JPH11129472A - インクジェットヘッド、インクエンド検出器、インクジェット記録装置及びその制御方法 - Google Patents

インクジェットヘッド、インクエンド検出器、インクジェット記録装置及びその制御方法

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JPH11129472A
JPH11129472A JP29997597A JP29997597A JPH11129472A JP H11129472 A JPH11129472 A JP H11129472A JP 29997597 A JP29997597 A JP 29997597A JP 29997597 A JP29997597 A JP 29997597A JP H11129472 A JPH11129472 A JP H11129472A
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JP
Japan
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ink
ink jet
diaphragm
recording apparatus
pressure
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JP29997597A
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Naoki Kobayashi
小林  直樹
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Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14314Structure of ink jet print heads with electrostatically actuated membrane

Landscapes

  • Ink Jet (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】インクエンドを精度良く検出し、カートリッジ
内のインクを無駄なく使用できるインクエンド検出器を
備えたインクジェット記録装置を提供する。 【解決手段】インクジェットヘッド10は、複数のノズ
ル4と、各ノズルに連通する吐出室6と、吐出室6に連
通するリザーバ8とを備えている。吐出室6内に圧力を
発生させることにより、ノズル4よりインク液滴が吐出
される。リザーバ8の一部には、室内の圧力に応じて変
形可能なダイヤフラム55が形成されている。ダイヤフ
ラム55に設けられた半導体拡散抵抗型圧力センサ54
の抵抗値の変化を検出回路203で検出し、所定値以上
の抵抗値の変化を検知したときにインクエンド報知手段
204によりユーザにインクエンドを知らせる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はインクジェット記録
装置に関し、特に、インクジェットヘッドに供給される
インクの残量を検出するインクエンド検出器に関する。
【0002】
【従来の技術】記録ヘッドにインクを供給するインクカ
ートリッジもしくはインクタンク内のインク残量を圧力
センサで検出する装置・方法が、例えば、特開昭60−
24954号公報、特開平4−77264号公報、特開
平4−20353号公報に開示されている。
【0003】これらは、記録ヘッドからインク貯留器内
のインク供給路に圧力センサを設け、圧力の減少を検出
することによりインク残量を検知するもであり、これに
より、インクの欠乏を直接検知し、インクの噴射停止を
未然に防止するもである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】図7は、インクの消費
量と記録ヘッドにかかる圧力の変化を示すグラフであ
る。なお、グラフ中(a)はアルミパックにインクを貯
留し、記録ヘッドにインクを供給するタイプのインクジ
ェットプリンタにおいて実際に圧力を測定した例を、
(b)はインク貯留部にフォーム(スポンジ)を用いた
例を示すものである。
【0005】記録ヘッドのノズルからインクがたれるこ
とを防止するために、通常記録ヘッド内には一定な負の
圧力(負圧)が保たれるようになっている。インクの消
費が進み、パック内のインクの量が少なくなってくる
と、アルミパックの復元力、フォームに対するインクの
浸透圧の増大により、急激に負圧が増大する。(以下、
これらインク貯留部側に発生し、記録ヘッドからインク
を戻す方向に働く力を背圧と呼ぶ。) 記録ヘッドからインク滴が吐出されると、吐出によって
不足した分のインクが記録ヘッドに供給される。即ち、
インク滴の吐出によって記録ヘッド内の圧力が低下する
ことによりインクが記録ヘッド内に流れ込む。インク貯
留部側に発生する背圧が記録ヘッド自体が発生する負圧
よりも大きくなると、インクを記録ヘッドに供給できな
くなる。つまり、上述の各公報に記載されたインク残量
検出装置は、背圧の大きさを検知してインクが終了(イ
ンクエンド)したことを報知するものである。
【0006】しかしながら、これらは、記録ヘッドとイ
ンク貯留器を結ぶインク供給路に圧力センサを設けてい
るため、インク貯留部側に発生する背圧が、記録ヘッド
自体が発生する負圧よりも大きくなった時点を精度良く
検知することが困難であった。このため、インク貯留部
側に発生する背圧が記録ヘッド自体が発生する負圧より
も大きくなる前に、インクエンドを検出すると、使用で
きるインクが十分に残った状態で、インクカートリッジ
が交換されることになり、インクが無駄になる。また、
インク貯留部側に発生する背圧が記録ヘッド自体が発生
する負圧よりも大きくなった後に、インクエンドが検出
されると、記録ヘッドにインクが供給されない状態、即
ち、印刷されない状態で印刷動作がしばらく続いた後
に、インクエンドが報知されるという不具合が生じる。
【0007】また、記録ヘッドとインク貯留器を結ぶイ
ンク供給路は、ゴムもしくは樹脂製のチューブで形成さ
れることが多く、このような部位に圧力センサを取り付
けるのは製造工程上手間がかかり、また装置の小型化を
阻害するおそれもある。
【0008】本発明のインクジェット記録装置は、上述
の課題を解決するものであり、インクエンドを精度良く
検出し、カートリッジ内のインクを無駄なく使用できる
インクエンド検出器を備えたインクジェット記録装置を
提供するものである。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】本発明のインクジェッ
トヘッドは、複数のノズルと、該ノズルの各々に連通す
る独立の吐出室と、該吐出室に連通する共通インク室と
を備え、前記吐出室内に圧力を発生させて前記ノズルよ
りインク液滴を吐出するインクジェット記録装置におい
て、前記共通インク室の一部に形成された、室内の圧力
に応じて変形可能なダイヤフラムと、前記ダイヤフラム
に形成された抵抗体と、前記ダイヤフラムの変形に応じ
て生じる前記抵抗体の抵抗値の変化を検出するインクエ
ンド検出手段を有することを特徴とする。
【0010】かかる構成によれば、インク供給路中最も
吐出室(ノズル)に近い位置に設けられた共通インク室
に形成されたダイヤフラムの形状の変形に応じて生じる
抵抗値の変化を検知してインクエンドを検出するため、
インク貯留部側に発生する背圧が、記録ヘッド自体が発
生する負圧よりも大きくなった時点を精度良く検知する
ことが可能である。
【0011】インク滴を吐出するために吐出室に圧力を
加えるための圧力発生手段としては、吐出室の壁面の一
部に設けられた振動板に対して所定の空隙を有して対向
する電極を有する静電アクチュエータを設け、該静電ア
クチュエータにパルス電圧を印加して得られる静電気力
によって前記振動板を変形させてインク滴を吐出させる
方式、吐出室の壁面の一部に設けられた振動板と、該振
動板に固着された圧電素子に電気パルスを印加すること
によって前記振動板を変形させてインク滴を吐出させる
方式、吐出室の内部に設けられた発熱素子に電気パルス
を印加することによって、吐出室内に発生する気化圧力
により前記ノズルからインク液滴を吐出させる方式等を
用いることができる。
【0012】上述したダイヤフラムの変形に伴って生じ
る抵抗値の変化を検出する方式は、上述した各吐出方式
の記録ヘッドに採用することができる。製造工程を容易
にする観点からすれば、インクエンド検出に用いるセン
サは、吐出に用いるアクチュエータと同等の構造・材質
を有するものを用いることが望ましい。このような観点
から言えば、抵抗値検出型のインクエンドセンサは、発
熱素子として機能する抵抗体を用いてインク滴を吐出さ
せる記録ヘッドに好適である。
【0013】ダイヤフラムの材質については、異方性エ
ッチングを用いて均一なダイヤフラムを作ることができ
るため、共通インク室をシリコン基板上に形成し、底面
にシリコン製のダイヤフラムを形成することが好まし
い。更にダイヤフラムにシリコンを用いれば、半導体拡
散抵抗型圧力センサを用いることが可能である。これに
より、センサ部分をより小型に形成することが可能であ
る。また、精度の高いインクエンドセンサを内蔵した記
録ヘッドを容易に製造することが可能である。
【0014】本発明のインクジェット制御方法は、上述
したインクジェットヘッドを備えた記録装置の制御方法
に関し、吐出室内に圧力を発生させて前記ノズルよりイ
ンク液滴を吐出する印刷工程と、ダイヤフラムの形状の
変化に応じて生じる抵抗体の抵抗値の変化を検出するイ
ンクエンド検出工程とを含み、該インクエンド検出工程
で、所定量以上の抵抗値の変化を検出したときに、イン
クエンド処理を行うことを特徴とする。インクエンド検
出は、印刷工程の前後に行ってもよいし、印刷工程中に
随時、例えば、1ライン毎、1吐出毎に行ってもよい。
【0015】また、上述のインクジェット記録装置に更
に、ノズルよりインクを吸引する回復処理手段を備えた
インクジェット記録装置に関しては、インク液滴を吐出
する印刷工程に加え、回復処理手段により、ノズルより
インクを排出する回復処理工程を適宜行うことになる
が、この場合、回復処理工程の前もしくは後に前記ダイ
ヤフラムの形状の変化を検出するインクエンド検出工程
を行うことが望ましい。これは、回復処理工程中、記録
ヘッド内の負圧が増加するため、正確にインクエンドを
検知できないためである。
【0016】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態を、発
熱素子を用いてインク滴を吐出させる記録ヘッドに適用
した例を用いて説明する。
【0017】図1は本実施形態のインクジェットヘッド
の分解斜視図であり、一部断面図で示してある。本実施
形態はインク液滴を基板の端部に設けたノズル孔か吐出
させるエッジイジェクトタイプの例を示すものである
が、基板の上面部に設けたノズル孔からインク液滴を吐
出させるフェイスイジェクトタイプでもよい。
【0018】本実施形態のインクジェットヘッド10は
次に詳述する構造を持つ3枚の基板1、2、3を重ねて
接合した積層構造となっている。
【0019】中間の第1の基板1(流路基板)は、シリ
コン基板であり、複数のノズル孔4を構成するように、
基板1の表面に一端より平行に等間隔で形成された複数
のノズル溝11と、各々のノズル溝11に連通し、圧力
発生部である吐出室6を構成することになる孔部12
と、孔部12の後部に設けられたオリフィス7を構成す
ることになるインク流入口のための細溝13と、各々の
吐出室6にインクを供給するためインク供給部であるリ
ザーバ(共通インク室)8を構成することになる凹部1
4と、凹部14の後部に設けられたフィルター51を構
成することになるフィルター溝52を有する。凹部14
の底壁には、インクエンド検出部の一部となるダイヤフ
ラム55が形成されている。なお、詳細については後述
するが、ダイヤフラム55の表面(下側の面)には、ホ
イートストンブリッジ状に配置された複数の抵抗体から
なる圧力センサ54、及びこの圧力センサ54と、基板
3上の入出力端子23bとを結ぶリード部22cが形成
されている。
【0020】第1の基板1の下面に接合される下側の第
2の基板(ヒータ基板)2にはホウ珪酸系ガラスを使用
し、接合したときに第1の基板1の各孔部12と一致す
る位置にヒータ21が列状に配置されている。各ヒータ
21はリード部22aによって端子部23aに接続され
ている。この第2の基板2の下面に第1の基板1を、上
面に第3の基板を接合することによって底壁にヒータを
備えた吐出室6が形成される。
【0021】基板1、基板2を接合したときにダイヤフ
ラム55の下側にダイヤフラムがリザーバ内の圧力に応
じて変形できるように空間が形成されるが、その空間を
形成するための凹部16が基板2上に設けられている。
また、基板1,2の接合により、基板1の下面に設けら
れたリード部22cは、基板2上に設けられたリード部
22bに接続し、ダイヤフラムに形成された圧力センサ
54は、端子部23bに接続する。
【0022】第1の基板1の上面に接合される上側の第
3の基板3は、第2の基板2と同じくホウ珪酸ガラスを
用いている。この第3の基板3の接合によって、ノズル
孔4、吐出室6、オリフィス7、リザーバ8及びフィル
ター51等のインク流路が構成される。
【0023】本実施形態においてはフィルター51は同
時にインク供給口となっていおり、接続パイプ(不図
示)が接続され、チューブ306を介してインクタンク
301(図3)に接続されている。
【0024】第1の基板1と第2の基板2は、温度30
0〜500℃、電圧500〜1000Vの印加で陽極接
合され、また同条件で第1の基板1と第3の基板3を接
合され、インクジェットヘッドが組み立てられる。
【0025】図2(a)は、図1に示した圧力センサ5
4の主要部を説明する平面図である。図2(b)は圧力
センサ54の抵抗部の断面図である。
【0026】符号61はP型拡散層であり、ボロンをシ
リコン内に熱拡散することにより抵抗体(ストレインゲ
ージ素子)61a、61b、61c、61dが、図2
(a)に示すように、ダイヤフラム55の4カ所に形成
されている。素子61a〜61dは酸化シリコン膜62
をフォトエッチングにより選択的に除去して、ボロンを
熱拡散することで形成し、その上から金、白金等の導電
性材料によりリード部63がパターン形成される。
【0027】これら各抵抗部の抵抗値は、ダイヤフラム
55が変形しないしていないときに等しくなるように形
成されている。即ち、シリコンに形成される不純物拡散
抵抗体は結晶方向によって比抵抗が異なるため、各スト
レインゲージ素子61a〜dは同一の結晶方向に沿って
形成されている。
【0028】図3は、図2に示した圧力センサの等価回
路図である。ダイヤフラム55が、リザーバ内の圧力変
化により変形すると、ストレインゲージ素子も変形し、
特にダイヤフラム55の長辺方向に沿って配置されたゲ
ージ素子61a、61bが、ゲージ素子61c、61d
に比べ大きく変形し、抵抗値の変化率も大きい。この差
を図3に示すホイートストンブリッジで検出する。即
ち、入力端子に一定電圧を加え、ダイヤフラム55の変
形により生じるゲージ素子の抵抗変化による出力電圧の
変化を検出することにより、リザーバ内の圧力変化を検
出する。
【0029】図4は上述のインクジェットヘッドユニッ
トを搭載した本発明のインクジェット記録装置の一実施
形態を示す概要図である。300は記録紙105を搬送
するプラテン、301は内部にインクを貯蔵するインク
タンクであり、インク供給チューブ306を介してイン
クジェットヘッド10にインクを供給する。302はキ
ャリッジであり、インクジェットヘッド10を記録紙1
05の搬送方向と直行する方向に移動させる。キャリッ
ジ302を移動させながら、駆動回路40により適時イ
ンクジェットヘッド10よりインク104を吐出させる
ことにより、記録紙105に任意の文字や画像を印刷す
ることができる。
【0030】符号303はポンプであり、インクジェッ
トヘッド10のインク吐出不良時の回復動作を行った
り、インクの詰め替えを行う等の場合、キャップ30
4、廃インク回収チューブ308を介してインクを吸引
し、排インク溜305に回収する機能を果たしている。
【0031】なお、本実施形態では、インクジェットヘ
ッド10のみをキャリッジ302に配設したものを示す
が、これに限定されるものでものはなく、インクタンク
はキャリッジ上に配設されてもよいし、インクタンクを
ヘッドと一体に構成したいわゆるディスポーザブルタイ
プ(インクタンクのインクが空になった時点でインクジ
ェットヘッドごと交換するタイプ)に適用してもよい。
【0032】図5は、本発明の実施形態を示す機能ブロ
ック図である。符号201はヒータ21に電気パルスを
印加し、吐出室6内に急激な圧力変動を生じさせてノズ
ル4よりインク滴を吐出させるための駆動回路、符号2
03はダイヤフラム55に設けられた歪みセンサの抵抗
値の変化を検出するための検出回路である。また、符号
202はプリンタを制御する演算回路(CPU)であ
り、符号204はインクエンドを検出したときにユーザ
にその旨を警告するためのインクエンド報知手段であ
る。この報知手段204は、例えばLEDを点灯させた
り、警告音を発生したりしてユーザにインクエンドを報
知する。また、インクエンドを検出したときに不図示の
ホストに通知するように構成しても良い。
【0033】不図示のホストから送られた印刷データ、
コマンドがCPU202によって処理されて、駆動回路
201が制御される。これにより、ヒータ21に選択的
に電気パルスが印加され、記録紙に画像が記録される。
検出回路203は、リザーバ8内の圧力の変化を適宜検
出し、所定値を越える圧力の変化が検出回路203によ
って検出されると、CPU202を介して、例えば、イ
ンクエンド報知手段204によってユーザにインクエン
ドが報知される。
【0034】図7に示したように、インクの消費が進
み、パック内のインクの量が少なくなってくると、アル
ミパックの復元力、もしくはフォームに対するインクの
浸透圧の増大により、急激に負圧(背圧)が増大する。
これに伴い、ダイヤフラム55は上方(矢印方向)に撓
む。この撓みにより、ダイヤフラム55に設けられたス
トレインゲージ素子の抵抗値が変化する。この抵抗値の
変化が検出回路203によって検出される。
【0035】図6は本発明のインクエンド検出方法の一
実施形態を説明するフローチャートである。インクジェ
ット記録装置の電源を入れるとステップS1でイニシャ
ライズが実行され、各機構のイニシャライズ、メモリの
クリア等が行われる。その後ステップS2でインクジェ
ットヘッドの回復処理が行われる。この回復処理によ
り、キャップ304を介して粘度の上昇したインクがイ
ンクジェットヘッドよりポンプ303によって吸引され
排除される。
【0036】次にステップS3でインクエンド検出処理
がなされる。即ち、ダイヤフラム55に設けられたスト
レインゲージ素子の抵抗値の変化を検出する。所定値以
上の抵抗値の変化、即ちリザーバ内の背圧が急激に上昇
し(図7のX部分)インクがヘッドに供給できなくなっ
た状態が検出されたとき、インクエンドと判断し、ステ
ップS4に進み、インクエンドを表示し、ユーザにイン
クカートリッジの交換を促す。
【0037】インクエンドが検出されなかったときはス
テップS5へ進み、非吐出時間の計時を開始する。その
後、ステップS6で不図示のホストからの印刷指令を待
ち、印刷指令があればステップS7に進む。ステップS
7では、不吐出状態の経過時間が所定時間を越えたか否
かが判断され、所定時間を越えていた場合、ステップS
8,ステップS9へ進み、回復処理とインクエンド検出
処理が再び行われる。これは待機状態が長く続くと、イ
ンクジェットヘッド内のインクの粘度が上昇し、インク
滴が吐出されにくなり印刷に不具合が起こるため、この
ような不具合を防止するために行われる。
【0038】ステップS7で不吐出状態の経過時間が所
定時間を越えていなかった場合、ステップS11に進
み、印刷処理が実行され、記録紙上に画像、文字データ
等が印刷される。また、ステップS9でインクエンドが
検出されなかった場合もステップS11に進み印刷処理
が行われる。
【0039】印刷処理が終了すると、再びステップS1
2でインクエンドが判断され、インクエンドを検出する
と、ステップS13に進み、インクエンドを表示する。
インクエンドが検出されなかった場合は、ステップS1
4に進み、計時をリセットし、再び不吐出時間の計時を
開始し、待機状態となり印刷指令(ステップS6)を待
つ。
【0040】本実施形態では、ステップS11の印刷処
理、インクエンド検出工程S12は引き続き行っている
が、1ドット、1ライン分の印刷処理ごとにインクエン
ド検出を行ってもよい。また、本実施形態では印刷処理
後、回復処理後にインクエンドを検出するようにしてい
るが、印刷処理前、回復処理前にインクエンドを検出す
るようにしてもよい。
【0041】図7に示されるインク貯留部側に発生する
背圧の他にも、吐出直後の吐出室内にも圧力が発生し、
リザーバ8内にこの圧力が伝搬するため、印刷工程中に
はカートリッジ側で発生する背圧の大きさを正確に測れ
ないおそれがある。このため、本実施形態で示したよう
に、印刷工程の前後でインクエンドの検出を行うほうが
望ましい。
【0042】また、回復処理工程中は、記録ヘッド内の
負圧が増加するため、正確にインクエンドを検知できな
いため、実施形態のように、回復処理工程の前もしくは
後に前記ダイヤフラムの形状の変化を検出することが望
ましい。
【0043】また、本実施形態では、インク滴を吐出す
るために吐出室に圧力を加えるための圧力発生手段とし
ては、吐出室の内部に設けられた発熱素子に電気パルス
を印加することによって、吐出室内に発生する気化圧力
により前記ノズルからインク液滴を吐出させる方式を採
用したインクジェットヘッドについて説明したが、本発
明はこれに限定されるものではなく、本発明のインクエ
ンド検出器は、吐出室の壁面の一部に設けられた振動板
に対して所定の空隙を有して対向する電極を有する静電
アクチュエータを設け、該静電アクチュエータにパルス
電圧を印加して得られる静電気力によって前記振動板を
変形させてインク滴を吐出させる方式、吐出室の壁面の
一部に設けられた振動板と、該振動板に固着された圧電
素子に電気パルスを印加することによって前記振動板を
変形させてインク滴を吐出させる方式等にも採用でき
る。
【0044】
【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、イン
クエンドを精度良く検出し、カートリッジ内のインクを
無駄なく使用できるインクエンド検出器を備えたインク
ジェット記録装置を提供することができる。また、これ
により、使用できるインクが十分に残った状態で、イン
クカートリッジが交換されることもなく、印刷されない
状態で印刷動作がしばらく続いた後に、インクエンドが
報知されるという不具合が生じないという効果を奏す
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態のインクジェットヘッドの
分解斜視図。
【図2】図1に示すインクジェットヘッドの圧力センサ
の主要部を示す平面図(a)及び部分断面図(b)。
【図3】図2に示す圧力センサの等価回路図。
【図4】本発明の一実施形態のインクジェットプリンタ
の斜視図。
【図5】本発明のインクジェットプリンタの一実施形態
を示す機能ブロック図である。
【図6】本発明のインクエンド検出方法の一実施形態を
示すフローチャートである。
【図7】カートリッジ内のインクの消費量に伴う記録ヘ
ッドにかかる圧力の変化を示すグラフである。
【符号の説明】
4 ノズル 5 振動板 6 吐出室 8 リザーバ 10 インクジェットヘッド 21 ヒータ 54 圧力センサ 55 ダイヤフラム 201 駆動回路 202 演算回路(CPU) 203 静電容量検出回路 204 インクエンド報知手段

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数のノズルと、該ノズルの各々に連通
    する独立の吐出室と、該吐出室に連通する共通インク室
    とを備え、前記吐出室内に圧力を発生させて前記ノズル
    よりインク液滴を吐出するインクジェットヘッドにおい
    て、 前記共通インク室の一部に形成された、室内の圧力に応
    じて変形可能なダイヤフラムと、 前記ダイヤフラムに形成された抵抗体と、 前記ダイヤフラムの変形に応じて生じる前記抵抗体の抵
    抗値の変化を検出する検出手段を有することを特徴とす
    るインクジェットヘッド。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のインクジェットヘッドに
    おいて、前記吐出室と、前記共通インク室が1枚のシリ
    コン基板上に形成されており、前記ダイヤフラムがシリ
    コン基板上に形成されていることを特徴とするインクジ
    ェットヘッド。
  3. 【請求項3】 請求項1記載のインクジェットヘッドに
    おいて、前記ダイヤフラムに半導体拡散抵抗型圧力セン
    サが形成されていることを特徴とするインクジェットヘ
    ッド。
  4. 【請求項4】 請求項1乃至請求項3記載のインクジェ
    ットヘッドにおいて、前記吐出室に圧力を加えるための
    圧力発生手段が、前記吐出室の壁面の一部に設けられた
    振動板と、該振動板に対して所定の空隙を有して対向す
    る電極とを有する静電アクチュエータであり、前記静電
    アクチュエータに、パルス電圧を印加して得られる静電
    気力によって前記振動板を変形させて、インク滴を吐出
    させることを特徴とするインクジェットヘッド。
  5. 【請求項5】 請求項1乃至請求項3記載のインクジェ
    ットヘッドにおいて、前記吐出室に圧力を加えるための
    圧力発生手段が、前記吐出室の壁面の一部に設けられた
    振動板と、該振動板に固着された圧電素子からなり、該
    圧電素子に電気パルスを印加することによって前記振動
    板を変形させて、インク滴を吐出させることを特徴とす
    るインクジェットヘッド。
  6. 【請求項6】 請求項1乃至請求項3記載のインクジェ
    ットヘッドにおいて、前記吐出室に圧力を加えるための
    圧力発生手段が、前記吐出室の内部に設けられた発熱素
    子であり、該発熱素子に電気パルスを印加することによ
    って、前記吐出室内に発生する気化圧力により前記ノズ
    ルからインク液滴を吐出させることを特徴とするインク
    ジェットヘッド。
  7. 【請求項7】 請求項1乃至6記載のインクジェットヘ
    ッドを備えたインクジェット記録装置の制御方法におい
    て、 前記吐出室内に圧力を発生させて前記ノズルよりインク
    液滴を吐出する印刷工程と、 前記印刷工程の前もしくは後に前記抵抗値の変化を検出
    するインクエンド検出工程とを含み、 該インクエンド検出工程で、所定量以上の抵抗値の変化
    を検出したときに、インクエンド処理を行うことを特徴
    とするインクジェット記録装置の制御方法。
  8. 【請求項8】 請求項7記載のインクジェット記録装置
    の制御方法において、前記吐出室内に圧力を発生させて
    前記ノズルよりインク液滴を吐出する印刷工程中に、前
    記抵抗値の変化を検出し、所定量以上の抵抗値の変化を
    検出したときに、インクエンド処理を行うことを特徴と
    するインクジェット記録装置の制御方法。
  9. 【請求項9】 請求項7記載のインクジェット記録装置
    の制御方法において、1ライン印刷毎に前記抵抗値の変
    化を検出することを特徴とするインクジェット記録装置
    の制御方法。
  10. 【請求項10】 請求項7記載のインクジェット記録装
    置の制御方法において、インク滴吐出毎に前記抵抗値の
    変化を検出することを特徴とするインクジェット記録装
    置の制御方法。
  11. 【請求項11】 請求項1乃至6記載のインクジェット
    ヘッドと、更に前記インクジェットヘッドのノズルより
    インクを吸引する回復処理手段を備えたインクジェット
    記録装置の制御方法において、 前記吐出室内に圧力を発生させて前記ノズルよりインク
    液滴を吐出する印刷工程と、 前記回復処理手段により、ノズルよりインクを排出する
    回復処理工程とを含み、前記回復処理工程の前もしくは
    後に前記抵抗値の変化を検出し、所定量以上の抵抗値の
    変化を検出したときに、インクエンド処理を行うことを
    特徴とするインクジェット記録装置の制御方法。
  12. 【請求項12】 請求項1乃至請求項6記載のインクジ
    ェットヘッドと、該インクジェットヘッドにインクを供
    給するためのインク貯留手段を備え、 該インク貯留手段は、インクの消費に伴って、前記イン
    クジェットヘッドに加わる背圧を増大させる性質を有す
    ることを特徴とするインクジェット記録装置。
  13. 【請求項13】 請求項7記載のインクジェット記録装
    置において、前記インク貯留手段がアルミパックである
    ことを特徴とするインクジェット記録装置。
  14. 【請求項14】 請求項7記載のインクジェット記録装
    置において、前記インク貯留手段がスポンジ状の部材を
    備えていることを特徴とするインクジェット記録装置。
  15. 【請求項15】 複数のノズルと、該ノズルの各々に連
    通する独立の吐出室と、該吐出室に連通する共通インク
    室とを備え、前記吐出室内に圧力を発生させて前記ノズ
    ルよりインク液滴を吐出するインクジェット記録装置の
    インクエンド検出器において、 前記共通インク室の一部に形成された、室内の圧力に応
    じて変形可能なダイヤフラムと、前記ダイヤフラムに形
    成された抵抗体とを備え、 前記ダイヤフラムの変形に応じて生じる前記抵抗体の抵
    抗値の変化に基づいてインクエンドを検出することを特
    徴とするインクエンド検出器。
  16. 【請求項16】 請求項15記載のインクエンド検出器
    において、前記吐出室と、前記共通インク室が1枚のシ
    リコン基板上に形成されており、前記ダイヤフラムがシ
    リコン基板上に形成されていることを特徴とするインク
    エンド検出器。
  17. 【請求項17】 請求項15記載のインクエンド検出器
    において、前記ダイヤフラムに半導体拡散抵抗型圧力セ
    ンサが形成されていることを特徴とするインクエンド検
    出器。
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