JPH11118349A - ヘリウムガス凝縮液化装置 - Google Patents
ヘリウムガス凝縮液化装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 液体ヘリウム装置２などにおける蒸発ガ
スを再凝縮して液体ヘリウム面を保持するとともに、必
要に応じて外部からのヘリウムガスを液化する冷凍能力
を高めることができるヘリウムガス凝縮液化装置を提供
すること。 【解決手段】 少なくとも２台のＧＭ冷凍機４、５を用
いてヘリウムガスを液体ヘリウムに凝縮液化するに際
し、第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧＭ冷凍機５の第
１段冷却ステージ７、９および第２段冷却ステージ８、
１０（最終段冷却ステージ）においてヘリウムガス温度
を順次低下させて冷却することに着目したもので、一方
の冷凍機４の最終段冷却ステージ８を第１の冷却温度と
するとともに、他方の冷凍機５の最終段冷却ステージ１
０を第１の冷却温度より低い第２の冷却温度に運転可能
とし、凝縮器２１を他方の冷凍機５における第２の冷却
温度にある最終冷却ステージ１０に熱接触させたことを
特徴とする。
スを再凝縮して液体ヘリウム面を保持するとともに、必
要に応じて外部からのヘリウムガスを液化する冷凍能力
を高めることができるヘリウムガス凝縮液化装置を提供
すること。 【解決手段】 少なくとも２台のＧＭ冷凍機４、５を用
いてヘリウムガスを液体ヘリウムに凝縮液化するに際
し、第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧＭ冷凍機５の第
１段冷却ステージ７、９および第２段冷却ステージ８、
１０（最終段冷却ステージ）においてヘリウムガス温度
を順次低下させて冷却することに着目したもので、一方
の冷凍機４の最終段冷却ステージ８を第１の冷却温度と
するとともに、他方の冷凍機５の最終段冷却ステージ１
０を第１の冷却温度より低い第２の冷却温度に運転可能
とし、凝縮器２１を他方の冷凍機５における第２の冷却
温度にある最終冷却ステージ１０に熱接触させたことを
特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はヘリウムガス凝縮液
化装置にかかるもので、とくに液来ヘリウムレベルの温
度（大気圧で温度４．２Ｋ）にヘリウムガスを冷却可能
な蓄冷式冷凍機（たとえばＧＭ冷凍機など）その他の冷
凍機を用いて、ヘリウムガスを液体ヘリウムに凝縮液化
可能なヘリウムガス凝縮液化装置に関するものである。
化装置にかかるもので、とくに液来ヘリウムレベルの温
度（大気圧で温度４．２Ｋ）にヘリウムガスを冷却可能
な蓄冷式冷凍機（たとえばＧＭ冷凍機など）その他の冷
凍機を用いて、ヘリウムガスを液体ヘリウムに凝縮液化
可能なヘリウムガス凝縮液化装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来から、液体ヘリウムを使用する各種
の液体ヘリウム装置、たとえば超電導磁石、ＳＱＵＩＤ
（超電導量子干渉デバイス）およびＭＲＩ（磁気共鳴
像）、などにおいては、蒸発して消費される液体ヘリウ
ムの補給が問題となる。この液体ヘリウムの補給システ
ムとして、たとえばヘリウムガスを液体ヘリウムに冷却
可能な冷凍機を装備することにより、蒸発ガスを再凝縮
し、補給なしで連続的に運転することが可能になる。ま
た、何らかの理由により液体ヘリウムの量が減少した場
合に、外部から供給されるヘリウムガスを液化してこれ
を補充する追加的な液化システムが必要となる。すなわ
ち、液体ヘリウムの補給システムに装備するヘリウム冷
凍機としては、再凝縮運転モード、さらに、追加的液化
運転モードないし液化運転モードの両方の運転モードが
要求されるケースが多い。
の液体ヘリウム装置、たとえば超電導磁石、ＳＱＵＩＤ
（超電導量子干渉デバイス）およびＭＲＩ（磁気共鳴
像）、などにおいては、蒸発して消費される液体ヘリウ
ムの補給が問題となる。この液体ヘリウムの補給システ
ムとして、たとえばヘリウムガスを液体ヘリウムに冷却
可能な冷凍機を装備することにより、蒸発ガスを再凝縮
し、補給なしで連続的に運転することが可能になる。ま
た、何らかの理由により液体ヘリウムの量が減少した場
合に、外部から供給されるヘリウムガスを液化してこれ
を補充する追加的な液化システムが必要となる。すなわ
ち、液体ヘリウムの補給システムに装備するヘリウム冷
凍機としては、再凝縮運転モード、さらに、追加的液化
運転モードないし液化運転モードの両方の運転モードが
要求されるケースが多い。
【０００３】上述のような液体ヘリウム補給システム用
のヘリウム冷凍機として温度４Ｋレベルに冷却可能なＧ
Ｍ冷凍機（４Ｋ−ＧＭ冷凍機）などの蓄冷式冷凍機を使
用することができるが、１台当たりの冷凍能力に限界が
あり、要求される冷凍能力が大きな場合には、複数台の
冷凍機を用いることになる。
のヘリウム冷凍機として温度４Ｋレベルに冷却可能なＧ
Ｍ冷凍機（４Ｋ−ＧＭ冷凍機）などの蓄冷式冷凍機を使
用することができるが、１台当たりの冷凍能力に限界が
あり、要求される冷凍能力が大きな場合には、複数台の
冷凍機を用いることになる。
【０００４】なお、ヘリウムガスを単純に液化するため
のヘリウムガス液化装置においても、上述と同様にヘリ
ウムガスを液化する機能はもちろん、蒸発ガスを再凝縮
する機能を要求される場合がある。
のヘリウムガス液化装置においても、上述と同様にヘリ
ウムガスを液化する機能はもちろん、蒸発ガスを再凝縮
する機能を要求される場合がある。
【０００５】図８は、温度４Ｋレベルの冷凍能力を有す
る蓄冷式冷凍機（たとえばＧＭ冷凍機）を複数台（たと
えば２台）用いた場合の一般的なヘリウムガス凝縮液化
装置１の概略側面図であって、ヘリウムガス凝縮液化装
置１は、液体ヘリウム装置２（液体ヘリウム容器）から
蒸発するヘリウムガスを再凝縮して液体ヘリウムとする
とともに、外部からヘリウムガスを補充してこれを液体
ヘリウムとして供給することができるもので、クライオ
スタット３と、２台のＧＭ冷凍機（第１のＧＭ冷凍機４
および第２のＧＭ冷凍機５）と、凝縮器６と、を有す
る。
る蓄冷式冷凍機（たとえばＧＭ冷凍機）を複数台（たと
えば２台）用いた場合の一般的なヘリウムガス凝縮液化
装置１の概略側面図であって、ヘリウムガス凝縮液化装
置１は、液体ヘリウム装置２（液体ヘリウム容器）から
蒸発するヘリウムガスを再凝縮して液体ヘリウムとする
とともに、外部からヘリウムガスを補充してこれを液体
ヘリウムとして供給することができるもので、クライオ
スタット３と、２台のＧＭ冷凍機（第１のＧＭ冷凍機４
および第２のＧＭ冷凍機５）と、凝縮器６と、を有す
る。
【０００６】液体ヘリウム装置２は、液体ヘリウムを使
用する、たとえば超電導磁石、ＳＱＵＩＤ（超電導量子
干渉デバイス）、ＭＲＩ（磁気共鳴像）、あるいはヘリ
ウムガスの液化装置などである。
用する、たとえば超電導磁石、ＳＱＵＩＤ（超電導量子
干渉デバイス）、ＭＲＩ（磁気共鳴像）、あるいはヘリ
ウムガスの液化装置などである。
【０００７】クライオスタット３は、その内部にヘリウ
ムガス凝縮液化装置１とともに液体ヘリウム装置２を収
容してある。
ムガス凝縮液化装置１とともに液体ヘリウム装置２を収
容してある。
【０００８】第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧＭ冷凍
機５は、同一の構成を有するとともにこれを並列的に使
用するもので、第１のＧＭ冷凍機４は第１段冷却ステー
ジ７および第２段冷却ステージ８を、第２のＧＭ冷凍機
５は第１段冷却ステージ９および第２段冷却ステージ１
０をそれぞれ有する。それぞれの第１段冷却ステージ７
および第１段冷却ステージ９を熱伝導性の良好な第１段
熱接触部材１１により互いに熱接触させる。第２段冷却
ステージ８および第２段冷却ステージ１０を同じく熱伝
導性の良好な第２段熱接触部材１２により互いに熱接触
させる。
機５は、同一の構成を有するとともにこれを並列的に使
用するもので、第１のＧＭ冷凍機４は第１段冷却ステー
ジ７および第２段冷却ステージ８を、第２のＧＭ冷凍機
５は第１段冷却ステージ９および第２段冷却ステージ１
０をそれぞれ有する。それぞれの第１段冷却ステージ７
および第１段冷却ステージ９を熱伝導性の良好な第１段
熱接触部材１１により互いに熱接触させる。第２段冷却
ステージ８および第２段冷却ステージ１０を同じく熱伝
導性の良好な第２段熱接触部材１２により互いに熱接触
させる。
【０００９】第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧＭ冷凍
機５の運転によって、第１段冷却ステージ７および第１
段冷却ステージ９（第１段熱接触部材１１）は通常、温
度３０Ｋ〜６０Ｋ程度に冷却され、第２段冷却ステージ
８および第２段冷却ステージ１０（第２段熱接触部材１
２）は、温度４Ｋ程度に冷却される。
機５の運転によって、第１段冷却ステージ７および第１
段冷却ステージ９（第１段熱接触部材１１）は通常、温
度３０Ｋ〜６０Ｋ程度に冷却され、第２段冷却ステージ
８および第２段冷却ステージ１０（第２段熱接触部材１
２）は、温度４Ｋ程度に冷却される。
【００１０】凝縮器６は、これを第２段冷却ステージ８
および第２段冷却ステージ１０（第２段熱接触部材１
２）に熱接触させてあるもので、外部からのヘリウムガ
スの供給配管１３（予冷配管）、液体ヘリウム装置２か
らの蒸発配管１４、および液体ヘリウム装置２への液化
配管１５を接続してある。
および第２段冷却ステージ１０（第２段熱接触部材１
２）に熱接触させてあるもので、外部からのヘリウムガ
スの供給配管１３（予冷配管）、液体ヘリウム装置２か
らの蒸発配管１４、および液体ヘリウム装置２への液化
配管１５を接続してある。
【００１１】供給配管１３には、第１段冷却ステージ７
および第１段冷却ステージ９の部分において第１の熱交
換器１６を設け、第２段冷却ステージ８および第２段冷
却ステージ１０の部分において第２の熱交換器１７を設
けてある。これら第１の熱交換器１６および第２の熱交
換器１７の構成としては、第１のＧＭ冷凍機４および第
２のＧＭ冷凍機５のステンレス製のシリンダーに銅製円
筒状の熱負荷フランジをロウ付けし、この熱負荷フラン
ジに供給配管１３の部分の銅管をコイル状に巻き付ける
とともにロウ付けて予冷用の構成とするのが一般的であ
る。
および第１段冷却ステージ９の部分において第１の熱交
換器１６を設け、第２段冷却ステージ８および第２段冷
却ステージ１０の部分において第２の熱交換器１７を設
けてある。これら第１の熱交換器１６および第２の熱交
換器１７の構成としては、第１のＧＭ冷凍機４および第
２のＧＭ冷凍機５のステンレス製のシリンダーに銅製円
筒状の熱負荷フランジをロウ付けし、この熱負荷フラン
ジに供給配管１３の部分の銅管をコイル状に巻き付ける
とともにロウ付けて予冷用の構成とするのが一般的であ
る。
【００１２】こうした構成のヘリウムガス凝縮液化装置
１において、ヘリウムの蒸発ガスを再凝縮して液体ヘリ
ウム装置２内の液面を一定に保持する再凝縮運転モード
の場合、蒸発したヘリウムガスを低温状態のまま蒸発配
管１４を介して凝縮器６に導いて再凝縮する。この再凝
縮運転モードの場合には、供給配管１３を介した外部か
らのヘリウムガスの供給は行われず、基本的に、温度
４．２Ｋの蒸発ヘリウムガスを凝縮して温度４．２Ｋの
液体ヘリウムにするだけであり、凝縮器６における熱負
荷は、ヘリウムガスの蒸発潜熱量のみである。
１において、ヘリウムの蒸発ガスを再凝縮して液体ヘリ
ウム装置２内の液面を一定に保持する再凝縮運転モード
の場合、蒸発したヘリウムガスを低温状態のまま蒸発配
管１４を介して凝縮器６に導いて再凝縮する。この再凝
縮運転モードの場合には、供給配管１３を介した外部か
らのヘリウムガスの供給は行われず、基本的に、温度
４．２Ｋの蒸発ヘリウムガスを凝縮して温度４．２Ｋの
液体ヘリウムにするだけであり、凝縮器６における熱負
荷は、ヘリウムガスの蒸発潜熱量のみである。
【００１３】液体ヘリウム装置２内の液面が低下してヘ
リウムを追加液化する追加液化運転モードの場合、ある
いは運転当初に液体ヘリウム装置２内に液体ヘリウムを
充填するような液化運転モード場合には、ヘリウムボン
ベ（図示せず）などからの常温のヘリウムガスを供給配
管１３からヘリウムガス凝縮液化装置１に供給し、第１
段冷却ステージ７および第１段冷却ステージ９の第１の
熱交換器１６の部分で温度約４０Ｋまで予冷し、次の第
２段冷却ステージ８および第２段冷却ステージ１０の第
２の熱交換器１７の部分における凝縮器６で温度約４．
２Ｋに冷却して凝縮液化し、液化配管１５を介して液体
ヘリウムとして液体ヘリウム装置２に補充ないし充填す
る。
リウムを追加液化する追加液化運転モードの場合、ある
いは運転当初に液体ヘリウム装置２内に液体ヘリウムを
充填するような液化運転モード場合には、ヘリウムボン
ベ（図示せず）などからの常温のヘリウムガスを供給配
管１３からヘリウムガス凝縮液化装置１に供給し、第１
段冷却ステージ７および第１段冷却ステージ９の第１の
熱交換器１６の部分で温度約４０Ｋまで予冷し、次の第
２段冷却ステージ８および第２段冷却ステージ１０の第
２の熱交換器１７の部分における凝縮器６で温度約４．
２Ｋに冷却して凝縮液化し、液化配管１５を介して液体
ヘリウムとして液体ヘリウム装置２に補充ないし充填す
る。
【００１４】上述のような液化運転モードの場合には、
再凝縮運転モードの場合とは異なり、第２段冷却ステー
ジ８および第２段冷却ステージ１０における熱負荷は、
第１段冷却ステージ７および第１段冷却ステージ９の温
度に予冷されたヘリウムガスをさらに液化温度まで冷却
するために必要とする顕熱量と、液化温度にあるヘリウ
ムガスを凝縮して液体ヘリウムとするために必要とする
蒸発潜熱量との和となる。ヘリウムガスの顕熱量は比較
的大きいため、第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧＭ冷
凍機５におけるそれぞれの第２段冷却ステージ８および
第２段冷却ステージ１０の冷凍能力は、かなりの部分を
この顕熱量分の冷却に費やされることになる。
再凝縮運転モードの場合とは異なり、第２段冷却ステー
ジ８および第２段冷却ステージ１０における熱負荷は、
第１段冷却ステージ７および第１段冷却ステージ９の温
度に予冷されたヘリウムガスをさらに液化温度まで冷却
するために必要とする顕熱量と、液化温度にあるヘリウ
ムガスを凝縮して液体ヘリウムとするために必要とする
蒸発潜熱量との和となる。ヘリウムガスの顕熱量は比較
的大きいため、第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧＭ冷
凍機５におけるそれぞれの第２段冷却ステージ８および
第２段冷却ステージ１０の冷凍能力は、かなりの部分を
この顕熱量分の冷却に費やされることになる。
【００１５】たとえば、１気圧のヘリウムガスを液化す
る場合、第１段冷却ステージ７および第１段冷却ステー
ジ９の温度を４０Ｋとすると、温度４０Ｋのヘリウムガ
スを温度４．２Ｋのヘリウムガスに冷却するための顕熱
量は、温度４０Ｋのヘリウムガスのエンタルピーが２２
３ジュール／グラム、温度４．２Ｋのヘリウムガスのエ
ンタルピーが３０ジュール／グラムであるから、２２３
−３０＝１９３ジュール／グラムとなる。また、温度
４．２Ｋのヘリウムガスを同じ温度の液体ヘリウムにす
るための潜熱量は、温度４．２Ｋの液体ヘリウムのエン
タルピーが１０．１ジュール／グラムであるから、３０
−１０．１＝１９．９ジュール／グラムとなる。上記顕
熱量とこの潜熱量との比は、１９３：１９．９≒１０：
１にもなる。すなわち、液化速度でみれば、再凝縮運転
モードでは、たとえば１リットル／日だけの液体ヘリウ
ムを得ることができるが、液化運転モードでは、１／１
１リットル／日しか液化することができないことにな
る。
る場合、第１段冷却ステージ７および第１段冷却ステー
ジ９の温度を４０Ｋとすると、温度４０Ｋのヘリウムガ
スを温度４．２Ｋのヘリウムガスに冷却するための顕熱
量は、温度４０Ｋのヘリウムガスのエンタルピーが２２
３ジュール／グラム、温度４．２Ｋのヘリウムガスのエ
ンタルピーが３０ジュール／グラムであるから、２２３
−３０＝１９３ジュール／グラムとなる。また、温度
４．２Ｋのヘリウムガスを同じ温度の液体ヘリウムにす
るための潜熱量は、温度４．２Ｋの液体ヘリウムのエン
タルピーが１０．１ジュール／グラムであるから、３０
−１０．１＝１９．９ジュール／グラムとなる。上記顕
熱量とこの潜熱量との比は、１９３：１９．９≒１０：
１にもなる。すなわち、液化速度でみれば、再凝縮運転
モードでは、たとえば１リットル／日だけの液体ヘリウ
ムを得ることができるが、液化運転モードでは、１／１
１リットル／日しか液化することができないことにな
る。
【００１６】具体的な流量を計算してみると、図８のヘ
リウムガス凝縮液化装置１において２台の第１のＧＭ冷
凍機４および第２のＧＭ冷凍機５を並列に組み合わせて
冷凍能力を上げようとする場合、１台の第２段冷却ステ
ージにおける冷凍能力（熱負荷）を１ワットとすると、
２台を組み合わせた場合に温度４Ｋレベルにおける冷凍
能力は、１＋１＝２ワットである。実際の熱負荷は、温
度４０Ｋのヘリウムガスを温度４．２Ｋの液体ヘリウム
にするのであるから、（２２３−１０．１）×流量とな
る。したがって、２＝（２２３−１０．１）×流量、の
式から、流量＝２／２１２．９＝０．００９４グラム／
秒、つまり毎秒０．００９４グラムの液体ヘリウムしか
得られないことになる。
リウムガス凝縮液化装置１において２台の第１のＧＭ冷
凍機４および第２のＧＭ冷凍機５を並列に組み合わせて
冷凍能力を上げようとする場合、１台の第２段冷却ステ
ージにおける冷凍能力（熱負荷）を１ワットとすると、
２台を組み合わせた場合に温度４Ｋレベルにおける冷凍
能力は、１＋１＝２ワットである。実際の熱負荷は、温
度４０Ｋのヘリウムガスを温度４．２Ｋの液体ヘリウム
にするのであるから、（２２３−１０．１）×流量とな
る。したがって、２＝（２２３−１０．１）×流量、の
式から、流量＝２／２１２．９＝０．００９４グラム／
秒、つまり毎秒０．００９４グラムの液体ヘリウムしか
得られないことになる。
【００１７】要するに、要求される冷凍能力を高めるた
めに複数台の第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧＭ冷凍
機５を使用する場合に、これを単純に並列に接続して運
転する構成では、それほど冷凍能力を高めることにはな
らず、冷凍能力を向上可能なヘリウムガス凝縮液化装置
が要請されるものである。
めに複数台の第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧＭ冷凍
機５を使用する場合に、これを単純に並列に接続して運
転する構成では、それほど冷凍能力を高めることにはな
らず、冷凍能力を向上可能なヘリウムガス凝縮液化装置
が要請されるものである。
【００１８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は以上のような
諸問題にかんがみなされたもので、液体ヘリウム装置な
どにおける蒸発ガスを再凝縮して液体ヘリウム面を保持
するとともに、必要に応じて外部からヘリウムガスを供
給して追加液化することができるヘリウムガス凝縮液化
装置を提供することを課題とする。
諸問題にかんがみなされたもので、液体ヘリウム装置な
どにおける蒸発ガスを再凝縮して液体ヘリウム面を保持
するとともに、必要に応じて外部からヘリウムガスを供
給して追加液化することができるヘリウムガス凝縮液化
装置を提供することを課題とする。
【００１９】また本発明は、液化能力を高めることが可
能なヘリウムガス凝縮液化装置を提供することを課題と
する。
能なヘリウムガス凝縮液化装置を提供することを課題と
する。
【００２０】また本発明は、必要に応じて能率よくヘリ
ウムガスを液体ヘリウムに凝縮液化することができるヘ
リウムガス凝縮液化装置を提供することを課題とする。
ウムガスを液体ヘリウムに凝縮液化することができるヘ
リウムガス凝縮液化装置を提供することを課題とする。
【００２１】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、少な
くとも２台のＧＭ冷凍機を用いてヘリウムガスを液体ヘ
リウムに凝縮液化するに際し、第１のＧＭ冷凍機および
第２のＧＭ冷凍機の第１段冷却ステージおよび第２段冷
却ステージ（最終段冷却ステージ）においてヘリウムガ
ス温度を順次低下させて冷却することに着目したもの
で、第一の発明は、少なくとも二段の冷却ステージを有
するとともにその最終段冷却ステージを液体ヘリウム温
度とすることができる冷凍機を少なくとも２台用いるこ
とにより、上記最終段冷却ステージに熱接触させた凝縮
器においてヘリウムガスを凝縮液化可能なヘリウムガス
凝縮液化装置であって、上記一方の冷凍機の最終段冷却
ステージを第１の冷却温度とするとともに、上記他方の
冷凍機の最終段冷却ステージをこの第１の冷却温度より
低い第２の冷却温度に運転可能とし、上記凝縮器を上記
他方の冷凍機におけるこの第２の冷却温度にある最終冷
却ステージに熱接触させたことを特徴とするヘリウムガ
ス凝縮液化装置である。
くとも２台のＧＭ冷凍機を用いてヘリウムガスを液体ヘ
リウムに凝縮液化するに際し、第１のＧＭ冷凍機および
第２のＧＭ冷凍機の第１段冷却ステージおよび第２段冷
却ステージ（最終段冷却ステージ）においてヘリウムガ
ス温度を順次低下させて冷却することに着目したもの
で、第一の発明は、少なくとも二段の冷却ステージを有
するとともにその最終段冷却ステージを液体ヘリウム温
度とすることができる冷凍機を少なくとも２台用いるこ
とにより、上記最終段冷却ステージに熱接触させた凝縮
器においてヘリウムガスを凝縮液化可能なヘリウムガス
凝縮液化装置であって、上記一方の冷凍機の最終段冷却
ステージを第１の冷却温度とするとともに、上記他方の
冷凍機の最終段冷却ステージをこの第１の冷却温度より
低い第２の冷却温度に運転可能とし、上記凝縮器を上記
他方の冷凍機におけるこの第２の冷却温度にある最終冷
却ステージに熱接触させたことを特徴とするヘリウムガ
ス凝縮液化装置である。
【００２２】上記一方の冷凍機の第１段冷却ステージを
第１の冷却温度とするとともに上記他方の冷凍機の第１
段冷却ステージをこの第１の冷却温度より低い第２の冷
却温度に運転可能とし、外部から供給される前記ヘリウ
ムガスがこの第１の冷却温度の第１段冷却ステージおよ
びこの第２の冷却温度の第１段冷却ステージとそれぞれ
順次熱交換可能とすることができる。
第１の冷却温度とするとともに上記他方の冷凍機の第１
段冷却ステージをこの第１の冷却温度より低い第２の冷
却温度に運転可能とし、外部から供給される前記ヘリウ
ムガスがこの第１の冷却温度の第１段冷却ステージおよ
びこの第２の冷却温度の第１段冷却ステージとそれぞれ
順次熱交換可能とすることができる。
【００２３】上記冷凍機の冷却ステージに熱接触可能に
外部から供給される上記ヘリウムガスを、上記少なくと
も２台の冷凍機の第１段冷却ステージにそれぞれ熱交換
可能に室温部から供給する予冷配管を設け、これらの予
冷配管の少なくとも一方に流量調節弁を設けることがで
きる。
外部から供給される上記ヘリウムガスを、上記少なくと
も２台の冷凍機の第１段冷却ステージにそれぞれ熱交換
可能に室温部から供給する予冷配管を設け、これらの予
冷配管の少なくとも一方に流量調節弁を設けることがで
きる。
【００２４】上記凝縮器は、これを上記それぞれの冷凍
機の上記最終冷却ステージにそれぞれ設けるとともに、
一方の凝縮器と他方の凝縮器との間を上記ヘリウムガス
および液体ヘリウムが流れるように配管接続することが
できる。
機の上記最終冷却ステージにそれぞれ設けるとともに、
一方の凝縮器と他方の凝縮器との間を上記ヘリウムガス
および液体ヘリウムが流れるように配管接続することが
できる。
【００２５】上記ヘリウムガスの精製器を上記冷凍機の
上流側に取り付けるとともに、上記冷凍機によって冷却
される低温精製器として、ヘリウムガス中の不純物を除
去することができる。
上流側に取り付けるとともに、上記冷凍機によって冷却
される低温精製器として、ヘリウムガス中の不純物を除
去することができる。
【００２６】上記冷凍機の少なくとも一方の第１段冷却
ステージに電気ヒーターなどの加熱手段を設けることが
できる。
ステージに電気ヒーターなどの加熱手段を設けることが
できる。
【００２７】第二の発明は、ふたつの凝縮器をそれぞれ
熱的に独立して最終段冷却ステージに熱接触することに
着目したもので、少なくとも二段の冷却ステージを有す
るとともにその最終段冷却ステージを液体ヘリウム温度
とすることができる冷凍機を少なくとも２台用いること
により、上記最終段冷却ステージに熱接触させた凝縮器
においてヘリウムガスを凝縮液化可能なヘリウムガス凝
縮液化装置であって、上記凝縮器は、これを上記それぞ
れの冷凍機の上記最終冷却ステージにそれぞれ設け、か
つ互いに熱的に分離するとともに、これら凝縮器の互い
の間にガス相配管および混相配管を接続したことを特徴
とするヘリウムガス凝縮液化装置である。
熱的に独立して最終段冷却ステージに熱接触することに
着目したもので、少なくとも二段の冷却ステージを有す
るとともにその最終段冷却ステージを液体ヘリウム温度
とすることができる冷凍機を少なくとも２台用いること
により、上記最終段冷却ステージに熱接触させた凝縮器
においてヘリウムガスを凝縮液化可能なヘリウムガス凝
縮液化装置であって、上記凝縮器は、これを上記それぞ
れの冷凍機の上記最終冷却ステージにそれぞれ設け、か
つ互いに熱的に分離するとともに、これら凝縮器の互い
の間にガス相配管および混相配管を接続したことを特徴
とするヘリウムガス凝縮液化装置である。
【００２８】本発明によるヘリウムガス凝縮液化装置に
おいては、第１のＧＭ冷凍機および第２のＧＭ冷凍機の
第１段冷却ステージおよび第２段冷却ステージ（最終段
冷却ステージ）においてヘリウムガス温度を順次低下さ
せて冷却するようにしたので、それぞれの冷却ステージ
の間における冷却温度差を小さくし、能率的な冷却を可
能とする。換言すれば、高温部から低温部にいきなり冷
却するのではなく、徐々に低温に冷却し、より低い温度
で有効に機能するＧＭ冷凍機を活用するようにしたの
で、ヘリウムガス凝縮液化装置としての冷凍能力を増強
することができる。
おいては、第１のＧＭ冷凍機および第２のＧＭ冷凍機の
第１段冷却ステージおよび第２段冷却ステージ（最終段
冷却ステージ）においてヘリウムガス温度を順次低下さ
せて冷却するようにしたので、それぞれの冷却ステージ
の間における冷却温度差を小さくし、能率的な冷却を可
能とする。換言すれば、高温部から低温部にいきなり冷
却するのではなく、徐々に低温に冷却し、より低い温度
で有効に機能するＧＭ冷凍機を活用するようにしたの
で、ヘリウムガス凝縮液化装置としての冷凍能力を増強
することができる。
【００２９】また第二の発明においては、ふたつの凝縮
器を熱的に独立に最終段冷却ステージに熱接触するよう
にしたので、再凝縮運転モード（ヘリウムガスを液体ヘ
リウム装置からの蒸発ガスとして凝縮器に直接供給可能
とする場合）のみを行う場合は２台の冷凍機ともに第２
段冷却ステージは約４Ｋの温度となり、蒸発ガスはどち
らの凝縮器にも流入して凝縮される。すなわち、凝縮器
を２個設けたことにより、２台分の冷凍能力で凝縮を行
うことができる。一方、液化運転モード（ヘリウムガス
を外部から第１段冷却ステージを経て順次供給する場
合）では、前段の凝縮器は、たとえば約６Ｋの温度とな
って凝縮作用は行わず、外部から供給されるヘリウムガ
スを温度６Ｋに予冷する役割を担うことになり、凝縮器
が１個だけの場合と同じように最終段の凝縮器が凝縮液
化の役割を行うことになる。
器を熱的に独立に最終段冷却ステージに熱接触するよう
にしたので、再凝縮運転モード（ヘリウムガスを液体ヘ
リウム装置からの蒸発ガスとして凝縮器に直接供給可能
とする場合）のみを行う場合は２台の冷凍機ともに第２
段冷却ステージは約４Ｋの温度となり、蒸発ガスはどち
らの凝縮器にも流入して凝縮される。すなわち、凝縮器
を２個設けたことにより、２台分の冷凍能力で凝縮を行
うことができる。一方、液化運転モード（ヘリウムガス
を外部から第１段冷却ステージを経て順次供給する場
合）では、前段の凝縮器は、たとえば約６Ｋの温度とな
って凝縮作用は行わず、外部から供給されるヘリウムガ
スを温度６Ｋに予冷する役割を担うことになり、凝縮器
が１個だけの場合と同じように最終段の凝縮器が凝縮液
化の役割を行うことになる。
【００３０】本発明によるヘリウムガス凝縮液化装置
は、液体ヘリウムを使用する各種の液体ヘリウム装置、
たとえば超電導磁石、ＳＱＵＩＤ（超電導量子干渉デバ
イス）、ＭＲＩ（磁気共鳴像）用のヘリウム液面保持装
置としてはもちろん、ヘリウムガスの液化装置としても
使用可能である。
は、液体ヘリウムを使用する各種の液体ヘリウム装置、
たとえば超電導磁石、ＳＱＵＩＤ（超電導量子干渉デバ
イス）、ＭＲＩ（磁気共鳴像）用のヘリウム液面保持装
置としてはもちろん、ヘリウムガスの液化装置としても
使用可能である。
【００３１】
【発明の実施の形態】つぎに本発明の第１の（基本的
な）実施の形態によるヘリウムガス凝縮液化装置２０を
図１にもとづき説明する。ただし、図８と同様の部分に
は同一符号を付し、その詳述はこれを省略する。図１
は、ヘリウムガス凝縮液化装置２０の概略側面図であっ
て、ヘリウムガス凝縮液化装置２０は、ヘリウムガス凝
縮液化装置１（図８）とは異なり、凝縮器６に相当する
凝縮器２１を第２のＧＭ冷凍機５の第２段冷却ステージ
１０のみに設けてこれに熱接触させてある。第１のＧＭ
冷凍器４の第２段冷却ステージ８には凝縮器を設けてい
ない。
な）実施の形態によるヘリウムガス凝縮液化装置２０を
図１にもとづき説明する。ただし、図８と同様の部分に
は同一符号を付し、その詳述はこれを省略する。図１
は、ヘリウムガス凝縮液化装置２０の概略側面図であっ
て、ヘリウムガス凝縮液化装置２０は、ヘリウムガス凝
縮液化装置１（図８）とは異なり、凝縮器６に相当する
凝縮器２１を第２のＧＭ冷凍機５の第２段冷却ステージ
１０のみに設けてこれに熱接触させてある。第１のＧＭ
冷凍器４の第２段冷却ステージ８には凝縮器を設けてい
ない。
【００３２】すなわち、供給配管１３の第１の熱交換器
１６を第１段冷却ステージ７および第１段冷却ステージ
９に熱接触させるとともに、第２の熱交換器１７は第２
段冷却ステージ８および第２段冷却ステージ１０に共通
ではなく第２段冷却ステージ８のみに熱接触させてあ
る。つまり、第２段冷却ステージ８および第２段冷却ス
テージ１０を第２段熱接触部材１２（図８）などで熱的
に接触させることなく、第２段冷却ステージ８および第
２段冷却ステージ１０が異なる冷却温度で運転すること
ができるようにする。たとえば、第２段冷却ステージ８
における第２の熱交換器１７は温度６Ｋレベル（第１の
冷却温度）でヘリウムガスを冷却し、第２段冷却ステー
ジ１０は温度４Ｋレベル（第２の冷却温度）でヘリウム
ガスを冷却する。
１６を第１段冷却ステージ７および第１段冷却ステージ
９に熱接触させるとともに、第２の熱交換器１７は第２
段冷却ステージ８および第２段冷却ステージ１０に共通
ではなく第２段冷却ステージ８のみに熱接触させてあ
る。つまり、第２段冷却ステージ８および第２段冷却ス
テージ１０を第２段熱接触部材１２（図８）などで熱的
に接触させることなく、第２段冷却ステージ８および第
２段冷却ステージ１０が異なる冷却温度で運転すること
ができるようにする。たとえば、第２段冷却ステージ８
における第２の熱交換器１７は温度６Ｋレベル（第１の
冷却温度）でヘリウムガスを冷却し、第２段冷却ステー
ジ１０は温度４Ｋレベル（第２の冷却温度）でヘリウム
ガスを冷却する。
【００３３】こうした構成のヘリウムガス凝縮液化装置
２０において、追加液化運転モードの場合、第１段冷却
ステージ７および第１段冷却ステージ９の第１の熱交換
器１６の部分で予冷されたヘリウムガスは、従来のよう
にいきなり温度４Ｋレベルに冷却されるのではなく、第
２段冷却ステージ８（第２の熱交換器１７）の部分にお
いて一度温度６Ｋに冷却された上で第２のＧＭ冷凍機５
の第２段冷却ステージ１０において温度４Ｋに冷却され
るので、第２段冷却ステージ１０の部分における冷却能
率を向上させることができる。
２０において、追加液化運転モードの場合、第１段冷却
ステージ７および第１段冷却ステージ９の第１の熱交換
器１６の部分で予冷されたヘリウムガスは、従来のよう
にいきなり温度４Ｋレベルに冷却されるのではなく、第
２段冷却ステージ８（第２の熱交換器１７）の部分にお
いて一度温度６Ｋに冷却された上で第２のＧＭ冷凍機５
の第２段冷却ステージ１０において温度４Ｋに冷却され
るので、第２段冷却ステージ１０の部分における冷却能
率を向上させることができる。
【００３４】具体的な流量を計算してみると、１台の第
２のＧＭ冷凍機５の第２段冷却ステージ１０における冷
凍能力（熱負荷）を１ワットとする。実際の熱負荷は、
温度６Ｋのヘリウムガスのエンタルピーが４３ジュール
／グラムであるから、温度６Ｋのヘリウムガスを温度
４．２Ｋの液体ヘリウムにするのであるから、（４３−
１０．１）×流量となる。したがって、１＝（４３−１
０．１）×流量、の式から、流量＝１／３２．９＝０．
０３０４グラム／秒、つまり毎秒０．０３０４グラムの
液体ヘリウムを得ることができる。図８のヘリウムガス
凝縮液化装置１の場合には、ＧＭ冷凍機４、５の２台で
０．００９４グラム／秒であるから、本実施の形態のヘ
リウムガス凝縮液化装置２０のように第２段冷却ステー
ジ８および第２段冷却ステージ１０を分離して使用する
場合の方が液化能力を増強することができる。
２のＧＭ冷凍機５の第２段冷却ステージ１０における冷
凍能力（熱負荷）を１ワットとする。実際の熱負荷は、
温度６Ｋのヘリウムガスのエンタルピーが４３ジュール
／グラムであるから、温度６Ｋのヘリウムガスを温度
４．２Ｋの液体ヘリウムにするのであるから、（４３−
１０．１）×流量となる。したがって、１＝（４３−１
０．１）×流量、の式から、流量＝１／３２．９＝０．
０３０４グラム／秒、つまり毎秒０．０３０４グラムの
液体ヘリウムを得ることができる。図８のヘリウムガス
凝縮液化装置１の場合には、ＧＭ冷凍機４、５の２台で
０．００９４グラム／秒であるから、本実施の形態のヘ
リウムガス凝縮液化装置２０のように第２段冷却ステー
ジ８および第２段冷却ステージ１０を分離して使用する
場合の方が液化能力を増強することができる。
【００３５】なお、再凝縮運転モードの場合には、蒸発
配管１４からの蒸発ヘリウムガスの凝縮能率は、ヘリウ
ムガス凝縮液化装置１（図８）の場合の約半分となる。
上述のように、追加液化運転モードにおける能率を大幅
に向上させると同時に、再凝縮運転モードでの凝縮能率
も維持したい場合には、後述するように、２台の冷凍機
のそれぞれに凝縮器を設ければよい。
配管１４からの蒸発ヘリウムガスの凝縮能率は、ヘリウ
ムガス凝縮液化装置１（図８）の場合の約半分となる。
上述のように、追加液化運転モードにおける能率を大幅
に向上させると同時に、再凝縮運転モードでの凝縮能率
も維持したい場合には、後述するように、２台の冷凍機
のそれぞれに凝縮器を設ければよい。
【００３６】図２は、本発明の第２の実施の形態による
ヘリウムガス凝縮液化装置３０の概略側面図であって、
ヘリウムガス凝縮液化装置２０（図１）のように第２段
冷却ステージ８および第２段冷却ステージ１０の分離の
みではなく、第１段冷却ステージ７および第１段冷却ス
テージ９もこれを熱的に分離した構成としてある。すな
わち、ヘリウムガス凝縮液化装置３０は、第２段冷却ス
テージ１０のみに凝縮器２１を熱接触してあるととも
に、供給配管１３の第１の熱交換器１６を分離して、第
１段冷却ステージ７に熱接触している第１の熱交換器３
１、および第１の熱交換器３１とは独立に第１段冷却ス
テージ９に熱接触している第２の熱交換器３２を設けて
いる。したがって、供給配管１３の第１の熱交換器３
１、第２の熱交換器３２および第２の熱交換器１７は、
直列に接続されていることになる。
ヘリウムガス凝縮液化装置３０の概略側面図であって、
ヘリウムガス凝縮液化装置２０（図１）のように第２段
冷却ステージ８および第２段冷却ステージ１０の分離の
みではなく、第１段冷却ステージ７および第１段冷却ス
テージ９もこれを熱的に分離した構成としてある。すな
わち、ヘリウムガス凝縮液化装置３０は、第２段冷却ス
テージ１０のみに凝縮器２１を熱接触してあるととも
に、供給配管１３の第１の熱交換器１６を分離して、第
１段冷却ステージ７に熱接触している第１の熱交換器３
１、および第１の熱交換器３１とは独立に第１段冷却ス
テージ９に熱接触している第２の熱交換器３２を設けて
いる。したがって、供給配管１３の第１の熱交換器３
１、第２の熱交換器３２および第２の熱交換器１７は、
直列に接続されていることになる。
【００３７】こうした構成のヘリウムガス凝縮液化装置
３０において、たとえば図示のように第１のＧＭ冷凍機
４の第１段冷却ステージ７を温度６０Ｋ（図１のヘリウ
ムガス凝縮液化装置２０とは異なり第１の熱交換器３１
は第１のＧＭ冷凍機４のみに熱接触しているので、温度
４０Ｋまでには低下しない）、第２のＧＭ冷凍機５の第
１段冷却ステージ９を温度３５Ｋ、第１のＧＭ冷凍機４
の第２段冷却ステージ８を温度６Ｋ、さらに第２のＧＭ
冷凍機５の第２段冷却ステージ１０および凝縮器２１を
温度４Ｋに保持して運転することが可能となり、供給配
管１３からの常温のヘリウムガスを段階的に冷却するこ
とができ、さらに冷却能率を向上することができる。
３０において、たとえば図示のように第１のＧＭ冷凍機
４の第１段冷却ステージ７を温度６０Ｋ（図１のヘリウ
ムガス凝縮液化装置２０とは異なり第１の熱交換器３１
は第１のＧＭ冷凍機４のみに熱接触しているので、温度
４０Ｋまでには低下しない）、第２のＧＭ冷凍機５の第
１段冷却ステージ９を温度３５Ｋ、第１のＧＭ冷凍機４
の第２段冷却ステージ８を温度６Ｋ、さらに第２のＧＭ
冷凍機５の第２段冷却ステージ１０および凝縮器２１を
温度４Ｋに保持して運転することが可能となり、供給配
管１３からの常温のヘリウムガスを段階的に冷却するこ
とができ、さらに冷却能率を向上することができる。
【００３８】すなわち、図１のヘリウムガス凝縮液化装
置２０の場合に比較して、ヘリウムガス凝縮液化装置３
０では、第１のＧＭ冷凍機４の第１段冷却ステージ７か
ら第２のＧＭ冷凍機５の第１段冷却ステージ９へと順次
冷却していくため、ヘリウムガスをより低い温度で第１
のＧＭ冷凍機４の第２段冷却ステージ８へ送り込むこと
ができる。
置２０の場合に比較して、ヘリウムガス凝縮液化装置３
０では、第１のＧＭ冷凍機４の第１段冷却ステージ７か
ら第２のＧＭ冷凍機５の第１段冷却ステージ９へと順次
冷却していくため、ヘリウムガスをより低い温度で第１
のＧＭ冷凍機４の第２段冷却ステージ８へ送り込むこと
ができる。
【００３９】ただし、第２のＧＭ冷凍機５の第１段冷却
ステージ９の温度が低くなりすぎると、第１段冷却ステ
ージ９にヘリウムガスがより多く通過する結果、その第
２段冷却ステージ１０へのヘリウムガスの供給量が減少
して、第２段冷却ステージ１０の冷凍能力が低下するお
それがある。図３は、４Ｋ−ＧＭ冷凍機の冷凍性能試験
のグラフであって、グラフ中の縦方向の一群のプロット
は、第１段冷却ステージの熱負荷が０ワット、２０ワッ
ト、４０ワットの場合を示し、グラフ中の横方向の一群
のプロットは、第２段冷却ステージの熱負荷が０ワッ
ト、２ワット、４ワット、６ワット、８ワット、１０ワ
ット、１２ワットの場合を示している。たとえば、第１
段冷却ステージおよび第２段冷却ステージともに無負荷
（熱負荷が０ワット）で運転した場合、第１段冷却ステ
ージの温度が約２１Ｋ、第２段冷却ステージの温度が約
３Ｋで安定することを示しており、また図１のヘリウム
ガス凝縮液化装置２０の場合のように第１段冷却ステー
ジ７（第１段冷却ステージ９）を温度４０Ｋ、第２段冷
却ステージ８を温度６Ｋで運転した場合には、第１段冷
却ステージ７（第１段冷却ステージ９）の熱負荷は約３
７ワット、第２段冷却ステージ８の熱負荷は約３．５ワ
ットであることを示している。図３に示すように、同じ
熱負荷で第１段冷却ステージ９を運転している前提でそ
の温度がより低くなると、第２段冷却ステージ１０の部
分の冷凍能力が低下してしまうことになる。
ステージ９の温度が低くなりすぎると、第１段冷却ステ
ージ９にヘリウムガスがより多く通過する結果、その第
２段冷却ステージ１０へのヘリウムガスの供給量が減少
して、第２段冷却ステージ１０の冷凍能力が低下するお
それがある。図３は、４Ｋ−ＧＭ冷凍機の冷凍性能試験
のグラフであって、グラフ中の縦方向の一群のプロット
は、第１段冷却ステージの熱負荷が０ワット、２０ワッ
ト、４０ワットの場合を示し、グラフ中の横方向の一群
のプロットは、第２段冷却ステージの熱負荷が０ワッ
ト、２ワット、４ワット、６ワット、８ワット、１０ワ
ット、１２ワットの場合を示している。たとえば、第１
段冷却ステージおよび第２段冷却ステージともに無負荷
（熱負荷が０ワット）で運転した場合、第１段冷却ステ
ージの温度が約２１Ｋ、第２段冷却ステージの温度が約
３Ｋで安定することを示しており、また図１のヘリウム
ガス凝縮液化装置２０の場合のように第１段冷却ステー
ジ７（第１段冷却ステージ９）を温度４０Ｋ、第２段冷
却ステージ８を温度６Ｋで運転した場合には、第１段冷
却ステージ７（第１段冷却ステージ９）の熱負荷は約３
７ワット、第２段冷却ステージ８の熱負荷は約３．５ワ
ットであることを示している。図３に示すように、同じ
熱負荷で第１段冷却ステージ９を運転している前提でそ
の温度がより低くなると、第２段冷却ステージ１０の部
分の冷凍能力が低下してしまうことになる。
【００４０】図４は、本発明の第３の実施の形態による
ヘリウムガス凝縮液化装置４０の概略側面図であって、
ヘリウムガス凝縮液化装置４０では第１のＧＭ冷凍機４
および第２のＧＭ冷凍機５へのヘリウムガスの供給量を
調整可能とすることにより、第２のＧＭ冷凍機５の第１
段冷却ステージ９の温度を調整しやすくして、第２段冷
却ステージ１０の部分の冷凍能力が低下してしまうこと
を防止可能としている。すなわち、ヘリウムガス凝縮液
化装置４０においては、ヘリウムガス凝縮液化装置３０
（図２）に加えて、供給配管１３を第１のＧＭ冷凍機側
予冷配管４１および第２のＧＭ冷凍機側予冷配管４２に
分岐して第１のＧＭ冷凍機４への配管をバイパスして第
２のＧＭ冷凍機５にも直接ヘリウムガスを供給可能とす
るとともに、第２のＧＭ冷凍機側予冷配管４２に流量調
節弁４３を設けて、第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧ
Ｍ冷凍機５へのヘリウムガスの流量を調節可能としてあ
る。
ヘリウムガス凝縮液化装置４０の概略側面図であって、
ヘリウムガス凝縮液化装置４０では第１のＧＭ冷凍機４
および第２のＧＭ冷凍機５へのヘリウムガスの供給量を
調整可能とすることにより、第２のＧＭ冷凍機５の第１
段冷却ステージ９の温度を調整しやすくして、第２段冷
却ステージ１０の部分の冷凍能力が低下してしまうこと
を防止可能としている。すなわち、ヘリウムガス凝縮液
化装置４０においては、ヘリウムガス凝縮液化装置３０
（図２）に加えて、供給配管１３を第１のＧＭ冷凍機側
予冷配管４１および第２のＧＭ冷凍機側予冷配管４２に
分岐して第１のＧＭ冷凍機４への配管をバイパスして第
２のＧＭ冷凍機５にも直接ヘリウムガスを供給可能とす
るとともに、第２のＧＭ冷凍機側予冷配管４２に流量調
節弁４３を設けて、第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧ
Ｍ冷凍機５へのヘリウムガスの流量を調節可能としてあ
る。
【００４１】こうした構成のヘリウムガス凝縮液化装置
４０においては、第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧＭ
冷凍機５へのヘリウムガスの供給量を、たとえば１：１
あるいは２：１などと任意に配分することができるの
で、第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧＭ冷凍機５の第
２段冷却ステージ８および第２段冷却ステージ１０の冷
凍能力を最適化することができる。
４０においては、第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧＭ
冷凍機５へのヘリウムガスの供給量を、たとえば１：１
あるいは２：１などと任意に配分することができるの
で、第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧＭ冷凍機５の第
２段冷却ステージ８および第２段冷却ステージ１０の冷
凍能力を最適化することができる。
【００４２】すなわち、図３に示したように、第２段冷
却ステージ８あるいは第２段冷却ステージ１０の冷凍能
力は第１段冷却ステージ７あるいは第１段冷却ステージ
９におけるそれぞれの温度の影響を受けることになる。
そこで、流量調節弁４３を操作して第１のＧＭ冷凍機４
および第２のＧＭ冷凍機５へのヘリウムガスの流量配分
を調節することにより、第１段冷却ステージ７および第
１段冷却ステージ９の冷凍負荷すなわち温度を調節し
て、第２段冷却ステージ８および第２段冷却ステージ１
０の冷凍能力がより大となるように適正化し、追加液化
運転モードの性能を向上させることができる。
却ステージ８あるいは第２段冷却ステージ１０の冷凍能
力は第１段冷却ステージ７あるいは第１段冷却ステージ
９におけるそれぞれの温度の影響を受けることになる。
そこで、流量調節弁４３を操作して第１のＧＭ冷凍機４
および第２のＧＭ冷凍機５へのヘリウムガスの流量配分
を調節することにより、第１段冷却ステージ７および第
１段冷却ステージ９の冷凍負荷すなわち温度を調節し
て、第２段冷却ステージ８および第２段冷却ステージ１
０の冷凍能力がより大となるように適正化し、追加液化
運転モードの性能を向上させることができる。
【００４３】図５は、本発明の第４の実施の形態による
ヘリウムガス凝縮液化装置５０の概略側面図であって、
ヘリウムガス凝縮液化装置５０においては、ヘリウムガ
ス凝縮液化装置４０（図４）に加えて、第２のＧＭ冷凍
機５の第２段冷却ステージ１０に熱接触している凝縮器
２１（第２の凝縮器）とは熱的に独立して、第１のＧＭ
冷凍機４の第２段冷却ステージ８にも凝縮器５１（第１
の凝縮器）を熱接触してある。凝縮器５１には、温度６
Ｋ（あるいは４Ｋ、後述）の第２段冷却ステージ８が熱
接触しているとともに、凝縮器２１との間にガス相配管
５２および混相配管５３を接続してある。
ヘリウムガス凝縮液化装置５０の概略側面図であって、
ヘリウムガス凝縮液化装置５０においては、ヘリウムガ
ス凝縮液化装置４０（図４）に加えて、第２のＧＭ冷凍
機５の第２段冷却ステージ１０に熱接触している凝縮器
２１（第２の凝縮器）とは熱的に独立して、第１のＧＭ
冷凍機４の第２段冷却ステージ８にも凝縮器５１（第１
の凝縮器）を熱接触してある。凝縮器５１には、温度６
Ｋ（あるいは４Ｋ、後述）の第２段冷却ステージ８が熱
接触しているとともに、凝縮器２１との間にガス相配管
５２および混相配管５３を接続してある。
【００４４】ガス相配管５２は、凝縮器５１のガス相部
と凝縮器２１の上方に位置するガス相部とを接続してい
る。混相配管５３は、再凝縮運転モード時には、液体お
よびガスが、液化運転モード時においてはガスが流れ、
凝縮器２１のガス相部に接続している。
と凝縮器２１の上方に位置するガス相部とを接続してい
る。混相配管５３は、再凝縮運転モード時には、液体お
よびガスが、液化運転モード時においてはガスが流れ、
凝縮器２１のガス相部に接続している。
【００４５】なお、少なくとも第１のＧＭ冷凍機４の第
１段冷却ステージ７あるいは第２のＧＭ冷凍機５の第１
段冷却ステージ９に電気ヒーター５４（加熱手段）を設
け、必要に応じて第１段冷却ステージ７あるいは第１段
冷却ステージ９の温度をより高く調節可能として、第２
段冷却ステージ８あるいは第２段冷却ステージ１０の冷
凍能力の効率化を図る。
１段冷却ステージ７あるいは第２のＧＭ冷凍機５の第１
段冷却ステージ９に電気ヒーター５４（加熱手段）を設
け、必要に応じて第１段冷却ステージ７あるいは第１段
冷却ステージ９の温度をより高く調節可能として、第２
段冷却ステージ８あるいは第２段冷却ステージ１０の冷
凍能力の効率化を図る。
【００４６】また、凝縮器５１を設けてある第２段冷却
ステージ８の部分に第２の熱交換器１７を設け、ヘリウ
ムガスの予冷を確実に行うことができるようにしてあ
る。
ステージ８の部分に第２の熱交換器１７を設け、ヘリウ
ムガスの予冷を確実に行うことができるようにしてあ
る。
【００４７】こうした構成のヘリウムガス凝縮液化装置
５０において、再凝縮運転モードの場合には、液体ヘリ
ウム装置２から蒸発したヘリウムガスは、蒸発配管１４
を介して凝縮器２１内、あるいはさらにガス相配管５２
を通って凝縮器５１内のいずれにおいても冷却されて再
凝縮され、凝縮器５１から混相配管５３を通って、ある
いは凝縮器２１から直接、液化配管１５から液体ヘリウ
ム装置２に至る。なお、この再凝縮運転モードの場合に
は、第１のＧＭ冷凍機４の第２段冷却ステージ８および
第２のＧＭ冷凍機５の第２段冷却ステージ１０いずれも
が温度約４．２Ｋで運転される（図中カッコ内、および
ガス相配管５２における点線の矢印参照）。したがっ
て、再凝縮能力としては、図８のヘリウムガス凝縮液化
装置１の場合ととくに変わるところはない。
５０において、再凝縮運転モードの場合には、液体ヘリ
ウム装置２から蒸発したヘリウムガスは、蒸発配管１４
を介して凝縮器２１内、あるいはさらにガス相配管５２
を通って凝縮器５１内のいずれにおいても冷却されて再
凝縮され、凝縮器５１から混相配管５３を通って、ある
いは凝縮器２１から直接、液化配管１５から液体ヘリウ
ム装置２に至る。なお、この再凝縮運転モードの場合に
は、第１のＧＭ冷凍機４の第２段冷却ステージ８および
第２のＧＭ冷凍機５の第２段冷却ステージ１０いずれも
が温度約４．２Ｋで運転される（図中カッコ内、および
ガス相配管５２における点線の矢印参照）。したがっ
て、再凝縮能力としては、図８のヘリウムガス凝縮液化
装置１の場合ととくに変わるところはない。
【００４８】ヘリウムガスを供給配管１３から供給する
液化運転モードの場合は、ヘリウムガス凝縮液化装置４
０（図４）の場合と同様に、第１のＧＭ冷凍機４の第１
段冷却ステージ７および第２のＧＭ冷凍機５の第１段冷
却ステージ９において予冷され、第１のＧＭ冷凍機４の
第２段冷却ステージ８において温度６Ｋに冷却された上
で第２のＧＭ冷凍機５の第２段冷却ステージ１０におい
て温度約４．２Ｋで最後に液体ヘリウムに凝縮液化され
る（図中、ガス相配管５２における実線の矢印参照）。
なお、液化運転モードが主体の場合には、凝縮器５１は
これを設けなくても構わない。
液化運転モードの場合は、ヘリウムガス凝縮液化装置４
０（図４）の場合と同様に、第１のＧＭ冷凍機４の第１
段冷却ステージ７および第２のＧＭ冷凍機５の第１段冷
却ステージ９において予冷され、第１のＧＭ冷凍機４の
第２段冷却ステージ８において温度６Ｋに冷却された上
で第２のＧＭ冷凍機５の第２段冷却ステージ１０におい
て温度約４．２Ｋで最後に液体ヘリウムに凝縮液化され
る（図中、ガス相配管５２における実線の矢印参照）。
なお、液化運転モードが主体の場合には、凝縮器５１は
これを設けなくても構わない。
【００４９】かくして、このヘリウムガス凝縮液化装置
５０においては、再凝縮運転モードおよび液化運転モー
ドのいずれの場合にも良好な冷凍能力で運転可能であ
る。
５０においては、再凝縮運転モードおよび液化運転モー
ドのいずれの場合にも良好な冷凍能力で運転可能であ
る。
【００５０】なお、第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧ
Ｍ冷凍機５において、第１段冷却ステージ７および第１
段冷却ステージ９の温度が低すぎる場合、第１段冷却ス
テージ７および第１段冷却ステージ９におけるヘリウム
ガスの流量が増加し、第１のＧＭ冷凍機４および第２の
ＧＭ冷凍機５における圧縮器流量の配分として第２段冷
却ステージ８および第２段冷却ステージ１０に供給され
るヘリウムガスの流量分が低下するため、第２段冷却ス
テージ８および第２段冷却ステージ１０の冷凍能力が低
下する傾向を示すことが多い。そこで、ヘリウムガス凝
縮液化装置５０においては、第１段冷却ステージ７およ
び第１段冷却ステージ９の冷凍能力に余裕があって第１
段冷却ステージ７および第１段冷却ステージ９の温度が
低くなりすぎる場合には、電気ヒーター５４により、た
とえば第１段冷却ステージ９の温度を上昇させ、第２段
冷却ステージ８および第２段冷却ステージ１０の冷凍能
力を向上させることができる。
Ｍ冷凍機５において、第１段冷却ステージ７および第１
段冷却ステージ９の温度が低すぎる場合、第１段冷却ス
テージ７および第１段冷却ステージ９におけるヘリウム
ガスの流量が増加し、第１のＧＭ冷凍機４および第２の
ＧＭ冷凍機５における圧縮器流量の配分として第２段冷
却ステージ８および第２段冷却ステージ１０に供給され
るヘリウムガスの流量分が低下するため、第２段冷却ス
テージ８および第２段冷却ステージ１０の冷凍能力が低
下する傾向を示すことが多い。そこで、ヘリウムガス凝
縮液化装置５０においては、第１段冷却ステージ７およ
び第１段冷却ステージ９の冷凍能力に余裕があって第１
段冷却ステージ７および第１段冷却ステージ９の温度が
低くなりすぎる場合には、電気ヒーター５４により、た
とえば第１段冷却ステージ９の温度を上昇させ、第２段
冷却ステージ８および第２段冷却ステージ１０の冷凍能
力を向上させることができる。
【００５１】図６は、本発明の第５の実施の形態による
ヘリウムガス凝縮液化装置６０の概略側面図であって、
ヘリウムガス凝縮液化装置６０においては、ヘリウムガ
ス凝縮液化装置５０（図５）に加えてヘリウムガスの精
製器６１を第１のＧＭ冷凍機４の上流側に設けてある。
精製器６１は、その内部に活性炭を収容し、供給配管１
３からのヘリウムガス中の不純物を吸着除去することに
より、下流側への不純物の流入を防止し、冷却によるそ
の固化を回避する。精製器６１は、これを冷却するほど
精製能力が高まるので、第１のＧＭ冷凍機４の第１段冷
却ステージ７においてこれを冷却可能としている。
ヘリウムガス凝縮液化装置６０の概略側面図であって、
ヘリウムガス凝縮液化装置６０においては、ヘリウムガ
ス凝縮液化装置５０（図５）に加えてヘリウムガスの精
製器６１を第１のＧＭ冷凍機４の上流側に設けてある。
精製器６１は、その内部に活性炭を収容し、供給配管１
３からのヘリウムガス中の不純物を吸着除去することに
より、下流側への不純物の流入を防止し、冷却によるそ
の固化を回避する。精製器６１は、これを冷却するほど
精製能力が高まるので、第１のＧＭ冷凍機４の第１段冷
却ステージ７においてこれを冷却可能としている。
【００５２】すなわち、精製器６１と第１のＧＭ冷凍機
４の第１段冷却ステージ７との間に精製器用熱接触部材
６２を設けてこれを冷却可能とし、供給配管１３からま
ず精製器６１にヘリウムガスを供給可能とし、精製器６
１において精製されたヘリウムガスを精製器側予冷配管
６３および熱交換器６４を通し、さらに第２のＧＭ冷凍
機側予冷配管４２の流量調節弁４３を介して、第２のＧ
Ｍ冷凍機５の第１段冷却ステージ９に供給可能とする。
また、精製器側予冷配管６３から冷凍機側予冷配管６５
を分岐させ、第１の熱交換器３１および流量調節弁６６
を介して第２の熱交換器３２に至る。
４の第１段冷却ステージ７との間に精製器用熱接触部材
６２を設けてこれを冷却可能とし、供給配管１３からま
ず精製器６１にヘリウムガスを供給可能とし、精製器６
１において精製されたヘリウムガスを精製器側予冷配管
６３および熱交換器６４を通し、さらに第２のＧＭ冷凍
機側予冷配管４２の流量調節弁４３を介して、第２のＧ
Ｍ冷凍機５の第１段冷却ステージ９に供給可能とする。
また、精製器側予冷配管６３から冷凍機側予冷配管６５
を分岐させ、第１の熱交換器３１および流量調節弁６６
を介して第２の熱交換器３２に至る。
【００５３】こうした構成のヘリウムガス凝縮液化装置
６０においては、精製器６１を第１のＧＭ冷凍機４の第
１段冷却ステージ７において冷却しつつヘリウムガス中
の不純物を除去して安定した運転を保証することができ
る。精製器６１を再生する場合には、流量調節弁６６お
よび流量調節弁４３を閉鎖し、第１のＧＭ冷凍機４を停
止・昇温する。第２のＧＭ冷凍機５はそのまま冷却運転
を継続し、蒸発ガスの再凝縮作用を続行することができ
る。
６０においては、精製器６１を第１のＧＭ冷凍機４の第
１段冷却ステージ７において冷却しつつヘリウムガス中
の不純物を除去して安定した運転を保証することができ
る。精製器６１を再生する場合には、流量調節弁６６お
よび流量調節弁４３を閉鎖し、第１のＧＭ冷凍機４を停
止・昇温する。第２のＧＭ冷凍機５はそのまま冷却運転
を継続し、蒸発ガスの再凝縮作用を続行することができ
る。
【００５４】図７は、本発明の第６の実施の形態による
ヘリウムガス凝縮液化装置７０の概略側面図であって、
第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧＭ冷凍機５に加えて
さらに第３のＧＭ冷凍機７１を設け、３台の冷凍機４、
５、７１で冷却する場合を示す。すなわち、第３のＧＭ
冷凍機７１は、第１段冷却ステージ７２および第２段冷
却ステージ７３を有して、第２段冷却ステージ７３に凝
縮器２１を熱接触してある。
ヘリウムガス凝縮液化装置７０の概略側面図であって、
第１のＧＭ冷凍機４および第２のＧＭ冷凍機５に加えて
さらに第３のＧＭ冷凍機７１を設け、３台の冷凍機４、
５、７１で冷却する場合を示す。すなわち、第３のＧＭ
冷凍機７１は、第１段冷却ステージ７２および第２段冷
却ステージ７３を有して、第２段冷却ステージ７３に凝
縮器２１を熱接触してある。
【００５５】さらにこの実施の形態においては、より単
純化を図るために、図８に示したヘリウムガス凝縮液化
装置１のように、第１段熱接触部材１１および第２段熱
接触部材１２により第１のＧＭ冷凍機４と第２のＧＭ冷
凍機５とを第１段冷却ステージ７および第１段冷却ステ
ージ９において、ならびに第２段冷却ステージ１０およ
び第２段冷却ステージ７３においてそれぞれ熱的に一体
化し、第２段熱接触部材１２に単一の凝縮器２１を設け
る。また、図２に示したヘリウムガス凝縮液化装置３０
のように、第１の熱交換器３１および第２の熱交換器３
２を設けるとともに、第３のＧＭ冷凍機７１の第１段冷
却ステージ７２に第３の熱交換器７４を設け、図４に示
したヘリウムガス凝縮液化装置４０のように、流量調節
弁４３を設けてある。
純化を図るために、図８に示したヘリウムガス凝縮液化
装置１のように、第１段熱接触部材１１および第２段熱
接触部材１２により第１のＧＭ冷凍機４と第２のＧＭ冷
凍機５とを第１段冷却ステージ７および第１段冷却ステ
ージ９において、ならびに第２段冷却ステージ１０およ
び第２段冷却ステージ７３においてそれぞれ熱的に一体
化し、第２段熱接触部材１２に単一の凝縮器２１を設け
る。また、図２に示したヘリウムガス凝縮液化装置３０
のように、第１の熱交換器３１および第２の熱交換器３
２を設けるとともに、第３のＧＭ冷凍機７１の第１段冷
却ステージ７２に第３の熱交換器７４を設け、図４に示
したヘリウムガス凝縮液化装置４０のように、流量調節
弁４３を設けてある。
【００５６】こうした構成のヘリウムガス凝縮液化装置
７０においては、たとえば第１のＧＭ冷凍機４の第１段
冷却ステージ７および第２のＧＭ冷凍機５の第１段冷却
ステージ９で温度５０Ｋ、第３のＧＭ冷凍機７１の第１
段冷却ステージ７２で温度３０Ｋのように、順次低温と
し、複数段による冷却効率の向上を図ることができる。
以下、同様にして任意の複数台のＧＭ冷凍機を用いた場
合にもカスケード式に順次ヘリウムガスの温度を低下さ
せて、冷凍能力の増強を図ることも可能である。
７０においては、たとえば第１のＧＭ冷凍機４の第１段
冷却ステージ７および第２のＧＭ冷凍機５の第１段冷却
ステージ９で温度５０Ｋ、第３のＧＭ冷凍機７１の第１
段冷却ステージ７２で温度３０Ｋのように、順次低温と
し、複数段による冷却効率の向上を図ることができる。
以下、同様にして任意の複数台のＧＭ冷凍機を用いた場
合にもカスケード式に順次ヘリウムガスの温度を低下さ
せて、冷凍能力の増強を図ることも可能である。
【００５７】上述のいずれの実施の形態によるヘリウム
ガス凝縮液化装置２０（図１）、３０（図２）、４０
（図４）、５０（図５）、６０（図６）、７０（図７）
も液体ヘリウム装置２の種類および条件、第１のＧＭ冷
凍機４および第２のＧＭ冷凍機５の種類や運転条件、そ
の他要請される諸条件に応じて任意に選択して実施可能
であるとともに、それぞれの構成の要素を任意に組み合
わせて適宜構成することも可能である。
ガス凝縮液化装置２０（図１）、３０（図２）、４０
（図４）、５０（図５）、６０（図６）、７０（図７）
も液体ヘリウム装置２の種類および条件、第１のＧＭ冷
凍機４および第２のＧＭ冷凍機５の種類や運転条件、そ
の他要請される諸条件に応じて任意に選択して実施可能
であるとともに、それぞれの構成の要素を任意に組み合
わせて適宜構成することも可能である。
【００５８】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、少なくと
も２台のＧＭ冷凍機の最終段冷却ステージにおける凝縮
器を熱的に分離し、ヘリウムガスを段階的に冷却する構
成としたので、冷凍能力を向上し、凝縮液化性能の増強
を図ることができる。
も２台のＧＭ冷凍機の最終段冷却ステージにおける凝縮
器を熱的に分離し、ヘリウムガスを段階的に冷却する構
成としたので、冷凍能力を向上し、凝縮液化性能の増強
を図ることができる。
【図１】本発明の、第１の（基本的な）実施の形態によ
るヘリウムガス凝縮液化装置２０の概略側面図である。
るヘリウムガス凝縮液化装置２０の概略側面図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態によるヘリウムガス
凝縮液化装置３０の概略側面図である。
凝縮液化装置３０の概略側面図である。
【図３】一般の４Ｋ−ＧＭ冷凍機の冷凍性能試験のグラ
フである。
フである。
【図４】本発明の第３の実施の形態によるヘリウムガス
凝縮液化装置４０の概略側面図である。
凝縮液化装置４０の概略側面図である。
【図５】本発明の第４の実施の形態によるヘリウムガス
凝縮液化装置５０の概略側面図である。
凝縮液化装置５０の概略側面図である。
【図６】本発明の第５の実施の形態によるヘリウムガス
凝縮液化装置６０の概略側面図である。
凝縮液化装置６０の概略側面図である。
【図７】本発明の第６の実施の形態によるヘリウムガス
凝縮液化装置７０の概略側面図である。
凝縮液化装置７０の概略側面図である。
【図８】温度４Ｋレベルの冷凍能力を有する蓄冷式冷凍
機（たとえばＧＭ冷凍機）を複数台（たとえば２台）用
いた場合の一般的なヘリウムガス凝縮液化装置１の概略
側面図である。
機（たとえばＧＭ冷凍機）を複数台（たとえば２台）用
いた場合の一般的なヘリウムガス凝縮液化装置１の概略
側面図である。
１ ヘリウムガス凝縮液化装置（図８） ２ 液体ヘリウム装置（液体ヘリウム容器） ３ クライオスタット ４ 第１のＧＭ冷凍機（冷凍機） ５ 第２のＧＭ冷凍機（冷凍機） ６ 凝縮器 ７ 第１のＧＭ冷凍機４の第１段冷却ステージ ８ 第１のＧＭ冷凍機４の第２段冷却ステージ ９ 第２のＧＭ冷凍機５の第１段冷却ステージ １０ 第２のＧＭ冷凍機５の第２段冷却ステージ １１ 第１段熱接触部材 １２ 第２段熱接触部材 １３ ヘリウムガスの供給配管（予冷配管） １４ 蒸発配管 １５ 液化配管 １６ 第１の熱交換器 １７ 第２の熱交換器 ２０ ヘリウムガス凝縮液化装置（第１の実施の形態、
図１） ２１ 凝縮器 ３０ ヘリウムガス凝縮液化装置（第２の実施の形態、
図２） ３１ 第１の熱交換器 ３２ 第２の熱交換器 ４０ ヘリウムガス凝縮液化装置（第３の実施の形態、
図４） ４１ 第１のＧＭ冷凍機側予冷配管（予冷配管） ４２ 第２のＧＭ冷凍機側予冷配管（予冷配管） ４３ 流量調節弁 ５０ ヘリウムガス凝縮液化装置（第４の実施の形態、
図５） ５１ 凝縮器（第１の凝縮器） ５２ ガス相配管 ５３ 混相配管 ５４ 電気ヒーター（加熱手段） ６０ ヘリウムガス凝縮液化装置（第５の実施の形態、
図６） ６１ ヘリウムガスの精製器 ６２ 精製器用熱接触部材 ６３ 精製器側予冷配管 ６４ 熱交換器 ６５ 冷凍機側予冷配管 ６６ 流量調節弁 ７０ ヘリウムガス凝縮液化装置（第６の実施の形態、
図７） ７１ 第３のＧＭ冷凍機（冷凍機） ７２ 第３のＧＭ冷凍機７１の第１段冷却ステージ ７３ 第３のＧＭ冷凍機７１の第２段冷却ステージ ７４ 第３の熱交換器
図１） ２１ 凝縮器 ３０ ヘリウムガス凝縮液化装置（第２の実施の形態、
図２） ３１ 第１の熱交換器 ３２ 第２の熱交換器 ４０ ヘリウムガス凝縮液化装置（第３の実施の形態、
図４） ４１ 第１のＧＭ冷凍機側予冷配管（予冷配管） ４２ 第２のＧＭ冷凍機側予冷配管（予冷配管） ４３ 流量調節弁 ５０ ヘリウムガス凝縮液化装置（第４の実施の形態、
図５） ５１ 凝縮器（第１の凝縮器） ５２ ガス相配管 ５３ 混相配管 ５４ 電気ヒーター（加熱手段） ６０ ヘリウムガス凝縮液化装置（第５の実施の形態、
図６） ６１ ヘリウムガスの精製器 ６２ 精製器用熱接触部材 ６３ 精製器側予冷配管 ６４ 熱交換器 ６５ 冷凍機側予冷配管 ６６ 流量調節弁 ７０ ヘリウムガス凝縮液化装置（第６の実施の形態、
図７） ７１ 第３のＧＭ冷凍機（冷凍機） ７２ 第３のＧＭ冷凍機７１の第１段冷却ステージ ７３ 第３のＧＭ冷凍機７１の第２段冷却ステージ ７４ 第３の熱交換器
Claims (7)
- 【請求項１】 少なくとも二段の冷却ステージを有す
るとともにその最終段冷却ステージを液体ヘリウム温度
とすることができる冷凍機を少なくとも２台用いること
により、前記最終段冷却ステージに熱接触させた凝縮器
においてヘリウムガスを凝縮液化可能なヘリウムガス凝
縮液化装置であって、 前記一方の冷凍機の最終段冷却ステージを第１の冷却温
度とするとともに、前記他方の冷凍機の最終段冷却ステ
ージをこの第１の冷却温度より低い第２の冷却温度に運
転可能とし、 前記凝縮器を前記他方の冷凍機におけるこの第２の冷却
温度にある最終冷却ステージに熱接触させたことを特徴
とするヘリウムガス凝縮液化装置。 - 【請求項２】 前記一方の冷凍機の第１段冷却ステー
ジを第１の冷却温度とするとともに前記他方の冷凍機の
第１段冷却ステージをこの第１の冷却温度より低い第２
の冷却温度に運転可能とし、 外部から供給される前記ヘリウムガスがこの第１の冷却
温度の第１段冷却ステージおよびこの第２の冷却温度の
第１段冷却ステージとそれぞれ順次熱交換可能としたこ
とを特徴とする請求項１記載のヘリウムガス凝縮液化装
置。 - 【請求項３】 前記冷凍機の冷却ステージに熱接触可
能に外部から供給される前記ヘリウムガスを、前記少な
くとも２台の冷凍機の第１段冷却ステージにそれぞれ熱
交換可能に室温部から供給する予冷配管を設け、これら
の予冷配管の少なくとも一方に流量調節弁を設けたこと
を特徴とする請求項１記載のヘリウムガス凝縮液化装
置。 - 【請求項４】 前記凝縮器は、これを前記それぞれの
冷凍機の前記最終冷却ステージにそれぞれ設けるととも
に、 一方の凝縮器と他方の凝縮器との間を前記ヘリウムガス
および液体ヘリウムが流れるように配管接続したことを
特徴とする請求項１記載のヘリウムガス凝縮液化装置。 - 【請求項５】 前記ヘリウムガスの精製器を前記冷凍
機の上流側に取り付けるとともに、前記冷凍機により冷
却される低温精製器としたことを特徴とする請求項１記
載のヘリウムガス凝縮液化装置。 - 【請求項６】 前記冷凍機の少なくとも一方の第１段
冷却ステージに加熱手段を設けたことを特徴とする請求
項１記載のヘリウムガス凝縮液化装置。 - 【請求項７】 少なくとも二段の冷却ステージを有す
るとともにその最終段冷却ステージを液体ヘリウム温度
とすることができる冷凍機を少なくとも２台用いること
により、前記最終段冷却ステージに熱接触させた凝縮器
においてヘリウムガスを凝縮液化可能なヘリウムガス凝
縮液化装置であって、 前記凝縮器は、これを前記それぞれの冷凍機の前記最終
冷却ステージにそれぞれ設け、かつ互いに熱的に分離す
るとともに、 これら凝縮器の互いの間にガス相配管および混相配管を
接続したことを特徴とするヘリウムガス凝縮液化装置。
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|---|---|---|---|---|
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