JPH11118604A - 色判別システム及び形状認識システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ある基準色と、撮像した物体の色とが同一若し
くは近似の関係にあるか否かをカラーで正確かつ高速に
判別するシステムを提供する。 【解決手段】色をＲ、Ｇ、Ｂの各要素を次元軸とするベ
クトルとして認識し、基準色のベクトルと比較対象色の
ベクトルとの内積が、一定の閾値の範囲内か否かに基づ
いて、基準色と比較対象色とが同一若しくは近似の関係
にあるか否かを判別する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、撮像した物体の色
が基準となる色と近似するか否かを画像処理により判別
するシステム及びそのシステムを搭載して物体の形状を
認識するシステムに関し、詳しくは、撮像した画像を構
成する画素及び基準となる色を、それぞれ三次元のベク
トルで表し、ベクトル同士を比較して両者が近似するか
否かを判別することにより、色判別の高速化を図った色
判別システム及びその色判別システムを搭載した形状認
識システムに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ダイシング装置によってダイシングされ
る半導体ウェーハは、図７に示すように、保持テープＴ
を介してフレームＦに保持されており、その表面には、
所定間隔を置いて格子状に配列された複数個の直線状領
域であるストリートＳが存在し、ストリートＳによって
区画された複数の矩形領域には、回路パターンが施され
ている。そして、ストリートＳが切削されると、矩形領
域は分離されてチップとなる。

【０００３】半導体ウェーハは、全てが同一の形状、大
きさを有しているとは限らず、中には破損していたり、
割れていたりして不定形で不揃いなものも存在する。従
って、不定形で不揃いな半導体ウェーハを最適なストロ
ークで適正にダイシングするためには、切削位置のアラ
イメントを行う前に、ウェーハの形状、位置を正確に認
識することが不可欠となる。

【０００４】半導体ウェーハの形状、位置を認識するた
めの手法としては、例えば、特開平４−３６３０４７号
公報に開示されたダイシングシステムが周知である。こ
のダイシングシステムでは、例えば２５６×２５６画素
からなるＣＣＤカメラによって、先ず欠損した半導体ウ
ェーハが撮像され、その半導体ウェーハの形状と、Ｘ−
Ｙ軸においてどの位置に存在するのかを画像処理によっ
て検出し、検出されたデータに基づいて精密に切削位置
のアライメントが行われると共に切削ストロークが設定
され、適正にダイシングを行うことができるのである。

【０００５】欠損した半導体ウェーハを撮像してその形
状を認識する際には、例えば、半導体ウェーハに光を照
射して、半導体ウェーハ上で反射する光を白黒のＣＣＤ
カメラでとらえ、ＣＣＤカメラから出力されるウェーハ
の明暗に関する信号をディジタル信号に変換し、明暗の
コントラストを２値化処理して、ウェーハとその周囲の
ウェーハ以外の領域とのコントラストの違いによって、
ウェーハの形状、位置を認識する手法がある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ようにして明暗のコントラストにより形状認識を行う
と、光の乱反射により明暗を誤認識する場合があり、ま
た、ウェーハへの光の照射の仕方、ウェーハ毎の材質の
相違に起因する反射率の違い等によっても明暗の誤認識
が発生する場合もある。

【０００７】また、カラーＣＣＤカメラで撮像して得た
画像について、各画素毎に基準色に近いか否かを判断す
る手法も考えられるが、Ｒ（レッド）、Ｇ（グリー
ン）、Ｂ（ブルー）の各要素は、それぞれが、例えば８
ビットの数値によって表されるため、判別にかなりの時
間を要し、ダイシングの生産性の低下を招くことにな
る。

【０００８】従って、従来の色判別は、誤認識が発生す
ることなく、カラー画像の色判別を高速に行うことに課
題を有している。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の具体的手段として本発明は、基準となる色に対して他
の色が近似するか否かを画像処理によって判別する色判
別システムであって、Ｒ（レッド）、Ｇ（グリーン）、
Ｂ（ブルー）の色の三要素を含む画素を有する撮像手段
と、Ｒ、Ｇ、Ｂを三次元の各次元軸とし、該撮像手段に
よって撮像された色を三次元ベクトルとして認識するベ
クトル認識手段と、認識したベクトルを正規化する正規
化手段と、色判別の基準となる色のベクトルを記憶する
基準ベクトル設定手段と、該基準ベクトル設定手段に記
憶されているベクトルと撮像手段によって撮像されベク
トル認識手段によって認識されたベクトルとの内積を演
算する内積演算手段と、基準となる色のベクトルと、該
ベクトルと近似若しくは同一とみなすことができるベク
トルとの内積の値を閾値として記憶する閾値設定手段
と、該閾値設定手段に記憶されている閾値と内積演算手
段によって求められた内積とを比較し、該内積と閾値と
の大小関係を判別する判別手段とから構成される色判別
システムを提供するものである。

【００１０】そして、この色判別システムは、基準とな
る色のベクトルを

【数１１】 とし、該ベクトルを正規化手段によって正規化したベク
トルを

【数１２】 として基準ベクトル設定手段に記憶させ、撮像手段によ
って撮像された色のベクトルを

【数１３】 該ベクトルを正規化手段によって正規化したベクトルを

【数１４】 とし、正規化された両ベクトルの内積を内積演算手段に
よって

【数１５】 として求め、基準となる色のベクトル

【数１６】 と近似若しくは同一とみなすことができる色のベクトル

【数１７】 を正規化したベクトルを

【数１８】 とし、

【数１９】 と

【数２０】 との内積を前記内積演算手段によってｃｏｓβとして求
めて閾値として閾値設定手段に記憶させ、色判別手段に
おいて、ｃｏｓβ≦ｃｏｓθ≦１のときは、撮像手段に
よって撮像された色は基準となる色と近似若しくは同一
であると判断され、ｃｏｓβ＞ｃｏｓθのときは、撮像
手段によって撮像された色は基準となる色と相違すると
判断されること、閾値は、１に近い値であること、を付
加的要件とするものである。

【００１１】また本発明は、テープを介してフレームに
配設された半導体ウェーハを撮像し、該半導体ウェーハ
の形状を認識するシステムであって、本発明に係る色判
別システムが含まれており、テープの色を基準の色とし
て基準ベクトル設定手段に記憶させ、撮像手段によって
撮像された色がベクトル認識手段によって三次元ベクト
ルとして認識され、その認識された三次元ベクトルとテ
ープの色のベクトルとの内積が内積演算手段によって算
出され、該内積と閾値設定手段に予め記憶されている内
積とが色判別手段によって比較され、内積が閾値より小
さいと判断された場合には、撮像された領域が半導体ウ
ェーハであるとして認識される形状認識システムを提供
するものである。

【００１２】そして、この形状認識システムは、半導体
ウェーハをダイシングするダイシング装置に組み込ま
れ、少なくともダイシング前の半導体ウェーハの形状を
認識することを付加的要件とするものである。

【００１３】本発明に係る色判別システムによれば、基
準となる色と判別の対象となる色とを共に三次元のベク
トルとして認識し、両ベクトルの内積を求め、その内積
と一定の閾値との大小関係に基づいて、判別の対象とな
る色と基準となる色とが一致するか否かを判別するた
め、各画素をＲ、Ｇ、Ｂの色の三要素ごとにそれぞれ判
別する場合に比べて処理スピードが格段に速くなる。ま
た、ベクトルを正規化してから内積を求めるため、照明
等の環境によって撮像された領域に明暗があったとして
も、内積には影響を及ぼさない。

【００１４】また、本発明に係る形状認識システムによ
れば、当該形状認識システムがダイシング装置に組み込
まれてダイシング装置で形状認識が行われる場合、ダイ
シング装置には組み込まれずに別の装置で形状認識が行
われる場合の何れにおいても、色判別結果に基づいてダ
イシング前の半導体ウェーハの形状をカラーで高速に認
識することができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態とし
て、図１に示す色判別システム１０について説明する。
色判別システム１０は、色判別の対象物を撮像するカラ
ーＣＣＤカメラからなる撮像手段１１と、該撮像手段１
１によって撮像して得た画像を構成する各画素の色をＲ
（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）の各要素を
次元軸とするベクトルとして認識するベクトル認識手段
１２と、ベクトル認識手段１２により認識したベクトル
を正規化する正規化手段１３と、色判別の基準となる色
（基準色）のベクトルを設定して記憶する基準ベクトル
設定手段１４と、ベクトル認識手段１２において認識さ
れたベクトルと基準ベクトル設定手段１４に記憶したベ
クトルとの内積を計算する内積演算手段１５と、基準色
のベクトルと、当該ベクトルと同一または近似の関係に
あるとみなすことができるベクトルとの内積を閾値とし
て記憶する閾値設定手段１６と、内積演算手段１５によ
る演算結果及び閾値設定手段１６に記憶された閾値に基
づいて撮像した色と基準色とが同一または近似の関係に
あるか否かを判別する色判別手段１７とから構成されて
いる。

【００１６】撮像手段１１は、例えば２５６×２５６の
画素を有するカラーＣＣＤカメラからなり、撮像して得
たカラー画像は、ベクトル認識手段１２において、画素
単位に、Ｒ、Ｇ、Ｂの各要素を次元軸とする三次元のベ
クトルとして認識される。そして、Ｒ、Ｇ、Ｂを次元軸
とする三次元のベクトルは、正規化手段１３によって正
規化される。

【００１７】基準ベクトル設定手段１４は、色判別を行
うに当たって基準となる基準色を正規化された三次元の
ベクトルでメモリ等に記憶するものである。

【００１８】内積演算手段１５は、判別の対象となる撮
像手段１１によって撮像された色（比較対象色）を表す
ベクトルを正規化して求められたベクトルと、基準ベク
トル設定手段１４に予め記憶された基準色を表すベクト
ルとの内積をＣＰＵにおいて計算し、計算結果を色判別
手段１７に通知する。

【００１９】閾値設定手段１６は、基準ベクトル設定手
段１４に記憶したベクトルと、そのベクトルと同一また
は近似の関係にあると見なすことができる色のベクトル
との内積を内積演算手段１５によって求めて閾値として
メモリ等に記憶するものであり、この閾値は、色判別手
段１７による色判別が行われる前に予め記憶される。

【００２０】そして、色判別手段１７においては、内積
演算手段１５において求めた内積と閾値設定手段１６に
おいて記憶した閾値との比較がＣＰＵによって行われ、
閾値以内であれば、撮像手段１１によって撮像された色
は、基準となる色と同一若しくは近似するとみなされ
る。

【００２１】このように構成される色判別システム１０
を用いて物体の色を判別する手順を図２のフローチャー
トに基づいて説明する。まず、撮像手段１１によって、
色判別の基準となる基準色の物体が撮像され、その色が
三次元のベクトルとしてベクトル認識手段１２によって
認識される。この三次元のベクトルは、以下の式により
表すことができる。

【００２２】

【数２１】

【００２３】なお、便宜上、以降においてはベクトル記
号を次のように記して説明を進める。

【００２４】

【数２２】

【００２５】そして次に、Vect（ｒ）は、正規化手段１
３によって正規化され、Vect（ｒ’）として基準ベクト
ル設定手段１４に記憶される（ステップＳ２）。なお、
正規化とは、ベクトルの長さを１にすることをいい、Ve
ct（ｒ）の正規化は以下の式によって行われる。

【００２６】

【数２３】

【００２７】次に、内積演算手段１５によって、正規化
されたVect（ｒ’）と、当該Vect（ｒ’）と同一または
近似の関係にあるとみなすことができる色のVect（ｓ）
を正規化したVect（ｓ’）との内積が求められ、これが
色判別を行う際の閾値として閾値設定手段１６に記憶さ
れる（ステップＳ３）。内積及び閾値の求め方について
は後述する。

【００２８】以上のようにして、基準ベクトル設定手段
１４にVect（ｒ’）を、閾値設定手段１６に閾値をそれ
ぞれ記憶させた後は、実際の色判別を画素単位に行って
いく。まず、色判別の対象となる物体を撮像し、ベクト
ル認識手段１２においてその物体の色を画素単位に三次
元のVect（ｃ）として認識して（ステップＳ４）、正規
化手段１３において正規化してVect（ｃ’）を求める
（ステップＳ５）。

【００２９】Vect（ｃ’）が求まると、このVect
（ｃ’）と、基準ベクトル設定手段１４に記憶させたVe
ct（ｒ’）との内積を、内積演算手段１５によって求め
る（ステップＳ６）。そして、色判別手段１７におい
て、求めた内積と閾値設定手段１６に記憶させた閾値と
を比較し、両者が同一若しくは近似の関係にあるか否か
を判断する。

【００３０】ここでVect（ｒ’）とVect（ｃ’）との内
積を｛Vect（ｒ’）・Vect（ｃ’）｝とすると、内積
｛Vect（ｒ’）・Vect（ｃ’）｝は以下の式により求め
られる。 ｛Vect（ｒ’）・Vect（ｃ’）｝＝ｒ’_Rｃ’_R＋ｒ’_G
ｃ’_G＋ｒ’_Bｃ’_B

【００３１】また、Vect（ｒ’）の大きさを｜Vect
（ｒ’）｜、Vect（ｃ’）の大きさを｜Vect（ｃ’）
｜、Vect（ｒ’）とVect（ｃ’）のなす角をθとする
と、内積｛Vect（ｒ’）・Vect（ｃ’）｝は、次のよう
に表すこともできる。 ｛Vect（ｒ’）・Vect（ｃ’）｝＝｜Vect（ｒ’）｜・｜Vect（ｃ’）｜ ・ｃｏｓθ・・・（１）

【００３２】この式（１）を変形すると、次の式にな
る。 ｃｏｓθ＝｛Vect（ｒ’）・Vect（ｃ’）｝／｜Vect
（ｒ’）｜・｜Vect（ｃ’）｜

【００３３】ここで、Vect（ｒ’）、Vect（ｃ’）は、
共に正規化手段１３によって既に正規化されており、｜
Vect（ｒ’）｜＝｜Vect（ｃ’）｜＝１であるため、以
下の式が成り立つ。 ｃｏｓθ＝｛Vect（ｒ’）・Vect（ｃ’）｝＝ｒ’
_Rｃ’_R＋ｒ’_Gｃ’_G ＋ｒ’_Bｃ’_B

【００３４】つまり、正規化されたVect（ｒ’）とVect
（ｃ’）との内積は、ｃｏｓθになる。なお、本実施の
形態では、内積の計算前にベクトルを正規化している
が、内積を求める際に正規化するようにしてもよい。

【００３５】撮像された色と基準となる色とが同一の場
合は、両ベクトルが完全に一致した状態であり、このと
きはθ＝０となって、ｃｏｓθ＝１となる。換言すれ
ば、Vect（ｒ’）とVect（ｃ’）との内積が１になると
きは、撮像された色と基準となる色とが同一であるとい
える。但し、実際にはVect（ｒ’）とVect（ｃ’）とが
完全に一致することは考えにくいため、ｃｏｓθが１に
近い値であれば、即ち、両色が同一若しくは近似の関係
にある場合には両色は一致しているものとみなすことが
できる。Vect（ｒ’）とVect（ｃ’）とが同一若しくは
近似の関係にあるとみなすことができるか否かのｃｏｓ
θの境界値をｃｏｓβとして閾値にしている。

【００３６】閾値は、ステップＳ２において、Vect
（ｒ）と同一若しくは近似とみなすことができる色のVe
ct（ｓ）を正規化したVect（ｓ’）と、Vect（ｒ’）と
の内積Vect（ｒ’）・Vect（ｓ’）として求められ、Ve
ct（ｒ’）とVect（ｓ’）とのなす角をβとすれば、求
めた内積Vect（ｒ’）・Vect（ｓ’）は、ｃｏｓβとな
る。ここで、図３のようにVect（ｒ’）を表した場合、
閾値ｃｏｓβは、Vect（ｒ’）を中心とし、座標原点を
頂点としてベクトル方向に徐々に径を大きくする円錐１
８で表すことができる。従って、比較対象色を表すVect
（ｃ’）が円錐１８の内部に入っていれば、比較対照色
と基準色とが同一若しくは近似していると判断できる。

【００３７】計算上は、Vect（ｒ’）とVect（ｃ’）と
の内積ｃｏｓθと、閾値設定手段１６に記憶された閾値
ｃｏｓβとが（ｃｏｓβ≦ｃｏｓθ≦１）の関係を満た
していれば、撮像した色と基準となる色とは同一若しく
は近似していると判断することができる。即ち、閾値に
は、１以下で１に近い値を設定することになる。

【００３８】ここで、閾値を１以下としたのは、ある角
度の余弦（ｃｏｓ）が１より大きな値をとることはあり
得ず、正規化されたベクトル同士の内積も１より大きな
値となることはありえないからである。従って、実際の
判断においては、（ｃｏｓθ≧ｃｏｓβ）のときは判別
対象色と基準色とが同一若しくは近似の関係にあると判
断し、（ｃｏｓθ＜ｃｏｓβ）のときは両色が同一でも
近似でもないと判断することができる（ステップＳ
７）。ここで、閾値を１により近い値とすれば、より厳
密な判別が可能となる。

【００３９】以上のような処理を全ての画素について行
うことにより画像を構成する全ての画素について色判別
が行われる（ステップＳ８）。

【００４０】次に、上記説明した色判別システム１０の
適用例として、色判別結果に基づいて半導体ウェーハの
形状を認識する形状認識システムを搭載したダイシング
装置について図４〜図６を参照して説明する。

【００４１】ダイシング装置によってダイシングされる
半導体ウェーハが、図４のように割れていて形状がいび
つな半導体ウェーハＷであっても、通常の半導体ウェー
ハと同様に保持テープＴを介してフレームＦに保持され
る。この半導体ウェーハＷを図５に示すダイシング装置
２０によってダイシングする場合には、半導体ウェーハ
Ｗは、カセット２１に収納される。そして、搬出入手段
２２がカセット２１から半導体ウェーハＷを取り出し、
搬送手段２３によって半導体ウェーハＷはチャックテー
ブル２４に搬送されて、保持される。

【００４２】次に、チャックテーブル２４に保持された
半導体ウェーハＷは、チャックテーブル２４のＸ軸方向
の移動によって、まず、図６（Ａ）のように形状認識シ
ステム２５の直下に位置付けられ、ここで半導体ウェー
ハＷの形状が認識される。

【００４３】形状認識システム２５には、前記説明した
図１に示した構成の色判別システム１０を備えており、
ここでの色判別結果に基づいて半導体ウェーハＷの形
状、位置が認識される。具体的には、予め半導体ウェー
ハＷを保持していない保持テープＴのみが撮像手段１１
によってまず撮像され、保持テープＴの色を基準色とし
てこの色のベクトルをVect（ｒ）とし、正規化手段１３
において正規化されたVect（ｒ’）を基準ベクトル設定
手段１４に記憶させる。

【００４４】また、基準ベクトル設定手段１４に記憶さ
せたVect（ｒ’）と、保持テープＴの色と同一若しくは
近似とみなすことができる色のVect（ｓ）を正規化した
Vect（ｓ’）との内積を内積演算手段１５によって求
め、これを閾値として閾値設定手段１６に設定する。

【００４５】次に、保持テープＴによって保持されて半
導体ウェーハＷと一体となったフレームＦ全体を図６
（Ａ）のように形状認識システム２５の直下に位置付
け、撮像手段１１によって撮像して、半導体ウェーハＷ
の形状認識を行う。形状認識を行う際は、まず、撮像し
て取得した画像を構成する画素の色が画素単位にベクト
ル認識手段１２によって比較対象色を表すVect（ｃ）と
して認識され、更に正規化手段１３によって正規化され
てVect（ｃ’）として認識されて基準ベクトル設定手段
１４に記憶される。

【００４６】そして、内積演算手段１５によって基準ベ
クトル設定手段１４に記憶されたVect（ｒ’）とVect
（ｃ’）との内積｛Vect（ｒ’）とVect（ｃ’）｝が演
算されて、色判別手段１７によって、求められた内積
｛Vect（ｒ’）とVect（ｃ’）｝（＝ｃｏｓθ）と閾値
設定手段１６に記憶されている閾値ｃｏｓβとが比較さ
れる。

【００４７】求められた内積の方が閾値よりも小さい場
合、即ちｃｏｓθ＜ｃｏｓβの関係にあるときは、その
画素は保持テープＴの色ではなく、半導体ウェーハＷの
色であると判断できる。一方、求められた内積が閾値よ
り大きい場合、即ち（ｃｏｓθ≧ｃｏｓβ）の関係にあ
るときは、撮像した色は、基準となる色である保持テー
プＴの色と同一若しくは近似とみなすことができる。

【００４８】上記の処理を全ての画素について繰り返し
行い、半導体ウェーハＷの色であると判断された全ての
画素をＸーＹ座標で把握し、こうして把握された画素の
集まりの輪郭が、半導体ウェーハＷの形状として認識さ
れる。

【００４９】このようにして半導体ウェーハＷの形状が
認識されると、チャックテーブル２４が更にＸ軸方向に
移動して図６（Ｂ）のようにアライメント手段２７の直
下に位置付けられ、認識された形状の範囲内でアライメ
ント手段２７によってパターンマッチング等の処理を介
して切削すべきストリートが検出される。そして、図６
（Ｃ）のように更にチャックテーブル２４がＸ軸方向に
移動し、切削手段２６によってストリートが形状認識に
よって得られた最適なストロークで無駄なく切削され
る。

【００５０】なお、本実施の形態では、色判別システム
を半導体ウェーハの形状認識に適用する場合を例に挙げ
て説明したが、これに限定されるものではなく、本発明
に係る色判別システムは、他の分野にも適用することが
できる。

【００５１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る色判
別システムによれば、基準となる色と判別の対象となる
色とを共に三次元のベクトルとして認識し、両ベクトル
の内積を求め、その内積と一定の閾値との大小関係に基
づいて、判別の対象となる色と基準となる色とが一致す
るか否かを判別するため、各画素をＲ、Ｇ、Ｂの色の三
要素ごとにそれぞれ判別する場合に比べて処理スピード
が格段に速くなり、また、ベクトルを正規化してから内
積を求めるため、照明等の環境によって撮像された領域
に明暗があったとしても、内積には影響を及ぼさず、白
黒のコントラストに基づいて判断する場合に生じた乱反
射による誤認識が生じなくなると共に、高速かつ確実な
カラーの色判別を行うことができる。

【００５２】また、本発明に係る形状認識システムによ
れば、当該形状認識システムがダイシング装置に組み込
まれてダイシング装置で形状認識が行われる場合、ダイ
シング装置には組み込まれずに別の装置で形状認識が行
われる場合の何れにおいても、色判別結果に基づいてダ
イシング前の半導体ウェーハの形状をカラーで高速かつ
確実に認識することができるため、ダイシングの生産性
を低下させることがない。また、欠損した半導体ウェー
ハであっても、認識した形状に基づいてアライメント領
域、ダイシング領域を特定でき、更には適正なストロー
クで無駄なくダイシングを遂行することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る色判別システムの構成の一例を示
す機能ブロック図である。

【図２】同色判別システムにおける色判別の手順を示す
フローチャートである。

【図３】色判別の基準となる基準色を正規化された三次
元のベクトルで表し、このベクトルを中心として基準色
と同一若しくは近似とみなすことができる色の範囲を円
錐により示した説明図である。

【図４】欠損した半導体ウェーハが保持テープを介して
フレームに保持された様子を表す説明図である。

【図５】本発明に係る形状認識システムを搭載したダイ
シング装置の外観を示す斜視図である。

【図６】同ダイシング装置において、半導体ウェーハの
形状認識、アライメント、切削が行われる様子を工程順
に示した説明図である。

【図７】欠損した半導体ウェーハが保持テープを介して
フレームに保持された様子を表す説明図である。

【符号の説明】

１０……色判別システム １１……撮像手段 １２……
ベクトル認識手段 １３……正規化手段 １４……基準ベクトル設定手段
１５……内積演算手段 １６……閾値設定手段 １７……色判別手段 １８……
円錐 ２０……ダイシング装置 ２１……カセット ２２……
搬出入手段 ２３……搬送手段 ２４……チャックテーブル ２５…
…形状認識システム ２６……切削手段 ２７……アライメント手段 Ｗ……半導体ウェーハ Ｔ……保持テープ Ｆ……フレ
ーム Ｓ……ストリート

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】基準となる色に対して他の色が近似するか
   否かを画像処理によって判別する色判別システムであっ
   て、Ｒ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）の色
   の三要素を含む画素を有する撮像手段と、前記Ｒ、Ｇ、
   Ｂを三次元の各次元軸とし、該撮像手段によって撮像さ
   れた色を三次元ベクトルとして認識するベクトル認識手
   段と、認識したベクトルを正規化する正規化手段と、色
   判別の基準となる色のベクトルを記憶する基準ベクトル
   設定手段と、該基準ベクトル設定手段に記憶されている
   ベクトルと前記撮像手段によって撮像され前記ベクトル
   認識手段によって認識されたベクトルとの内積を演算す
   る内積演算手段と、前記基準となる色のベクトルと、該
   ベクトルと近似若しくは同一とみなすことができるベク
   トルとの内積の値を閾値として記憶する閾値設定手段
   と、該閾値設定手段に記憶されている閾値と前記内積演
   算手段によって求められた内積とを比較し、該内積と前
   記閾値との大小関係を判別する判別手段とから構成され
   る色判別システム。
2. 【請求項２】基準となる色のベクトルを 【数１】 とし、該ベクトルを正規化手段によって正規化したベク
   トルを 【数２】 として基準ベクトル設定手段に記憶させ、撮像手段によ
   って撮像された色のベクトルを 【数３】 とし、該ベクトルを正規化手段によって正規化したベク
   トルを 【数４】 とし、正規化された両ベクトルの内積を内積演算手段に
   よって 【数５】 として求め、基準となる色のベクトル 【数６】 と近似若しくは同一とみなすことができる色のベクトル 【数７】 を正規化したベクトルを 【数８】 とし、 【数９】 と 【数１０】 との内積を前記内積演算手段によってｃｏｓβとして求
   めて閾値として閾値設定手段に記憶させ、色判別手段に
   おいて、ｃｏｓβ≦ｃｏｓθ≦１のときは、撮像手段に
   よって撮像された色は基準となる色と近似若しくは同一
   であると判断され、ｃｏｓβ＞ｃｏｓθのときは、撮像
   手段によって撮像された色は基準となる色と相違すると
   判断される請求項１に記載の色判別システム。
3. 【請求項３】閾値は、１に近い値である請求項１または
   ２に記載の色判別システム。
4. 【請求項４】テープを介してフレームに配設された半導
   体ウェーハを撮像し、該半導体ウェーハの形状を認識す
   るシステムであって、請求項１、２または３に記載の色
   判別システムが含まれており、テープの色を基準の色と
   して基準ベクトル設定手段に記憶させ、撮像手段によっ
   て撮像された色がベクトル認識手段によって三次元ベク
   トルとして認識され、その認識された三次元ベクトルと
   前記テープの色のベクトルとの内積が内積演算手段によ
   って算出され、該内積と閾値設定手段に予め記憶されて
   いる内積とが色判別手段によって比較され、該内積が前
   記閾値より小さいと判断された場合には、撮像された領
   域が半導体ウェーハであるとして認識される形状認識シ
   ステム。
5. 【請求項５】半導体ウェーハをダイシングするダイシン
   グ装置に組み込まれ、少なくともダイシング前の半導体
   ウェーハの形状を認識する請求項４に記載の形状認識シ
   ステム。