JPH11118873A - 歪み特性測定装置 - Google Patents
歪み特性測定装置Info
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- JPH11118873A JPH11118873A JP9281775A JP28177597A JPH11118873A JP H11118873 A JPH11118873 A JP H11118873A JP 9281775 A JP9281775 A JP 9281775A JP 28177597 A JP28177597 A JP 28177597A JP H11118873 A JPH11118873 A JP H11118873A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 歪み特性を測定測定するときに、被測定物か
らの信号の出力電力を設定するための処理を短時間で行
うことができる歪み特性測定装置を提供する。 【解決手段】 ｎ個の周波数の信号を出力する信号源Ｓ
Ｇ１，…，ＳＧｎと、該信号源からの信号を合波する合
波器１と、合波器１の出力電力のレベルを上記各周波数
で調整すると共に、調整した信号を端子６Ａに加えるイ
コライザ２と、端子６Ｂからの出力電力の波形を調べる
スペクトラムアナライザ３と、上記理想波形と上記振幅
特性とから制御データを生成してイコライザ２に送り、
この後でスペクトラムアナライザ３からの分析波形と該
理想波形とを比較して、２つの波形の差分をイコライザ
２に送るコントローラ５とを備え、イコライザ２は、上
記制御データを受け取ると、該制御データに基づいて各
周波数の電力レベルを調整すると共に、上記差分を受け
取ると、該当する周波数の電力レベルを調整する。
らの信号の出力電力を設定するための処理を短時間で行
うことができる歪み特性測定装置を提供する。 【解決手段】 ｎ個の周波数の信号を出力する信号源Ｓ
Ｇ１，…，ＳＧｎと、該信号源からの信号を合波する合
波器１と、合波器１の出力電力のレベルを上記各周波数
で調整すると共に、調整した信号を端子６Ａに加えるイ
コライザ２と、端子６Ｂからの出力電力の波形を調べる
スペクトラムアナライザ３と、上記理想波形と上記振幅
特性とから制御データを生成してイコライザ２に送り、
この後でスペクトラムアナライザ３からの分析波形と該
理想波形とを比較して、２つの波形の差分をイコライザ
２に送るコントローラ５とを備え、イコライザ２は、上
記制御データを受け取ると、該制御データに基づいて各
周波数の電力レベルを調整すると共に、上記差分を受け
取ると、該当する周波数の電力レベルを調整する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体素子の歪
み特性を測定する歪み特性測定装置に関する。
み特性を測定する歪み特性測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】通信のデジタル化などに伴って、信号を
低歪みで増幅する増幅器が通信装置に必要となった。こ
のために、上記増幅器を構成する半導体素子に、低歪み
のものが要求される。上記半導体素子が生産されると、
上記半導体素子の歪み特性が測定される。これにより、
低歪みの半導体素子を供給することができる。歪み特性
の測定装置には、歪み特性の測定の規格に基づいて、複
数個の信号源を用いるものがあり、上記測定装置を図１
０に示す。図１０の測定装置は、信号源ＳＳ１，…，Ｓ
Ｓｎ、合波器２０１、スペクトラムアナライザ２０２、
コントローラ２０３及び端子２０４Ａ，２０４Ｂを備え
てなっている。
低歪みで増幅する増幅器が通信装置に必要となった。こ
のために、上記増幅器を構成する半導体素子に、低歪み
のものが要求される。上記半導体素子が生産されると、
上記半導体素子の歪み特性が測定される。これにより、
低歪みの半導体素子を供給することができる。歪み特性
の測定装置には、歪み特性の測定の規格に基づいて、複
数個の信号源を用いるものがあり、上記測定装置を図１
０に示す。図１０の測定装置は、信号源ＳＳ１，…，Ｓ
Ｓｎ、合波器２０１、スペクトラムアナライザ２０２、
コントローラ２０３及び端子２０４Ａ，２０４Ｂを備え
てなっている。
【０００３】上記歪み特性測定装置を用いた歪み測定の
前に、該測定の規格により、周波数ｆ１，…，ｆｎの各
ポイントで、端子２０４Ａ，２０４Ｂに取り付けられた
被測定物(ＤＵＴ;device under test)Ａが出力する信号
の出力電力を、規格内にする必要がある。このために、
上記歪み特性測定装置の信号源ＳＳ１，…，ＳＳｎは、
周波数ｆ１，…，ｆｎの信号を発振器Ｇ１，…，Ｇｎで
発振し、さらに、アッテネータＡＴＴ１，…，ＡＴＴｎ
経て、合波器２０１に加える。合波器２０１は、周波数
ｆ１，…，ｆｎの信号を受け取ると、該各信号を合波し
て端子２０４Ａに送る。端子２０４Ａ，２０４Ｂには、
被測定物Ａが接続されているので、合波器２０１からの
合波された信号は、被測定物Ａに加えられる。
前に、該測定の規格により、周波数ｆ１，…，ｆｎの各
ポイントで、端子２０４Ａ，２０４Ｂに取り付けられた
被測定物(ＤＵＴ;device under test)Ａが出力する信号
の出力電力を、規格内にする必要がある。このために、
上記歪み特性測定装置の信号源ＳＳ１，…，ＳＳｎは、
周波数ｆ１，…，ｆｎの信号を発振器Ｇ１，…，Ｇｎで
発振し、さらに、アッテネータＡＴＴ１，…，ＡＴＴｎ
経て、合波器２０１に加える。合波器２０１は、周波数
ｆ１，…，ｆｎの信号を受け取ると、該各信号を合波し
て端子２０４Ａに送る。端子２０４Ａ，２０４Ｂには、
被測定物Ａが接続されているので、合波器２０１からの
合波された信号は、被測定物Ａに加えられる。
【０００４】被測定物Ａは、半導体素子であるので、増
幅器でもあるので、増幅の際に歪みを発生する。被測定
物Ａで増幅された信号は、スペクトラムアナライザ２０
２に加えられる。スペクトラムアナライザ２０２は、被
測定物Ａからの出力電力の波形を調べる。そして、スペ
クトラムアナライザ２０２は、上記出力電力の分析波形
をコントローラ２０３に送る。コントローラ２０３は、
スペクトラムアナライザ２０２からの分析波形に基づい
て、該分析波形の周波数ｆ１，…，ｆｎのポイントで、
電力レベルが規格内になるように信号源ＳＳ１，…，Ｓ
ＳｎのアッテネータＡＴＴ１，…，ＡＴＴｎを調整す
る。
幅器でもあるので、増幅の際に歪みを発生する。被測定
物Ａで増幅された信号は、スペクトラムアナライザ２０
２に加えられる。スペクトラムアナライザ２０２は、被
測定物Ａからの出力電力の波形を調べる。そして、スペ
クトラムアナライザ２０２は、上記出力電力の分析波形
をコントローラ２０３に送る。コントローラ２０３は、
スペクトラムアナライザ２０２からの分析波形に基づい
て、該分析波形の周波数ｆ１，…，ｆｎのポイントで、
電力レベルが規格内になるように信号源ＳＳ１，…，Ｓ
ＳｎのアッテネータＡＴＴ１，…，ＡＴＴｎを調整す
る。
【０００５】上記各電力レベルを規格内にするために、
コントローラ２０３は、図１１に示す制御手順に従っ
て、信号源ＳＳ１，…，ＳＳｎのアッテネータＡＴＴ
１，…，ＡＴＴｎを調整する。コントローラ２０３は、
信号源ＳＳ１，…，ＳＳｎの中の１つ、例えば、信号源
ＳＳ１の出力を設定する（ステップＳ２１）。これによ
り、信号源ＳＳ１は、アッテネータＡＴＴ１を調整し
て、発振器Ｇ１からの信号のレベルを指示された値にす
る。ステップＳ２１の後、コントローラ２０３は、スペ
クトラムアナライザ２０２からの出力波形である分析波
形を読み込み（ステップＳ２２）、予め記憶している理
想出力波形と比較する（ステップＳ２３）。上記理想出
力波形は、上記規格に基づいて作成されたものである。
ステップＳ２３で上記分析波形が規格内でなければ、コ
ントローラ２０３は、ステップＳ２１，２２の処理を繰
り返す。
コントローラ２０３は、図１１に示す制御手順に従っ
て、信号源ＳＳ１，…，ＳＳｎのアッテネータＡＴＴ
１，…，ＡＴＴｎを調整する。コントローラ２０３は、
信号源ＳＳ１，…，ＳＳｎの中の１つ、例えば、信号源
ＳＳ１の出力を設定する（ステップＳ２１）。これによ
り、信号源ＳＳ１は、アッテネータＡＴＴ１を調整し
て、発振器Ｇ１からの信号のレベルを指示された値にす
る。ステップＳ２１の後、コントローラ２０３は、スペ
クトラムアナライザ２０２からの出力波形である分析波
形を読み込み（ステップＳ２２）、予め記憶している理
想出力波形と比較する（ステップＳ２３）。上記理想出
力波形は、上記規格に基づいて作成されたものである。
ステップＳ２３で上記分析波形が規格内でなければ、コ
ントローラ２０３は、ステップＳ２１，２２の処理を繰
り返す。
【０００６】ステップＳ２３で、上記出力電力の波形が
規格内であると、コントローラ２０３は、信号源ＳＳ
１，…，ＳＳｎのすべての調整が終了したかどうかを調
べる（ステップＳ２４）。信号源ＳＳ１，…，ＳＳｎの
すべての調整が終了すると、コントローラ２０３は、出
力調整の処理を終了する。また、ステップＳ２４ですべ
ての調整が終了していなければ、コントローラ２０３
は、次の信号源ＳＳ２を選択し（ステップＳ２５）、処
理をステップＳ２１に戻す。こうして、上記歪み特性測
定装置は、信号源ＳＳ１，…，ＳＳｎに対する調整を行
い、周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイントで、被測定物Ａ
が出力する信号の出力電力を規格内にする。この後、上
記歪み特性測定装置は、被測定物Ａの歪み測定を開始す
る。
規格内であると、コントローラ２０３は、信号源ＳＳ
１，…，ＳＳｎのすべての調整が終了したかどうかを調
べる（ステップＳ２４）。信号源ＳＳ１，…，ＳＳｎの
すべての調整が終了すると、コントローラ２０３は、出
力調整の処理を終了する。また、ステップＳ２４ですべ
ての調整が終了していなければ、コントローラ２０３
は、次の信号源ＳＳ２を選択し（ステップＳ２５）、処
理をステップＳ２１に戻す。こうして、上記歪み特性測
定装置は、信号源ＳＳ１，…，ＳＳｎに対する調整を行
い、周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイントで、被測定物Ａ
が出力する信号の出力電力を規格内にする。この後、上
記歪み特性測定装置は、被測定物Ａの歪み測定を開始す
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術には、次のような課題がある。つまり、上記歪み
特性測定装置によれば、周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイ
ントで、被測定物Ａが出力する信号の出力電力を規格内
にするために、コントローラ２０３が信号源ＳＳ１から
信号源ＳＳｎまでの順に、図１１のステップＳ２１〜Ｓ
２３の処理を繰り返す。このために、図１２のグラフの
線３０１に示すように、被測定物Ａに入力する信号数、
つまり上記歪み特性測定装置が内蔵する信号源の数の増
加に伴って、処理時間が増え、被測定物Ａを測定するた
めに、時間を要するという課題が発生する。
来技術には、次のような課題がある。つまり、上記歪み
特性測定装置によれば、周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイ
ントで、被測定物Ａが出力する信号の出力電力を規格内
にするために、コントローラ２０３が信号源ＳＳ１から
信号源ＳＳｎまでの順に、図１１のステップＳ２１〜Ｓ
２３の処理を繰り返す。このために、図１２のグラフの
線３０１に示すように、被測定物Ａに入力する信号数、
つまり上記歪み特性測定装置が内蔵する信号源の数の増
加に伴って、処理時間が増え、被測定物Ａを測定するた
めに、時間を要するという課題が発生する。
【０００８】この発明は、上記事情に鑑みてなされたも
ので、被測定物の歪み特性を測定測定するときに、該被
測定物からの信号の出力電力を設定するための処理を短
時間で行うことができる歪み特性測定装置を提供するこ
とを目的としている。
ので、被測定物の歪み特性を測定測定するときに、該被
測定物からの信号の出力電力を設定するための処理を短
時間で行うことができる歪み特性測定装置を提供するこ
とを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項１記載の発明は、歪み測定の対象である被測
定物の入力側と出力側がそれぞれ取り付けられる第１の
端子および第２の端子と、ｎ（ｎは、任意の自然数、以
下において同じ）個の周波数の信号をそれぞれ出力する
ｎ個の信号源と、該ｎ個の信号源からの信号を合波する
合波器と、該合波器からの信号の電力レベルを前記各周
波数で調整すると共に、レベル調整をした信号を前記第
１の端子に加えるイコライザと、前記第２の端子からの
出力電力の出力波形を調べるスペクトラムアナライザ
と、予め記憶している理想波形と、前記被測定物の予め
調べた振幅特性とから、前記出力波形を該理想波形にす
るための制御データを生成して前記イコライザに送り、
この後で前記スペクトラムアナライザからの分析波形と
該理想波形とを比較して、該分析波形と該理想波形との
差分を前記イコライザに送る制御部とを備え、前記イコ
ライザは、前記制御データを受け取ると、該制御データ
に基づいて各周波数の電力レベルを調整すると共に、前
記差分を受け取ると、該当する周波数の電力レベルを調
整することを特徴としている。
に、請求項１記載の発明は、歪み測定の対象である被測
定物の入力側と出力側がそれぞれ取り付けられる第１の
端子および第２の端子と、ｎ（ｎは、任意の自然数、以
下において同じ）個の周波数の信号をそれぞれ出力する
ｎ個の信号源と、該ｎ個の信号源からの信号を合波する
合波器と、該合波器からの信号の電力レベルを前記各周
波数で調整すると共に、レベル調整をした信号を前記第
１の端子に加えるイコライザと、前記第２の端子からの
出力電力の出力波形を調べるスペクトラムアナライザ
と、予め記憶している理想波形と、前記被測定物の予め
調べた振幅特性とから、前記出力波形を該理想波形にす
るための制御データを生成して前記イコライザに送り、
この後で前記スペクトラムアナライザからの分析波形と
該理想波形とを比較して、該分析波形と該理想波形との
差分を前記イコライザに送る制御部とを備え、前記イコ
ライザは、前記制御データを受け取ると、該制御データ
に基づいて各周波数の電力レベルを調整すると共に、前
記差分を受け取ると、該当する周波数の電力レベルを調
整することを特徴としている。
【００１０】この構成によると、まず、上記第１の端子
と上記第２の端子との間に、被測定物を取り付ける。こ
の後、上記ｎ個の信号源がｎ個の周波数の信号をそれぞ
れ出力し、上記合波器が上記ｎ個の信号源からの信号を
合波して、イコライザに加える。一方、上記制御部は、
上記理想波形と上記振幅特性とから、上記出力波形を該
理想波形にするための制御データを生成し、該制御デー
タを上記イコライザに送る。上記イコライザは、上記制
御データを受け取ると、該制御データに基づいて、上記
合波器からの信号の、上記各周波数の電力レベルを調整
する。この後、上記イコライザは、レベル調整をした信
号を上記第１の端子に加える。
と上記第２の端子との間に、被測定物を取り付ける。こ
の後、上記ｎ個の信号源がｎ個の周波数の信号をそれぞ
れ出力し、上記合波器が上記ｎ個の信号源からの信号を
合波して、イコライザに加える。一方、上記制御部は、
上記理想波形と上記振幅特性とから、上記出力波形を該
理想波形にするための制御データを生成し、該制御デー
タを上記イコライザに送る。上記イコライザは、上記制
御データを受け取ると、該制御データに基づいて、上記
合波器からの信号の、上記各周波数の電力レベルを調整
する。この後、上記イコライザは、レベル調整をした信
号を上記第１の端子に加える。
【００１１】これにより、上記被測定物は、上記信号を
増幅して第２の端子に加える。上記スペクトラムアナラ
イザは、上記第２の端子からの出力電力の出力波形を調
べて、分析波形を出力する。上記制御部は、上記スペク
トラムアナライザからの分析波形と上記理想波形とを比
較して、該分析波形と該理想波形との差分を上記イコラ
イザに送る。上記イコライザは、上記差分を受け取る
と、該当する周波数の電力レベルを調整する。こうし
て、上記被測定物の歪み特性を測定するときに、上記被
測定物からの信号の出力電力を設定する。
増幅して第２の端子に加える。上記スペクトラムアナラ
イザは、上記第２の端子からの出力電力の出力波形を調
べて、分析波形を出力する。上記制御部は、上記スペク
トラムアナライザからの分析波形と上記理想波形とを比
較して、該分析波形と該理想波形との差分を上記イコラ
イザに送る。上記イコライザは、上記差分を受け取る
と、該当する周波数の電力レベルを調整する。こうし
て、上記被測定物の歪み特性を測定するときに、上記被
測定物からの信号の出力電力を設定する。
【００１２】請求項２記載の発明は、請求項１記載の歪
み特性測定装置であって、前記制御部は、前記振幅特性
を出力する読取り部と、該読取り部からの振幅特性と、
前記理想波形とから前記出力波形を該理想波形にするた
めの制御データを生成して前記イコライザに送り、この
後で前記スペクトラムアナライザからの分析波形と前記
理想波形とを比較して、該分析波形と該理想波形との差
分を前記イコライザに送るコントローラとを備えてなる
ことを特徴としている。
み特性測定装置であって、前記制御部は、前記振幅特性
を出力する読取り部と、該読取り部からの振幅特性と、
前記理想波形とから前記出力波形を該理想波形にするた
めの制御データを生成して前記イコライザに送り、この
後で前記スペクトラムアナライザからの分析波形と前記
理想波形とを比較して、該分析波形と該理想波形との差
分を前記イコライザに送るコントローラとを備えてなる
ことを特徴としている。
【００１３】また、請求項３記載の発明は、請求項２又
は３記載の歪み特性測定装置であって、前記読取り部
は、複数の被測定物の振幅特性を蓄積していることを特
徴としている。請求項４記載の発明は、請求項１、２又
は３記載の歪み特性測定装置であって、前記振幅特性
は、ネットワークアナライザを用いて測定したものであ
ることを特徴としている。
は３記載の歪み特性測定装置であって、前記読取り部
は、複数の被測定物の振幅特性を蓄積していることを特
徴としている。請求項４記載の発明は、請求項１、２又
は３記載の歪み特性測定装置であって、前記振幅特性
は、ネットワークアナライザを用いて測定したものであ
ることを特徴としている。
【００１４】請求項５記載の発明は、請求項１、２、３
又は４記載の歪み特性測定装置であって、前記イコライ
ザは、前記ｎ個の周波数の範囲を含む周波数帯域で、前
記合波器からの信号を増幅する増幅器と、前記制御デー
タを受け取ると、該制御データに基づいて各周波数の減
衰度を変えて、前記電力レベルを調整するスロープアッ
テネータとを備えてなることを特徴としている。請求項
６記載の発明は、請求項２、３、４又は５記載の歪み特
性測定装置であって、前記制御部は、前記イコライザと
前記第１の端子との間に挿入された方向性結合器と、前
記第２の端子と前記スペクトラムアナライザとの間に接
続されると共に、前記コントローラの制御により、前記
第２の端子からの出力電力又は前記方向性結合器からの
出力電力を前記スペクトラムアナライザに送る切替え器
とを備え、前記コントローラは、前記切替え器を切り替
えて、前記方向性結合器からの出力電力の波形を前記ス
ペクトラムアナライザから受け取って、前記イコライザ
の現在の特性を確認し、該現在の特性と、前記読取り部
からの振幅特性と、前記理想波形とから制御データを生
成して前記イコライザに送り、この後で前記スペクトラ
ムアナライザからの分析波形と前記理想波形とを比較し
て、該分析波形と該理想波形との差分を前記イコライザ
に送ることを特徴としている。
又は４記載の歪み特性測定装置であって、前記イコライ
ザは、前記ｎ個の周波数の範囲を含む周波数帯域で、前
記合波器からの信号を増幅する増幅器と、前記制御デー
タを受け取ると、該制御データに基づいて各周波数の減
衰度を変えて、前記電力レベルを調整するスロープアッ
テネータとを備えてなることを特徴としている。請求項
６記載の発明は、請求項２、３、４又は５記載の歪み特
性測定装置であって、前記制御部は、前記イコライザと
前記第１の端子との間に挿入された方向性結合器と、前
記第２の端子と前記スペクトラムアナライザとの間に接
続されると共に、前記コントローラの制御により、前記
第２の端子からの出力電力又は前記方向性結合器からの
出力電力を前記スペクトラムアナライザに送る切替え器
とを備え、前記コントローラは、前記切替え器を切り替
えて、前記方向性結合器からの出力電力の波形を前記ス
ペクトラムアナライザから受け取って、前記イコライザ
の現在の特性を確認し、該現在の特性と、前記読取り部
からの振幅特性と、前記理想波形とから制御データを生
成して前記イコライザに送り、この後で前記スペクトラ
ムアナライザからの分析波形と前記理想波形とを比較し
て、該分析波形と該理想波形との差分を前記イコライザ
に送ることを特徴としている。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態について説明する。 ◇第１の実施の形態 図１は、この発明の第１の実施の形態である歪み特性測
定装置の構成を概略示すブロック図、図２は、同歪み特
性測定装置のイコライザの波形データを示す波形図、図
３は、同歪み特性測定装置のスペクトラムアナライザか
らの実測出力波形を示す波形図、図４は、同歪み特性測
定装置の読取り部からの測定データを示す波形図、図５
は、同歪み特性測定装置のコントローラが記憶する理想
出力波形を示す波形図、図６は、同歪み特性測定装置の
コントローラの処理を示すフローチャート、図７は、同
歪み特性測定装置による処理時間を示すグラフである。
の実施の形態について説明する。 ◇第１の実施の形態 図１は、この発明の第１の実施の形態である歪み特性測
定装置の構成を概略示すブロック図、図２は、同歪み特
性測定装置のイコライザの波形データを示す波形図、図
３は、同歪み特性測定装置のスペクトラムアナライザか
らの実測出力波形を示す波形図、図４は、同歪み特性測
定装置の読取り部からの測定データを示す波形図、図５
は、同歪み特性測定装置のコントローラが記憶する理想
出力波形を示す波形図、図６は、同歪み特性測定装置の
コントローラの処理を示すフローチャート、図７は、同
歪み特性測定装置による処理時間を示すグラフである。
【００１６】この歪み特性測定装置は、図１に示すよう
に、信号源ＳＧ１，…，ＳＧｎ、合波器１、イコライザ
２、スペクトラムアナライザ３、読取り部４、コントロ
ーラ５及び端子６Ａ，６Ｂを備えてなっている。信号源
ＳＧ１，…，ＳＧｎは、周波数ｆ１，…，ｆｎの信号
を、同じレベルの電力でそれぞれ合波器１に出力する。
合波器１は、信号源ＳＧ１，…，ＳＧｎから周波数ｆ
１，…，ｆｎの信号をそれぞれ受け取ると、該信号を合
波して、イコライザ２に送る。
に、信号源ＳＧ１，…，ＳＧｎ、合波器１、イコライザ
２、スペクトラムアナライザ３、読取り部４、コントロ
ーラ５及び端子６Ａ，６Ｂを備えてなっている。信号源
ＳＧ１，…，ＳＧｎは、周波数ｆ１，…，ｆｎの信号
を、同じレベルの電力でそれぞれ合波器１に出力する。
合波器１は、信号源ＳＧ１，…，ＳＧｎから周波数ｆ
１，…，ｆｎの信号をそれぞれ受け取ると、該信号を合
波して、イコライザ２に送る。
【００１７】イコライザ２は、図１に示すように、増幅
器２Ａとスロープアッテネータ２Ｂとを備える。増幅器
２Ａは、周波数ｆ１，…，ｆｎまでの周波数範囲を含む
信号を増幅する広帯域増幅器である。スロープアッテネ
ータ２Ｂは、周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイントで減衰
度を可変することができるアッテネータである。イコラ
イザ２は、コントローラ５から制御データを受け取る
と、スロープアッテネータ２Ｂを制御する。これによ
り、イコライザ２は、周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイン
トで、合波器１からの信号の電力レベルを調整し、図２
に示す波形データａを生成する。イコライザ２は、この
波形データａにより、被測定物Ａに送る信号の電力レベ
ルを調整して、出力電力を波形ｂにする。また、イコラ
イザ２は、コントローラ５から差分を示すデータを受け
取ると、該差分に基づいて、スロープアッテネータ２Ｂ
を制御して、該当する周波数のポイントで、被測定物Ａ
に送る信号の電力レベルを変更する。これにより、イコ
ライザ２は、波形データａを修正する。
器２Ａとスロープアッテネータ２Ｂとを備える。増幅器
２Ａは、周波数ｆ１，…，ｆｎまでの周波数範囲を含む
信号を増幅する広帯域増幅器である。スロープアッテネ
ータ２Ｂは、周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイントで減衰
度を可変することができるアッテネータである。イコラ
イザ２は、コントローラ５から制御データを受け取る
と、スロープアッテネータ２Ｂを制御する。これによ
り、イコライザ２は、周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイン
トで、合波器１からの信号の電力レベルを調整し、図２
に示す波形データａを生成する。イコライザ２は、この
波形データａにより、被測定物Ａに送る信号の電力レベ
ルを調整して、出力電力を波形ｂにする。また、イコラ
イザ２は、コントローラ５から差分を示すデータを受け
取ると、該差分に基づいて、スロープアッテネータ２Ｂ
を制御して、該当する周波数のポイントで、被測定物Ａ
に送る信号の電力レベルを変更する。これにより、イコ
ライザ２は、波形データａを修正する。
【００１８】スペクトラムアナライザ３は、被測定物Ａ
からの出力信号を受け取ると、この信号の出力電力のス
ペクトルを分析する。これにより、スペクトラムアナラ
イザ３は、分析波形として、図３に示すような、出力電
力の実測出力波形ｃを生成する。スペクトラムアナライ
ザ３は、生成した実測出力波形ｃをコントローラ５に送
る。
からの出力信号を受け取ると、この信号の出力電力のス
ペクトルを分析する。これにより、スペクトラムアナラ
イザ３は、分析波形として、図３に示すような、出力電
力の実測出力波形ｃを生成する。スペクトラムアナライ
ザ３は、生成した実測出力波形ｃをコントローラ５に送
る。
【００１９】読取り部４は、データを記憶する記憶媒体
（図示を省略する）を内部に備え、該記憶媒体から測定
データを読み込むための装置である。測定データは、ネ
ットワークアナライザを用いて、予め作成されたもので
ある。ネットワークアナライザは、被測定物Ａに加えた
異なる周波数の信号と、該信号を加えたときに被測定物
Ａから出力される信号とを用いて、被測定物Ａの特性を
調べるものである。この実施の形態では、上記ネットワ
ークアナライザを用いて、被測定物Ａの電力利得を示す
振幅特性が、周波数ｆ１，…，ｆｎの範囲で調べられ
る。こうして得た、被測定物Ａの上記振幅特性が、図４
に示す測定データｄとして上記記録媒体に記録されてい
る。読取り部４は、各半導体素子の測定データを記録媒
体に蓄積している。読取り部４は、被測定物Ａの測定デ
ータｄを上記記録媒体から読み込むと、測定データｄを
コントローラ５に送る。
（図示を省略する）を内部に備え、該記憶媒体から測定
データを読み込むための装置である。測定データは、ネ
ットワークアナライザを用いて、予め作成されたもので
ある。ネットワークアナライザは、被測定物Ａに加えた
異なる周波数の信号と、該信号を加えたときに被測定物
Ａから出力される信号とを用いて、被測定物Ａの特性を
調べるものである。この実施の形態では、上記ネットワ
ークアナライザを用いて、被測定物Ａの電力利得を示す
振幅特性が、周波数ｆ１，…，ｆｎの範囲で調べられ
る。こうして得た、被測定物Ａの上記振幅特性が、図４
に示す測定データｄとして上記記録媒体に記録されてい
る。読取り部４は、各半導体素子の測定データを記録媒
体に蓄積している。読取り部４は、被測定物Ａの測定デ
ータｄを上記記録媒体から読み込むと、測定データｄを
コントローラ５に送る。
【００２０】コントローラ５は、ＣＰＵ(central proce
ssing unit)、該ＣＰＵの制御手順を記憶するＲＯＭ(re
ad only memory)、データを記憶するＲＡＭ(random acc
essmemory)を内部に備える。コントローラ５は、図５に
示すように、歪み特性を測定する際の規格による被測定
物Ａからの出力電力の波形、つまり理想出力波形ｅを記
憶している。
ssing unit)、該ＣＰＵの制御手順を記憶するＲＯＭ(re
ad only memory)、データを記憶するＲＡＭ(random acc
essmemory)を内部に備える。コントローラ５は、図５に
示すように、歪み特性を測定する際の規格による被測定
物Ａからの出力電力の波形、つまり理想出力波形ｅを記
憶している。
【００２１】また、コントローラ５は、理想出力波形ｅ
を用いて、図６に示す出力制御処理を行う。この処理を
開始すると、コントローラ５は、読取り部４から測定デ
ータｄを取り込む（ステップＳ１）。測定データｄを受
け取ると、コントローラ５は、予め記憶している理想出
力波形ｅと測定データｄとにより、周波数ｆ１，…，ｆ
ｎの各ポイントでの電力レベルを調べて、被測定物Ａに
必要な入力電力の波形を算出する（ステップＳ２）。ス
テップＳ２で算出された上記波形は、周波数ｆ１，…，
ｆｎの各ポイントで規格内の電力レベルを被測定物Ａか
ら出力させるために、被測定物Ａに加えなければならな
い入力電力の波形である。コントローラ５は、上記波形
の算出を終了すると、図５の理想データｆを修正したも
のである該波形の制御データをイコライザ２に送る（ス
テップＳ３）。
を用いて、図６に示す出力制御処理を行う。この処理を
開始すると、コントローラ５は、読取り部４から測定デ
ータｄを取り込む（ステップＳ１）。測定データｄを受
け取ると、コントローラ５は、予め記憶している理想出
力波形ｅと測定データｄとにより、周波数ｆ１，…，ｆ
ｎの各ポイントでの電力レベルを調べて、被測定物Ａに
必要な入力電力の波形を算出する（ステップＳ２）。ス
テップＳ２で算出された上記波形は、周波数ｆ１，…，
ｆｎの各ポイントで規格内の電力レベルを被測定物Ａか
ら出力させるために、被測定物Ａに加えなければならな
い入力電力の波形である。コントローラ５は、上記波形
の算出を終了すると、図５の理想データｆを修正したも
のである該波形の制御データをイコライザ２に送る（ス
テップＳ３）。
【００２２】この後、コントローラ５は、スペクトラム
アナライザ３から実測出力波形ｃを読み込むと（ステッ
プＳ４）、予め記憶している理想出力波形ｅと実測出力
波形ｃとを比較する（ステップＳ５）。ステップＳ５
で、周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイントで、実測出力波
形ｃの電力レベルがそれぞれ規格内に入ると、コントロ
ーラ５は、出力制御処理を終了する。
アナライザ３から実測出力波形ｃを読み込むと（ステッ
プＳ４）、予め記憶している理想出力波形ｅと実測出力
波形ｃとを比較する（ステップＳ５）。ステップＳ５
で、周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイントで、実測出力波
形ｃの電力レベルがそれぞれ規格内に入ると、コントロ
ーラ５は、出力制御処理を終了する。
【００２３】また、ステップＳ５において電力レベルが
規格外となると、コントローラ５は、規格外の周波数の
ポイントで、実測出力波形ｃの電力レベルと理想出力波
形ｅの電力レベルとの各差分をそれぞれ計算し（ステッ
プＳ６）、該各差分をイコライザ２に送る（ステップＳ
７）。コントローラ５は、周波数ｆ１，…，ｆｎのすべ
てのポイントで、実測出力波形ｃが規格内に入るまで、
ステップＳ６，７を繰り返す。コントローラ５は、この
ようにして、出力制御処理を行う。
規格外となると、コントローラ５は、規格外の周波数の
ポイントで、実測出力波形ｃの電力レベルと理想出力波
形ｅの電力レベルとの各差分をそれぞれ計算し（ステッ
プＳ６）、該各差分をイコライザ２に送る（ステップＳ
７）。コントローラ５は、周波数ｆ１，…，ｆｎのすべ
てのポイントで、実測出力波形ｃが規格内に入るまで、
ステップＳ６，７を繰り返す。コントローラ５は、この
ようにして、出力制御処理を行う。
【００２４】次に、この実施の形態の動作について説明
する。被測定物Ａである半導体素子の入力側を端子６Ａ
に取り付け、被測定物Ａの出力側を端子６Ｂに取り付け
る。歪み特性の測定を開始する前に、上記歪み特性測定
装置は、被測定物Ａの出力電力を規格内にするための処
理を行う。このために、信号源ＳＧ１，…，ＳＧｎは、
周波数がｆ１，…，ｆｎであり、かつ、出力電力が同じ
である信号を、それぞれ合波器１に送る。合波器１は、
これらの信号を合波して、イコライザ２に送る。
する。被測定物Ａである半導体素子の入力側を端子６Ａ
に取り付け、被測定物Ａの出力側を端子６Ｂに取り付け
る。歪み特性の測定を開始する前に、上記歪み特性測定
装置は、被測定物Ａの出力電力を規格内にするための処
理を行う。このために、信号源ＳＧ１，…，ＳＧｎは、
周波数がｆ１，…，ｆｎであり、かつ、出力電力が同じ
である信号を、それぞれ合波器１に送る。合波器１は、
これらの信号を合波して、イコライザ２に送る。
【００２５】一方、測定が始まると、コントローラ５
は、上記出力制御処理を開始し、上記出力制御処理のス
テップＳ１，Ｓ２により、読取り部４から取り込んだ測
定データｄと理想出力波形ｅとを用いて、制御データを
生成する。そして、コントローラ５は、ステップＳ３に
より、上記制御データをイコライザ２に送る。
は、上記出力制御処理を開始し、上記出力制御処理のス
テップＳ１，Ｓ２により、読取り部４から取り込んだ測
定データｄと理想出力波形ｅとを用いて、制御データを
生成する。そして、コントローラ５は、ステップＳ３に
より、上記制御データをイコライザ２に送る。
【００２６】イコライザ２は、コントローラ５から上記
制御データを受け取ると、スロープアッテネータ２Ｂを
制御して、周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイントで、合波
器１からの信号の電力レベルを調整し、図２の波形デー
タａを生成する。この後、イコライザ２は、波形データ
ａを用いて電力レベルを調整した信号、つまり、電力レ
ベルの波形ｂである信号を被測定物Ａに加える。被測定
物Ａは、イコライザ２からの信号を増幅して出力する。
制御データを受け取ると、スロープアッテネータ２Ｂを
制御して、周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイントで、合波
器１からの信号の電力レベルを調整し、図２の波形デー
タａを生成する。この後、イコライザ２は、波形データ
ａを用いて電力レベルを調整した信号、つまり、電力レ
ベルの波形ｂである信号を被測定物Ａに加える。被測定
物Ａは、イコライザ２からの信号を増幅して出力する。
【００２７】スペクトラムアナライザ３は、被測定物Ａ
からの出力信号を受け取ると、該信号の出力電力のスペ
クトルを分析して、図３に示すような出力電力の実測出
力波形ｃを生成する。スペクトラムアナライザ３は、生
成した実測出力波形ｃをコントローラ５に送る。コント
ローラ５は、出力制御処理のステップＳ４でスペクトラ
ムアナライザ３から実測出力波形ｃを読み込むと、ステ
ップＳ５で実測出力波形ｃと理想出力波形ｅとを比較す
る。周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイントで、実測出力波
形ｃの電力レベルがそれぞれ規格内に入ると、コントロ
ーラ５は、出力制御処理を終了する。
からの出力信号を受け取ると、該信号の出力電力のスペ
クトルを分析して、図３に示すような出力電力の実測出
力波形ｃを生成する。スペクトラムアナライザ３は、生
成した実測出力波形ｃをコントローラ５に送る。コント
ローラ５は、出力制御処理のステップＳ４でスペクトラ
ムアナライザ３から実測出力波形ｃを読み込むと、ステ
ップＳ５で実測出力波形ｃと理想出力波形ｅとを比較す
る。周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイントで、実測出力波
形ｃの電力レベルがそれぞれ規格内に入ると、コントロ
ーラ５は、出力制御処理を終了する。
【００２８】もし、電力レベルが規格外になるポイント
が発生すると、コントローラ５は、ステップＳ６，Ｓ７
により、規格外の各周波数のポイントで、実測出力波形
ｃの電力レベルと理想出力波形ｅの電力レベルとの差分
をそれぞれ計算し、該各差分をイコライザ２に送る。イ
コライザ２は、上記各差分を受け取ると、該各差分に基
づいて、スロープアッテネータ２Ｂを制御して、該当す
る周波数のポイントで被測定物Ａに送る信号の電力レベ
ルを変更する。これにより、イコライザ２は、波形デー
タａを修正する。そして、イコライザ２は、修正した波
形データａを用いて生成した、電力の波形ｂを被測定物
Ａに加える。この後、コントローラ５は、被測定物Ａと
スペクトラムアナライザ３とを経て、実測出力波形ｃを
受け取り、周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイントで、実測
出力波形ｃの電力レベルがそれぞれ規格内に入るまで、
出力制御処理のステップＳ６，Ｓ７を繰り返す。
が発生すると、コントローラ５は、ステップＳ６，Ｓ７
により、規格外の各周波数のポイントで、実測出力波形
ｃの電力レベルと理想出力波形ｅの電力レベルとの差分
をそれぞれ計算し、該各差分をイコライザ２に送る。イ
コライザ２は、上記各差分を受け取ると、該各差分に基
づいて、スロープアッテネータ２Ｂを制御して、該当す
る周波数のポイントで被測定物Ａに送る信号の電力レベ
ルを変更する。これにより、イコライザ２は、波形デー
タａを修正する。そして、イコライザ２は、修正した波
形データａを用いて生成した、電力の波形ｂを被測定物
Ａに加える。この後、コントローラ５は、被測定物Ａと
スペクトラムアナライザ３とを経て、実測出力波形ｃを
受け取り、周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイントで、実測
出力波形ｃの電力レベルがそれぞれ規格内に入るまで、
出力制御処理のステップＳ６，Ｓ７を繰り返す。
【００２９】このように、この実施の形態によれば、出
力制御処理の中で、信号源ＳＧ１，…，ＳＧｎからの出
力を順次に調整することを不要にするので、被測定物Ａ
からの信号の各周波数のポイントで、電力を規格内にす
るための処理時間を高速で行うことができる。特に、信
号源の数が多くなっても、図７のグラフの線１０１で示
すように、上記処理時間を略一定にすることができる。
また、読取り部４が各被測定物の測定データｄを蓄積し
ているので、被測定物Ａを交換する際には、新たな被測
定物の測定データを読み込めばよいので、被測定物の変
更を短時間で行うことができる。
力制御処理の中で、信号源ＳＧ１，…，ＳＧｎからの出
力を順次に調整することを不要にするので、被測定物Ａ
からの信号の各周波数のポイントで、電力を規格内にす
るための処理時間を高速で行うことができる。特に、信
号源の数が多くなっても、図７のグラフの線１０１で示
すように、上記処理時間を略一定にすることができる。
また、読取り部４が各被測定物の測定データｄを蓄積し
ているので、被測定物Ａを交換する際には、新たな被測
定物の測定データを読み込めばよいので、被測定物の変
更を短時間で行うことができる。
【００３０】◇第２の実施の形態 図８は、この発明の実施の形態２である歪み特性測定装
置の構成を概略示すブロック図、図９は、同歪み特性測
定装置のコントローラの処理を示すフローチャートであ
る。この歪み特性測定装置は、図８に示すように、信号
源ＳＧ１，…，ＳＧｎ、合波器１、イコライザ２、スペ
クトラムアナライザ３、読取り部４、端子６Ａ，６Ｂ、
方向性結合器１１、切替え器１２及びコントローラ１３
を有して構成されている。なお、図８において、図１と
おなじものについては、図１と同じ符号を付与して、そ
の説明を省略する。
置の構成を概略示すブロック図、図９は、同歪み特性測
定装置のコントローラの処理を示すフローチャートであ
る。この歪み特性測定装置は、図８に示すように、信号
源ＳＧ１，…，ＳＧｎ、合波器１、イコライザ２、スペ
クトラムアナライザ３、読取り部４、端子６Ａ，６Ｂ、
方向性結合器１１、切替え器１２及びコントローラ１３
を有して構成されている。なお、図８において、図１と
おなじものについては、図１と同じ符号を付与して、そ
の説明を省略する。
【００３１】方向性結合器１１は、イコライザ２と端子
６Ａとの間に挿入されている。方向性結合器１１は、イ
コライザ２からの信号を、端子６Ａを経て被測定物Ａに
加えると共に、該信号を分配して切替え器１２に加え
る。切替え器１２は、端子６Ｂとスペクトラムアナライ
ザ３との間に接続されている。切替え器１２は、端子１
２Ａと端子１２Ｂとを切り替えて、方向性結合器１１か
らの信号又は被測定物Ａからの信号をスペクトラムアナ
ライザ３に送る。
６Ａとの間に挿入されている。方向性結合器１１は、イ
コライザ２からの信号を、端子６Ａを経て被測定物Ａに
加えると共に、該信号を分配して切替え器１２に加え
る。切替え器１２は、端子６Ｂとスペクトラムアナライ
ザ３との間に接続されている。切替え器１２は、端子１
２Ａと端子１２Ｂとを切り替えて、方向性結合器１１か
らの信号又は被測定物Ａからの信号をスペクトラムアナ
ライザ３に送る。
【００３２】コントローラ１３は、図１のコントローラ
５と同じように、図５に示す理想出力波形ｅを記憶して
いる。コントローラ１３は、理想出力波形ｅを用いて、
図９に示す出力制御処理を行う。この処理を開始する
と、コントローラ５は、読取り部４から測定データｄを
取り込む（ステップＳ１１）。ステップＳ１１の後、コ
ントローラ１３は、切替え器１２を切り替えて、イコラ
イザ２からの信号をスペクトラムアナライザ３に送る
（ステップＳ１２）。この後、コントローラ１３は、ス
ペクトラムアナライザ３からの出力波形、つまり、イコ
ライザ２から出力される信号の、出力電力の波形を読み
込む。このときには、コントローラ１３は、制御データ
をイコライザ２に送っていないので、合波器１からの信
号の電力レベルが同じであることを利用して、イコライ
ザ２の状態を確認する（ステップＳ１３）。
５と同じように、図５に示す理想出力波形ｅを記憶して
いる。コントローラ１３は、理想出力波形ｅを用いて、
図９に示す出力制御処理を行う。この処理を開始する
と、コントローラ５は、読取り部４から測定データｄを
取り込む（ステップＳ１１）。ステップＳ１１の後、コ
ントローラ１３は、切替え器１２を切り替えて、イコラ
イザ２からの信号をスペクトラムアナライザ３に送る
（ステップＳ１２）。この後、コントローラ１３は、ス
ペクトラムアナライザ３からの出力波形、つまり、イコ
ライザ２から出力される信号の、出力電力の波形を読み
込む。このときには、コントローラ１３は、制御データ
をイコライザ２に送っていないので、合波器１からの信
号の電力レベルが同じであることを利用して、イコライ
ザ２の状態を確認する（ステップＳ１３）。
【００３３】この後、コントローラ１３は、イコライザ
２の状態に基づいて、予め記憶している理想出力波形ｅ
と、ステップＳ１で読取り部４から受け取った測定デー
タｄとにより、周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイントでの
電力レベルを調べて、被測定物Ａに必要な入力電力の波
形を算出する（ステップＳ１４）。コントローラ５は、
上記波形の算出を終了すると、該波形の制御データをイ
コライザ２に送る（ステップＳ１５）。ステップＳ１５
の後、切替え器１２がステップＳ１２で端子１２Ａを選
択しているので、コントローラ１３は、イコライザ２か
らモニタリングした信号を調べて、該信号の波形がステ
ップＳ１４で算出したものと同じになっているかどうか
を調べる（ステップＳ１６）。ステップＳ１６でモニタ
リングした波形が計算したものになっていなければ、コ
ントローラ１３は、ステップＳ１３〜Ｓ１５の処理を繰
り返す。
２の状態に基づいて、予め記憶している理想出力波形ｅ
と、ステップＳ１で読取り部４から受け取った測定デー
タｄとにより、周波数ｆ１，…，ｆｎの各ポイントでの
電力レベルを調べて、被測定物Ａに必要な入力電力の波
形を算出する（ステップＳ１４）。コントローラ５は、
上記波形の算出を終了すると、該波形の制御データをイ
コライザ２に送る（ステップＳ１５）。ステップＳ１５
の後、切替え器１２がステップＳ１２で端子１２Ａを選
択しているので、コントローラ１３は、イコライザ２か
らモニタリングした信号を調べて、該信号の波形がステ
ップＳ１４で算出したものと同じになっているかどうか
を調べる（ステップＳ１６）。ステップＳ１６でモニタ
リングした波形が計算したものになっていなければ、コ
ントローラ１３は、ステップＳ１３〜Ｓ１５の処理を繰
り返す。
【００３４】ステップＳ１６で、モニタリングした波形
が計算したものになると、コントローラ１３は、切替え
器１２を制御して、端子１２Ａを選択し、端子６Ｂをス
ペクトラムアナライザ３に接続する（ステップＳ１
７）。ステップＳ１７の接続が終了すると、コントロー
ラ１３は、図６のステップＳ４〜Ｓ７と同じ処理である
ステップＳ１８〜Ｓ２１の処理を行う。コントローラ１
３は、このようにして、出力制御処理を行う。
が計算したものになると、コントローラ１３は、切替え
器１２を制御して、端子１２Ａを選択し、端子６Ｂをス
ペクトラムアナライザ３に接続する（ステップＳ１
７）。ステップＳ１７の接続が終了すると、コントロー
ラ１３は、図６のステップＳ４〜Ｓ７と同じ処理である
ステップＳ１８〜Ｓ２１の処理を行う。コントローラ１
３は、このようにして、出力制御処理を行う。
【００３５】この構成により、コントローラ１３は、ス
テップＳ１２〜Ｓ１７の処理で、イコライザ２をモニタ
リングし、必要に応じてイコライザ２の再設定をする。
つまり、コントローラ１３は、直接、イコライザ２の出
力電力の波形を調べて、イコライザ２を設定するので、
被測定物Ａに加える信号の電力を正確に設定することが
できる。以上、この発明の第１、第２の実施の形態を図
面により詳述してきたが、具体的な構成は、上記実施の
形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱し
ない範囲の設計変更等があっても、この発明に含まれ
る。例えば、読取り部４には、測定データを蓄積した
が、被測定物を代える毎に該被測定物の測定データを入
力するようにしてもよい。
テップＳ１２〜Ｓ１７の処理で、イコライザ２をモニタ
リングし、必要に応じてイコライザ２の再設定をする。
つまり、コントローラ１３は、直接、イコライザ２の出
力電力の波形を調べて、イコライザ２を設定するので、
被測定物Ａに加える信号の電力を正確に設定することが
できる。以上、この発明の第１、第２の実施の形態を図
面により詳述してきたが、具体的な構成は、上記実施の
形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱し
ない範囲の設計変更等があっても、この発明に含まれ
る。例えば、読取り部４には、測定データを蓄積した
が、被測定物を代える毎に該被測定物の測定データを入
力するようにしてもよい。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１、２記載
の歪み特性測定装置によれば、上記イコライザを用い
て、上記合波器からの信号の、ｎ個の周波数の各ポイン
トで電力レベルを調整する。これにより、上記ｎ個の信
号源を順次に設定する従来技術に比較して、上記被測定
物からの信号の出力電力を設定するための処理を短時間
で行うことができる。
の歪み特性測定装置によれば、上記イコライザを用い
て、上記合波器からの信号の、ｎ個の周波数の各ポイン
トで電力レベルを調整する。これにより、上記ｎ個の信
号源を順次に設定する従来技術に比較して、上記被測定
物からの信号の出力電力を設定するための処理を短時間
で行うことができる。
【００３７】請求項３記載の歪み特性測定装置によれ
ば、上記読取り部が複数の被測定物の振幅特性を記憶し
ているので、被測定物の変更を簡単に行うことができ
る。請求項４記載の歪み特性測定装置によれば、上記ネ
ットワークアナライザを用いて上記振幅特性を得るの
で、正確かつ簡単に被測定物の振幅特性を得ることがで
きる。
ば、上記読取り部が複数の被測定物の振幅特性を記憶し
ているので、被測定物の変更を簡単に行うことができ
る。請求項４記載の歪み特性測定装置によれば、上記ネ
ットワークアナライザを用いて上記振幅特性を得るの
で、正確かつ簡単に被測定物の振幅特性を得ることがで
きる。
【００３８】また、請求項５記載の歪み特性測定装置に
よれば、上記スロープアッテネータを用いて電力レベル
を調整するので、上記コントローラによる制御を簡単化
することができる。請求項６記載の歪み特性測定装置に
よれば、上記コントローラが上記方向性結合器と上記切
替え器とにより、上記イコライザからの出力電力の波形
を直接モニタリングするので、上記被測定物に加える信
号の電力レベルを正確に設定することができる。
よれば、上記スロープアッテネータを用いて電力レベル
を調整するので、上記コントローラによる制御を簡単化
することができる。請求項６記載の歪み特性測定装置に
よれば、上記コントローラが上記方向性結合器と上記切
替え器とにより、上記イコライザからの出力電力の波形
を直接モニタリングするので、上記被測定物に加える信
号の電力レベルを正確に設定することができる。
【図１】この発明の実施の形態１である歪み特性測定装
置の構成を概略示すブロック図である。
置の構成を概略示すブロック図である。
【図２】同歪み特性測定装置のイコライザの波形データ
を示す波形図である。
を示す波形図である。
【図３】同歪み特性測定装置のスペクトラムアナライザ
からの実測出力波形を示す波形図である。
からの実測出力波形を示す波形図である。
【図４】同歪み特性測定装置の読取り部からの測定デー
タを示す波形図である。
タを示す波形図である。
【図５】同歪み特性測定装置のコントローラが記憶する
理想出力波形を示す波形図である。
理想出力波形を示す波形図である。
【図６】同歪み特性測定装置のコントローラの処理を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図７】同歪み特性測定装置による処理時間を示すグラ
フである。
フである。
【図８】この発明の実施の形態２である歪み特性測定装
置の構成を概略示すブロック図である。
置の構成を概略示すブロック図である。
【図９】同歪み特性測定装置のコントローラの処理を示
すフローチャートである。
すフローチャートである。
【図１０】従来の歪み特性測定装置を示すブロック図で
ある。
ある。
【図１１】同歪み特性測定装置のコントローラの処理を
示すフローチャートである。
示すフローチャートである。
【図１２】同歪み特性測定装置による処理時間を示すグ
ラフである。
ラフである。
１ 合波器 ２ イコライザ ２Ａ 増幅器 ２Ｂ スロープアッテネータ ３ スペクトラムアナライザ ４ 読取り部 ５ コントローラ ６Ａ 端子（第１の端子） ６Ｂ 端子（第２の端子） ＳＧ１，…，ＳＧｎ 信号源
Claims (6)
- 【請求項１】 歪み測定の対象である被測定物の入力側
と出力側がそれぞれ取り付けられる第１の端子および第
２の端子と、 ｎ（ｎは、任意の自然数、以下において同じ）個の周波
数の信号をそれぞれ出力するｎ個の信号源と、 該ｎ個の信号源からの信号を合波する合波器と、 該合波器からの信号の電力レベルを前記各周波数で調整
すると共に、レベル調整をした信号を前記第１の端子に
加えるイコライザと、 前記第２の端子からの出力電力の出力波形を調べるスペ
クトラムアナライザと、予め記憶している理想波形と、
前記被測定物の予め調べた振幅特性とから、前記出力波
形を該理想波形にするための制御データを生成して前記
イコライザに送り、この後で前記スペクトラムアナライ
ザからの分析波形と該理想波形とを比較して、該分析波
形と該理想波形との差分を前記イコライザに送る制御部
とを備え、前記イコライザは、前記制御データを受け取
ると、該制御データに基づいて各周波数の電力レベルを
調整すると共に、前記差分を受け取ると、該当する周波
数の電力レベルを調整することを特徴とする歪み特性測
定装置。 - 【請求項２】 前記制御部は、前記振幅特性を出力する
読取り部と、該読取り部からの振幅特性と、前記理想波
形とから前記出力波形を該理想波形にするための制御デ
ータを生成して前記イコライザに送り、この後で前記ス
ペクトラムアナライザからの分析波形と前記理想波形と
を比較して、該分析波形と該理想波形との差分を前記イ
コライザに送るコントローラとを備えてなることを特徴
とする請求項１記載の歪み特性測定装置。 - 【請求項３】 前記読取り部は、複数の被測定物の振幅
特性を蓄積していることを特徴とする請求項２又は３記
載の歪み特性測定装置。 - 【請求項４】 前記振幅特性は、ネットワークアナライ
ザを用いて測定したものであることを特徴とする請求項
１、２又は３記載の歪み特性測定装置。 - 【請求項５】 前記イコライザは、前記ｎ個の周波数の
範囲を含む周波数帯域で、前記合波器からの信号を増幅
する増幅器と、前記制御データを受け取ると、該制御デ
ータに基づいて各周波数の減衰度を変えて、前記電力レ
ベルを調整するスロープアッテネータとを備えてなるこ
とを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の歪み特性
測定装置。 - 【請求項６】 前記制御部は、前記イコライザと前記第
１の端子との間に挿入された方向性結合器と、前記第２
の端子と前記スペクトラムアナライザとの間に接続され
ると共に、前記コントローラの制御により、前記第２の
端子からの出力電力又は前記方向性結合器からの出力電
力を前記スペクトラムアナライザに送る切替え器とを備
え、 前記コントローラは、前記切替え器を切り替えて、前記
方向性結合器からの出力電力の波形を前記スペクトラム
アナライザから受け取って、前記イコライザの現在の特
性を確認し、該現在の特性と、前記読取り部からの振幅
特性と、前記理想波形とから制御データを生成して前記
イコライザに送り、この後で前記スペクトラムアナライ
ザからの分析波形と前記理想波形とを比較して、該分析
波形と該理想波形との差分を前記イコライザに送ること
を特徴とする請求項２、３、４又は５記載の歪み特性測
定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09281775A JP3077642B2 (ja) | 1997-10-15 | 1997-10-15 | 歪み特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09281775A JP3077642B2 (ja) | 1997-10-15 | 1997-10-15 | 歪み特性測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11118873A true JPH11118873A (ja) | 1999-04-30 |
| JP3077642B2 JP3077642B2 (ja) | 2000-08-14 |
Family
ID=17643813
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09281775A Expired - Fee Related JP3077642B2 (ja) | 1997-10-15 | 1997-10-15 | 歪み特性測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3077642B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT414176B (de) * | 2003-03-20 | 2006-09-15 | Seibt Kristl & Co Gmbh | Vorrichtung zum beaufschlagen eines prüflings mit einer sich periodisch ändernden prüfgrösse |
| US7683631B2 (en) | 2004-09-15 | 2010-03-23 | Advantest Corporation | Inverse characteristic measuring apparatus, distortion compensation apparatus, method, program, and recording medium |
-
1997
- 1997-10-15 JP JP09281775A patent/JP3077642B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AT414176B (de) * | 2003-03-20 | 2006-09-15 | Seibt Kristl & Co Gmbh | Vorrichtung zum beaufschlagen eines prüflings mit einer sich periodisch ändernden prüfgrösse |
| US7683631B2 (en) | 2004-09-15 | 2010-03-23 | Advantest Corporation | Inverse characteristic measuring apparatus, distortion compensation apparatus, method, program, and recording medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3077642B2 (ja) | 2000-08-14 |
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