JPH11121590A - カセット授受装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】駆動機構部の小型化を図り、製作費及びランニ
ングコストの低減、メンテナンス性の向上が図れるカセ
ット搬送装置を提供する。 【解決手段】並列に配設されたカセット室１ａ，１ｂの
境界壁３の近傍に、それぞれのリフトロッド２３ａ，２
３ｂの端部が突出し、該各リフトロッドがそれぞれ単独
で回転可能であると共に１つの昇降ステージ２１を介し
て同時に昇降可能であり、基板カセットを載置するカセ
ット台２８ａ，２８ｂが前記各リフトロッドにそれぞれ
偏心して取付けられ、前記各カセット台上に前記基板カ
セットを載置し、前記各カセット台をそれぞれ単独で前
記リフトロッドを中心に回転させると共に前記昇降ステ
ージを介して同時に昇降させ、外部と半導体製造装置内
部との間で被処理基板を搬送する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は半導体製造装置、特
に枚葉式半導体製造装置に於けるカセット授受装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造装置はウェーハ等被処理基板
に種々の薄膜を生成し、或はエッチング等を行い、被処
理基板に多数の半導体素子を形成するものである。

【０００３】半導体製造装置には多数の被処理基板を一
度に処理するバッチ式のものと、被処理基板を１枚或は
複数枚ずつ処理する枚葉式のものがある。

【０００４】枚葉式半導体製造装置は多種少量生産等顧
客の要求に対応し得、又、製品品質の向上の点ではバッ
チ式のものより優れているが、生産性の点ではバッチ式
より劣るという欠点がある。従って、枚葉式半導体製造
装置の場合、スループットの向上は生産性を向上させる
為の重要な課題である。

【０００５】枚葉式半導体製造装置内部と外部とのウェ
ーハの搬送は、一般に並列に設けられた２つのカセット
室を介して行われ、該カセット室はそれぞれカセット授
受装置を具備している。

【０００６】以下図２に於いて、従来の枚葉式半導体製
造装置に於けるカセット授受装置を説明する。

【０００７】図中、１はカセット室であり、該カセット
室１は外形が横長の直方体形状を成している。該カセッ
ト室１の中央には前面２と直角を成す方向に境界壁３が
垂直に設けられ、内部は第１カセット室１ａと第２カセ
ット室１ｂとに左右に２分割され、該第１カセット室１
ａと第２カセット室１ｂは並列に配設されている。

【０００８】前記カセット室１の下面にはエレベータ収
納室４が連設されている。該エレベータ収納室４内部に
は駆動部５と、該駆動部５により昇降可能な横長の直方
体形状の昇降ステージ６が設けられ、該昇降ステージ６
の横方向の長さは前記第１カセット室１ａ、第２カセッ
ト室１ｂの中心間の距離より長くなっている。

【０００９】前記昇降ステージ６の下面にはそれぞれ第
１ロータリアクチュエータ７ａ、第２ロータリアクチュ
エータ７ｂが左右に取付けられ、該第１ロータリアクチ
ュエータ７ａ、第２ロータリアクチュエータ７ｂにはそ
れぞれ第１リフトロッド８ａ、第２リフトロッド８ｂの
下端が連結されている。

【００１０】該第１リフトロッド８ａ、第２リフトロッ
ド８ｂの下端部は軸受９ａ，９ｂを介して前記昇降ステ
ージ６に回転自在に支持されると共にそれぞれ軸受１０
ａ，１０ｂを介して前記第１カセット室１ａ、第２カセ
ット室１ｂの底面中央を摺動自在且回転自在に貫通し、
上端部はそれぞれ該第１カセット室１ａ、第２カセット
室１ｂ内に突出している。前記第１リフトロッド８ａ、
第２リフトロッド８ｂの前記軸受９ａ，９ｂと前記軸受
１０ａ，１０ｂの間にはそれぞれ第１べローズ１１ａ、
第２べローズ１１ｂが気密に設けられ、前記第１リフト
ロッド８ａ、第２リフトロッド８ｂを気密に収納してい
る。

【００１１】前記第１リフトロッド８ａ、第２リフトロ
ッド８ｂの上端にはそれぞれ円板状の第１カセット台１
２ａ、第２カセット台１２ｂが水平に固着され、前記第
１リフトロッド８ａ、第２リフトロッド８ｂの軸心と前
記第１カセット台１２ａ、第２カセット台１２ｂの中心
は一致している。

【００１２】而して、該第１カセット台１２ａ、第２カ
セット台１２ｂは前記第１リフトロッド８ａ、第２リフ
トロッド８ｂを介して前記第１ロータリアクチュエータ
７ａ、第２ロータリアクチュエータ７ｂの作動によりそ
れぞれ単独で回転可能であると共に前記駆動部５の作動
により前記昇降ステージ６、第１リフトロッド８ａ、第
２リフトロッド８ｂを介して同時に昇降可能となってい
る。

【００１３】前記第１カセット室１ａ、第２カセット室
１ｂの前記前面２にはウェーハカセット（図示せず）を
搬入搬出する為の第１ドア１３ａ、第２ドア１３ｂがそ
れぞれ開閉可能に設けられている。

【００１４】前記カセット室１には図示しないゲート弁
を介してウェーハ搬送ロボット（図しせず）を収納する
搬送室（図示せず）が連通している。

【００１５】外部から半導体製造装置内部へのウェーハ
の搬送はウェーハカセット（図示せず）に装填された状
態で行われ、前記第１ドア１３ａ、第２ドア１３ｂを通
して前記第１カセット台１２ａ、第２カセット台１２ｂ
上にそれぞれ前記ウェーハ（図示せず）が水平姿勢で装
填された前記ウェーハカセット（図示せず）が載置され
る。前記第１ドア１３ａ，第２ドア１３ｂを閉じ、前記
第１カセット室１ａ，第２カセット室１ｂ内を真空状態
とする。

【００１６】前記第１ロータリアクチュエータ７ａ、第
２ロータリアクチュエータ７ｂの作動により前記第１リ
フトロッド８ａ、第２リフトロッド８ｂを介して前記第
１カセット台１２ａ、第２カセット台１２ｂをそれぞれ
回転させ、前記ウェーハカセットの向きを整えると共に
前記駆動部５の作動により前記昇降ステージ６及び第１
リフトロッド８ａ、第２リフトロッド８ｂを介して前記
第１カセット台１２ａ、第２カセット台１２ｂを同時に
昇降させ、前記各ウェーハカセット（図示せず）の開口
面を前記ウェーハ搬送ロボット（図示せず）に対峙させ
ると共にウェーハの搬送レベルに位置合せする。

【００１７】前記ゲート弁（図示せず）を開き、前記ウ
ェーハ搬送ロボット（図示せず）は前記ウェーハカセッ
ト（図示せず）から前記ウェーハ（図示せず）を１枚或
は複数枚ずつ受載し、所定場所へ搬送する。

【００１８】外部への前記ウェーハカセット（図示せ
ず）の搬出は前述したのと逆の手順で行われる。

【００１９】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来のカセッ
ト授受装置では、前記カセット台１２ａ，１２ｂが前記
カセット室１ａ，１ｂの中央部に設けられ、前記カセッ
ト台１２ａ，１２ｂの中心と前記リフトロッド８ａ，８
ｂの軸心を一致させている為、該リフトロッド８ａ，８
ｂの軸心間の距離を前記各カセット台１２ａ，１２ｂの
中心間の距離より小さくすることができない。従って、
前記昇降ステージ６等の構成部品が大型となり駆動機構
も大型化する。この為、製作費が高くなると共に消費電
力も大きくなり、更に保守作業性も良くないという問題
があった。

【００２０】本発明は斯かる実情に鑑み、駆動機構部の
小型化を図り、製作費及びランニングコストの低減、メ
ンテナンス性の向上を図るものである。

【００２１】

【課題を解決するための手段】本発明は、並列に配設さ
れたカセット室の境界壁の近傍に、それぞれのリフトロ
ッドの上端部が位置し、該各リフトロッドがそれぞれ単
独で回転可能であると共に１つの昇降ステージを介して
同時に昇降可能であり、基板カセットを載置するカセッ
ト台が前記各リフトロッドにそれぞれ偏心して取付けら
れたカセット授受装置に係り、前記各カセット台上に前
記基板カセットを載置し、前記各カセット台をそれぞれ
単独で前記リフトロッドを中心に回転させると共に前記
昇降ステージを介して同時に昇降させ、外部と半導体製
造装置内部との間で被処理基板を搬送する。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、図１を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。

【００２３】尚、図１中、図２と同等のものには同符号
を付してある。

【００２４】前記カセット室１の下面にはエレベータ収
納室１８が連設されている。該エレベータ収納室１８内
部には駆動部１９と、該駆動部１９に昇降可能に設けら
れた昇降スライダ２０に横長の直方体形状の昇降ステー
ジ２１が１つ設けられている。該昇降ステージ２１下面
には横並びにそれぞれ第１ロータリアクチュエータ２２
ａ、第２ロータリアクチュエータ２２ｂが取付けられ、
該第１ロータリアクチュエータ２２ａ、第２ロータリア
クチュエータ２２ｂにはそれぞれ第１リフトロッド２３
ａ、第２リフトロッド２３ｂの下端が連結されている。

【００２５】該第１リフトロッド２３ａ、第２リフトロ
ッド２３ｂの下端部は軸受２４ａ，２４ｂを介して前記
昇降ステージ２１に回転自在に支持されると共にそれぞ
れ軸受２５ａ，２５ｂを介して前記第１カセット室１
ａ、第２カセット室１ｂの底面を摺動自在且回転自在に
貫通し、上端部はそれぞれ該第１カセット室１ａ、第２
カセット室１ｂ内の境界壁３近傍に突出している。前記
第１リフトロッド２３ａ、第２リフトロッド２３ｂの前
記軸受２４ａ，２４ｂと前記軸受２５ａ，２５ｂの間に
はそれぞれ第１べローズ２６ａ、第２べローズ２６ｂが
気密に設けられ、前記第１リフトロッド２３ａ、第２リ
フトロッド２３ｂを気密に収納している。

【００２６】前記第１リフトロッド２３ａ及び第２リフ
トロッド２３ｂの上端には水平方向に延出する第１アー
ム２７ａ、第２アーム２７ｂの基端側がそれぞれ固着さ
れ、該第１アーム２７ａ、第２アーム２７ｂの先端には
それぞれ円板状の第１カセット台２８ａ、第２カセット
台２８ｂが固着され、該第１カセット台２８ａ、第２カ
セット台２８ｂの中心はそれぞれ前記第１リフトロッド
２３ａ、第２リフトロッド２３ｂの軸心から偏心してい
る。

【００２７】而して、前記ロータリアクチュエータ２２
ａ，２２ｂにより前記リフトロッド２３ａ，２３ｂが回
転することにより、前記カセット台２８ａ，２８ｂはそ
れぞれ単独に水平位置を変えながら、該カセット台２８
ａ，２８ｂ上のウェーハカセットを所定の向きに変える
ことが可能となる。

【００２８】以下作動を説明する。

【００２９】第１ドア１３ａ、第２ドア１３ｂを開放す
ると共に前記ロータアクチュエータ２２ａ，２２ｂによ
り前記リフトロッド２３ａ，２３ｂが回転し、前記アー
ム２７ａ，２７ｂが回動する。前記カセット台２８ａ，
２８ｂはそれぞれ単独に水平位置を変えながら前記リフ
トロッド２３ａ，２３ｂを中心に前方に所定角度回転
し、所定位置に移動する。

【００３０】外部より前記ドア１３ａ，１３ｂを通して
前記第１カセット台２８ａ、第２カセット台２８ｂ上に
それぞれ前記ウェーハ（図示せず）を水平姿勢で装填し
た前記ウェーハカセット（図示せず）を載置させる。

【００３１】前記ロータアクチュエータ２２ａ，２２ｂ
により前記リフトロッド２３ａ，２３ｂが回転し、前記
アーム２７ａ，２７ｂが回動し、前記第１ドア１３ａ，
第２ドア１３ｂが閉塞する。前記カセット台２８ａ，２
８ｂはそれぞれ単独に水平位置を変えながら前記リフト
ロッド２３ａ，２３ｂを中心に後方に所要角度回転する
と共に前記ウェーハカセット（図示せず）を所定の向き
に整え、該ウェーハカセットの開口面をウェーハ搬送ロ
ボット（図示せず）に対峙させる。更に、前記カセット
台２８ａ，２８ｂは前記駆動部１９の作動により前記昇
降スライダ２０、昇降ステージ２１、リフトロッド２３
ａ，２３ｂを介して同時に昇降し、前記ウェーハ（図示
せず）の搬送レベルに位置合せする。

【００３２】ゲート弁（図示せず）を開き、ウェーハ搬
送ロボット（図示せず）は前記ウェーハカセット（図示
せず）から前記ウェーハ（図示せず）を１枚或は複数枚
ずつ受載し、所定位置へ搬送する。

【００３３】外部への前記ウェーハカセット（図示せ
ず）の搬出は前述と逆の手順で行われる。

【００３４】

【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、カセッ
ト台の中心をリフトロッドの軸心から偏心させ、各リフ
トロッドの軸心間の距離を短縮することにより、前記各
カセット台の中心間の距離に拘らず昇降ステージの横方
向の長さを短縮できる為、該昇降ステージの小型化、軽
量化が図れ、又、該昇降ステージの軽量化に伴い駆動部
の小型化を図ることが可能となる。従って、前記昇降ス
テージ等の材料費及び前記駆動部の動力費の低減が図れ
ると共にメンテナンスに費やす労力の軽減が図れる等種
々の優れた効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態を示す斜視図である。

【図２】従来例を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ カセット室 ２１ 昇降ステージ ２２ ロータアクチュエータ ２３ リフトロッド ２６ ベローズ ２７ アーム ２８ カセット台

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 並列に配設されたカセット室の境界壁の
   近傍に、それぞれのリフトロッドの上端部が位置し、該
   各リフトロッドがそれぞれ単独で回転可能であると共に
   １つの昇降ステージを介して同時に昇降可能であり、基
   板カセットを載置するカセット台が前記各リフトロッド
   にそれぞれ偏心して取付けられたことを特徴とするカセ
   ット授受装置。