JPH1112046A - セラミック基板の製造方法 - Google Patents
セラミック基板の製造方法Info
- Publication number
- JPH1112046A JPH1112046A JP9168995A JP16899597A JPH1112046A JP H1112046 A JPH1112046 A JP H1112046A JP 9168995 A JP9168995 A JP 9168995A JP 16899597 A JP16899597 A JP 16899597A JP H1112046 A JPH1112046 A JP H1112046A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ceramic
- green sheet
- ceramic green
- ceramic substrate
- green sheets
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 セラミックグリーンシートを焼成してもセラ
ミックグリーンシートの焼結収縮により発生するキズ、
フクレを抑制することができるセラミック基板の製造方
法を提供することを目的とするものである。 【解決手段】 本発明のセラミック基板の製造方法は、
炉内に配置したセラミックグリーンシートを焼成するセ
ラミック基板の製造方法において、炉内の棚板上に複数
の貫通孔を有する打抜きグリーンシートを配し、その上
に製品となるセラミックグリーンシートを配置したのち
加熱してセラミックグリーンシートを焼成することを特
徴とする。
ミックグリーンシートの焼結収縮により発生するキズ、
フクレを抑制することができるセラミック基板の製造方
法を提供することを目的とするものである。 【解決手段】 本発明のセラミック基板の製造方法は、
炉内に配置したセラミックグリーンシートを焼成するセ
ラミック基板の製造方法において、炉内の棚板上に複数
の貫通孔を有する打抜きグリーンシートを配し、その上
に製品となるセラミックグリーンシートを配置したのち
加熱してセラミックグリーンシートを焼成することを特
徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は炉内に配置したセラ
ミックグリーンシートを焼成して形成されるセラミック
基板の製造方法に関するものである。
ミックグリーンシートを焼成して形成されるセラミック
基板の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】プリント配線板等に使用されるセラミッ
ク基板は、複数枚のセラミックグリーンシートを炉内の
焼成用棚板上に配置し、上記炉を電熱ヒータやバーナー
により高温に加熱し、上記セラミックグリーンシートを
焼成して得ることができる。
ク基板は、複数枚のセラミックグリーンシートを炉内の
焼成用棚板上に配置し、上記炉を電熱ヒータやバーナー
により高温に加熱し、上記セラミックグリーンシートを
焼成して得ることができる。
【０００３】この方法でセラミックグリーンシートを焼
成すると、セラミックグリーンシートの焼結収縮に伴う
移動により、得られたセラミック基板に焼成用棚板の微
小突起によるキズが発生する。また、上記焼結収縮によ
り焼成前のセラミックグリーンシートの粒子が剥離して
０．１ｍｍ〜１．０ｍｍの脱粒物が発生し、セラミック
グリーンシートと焼成用棚板との間で移動し、セラミッ
ク基板にキズやフクレを形成する問題があった。
成すると、セラミックグリーンシートの焼結収縮に伴う
移動により、得られたセラミック基板に焼成用棚板の微
小突起によるキズが発生する。また、上記焼結収縮によ
り焼成前のセラミックグリーンシートの粒子が剥離して
０．１ｍｍ〜１．０ｍｍの脱粒物が発生し、セラミック
グリーンシートと焼成用棚板との間で移動し、セラミッ
ク基板にキズやフクレを形成する問題があった。
【０００４】そこで、セラミックグリーンシート間、及
びセラミックグリーンシートと棚板との間に敷粉または
敷粉シートを塗布して焼成する方法や、焼成用棚板の面
精度を向上する方法が行われていたが、敷粉または敷粉
シートを塗布して焼成する方法では、微小キズの抑制は
行なえるが、脱脂によるガスの発生を透過することがで
きないためにフクレが発生し、また、焼成用棚板の面精
度を向上する方法では、フクレが発生することに加え、
焼結収縮の抑制力が働いたり、熱衝撃による割れや反り
が発生していた。
びセラミックグリーンシートと棚板との間に敷粉または
敷粉シートを塗布して焼成する方法や、焼成用棚板の面
精度を向上する方法が行われていたが、敷粉または敷粉
シートを塗布して焼成する方法では、微小キズの抑制は
行なえるが、脱脂によるガスの発生を透過することがで
きないためにフクレが発生し、また、焼成用棚板の面精
度を向上する方法では、フクレが発生することに加え、
焼結収縮の抑制力が働いたり、熱衝撃による割れや反り
が発生していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な事情に鑑みてなされたものであって、その目的とする
ところは、セラミックグリーンシートを焼成してもセラ
ミックグリーンシートの焼結収縮により発生するキズ、
フクレを抑制することができるセラミック基板の製造方
法を提供することである。
な事情に鑑みてなされたものであって、その目的とする
ところは、セラミックグリーンシートを焼成してもセラ
ミックグリーンシートの焼結収縮により発生するキズ、
フクレを抑制することができるセラミック基板の製造方
法を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明のセ
ラミック基板の製造方法は、炉内に配置したセラミック
グリーンシートを焼成するセラミック基板の製造方法に
おいて、炉内の棚板上に複数の貫通孔を有する打抜きグ
リーンシートを配し、その上に製品となるセラミックグ
リーンシートを配置したのち加熱してセラミックグリー
ンシートを焼成することを特徴とする。
ラミック基板の製造方法は、炉内に配置したセラミック
グリーンシートを焼成するセラミック基板の製造方法に
おいて、炉内の棚板上に複数の貫通孔を有する打抜きグ
リーンシートを配し、その上に製品となるセラミックグ
リーンシートを配置したのち加熱してセラミックグリー
ンシートを焼成することを特徴とする。
【０００７】請求項２に係る発明のセラミック基板の製
造方法は、上記請求項１記載のセラミック基板の製造方
法において、打抜きグリーンシートに形成された複数の
貫通孔の開孔面積比率が、１５％以上、４０％以下であ
ることを特徴とする。
造方法は、上記請求項１記載のセラミック基板の製造方
法において、打抜きグリーンシートに形成された複数の
貫通孔の開孔面積比率が、１５％以上、４０％以下であ
ることを特徴とする。
【０００８】上記打抜きグリーンシートは、製品となる
セラミックグリーンシートと同じ主成分を有したセラミ
ックグリーンシートを使用することができ、焼結収縮の
際に発生するガスを透過させるための貫通孔が形成され
ている。
セラミックグリーンシートと同じ主成分を有したセラミ
ックグリーンシートを使用することができ、焼結収縮の
際に発生するガスを透過させるための貫通孔が形成され
ている。
【０００９】この貫通孔のセラミックグリーンシートの
表面積に対する開孔面積比率は、１５％以上、４０％以
下が好ましい。開孔面積比率が１５％より小さくなる
と、焼結収縮の際に発生する脱粒物を貫通孔に落下する
ことができなくなり、さらに、ガスの透過に対する抵抗
が大きくなる。また、上記開孔面積比率が４０％より大
きくなると、熱衝撃による割れや反りが発生する。
表面積に対する開孔面積比率は、１５％以上、４０％以
下が好ましい。開孔面積比率が１５％より小さくなる
と、焼結収縮の際に発生する脱粒物を貫通孔に落下する
ことができなくなり、さらに、ガスの透過に対する抵抗
が大きくなる。また、上記開孔面積比率が４０％より大
きくなると、熱衝撃による割れや反りが発生する。
【００１０】上記貫通孔の各々の面積としては、大きく
なりすぎると熱による反りが発生するため、縦横１０ｍ
ｍ以内の開口部を有するものが好ましい。
なりすぎると熱による反りが発生するため、縦横１０ｍ
ｍ以内の開口部を有するものが好ましい。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を説明す
る。
る。
【００１２】本発明のセラミック基板の製造方法で得ら
れるセラミック基板としては、例えば、アルミナ、窒化
アルミ、窒化ケイ素、窒化ボロン、フェライト、チタン
酸バリウム等のセラミック粉末が使用され、バインダー
としては、例えば、水、メチルセルロース、スターチ、
アミノ酸、フェノール樹脂、アクリル、酢酸ビニル、グ
リセリン及びグリコール等のように液状、粉末状を問わ
ず用いられ、各々を併用することもできる。これらの材
料を混合分散し、例えばドクターブレード法等でシート
状にして一定の大きさに打ち抜いてセラミックグリーン
シートが形成される。
れるセラミック基板としては、例えば、アルミナ、窒化
アルミ、窒化ケイ素、窒化ボロン、フェライト、チタン
酸バリウム等のセラミック粉末が使用され、バインダー
としては、例えば、水、メチルセルロース、スターチ、
アミノ酸、フェノール樹脂、アクリル、酢酸ビニル、グ
リセリン及びグリコール等のように液状、粉末状を問わ
ず用いられ、各々を併用することもできる。これらの材
料を混合分散し、例えばドクターブレード法等でシート
状にして一定の大きさに打ち抜いてセラミックグリーン
シートが形成される。
【００１３】図１は本発明のセラミック基板の製造方法
に使用される焼成装置の一例を示す概略図である。
に使用される焼成装置の一例を示す概略図である。
【００１４】図１に示す如く、焼成装置は、炉１内に焼
成用棚板３が備えられ、この焼成用棚板３の上にセラミ
ックグリーンシート２が配置される。上記焼成用棚板３
は、焼成するセラミックグリーンシート２を保持するも
のであり、アルミナセラミックや窒化アルミニウムセラ
ミックを主成分とした無孔板が使用される。
成用棚板３が備えられ、この焼成用棚板３の上にセラミ
ックグリーンシート２が配置される。上記焼成用棚板３
は、焼成するセラミックグリーンシート２を保持するも
のであり、アルミナセラミックや窒化アルミニウムセラ
ミックを主成分とした無孔板が使用される。
【００１５】次に上記焼成装置を用いて本発明のセラミ
ック基板の製造方法について説明する。
ック基板の製造方法について説明する。
【００１６】本発明は、炉１内に設けられた焼成用棚板
３上に打抜きグリーンシート４を配置し、さらにその上
に焼成してセラミック基板となる複数のセラミックグリ
ーンシート２を重ね合わせて配置する。
３上に打抜きグリーンシート４を配置し、さらにその上
に焼成してセラミック基板となる複数のセラミックグリ
ーンシート２を重ね合わせて配置する。
【００１７】上記打抜きグリーンシート４は、図２に示
す如く、複数の貫通孔５を有している。この貫通孔５
は、図２に示す如く、楕円状の貫通孔５ａが縦横交互に
配列され、いわゆる千鳥格子状に配されている。この楕
円状の貫通孔５ａの大きさは、縦８ｍｍ、横３ｍｍの大
きさで、開孔面積比率が１８％である。また、図３に示
す打抜きグリーンシート４は、開孔面積比率が３５％
で、縦８ｍｍ、横８ｍｍの方形の貫通孔５ｂが縦横整然
と配列されたものである。
す如く、複数の貫通孔５を有している。この貫通孔５
は、図２に示す如く、楕円状の貫通孔５ａが縦横交互に
配列され、いわゆる千鳥格子状に配されている。この楕
円状の貫通孔５ａの大きさは、縦８ｍｍ、横３ｍｍの大
きさで、開孔面積比率が１８％である。また、図３に示
す打抜きグリーンシート４は、開孔面積比率が３５％
で、縦８ｍｍ、横８ｍｍの方形の貫通孔５ｂが縦横整然
と配列されたものである。
【００１８】次に、上記図２で示された打抜きグリーン
シート４を焼成用棚板３に配置し、さらに、セラミック
グリーンシート２が重ね合わされた炉１内に、空気を強
制的に排出しながら不活性ガスを充填していく。本実施
形態では、不活性ガスとして窒素ガスを使用した。炉１
内が窒素で充填されると、炉１内に配されたヒータで炉
１内を所定の焼成温度、本発明の実施形態ではアルミナ
のセラミックグリーンシートを使用したため１５００℃
まで加熱した。すると、セラミックグリーンシート２
は、焼結収縮し、焼成前では一辺３０ｃｍの正方形であ
ったものが、一辺１０ｃｍの正方形に収縮した。
シート４を焼成用棚板３に配置し、さらに、セラミック
グリーンシート２が重ね合わされた炉１内に、空気を強
制的に排出しながら不活性ガスを充填していく。本実施
形態では、不活性ガスとして窒素ガスを使用した。炉１
内が窒素で充填されると、炉１内に配されたヒータで炉
１内を所定の焼成温度、本発明の実施形態ではアルミナ
のセラミックグリーンシートを使用したため１５００℃
まで加熱した。すると、セラミックグリーンシート２
は、焼結収縮し、焼成前では一辺３０ｃｍの正方形であ
ったものが、一辺１０ｃｍの正方形に収縮した。
【００１９】セラミックグリーンシート２の焼成が終了
すると、温度を７００℃前後まで低下させ炉１内に酸素
を流入、さらに、冷却した。得られたセラミック基板に
は、その表面にキズ、フクレがなく、設計した収縮寸法
を得ることができた。
すると、温度を７００℃前後まで低下させ炉１内に酸素
を流入、さらに、冷却した。得られたセラミック基板に
は、その表面にキズ、フクレがなく、設計した収縮寸法
を得ることができた。
【００２０】同様に、炉１内に設けられた焼成用棚板３
上に、図３に示す、開孔面積比率が３５％の打抜きグリ
ーンシート４配置し、さらにその上に焼成してセラミッ
ク基板となる複数のセラミックグリーンシート２を重ね
合わせて焼成を行なった。
上に、図３に示す、開孔面積比率が３５％の打抜きグリ
ーンシート４配置し、さらにその上に焼成してセラミッ
ク基板となる複数のセラミックグリーンシート２を重ね
合わせて焼成を行なった。
【００２１】得られたセラミック基板には、その表面に
キズ、フクレがなく、設計した収縮寸法を得ることがで
きた。
キズ、フクレがなく、設計した収縮寸法を得ることがで
きた。
【００２２】上述したように、本発明のセラミック基板
の製造方法によると、炉内の棚板上に配置された複数の
セラミックグリーンシートと焼成用棚板との間に、先の
セラミックグリーンシートと同じ材質の打抜きグリーン
シートを配置することにより、積載されたセラミックグ
リーンシートと同じように熱収縮するので、収縮する際
の抑制力を軽減することができる。
の製造方法によると、炉内の棚板上に配置された複数の
セラミックグリーンシートと焼成用棚板との間に、先の
セラミックグリーンシートと同じ材質の打抜きグリーン
シートを配置することにより、積載されたセラミックグ
リーンシートと同じように熱収縮するので、収縮する際
の抑制力を軽減することができる。
【００２３】また、焼結収縮により焼成前のセラミック
グリーンシートの粒子が剥離して脱粒物が発生しても、
打抜きグリーンシートの貫通孔より落下しセラミックグ
リーンシートと接するのを防ぐことができる。
グリーンシートの粒子が剥離して脱粒物が発生しても、
打抜きグリーンシートの貫通孔より落下しセラミックグ
リーンシートと接するのを防ぐことができる。
【００２４】
【発明の効果】本発明に係るセラミック基板の製造方法
によると、炉内に配置したセラミックグリーンシートを
焼成するセラミック基板の製造方法において、炉内の棚
板上に複数の貫通孔を有する打抜きグリーンシートを配
し、その上に製品となるセラミックグリーンシートを配
置したのち加熱焼成するので、セラミックグリーンシー
トの焼結収縮に合わせて打抜きグリーンシートも収縮す
るので抑制力がかからない。また、収縮の際にセラミッ
クグリーンシートより剥離して発生する脱粒物を上記貫
通孔より落下することができるので、キズ、フクレを抑
制してセラミックグリーンシートを焼成することができ
る。
によると、炉内に配置したセラミックグリーンシートを
焼成するセラミック基板の製造方法において、炉内の棚
板上に複数の貫通孔を有する打抜きグリーンシートを配
し、その上に製品となるセラミックグリーンシートを配
置したのち加熱焼成するので、セラミックグリーンシー
トの焼結収縮に合わせて打抜きグリーンシートも収縮す
るので抑制力がかからない。また、収縮の際にセラミッ
クグリーンシートより剥離して発生する脱粒物を上記貫
通孔より落下することができるので、キズ、フクレを抑
制してセラミックグリーンシートを焼成することができ
る。
【図１】本発明のセラミック基板の製造方法に使用され
る焼成装置の一例を示す概略図である。
る焼成装置の一例を示す概略図である。
【図２】本発明のセラミック基板の製造方法に使用され
る一実施形態の打抜きグリーンシートの斜視図である。
る一実施形態の打抜きグリーンシートの斜視図である。
【図３】本発明のセラミック基板の製造方法に使用され
る他の一実施形態の打抜きグリーンシートの斜視図であ
る。
る他の一実施形態の打抜きグリーンシートの斜視図であ
る。
１ 炉 ２ セラミックグリーンシート ３ 焼成用棚板 ４ 打抜きグリーンシート ５ 貫通孔
Claims (2)
- 【請求項１】 炉内に配置したセラミックグリーンシー
トを焼成するセラミック基板の製造方法において、炉内
の棚板上に複数の貫通孔を有する打抜きグリーンシート
を配し、その上に製品となるセラミックグリーンシート
を配置したのち加熱してセラミックグリーンシートを焼
成することを特徴とするセラミック基板の製造方法。 - 【請求項２】 上記請求項１記載のセラミック基板の製
造方法において、打抜きグリーンシートに形成された複
数の貫通孔の開孔面積比率が、１５％以上、４０％以下
であることを特徴とするセラミック基板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9168995A JPH1112046A (ja) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | セラミック基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9168995A JPH1112046A (ja) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | セラミック基板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1112046A true JPH1112046A (ja) | 1999-01-19 |
Family
ID=15878409
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9168995A Withdrawn JPH1112046A (ja) | 1997-06-25 | 1997-06-25 | セラミック基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1112046A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1184637A1 (en) * | 2000-08-28 | 2002-03-06 | Mino Yogyo Co., Ltd. | Firing setters and process for producing these setters |
-
1997
- 1997-06-25 JP JP9168995A patent/JPH1112046A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1184637A1 (en) * | 2000-08-28 | 2002-03-06 | Mino Yogyo Co., Ltd. | Firing setters and process for producing these setters |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20040705 |