JPH11142129A - 放射線厚さ計 - Google Patents
放射線厚さ計Info
- Publication number
- JPH11142129A JPH11142129A JP30523497A JP30523497A JPH11142129A JP H11142129 A JPH11142129 A JP H11142129A JP 30523497 A JP30523497 A JP 30523497A JP 30523497 A JP30523497 A JP 30523497A JP H11142129 A JPH11142129 A JP H11142129A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiation
- measuring means
- measured
- scanning
- thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 257
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 38
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 2
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000005251 gamma ray Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被測定部材Ｓに放射線を照射して上記被測定
部材Ｓの厚さ測定を行う従来の放射線厚さ計では，放射
線源１と放射線測定手段２を走査する走査手段３の精度
が悪い場合等には，厚さを正確に測定することができな
かった。 【解決手段】 本発明は，当該被測定部材Ｓの測定の前
に，上記被測定部材Ｓがない状態で上記放射線源１及び
放射線測定手段２を具備すると共に，放射線測定手段２
の測定領域を放射線の照射領域よりも広く設定すること
によって，厚さ計測を正確に行うことを図ったものであ
る。
部材Ｓの厚さ測定を行う従来の放射線厚さ計では，放射
線源１と放射線測定手段２を走査する走査手段３の精度
が悪い場合等には，厚さを正確に測定することができな
かった。 【解決手段】 本発明は，当該被測定部材Ｓの測定の前
に，上記被測定部材Ｓがない状態で上記放射線源１及び
放射線測定手段２を具備すると共に，放射線測定手段２
の測定領域を放射線の照射領域よりも広く設定すること
によって，厚さ計測を正確に行うことを図ったものであ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は，放射線厚さ計に係
り，詳しくは，被測定部材に放射線を照射して被測定部
材の厚さを計測する放射線厚さ計に関するものである。
り，詳しくは，被測定部材に放射線を照射して被測定部
材の厚さを計測する放射線厚さ計に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えばシート状の金属フォイルやプラス
チックフィルムを製造するラインでは，上記金属フォイ
ル等の被測定部材に照射したＸ線，γ線等の放射線の透
過量によって上記被測定部材の厚さを測定する放射線厚
さ計が広く用いられている。上記のような放射線厚さ計
は，例えば図２に示すように，所定の方向に定速度で移
動する被測定部材を囲むように設けられたＣ型あるいは
Ｏ型フレームを有し，上記被測定部材の移動方向と直角
方向に測定手段の走査を行い，上記被測定部材の各位置
における放射線の透過量を測定することにより厚さを計
ることが可能である。ここに，図３は上記のようなＯ型
フレームを有した放射線厚さ計の一例を示す図である。
チックフィルムを製造するラインでは，上記金属フォイ
ル等の被測定部材に照射したＸ線，γ線等の放射線の透
過量によって上記被測定部材の厚さを測定する放射線厚
さ計が広く用いられている。上記のような放射線厚さ計
は，例えば図２に示すように，所定の方向に定速度で移
動する被測定部材を囲むように設けられたＣ型あるいは
Ｏ型フレームを有し，上記被測定部材の移動方向と直角
方向に測定手段の走査を行い，上記被測定部材の各位置
における放射線の透過量を測定することにより厚さを計
ることが可能である。ここに，図３は上記のようなＯ型
フレームを有した放射線厚さ計の一例を示す図である。
【０００３】図３に示すように，例えばＯ型フレームを
有した放射線厚さ計は，フレーム下部ＵＦに設けられ被
測定部材Ｓに放射線を照射するための放射線源１と，フ
レーム上部ＴＦに設けられ上記放射線源１から照射され
上記被測定部材Ｓを透過した放射線量を検出する例えば
シンチレーション検出器等の放射線測定手段２と，上記
放射線源１と放射線測定手段２とを上記フレームＵＦ，
ＴＦ内で上記被測定部材Ｓの移動方向と直角方向に移動
させて走査する走査手段３とを具備する。上記放射線厚
さ計において，放射線源１には例えば特性Ｘ線を放射す
るＸ線管等が用いられる。この放射線源１から５〜１０
０ｋｅＶ程度の低エネルギーＸ線が被測定部材Ｓに対し
て照射される。Ｘ線やγ線のこのエネルギー領域では，
被測定部材Ｓに入射しても散乱が生じる割合は比較的少
なく，ほとんどの放射線は被測定部材Ｓに吸収される
か，透過して例えばシンチレーション検出器等の放射線
測定手段２に入射する。ここで，被測定部材Ｓの厚さを
ｔ，吸収係数をμ，被測定部材Ｓがない状態での放射線
測定手段２の出力電流をｉ0 とすると，上記のようにＸ
線の一部が被測定部材Ｓを透過し入射することによって
放射線測定手段２から出力される出力電流ｉは，次式で
表される。 ｉ＝ｉ0 ｅｘｐ（−μｔ） （１） また，異なる厚さｔp ，ｔq だけＸ線を透過させたとき
の放射線測定手段２の出力電流をそれぞれｉp ，ｉq と
すれば，出力電流ｉp とｉq との関係は，上記（１）式
から次の（２）式のように求めることができる。 ｉq ＝ｉp ｅｘｐ〔−μ（ｔq −ｔp ）〕 （２） 逆に，厚さｔp とｔq との関係は，上記（２）式から次
の（３）式のように表すことができる。 ｔq −ｔp ＝−ｌｎ（ｉq ／ｉp ）／μ （３） ところで，上記（１）〜（３）式における吸収係数μ
は，被測定部材Ｓ固有の定数であり，上記（３）式から
理解される通り，厚さが既知の部材を２枚用いれば，そ
のときの出力電流を測定して求めることが可能である。
上記吸収係数μが定まれば，未知の被測定部材Ｓの厚さ
ｔは，次の（４）式のように上記出力電流ｉのみの関数
として求めることができる。 ｔ＝ｌｎ（ｉ／ｉp ）／μ−ｔp （４） また，上記のように厚さが既知の部材を用いて，厚さｔ
p のときの出力電流Ｉ p と，被測定部材Ｓの吸収係数μ
とを求めることを較正といい，これらの定数は較正定数
と呼ばれる。この較正定数は，運転開始前に予め厚さが
既知の２種以上の較正板を用いて測定される。そして，
上記放射線厚さ計では，上記走査手段３によって上記放
射線源１及び放射線測定手段２が上記被測定部材Ｓの移
動方向と直角方向に走査される。例えば上記放射線源１
及び放射線測定手段２はフレーム下部ＵＦ及びフレーム
上部ＤＦに設けられたレールにそれぞれ摺動可能に支持
されており，モータ等を含む駆動機構によって上記直角
方向に同期した状態で定速度で駆動される。この走査に
よって，被測定部材Ｓの各位置における出力電流ｉが計
測され，Ａ／Ｄコンバータ５を介して電流ｉがＣＰＵ６
に入力される。そして，上記（４）式に従ってＣＰＵ６
により上記被測定部材Ｓの各位置における厚さｔが求め
られる。
有した放射線厚さ計は，フレーム下部ＵＦに設けられ被
測定部材Ｓに放射線を照射するための放射線源１と，フ
レーム上部ＴＦに設けられ上記放射線源１から照射され
上記被測定部材Ｓを透過した放射線量を検出する例えば
シンチレーション検出器等の放射線測定手段２と，上記
放射線源１と放射線測定手段２とを上記フレームＵＦ，
ＴＦ内で上記被測定部材Ｓの移動方向と直角方向に移動
させて走査する走査手段３とを具備する。上記放射線厚
さ計において，放射線源１には例えば特性Ｘ線を放射す
るＸ線管等が用いられる。この放射線源１から５〜１０
０ｋｅＶ程度の低エネルギーＸ線が被測定部材Ｓに対し
て照射される。Ｘ線やγ線のこのエネルギー領域では，
被測定部材Ｓに入射しても散乱が生じる割合は比較的少
なく，ほとんどの放射線は被測定部材Ｓに吸収される
か，透過して例えばシンチレーション検出器等の放射線
測定手段２に入射する。ここで，被測定部材Ｓの厚さを
ｔ，吸収係数をμ，被測定部材Ｓがない状態での放射線
測定手段２の出力電流をｉ0 とすると，上記のようにＸ
線の一部が被測定部材Ｓを透過し入射することによって
放射線測定手段２から出力される出力電流ｉは，次式で
表される。 ｉ＝ｉ0 ｅｘｐ（−μｔ） （１） また，異なる厚さｔp ，ｔq だけＸ線を透過させたとき
の放射線測定手段２の出力電流をそれぞれｉp ，ｉq と
すれば，出力電流ｉp とｉq との関係は，上記（１）式
から次の（２）式のように求めることができる。 ｉq ＝ｉp ｅｘｐ〔−μ（ｔq −ｔp ）〕 （２） 逆に，厚さｔp とｔq との関係は，上記（２）式から次
の（３）式のように表すことができる。 ｔq −ｔp ＝−ｌｎ（ｉq ／ｉp ）／μ （３） ところで，上記（１）〜（３）式における吸収係数μ
は，被測定部材Ｓ固有の定数であり，上記（３）式から
理解される通り，厚さが既知の部材を２枚用いれば，そ
のときの出力電流を測定して求めることが可能である。
上記吸収係数μが定まれば，未知の被測定部材Ｓの厚さ
ｔは，次の（４）式のように上記出力電流ｉのみの関数
として求めることができる。 ｔ＝ｌｎ（ｉ／ｉp ）／μ−ｔp （４） また，上記のように厚さが既知の部材を用いて，厚さｔ
p のときの出力電流Ｉ p と，被測定部材Ｓの吸収係数μ
とを求めることを較正といい，これらの定数は較正定数
と呼ばれる。この較正定数は，運転開始前に予め厚さが
既知の２種以上の較正板を用いて測定される。そして，
上記放射線厚さ計では，上記走査手段３によって上記放
射線源１及び放射線測定手段２が上記被測定部材Ｓの移
動方向と直角方向に走査される。例えば上記放射線源１
及び放射線測定手段２はフレーム下部ＵＦ及びフレーム
上部ＤＦに設けられたレールにそれぞれ摺動可能に支持
されており，モータ等を含む駆動機構によって上記直角
方向に同期した状態で定速度で駆動される。この走査に
よって，被測定部材Ｓの各位置における出力電流ｉが計
測され，Ａ／Ｄコンバータ５を介して電流ｉがＣＰＵ６
に入力される。そして，上記（４）式に従ってＣＰＵ６
により上記被測定部材Ｓの各位置における厚さｔが求め
られる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで，上記のよう
に５〜１００ｋｅＶ程度のエネルギー領域にあるＸ線や
γ線を用いる従来の放射線厚さ計では，被測定部材Ｓに
照射された放射線の散乱量は少なく，パスライン誤差等
も少ない。しかしながら，例えばレールの加工精度が悪
かったり，雰囲気温度によって変形する等して上記放射
線源１と放射線測定手段２との間の距離が上記被測定部
材Ｓの各位置で変化してしまうと，その変化の分だけ上
記放射線測定手段２に入射する放射線の強度が変化して
しまい，同じ厚さの部分でも違う厚さとして測定されて
しまう恐れがあった。また，従来の放射線厚さ計では，
上記放射線測定手段２の放射線測定領域２ａが，上記放
射線測定手段２に放射線が照射される被照射領域と同程
度に設定されており，上記レールのガタ等により上記放
射線源１及び放射線測定手段２が左右にふらついてしま
うと，上記被測定部材Ｓを透過した放射線の一部が，上
記放射線測定手段２によって計測されず，そのため厚さ
測定に誤差が生じる恐れもあった。さらに，上記駆動機
構の精度が悪く上記放射線源１と放射線測定手段２の同
期にずれが生じた場合にも，上記被測定部材Ｓを透過し
た放射線の一部が，上記放射線測定手段２によって計測
されない問題があった。本発明は，このような従来の技
術における課題を解決するために，放射線厚さ計を改良
し，放射線源や放射線測定手段の走査系の精度が悪い場
合にも，正確な被測定部材の厚さ測定を行うことのでき
る放射線厚さ計を提供することを目的とするものであ
る。
に５〜１００ｋｅＶ程度のエネルギー領域にあるＸ線や
γ線を用いる従来の放射線厚さ計では，被測定部材Ｓに
照射された放射線の散乱量は少なく，パスライン誤差等
も少ない。しかしながら，例えばレールの加工精度が悪
かったり，雰囲気温度によって変形する等して上記放射
線源１と放射線測定手段２との間の距離が上記被測定部
材Ｓの各位置で変化してしまうと，その変化の分だけ上
記放射線測定手段２に入射する放射線の強度が変化して
しまい，同じ厚さの部分でも違う厚さとして測定されて
しまう恐れがあった。また，従来の放射線厚さ計では，
上記放射線測定手段２の放射線測定領域２ａが，上記放
射線測定手段２に放射線が照射される被照射領域と同程
度に設定されており，上記レールのガタ等により上記放
射線源１及び放射線測定手段２が左右にふらついてしま
うと，上記被測定部材Ｓを透過した放射線の一部が，上
記放射線測定手段２によって計測されず，そのため厚さ
測定に誤差が生じる恐れもあった。さらに，上記駆動機
構の精度が悪く上記放射線源１と放射線測定手段２の同
期にずれが生じた場合にも，上記被測定部材Ｓを透過し
た放射線の一部が，上記放射線測定手段２によって計測
されない問題があった。本発明は，このような従来の技
術における課題を解決するために，放射線厚さ計を改良
し，放射線源や放射線測定手段の走査系の精度が悪い場
合にも，正確な被測定部材の厚さ測定を行うことのでき
る放射線厚さ計を提供することを目的とするものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に第１の発明は，被測定部材にビーム状の放射線を照射
するための放射線源と，上記放射線源から照射され上記
被測定部材を透過した放射線量を測定するための放射線
測定手段と，上記放射線源及び放射線測定手段を所定の
走査方向に走査する走査手段とを具備してなる放射線厚
さ計において，上記放射線測定手段の放射線測定領域
が，上記放射線測定手段に放射線が照射される被照射領
域よりも広く設定されてなることを特徴とする放射線厚
さ計として構成されている。このため，上記第１の発明
に係る放射線厚さ計では，上記放射線源や放射線測定手
段を走査する走査手段の精度が悪い場合でも，上記被測
定部材を透過した放射線量を好適に測定することができ
る。上記第１の発明に係る放射線厚さ計において，例え
ば上記放射線測定領域が，上記被照射領域に対して走査
方向に長く設定された場合には，上記放射線源と上記放
射線測定手段との同期がずれている場合にも，上記被測
定部材の正確な厚さ測定を行うことができる。また，例
えば上記放射線測定領域が，上記被照射領域に対して走
査方向と直角な方向に長く設定されれば，上記放射線源
や上記放射線測定手段が支持される例えばレールにガタ
等があって走査軸がずれてしまう場合にも，上記被測定
部材の正確な厚さ測定を行うことができる。また，第２
の発明は，被測定部材にビーム状の放射線を照射するた
めの放射線源と，上記放射線源から照射され上記被測定
部材を透過した放射線量を測定するための放射線測定手
段と，上記放射線源及び放射線測定手段を所定の走査方
向に走査する走査手段とを具備してなる放射線厚さ計に
おいて，上記被測定部材がない状態で上記放射線源及び
放射線測定手段を走査して得た放射線量を記憶する記憶
手段を具備してなることを特徴とする放射線厚さ計とし
て構成されている。このため上記第２の発明に係る放射
線厚さ計では，例えば上記放射線源や放射線測定手段を
走査するためのガイドレールの加工精度が悪く上記放射
線源と上記放射線測定手段の間の距離が走査の間に変化
してしまう場合でも，上記記憶手段に記憶された放射線
量を用いることによって，測定された放射線量を補正し
て上記被測定部材の厚さ計測を正確に行うことができ
る。尚，上記放射線厚さ計において用いられる放射線
は，例えばＸ線やγ線であって，そのエネルギー領域は
散乱の少ない５〜１００ｋｅＶ程度である。
に第１の発明は，被測定部材にビーム状の放射線を照射
するための放射線源と，上記放射線源から照射され上記
被測定部材を透過した放射線量を測定するための放射線
測定手段と，上記放射線源及び放射線測定手段を所定の
走査方向に走査する走査手段とを具備してなる放射線厚
さ計において，上記放射線測定手段の放射線測定領域
が，上記放射線測定手段に放射線が照射される被照射領
域よりも広く設定されてなることを特徴とする放射線厚
さ計として構成されている。このため，上記第１の発明
に係る放射線厚さ計では，上記放射線源や放射線測定手
段を走査する走査手段の精度が悪い場合でも，上記被測
定部材を透過した放射線量を好適に測定することができ
る。上記第１の発明に係る放射線厚さ計において，例え
ば上記放射線測定領域が，上記被照射領域に対して走査
方向に長く設定された場合には，上記放射線源と上記放
射線測定手段との同期がずれている場合にも，上記被測
定部材の正確な厚さ測定を行うことができる。また，例
えば上記放射線測定領域が，上記被照射領域に対して走
査方向と直角な方向に長く設定されれば，上記放射線源
や上記放射線測定手段が支持される例えばレールにガタ
等があって走査軸がずれてしまう場合にも，上記被測定
部材の正確な厚さ測定を行うことができる。また，第２
の発明は，被測定部材にビーム状の放射線を照射するた
めの放射線源と，上記放射線源から照射され上記被測定
部材を透過した放射線量を測定するための放射線測定手
段と，上記放射線源及び放射線測定手段を所定の走査方
向に走査する走査手段とを具備してなる放射線厚さ計に
おいて，上記被測定部材がない状態で上記放射線源及び
放射線測定手段を走査して得た放射線量を記憶する記憶
手段を具備してなることを特徴とする放射線厚さ計とし
て構成されている。このため上記第２の発明に係る放射
線厚さ計では，例えば上記放射線源や放射線測定手段を
走査するためのガイドレールの加工精度が悪く上記放射
線源と上記放射線測定手段の間の距離が走査の間に変化
してしまう場合でも，上記記憶手段に記憶された放射線
量を用いることによって，測定された放射線量を補正し
て上記被測定部材の厚さ計測を正確に行うことができ
る。尚，上記放射線厚さ計において用いられる放射線
は，例えばＸ線やγ線であって，そのエネルギー領域は
散乱の少ない５〜１００ｋｅＶ程度である。
【０００６】
【発明の実施の形態】以下，添付図面を参照して，本発
明の一実施の形態につき説明し，本発明の理解に供す
る。尚，以下の実施の形態は，本発明の具体的な一例で
あって，本発明の技術的範囲を限定する性格のものでは
ない。ここに，図１は本発明の一実施の形態に係る放射
線厚さ計の概略構成を示す図である。図１に示すよう
に，本実施の形態に係る放射線厚さ計は，被測定部材Ｓ
にビーム状の放射線を照射するための放射線源１と，上
記放射線源１から照射され上記被測定部材Ｓを透過した
放射線量を測定するための放射線測定手段２と，上記放
射線源１及び放射線測定手段２を被測定部材Ｓの移動方
向と直角方向に走査する走査手段３とを具備する点で従
来の技術と同様である。上記放射線厚さ計が，従来の技
術と異なるのは，上記被測定部材Ｓがない状態で上記放
射線源１及び放射線測定手段２を走査して得た放射線量
を記憶する記憶手段８を具備すると共に，上記放射線測
定手段２の放射線測定領域２ａが，上記放射線測定手段
２に放射線が照射される被照射領域よりも広く設定され
てなる点である。
明の一実施の形態につき説明し，本発明の理解に供す
る。尚，以下の実施の形態は，本発明の具体的な一例で
あって，本発明の技術的範囲を限定する性格のものでは
ない。ここに，図１は本発明の一実施の形態に係る放射
線厚さ計の概略構成を示す図である。図１に示すよう
に，本実施の形態に係る放射線厚さ計は，被測定部材Ｓ
にビーム状の放射線を照射するための放射線源１と，上
記放射線源１から照射され上記被測定部材Ｓを透過した
放射線量を測定するための放射線測定手段２と，上記放
射線源１及び放射線測定手段２を被測定部材Ｓの移動方
向と直角方向に走査する走査手段３とを具備する点で従
来の技術と同様である。上記放射線厚さ計が，従来の技
術と異なるのは，上記被測定部材Ｓがない状態で上記放
射線源１及び放射線測定手段２を走査して得た放射線量
を記憶する記憶手段８を具備すると共に，上記放射線測
定手段２の放射線測定領域２ａが，上記放射線測定手段
２に放射線が照射される被照射領域よりも広く設定され
てなる点である。
【０００７】上記放射線厚さ計において，上記放射線源
１には例えば５ｋｅＶ程度の低エネルギーの特性Ｘ線を
放射するＸ線管等が用いられる。また，上記放射線測定
手段２には例えばシンチレーション検出器等が用いられ
る。上記放射線源１には直流の電源４により高圧が印加
されており，この電圧により生じた放射線はビーム状に
収束され上記放射線測定手段２に向けて照射される。上
記放射線源１より照射される放射線ビームの径は例えば
１０ｍｍφ程度である。これに対し，上記放射線測定手
段２の放射線受光面（放射線測定領域）２ａは，例えば
３０ｍｍφ程度確保される。即ち，上記放射線厚さ計で
は，上記放射線測定手段２の放射線測定領域２ａが，上
記放射線測定手段２に放射線が照射される被照射領域よ
りも広く設定されている（第１の発明に相当）。従っ
て，放射線ビームの走査軸が多少ずれたとしても，放射
線の一部が受光面を外れることによる検出誤差は生じな
い。ここで，上記放射線測定領域２ａを走査方向に広く
確保した場合には，例えば放射線源１と放射線測定手段
２の走査の同期ずれが生じた場合に対して，上記放射線
測定領域２ａを走査方向と直角方向に広く確保した場合
には，例えば走査手段３に設けられたレールのガタツキ
等により放射線ビームの走査軸がぶれるような場合に対
して有効である。また，上記走査手段３により，上記放
射線源１及び放射線測定手段２は同期した状態で被測定
部材Ｓの移動方向と直角方向に定速度で駆動される。例
えば上記放射線源１及び放射線測定手段２はフレーム下
部ＵＦ及びフレーム上部ＤＦに設けられたレールにそれ
ぞれ摺動可能に支持されており，モータ等を含む駆動機
構によって上記直角方向に同期した状態で定速度で駆動
される。この走査手段３により上記被測定部材Ｓの各位
置における厚さ計測が可能となる。
１には例えば５ｋｅＶ程度の低エネルギーの特性Ｘ線を
放射するＸ線管等が用いられる。また，上記放射線測定
手段２には例えばシンチレーション検出器等が用いられ
る。上記放射線源１には直流の電源４により高圧が印加
されており，この電圧により生じた放射線はビーム状に
収束され上記放射線測定手段２に向けて照射される。上
記放射線源１より照射される放射線ビームの径は例えば
１０ｍｍφ程度である。これに対し，上記放射線測定手
段２の放射線受光面（放射線測定領域）２ａは，例えば
３０ｍｍφ程度確保される。即ち，上記放射線厚さ計で
は，上記放射線測定手段２の放射線測定領域２ａが，上
記放射線測定手段２に放射線が照射される被照射領域よ
りも広く設定されている（第１の発明に相当）。従っ
て，放射線ビームの走査軸が多少ずれたとしても，放射
線の一部が受光面を外れることによる検出誤差は生じな
い。ここで，上記放射線測定領域２ａを走査方向に広く
確保した場合には，例えば放射線源１と放射線測定手段
２の走査の同期ずれが生じた場合に対して，上記放射線
測定領域２ａを走査方向と直角方向に広く確保した場合
には，例えば走査手段３に設けられたレールのガタツキ
等により放射線ビームの走査軸がぶれるような場合に対
して有効である。また，上記走査手段３により，上記放
射線源１及び放射線測定手段２は同期した状態で被測定
部材Ｓの移動方向と直角方向に定速度で駆動される。例
えば上記放射線源１及び放射線測定手段２はフレーム下
部ＵＦ及びフレーム上部ＤＦに設けられたレールにそれ
ぞれ摺動可能に支持されており，モータ等を含む駆動機
構によって上記直角方向に同期した状態で定速度で駆動
される。この走査手段３により上記被測定部材Ｓの各位
置における厚さ計測が可能となる。
【０００８】また，上記放射線測定手段２により，測定
された放射線量は電流値に変換される。この電流値はＡ
／Ｄコンバータ５を介してＣＰＵ６に入力される。ま
た，このＣＰＵ６には，上記放射線測定手段２の位置を
定める位置信号発信器７が接続されている。ＣＰＵ６内
部では，上記電流値データと上記位置信号発信器７から
発信された上記放射線測定手段２の位置データとの同期
が取られ，上記電流値データと位置データとがセットに
なってメモリ９に格納される。例えば走査方向の変位を
ｌn ，上記放射線厚さ計の有効走査幅をＬ，位置ｌnに
おける上記電流値をｉn （ｎ＝１，２，…，ｎ）とすれ
ば，メモリ９に格納されるデータは次のようになる。 （０，ｉ0 ），（ｌ1 ，ｉ1 ），………，（Ｌ，ｉn ） （５） しかしながら，上記放射線源１及び放射線測定手段２を
支持するレールの加工精度が悪かったり，雰囲気温度に
よって上記レールが歪む等して上記放射線源１と放射線
測定手段２との間の距離が走査位置ｌn によって変化す
る場合，これに起因する誤差が各位置における電流値ｉ
n に生じてしまう。このため，本実施の形態における放
射線厚さ計では，当該被測定部材Ｓの厚さ測定を行う前
に，予め当該被測定部材Ｓがない状態で，上記放射線源
１及び放射線測定手段２が走査されそのときの各位置ｌ
n における基準電流値ｉsn（ｎ＝１，２，…，ｎ）が上
記記憶手段８に記憶される（第２の発明に相当）。尚，
上記記憶手段８には上記メモリ９を用いてもよい。そし
て，実際に当該被測定部材Ｓの厚さ測定を行う場合に
は，上記（５）式に示した値が，上記基準電流値ｉsnに
よって次の（６）式のように正規化される。 （０，ｉ0 ／ｉs0），………，（Ｌ，ｉn ／ｉsn） （６） そして，上記（６）式によって正規化された電流値ｉn
／ｉsnを上記（４）式に代入することにより，当該被測
定部材Ｓの各位置ｌn における厚さが計測され，ディス
プレー等の出力装置１０に出力される。従って，上記放
射線源１と放射線測定手段２との間の距離が走査位置ｌ
n によって変化するために生じる誤差を低減して正確な
厚さ測定を行うことができる。このように，本実施の形
態に係る放射線厚さ計では，上記走査手段３の加工精度
が悪かったり，上記放射線源１と放射線測定手段２の同
期がずれている場合等でも，上記被測定部材Ｓの厚さ測
定を正確に行うことができる。
された放射線量は電流値に変換される。この電流値はＡ
／Ｄコンバータ５を介してＣＰＵ６に入力される。ま
た，このＣＰＵ６には，上記放射線測定手段２の位置を
定める位置信号発信器７が接続されている。ＣＰＵ６内
部では，上記電流値データと上記位置信号発信器７から
発信された上記放射線測定手段２の位置データとの同期
が取られ，上記電流値データと位置データとがセットに
なってメモリ９に格納される。例えば走査方向の変位を
ｌn ，上記放射線厚さ計の有効走査幅をＬ，位置ｌnに
おける上記電流値をｉn （ｎ＝１，２，…，ｎ）とすれ
ば，メモリ９に格納されるデータは次のようになる。 （０，ｉ0 ），（ｌ1 ，ｉ1 ），………，（Ｌ，ｉn ） （５） しかしながら，上記放射線源１及び放射線測定手段２を
支持するレールの加工精度が悪かったり，雰囲気温度に
よって上記レールが歪む等して上記放射線源１と放射線
測定手段２との間の距離が走査位置ｌn によって変化す
る場合，これに起因する誤差が各位置における電流値ｉ
n に生じてしまう。このため，本実施の形態における放
射線厚さ計では，当該被測定部材Ｓの厚さ測定を行う前
に，予め当該被測定部材Ｓがない状態で，上記放射線源
１及び放射線測定手段２が走査されそのときの各位置ｌ
n における基準電流値ｉsn（ｎ＝１，２，…，ｎ）が上
記記憶手段８に記憶される（第２の発明に相当）。尚，
上記記憶手段８には上記メモリ９を用いてもよい。そし
て，実際に当該被測定部材Ｓの厚さ測定を行う場合に
は，上記（５）式に示した値が，上記基準電流値ｉsnに
よって次の（６）式のように正規化される。 （０，ｉ0 ／ｉs0），………，（Ｌ，ｉn ／ｉsn） （６） そして，上記（６）式によって正規化された電流値ｉn
／ｉsnを上記（４）式に代入することにより，当該被測
定部材Ｓの各位置ｌn における厚さが計測され，ディス
プレー等の出力装置１０に出力される。従って，上記放
射線源１と放射線測定手段２との間の距離が走査位置ｌ
n によって変化するために生じる誤差を低減して正確な
厚さ測定を行うことができる。このように，本実施の形
態に係る放射線厚さ計では，上記走査手段３の加工精度
が悪かったり，上記放射線源１と放射線測定手段２の同
期がずれている場合等でも，上記被測定部材Ｓの厚さ測
定を正確に行うことができる。
【０００９】
【実施例】上記実施の形態では，５ｋｅＶ程度のＸ線を
測定放射線として用いたが，これに限らず，５〜１００
ｋｅＶ程度のエネルギーで被測定部材Ｓによる散乱の少
ないＸ線やγ線を用いてもよい。ここで，上記被測定部
材Ｓは，例えば金属フォイルやプラスチックフィルム等
である。このような放射線厚さ計も本発明における放射
線厚さ計の一例である。また，上記実施の形態では，上
記放射線測定手段２にシンチレーション検出器を用いた
が，例えば電離箱や固体検出器等の他の測定手段を用い
てもよい。また，上記実施の形態では，第１の発明と第
２の発明が同じ放射線厚さ計について適用されていた
が，もちろん別々に適用することも可能である。このよ
うな放射線厚さ計も本発明における放射線厚さ計の一例
である。
測定放射線として用いたが，これに限らず，５〜１００
ｋｅＶ程度のエネルギーで被測定部材Ｓによる散乱の少
ないＸ線やγ線を用いてもよい。ここで，上記被測定部
材Ｓは，例えば金属フォイルやプラスチックフィルム等
である。このような放射線厚さ計も本発明における放射
線厚さ計の一例である。また，上記実施の形態では，上
記放射線測定手段２にシンチレーション検出器を用いた
が，例えば電離箱や固体検出器等の他の測定手段を用い
てもよい。また，上記実施の形態では，第１の発明と第
２の発明が同じ放射線厚さ計について適用されていた
が，もちろん別々に適用することも可能である。このよ
うな放射線厚さ計も本発明における放射線厚さ計の一例
である。
【００１０】
【発明の効果】上記のように第１の発明は，被測定部材
にビーム状の放射線を照射するための放射線源と，上記
放射線源から照射され上記被測定部材を透過した放射線
量を測定するための放射線測定手段と，上記放射線源及
び放射線測定手段を所定の走査方向に走査する走査手段
とを具備してなる放射線厚さ計において，上記放射線測
定手段の放射線測定領域が，上記放射線測定手段に放射
線が照射される被照射領域よりも広く設定されてなるこ
とを特徴とする放射線厚さ計として構成されている。こ
のため，上記第１の発明に係る放射線厚さ計では，上記
放射線源や放射線測定手段を走査する走査手段の精度が
悪い場合でも，上記被測定部材を透過した放射線量を好
適に測定することができる。上記第１の発明に係る放射
線厚さ計において，例えば上記放射線測定領域が，上記
被照射領域に対して走査方向に長く設定された場合に
は，上記放射線源と上記放射線測定手段との同期がずれ
ている場合にも，上記被測定部材の正確な厚さ測定を行
うことができる。また，例えば上記放射線測定領域が，
上記被照射領域に対して走査方向と直角な方向に長く設
定されれば，上記放射線源や上記放射線測定手段が支持
される例えばレールにガタ等があって走査軸がずれてし
まう場合にも，上記被測定部材の正確な厚さ測定を行う
ことができる。また，第２の発明は，被測定部材にビー
ム状の放射線を照射するための放射線源と，上記放射線
源から照射され上記被測定部材を透過した放射線量を測
定するための放射線測定手段と，上記放射線源及び放射
線測定手段を所定の走査方向に走査する走査手段とを具
備してなる放射線厚さ計において，上記被測定部材がな
い状態で上記放射線源及び放射線測定手段を走査して得
た放射線量を記憶する記憶手段を具備してなることを特
徴とする放射線厚さ計として構成されている。このため
上記第２の発明に係る放射線厚さ計では，例えば上記放
射線源や放射線測定手段を走査するためのガイドレール
の加工精度が悪く上記放射線源と上記放射線測定手段の
間の距離が走査の間に変化してしまう場合でも，上記記
憶手段に記憶された放射線量を用いることによって，測
定された放射線量を補正して上記被測定部材の厚さ計測
を正確に行うことができる。尚，上記放射線厚さ計にお
いて用いられる放射線は，例えばＸ線やγ線であって，
そのエネルギー領域は被測定部材による散乱の少ない５
〜１００ｋｅＶ程度である。
にビーム状の放射線を照射するための放射線源と，上記
放射線源から照射され上記被測定部材を透過した放射線
量を測定するための放射線測定手段と，上記放射線源及
び放射線測定手段を所定の走査方向に走査する走査手段
とを具備してなる放射線厚さ計において，上記放射線測
定手段の放射線測定領域が，上記放射線測定手段に放射
線が照射される被照射領域よりも広く設定されてなるこ
とを特徴とする放射線厚さ計として構成されている。こ
のため，上記第１の発明に係る放射線厚さ計では，上記
放射線源や放射線測定手段を走査する走査手段の精度が
悪い場合でも，上記被測定部材を透過した放射線量を好
適に測定することができる。上記第１の発明に係る放射
線厚さ計において，例えば上記放射線測定領域が，上記
被照射領域に対して走査方向に長く設定された場合に
は，上記放射線源と上記放射線測定手段との同期がずれ
ている場合にも，上記被測定部材の正確な厚さ測定を行
うことができる。また，例えば上記放射線測定領域が，
上記被照射領域に対して走査方向と直角な方向に長く設
定されれば，上記放射線源や上記放射線測定手段が支持
される例えばレールにガタ等があって走査軸がずれてし
まう場合にも，上記被測定部材の正確な厚さ測定を行う
ことができる。また，第２の発明は，被測定部材にビー
ム状の放射線を照射するための放射線源と，上記放射線
源から照射され上記被測定部材を透過した放射線量を測
定するための放射線測定手段と，上記放射線源及び放射
線測定手段を所定の走査方向に走査する走査手段とを具
備してなる放射線厚さ計において，上記被測定部材がな
い状態で上記放射線源及び放射線測定手段を走査して得
た放射線量を記憶する記憶手段を具備してなることを特
徴とする放射線厚さ計として構成されている。このため
上記第２の発明に係る放射線厚さ計では，例えば上記放
射線源や放射線測定手段を走査するためのガイドレール
の加工精度が悪く上記放射線源と上記放射線測定手段の
間の距離が走査の間に変化してしまう場合でも，上記記
憶手段に記憶された放射線量を用いることによって，測
定された放射線量を補正して上記被測定部材の厚さ計測
を正確に行うことができる。尚，上記放射線厚さ計にお
いて用いられる放射線は，例えばＸ線やγ線であって，
そのエネルギー領域は被測定部材による散乱の少ない５
〜１００ｋｅＶ程度である。
【図１】 本発明の一実施の形態に係る放射線厚さ計の
概略構成を示す図。
概略構成を示す図。
【図２】 放射線厚さ計を説明するための図。
【図３】 従来の放射線厚さ計の一例を示す図。
１…放射線源 ２…放射線測定手段 ３…走査手段 ８…記憶手段
Claims (5)
- 【請求項１】 被測定部材にビーム状の放射線を照射す
るための放射線源と，上記放射線源から照射され上記被
測定部材を透過した放射線量を測定するための放射線測
定手段と，上記放射線源及び放射線測定手段を所定の走
査方向に走査する走査手段とを具備してなる放射線厚さ
計において，上記放射線測定手段の放射線測定領域が，
上記放射線測定手段に放射線が照射される被照射領域よ
りも広く設定されてなることを特徴とする放射線厚さ
計。 - 【請求項２】 上記放射線測定領域が，上記被照射領域
に対して走査方向に長く設定されてなる請求項１記載の
放射線厚さ計。 - 【請求項３】 上記放射線測定領域が，上記被照射領域
に対して走査方向と直角な方向に長く設定されてなる請
求項１若しくは２記載の放射線厚さ計。 - 【請求項４】 被測定部材にビーム状の放射線を照射す
るための放射線源と，上記放射線源から照射され上記被
測定部材を透過した放射線量を測定するための放射線測
定手段と，上記放射線源及び放射線測定手段を所定の走
査方向に走査する走査手段とを具備してなる放射線厚さ
計において，上記被測定部材がない状態で上記放射線源
及び放射線測定手段を走査して得た放射線量を記憶する
記憶手段を具備してなることを特徴とする放射線厚さ
計。 - 【請求項５】 上記放射線がＸ線又はγ線であって，そ
のエネルギー領域が被測定部材による上記放射線の散乱
が少ない低エネルギー領域である請求項１〜４のいずれ
かに記載の放射線厚さ計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30523497A JPH11142129A (ja) | 1997-11-07 | 1997-11-07 | 放射線厚さ計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30523497A JPH11142129A (ja) | 1997-11-07 | 1997-11-07 | 放射線厚さ計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11142129A true JPH11142129A (ja) | 1999-05-28 |
Family
ID=17942654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30523497A Pending JPH11142129A (ja) | 1997-11-07 | 1997-11-07 | 放射線厚さ計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11142129A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112857275A (zh) * | 2021-04-26 | 2021-05-28 | 浙江双元科技股份有限公司 | 一种在线厚度检测双伺服系统及方法 |
| KR20220036495A (ko) * | 2020-09-16 | 2022-03-23 | 문상호 | 비접촉식 두께 측정장치 |
-
1997
- 1997-11-07 JP JP30523497A patent/JPH11142129A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20220036495A (ko) * | 2020-09-16 | 2022-03-23 | 문상호 | 비접촉식 두께 측정장치 |
| CN112857275A (zh) * | 2021-04-26 | 2021-05-28 | 浙江双元科技股份有限公司 | 一种在线厚度检测双伺服系统及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100319430B1 (ko) | 평평한제품의두께프로파일을측정하는어셈블리를위한교정장치및그교정방법 | |
| US5021666A (en) | Pass-line independent web measuring method and apparatus | |
| JP2019197054A (ja) | 残光検出装置及び残光検出方法 | |
| JP2568891B2 (ja) | 厚み測定方法に於けるゼロ点補正方法及びその装置 | |
| JPH11142129A (ja) | 放射線厚さ計 | |
| JPS5842904A (ja) | 測長装置 | |
| JPH0643888B2 (ja) | 厚さ監視装置 | |
| US4546488A (en) | X-Ray analysis apparatus with pulse amplitude shift correction | |
| JPH11142128A (ja) | 放射線厚さ計 | |
| JP3140817B2 (ja) | 誘電体材料の厚み測定方法とその装置 | |
| JP3029899B2 (ja) | ガラス線量測定装置 | |
| JP3286010B2 (ja) | 蛍光ｘ線分析装置およびｘ線照射角設定方法 | |
| JPH0833358B2 (ja) | 全反射螢光ｘ線分析装置 | |
| JP2000258146A (ja) | 放射線厚さ測定装置 | |
| JP2001311705A (ja) | Ｘ線回折装置 | |
| CN115855989A (zh) | 一种微区x射线衍射仪用透射成像样品的定位装置及方法 | |
| GB2027879A (en) | Apparatus for determining the wall thickness of hollow objects or tubes | |
| CN111579488A (zh) | 物体表面发射率的测量方法、装置、设备及存储介质 | |
| JPH0714873Y2 (ja) | Ｘ線回折測定装置 | |
| JP2000065944A (ja) | 簡易型ｘ線エネルギー測定装置 | |
| JP2001147116A (ja) | 板厚測定装置 | |
| JP2020176906A (ja) | 走査型厚さ測定装置 | |
| JPH0346386Y2 (ja) | ||
| JPH03223656A (ja) | Ｘ線吸収端微細構造分析装置 | |
| JPS58200136A (ja) | 分光分析方法 |