JPH11130845A - 開環メタセシス（共）重合体の水素添加物及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 レジスト材として用いられる新規な開環メタ
セシス（共）重合体の水素添加物を提供する。 【解決手段】 少なくとも一般式（１） で表される構造単位［Ａ］と一般式（２） で表される構造単位［Ｂ］から構成され、その構成モル
比［Ａ］／［Ｂ］が５／９５〜９５／５であり、かつ重
量平均分子量Ｍｗと数平均分子量Ｍｎとの比（Ｍｗ／Ｍ
ｎ）が１．０〜２．０である開環メタセシス（共）重合
体の水素添加物。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、新規な開環メタセ
シス（共）重合体水素添加物に関し、詳しくは、耐熱
性、耐熱分解性、光透過性等に優れた紫外線や遠紫外線
（エキシマーレーザー等を含む）を用いた半導体微細加
工用フォトレジストに適した新規な開環メタセシス
（共）重合体の水素添加物を提供し、かつそのような重
合体の水素添加物の製造方法を提供するものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体集積回路は集積化が進んで
大規模集積回路（ＬＳＩ）や超大規模集積回路（ＶＬＳ
Ｉ）が実用化されており、また、これとともに、 集積
回路の最少パターンはサブミクロン領域に及び、今後更
に微細化する傾向にある。微細パターンの形成には、薄
膜を形成した被処理基板上をレジストで被覆し、選択露
光を行って所望パターンの潜像を形成した後に、現像し
てレジストパターンを作り、これをマスクとしてドライ
エッチングを行い、その後にレジストを除去することに
より所望のパターンを得るリソグラフィ技術の使用が必
須である。

【０００３】このリソグラフィ技術において使用される
露光光源としてｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３
６５ｎｍ）の紫外線光が使用されているが、パターンの
微細化に伴い、より波長の短い遠紫外線光、真空紫外線
光、電子線（ＥＢ）、Ｘ線などが光源として使用される
ようになってきている。特に最近では、エキシマレーザ
ー（波長２４８ｎｍのＫｒＦレーザー、波長１９３ｎｍ
のＡｒＦレーザー）が露光光源として注目されており、
微細パターンの形成に有効であると期待されている。

【０００４】より短波長である真空紫外領域の露光光を
用いてサブミクロンパターンを形成するレジスト材料に
用いられる重合体又は共重合体としては、例えば、エス
テル部にアダマンタン骨格及び酸により脱離する保護基
を有するアクリル酸エステル又はα置換アクリル酸エス
テルの重合体又は共重合体（特開平４−３９６６５号公
報参照）、エステル部にノルボルナン骨格及び酸により
脱離する保護基を有するアクリル酸エステル又はα置換
アクリル酸エステルの重合体又は共重合体（特開平５−
２５７２８１号公報参照）、シクロヘキシルマレイミド
の重合体又は共重合体（特開平５−２５７２８５号公報
参照）、セルロース骨格を主鎖に含み該主鎖が酸により
開裂を起こす高分子化合物（特開平６−３４２２１２号
公報参照）、ポリビニルアルコールまたはポリビニルア
ルコールの誘導体（特開平７−３３３８５０号公報参
照）等数多くの重合体及び共重合体が提案されている。
しかしながら、耐ドライエッチング性、遠紫外線に対す
る透明性、レジスト溶剤に対する溶解性、及び剥離剤に
対する溶解性等レジスト材として用いられるのに必要な
諸性質全てを満足し、しかも合成容易な重合体及び共重
合体は未だなく、更なる開発が求められている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、レジスト材
として用いられるのに必要な上記の諸性能全てを満足
し、しかも狭い分子量分布を有する（共）重合体物を提
供し、かつそのような重合体の製造方法を提供すること
を目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記問題点
を解決するため種々検討していたところ、環状オレフィ
ン系単量体の開環メタセシス重合体及び開環メタセシス
共重合体の水素添加物が優れた光学特性、電気特性、高
剛性、耐熱性及び耐候性を有する樹脂として注目を集
め、各種の開環メタセシス重合体及び該重合体水素添加
物の製造方法が提案されていることに着目した（例え
ば、特開平１−１３２６２５、特開平１−２４０５１
７、特開平５−１５５９８８、及び特開平７−１９６７
７９等）。そして、開環メタセシス（共）重合体の水素
添加物についてレジスト材としての可能性を鋭意検討し
たところ、ある新規な開環メタセシス（共）重合体の水
素添加物がこれらレジスト材としての諸性能を満足する
ことを見出し、本発明を完成するに至った。即ち、本発
明は、少なくとも下記一般式（１）

【０００７】

【化５】 （式中、Ｒ^１〜Ｒ^４のうち少なくとも一つが、炭素数２
〜２０のアルコキシカルボニル、炭素数２〜２０のアル
コキシカルボニルオキシ、炭素数３〜２０のアルコキシ
カルボニルアルキル、炭素数３〜２０のアルキルカルボ
キシカルボニル、または炭素数３〜２０のアルコキシカ
ルボニルオキシアルキルであり、その他は水素、炭素数
１〜２０のアルキル、ハロゲン、ハロゲン化アルキル、
カルボン酸、ヒドロキシ、炭素数２〜２０のカルボキシ
アルキル、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキルまたは
ニトリルから選ばれ、ｍは０または１〜３の整数を表
す。）で表される構造単位［Ａ］と下記一般式（２）

【０００８】

【化６】 （式中、Ｒ^５〜Ｒ^８のうち少なくとも一つが、カルボン
酸、ヒドロキシ、炭素数２〜２０のカルボキシアルキル
または炭素数１〜２０のヒドロキシアルキルであり、そ
の他は水素、炭素数１〜２０のアルキル、ハロゲン、ハ
ロゲン化アルキル、またはニトリルから選ばれ、ｎは０
または１〜３の整数を表す。）で表される構造単位
［Ｂ］から構成され、その構成モル比［Ａ］／［Ｂ］が
５／９５〜９５／５であり、かつ重量平均分子量Ｍｗと
数平均分子量Ｍｎとの比（Ｍｗ／Ｍｎ）が１．０〜２．
０であることを特徴とする開環メタセシス（共）重合体
の水素添加物である。また、本発明は、一般式（３）

【０００９】

【化７】 （式中、Ｒ^１〜Ｒ^４のうち少なくとも一つが、炭素数２
〜２０のアルコキシカルボニル、炭素数２〜２０のアル
コキシカルボニルオキシ、炭素数３〜２０のアルコキシ
カルボニルアルキル、炭素数３〜２０のアルキルカルボ
キシルカルボニル、または炭素数３〜２０のアルコキシ
カルボニルオキシアルキルであり、その他は水素または
炭素数１〜２０のアルキル、ハロゲン、ハロゲン化アル
キル、炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ、炭
素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ、炭素数６〜
２０のアリールスルホニルオキシまたはニトリルから選
ばれ、ｘは０または１〜３の整数を表す。）で表される
少なくとも１種類の環状オレフィン系単量体、または一
般式（３）と一般式（４）

【００１０】

【化８】 （式中、Ｒ^５〜Ｒ^８のうち少なくとも一つが、カルボン
酸、ヒドロキシ、炭素数２〜２０のカルボキシアルキ
ル、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル、炭素数１〜
２０のアルコキシ、または炭素数２〜２０のアルコキシ
アルキル、炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキ
シ、炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ、炭素
数６〜２０のアリールスルホニルオキシ、またはＲ^５〜
Ｒ^８のうちＲ^５とＲ^７から形成されるカルボン酸無水物
であり、その他は水素または炭素数１〜２０のアルキ
ル、ハロゲン、ハロゲン化アルキル、またはニトリルか
ら選ばれ、ｙは０または〜３の整数を表す。）で表され
る少なくとも２種類の環状オレフィン系単量体をリビン
グ開環メタセシス触媒で重合し、水素添加触媒のもとに
水素添加した後に、官能基を部分的に加水分解すること
を特徴とする、少なくとも一般式（１）で表される構造
単位［Ａ］と一般式（２）で表される構造単位［Ｂ］か
ら構成され、その構成モル比［Ａ］／［Ｂ］が５／９５
〜９５／５であり、かつ重量平均分子量Ｍｗと数平均分
子量Ｍｎとの比（Ｍｗ／Ｍｎ）が１．０〜２．０である
開環メタセシス（共）重合体の水素添加物の製造方法で
ある。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明においてリビング開環メタ
セシス触媒で重合する一般式（３）または一般式（４）
で表される環状オレフィン系単量体としては、ｘまたは
ｙが０であるビシクロヘプトエンの誘導体、ｘまたはｙ
が１であるテトラシクロドデセンの誘導体、ｘまたはｙ
が２であるヘキサシクロヘプタデセンの誘導体、ｘまた
はｙが３であるオクタシクロドコセンの誘導体等が挙げ
られる。

【００１２】一般式（３）において、Ｒ^１〜Ｒ^４のうち
少なくとも一つが、炭素数２から２０であるメトキシカ
ルボニル、エトキシカルボニル、ｎ−プロポキシカルボ
ニル、イソプロポキシカルボニル、ｎ−ブトキシカルボ
ニル、ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル、シクロヘキシル
オキシカルボニル、テトラヒドロピラン−２−イルオキ
シカルボニル、テトラヒドロフラン−２−イルオキシカ
ルボニル、１−エトキシエトキシカルボニル、または１
−ブトキシエトキシカルボニル等のアルコキシカルボニ
ル、炭素数２から２０であるメトキシカルボニルオキ
シ、エトキシカルボニルオキシ、ｎ−プロポキシカルボ
ニルオキシ、イソプロポキシカルボニルオキシ、ｎ−ブ
トキシカルボニルオキシ、ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニ
ルオキシ、シクロヘキシルオキシカルボニルオキシ、テ
トラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルオキシ、
テトラヒドロフラン−２−イルオキシカルボニルオキ
シ、１−エトキシエトキシカルボニルオキシ、または１
−ブトキシエトキシカルボニルオキシ等のアルコキシカ
ルボニルオキシ、炭素数３〜２０であるメトキシカルボ
ニルメチル、エトキシカルボニルメチル、イソプロポキ
シカルボニルメチル、tert−ブトキシカルボニルメチ
ル、tert−ブトキシカルボニルエチル、tert−ブトキシ
カルボニルメンチル、シクロヘキシルオキシカルボニル
メチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニ
ルメチル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボ
ニルメンチル、テトラヒドロフラン−２−イルオキシカ
ルボニルメチル、１−エトキシエトキシカルボニルメチ
ル、または１−ブトキシエトキシカルボニルメチル等の
アルコキシカルボニルアルキル、炭素数３〜２０である
メチルカルボキシルカルボニル、エチルカルボキシルカ
ルボニル、イソプロピルカルボキシルカルボニル、tert
−ブチルカルボキシルカルボニル、またはシクロヘキシ
ルカルボキシルカルボニル等のアルキルカルボキシルカ
ルボニル、または炭素数３〜２０であるメトキシカルボ
ニルオキシメチル、エトキシカルボニルオキシメチル、
イソプロポキシカルボニルオキシメチル、tert−ブトキ
シカルボニルオキシメチル、tert−ブトキシカルボニル
オキシエチル、tert−ブトキシカルボニルオキシメンチ
ル、シクロヘキシルオキシカルボニルオキシメチル、テ
トラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルオキシメ
チル、テトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニル
オキシメンチル、テトラヒドロフラン−２−イルオキシ
カルボニルオキシメチル、１−エトキシエトキシカルボ
ニルオキシメチル、または１−ブトキシエトキシカルボ
ニルオキシメチル等のアルコキシカルボニルオキシアル
キルが具体例として挙げられる。

【００１３】これらのうち、２級または３級のアルコキ
シを有するアルコキシカルボニル、アルコキシカルボニ
ルオキシ、アルコキシカルボニルアルキル、またはアル
コキシカルボニルオキシアルキルが好ましく用いられ、
特に、tert−ブトキシカルボニル、tert−ブトキシカル
ボニルアルキル、tert−ブトキシカルボニルオキシ、te
rt−ブチルカルボキシルカルボニル、tert−ブトキシカ
ルボニルオキシアルキル、テトラヒドロピラン−２−イ
ルオキシカルボニル、テトラヒドロピラン−２−イルオ
キシカルボニルアルキル、テトラヒドロピラン−２−イ
ルオキシカルボニルオキシ、テトラヒドロピラン−２−
イルオキシカルボニルオキシアルキルが好ましく用いら
れる。

【００１４】その他は、水素、炭素数１〜２０であるメ
チル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、ｔ−
ブチル、シクロヘキシル、またはメンチル等のアルキ
ル、塩素、臭素、沃素またはフッ素等のハロゲン、フル
オロメチル、クロロメチル、ブロモメチル、ジフルオロ
メチル、ジクロロメチル、ジブロモメチル、トリフルオ
ロメチル、トリクロロメチル、またはトリブロモメチル
等の炭素数１〜１２のハロゲン化アルキル基、炭素数２
〜２０のアセトキシ等のアルキルカルボニルオキシ、炭
素数６〜２０のナフトイルオキシ等のアリールカルボニ
ルオキシ、炭素数１〜２０のメシル等のアルキルスルホ
ン、炭素数６〜２０のトシル等のアリールスルホンまた
はニトリルが具体例として挙げられる。

【００１５】一般式（４）において、Ｒ^５〜Ｒ^８のうち
少なくとも一つが、カルボン酸、ヒドロキシ、炭素数２
〜２０のカルボキシメチル、カルボキシエチル、カルボ
キシプロピル、カルボキシブチル、カルボキシイソブチ
ル、またはカルボキシシクロヘキシル等のカルボキシア
ルキル、炭素数１〜２０のヒドロキシメチル、ヒドロキ
シエチル、ヒドロキシプロピル、ヒドロキシブチル、ヒ
ドロキシヘキシル、メントール、またはグルコース等の
糖類等のヒドロキシアルキル、炭素数１〜１２のメトキ
シ、エトキシ、イソプロポキシ、ブトキシ、ｔｅｒｔ−
ブトキシ、メントキシ等のアルコキシ、または炭素数２
〜２０のメトキシメチル、メトキシエチル、ｔｅｒｔ−
ブトキシメチル、ｔｅｒｔ−ブトキシエチル、メトキシ
メントール、またはメチルグルコース等のアルコキシ糖
類等のアルコキシアルキル、炭素数２〜２０のアセトキ
シ等のアルキルカルボニルオキシ、炭素数６〜２０のナ
フトイルオキシ等のアリールカルボニルオキシ、炭素数
１〜２０のメシルオキシ等のアルキルスルホニルオキ
シ、炭素数６〜２０のトシルオキシ等のアリールスルホ
ニルオキシ、またはＲ^５〜Ｒ^８のうちＲ^５とＲ^７から形
成されるカルボン酸無水物が具体例として挙げられる。
これらのうち、アセトキシ、ナフトイルオキシ、メシル
オキシ、トシルオキシ、またはカルボン酸無水物が好ま
しく用いられる。

【００１６】その他は、水素、炭素数１〜１２であるメ
チル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、ｔ−
ブチル、シクロヘキシル、メンチル等のアルキル、塩
素、臭素、沃素またはフッ素等のハロゲン、フルオロメ
チル、クロロメチル、ブロモメチル、ジフルオロメチ
ル、ジクロロメチル、ジブロモメチル、トリフルオロメ
チル、トリクロロメチル、トリブロモメチル等の炭素数
１〜１２のハロゲン化アルキル基、またはニトリルが具
体例として挙げられる。

【００１７】本発明における一般式（３）の具体例とし
ては、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロ
ピラン−２−イル）オキシカルボニルビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカ
ルボニルオキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカル
ボニルオキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−５−メチルビ
シクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ
−ブチルカルボキシルカルボニルビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボ
ニルオキシ−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト
−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２−イル）オ
キシカルボニル−５−メチルビシクロ［２．２．１］ヘ
プト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２−イ
ル）オキシカルボニルオキシ−５−メチルビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジｔｅｒｔ
−ブトキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−
２−エン、５，６−ジ（テトラヒドロピラン−２−イ
ル）オキシカルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−
２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−メ
チルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔ
ｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−６−メチルビシク
ロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒド
ロピラン−２−イル）オキシカルボニル−６−メチルビ
シクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラ
ヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニルオキシ−６
−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５
−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−６−シアノビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニルオキシ−６−シアノビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２
−イル）オキシカルボニル−６−シアノビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン
−２−イル）オキシカルボニルオキシ−６−シアノビシ
クロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−
ブトキシカルボニル−６−メトキシカルボニルビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニルオキシ−６−メトキシカルボニルビシク
ロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒド
ロピラン−２−イル）オキシカルボニル−６−メトキシ
カルボニルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニ
ルオキシ−６−メトキシカルボニルビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボ
ニル−６−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチルビシク
ロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニルオキシ−６−ｔｅｒｔ−ブトキシカル
ボニルメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカル
ボニル−６−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチルビシ
クロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒ
ドロピラン−２−イル）オキシカルボニルオキシ−６−
ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチルビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカ
ルボニル−６−トリフルオロメチルビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボ
ニルオキシ−６−トリフルオロメチルビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン
−２−イル）オキシカルボニル−６−トリフルオロメチ
ルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テ
トラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニルオキシ
−６−トリフルオロメチルビシクロ［２．２．１］ヘプ
ト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２−イル）
オキシカルボニルメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト
−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２−イル）オ
キシカルボニルオキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘ
プト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメ
チルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔ
ｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシメチルビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニルオキシシクロヘキリルビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−tert−ブトキシカルボ
ニルシクロヘキリルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２
−エン、５−tert−ブトキシカルボニル−６−アセトキ
シビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−tert
−ブトキシカルボニルオキシ−６−アセトキシビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロ
ピラン−２−イル）オキシカルボニル−６−アセトキシ
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テト
ラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニルオキシ−
６−アセトキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−tert−ブトキシカルボニル−６−ナフトイルオ
キシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−te
rt−ブトキシカルボニルオキシ−６−ナフトイルオキシ
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−（テト
ラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニル−６−ナ
フトイルオキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカル
ボニルオキシ−５−ナフトイルオキシビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−tert−ブトキシカルボ
ニル−６−メシルオキシビシクロ［２．２．１］ヘプト
−２−エン、５−tert−ブトキシカルボニルオキシ−６
−メシルオキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカル
ボニル−６−メシルオキシビシクロ［２．２．１］ヘプ
ト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２−イル）
オキシカルボニルオキシ−６−メシルオキシビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−tert−ブトキシ
カルボニル−６−トシルオキシビシクロ［２．２．１］
ヘプト−２−エン、５−tert−ブトキシカルボニルオキ
シ−６−トシルオキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−
２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキ
シカルボニル−６−トシルオキシビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−（テトラヒドロピラン−２
−イル）オキシカルボニルオキシ−６−トシルオキシビ
シクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン等のビシクロヘ
プトエン類、

【００１８】または、８−tert−ブトキシカルボニルテ
トラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデ
セン、８−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカ
ルボニルテトラシクロ［４．４．０．１^２，５．１
^７，１０］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカ
ルボニルオキシテトラシクロ［４．４．０．１^２，５．
１ ^７，１０］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラ
ン−２−イル）オキシカルボニルオキシテトラシクロ
［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセ
ン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−８−メチルテ
トラシクロ［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３
−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ
−８−メチルテトラシクロ［４．４．０．１^２，５．１
^７，１０］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブチルカル
ボキシルカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１
^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン、８−（テトラヒ
ドロピラン−２−イル）オキシカルボニル−８−メチル
テトラシクロ［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−
３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２−イル）
オキシカルボニルオキシ−８−メチルテトラシクロ
［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセ
ン、８，９−ジｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシ
クロ［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデ
セン、８，９−ジ（テトラヒドロピラン−２−イル）オ
キシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１^２，５．
１ ^７，１０］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシ
カルボニル−９−メチルテトラシクロ［４．４．０．１
^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−
ブトキシカルボニルオキシ−９−メチルテトラシクロ
［４．４．０．１^{２， ５}．１^７，１０］−３−ドデセ
ン、８−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカル
ボニル−９−メチルテトラシクロ［４．４．０．１
^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン、８−（テトラヒ
ドロピラン−２−イル）オキシカルボニルオキシ−９−
メチルテトラシクロ［４．４．０．１^２，５．１
^７，１０］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカ
ルボニル−９−シアノテトラシクロ［４．４．０．１
^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−
ブトキシカルボニルオキシ−９−シアノテトラシクロ
［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセ
ン、８−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカル
ボニル−９−シアノテトラシクロ［４．４．０．１
^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン、８−（テトラヒ
ドロピラン−２−イル）オキシカルボニルオキシ−９−
シアノテトラシクロ［４．４．０．１^２，５．１
^７，１０］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカ
ルボニル−９−メトキシカルボニルテトラシクロ［４．
４．０．１^{２ ，５}．１^７，１０］−３−ドデセン、８−
ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−９−メトキシカ
ルボニルテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］
−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２−イ
ル）オキシカルボニル−９−メトキシカルボニルテトラ
シクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセ
ン、８−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカル
ボニルオキシ−９−メトキシカルボニルテトラシクロ
［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、８−t
ert−ブトキシカルボニル−９−tert−ブトキシカルボ
ニルメチルテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．
１^7,10］−３−ドデセン、８−tert−ブトキシカルボニ
ルオキシ−９−tert−ブトキシカルボニルメチルテトラ
シクロ［４．４．０．１ ^2,5．１^7,10］−３−ドデセ
ン、８−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカル
ボニル−９−tert−ブトキシカルボニルメチルテトラシ
クロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、
８−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニ
ルオキシ−９−tert−ブトキシカルボニルメチルテトラ
シクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセ
ン、８−tert−ブトキシカルボニル−９−トリフルオロ
メチルテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−
３−ドデセン、８−tert−ブトキシカルボニルオキシ−
９−トリフルオロメチルテトラシクロ［４．４．０．１
^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピ
ラン−２−イル）オキシカルボニル−９−トリフルオロ
メチルテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−
３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２−イル）
オキシカルボニルオキシ−９−トリフルオロメチルテト
ラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセ
ン、８−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカル
ボニルメチルテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１
^7,10］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２
−イル）オキシカルボニルオキシメチルテトラシクロ
［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、８−t
ert−ブトキシカルボニルメチルテトラシクロ［４．
４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、８−tert−
ブトキシカルボニルオキシメチルテトラシクロ［４．
４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、８−tert−
ブトキシカルボニルオキシシクロヘキシルテトラシクロ
［４．４．０．１^2,5．１^7,１０］−３−ドデセン、８
−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルシクロヘキシルテトラ
シクロ［４．４．０．１^{２ ，５}．１^７，１０］−３−ド
デセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−アセ
トキシテトラシクロ［４．４．０．１^２，５．１
^７，１０］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカ
ルボニルオキシ−９−アセトキシテトラシクロ［４．
４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン、８−
（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニル−
９−アセトキシテトラシクロ［４．４．０．１ ^２，５．
１^７，１０］−３−ドデセン、８−（テトラヒドロピラ
ン−２−イル）オキシカルボニルオキシ−９−アセトキ
シテトラシクロ［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］
−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−
９−ナフトイルオキシテトラシクロ［４．４．０．１
^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−
ブトキシカルボニルオキシ−９−ナフトイルオキシテト
ラシクロ［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−
ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキ
シカルボニル−９−ナフトイルオキシテトラシクロ
［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセ
ン、８−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカル
ボニルオキシ−９−ナフトイルオキシテトラシクロ
［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセ
ン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−９−メシルオ
キシテトラシクロ［４．４．０．１^２，５．
１^{７，１ ０}］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシ
カルボニルオキシ−９−メシルオキシテトラシクロ
［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセ
ン、８−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカル
ボニル−９−メシルオキシテトラシクロ［４．４．０．
１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン、８−（テトラ
ヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニルオキシ−９
−メシルオキシテトラシクロ［４．４．０．１^２，５．
１^７，１０］−３−ドデセン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシ
カルボニル−９−トシルオキシテトラシクロ［４．４．
０．１^２，５．１^{７ ，１０}］−３−ドデセン、８−ｔｅ
ｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−９−トシルオキシテ
トラシクロ［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３
−ドデセン、８−（テトラヒドロピラン−２−イル）オ
キシカルボニル−９−トシルオキシテトラシクロ［４．
４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン、８−
（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニルオ
キシ−９−トシルオキシテトラシクロ［４．４．０．１
^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン等のテトラシクロ
ドデセン類、

【００１９】または、１１−tert−ブトキシカルボニル
ヘキサシクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．
０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピ
ラン−２−イル）オキシカルボニルヘキサシクロ［６．
６．１．１^3,6．１^10,13．０ ^2,7．０^9,14］−４−ヘプ
タデセン、１１−tert−ブトキシカルボニルオキシヘキ
サシクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０
^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラ
ン−２−イル）オキシカルボニルオキシヘキサシクロ
［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−tert−ブトキシカルボニル−１
１−メチルヘキサシクロ［６．６．１．１^{3, 6}．
１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
tert−ブトキシカルボニルオキシ−１１−メチルヘキサ
シクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^{2, 7}．
０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−tert−ブチルカル
ボキシルカルボニルヘキサシクロ［６．６．１．
１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセ
ン、１１−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカ
ルボニル−１１−メチルヘキサシクロ［６．６．１．１
^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセン、
１１−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボ
ニルオキシ−１１−メチルヘキサシクロ［６．６．１．
１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセ
ン、１１，１２−ジtert−ブトキシカルボニルヘキサシ
クロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］
−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジ（テトラヒドロピ
ラン−２−イル）オキシカルボニルヘキサシクロ［６．
６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプ
タデセン、１１−tert−ブトキシカルボニル−１２−メ
チルヘキサシクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０
^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−tert−ブト
キシカルボニルオキシ−１２−メチルヘキサシクロ
［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２−イ
ル）オキシカルボニル−１２−メチルヘキサシクロ
［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２−イ
ル）オキシカルボニルオキシ−１２−メチルヘキサシク
ロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．
０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニル−１２−シアノヘキサシクロ［６．
６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^{２ ，７}．０
^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニルオキシ−１２−シアノヘキサシクロ
［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０ ^２，７．０
^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロ
ピラン−２−イル）オキシカルボニル−１２−シアノヘ
キサシクロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０
^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−（テ
トラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニルオキシ
−１２−シアノヘキサシクロ［６．６．１．１^３，６．
１^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデ
セン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−メ
トキシカルボニルヘキサシクロ［６．６．１．
１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４
−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル
オキシ−１２−メトキシカルボニルヘキサシクロ［６．
６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０^{９
，１４}］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピ
ラン−２−イル）オキシカルボニル−１２−メトキシカ
ルボニルヘキサシクロ［６．６．１．１^３，６．１
^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセ
ン、１１−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカ
ルボニルオキシ−１２−メトキシカルボニルヘキサシク
ロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．
０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニル−１２−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニ
ルメチルヘキサシクロ［６．６．１．１^３，６．１
^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセ
ン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１２
−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチルヘキサシクロ
［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０
^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロ
ピラン−２−イル）オキシカルボニル−１２−ｔｅｒｔ
−ブトキシカルボニルメチルヘキサシクロ［６．６．
１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］
−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２
−イル）オキシカルボニルオキシ−１２−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニルメチルヘキサシクロ［６．６．１．１
^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４−
ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−
１２−トリフルオロメチルヘキサシクロ［６．６．１．
１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０ ^９，１４］−４
−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル
オキシ−１２−トリフルオロメチルヘキサシクロ［６．
６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプ
タデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２−イル）オ
キシカルボニル−１２−トリフルオロメチルヘキサシク
ロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−
４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２−
イル）オキシカルボニルオキシ−１２−トリフルオロメ
チルヘキサシクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０
^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒ
ドロピラン−２−イル）オキシカルボニルメチルヘキサ
シクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．
０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピ
ラン−２−イル）オキシカルボニルオキシメチルヘキサ
シクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．
０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−tert−ブトキシカ
ルボニルメチルヘキサシクロ［６．６．１．１^3,6．１
^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−te
rt−ブトキシカルボニルオキシメチルヘキサシクロ
［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−tert−ブトキシカルボニルオキ
シシクロヘキシルヘキサシクロ［６．６．１．１^3,6．
１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
tert−ブトキシカルボニルシクロヘキシルヘキサシクロ
［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−tert−ブトキシカルボニル−１
２−アセトキシヘキサシクロ［６．６．１．１^3,6．１
^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−te
rt−ブトキシカルボニルオキシ−１２−アセトキシヘキ
サシクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０
^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラ
ン−２−イル）オキシカルボニル−１２−アセトキシヘ
キサシクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０
^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラ
ン−２−イル）オキシカルボニルオキシ−１２−アセト
キシヘキサシクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０
^2,7．０^{9 ,14}］−４−ヘプタデセン、１１−tert−ブト
キシカルボニル−１２−ナフトイルオキシヘキサシクロ
［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０
^{９ ，１４}］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブト
キシカルボニルオキシ−１２−ナフトイルオキシヘキサ
シクロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０
^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−（テ
トラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニル−１２
−ナフトイルオキシヘキサシクロ［６．６．１．１
^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４−
ヘプタデセン１１−（テトラヒドロピラン−２−イル）
オキシカルボニルオキシ−１２−ナフトイルオキシヘキ
サシクロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０
^２，７．０^{９，１ ４}］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅ
ｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−メシルオキシヘキサ
シクロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０
^２，７．０^{９， １４}］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅ
ｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１２−メシルオキシ
ヘキサシクロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．
０^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−
（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニル−
１２−メシルオキシヘキサシクロ［６．６．１．１
^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４−
ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２−イ
ル）オキシカルボニルオキシ−１２−メシルオキシヘキ
サシクロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０
^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅ
ｒｔ−ブトキシカルボニル−１２−トシルオキシヘキサ
シクロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０
^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅ
ｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１２−トシルオキシ
ヘキサシクロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．
０^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−
（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニル−
１２−トシルオキシヘキサシクロ［６．６．１．１
^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４−
ヘプタデセン、１１−（テトラヒドロピラン−２−イ
ル）オキシカルボニルオキシ−１２−トシルオキシヘキ
サシクロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０
^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセン等のヘキサシ
クロヘプタデセン類、

【００２０】または、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボ
ニルオクタシクロ［８．８．０．１ ^２，９．１^４，７．
１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．
０^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロ
ピラン−２−イル）オキシカルボニルオクタシクロ
［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１
^{１３，１６}．０ ^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセ
ン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシオクタ
シクロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．
１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４−
（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニルオ
キシオクタシクロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１
^11,18．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１
４−tert−ブトキシカルボニル−１１−メチルオクタシ
クロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．
０^3,8．０^{1 2,17}］−５−ドコセン、１４−tert−ブトキ
シカルボニルオキシ−１４−メチルオクタシクロ［８．
８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．０
^12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン
−２−イル）オキシカルボニル−１４−メチルオクタシ
クロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．
０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４−tert−ブチル
カルボキシルカルボニルオクタシクロ［８．８．０．１
^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５
−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２−イル）
オキシカルボニルオキシ−１４−メチルオクタシクロ
［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^{1 3,16}．０
^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジtert−
ブトキシカルボニルオクタシクロ［８．８．０．
１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．０^{1 2,17}］−
５−ドコセン、１４，１５−ジ（テトラヒドロピラン−
２−イル）オキシカルボニルオクタシクロ［８．８．
０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０ ^3,8．
０^12,17］−５−ドコセン、１４−tert−ブトキシカル
ボニル−１５−メチルオクタシクロ［８．８．０．１
^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．０^{12, 17}］−５
−ドコセン、１４−tert−ブトキシカルボニルオキシ−
１５−メチルオクタシクロ［８．８．０．１^2,9．
１^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ド
コセン、１４−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキ
シカルボニル−１５−メチルオクタシクロ［８．８．
０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０ ^3,8．
０^12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラ
ン−２−イル）オキシカルボニルオキシ−１５−メチル
オクタシクロ［８．８．０．１^２，９．１^{４ ，７}．１
^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］
−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル
−１５−シアノオクタシクロ［８．８．０．１^２，９．
１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．０
^{１２，１ ７}］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキ
シカルボニルオキシ−１５−シアノオクタシクロ［８．
８．０．１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１
^{１３，１ ６}．０^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセ
ン、１４−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカ
ルボニル−１５−シアノオクタシクロ［８．８．０．１
^{２， ９}．１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０
^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−（テト
ラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニルオキシ−
１５−シアノオクタシクロ［８．８．０．１^２，９．１
^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．０
^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキ
シカルボニル−１５−メトキシカルボニルオクタシクロ
［８．８．０．１^{２ ，９}．１^４，７．１^{１１，１８}．１
^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセ
ン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１５
−メトキシカルボニルオクタシクロ［８．８．０．１
^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３ ，１６}．０
^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−（テト
ラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニル−１５−
メトキシカルボニルオクタシクロ［８．８．０．１
^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０
^３，８．０^{１ ２，１７}］−５−ドコセン、１４−（テト
ラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニルオキシ−
１５−メトキシカルボニルオクタシクロ［８．８．０．
１^{２， ９}．１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０
^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒ
ｔ−ブトキシカルボニル−１５−ｔｅｒｔ−ブトキシカ
ルボニルメチルオクタシクロ［８．８．０．１^２，９．
１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．０
^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキ
シカルボニルオキシ−１５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボ
ニルメチルオクタシクロ［８．８．０．１^２，９．１
^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^{３ ，８}．０
^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピ
ラン−２−イル）オキシカルボニル−１５−ｔｅｒｔ−
ブトキシカルボニルメチルオクタシクロ［８．８．０．
１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０
^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−（テト
ラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニルオキシ−
１５−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルメチルオクタシク
ロ［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．
１^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセ
ン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−トリ
フルオロメチルオクタシクロ［８．８．０．１^2,9．１
^4,7．１^11,18．１^{13, 16}．０^3,8．０^12,17］−５−ドコ
セン、１４−tert−ブトキシカルボニルオキシ−１５−
トリフルオロメチルオクタシクロ［８．８．０．
１^2,9．１^4,7．１^{11,1 8}．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−
５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２−イ
ル）オキシカルボニル−１５−トリフルオロメチルオク
タシクロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１
^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４−（テ
トラヒドロピラン−２−イル）オキシカルボニルオキシ
−１５−トリフルオロメチルオクタシクロ［８．８．
０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０ ^3,8．
０^12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラ
ン−２−イル）オキシカルボニルメチルオクタシクロ
［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^{13, 16}．０
^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロ
ピラン−２−イル）オキシカルボニルオキシメチルオク
タシクロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１ ^11,18．１
^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４−tert
−ブトキシカルボニルメチルオクタシクロ［８．８．
０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０ ^3,8．
０^12,17］−５−ドコセン、１４−tert−ブトキシカル
ボニルオキシメチルオクタシクロ［８．８．０．
１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−
５−ドコセン、１４−tert−ブトキシカルボニルオキシ
シクロヘキシルオクタシクロ［８．８．０．１^2,9．１
^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ドコ
セン、１４−tert−ブトキシカルボニルシクロヘキシル
オクタシクロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．
１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４−ter
t−ブトキシカルボニル−１５−アセトキシオクタシク
ロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０
^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４−tert−ブトキシ
カルボニルオキシ−１５−アセトキシオクタシクロ
［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０
^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロ
ピラン−２−イル）オキシカルボニル−１５−アセトキ
シオクタシクロ［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１
^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］
−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２−イ
ル）オキシカルボニルオキシ−１５−アセトキシオクタ
シクロ［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１
^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］
−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル
−１５−ナフトイルオキシオクタシクロ［８．８．０．
１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１ ６}．０
^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒ
ｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１５−ナフトイルオキ
シオクタシクロ［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１
^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］
−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２−イ
ル）オキシカルボニル−１５−ナフトイルオキシオクタ
シクロ［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１
^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］
−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２−イ
ル）オキシカルボニルオキシ−１５−ナフトイルオキシ
オクタシクロ［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１
^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^{３ ，８}．０^{１２，１７}］
−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル
−１５−メシルオキシオクタシクロ［８．８．０．１
^２，９．１^４，７．１^{１１， １８}．１^{１３，１６}．０
^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒ
ｔ−ブトキシカルボニルオキシ−１５−メシルオキシオ
クタシクロ［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１
^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］
−５−ドコセン、１４−（テトラヒドロピラン−２−イ
ル）オキシカルボニル−１５−メシルオキシオクタシク
ロ［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１^{１１ ，１８}．
１^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセ
ン、１４−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカ
ルボニルオキシ−１５−メシルオキシオクタシクロ
［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１
^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセ
ン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニル−１５−トシ
ルオキシオクタシクロ［８．８．０．１^２，９．１
^４，７．１^{１ １，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．０
^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキ
シカルボニルオキシ−１５−トシルオキシオクタシクロ
［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１
^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２， １７}］−５−ドコセ
ン、１４−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカ
ルボニル−１５−トシルオキシオクタシクロ［８．８．
０．１^２，９．１^４，７．１ ^{１１，１８}．
１^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセ
ン、１４−（テトラヒドロピラン−２−イル）オキシカ
ルボニルオキシ−１５−トシルオキシオクタシクロ
［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０
^3,8．０^{12, 17}］−５−ドコセン等のオクタシクロドコセ
ン類を挙げることができる。

【００２１】本発明における一般式（４）の具体例とし
ては、５−カルボキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−
２−エン、５−ヒドロキシビシクロ［２．２．１］ヘプ
ト−２−エン、５−カルボキシメチルビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシシクロヘキ
シルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒ
ドロキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−ヒドロキシシクロヘキシルビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−メトキシビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−tert−ブトキシビシク
ロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メントキシビ
シクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−tert−ブ
トキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−メントキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘプ
ト−２−エン、５−アセトキシビシクロ［２．２．１］
ヘプト−２−エン、５−ナフトイルオキシビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メシルオキシビ
シクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキ
シ−６−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エ
ン、５−ヒドロキシ−６−メチルビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシメチル−６−メ
チルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カ
ルボキシシクロヘキシル−６−メチルビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチル−６
−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５
−ヒドロキシシクロヘキシル−６−メチルビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−メトキシ−６−
メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−
tert−ブトキシ−６−メチルビシクロ［２．２．１］ヘ
プト−２−エン、５−メントキシ−６−メチルビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブト
キシメチル−６−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト
−２−エン、５−メントキシメチル−６−メチルビシク
ロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−アセトキシ−
６−メチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−ナフトイルオキシ−６−メチルビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−メシルオキシ−６−メチル
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボ
キシ−６−シアノビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−
エン、５−ヒドロキシ−６−シアノビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシメチル−６−シ
アノビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カ
ルボキシシクロヘキル−６−シアノビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−ヒドロキシメチル−６−シ
アノビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ヒ
ドロキシシクロヘキシル−６−シアノビシクロ［２．
２．１］ヘプト−２−エン、５−メトキシ−６−シアノ
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒ
ｔ−ブトキシ−６−シアノビシクロ［２．２．１］ヘプ
ト−２−エン、５−メントキシ−６−シアノビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−ｔｅｒｔ−ブト
キシメチル−６−シアノビシクロ［２．２．１］ヘプト
−２−エン、５−メントキシメチル−６−シアノビシク
ロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−アセトキシ−
６−シアノビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、
５−ナフトイルオキシ−６−シアノビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン、５−メシルオキシ−６−シアノ
ビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、ビシクロ
［２．２．１］ヘプト−５−エン−２，３−ジカルボン
酸無水物、ビシクロ［２．２．１］ヘプト−５−エン−
２，３−ジカルボン酸、５，６−ジヒドロキシビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５−カルボキシメチ
ルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−
ジカルボキシシクロヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘ
プト−２−エン、５，６−ジヒドロキシメチルビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジヒドロキ
シシクロヘキシルビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−
エン、５，６−ジメトキシビシクロ［２．２．１］ヘプ
ト−２−エン、５，６−ジｔｅｒｔ−ブトキシビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジメントキ
シビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−
ジｔｅｒｔ−ブトキシメチルビシクロ［２．２．１］ヘ
プト−２−エン、５，６−ジメントキシメチルビシクロ
［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−ジアセトキ
シビシクロ［２．２．１］ヘプト−２−エン、５，６−
ジナフトイルオキシビシクロ［２．２．１］ヘプト−２
−エン、５，６−ジメシルオキシビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン等のビシクロヘプトエン類、

【００２２】または、８−カルボキシテトラシクロ
［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、８−
ヒドロキシテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．
１^7,10］−３−ドデセン、８−カルボキシメチルテトラ
シクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセ
ン、８−カルボキシシクロヘキシルテトラシクロ［４．
４．０．１ ^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、８−ヒドロ
キシメチルテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．
１^7,10］−３−ドデセン、８−ヒドロキシシクロヘキシ
ルテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−
ドデセン、８−メトキシテトラシクロ［４．４．０．１
^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、８−tert−ブトキシテ
トラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデ
セン、８−メントキシテトラシクロ［４．４．０．１
^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、８−tert−ブトキシメ
チルテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３
−ドデセン、８−メントキシメチルテトラシクロ［４．
４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、８−アセト
キシテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３
−ドデセン、８−ナフトイルオキシテトラシクロ［４．
４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、８−メシル
オキシテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−
３−ドデセン、８−カルボキシ−９−メチルテトラシク
ロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、８
−ヒドロキシ−９−メチルテトラシクロ［４．４．０．
１^{2, 5}．１^7,10］−３−ドデセン、８−カルボキシメチ
ル−９−メチルテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１
^7,10］−３−ドデセン、８−カルボキシシクロヘキシル
−９−メチルテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１
^7,10］−３−ドデセン、８−ヒドロキシメチル−９−メ
チルテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３
−ドデセン、８−ヒドロキシシクロヘキシル−９−メチ
ルテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−
ドデセン、８−メトキシ−９−メチルテトラシクロ
［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセ
ン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシ−９−メチルテトラシクロ
［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセ
ン、８−メントキシ−９−メチルテトラシクロ［４．
４．０．１^{２， ５}．１^７，１０］−３−ドデセン、８−
ｔｅｒｔ−ブトキシメチル−９−メチルテトラシクロ
［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセ
ン、８−メントキシメチル−９−メチルテトラシクロ
［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセ
ン、８−アセトキシ−９−メチルテトラシクロ［４．
４．０．１^{２ ，５}．１^７，１０］−３−ドデセン、８−
ナフトイルオキシ−９−メチルテトラシクロ［４．４．
０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン、８−メシ
ルオキシ−９−メチルテトラシクロ［４．４．０．１
^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン、８−カルボキシ
−９−シアノテトラシクロ［４．４．０．１^２，５．１
^{７ ，１０}］−３−ドデセン、８−ヒドロキシ−９−シア
ノテトラシクロ［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］
−３−ドデセン、８−カルボキシメチル−９−シアノテ
トラシクロ［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３
−ドデセン、８−カルボキシシクロヘキル−９−シアノ
テトラシクロ［４．４．０．１^２，５．１^{７ ，１０}］−
３−ドデセン、８−ヒドロキシメチル−９−シアノテト
ラシクロ［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−
ドデセン、８−ヒドロキシシクロヘキシル−９−シアノ
テトラシクロ［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−
３−ドデセン、８−メトキシ−９−シアノテトラシクロ
［４．４．０．１^２，５．１^{７ ，１０}］−３−ドデセ
ン、８−ｔｅｒｔ−ブトキシ−９−シアノテトラシクロ
［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセ
ン、８−メントキシ−９−シアノテトラシクロ［４．
４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン、８−
ｔｅｒｔ−ブトキシメチル−９−シアノテトラシクロ
［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセ
ン、８−メントキシメチル−９−シアノテトラシクロ
［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセ
ン、８−アセトキシ−９−シアノテトラシクロ［４．
４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン８−ナ
フトイルオキシ−９−シアノテトラシクロ［４．４．
０．１^２，５．１^{７，１ ０}］−３−ドデセン、８−メシ
ルオキシ−９−シアノテトラシクロ［４．４．０．１
^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン、テトラシクロ
［４．４．０．１^{２， ５}．１^７，１０］−８−ドデセン
−３，４−ジカルボン酸無水物、テトラシクロ［４．
４．０．１^２，５．１^７，１０］−８−ドデセン−３，
４−ジカルボン酸、８，９−ジヒドロキシテトラシクロ
［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、８，
９−ジカルボキシメチルテトラシクロ［４．４．０．１
^2,5．１^{7,1 0}］−３−ドデセン、８，９−ジカルボキシ
シクロヘキシル、テトラシクロ［４．４．０．１^2,5．
１^7,10］−３−ドデセン、８，９−ジヒドロキシメチル
テトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ド
デセン、８，９−ジヒドロキシシクロヘキシルテトラシ
クロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、
８，９−ジメトキシテトラシクロ［４．４．０．
１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、８，９−ジtert−ブ
トキシテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−
３−ドデセン、８，９−ジメントキシテトラシクロ
［４．４．０．１^2,5．１^{7 ,10}］−３−ドデセン、８，
９−ジtert−ブトキシメチルテトラシクロ［４．４．
０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、８，９−ジメン
トキシメチルテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１
^7,10］−３−ドデセン、８，９−ジアセトキシテトラシ
クロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、
８，９−ジナフトイルオキシテトラシクロ［４．４．
０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン、８，９−ジメシ
ルオキシテトラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］
−３−ドデセン等のテトラシクロドデセン類、

【００２３】または、１１−カルボキシヘキサシクロ
［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^{2, 7}．０^9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシヘキサシクロ［６．
６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプ
タデセン、１１−カルボキシメチルヘキサシクロ［６．
６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプ
タデセン、１１−カルボキシシクロヘキシルヘキサシク
ロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−
４−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシメチルヘキサシク
ロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−
４−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシシクロヘキシルヘ
キサシクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０
^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−メトキシヘキサシク
ロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−
４−ヘプタデセン、１１−tert−ブトキシヘキサシクロ
［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０
^{９， １４}］−４−ヘプタデセン、１１−メントキシヘキ
サシクロ［６．６．１．１^{３ ，６}．１^{１０，１３}．０
^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅ
ｒｔ−ブトキシメチルヘキサシクロ［６．６．１．１
^３，６．１^{１０，１３}．０ ^２，７．０^９，１４］−４−
ヘプタデセン、１１−メントキシメチルヘキサシクロ
［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０
^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−アセトキシヘキ
サシクロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１ ３}．０
^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−ナフ
トイルオキシヘキサシクロ［６．６．１．１^３，６．１
^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセ
ン、１１−メシルオキシヘキサシクロ［６．６．１．１
^３，６．１ ^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４−
ヘプタデセン、１１−カルボキシ−１２−メチルヘキサ
シクロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０
^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−ヒド
ロキシ−１２−メチルヘキサシクロ［６．６．１．１
^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４−
ヘプタデセン、１１−カルボキシメチル−１２−メチル
ヘキサシクロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．
０^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−カ
ルボキシシクロヘキシル−１２−メチルヘキサシクロ
［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０
^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシメチ
ル−１２−メチルヘキサシクロ［６．６．１．
１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４
−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシシクロヘキシル−１
２−メチルヘキサシクロ［６．６．１．１^３，６．１
^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセ
ン、１１−メトキシ−１２−メチルヘキサシクロ［６．
６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０
^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅｒｔ−ブト
キシ−１２−メチルヘキサシクロ［６．６．１．１
^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４−
ヘプタデセン、１１−メントキシ−１２−メチルヘキサ
シクロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１ ３}．０
^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−ｔｅ
ｒｔ−ブトキシメチル−１２−メチルヘキサシクロ
［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^{２ ，７}．０
^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−メントキシメチ
ル−１２−メチルヘキサシクロ［６．６．１．
１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４
−ヘプタデセン、１１−アセトキシ−１２−メチルヘキ
サシクロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０
^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１−ナフ
トイルオキシ−１２−メチルヘキサシクロ［６．６．
１．１^3,6．１^{1 0,13}．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデ
セン、１１−メシルオキシ−１２−メチルヘキサシクロ
［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−カルボキシ−１２−シアノヘキ
サシクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０
^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシ−１２−
シアノヘキサシクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０
^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−カルボキシ
メチル−１２−シアノヘキサシクロ［６．６．１．１
^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセン、
１１−カルボキシシクロヘキル−１２−シアノヘキサシ
クロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^{9 ,14}］
−４−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシメチル−１２−
シアノヘキサシクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０
^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ヒドロキシ
シクロヘキシル−１２−シアノヘキサシクロ［６．６．
１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデ
セン、１１−メトキシ−１２−シアノヘキサシクロ
［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４
−ヘプタデセン、１１−tert−ブトキシ−１２−シアノ
ヘキサシクロ［６．６．１．１^{3, 6}．１^10,13．０^2,7．
０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−メントキシ−１２
−シアノヘキサシクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．
０^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−tert−ブ
トキシメチル−１２−シアノヘキサシクロ［６．６．
１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデ
セン、１１−メントキシメチル−１２−シアノヘキサシ
クロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］
−４−ヘプタデセン、１１−アセトキシ−１２−シアノ
ヘキサシクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．
０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−ナフトイルオキシ
−１２−シアノヘキサシクロ［６．６．１．１^3,6．１
^10,13．０ ^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−メ
シルオキシ−１２−シアノヘキサシクロ［６．６．１．
１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセ
ン、ヘキサシクロ［６．６．１．１^３，６．１
^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−１１−ヘプタデ
セン−４，５−ジカルボン酸無水物、ヘキサシクロ
［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０
^９，１４］−１１−ヘプタデセン−４，５−ジカルボン
酸、１１，１２−ジヒドロキシヘキサシクロ［６．６．
１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］
−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジカルボキシメチル
ヘキサシクロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．
０^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１，１
２−ジカルボキシシクロヘキシルヘキサシクロ［６．
６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０
^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジヒドロ
キシメチルヘキサシクロ［６．６．１．１^３，６．１
^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセ
ン、１１，１２−ジヒドロキシシクロヘキシルヘキサシ
クロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．
０^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１，１
２−ジメトキシヘキサシクロ［６．６．１．１^３，６．
１^{１０，１３}．０^{２， ７}．０^９，１４］−４−ヘプタデ
セン、１１，１２−ジｔｅｒｔ−ブトキシヘキサシクロ
［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０
^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジメント
キシヘキサシクロ［６．６．１．１^{３， ６}．１
^{１０，１３}．０^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセ
ン、１１，１２−ジｔｅｒｔ−ブトキシメチルヘキサシ
クロ［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１ ３}．
０^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１，１
２−ジメントキシメチルヘキサシクロ［６．６．１．１
^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０^{９，１ ４}］−４−
ヘプタデセン、１１，１２−ジアセトキシヘキサシクロ
［６．６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０
^９，１４］−４−ヘプタデセン、１１，１２−ジナフト
イルオキシヘキサシクロ［６．６．１．１^３，６．１
^{１０，１ ３}．０^２，７．０^９，１４］−４−ヘプタデセ
ン、１１，１２−ジメシルオキシヘキサシクロ［６．
６．１．１^３，６．１^{１０，１３}．０^２，７．０
^９，１４］−４−ヘプタデセン等のヘキサシクロヘプタ
デセン類、または、１４−カルボキシオクタシクロ
［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１
^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセ
ン、１４−ヒドロキシオクタシクロ［８．８．０．１
^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０
^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−カルボ
キシメチルオクタシクロ［８．８．０．１^２，９．１
^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３， １６}．０^３，８．０
^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−カルボキシシクロ
ヘキシルオクタシクロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１
^11,18．１^13,16．０^3,8．０^{1 2,17}］−５−ドコセン、１
４−ヒドロキシメチルオクタシクロ［８．８．０．１
^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５
−ドコセン、１４−ヒドロキシシクロヘキシルオクタシ
クロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^{1 3,16}．
０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４−メトキシオク
タシクロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１
^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４−tert
−ブトキシオクタシクロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．
１^11,18．１^{13, 16}．０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、
１４−メントキシオクタシクロ［８．８．０．１^2,9．
１^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ド
コセン、１４−tert−ブトキシメチルオクタシクロ
［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０
^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４−メントキシメチ
ルオクタシクロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．
１^11,18．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、
１４−アセトキシオクタシクロ［８．８．０．１^2,9．
１^4,7．１^{11 ,18}．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ド
コセン、１４−ナフトイルオキシオクタシクロ［８．
８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．０
^12,17］−５−ドコセン、１４−メシルオキシオクタシ
クロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．
０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４−カルボキシ−
１５−メチルオクタシクロ［８．８．０．１^2,9．
１^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ド
コセン、１４−ヒドロキシ−１５−メチルオクタシクロ
［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０
^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４−カルボキシメチ
ル−１５−メチルオクタシクロ［８．８．０．１^2,9．
１^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ド
コセン、１４−カルボキシシクロヘキシル−１５−メチ
ルオクタシクロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．
１^11,18．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、
１４−ヒドロキシメチル−１５−メチルオクタシクロ
［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１
^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセ
ン、１４−ヒドロキシシクロヘキシル−１５−メチルオ
クタシクロ［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１
^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］
−５−ドコセン、１４−メトキシ−１５−メチルオクタ
シクロ［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１
^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］
−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキシ−１５−メ
チルオクタシクロ［８．８．０．１^２，９．１ ^４，７．
１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．
０^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−メントキシ−１
５−メチルオクタシクロ［８．８．０．１^２，９．１
^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．０
^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−ｔｅｒｔ−ブトキ
シメチル−１５−メチルオクタシクロ［８．８．０．１
^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０
^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−メント
キシメチル−１５−メチルオクタシクロ［８．８．０．
１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０
^３，８．０^{１２ ，１７}］−５−ドコセン、１４−アセト
キシ−１５−メチルオクタシクロ［８．８．０．１
^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０
^３，８．０^{１２ ，１７}］−５−ドコセン、１４−ナフト
イルオキシ−１５−メチルオクタシクロ［８．８．０．
１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０
^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−メシル
オキシ−１５−メチルオクタシクロ［８．８．０．１
^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０
^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−カルボ
キシ−１５−シアノオクタシクロ［８．８．０．１
^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０
^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−ヒドロ
キシ−１５−シアノオクタシクロ［８．８．０．１
^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０
^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−カルボ
キシメチル−１５−シアノオクタシクロ［８．８．０．
１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０
^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４−カルボ
キシシクロヘキル−１５−シアノオクタシクロ［８．
８．０．１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１^{１
３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセン、
１４−ヒドロキシメチル−１５−シアノオクタシクロ
［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１
^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセ
ン、１４−ヒドロキシシクロヘキシル−１５−シアノオ
クタシクロ［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１
^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］
−５−ドコセン、１４−メトキシ−１５−シアノオクタ
シクロ［８．８．０．１^２，９．１^４，7．１^11,18．１
^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４−tert
−ブトキシ−１５−シアノオクタシクロ［８．８．０．
１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０ ^3,8．０^12,17］−
５−ドコセン、１４−メントキシ−１５−シアノオクタ
シクロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．
１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４−ter
t−ブトキシメチル−１５−シアノオクタシクロ［８．
８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．０
^12,17］−５−ドコセン、１４−メントキシメチル−１
５−シアノオクタシクロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．
１^{11 ,18}．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、
１４−アセトキシ−１５−シアノヘキサシクロ［６．
６．１．１^3,6．１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプ
タデセン、１４−ナフトイルオキシ−１５−シアノオク
タシクロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１
^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４−メシ
ルオキシ−１５−シアノオクタシクロ［８．８．０．１
^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５
−ドコセン、オクタシクロ［８．８．０．１^{2 ,9}．
１^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−１４−
ドコセン−５，６−ジカルボン酸無水物、オクタシクロ
［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^{1 3,16}．０
^3,8．０^12,17］−１１−ドコセン−５，６−ジカルボン
酸、１４，１５−ジヒドロキシオクタシクロ［８．８．
０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．
０^12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジカルボキシ
メチルオクタシクロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１
^11,18．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１
４，１５−ジカルボキシシクロヘキシルオクタシクロ
［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０
^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、１４，１５−ジヒドロ
キシメチルオクタシクロ［８．８．０．１^2,9．１^4,7．
１^11,18．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−５−ドコセン、
１４，１５−ジヒドロキシシクロヘキシルオクタシクロ
［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１
^{１ ３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセ
ン、１４，１５−ジメトキシオクタシクロ［８．８．
０．１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．
１^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセ
ン、１４，１５−ジｔｅｒｔ−ブトキシオクタシクロ
［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．１
^{１３，１ ６}．０^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセ
ン、１４，１５−ジメントキシオクタシクロ［８．８．
０．１^２，９．１^４，７．１^{１１，１８}．
１^{１３，１６}．０ ^３，８．０^{１２，１７}］−５−ドコセ
ン、１４，１５−ジｔｅｒｔ−ブトキシメチルオクタシ
クロ［８．８．０．１^２，９．１^４，７．
１^{１１，１８}．１^{１３， １６}．０^３，８．
０^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４，１５−ジメント
キシメチルオクタシクロ［８．８．０．１^２，９．１
^４，７．１^{１１，１８}．１^{１３， １６}．０^３，８．０
^{１２，１７}］−５−ドコセン、１４，１５−ジアセトキ
シオクタシクロ［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１
^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］
−５−ドコセン、１４，１５−ジナフトイルオキシオク
タシクロ［８．８．０．１^２，９．１^４，７．１
^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^３，８．０^{１２，１７}］
−５−ドコセン、１４，１５−ジメシルオキシオクタシ
クロ［８．８．０．１^２，９．１^４，７．
１^{１１，１８}．１^{１３，１６}．０^{３ ，８}．
０^{１２，１７}］−５−ドコセン等のオクタシクロドコセ
ン類を挙げることができる。

【００２４】更には、一般式（３）または一般式（３）
と一般式（４）と共に、ビシクロ［２．２．１］ヘプト
−２−エン、５−メチルビシク［２．２．１］ヘプト−
２−エン、５−エチルビシクロ［２．２．１］ヘプト−
２−エン、５−クロロビシクロ［２．２．１］ヘプト−
２−エン、５−ブロモビシクロ［２．２．１］ヘプト−
２−エン、５−メチル−６−メチルビシクロ［２．２．
１］ヘプト−２−エン等のビシクロヘプトエン誘導体、
テトラシクロ［４．４．０．１^２，５．１^{７， １０}］−
３−ドデセン、８−メチルテトラシクロ［４．４．０．
１^２，５．１^{７ ，１０}］−３−ドデセン、８−エチルテ
トラシクロ［４．４．０．１^２，５．１ ^７，１０］−３
−ドデセン、８−クロロテトラシクロ［４．４．０．１
^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン、８−ブロモテト
ラシクロ［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−
ドデセン、８−メチル−９−メチルテトラシクロ［４．
４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン等のテ
トラシクロドデセン誘導体、ヘキサシクロ［６．６．
１．１^３，6．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセン、１
１−メチルヘキサシクロ［６．６．１．１^3,6．
１^10,13．０^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセン、１１−
エチルヘキサシクロ［６．６．１．１^3,6．１^10,13．０
^2,7．０^9,14］−４−ヘプタデセン等のヘキサシクロヘ
プタデセン誘導体、オクタシクロ［８．８．０．
１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０^3,8．０^12,17］−
５−ドコセン、１４−メチルオクタシクロ［８．８．
０．１^2,9．１^4,7．１^{11 ,18}．１^13,16．０^3,8．
０^12,17］−５−ドコセン、１４−エチルオクタシクロ
［８．８．０．１^2,9．１^4,7．１^11,18．１^13,16．０
^3,8．０^12,17］−５−ドコセン等のオクタシクロドコセ
ン誘導体、またはシクロブテン、シクロペンテン、シク
ロヘプテン、シクロオクテン等のシクロオレフィン類等
と共重合しても良い。

【００２５】また、本発明に使用される重合触媒として
は、リビング開環メタセシス重合する触媒であればどの
ようなものでもよいが、開環メタセシス触媒の具体例と
しては、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｃ₆Ｈ₃Ｐｒⁱ ₂）（ＣＨＢ
ｕ^t）（ＯＢｕ^t）₂、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｃ₆Ｈ₃Ｐｒⁱ ₂）
（ＣＨＢｕ^t）（ＯＣＭｅ₂ＣＦ₃）₂、Ｗ（Ｎ−２，６−
Ｃ ₆Ｈ₃Ｐｒⁱ ₂）（ＣＨＢｕ^t）（ＯＣＭｅ₂（ＣＦ₃）₂）
₂、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｃ₆Ｈ ₃Ｐｒⁱ ₂）（ＣＨＣＭｅ₂Ｐ
ｈ）（ＯＢｕ^t）₂、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｃ₆Ｈ₃Ｐｒⁱ ₂）
（ＣＨＣＭｅ₂Ｐｈ）（ＯＣＭｅ₂ＣＦ₃）₂、Ｗ（Ｎ−
２，６−Ｃ₆Ｈ₃Ｐｒⁱ ₂）（ＣＨＣＭｅ₂Ｐｈ）（ＯＣＭ
ｅ₂（ＣＦ₃）₂）₂、（式中のＰｒⁱはｉｓｏ−プロピル
基、Ｂｕ^tはｔｅｒｔ−ブチル基、Ｍｅはメチル基、Ｐ
ｈはフェニル基を表す。）等のタングステン系アルキリ
デン触媒、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ₂Ｃ₆Ｈ₃）（ＣＨＣＨ
ＣＭｅＰｈ）（Ｏ−Ｂｕ^t）₂（ＰＭｅ₃）、Ｗ（Ｎ−
２，６−Ｍｅ₂Ｃ₆Ｈ₃）（ＣＨＣＨＣＭｅ₂）（Ｏ−Ｂｕ
^t）₂（ＰＭｅ₃）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ₂Ｃ₆Ｈ₃）（Ｃ
ＨＣＨＣＰｈ₂）（Ｏ−Ｂｕ^t）₂（ＰＭｅ₃）、Ｗ（Ｎ−
２，６−Ｍｅ₂Ｃ₆Ｈ₃）（ＣＨＣＨＣＭｅＰｈ）（ＯＣ
Ｍｅ_２（ＣＦ_３））_２（ＰＭｅ_３）、Ｗ（Ｎ−２，６−
Ｍｅ_２Ｃ_６Ｈ_３）（ＣＨＣＨＣＭｅ_２）（ＯＣＭｅ
_２（ＣＦ _３））_２（ＰＭｅ_３）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ
_２Ｃ_６Ｈ_３）（ＣＨＣＨＣＰｈ_２）（ＯＣＭｅ_２（ＣＦ
_３））_２（ＰＭｅ_３）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ_２Ｃ_６Ｈ
_３）（ＣＨＣＨＣＭｅ_２）（ＯＣＭｅ（ＣＦ_３）_２）_２
（ＰＭｅ_３）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ_２Ｃ_６Ｈ_３）（Ｃ
ＨＣＨＣＭｅ_２）（ＯＣＭｅ（ＣＦ_３）_２）_２（ＰＭｅ
_３）、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｍｅ_２Ｃ_６Ｈ_３）（ＣＨＣＨＣ
Ｐｈ_２）（ＯＣＭｅ（ＣＦ_３）_２）_２（ＰＭｅ_３）、Ｗ
（Ｎ−２，６−Ｐｒ^ｉ _２Ｃ_６Ｈ_３）（ＣＨＣＨＣＭｅＰ
ｈ）（ＯＣＭｅ_２（ＣＦ_３））_２（ＰＭｅ_３）、Ｗ（Ｎ
−２，６−Ｐｒ^ｉ _２Ｃ_６Ｈ_３）（ＣＨＣＨＣＭｅＰｈ）
（ＯＣＭｅ（ＣＦ_３）_２）_２（ＰＭｅ _３）、Ｗ（Ｎ−
２，６−Ｐｒ^ｉ _２Ｃ_６Ｈ_３）（ＣＨＣＨＣＭｅＰｈ）
（ＯＰｈ） _２（ＰＭｅ_３）、（式中のＰｒ^ｉはｉｓｏ−
プロピル基、Ｂｕ^ｔはｔｅｒｔ−ブチル基、Ｍｅはメチ
ル基、Ｐｈはフェニル基を表す。）等のタングステン系
アルキリデン触媒、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒ^ｉ _２Ｃ_６Ｈ
_３）（ＣＨＢｕ^ｔ）（ＯＢｕ ^ｔ）_２、Ｍｏ（Ｎ−２，６
−Ｐｒ^ｉ _２Ｃ_６Ｈ_３）（ＣＨＢｕ^ｔ）（ＯＣＭｅ_２ＣＦ
_３）_２、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒ^ｉ _２Ｃ_６Ｈ_３）（ＣＨ
Ｂｕ^ｔ）（ＯＣＭｅ（ＣＦ_３）_２）_２、Ｍｏ（Ｎ−２，
６−Ｐｒ^ｉ _２Ｃ_６Ｈ_３）（ＣＨＣＭｅ_２Ｐｈ）（ＯＢｕ
^ｔ）_２、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒ^ｉ _２Ｃ_６Ｈ_３）（ＣＨ
ＣＭｅ_２Ｐｈ）（ＯＣＭｅ_２ＣＦ_３）_２、Ｍｏ（Ｎ−
２，６−Ｐｒ^ｉ _２Ｃ_６Ｈ_３）（ＣＨＣＭｅ _２Ｐｈ）（Ｏ
ＣＭｅ（ＣＦ_３）_２）_２、（式中のＰｒ^ｉはｉｓｏ−プ
ロピル基、Ｂｕ^ｔはｔｅｒｔ−ブチル基、Ｍｅはメチル
基、Ｐｈはフェニル基を表す。）等のモリブデン系アル
キリデン触媒、Ｒｅ（ＣＢｕ^ｔ）（ＣＨＢｕ^ｔ）（Ｏ−
２，６−Ｐｒ^ｉ _２Ｃ_６Ｈ_３）_２、Ｒｅ（ＣＢｕ^ｔ）（Ｃ
ＨＢｕ^ｔ）（Ｏ−２−Ｂｕ^ｔＣ_６Ｈ_４）_２、Ｒｅ（ＣＢ
ｕ^ｔ）（ＣＨＢｕ^ｔ）（ＯＣＭｅ_２ＣＦ_３）_２、Ｒｅ
（ＣＢｕ^ｔ）（ＣＨＢｕ^ｔ）（ＯＣＭｅ（ＣＦ_３）_２）
_２、Ｒｅ（ＣＢｕ^ｔ）（ＣＨＢｕ^ｔ）（Ｏ−２，６−Ｍ
ｅＣ_６Ｈ_３）_２、（式中のＢｕ^ｔはｔｅｒｔ−ブチル基
を表す。）等のレニウム系アルキリデン触媒、Ｔａ［Ｃ
（Ｍｅ）Ｃ（Ｍｅ）ＣＨＭｅ_３］（Ｏ−２，６−Ｐｒ^ｉ
_２Ｃ_６Ｈ_３）_３Ｐｙ、Ｔａ［Ｃ（Ｐｈ）Ｃ（Ｐｈ）ＣＨ
Ｍｅ_３］（Ｏ−２，６−Ｐｒ^ｉ _２Ｃ_６Ｈ_３）_３Ｐｙ、
（式中のＭｅはメチル基、Ｐｈはフェニル基、Ｐｙはピ
リジン基を表す。）等のタンタル系アルキリデン触媒、
Ｒｕ（ＣＨＣＨＣＰｈ₂）（ＰＰｈ₃）₂Ｃｌ₂、Ｒｕ（Ｃ
ＨＣＨＣＰｈ₂）（Ｐ（Ｃ₆Ｈ₁₁）₃）₂Ｃｌ₂（式中のＰ
ｈはフェニル基を表す。）等のルテニウム系アルキリデ
ン触媒やチタナシクロブタン触媒が挙げられる。上記開
環メタセシス触媒は、単独にまたは２種以上混合しても
よい。

【００２６】また、上記の他に、有機遷移金属錯体と助
触媒としてのルイス酸との組合せによるリビング開環メ
タセシス触媒系、例えぱ、モリブデン、タングステン等
の遷移金属ハロゲン錯体と助触媒として有機アルミニウ
ム化合物、有機錫化合物またはリチウム、ナトリウム、
マグネシウム、亜鉛、カドミウム、ホウ素等の有機金属
化合物とから成る開環メタセシス触媒を用いることもで
きる。

【００２７】有機遷移金属ハロゲン錯体の具体例として
は、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｃ₆Ｈ₃Ｐｒⁱ ₂）（ｔｈｆ）（ＯＢ
ｕ^t）₂Ｃｌ₂、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｃ₆Ｈ₃Ｐｒⁱ ₂）（ｔｈ
ｆ）（ＯＣＭｅ₂ＣＦ₃）₂Ｃｌ₂、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｃ₆
Ｈ₃Ｐｒⁱ ₂）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ₂（ＣＦ₃）₂）₂Ｃ
ｌ₂、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｃ₆Ｈ₃Ｐｒⁱ ₂）（ｔｈｆ）（Ｏ
Ｂｕ^t）₂Ｃｌ₂、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｃ₆Ｈ₃Ｐｒⁱ ₂）（ｔ
ｈｆ）（ＯＣＭｅ₂ＣＦ₃）₂Ｃｌ₂、Ｗ（Ｎ−２，６−Ｃ
₆Ｈ₃Ｐｒⁱ ₂）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ₂（ＣＦ₃）₂）₂Ｃｌ
₂、（式中のＰｒⁱはｉｓｏ−プロピル基、Ｂｕ^tはｔｅ
ｒｔ−ブチル基、Ｍｅはメチル基、Ｐｈはフェニル基、
ｔｈｆはテトラヒドロフランを表す。）等のタングステ
ン系ハロゲン錯体と下記有機金属化合物の組み合わせか
らなる触媒、またはＭｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒⁱ ₂Ｃ₆Ｈ₃）
（ｔｈｆ）（ＯＢｕ^t）₂Ｃｌ₂、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐ
ｒⁱ ₂Ｃ₆Ｈ₃）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ₂ＣＦ₃）₂Ｃｌ₂、Ｍ
ｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒⁱ ₂Ｃ₆Ｈ₃）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ
（ＣＦ₃）₂）₂Ｃｌ₂、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒⁱ ₂Ｃ
₆Ｈ₃）（ｔｈｆ）（ＯＢｕ^t）₂Ｃｌ₂、Ｍｏ（Ｎ−２，
６−Ｐｒⁱ ₂Ｃ₆Ｈ₃）（ｔｈｆ）（ＯＣＭｅ₂ＣＦ₃）₂Ｃ
ｌ₂、Ｍｏ（Ｎ−２，６−Ｐｒ ^ｉ _２Ｃ_６Ｈ_３）（ｔｈ
ｆ）（ＯＣＭｅ（ＣＦ_３）_２）_２Ｃｌ_２、（式中のＰｒ
^ｉはｉｓｏ−プロピル基、Ｂｕ^ｔはｔｅｒｔ−ブチル
基、Ｍｅはメチル基、Ｐｈはフェニル基、ｔｈｆはテト
ラヒドロフランを表す。）等のモリブデン系ハロゲン錯
体と下記有機金属化合物の組み合わせからなる触媒が挙
げられる。

【００２８】また、助触媒としての有機金属化合物の具
体例としては、トリメチルアルミニウム、トリエチルア
ルミニウム、トリイソブチルアルミニウム、トリヘキシ
ルアルミニウム、トリオクチルアルミニウム、トリフェ
ニルアルミニウム、トリベンジルアルミニウム、ジエチ
ルアルミニウムモノクロリド、ジ−ｎ−ブチルアルミニ
ウム、ジエチルアルミニウムモノブロミド、ジエチルア
ルミニウムモノイオジド、ジエチルアルミニウムモノヒ
ドリド、エチルアルミニウムセスキクロリド、エチルア
ルミニウムジクロリド等の有機アルミニウム化合物、テ
トラメチル錫、ジエチルジメチル錫、テトラエチル錫、
ジブチルジエチル錫、テトラブチル錫、テトラオクチル
錫、トリオクチル錫フルオリド、トリオクチル錫クロリ
ド、トリオクチル錫ブロミド、トリオクチル錫イオジ
ド、ジブチル錫ジフルオリド、ジブチル錫ジクロリド、
ジブチル錫ジブロミド、ジブチル錫ジイオジド、ブチル
錫トリフルオリド、ブチル錫トリクロリド、ブチル錫ト
リブロミド、ブチル錫トリイオジド等の有機錫化合物、
ｎ−ブチルリチウム等の有機リチウム化合物、ｎ−ペン
チルナトリウム等の有機ナトリウム化合物、メチルマグ
ネシウムイオジド、エチルマグネシウムブロミド、メチ
ルマグネシウムブロミド、ｎ−プロピルマグネシウムブ
ロミド、ｔ―ブチルマグネシウムクロリド、アリルマグ
ネシウムクロリド等の有機マグネシウム化合物、ジエチ
ル亜鉛等の有機亜鉛化合物、ジエチルカドミウム等の有
機カドミウム化合物、トリメチルホウ素、トリエチルホ
ウ素、トリ−ｎ−ブチルホウ素等の有機ホウ素化合物等
が挙げられる。

【００２９】本発明のリビング開環メタセシス重合にお
いて環状オレフィン系単量体と開環メタセシス触媒のモ
ル比は、タングステン、モリブデン、レニウム、タンタ
ル、またはルテニウム等の遷移金属アルキリデン触媒や
チタナシクロブタン触媒の場合は、環状オレフィン系単
量体が遷移金属アルキリデン錯体に対してモル比で２〜
１００００であり、好ましくは１０〜５０００である。
また、有機遷移金属ハロゲン錯体と有機金属化合物から
成る開環メタセシス触媒の場合、環状オレフィン系単量
体が有機遷移金属ハロゲン錯体に対してモル比で２〜１
００００、好ましくは１０〜５０００であり、助触媒と
しての有機金属化合物が有機遷移金属ハロゲン錯体に対
してモル比で０．１〜１０、好ましくは１〜５となる範
囲である。

【００３０】また、本発明の開環メタセシス重合は無溶
媒でも溶媒を使用して良いが、特に使用する溶媒として
は、テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル、ジブチル
エーテル、ジメトキシエタン、ジオキサン等のエーテル
類、ベンゼン、トルエン、キシレン、エチルベンゼン等
の芳香族炭化水素、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン等の
脂肪族炭化水素、シクロペンタン、シクロヘキサン、メ
チルシクロヘキサン、ジメチルシクロヘキサン、デカリ
ン等の脂肪族環状炭化水素、メチレンジクロライド、ジ
クロロエタン、ジクロロエチレン、テトラクロロエタ
ン、クロロベンゼン、トリクロロベンゼン等のハロゲン
化炭化水素等が挙げられ、これらの２種類以上を混合使
用しても良い。

【００３１】また、本発明において触媒効率を高めるた
めに連鎖移動剤として用いられるオレフィンとしては、
例えば、エチレン、プロピレン、ブテン、ペンテン、ヘ
キセン、オクテン等のα−オレフィンが挙げられ、さら
に、ビニルトリメチルシラン、アリルトリメチルシラ
ン、アリルトリエチルシラン、アリルトリイソプロピル
シラン等のケイ素含有オレフィンが挙げられ、また、ジ
エンとしては、１、４−ペンタジエン、１、５−ヘキサ
ジエン、１、６−ヘプタジエン等の非共役系ジエンが挙
げられる。さらに、これらオレフィンまたはジエンはそ
れぞれ単独または２種類以上を併用しても良い。

【００３２】本発明において共存させるオレフィンまた
はジエンの使用量は、オレフィンまたはジエンが環状オ
レフィン系単量体に対して０．００１〜１０００、好ま
しくは０．０１〜１００の範囲である。また、オレフィ
ンまたはジエンが遷移金属アルキリデン錯体のアルキリ
デンの１当量に対して０．１〜１０００、好ましくは１
〜５００の範囲である。

【００３３】開環メタセシス重合では、単量体の反応性
および重合溶媒ヘの溶解性によっても異なるが、単量体
／開環メタセシス触媒と溶媒の濃度は０．１〜１００ｍ
ｏｌ／Ｌの範囲が好ましく、通常―３０〜１５０℃の反
応温度で１分〜１０時間反応させ、ブチルアルデヒド等
のアルデヒド類、アセトン等のケトン類、メタノール等
のアルコール類等の失活剤で反応を停止し、開環メタセ
シス重合体溶液を得ることができる。

【００３４】本発明において、リビング開環メタセシス
重合によって得られる重合体は、開環メタセシス重合が
リビング重合反応であるため、単量体と触媒のモル比を
制御することによって、所望の分子量の重合体を得るこ
とができる。また、連鎖移動剤としてオレフィンまたは
ジエンの存在下でリビング開環メタセシス重合を行うこ
とでリビング重合反応を保ちながら、単量体と連鎖移動
剤と触媒のモル比を制御することによっても、所望の分
子量の重合体を得ることができる。このリビング重合で
得られた分子量は、ＧＰＣで測定したポリスチレン換算
での数平均分子量Ｍｎが５００〜１００，０００であ
る。好ましくは、１，０００〜５０，０００であり、特
に、好ましくは３，０００〜２０，０００である。ま
た、単量体及び連鎖移動剤の性質によって多少の差異は
あるものの重量平均分子量Ｍｗと数平均分子量Ｍｎとの
比（Ｍｗ／Ｍｎ）が１．０〜２．０の狭い分子量分布の
範囲に制御される。好ましくは１．０〜１．８、更に好
ましくは１．０〜１．６の範囲である。この範囲の分子
量と狭い分子量分布は、レジスト材として要求される高
解像度及び高現像性を実現するために極めて重要であ
る。更には、レジスト材を溶媒に溶解させ、シリコンウ
ェハーに回転塗布機で塗布する工程において、均一な平
滑コーティング膜を形成する上でも重要なことである。
従って、分子量及び分子量分布を決めるメタセシス重合
をリビング重合で行うことは、その後に重合体の主鎖部
分のオレフィンを水素添加し、次いで官能基を部分的に
加水分解して得られる（共）重合体のレジスト材として
の機能を発現する上で極めて重要である。

【００３５】本発明の環状オレフィン系単量体の開環メ
タセシス重合体の主鎖部分のオレフィンの水素添加反応
は、公知の水素添加触媒を使用することができる。具体
例として不均一系触媒ではパラジウム、白金、ニッケ
ル、ロジウム、ルテニウム等の金属をカーボン、シリ
カ、アルミナ、チタニア、マグネシア、ケイソウ土、合
成ゼオライト等の担体に担持させた担持型金属触媒、ま
たは均一系触媒では、ナフテン酸ニッケル／トリエチル
アルミニウム、ニッケルアセチルアセトナート／トリイ
ソブチルアルミニウム、オクテン酸コバルト／ｎ−ブチ
ルリチウム、チタノセンジクロリド／ジエチルアルミニ
ウムクロリド、酢酸ロジウム、ジクロロビス（トリフェ
ニルホスフィン）パラジウム、クロロトリス（トリフェ
ニルホスフィン）ロジウム、ジヒドリドテトラキス（ト
リフェニルホスフィン）ルテニウム等が挙げられ、さら
に、均一系触媒として水素の存在下に下記一般式（５）

【００３６】

【化９】ＭＨ_ｋＱ_ｈＴ_ｐＺ_ｑ （５） （式中、Ｍはルテニウム、ロジウム、オスミウム、イリ
ジウム、パラジウム、白金またはニッケルを表し、Ｈは
水素を表し、Ｑはハロゲンを表し、ＴはＣＯ、ＮＯ、ト
ルエン、アセトニトリルまたはテトラヒドロフランを表
し、ＺはＰＲ´^１Ｒ´^２Ｒ´^３（Ｐはリンを示し、Ｒ´
^１、Ｒ´^２、Ｒ´^３はそれぞれ同一もしくは異なる直
鎖、分岐または環状のアルキル、アルケニル、アリー
ル、アルコキシまたはアリロキシを示す。）で表せる有
機リン化合物を表し、ｋは０または１の整数、ｈは１〜
３の整数、ｐは０または１の整数、ｑは２〜４の整数を
表す。）で表わされる有機金属錯体とアミン化合物から
なる水素添加触媒を用いて水素添加することもできる。

【００３７】一般式（５）おけるＱは、ハロゲン原子を
表し具体例として、塩素、フッ素、臭素または沃素原子
を例示できる。更に、ＴはＣＯ、ＮＯ、トルエン、アセ
トニトリルまたはテトラヒドロフランを表し、Ｚは有機
リン化合物を表し具体例として、トリメチルホスフィ
ン、トリエチルホスフィン、トリイソプロピルホスフィ
ン、トリｎ−プロピルホスフィン、トリｔ−ブチルホス
フィン、トリイソブチルホスフィン、トリｎ−ブチルホ
スフィン、トリシクロヘキシルホスフィン、トリフェニ
ルホスフィン、メチルジフェニルホスフィン、ジメチル
フェニルホスフィン、トリｏ−トリルホスフィン、トリ
ｍ−トリルホスフィン、トリｐ−トリルホスフィン、ジ
エチルフェニルホスフィン、ジクロロ（エチル）ホスフ
ィン、ジクロロ（フェニル）ホスフィン、クロロジフェ
ニルホスフィン、トリメチルホスフィト、トリイソプロ
ピルホスフィト、トリフェニルホスフィトを例示でき
る。

【００３８】一般式（５）で表せる有機金属錯体の具体
例としては、ジクロロビス（トリフェニルホスフィン）
ニッケル、ジクロロビス（トリフェニルホスフィン）パ
ラジウム、ジクロロビス（トリフェニルホスフィン）白
金、クロロトリス（トリフェニルホスフィン）ロジウ
ム、ジクロロトリス（トリフェニルホスフィン）オスミ
ウム、ジクロロヒドリドビス（トリフェニルホスフィ
ン）イリジウム、ジクロロトリス（トリフェニルホスフ
ィン）ルテニウム、ジクロロテトラキス（トリフェニル
ホスフィン）ルテニウム、トリクロロニトロシルビス
（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、ジクロロビス
（アセトニトリル）ビス（トリフェニルホスフィン）ル
テニウム、ジクロロビス（テトラヒドロフラン）ビス
（トリフェニルホスフィン）ルテニウム、クロロヒドリ
ド（トルエン）トリス（トリフェニルホスフィン）ルテ
ニウム、クロロヒドリドカルボニルトリス（トリフェニ
ルホスフィン）ルテニウム、クロロヒドリドカルボニル
トリス（ジエチルフェニルホスフィン）ルテニウム、ク
ロロヒドリドニトロシルトリス（トリフェニルホスフィ
ン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリメチルホスフィ
ン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリエチルホスフィ
ン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリシクロヘキシル
ホスフィン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリフェニ
ルホスフィン）ルテニウム、ジクロロトリス（トリメチ
ルジフェニルホスフィン）ルテニウム、ジクロロトリス
（トリジメチルフェニルホスフィン）ルテニウム、ジク
ロロトリス（トリｏ−トリルホスフィン）ルテニウム、
ジクロロトリス（ジクロロエチルホスフィン）ルテニウ
ム、ジクロロトリス（ジクロロフェニルホスフィン）ル
テニウム、ジクロロトリス（トリメチルホスフィト）ル
テニウム、ジクロロトリス（トリフェニルホスフィト）
ルテニウム等が挙げられる。

【００３９】また、アミン化合物の具体例としては、メ
チルアミン、エチルアミン、アニリン、エチレンジアミ
ン、１，３−ジアミノシクロブタン等の一級アミン化合
物、ジメチルアミン、メチルイソプロピルアミン、Ｎ−
メチルアニリン等の二級アミン化合物、トリメチルアミ
ン、トリエチルアミン、トリフェニルアミン、Ｎ，Ｎ−
ジメチルアニリン、ピリジン、γ−ピコリン等の三級ア
ミン化合物等を挙げることができ、特にトリエチルアミ
ンを用いた場合が水素添加率の向上が著しい。これらの
有機金属錯体またはアミン化合物は、それぞれ２種以上
任意の割合で併用することもできる。

【００４０】本発明における開環メタセシス（共）重合
体を水素添加する公知の水素添加触媒を使用する場合、
開環メタセシス重合体と水素添加触媒の使用量は、公知
の水素添加触媒が開環メタセシス重合体に対して５〜５
００００ｐｐｍであり、好ましくは１００〜１０００ｐ
ｐｍである。また、有機金属錯体とアミン化合物からな
る水素添加触媒を使用する場合は、有機金属錯体が開環
メタセシス重合体に対して５〜５００００ｐｐｍであ
り、好ましくは１０〜１００００ｐｐｍ、特に好ましく
は５０〜１０００ｐｐｍである。また、アミン化合物は
使用する有機金属錯体に対して、０．１当量〜１０００
当量、好ましくは０．５当量〜５００当量、特に好まし
くは１〜１００当量である。

【００４１】有機金属錯体とアミン化合物からなる水素
添加触媒は、予め有機金属錯体とアミン化合物を接触処
理したものを用いても可能であるが、有機金属錯体とア
ミン化合物を予め接触処理することなく、それぞれ直接
反応系に添加してもよい。開環メタセシス重合体の水素
添加反応に於いて用いられる溶媒としては開環メタセシ
ス重合体を溶解し溶媒自体が水素添加されないものであ
ればどのようなものでもよく、例えば、テトラヒドロフ
ラン、ジエチルエーテル、ジブチルエーテル、ジメトキ
シエタンなどのエーテル類、ベンゼン、トルエン、キシ
レン、エチルベンゼンなどの芳香族炭化水素、ペンタ
ン、ヘキサン、ヘプタンなどの脂肪族炭化水素、シクロ
ペンタン、シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、ジ
メチルシクロヘキサン、デカリンなどの脂肪族環状炭化
水素、メチレンジクロリド、ジクロロエタン、ジクロロ
エチレン、テトラクロロエタン、クロルベンゼン、トリ
クロルベンゼンなどのハロゲン化炭化水素等が挙げら
れ、これらは２種以上混合して使用してもよい。

【００４２】開環メタセシス重合体の水素添加反応は、
水素圧力が通常、常圧〜３０ＭＰａ、好ましくは０．５
〜２０ＭＰａ、特に好ましくは２〜１５ＭＰａの範囲で
行われ、その反応温度は、通常０〜３００℃の温度であ
り、好ましくは室温〜２５０℃、特に好ましくは５０〜
２００℃の温度範囲である。

【００４３】本発明における開環メタセシス重合体水素
添加物の製造は、開環メタセシス重合体溶液から開環メ
タセシス重合体を単離した後再度溶媒に溶解しても可能
であるが、単離することなく、上記有機金属錯体とアミ
ン化合物からなる水素添加触媒を加えることにより水素
添加反応を行う方法を採用することもできる。

【００４４】開環メタセシス重合または水素添加反応の
終了後、公知の方法により重合体に残存する開環メタセ
シス触媒または水素添加触媒を除去することができる。
例えば、濾過、吸着剤による吸着法、良溶媒による溶液
に乳酸等の有機酸と貧溶媒と水とを添加し、この系を常
温下或いは加温下に於いて抽出除去する方法、更には良
溶媒による溶液または重合体スラリーを塩基性化合物と
酸性化合物で接触処理した後、洗浄除去する方法等が挙
げられる。

【００４５】開環メタセシス重合体水素添加物溶液から
重合体水素化物の回収法は特に限定されず、公知の方法
を用いることができる。例えば、攪拌下の貧溶媒中に反
応溶液を排出し重合体水素化物を凝固させ濾過法、遠心
分離法、デカンテーション法等により回収する方法、反
応溶液中にスチームを吹き込んで重合体水素化物を析出
させるスチームストリッピング法、反応溶液から溶媒を
加熱等により直接除去する方法等が挙げられる。

【００４６】本発明における水素添加方法を用いると水
素添加率は９０％以上が容易に達成でき、９５％以上、
特に９９％以上とすることが可能であり、そうして得ら
れる環状オレフィン系開環メタセシス重合体水素添加物
は容易に酸化されることがなく、優れた開環メタセシス
重合体の水素添加物となる。

【００４７】本発明において開環メタセシス重合体の水
素添加し、開環メタセシス重合体の水素添加物とした後
に官能基を部分的に加水分解し、カルボン酸またはアル
コールに変換する。加水分解される開環メタセシス重合
体の水素添加物の官能基は、アルコキシカルボニル、ア
ルコキシカルボニルオキシ、アルコキシカルボニルアル
キル、アルコキシカルボニルオキシアルキル、アルキル
カルボニルオキシ、アルキルスルホニルオキシ、アリー
ルスルホニルオキシ、アルコキシ、アルコキシアルキ
ル、カルボン酸無水物である。この加水分解は、硫酸、
塩酸、硝酸、トルエンスルホン酸、トリフルオロ酢酸ま
たは酢酸等の酸性触媒存在下で行う酸性加水分解、水酸
化ナトリウム、水酸化カリウム、水酸化バリウム等のア
ルカリ性触媒存在下で行うアルカリ性加水分解、または
酸、アルカリに代えて酢酸ナトリウム、ヨウ化リチウム
等を用いる中性加水分解のいずれで行っても良い。ま
た、カルボン酸無水物をアルコールで分解し、カルボン
酸とエステルに変換しても良い。

【００４８】本発明における加水分解反応は、水溶媒で
も有機溶媒を使用して良いが、特に使用する有機溶媒と
しては、メタノール、エタノール等のアルコール類、ア
セトン等のケトン類、テトラヒドロフラン、ジエチルエ
ーテル、ジブチルエーテル、ジメトキシエタン、ジオキ
サン等のエーテル類、ベンゼン、トルエン、キシレン、
エチルベンゼン等の芳香族炭化水素、ペンタン、ヘキサ
ン、ヘプタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素、酢
酸等のカルボン酸、ニトロメタン等のニトロ化合物、ピ
リジン、ルチジン等のピリジン類、ジメチルホルムアミ
ド等のホルムアミド類などが挙げられ、水またはアルコ
ール類と混合しても良く、また有機溶媒のみで使用して
も良い。更に、これらの２種類以上を混合使用しても良
い。反応温度は、通常０〜３００℃の温度であり、好ま
しくは室温〜２５０℃の温度範囲である。

【００４９】また、酸性またはアルカリ性加水分解の後
にアルカリまたは酸で適宜、中和処理しても良い。加水
分解の後、開環メタセシス重合体の水素添加物溶液また
はスラリーからの重合体の回収法は特に限定されず、公
知の方法を用いることができる。例えば、溶液の場合、
攪拌下の貧溶媒中に反応溶液を排出し重合体水素化物を
沈殿させスラリーとし、濾過法、遠心分離法、デカンテ
ーション法等により回収する方法、反応溶液にスチーム
を吹き込んで重合体を析出させるスチームストリッピン
グ法、反応溶液から溶媒を加熱等により直接除去する方
法等が挙げられ、スラリーの場合、そのまま濾過法、遠
心分離法、デカンテーション法等により回収する方法等
が挙げられる。

【００５０】本発明の方法おいて得られる開環メタセシ
ス（共）重合体の水素添加物の分子量は、ＧＰＣで測定
したポリスチレン換算の数平均分子量が５００〜１０
０，０００、好ましくは１，０００〜５０，０００、更
に好ましくは３，０００〜２０，０００である。また、
Ｍｗ／Ｍｎはメタセシス重合の段階で決まり、１．０〜
２．０の狭い分子量分布の範囲に制御され、好ましくは
１．０〜１．８、更に好ましくは１．０〜１．６の範囲
である。

【００５１】本発明における開環メタセシス（共）重合
体の水素添加物は、一般式（１）で表される構成単位
［Ａ］と一般式（２）で表される構成単位［Ｂ］の構成
単位のモル比［Ａ］／［Ｂ］が５／９５〜９５／５であ
る。この構成単位のモル比がこの範囲にあることは、レ
ジスト組成を調製するのに好適であり、極性の高い感光
剤と共に、例えば、２−ヘプタノン、乳酸エチル及びプ
ロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなど
の極性溶媒に溶解し、シリコンウェハーに塗布するレジ
スト材として極めて重要である。すなわち、開環メタセ
シス重合体の水素添加物が、レジスト組成を調製する時
に、極性溶媒に対する溶解度、または溶解速度を高める
ことで均一な平滑コーティング膜を形成することができ
る。

【００５２】

【実施例】以下、実施例にて本発明を詳細に説明する
が、本発明がこれらによって限定されるものではない。
なお、実施例において得られた重合体の物性値は、以下
の方法により測定した。 平均分子量：ＧＰＣを使用し、得られた環状オレフィン
系開環メタセシス重合体、該重合体水素添加物または加
水分解した該重合体水素添加物をテトラヒドロフランに
溶解し、検出器として日本分光製８３０−ＲＩおよびＵ
ＶＩＤＥＣ−１００−ＶＩ、カラムとしてＳｈｏｄｅｘ
ｋ−８０５，８０４，８０３，８０２．５を使用し、
室温において流量１．０ｍｌ／ｍｉｎでポリスチレンス
タンダードによって分子量を較正した。 水素添加率：環状オレフィン系開環メタセシス重合体水
素添加物の粉末を重水素化クロロホルムに溶解し、９０
ＭＨｚ−ＮＭＲを用いてδ＝４．５〜６．０ｐｐｍの主
鎖の炭素−炭素間二重結合に帰属するピークが、水素添
加反応によって減少する大きさを算出した。島津ＦＴＩ
Ｒ−８１００Ｍで赤外吸収スペクトル測定し、エステル
のカルボニル伸縮振動１７６０〜１７００ｃｍ^−１とカ
ルボン酸のカルボニル伸縮振動１７４０〜１７８０ｃｍ
^−１またはヒドロキシの伸縮振動３７００〜３２００ｃ
ｍ^{− １}とから構成単位［Ａ］と［Ｂ］の組成比を算出し
た。

【００５３】実施例１ 窒素下で磁気攪件装置を備えた５００ｍｌのオートクレ
ーブに環状オレフィン系単量体として８−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．
１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン（１０．０ｇ、
３８．４ｍｍｏｌ）をテトラヒドロフラン（３００ｍ
ｌ）（以後ＴＨＦと言う）に溶解し攪件を行った。これ
に開環メタセシス重合触蝶としてＭｏ（Ｎ−２，６−Ｃ
_６Ｈ_３Ｐｒ^ｉ _２）（ＣＨＣＭｅ_３）（０Ｂｕ^ｔ）_２（３
７５ｍｇ、０．７７ｍｍｏｌ）を加え室温で１時間反応
させた。その後、ブチルアルデヒド（２７８ｍｇ、３．
８５ｍｍｏｌ）を加え３０分間攪件し、反応を停止させ
た。この開環メタセシス重合体溶液にトリメチレンジア
ミン（５７０ｍｇ、７．７０ｍｍｏｌ）を加え、水素分
圧０．４９ＭＰａ、８０℃で１時間攪拌した後、メタノ
ール（２０００ｍｌ）中に加えて開環メタセシス重合体
を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空乾燥して１
０．０ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。その後、
５０００ｍｌのオートクレーブにこの開環メタセシス重
合体粉末１０．０ｇをＴＨＦ（８００ｍｌ）に溶解し
て、水素添加触媒として予め調製したジクロロテトラキ
ス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム（５．０ｍ
ｇ、０．００４ｍｍｏｌ）とトリエチルアミン（２．１
ｍｇ、０．０２０ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（８０ｍｌ）溶液
を加え、水素圧８．１ＭＰａ、１６５℃で５時間水素添
加反応を行った後、温度を室温まで戻し水素ガスを放出
した。この開環メタセシス重合体水素添加物溶液をメタ
ノールに加えて開環メタセシス重合体の水素添加物を沈
殿させ、濾別分離後真空乾燥を行うことにより白色粉末
状の開環メタセシス重合体水素添加物を得た。得られた
開環メタセシス重合体水素添加物の¹Ｈ−ＮＭＲから算
出した水素添加率は主鎖のオレフィンのプロトンに帰属
するピークが認められず、その水素添加率は１００％で
あり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１３，００
０、Ｍｗ／Ｍｎは１．００であった。得られた開環メタ
セシス重合体水素添加物１０．０ｇを１０００ｍｌのフ
ラスコ中でベンゼン８００ｍｌ、トリフルオロ酢酸１．
３ｍｌに加え、室温で３０分攪拌し、メタノールに加
え、沈殿、濾過し、乾燥した。さらに、ＴＨＦに溶解さ
せ、メタノールに加え、沈殿、濾過し、真空乾燥して白
色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体
の水素添加物を得た。得られた重合体のＩＲスペクトル
から算出した構成単位［Ａ］／［Ｂ］の組成比６４／３
６であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１２，
２００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０２であった。

【００５４】実施例２ 実施例１において開環メタセシス重合触蝶としてＭｏ
（Ｎ−２，６−Ｃ₆Ｈ₃Ｐｒⁱ ₂）（ＣＨＣＭｅ₃）（０Ｂ
ｕ^t）₂（３７５ｍｇ、０．７７ｍｍｏｌ）に代えてＷ
（Ｎ−２，６−Ｃ_６Ｈ_３Ｍｅ_２）（ＣＨＣＨＣＭｅ_２）
（ＰＭｅ_３）（０Ｂｕ^ｔ）_２（４６４ｍｇ、０．７７ｍ
ｍｏｌ）を使用したこと以外は実施例１と同様にして開
環メタセシス重合及び水素添加反応を行い、白色粉末状
の開環メタセシス重合体水素添加物を得た。得られた開
環メタセシス重合体水素添加物の^１Ｈ−ＮＭＲから算出
した水素添加率は主鎖のオレフィンのプロトンに帰属す
るピークが認められず、その水素添加率は１００％であ
り、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１２，３０
０、Ｍｗ／Ｍｎは１．０２であった。得られた開環メタ
セシス重合体水素添加物１０．０ｇを１０００ｍｌのフ
ラスコ中でベンゼン８００ｍｌ、トリフルオロ酢酸１．
６ｍｌに加え、室温で４５分攪拌し、メタノールに加
え、沈殿、濾過し、乾燥した。さらに、ＴＨＦに溶解さ
せ、メタノールに加え、沈殿、濾過し、真空乾燥して白
色粉末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体
の水素添加物を得た。得られた重合体のＩＲスペクトル
から算出した構成単位［Ａ］／［Ｂ］の組成比５３／４
７であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは１１，
５００、Ｍｗ／Ｍｎは１．０４であった。

【００５５】実施例３ 実施例１において開環メタセシス重合触蝶としてＭｏ
（Ｎ−２，６−Ｃ_６Ｈ _３Ｐｒ^ｉ _２）（ＣＨＣＭｅ_３）
（０Ｂｕ^ｔ）_２（３７５ｍｇ、０．７７ｍｍｏｌ）に代
えてＷ（Ｎ−２，６−Ｃ_６Ｈ_３Ｍｅ_２）（ＣＨＣＨＣＭ
ｅ_２）（ＰＭｅ_３）（０Ｂｕ^ｔ）_２（９０ｍｇ、０．１
５ｍｍｏｌ）を使用し、１，５−ヘキサジエン（４９３
ｍｇ、６．０ｍｍｏｌ）を共存させ、重合温度を６０℃
で行った以外は実施例１と同様にして開環メタセシス重
合及び水素添加反応を行い、白色粉末状の開環メタセシ
ス重合体水素添加物を得た。得られた開環メタセシス重
合体水素添加物の^１Ｈ−ＮＭＲから算出した水素添加率
は主鎖のオレフィンのプロトンに帰属するピークが認め
られず、その水素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測
定した数平均分子量Ｍｎは９，６００、Ｍｗ／Ｍｎは
１．３３であった。得られた開環メタセシス重合体水素
添加物１０．０ｇを１０００ｍｌのフラスコ中でベンゼ
ン８００ｍｌ、トリフルオロ酢酸１．６ｍｌに加え、室
温で４５分攪拌し、メタノールに加え、沈殿、濾過し、
乾燥した。さらに、ＴＨＦに溶解させ、メタノールに加
え、沈殿、濾過し、真空乾燥して白色粉末状の部分的に
加水分解した開環メタセシス重合体の水素添加物を得
た。得られた重合体のＩＲスペクトルから算出した構成
単位［Ａ］／［Ｂ］の組成比５１／４９であり、ＧＰＣ
で測定した数平均分子量Ｍｎは８，６５０、Ｍｗ／Ｍｎ
は１．３０であった。

【００５６】実施例４ 実施例３において環状オレフィン系単量体として８−te
rt−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１
^2,5．１^7,10］−３−ドデセン（１０．０ｇ、３８．４
ｍｍｏｌ）に代えて８−tert−ブトキシカルボニルテト
ラシクロ［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセ
ン（６．０ｇ、２３．０ｍｍｏｌ）とテトラシクロ
［４．４．０．１^2,5．１^7,10］−８−ドデセン−３，
４−ジカルボン酸無水物（３．５ｇ、１５．４ｍｍｏ
ｌ）を使用したこと以外は実施例３と同様にして開環メ
タセシス重合及び水素添加反応を行い、白色粉末状の開
環メタセシス重合体水素添加物を得た。得られた開環メ
タセシス重合体水素添加物の¹Ｈ−ＮＭＲから算出した
水素添加率は主鎖のオレフィンのプロトンに帰属するピ
ークが認められず、その水素添加率は１００％であり、
ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは９，３００、Ｍｗ
／Ｍｎは１．３９であった。得られた開環メタセシス重
合体水素添加物９．５ｇを１０００ｍｌのフラスコ中で
アセトン８００ｍｌ、水５０ｍｌに加え、還流下で４時
間攪拌し、メタノールに加え、沈殿、濾過し、乾燥し
た。さらに、ＴＨＦに溶解させ、メタノールに加え、沈
殿、濾過し、真空乾燥して白色粉末状の部分的に加水分
解した開環メタセシス重合体の水素添加物を得た。得ら
れた重合体のＩＲスペクトルから算出した構成単位
［Ａ］／［Ｂ］の組成比５８／４２であり、ＧＰＣで測
定した数平均分子量Ｍｎは９，４５０、Ｍｗ／Ｍｎは
１．３８であった。

【００５７】実施例５ 実施例４において環状オレフィン系単量体として８−te
rt−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．１
^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン（６．０ｇ、２
３．０ｍｍｏｌ）に代えて８−ｔｅｒｔ−ブトキシカル
ボニルオキシテトラシクロ［４．４．０．１^２，５．１
^７，１０］−３−ドデセン（６．４ｇ、２３．１ｍｍｏ
ｌ）を使用したこと以外は実施例４と同様にして開環メ
タセシス重合及び水素添加反応を行い、白色粉末状の開
環メタセシス重合体水素添加物を得た。得られた開環メ
タセシス重合体水素添加物の^１Ｈ−ＮＭＲから算出した
水素添加率は主鎖のオレフィンのプロトンに帰属するピ
ークが認められず、その水素添加率は１００％であり、
ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは９，５００、Ｍｗ
／Ｍｎは１．３０であった。得られた開環メタセシス重
合体水素添加物９．７ｇを実施例４と同様にして白色粉
末状の部分的に加水分解した開環メタセシス重合体の水
素添加物を得た。得られた重合体のＩＲスペクトルから
算出した構成単位［Ａ］／［Ｂ］の組成比５０／５０で
あり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは９，５４
０、Ｍｗ／Ｍｎは１．３５であった。

【００５８】実施例６ 実施例４において環状オレフィン系単量体として８−ｔ
ｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．
０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン（６．０
ｇ、２３．０ｍｍｏｌ）に代えて８−（テトラヒドロピ
ラン−２−イル）オキシカルボニルテトラシクロ［４．
４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン（６．
６ｇ、２３．０ｍｍｏｌ）を使用したこと以外は実施例
４と同様にして開環メタセシス重合及び水素添加反応を
行い、白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物を
得た。得られた開環メタセシス重合体水素添加物の^１Ｈ
−ＮＭＲから算出した水素添加率は主鎖のオレフィンの
プロトンに帰属するピークが認められず、その水素添加
率は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍ
ｎは１０，０００、Ｍｗ／Ｍｎは１．３７であった。得
られた開環メタセシス重合体水素添加物１０．０ｇを実
施例４と同様にして白色粉末状の部分的に加水分解した
開環メタセシス重合体の水素添加物を得た。得られた重
合体のＩＲスペクトルから算出した構成単位［Ａ］／
［Ｂ］の組成比５９／４１であり、ＧＰＣで測定した数
平均分子量Ｍｎは１０，４４０、Ｍｗ／Ｍｎは１．４０
であった。

【００５９】実施例７ 実施例４において環状オレフィン系単量体として８−ｔ
ｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．
０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン（６．０
ｇ、２３．０ｍｍｏｌ）に代えて８−（テトラヒドロピ
ラン−２−イル）オキシカルボニルオキシテトラシクロ
［４．４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン
（６．９ｇ、２３．０ｍｍｏｌ）を使用したこと以外は
実施例４と同様にして開環メタセシス重合及び水素添加
反応を行い、白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添
加物を得た。得られた開環メタセシス重合体水素添加物
の^１Ｈ−ＮＭＲから算出した水素添加率は主鎖のオレフ
ィンのプロトンに帰属するピークが認められず、その水
素添加率は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分
子量Ｍｎは１０，５００、Ｍｗ／Ｍｎは１．３０であっ
た。得られた開環メタセシス重合体水素添加物１０．０
ｇを実施例４と同様にして白色粉末状の部分的に加水分
解した開環メタセシス重合体の水素添加物を得た。得ら
れた重合体のＩＲスペクトルから算出した構成単位
［Ａ］／［Ｂ］の組成比４９／５１であり、ＧＰＣで測
定した数平均分子量Ｍｎは１０，３００、Ｍｗ／Ｍｎは
１．３６であった。

【００６０】実施例８ 実施例３において環状オレフィン系単量体として８−ｔ
ｅｒｔ−ブトキシカルボニルテトラシクロ［４．４．
０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン（１０．０
ｇ、３８．４ｍｍｏｌ）に代えて８−ｔｅｒｔ−ブトキ
シカルボニルメチルテトラシクロ［４．４．０．１
^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン（５．３ｇ、１
９．３ｍｍｏｌ）と８−アセトキシテトラシクロ［４．
４．０．１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン（４．
２ｇ、１９．３ｍｍｏｌ）を使用したこと以外は実施例
３と同様にして開環メタセシス重合及び水素添加反応を
行い、白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物を
得た。得られた開環メタセシス重合体水素添加物の¹Ｈ
−ＮＭＲから算出した水素添加率は主鎖のオレフィンの
プロトンに帰属するピークが認められず、その水素添加
率は１００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍ
ｎは９，２００、Ｍｗ／Ｍｎは１．３２であった。得ら
れた開環メタセシス重合体水素添加物９．５ｇを１００
０ｍｌのフラスコ中でエタノール５００ｍｌ、５０％水
酸化ナトリウム２．３ｇに加え、還流下で２時間攪拌
し、メタノールに加え、沈殿物を濾過し、水洗、希塩酸
で洗浄、更に水洗、メタノールでの洗浄した後、乾燥し
た。さらに、ＴＨＦに溶解させ、メタノールに加え、沈
殿、濾過し、真空乾燥して白色粉末状の部分的に加水分
解した開環メタセシス重合体の水素添加物を得た。得ら
れた重合体のＩＲスペクトルから算出した構成単位
［Ａ］／［Ｂ］の組成比５０／５０であり、ＧＰＣで測
定した数平均分子量Ｍｎは８，６００、Ｍｗ／Ｍｎは
１．２８であった。

【００６１】実施例９ 実施例８において環状オレフィン系単量体として８−te
rt−ブトキシカルボニルメチルテトラシクロ［４．４．
０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン（５．３ｇ、１
９．３ｍｍｏｌ）に代えて８−（テトラヒドロピラン−
２−イル）オキシカルボニルメチルテトラシクロ［４．
４．０．１^2,5．１^7,10］−３−ドデセン（５．８ｇ、
１９．３ｍｍｏｌ）を使用したこと以外は実施例８と同
様にして開環メタセシス重合及び水素添加反応を行い、
白色粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物を得た。
得られた開環メタセシス重合体水素添加物の¹Ｈ−ＮＭ
Ｒから算出した水素添加率は主鎖のオレフィンのプロト
ンに帰属するピークが認められず、その水素添加率は１
００％であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量Ｍｎは
９，９００、Ｍｗ／Ｍｎは１．３５であった。得られた
開環メタセシス重合体水素添加物９．５ｇを実施例８と
同様にして白色粉末状の部分的に加水分解した開環メタ
セシス重合体の水素添加物を得た。得られた重合体のＩ
Ｒスペクトルから算出した構成単位［Ａ］／［Ｂ］の組
成比４９／５１であり、ＧＰＣで測定した数平均分子量
Ｍｎは９，５００、Ｍｗ／Ｍｎは１．３５であった。

【００６２】比較例１ 窒素下で磁気攪件装置を備えた５００ｍｌのオートクレ
ーブに環状オレフィン系単量体として８−ｔｅｒｔ−ブ
トキシカルボニルテトラシクロ［４．４．０．
１^２，５．１^７，１０］−３−ドデセン（１０．０ｇ、
３８．４ｍｍｏｌ）を１，２ジクロロエタン（３００ｍ
ｌ）に溶解し攪件を行った。これに開環メタセシス重合
触蝶として六塩化タングステンのクロロベンゼン溶液
（０．２３ｍｍｏｌ）とパラアルデヒドの１，２−ジク
ロロエタン溶液（０．１３ｍｍｏｌ）と分子量調節剤と
して１−ヘキセン（０．３８ｇ）と助触媒としてイソブ
チルアルミニウムのトルエン溶液（１．５０ｍｍｏｌ）
を加え、６０℃で２時間反応させた。この重合液を多量
のメタノール中に加え、反応を停止させ、開環メタセシ
ス重合体を析出させ、濾過、メタノール洗浄し、真空乾
燥して３．２ｇの開環メタセシス重合体粉末を得た。そ
の後、１０００ｍｌのオートクレーブにこの開環メタセ
シス重合体粉末３．２ｇをＴＨＦ（３００ｍｌ）に溶解
して、水素添加触媒として予め調製したジクロロテトラ
キス（トリフェニルホスフィン）ルテニウム（１．６ｍ
ｇ、０．００１３ｍｍｏｌ）とトリエチルアミン（０．
７ｍｇ、０．００６５ｍｍｏｌ）のＴＨＦ（２６ｍｌ）
溶液を加え、水素圧８．１ＭＰａ、１６５℃で５時間水
素添加反応を行った後、温度を室温まで戻し水素ガスを
放出した。この開環メタセシス重合体水素添加物溶液を
メタノールに加えて開環メタセシス重合体の水素添加物
を沈殿させ、濾別分離後真空乾燥を行うことにより白色
粉末状の開環メタセシス重合体水素添加物を得た。得ら
れた開環メタセシス重合体水素添加物の^１Ｈ−ＮＭＲか
ら算出した水素添加率は主鎖のオレフィンのプロトンに
帰属するピークが認められず、その水素添加率は１００
％であり、ＧＰＣで測定した重量平均分子量Ｍｗは２
４，５００、数平均分子量Ｍｎは６，９８０、Ｍｗ／Ｍ
ｎは３．５１であった。

【００６３】

【発明の効果】本発明の開環メタセシス（共）重合体の
水素添加物及びその製造方法は、耐熱性、耐熱分解性、
光透過性等に優れた紫外線や遠紫外線を用いた半導体微
細加工用フォトレジストに適した重合体であり、工業的
に極めて価値がある。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも下記一般式（１） 【化１】 （式中、Ｒ^１〜Ｒ^４のうち少なくとも一つが、炭素数２
   〜２０のアルコキシカルボニル、炭素数２〜２０のアル
   コキシカルボニルオキシ、炭素数３〜２０のアルコキシ
   カルボニルアルキル、炭素数３〜２０のアルキルカルボ
   キシカルボニル、または炭素数３〜２０のアルコキシカ
   ルボニルオキシアルキルであり、その他は水素、炭素数
   １〜２０のアルキル、ハロゲン、ハロゲン化アルキル、
   カルボン酸、ヒドロキシ、炭素数２〜２０のカルボキシ
   アルキル、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキルまたは
   ニトリルから選ばれ、ｍは０または１〜３の整数を表
   す。）で表される構造単位［Ａ］と下記一般式（２） 【化２】 （式中、Ｒ^５〜Ｒ^８のうち少なくとも一つが、カルボン
   酸、ヒドロキシ、炭素数２〜２０のカルボキシアルキル
   または炭素数１〜２０のヒドロキシアルキルであり、そ
   の他は水素、炭素数１〜２０のアルキル、ハロゲン、ハ
   ロゲン化アルキル、またはニトリルから選ばれ、ｎは０
   または１〜３の整数を表す。）で表される構造単位
   ［Ｂ］から構成され、その構成モル比［Ａ］／［Ｂ］が
   ５／９５〜９５／５であり、かつ重量平均分子量Ｍｗと
   数平均分子量Ｍｎとの比（Ｍｗ／Ｍｎ）が１．０〜２．
   ０であることを特徴とする開環メタセシス（共）重合体
   の水素添加物。
2. 【請求項２】 一般式（２）で表されるアルコキシカル
   ボニルまたはアルコキシカルボニルアルキルのアルコキ
   シカルボニル基が、ｔｅｒｔ−ブトキシカルボニルまた
   はテトラヒドロピラン−２−イルオキシカルボニルであ
   る請求項１記載の開環メタセシス（共）重合体の水素添
   加物。
3. 【請求項３】 一般式（２）で表されるアルコキシカル
   ボニルオキシまたはアルコキシカルボニルオキシアルキ
   ルのアルコキシカルボニルオキシ基が、ｔｅｒｔ−ブト
   キシカルボニルオキシまたはテトラヒドロピラン−２−
   イルオキシカルボニルオキシである請求項１記載の開環
   メタセシス（共）重合体の水素添加物。
4. 【請求項４】 ＧＰＣで測定したポリスチレン換算の数
   平均分子量が、５００〜１００，０００である請求項１
   記載の開環メタセシス（共）重合体の水素添加物。
5. 【請求項５】 一般式（３） 【化３】 （式中、Ｒ^１〜Ｒ^４のうち少なくとも一つが、炭素数２
   〜２０のアルコキシカルボニル、炭素数２〜２０のアル
   コキシカルボニルオキシ、炭素数３〜２０のアルコキシ
   カルボニルアルキル、炭素数３〜２０のアルキルカルボ
   キシルカルボニル、または炭素数３〜２０のアルコキシ
   カルボニルオキシアルキルであり、その他は水素または
   炭素数１〜２０のアルキル、ハロゲン、ハロゲン化アル
   キル、炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキシ、炭
   素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ、炭素数６〜
   ２０のアリールスルホニルオキシまたはニトリルから選
   ばれ、ｘは０または１〜３の整数を表す。）で表される
   少なくとも１種類の環状オレフィン系単量体、または一
   般式（３）と一般式（４） 【化４】 （式中、Ｒ^５〜Ｒ^８のうち少なくとも一つが、カルボン
   酸、ヒドロキシ、炭素数２〜２０のカルボキシアルキ
   ル、炭素数１〜２０のヒドロキシアルキル、炭素数１〜
   ２０のアルコキシ、または炭素数２〜２０のアルコキシ
   アルキル、炭素数２〜２０のアルキルカルボニルオキ
   シ、炭素数１〜２０のアルキルスルホニルオキシ、炭素
   数６〜２０のアリールスルホニルオキシ、またはＲ^５〜
   Ｒ^８のうちＲ^５とＲ^７から形成されるカルボン酸無水物
   であり、その他は水素または炭素数１〜２０のアルキ
   ル、ハロゲン、ハロゲン化アルキル、またはニトリルか
   ら選ばれ、ｙは０または〜３の整数を表す。）で表され
   る少なくとも２種類の環状オレフィン系単量体をリビン
   グ開環メタセシス触媒で重合し、水素添加触媒のもとに
   水素添加した後に、官能基を部分的に加水分解すること
   を特徴とする請求項１記載の開環メタセシス（共）重合
   体の水素添加物の製造方法。
6. 【請求項６】 一般式（３）及び一般式（４）で表され
   る環状オレフィン系単量体をオレフィンまたはジエンの
   存在下でリビング開環メタセシス触媒で重合することを
   特徴とする請求項５記載の開環メタセシス（共）重合体
   の水素添加物の製造方法。