビニ
ルアルコール層とでサンドイッチして支持したものを使
用する。
As shown in the figure, the flat cable FC is formed by sandwiching and supporting a plurality of lead wires (phosphor bronze material plated with Sn) with a striped polyethylene layer and a polyvinyl alcohol layer. use.

【0143】《TCPの接続構造》前記した図14は、
走査信号駆動回路Vや映像信号駆動回路Hを構成する集
積回路チップCHIがフレキシブル配線基板に搭載され
たテープキャリアパッケージの断面構造を示す図であ
り、図13はそれを液晶表示パネルの、本例では走査信
号回路用端子GTMに接続した状対を示す要部断面図で
ある。
<< Connection Structure of TCP >> FIG.
FIG. 13 is a diagram showing a cross-sectional structure of a tape carrier package in which an integrated circuit chip CHI constituting a scanning signal driving circuit V and a video signal driving circuit H is mounted on a flexible wiring board, and FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part showing a pair connected to a scanning signal circuit terminal GTM.

【0144】同図において、TTBは集積回路CHIの
入力端子・配線部であり、TTMは集積回路CHIの出
力端子・配線部であって、例えばCuから成り、それぞ
れの内側の先端部(通称インナーリード)には集積回路
CHIのボンディングパッドPADが所謂フェースダウ
ンボンディング法により接続される。
In the figure, TTB is an input terminal / wiring portion of the integrated circuit CHI, and TTM is an output terminal / wiring portion of the integrated circuit CHI, which is made of, for example, Cu. The bonding pads PAD of the integrated circuit CHI are connected to the leads by a so-called face-down bonding method.

【0145】端子TTB、TTMの外側の先端部(通称
アウターリード)はそれぞれ半導体集積回路チップCH
Iの入力及び出力に対応し、半田付け等によりCRT/
TFT変換回路・電源回路SUPに、異方性導電膜AC
Fによって液晶表示パネルPNLに接続される。
The outer ends (commonly called outer leads) of the terminals TTB and TTM are respectively connected to the semiconductor integrated circuit chips CH
Corresponds to input and output of I, CRT /
Anisotropic conductive film AC for TFT conversion circuit / power supply circuit SUP
F connects to the liquid crystal display panel PNL.

【0146】パッケージTCPは、その先端部がパネル
PNL側の接続端子GTMを露出した保護膜PSV1を
覆うようにパネルにPNLに接続されている。従って、
外側接続端子GTM(DTM)は保護膜PSV1かパッ
ケージTCPの少なくとも一方で覆われるので電触に対
して強くなる。
[0146] The package TCP is connected to the panel PNL so that the tip end covers the protective film PSV1 exposing the connection terminal GTM on the panel PNL side. Therefore,
Since the outer connection terminal GTM (DTM) is covered with at least one of the protective film PSV1 and the package TCP, the outer connection terminal GTM (DTM) is resistant to electric contact.

【0147】BF1はポリイミド等からなるベースフィ
ルムであり、SRSは半田付けの際、半田が余計な所へ
付かないようにマスクするためのソルダレジスト膜であ
る。シールパターンSLの外側の上下ガラス基板の隙間
は、洗浄後にエポキシ樹脂EPX等により保護され、パ
ッケージTCPと上側基板SUB2の間には更にシリコ
ン樹脂SILが充填されて保護が多重化されている。
BF1 is a base film made of polyimide or the like, and SRS is a solder resist film for masking so that the solder does not stick to unnecessary portions during soldering. The gap between the upper and lower glass substrates outside the seal pattern SL is protected by an epoxy resin EPX or the like after cleaning, and the space between the package TCP and the upper substrate SUB2 is further filled with a silicon resin SIL to multiplex protection.

【0148】《駆動回路基板PCB2》駆動回路基板P
CB2は、IC、コンデンサ、抵抗等の電子部品が搭載
されている。この駆動回路基板PCB2には、1つの電
圧源から複数の分圧した安定化された電圧源を得るため
の電源回路や、ホスト(上位演算処理装置)からのCR
T(陰極線管)用の情報をTFT液晶表示装置用の情報
に変換する回路を含む回路SUPが搭載されている。C
Jは外部と接続される図示しないコネクタが接続される
コネクタ接続部である。
<< Drive Circuit Board PCB2 >> Drive Circuit Board P
The CB2 has electronic components such as an IC, a capacitor, and a resistor mounted thereon. The drive circuit board PCB2 includes a power supply circuit for obtaining a plurality of divided and stabilized voltage sources from one voltage source, and a CR (Crystal Control Unit) from a host (upper processing unit).
A circuit SUP including a circuit for converting information for T (cathode ray tube) into information for a TFT liquid crystal display device is mounted. C
J is a connector connection portion to which a connector (not shown) connected to the outside is connected.

【0149】駆動回路基板PCB1と駆動回路基板PC
B2とはフラットケーブルFC等のジョイナーJNによ
り電気的に接続されている。
Drive Circuit Board PCB1 and Drive Circuit Board PC
B2 is electrically connected by a joiner JN such as a flat cable FC.

【0150】《液晶表示モジュールの全体構成》図21
は液晶モジュールの各構成部品を示す分解斜視図であっ
て、SHDは金属板から成る枠状のシールドケース(メ
タルフレーム)、WDはその表示窓、PNLは液晶表示
パネル、SPSは光拡散板、GLBは導光体、RFSは
反射板、BLはバックライトの蛍光管、MCAは下側ケ
ース(バックライトケース)であり、図に示すような上
下の配置関係で各部材が積み重ねられてモジュールMD
Lが組み立てられる。
<< Overall Configuration of Liquid Crystal Display Module >> FIG.
Is an exploded perspective view showing each component of the liquid crystal module, SHD is a frame-shaped shield case (metal frame) made of a metal plate, WD is its display window, PNL is a liquid crystal display panel, SPS is a light diffusion plate, GLB is a light guide, RFS is a reflection plate, BL is a fluorescent tube of a backlight, MCA is a lower case (backlight case), and each member is stacked in a vertical arrangement relationship as shown in the figure to obtain a module MD.
L is assembled.

【0151】モジュールMDLはシールドケースSHD
に設けられた爪とフックによって全体が固定されるよう
になっている。ここで、筺体MDは、モジュールMDL
とバックライトケースMCAとの組み合わさったものと
する。
The module MDL is a shield case SHD
The whole is fixed by the claws and hooks provided on the rim. Here, the housing MD is a module MDL.
And the backlight case MCA.

【0152】バックライトケースMCAは、バックライ
ト蛍光管BL、光拡散板SPS、導光体GLB、反射板
RFSを収納する形状になっており、導光体GLBの側
面に配置されたバックライト蛍光管BLの光を導光体G
LB、反射板RFS、光拡散板SPSにより表示面で一
様なバックライトにし、液晶表示パネルPNL側に出射
する。
The backlight case MCA has a shape that houses the backlight fluorescent tube BL, the light diffusion plate SPS, the light guide GLB, and the reflection plate RFS. The backlight case MCA is disposed on the side of the light guide GLB. Light from tube BL to light guide G
A uniform backlight is formed on the display surface by the LB, the reflection plate RFS, and the light diffusion plate SPS, and the light is emitted toward the liquid crystal display panel PNL.

【0153】バックライト蛍光管BLにはインバータ回
路基板が接続されており、バックライト蛍光管BLの電
源となっている。
The backlight fluorescent tube BL is connected to an inverter circuit board, and serves as a power supply for the backlight fluorescent tube BL.

【0154】《実施例1》図1は本発明による液晶表示
装置の第1実施例の構成を示す1画素の断面模式図であ
る。
Embodiment 1 FIG. 1 is a schematic sectional view of one pixel showing the structure of a first embodiment of the liquid crystal display device according to the present invention.

【0155】アクティブ・マトリクス基板である第1の
基板(TFT基板)SUB1はガラス基板からなり、こ
のTFT基板SUB1上に対向電極CTと画素電極PX
が配置され、それらはゲート絶縁膜GIで異層化されて
いる。
A first substrate (TFT substrate) SUB1, which is an active matrix substrate, is made of a glass substrate, and the counter electrode CT and the pixel electrode PX are formed on the TFT substrate SUB1.
Are arranged in different layers by the gate insulating film GI.

【0156】又、同基板にはTFTを介して画素電極P
Xに映像信号を供給する映像信号線DLが配置されてい
る。第1の基板SUB1の配線が形成されている面と反
対の面には偏光板が配置される。
The pixel electrode P is provided on the substrate via a TFT.
A video signal line DL for supplying a video signal to X is arranged. A polarizing plate is arranged on the surface of the first substrate SUB1 opposite to the surface on which the wiring is formed.

【0157】一方、カラーフィルタ基板である第2の基
板SUB2には、不要な漏れ光を遮光したり、TFTに
外光が照射されることを防止するためのブラックマトリ
クスBMと、色を表現するための赤、緑、青で構成され
るカラーフィルタ層FILが形成され、さらにその上部
にはオーバーコート膜OCが形成されている。
On the other hand, the second substrate SUB2, which is a color filter substrate, expresses a color with a black matrix BM for blocking unnecessary leakage light and preventing the TFT from being irradiated with external light. A color filter layer FIL composed of red, green, and blue is formed, and an overcoat film OC is formed thereon.

【0158】又、第2の基板SUB2のブラックマトリ
クスBM等が形成される面と反対の面には偏光板POL
2が貼付されている。
On the surface of the second substrate SUB2 opposite to the surface on which the black matrix BM and the like are formed, a polarizing plate POL is provided.
2 is affixed.

【0159】TFT基板(第1の基板)SUB1、カラ
ーフィルタ基板(第2の基板)SUB2は共に、液晶層
LCと接する界面にはそれぞれ配向膜ORI1、ORI
2が形成されている。
Both the TFT substrate (first substrate) SUB1 and the color filter substrate (second substrate) SUB2 are provided with alignment films ORI1 and ORI respectively at the interface in contact with the liquid crystal layer LC.
2 are formed.

【0160】本実施例の特徴は、映像信号線DLとカラ
ーフィルタ層FILのレイアウトにある。すなわち、本
実施例では、基板の平面と垂直な方向から見た際に映像
信号線DLとカラーフィルタ層FILが重なるように構
成する。本実施例では、映像信号線DLとカラーフィル
タ層FILのオーバーラップ量OL1は2μmとした。
このオーバーラップ量OL1は大きいほど、TFT基板
とカラーフィルタ基板との重ね合わせ(接合)時の裕度
を向上できる。
The feature of this embodiment lies in the layout of the video signal line DL and the color filter layer FIL. That is, in the present embodiment, the video signal line DL and the color filter layer FIL are configured to overlap when viewed from a direction perpendicular to the plane of the substrate. In this embodiment, the overlap amount OL1 between the video signal line DL and the color filter layer FIL is 2 μm.
As the overlap amount OL1 is larger, the margin at the time of overlapping (joining) the TFT substrate and the color filter substrate can be improved.

【0161】図2は本実施例の効果を説明するための従
来構造の液晶表示装置の1画素の断面模式図である。
FIG. 2 is a schematic sectional view of one pixel of a liquid crystal display device having a conventional structure for explaining the effect of this embodiment.

【0162】この従来構造では、カラーフィルタ層FI
LはブラックマトリクスBMと重なるように構成してい
るものの、基板の平面に垂直方向から見た際にカラーフ
ィルタ層FILはは映像信号線DLとは重ならず、間隔
NLだけ離れたレイアウトとなっている。
In this conventional structure, the color filter layer FI
Although L is configured to overlap the black matrix BM, the color filter layer FIL does not overlap with the video signal line DL when viewed from a direction perpendicular to the plane of the substrate, and has a layout separated by an interval NL. ing.

【0163】以上の構造上の差が横電界方式の液晶表示
装置では、縦スメアの特性に大きく影響する。縦電界方
式の液晶表示装置の場合、縦スメアは配線と画素電極と
の寄生容量により発生する。しかし、横電界方式の液晶
表示装置の場合、縦スメアは前記寄生容量で発生するの
ではなく、以下の2つのモードで発生する。
In the liquid crystal display device of the horizontal electric field type, the above structural difference greatly affects the characteristics of vertical smear. In the case of a vertical electric field type liquid crystal display device, vertical smear is generated due to parasitic capacitance between a wiring and a pixel electrode. However, in the case of the horizontal electric field type liquid crystal display device, vertical smear does not occur due to the parasitic capacitance but occurs in the following two modes.

【0164】すなわち、その1つは、映像信号線DLの
供給電圧の影響により、映像信号線DLと画素電極PX
との間で電界が発生し、本来の画素電極PXと対向電極
CTとの間の電界成分が変動してしまうために発生す
る。もう1つは、映像信号線DLと対向電極CTとの間
からの光漏れである。これは、映像信号線DLと対向電
極CTとの間で発生する電界により、液晶分子が回転し
て透過光を発生させる。
That is, one of them is that the video signal line DL and the pixel electrode PX are affected by the supply voltage of the video signal line DL.
And an electric field is generated between the pixel electrodes PX and the counter electrode CT. The other is light leakage from between the video signal line DL and the counter electrode CT. This is because the liquid crystal molecules are rotated by the electric field generated between the video signal line DL and the counter electrode CT to generate transmitted light.

【0165】この透過光の殆どはブラックマトリクスB
Mにより遮光されるが、ブラックマトリクスBMを構成
している樹脂材料のOD値が不十分であるために漏れ光
が発生する。特に、横電界方式の液晶表示装置の場合、
ブラックマトリクスBMに金属材料を使用すると、液晶
分子に印加される実効的な電界強度が低減し、それによ
り駆動電圧の上昇を招く。
Most of this transmitted light is a black matrix B
Although the light is shielded by M, light leakage occurs because the OD value of the resin material constituting the black matrix BM is insufficient. In particular, in the case of a horizontal electric field type liquid crystal display device,
When a metal material is used for the black matrix BM, the effective electric field intensity applied to the liquid crystal molecules is reduced, thereby increasing the driving voltage.

【0166】従って、横電界用のブラックマトリクスの
材料には、高抵抗を実現できる樹脂材料を使用するのが
一般的である。樹脂材料は金属材料と比較してOD値が
低いため、遮光特性に問題がある。前者の映像信号線D
Lからの漏れ電界の影響は、TFT基板上の映像信号線
DLと対向電極CTとの電極幅を最適設計することで低
減することは可能である。しかし、後者の漏れ光の影響
は材料の開発等が必要であり、対策が困難である。
Therefore, a resin material capable of realizing high resistance is generally used as the material of the black matrix for the horizontal electric field. Since the resin material has a lower OD value than the metal material, there is a problem in the light shielding characteristics. The former video signal line D
The influence of the leakage electric field from L can be reduced by optimally designing the electrode width between the video signal line DL and the counter electrode CT on the TFT substrate. However, the latter effect of light leakage requires the development of materials and the like, and countermeasures are difficult.

【0167】図3は縦スメアの評価パターンの一例を示
す表示画面の模式図であって、画面上の中心部に白表示
のウインドウパターンを表示し、背景色を黒表示にす
る。
FIG. 3 is a schematic diagram of a display screen showing an example of an evaluation pattern of vertical smear, in which a white display window pattern is displayed at the center of the screen and the background color is black.

【0168】ここで、本評価では前記ウインドウの縦方
向の幅を画面縦方向の幅Yの1/2とした。同図に示す
評価点において、前記ウインドウパターンを表示した時
と表示しないときでの輝度差を評価する。
Here, in this evaluation, the width of the window in the vertical direction was set to 幅 of the width Y in the vertical direction of the screen. At the evaluation points shown in the figure, the luminance difference between when the window pattern is displayed and when it is not displayed is evaluated.

【0169】前記評価点におけるウインドウパターンを
表示した時の輝度をA、ウインドウパターンを表示して
いない時の輝度をBとした時、縦スメアの強度は(A−
B)/B×100(%)で定義している。
When the luminance when the window pattern is displayed at the evaluation point is A and the luminance when the window pattern is not displayed is B, the intensity of the vertical smear is (A−
B) / B × 100 (%).

【0170】表1に本実施例の縦スメアの評価結果を示
す。
Table 1 shows the evaluation results of the vertical smear of this example.

【0171】[0171]

【表1】 [Table 1]

【0172】表1から、従来構造の縦スメアの強度が6
0%なのに対し、本実施例の構造の場合10%まで低減
することができたことが分かる。
As shown in Table 1, the strength of the vertical smear of the conventional structure was 6
It can be seen that, in contrast to 0%, in the case of the structure of the present embodiment, it could be reduced to 10%.

【0173】又、本実施例の構造の製造方法は従来構造
と同一であり、製造工程の増加は不要である。
The method of manufacturing the structure of this embodiment is the same as that of the conventional structure, so that the number of manufacturing steps does not need to be increased.

【0174】《実施例2》図4は本発明による液晶表示
装置の第2実施例の構成を示す1画素の断面模式図であ
る。
Embodiment 2 FIG. 4 is a schematic sectional view of one pixel showing the structure of a liquid crystal display according to a second embodiment of the present invention.

【0175】本実施例の構成の概略は第1実施例(図
1)と同一なため説明は省略する。
The outline of the configuration of the present embodiment is the same as that of the first embodiment (FIG. 1), and the description thereof will be omitted.

【0176】本実施例の特徴は、ブラックマトリクスB
M上で隣接するカラーフィルタ層FILを重ねることに
ある。本実施例では隣接するカラーフィルタ層同士の重
なり幅OL2は2μmとした。
This embodiment is characterized in that the black matrix B
The color filter layers FIL adjacent to each other on M are overlapped. In this embodiment, the overlap width OL2 between the adjacent color filter layers is 2 μm.

【0177】本実施例の液晶表示装置の縦スメアを前記
第1実施例と同様の方法で評価すると、実施例1と同様
な結果(表1)が得られる。これは、映像信号線DLと
対向電極CTの間に対応するカラーフィルタ基板側の構
造を見ると、基板SUB2、ブラックマトリクスBM、
カラーフィルタ層FIL、オーバーコート膜OCで構成
されており、実施例1の構造と同一であるためである。
When the vertical smear of the liquid crystal display device of this embodiment is evaluated by the same method as in the first embodiment, the same result as in the first embodiment (Table 1) is obtained. This is because, when looking at the structure on the color filter substrate side corresponding to between the video signal line DL and the counter electrode CT, the substrate SUB2, the black matrix BM,
This is because it is composed of the color filter layer FIL and the overcoat film OC, and has the same structure as that of the first embodiment.

【0178】本実施例においても製造工程の増加はな
い。
In this embodiment, there is no increase in the number of manufacturing steps.

【0179】《実施例3》図5は本発明による液晶表示
装置の第3実施例の構成を示す1画素の断面模式図であ
る。なお、同図では、1画素の断面と共に、隣接する画
素の対向電極まで図示してた。構成の概略は第1実施例
(図1)と同一であるので説明は省略する。
<< Embodiment 3 >> FIG. 5 is a schematic sectional view of one pixel showing the structure of a liquid crystal display device according to a third embodiment of the present invention. In FIG. 1, the cross section of one pixel and the counter electrode of an adjacent pixel are shown. Since the outline of the configuration is the same as that of the first embodiment (FIG. 1), the description is omitted.

【0180】本実施例の特徴は、カラーフィルタ層FI
Lを隣接する画素の対向電極CTと重なるように構成し
た点にある。このような構造とした場合、映像信号線D
Lと対向電極CTとの間に対応するカラーフィルタ基板
SUB2側の構造を見ると、基板SUB2、ブラックマ
トリクスBM、カラーフィルタ層FIL、オーバーコー
ト膜OCで構成される。
The present embodiment is characterized in that the color filter layer FI
L is configured to overlap with the counter electrode CT of the adjacent pixel. With such a structure, the video signal line D
Looking at the structure on the color filter substrate SUB2 side corresponding to between L and the counter electrode CT, the structure includes the substrate SUB2, the black matrix BM, the color filter layer FIL, and the overcoat film OC.

【0181】従って、第1実施例(図1)や第2実施例
(図4)と比較して、映像信号線DLと対向電極CTと
の間から発生する漏れ光を一層低減することができる。
Therefore, as compared with the first embodiment (FIG. 1) and the second embodiment (FIG. 4), it is possible to further reduce the leakage light generated between the video signal line DL and the counter electrode CT. .

【0182】本実施例の構造における縦スメアの評価結
果を表2に示す。
Table 2 shows the evaluation results of the vertical smear in the structure of this example.

【0183】[0183]

【表2】 [Table 2]

【0184】この評価方法は実施例1での方法と同一で
あるため、説明を省略する。又、参考のため、図2に示
した従来構造の縦スメアの評価結果も併記した。
Since this evaluation method is the same as that in the first embodiment, the description is omitted. For reference, the evaluation result of the vertical smear of the conventional structure shown in FIG. 2 is also shown.

【0185】表2から、従来構造の場合の縦スメアが6
0%なのに対し、本実施例の構造では8%まで低減する
ことができる。
From Table 2, it can be seen that the vertical smear in the case of the conventional structure is 6
In contrast to 0%, the structure of the present embodiment can reduce it to 8%.

【0186】本実施例の縦スメアの強度が実施例1の1
0%から8%まで低減されるのは、映像信号線DLと対
向電極CTとの間の遮光に寄与する膜がカラーフィルタ
層の1層分が増加していることに起因する。又、本実施
例においても製造工程の増加はない。
The strength of the vertical smear of this embodiment is 1 in Embodiment 1.
The reduction from 0% to 8% is due to the fact that the film contributing to the light shielding between the video signal line DL and the counter electrode CT is increased by one color filter layer. Also, in this embodiment, there is no increase in the number of manufacturing steps.

【0187】《実施例4》図6は本発明による液晶表示
装置の第4実施例の構成を示す1画素の断面模式図であ
る。本実施例の構成の概略は第1実施例(図1)と同一
であるので説明は省略する。
Embodiment 4 FIG. 6 is a schematic sectional view of one pixel showing the structure of a fourth embodiment of the liquid crystal display device according to the present invention. Since the outline of the configuration of the present embodiment is the same as that of the first embodiment (FIG. 1), the description is omitted.

【0188】本実施例の特徴は、R(赤)とG(緑)の
画素の境界に形成されるブラックマトリクスBM上には
B(青)のカラーフィルタ材料を、また、GとBの画素
の境界に形成されるブラックマトリクスBM上にRのカ
ラーフィルタ材料を、また、BとRの画素の境界に形成
されるブラックマトリクスBM上にGのカラーフィルタ
材料を形成する点にである。
The present embodiment is characterized in that a B (blue) color filter material is provided on a black matrix BM formed at the boundary between R (red) and G (green) pixels, and the G and B pixels Is to form an R color filter material on the black matrix BM formed at the boundary of the pixel and a G color filter material on the black matrix BM formed at the boundary between the B and R pixels.

【0189】この構造における縦スメアの評価結果は実
施例3と同様に表2に示した値となる。これは、映像信
号線DLと対向電極CTの間に対応するカラーフィルタ
基板SUB2の断面構造が実施例3と同様の構造となっ
ているためである。
The evaluation result of the vertical smear in this structure is the value shown in Table 2 as in the third embodiment. This is because the cross-sectional structure of the color filter substrate SUB2 corresponding to between the video signal line DL and the counter electrode CT is the same as that of the third embodiment.

【0190】又、本実施例においても製造工程の増加は
ない。
In this embodiment, the number of manufacturing steps does not increase.

【0191】[0191]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
横電界方式の液晶表示装置の映像信号配線と対向電極の
間から発生するバックライトの漏れ光を遮光性が向上
し、縦スメアが効果的に低減され、高画質の液晶表示装
置を得ることができる。
As described above, according to the present invention,
It is possible to obtain a high-quality liquid crystal display device with improved light-shielding properties of a backlight leakage light generated between a video signal wiring and a counter electrode of a horizontal electric field type liquid crystal display device, effectively reducing vertical smear. it can.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明による液晶表示装置の第1実施例の構成
を示す1画素の断面模式図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of one pixel showing a configuration of a first embodiment of a liquid crystal display device according to the present invention.

【図2】本発明による液晶表示装置の第1実施例の効果
を説明するための従来構造の液晶表示装置の1画素の断
面模式図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of one pixel of a liquid crystal display device having a conventional structure for explaining the effect of the first embodiment of the liquid crystal display device according to the present invention.

【図3】縦スメアの評価パターンの一例を示す表示画面
の模式図である。
FIG. 3 is a schematic diagram of a display screen showing an example of an evaluation pattern of vertical smear.

【図4】本発明による液晶表示装置の第2実施例の構成
を示す1画素の断面模式図である。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of one pixel showing the configuration of a second embodiment of the liquid crystal display device according to the present invention.

【図5】本発明による液晶表示装置の第3実施例の構成
を示す1画素の断面模式図である。
FIG. 5 is a schematic sectional view of one pixel showing a configuration of a third embodiment of the liquid crystal display device according to the present invention.

【図6】本発明による液晶表示装置の第4実施例の構成
を示す1画素の断面模式図である。
FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of one pixel showing the configuration of a fourth embodiment of the liquid crystal display device according to the present invention.

【図7】本発明のアクティブ・マトリクス方式カラー液
晶表示装置の一画素とブラックマトリクスBMの遮光領
域およびその周辺を示す平面図である。
FIG. 7 is a plan view showing one pixel of an active matrix type color liquid crystal display device of the present invention, a light shielding region of a black matrix BM, and its periphery.

【図8】図7の4ー4切断線における薄膜トランジスタ
TFTの断面図である。
8 is a sectional view of the thin film transistor TFT taken along the line 4-4 in FIG. 7;

【図9】図7の5ー5切断線における蓄積容量Cstg
の断面図である。
9 is a diagram showing a storage capacitance Cstg along a line 5-5 in FIG. 7;
FIG.

【図10】横電界方式の液晶表示基板の画像表示領域に
おける1画素の電極近傍の断面図と基板周辺部の断面図
である。
10A and 10B are a cross-sectional view of the vicinity of an electrode of one pixel and a cross-sectional view of a peripheral portion of the substrate in an image display area of a liquid crystal display substrate of a horizontal electric field type.

【図11】配向膜のラビング方向と電界方向の説明図で
ある。
FIG. 11 is an explanatory diagram of a rubbing direction and an electric field direction of an alignment film.

【図12】上下のガラス基板SUB1、SUB2を含む
表示パネルPNLのマトリクス(AR)周辺の要部平面
図である。
FIG. 12 is a plan view of a main part around a matrix (AR) of a display panel PNL including upper and lower glass substrates SUB1 and SUB2.

【図13】左側に走査回路が接続された外部接続端子G
TM付近の断面図である。
FIG. 13 shows an external connection terminal G connected to a scanning circuit on the left side.
It is sectional drawing of TM vicinity.

【図14】ゲートTCPの出力側および入力側の断面構
造の説明図である。
FIG. 14 is an explanatory diagram of a sectional structure of an output side and an input side of a gate TCP.

【図15】本発明による液晶表示装置の周辺回路の概要
説明図である。
FIG. 15 is a schematic explanatory diagram of a peripheral circuit of a liquid crystal display device according to the present invention.

【図16】本発明の液晶表示装置の駆動波形図である。FIG. 16 is a driving waveform diagram of the liquid crystal display device of the present invention.

【図17】本発明による液晶表示装置の製造工程の説明
図である。
FIG. 17 is an explanatory diagram of the manufacturing process of the liquid crystal display device according to the present invention.

【図18】本発明による液晶表示装置の製造工程の説明
図である。
FIG. 18 is an explanatory diagram of the manufacturing process of the liquid crystal display device according to the present invention.

【図19】本発明による液晶表示装置の製造工程の説明
図である。
FIG. 19 is an explanatory diagram of a manufacturing process of the liquid crystal display device according to the present invention.

【図20】図12に示した表示パネルPNLと映像信号
駆動回路Hと垂直走査回路Vを接続した状態を示す上面
図である。
20 is a top view illustrating a state where the display panel PNL, the video signal driving circuit H, and the vertical scanning circuit V illustrated in FIG. 12 are connected.

【図21】液晶モジュールの各構成部品を示す分解斜視
図である。
FIG. 21 is an exploded perspective view showing each component of the liquid crystal module.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

TFT 薄膜トランジスタ AS 非晶質シリコン膜 GL 走査信号線 DL 映像信号線 BM ブラックマトリクス PX 画素電極 CT 対向電極 CL 対向電圧信号線 Cstg 蓄積容量 d0 N(+)型半導体層 d1 第1導電膜 d2 第2導電膜 SD1 ソース電極 SD2 ドレイン電極 GI ゲート絶縁膜 GT ゲート電極 AOF ゲート電極の陽極酸化膜 SUB1 下部透明ガラス基板(アクティブ・マトリク
ス基板:TFT基板:第1の基板) PL1 蓄積容量下部電極 SUB2 上部透明ガラス基板(カラーフィルタ基板:
第2の基板) POL1,POL2…偏光板 FIL カラーフィルタ層 OC オーバーコート膜 LC 液晶 E 電界 SL シール材 ORI1,ORI2 配向膜 PSV1 パッシベーション膜 RDR ラビング方向 EDR 印加電界方向 MAX1,MAX2 偏光板の透過軸 PNL 表示パネル CTM 端子接続部 Tg,Td 外部接続端子群 LN 切断前の基板サイズ CB 共通バスライン INJ 液晶封入口 BFI ベースフィルム SRS ソルダレジスト膜 EPX エポキシ樹脂 FGP フレームグランドパッド PCB 駆動回路基板 TTB 集積回路CHIの入力端子/配線部 FC フラットケーブル TTM 集積回路CHIの出力端子/配線部。
TFT Thin film transistor AS Amorphous silicon film GL Scan signal line DL Video signal line BM Black matrix PX Pixel electrode CT Counter electrode CL Counter voltage signal line Cstg Storage capacitance d0 N (+) type semiconductor layer d1 First conductive film d2 Second conductivity Film SD1 Source electrode SD2 Drain electrode GI Gate insulating film GT Gate electrode AOF Anodized film of gate electrode SUB1 Lower transparent glass substrate (active matrix substrate: TFT substrate: first substrate) PL1 Storage capacitor lower electrode SUB2 Upper transparent glass substrate (Color filter substrate:
POL1, POL2 ... Polarizing plate FIL Color filter layer OC Overcoat film LC Liquid crystal E Electric field SL Sealing material ORI1, ORI2 Alignment film PSV1 Passivation film RDR Rubbing direction EDR Applied electric field direction MAX1, MAX2 Transmission axis of polarizing plate PNL Display panel CTM Terminal connection part Tg, Td External connection terminal group LN Board size before cutting CB Common bus line INJ Liquid crystal sealing port BFI Base film SRS Solder resist film EPX Epoxy resin FGP Frame ground pad PCB Drive circuit board TTB Integrated circuit CHI Input terminal / wiring section FC flat cable TTM Output terminal / wiring section of integrated circuit CHI.

フロントページの続き (72)発明者 松山 茂 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内 (72)発明者 引場 正行 千葉県茂原市早野3300番地 株式会社日立 製作所電子デバイス事業部内Continued on the front page (72) Inventor Shigeru Matsuyama 3300 Hayano Mobara-shi, Chiba Pref.Electronic Device Division, Hitachi, Ltd. (72) Inventor Masayuki Hikiba 3300 Hayano, Mobara-shi, Chiba Pref.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】複数の走査信号配線および映像信号配線
と、前記走査信号配線および映像信号配線の交点近傍に
形成したスイッチング素子と、前記スイッチング素子を
介して駆動電圧が印加される画素電極と、前記画素電極
と共に基板の平面に略平行な電界を印加するように配置
された対向電極とを備えてアクティブ・マトリクス基板
を構成する第1の基板と、樹脂組成物で形成したブラッ
クマトリクスと、各画素に対応して配置したカラーフィ
ルタ層を形成したカラーフィルタ基板を構成する第2の
基板との間に液晶組成物を挟持し、前記画素電極と対向
電極との間に前記各基板の平面と略平行に発生される電
界成分によって前記液晶組成物の光透過率を変化させて
画像表示を行う液晶表示装置において、 前記各基板の平面に垂直な方向から見た場合に、前記映
像信号配線とカラーフィルタ層の少なくとも一部を重畳
して配置してなることを特徴とする液晶表示装置。
A plurality of scanning signal lines and video signal lines; a switching element formed near an intersection of the scanning signal line and the video signal line; and a pixel electrode to which a drive voltage is applied via the switching element. A first substrate constituting an active matrix substrate including a counter electrode arranged so as to apply an electric field substantially parallel to the plane of the substrate together with the pixel electrode, a black matrix formed of a resin composition, A liquid crystal composition is sandwiched between a second substrate constituting a color filter substrate on which a color filter layer arranged corresponding to a pixel is formed, and a plane of each substrate is interposed between the pixel electrode and a counter electrode. In a liquid crystal display device that performs image display by changing the light transmittance of the liquid crystal composition by an electric field component generated substantially in parallel, a direction perpendicular to the plane of each substrate is used. A liquid crystal display device characterized in that the video signal wiring and at least a part of the color filter layer are arranged so as to overlap when viewed.
【請求項2】複数の走査信号配線および映像信号配線
と、前記走査信号配線および映像信号配線の交点近傍に
形成したスイッチング素子と、前記スイッチング素子を
介して駆動電圧が印加される画素電極と、前記画素電極
と共に基板の平面に略平行な電界を印加するように配置
された対向電極とを備えてアクティブ・マトリクス基板
を構成する第1の基板と、樹脂組成物で構成したブラッ
クマトリクスと、各画素に対応して配置したカラーフィ
ルタ層を形成したカラーフィルタ基板を構成する第2の
基板との間に液晶組成物を挟持し、前記画素電極と対向
電極との間に前記各基板の平面と略平行に発生される電
界成分によって前記液晶組成物の光透過率を変化させて
画像表示を行う液晶表示装置において、 前記各基板の平面に垂直な方向から見た場合に、前記映
像信号配線と平行方向のカラーフィルタ層の端部を前記
映像信号配線の線幅の内側に配置してなることを特徴と
する液晶表示装置。
2. A plurality of scanning signal lines and video signal lines, a switching element formed near an intersection of the scanning signal line and the video signal line, and a pixel electrode to which a driving voltage is applied via the switching element. A first substrate comprising an active matrix substrate comprising a counter electrode disposed so as to apply an electric field substantially parallel to the plane of the substrate together with the pixel electrode, a black matrix comprising a resin composition, A liquid crystal composition is sandwiched between a second substrate constituting a color filter substrate on which a color filter layer arranged corresponding to a pixel is formed, and a plane of each substrate is interposed between the pixel electrode and a counter electrode. In a liquid crystal display device that performs image display by changing the light transmittance of the liquid crystal composition by an electric field component generated substantially in parallel, a direction perpendicular to the plane of each substrate is used. A liquid crystal display device, wherein, when viewed, an end of a color filter layer in a direction parallel to the video signal wiring is arranged inside a line width of the video signal wiring.
【請求項3】複数の走査信号配線および映像信号配線
と、前記走査信号配線および映像信号配線の交点近傍に
形成したスイッチング素子と、前記スイッチング素子を
介して駆動電圧が印加される画素電極と、前記画素電極
と共に基板の平面に略平行な電界を印加するように配置
された対向電極とを備えてアクティブ・マトリクス基板
を構成する第1の基板と、樹脂組成物で構成したブラッ
クマトリクスと、各画素に対応して配置したカラーフィ
ルタ層を形成した第2の基板との間に液晶組成物を挟持
し、前記画素電極と対向電極との間に前記各基板の平面
と略平行に発生される電界成分によって前記液晶組成物
の光透過率を変化させて画像表示を行う液晶表示装置に
おいて、 前記走査信号配線と平行方向に隣接するカラーフィルタ
層が互いに前記ブラックマトリクス上で重畳するように
配置してなることを特徴とする液晶表示装置。
3. A plurality of scanning signal lines and video signal lines, a switching element formed near an intersection of the scanning signal line and the video signal line, and a pixel electrode to which a driving voltage is applied via the switching element. A first substrate comprising an active matrix substrate comprising a counter electrode disposed so as to apply an electric field substantially parallel to the plane of the substrate together with the pixel electrode, a black matrix comprising a resin composition, A liquid crystal composition is sandwiched between a second substrate on which a color filter layer arranged corresponding to a pixel is formed, and a liquid crystal composition is generated between the pixel electrode and a counter electrode in substantially parallel with the plane of each substrate. In a liquid crystal display device which performs image display by changing the light transmittance of the liquid crystal composition by an electric field component, color filter layers adjacent in a direction parallel to the scanning signal line are mutually separated. A liquid crystal display device which is arranged so as to overlap on the black matrix.
【請求項4】複数の走査信号配線および映像信号配線
と、前記走査信号配線および映像信号配線の交点近傍に
形成したスイッチング素子と、前記スイッチング素子を
介して駆動電圧が印加される画素電極と、前記画素電極
と共に基板の平面に略平行な電界を印加するように配置
された対向電極とを備え、かつ、前記画素電極あるいは
前記対向電極の何れか一方を前記映像信号配線と平行に
配置してアクティブ・マトリクス基板を構成する第1の
基板と、樹脂組成物で構成したブラックマトリクスと各
画素に対応して配置したカラーフィルタ層を形成した第
2の基板との間に液晶組成物を挟持し、前記画素電極と
対向電極との間に前記各基板の平面と略平行に発生され
る電界成分によって前記液晶組成物の光透過率を変化さ
せて画像表示を行う液晶表示装置において、 前記各基板の平面に垂直な方向から見た場合に、前記映
像信号配線と平行方向のカラーフィルタ層の端部を、隣
接する画素における映像信号配線と隣接して平行配置さ
れた画素電極あるいは対向電極の幅の内側に配置してな
ることを特徴とする液晶表示装置。
4. A plurality of scanning signal lines and video signal lines, a switching element formed near an intersection of the scanning signal line and the video signal line, and a pixel electrode to which a driving voltage is applied via the switching element. A counter electrode disposed so as to apply an electric field substantially parallel to the plane of the substrate together with the pixel electrode, and one of the pixel electrode and the counter electrode is disposed in parallel with the video signal wiring. A liquid crystal composition is sandwiched between a first substrate constituting an active matrix substrate and a second substrate having a black matrix composed of a resin composition and a color filter layer arranged corresponding to each pixel. Performing image display by changing the light transmittance of the liquid crystal composition by an electric field component generated substantially in parallel with the plane of each substrate between the pixel electrode and the counter electrode. In the liquid crystal display device, when viewed from a direction perpendicular to the plane of each of the substrates, an end of the color filter layer in a direction parallel to the video signal wiring is arranged adjacent to and parallel to a video signal wiring in an adjacent pixel. A liquid crystal display device, which is arranged inside the width of the pixel electrode or the counter electrode.
【請求項5】複数の走査信号配線および映像信号配線
と、前記走査信号配線および映像信号配線の交点近傍に
形成したスイッチング素子と、前記スイッチング素子を
介して駆動電圧が印加される画素電極と、前記画素電極
と共に基板の平面に略平行な電界を印加するように配置
された対向電極とを備え、かつ、前記画素電極あるいは
前記対向電極の何れか一方を前記映像信号配線と平行に
配置してアクティブ・マトリクス基板を構成する第1の
基板と、樹脂組成物で構成したブラックマトリクスと各
画素に対応して配置したカラーフィルタ層を形成した第
2の基板との間に液晶組成物を挟持し、前記画素電極と
対向電極との間に前記各基板の平面と略平行に発生され
る電界成分によって前記液晶組成物の光透過率を変化さ
せて画像表示を行う液晶表示装置において、 隣接するカラーフィルタ層と異なる色度を有するカラー
フィルタ材料を、前記映像信号配線と対向配置されるブ
ラックマトリクス上の少なくとも一部に形成してなり、
かつ、前記映像信号配線と平行な方向の前記カラーフィ
ルタ材料の端部が前記映像信号配線と隣接して平行配置
された前記画素電極あるいは前記対向電極の幅の内側に
配置してなることを特徴とする液晶表示装置。
5. A plurality of scanning signal lines and video signal lines, a switching element formed near an intersection of the scanning signal line and the video signal line, and a pixel electrode to which a driving voltage is applied via the switching element. A counter electrode disposed so as to apply an electric field substantially parallel to the plane of the substrate together with the pixel electrode, and one of the pixel electrode and the counter electrode is disposed in parallel with the video signal wiring. A liquid crystal composition is sandwiched between a first substrate constituting an active matrix substrate and a second substrate having a black matrix composed of a resin composition and a color filter layer arranged corresponding to each pixel. Performing image display by changing the light transmittance of the liquid crystal composition by an electric field component generated substantially in parallel with the plane of each substrate between the pixel electrode and the counter electrode. In crystal display device, a color filter material having a chromaticity different from that of the adjacent color filter layer, and formed on at least a part of the black matrix, wherein the video signal lines and disposed opposite,
In addition, an end of the color filter material in a direction parallel to the video signal wiring is arranged inside a width of the pixel electrode or the counter electrode arranged adjacent to and parallel to the video signal wiring. Liquid crystal display device.
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