JPH11133105A - パッケージハンドリング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被測定デバイスをテストヘッドに対して正確
に位置決めすることができ、また位置合わせのための調
整を不要にし、メンテナンス性を向上させる。 【解決手段】 被測定デバイス２を吸着する吸着孔を備
えた支承部材１２を自動復帰機構１４によって上下、左
右方向に移動自在に保持するとともに、支点Ｏを中心と
して微小角度傾動自在に保持する。測定部ユニット３を
前進させ、支承部材１２をテストヘッド１に押し付ける
とき、ガイドピン７とガイド穴１７とからなる位置決め
機構２０によって支承部材１２を位置決めする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、パッケージハンド
リング装置に関し、特に組立完了したＩＣ、ディスクリ
ートデバイス等の被測定デバイスを自動的にテストシス
テムのテストヘッドに供給し、そのテスト結果に基づい
て自動的に分類収納するハンドラに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から、被測定デバイスの特性検査に
当たっては、ハンドラの測定部ユニットによって被測定
デバイスをテスティング装置のテストヘッドに供給し、
そのリードをテストヘッドのコンタクトに接触させるよ
うにしている。リードがコンタクトに接触すると、テス
ティング装置は電流または電圧を印加し、そのときの電
流値または電圧値の変化を測定することにより被測定デ
バイスの電気的特性を検査する。検査が終了すると、ハ
ンドラは被測定デバイスをそのテスト結果に応じて複数
のカテゴリ、例えば良品、不良品、再検査などに分類
し、各カテゴリ毎に収納するようにしている。

【０００３】被測定デバイスのリードとコンタクトとの
接触方式としては、リードとテストヘッドのコンタクト
を直接接触されるダイレクトコンタクト方式を採用して
いる。その場合、特に高周波特性を有する被測定デバイ
スの特性測定においては、コンタクトの長さが長いとイ
ンダクタンスおよびストレーキャパシタンスの影響が大
きくなり高い測定精度が得られなくなることから、コン
タクトの長さはできる限り短いものを使用することが好
ましい。また、コンタクトと測定器本体間もケーブルで
接続すると、ケーブルによるインダクタンスおよびスト
レーキャパシタンスの影響によって測定誤差が生じるた
め、コンタクトを測定器本体の測定回路基板に直接設け
ているのが一般的である。

【０００４】ところで、被測定デバイスの特性検査に際
しては、デバイスの小型化に伴いリードピッチがますま
す狭くなってきていることから、被測定デバイスのリー
ドとテストヘッドのコンタクトとの確実な接触を得るた
めに被測定デバイスをテストヘッドに対して高精度に位
置決めして圧接することが重要である。そこで、従来
は、何回か繰り返し動作させてリードをテストヘッドに
押しつけ、そのときのコンタクトに対するリードの打痕
を目視により確認して被測定デバイスを支承する支承部
材の位置を修正したり、あるいはテストヘッド側にスト
ッパピンを設け、その上に被測定デバイスを設置してリ
ードをコンタクトに押し付ける方式を採っていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の位置決め方式においては、以下に述べるような
問題があった。すなわち、リードの打痕により位置ずれ
を確認して位置調整する方式は、何回か繰り返し動作を
行って打痕を得る必要があり、しかもテストヘッドと支
承部材を目視により位置決めして固定するため、位置決
めの精度が低いという問題があった。特に、被測定デバ
イスの小型化に伴いリードピッチが狭いものについては
一層、位置合わせが難しく、長時間を要するという問題
もあった。一方、ストッパピンを用いて位置決めする方
式は、ハンドラ側に設けている第２のストッパ上に被測
定デバイスを設置し、この被測定デバイスを払い出し機
構によってテストヘッド側のストッパピン上に払い出す
とき、第２のストッパがストッパピンより低いと、当然
被測定デバイスもストッパピンより低くなるため、被測
地デバイスをテストヘッドに圧接する際、ストッパピン
がデバイスを傷つけるという問題があった。

【０００６】本発明は上記した従来の問題を解決するた
めになされたもので、その目的とするところは、被測定
デバイスをテストヘッドに対して正確に位置決めするこ
とができ、また位置合わせのための調整を一切必要とせ
ず、メンテナンス性を向上させるようにしたパッケージ
ハンドリング装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に第１の発明は、テスティング装置のテストヘッドに対
向する部位に進退自在に設けられ被測定デバイスの案内
通路を形成する支承部材と、この支承部材を上下、左右
方向に移動自在に保持するとともに全方向に傾動自在に
支持し自動的に初期状態に復帰させる自動復帰機構と、
前記支承部材を前記テストヘッドに対して位置決めする
位置決め機構とを備えたことを特徴とする。

【０００８】また、第２の発明は、上記第１の発明にお
いて、略同一円周上に配置され支承部材を上下、左右方
向にＯリングを介して移動自在に保持する複数本の支持
ピンと、これらの支持ピンの中央に位置して前記支承部
材を全方向に傾動自在に支持する支点部材と、前記支承
部材を前方に付勢するばねで自動復帰機構を構成したこ
とを特徴とする。

【０００９】また、第３の発明は、上記第１または第２
の発明において、支承部材とテストヘッドにそれぞれ設
けられ検査時に支承部材が前進すると互いに嵌合するガ
イドピンとガイド穴とで位置決め機構を構成したことを
特徴とする。

【００１０】さらに、第４の発明は上記第２の発明にお
いて、支点部材がボールであることを特徴とする。

【００１１】第１の発明において、位置決め機構によっ
て位置決めするとき、支承部材がテストヘッドに対して
位置ずれしていると、自動復帰機構は支承部材を傾動さ
せて自動的に位置ずれを補正する。したがって、正確に
位置決めされ、位置合わせのための煩雑な調整作業が不
要となり、被測定デバイスのリードをコンタクトに確実
に接触させることができる。また、自動復帰機構は支承
部材が元のイニシャル位置に復帰すると元の状態に自動
的に復帰させるので、デバイスの入れ換えを確実に行う
ことができる。第２および第４の発明において、自動復
帰機構は、複数本の支持部材と、ボール等の支点部材と
で構成されているので、構造が簡単である。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施の
形態に基づいて詳細に説明する。図１は本発明をハンド
ラに適用した一実施の形態を示すイニシャル状態の横断
面図、図２は被測定デバイスの検査状態を示す横断面
図、図３は図１のIII −III 線断面図、図４は図３のＩ
Ｖ−ＩＶ線断面図、図５は検査時における要部の断面
図、図６は保持部材とカム機構の平面図、図７は測定部
ユニットの駆動機構部を示す断面図である。図１および
図２において、ハンドラは、テスティング装置のテスト
ヘッド１に対向して進退自在に設けられ、検査時に被測
定デバイス２をテストヘッド１に圧接する測定部ユニッ
ト３を備えている。

【００１３】前記テストヘッド１はソケットとも呼ばれ
るもので、垂直に配置された基板４と、この基板４の表
面に取付けられた測定回路基板５と、この測定回路基板
５の表面を覆う受板６と、一対のガイドピン７を備えて
いる。測定回路基板５の中央部は、前記受板６に設けた
開口８から外部に露呈し、この露呈部の表面に印刷され
た配線パターンによって前記被測定デバイス２のリード
２Ｂが接触するコンタクト９（図５）を形成している。
前記受板６は、被測定デバイス２の検査時に前記測定部
ユニット３の後述する支承部材１２を受け止めるための
もので、剛性の大きな金属板によって形成されている。
受板６の開口８は、表面側開口部が大径で、裏面側開口
部が小径の異径穴とされることにより段差面１０を有
し、前記支承部材１２が嵌合する嵌合孔を形成してい
る。前記一対のガイドピン７は、前記段差面１０に突設
され、受板６の前方に突出している。また、ガイドピン
７の先端部は、後述するガイド穴１７への嵌合を容易に
するために円錐状に形成されている。

【００１４】前記被測定デバイス２は、図５に示すよう
にＩＣを合成樹脂によってモールドした本体２Ａと、こ
の本体２Ａ内のＩＣにそれぞれ接続され本体２Ａの両側
に突出する複数本（例えば、１６本）のリード２Ｂとで
構成され、特性検査時に前記支承部材１２により前記リ
ード２Ｂがテストヘッド１のコンタクト９に押付けられ
る。

【００１５】前記測定部ユニット３は、平面視Ｌ字形の
ブラケット１３を備え、このブラケット１３の前面側に
前記支承部材１２が自動復帰機構１４を介して取付けら
れている。

【００１６】前記支承部材１２は、平面視形状が略凹形
で前面中央部に高さ方向全長にわたって延在する突条部
１２Ａが一体に突設されている。また、この突条部１２
Ａの表面中央には、図５に示すように高さ方向全長にわ
たって形成された溝１５を有し、さらにその両側にはサ
ファイア等からなり前記リード１２Ｂをコンタクト９に
押し付ける一対の電気絶縁物１６が固定され、これら一
対の絶縁物１６と前記溝１５および後述する保持部材６
０の保持部６０Ｂ（図１）とで被測定デバイス２の案内
通路１１を形成している。

【００１７】また、前記支承部材１２の前面両端寄りに
は、図１および図２に示すように前記テストヘッド１の
ガイドピン７が嵌合する一対のガイド穴１７が形成され
ており、これらによって支承部材１２を被測定デバイス
２の検査時においてテストヘッド１に対して位置決めす
る位置決め機構２０を構成している。

【００１８】さらに、前記支承部材１２には、案内通路
１１に供給される被測定デバイス２を吸着する吸着孔２
１（図５）が形成されている。この吸着孔２１は、一端
が前記溝１５に開口し、他端が支承部材１２の下面に開
口して図示しない真空ポンプにパイプを介して接続され
ている。そして、このような支承部材１２は、ブロック
２３の前面にスペーサ２４（図１、図２、図４）を介し
て固定されている。なお、２５は支承部材１２をスペー
サ２４に取付けるためのボルト、２６はスペーサ２４を
ブロック２３に取付けるためのボルトである。

【００１９】前記自動復帰機構１４は、前記支承部材１
２を僅かではあるが上下、左右方向に移動自在に保持す
るとともに前記ブロック２３の背面中央を支点Ｏとして
全方向に微小角度傾動自在に支持し自動的に初期状態に
復帰させるもので、前記ブロック２３を支持する３本の
支持ピン３０（図３、図４）と、支点Ｏにおいて前記ブ
ロック２３を全方向に傾動自在に支持する支点部材３１
（図１、図２）とを備えている。

【００２０】前記支持ピン３０は、前記ブロック２３の
軸線Ｌ（図１、図４）を中心とする同心円上に１２０°
の間隔をおいて配列され、前端部に前記ブロック２３が
軸線方向に移動自在にかつ左右、上下方向に移動自在に
取付けられ、後端部が取付部材３３に設けた取付孔３４
を貫通して一対のナット３５ａ，３５ｂにより固定され
ている。

【００２１】ここで、支持ピン３０は、前端部が中間部
より小径の異径ピンが用いられることにより中間部に段
差部３０ａを有している。支持ピン３０の前端部は、前
記ブロック２３に設けた挿通孔３６に２個のＯリング４
０を介して挿通され、前端面に座金３８がボルト３７に
よって固定されることによりブロック２３の前方への抜
けを阻止されている。このＯリング４０が弾性変形する
ことによってその変形量分ブロック２３の左右および上
下方向の移動を可能にしている。支持ピン３０の中間部
には、前記ブロック２３を前記座金３８に圧接する圧縮
コイルばね４１が弾装されている。この圧縮コイルばね
４１の前端は、ばね受部材４３を介して前記ブロック２
３の背面に圧接され、後端は前記ナット３５ａに圧接さ
れている。この傾動する傾斜角は、先に述べたようにＯ
リング４０の弾性変形に依存しているから極めて僅かな
角度である。支持ピン３０の段差部３０ａは、図３に示
すように前記ばね受部材４３より距離ｄだけ後方に位置
し、これによって前記支点Ｏを中心とする前記ブロック
２３の傾動を可能にしている。

【００２２】図１および図２において、前記ブロック２
３を傾動自在に支持する前記支点部材３１は、前記取付
部材３３の前面中央に固定したボール受け４６の凹部４
６ａ内に一部周面を外部に突出させて収納されており、
その突出部の頂部に前記ブロック２３の背面中央が接触
し、この接触部が前記ブロック２３の傾動支点Ｏを形成
している。なお、支点部材３１としてはボールが用いら
れる。

【００２３】前記取付部材３３は、ブロック４９に複数
本のボルト５０によって固定され、このブロック４９は
前記ブラケット１３の前面に複数個のボルト４７によっ
て固定されている。また、取付部材３３とブロック４９
は、ケース５１内に複数個のねじ５２によって固定され
ている。ケース５１の前端部は、前記ボール受け４６よ
り前方に延在し、前記ブロック２３の後端部が嵌挿され
ている。このブロック２３の外面とケース５１の内面と
の間には、適宜な隙間が設定され、これによりブロック
２３の左右、上下方向の移動および傾動を可能にしてい
る。

【００２４】図６において、前記支承部材１２の一側に
は、この支承部材１２とともに前記案内通路１１を形成
する保持部材６０が配設されている。この保持部材６０
は、測定部ユニット３の動作時にカム機構６４によって
回動されることにより前記案内通路１１を開閉するもの
で、平面視形状が略Ｌ字形に形成されることにより幅広
の基部６０Ａと、前記支承部材１２とともに案内通路１
１を形成する保持部６０Ｂを一体に有している。前記基
部６０Ａは、取付部材６１に設けた垂直な軸６２によっ
て回動自在に軸支されている。一方、保持部６０Ｂは、
測定部ユニット３のイニシャル状態において、図１、図
４および図６に示すように支承部材１２の前面と所定の
間隔を保って略平行に対向することにより先端部が前記
案内通路１１を覆い、またこの先端部には前記被測定デ
バイス２の前面を保持するレール部材６８が固定されて
いる。このような保持部材６０は、図示しないばねによ
って閉方向（図６において矢印Ａ方向）の回動習性が付
与されており、これによって前記カム機構６４を構成す
るカムフォロア６６をカム６５のカム面６７に圧接して
いる。前記取付部材６１は、前記カム６４の側方に位置
するように装置固定部側に取付けられている。

【００２５】前記カム６５は、測定部ユニット３の前後
方向に長く延在する板体からなり、前端部が前記支承部
材１２の後端付近に位置し、後端部が前記ケース５１に
複数個のねじによって取付けられている。前記カム面６
７は、カム６５の前端面と外側面に設けられた第１、第
２カム面６７ａ，６７ｂとで構成されている。第１カム
面６７ａは、後方に傾斜している。前記カムフォロア６
６は、保持部材６０の基部６０Ａに取付けられ、測定部
ユニット３のイニシャル状態において、前記第１カム面
６７ａに圧接され、検査時に測定部ユニット３が前進す
ると、第１カム面６７ａから第２カム面６７ｂに移行す
る。そのため、保持部材６０はばねに抗して図２に示す
ように反時計方向に回動させられ、保持部６０Ｂを支承
部材１２の側方に退避させる。

【００２６】なお、検査時において、レール部材６８が
保持部６０Ｂとともに支承部材１２の側方に退避して
も、案内通路１１内の被測定デバイス２は前記吸着孔２
１（図５）によって吸着されているので、案内通路１１
から脱落することはない。また、レール部材６８から前
記凹部１５の底面までの距離は、被測定デバイス２の本
体２Ａの厚さより若干大きく設定されている。

【００２７】図７において、前記保持部材６０には、さ
らに第１のストッパ７０が設けられている。この第１の
ストッパ７０は、前記案内通路１１に落下する被測定デ
バイス２を係止し後述する第２のストッパ８１に受け渡
すもので、板金７１の先端部に取付けられており、被測
定デバイス２の入れ換え時に上下動および進退されるよ
うに構成されている。板金７１は基部が回動レバー７２
に取付けられており、先端部側が案内通路１１に対して
接近離間する方向に弾性変形自在とされる。回動レバー
７２は、図６に示すように前記軸６２より前方でかつ保
持部材６０の下方に配置され、上下動自在なブロック７
４にピン７６を介して連結されることにより保持部材６
０と同方向に回動自在とされる。ピン７６は、前記軸６
２の下方に軸線を一致させて位置している。

【００２８】前記ブロック７４は、支持部材７７の上端
部に取付けられており、ロータリーシリンダ７８の回転
が図示を省略した歯車等の伝達機構を介して伝達される
ことにより上下動するように構成されている。なお、図
７においては、第１のストッパ７０が上限位置に停止し
ている状態を示す。

【００２９】前記測定部ユニット３の内部空間には、前
記第１のストッパ７０に対応して押出ピン８０と、前記
第２のストッパ８１が配設されている。押出ピン８０
は、第１のストッパ７０が下限位置に停止した状態にお
いて、前記板金７１の先端部に設けた第１のストッパ７
０の下方に延在する被押圧部７１ａと対向する位置に配
置されて通常は案内通路１１の後方に待機している。そ
して、この押出ピン８０はエアシリンダ８２によって前
進させられると、前記被押圧部７１ａを押圧して板金７
１を前方へ弾性変形させることにより前記第１のストッ
パ７０を案内通路１１から一時退避させる。

【００３０】前記第２のストッパ８１は、被測定デバイ
ス２をそのリード２Ｂがコンタクト９に接触する高さ位
置に係止して前記吸着孔２１に吸着させるためのもの
で、下限位置における第１のストッパ７０より若干低い
位置に配置され、エアシリンダ８３の駆動によって進退
する。

【００３１】さらに、図７において、８７は前記測定部
ユニット３を動作させるモータで、このモータ８７を制
御部からの駆動信号によって駆動すると、その回転が一
対のプーリ８８間に張設されたベルト８９を介してボー
ルねじ９０に伝達され、これによって測定部ユニット３
が進退するように構成されている。前記モータ８７は、
装置固定部側に取付けられている。なお、９１は前記支
承部材１２をイニシャル位置に係止するストッパであ
る。

【００３２】次に、上記した構成からなる測定部ユニッ
トの動作シーケンスを図８に基づいて説明する。図８に
おいて、９３は案内通路１１の上方に設けられた垂直な
上側通路、９４は案内通路１１の下側に設けられた垂直
な下側通路、９５は上側通路９３に対して進退自在に設
けられた第３のストッパである。

【００３３】図８（ａ）は、被測定デバイス２ａの特性
検査が終了し、支承部材１２が後退移動してイニシャル
位置に復帰した状態を示す。この状態において、案内通
路１１は上側通路９３、下側通路９４と正確に一致して
連通している。検査が終了してイニシャル位置に復帰す
ると、保持部材６０も復帰して案内通路１１を塞ぐ。ま
た、吸着孔２１による被測定デバイス２ａの吸着を解除
する。このとき、第１のストッパ７０は案内通路１１の
上部に位置し、第３のストッパ９５は上側通路９３内に
突出して未検査の被測定デバイス２ｂを係止し、第２の
ストッパ８１は案内通路１１の後方に退避する。そのた
め、検査が終了した被測定デバイス２ａは下側通路９４
に落下する。

【００３４】第２のストッパ８１が退避すると、第１の
ストッパ７０は吸着孔２１より下方に移動する（ｂ）。
続いて、第３のストッパ９５が後退して上側通路９３内
に待機している次に特性検査すべき被測定デバイス２ｂ
の係止状態を解除する。そのため、この被測定デバイス
２ｂは第１のストッパ７０上に落下する。その後、第３
のストッパ９５は直ちに復帰して再び上側通路９３内に
突出する。続いて第２のストッパ８１が復帰して再び案
内通路１１内に突出し、第１のストッパ７０により係止
されている被測定デバイス２ｂの下側に入り込む
（ｃ）。この後、第１のストッパ７０は案内通路１１か
ら退避して被測定デバイス２ｂを第２のストッパ８１に
受け渡す。その後、吸着孔２１を排気して第２のストッ
パ８１上の被測定デバイス２ｂを吸着する（ｄ）。

【００３５】ここで、第１のストッパ７０を設けている
理由は、デバイスの入れ換え動作を高速で行うためであ
る。すなわち、第２のストッパ８１上に被測定デバイス
２を直接落下させる場合は、第２のストッパ８１が案内
通路１１内に復帰した後に第３のストッパ９５による被
測定デバイスの係止を解除して落下させる必要があるた
め、それだけ入れ換え時間が長くなる。これに対して、
第１のストッパ７０を設け、第２のストッパ８１が後退
している間に第１のストッパ７０を測定通路１１内の所
定位置に停止させておくと、第２のストッパ８１が測定
通路１１内に復帰するまでの間にデバイスを第１のスト
ッパ７０上に落下させることができる。したがって、第
２のストッパ８１の復帰に要する時間だけデバイスの入
れ換え時間を短縮することができる。

【００３６】また、デバイスを第２のストッパ８１上に
直接落下させると、その衝撃で跳ね上がり、ストッパ上
に静止するまでに時間がかかるため、テストヘッド１へ
のデバイスの供給動作が遅れるが、第１のストッパ７０
でデバイスを受け止めると、そのときの衝撃で跳ね上が
っても第２のストッパ８１が復帰するまでの間には静止
するため、第２のストッパ８１が復帰してデバイスを受
け取った後、直ちにテストヘッド１へのデバイスの供給
動作を開始することができる。したがって、この点から
も検査の高速化を実現することができる。

【００３７】第１のストッパ７０と第２のストッパ８１
の高さ方向の位置関係としては、第２のストッパ８１を
デバイスがテストヘッド１のコンタクト９と接触する高
さ位置（コンタクトポジション）とし、第１のストッパ
７０をこのコンタクトポジションより若干高い位置とす
る。

【００３８】被測定デバイス２ｂを吸着孔２１によって
吸着すると、測定部ユニット３は前進し、これに連動し
て保持部材６０が回動して保持部６０Ｂを支承部材１２
の側方に退避させる（ｅ）。測定部ユニット３は保持部
６０Ｂが支承部材１２の側方に完全に退避した後も前進
して検査位置まで移動すると支承部材１２をテストヘッ
ド１の受板６に押し付けて停止する。このとき、第２の
ストッパ８１は後退し、第１のストッパ７０は上方に移
動する。そして、被測定デバイス２ｂは測定回路基板１
０のコンタクト９に押付けられて抵抗等の特性検査が行
われる（ｆ）。被測定デバイス２ｂの特性検査が終了す
ると、測定部ユニット３は後退して再びイニシャル位置
に戻り、これに連動して保持部材６０が回動復帰して案
内通路１１を覆う（ｇ）。以下、同様に図８（ａ）〜
（ｇ）の動作を繰り返すことにより、被測定デバイス２
ａ，２ｂ，２ｃ・・・の特性検査を連続して自動的に行
うことができる。

【００３９】このような構造からなるハンドラにおいて
は、測定部ユニット３を構成する支承部材１２を上下、
左右方向に移動自在にかつ支点Ｏを中心として全方向に
傾動自在に保持する自動復帰機構１４と、支承部材１２
をテストヘッド１に対して位置決めする位置決め機構２
０を備えているので、支承部材１２をテストヘッド１に
対して正確に位置決めすることができる。すなわち、測
定部ユニット３を前進させて支承部材１２をテストヘッ
ド１に圧接する際、ガイドピン７がガイド穴１７に嵌合
して支承部材１２をテストヘッド１に対して位置決めす
る。このとき、支承部材１２が測定部ユニット３に固定
され、テストヘッド１に対して位置ずれしていると、位
置ずれしたままリード２Ｂがコンタクト９に圧接されて
正確な測定が行われなかったり、ガイドピン７や支承部
材１２に無理な力が加わったりするため、再調整する必
要が生じる。これに対して、本発明のように自動復帰機
構１４によって支承部材１２を上下、左右方向に移動自
在にかつ支点Ｏを中心として傾動自在に保持すると、位
置ずれに応じて支承部材１２がずれ方向と反対方向に変
位して位置ずれを自動的に補正することができる。その
ため、ガイドピン７はガイド穴１７に無理なく嵌合し、
リード２Ｂをコンタクト９に対して正確に圧接すること
ができる。また、組立時にガイドピン７にのみ高い位置
精度が要求されるだけであるため、組立調整作業も容易
である。さらに、自動復帰機構１４は、複数本の支持ピ
ン３０と、ボール等の支点部材３１と、ばね４１とで構
成されるため、構造が簡単で容易に製作することができ
る。

【００４０】また、支承部材１２は、特性検査の終了に
伴い測定部ユニット３が検査位置から後退してイニシャ
ル位置に復帰すると、ばね４１の働きにより初期状態に
復帰するため、案内通路１１を上側通路９３と下側通路
９４に正確に一致させることができる。したがって、上
側通路９３と案内通路１１の間または案内通路１１と下
側通路９４との間でデバイスジャムが発生せず、連続し
て特性検査を行うことができる。

【００４１】なお、上記した実施の形態においては、３
本の支持ピン３０によってブロック２３を支持した例を
示したが、これに限らず２本または４本であってもよ
い。また、上記した実施の形態においては、支承部材１
２に位置決め用のガイド穴１７を形成し、受板６にガイ
ドピン７を突設した例を示したが、この逆であってもよ
い。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るパッケ
ージハンドリング装置によれば、支承部材を自動復帰機
構によって支持し、位置決め機構によってテストヘッド
に位置決めするように構成したので、構造が簡単で、テ
ストヘッドと支承部材との位置合わせが不要となり、装
置のメンテナンス性を向上させることができる。また、
自動復帰機構および位置決め機構も構造が簡単で、安価
に製作することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明をハンドラに適用した一実施の形態を
示すイニシャル状態の横断面図である。

【図２】 被測定デバイスの検査状態を示す横断面図で
ある。

【図３】 図１のIII −III 線断面図である。

【図４】 図３のＩＶ−ＩＶ線断面図である。

【図５】 検査時における要部の断面図である。

【図６】 保持部材とカム機構の平面図である。

【図７】 測定部ユニットの駆動機構部を示す断面図で
ある。

【図８】 測定部ユニットの動作シーケンスを示す図で
ある。

【符号の説明】

１…テストヘッド、２…被測定デバイス、２Ａ…本体、
２Ｂ…リード、３…測定部ユニット、５…測定回路基
板、７…ガイドピン、１１…案内通路、１２…支承部
材、１４…自動復帰機構、１７…ガイド穴、２０…位置
決め機構、２１…吸着孔、３０…支持ピン、３１…支点
部材、６０…保持部材。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 テスティング装置のテストヘッドに対向
   する部位に進退自在に設けられ被測定デバイスの案内通
   路を形成する支承部材と、 この支承部材を上下、左右方向に移動自在に保持すると
   ともに全方向に傾動自在に支持し自動的に初期状態に復
   帰させる自動復帰機構と、 前記支承部材を前記テストヘッドに対して位置決めする
   位置決め機構とを備えたことを特徴とするパッケージハ
   ンドリング装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のパッケージハンドリング
   装置において、 略同一円周上に配置され支承部材を上下、左右方向に移
   動自在にＯリングを介して保持する複数本の支持ピン
   と、これらの支持ピンの中央に位置して前記支承部材を
   全方向に傾動自在に支持する支点部材と、前記支承部材
   を前方に付勢するばねで自動復帰機構を構成したことを
   特徴とするパッケージハンドリング装置。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載のパッケージハン
   ドリング装置において、 支承部材とテストヘッドにそれぞれ設けられ検査時に支
   承部材が前進すると互いに嵌合するガイドピンとガイド
   穴とで位置決め機構を構成したことを特徴とするパッケ
   ージハンドリング装置。
4. 【請求項４】 請求項２記載のパッケージハンドリング
   装置において、 支点部材がボールであることを特徴とするパッケージハ
   ンドリング装置。