JPH11138801A

JPH11138801A - インクジェット式記録ヘッド

Info

Publication number: JPH11138801A
Application number: JP30457397A
Authority: JP
Inventors: Shuji Yonekubo; 周二米窪
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 1997-11-06
Filing date: 1997-11-06
Publication date: 1999-05-25
Anticipated expiration: 2017-11-06
Also published as: JP3384305B2

Abstract

(57)【要約】【課題】コンプライアンス部の面積を小さくしても十
分なコンプライアンスを得ることのできるインクジェッ
ト式記録ヘッドを提供する。【解決手段】第１の蓋部材１２と、第１の蓋部材１２
により一方の面が封止されて圧力発生室１５を形成する
圧力発生室形成部材１４と、圧力発生室１５の他方の面
を封止する第２の蓋部材１６と、第２の蓋部材１６によ
り一方の面が封止されるコンプライアンス寸法規制窓２
１を有するスペーサ１９と、コンプライアンス寸法規制
窓２１の他方の面を封止するコンプライアンス薄肉部材
２４とをセラミックス材料により一体に焼成して成るア
クチュエータユニット１０と、共通インク室３２と圧力
発生室１５に連通するノズル開口３５とを有する流路ユ
ニット３０とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ノズルからインク
滴を吐出して紙等の記録媒体に文字等の記録像を書き込
むインクジェット式記録ヘッドに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、インクジェット式のプリンタ
に用いられるインクジェット式記録ヘッドにとして、圧
力発生室を構成している弾性板の一部領域に圧電振動板
を貼り着けて、圧電振動板のたわみ変位により圧力発生
室の容積を変化させてノズル開口からインク滴を吐出さ
せるものが知られている。上記のようなインクジェット
式記録ヘッドは、圧力発生室の広い面積を変位させるこ
とが可能なため、インク滴を安定して発生させることが
できるという特徴を備えている。

【０００３】従来のインクジェット式記録ヘッドは、例
えば図８、図９に示すように、セラミックス板を積層し
て形成されたアクチュエータユニット２００と、ＳＵＳ
等の金属板を積層して形成された流路ユニット３００と
を熱溶着フィルム１１０等により一体に固定して構成さ
れている。

【０００４】アクチュエータユニット２００は、表面に
圧電振動板１１７を有して振動部材を形成する第１の蓋
部材１１３と、一面が第１の蓋部材１１３に封止された
圧力発生室１１５を形成する圧力発生室形成部材１１２
と、圧力発生室１１５の他面を封止するとともに圧力発
生室１１５と供給穴１２６とを接続する供給連通路１２
２及び圧力発生室１１５とノズル開口１２１とを接続す
る連通孔１２０を有する第２の蓋部材１１１とを順に積
層して構成される。

【０００５】流路ユニット３００は、共通インク室１２
５へのインク導入口１３１、供給穴１２６及びノズル開
口１２１と圧力発生室１１５とを接続する連通孔１２７
が設けられた供給穴形成基板１２４と、供給穴形成基板
１２４により一方の面が封止され、また供給穴１２６を
介して各圧力発生室１１５に連通する共通インク室１２
５及びノズル開口１２１と圧力発生室１１５とを接続す
る連通孔１２８を備える共通インク室形成基板１２３
と、ノズル開口１２１を備え共通インク室形成基板１２
３の他面を封止するノズルプレート１３０とを順に積層
して構成される。

【０００６】図８、図９に示すようなインクジェット式
記録ヘッドにおいて、圧電振動板１１７をたわみ振動さ
せると、圧力発生室１１５の容積が収縮して圧力発生室
１１５内のインクが連通孔１２０、連通孔１２８を経て
ノズル開口１２１から吐出される。それと同時に供給連
通路１２２、供給穴１２６を経て共通インク室１２５へ
もインクが押し出される。圧電振動板１１７が元の形状
に戻り、圧力発生室１１５の容積が膨張すると、共通イ
ンク室１２５から圧力発生室１１５へインクが流入す
る。このように、共通インク室内１２５でインクの振動
が発生する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、共通イ
ンク室１２５のコンプライアンスが小さいと、圧力発生
室１１５から共通インク室１２５へインクが押し出され
るときの共通インク室１２５内の圧力変化が大きくな
る。これにより、共通インク室１２５内でのインクの振
動が大きくなり、インクが吐出されるべきノズルに隣接
するノズルからもインクが吐出されるという、いわゆる
クロストークが発生して印字品質が低下することがあ
る。これを防ぐために、図８、図９に示すように共通イ
ンク室１２５の一面を封止する供給穴形成基板１２４の
共通インク室１２５に対向する領域をエッチング等によ
り凹状に加工してコンプライアンス部１２４ａとして薄
肉状に形成することにより共通インク室１２５のコンプ
ライアンスを増大させることが行われている。

【０００８】一方、記録ヘッドの大きさを小型化するた
めに共通インク室１２５の面積を小さくすると、コンプ
ライアンス部１２４ａの面積も小さくしなければならな
い。必要なコンプライアンスを確保しながらコンプライ
アンス部１２４ａの面積を小さくするためには、コンプ
ライアンス部１２４ａの厚さを薄くする必要があるが、
コンプライアンス部１２４ａが金属材料で形成されてい
る場合、１０μｍ以下に薄くすると、ピンホールが発生
し、インクが漏れることがあるという問題があるため、
コンプライアンス部１２４ａを薄くしてコンプライアン
スを大きくするのには限界があった。

【０００９】本発明は、上記の問題を解決するためにな
されたものであり、その目的はコンプライアンス部の面
積を小さくしても十分なコンプライアンスを得ることの
できるインクジェット式記録ヘッドを提供することにあ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に記載
のインクジェット式記録ヘッドによれば、圧電振動部材
を有する第１の蓋部材、第１の蓋部材により一方の面が
封止されて圧力発生室を形成する圧力発生室形成部材、
圧力発生室の他方の面を封止する第２の蓋部材、第２の
蓋部材により一方の面が封止される中空部を有するスペ
ーサおよび中空部の他方の面を封止するコンプライアン
ス薄肉部材をセラミックス材料により一体に焼成して成
るアクチュエータユニットと、コンプライアンス薄肉部
材により一方の面が封止されて共通インク室を形成する
共通インク室形成部材および共通インク室の他方の面を
封止するとともに圧力発生室と連通するノズル開口を有
するノズルプレートを一体に形成して成る流路ユニット
とを備える。

【００１１】コンプライアンス薄肉部材がセラミックス
により形成されているため、金属により形成する場合に
比べて、より薄く形成してもピンホールが発生すること
がなく、インクの漏れが発生することがない。従って、
共通インク室の面積を小さくした場合でもコンプライア
ンス薄肉部材を薄くすることにより十分なコンプライア
ンスを得ることができる。このため、圧力発生室から共
通インク室へインクが流入するときの共通インク室内の
圧力変化を小さくし、共通インク室内でインクが振動し
てクロストークが発生するのを防ぐことができる。

【００１２】また、スペーサやコンプライアンス薄肉部
材をアクチュエータユニットとして一体に焼成すること
により、熱溶着フィルム等によって接着する部品の点数
を低減することができ、組立工程を簡略化してコストダ
ウンを図ることができる。

【００１３】本発明の請求項２に記載のインクジェット
式記録ヘッドによれば、圧電振動部材を有する第１の蓋
部材、第１の蓋部材により一方の面が封止されて圧力発
生室を形成する圧力発生室形成部材および圧力発生室の
他方の面を封止する第２の蓋部材をセラミックス材料に
より一体に焼成したものを、第２の蓋部材により一方の
面が封止される中空部を有するスペーサと、中空部の他
方の面を封止するコンプライアンス薄肉部材とをセラミ
ックス材料により一体に焼成して成るコンプライアンス
部形成部材と接着して成るアクチュエータユニットと、
コンプライアンス薄肉部材により一方の面が封止されて
共通インク室を形成する共通インク室形成部材と、共通
インク室の他方の面を封止するとともに圧力発生室と連
通するノズル開口を有するノズルプレートとを一体に形
成して成る流路ユニットとを備える。

【００１４】コンプライアンス薄肉部材がセラミックス
により形成されているため、金属により形成する場合に
比べて、より薄く形成してもピンホールが発生すること
がなく、インクの漏れが発生することがない。従って、
共通インク室の面積を小さくした場合でもコンプライア
ンス薄肉部材を薄くすることにより十分なコンプライア
ンスを得ることがでる。このため、圧力発生室から共通
インク室へインクが流入するときの共通インク室内の圧
力変化を小さくし、クロストークが発生するのを防ぐこ
とができる。

【００１５】また、コンプライアンス部形成部材を別体
で焼成してからアクチュエータユニットとして一体に接
着するため、多層のセラミックスを積層して一体に焼成
したときに生じる反りを低減することができる。

【００１６】本発明の請求項３に記載のインクジェット
式記録ヘッドによれば、圧電振動部材を有する第１の蓋
部材、第１の蓋部材により一方の面が封止されて圧力発
生室を形成する圧力発生室形成部材および圧力発生室の
他方の面を封止する第２の蓋部材をセラミックス材料に
より一体に焼成して成るアクチュエータユニットと、イ
ンク供給穴が形成されるインク供給穴形成部材、インク
供給穴形成部材により一方の面が封止されてインク供給
穴と連通する共通インク室を形成する共通インク室形成
部材、共通インク室の他方の面を封止するコンプライア
ンス薄肉部材、コンプライアンス薄肉部材により一方の
面が封止される中空部を有するスペーサおよび中空部の
他方の面を封止するとともに圧力発生室と連通するノズ
ル開口を有するノズルプレートを一体に形成して成る流
路ユニットとを備える。

【００１７】このため、インク供給穴とコンプライアン
ス薄肉部のうち中空部によって寸法が規制される領域で
あるコンプライアンス部との距離を短くすることがで
き、インク供給穴より噴流となって共通インク室へ流れ
るインク圧力に対し、共通インク室内の圧力をすばやく
減衰させることができる。したがって、クロストークの
発生を防ぐことができる。

【００１８】また、コンプライアンス薄肉部材を共通イ
ンク室と圧力発生室との間に設けた場合よりも中空部の
面積を大きくとることが可能であるため、共通インク室
のコンプライアンスをより大きくしてクロストークを低
減させることができる。また、中空部の面積が大きいと
コンプライアンス薄肉部材の板厚を厚くしても必要なコ
ンプライアンスが得られるので、コンプライアンス薄肉
部材の製造を容易にすることができる。

【００１９】本発明の請求項４に記載のインクジェット
式記録ヘッドによれば、スペーサに共通インク室から圧
力発生室へインクを供給するインク供給穴が形成されて
いる。スペーサはセラミックス材料により形成されてい
るため、インク供給穴の位置や大きさを精度よく形成す
ることができる。

【００２０】本発明の請求項５に記載のインクジェット
式記録ヘッドによれば、中空部は空気抜け部により外部
と連通しているため、コンプライアンス薄肉部材がたわ
んで中空部の体積を縮小させるとき中空部内の空気は外
部に逃げるため、圧力変化による抵抗が小さい。したが
って、より大きいコンプライアンスを得ることができ
る。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を複数
の実施例により図面に基づいて詳細に説明する。

【００２２】（第１実施例）図１は本発明のインクジェ
ット式記録ヘッドの第１実施例を示す分解斜視図であ
り、図２は断面図である。図１に示すように複数のアク
チュエータユニット１０を１つの流路ユニット３０に固
定して構成されている。

【００２３】アクチュエータユニット１０の圧力発生室
形成部材としての圧力発生室形成基板１４にはそれぞれ
２列の圧力発生室１５が形成され、一方の面を第１の蓋
部材１２により封止されている。第１の蓋部材１２の表
面には、圧力発生室１５に対応して個別に分離された駆
動電極１３が形成されていて、これらの駆動電極１３の
表面に圧電振動部材としての圧電振動子１１が形成され
て、さらに圧電振動子１１の表面には共通の電極９が複
数の圧電振動子１１にまたがるように形成されている。

【００２４】圧力発生室形成基板１４の他方の面には共
通インク室３２から圧力発生室１５の一端へインクを供
給するインク供給穴２０と連通する供給連通路１７、お
よび圧力発生室１５の他端をノズル開口３５と連通させ
る連通孔１８を備える第２の蓋部材１６が形成されてい
る。

【００２５】スペーサ１９にはインク供給穴２０、一方
の面を第２の蓋部材１６により封止される中空部として
のコンプライアンス寸法規制窓２１、インク供給穴２
０、圧力発生室１５とノズル開口３５とを連通させるた
めの連通孔２２および共通インク室３２に図示しないイ
ンクタンクからのインクを導入するインク導入口２３が
形成されている。

【００２６】コンプライアンス薄肉部材２４には共通イ
ンク室３２とインク供給穴２０とを連通させるための通
孔２５、圧力発生室１５とノズル開口３５とを連通させ
るための連通孔２６、インク導入口２３と連通して共通
インク室３２にインクを導入するためのインク導入口２
７が形成されている。コンプライアンス薄肉部材２４の
うち、スペーサ１９のコンプライアンス寸法規制窓２１
によって規制される薄肉の可撓領域が、共通インク室３
２のコンプライアンスを増大させるコンプライアンス部
２４ａとなる。

【００２７】第１の蓋部材１２、圧力発生室形成基板１
４、第２の蓋部材１６、スペーサ１９およびコンプライ
アンス薄肉部材２４は、ジルコニア（ＺｒＯ_２）等のセ
ラミックス材料の板により形成され、それぞれグリーン
シート状態で通孔などを穿設したものを積層して一体に
焼成することによりアクチュエータユニット１０が構成
される。

【００２８】流路ユニット３０はＳＵＳ等の金属材料か
ら成る共通インク室形成基板３１及びノズルプレート３
４を積層し、熱溶着フィルム３７により一体に固定され
ている。ノズルプレート３４には、圧力発生室１５のイ
ンクを吐出するためのノズル開口３５が設けられてい
る。共通インク室形成基板３１にはインクタンクからイ
ンクの供給を受け、複数の圧力発生室１５へ供給するた
めにインクを蓄積する共通インク室３２と、圧力発生室
１５とノズル開口３５とを連通させるための連通孔３３
とが形成されている。アクチュエータユニット１０と流
路ユニット３０とは、熱溶着フィルム３６により一体に
固定されている。

【００２９】本実施例のインクジェット式記録ヘッドを
用いて印刷するときには、圧電振動子１１へ電圧が印加
されることにより、圧電振動子１１がたわみ振動して、
第１の蓋部材１２は圧力発生室１５の体積を収縮させる
方向に変形する。これにより、圧力発生室１５内のイン
クが加圧され、圧力発生室１５から連通孔１８、連通孔
２２、連通孔２６、連通孔３３を経てノズル開口３５に
至るインク流が発生し、ノズル開口３５からインク滴が
吐出される。それと同時に供給連通路１７、供給穴２０
を経て共通インク室３２へもインクが押し出される。共
通インク室３２へインクが押し出されると、コンプライ
アンス部２４ａが共通インク室３２の容積を増大させる
ようにたわみ変形し、共通インク室３２内の圧力変化を
吸収するので、共通インク室３２の圧力が変動すること
によるクロストークの発生を防ぐことができる。

【００３０】本実施例によれば、コンプライアンス薄肉
部材２４はセラミックス材料により形成されている。そ
のため、コンプライアンス薄肉部材２４が金属材料によ
り形成される場合よりも薄く、例えば５μｍ程度の厚さ
で形成されてもコンプライアンス部２４ａにインク漏れ
を引き起こすピンホールができにくい。したがって、コ
ンプライアンス薄肉部材２４をより薄く形成することに
より、共通インク室３２のコンプライアンスを増大させ
ることや、記録ヘッドの小型化のために共通インク室３
２の面積を小さくした場合でも必要なコンプライアンス
を得ることができる。したがって、共通インク室３２内
の圧力変化を吸収し、クロストークの発生を防ぐことが
できる。

【００３１】また、インク供給穴２０が形成されるスペ
ーサ１９がセラミックス材料によりアクチュエータユニ
ット１０内に一体に焼成されているため、インク供給穴
２０の位置や大きさを精度よく形成することができ、ま
た、熱溶着フィルム等によって接着する部品の点数を低
減することができ、組立工程を簡略化してコストダウン
を図ることができる。

【００３２】（第２実施例）本発明の第２実施例の分解
斜視図を図３に、断面図を図４に示す。第１実施例と実
質的に同一部分に同一符号を付す。図３では圧力発生室
形成基板１４より上と流路ユニット３０は省略されてい
る。

【００３３】本実施例では、アクチュエータユニット１
０の他の部分とは別々に、スペーサ１９とコンプライア
ンス薄肉部材２４とを一体に焼成したコンプライアンス
部形成部材４０を形成した後、熱溶着フィルム３８によ
り第２の蓋部材１６の下面に溶着している。コンプライ
アンス薄肉部材２４は薄いために溶着による組み立て時
の取り扱いが困難であるが、板厚のあるスペーサ１９と
一体に焼成することにより、取扱を容易にしている。コ
ンプライアンス薄肉部材２４のうち、スペーサ１９のコ
ンプライアンス寸法規制窓２１によって規制される領域
が、共通インク室３２のコンプライアンスを増大させる
コンプライアンス部２４ａとなる。

【００３４】熱溶着フィルム３８にはコンプライアンス
寸法規制窓２１と外部とを連通させる空気抜け部４１が
設けられているため、コンプライアンス部２４ａが共通
インク室３２の容積を増大させ、コンプライアンス寸法
規制窓２１の容積を縮小するようにたわみ変形したとき
でも、コンプライアンス寸法規制窓２１内の空気は外部
に逃げるため、コンプライアンス部２４ａは容易に変形
することができる。

【００３５】また、アクチュエータユニット１０のコン
プライアンス部形成部材４０とその他の部分を別体で焼
成した後に一体に溶着するため、多層のセラミックスを
積層して一体に焼成したときに生じる反りを低減するこ
とができる。

【００３６】（第３実施例）本発明の第３実施例の分解
斜視図を図５に示す。第１、第２実施例と実質的に同一
部分に同一符号を付す。圧力発生室形成基板１４より上
と流路ユニット３０は省略されている。

【００３７】本実施例では、複数のアクチュエータユニ
ットにまたがり、ＳＵＳ等の金属板によって形成される
インク導入口形成部材４５が設けられ、熱溶着フィルム
３９によりスペーサ１９に溶着されている。熱溶着フィ
ルム３９にはコンプライアンス寸法規制窓２１と外部と
を連通させる空気抜け部４２が設けられている。インク
導入口形成部材４５にはインクタンクからインク導入口
２３、インク導入口２７を経て共通インク室３２へイン
クを供給するためのインク導入口４６が設けられてい
る。

【００３８】インクタンクからのインク導入路をスペー
サ１９に設けられたインク導入口２３に接続しようとす
ると、セラミックスの反り等により複数のアクチュエー
タユニット１０間でインク導入口２３の高さにばらつき
が生じることがある。この場合、接続部にすき間ができ
てインクが漏れる恐れがある。本実施例では、軟らかい
熱溶着フィルム３９を介してインク導入口形成部材４５
を複数のアクチュエータユニット１０にまたがるように
形成することにより、高さのばらつきを熱溶着フィルム
３９で吸収し、インクの漏れを防ぐことができる。

【００３９】（第４実施例）本発明の第４実施例の分解
斜視図を図６に、断面図を図７に示す。

【００４０】図７に示すように複数のアクチュエータユ
ニット５０を１つの流路ユニット６０に固定して構成さ
れている。

【００４１】アクチュエータユニット５０の圧力発生室
形成部材としての圧力発生室形成基板１４にはそれぞれ
２列の圧力発生室１５が形成され、一方の面を第１の蓋
部材１２により封止されている。第１の蓋部材１２の表
面には、圧力発生室１５に対応して個別に分離された駆
動電極１３が形成されていて、これらの駆動電極１３の
表面に圧電振動部材としての圧電振動子１１が形成され
て、さらに圧電振動子１１の表面には共通の電極９が複
数の圧電振動子１１にまたがるように形成されている。

【００４２】圧力発生室形成基板１４の他方の面には共
通インク室６６から圧力発生室１５の一端へインクを供
給するインク供給穴６２と連通する供給連通路１７、お
よび圧力発生室１５の他端をノズル開口７７と連通させ
るための連通孔１８を備える第２の蓋部材１６が形成さ
れている。

【００４３】第１の蓋部材１２、圧力発生室形成基板１
４および第２の蓋部材１６は、ジルコニア等のセラミッ
クス材料の板により形成され、それらを積層して一体に
焼成することによりアクチュエータユニット５０が構成
される。

【００４４】流路ユニット６０はＳＵＳ等の金属材料か
ら成るインク供給穴形成基板６１と共通インク室形成基
板６５とを熱溶着フィルム７６に溶着したものに、セラ
ミックスにより形成されたコンプライアンス部形成部材
７０を熱溶着フィルム８０により溶着し、さらにノズル
プレート７６を熱溶着フィルム８１により溶着して形成
される。

【００４５】インク供給穴形成基板６１には、共通イン
ク室６６のインクを圧力発生室１５へ供給するインク供
給穴６２、圧力発生室１５とノズル開口とを連通させる
ための連通孔６３およびインクタンクから共通インク室
６６へインクを導入するインク導入口６４が形成されて
いる。

【００４６】共通インク室形成基板６５にはインクタン
クからインクの供給を受け、複数の圧力発生室１５へ供
給するためにインクを蓄積する共通インク室６６と、圧
力発生室１５とノズル開口７７とを連通させるための連
通孔６７とが形成されている。共通インク室６６の一方
の面はインク供給穴形成基板６１により封止されてい
る。

【００４７】コンプライアンス部形成部材７０は、ジル
コニア等のセラミックス材料の板により形成されたコン
プライアンス薄肉部材７１とスペーサ７３とを一体に焼
成して形成されている。コンプライアンス薄肉部材７１
には圧力発生室１５とノズル開口７７とを連通させるた
めの連通孔７２が形成され、共通インク室６６の他方の
面を封止している。スペーサ７３には一方の面をコンプ
ライアンス薄肉部材７１により封止され他方の面をノズ
ルプレート７６により封止される中空部としてのコンプ
ライアンス寸法規制窓７４および圧力発生室１５とノズ
ル開口７７とを連通させるための連通孔７５が形成され
ている。コンプライアンス薄肉部材７１のうち、スペー
サ７３のコンプライアンス規制窓７４によって規制され
る領域が、共通インク室６６のコンプライアンスを増大
させるためのコンプライアンス部７１ａとなる。

【００４８】ノズルプレート７６には、圧力発生室１５
のインクを吐出するためのノズル開口７７が設けられて
いる。アクチュエータユニット５０と流路ユニット６０
とは、熱溶着フィルム７８により一体に固定されてい
る。

【００４９】本実施例によれば、コンプライアンス規制
窓７４を有するスペーサ７３が共通インク室形成基板６
５とノズルプレート７６との間に形成されるため、スペ
ーサを共通インク室形成基板と圧力発生室形成基板との
間に形成した場合と比べてインク供給穴６２とコンプラ
イアンス部７１ａとの距離を短くすることができ、イン
ク供給穴６２より噴流となって共通インク室６６へ流れ
るインク圧力に対し、共通インク室６６内の圧力をすば
やく減衰させることができる。したがって、クロストー
クの発生を防ぐことができる。

【００５０】また、スペーサ７３に共通インク室６６と
圧力発生室１５とを連通させる穴を形成する必要がない
ので、コンプライアンス規制窓７４をより大きく形成
し、コンプライアンス部７１ａを共通インク室１５の大
きさとほぼ同じ大きさまですることが可能である。その
ため、共通インク室１５のコンプライアンスをより大き
くしてクロストークを低減させることができる。また、
コンプライアンス部７１ａの面積が大きいと，コンプラ
イアンス薄肉部材７１の板厚を厚くしても必要なコンプ
ライアンスが得られるので、コンプライアンス薄肉部材
７１の製造を容易にすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例のインクジェット式記録ヘ
ッドを示す分解斜視図である。

【図２】本発明の第１実施例を示す断面図である。

【図３】本発明の第２実施例のアクチュエータユニット
の一部を示す分解斜視図である。

【図４】本発明の第２実施例を示す断面図である。

【図５】本発明の第３実施例のアクチュエータユニット
の一部を示す分解斜視図である。

【図６】本発明の第４実施例を示す分解斜視図である。

【図７】本発明の第４実施例を示す断面図である。

【図８】従来のインクジェット式記録ヘッドを示す分解
斜視図である。

【図９】従来のインクジェット式記録ヘッドを示す断面
図である。

【符号の説明】

９共通の電極１０アクチュエータユニット１１圧電振動子（圧電振動部）１２第１の蓋部材１３駆動電極１４圧力発生室形成基板（圧力発生室形成部材）１５圧力発生室１６第２の蓋部材１９スペーサ２０インク供給穴２１コンプライアンス寸法規制窓（中空部）２３インク導入口２４コンプライアンス薄肉部材２４ａコンプライアンス部２７インク供給穴３０流路ユニット３１共通インク室形成基板（共通インク室形成部
材）３２共通インク室３４ノズルプレート３５ノズル開口４０コンプライアンス部形成部材４１空気抜け部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】圧電振動部材を有する第１の蓋部材と、
前記第１の蓋部材により一方の面が封止されて圧力発生
室を形成する圧力発生室形成部材と、前記圧力発生室の
他方の面を封止する第２の蓋部材と、前記第２の蓋部材
により一方の面が封止される中空部を有するスペーサ
と、前記中空部の他方の面を封止するコンプライアンス
薄肉部材とをセラミックス材料により一体に焼成して成
るアクチュエータユニットと、前記コンプライアンス薄肉部材により一方の面が封止さ
れて共通インク室を形成する共通インク室形成部材と、
前記共通インク室の他方の面を封止するとともに前記圧
力発生室と連通するノズル開口を有するノズルプレート
とを一体に形成して成る流路ユニットと、を備えること
を特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項２】圧電振動部材を有する第１の蓋部材、前
記第１の蓋部材により一方の面が封止されて圧力発生室
を形成する圧力発生室形成部材および前記圧力発生室の
他方の面を封止する第２の蓋部材をセラミックス材料に
より一体に焼成したものを、前記第２の蓋部材により一
方の面が封止される中空部を有するスペーサ、および前
記中空部の他方の面を封止するコンプライアンス薄肉部
材をセラミックス材料により一体に焼成して成るコンプ
ライアンス部形成部材と接着して成るアクチュエータユ
ニットと、前記コンプライアンス薄肉部材により一方の面が封止さ
れて共通インク室を形成する共通インク室形成部材と、
前記共通インク室の他方の面を封止するとともに前記圧
力発生室と連通するノズル開口を有するノズルプレート
とを一体に形成して成る流路ユニットと、を備えること
を特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項３】圧電振動部材を有する第１の蓋部材と、
前記第１の蓋部材により一方の面が封止されて圧力発生
室を形成する圧力発生室形成部材と、前記圧力発生室の
他方の面を封止する第２の蓋部材とをセラミックス材料
により一体に焼成して成るアクチュエータユニットと、前記共通インク室から前記圧力発生室へインクを供給す
るインク供給穴が形成されるインク供給穴形成部材と、
前記インク供給穴形成部材により一方の面が封止されて
前記インク供給穴と連通する共通インク室を形成する共
通インク室形成部材と、セラミックス材料により形成さ
れ前記共通インク室の他方の面を封止するコンプライア
ンス薄肉部材と、セラミックス材料により前記コンプラ
イアンス薄肉部材と一体に焼成され前記コンプライアン
ス薄肉部材により一方の面が封止される中空部を有する
スペーサと、前記中空部の他方の面を封止するとともに
前記圧力発生室と連通するノズル開口を有するノズルプ
レートとを一体に形成して成る流路ユニットと、を備え
ることを特徴とするインクジェット式記録ヘッド。
【請求項４】前記スペーサに前記共通インク室から前
記圧力発生室へインクを供給するインク供給穴が形成さ
れていることを特徴とする請求項１または２のいずれか
に記載のインクジェット式記録ヘッド。
【請求項５】前記中空部は空気抜け部により外部と連
通していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一
項に記載のインクジェット式記録ヘッド。